JP2002116451A - 液晶表示装置 - Google Patents
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Abstract
を確保することである。 【解決手段】 液晶表示装置用TFT基板の表示領域外
の縁の一つの角部に、ゲート及びデータ信号伝送用フィ
ルムを互いに連結するためのゲート信号用連結配線13
4が形成されており、このゲート信号用連結配線134
は、ゲート信号用連結線24及びその両端に連結される
第1及び第2ゲート信号用連結パッド26を有してい
る。また、第1及び第2ゲート信号用連結パッド26を
露出する接触孔76を有する保護膜及びゲート絶縁膜が
形成されている。また、ゲート信号伝送用フィルム12
0及びデータ信号伝送用フィルム110には、第1及び
第2接触孔76を通じて第1及び第2ゲート信号用連結
パッド26と各々連結され、少なくともリードの長さ方
向に第1又は第2接触孔76を完全に覆う第1又は第2
ゲート信号用リード123が形成されている。
Description
の製造方法に関し、さらに詳しくは、断線を防止するた
めの構成を備える液晶表示装置及びその製造方法に関す
るものである。
ている平板表示装置の中の一つであり、電気場を生成す
る多数の電極が形成されている二つの基板と、二つの基
板の間の液晶層と、それぞれの基板の外側面に付着され
て光を偏光させる二枚の偏光板とからなっており、電極
に電圧を印加して液晶層の液晶分子を再配列することに
よって透過する光の量を調節する表示装置である。
薄膜トランジスタが形成されているが、これは電極に印
加される電圧をスイッチングする役割を果たす。薄膜ト
ランジスタが形成される基板には多数の信号線、つまり
多数のゲート線及びデータ線が各々行方向と列方向とに
形成されている。ゲート線とデータ線との交差で定義さ
れる画素領域には画素電極が形成されており、薄膜トラ
ンジスタはゲート線を通じて伝達される走査信号に従っ
てデータ線を通じて伝達される画像信号を制御して画素
電極に送る。画素と画素を囲む配線との集合からなる表
示領域の外にはゲート線とデータ線とに各々連結されて
いる多数のゲートパッド及びデータパッドが形成されて
おり、これらのパッドは外部駆動集積回路と直接連結さ
れて、外部からの走査信号及び画像信号の印加を受けて
走査信号及び画像信号を該当する信号線に伝達する。
を伝達するためにゲート用印刷回路基板及びデータ用印
刷回路基板が基板の外側に位置している。薄膜トランジ
スタ基板とデータ用印刷回路基板との間にはデータ用電
気的信号をデータ信号に変換してデータパッド及びデー
タ線に出力するデータ駆動集積回路が実装されているデ
ータ信号伝送用フィルムが連結されている。また、薄膜
トランジスタ基板とゲート用印刷回路基板との間にはゲ
ート用電気的信号を走査信号に変換してゲートパッド及
びゲート線に出力するゲート駆動集積回路が実装されて
いるゲート信号伝送用フィルムが連結されている。
ムのゲート及びデータ信号用パッドと薄膜トランジスタ
基板のゲート及びデータパッドとが各々一つずつ連結さ
れるように整列した後には、異方性導電膜(ACF ; anis
otropic conducting film)を利用した熱圧着工程を通
じて薄膜トランジスタ基板と連結される。
にデータ用印刷回路基板からゲート用電気信号を出力
し、この信号をゲート信号伝送用フィルムに伝達するこ
ともできる。この場合は、ゲート用電気信号を伝達する
ゲート信号用配線をデータ用印刷回路基板に連結される
データ信号伝送用フィルムに形成し、薄膜トランジスタ
基板にゲート信号伝送用フィルムのゲート信号線とゲー
ト信号用配線とを連結させ得るゲート信号用連結配線を
形成して、二つの配線を連結することによってデータ用
印刷回路基板から印加されるゲート用電気信号をゲート
駆動集積回路に伝達する。
は、ゲート信号線とゲート信号用配線とを連結するゲー
ト信号用連結配線の両端のパッド部が接触特性を有する
ためには腐食が発生してはならず、異方性導電膜を利用
した熱圧着工程が完壁に行わなければならない。
表示装置において、パッド部の接触特性を確保すること
である。
信号伝送用フィルムのリードを用いてゲート信号用連結
配線のパッドを完全に覆ったり、リードとパッドとが連
結される接触部の段差を最小化することにある。
による液晶表示装置には、基板の上部にゲート線、これ
と絶縁して交差して多数の画素領域を定義する多数のデ
ータ線、ゲート用電気信号を伝達し、ゲート信号用連結
線とゲート信号用連結線の両端に各々連結されている第
1及び第2ゲート信号用連結パッドとを含むゲート信号
用連結配線、及び第1及び第2ゲート信号用連結パッド
を露出する第1及び第2接触孔を有する絶縁膜が形成さ
れている。基板にはゲート用電気信号の入力を受けてゲ
ート線にゲート信号を出力するゲート駆動集積回路が実
装されており、第1接触孔を通じて第1ゲート信号用連
結パッドと連結されている第1ゲート信号用リードを含
むゲート信号用第1配線が形成されているゲート信号伝
送用フィルムが付着されている。また、基板にはデータ
用電気信号の入力を受けてデータ線にデータ信号を出力
するデータ駆動集積回路が実装されており、第2接触孔
を通じて第2ゲート信号用連結パッドと連結されている
第2ゲート信号用リードを含むゲート信号用第2配線が
形成されているデータ信号伝送用フィルムが付着されて
いる。この時、第1または第2ゲート信号用リードは、
少なくともリードの長さ方向に第1または第2接触孔を
完全に覆うように形成されている。
送用フィルムと連結されており、ゲート駆動集積回路及
びデータ駆動集積回路にゲート用及びデータ用電気信号
を出力する印刷回路基板をさらに含む。
ている画素電極をさらに含み、画素電極と同一の層に
は、第1及び第2接触孔を覆っており、第1及び第2ゲ
ート信号用連結パッドと第1及び第2ゲート信号用リー
ドとの間に各々位置する第1及び第2ゲート信号用補助
連結パッドが形成されている。
縁膜とその上部に形成されているデータ線を覆う保護膜
とを含む。第1または第2ゲート信号用リードは少なく
とも長さ方向の接触孔の一辺を完全に覆うことが好まし
い。また、ゲート信号用連結配線はゲート線と同一な層
にすることができ、データ線と同一な層にすることがで
き、ゲート線と同一な層に形成されている第1ゲート信
号用連結配線とデータ線と同一な層に形成されている第
2ゲート信号用連結配線とを含むことができる。この時
の第1及び第2ゲート信号用連結配線は第1及び第2ゲ
ート信号用補助連結パッドを通じて連結されている。
のゲート線、ゲート線と絶縁して交差して多数の画素領
域を定義する多数のデータ線、ゲート用電気信号を伝達
し、ゲート信号用連結線とゲート信号用連結線の両端に
各々連結されている第1及び第2ゲート信号用連結パッ
ドとを含むゲート信号用連結配線、及び第1及び第2ゲ
ート信号用連結パッドを露出する第1及び第2接触孔を
有する絶縁膜が形成されている基板;基板に付着されて
おり、ゲート用電気信号の入力を受けてゲート線にゲー
ト信号を出力するゲート駆動集積回路が実装されてお
り、ゲート駆動集積回路及びゲート線との間を接続する
ゲート信号線と、第1接触孔を通じて第1ゲート信号用
連結パッドと連結されている第1ゲート信号用リードを
含むゲート信号用第1配線とが形成されているゲート信
号伝送用フィルム;基板に付着されており、第2接触孔
を通じて第2ゲート信号用連結パッドと連結されている
第2ゲー信号用リードを含むゲート信号用第2配線が形
成されている信号データ伝送用フィルム;を含んでい
る。そして、第1または第2ゲート信号用リードは、少
なくとも、リードの長さ方向に第1または第2接触孔を
完全に覆うように形成されている。
のゲート線、ゲート線と絶縁して交差して多数の画素領
域を定義する多数のデータ線、ゲート用電気信号を伝達
し、ゲート信号用連結線とゲート信号用連結線の両端に
各々連結されている第1及び第2ゲート信号用連結パッ
ドとを含むゲート信号用連結配線、第1及び第2ゲート
信号用連結パッドを露出する第1及び第2接触孔を有す
る絶縁膜、及び画素領域の絶縁膜の上部に形成された画
素電極が形成されている基板;基板に付着されており、
ゲート用電気信号の入力を受けてゲート線にゲート信号
を出力するゲート駆動集積回路が実装されており、ゲー
ト駆動集積回路及びゲート線との間を接続するゲート信
号線と、第1接触孔を通じて第1ゲート信号用連結パッ
ドと連結されている第1ゲート信号用リードを含むゲー
ト信号用第1配線とが形成されているゲート信号伝送用
フィルム;基板に付着されており、第2接触孔を通じて
第2ゲート信号用連結パッドと連結されている第2ゲー
ト信号用リードを含むゲート信号用第2配線が形成され
ている信号データ伝送用フィルム;を含んでいる。そし
て、第1または第2ゲート信号用リードは、少なくと
も、リードの長さ方向に第1または第2接触孔を完全に
覆うように形成されている。
1及び第2接触孔を覆っており、第1及び第2ゲート信
号用連結パッドと第1及び第2ゲート信号用リードとの
間に各々形成されている第1及び第2ゲート信号用補助
連結パッドをさらに含む場合がある。
縁膜と、ゲート絶縁膜の上部のデータ線を覆う保護膜と
を含む場合がある。また、第1又は第2ゲート信号用リ
ードは、少なくとも、長さ方向の接触孔の一辺を完全に
覆うように形成されている場合がある。
と同一な層に形成されており、第1及び第2接触孔は、
ゲート絶縁膜及び保護膜に形成されている場合がある。
また、ゲート信号用連結配線は、データ線と同一な層に
形成されており、第1及び第2接触孔は、保護膜にだけ
形成されている場合がある。
と同一な層に形成されている第1ゲート信号用連結配線
と、データ線と同一な層に形成されている第2ゲート信
号用連結配線とを含む場合がある。
は、第1及び第2ゲート信号用補助連結パッドを通じて
連結されている場合がある。また、信号伝送用フィルム
は、データ用電気信号の入力を受けてデータ線にデータ
信号を出力するデータ駆動集積回路が実装されているデ
ータ信号伝送用フィルムである場合がある。
れており、ゲート駆動集積回路及びデータ駆動集積回路
にゲート用及びデータ用電気信号を出力する印刷回路基
板をさらに含む場合がある。
のゲート線、ゲート線と交差して多数の画素領域を定義
する多数のデータ線、ゲート用電気信号を伝達し、ゲー
ト信号用連結線とゲート信号用連結線の両端に各々連結
されている第1及び第2ゲート信号用連結パッドとを含
むゲート信号用連結配線及び第1及び第2ゲート信号用
連結パッドを露出する第1及び第2接触孔を有する絶縁
膜が形成されている基板を含み、第1または第2ゲート
信号用連結パッドはデータ線と同一な層に形成されてい
る。
のゲート線、ゲート線と交差して多数の画素領域を定義
する多数のデータ線、ゲート用電気信号を伝達し、ゲー
ト信号用連結線とゲート信号用連結線の両端に各々連結
されている第1及び第2ゲート信号用連結パッドとを含
むゲート信号用連結配線、第1及び第2ゲート信号用連
結パッドを露出する第1及び第2接触孔を有する絶縁
膜、及び画素領域の絶縁膜の上部に形成された画素電極
が形成されているが形成されている基板を含み、第1ま
たは第2ゲート信号用連結パッドはデータ線と同一な層
に形成されている。
1及び第2接触孔を覆っており、第1及び第2ゲート信
号用連結パッドと第1及び第2ゲート信号用リードとの
間に各々形成されている第1及び第2ゲート信号用補助
連結パッドをさらに含む場合がある。
縁膜と、ゲート絶縁膜の上部のデータ線を覆う保護膜と
を含む場合がある。また、基板に付着されており、ゲー
ト用電気信号の入力を受けてゲート線にゲート信号を出
力するゲート駆動集積回路が実装されており、ゲート駆
動集積回路及びゲート線との間を接続するゲート信号線
と、第1接触孔を通じて第1ゲート信号用連結パッドと
連結されている第1ゲート信号用リードとを含むゲート
信号用第1配線が形成されているゲート信号伝送用フィ
ルムをさらに含む場合がある。
気信号の入力を受けてデータ線にデータ信号を出力する
データ駆動集積回路が実装されており、第2接触孔を通
じて第2ゲート信号用連結パッドと連結されている第2
ゲート信号用リードを含むゲート信号用第2配線が形成
されているデータ信号伝送用フィルムをさらに含む場合
がある。
て本発明による液晶表示装置の実施例に対して、本発明
の属する技術分野にて通常の知識を有する者が容易に実
施できるように詳細に説明する。
る液晶表示装置の構造について詳細に説明する。図1は
本発明の実施例による液晶表示装置を概略的に示した配
置図である。まず、図1のように絶縁基板10の上に横
方向に多数のゲート線21が形成されており、ゲート線
21と絶縁して交差して縦方向に多数のデータ線61が
形成されている。
多数の画素領域Pが定義され、このような多数の画素領
域Pが集まって画像を表示する表示領域Dを成す。それ
ぞれの画素領域Pにはゲート線21及びデータ線61と
連結されている薄膜トランジスタTFTが形成されてお
り、薄膜トランジスタTFTと連結されている画素電極
PEも形成されている。表示領域Dの外側(斜線部分)
にはブラックマトリックス11が形成されていて表示領
域Dの外部に漏洩する光を遮断している。
るためのゲート用及びデータ用電気信号を出力する印刷
回路基板100が位置しており、基板10と印刷回路基
板100とはデータ信号伝送用フィルム110を通じて
互いに電気的に連結されている。データ信号伝送用フィ
ルム110には映像信号を出力するデータ駆動集積回路
130が実装されており、接触部C2を通じてデータ線
61と連結されており、データ駆動集積回路130から
データ線61に映像信号を伝達する多数のデータ信号線
114が形成されている。また、データ信号伝送用フィ
ルム110には多数のゲート信号用第1配線115が形
成されている。
用フィルム120が基板10に電気的に連結されてお
り、ゲート信号伝送用フィルム120には走査信号また
はゲート信号を出力するゲート駆動集積回路140が実
装されている。また、ゲート信号伝送用フィルム120
には、多数のゲート信号用第2配線124、及び連結部
または接触部C1を通じてゲート線21に連結されてゲ
ート駆動集積回路140からゲート線21にゲート信号
を伝達するゲート信号線126が形成されている。
号用連結配線134が形成されており、ゲート信号用連
結配線134は、接触部C4、C3を通じてデータ信号
伝送用フィルム110のゲート信号用第1配線115と
ゲート信号伝送用フィルム120のゲート信号用第2配
線124とを電気的及び物理的に連結する。
はゲート信号用第3配線136が形成されており、それ
ぞれのゲート信号用第3配線136は、接触部またはパ
ッド部C5、C6を通じてゲート信号伝送用フィルム1
20のゲート信号用第2配線124と連結されている。
2、C3、C4、C5、C6は、基板10のパッドと多
数の信号線114、115、61、21、134、12
4、126、136の端部分に連結されている多数のパ
ッドを含み、これらは異方性導電膜を通じて互いに連結
されている。これについては後で具体的に説明する。
回路基板100から出力されたゲート用電気的信号は図
面の矢印方向のようにゲート信号用第1配線115を通
じてゲート信号用連結配線134に伝達されて、ゲート
信号用第2配線124を通じてゲート駆動集積回路14
0に入力されたりゲート信号用第3配線136に伝達さ
れる。その後、一部のゲート用電気的信号はゲート駆動
集積回路140でゲート信号に変換されてゲート信号線
126を通じてゲート線21に出力される。つまり、印
刷回路基板100から印加されたゲート用電気的信号の
一部は、ゲート信号用第1乃至第3配線115,12
4,136とゲート信号用連結配線134とを通じてゲ
ート線21に印加される。
他に印刷回路基板100と基板10とを連結する信号伝
送用フィルムが別途に形成されることができ、多数のゲ
ート信号用第1配線115は、複数の信号伝送用フィル
ムに形成されることができる。
トランジスタ基板の構造について図2乃至図6を参照し
て説明する。図2は本発明の実施例による液晶表示装置
用薄膜トランジスタ基板を示した配置図であり、図1に
おけるP部分の画素部及びパッド部C1、C2を拡大し
て示したものであり、図3及び図4は本発明の実施例に
よる液晶表示装置用薄膜トランジスタ基板の構造を示し
た配置図であって、図1におけるゲート信号用連結配線
及び接触部(またはパッド部)を拡大して示した配置図
であり、図5は図2におけるV−V'線に沿って切断して
示した断面図であり、図6は図3及び図4におけるVI−
VI'線に沿って切断して示した断面図である。
ジスタ基板の画素領域P及び接触部C1、C2、ゲート
信号用連結配線134及び接触部C3、C4について説
明する。ここで、ゲート信号用第3配線136及びパッ
ド部C5、C6はゲート信号用連結配線134及び接触
部C3、C4と同一な構造を有するので、これに対する
具体的な説明は省略する。
たはアルミニウム合金(Al alloy)、モリブデン(Mo)
またはモリブデン−タングステン合金(MoW)、クロム
(Cr)、タンタル(Ta)などの金属または導電体からな
るゲート配線21、22、23とゲート信号用連結配線
134(図1参照)とが形成されている。
ート線21、ゲート線21の分枝であるゲート電極2
2、ゲート線21の端に連結されて外部から走査信号の
印加を受けてゲート線21に伝達するゲートパッド23
を含み、ゲート信号用連結配線134は、ゲート信号用
連結線24及びゲート信号用連結線24の両端に連結さ
れているゲート信号用連結パッド26を含む。図3、図
4及び図6では二つの接触部C3、C4が同一な構造を
有するので、一つのみを示した。
号用連結配線24、26は単一層に形成されることもで
きるが、二重層以上に形成されることもできる。この場
合、一つの層は抵抗の小さい物質で、他の層は他の物質
との接触特性の良い物質で形成するのが好ましく、その
例としてはクロムとアルミニウム合金の二重膜またはモ
リブデンまたはモリブデン合金とアルミニウムの二重膜
が挙げられる。
号用連結配線24、26は窒化ケイ素(SiNX)などから
なるゲート絶縁膜30で覆われている。ゲート電極22
の上部のゲート絶縁膜30の上には非晶質ケイ素などの
半導体からなる半導体層41が形成されており、半導体
層41の上にはリンPのようなn型不純物がドーピング
されている非晶質ケイ素などの半導体からなる抵抗性接
触層52、53がゲート電極22を中心に両側に分離さ
れて形成されている。
30の上には、アルミニウムまたはアルミニウム合金、
モリブデンまたはモリブデン−タングステン合金、クロ
ム、タンタルなどの金属または導電体からなるデータ配
線61、62、63、64が形成されている。
データ線61、データ線61の分枝であるソース電極6
2、ゲート電極21を中心にソース電極62と対向する
ドレーン電極63、データ線61に連結されて外部から
画像信号の印加を受けてデータ線61に伝達するデータ
パッド64を含む。
ート配線21、22、23と同様に単一層に形成される
こともできるが、二重層以上に形成されることができ
る。二重層以上に形成する場合には、一つの層は抵抗の
小さい物質で形成し、他の層は他の物質との接触特性の
良い物質で形成するのが好ましい。
ソース電極62及びドレーン電極63は薄膜トランジス
タTFTをなしている。データ配線61、62、63、
64とこれらで遮られない半導体層41及びゲート絶縁
膜30の上には窒化ケイ素または有機絶縁膜からなる保
護膜70が形成されている。保護膜70は接触部C1で
ゲート絶縁膜30とともにゲートパッド23を露出する
接触孔73を有しているだけでなく、接触部C2でデー
タパッド64を露出する接触孔74を有しており、画素
部Pでドレーン電極63を露出する接触孔72を有して
いる。また、保護膜70はゲート絶縁膜30とともに接
触部C3、C4でゲート信号用連結パッド26を各々露
出する接触孔76を有している。
xide)またはIZO(indium zincoxide)などの透明導
電物質からなる画素電極80、補助ゲートパッド83、
補助データパッド84、ゲート信号用補助連結パッド8
6が形成されている。
ーン電極63と連結されて画像信号の伝達を受ける。補
助ゲートパッド83及び補助データパッド84は接触孔
73、74を介してゲートパッド23及びデータパッド
64と各々連結されており、これらはパッド23、64
と外部回路装置との接着性を補完し、パッド23、64
を保護する役割を果たす。
孔76を介してゲート信号用連結パッド26と連結され
ている。一方、ゲート信号伝送用フィルム120には絶
縁性樹脂膜121の上部にゲート信号用リード122が
形成されており、ゲート信号用リード122は導電性粒
子152と接着剤151とからなる異方性導電膜を通じ
て補助ゲートパッド83と物質的及び電気的に連結され
ている。この時、ゲート信号用リード122は長さ方向
に接触孔73を完全に覆うように形成されており、幅方
向にも接触孔73を完全に覆うように形成されている。
ここで、ゲート信号用リード122は接触孔73または
補助ゲートパッド83を完全に覆うように形成すること
ができ、そうしないこともできる。
は絶縁性樹脂膜111の上部にデータ信号用リード11
2が形成されており、データ信号用リード112は導電
性粒子152と接着剤151とからなる異方性導電膜を
通じて補助データパッド84と物質的及び電気的に連結
されている。この時、データ信号用リード112は長さ
方向に接触孔74を完全に覆うように形成されており、
幅方向にも接触孔74を完全に覆うように形成されてい
る。ここで、データ信号用リード112は接触孔74ま
たは補助データパッド84を完全に覆うように形成する
ことができ、そうしないこともできる。
びデータ信号伝送用フィルム110、120には絶縁性
樹脂膜111、121の上部にゲート信号用連結リード
123が形成されており、ゲート信号用連結リード12
3は導電性粒子152と接着剤151とからなる異方性
導電膜を通じてゲート信号用補助連結パッド86と各々
連結されていて、ゲート信号用第1及び第2連結配線1
15、124(図1参照)を電気的に互いに連結してい
る。この時、ゲート信号用連結リード123は長さ方向
に保護膜70及びゲート絶縁膜30の接触孔76を完全
に覆うように形成されており、幅方向にも接触孔76を
完全に覆うように形成されている。ここで、図4のよう
に、ゲート信号用連結リード123は幅方向に接触孔7
6またはゲート信号用補助連結パッド86の長さ方向の
両辺のうちの少なくとも一辺だけを覆うように形成する
ことができ、ゲート信号用連結リード123はゲート信
号用補助連結パッド86を完全に覆うように形成するこ
とができ、そうしないこともできる。
は、ゲート及びデータ信号伝送用フィルム110、12
0のゲート信号用連結リード123または異方性導電膜
を用いてゲート信号用補助連結パッド86の上部の接触
孔76を完全に覆うように形成することによってパッド
部C3、C4で発生する腐食を防止することができ、接
着力を補強することができるので、パッド部C3、C4
の接触特性を確保することができる。
するために接触孔76における段差を最小化することが
でき、このためにはゲート信号用連結配線134(図1
参照)におけるゲート信号用連結線をデータ配線61、
62、63、64と同一な層に形成することができ、混
用して形成することもできる。以下では、図面を参照し
て具体的に説明する。
よるゲート信号用連結配線の構造を示した図である。図
7a乃至図8bのように、大低の構造は図3、図4及び
図6と同一である。
は、ゲート信号用連結線65とこれと連結されたゲート
信号用連結パッド66とがゲート絶縁膜30の上部のデ
ータ配線61、62、63、64と同一な層に形成され
ており、ゲート信号用連結パッド66を露出する接触孔
75は保護膜70のみに形成されている。この時、接触
孔75はゲート信号用連結パッド66より小さく形成す
るのが好ましい。
ト信号用連結線24、65が二重であり、それぞれゲー
ト配線21、22、23及びデータ配線61、62、6
3、64と同一な層に形成されており、ゲート絶縁膜3
0及び保護膜70はゲート信号用連結パッド26を露出
する接触孔76を有しており、保護膜70はゲート信号
用連結パッド66を露出する接触孔75を有している。
ゲート信号用補助連結パッド86は接触孔75、76を
介してゲート信号用連結パッド26、66と連結されて
いて、ゲート信号用連結線24、65を互いに電気的及
び物理的に連結している。
減らすと同時にゲート信号用連結線24、65の断線を
補完することができ、配線抵抗を最小化することができ
る。この時、上部のゲート信号用連結パッド66は下部
のゲート信号用連結パッド26の上部まで延びることが
でき、この場合には前で言及した効果のみならずパッド
部C3、C4に流入する湿気を遮断することもできる。
成してパッド部C3、C4を補強する方法は、他のパッ
ド部C1、C2、C5、C6にも同一に適用することが
でき、図7a乃至図8bのような構造は多数のゲート信
号用連結配線134の中から選択的に適用することがで
きる。
装置における薄膜トランジスタ基板の製造方法を、図2
及び図8bを参照して説明すると次のとおりである。ま
ず、絶縁基板10の上にゲート配線用導電体層を蒸着
し、パターニングしてゲート配線21、22、23及び
ゲート信号用連結配線24、26を形成する。続いて、
ゲート絶縁膜30、非晶質ケイ素層及びn型不純物がド
ーピングされた非晶質ケイ素層を順次に蒸着し、上部の
二つの層をパターニングしてゲート電極22の上部に半
導体層41及び抵抗性接触層51を形成する。この時、
ゲート信号用連結線24の上部にも半導体パターンを残
すことができる。次に、データ配線用導電体層を蒸着
し、パターニングしてデータ配線61、62、63、6
4を形成する。この時、図7a乃至図8bのようにゲー
ト信号用連結配線65、66をともに形成することがで
きる。続いて、ソース電極62及びドレーン電極63の
間に露出された抵抗性接触層51を除去して二つの部分
52、53に分離し、半導体層41を露出する。その
後、保護膜70を蒸着し、パターニングして接触孔7
2、73、74、75、76を形成し、続いて、透明導
電物質を蒸着し、パターニングして画素電極80、補助
ゲートパッド83、補助データパッド84、ゲート信号
用補助連結パッド86を形成する。
タ基板の製造方法では半導体層41とデータ配線61、
62、63、64を異なるエッチング工程で形成した
が、一つのエッチング工程で形成することもできる。こ
のような製造方法では部分的に異なる透過率を有するマ
スクを用いて中間の厚さを有する感光膜パターンを形成
し、これをエッチングマスクとして用いて半導体層41
とデータ配線61、62、63、64とをともにパター
ニングする。この時、中間の厚さを有する部分はソース
電極62とドレーン電極63との間のチャンネル部が形
成される部分に位置するように形成し、厚い厚さを有す
る部分はデータ配線61、62、63、64が形成され
る部分に位置するように形成した後でパターニングす
る。このような方法で作られた構造では、データ配線6
1、62、63、64及びゲート信号用配線65、66
の下部に抵抗性接触層パターンと半導体パターンとが形
成され、抵抗性接触層52、53もデータ配線61、6
2、63、64の模様と同様形成される。また、半導体
層41も薄膜トランジスタのチャンネル部、つまり、ソ
ース電極62とドレーン電極63との間の部分を除いて
はデータ配線61、62、63、64の模様と同様に形
成される。
を用いて覆ったり接触部の段差を最小化し、ゲート信号
用連結配線を二重に形成して配線の断線を防止したり湿
気が流入することを防止することができるので、接触部
の接触特性を確保することができる。
示した配置図。
して示した図。
を拡大して示したものである。
を拡大して示したものである。
して示した断面図。
配線を示した図(その1)。
配線を示した図(その2)。
Claims (17)
- 【請求項1】多数のゲート線、前記ゲート線と絶縁して
交差して多数の画素領域を定義する多数のデータ線、ゲ
ート用電気信号を伝達し、ゲート信号用連結線と前記ゲ
ート信号用連結線の両端に各々連結されている第1及び
第2ゲート信号用連結パッドとを含むゲート信号用連結
配線、及び前記第1及び第2ゲート信号用連結パッドを
露出する第1及び第2接触孔を有する絶縁膜が形成され
ている基板、 前記基板に付着されており、前記ゲート用電気信号の入
力を受けて前記ゲート線にゲート信号を出力するゲート
駆動集積回路が実装されており、前記ゲート駆動集積回
路及び前記ゲート線との間を接続するゲート信号線と、
前記第1接触孔を通じて前記第1ゲート信号用連結パッ
ドと連結されている第1ゲート信号用リードを含むゲー
ト信号用第1配線とが形成されているゲート信号伝送用
フィルム、 前記基板に付着されており、前記第2接触孔を通じて前
記第2ゲート信号用連結パッドと連結されている第2ゲ
ート信号用リードを含むゲート信号用第2配線が形成さ
れている信号データ伝送用フィルムを含み、 前記第1または第2ゲート信号用リードは少なくとも前
記リードの長さ方向に前記第1または第2接触孔を完全
に覆うように形成されている液晶表示装置。 - 【請求項2】多数のゲート線、前記ゲート線と絶縁して
交差して多数の画素領域を定義する多数のデータ線、ゲ
ート用電気信号を伝達し、ゲート信号用連結線と前記ゲ
ート信号用連結線の両端に各々連結されている第1及び
第2ゲート信号用連結パッドとを含むゲート信号用連結
配線、前記第1及び第2ゲート信号用連結パッドを露出
する第1及び第2接触孔を有する絶縁膜、及び画素領域
の前記絶縁膜の上部に形成された画素電極が形成されて
いる基板、 前記基板に付着されており、前記ゲート用電気信号の入
力を受けて前記ゲート線にゲート信号を出力するゲート
駆動集積回路が実装されており、前記ゲート駆動集積回
路及び前記ゲート線との間を接続するゲート信号線と、
前記第1接触孔を通じて前記第1ゲート信号用連結パッ
ドと連結されている第1ゲート信号用リードを含むゲー
ト信号用第1配線とが形成されているゲート信号伝送用
フィルム、 前記基板に付着されており、前記第2接触孔を通じて前
記第2ゲート信号用連結パッドと連結されている第2ゲ
ート信号用リードを含むゲート信号用第2配線が形成さ
れている信号データ伝送用フィルムを含み、 前記第1または第2ゲート信号用リードは少なくとも前
記リードの長さ方向に前記第1または第2接触孔を完全
に覆うように形成されている液晶表示装置。 - 【請求項3】前記画素電極と同一な層に形成されて前記
第1及び第2接触孔を覆っており、前記第1及び第2ゲ
ート信号用連結パッドと第1及び第2ゲート信号用リー
ドとの間に各々形成されている第1及び第2ゲート信号
用補助連結パッドをさらに含む、請求項2に記載の液晶
表示装置。 - 【請求項4】前記絶縁膜は、前記ゲート線を覆うゲート
絶縁膜と、前記ゲート絶縁膜の上部の前記データ線を覆
う保護膜とを含む、請求項2又は3に記載の液晶表示装
置。 - 【請求項5】前記第1又は第2ゲート信号用リードは少
なくとも前記長さ方向の前記接触孔の一辺を完全に覆う
ように形成されている、請求項2から4のいずれかに記
載の液晶表示装置。 - 【請求項6】前記ゲート信号用連結配線は前記ゲート線
と同一な層に形成されており、前記第1及び第2接触孔
は前記ゲート絶縁膜及び保護膜に形成されている、請求
項2から5のいずれかに記載の液晶表示装置。 - 【請求項7】前記ゲート信号用連結配線は前記データ線
と同一な層に形成されており、前記第1及び第2接触孔
は前記保護膜にだけ形成されている、請求項4又は5に
記載の液晶表示装置。 - 【請求項8】前記ゲート信号用連結配線は、前記ゲート
線と同一な層に形成されている第1ゲート信号用連結配
線と、前記データ線と同一な層に形成されている第2ゲ
ート信号用連結配線とを含む、請求項2から7のいずれ
かに記載の液晶表示装置。 - 【請求項9】前記第1及び第2ゲート信号用連結配線
は、前記第1及び第2ゲート信号用補助連結パッドを通
じて連結されている、請求項8に記載の液晶表示装置。 - 【請求項10】前記信号伝送用フィルムは、データ用電
気信号の入力を受けて前記データ線にデータ信号を出力
するデータ駆動集積回路が実装されているデータ信号伝
送用フィルムである、請求項2から9のいずれかに記載
の液晶表示装置。 - 【請求項11】前記データ信号伝送用フィルムと連結さ
れており、前記ゲート駆動集積回路及び前記データ駆動
集積回路に前記ゲート用及びデータ用電気信号を出力す
る印刷回路基板をさらに含む、請求項10に記載の液晶
表示装置。 - 【請求項12】多数のゲート線、前記ゲート線と交差し
て多数の画素領域を定義する多数のデータ線、ゲート用
電気信号を伝達し、ゲート信号用連結線と前記ゲート信
号用連結線の両端に各々連結されている第1及び第2ゲ
ート信号用連結パッドとを含むゲート信号用連結配線及
び前記第1及び第2ゲート信号用連結パッドを露出する
第1及び第2接触孔を有する絶縁膜が形成されている基
板を含み、 前記第1または第2ゲート信号用連結パッドは前記デー
タ線と同一な層に形成されている液晶表示装置。 - 【請求項13】多数のゲート線、前記ゲート線と交差し
て多数の画素領域を定義する多数のデータ線、ゲート用
電気信号を伝達し、ゲート信号用連結線と前記ゲート信
号用連結線の両端に各々連結されている第1及び第2ゲ
ート信号用連結パッドとを含むゲート信号用連結配線、
前記第1及び第2ゲート信号用連結パッドを露出する第
1及び第2接触孔を有する絶縁膜、及び画素領域の前記
絶縁膜の上部に形成された画素電極が形成されているが
形成されている基板を含み、 前記第1または第2ゲート信号用連結パッドは前記デー
タ線と同一な層に形成されている液晶表示装置。 - 【請求項14】前記画素電極と同一な層に形成されて前
記第1及び第2接触孔を覆っており、前記第1及び第2
ゲート信号用連結パッドと第1及び第2ゲート信号用リ
ードとの間に各々形成されている第1及び第2ゲート信
号用補助連結パッドをさらに含む、請求項13に記載の
液晶表示装置。 - 【請求項15】前記絶縁膜は、前記ゲート線を覆うゲー
ト絶縁膜と、前記ゲート絶縁膜の上部の前記データ線を
覆う保護膜とを含む、請求項13又は14に記載の液晶
表示装置。 - 【請求項16】前記基板に付着されており、前記ゲート
用電気信号の入力を受けて前記ゲート線にゲート信号を
出力するゲート駆動集積回路が実装されており、前記ゲ
ート駆動集積回路及び前記ゲート線との間を接続するゲ
ート信号線と、前記第1接触孔を通じて前記第1ゲート
信号用連結パッドと連結されている第1ゲート信号用リ
ードとを含むゲート信号用第1配線が形成されているゲ
ート信号伝送用フィルムをさらに含む、請求項13から
15のいずれかに記載の液晶表示装置。 - 【請求項17】前記基板に付着されており、データ用電
気信号の入力を受けて前記データ線にデータ信号を出力
するデータ駆動集積回路が実装されており、前記第2接
触孔を通じて前記第2ゲート信号用連結パッドと連結さ
れている第2ゲート信号用リードを含むゲート信号用第
2配線が形成されているデータ信号伝送用フィルムをさ
らに含む、請求項13から16のいずれかに記載の液晶
表示装置。
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