JP2002096251A

JP2002096251A - 希土類合金の切断方法および切断装置

Info

Publication number: JP2002096251A
Application number: JP2000271578A
Authority: JP
Inventors: Hajime Ishida; 一石田; Sadahiko Kondo; 禎彦近藤; Akira Miyaji; 章宮地
Original assignee: Sumitomo Special Metals Co Ltd
Current assignee: Hitachi Metals Ltd
Priority date: 1999-09-17
Filing date: 2000-09-07
Publication date: 2002-04-02

Abstract

(57)【要約】【課題】ワイヤ切れを防止して長時間の連続運転を可
能にするとともに、切断速度を向上させた希土類合金の
切断方法を提供する。【解決手段】砥粒を固着させたワイヤと希土類合金と
の間に切削液を供給しながら希土類合金を切断する。動
粘度が６．０〜１００．０ｍｍ²／ｓの範囲内にある切
削液を用いる。また、希土類合金の切断する際に生じた
合金スラッジを切削液内から磁力によって分離する。ス
ラッジを収集する領域において０．２７テスラ以上の磁
力を示すマグネットセパレータを用いる。切削液の温度
を制御することによって、ワイヤと希土類合金との間に
供給される切削液の粘度を調節する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、希土類合金の切断
方法および切断装置に関する。より詳細には、ダイヤモ
ンド砥粒等の超砥粒を固着させたワイヤを用いて希土類
合金を切断する方法および装置に関している。

【０００２】

【従来の技術】従来より、シリコンのインゴットから多
数のウェハを切り出すためにワイヤソーを用いてインゴ
ットを切断する技術が開発され、例えば特開平６−８２
３４号公報に開示されている。このような技術によれ
ば、走行するマルチワイヤに対して研削砥粒を含むスラ
リを供給しながらインゴットの切削・切断加工を実行
し、一定の厚さのウェハを多数枚同時に切り出すことが
可能になる。

【０００３】一方、希土類合金のインゴットを切断する
方法としては、従来から、例えば回転するスライシング
ブレードを用いてインゴットをスライスする技術が知ら
れている。しかし、スライシングブレードで切断する方
法によれば、切断刃の厚さはワイヤ径に比べて大きいた
め、どうしても削り代が多くなり、資源の有効利用がは
かれない。

【０００４】希土類合金は、例えば磁石材料として好適
に用いられている。磁石の用途は多様化し、各種の電子
機器にも広く使用されているため、ワイヤソーによって
希土類合金のインゴットから少ない削り代にて所定厚さ
のウェハを多数枚同時に作製することができれば、希土
類磁石の製造コストが大幅に低減される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、実用的
なワイヤソー技術を用いて希土類合金を切断したとの報
告は未だに無い。発明者らの実験によれば、遊離砥粒型
ワイヤソーによる切断加工処理を希土類合金のインゴッ
トに対して実行しようとすると、ワイヤソー加工によっ
て発生した微粉・研削くず（きりこ若しくはスラッジ）
のためにスラリ循環パイプが極めて短時間で詰まってし
まう結果、ワイヤ上にスラリが供給されなくなり、ワイ
ヤ切れが生じてしまうということがわかった。この問題
を回避するためにスラリ全体を数時間ごとに完全に交換
すると、スラリ交換の都度ワイヤソーによる加工を中断
しなければならなくなるため、量産には適さず、実用化
が不可能になる。また、スラッジは切削溝内にもたまり
やすく、そのせいで切削抵抗が著しく増加し、ワイヤ切
れがいっそう生じやすくなることもわかった。更に、切
断加工処理中、スラッジはローラの溝にもたまりやす
く、ワイヤが巻き付けられているローラからワイヤが脱
溝するなど現象が頻発し、切断精度が著しく低下すると
いう問題のあることもわかった。これらの問題は、何れ
も、従来のワイヤソー技術によってシリコンやガラスの
インゴットを切断する際には現れなかったものである。

【０００６】また、砥粒をスラリ中に浮遊させたタイプ
の遊離砥粒型ワイヤソーによれば、切断加工時に砥粒が
切削部において転動するため、単位時間あたりの切削量
（切断速度）の向上が難しいという問題もあった。特に
希土類合金はシリコンやガラスに比べて硬く、粘り気が
あり、切断しにくい材料であるため、遊離砥粒型ワイヤ
ソーを用いて希土類合金を切断した場合には切断速度が
かなり遅くなる。

【０００７】特開平８−１２６９５３号公報は、固定砥
粒を有するワイヤを用い、水をクーラントとしてシリコ
ンインゴットを切断する技術を開示している。しかし、
この技術を希土類合金の切断に用いると、希土類合金の
スラッジは切削溝からの排出性が悪いため、遊離砥粒の
場合と同様の問題が生じる。

【０００８】本発明は斯かる諸点に鑑みてなされたもの
であり、その主な目的は、ワイヤ切れを防止して長時間
の連続運転を可能にするとともに、切断速度を向上させ
ることができる希土類合金の切断方法および希土類合金
の切断装置を提供することにある。

【０００９】また、本発明の他の目的は、上記希土類合
金の切断方法を用いた希土類合金磁石の製造方法、なら
びに当該希土類合金磁石を備えたボイスコイルモータを
提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明による希土類合金
の切断方法は、砥粒を固着させたワイヤを用いる希土類
合金の切断方法であって、前記ワイヤと前記希土類合金
との間に所定の動粘度を有する切削液を供給しながら前
記希土類合金を切断することを特徴とする。

【００１１】前記ワイヤと前記希土類合金との間に供給
される前記切削液の動粘度が６．０ｍｍ²／ｓ〜１０
０．０ｍｍ²／ｓの範囲内にあることが好ましい。

【００１２】ある好ましい実施形態において、前記切削
液は切削油であり、前記切削油は、４０℃における粘度
が４．０から４０．０［ミリパスカル秒］の範囲内にあ
ることが好ましい。

【００１３】ある好ましい実施形態において、前記切削
液はグリコール系水溶性切削液であり、前記グリコール
系水溶性切削液は、２５℃における動粘度が１０．０ｍ
ｍ²／ｓ〜６７．０ｍｍ²／ｓの範囲内にあることが好ま
しい。

【００１４】前記切削液の温度を制御することによって
前記切削液の粘度を制御することが好ましい。

【００１５】前記希土類合金を切断する際に生じた前記
希土類合金のスラッジを含む切削液を回収する工程と、
前記切削液の温度を制御する前に、前記回収された切削
液からスラッジを除去する工程とを包含することが好ま
しい。

【００１６】前記切削液の温度を制御する工程は、スラ
ッジが除去された一部の切削液の温度を調節する工程
と、前記温度が調節された一部の切削液と温度が調節さ
れていない残りの切削液とを混合する工程とを包含し、
前記混合された切削液を前記ワイヤと前記希土類合金と
の間に供給することが好ましい。

【００１７】前記希土類合金を切断する際に生じた前記
希土類合金のスラッジを前記切削液内から磁力によって
分離することが好ましい。

【００１８】前記スラッジを収集する領域において０．
２７テスラ以上の磁力を示すマグネットセパレータを用
いることが好ましい。

【００１９】好ましい実施形態では、外周にリング状の
複数の溝が所定のピッチで形成され、回転可能に支持さ
れた複数のローラと、前記ローラを回転させながら前記
ローラの前記溝に巻き付けた前記ワイヤを走行させる駆
動手段とを備えたワイヤソー装置を用いる。

【００２０】前記ワイヤに対して、上方から下方に向か
って前記希土類合金を降下させながら前記希土類合金を
切断することが好ましい。

【００２１】前記希土類合金を複数のブロックに分割し
た状態で保持し、前記切削液の供給の少なくとも一部を
前記複数のブロックの間隙を介して行うことが好まし
い。

【００２２】本発明による希土類合金板の製造方法は、
希土類合金のインゴットを作製する工程と、上記何れか
の希土類合金の切断方法を用いて前記希土類合金のイン
ゴットから複数の希土類合金板を分離する工程とを包含
する。

【００２３】本発明による希土類合金磁石の製造方法
は、希土類磁石合金粉末から焼結体を作製する工程と、
上記何れかの希土類合金の切断方法を用いて前記焼結体
から複数の希土類合金磁石を分離する工程とを包含す
る。

【００２４】本発明によるボイスコイルモータは、上記
希土類合金磁石の製造方法によって作製された希土類合
金磁石を備えていることを特徴とする。

【００２５】好ましい実施形態では、前記希土類合金磁
石の厚さが０．５〜３．０ｍｍの範囲にある。

【００２６】本発明による希土類合金切断装置は、ワイ
ヤで希土類合金を切断する装置であって、砥粒が固着さ
れたワイヤと、前記ワイヤと前記希土類合金との間に所
定の動粘度を有する切削液を供給する手段とを備えてい
ることを特徴とする。

【００２７】前記ワイヤと前記希土類合金との間に供給
される切削液の動粘度が６．０ｍｍ ²／ｓ〜１００．０
ｍｍ²／ｓの範囲内にあることが好ましい。

【００２８】前記ワイヤと前記希土類合金との間に供給
される切削液の動粘度を制御する粘度制御手段をさらに
備えることが好ましい。

【００２９】前記粘度制御手段は、前記切削液の温度を
制御することによって前記切削液の動粘度を制御するこ
とが好ましい。

【００３０】前記粘度制御手段は、切削液を収容する容
器と、前記容器に収容された切削液の少なくとも一部の
温度を制御する温度調節機と、前記容器に収容された切
削液を攪拌する攪拌装置とを備えることが好ましい。

【００３１】前記希土類合金を切断する際に生じた前記
希土類合金のスラッジを前記切削液から磁力によって分
離するマグネットセパレータを備えていることが好まし
い。

【００３２】好ましい実施形態では、前記マグネットセ
パレータは、前記スラッジを収集する領域において０．
２７テスラ以上の磁力を示す。

【００３３】本明細書において、「切削液」とは、水を
主成分とし動粘度が約１ｍｍ²／ｓである切削水を除
く、不水溶性切削液（「不水溶性切削油剤」または「切
削油」と呼ばれることもある。）および水溶性切削液
（「水溶性切削油剤」と呼ばれることもある。）を指
す。

【００３４】

【発明の実施の形態】本願発明者は、切断速度を向上さ
せる目的のため、砥粒を固着させたワイヤを用いて希土
類合金を切断した。砥粒がワイヤに固定されることによ
って切削時における砥粒の転がりを阻止できるため、切
断速度が向上する。この方法による場合、砥粒を浮遊さ
せるためのスラリが不要になるが、スラッジを切削部か
ら洗い流す（排出する）ためには、切削水を切断加工部
分に供給する必要がある。本発明者の実験によれば、切
削水を用いた場合、希土類合金のスラッジが切削溝内に
たまりやすく、そのせいで切削抵抗が著しく増加し、ワ
イヤ切れが生じやすくなることがわかった。このような
現象は、前述のように遊離砥粒型の場合にも見られたも
のである。しかし、砥粒を固着させたワイヤを用いる場
合、切断対象である希土類合金から単位時間に削り取ら
れるスラッジの量が多くなるため、切削抵抗の増大は、
より大きな問題となる。

【００３５】また、凝集したスラッジがワイヤソー装置
内の切削水循環パイプ内で切削水の循環を阻害すると、
それによって切削水循環パイプが詰まるため、切削水の
交換を頻繁に行わない限り長時間の連続運転を実施する
ことが不可能になる。

【００３６】スラッジの沈殿・凝集は、希土類合金を構
成する鉄および希土類元素の比重が大きいために生じる
と考えられる。ワイヤソーを用いてシリコンや石英ガラ
スのインゴットを切断した場合は、スラッジは切削水に
よって速やかに洗い流され、スラッジの沈殿・凝集はほ
とんど生じず、そのことに起因する大きな問題は今まで
特に発生していなかった。

【００３７】さらに、切削水を用いて希土類合金を切断
した場合、固定砥粒を有するワイヤの摩耗が激しく、ワ
イヤの切削能力が短時間の間に低下する結果、切断速度
が大きく低下することがわかった。希土類合金は硬くて
粘り気が高い材料であるため、切断時においてワイヤと
希土類合金との間で生じる摩擦が大きい。切削水を用い
て希土類合金を切断する場合は、この摩擦を十分に低減
することができないものと考えられる。このことも、希
土類合金よりも切断が容易であるシリコンやガラスのイ
ンゴットを切断する際には、大きな問題にはなっていな
かった。

【００３８】本発明者は、切削水を用いる代わりに、所
定範囲の粘度を有する切削液（例えば精製鉱油を主成分
とする切削油やグリコール系の水溶性切削油剤など）を
用いることによって、切削抵抗を低減できることを見出
した。後述するように、切削液の動粘度は６．０ｍｍ²
／ｓ以上であることが望ましい。さらに、磁石に引きつ
けられるという希土類合金スラッジの性質に着目し、ス
ラッジを磁力で切削液から分離・除去することにした。
このようにすることによって、切削液の循環パイプ内で
の詰まりを防止するとともに、切削液の頻繁な交換をほ
とんど不要とし、連続運転時間を従来技術に比較して著
しく改善することを可能にした。

【００３９】また、切削液を循環させて使用する場合、
初期には室温程度の比較的低い温度で供給される切削液
の温度は、ワイヤと希土類合金との間で発生する摩擦熱
を切削液が吸収することによって段々と上昇する。切削
液を循環させて使用するうちに、切削液の温度は約５０
℃を上回り得る。

【００４０】本発明者の実験によれば、切削液の温度が
上昇すると、切削液の冷却性とともに切削液の粘性が低
下し、このように粘性が低下した切削液を供給した場合
には切断における切削抵抗が増加するということがわか
った。図１４に示すように、切削水の動粘度は温度に関
わらずほぼ一定（約１ｍｍ²／ｓ）であるのに対し、切
削液（切削油およびグリコール系水溶性切削液）の動粘
度は温度に依存して大きく変化する。

【００４１】ワイヤと希土類合金との間に供給される切
削液の粘度が温度の上昇に伴って大きく低下した場合、
ワイヤの走行によって形成される、切削溝内での切削液
の流れは悪くなるものと考えられる。粘度が低下した切
削液の動きは、ワイヤの動きの影響を受けにくい（すな
わち、切削液がワイヤと共には動きにくい）からであ
る。この場合、比重の大きい希土類合金のスラッジは、
切削溝から排出されにくくなり、その結果、溝内にたま
ったスラッジによって切削抵抗が増加する。希土類合金
のスラッジはシリコンなどのスラッジに比べて硬いた
め、スラッジが排出されない場合には切削抵抗が著しく
増加することになる。

【００４２】また、希土類合金に形成される切削溝の幅
は狭い（例えば、０．３ｍｍ以下）ので、切削溝に直接
切削液を供給することが困難であり、切削液はワイヤに
対して供給され、ワイヤに付着させた状態で切削溝内に
供給される。このような方法で供給される切削液は、そ
の粘度が低すぎるとワイヤから脱離しやすくなり、十分
な量が切削溝内に供給されなくなると考えられる。この
場合にも切削抵抗は増加する。このようにして切削抵抗
が増加すると、切削効率が低下し、ワイヤ切れが発生す
る可能性が高くなり、さらには希土類磁石の切断面の加
工精度が低下するという問題も生じる。

【００４３】そこで本発明者は、所定範囲の粘度を有す
る切削液を循環させて使用する場合において、切削液の
温度を調整することにした。こうすることで長時間にわ
たって連続運転を行ったときにも、切削液を所定範囲の
温度に維持できるとともに、切削液の動粘度を常に所望
の範囲内に制御することができた。これにより、切削抵
抗の増加を防いで効率的に精度良く希土類合金を切断す
ることが可能になった。なお、切削液の潤滑性も切削性
能に影響するため、切削液の好ましい動粘度の範囲は、
用いる切削液の種類によって多少異なり得る。また、切
削液は流動状態で供給されるので、本願明細書では、そ
の粘性を動粘度（単位：ｍｍ²／ｓ）で規定するが、静
粘度（単位：ミリパスカル秒）で規定することもでき
る。

【００４４】（実施形態）以下、本発明による希土類合
金板の製造方法の実施形態を説明する。本実施形態で
は、希土類合金としてネオジム（Ｎｄ）、鉄（Ｆｅ）お
よびホウ素（Ｂ）を主成分とする三元系の化合物Ｎｄ−
Ｆｅ−Ｂ、またはＮｄ−Ｆｅ−ＢのＮｄの一部をＤｙ
（ジスプロシウム）で置換し、Ｆｅの一部をＣｏ（コバ
ルト）で置換したものを用いる。Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂは、最
大エネルギー積が３２０ｋＪ／ｍ³を超える強力なネオ
ジム磁石材料として知られている。

【００４５】図１のフローチャートを参照しながら、Ｎ
ｄ−Ｆｅ−Ｂのインゴットを作製する方法を簡単に説明
する。なお、磁石材料としての希土類合金を作製する方
法は、例えば米国特許第４，７７０，７２３号明細書に
詳細に開示されている。

【００４６】まず、図１のステップＳ１で原料を所定の
成分比に正確に秤量した後、ステップＳ２で真空または
アルゴンガス雰囲気の高周波溶解炉にて原料を溶解す
る。溶解した原料を水冷の鋳型に鋳込み、所定の組成の
原料合金を形成する。ステップＳ３で原料合金を粉砕
し、平均粒径３〜４μｍ程度の微粉末を作製する。ステ
ップＳ４で微粉末を金型に入れ、磁界中でプレス成形す
る。このとき必要に応じて微粉末を潤滑剤と混合してか
らプレス成形を行う。次に、ステップＳ５で約１０００
〜１２００℃程度の焼結工程を行えばネオジム磁石素材
を作製することができる。この後、ステップＳ６で磁石
の保磁力を向上させるために約６００℃での時効処理を
実行し、希土類合金インゴットの作製を完了する。イン
ゴットのサイズは、例えば３０ｍｍ×５０ｍｍ×６０ｍ
ｍである。

【００４７】ステップＳ７では希土類合金インゴットの
切断加工を行い、インゴットから切断した複数の薄板
（基板またはウェハと称される場合がある）を形成す
る。ステップＳ８以降の説明を行う前に、以下において
希土類合金のインゴットを本発明によるワイヤソー技術
によって切断加工する方法を詳細に説明する。

【００４８】図２（ａ）および（ｂ）を参照する。ま
ず、上述の方法で作製した複数のインゴット２０を例え
ばエポキシ樹脂からなる接着剤２２にて相互に固着し、
複数のブロック２４ａ〜２４ｃとして組み立てた状態で
鉄製のワークプレート２６に固定する。ワークプレート
２６と各ブロック２４ａ〜２４ｃとの間の固着もまた接
着剤２２によって達成される。より詳細には、ワークプ
レート２６と各ブロック２４ａ〜２４ｃとの間には、ダ
ミーとして機能する炭素製ベースプレート２８が配置さ
れ、この炭素製ベースプレート２８も接着剤２２を介し
てワークプレート２６および各ブロック２４ａ〜２４ｃ
に固着されている。炭素製ベースプレート２８は、ブロ
ック２４ａ〜２４ｃの切断加工が終了した後、ワークプ
レート２６の下降動作が停止するまでワイヤソーによる
切断加工を受け、ワークプレート２６を保護するという
ダミーとしての役割を担っている。

【００４９】本実施形態では、図２（ａ）の矢印Ａで示
される方向（以下「ワイヤ走行方向」と称する）に沿っ
て計測した各ブロック２４ａ〜２４ｃのサイズが１００
ｍｍ程度になるように各ブロックの大きさを設計してい
る。本実施形態では、ひとつのインゴット２０について
ワイヤ走行方向に沿って計測したサイズが約５０ｍｍで
あるため、２つのインゴット２０をワイヤ走行方向に沿
って配列したものを重ね合わせることによって、上記ブ
ロック２４ａ〜２４ｃの各々を構成するようにしてい
る。

【００５０】ワークプレート２６に固定された複数のイ
ンゴット２０を全体として「ワーク」と称するが、この
ワークを複数のブロックに分割することによって、次の
ような利点が生まれる。

【００５１】一塊りのワークについて、ワイヤ走行方向
サイズ（切削溝の長さ）が切削液の引き込み量を越えて
大きくなりすぎると、ワークの切断加工部分のうち切削
液供給が不十分になる領域が発生し、このことによって
ワイヤ断線の生じるおそれがある。しかし、本実施形態
のワークは適当なサイズのブロック２４ａ〜２４ｃに分
割されているため、ブロック２４ａ〜２４ｃの隙間に切
削液を供給することが可能になり、切削液供給不足の問
題を解消できる。また、これにより、砥粒間にたまった
スラッジを洗い流すこともできるため、切断効率も向上
する。

【００５２】ブロック２４ａ〜２４ｃの隙間に切削液を
供給するため、本実施形態では、２本の切削液供給パイ
プ２９をワークプレート２８の上部に配置しており、ス
リット状ノズル２９ａを介して切削液供給パイプ２９内
から新鮮な切削液を下方向に噴射するようにしている。
切削液供給パイプ２９は、後述する切削液供給タンクか
らスラッジを含まない新鮮な切削液またはスラッジの除
去された切削液を受け取る。切削液供給パイプ２９は、
例えば二重管式の構造を持ち、下方のスリット２９ａの
幅は長手方向に変化し、均一な切削液供給を実現するよ
うに設計されている。

【００５３】本実施形態では上述のようにワークを複数
のブロックに分割しているが、各ブロック２４ａ〜２４
ｃの各々についてのワイヤ走行方向サイズをどの程度の
大きさに設定すべきかは、切削液の粘度やワイヤ走行速
度によっても変化する。また、各インゴット２０の大き
さによって、ひとつのブロックを構成するインゴット２
０の数や配置も変化する。これらを考慮して、適宜最適
なサイズのブロックにワークを分割すればよい。また、
本実施形態では、ワークプレート２６の上側に切削液供
給パイプ２９を設けているがワークプレート２６の下側
でブロック間に切削液を供給するようにしてもよい。

【００５４】次に、図３（ａ）および図３（ｂ）を参照
しながら、本実施形態で好適に使用されるワイヤソー装
置の主要部３０を説明する。このワイヤソー装置には、
一本のワイヤ３２が何重にも巻き付けられる３つのメイ
ンローラ３４ａ〜３４ｃが備えつけられている。このう
ち、二つのメインローラ３４ａおよび３４ｂは、ワイヤ
ソー装置によって回動自在に支持されているが、モータ
などの駆動手段には直接的に接続されておらず、従動ロ
ーラとして機能する。これに対して、メインローラ３４
ｃは不図示の駆動源例えばモータに接続されており、こ
の駆動源によって所望の回転力を受け、設定速度で回転
することができる。メインローラ３４ｃはワイヤ３２を
介して二つのメインローラ３４ａおよび３４ｂに回転力
を伝達するため、駆動ローラとして機能する。

【００５５】ワイヤ３２は、メインローラ３４ａ〜３４
ｃの回転に応じて数キログラム重の張力を受けながら案
内され、所定速度（例えば６００〜１０００ｍ／分）で
往復走行しながら不図示のリールから他の不図示のリー
ルに巻きとられていく。

【００５６】メインローラ３４ａ〜３４ｃの外周表面に
は、複数の溝が等間隔で形成されており、一本のワイヤ
３２が多数の溝内にはめ込まれるようにして各ローラに
巻き付けられる。ワイヤ３２の配列ピッチ（ワイヤ列の
間隔）は、この溝のピッチによって規定される。本実施
形態では、このピッチを約２．０ｍｍに設定している。
このピッチは切断加工によって切り出すべき薄板の厚さ
に応じて設定されるため、適宜適切なピッチを持った多
溝ローラ３４ａ〜３４ｃを選択して使用することにな
る。

【００５７】ワイヤ３２は、例えば硬鋼線（ピアノ線）
から形成され、その太さは０．０６〜０．２５ｍｍ程度
のものが使用される。ワイヤの断面構成を図６に示す。
図６からわかるように、本実施形態で用いるワイヤ芯線
６１の表面には粒径が３０〜６０μmのダイヤモンド砥
粒６２が樹脂膜６３によって固着されている。樹脂膜６
３は例えばフェノール樹脂などから形成され、その膜厚
は例えば０．０２〜０．０４ｍｍである。固着された状
態にある近接する砥粒６２どうしの間隔は、砥粒の中心
から中心までの距離で、砥粒６２の直径の約２〜４倍で
あることが好ましい。また樹脂膜６３に代えて、Ｎｉ等
の金属膜でダイヤモンド砥粒６２を固定することもでき
る。

【００５８】なお、ワイヤ芯線６１は、Ｎｉ−ＣｒやＦ
ｅ−Ｎｉ等の合金、ＷやＭｏ等の高融点金属、またはナ
イロン繊維を束ねたものから形成されていても良い。ま
た、砥粒の材料はダイヤモンドに限定されず、ＳｉＣ、
Ｂ、Ｃ、ＣＢＮ(Cubic BoronNitride)等であってもよ
い。

【００５９】切断加工処理に際して、ワークは走行する
ワイヤ３２のうちメインローラ３４ａとメインローラ３
４ｂとの間に張り渡された部分に押しあてられる。本実
施形態では、切削液を少なくとも３カ所からワイヤ３２
上に供給することができ、そのうち２カ所からの切削液
供給は、ワークプレート２６の上部に配置したパイプ２
９およびスリット状ノズル２９ａを用いブロックの隙間
を利用して行う。残り一カ所からの切削液供給は、図３
（ｂ）においてワークの左側からノズル３６を用いて行
う。切削液の供給は、これらのノズル２９ａおよび３６
に加えて、他のノズルを用い、例えば図３（ｂ）におい
てワークの右側の位置から付加的に行ってもよい。

【００６０】本実施形態では、ワークとワイヤとの間に
供給される切削液の動粘度が６．０〜１００．０ｍｍ²
／ｓに設定され得るように、切削液の材料の選択または
成分調整などを行っている。ワークに形成される切削溝
の幅は典型的には約０．３ｍｍ以下と非常に狭く、切削
溝に切削液を直接的に供給することは困難である。この
ため、ワイヤに対して切削液を供給し、これをワイヤに
よって溝内に引き込ませ、その後、溝外へと排出させて
いる。このようにして供給される切削液の動粘度が６．
０ｍｍ²／ｓより小さい場合、ワイヤの走行によって生
じる切削液の流れは低下し、比重が大きい希土類合金か
ら形成されるスラッジは切削溝から排出され難くなり、
その結果、切削抵抗が上昇する。また、切削液の動粘度
が低い場合、切削液はワイヤから脱離しやすく、十分な
量の切削液が切削溝内に供給されない。一方、動粘度が
１００．０ｍｍ²／ｓより大きい場合、切削液はワイヤ
から脱離しにくいものの、粘性が高すぎるため、非常に
狭い幅を有する切削溝に切削液が導入されにくく、導入
された切削液は切削溝から排出されにくい。この場合に
もスラッジの排出性が低下し、切削抵抗が大きくなる。
また、十分な量の切削液が切削溝内に供給されないと、
ワイヤと希土類合金との間で十分な潤滑性が得られず
（切れ味が低下する）、切断面の面粗度や寸法精度が悪
くなる。このような場合、その後の研磨加工に要する時
間が増加し、製造効率が低下する。ワイヤと希土類合金
との間に十分な潤滑性が提供されない場合、これらの間
で発生する摩擦が大きくなり、ワイヤの摩耗性が高くな
るという問題も生じる。その結果、切断効率が大きく減
少するとともに、ワイヤの寿命が短くなる。

【００６１】これに対し、上記範囲内に含まれる粘度を
有する切削液を使用すれば、希土類合金の切削溝内で生
じたスラッジ（すなわち、比重の大きい希土類合金（例
えば、ネオジム合金の比重は約７．５））は、速やかに
切削溝の外部へ流れだし（高い排出効率）、切削加工領
域から排除される。このため、切削溝内のスラッジがワ
イヤの走行を強く妨げることもなく、切削抵抗増加によ
るワイヤ切れや切断効率低下の問題を解決できる。ま
た、上述のような比較的粘性の低い切削液を使用すれ
ば、走行するワイヤによってメインローラにまで運ばれ
るスラッジの量も低減され、メインローラ上の溝内にス
ラッジがたまるという現象も抑制できる。この結果、ワ
イヤ切れが防止され、また、ワーク切断終了後にワーク
からワイヤを簡単にはずすことができるという利点もあ
る。ワイヤと希土類合金との間に供給される切削液の動
粘度は、１３．０ｍｍ²／ｓ〜９０ｍｍ²／ｓであること
がより好ましく、１３．０ｍｍ²／ｓ〜８０ｍｍ²／ｓで
あることがさらに好ましい。

【００６２】切削液には、不水溶性切削液（切削油）ま
たは水溶性切削液が含まれる。不水溶性切削液として
は、例えば、主成分として精製鉱油を含むほか、エステ
ル（２５〜３５％）、防錆添加剤（１％以下）、硫黄系
極圧添加剤（１％以下）を含有した切削油（ユシロ化学
工業株式会社製：ＨＴ−９）を用いることできる。この
ような切削油は安価であるため、これを用いればコスト
を低減することができる。水溶性切削液としては、例え
ば、グリコール系切削液（ユシロ化学工業株式会社製：
ＷＬ−２）を用いることができる。このような水溶性切
削液は不水溶性切削液（油）に比べ環境を汚染し難い。
また、水溶性切削液は、発煙、引火の危険性が少なく安
全であり、オイルミストを発生させないことから、水溶
性切削液を用いれば作業環境を改善することができる。
さらに、スラッジを除去することが容易であるため、水
溶性切削液は再使用に適した材料でもある。

【００６３】図３（ｂ）を参照する。ワークプレート２
６はワークの切断加工処理に際し、不図示の駆動装置に
よって所定の速度（例えば０．５〜１．０ｍｍ／分）で
下方向へ矢印Ｄに沿って動かされ、ワークプレート２６
に固定されたワークを、水平横方向（矢印Ａ方向）に走
行するワイヤ３２に押しつける。ワークとワイヤ３２と
の間に充分な量の切削液を供給することによってワーク
とワイヤ３２との間からスラッジを排出し、それによっ
てワークを連続的に切削することができる。ワークプレ
ート２６の降下速度を速くすると、切断効率は向上する
が、切削抵抗が上昇するためワイヤ３２の波打ち現象が
発生し、ワーク切断面の平面度が悪くなるおそれがあ
る。ワーク切断面の平面度劣化は、あとの工程での研磨
作業に要する時間を増大させたり、不良品の発生確率を
増加させる。従って、ワークの降下速度、つまりワーク
の切断速度を適切な範囲内に設定する必要が生じる。

【００６４】ワークの降下によって、一定ピッチで配列
されたワイヤ３２がマルチワイヤソーとしてワークを研
削し、それに伴って多数の加工溝（切削溝）をワークに
同時形成しながらその溝深さを増大させ、切断加工を進
行させることになる。加工溝が各インゴットを完全に横
切ったときに、そのインゴットの切断加工が達成され、
ワイヤ列のピッチおよびワイヤの太さによって決まる厚
さの多数のウェハが同時に切り出される。全てのインゴ
ット２０の切断が完了した後、前述の駆動装置によって
ワークプレート２６は矢印Ｄに沿って上昇させられる。
その後、各ブロックがワークプレート２６から分離され
るとともに、切断されたウェハが各ブロックから分離さ
れることになる。

【００６５】本実施形態では、ワイヤ３２の上方からワ
ークを降下させながら切断加工を実行するため、切断加
工を受けたインゴット２０は接着剤によってなおもワー
クプレート２６に結合した状態のまま、ワークプレート
２６ともに下降してゆく。このように切断加工を受けた
インゴット２０はワイヤの下方に位置するため、ワーク
の切断加工済み部分がワーク本体から分離・脱落したと
しても、その脱落部分がワイヤ３２と再度接触するおそ
れはない。そのため、切断加工済みの合金板は高い品質
状態で次の工程に回されることになる。

【００６６】次に、図４を参照しながら、ワイヤソー装
置４０の切削液循環システムの概略構成を説明する。図
４に模式的に示すように、装置４０内にはワイヤソー装
置の主要部３０に切削液を供給するとともに、加工によ
り形成されたスラッジを含む使用済み切削液を回収する
ための切削液循環システムが設けられている。

【００６７】この装置４０の場合、ワークの切断加工に
際して、切削液供給タンク４２から第１の循環パイプ４
４を介して、図３（ａ）および（ｂ）に示すワークプレ
ート２６上の切削液供給パイプ２９およびノズル３６に
切削液が供給される。このとき、ポンプＰ１が用いられ
る。切断加工のために用いられた切削液は、加工部分お
よびその周辺から滴下し、下方に位置する回収ドレイン
３７によって受け取られるようになっている。切削液は
回収ドレイン３７から第２の循環パイプ４６を介して分
離槽５４に運ばれ、そこで、後述するマグネットセパレ
ータ５０によるスラッジ分離処理を受けたのち回収タン
ク４８にためられる。このスラッジ分離処理によって切
断加工前の状態に近い状態に戻った切削液は、第３の循
環パイプ４９を介して切削液供給タンク４２に送られ
る。このときは中継ポンプＰ２が用いられる。第３の循
環パイプ４９の途中にはフィルタＦが挿入されており、
フィルタＦは、マグネットセパレータ５０によって除去
されなかったスラッジを除去することができる。フィル
タＦとしては袋状のバッグフィルタが好適に用いられ
る。

【００６８】なお、切削液供給タンク４２は、フィルタ
Ｆを透過し得た微細なスラッジを沈殿させることができ
る。このため、第１の循環パイプ４４を介して主要部３
０に送られる切削液中に残存しているスラッジの量を更
に低減することが可能である。このとき、マグネットセ
パレータ５０によって微細なスラッジは磁化されている
ので凝集し、沈殿しやすくなっている。

【００６９】このように本実施形態では、切削液の供給
および回収を循環的に実行しながら、スラッジの分離除
去（フィルタリング）を効率的に実行するため、切削液
交換作業の間隔が著しく延び、切断加工処理を長時間に
わたって連続的に続けることが可能になる。

【００７０】なお、特に切削油を用いる場合、切削油粘
度を所望の範囲内に維持するには、適当な時間間隔で新
しい切削油を補給することが好ましい。この場合、定期
的に切削油粘度を実測し、切削油粘度が設定範囲内から
外れる場合に随時新しい切削油を装置内（例えば、切削
液供給タンク４２）に補給するようにしてもよい。この
ような切削油の部分的な補給は、切断加工処理を中断す
ることなく行える点で切削油の全量的交換と大きく異な
っている。

【００７１】次に、図５を参照しながらマグネットセパ
レータ５０を説明する。このマグネットセパレータ５０
は、スラッジを含む使用済み切削液（ダーティ液）５２
を貯えた分離槽５４から、磁力を用いてスラッジを分離
することができる。分離槽５４には分離壁５４ａが設け
られている。この分離壁５４ａは、サイズの大きなスラ
ッジを分離槽５４に沈降させる機能を持つ。ダーティ液
５２中に浮遊し、ダーティ液５２とともに分離壁５４ａ
を乗り越えることができた細かいスラッジは、以下に詳
述する方法によって磁気的に分離されることになる。

【００７２】マグネットセパレータ５０は、内側に強力
な磁石（永久磁石または電磁石）が配置されたドラム５
６と、ドラム５６の外周面の一部に密着しながら回転す
る絞りローラ５７とを備えている。ドラム５６は固定軸
を中心に回転可能に支持されながら、分離槽５４内で切
削液５２に部分的に接触するように配置されている。絞
りローラ５７は、耐油性ゴムなどから形成されており、
ドラム５６の外周面に対してバネの付勢力によって圧接
される。ドラム５６が不図示のモータによって矢印の方
向に回転すると、その回転が絞りローラ５７に摩擦力を
与え、絞りローラ５７を回転駆動させる。

【００７３】回転するドラム５６の外周面には、切削液
５２中に浮遊するスラッジがドラム５６内の磁石によっ
て吸着する。ドラム５６の外周面に吸着したスラッジは
ドラム５６の回転に伴って切削液５２内から取り除か
れ、ドラム５６と絞りローラ５７との間を通過する。ス
ラッジは、やがてスクレイパ５８によってドラム５６の
表面から掻き取られ、スラッジボックス５９内に集めら
れる。このようにしてスラッジが除去された切削液はド
ラム５６の長手方向における端部からパイプ６０によっ
て回収タンク４８に運ばれる。このようなマグネットセ
パレータ５０として使用可能なスラッジ除去手段の構造
は、例えば実公昭６３−２３９６２号公報に開示されて
いる。のちに説明する発明者の実験によると、切削液中
の希土類合金のスラッジをドラム５６の表面に引き寄せ
るには、切削液５２内におけるドラム５６の外周面（ス
ラッジ吸着面）での磁力を０．２７テスラ以上にするこ
とが好ましく、０．３テスラ以上にすることが更に好ま
しい。比較的粘度の低い切削液を使用したことによっ
て、マグネットセパレータ５０による希土類合金スラッ
ジの収集を容易にするという利点をも得ることができ
る。切削液５２中に形成された磁界中を移動するスラッ
ジの受ける粘性抵抗が低減されるため、多くのスラッジ
を効率よく集めることが可能になるからである。

【００７４】このようなセパレータを用いて効率的にス
ラッジを除去すれば、循環使用される切削液に含まれる
スラッジの濃度を低く維持することができ、切削液の粘
度を低く維持することができるので、ワーク切断面でワ
イヤの受ける切断負荷を長期間にわたって充分に小さい
レベルに保つことができる。

【００７５】以下、図７および図８を参照しながら、温
度調節機を備えた別形態の切削液循環システム７０の構
成を説明する。なお、上記図４および図５に示した循環
システムに対して同様の構成を有する部分については同
様の参照符号を付している。以下には、上記図４および
図５に示した循環システムとは異なる構成を有する部分
について主に説明する。

【００７６】図７に示す切削液循環システム７０では、
ワークの切断加工に際して、浄化装置７２から第１の循
環パイプ７６を介して、ワイヤソー装置の主要部３０に
切削液が供給される。一方、主要部３０に設けられた回
収ドレイン３７によって受け取られたダーティ液は、第
２の循環パイプ７８を介して浄化装置７２に運ばれ、そ
こで、前述のマグネットセパレータ５０およびバッグフ
ィルタ８４によるスラッジ分離処理を受けたのち回収タ
ンク４８（分離槽８２および温度調節槽９２）にためら
れる。

【００７７】主要部３０において、ワイヤと希土類磁石
との間で発生する摩擦熱を吸収することによって、循環
システム７０を循環する切削液の温度は全体的に上昇す
る。温度の上昇に伴い切削液の粘性が低下すると、切断
における切削抵抗が増加してしまう。これに対し、循環
システム７０では、浄化装置７２に接続された温度調節
機７４を用いて、循環使用される切削液の温度を所定の
温度範囲内に維持することができる。温度調節機７４と
しては、熱交換器等を備えた公知の温度調節機（例えば
特公平８−２５１２５号公報に記載の温度制御装置な
ど）を使用することができ、好ましくは、温度調節機７
４は冷却機能と加熱機能との両方を備えている。

【００７８】温度調節機７４は、例えば、切削液の温度
が所定値を超えて上昇した場合に作動するように制御さ
れており、主要部３０に供給される切削液の温度を所定
範囲内に制御することができる。このように切削液の温
度調節を行えば、ワイヤと希土類磁石との間に供給され
る切削液の粘度を適切な状態に維持し、切削抵抗を増加
させることがないので、切削液の交換を行わずとも希土
類磁石の切断を連続して行うことができる。

【００７９】次に、図８を参照しながら浄化装置７２の
構成を説明する。この浄化装置７２は、前述のマグネッ
トセパレータ５０および分離槽８２を備える分離部８０
と、温度調節槽９２を備える温度調節部９０とから構成
されている。分離槽８２と温度調節槽９２とは隔壁８８
によって隔てられており、隔壁８８は、切削液が槽間を
自由に移動することを阻止する。隔壁８８の上部におい
て、連通部８８ａ（図８に示す形態においては、各槽８
２および９２の側壁の高さよりも低い高さを有する隔壁
部分上方の隙間）が形成されており、切削液は、連通部
８８ａを通って槽間を移動することができる。すなわ
ち、分離槽８２と温度調節槽９２とは、各槽の上部の位
置においてのみ流体が移動できるように、連通可能に接
続されている。

【００８０】分離部８０において、ワイヤソー装置から
運ばれたダーティ液は、マグネットセパレータ５０およ
びバッグフィルタ８４に供給される。マグネットセパレ
ータ５０は大量の切削液を短時間に処理する能力を有
し、比較的サイズの大きいスラッジを除去するのに適し
ている。一方、バッグフィルタは比較的サイズの小さい
スラッジを除去するのに適している。各分離装置（マグ
ネットセパレータ５０およびバッグフィルタ８４）の処
理能力や、切削液に含まれるスラッジの大きさ、量など
に応じて、各分離装置への切削液の供給割合を適切に設
定すれば、スラッジを効率良く分離させることが可能で
ある。マグネットセパレータ５０およびバッグフィルタ
８４への切削液の供給割合は、例えば８：２に設定され
る。ただし、分離装置の形態はこれに限られず、例え
ば、マグネットセパレータ５０を出た切削液の一部をバ
ッグフィルタ８４で濾過する形態であってもよい。

【００８１】マグネットセパレータ５０によってスラッ
ジが除去された切削液は、ドラム５６の長手方向におけ
る端部からパイプ８５によって分離槽８２に運ばれる。
また、バッグフィルタ８４によってスラッジが除去され
た切削液は、パイプ８６によって分離槽８２に運ばれ
る。分離槽８２の容積は、例えば約２００Ｌに設定され
ている。

【００８２】パイプ８５および８６の開口から分離槽８
２に流れ込んだ切削液は、隔壁８８によって一時的に分
離槽８２に滞留し、温度調節槽９２に直接に流れこむこ
とがない。したがって、マグネットセパレータ５０やバ
ッグフィルタ８４で除去しきれなかったスラッジを分離
槽８２において沈降させることができる。その結果、分
離槽８２における切削液の上澄み部分のみが隔壁８８を
超えて温度調節槽９２に流入する。

【００８３】分離槽８２で沈降したスラッジは、スラッ
ジ吸収ポンプ８７によってマグネットセパレータ５０に
戻される。これにより、分離槽８２内のスラッジの量を
低減させることができ、かつ、このようなスラッジを再
度マグネットセパレータ５０によって分離させる機会を
得ることができる。このようすれば、浄化装置７２のス
ラッジ除去性能を向上させることができる。

【００８４】なお、切削液の液面近くにスラッジが舞い
上がることを防止しつつスラッジ吸収ポンプ８７の吸入
口の近傍においてスラッジを沈降させるために、図８に
示すように隔壁８８に傾斜部を設けてスラッジを集めた
り、パイプ８５および８６の開口の位置を設定したりす
ることが望ましい。

【００８５】分離槽８２おいて形成された切削液の上澄
み部分は、連通部８８ａを通って温度調節槽９２に移動
する。温度調節槽９２の容積は、例えば４００Ｌに設定
されている。温度調節槽９２に供給される切削液は、ス
ラッジをほとんど含んでいない。

【００８６】このようにして温度調節槽９２にためられ
た切削液は、ポンプＰ３を用いて温度調節機７４（図７
参照）に送られ、温度が下げられた後、再び温度調節槽
９２に戻される。切削液を温度調節機７４に送る前に、
分離部８０においてスラッジの除去を行うようにしてい
るので、温度調節機７４においてスラッジがパイプ内に
溜まることなどによって熱交換効率が低下することがな
く、切削液の温度調節を効果的に行うことができる。

【００８７】本実施形態では、温度調節槽９２内の切削
液の温度が所定の温度以上になったときに、ポンプＰ３
および温度調節機７４を作動させ、その後、温度調節槽
９２内の切削液の温度が所定の温度以下になったとき
に、ポンプＰ３および温度調節機７４を停止させてい
る。従って、温度調節機７４には、温度調節槽９２に収
容された切削液の全てが送られるわけではなく、所定の
期間において切削液の一部が送られる。温度調節されて
戻された一部の切削液と温度調節槽９２内の残りの切削
液とは、攪拌機９４によって混合（攪拌）され、これに
より、温度調節槽９２内の切削液の温度が均一化され
る。このようにすれば、温度調節した切削液を直接ワイ
ヤソー装置の主要部に送る場合に比べて、ワイヤソー装
置の主要部に供給される切削液の温度が急激に変化する
ことが防止される。ワイヤソー装置の主要部に安定した
温度で切削液を供給することができれば、切削液の粘度
などが大きく変化しないため、ワイヤソー装置は安定し
た切削を行うことができる。このようにして、本実施形
態では、温度調節機７４を効果的に動作させながら、温
度調節槽９２内の切削液の温度を所定の温度範囲に維持
することができる。

【００８８】一方、室温などの影響によって切削液の温
度が低下し、切削液の粘度が所定の範囲を超えて高くな
る場合がある。この場合、スラッジの排出性が低下し、
切断抵抗が増加する。また、マグネットセパレータによ
るスラッジ除去能力の低下も生じ得る。このようなとき
には、温度調節機７２を用いて切削液の温度を上昇さ
せ、切削液の粘度を低下させることが有利である。

【００８９】温度調節槽９２において温度制御された切
削液は、ポンプＰ４によってワイヤソー装置の主要部３
０（図７）へと送られる。ワイヤと希土類磁石との間に
供給される切削液の温度は、好ましくは１５℃〜３５℃
となるように制御され、さらに好ましくは２０℃〜２５
℃に制御される。

【００９０】上述の実施形態では、切削液の供給および
回収を循環的に実行しながら、スラッジの分離除去を効
率的に実行するとともに、切削液の温度制御を行うこと
によって切削液の粘度を適切な範囲に維持する。このよ
うにすれば、切削溝からスラッジを適切に排出し、切削
抵抗を低いレベルに維持することによって、切断効率を
高め、切断面の精度を高くすることができる。従って、
切削液交換作業の間隔が著しく延び、切断加工処理を長
時間にわたって連続的に続けることが可能になる。

【００９１】次に、図９から図１３を参照しながら、切
断速度、切削液粘度、およびワーク切断の平面度などの
詳細を説明する。

【００９２】図９は、スラッジ洗浄のために水や切削液
を用いた場合において、切断速度が切断回数に応じてど
のように変化するかを示すグラフである。図９のグラフ
において、黒三角はエステルを添加した切削油を用いた
場合、黒四角はエステルを添加していない切削油を用い
た場合、黒ひし形は水を使用した場合を示している。

【００９３】この実験では、長さ３０ｍのワイヤをドラ
ムに巻きつけ、２００ｍ／分の速度で往復動作させた。
用いたワイヤの詳細条件は、芯線径０．１８ｍｍφ、仕
上がり径０．２４ｍｍφ、破断荷重６８．６〜８３．４
Ｎ（７〜８．５ｋｇｆ）、砥粒径４０〜６０μｍ、フェ
ノール樹脂被膜厚さ３０μｍ〜６０μｍであった。ワー
クは定圧荷重にてワイヤに押し付けられ、切削加工を受
けた。切削部分には上記の切削油または水を滴下し、切
削加工時間が所定時間（例えば３分）を経過した後、ワ
ークに形成した凹部の深さを測定した。この切削深さを
切断時間で割った値を図９においては「切断速度」と表
記している。最初の所定時間が経過した後、ワークの他
の部分にワイヤをあて、その部分に対する切削加工を行
った。このようにして１５回の切削加工工程を行い、そ
れぞれの工程での切断速度を求めた。図９のグラフの横
軸（切断回数）はこれを示している。

【００９４】図９からわかるように、水を用いてスラッ
ジを洗い流した場合、切断速度が極めて遅く、浮遊砥粒
型のワイヤソー装置に代えて固定砥粒型のワイヤソー装
置を用いる意義が無くなる。切削油を用いる場合におい
て、エステルを添加している油の場合は、エステルを添
加していない切削油を用いた場合の切削速度の約１．５
倍の切削速度が得られた。

【００９５】図１０は、ワイヤのたわみ量と切削油の粘
度との関係を示している。図４に示すワイヤソー装置を
用い、ワークの降下速度は、０．５〜１．０ｍｍ／分の
範囲内でほぼ一定に維持して実験を行った。ただし、ワ
イヤの往復線速度は８００ｍ／分および１０００ｍ／分
とした。図１０のグラフにおいて、黒ひし形はワイヤの
往復線速度が８００ｍ／分の場合、白丸はワイヤの往復
線速度が１０００ｍ／分の場合を示す。

【００９６】ワイヤによるワーク切断がスムーズに進行
しない場合、ワイヤのたわみ量は増大する。このため、
ワイヤのたわみ量が大きいということは、ワークの切削
抵抗が大きく、ワーク切断の効率が悪いことを意味し、
逆にワイヤのたわみ量が小さいということは、ワーク切
断の効率が良いことを意味している。

【００９７】図１０からわかるように、ワイヤの往復線
速度を８００ｍ／分に設定した場合には、４０℃におけ
る粘度が４．０から４０．０［ミリパスカル秒］の範囲
内にあるような切削油を用いるとき、たわみ量が２５ｍ
ｍ以下となり、切断効率が良い。特に、４０℃における
粘度が４．５から２０［ミリパスカル秒］の範囲内にあ
るような切削油を用いるとき、たわみ量が２０ｍｍを下
回るため、切断効率は更に好ましいレベルに達する。ま
た、ワイヤの往復線速度を１０００ｍ／分に設定した場
合には、４０℃における粘度が９．５から５０．０［ミ
リパスカル秒］の範囲内にあるような切削油を用いると
き、たわみ量が２５ｍｍ以下となり、切断効率が良い。

【００９８】この実験において、ワイヤと希土類合金と
の間に供給される切削油は、温度調節しつつ循環使用す
ることによって適切な温度（約２５℃）に維持されてい
る。ワイヤ速度を８００ｍ／分に設定した時に用いた、
上記４０℃における粘度が４．０から４０．０［ミリパ
スカル秒］の範囲内にある切削油の約２５℃での動粘度
は、６．０ｍｍ²／ｓ〜９０．０ｍｍ²／ｓである。ま
た、ワイヤ速度を１０００ｍ／分に設定した時に用い
た、上記４０℃における粘度が９．５から５０．０［ミ
リパスカル秒］の範囲内にある切削油の約２５℃での動
粘度は、１３．０ｍｍ²／ｓ〜１００．０ｍｍ²／ｓであ
る。すなわち、ワイヤ速度を適切に設定すれば、ワイヤ
と希土類合金との間に６．０ｍｍ²／ｓ〜１００．０ｍ
ｍ²／ｓの動粘度を有する切削液を供給することによっ
て、たわみ量を２５ｍｍ以下に抑えることが可能であ
る。

【００９９】ワイヤに供給される切削液の粘度が所定範
囲から外れている場合、希土類合金スラッジが切削溝内
にたまりやすくなるため、切削抵抗が増加し、切断効率
が低下する。その結果、ワイヤのたわみ量が上昇してし
まうことになる。これらのことから、４０℃における切
削油の粘度は４．０から４０．０［ミリパスカル秒］の
範囲内に設定することが好ましく、４．５〜２０［ミリ
パスカル秒］の範囲内にすることが更に好ましい。ま
た、ワイヤ速度が比較的大きい場合には、４０℃におけ
る切削油の粘度を９．５から５０．０［ミリパスカル
秒］の範囲内に設定することが好ましい。

【０１００】このような切削油を用いることによって、
ワイヤと希土類合金との間に６．０ｍｍ²／ｓ〜１０
０．０ｍｍ²／ｓの動粘度を有する切削液を供給するこ
とが好ましい。このようにすれば、切削抵抗の増加を抑
制し、高い切断効率を実現し得る。なお、上述のように
ワイヤ速度によって切削液の好ましい動粘度の範囲は多
少異なる場合もある。このため、広い範囲のワイヤ速度
で、磁石の切断を適切に行うためには、１３．０ｍｍ²
／ｓ〜９０．０ｍｍ²／ｓの動粘度を有する切削液を供
給することがさらに好ましい。

【０１０１】次に、図１１および図１２を参照しなが
ら、グリコール系の水溶性切削液を用いた場合におけ
る、切断性能に対する粘性の影響について説明する。

【０１０２】図１１は、後述する図１２に示す実験を行
った試験機（評価機）１０の構成を示す。試験機１０
は、外周面に切断用ワイヤ１２が巻回され、回転軸が駆
動モータ（不図示）に接続された巻きドラム１０２と、
巻きドラム１０２から、被切断物（ワーク）１４を切断
する切断部１０４を介して再び巻きドラム１０２へとワ
イヤ１２を案内する複数のプーリ１０６と、切断部１０
４において、ワイヤ１２に向かって被切断物１４を直線
的に移動させる（押し当てる）ことができる移動装置１
０８とを備えている。また、ワイヤ１２の経路の途中に
は、テンション調節装置１１０が設けられている。テン
ション調節装置１１０は、ワイヤ１２が巻き掛けられた
可動プーリ１１２に外側への付勢力Ｔを与えることによ
ってワイヤ１２に張力を付与し、これにより、ワイヤ１
２の弛みを防止することができる。さらにテンション調
節装置１１０は、ワーク１４の押し当てなどによってワ
イヤ１２に所定以上の張力が働く場合には、上記付勢力
Ｔに対抗して可動プーリ１１２が内側に移動することで
きるように構成されている。これにより、ワイヤ１２に
加えられる張力を緩和しながら、ワイヤ１２がワーク１
４に対して与える応力を平衡に保つ（すなわち、ワーク
１４に対して一定圧力でワイヤの押し当てを行う）こと
ができる。

【０１０３】切断部１０４のワイヤ１２’の上方には、
切削液供給ノズル１１４が設けられており、ノズル１１
４からワイヤ１２’へ切削液が滴下または噴射される。
ワイヤ１２’に供給された切削液は循環使用されずに廃
棄されており、従ってワイヤ１２’に供給される切削液
の温度は、ほぼ一定に保たれている。

【０１０４】この試験機１０を用いて、グリコール系水
溶性切削液をノズル１１４からワイヤ１２’に滴下さ
せ、切断性能を測定した。なお、巻きドラム１０２の回
転方向を定期的に反転させることによって、ワイヤ１
２’を線速２００ｍ／ｍｉｎで双方向移動させた。ま
た、付勢力Ｔおよび移動装置１０８の移動速度を適切に
設定することによって、ワイヤ１２’に対しワーク１４
を定圧４Ｎで押し当て、定圧荷重にて切断を行った。な
お、ワーク１４は、ブロック状の希土類焼結磁石から形
成している。

【０１０５】切削液としては、粘度の異なる種々のグリ
コール系水溶性切削液（ユシロ化学工業株式会社製：Ｗ
Ｌ−１〜ＷＬ−５）を約２５℃の温度で用いた。用いた
切削液の２５℃における動粘度は、１０．０ｍｍ²／ｓ
〜６７．０ｍｍ²／ｓである。

【０１０６】図１２は、試験機１０を用いて得られた、
切削液の動粘度ν［ｍｍ²／ｓ］と、切れ味低下係数α
［％／単位対数時間］および切断性能定数γ［％］との
関係を示すグラフである。切断性能定数γは、切断初期
における切断性能（切れ味）を示すパラメータであり、
特にスラッジ排出性などに影響されるものと考えられ
る。切れ味低下係数αは、時間に関する切断性能の低下
率（α＜０）を表すパラメータであり、特にワイヤの摩
耗を示すものと考えられる。具体的は、切断性能定数γ
および切れ味低下係数αは、以下の式（１）を満足する
値である。

【０１０７】Ｙ＝αｌｎ（ｔ）＋γ （１）式（１）において、ｔは切断時間（ただし３分を１単位
とする）を表し、Ｙは切断性能比を表す。切断性能比Ｙ
は、２５℃での動粘度が１６ｍｍ²／ｓ（４０℃での粘
度が９．６ミリパスカル秒：図１０参照）の切削油を用
いた場合の初期切断性能を１００としたときの切断性能
として定義される。切断性能は、ワイヤによって希土類
合金に形成された切削溝の深さを測定することによって
決定している。なお、式（１）から、切断性能定数γは
３分後（ｔ＝１）の切断性能比（対切削油）を表し、切
れ味低下係数αは対数時間（ｌｎ（ｔ））に対する切削
性能の変化率を表していることがわかる。

【０１０８】図１２のグラフからわかるように、２５℃
における動粘度νが１０．０ｍｍ²／ｓ〜６７．０ｍｍ²
／ｓのグリコール系水溶性切削液を用いた場合、切断性
能定数γは１００［％］未満であり、上記切削油を用い
た場合よりは切断性能が低い。しかし、各水溶性切削液
の切断性能定数γは７５［％］を上回っており、この程
度の切断性能が得られれば、比較的効率良く希土類合金
の切断を行うことが可能である。また、上記範囲の動粘
度を有するグリコール系水溶性切削液を用いた場合、切
れ味低下係数αは−１６．５［％／単位対数時間］以上
であり、長時間連続して切断を行った場合にも切れ味が
それほど大きく低下しないことがわかる。グリコール系
水溶性切削液を用いた場合の切れ味低下係数αの値は、
切削水を用いた場合の切れ味低下係数の値に比べて、十
分に良好な値である。

【０１０９】このようにグリコール系の水溶性切削液を
用いる場合、特定の切削油を用いる場合に比べ、切削効
率は悪くなるが、その反面、オイルミストなどが発生し
ないため作業性が良くなるという利点が得られる。ま
た、水溶性切削液は環境を汚染し難く、この点では切削
油よりも水溶性切削液を用いるほうが望ましい。また、
水溶性切削液からはスラッジを除去することが比較的容
易であるため、切削液を循環して使用する場合には水溶
性切削液は切削油よりも好適な材料であり得る。

【０１１０】これらのことから、グリコール系水溶性切
削液を用いる場合、２５℃における動粘度νを１０．０
ｍｍ²／ｓ〜６７．０ｍｍ²／ｓに設定することが望まし
い。特に、２５℃での動粘度が約４１ｍｍ²／ｓである
グリコール系水溶性切削液（ユシロ化学工業株式会社
製：ＷＬ−２）を用いることが好ましい。このようなグ
リコール系水溶性切削液を用いれば、環境汚染などを引
き起こすことなく、効率良く希土類合金の切断を行うこ
とが可能である。

【０１１１】図１３は、マグネットセパレータのスラッ
ジ収集面（スラッジ吸着領域）における磁力とワーク切
断面の平面度との関係、およびマグネットセパレータの
スラッジ収集面（スラッジ吸着領域）における磁力とス
ラッジ排出量（切削液から取り除かれるスラッジの１時
間あたりの量）との関係を示している。なお、図１３に
示すデータは、１ｋｇ／時間のスラッジがワーク切断面
から切削液中に取り込まれる条件のもとで得られた。こ
のときの磁力（表面磁束密度）は、ガウスメータおよび
プローブ（ともにベル社製）を用い、プローブをスラッ
ジ収集面に接触させて測定した。

【０１１２】図１３からわかるようにマグネットセパレ
ータの磁力が増加すると、それに伴ってスラッジ排出量
が増加し、ワーク切断面の平面度が向上してゆく。マグ
ネットセパレータによる切削液からのスラッジ排出量が
少ない場合、スラッジの吸着および分離が充分に達成さ
れておらず、スラッジ濃度が上昇する。このことは、ワ
イヤによる加工が行われている部分に供給される切削液
中のスラッジ濃度を高めることにつながる。その結果、
ワイヤに対する切削抵抗が増加し、ワイヤがたわむため
に、加工面の平坦度が低下すると考えられる。なお、マ
グネットセパレータによって希土類合金スラッジを適切
に除去すれば、平面度が改善する以外にも、ワイヤ切削
液の全量交換を実行しなくても長期間の連続運転が可能
になるという効果が得られる。

【０１１３】ワーク切断面の平面度が１００μｍを超え
ると、あとの研磨工程に要する時間を考慮した場合の全
体としての作業効率が低下するため、平面度は１５μｍ
以下になることが好ましく、磁力も加工面の平面度が１
５μｍ以下になるように調整されることが好ましい。そ
のためには、マグネットセパレータのドラム表面におけ
る磁力を０．２７テスラ以上に設定することが好まし
く、０．３０テスラ以上にすることが更に好ましい。

【０１１４】再び、図１を参照する。上記方法を用いて
切断加工した希土類合金板のそれぞれに対して研磨によ
る仕上げ加工を行い、寸法と形状を整えた後、長期的な
信頼性を向上させるため、ステップＳ８で合金板に表面
処理を施す。ステップＳ９で着磁工程を実行した後、検
査工程を経てネオジム永久磁石が完成する。

【０１１５】（実施例１）［切削油を、温度調節を行いながら使用した場合］図７
に示したワイヤソー装置を利用して、希土類合金の切断
を行った。切削液としては、ユシロ化学工業株式会社製
の切削油（ＨＴ−９）を用いた。

【０１１６】温度調節機としては、関東精機株式会社製
の自動温度調節機（ＫＴＣ−３Ｂ）を用いた。この装置
は、冷却と加熱との両方の機能を有している。

【０１１７】また、切断用ワイヤとしては、芯線径：
０．１８ｍｍ、フェノール樹脂の厚さ：２０μｍ、砥粒
材質：ダイヤモンド、砥粒径：４０〜６０μｍ、平均砥
粒間隔（隣接する砥粒における、一方の砥粒の中心から
他方の砥粒の中心までの距離）：１００μｍのワイヤを
用いた。このワイヤを線速８００ｍ／ｍｉｎで往復走行
させ、新線供給量：２ｍ／ｍｉｎ、ワイヤテンション：
３０Ｎの条件で装置を動作させた。被切削物としては、
２０ｍｍ×４０ｍｍ×６０ｍｍの希土類合金を７段積み
して接着し、これを４０ｍｍ／ｍｉｎの降下速度でワイ
ヤに接触させた。

【０１１８】上記条件の下で、温度調節機を稼動させ、
切削油の温度を２５℃〜２８℃の範囲に維持しながら希
土類合金の切断を実行した。希土類合金を１８０ｍｍま
で切り込み、切断面を観察したところ、面精度Ｒａは
０．８μｍ以下、Ｒｍａｘは７μｍ以下であり、平滑な
面が形成された。切断された希土類合金は、ボイスコイ
ル用モータに使用される磁石として要求される品質を満
たしていた。また、切断中、ワイヤのたわみ量は略一定
に維持され、切削抵抗の増加はなかった。

【０１１９】（比較例１）［切削油を、温度調節を行わずに使用した場合］温度調
節機を稼動しないことを除いて、上記実施例１と同様に
して希土類合金の切断を行った。切削油の温度は当初２
０℃であったが、切断が進むに連れて上昇し、５０℃以
上に達した。

【０１２０】希土類合金を１８０ｍｍまで切り込み、切
断面を観察したところ、後に切断した部分ほど面精度が
低下しており、切断面の面精度Ｒａは１．５μｍ以上、
Ｒｍａｘは１５μｍ以上であり、凹凸が大きい面が形成
された。切断された希土類合金は、ボイスコイル用モー
タに使用する磁石として要求される品質を満たしていな
かった。また、切断中、ワイヤのたわみ量は徐々に増加
し、切削抵抗の増加が認められた。

【０１２１】（実施例２）［グリコール系水溶性切削液を、温度調節を行いながら
使用した場合］切削液としては、ユシロ化学工業株式会
社製のグリコール系水溶性切削液（ＷＬ−２）を使用し
た。それ以外は上記実施例１と同様にして、切削液の温
度を２５℃〜２８℃の範囲に維持しながら希土類磁石の
切断を実行した。

【０１２２】希土類合金を１８０ｍｍまで切り込み、切
断面を観察したところ、面精度Ｒａは０．８μｍ以下、
Ｒｍａｘは７μｍ以下であり、平滑な面が形成された。
切断された希土類合金は、ボイスコイル用モータに使用
される磁石として要求される品質を満たしていた。ま
た、切断中、ワイヤのたわみ量は略一定に維持され、切
削抵抗の増加はなかった。

【０１２３】（比較例２）［温度調節せずにグリコール系水溶性切削液を用いた場
合］温度調節機を稼動しないことを除いて、上記実施例
２と同様にして希土類合金の切断を行った。グリコール
系水溶性切削液の温度は当初２０℃であったが、切断が
進むに連れて上昇し、５０℃以上に達した。

【０１２４】希土類合金を１８０ｍｍまで切り込み、切
断面を観察したところ、後に切断した部分ほど面精度が
低下しており、切断面の面精度Ｒａは１．５μｍ以上、
Ｒｍａｘは１５μｍ以上であり、凹凸が大きい面が形成
された。切断された希土類合金は、ボイスコイル用モー
タに使用する磁石として要求される品質を満たしていな
かった。また、切断中、ワイヤのたわみ量は徐々に増加
し、切削抵抗の増加が認められた。

【０１２５】以上説明してきたように、上記希土類合金
板品の製造方法によれば、以下に示すような数多くの有
利な効果が得られる。

【０１２６】１．ワーク切断面からの切削液の排出効率
が向上するため、ワイヤの受ける切削抵抗が低減され、
長時間の連続切断作業が可能になる。

【０１２７】２．ワーク切断面の平面度を向上させるこ
とが可能になる。このため、製品の製造歩留まりが改善
される。

【０１２８】３．希土類合金に対するワイヤソー切断の
効率が最適化される。

【０１２９】４．切削液中のスラッジを効率的に除去で
きるため、切削液の交換を頻繁に実施しなくとも、ワー
ク切断面で受けるワイヤの切断負荷を低減し、それによ
って切断速度を向上させることが可能になる。

【０１３０】５．ワークの崩れが生じても、ワイヤとの
接触によって製品の品質が劣化することが防止される。

【０１３１】なお、希土類合金板の製造方法について本
発明の実施形態を説明してきたが、本発明はこれに限定
されるものではない。例えば、板状以外の加工形状をも
つ希土類合金製品・部品を作製するために、本発明の切
断方法を好適に用いることができる。

【０１３２】また、被加工対象して、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂの
希土類合金磁石材料を用いた実施形態を説明したが、切
削抵抗が大きく、スラッジが凝集しやすいという性質は
希土類合金全体に共通するため、本発明は他の希土類合
金を被加工物として用いても上記実施形態について述べ
た効果と同様の効果を得ることができる。

【０１３３】上述の方法を用いて作製した希土類合金磁
石は、外周刃を用いて希土類合金インゴットを切断する
場合に比較して切断代が少なく、薄型の磁石（例えば、
厚さ０．５〜３．０ｍｍ）を製造するのに適している。
近年、ボイスコイルモータに使用される希土類磁石は益
々薄くなってきているため、本発明の方法を用いて製造
した上記の薄い希土類合金磁石をボイスコイルモータに
取り付ければ、高い性能を持つ小型ボイスコイルモータ
を提供することができる。

【０１３４】

【発明の効果】本発明によれば、希土類合金に対してワ
イヤソーによる切断加工を実行しようとする場合におい
ても、ワイヤ切れが防止され、必要な切削液の交換回数
も著しく低減される結果、長時間の連続運転が可能にな
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ永久磁石の作製手順を示すフロ
ーチャートである。

【図２】（ａ）はワークプレートに固定されたインゴッ
トブロックを示す正面図であり、（ｂ）はその側面図で
ある。

【図３】（ａ）は本発明の実施形態で好適に使用される
ワイヤソー装置の主要部を示す斜視図であり、（ｂ）は
その正面図である。

【図４】前記ワイヤソー装置の切削液循環システムを示
す概略構成図である。

【図５】前記ワイヤソー装置に備えつけられたマグネッ
トセパレータ装置を示す斜視図である。

【図６】ワイヤの断面図である。

【図７】図４とは別形態のワイヤソー装置の切削液循環
システムを示す概略構成図である。

【図８】図７に示す循環システムに備え付けられた浄化
装置を示す斜視図である。

【図９】スラッジ洗浄のために水や切削液を用いた場合
に切断速度が切断回数に応じてどのように変化するかを
示すグラフである。

【図１０】切削油の粘度とワイヤのたわみ量との関係を
示すグラフである。

【図１１】グリコール系水溶性切削液の粘度と切断性能
との関係を調べるために用いた試験機である。

【図１２】グリコール系水溶性切削液の粘度と切断性能
との関係を示すグラフである。

【図１３】マグネットセパレータの磁力とワーク切断面
の平面度との関係を示すグラフである。

【図１４】切削液や切削水の、温度と粘度との関係を示
すグラフである。

【符号の説明】

２０希土類合金のインゴット２２接着剤２４ａ〜２４ｃインゴットのブロック（ワークブロ
ック）２６ワークプレート２８炭素製ベースプレート２９切削液供給パイプ２９ａスリット状ノズル３０ワイヤソー装置の主要部３２ワイヤ３４ａ〜３４ｃメインローラ（多溝ローラ）３６ノズル３７スラリの回収ドレイン４０ワイヤソー装置４２切削液供給タンク４４第１の循環パイプ４６第２の循環パイプ４８切削液回収タンク４９第３の循環パイプ５０マグネットセパレータ５２スラッジを含む使用済み切削液（ダーティ液）５４分離槽５４ａ分離槽に設けられた開口部５６ドラム５７絞りローラ５８スクレイパ５９スラッジボックス

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者宮地章大阪府三島郡島本町江川２丁目15番17号住友特殊金属株式会社山崎製作所内Ｆターム(参考） 3C058 AA05 AA07 AC01 AC04 BA08 BA09 CA01 CB01 CB03 CB10 DA03

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】砥粒を固着させたワイヤを用いる希土類
合金の切断方法であって、前記ワイヤと前記希土類合金との間に所定の動粘度を有
する切削液を供給しながら前記希土類合金を切断するこ
とを特徴とする希土類合金の切断方法。
【請求項２】前記ワイヤと前記希土類合金との間に供
給される前記切削液の動粘度が６．０ｍｍ²／ｓ〜１０
０．０ｍｍ²／ｓの範囲内にあることを特徴とする請求
項１に記載の希土類合金の切断方法。
【請求項３】前記切削液は、切削油である請求項１ま
たは２に記載の希土類合金の切断方法。
【請求項４】前記切削油は、４０℃における粘度が
４．０から４０．０［ミリパスカル秒］の範囲内にある
ことを特徴とする請求項３に記載の希土類合金の切断方
法。
【請求項５】前記切削液は、グリコール系水溶性切削
液である請求項１または２に記載の希土類合金の切断方
法。
【請求項６】前記グリコール系水溶性切削液は、２５
℃における動粘度が１０．０ｍｍ²／ｓ〜６７．０ｍｍ²
／ｓの範囲内にあることを特徴とする請求項５に記載の
希土類合金の切断方法。
【請求項７】前記切削液の温度を制御することによっ
て前記切削液の動粘度を制御する請求項１から６の何れ
かに記載の希土類合金の切断方法。
【請求項８】前記希土類合金を切断する際に生じた前
記希土類合金のスラッジを含む切削液を回収する工程
と、前記切削液の温度を制御する前に、前記回収された切削
液からスラッジを除去する工程とを包含する請求項７に
記載の希土類合金の切断方法。
【請求項９】前記切削液の温度を制御する工程は、ス
ラッジが除去された一部の切削液の温度を調節する工程
と、前記温度が調節された一部の切削液と温度が調節さ
れていない残りの切削液とを混合する工程とを包含し、
前記混合された切削液を前記ワイヤと前記希土類合金と
の間に供給することを特徴とする請求項８に記載の希土
類合金の切断方法。
【請求項１０】前記希土類合金を切断する際に生じた
前記希土類合金のスラッジを前記切削液内から磁力によ
って分離することを特徴とする請求項１から９の何れか
に記載の希土類合金の切断方法。
【請求項１１】前記スラッジを収集する領域において
０．２７テスラ以上の磁力を示すマグネットセパレータ
を用いることを特徴とする請求項１０に記載の希土類合
金の切断方法。
【請求項１２】外周にリング状の複数の溝が所定のピ
ッチで形成され、回転可能に支持された複数のローラ
と、前記ローラを回転させながら前記ローラの前記溝に巻き
付けた前記ワイヤを走行させる駆動手段と、を備えたワイヤソー装置を用いることを特徴とする請求
項１から１１の何れかに記載の希土類合金の切断方法。
【請求項１３】前記ワイヤに対して、上方から下方に
向かって前記希土類合金を降下させながら前記希土類合
金を切断することを特徴とする請求項１２に記載の希土
類合金の切断方法。
【請求項１４】前記希土類合金を複数のブロックに分
割した状態で保持し、前記切削液の供給の少なくとも一
部を前記複数のブロックの間隙を介して行うことを特徴
とする請求項１３に記載の希土類合金の切断方法。
【請求項１５】希土類合金のインゴットを作製する工
程と、請求項１から１４の何れかに記載の希土類合金の切断方
法を用いて前記希土類合金のインゴットから複数の希土
類合金板を分離する工程と、を包含する希土類合金板の
製造方法。
【請求項１６】希土類磁石合金粉末から焼結体を作製
する工程と、請求項１から１４の何れかに記載の希土類合金の切断方
法を用いて前記焼結体から複数の希土類合金磁石を分離
する工程と、を包含することを特徴とする希土類合金磁
石の製造方法。
【請求項１７】請求項１６に記載の希土類合金磁石の
製造方法によって作製された希土類合金磁石を備えてい
ることを特徴とするボイスコイルモータ。
【請求項１８】前記希土類合金磁石の厚さが０．５〜
３．０ｍｍの範囲にあることを特徴とする請求項１７に
記載のボイスコイルモータ。
【請求項１９】ワイヤで希土類合金を切断する装置で
あって、砥粒が固着されたワイヤと、前記ワイヤと前記希土類合
金との間に所定の動粘度を有する切削液を供給する手段
とを備えていることを特徴とする希土類合金切断装置。
【請求項２０】前記ワイヤと前記希土類合金との間に
供給される切削液の動粘度が６．０ｍｍ²／ｓ〜１０
０．０ｍｍ²／ｓの範囲内にあることを特徴とする請求
項１９に記載の希土類合金切断装置。
【請求項２１】前記ワイヤと前記希土類合金との間に
供給される切削液の動粘度を動制御する粘度制御手段を
さらに備える請求項１９または２０に記載の希土類合金
切断装置。
【請求項２２】前記粘度制御手段は、前記切削液の温
度を制御することによって前記切削液の動粘度を制御す
ることを特徴とする請求項２１に記載の希土類合金切断
装置。
【請求項２３】前記粘度制御手段は、切削液を収容す
る容器と、前記容器に収容された切削液の少なくとも一
部の温度を制御する温度調節機と、前記容器に収容され
た切削液を攪拌する攪拌装置とを備える請求項２２に記
載の希土類合金切断装置。
【請求項２４】前記希土類合金を切断する際に生じた
前記希土類合金のスラッジを前記切削液から磁力によっ
て分離するマグネットセパレータを備えていることを特
徴とする請求項１９から２３の何れかに記載の希土類合
金切断装置。
【請求項２５】前記マグネットセパレータは、前記ス
ラッジを収集する領域において０．２７テスラ以上の磁
力を示すことを特徴とする請求項２４に記載の希土類合
金切断装置。