JP2002127431A - インクジェット記録ヘッド - Google Patents
インクジェット記録ヘッドInfo
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- JP2002127431A JP2002127431A JP2000324007A JP2000324007A JP2002127431A JP 2002127431 A JP2002127431 A JP 2002127431A JP 2000324007 A JP2000324007 A JP 2000324007A JP 2000324007 A JP2000324007 A JP 2000324007A JP 2002127431 A JP2002127431 A JP 2002127431A
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- insulating film
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- ink
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
- B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
- B41J2202/10—Finger type piezoelectric elements
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】電極の絶縁性がより向上したインクジェット記
録ヘッドを提供する。 【解決手段】一部又は全部が圧電材料１で形成された流
路３と前記流路３の端面３ａに接合されているインク吐
出口６ａを有するノズル板６と、前記流路３内面に前記
圧電材料１を駆動するための電極５を有し、前記電極５
を絶縁膜８で被覆しているインクジェット記録ヘッドに
おいて、前記絶縁膜８が前記流路３の端面３ａの全体又
は一部を被覆していることを特徴とする。
録ヘッドを提供する。 【解決手段】一部又は全部が圧電材料１で形成された流
路３と前記流路３の端面３ａに接合されているインク吐
出口６ａを有するノズル板６と、前記流路３内面に前記
圧電材料１を駆動するための電極５を有し、前記電極５
を絶縁膜８で被覆しているインクジェット記録ヘッドに
おいて、前記絶縁膜８が前記流路３の端面３ａの全体又
は一部を被覆していることを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェット記
録ヘッドに関し、詳しくは、電極の絶縁性に優れると共
に、ノズル板の接着性に優れるインクジェット記録ヘッ
ドに関する。
録ヘッドに関し、詳しくは、電極の絶縁性に優れると共
に、ノズル板の接着性に優れるインクジェット記録ヘッ
ドに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、一部又は全部が圧電材料で形
成された流路と駆動壁とを交互に配列すると共に、該流
路内の駆動壁に電極を設け、該電極を介して上記駆動壁
に電界を印加することにより該駆動壁をせん断変形させ
て流路内のインクを吐出させるようにしたシェアモード
型のインクジェット記録ヘッドが知られている。
成された流路と駆動壁とを交互に配列すると共に、該流
路内の駆動壁に電極を設け、該電極を介して上記駆動壁
に電界を印加することにより該駆動壁をせん断変形させ
て流路内のインクを吐出させるようにしたシェアモード
型のインクジェット記録ヘッドが知られている。
【０００３】シャアモード型のインクジェット記録ヘッ
ドにおいては、駆動壁を駆動させるための電極は、駆動
壁の側面に設けられるため、流路内に貯留されるインク
は、この電極と常に接触する。このとき使用されるイン
クが水系インクの場合、電極に電圧が印加されるとイン
ク中の水が電気分解を起こし、気泡の発生及び電極の溶
解といった問題を惹き起こす。
ドにおいては、駆動壁を駆動させるための電極は、駆動
壁の側面に設けられるため、流路内に貯留されるインク
は、この電極と常に接触する。このとき使用されるイン
クが水系インクの場合、電極に電圧が印加されるとイン
ク中の水が電気分解を起こし、気泡の発生及び電極の溶
解といった問題を惹き起こす。
【０００４】このため、例えば、特開平６−２７８２７
８号に記載のように、電極に絶縁膜を被覆形成すること
で、水系インク、溶剤系インクを問わずにインク吐出が
行えるようにしている。
８号に記載のように、電極に絶縁膜を被覆形成すること
で、水系インク、溶剤系インクを問わずにインク吐出が
行えるようにしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】流路の端面（図１の符
号３ａ参照）にはインクを吐出するためのインク吐出口
が形成されたノズル板が接合される。しかし、上記従来
技術では、圧電材料で形成された流路の端面には絶縁膜
が形成されていないため、電極がこの端面において露出
し、この部分での絶縁性が悪い。
号３ａ参照）にはインクを吐出するためのインク吐出口
が形成されたノズル板が接合される。しかし、上記従来
技術では、圧電材料で形成された流路の端面には絶縁膜
が形成されていないため、電極がこの端面において露出
し、この部分での絶縁性が悪い。
【０００６】また、圧電材料は接着剤の濡れ性が十分で
はなく、圧電材料とノズル板の両者に十分に接着力を確
保することが困難であった。
はなく、圧電材料とノズル板の両者に十分に接着力を確
保することが困難であった。
【０００７】本発明は、かかる従来事情に鑑みてなされ
たものであり、電極の絶縁性がより向上したインクジェ
ット記録ヘッドを提供することを課題とする。
たものであり、電極の絶縁性がより向上したインクジェ
ット記録ヘッドを提供することを課題とする。
【０００８】また、本発明の他の課題は、ノズル板の接
着性が良好なインクジェット記録ヘッドを提供すること
にある。
着性が良好なインクジェット記録ヘッドを提供すること
にある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明に係るインクジェット記録ヘッドは、一部又
は全部が圧電材料で形成された流路と前記流路の端面に
接合されているインク吐出口を有するノズル板と、前記
流路内面に前記圧電材料を駆動するための電極を有し、
前記電極を絶縁膜で被覆しているインクジェット記録ヘ
ッドにおいて、前記絶縁膜が前記流路の端面の全体又は
一部を被覆していることを特徴とする。
め、本発明に係るインクジェット記録ヘッドは、一部又
は全部が圧電材料で形成された流路と前記流路の端面に
接合されているインク吐出口を有するノズル板と、前記
流路内面に前記圧電材料を駆動するための電極を有し、
前記電極を絶縁膜で被覆しているインクジェット記録ヘ
ッドにおいて、前記絶縁膜が前記流路の端面の全体又は
一部を被覆していることを特徴とする。
【００１０】このように絶縁膜が流路の端面の全体又は
一部を被覆していることで、流路の端面においても電極
が絶縁膜により絶縁されて露出しないため、電極の絶縁
性がより向上する。
一部を被覆していることで、流路の端面においても電極
が絶縁膜により絶縁されて露出しないため、電極の絶縁
性がより向上する。
【００１１】前記絶縁膜がパリレンであり、該パリレン
が酸素を含むガス雰囲気でプラズマ処理されていること
が好ましい。このように流路の端面に被覆されるパリレ
ンが酸素を含むガス雰囲気でプラズマ処理されること
で、濡れ性が大幅に向上する。これにより流路の端面で
の接着剤の濡れ性が良好となり、ノズル板と圧電材料と
の接着力を十分に確保することが可能となる。また、パ
リレンはピンホールが少なく、絶縁性も優れている。
が酸素を含むガス雰囲気でプラズマ処理されていること
が好ましい。このように流路の端面に被覆されるパリレ
ンが酸素を含むガス雰囲気でプラズマ処理されること
で、濡れ性が大幅に向上する。これにより流路の端面で
の接着剤の濡れ性が良好となり、ノズル板と圧電材料と
の接着力を十分に確保することが可能となる。また、パ
リレンはピンホールが少なく、絶縁性も優れている。
【００１２】前記ノズル板が樹脂からなると共に前記絶
縁膜がパリレンであり、ノズル板及びパリレンが酸素を
含むガス雰囲気でプラズマ処理されていることも好まし
い。ノズル板、パリレンとも有機物であるため、両者を
酸素を含むガス雰囲気でプラズマ処理することにより、
両者の濡れ性が共に大幅に向上する。これによりノズル
板及び流路端面の接着剤の濡れ性が共に良好となり、ノ
ズル板と圧電材料との接着力をより一層十分に確保でき
るようになる。また、パリレンはピンホールが少なく、
絶縁性も優れている。
縁膜がパリレンであり、ノズル板及びパリレンが酸素を
含むガス雰囲気でプラズマ処理されていることも好まし
い。ノズル板、パリレンとも有機物であるため、両者を
酸素を含むガス雰囲気でプラズマ処理することにより、
両者の濡れ性が共に大幅に向上する。これによりノズル
板及び流路端面の接着剤の濡れ性が共に良好となり、ノ
ズル板と圧電材料との接着力をより一層十分に確保でき
るようになる。また、パリレンはピンホールが少なく、
絶縁性も優れている。
【００１３】更に、前記流路の端面の絶縁膜の膜厚が、
他の部分の膜厚より薄いことも好ましい。流路の端面の
絶縁膜の膜厚を他の部分の膜厚より薄くしても、十分に
絶縁性を発揮する。これにより、コストの削減を図るこ
とができる。
他の部分の膜厚より薄いことも好ましい。流路の端面の
絶縁膜の膜厚を他の部分の膜厚より薄くしても、十分に
絶縁性を発揮する。これにより、コストの削減を図るこ
とができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面に基づいて説明する。
て図面に基づいて説明する。
【００１５】図１は、本発明に係るインクジェットヘッ
ドの全体構成の概要を示す部分破断斜視図、図２はその
部分断面図である。図１において、１は圧電材料、２は
カバー部材、３は流路、４は駆動壁、６はノズル板、７
は流路３内にインクを供給するためのインク供給口、３
ａは流路３の端面をそれぞれ示している。
ドの全体構成の概要を示す部分破断斜視図、図２はその
部分断面図である。図１において、１は圧電材料、２は
カバー部材、３は流路、４は駆動壁、６はノズル板、７
は流路３内にインクを供給するためのインク供給口、３
ａは流路３の端面をそれぞれ示している。
【００１６】圧電材料１は、２枚の圧電材料１ａ、１ｂ
を分極方向を異にして上下に接合してなる。２枚の圧電
材料１ａ、１ｂを接合する手段としては、エポキシ系接
着剤等の接着剤を用いた接合を採用できるが、接合可能
であれば特にこれに限定されない。
を分極方向を異にして上下に接合してなる。２枚の圧電
材料１ａ、１ｂを接合する手段としては、エポキシ系接
着剤等の接着剤を用いた接合を採用できるが、接合可能
であれば特にこれに限定されない。
【００１７】この圧電材料１に、円盤状の砥石（ダイシ
ングブレード）等の公知の研削機を用いて所定ピッチで
互いに平行な複数列の溝を加工することにより、インク
が貯留される流路３を形成している。なお、各流路３は
全体が圧電材料１によって形成されるものに限らず、そ
の一部が圧電材料１によって形成されるものでもよい。
この溝加工による流路３の形成により、各流路３間に圧
電材料１からなる駆動壁４が形成される。。
ングブレード）等の公知の研削機を用いて所定ピッチで
互いに平行な複数列の溝を加工することにより、インク
が貯留される流路３を形成している。なお、各流路３は
全体が圧電材料１によって形成されるものに限らず、そ
の一部が圧電材料１によって形成されるものでもよい。
この溝加工による流路３の形成により、各流路３間に圧
電材料１からなる駆動壁４が形成される。。
【００１８】図２に示すように、各駆動壁４の壁面には
電極５が形成される。駆動壁４は分極方向の異なる２枚
の圧電材料１ａ、１ｂからなるため、各電極５は、それ
ら両圧電材料１ａ、１ｂを駆動させるべく、少なくとも
各駆動壁４を構成している圧電材料１ａ及び１ｂに亘る
両側面の全面に形成するが、必ずしも底面には形成しな
くてもよい。
電極５が形成される。駆動壁４は分極方向の異なる２枚
の圧電材料１ａ、１ｂからなるため、各電極５は、それ
ら両圧電材料１ａ、１ｂを駆動させるべく、少なくとも
各駆動壁４を構成している圧電材料１ａ及び１ｂに亘る
両側面の全面に形成するが、必ずしも底面には形成しな
くてもよい。
【００１９】電極５を形成し得る金属としては、Ｎｉ
（ニッケル）、Ｃｏ（コバルト）、Ｃｕ（銅）、Ａｌ
（アルミニウム）等があるが、ＮｉやＣｕが好ましく、
特に好ましくはＮｉである。電極５は蒸着法、メッキ等
の方法によって形成することができる。
（ニッケル）、Ｃｏ（コバルト）、Ｃｕ（銅）、Ａｌ
（アルミニウム）等があるが、ＮｉやＣｕが好ましく、
特に好ましくはＮｉである。電極５は蒸着法、メッキ等
の方法によって形成することができる。
【００２０】カバー部材２は、電極５を形成した後に駆
動壁４上面にエポキシ系接着剤等の接着剤を用いること
により接合される。このカバー部材２としては、圧電材
料１と同じものを使用すると、貼り合せた時にソリ、変
形、熱膨張係数の差による剥離等が起こらないために好
ましい。また、圧電材料１と同じ熱膨張係数を持つ非圧
電性基板であってもよい。
動壁４上面にエポキシ系接着剤等の接着剤を用いること
により接合される。このカバー部材２としては、圧電材
料１と同じものを使用すると、貼り合せた時にソリ、変
形、熱膨張係数の差による剥離等が起こらないために好
ましい。また、圧電材料１と同じ熱膨張係数を持つ非圧
電性基板であってもよい。
【００２１】ノズル板６は、流路３に対応する位置にイ
ンク吐出口６ａが開穿されており、カバー部材２を接合
した後の流路３の端面３ａに、エポキシ系接着剤等の接
着剤によって接合されている。
ンク吐出口６ａが開穿されており、カバー部材２を接合
した後の流路３の端面３ａに、エポキシ系接着剤等の接
着剤によって接合されている。
【００２２】図２おいて、符号８は電極５に被覆されて
いる絶縁膜である。絶縁膜８は、水系インク及び溶剤系
インクの別を問わずインク使用を可能にするため、流路
３内の電極５の表面に被覆されるが、本発明に係るイン
クジェット記録ヘッドにおいては、図３に示すように、
ノズル板６を流路３の端面３ａに接合する前に、該流路
３の端面３ａにも被覆される。
いる絶縁膜である。絶縁膜８は、水系インク及び溶剤系
インクの別を問わずインク使用を可能にするため、流路
３内の電極５の表面に被覆されるが、本発明に係るイン
クジェット記録ヘッドにおいては、図３に示すように、
ノズル板６を流路３の端面３ａに接合する前に、該流路
３の端面３ａにも被覆される。
【００２３】流路３の端面３ａに被覆形成される絶縁膜
８は、該端面３ａの全体を被覆するものであってもよい
が、一部であってもよい。一部の場合は、少なくとも流
路３の端面３ａに臨む電極端面５ａの表面に絶縁膜８が
被覆形成されるようにする。
８は、該端面３ａの全体を被覆するものであってもよい
が、一部であってもよい。一部の場合は、少なくとも流
路３の端面３ａに臨む電極端面５ａの表面に絶縁膜８が
被覆形成されるようにする。
【００２４】絶縁膜８としては公知の絶縁膜を用いるこ
とができるが、中でも回り込み性が良好であり、またピ
ンホールの発生が少ない点でパリレンを使用することが
好ましい。
とができるが、中でも回り込み性が良好であり、またピ
ンホールの発生が少ない点でパリレンを使用することが
好ましい。
【００２５】図４にパリレン膜を形成する化学蒸着を行
うための蒸着装置の一例を示す。この蒸着装置は、昇華
炉１０、熱分解炉２０及び成膜槽３０より構成され、こ
れら昇華炉１０、熱分解炉２０及び成膜槽３０はガス流
路を形成する配管により図示するように連結されてい
る。蒸着工程中、上記蒸着装置は真空度が１０-3〜１Ｔ
ｏｒｒに保たれる。また、昇華炉１０内は１００℃〜２
００℃、熱分解炉２０内は４５０℃〜７００℃、成膜槽
３０内は室温の各温度に保持される。
うための蒸着装置の一例を示す。この蒸着装置は、昇華
炉１０、熱分解炉２０及び成膜槽３０より構成され、こ
れら昇華炉１０、熱分解炉２０及び成膜槽３０はガス流
路を形成する配管により図示するように連結されてい
る。蒸着工程中、上記蒸着装置は真空度が１０-3〜１Ｔ
ｏｒｒに保たれる。また、昇華炉１０内は１００℃〜２
００℃、熱分解炉２０内は４５０℃〜７００℃、成膜槽
３０内は室温の各温度に保持される。
【００２６】昇華炉１０内ではパリレンの原料である固
体二量体のジパラキシリレンの気化が行われる。熱分解
炉２０内では、気化した二量体（構造式Ａ）を熱分解さ
せてパラキシリレンラジカル（構造式Ｂ）を発生させる
熱分解が行われる。成膜槽３０内には１０ｒｐｍ程度で
回転する回転台が設けられていて、この回転台上に電極
５形成後の圧電材料１とカバー部材２との一体化物が置
かれる。
体二量体のジパラキシリレンの気化が行われる。熱分解
炉２０内では、気化した二量体（構造式Ａ）を熱分解さ
せてパラキシリレンラジカル（構造式Ｂ）を発生させる
熱分解が行われる。成膜槽３０内には１０ｒｐｍ程度で
回転する回転台が設けられていて、この回転台上に電極
５形成後の圧電材料１とカバー部材２との一体化物が置
かれる。
【００２７】熱分解炉２０内で発生したパラキリレンラ
ジカルは成膜槽３０内で回転台上に置かれた圧電材料１
とカバー部材２に付着する。更に、この成膜槽３０内
で、圧電材料１とカバー部材２に付着したパラキシリレ
ンラジカルは、付着と同時に気相重合して高分子量のポ
リパラキシリレン（構造式Ｃ）の皮膜を形成する。ポリ
パラキシリレンの誘導体からなる樹脂皮膜の例を構造式
Ｄに示す。
ジカルは成膜槽３０内で回転台上に置かれた圧電材料１
とカバー部材２に付着する。更に、この成膜槽３０内
で、圧電材料１とカバー部材２に付着したパラキシリレ
ンラジカルは、付着と同時に気相重合して高分子量のポ
リパラキシリレン（構造式Ｃ）の皮膜を形成する。ポリ
パラキシリレンの誘導体からなる樹脂皮膜の例を構造式
Ｄに示す。
【００２８】
【化１】
【００２９】本発明において、絶縁膜８は、流路３の端
面３ａに被覆形成される膜厚が、他の部分、例えば流路
３内の電極５表面に被覆形成される膜厚よりも薄いこと
が好ましい。具体的には、流路３の端面３ａの膜厚を
０．１〜３μｍの範囲から、また他の部分の膜厚を３〜
１０μｍの範囲からそれぞれ選定して、流路３の端面３
ａに被覆形成される膜厚を他の部分よりも薄く形成する
ことが好ましい。流路３の端面３ａの絶縁膜８の膜厚
は、他の部分の膜厚に比較して薄くしても十分に絶縁効
果を発揮するため、このように流路３の端面３ａの膜厚
を薄くすることで、コストの削減を図ることが可能であ
る。
面３ａに被覆形成される膜厚が、他の部分、例えば流路
３内の電極５表面に被覆形成される膜厚よりも薄いこと
が好ましい。具体的には、流路３の端面３ａの膜厚を
０．１〜３μｍの範囲から、また他の部分の膜厚を３〜
１０μｍの範囲からそれぞれ選定して、流路３の端面３
ａに被覆形成される膜厚を他の部分よりも薄く形成する
ことが好ましい。流路３の端面３ａの絶縁膜８の膜厚
は、他の部分の膜厚に比較して薄くしても十分に絶縁効
果を発揮するため、このように流路３の端面３ａの膜厚
を薄くすることで、コストの削減を図ることが可能であ
る。
【００３０】なお、流路３の端面３ａに形成される絶縁
膜８の膜厚をその他の部分の膜厚よりも薄くするには、
回り込みが良好なパリレンの特性を利用して、パリレン
をインク供給口７側から導入すればよい。
膜８の膜厚をその他の部分の膜厚よりも薄くするには、
回り込みが良好なパリレンの特性を利用して、パリレン
をインク供給口７側から導入すればよい。
【００３１】また、本発明において、パリレンからなる
絶縁膜８を被覆形成した後に、該絶縁膜８を酸素を含む
ガス雰囲気でプラズマ処理することが好ましい。すなわ
ち、パリレンからなる絶縁膜８を形成した後、ノズル板
６を接合する前の圧電材料１とカバー部材２との一体化
物に対して、酸素を含むガス雰囲気でプラズマ処理す
る。酸素を含むガス雰囲気で行うプラズマ処理は、アル
ゴン等の不活性ガスのみによるプラズマ処理よりも有機
物であるパリレンの表面により多くの水酸基やカルボニ
ル基を生成し易く、濡れ性が優れている。
絶縁膜８を被覆形成した後に、該絶縁膜８を酸素を含む
ガス雰囲気でプラズマ処理することが好ましい。すなわ
ち、パリレンからなる絶縁膜８を形成した後、ノズル板
６を接合する前の圧電材料１とカバー部材２との一体化
物に対して、酸素を含むガス雰囲気でプラズマ処理す
る。酸素を含むガス雰囲気で行うプラズマ処理は、アル
ゴン等の不活性ガスのみによるプラズマ処理よりも有機
物であるパリレンの表面により多くの水酸基やカルボニ
ル基を生成し易く、濡れ性が優れている。
【００３２】プラズマ処理としては、例えば次の処理を
具体例として挙げることができる。 （処理条件） 装置：平行平板型反応装置 原料ガス：酸素 ガス流量：５０ｓｃｃｍ 圧力：１０Ｐａ 放電方法：高周波（１３．５６ＭＨｚ、出力２００Ｗ） 処理時間：２分間
具体例として挙げることができる。 （処理条件） 装置：平行平板型反応装置 原料ガス：酸素 ガス流量：５０ｓｃｃｍ 圧力：１０Ｐａ 放電方法：高周波（１３．５６ＭＨｚ、出力２００Ｗ） 処理時間：２分間
【００３３】この処理によれば、流路３の端面３ａを含
むパリレンからなる絶縁膜８は表面が活性化される。そ
の結果、処理前の水の接触角８５°が、処理後１０°と
なり、濡れ性が大幅に向上する。これにより絶縁膜８が
被覆された流路３の端面３ａでの接着剤の濡れ性が良好
となり、かかるプラズマ処理後に、流路３の端面３ａに
対してノズル板６を接着剤を用いて接合し、図１に示す
ようなインクジェット記録ヘッドを構成する際に、ノズ
ル板６と圧電材料１との接着力を十分に確保することが
可能となる。
むパリレンからなる絶縁膜８は表面が活性化される。そ
の結果、処理前の水の接触角８５°が、処理後１０°と
なり、濡れ性が大幅に向上する。これにより絶縁膜８が
被覆された流路３の端面３ａでの接着剤の濡れ性が良好
となり、かかるプラズマ処理後に、流路３の端面３ａに
対してノズル板６を接着剤を用いて接合し、図１に示す
ようなインクジェット記録ヘッドを構成する際に、ノズ
ル板６と圧電材料１との接着力を十分に確保することが
可能となる。
【００３４】また本発明において、ノズル板６を樹脂製
とし、絶縁膜８にこのパリレンを使用して、ノズル板６
及びパリレンからなる絶縁膜８を共に酸素を含むガス雰
囲気でプラズマ処理することも好ましい。すなわち、樹
脂製のノズル板６及びパリレンとも有機物であるため、
該ノズル板６と、パリレンからなる絶縁膜８が被覆形成
された圧電材料１及びカバー部材２の一体化物とを酸素
を含むガス雰囲気でそれぞれプラズマ処理することによ
り、ノズル板６及び絶縁膜８の濡れ性が共に大幅に向上
する。これによりノズル板６及び絶縁膜８が被覆された
流路３の端面３ａの接着剤の濡れ性が共に良好となり、
かかるプラズマ処理後に、流路３の端面３ａに対してノ
ズル板６を接着剤を用いて接合し、図１に示すようなイ
ンクジェット記録ヘッドを構成する際に、ノズル板６と
圧電材料１との接着力をより一層十分に確保できるよう
になる。
とし、絶縁膜８にこのパリレンを使用して、ノズル板６
及びパリレンからなる絶縁膜８を共に酸素を含むガス雰
囲気でプラズマ処理することも好ましい。すなわち、樹
脂製のノズル板６及びパリレンとも有機物であるため、
該ノズル板６と、パリレンからなる絶縁膜８が被覆形成
された圧電材料１及びカバー部材２の一体化物とを酸素
を含むガス雰囲気でそれぞれプラズマ処理することによ
り、ノズル板６及び絶縁膜８の濡れ性が共に大幅に向上
する。これによりノズル板６及び絶縁膜８が被覆された
流路３の端面３ａの接着剤の濡れ性が共に良好となり、
かかるプラズマ処理後に、流路３の端面３ａに対してノ
ズル板６を接着剤を用いて接合し、図１に示すようなイ
ンクジェット記録ヘッドを構成する際に、ノズル板６と
圧電材料１との接着力をより一層十分に確保できるよう
になる。
【００３５】樹脂製のノズル板６として使用できる材質
としては、インク吐出口を容易に加工形成できるプラス
チックが好ましく、具体的には、ポリカーボネート、ポ
リサルフォン、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリ
ベンズイミダゾール、ポリアセタール、ポリエチレン、
ポリエチレンテレフタレート、ポリスチレン、ポリフェ
ニレンオキサイド、その他、フェノール樹脂、アクリル
樹脂、エポキシ樹脂、ＡＢＳ樹脂等を用いることができ
る。
としては、インク吐出口を容易に加工形成できるプラス
チックが好ましく、具体的には、ポリカーボネート、ポ
リサルフォン、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリ
ベンズイミダゾール、ポリアセタール、ポリエチレン、
ポリエチレンテレフタレート、ポリスチレン、ポリフェ
ニレンオキサイド、その他、フェノール樹脂、アクリル
樹脂、エポキシ樹脂、ＡＢＳ樹脂等を用いることができ
る。
【００３６】
【発明の効果】本発明によれば、電極の絶縁性がより向
上したインクジェット記録ヘッドを提供することができ
る。
上したインクジェット記録ヘッドを提供することができ
る。
【００３７】また、本発明によれば、ノズル板の接着性
が良好なインクジェット記録ヘッドを提供することがで
きる。
が良好なインクジェット記録ヘッドを提供することがで
きる。
【図１】インクジェット記録ヘッドの概要を示す部分破
断斜視図
断斜視図
【図２】インクジェット記録ヘッドを流路の長さ方向に
沿う方向から見た部分断面図
沿う方向から見た部分断面図
【図３】インクジェット記録ヘッドを流路の長さ方向と
略直交する方向から見た部分断面図
略直交する方向から見た部分断面図
【図４】蒸着装置の構成の一例を示す説明図
１：圧電材料 ２：カバー部材 ３：流路 ３ａ：端面 ４：駆動壁 ５：電極 ６：ノズル板 ６ａ：インク吐出口 ７：インク供給口 ８：絶縁膜 １０：昇華炉 ２０：熱分解炉 ３０：成膜槽
Claims (4)
- 【請求項１】一部又は全部が圧電材料で形成された流路
と前記流路の端面に接合されているインク吐出口を有す
るノズル板と、前記流路内面に前記圧電材料を駆動する
ための電極を有し、前記電極を絶縁膜で被覆しているイ
ンクジェット記録ヘッドにおいて、前記絶縁膜が前記流
路の端面の全体又は一部を被覆していることを特徴とす
るインクジェット記録ヘッド。 - 【請求項２】前記絶縁膜がパリレンであり、該パリレン
が酸素を含むガス雰囲気でプラズマ処理されていること
を特徴とする請求項１記載のインクジェット記録ヘッ
ド。 - 【請求項３】前記ノズル板が樹脂からなると共に前記絶
縁膜がパリレンであり、ノズル板及びパリレンが酸素を
含むガス雰囲気でプラズマ処理されていることを特徴と
する請求項１記載のインクジェット記録ヘッド。 - 【請求項４】前記流路の端面の絶縁膜の膜厚が、他の部
分の膜厚より薄いことを特徴とする請求項１、２又は３
記載のインクジェット記録ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000324007A JP2002127431A (ja) | 2000-10-24 | 2000-10-24 | インクジェット記録ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000324007A JP2002127431A (ja) | 2000-10-24 | 2000-10-24 | インクジェット記録ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002127431A true JP2002127431A (ja) | 2002-05-08 |
Family
ID=18801601
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000324007A Pending JP2002127431A (ja) | 2000-10-24 | 2000-10-24 | インクジェット記録ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002127431A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019111733A (ja) * | 2017-12-25 | 2019-07-11 | コニカミノルタ株式会社 | インクジェットヘッド、インクジェット記録装置及びインクジェットヘッドの製造方法 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06143568A (ja) * | 1992-11-11 | 1994-05-24 | Seiko Epson Corp | インクジェットヘッド及びその製造方法 |
| JPH07329293A (ja) * | 1994-06-03 | 1995-12-19 | Citizen Watch Co Ltd | インクジェットヘッドおよびその製造方法 |
| JPH11342614A (ja) * | 1998-06-02 | 1999-12-14 | Brother Ind Ltd | インクジェットヘッドの製造方法 |
| JP2000177129A (ja) * | 1998-12-18 | 2000-06-27 | Konica Corp | インクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法 |
-
2000
- 2000-10-24 JP JP2000324007A patent/JP2002127431A/ja active Pending
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071016 |
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| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100609 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100622 |
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| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20101019 |