JP2002107301A - コヒーレントアンチストークスラマン散乱顕微鏡 - Google Patents
コヒーレントアンチストークスラマン散乱顕微鏡Info
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- JP2002107301A JP2002107301A JP2000303276A JP2000303276A JP2002107301A JP 2002107301 A JP2002107301 A JP 2002107301A JP 2000303276 A JP2000303276 A JP 2000303276A JP 2000303276 A JP2000303276 A JP 2000303276A JP 2002107301 A JP2002107301 A JP 2002107301A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 試料の状態を３次元的に観測することが可能
な新規な顕微鏡を提供する。 【解決手段】 レーザ光源１から発せられたレーザ光
は、増幅器２で増幅されるとともにパルス幅変換を受
け、ビームスプリッタ３で２分割される。分割された一
方の光波は、光パラメトリック増幅器４で波長変換を受
け、ハーフミラーで波長変換を受けていない分割された
他方のレーザ光と重ね合わされて単一のビームとなる。
異なる２つの波長からなる単一ビームのレーザ光は、回
転マイクロレンズアレイ７で分散され、得られた複数の
ビームからなる複数のレーザ光を対物レンズ８で収束さ
れた後、試料Ａの複数の部分に同時に入射させる。その
後、試料Ａから発せられるＣＡＲＳ光を対物レンズ９で
収束させた後、イメージインテンシファイア付きＣＣＤ
１１で受光し、コンピュータ１２で演算処理することに
より所定の３次元画像を得る。
な新規な顕微鏡を提供する。 【解決手段】 レーザ光源１から発せられたレーザ光
は、増幅器２で増幅されるとともにパルス幅変換を受
け、ビームスプリッタ３で２分割される。分割された一
方の光波は、光パラメトリック増幅器４で波長変換を受
け、ハーフミラーで波長変換を受けていない分割された
他方のレーザ光と重ね合わされて単一のビームとなる。
異なる２つの波長からなる単一ビームのレーザ光は、回
転マイクロレンズアレイ７で分散され、得られた複数の
ビームからなる複数のレーザ光を対物レンズ８で収束さ
れた後、試料Ａの複数の部分に同時に入射させる。その
後、試料Ａから発せられるＣＡＲＳ光を対物レンズ９で
収束させた後、イメージインテンシファイア付きＣＣＤ
１１で受光し、コンピュータ１２で演算処理することに
より所定の３次元画像を得る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、コヒーレントアン
チストークスラマン散乱顕微鏡に関し、特に医学生物学
及び薬学の分野、並びに半導体の欠陥検査などの工業用
分析の分野で好適に用いることができる、コヒーレント
アンチストークスラマン散乱顕微鏡に関する。
チストークスラマン散乱顕微鏡に関し、特に医学生物学
及び薬学の分野、並びに半導体の欠陥検査などの工業用
分析の分野で好適に用いることができる、コヒーレント
アンチストークスラマン散乱顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】分子の３次元分布を非染色で観測する方
法、及び半導体中のミクロンオーダからサブミクロンオ
ーダの不純物を観測する方法として、共焦点ラマン顕微
鏡を用いる方法がある。この共焦点ラマン顕微鏡によれ
ば、目的とする試料を高い３次元分解能で可視的に観測
することができる。しかしながら、この顕微鏡は光信号
強度が低い、また、分光器を必要とするために光の利用
効率が悪いという問題がある。さらには、蛍光性の試料
の観測において、ラマン光と蛍光性の試料の蛍光とが同
じ波長領域にある場合、このような蛍光性の試料を測定
することができない。また、試料の観測に長時間を要す
るという問題もある。
法、及び半導体中のミクロンオーダからサブミクロンオ
ーダの不純物を観測する方法として、共焦点ラマン顕微
鏡を用いる方法がある。この共焦点ラマン顕微鏡によれ
ば、目的とする試料を高い３次元分解能で可視的に観測
することができる。しかしながら、この顕微鏡は光信号
強度が低い、また、分光器を必要とするために光の利用
効率が悪いという問題がある。さらには、蛍光性の試料
の観測において、ラマン光と蛍光性の試料の蛍光とが同
じ波長領域にある場合、このような蛍光性の試料を測定
することができない。また、試料の観測に長時間を要す
るという問題もある。
【０００３】また、超短パルスレーザの発達により、試
料を多光子で励起して蛍光を観測する多光子励起蛍光顕
微鏡が開発されている。しかしながら、この顕微鏡では
蛍光性の試料、あるいは蛍光色素で染色しなければ観測
することができない。この染色作業は一般的に試料に悪
影響を与え、また、蛍光色素を介した情報しか得ること
ができないという問題を有する。
料を多光子で励起して蛍光を観測する多光子励起蛍光顕
微鏡が開発されている。しかしながら、この顕微鏡では
蛍光性の試料、あるいは蛍光色素で染色しなければ観測
することができない。この染色作業は一般的に試料に悪
影響を与え、また、蛍光色素を介した情報しか得ること
ができないという問題を有する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記問題を
有することなく、試料の状態を３次元的に観測すること
が可能な新規な顕微鏡を提供することを目的とする。
有することなく、試料の状態を３次元的に観測すること
が可能な新規な顕微鏡を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成すべく、
本発明は、波長の異なる２つの光波を試料の同一部分に
同時に入射させ、この２つの光波の周波数差が、前記試
料を構成する物質の分子振動数に一致することによって
発せられる、コヒーレントアンチストークスラマン散乱
光を観測することにより、前記試料の状態を３次元的に
観測することを特徴とする、コヒーレントアンチストー
クスラマン散乱顕微鏡に関する。
本発明は、波長の異なる２つの光波を試料の同一部分に
同時に入射させ、この２つの光波の周波数差が、前記試
料を構成する物質の分子振動数に一致することによって
発せられる、コヒーレントアンチストークスラマン散乱
光を観測することにより、前記試料の状態を３次元的に
観測することを特徴とする、コヒーレントアンチストー
クスラマン散乱顕微鏡に関する。
【０００６】本発明のコヒーレントアンチストークスラ
マン散乱顕微鏡は、波長の異なる２つの光波が物質に入
射した際、その２つの光波の周波数差が前記物質の分子
振動に一致した時に発生する、コヒーレントアンチスト
ークスラマン散乱（ＣＡＲＳ）光を観測し、このＣＡＲ
Ｓ光を計測することによって前記試料の状態を３次元的
に観測するものである。
マン散乱顕微鏡は、波長の異なる２つの光波が物質に入
射した際、その２つの光波の周波数差が前記物質の分子
振動に一致した時に発生する、コヒーレントアンチスト
ークスラマン散乱（ＣＡＲＳ）光を観測し、このＣＡＲ
Ｓ光を計測することによって前記試料の状態を３次元的
に観測するものである。
【０００７】このように、本発明のコヒーレントアンチ
ストークスラマン散乱顕微鏡は、ＣＡＲＳ光を用いるた
め分光器を必要とせず、光の利用効率が増大する。その
結果、得られる光信号強度も必然的に増大する。また、
試料が蛍光性であっても観測することができる。さら
に、ＣＡＲＳ光の計測によって試料の観測が可能となる
ので、観測時間を短くすることができる。
ストークスラマン散乱顕微鏡は、ＣＡＲＳ光を用いるた
め分光器を必要とせず、光の利用効率が増大する。その
結果、得られる光信号強度も必然的に増大する。また、
試料が蛍光性であっても観測することができる。さら
に、ＣＡＲＳ光の計測によって試料の観測が可能となる
ので、観測時間を短くすることができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明を発明の実施の形態
に基づいて詳細に説明する。図１は、本発明のコヒーレ
ントアンチストークスラマン散乱顕微鏡の一例を示す構
成図である。図１に示すコヒーレントアンチストークス
ラマン散乱顕微鏡は、例えばフェムト秒オーダ〜数十フ
ェムト秒オーダの超短パルスレーザなどから構成される
レーザ光源１と、パルス幅変換器として機能する増幅器
２と、ビームスプリッタ３と、波長変換器として機能す
る光パラメトリック増幅器４とを具えている。また、光
波分散器として機能する回転マイクロレンズアレイ７
と、試料ＡからのＣＡＲＳ光を受像するためのＣＣＤカ
メラ１１と、受像したＣＡＲＳ光を計測して試料Ａの状
態を３次元的に算出する演算手段としてのコンピュータ
１２とを具えている。
に基づいて詳細に説明する。図１は、本発明のコヒーレ
ントアンチストークスラマン散乱顕微鏡の一例を示す構
成図である。図１に示すコヒーレントアンチストークス
ラマン散乱顕微鏡は、例えばフェムト秒オーダ〜数十フ
ェムト秒オーダの超短パルスレーザなどから構成される
レーザ光源１と、パルス幅変換器として機能する増幅器
２と、ビームスプリッタ３と、波長変換器として機能す
る光パラメトリック増幅器４とを具えている。また、光
波分散器として機能する回転マイクロレンズアレイ７
と、試料ＡからのＣＡＲＳ光を受像するためのＣＣＤカ
メラ１１と、受像したＣＡＲＳ光を計測して試料Ａの状
態を３次元的に算出する演算手段としてのコンピュータ
１２とを具えている。
【０００９】さらに、レーザ光源１から発せられたレー
ザ光の光路を９０度変換して所定の光学系を構成すべ
く、ミラー５−１〜５−５及びハーフミラー６が設けら
れている。また、試料Ａの前後には対物レンズ８及び９
が設けられるとともに、対物レンズ９とＣＣＤカメラ１
１との間には、試料ＡからのＣＡＲＳ光のみを透過する
フィルタ１０が設けられている。
ザ光の光路を９０度変換して所定の光学系を構成すべ
く、ミラー５−１〜５−５及びハーフミラー６が設けら
れている。また、試料Ａの前後には対物レンズ８及び９
が設けられるとともに、対物レンズ９とＣＣＤカメラ１
１との間には、試料ＡからのＣＡＲＳ光のみを透過する
フィルタ１０が設けられている。
【００１０】上記の構成に示すように、レーザ光源を上
記のようなフェムト秒オーダ〜数十フェムト秒オーダの
超短パルスレーザ、すなわち数十フェムト秒オーダ以下
の超短パルスレーザから構成することにより、これらの
高い出力光強度に起因して極めて高い光信号強度を得る
ことができる。
記のようなフェムト秒オーダ〜数十フェムト秒オーダの
超短パルスレーザ、すなわち数十フェムト秒オーダ以下
の超短パルスレーザから構成することにより、これらの
高い出力光強度に起因して極めて高い光信号強度を得る
ことができる。
【００１１】一方、このような超短パルスレーザは、波
長分布の広がりが大きくなり、スペクトル分解能劣化の
原因となるため、上記のようなパルス幅変換器として作
用する増幅器などを設けることが好ましい。これによっ
て、例えば、上記のようなフェムト秒〜数十フェムト秒
オーダの超短パルスのレーザ光を、ピコ秒オーダのパル
ス幅に増大させることができ、波長分布の広がりを抑制
してスペクトル分解能を向上させることができる。
長分布の広がりが大きくなり、スペクトル分解能劣化の
原因となるため、上記のようなパルス幅変換器として作
用する増幅器などを設けることが好ましい。これによっ
て、例えば、上記のようなフェムト秒〜数十フェムト秒
オーダの超短パルスのレーザ光を、ピコ秒オーダのパル
ス幅に増大させることができ、波長分布の広がりを抑制
してスペクトル分解能を向上させることができる。
【００１２】次に、図１に示すコヒーレントアンチスト
ークスラマン散乱顕微鏡における動作原理について説明
する。レーザ光源１から発せられた、例えばフェムト秒
〜数十フェムト秒オーダのパルス幅を有する単一ビーム
のレーザ光は、パルス幅変換器として機能する増幅器２
において増幅されるとともに、そのパルス幅が例えばピ
コ秒のオーダに変換される。増幅器２から出たレーザ光
は、ビームスプリッタ３で２分割され、一方は光パラメ
トリック増幅器４に導入されて所定の波長変換を受け、
当初の波長と異なる波長を有するレーザ光に変換され
る。
ークスラマン散乱顕微鏡における動作原理について説明
する。レーザ光源１から発せられた、例えばフェムト秒
〜数十フェムト秒オーダのパルス幅を有する単一ビーム
のレーザ光は、パルス幅変換器として機能する増幅器２
において増幅されるとともに、そのパルス幅が例えばピ
コ秒のオーダに変換される。増幅器２から出たレーザ光
は、ビームスプリッタ３で２分割され、一方は光パラメ
トリック増幅器４に導入されて所定の波長変換を受け、
当初の波長と異なる波長を有するレーザ光に変換され
る。
【００１３】そして、波長変換されたレーザ光は、ミラ
ー５−１で反射されて９０度の光路変換を受けた後ハー
フミラー６に至り、ミラー５−２、５−３及び５−４か
ら構成される別の光学経路を通ってハーフミラー６に至
った２分割された他方のレーザ光と重ね合わされる。
ー５−１で反射されて９０度の光路変換を受けた後ハー
フミラー６に至り、ミラー５−２、５−３及び５−４か
ら構成される別の光学経路を通ってハーフミラー６に至
った２分割された他方のレーザ光と重ね合わされる。
【００１４】そして、重ね合わされて単一のビームとな
ったレーザ光は、ミラー５−５で９０度の光路変換を受
けた後、光波分散器として機能する回転マイクロレンズ
アレイ７に導入される。この回転マイクロレンズアレイ
は、回転ディスク上に複数の微小レンズが設けられた構
成を呈しており、前記重ね合わされて単一ビームとなっ
たレーザ光は、この回転マイクロレンズアレイ７を通過
することにより複数のビームに分散される。
ったレーザ光は、ミラー５−５で９０度の光路変換を受
けた後、光波分散器として機能する回転マイクロレンズ
アレイ７に導入される。この回転マイクロレンズアレイ
は、回転ディスク上に複数の微小レンズが設けられた構
成を呈しており、前記重ね合わされて単一ビームとなっ
たレーザ光は、この回転マイクロレンズアレイ７を通過
することにより複数のビームに分散される。
【００１５】そして、このようにして生成された複数の
レーザ光は、対物レンズ８によって収束された後に試料
Ａ上の複数の部分に同時に照射され、この結果、試料Ａ
の複数の部分からＣＡＲＳ光が発せられる。これら複数
のＣＡＲＳ光は対物レンズ９で収束され、フィルター１
０で前記複数のレーザ光成分が取り除かれた後に、イメ
ージインテンシアファイア付きＣＣＤ（Ｉ−ＣＣＤ）１
１に入射される。そして、受光された前記ＣＡＲＳ光
は、Ｉ−ＣＣＤ１１で電気信号に変換された後コンピュ
ータ１２に送られ、所定の演算処理を受ける。その結
果、前記ＣＡＲＳ光が３次元的に解析され、この解析結
果としての試料Ａの状態が３次元的に所定の画面上に映
し出されるものである。
レーザ光は、対物レンズ８によって収束された後に試料
Ａ上の複数の部分に同時に照射され、この結果、試料Ａ
の複数の部分からＣＡＲＳ光が発せられる。これら複数
のＣＡＲＳ光は対物レンズ９で収束され、フィルター１
０で前記複数のレーザ光成分が取り除かれた後に、イメ
ージインテンシアファイア付きＣＣＤ（Ｉ−ＣＣＤ）１
１に入射される。そして、受光された前記ＣＡＲＳ光
は、Ｉ−ＣＣＤ１１で電気信号に変換された後コンピュ
ータ１２に送られ、所定の演算処理を受ける。その結
果、前記ＣＡＲＳ光が３次元的に解析され、この解析結
果としての試料Ａの状態が３次元的に所定の画面上に映
し出されるものである。
【００１６】本例においては、回転マイクロレンズアレ
イ７を用い、２つの異なる波長を有する単一のレーザ光
を複数のビームに分散させて複数のレーザ光を生成し、
この複数のレーザ光を試料Ａに照射するようにしてい
る。その結果、試料Ａの同時多点測定が可能となり、試
料Ａを広範囲に亘って同時に観測することができる。こ
のため、試料Ａの全体の観測に要する時間をも短縮化さ
せることができる。
イ７を用い、２つの異なる波長を有する単一のレーザ光
を複数のビームに分散させて複数のレーザ光を生成し、
この複数のレーザ光を試料Ａに照射するようにしてい
る。その結果、試料Ａの同時多点測定が可能となり、試
料Ａを広範囲に亘って同時に観測することができる。こ
のため、試料Ａの全体の観測に要する時間をも短縮化さ
せることができる。
【００１７】図２は、図１に示す構成のコヒーレントア
ンチストークスラマン散乱顕微鏡を用いてポリスチレン
のフェニル骨格の観測を実施したものである。図２から
明らかなように、本発明のコヒーレントアンチストーク
スラマン散乱顕微鏡により、ポリスチレンのフェニル骨
格の振動に起因するＣＡＲＳ光が観測され、前記フェニ
ル骨格の観測が可能であることが判明した。また、この
場合の測定時間は数十秒であり、数十分の観測時間を必
要とする従来の共焦点ラマン顕微鏡などに比較して極め
て短縮化されていることが分かる。
ンチストークスラマン散乱顕微鏡を用いてポリスチレン
のフェニル骨格の観測を実施したものである。図２から
明らかなように、本発明のコヒーレントアンチストーク
スラマン散乱顕微鏡により、ポリスチレンのフェニル骨
格の振動に起因するＣＡＲＳ光が観測され、前記フェニ
ル骨格の観測が可能であることが判明した。また、この
場合の測定時間は数十秒であり、数十分の観測時間を必
要とする従来の共焦点ラマン顕微鏡などに比較して極め
て短縮化されていることが分かる。
【００１８】以上、具体例を挙げながら発明の実施の形
態に基づいて本発明を詳細に説明してきたが、本発明は
上記内容に限定されるものではなく、本発明の範疇を逸
脱しない限りにおいてあらゆる変形や変更が可能であ
る。
態に基づいて本発明を詳細に説明してきたが、本発明は
上記内容に限定されるものではなく、本発明の範疇を逸
脱しない限りにおいてあらゆる変形や変更が可能であ
る。
【００１９】例えば、図１においては、単一のレーザ光
源１と、ビームスプリッタ３と、光パラメトリック増幅
器４とを用い、レーザ光源１から発せられた単一のレー
ザ光をビームスプリッタ３で２分割し、分割された一方
のレーザ光を光パラメトリック増幅器４で波長変換させ
ることにより、波長の異なる２つの光波を生成させてい
る。しかしながら、当初から異なる波長の２つのレーザ
光源を用いることにより、上記のようなビームスプリッ
タや光パラメトリック増幅器４のような波長変換器など
を用いることなく、波長の異なる２つの光波を生成する
ことができる。
源１と、ビームスプリッタ３と、光パラメトリック増幅
器４とを用い、レーザ光源１から発せられた単一のレー
ザ光をビームスプリッタ３で２分割し、分割された一方
のレーザ光を光パラメトリック増幅器４で波長変換させ
ることにより、波長の異なる２つの光波を生成させてい
る。しかしながら、当初から異なる波長の２つのレーザ
光源を用いることにより、上記のようなビームスプリッ
タや光パラメトリック増幅器４のような波長変換器など
を用いることなく、波長の異なる２つの光波を生成する
ことができる。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように、コヒーレントアン
チストークスラマン散乱顕微鏡によれば、分光器を必要
としないため光の利用効率が高くなる。その結果、高い
光信号強度を得ることができ、解像度を増大させること
ができる。また、ＣＡＲＳ光を計測するために、蛍光性
の試料をも観測することができ、観測時間をも大幅に短
縮化することができる。
チストークスラマン散乱顕微鏡によれば、分光器を必要
としないため光の利用効率が高くなる。その結果、高い
光信号強度を得ることができ、解像度を増大させること
ができる。また、ＣＡＲＳ光を計測するために、蛍光性
の試料をも観測することができ、観測時間をも大幅に短
縮化することができる。
【図１】 本発明のコヒーレントアンチストークスラマ
ン散乱顕微鏡の一例を示す構成図である。
ン散乱顕微鏡の一例を示す構成図である。
【図２】 本発明のコヒーレントアンチストークスラマ
ン散乱顕微鏡を用いた、ポリスチレンフェニル骨格の観
測結果を示す写真である。
ン散乱顕微鏡を用いた、ポリスチレンフェニル骨格の観
測結果を示す写真である。
１ レーザ光源 ２ 増幅器 ３ ビームスプリッタ ４ 光パラメトリック増幅器 ５−１、５−２、５−３、５−４、５−５ ミラー ６ ハーフミラー ７ 回転マイクロレンズアレイ ８、９ 対物レンズ １０ フィルター １１ イメージインテンシファイア付きＣＣＤ（Ｉ−Ｃ
ＣＤ） １２ コンピュータ Ａ 試料
ＣＤ） １２ コンピュータ Ａ 試料
Claims (7)
- 【請求項１】 波長の異なる２つの光波を試料の同一部
分に同時に入射させ、この２つの光波の周波数差が、前
記試料を構成する物質の分子振動数に一致することによ
って発せられる、コヒーレントアンチストークスラマン
散乱光を観測することにより、前記試料の状態を３次元
的に観測することを特徴とする、コヒーレントアンチス
トークスラマン散乱顕微鏡。 - 【請求項２】 前記コヒーレントアンチストークスラマ
ン散乱顕微鏡は、レーザ光源と、ビームスプリッタと、
波長変換器とを具え、前記レーザ光源から発せられたレ
ーザ光を前記ビームスプリッタで２分割し、分割された
一方のレーザ光を前記波長可変器で周波数変換すること
により、前記波長の異なる２つの光波を得ることを特徴
とする、請求項１に記載のコヒーレントアンチストーク
スラマン散乱顕微鏡。 - 【請求項３】 前記２つの光波を複数に分散し、前記試
料の複数の部分のぞれぞれに同時に入射させて、前記試
料の前記複数の部分からのコヒーレントアンチストーク
スラマン散乱光を同時に観測することを特徴とする、請
求項１又は２に記載のコヒーレントアンチストークスラ
マン散乱顕微鏡。 - 【請求項４】 前記コヒーレントアンチストークスラマ
ン散乱顕微鏡は光波分散器を具え、この光波分散器で前
記２つの光波を複数に分散したことを特徴とする、請求
項３に記載のコヒーレントアンチストークスラマン散乱
顕微鏡。 - 【請求項５】 前記レーザ光源は、フェムト秒〜数十フ
ェムト秒オーダの超短パルスレーザであることを特徴と
する、請求項２〜４のいずれか一に記載のコヒーレント
アンチストークスラマン散乱顕微鏡。 - 【請求項６】 前記コヒーレントアンチストークスラマ
ン散乱顕微鏡は、パルス幅変換器を具えることを特徴と
する、請求項５に記載のコヒーレントアンチストークス
ラマン散乱顕微鏡。 - 【請求項７】 前記パルス幅変換器により、前記レーザ
光源から発せられたフェムト秒〜数十フェムト秒オーダ
の超短パルスレーザ光を、ピコ秒オーダの短パルスレー
ザ光に変換することを特徴とする、請求項６に記載のコ
ヒーレントアンチストークスラマン散乱顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000303276A JP2002107301A (ja) | 2000-10-03 | 2000-10-03 | コヒーレントアンチストークスラマン散乱顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000303276A JP2002107301A (ja) | 2000-10-03 | 2000-10-03 | コヒーレントアンチストークスラマン散乱顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002107301A true JP2002107301A (ja) | 2002-04-10 |
Family
ID=18784496
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000303276A Pending JP2002107301A (ja) | 2000-10-03 | 2000-10-03 | コヒーレントアンチストークスラマン散乱顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002107301A (ja) |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006276667A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Olympus Corp | 顕微鏡装置 |
| WO2007132540A1 (ja) * | 2006-05-15 | 2007-11-22 | Osaka University | パルスレーザ光のタイミング調整装置、調整方法及び光学顕微鏡 |
| JP2009512198A (ja) * | 2005-10-11 | 2009-03-19 | ビーティー イメージング ピーティーワイ リミテッド | 間接バンドギャップ半導体構造を検査する方法およびシステム |
| JP2009281923A (ja) * | 2008-05-23 | 2009-12-03 | Olympus Corp | レーザ顕微鏡装置 |
| JP2009293994A (ja) * | 2008-06-03 | 2009-12-17 | Nano Photon Kk | 光学顕微鏡、及び観察方法 |
| JP2010096666A (ja) * | 2008-10-17 | 2010-04-30 | Olympus Corp | レーザ顕微鏡装置 |
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