JP2002116451A - 液晶表示装置 - Google Patents

液晶表示装置

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 液晶表示装置において、パッド部の接触特性
を確保することである。 【解決手段】 液晶表示装置用ＴＦＴ基板の表示領域外
の縁の一つの角部に、ゲート及びデータ信号伝送用フィ
ルムを互いに連結するためのゲート信号用連結配線１３
４が形成されており、このゲート信号用連結配線１３４
は、ゲート信号用連結線２４及びその両端に連結される
第１及び第２ゲート信号用連結パッド２６を有してい
る。また、第１及び第２ゲート信号用連結パッド２６を
露出する接触孔７６を有する保護膜及びゲート絶縁膜が
形成されている。また、ゲート信号伝送用フィルム１２
０及びデータ信号伝送用フィルム１１０には、第１及び
第２接触孔７６を通じて第１及び第２ゲート信号用連結
パッド２６と各々連結され、少なくともリードの長さ方
向に第１又は第２接触孔７６を完全に覆う第１又は第２
ゲート信号用リード１２３が形成されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は液晶表示装置及びそ
の製造方法に関し、さらに詳しくは、断線を防止するた
めの構成を備える液晶表示装置及びその製造方法に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示装置は、現在最も広く用いられ
ている平板表示装置の中の一つであり、電気場を生成す
る多数の電極が形成されている二つの基板と、二つの基
板の間の液晶層と、それぞれの基板の外側面に付着され
て光を偏光させる二枚の偏光板とからなっており、電極
に電圧を印加して液晶層の液晶分子を再配列することに
よって透過する光の量を調節する表示装置である。
【０００３】このような液晶表示装置の一つの基板には
薄膜トランジスタが形成されているが、これは電極に印
加される電圧をスイッチングする役割を果たす。薄膜ト
ランジスタが形成される基板には多数の信号線、つまり
多数のゲート線及びデータ線が各々行方向と列方向とに
形成されている。ゲート線とデータ線との交差で定義さ
れる画素領域には画素電極が形成されており、薄膜トラ
ンジスタはゲート線を通じて伝達される走査信号に従っ
てデータ線を通じて伝達される画像信号を制御して画素
電極に送る。画素と画素を囲む配線との集合からなる表
示領域の外にはゲート線とデータ線とに各々連結されて
いる多数のゲートパッド及びデータパッドが形成されて
おり、これらのパッドは外部駆動集積回路と直接連結さ
れて、外部からの走査信号及び画像信号の印加を受けて
走査信号及び画像信号を該当する信号線に伝達する。
【０００４】このように、薄膜トランジスタ基板に信号
を伝達するためにゲート用印刷回路基板及びデータ用印
刷回路基板が基板の外側に位置している。薄膜トランジ
スタ基板とデータ用印刷回路基板との間にはデータ用電
気的信号をデータ信号に変換してデータパッド及びデー
タ線に出力するデータ駆動集積回路が実装されているデ
ータ信号伝送用フィルムが連結されている。また、薄膜
トランジスタ基板とゲート用印刷回路基板との間にはゲ
ート用電気的信号を走査信号に変換してゲートパッド及
びゲート線に出力するゲート駆動集積回路が実装されて
いるゲート信号伝送用フィルムが連結されている。
【０００５】このようなゲート及びデータ伝送用フィル
ムのゲート及びデータ信号用パッドと薄膜トランジスタ
基板のゲート及びデータパッドとが各々一つずつ連結さ
れるように整列した後には、異方性導電膜（ACF ; anis
otropic conducting film）を利用した熱圧着工程を通
じて薄膜トランジスタ基板と連結される。
【０００６】この時、ゲート用印刷回路基板を使用せず
にデータ用印刷回路基板からゲート用電気信号を出力
し、この信号をゲート信号伝送用フィルムに伝達するこ
ともできる。この場合は、ゲート用電気信号を伝達する
ゲート信号用配線をデータ用印刷回路基板に連結される
データ信号伝送用フィルムに形成し、薄膜トランジスタ
基板にゲート信号伝送用フィルムのゲート信号線とゲー
ト信号用配線とを連結させ得るゲート信号用連結配線を
形成して、二つの配線を連結することによってデータ用
印刷回路基板から印加されるゲート用電気信号をゲート
駆動集積回路に伝達する。
【０００７】しかしながら、このような構造において
は、ゲート信号線とゲート信号用配線とを連結するゲー
ト信号用連結配線の両端のパッド部が接触特性を有する
ためには腐食が発生してはならず、異方性導電膜を利用
した熱圧着工程が完壁に行わなければならない。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、液晶
表示装置において、パッド部の接触特性を確保すること
である。
【０００９】、また本発明の目的は、ゲート及びデータ
信号伝送用フィルムのリードを用いてゲート信号用連結
配線のパッドを完全に覆ったり、リードとパッドとが連
結される接触部の段差を最小化することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】さらに詳しくは、本発明
による液晶表示装置には、基板の上部にゲート線、これ
と絶縁して交差して多数の画素領域を定義する多数のデ
ータ線、ゲート用電気信号を伝達し、ゲート信号用連結
線とゲート信号用連結線の両端に各々連結されている第
１及び第２ゲート信号用連結パッドとを含むゲート信号
用連結配線、及び第１及び第２ゲート信号用連結パッド
を露出する第１及び第２接触孔を有する絶縁膜が形成さ
れている。基板にはゲート用電気信号の入力を受けてゲ
ート線にゲート信号を出力するゲート駆動集積回路が実
装されており、第１接触孔を通じて第１ゲート信号用連
結パッドと連結されている第１ゲート信号用リードを含
むゲート信号用第１配線が形成されているゲート信号伝
送用フィルムが付着されている。また、基板にはデータ
用電気信号の入力を受けてデータ線にデータ信号を出力
するデータ駆動集積回路が実装されており、第２接触孔
を通じて第２ゲート信号用連結パッドと連結されている
第２ゲート信号用リードを含むゲート信号用第２配線が
形成されているデータ信号伝送用フィルムが付着されて
いる。この時、第１または第２ゲート信号用リードは、
少なくともリードの長さ方向に第１または第２接触孔を
完全に覆うように形成されている。
【００１１】このような液晶表示装置は、データ信号伝
送用フィルムと連結されており、ゲート駆動集積回路及
びデータ駆動集積回路にゲート用及びデータ用電気信号
を出力する印刷回路基板をさらに含む。
【００１２】また、画素領域の絶縁膜の上部に形成され
ている画素電極をさらに含み、画素電極と同一の層に
は、第１及び第２接触孔を覆っており、第１及び第２ゲ
ート信号用連結パッドと第１及び第２ゲート信号用リー
ドとの間に各々位置する第１及び第２ゲート信号用補助
連結パッドが形成されている。
【００１３】ここで、絶縁膜はゲート線を覆うゲート絶
縁膜とその上部に形成されているデータ線を覆う保護膜
とを含む。第１または第２ゲート信号用リードは少なく
とも長さ方向の接触孔の一辺を完全に覆うことが好まし
い。また、ゲート信号用連結配線はゲート線と同一な層
にすることができ、データ線と同一な層にすることがで
き、ゲート線と同一な層に形成されている第１ゲート信
号用連結配線とデータ線と同一な層に形成されている第
２ゲート信号用連結配線とを含むことができる。この時
の第１及び第２ゲート信号用連結配線は第１及び第２ゲ
ート信号用補助連結パッドを通じて連結されている。
【００１４】また、本発明に係る液晶表示装置は、多数
のゲート線、ゲート線と絶縁して交差して多数の画素領
域を定義する多数のデータ線、ゲート用電気信号を伝達
し、ゲート信号用連結線とゲート信号用連結線の両端に
各々連結されている第１及び第２ゲート信号用連結パッ
ドとを含むゲート信号用連結配線、及び第１及び第２ゲ
ート信号用連結パッドを露出する第１及び第２接触孔を
有する絶縁膜が形成されている基板；基板に付着されて
おり、ゲート用電気信号の入力を受けてゲート線にゲー
ト信号を出力するゲート駆動集積回路が実装されてお
り、ゲート駆動集積回路及びゲート線との間を接続する
ゲート信号線と、第１接触孔を通じて第１ゲート信号用
連結パッドと連結されている第１ゲート信号用リードを
含むゲート信号用第１配線とが形成されているゲート信
号伝送用フィルム；基板に付着されており、第２接触孔
を通じて第２ゲート信号用連結パッドと連結されている
第２ゲー信号用リードを含むゲート信号用第２配線が形
成されている信号データ伝送用フィルム；を含んでい
る。そして、第１または第２ゲート信号用リードは、少
なくとも、リードの長さ方向に第１または第２接触孔を
完全に覆うように形成されている。
【００１５】また、本発明に係る液晶表示装置は、多数
のゲート線、ゲート線と絶縁して交差して多数の画素領
域を定義する多数のデータ線、ゲート用電気信号を伝達
し、ゲート信号用連結線とゲート信号用連結線の両端に
各々連結されている第１及び第２ゲート信号用連結パッ
ドとを含むゲート信号用連結配線、第１及び第２ゲート
信号用連結パッドを露出する第１及び第２接触孔を有す
る絶縁膜、及び画素領域の絶縁膜の上部に形成された画
素電極が形成されている基板；基板に付着されており、
ゲート用電気信号の入力を受けてゲート線にゲート信号
を出力するゲート駆動集積回路が実装されており、ゲー
ト駆動集積回路及びゲート線との間を接続するゲート信
号線と、第１接触孔を通じて第１ゲート信号用連結パッ
ドと連結されている第１ゲート信号用リードを含むゲー
ト信号用第１配線とが形成されているゲート信号伝送用
フィルム；基板に付着されており、第２接触孔を通じて
第２ゲート信号用連結パッドと連結されている第２ゲー
ト信号用リードを含むゲート信号用第２配線が形成され
ている信号データ伝送用フィルム；を含んでいる。そし
て、第１または第２ゲート信号用リードは、少なくと
も、リードの長さ方向に第１または第２接触孔を完全に
覆うように形成されている。
【００１６】また、画素電極と同一な層に形成されて第
１及び第２接触孔を覆っており、第１及び第２ゲート信
号用連結パッドと第１及び第２ゲート信号用リードとの
間に各々形成されている第１及び第２ゲート信号用補助
連結パッドをさらに含む場合がある。
【００１７】また、絶縁膜は、ゲート線を覆うゲート絶
縁膜と、ゲート絶縁膜の上部のデータ線を覆う保護膜と
を含む場合がある。また、第１又は第２ゲート信号用リ
ードは、少なくとも、長さ方向の接触孔の一辺を完全に
覆うように形成されている場合がある。
【００１８】また、ゲート信号用連結配線は、ゲート線
と同一な層に形成されており、第１及び第２接触孔は、
ゲート絶縁膜及び保護膜に形成されている場合がある。
また、ゲート信号用連結配線は、データ線と同一な層に
形成されており、第１及び第２接触孔は、保護膜にだけ
形成されている場合がある。
【００１９】また、ゲート信号用連結配線は、ゲート線
と同一な層に形成されている第１ゲート信号用連結配線
と、データ線と同一な層に形成されている第２ゲート信
号用連結配線とを含む場合がある。
【００２０】また、第１及び第２ゲート信号用連結配線
は、第１及び第２ゲート信号用補助連結パッドを通じて
連結されている場合がある。また、信号伝送用フィルム
は、データ用電気信号の入力を受けてデータ線にデータ
信号を出力するデータ駆動集積回路が実装されているデ
ータ信号伝送用フィルムである場合がある。
【００２１】また、データ信号伝送用フィルムと連結さ
れており、ゲート駆動集積回路及びデータ駆動集積回路
にゲート用及びデータ用電気信号を出力する印刷回路基
板をさらに含む場合がある。
【００２２】また、本発明に係る液晶表示装置は、多数
のゲート線、ゲート線と交差して多数の画素領域を定義
する多数のデータ線、ゲート用電気信号を伝達し、ゲー
ト信号用連結線とゲート信号用連結線の両端に各々連結
されている第１及び第２ゲート信号用連結パッドとを含
むゲート信号用連結配線及び第１及び第２ゲート信号用
連結パッドを露出する第１及び第２接触孔を有する絶縁
膜が形成されている基板を含み、第１または第２ゲート
信号用連結パッドはデータ線と同一な層に形成されてい
る。
【００２３】また、本発明に係る液晶表示装置は、多数
のゲート線、ゲート線と交差して多数の画素領域を定義
する多数のデータ線、ゲート用電気信号を伝達し、ゲー
ト信号用連結線とゲート信号用連結線の両端に各々連結
されている第１及び第２ゲート信号用連結パッドとを含
むゲート信号用連結配線、第１及び第２ゲート信号用連
結パッドを露出する第１及び第２接触孔を有する絶縁
膜、及び画素領域の絶縁膜の上部に形成された画素電極
が形成されているが形成されている基板を含み、第１ま
たは第２ゲート信号用連結パッドはデータ線と同一な層
に形成されている。
【００２４】また、画素電極と同一な層に形成されて第
１及び第２接触孔を覆っており、第１及び第２ゲート信
号用連結パッドと第１及び第２ゲート信号用リードとの
間に各々形成されている第１及び第２ゲート信号用補助
連結パッドをさらに含む場合がある。
【００２５】また、絶縁膜は、ゲート線を覆うゲート絶
縁膜と、ゲート絶縁膜の上部のデータ線を覆う保護膜と
を含む場合がある。また、基板に付着されており、ゲー
ト用電気信号の入力を受けてゲート線にゲート信号を出
力するゲート駆動集積回路が実装されており、ゲート駆
動集積回路及びゲート線との間を接続するゲート信号線
と、第１接触孔を通じて第１ゲート信号用連結パッドと
連結されている第１ゲート信号用リードとを含むゲート
信号用第１配線が形成されているゲート信号伝送用フィ
ルムをさらに含む場合がある。
【００２６】また、基板に付着されており、データ用電
気信号の入力を受けてデータ線にデータ信号を出力する
データ駆動集積回路が実装されており、第２接触孔を通
じて第２ゲート信号用連結パッドと連結されている第２
ゲート信号用リードを含むゲート信号用第２配線が形成
されているデータ信号伝送用フィルムをさらに含む場合
がある。
【００２７】
【発明の実施の形態】それでは、添付した図面を参照し
て本発明による液晶表示装置の実施例に対して、本発明
の属する技術分野にて通常の知識を有する者が容易に実
施できるように詳細に説明する。
【００２８】まず、図１を参照して本発明の実施例によ
る液晶表示装置の構造について詳細に説明する。図１は
本発明の実施例による液晶表示装置を概略的に示した配
置図である。まず、図１のように絶縁基板１０の上に横
方向に多数のゲート線２１が形成されており、ゲート線
２１と絶縁して交差して縦方向に多数のデータ線６１が
形成されている。
【００２９】ゲート線２１とデータ線６１とが交差して
多数の画素領域Ｐが定義され、このような多数の画素領
域Ｐが集まって画像を表示する表示領域Ｄを成す。それ
ぞれの画素領域Ｐにはゲート線２１及びデータ線６１と
連結されている薄膜トランジスタＴＦＴが形成されてお
り、薄膜トランジスタＴＦＴと連結されている画素電極
ＰＥも形成されている。表示領域Ｄの外側（斜線部分）
にはブラックマトリックス１１が形成されていて表示領
域Ｄの外部に漏洩する光を遮断している。
【００３０】基板１０の上側には液晶表示装置を駆動す
るためのゲート用及びデータ用電気信号を出力する印刷
回路基板１００が位置しており、基板１０と印刷回路基
板１００とはデータ信号伝送用フィルム１１０を通じて
互いに電気的に連結されている。データ信号伝送用フィ
ルム１１０には映像信号を出力するデータ駆動集積回路
１３０が実装されており、接触部Ｃ２を通じてデータ線
６１と連結されており、データ駆動集積回路１３０から
データ線６１に映像信号を伝達する多数のデータ信号線
１１４が形成されている。また、データ信号伝送用フィ
ルム１１０には多数のゲート信号用第１配線１１５が形
成されている。
【００３１】基板１０の左側には多数のゲート信号伝送
用フィルム１２０が基板１０に電気的に連結されてお
り、ゲート信号伝送用フィルム１２０には走査信号また
はゲート信号を出力するゲート駆動集積回路１４０が実
装されている。また、ゲート信号伝送用フィルム１２０
には、多数のゲート信号用第２配線１２４、及び連結部
または接触部Ｃ１を通じてゲート線２１に連結されてゲ
ート駆動集積回路１４０からゲート線２１にゲート信号
を伝達するゲート信号線１２６が形成されている。
【００３２】表示領域Ｄの外の左側角部分にはゲート信
号用連結配線１３４が形成されており、ゲート信号用連
結配線１３４は、接触部Ｃ４、Ｃ３を通じてデータ信号
伝送用フィルム１１０のゲート信号用第１配線１１５と
ゲート信号伝送用フィルム１２０のゲート信号用第２配
線１２４とを電気的及び物理的に連結する。
【００３３】また、表示領域Ｄの外の基板１０の左側に
はゲート信号用第３配線１３６が形成されており、それ
ぞれのゲート信号用第３配線１３６は、接触部またはパ
ッド部Ｃ５、Ｃ６を通じてゲート信号伝送用フィルム１
２０のゲート信号用第２配線１２４と連結されている。
【００３４】ここで、パッド部または接触部Ｃ１、Ｃ
２、Ｃ３、Ｃ４、Ｃ５、Ｃ６は、基板１０のパッドと多
数の信号線１１４、１１５、６１、２１、１３４、１２
４、１２６、１３６の端部分に連結されている多数のパ
ッドを含み、これらは異方性導電膜を通じて互いに連結
されている。これについては後で具体的に説明する。
【００３５】このような構造の液晶表示装置では、印刷
回路基板１００から出力されたゲート用電気的信号は図
面の矢印方向のようにゲート信号用第１配線１１５を通
じてゲート信号用連結配線１３４に伝達されて、ゲート
信号用第２配線１２４を通じてゲート駆動集積回路１４
０に入力されたりゲート信号用第３配線１３６に伝達さ
れる。その後、一部のゲート用電気的信号はゲート駆動
集積回路１４０でゲート信号に変換されてゲート信号線
１２６を通じてゲート線２１に出力される。つまり、印
刷回路基板１００から印加されたゲート用電気的信号の
一部は、ゲート信号用第１乃至第３配線１１５，１２
４，１３６とゲート信号用連結配線１３４とを通じてゲ
ート線２１に印加される。
【００３６】一方、データ信号伝送用フィルム１１０の
他に印刷回路基板１００と基板１０とを連結する信号伝
送用フィルムが別途に形成されることができ、多数のゲ
ート信号用第１配線１１５は、複数の信号伝送用フィル
ムに形成されることができる。
【００３７】それでは、このような液晶表示装置用薄膜
トランジスタ基板の構造について図２乃至図６を参照し
て説明する。図２は本発明の実施例による液晶表示装置
用薄膜トランジスタ基板を示した配置図であり、図１に
おけるＰ部分の画素部及びパッド部Ｃ１、Ｃ２を拡大し
て示したものであり、図３及び図４は本発明の実施例に
よる液晶表示装置用薄膜トランジスタ基板の構造を示し
た配置図であって、図１におけるゲート信号用連結配線
及び接触部（またはパッド部）を拡大して示した配置図
であり、図５は図２におけるV−V'線に沿って切断して
示した断面図であり、図６は図３及び図４におけるVI−
VI'線に沿って切断して示した断面図である。
【００３８】まず、図２乃至図５を参照して薄膜トラン
ジスタ基板の画素領域Ｐ及び接触部Ｃ１、Ｃ２、ゲート
信号用連結配線１３４及び接触部Ｃ３、Ｃ４について説
明する。ここで、ゲート信号用第３配線１３６及びパッ
ド部Ｃ５、Ｃ６はゲート信号用連結配線１３４及び接触
部Ｃ３、Ｃ４と同一な構造を有するので、これに対する
具体的な説明は省略する。
【００３９】絶縁基板１０の上にアルミニウム（Al）ま
たはアルミニウム合金（Al alloy）、モリブデン（Mo）
またはモリブデン−タングステン合金（MoW）、クロム
（Cr）、タンタル（Ta）などの金属または導電体からな
るゲート配線２１、２２、２３とゲート信号用連結配線
１３４（図１参照）とが形成されている。
【００４０】ゲート配線は横方向に延びている多数のゲ
ート線２１、ゲート線２１の分枝であるゲート電極２
２、ゲート線２１の端に連結されて外部から走査信号の
印加を受けてゲート線２１に伝達するゲートパッド２３
を含み、ゲート信号用連結配線１３４は、ゲート信号用
連結線２４及びゲート信号用連結線２４の両端に連結さ
れているゲート信号用連結パッド２６を含む。図３、図
４及び図６では二つの接触部Ｃ３、Ｃ４が同一な構造を
有するので、一つのみを示した。
【００４１】ゲート配線２１、２２、２３及びゲート信
号用連結配線２４、２６は単一層に形成されることもで
きるが、二重層以上に形成されることもできる。この場
合、一つの層は抵抗の小さい物質で、他の層は他の物質
との接触特性の良い物質で形成するのが好ましく、その
例としてはクロムとアルミニウム合金の二重膜またはモ
リブデンまたはモリブデン合金とアルミニウムの二重膜
が挙げられる。
【００４２】ゲート配線２１、２２、２３及びゲート信
号用連結配線２４、２６は窒化ケイ素（SiNX）などから
なるゲート絶縁膜３０で覆われている。ゲート電極２２
の上部のゲート絶縁膜３０の上には非晶質ケイ素などの
半導体からなる半導体層４１が形成されており、半導体
層４１の上にはリンＰのようなｎ型不純物がドーピング
されている非晶質ケイ素などの半導体からなる抵抗性接
触層５２、５３がゲート電極２２を中心に両側に分離さ
れて形成されている。
【００４３】抵抗性接触層５２、５３及びゲート絶縁膜
３０の上には、アルミニウムまたはアルミニウム合金、
モリブデンまたはモリブデン−タングステン合金、クロ
ム、タンタルなどの金属または導電体からなるデータ配
線６１、６２、６３、６４が形成されている。
【００４４】データ配線は、縦方向に延びている多数の
データ線６１、データ線６１の分枝であるソース電極６
２、ゲート電極２１を中心にソース電極６２と対向する
ドレーン電極６３、データ線６１に連結されて外部から
画像信号の印加を受けてデータ線６１に伝達するデータ
パッド６４を含む。
【００４５】データ配線６１、６２、６３、６４及びゲ
ート配線２１、２２、２３と同様に単一層に形成される
こともできるが、二重層以上に形成されることができ
る。二重層以上に形成する場合には、一つの層は抵抗の
小さい物質で形成し、他の層は他の物質との接触特性の
良い物質で形成するのが好ましい。
【００４６】ここで、ゲート電極２２、半導体層４１、
ソース電極６２及びドレーン電極６３は薄膜トランジス
タＴＦＴをなしている。データ配線６１、６２、６３、
６４とこれらで遮られない半導体層４１及びゲート絶縁
膜３０の上には窒化ケイ素または有機絶縁膜からなる保
護膜７０が形成されている。保護膜７０は接触部Ｃ１で
ゲート絶縁膜３０とともにゲートパッド２３を露出する
接触孔７３を有しているだけでなく、接触部Ｃ２でデー
タパッド６４を露出する接触孔７４を有しており、画素
部Ｐでドレーン電極６３を露出する接触孔７２を有して
いる。また、保護膜７０はゲート絶縁膜３０とともに接
触部Ｃ３、Ｃ４でゲート信号用連結パッド２６を各々露
出する接触孔７６を有している。
【００４７】保護膜７０の上にはＩＴＯ（indium tin o
xide）またはＩＺＯ（indium zincoxide）などの透明導
電物質からなる画素電極８０、補助ゲートパッド８３、
補助データパッド８４、ゲート信号用補助連結パッド８
６が形成されている。
【００４８】画素電極８０は、接触孔７２を介してドレ
ーン電極６３と連結されて画像信号の伝達を受ける。補
助ゲートパッド８３及び補助データパッド８４は接触孔
７３、７４を介してゲートパッド２３及びデータパッド
６４と各々連結されており、これらはパッド２３、６４
と外部回路装置との接着性を補完し、パッド２３、６４
を保護する役割を果たす。
【００４９】ゲート信号用補助連結パッド８６は、接触
孔７６を介してゲート信号用連結パッド２６と連結され
ている。一方、ゲート信号伝送用フィルム１２０には絶
縁性樹脂膜１２１の上部にゲート信号用リード１２２が
形成されており、ゲート信号用リード１２２は導電性粒
子１５２と接着剤１５１とからなる異方性導電膜を通じ
て補助ゲートパッド８３と物質的及び電気的に連結され
ている。この時、ゲート信号用リード１２２は長さ方向
に接触孔７３を完全に覆うように形成されており、幅方
向にも接触孔７３を完全に覆うように形成されている。
ここで、ゲート信号用リード１２２は接触孔７３または
補助ゲートパッド８３を完全に覆うように形成すること
ができ、そうしないこともできる。
【００５０】また、データ信号伝送用フィルム１１０に
は絶縁性樹脂膜１１１の上部にデータ信号用リード１１
２が形成されており、データ信号用リード１１２は導電
性粒子１５２と接着剤１５１とからなる異方性導電膜を
通じて補助データパッド８４と物質的及び電気的に連結
されている。この時、データ信号用リード１１２は長さ
方向に接触孔７４を完全に覆うように形成されており、
幅方向にも接触孔７４を完全に覆うように形成されてい
る。ここで、データ信号用リード１１２は接触孔７４ま
たは補助データパッド８４を完全に覆うように形成する
ことができ、そうしないこともできる。
【００５１】また、二つの接触部Ｃ３、Ｃ４のゲート及
びデータ信号伝送用フィルム１１０、１２０には絶縁性
樹脂膜１１１、１２１の上部にゲート信号用連結リード
１２３が形成されており、ゲート信号用連結リード１２
３は導電性粒子１５２と接着剤１５１とからなる異方性
導電膜を通じてゲート信号用補助連結パッド８６と各々
連結されていて、ゲート信号用第１及び第２連結配線１
１５、１２４（図１参照）を電気的に互いに連結してい
る。この時、ゲート信号用連結リード１２３は長さ方向
に保護膜７０及びゲート絶縁膜３０の接触孔７６を完全
に覆うように形成されており、幅方向にも接触孔７６を
完全に覆うように形成されている。ここで、図４のよう
に、ゲート信号用連結リード１２３は幅方向に接触孔７
６またはゲート信号用補助連結パッド８６の長さ方向の
両辺のうちの少なくとも一辺だけを覆うように形成する
ことができ、ゲート信号用連結リード１２３はゲート信
号用補助連結パッド８６を完全に覆うように形成するこ
とができ、そうしないこともできる。
【００５２】このような本発明の液晶表示装置の構造で
は、ゲート及びデータ信号伝送用フィルム１１０、１２
０のゲート信号用連結リード１２３または異方性導電膜
を用いてゲート信号用補助連結パッド８６の上部の接触
孔７６を完全に覆うように形成することによってパッド
部Ｃ３、Ｃ４で発生する腐食を防止することができ、接
着力を補強することができるので、パッド部Ｃ３、Ｃ４
の接触特性を確保することができる。
【００５３】一方、接触部Ｃ３、Ｃ４の接触特性を確保
するために接触孔７６における段差を最小化することが
でき、このためにはゲート信号用連結配線１３４（図１
参照）におけるゲート信号用連結線をデータ配線６１、
６２、６３、６４と同一な層に形成することができ、混
用して形成することもできる。以下では、図面を参照し
て具体的に説明する。
【００５４】図７ａ乃至図８ｂは本発明の他の実施例に
よるゲート信号用連結配線の構造を示した図である。図
７ａ乃至図８ｂのように、大低の構造は図３、図４及び
図６と同一である。
【００５５】しかしながら、図７ａ及び図７ｂの場合に
は、ゲート信号用連結線６５とこれと連結されたゲート
信号用連結パッド６６とがゲート絶縁膜３０の上部のデ
ータ配線６１、６２、６３、６４と同一な層に形成され
ており、ゲート信号用連結パッド６６を露出する接触孔
７５は保護膜７０のみに形成されている。この時、接触
孔７５はゲート信号用連結パッド６６より小さく形成す
るのが好ましい。
【００５６】また、図８ａ及び図８ｂの場合には、ゲー
ト信号用連結線２４、６５が二重であり、それぞれゲー
ト配線２１、２２、２３及びデータ配線６１、６２、６
３、６４と同一な層に形成されており、ゲート絶縁膜３
０及び保護膜７０はゲート信号用連結パッド２６を露出
する接触孔７６を有しており、保護膜７０はゲート信号
用連結パッド６６を露出する接触孔７５を有している。
ゲート信号用補助連結パッド８６は接触孔７５、７６を
介してゲート信号用連結パッド２６、６６と連結されて
いて、ゲート信号用連結線２４、６５を互いに電気的及
び物理的に連結している。
【００５７】このような場合には段差による接触不良を
減らすと同時にゲート信号用連結線２４、６５の断線を
補完することができ、配線抵抗を最小化することができ
る。この時、上部のゲート信号用連結パッド６６は下部
のゲート信号用連結パッド２６の上部まで延びることが
でき、この場合には前で言及した効果のみならずパッド
部Ｃ３、Ｃ４に流入する湿気を遮断することもできる。
【００５８】このように、パッド２６、６６を二重に形
成してパッド部Ｃ３、Ｃ４を補強する方法は、他のパッ
ド部Ｃ１、Ｃ２、Ｃ５、Ｃ６にも同一に適用することが
でき、図７ａ乃至図８ｂのような構造は多数のゲート信
号用連結配線１３４の中から選択的に適用することがで
きる。
【００５９】このような本発明の実施例による液晶表示
装置における薄膜トランジスタ基板の製造方法を、図２
及び図８ｂを参照して説明すると次のとおりである。ま
ず、絶縁基板１０の上にゲート配線用導電体層を蒸着
し、パターニングしてゲート配線２１、２２、２３及び
ゲート信号用連結配線２４、２６を形成する。続いて、
ゲート絶縁膜３０、非晶質ケイ素層及びｎ型不純物がド
ーピングされた非晶質ケイ素層を順次に蒸着し、上部の
二つの層をパターニングしてゲート電極２２の上部に半
導体層４１及び抵抗性接触層５１を形成する。この時、
ゲート信号用連結線２４の上部にも半導体パターンを残
すことができる。次に、データ配線用導電体層を蒸着
し、パターニングしてデータ配線６１、６２、６３、６
４を形成する。この時、図７ａ乃至図８ｂのようにゲー
ト信号用連結配線６５、６６をともに形成することがで
きる。続いて、ソース電極６２及びドレーン電極６３の
間に露出された抵抗性接触層５１を除去して二つの部分
５２、５３に分離し、半導体層４１を露出する。その
後、保護膜７０を蒸着し、パターニングして接触孔７
２、７３、７４、７５、７６を形成し、続いて、透明導
電物質を蒸着し、パターニングして画素電極８０、補助
ゲートパッド８３、補助データパッド８４、ゲート信号
用補助連結パッド８６を形成する。
【００６０】このような液晶表示装置用薄膜トランジス
タ基板の製造方法では半導体層４１とデータ配線６１、
６２、６３、６４を異なるエッチング工程で形成した
が、一つのエッチング工程で形成することもできる。こ
のような製造方法では部分的に異なる透過率を有するマ
スクを用いて中間の厚さを有する感光膜パターンを形成
し、これをエッチングマスクとして用いて半導体層４１
とデータ配線６１、６２、６３、６４とをともにパター
ニングする。この時、中間の厚さを有する部分はソース
電極６２とドレーン電極６３との間のチャンネル部が形
成される部分に位置するように形成し、厚い厚さを有す
る部分はデータ配線６１、６２、６３、６４が形成され
る部分に位置するように形成した後でパターニングす
る。このような方法で作られた構造では、データ配線６
１、６２、６３、６４及びゲート信号用配線６５、６６
の下部に抵抗性接触層パターンと半導体パターンとが形
成され、抵抗性接触層５２、５３もデータ配線６１、６
２、６３、６４の模様と同様形成される。また、半導体
層４１も薄膜トランジスタのチャンネル部、つまり、ソ
ース電極６２とドレーン電極６３との間の部分を除いて
はデータ配線６１、６２、６３、６４の模様と同様に形
成される。
【００６１】
【発明の効果】このように、本発明では接触部をリード
を用いて覆ったり接触部の段差を最小化し、ゲート信号
用連結配線を二重に形成して配線の断線を防止したり湿
気が流入することを防止することができるので、接触部
の接触特性を確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例による液晶表示装置を概略的に
示した配置図。
【図２】図１における画素部とパッド部とをともに拡大
して示した図。
【図３】図１におけるゲート信号用連結配線のＣ３付近
を拡大して示したものである。
【図４】図１におけるゲート信号用連結配線のＣ４付近
を拡大して示したものである。
【図５】図２におけるV−V'線に沿った断面図。
【図６】図３及び図４におけるVI−VI'線に沿って切断
して示した断面図。
【図７ａ】本発明の他の実施例によるゲート信号用連結
配線を示した図（その１）。
【図７ｂ】図７ａのVIIｂ−VIIｂ'線に沿った断面図。
【図８ａ】本発明の他の実施例によるゲート信号用連結
配線を示した図（その２）。
【図８ｂ】図８ａのVIII−VIII'線に沿った断面図。
【符号の説明】
１０ 絶縁基板 １１ ブラックマトリックス ２１ ゲート線 ２２ ゲート電極 ２３ ゲートパッド ２４ ゲート信号用連結線 ２６、６６ ゲート信号用連結パッド ３０ ゲート絶縁膜 ４１ 半導体層 ５１、５２、５３ 抵抗性接触層 ６１ データ線 ６２ ソース電極 ６３ ドレイン電極 ６４ データパッド ６５ ゲート信号用連結線 ７０ 保護膜 ７２、７３、７４、７５、７６ 接触孔 ８０ 画素電極 ８３ 補助ゲートパッド ８４ 補助データパッド ８６ ゲート信号用補助連結パッド １００ 印刷回路基板 １１０ データ信号伝送用フィルム １１１、１２１ 絶縁性樹脂膜 １１２、１２２ ゲート信号用リード １１４ データ信号線 １１５ ゲート信号用第１配線 １２０ ゲート信号伝送用フィルム １２３ ゲート信号用連結パッド １２４ ゲート信号用第２配線 １２６ ゲート信号線 １３０ データ駆動集積回路 １３４ ゲート信号用連結配線 １３６ ゲート信号用第３配線 １４０ ゲート駆動集積回路 １５１ 接着剤 １５２ 導電性
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 金 相 洙 大韓民国ソウル市松坡区五倫洞オリンピッ ク選手村アパート328棟1005号 Ｆターム(参考） 2H090 HA03 HA04 HD05 JB03 LA01 LA04 2H092 GA25 GA28 GA50 GA51 JA24 JB57 NA15 PA01 PA06 5C094 AA21 AA32 BA03 BA43 CA19 DB01 DB02 DB03 DB04 EA04 EA07 EB02

Claims (17)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】多数のゲート線、前記ゲート線と絶縁して
    交差して多数の画素領域を定義する多数のデータ線、ゲ
    ート用電気信号を伝達し、ゲート信号用連結線と前記ゲ
    ート信号用連結線の両端に各々連結されている第１及び
    第２ゲート信号用連結パッドとを含むゲート信号用連結
    配線、及び前記第１及び第２ゲート信号用連結パッドを
    露出する第１及び第２接触孔を有する絶縁膜が形成され
    ている基板、 前記基板に付着されており、前記ゲート用電気信号の入
    力を受けて前記ゲート線にゲート信号を出力するゲート
    駆動集積回路が実装されており、前記ゲート駆動集積回
    路及び前記ゲート線との間を接続するゲート信号線と、
    前記第１接触孔を通じて前記第１ゲート信号用連結パッ
    ドと連結されている第１ゲート信号用リードを含むゲー
    ト信号用第１配線とが形成されているゲート信号伝送用
    フィルム、 前記基板に付着されており、前記第２接触孔を通じて前
    記第２ゲート信号用連結パッドと連結されている第２ゲ
    ート信号用リードを含むゲート信号用第２配線が形成さ
    れている信号データ伝送用フィルムを含み、 前記第１または第２ゲート信号用リードは少なくとも前
    記リードの長さ方向に前記第１または第２接触孔を完全
    に覆うように形成されている液晶表示装置。
  2. 【請求項２】多数のゲート線、前記ゲート線と絶縁して
    交差して多数の画素領域を定義する多数のデータ線、ゲ
    ート用電気信号を伝達し、ゲート信号用連結線と前記ゲ
    ート信号用連結線の両端に各々連結されている第１及び
    第２ゲート信号用連結パッドとを含むゲート信号用連結
    配線、前記第１及び第２ゲート信号用連結パッドを露出
    する第１及び第２接触孔を有する絶縁膜、及び画素領域
    の前記絶縁膜の上部に形成された画素電極が形成されて
    いる基板、 前記基板に付着されており、前記ゲート用電気信号の入
    力を受けて前記ゲート線にゲート信号を出力するゲート
    駆動集積回路が実装されており、前記ゲート駆動集積回
    路及び前記ゲート線との間を接続するゲート信号線と、
    前記第１接触孔を通じて前記第１ゲート信号用連結パッ
    ドと連結されている第１ゲート信号用リードを含むゲー
    ト信号用第１配線とが形成されているゲート信号伝送用
    フィルム、 前記基板に付着されており、前記第２接触孔を通じて前
    記第２ゲート信号用連結パッドと連結されている第２ゲ
    ート信号用リードを含むゲート信号用第２配線が形成さ
    れている信号データ伝送用フィルムを含み、 前記第１または第２ゲート信号用リードは少なくとも前
    記リードの長さ方向に前記第１または第２接触孔を完全
    に覆うように形成されている液晶表示装置。
  3. 【請求項３】前記画素電極と同一な層に形成されて前記
    第１及び第２接触孔を覆っており、前記第１及び第２ゲ
    ート信号用連結パッドと第１及び第２ゲート信号用リー
    ドとの間に各々形成されている第１及び第２ゲート信号
    用補助連結パッドをさらに含む、請求項２に記載の液晶
    表示装置。
  4. 【請求項４】前記絶縁膜は、前記ゲート線を覆うゲート
    絶縁膜と、前記ゲート絶縁膜の上部の前記データ線を覆
    う保護膜とを含む、請求項２又は３に記載の液晶表示装
    置。
  5. 【請求項５】前記第１又は第２ゲート信号用リードは少
    なくとも前記長さ方向の前記接触孔の一辺を完全に覆う
    ように形成されている、請求項２から４のいずれかに記
    載の液晶表示装置。
  6. 【請求項６】前記ゲート信号用連結配線は前記ゲート線
    と同一な層に形成されており、前記第１及び第２接触孔
    は前記ゲート絶縁膜及び保護膜に形成されている、請求
    項２から５のいずれかに記載の液晶表示装置。
  7. 【請求項７】前記ゲート信号用連結配線は前記データ線
    と同一な層に形成されており、前記第１及び第２接触孔
    は前記保護膜にだけ形成されている、請求項４又は５に
    記載の液晶表示装置。
  8. 【請求項８】前記ゲート信号用連結配線は、前記ゲート
    線と同一な層に形成されている第１ゲート信号用連結配
    線と、前記データ線と同一な層に形成されている第２ゲ
    ート信号用連結配線とを含む、請求項２から７のいずれ
    かに記載の液晶表示装置。
  9. 【請求項９】前記第１及び第２ゲート信号用連結配線
    は、前記第１及び第２ゲート信号用補助連結パッドを通
    じて連結されている、請求項８に記載の液晶表示装置。
  10. 【請求項１０】前記信号伝送用フィルムは、データ用電
    気信号の入力を受けて前記データ線にデータ信号を出力
    するデータ駆動集積回路が実装されているデータ信号伝
    送用フィルムである、請求項２から９のいずれかに記載
    の液晶表示装置。
  11. 【請求項１１】前記データ信号伝送用フィルムと連結さ
    れており、前記ゲート駆動集積回路及び前記データ駆動
    集積回路に前記ゲート用及びデータ用電気信号を出力す
    る印刷回路基板をさらに含む、請求項１０に記載の液晶
    表示装置。
  12. 【請求項１２】多数のゲート線、前記ゲート線と交差し
    て多数の画素領域を定義する多数のデータ線、ゲート用
    電気信号を伝達し、ゲート信号用連結線と前記ゲート信
    号用連結線の両端に各々連結されている第１及び第２ゲ
    ート信号用連結パッドとを含むゲート信号用連結配線及
    び前記第１及び第２ゲート信号用連結パッドを露出する
    第１及び第２接触孔を有する絶縁膜が形成されている基
    板を含み、 前記第１または第２ゲート信号用連結パッドは前記デー
    タ線と同一な層に形成されている液晶表示装置。
  13. 【請求項１３】多数のゲート線、前記ゲート線と交差し
    て多数の画素領域を定義する多数のデータ線、ゲート用
    電気信号を伝達し、ゲート信号用連結線と前記ゲート信
    号用連結線の両端に各々連結されている第１及び第２ゲ
    ート信号用連結パッドとを含むゲート信号用連結配線、
    前記第１及び第２ゲート信号用連結パッドを露出する第
    １及び第２接触孔を有する絶縁膜、及び画素領域の前記
    絶縁膜の上部に形成された画素電極が形成されているが
    形成されている基板を含み、 前記第１または第２ゲート信号用連結パッドは前記デー
    タ線と同一な層に形成されている液晶表示装置。
  14. 【請求項１４】前記画素電極と同一な層に形成されて前
    記第１及び第２接触孔を覆っており、前記第１及び第２
    ゲート信号用連結パッドと第１及び第２ゲート信号用リ
    ードとの間に各々形成されている第１及び第２ゲート信
    号用補助連結パッドをさらに含む、請求項１３に記載の
    液晶表示装置。
  15. 【請求項１５】前記絶縁膜は、前記ゲート線を覆うゲー
    ト絶縁膜と、前記ゲート絶縁膜の上部の前記データ線を
    覆う保護膜とを含む、請求項１３又は１４に記載の液晶
    表示装置。
  16. 【請求項１６】前記基板に付着されており、前記ゲート
    用電気信号の入力を受けて前記ゲート線にゲート信号を
    出力するゲート駆動集積回路が実装されており、前記ゲ
    ート駆動集積回路及び前記ゲート線との間を接続するゲ
    ート信号線と、前記第１接触孔を通じて前記第１ゲート
    信号用連結パッドと連結されている第１ゲート信号用リ
    ードとを含むゲート信号用第１配線が形成されているゲ
    ート信号伝送用フィルムをさらに含む、請求項１３から
    １５のいずれかに記載の液晶表示装置。
  17. 【請求項１７】前記基板に付着されており、データ用電
    気信号の入力を受けて前記データ線にデータ信号を出力
    するデータ駆動集積回路が実装されており、前記第２接
    触孔を通じて前記第２ゲート信号用連結パッドと連結さ
    れている第２ゲート信号用リードを含むゲート信号用第
    ２配線が形成されているデータ信号伝送用フィルムをさ
    らに含む、請求項１３から１６のいずれかに記載の液晶
    表示装置。
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