JP2002087514A - Carrying device - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、複数の有軌道式搬
送台車が適用される搬送装置に関し、特に、搬送時間短
縮のニーズに対応して、搬送台車の渋滞を軽減し、搬送
能力の向上を図ることができる搬送装置に関するもので
ある。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a transport apparatus to which a plurality of tracked transport vehicles are applied, and in particular, to reduce the traffic jam of the transport vehicles and improve the transport capacity in response to the need for shortening the transport time. The present invention relates to a transport device capable of achieving the following.
【０００２】[0002]
【従来の技術】例えば、半導体の生産ラインでは、プロ
セス工程間のキャリア（製品）の搬送は、ストッカを介
して、ベイ間搬送とベイ内搬送とに区分して搬送が実行
される。2. Description of the Related Art For example, in a semiconductor production line, the transfer of carriers (products) between process steps is carried out through a stocker by being divided into inter-bay transfer and intra-bay transfer.
【０００３】キャリアの生産進行を司るシステムは、ベ
イ間の搬送装置に対して搬送命令を指示する。この搬送
命令は、ある工程のストッカに保管されているキャリア
を次工程のストッカヘ搬送させる指示で構成されてい
る。すなわち、従来の搬送装置では、搬送元ストッカの
棚から、スタッカクレーンやベイ間受渡し機構によりキ
ャリアを搬送台車に移載するとともに、この搬送台車に
よりキャリアを搬送先ストッカに運び、搬送先ストッカ
のベイ間受渡し機構やスタッカクレーンにより搬送先ス
トッカの棚に保管するようになっている。A system for controlling the progress of carrier production issues a transfer command to a transfer device between bays. This transport instruction is configured to transport a carrier stored in a stocker in a certain process to a stocker in the next process. That is, in the conventional transport device, the carrier is transferred from the shelf of the source stocker to the transport trolley by the stacker crane or the bay transfer mechanism, and the carrier is transported to the destination stocker by the transport trolley, and the bay of the destination stocker is transported. It is designed to be stored on the shelf of the destination stocker by a transfer mechanism or a stacker crane.
【０００４】ところで、昨今、ベイ間の搬送装置は、下
記のような課題を有している。 （１）クリーンルームの大型化にともない、搬送移動距
離が長距離化している。 （２）プロセス工程数の増加にともない、搬送回数が増
大している。 （３）キャリアの工期短縮のニーズの高まりにともな
い、搬送時間の短縮が求められている。[0004] By the way, recently, the transfer device between bays has the following problems. (1) With the increase in the size of the clean room, the transfer distance has been increased. (2) As the number of process steps increases, the number of times of conveyance increases. (3) As the need for shortening the construction period of carriers increases, there is a demand for shortening the transport time.
【０００５】これらの課題に対処するため、時間当りの
ストッカ間の搬送量が多い搬送装置、すなわち、高い搬
送能力のベイ間搬送装置を構築する必要がある。ベイ間
搬送の能力を向上させるために、従来では下記のような
施策を行っている。 （１）ストッカ１台にベイ間受渡し機構を複数個設ける
ことにより、ストッカの複数台の搬送台車との受渡しを
可能とする。 （２）搬送軌道のストッカ位置に分岐軌道を設けること
により、ストッカでの搬送台車の停止に関与せず、後続
の搬送台車の追越し走行を可能とする。 （３）搬送軌道にショートカット軌道を設けることによ
り、搬送距離を短絡する。[0005] In order to address these problems, it is necessary to construct a transport device that transports a large amount of time between stockers, that is, a transport device between bays having a high transport capacity. Conventionally, the following measures have been taken in order to improve the inter-bay transfer capability. (1) By providing a plurality of inter-bay transfer mechanisms in one stocker, it is possible to transfer the stocker to and from a plurality of transport vehicles. (2) By providing the branch track at the position of the stocker on the transport track, the overtaking travel of the succeeding transport vehicle can be performed without being involved in stopping the transport vehicle at the stocker. (3) By providing a short-cut track on the transfer track, the transfer distance is short-circuited.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
搬送装置に上記対策を施しても、下記のような問題が発
生する。 （１）搬送軌道の分岐・合流点では、閉塞区間の入口近
傍に渋滞が生ずることから、搬送台車の閉塞制御を行う
必要がある。 （２）搬送台車が集中する区間、特にショートカット軌
道部に頻発に渋滞が生じる。However, even if the above-described countermeasures are applied to the conventional transport device, the following problems occur. (1) At the junction of the transport trajectory, congestion occurs near the entrance of the closed section, so that it is necessary to control the closing of the transport vehicle. (2) Frequent traffic congestion frequently occurs in sections where the transport vehicles are concentrated, particularly in the short-cut track section.
【０００７】本発明は、上記従来の搬送装置が有する問
題点を解決し、搬送時間短縮のニーズに対応して、搬送
台車の渋滞を軽減し、搬送能力の向上を図ることができ
る搬送装置を提供することを目的とする。The present invention solves the problems of the above-described conventional transfer apparatus, and addresses a need for shortening the transfer time, thereby reducing the traffic jam of the transfer cart and improving the transfer capacity. The purpose is to provide.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の搬送装置は、複数のストッカの間を搬送軌
道で連絡し、キャリアの搬送を搬送台車により行う搬送
装置において、搬送軌道の外周に、該搬送軌道から独立
したループ状の外周搬送軌道を形成するとともに、外周
搬送軌道と搬送軌道との間にストッカを配設し、該スト
ッカに、外周搬送軌道と搬送軌道の搬送台車の間でキャ
リアの移載を行う受渡し機構を設けたことを特徴とす
る。In order to achieve the above-mentioned object, the present invention provides a transfer device which communicates a plurality of stockers with a transfer track and transfers a carrier by a transfer cart. On the outer circumference, a loop-shaped outer transport track independent of the transport track is formed, and a stocker is disposed between the outer transport track and the transport track. And a transfer mechanism for transferring the carrier between them.
【０００９】この搬送装置では、通常の搬送軌道の外周
に、該搬送軌道から独立したループ状の外周搬送軌道を
形成するとともに、この外周搬送軌道と搬送軌道との間
にストッカを配設し、該ストッカに、外周搬送軌道と搬
送軌道の搬送台車の間でキャリアの移載を行う受渡し機
構を設けたことから、外周搬送軌道によって搬送台車の
分散を図り、搬送台車の偏在による渋滞を軽減するとと
もに、各搬送軌道の搬送台車数を適正に設定することに
より、搬送軌道ごとに搬送能力を設定し、搬送能力を均
等化することができる。そして、本発明の搬送装置で
は、必要な機器の追加は、従来の搬送装置にショートカ
ット軌道や分岐軌道を追加する場合とコスト的に同程度
であり、このことから、搬送能力の向上に対する投資効
率や搬送能力効率が高いという利点を有している。さら
に、搬送軌道の一部にトラブルが発生した場合でも、外
周搬送軌道とストッカを経由することによって搬送を継
続することが可能であり、これにより、搬送装置全体の
停止を回避することができる。In this transfer apparatus, a loop-shaped outer transfer path independent of the transfer path is formed on the outer circumference of a normal transfer path, and a stocker is disposed between the outer transfer path and the transfer path. Since the stocker is provided with a transfer mechanism for transferring the carrier between the outer transport track and the transport truck of the transport track, the transport truck is dispersed by the outer transport track, and congestion due to uneven distribution of the transport truck is reduced. At the same time, by appropriately setting the number of transport vehicles on each transport track, the transport capacity can be set for each transport track, and the transport capacity can be equalized. In addition, in the transfer device of the present invention, the addition of necessary equipment is almost the same in terms of cost as the case of adding a shortcut track or a branch track to the conventional transfer device. It has the advantage that the transfer efficiency is high. Further, even if a trouble occurs in a part of the transport path, the transport can be continued by passing through the outer peripheral transport path and the stocker, thereby avoiding stopping of the entire transport apparatus.
【００１０】[0010]
【発明の実施の形態】以下、本発明の搬送装置の実施の
形態を図面に基づいて説明する。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a perspective view of a transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.
【００１１】図１に、本発明の搬送装置の一実施例を示
す。この搬送装置は、クリーンルームＣ内で、複数のス
トッカ１の間を搬送軌道２で連絡し、キャリア３の搬送
を搬送台車４により行う搬送装置を基本とし、搬送軌道
２の外周を取り囲むように、該搬送軌道２から独立した
ループ状の外周搬送軌道５を形成している。FIG. 1 shows an embodiment of the transport device of the present invention. This transport device is based on a transport device that communicates a plurality of stockers 1 with a transport track 2 in a clean room C and transports a carrier 3 by a transport trolley 4 so as to surround the outer circumference of the transport track 2. A loop-shaped outer peripheral transport trajectory 5 independent of the transport trajectory 2 is formed.
【００１２】そして、この外周搬送軌道５と搬送軌道２
との間にストッカ１を配設し、このストッカ１に、外周
搬送軌道５の搬送台車４と搬送軌道２の搬送台車４との
間でキャリア３の移載を行う受渡し機構６を設けてい
る。Then, the outer conveying track 5 and the conveying track 2
And a transfer mechanism 6 for transferring the carrier 3 between the transport vehicle 4 on the outer peripheral transport track 5 and the transport vehicle 4 on the transport track 2. .
【００１３】搬送台車４は、キャリア３を積載して、あ
る搬送点からある搬送点への搬送作業を行い、搬送軌道
２と外周搬送軌道５は、互いに独立して搬送台車４の走
行をガイドする。The transport vehicle 4 carries the carrier 3 and performs a transport operation from a certain transport point to a certain transport point. The transport track 2 and the outer transport track 5 guide the travel of the transport vehicle 4 independently of each other. I do.
【００１４】なお、図１（ａ）は搬送軌道２が１本の例
を示し、同図（ｂ）は、搬送軌道２が２本の例を示して
いる。FIG. 1A shows an example in which the number of the transport trajectories 2 is one, and FIG. 1B shows an example in which the number of the transport trajectories 2 is two.
【００１５】受渡し機構６は、図１（ｃ）に示すよう
に、搬送軌道２側と外周搬送軌道５側とにそれぞれ設け
られた１対のベイ間受渡し機構６０と、これらのベイ間
受渡し機構６０の間に配設されたスタッカクレーン１０
とによって構成されている。As shown in FIG. 1C, the delivery mechanism 6 includes a pair of bay delivery mechanisms 60 provided on the transport track 2 side and the outer transport track 5 side, respectively. Stacker crane 10 arranged between 60
And is constituted by.
【００１６】ベイ間受渡し機構６０は、搬送台車４とス
トッカ１の間でキャリア３の移載を行う移載機７と、移
載を行う際にバッファとして受渡しに用いるバッファポ
ート８とを備えている。The interbay transfer mechanism 60 includes a transfer machine 7 for transferring the carrier 3 between the carrier 4 and the stocker 1, and a buffer port 8 used for transfer as a buffer when performing the transfer. I have.
【００１７】また、スタッカクレーン１０は、１基又は
２基のベイ間受渡し機構６０において、バッファポート
８と保管用の棚９、あるいはバッファポート８同士の間
でキャリア３の移し替えを行うようになっている。The stacker crane 10 transfers the carrier 3 between the buffer port 8 and the storage shelf 9 or between the buffer ports 8 in one or two bay transfer mechanisms 60. Has become.
【００１８】ストッカ１は、ベイ間受渡し機構６０、ス
タッカクレーン１０、キャリアを保管する棚９を備えて
おり、外周搬送軌道５と搬送軌道２との間に配設する場
合は、図１に示すように、搬送軌道２に予め設置された
ストッカ１を利用することができる。The stocker 1 is provided with an inter-bay transfer mechanism 60, a stacker crane 10, and a shelf 9 for storing a carrier. When the stocker 1 is disposed between the outer peripheral transport track 5 and the transport track 2, it is shown in FIG. As described above, the stocker 1 previously set on the transport track 2 can be used.
【００１９】次に、図１〜図３を参照し、本実施例と従
来の搬送装置を比較して説明する。Next, with reference to FIGS. 1 to 3, the present embodiment will be described in comparison with a conventional transport device.
【００２０】図２は従来の一般的な搬送装置を示し、基
本型のレイアウトとして、クリーンルームＣ内でループ
型の搬送軌道２１を採用している。FIG. 2 shows a conventional general transfer apparatus, in which a loop-type transfer track 21 is adopted in a clean room C as a basic layout.
【００２１】この搬送装置は、複数のストッカ１１の間
を搬送軌道２１で連絡し、キャリア３の搬送を搬送台車
４により行っている。In this transport apparatus, a plurality of stockers 11 are communicated with each other by a transport track 21, and the carrier 3 is transported by a transport cart 4.
【００２２】ストッカ１１は、搬送台車４との間でキャ
リア３の移載を行う移載機７と、移載を行う際にバッフ
ァとして受渡しに用いるバッファポート８と、キャリア
を保管する棚９と、バッファポート８と棚９の間でキャ
リア３の移し替えを行うスタッカクレーン１２とを備え
ている。The stocker 11 includes a transfer machine 7 for transferring the carrier 3 to and from the transport trolley 4, a buffer port 8 used for transfer as a buffer when performing the transfer, and a shelf 9 for storing the carrier. And a stacker crane 12 for transferring the carrier 3 between the buffer port 8 and the shelf 9.
【００２３】一方、図３は、搬送能力の向上を図った従
来の搬送装置の一例を示す。On the other hand, FIG. 3 shows an example of a conventional transfer apparatus for improving the transfer capacity.
【００２４】この搬送装置では、ストッカ１１のベイ間
受渡し機構６１や分岐軌道２２の他、基本となるループ
型搬送軌道２１の中央付近にショートカット軌道２３を
設けている。なお、ストッカ１１は、移載機７、バッフ
ァポート８、棚９及びスタッカクレーン１２を備えてい
る。In this transfer apparatus, in addition to the inter-bay transfer mechanism 61 of the stocker 11 and the branch track 22, a shortcut track 23 is provided near the center of the basic loop-type transfer track 21. The stocker 11 includes a transfer machine 7, a buffer port 8, a shelf 9, and a stacker crane 12.
【００２５】これにより、図２の基本型の搬送装置に比
べて、搬送能力の向上が可能となる。As a result, the transfer capacity can be improved as compared with the basic transfer apparatus shown in FIG.
【００２６】しかし、この搬送装置では、上位システム
からの搬送要求に対して、空車の割付を行う際、搬送台
車４は、あらゆる搬送軌道２１〜２３の走行が可能な反
面、搬送命令の集中による瞬間的な搬送負荷の増大が生
じた場合、搬送台車４の局所的な偏在が発生する。However, in this transport apparatus, when allocating an empty vehicle in response to a transport request from a higher-level system, the transport vehicle 4 can travel on any of the transport tracks 21 to 23, but on the other hand, due to the concentration of transport commands. When an instantaneous increase in the transport load occurs, local uneven distribution of the transport cart 4 occurs.
【００２７】これにより、分岐軌道の分岐点Ｐ１や合流
点Ｐ２、あるいは搬送台車４が広域的に乗入れることが
できるショートカット軌道部２３に、搬送台車４の渋滞
がみられる。As a result, congestion of the transport vehicle 4 is observed at the branch point P1 or the junction P2 of the branch track, or at the short-cut track section 23 where the transport vehicle 4 can enter the vehicle over a wide area.
【００２８】これに対し、本実施例の搬送装置では、図
１に示すように、外周搬送軌道５を搬送軌道２から独立
させ、予め搬送台車４を分散させることにより、搬送台
車４の偏在を軽減することができ、これにより、搬送台
車４の渋滞を解消させることが可能である。On the other hand, in the transport apparatus of this embodiment, as shown in FIG. 1, the outer transport path 5 is made independent of the transport path 2 and the transport vehicles 4 are dispersed in advance, so that the uneven distribution of the transport vehicles 4 is reduced. Thus, it is possible to reduce the traffic jam of the transport vehicle 4.
【００２９】また、本実施例では、下記のような効果も
有している。（１）図１に示す本実施例の搬送装置に必
要な機器の追加は、従来の搬送装置の図２から図３への
向上策とコスト的に同程度であり、このことから、搬送
能力の向上に対する投資効率や搬送能力効率が高いとい
う利点を有している。（２）搬送軌道のある箇所のトラ
ブルに対して、搬送装置全体が停止することがない。The present embodiment also has the following effects. (1) The addition of the equipment necessary for the transfer apparatus of the present embodiment shown in FIG. 1 is substantially the same in cost as the improvement of the conventional transfer apparatus from FIG. 2 to FIG. It has the advantage that the investment efficiency for the improvement of the efficiency and the transport capacity efficiency are high. (2) The entire transfer device does not stop for a trouble at a certain position on the transfer track.
【００３０】例えば、図１と図３に示すように、搬送軌
道の一部Ｔにトラブルが発生した場合、図３の従来の搬
送装置では搬送系全体が停止する。しかし、図１に示す
本実施例では、外周搬送軌道５とストッカ１を経由する
ことで、搬送を継続することが可能であり、これによ
り、搬送装置全体の停止を回避することができる。For example, as shown in FIGS. 1 and 3, when a trouble occurs in a part T of the transport trajectory, the entire transport system stops in the conventional transport device of FIG. However, in the present embodiment shown in FIG. 1, it is possible to continue the conveyance by passing through the outer circumference conveyance trajectory 5 and the stocker 1, thereby avoiding stopping the entire conveyance device.
【００３１】最後に、下記の表１及び表２に、図１〜図
３に示した搬送装置での搬送軌道総延長と搬送能力のシ
ミュレーション結果を示す。Finally, Tables 1 and 2 below show the simulation results of the total length of the transfer trajectory and the transfer capacity in the transfer device shown in FIGS.
【００３２】[0032]
【表１】 [Table 1]
【００３３】[0033]
【表２】 [Table 2]
【００３４】[0034]
【発明の効果】本発明の搬送装置によれば、通常の搬送
軌道の外周に、該搬送軌道から独立したループ状の外周
搬送軌道を形成するとともに、この外周搬送軌道と搬送
軌道との間にストッカを配設し、該ストッカに、外周搬
送軌道と搬送軌道の搬送台車の間でストッカを介してキ
ャリアの移載を行う受渡し機構を設けたことから、外周
搬送軌道によって搬送台車の分散を図り、搬送台車の偏
在による渋滞を軽減するとともに、各搬送軌道の搬送台
車数を適正に設定することにより、搬送軌道ごとに搬送
能力を設定し、搬送能力を均等化することができる。そ
して、この搬送装置では、必要な機器の追加は、従来の
搬送装置にショートカット軌道や分岐軌道を追加する場
合とコスト的に同程度であり、このことから、搬送能力
の向上に対する投資効率や搬送能力効率が高いという利
点を有している。さらに、搬送軌道の一部にトラブルが
発生した場合でも、外周搬送軌道とストッカを経由する
ことによって搬送を継続することが可能であり、これに
より、搬送装置全体の停止を回避することができる。According to the transfer device of the present invention, a loop-shaped outer transfer trajectory independent of the transfer trajectory is formed on the outer circumference of the normal transfer trajectory, and a space between the outer transfer trajectory and the transfer trajectory is formed. A stocker is provided, and a transfer mechanism for transferring the carrier between the outer transport track and the transport truck of the transport track via the stocker is provided on the stocker, so that the transport truck is dispersed by the outer transport track. In addition, traffic congestion due to uneven distribution of the transport vehicles can be reduced, and by appropriately setting the number of transport vehicles in each transport path, the transport capacity can be set for each transport path and the transport capacity can be equalized. In this transfer device, the addition of necessary equipment is approximately the same in cost as adding a short-cut track or a branch track to the conventional transfer device. It has the advantage of high capacity efficiency. Further, even if a trouble occurs in a part of the transport path, the transport can be continued by passing through the outer peripheral transport path and the stocker, thereby avoiding stopping of the entire transport apparatus.
【図１】本発明の搬送装置の一実施例を示し、（ａ）は
搬送軌道が単一の搬送装置を示す平面図、（ｂ）は搬送
軌道が複数の搬送装置を示す平面図、（ｃ）はストッカ
を示す拡大図である。1A and 1B show an embodiment of a transfer device of the present invention, wherein FIG. 1A is a plan view showing a transfer device having a single transfer trajectory, FIG. 1B is a plan view showing a transfer device having a plurality of transfer trajectories, (c) is an enlarged view showing a stocker.
【図２】従来の搬送装置を示し、（ａ）は搬送軌道が単
一の搬送装置を示す平面図、（ｂ）は複数の搬送軌道を
併合した搬送装置を示す平面図、（ｃ）は搬送軌道が複
数の搬送装置を示す平面図、（ｄ）はストッカを示す拡
大図である。FIGS. 2A and 2B show a conventional transfer device, FIG. 2A is a plan view showing a transfer device having a single transfer trajectory, FIG. 2B is a plan view showing a transfer device in which a plurality of transfer trajectories are combined, and FIG. FIG. 3D is a plan view showing a plurality of transfer devices having a transfer track, and FIG.
【図３】ショートカット軌道と分岐路を併用した従来の
搬送装置を示し、（ａ）は搬送軌道が単一の搬送装置を
示す平面図、（ｂ）は搬送軌道が複数の搬送装置を示す
平面図、（ｃ）はストッカを示す拡大図である。FIGS. 3A and 3B show a conventional transport apparatus using both a shortcut track and a branch path, wherein FIG. 3A is a plan view showing a single transport apparatus having a single transport track, and FIG. 3B is a plan view showing a transport apparatus having a plurality of transport tracks. FIG. 3C is an enlarged view showing a stocker.
１ ストッカ ２ 搬送軌道 ３ キャリア ４ 搬送台車 ５ 外周搬送軌道 ６ 受渡し機構 ６０ ベイ間受渡し機構 ７ 移載機 ８ バッファポート ９ 棚 １０ スタッカクレーン DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Stocker 2 Transport track 3 Carrier 4 Transport cart 5 Outer transport track 6 Delivery mechanism 60 Bay delivery mechanism 7 Transfer machine 8 Buffer port 9 Shelf 10 Stacker crane
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 浜田 豊秀 東京都小平市上水本町五丁目20番１号 株 式会社日立製作所半導体グループ内 (72)発明者 渡辺 親一 東京都小平市上水本町五丁目20番１号 株 式会社日立製作所半導体グループ内 Ｆターム(参考） 3F022 BB09 EE05 FF01 HH04 JJ07 LL12 MM13 5F031 DA01 DA17 GA58 PA02 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Toyohide Hamada 5-2-1, Josuihonmachi, Kodaira-shi, Tokyo Within the Semiconductor Group, Hitachi, Ltd. (72) Inventor Shinichi Watanabe Josuihoncho, Kodaira-shi, Tokyo 5-20-1 F-term in Hitachi Semiconductor Co., Ltd. F-term (reference) 3F022 BB09 EE05 FF01 HH04 JJ07 LL12 MM13 5F031 DA01 DA17 GA58 PA02
Claims (1)
し、キャリアの搬送を搬送台車により行う搬送装置にお
いて、搬送軌道の外周に、該搬送軌道から独立したルー
プ状の外周搬送軌道を形成するとともに、外周搬送軌道
と搬送軌道との間にストッカを配設し、該ストッカに、
外周搬送軌道と搬送軌道の搬送台車の間でキャリアの移
載を行う受渡し機構を設けたことを特徴とする搬送装
置。1. A transport device in which a plurality of stockers are communicated by a transport track and a carrier is transported by a transport cart, wherein a loop-shaped outer transport track independent of the transport track is formed on the outer circumference of the transport track. At the same time, a stocker is arranged between the outer conveying track and the conveying track, and the stocker is
A transfer device provided with a transfer mechanism for transferring a carrier between an outer transfer track and a transfer carriage on the transfer track.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000282000A JP2002087514A (en) | 2000-09-18 | 2000-09-18 | Carrying device |
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|---|---|---|---|
| JP2000282000A JP2002087514A (en) | 2000-09-18 | 2000-09-18 | Carrying device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002087514A true JP2002087514A (en) | 2002-03-27 |
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| JP (1) | JP2002087514A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008501592A (en) * | 2004-06-04 | 2008-01-24 | “カット”・トランスポート・ゲー・エム・ベー・ハー | Article conveying method and apparatus for carrying out the method |
-
2000
- 2000-09-18 JP JP2000282000A patent/JP2002087514A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008501592A (en) * | 2004-06-04 | 2008-01-24 | “カット”・トランスポート・ゲー・エム・ベー・ハー | Article conveying method and apparatus for carrying out the method |
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