JP2002095081A

JP2002095081A - 超音波探触子とその製造方法及び音響レンズとその製造方法

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Publication number: JP2002095081A
Application number: JP2001027392A
Authority: JP
Inventors: Takayoshi Saito; 孝悦斉藤; Koichi Fukase; 浩一深瀬
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2000-07-13
Filing date: 2001-02-02
Publication date: 2002-03-29
Anticipated expiration: 2021-02-02
Also published as: JP3468753B2

Abstract

(57)【要約】【課題】ビニル基を含むジメチルポリシロキサン構造の
シリコーンゴムにシリカを補強材として特定の範囲と特
定の加硫剤を配合することにより、超音波探触子の高感
度化、高性能化を図る。【解決手段】超音波を送受信する圧電素子(1)と、圧電
素子(1)の超音波を送受信する側に設けた音響レンズ(3)
を備えた超音波探触子であって、音響レンズ(3)はビニ
ル基を含むジメチルポリシロキサン構造のシリコーンゴ
ムにシリカ(SiO₂)粒子を重量比で40%以上50％以下の範
囲充填した組成物に、加硫剤として2,5-ジメチル-2,5-
ジターシャリーブチルパーオキシヘキサンを添加して加
硫成形により音響レンズの形状に形成する。これによ
り、超音波の送受信感度を向上し、さらに周波数特性の
劣化を低減させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明が属する技術分野】本発明は、水中用超音波セン
サや超音波診断装置などに用いる超音波探触子に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】超音波探触子は、魚群探知器や生体を対
象とした超音波診断装置などに用いられている。これら
の超音波探触子には、超音波ビームを収束させて分解能
を向上させるために音響レンズが用いられている。従来
用いられている音響レンズ材料としては、特開昭６２−
９０１３９号公報に記載されたものが提案されている。
特に生体を対象とする超音波診断装置用の超音波探触子
に用いられる音響レンズは、生体との密着性をよくする
ために凸面形状にすることが望ましく、そのため音響レ
ンズの音速は生体の音速(約1.54km/s)より遅くする必要
があり、更に音響レンズと生体間での超音波の反射を最
小にするため、生体に近い音響インピーダンス(約1.54M
rayl)にする必要がある。従来この材料としては、シリ
コーンゴムを主剤として酸化チタン、アルミナなどの粉
末を充填したものが使用されている（特公平５−３４０
１１号公報）。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来用
いていた酸化チタン、アルミナを充填したシリコーンゴ
ムは、音響インピーダンスは約1.6MRaylでほぼ満足する
ものの、超音波の減衰が大きいために、超音波の送受信
感度を低下させるという問題がある。

【０００４】本発明は、上記従来の問題を解決するもの
で、音響インピーダンスが、水や生体に近く、且つ減衰
が小さい値を有する音響レンズを用いるために、感度、
周波数特性などの性能を劣化させない超音波探触子を提
供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
本発明の超音波探触子は、超音波を送受信する圧電素子
と、前記圧電素子の超音波を送受信する側に設けた音響
レンズを備えた超音波探触子であって、前記音響レンズ
はビニル基を含むジメチルポリシロキサン構造のシリコ
ーンゴムにシリカ(SiO₂)粒子を40重量％以上50重量％以
下の範囲充填した組成物に、加硫剤として2,5-ジメチル
-2,5-ジターシャリーブチルパーオキシヘキサンを添加
して加硫成形したことを特徴とする。

【０００６】次に本発明の超音波探触子の製造方法は、
超音波を送受信する圧電素子と、前記圧電素子の超音波
を送受信する側に設けた音響レンズを備えた超音波探触
子の製造方法であって、前記音響レンズをビニル基を含
むジメチルポリシロキサン構造のシリコーンゴムにシリ
カ(SiO₂)粒子を40重量％以上50重量％以下の範囲充填し
た組成物に、加硫剤として2,5-ジメチル-2,5-ジターシ
ャリーブチルパーオキシヘキサンを添加して、プレス成
形及びキャスト成形から選ばれる少なくとも一つの加硫
成形方法により形成したことを特徴とする。

【０００７】次に本発明の音響レンズは、ビニル基を含
むジメチルポリシロキサン構造のシリコーンゴムにシリ
カ(SiO₂)粒子を40重量％以上50重量％以下の範囲充填し
た組成物に、加硫剤として2,5-ジメチル-2,5-ジターシ
ャリーブチルパーオキシヘキサンを添加して加硫成形に
より音響レンズの形状に形成したことを特徴とする。

【０００８】次に本発明の音響レンズの製造方法は、ビ
ニル基を含むジメチルポリシロキサン構造のシリコーン
ゴムにシリカ(SiO₂)粒子を40重量％以上50重量％以下の
範囲充填した組成物に、加硫剤として2,5-ジメチル-2,5
-ジターシャリーブチルパーオキシヘキサンを添加し
て、プレス成形及びキャスト成形から選ばれる少なくと
も一つの加硫成形方法により形成したことを特徴とす
る。

【０００９】

【発明の実施の形態】本発明の超音波探触子は、超音波
探触子に設ける音響レンズが、ビニル基を含むジメチル
ポリシロキサン構造のシリコーンゴムであり、前記シリ
コーンゴムに補強材としてシリカ(酸化珪素：SiO₂)粒子
を重量比で40〜50％充填した材料で形成した構成の超音
波探触子であり、超音波の送受信感度を向上し、更に周
波数特性を劣化を低減することができる。従って、超音
波画像の高分解能化、高感度化にすることができる超音
波探触子を得ることができるという作用を有する。前記
において、シリカ(SiO₂)粒子の重量平均粒子径は１５〜
３０ｎｍの範囲が好ましい。

【００１０】また、超音波探触子に設ける音響レンズ
が、ビニル基を含むジメチルポリシロキサン構造のシリ
コーンゴムにシリカ(SiO₂)粒子を充填重量比で40〜50％
充填した材料で形成すると、音響インピーダンスが1.45
〜1.5MRayl、5MHzの周波数での減衰が2.9〜4dB/mmの特
性を有する音響レンズを得ることができる。したがっ
て、超音波の送受信感度を向上し、更に周波数特性を劣
化を低減することができる。すなわち、超音波画像の高
分解能化、高感度化した超音波探触子を得ることができ
る。

【００１１】前記超音波探触子においては、音響レンズ
の音響インピーダンスが1.45〜1.5MRayl、5MHzの周波数
での減衰が2.9〜4dB/mmの特性を有することが好まし
い。

【００１２】また、前記音響レンズが、音響インピーダ
ンスが1.46MRayl、5MHzの周波数での減衰が2.9dB/mmの
特性を有することがさらに好ましい。

【００１３】また、ビニル基を含むジメチルポリシロキ
サン構造のシリコーンゴムにシリカ(SiO₂)粒子を重量比
で40%以上45％以下の範囲充填した組成物により形成し
たことがさらに好ましい。

【００１４】前記方法においては、加硫剤が2,5-ジメチ
ル-2,5-ジターシャリーブチルパーオキシヘキサンであ
ることが好ましい。

【００１５】また前記方法においては、加硫の条件が、
加硫剤として2,5-ジメチル-2,5-ジターシャリーブチル
パーオキシヘキサンを0.1〜1.0重量％添加し、140〜190
℃の範囲で１〜３０分間処理することが好ましい。

【００１６】また本発明方法においては、加硫成形が一
次加硫成形であることが好ましい。ここで一次加硫成形
とは、１回のみの加熱加硫で成形することをいう。

【００１７】また、超音波探触子に設ける音響レンズ
が、ビニル基を含むジメチルポリシロキサン構造のシリ
コーンゴムであり、前記シリコーンゴムにシリカ(SiO₂)
粒子が充填重量比で40.7％充填した材料に2,5-ジメチル
-2,5-ジターシャリーブチルパーオキシヘキサンの加硫
剤を重量比で0.45％充填し、170℃の温度で10分間加硫
して形成した構成の超音波探触子であると、超音波の送
受信感度を向上、更に周波数特性を劣化を低減すること
ができる。従って、超音波画像の高分解能化、高感度化
にすることができる超音波探触子を得ることができる。

【００１８】また、超音波探触子に設ける音響レンズ
が、ビニル基を含むジメチルポリシロキサン構造のシリ
コーンゴムであり、前記シリコーンゴムにシリカ(SiO₂)
粒子を充填重量比で40.7％充填した材料に2,5-ジメチル
-2,5-ジターシャリーブチルパーオキシヘキサンの加硫
剤を重量比で0.45％充填し、170℃の温度で加硫した材
料で、音響インピーダンスが1.46Mrayl、5MHzの周波数
での減衰が2.9dB/mmの特性を有する材料で形成した構成
の超音波探触子であると、超音波の送受信感度を向上
し、更に周波数特性を劣化を低減することができる。従
って、超音波画像の高分解能化、高感度化にすることが
できる超音波探触子を得ることができる。

【００１９】前記において、ジメチルポリシロキサンに
含まれるビニル基は、０．１〜２モル％の範囲であるこ
とが好ましい。さらに好ましくは、０．５〜１モル％の
範囲である。また、ビニル基はジメチルポリシロキサン
の分子末端および分子中のいずれに存在していても良
い。好ましくはランダムな位置に存在していることであ
る。

【００２０】本発明の音響レンズの成形方法は、プレス
成形またはキャスト成形が採用できる。プレス成形また
はキャスト成形は、加硫時の際に同時に行う。このよう
に同時加硫成形方法を採用すると、加硫と成形を同じ工
程で行えるので、効率よくかつコストを低く製造でき
る。

【００２１】本発明によれば、超音波探触子に設ける音
響レンズ材料として、ビニル基を含むジメチルポリシロ
キサン構造のシリコーンゴムにシリカ(SiO₂)粒子を充填
重量比で40〜50％充填した材料を用いて形成した構成に
したこと、すなわち、シリカ(SiO₂)粒子を充填材料とし
て選択したこと、及びその充填量を40%以上50％以下の
範囲という特別の範囲を選択したことにより、超音波の
送受信感度を向上させることができ、さらに周波数特性
の劣化を低減できる。従って、超音波画像の高分解能
化、高感度化ができる。

【００２２】

【実施例】以下、本発明の具体的実施例について、図面
を用いて詳細に説明する。

【００２３】（実施例１）図１は、本発明の第１の実施
例の超音波探触子に用いる音響レンズの音響インピーダ
ンスと減衰量（減衰特性）をあらわしたグラフである。
また、図２は、本発明の第１の実施例の超音波探触子の
概略断面図である。また、図３は、媒質である水若しく
は生体と音響レンズの音響インピーダンス差による超音
波の反射レベルの関係を表したグラフである。

【００２４】本発明の第１の実施例は、超音波探触子に
用いる音響レンズ材として、ビニル基を０．６モル％含
むジメチルポリシロキサン構造のシリコーンゴム（重量
平均分子量：５×１０⁵）であり、前記シリコーンゴム
にシリカ(SiO₂)粒子（重量平均粒子径：１５〜３０ｎ
ｍ）を重量比で40〜50％充填した材料を用いた構成の超
音波探触子であり、音響インピーダンスが水若しくは生
体に近いため反射も小さく、また減衰も小さいたため、
超音波の送受信感度を向上し、更に周波数特性を損なう
ことなく良好な特性を確保できる超音波探触子が得られ
る。

【００２５】図２において、本実施形態の超音波探触子
は、少なくとも両面に電極を設けたＰＺＴ（ジルコンチ
タン酸鉛）系などの圧電セラミック、単結晶、及びＰＶ
ＤＦ(ポリフッ化ビニリデン)等の高分子等が用いられる
超音波を送受信する圧電素子１、前記圧電素子の両面に
設けた電極から引き出した電気端子２、超音波を媒質
（水や生体）側に送信、受信する圧電素子１の一方の面
に凸面形状の音響レンズ３を設けた構成となっている。
もちろん図２に図示していないが、音響レンズ３を設け
た圧電素子１の反対側の面に圧電素子１を保持する背面
負荷材を設けてもよい。また、圧電素子１と音響レンズ
３の間に超音波を効率よく送受信するために音響整合層
を設けてもよい。図２における全体のディメンジョン
は、圧電素子１の厚みは約０．２８mm、幅は約１２ｍ
ｍ、電気端子２の厚みは約０．０８ｍｍ、長さは約２０
ｍｍ、音響レンズ３の円弧状に突出している最大高さ
（最大厚み）は約１．０ｍｍ、円弧の半径（Ｒ）は約２
６ｍｍである。

【００２６】この超音波探触子は、超音波診断装置など
の本体から電気端子２介して電気信号を印加することに
より、圧電素子１が機械振動して超音波を発信及び受信
するものである。水や生体を媒質とする超音波診断装置
用超音波探触子は、生体に直接接触して生体に超音波を
送信し生体から反射してきた反射波を再び超音波探触子
で受信してその信号を本体で処理してモニター上に診断
画像を表示して診断するものに用いられるいわゆるセン
サである。

【００２７】ここで望まれる超音波探触子の性能として
は、高感度で広帯域の周波数特性を有していることであ
る。したがって、音響レンズ３に望まれる特性として
は、第１に、超音波を収束させるためには、従来から知
られているように、媒質である水や生体と音速が違う値
を有することであり、特に媒質側に凸面形状にするには
媒質(ここでは水または生体)の音速(約1.54km/s)より遅
い値を有する材料を用いることが必要であり、従来から
一般的なシリコーンゴムが用いられている。第２に、音
響レンズ３と媒質間で音響インピーダンスの差による反
射を少なくすることであり、媒質に近い音響インピーダ
ンスの値(約1.54Mrayl)が必要である。第３に、音響レ
ンズ３の減衰によって超音波の送受信感度の低下と周波
数特性の劣化をなくすために、減衰量が可能な限り小さ
いことが必要となる。以上のように、３つの特性が望ま
れるが、本実施の形態は、これらの特性を従来より向上
させた、特に減衰に対して著しく向上させた音響レンズ
３材料として、ビニル基を含むジメチルポリシロキサン
構造のシリコーンゴムにシリカ(SiO₂)粒子を充填重量比
で40〜50％充填し、2,5-ジメチル-2,5-ジターシャリー
ブチルパーオキシヘキサンの加硫剤を重量比で0.45％添
加し、170℃の温度で10分間、プレス成形時に加硫して
成形（加硫同時成形）した。

【００２８】図１は、ビニル基を含むジメチルポリシロ
キサン構造のシリコーンゴムにシリカの粉体（重量平均
粒子径は２０ｎｍ）を35.07〜50.07重量％の範囲配合し
て、プレス成形により加硫した材料からなる音響レンズ
の音響インピーダンスと、５MHzの周波数での減衰量を
表わしたグラフであり、横軸が充填するシリカ（酸化珪
素）の重量比で表わした充填量である。図１から明らか
のように、シリカの充填量が多くなるに従い音響インピ
ーダンスが大きくなり、水や生体の音響インピーダンス
の1.54MRaylに近くなるが、一方、減衰量は大きくなっ
ていく傾向となっている。この時の音速は1.02〜1.05km
/sの範囲となっており、媒質の音速より遅い値である。
例えば、シリカの充填量40.7％の重量比で前記シリコー
ンゴムに充填して加硫した材料からなる音響レンズの音
速、音響インピーダンス、5MHzでの減衰量は、それぞれ
1.025km/s，1.46Mrayl，2.9dB/mmという値が得られてい
る。

【００２９】また、図３は、水や生体の音響インピーダ
ンスの1.54MRaylに対して音響レンズ３の音響インピー
ダンスの変化と反射レベルの変化を表わしたグラフであ
り、以下の式から算出したものである。反射レベルR(dB)=20×log[(Zl-Zm)/(Zl+Zm)] ここでZlは音響レンズ3の音響インピーダンス、Zmは媒
質(水または生体)の音響インピーダンス1.54Mraylであ
る。図３からわかるように、音響レンズの音響インピー
ダンスが媒質の音響インピーダンス1.54MRaylに近づく
に従い反射レベルが小さくなっていくことがわかる。

【００３０】媒質の音響インピーダンスと音響レンズ３
の音響インピーダンスの差がどれぐらいまで問題無いレ
ベルかという点について説明する。例えば、超音波診断
装置のような画像診断の場合には、装置そのもののダイ
ナミックレンジはノイズ分を除くと約60dBぐらいであ
る。すなわち、これ以下のレベルでは、装置のノイズ成
分に隠れてしまうため全く問題ないといえる。図３で表
わした反射レベルは、一方向つまり送信の場合だけの値
を示しているものであり、実際の画像表示では、超音波
が媒質から反射して受信した往復の信号すなわち音響レ
ンズを一往復することになるので、反射レベルは図３で
示した反射レベルの2倍の値であればよいことになる。

【００３１】したがって、図3で超音波画像上問題なく
許容できる反射レベルは-30dB以下であることが必要に
なる。図3から反射レベルが−30dB以下の範囲は音響イ
ンピーダンスは1.45〜１.64Mraylの範囲となる。この音
響インピーダンスの範囲を図1のグラフに対応させる
と、ビニル基を含むジメチルポリシロキサン構造のシリ
コーンゴムに充填するシリカ粒子の重量比は４０％以上
となる。しかしこれは、あくまで音響インピーダンスの
値のみを注目した場合であり、重要な特性である減衰に
ついて無視しており不十分である。次に減衰量が小さい
という観点もあわせて評価すると、図1からは、シリカ
粒子の充填量は40重量％に近い範囲が好ましいといえ
る。ここで従来の音響レンズの減衰量は、5MHzの周波数
で約4.45dB/mm以上（3.5MHzでは約2.18dB/ｍｍ）の値を
有しており、少なくともこの減衰量より小さい値とすれ
ば改善があるという観点から、従来に比べてより効果が
出てくる減衰量は、4dB/mm以下の値に設定できる。

【００３２】以上のような背景から、音響レンズの音響
インピーダンスが1.45〜１.64MRayl以上で、5MHzの周波
数での減衰量は、4dB/mm以下という範囲に限定すること
により従来の音響レンズより感度、周波数特性において
大きく改善できるものとなる。このことから本実施例で
あるビニル基を含むジメチルポリシロキサン構造のシリ
コーンゴムに充填するシリカ粒子の重量比は、選択的に
40％〜50％の範囲である。また、これが高周波数域にな
ってくると、よりこの差が拡大し本実施例の音響レンズ
３がより顕著に効果が出てくる。

【００３３】なお、ここで説明している超音波探触子の
形態について、つまり単一タイプか圧電素子１を複数個
配列したアレイタイプかについて限定していないが、本
実施例の音響レンズは、すべてのタイプに適用できるこ
とは言うまでもない。

【００３４】以上のように本発明の第１の実施例による
超音波探触子に用いる音響レンズは、超音波の送受信感
度を向上、更に周波数特性を劣化を低減することができ
る。従って、超音波画像の高分解能化、高感度化にする
ことができる超音波探触子を得ることができる。

【００３５】（実施例２）本発明の第２の実施例は、図
2に示す第1の実施例と同じ超音波探触子に用いる音響レ
ンズ３の材料のビニル基を含むジメチルポリシロキサン
構造のシリコーンゴムであり、前記シリコーンゴムにシ
リカ(SiO₂)粒子を重量比で40.7％充填し、2,5-ジメチル
-2,5-ジターシャリーブチルパーオキシヘキサンの加硫
剤を重量比で0.45％充填し、170℃の温度で10分間、プ
レス成形時に加硫して成形（加硫同時成形）した。加硫
剤については、加工性、成形条件、成形後の物理特性な
どによって選択される。一般的にシリコーンゴムを加硫
するときは、加硫を2回行ういわゆる２次加硫まで行う
が、本実施形態のシリコーンゴムは、２次加硫不要タイ
プのもので、１回のみの加熱加硫で成形できる。本発明
者らはいろいろ検討してきた結果、２次加硫したシリコ
ーンゴムより２次加硫不要タイプが減衰が小さいことを
見出した。

【００３６】前記の材料を加硫した音響レンズ３の音
速、音響インピーダンスは、それぞれ1.025km/s,1.46MR
aylという値になっている。また、周波数と減衰量の関
係のグラフを図４に示す。本実施例の音響レンズ材は、
図４グラフのＡである。また比較のために、従来の減衰
量が小さいとされていたシリコーンゴムの音響レンズの
特性としてＢで示す。図４から、従来に比較して本実施
の形態の音響レンズＡの減衰量が小さいことが明らかで
ある。例えば、５MHzで比較すると従来の音響レンズは
4.45dB/mmであるのに対して、2.9dB/mmと約1.35dB/mmも
小さい値であり、これが高周波数の7MHzでは、従来の音
響レンズは7.47dB/mmであるのに対して、4.68dB/mmと、
約2.79dB/mmも小さい値となり、よりその差は顕著にな
ってきており、本実施例の音響レンズ材料を用いた超音
波探触子は、感度を著しく向上できることは容易に理解
できる。また、音響レンズの減衰により高周波数成分が
減衰して感度を低下させるという問題も、本実施例の音
響レンズを用いることにより改善できることも容易に理
解できる以上のように本発明の第２の実施例による超音波探触子
に用いる音響レンズは、超音波の送受信感度を向上し、
更に周波数特性を劣化を低減することができる。従っ
て、超音波画像の高分解能化、高感度化にすることがで
きる超音波探触子を得ることができる。

【００３７】

【発明の効果】本発明によれば、超音波探触子に設ける
音響レンズ材料として、ビニル基を含むジメチルポリシ
ロキサン構造のシリコーンゴムにシリカ(SiO₂)粒子を充
填重量比で40〜50％充填し、かつ特定の加硫剤を添加し
た材料を用いて形成した構成にしたことにより、超音波
の送受信感度を向上させることができ、さらに周波数特
性の劣化を低減できる。従って、超音波画像の高分解能
化、高感度化ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例における超音波探触子用
音響レンズの音響インピーダンスと減衰量のグラフ

【図２】本発明の第１の実施例における超音波探触子の
概略断面図

【図３】本発明の第１の実施例における超音波探触子用
音響レンズと媒質の反射レベルのグラフ

【図４】本発明の第２の実施例における超音波探触子用
音響レンズの周波数と減衰量のグラフ

【符号の説明】

１圧電素子２電気端子３音響レンズ

フロントページの続きＦターム(参考） 4C301 EE06 EE20 GB27 GB33 GB37 5D019 AA12 AA21 AA22 FF02 FF04 GG03 5J083 AB01 AB17 CA50 CB03 CB05 CB07 CB10

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】超音波を送受信する圧電素子と、前記圧電
素子の超音波を送受信する側に設けた音響レンズを備え
た超音波探触子であって、前記音響レンズはビニル基を
含むジメチルポリシロキサン構造のシリコーンゴムにシ
リカ(SiO₂)粒子を40重量％以上50重量％以下の範囲充填
した組成物に、加硫剤として2,5-ジメチル-2,5-ジター
シャリーブチルパーオキシヘキサンを添加して加硫成形
したことを特徴とする超音波探触子。
【請求項２】前記加硫成形は一次加硫成形である請求項
１に記載の超音波探触子。
【請求項３】前記音響レンズは、音響インピーダンスが
1.45〜1.5MRayl、5MHzの周波数での減衰が2.9〜4dB/mm
の特性を有する請求項１に記載の超音波探触子。
【請求項４】前記音響レンズは、音響インピーダンスが
1.46MRayl、5MHzの周波数での減衰が2.9dB/mmの特性を
有する請求項３に記載の超音波探触子。
【請求項５】前記シリカ(SiO₂)粒子の添加量が、40重量
%以上45重量％以下の範囲である請求項１に記載の超音
波探触子。
【請求項６】前記2,5-ジメチル-2,5-ジターシャリーブ
チルパーオキシヘキサンが0.1〜1.0重量％の範囲添加さ
れている請求項１に記載の超音波探触子。
【請求項７】前記ジメチルポリシロキサンに含まれるビ
ニル基が、０．１〜２モル％の範囲である請求項１に記
載の超音波探触子。
【請求項８】前記ジメチルポリシロキサンに含まれるビ
ニル基が、０．５〜１モル％の範囲である請求項７に記
載の超音波探触子。
【請求項９】前記音響レンズはプレス成形またはキャス
ト成形により成形されている請求項１に記載の超音波探
触子。
【請求項１０】前記シリカ(SiO₂)粒子の重量平均粒子径
は１５〜３０ｎｍの範囲である請求項１に記載の超音波
探触子。
【請求項１１】超音波を送受信する圧電素子と、前記圧
電素子の超音波を送受信する側に設けた音響レンズを備
えた超音波探触子の製造方法であって、前記音響レンズ
をビニル基を含むジメチルポリシロキサン構造のシリコ
ーンゴムにシリカ(SiO₂)粒子を40重量％以上50重量％以
下の範囲充填した組成物に、加硫剤として2,5-ジメチル
-2,5-ジターシャリーブチルパーオキシヘキサンを添加
して、プレス成形及びキャスト成形から選ばれる少なく
とも一つの加硫成形方法により形成したことを特徴とす
る超音波探触子の製造方法。
【請求項１２】前記加硫成形が一次加硫成形である請求
項１１に記載の超音波探触子の製造方法。
【請求項１３】前記2,5-ジメチル-2,5-ジターシャリー
ブチルパーオキシヘキサンの添加量が、0.1〜1.0重量％
の範囲である請求項１１に記載の超音波探触子の製造方
法。
【請求項１４】前記加硫成形の条件が、140〜190℃の範
囲で１〜３０分間加熱する請求項１１に記載の超音波探
触子の製造方法。
【請求項１５】前記シリカ(SiO₂)粒子の添加量が、40重
量%以上45重量％以下の範囲である請求項１１に記載の
超音波探触子の製造方法。
【請求項１６】前記ジメチルポリシロキサンに含まれる
ビニル基が、０．１〜２モル％の範囲である請求項１１
に記載の超音波探触子の製造方法。
【請求項１７】前記ジメチルポリシロキサンに含まれる
ビニル基が、０．５〜１モル％の範囲である請求項１６
に記載の超音波探触子の製造方法。
【請求項１８】前記シリカ(SiO₂)粒子の重量平均粒子径
は１５〜３０ｎｍの範囲である請求項１１に記載の超音
波探触子の製造方法。
【請求項１９】ビニル基を含むジメチルポリシロキサン
構造のシリコーンゴムにシリカ(SiO₂)粒子を40重量％以
上50重量％以下の範囲充填した組成物に、加硫剤として
2,5-ジメチル-2,5-ジターシャリーブチルパーオキシヘ
キサンを添加して加硫成形により音響レンズの形状に形
成したことを特徴とする音響レンズ。
【請求項２０】ビニル基を含むジメチルポリシロキサン
構造のシリコーンゴムにシリカ(SiO₂)粒子を40重量％以
上50重量％以下の範囲充填した組成物に、加硫剤として
2,5-ジメチル-2,5-ジターシャリーブチルパーオキシヘ
キサンを添加して、プレス成形及びキャスト成形から選
ばれる少なくとも一つの加硫成形方法により形成したこ
とを特徴とする音響レンズの製造方法。