JP2002048962A - 光学素子装着装置 - Google Patents
光学素子装着装置Info
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- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/70808—Construction details, e.g. housing, load-lock, seals or windows for passing light in or out of apparatus
- G03F7/70825—Mounting of individual elements, e.g. mounts, holders or supports
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- G—PHYSICS
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
- G02B7/022—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses lens and mount having complementary engagement means, e.g. screw/thread
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- G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
- G02B7/023—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses permitting adjustment
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- G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
- G02B7/14—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses adapted to interchange lenses
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Abstract
(57)【要約】
【課題】レンズ、特にマイクロリソグラフィーで露出レ
ンズ2のレンズ素子のような光学素子1を装着するため
の装置を提供する。 【解決手段】光学素子1は支持ポイント8、9、10を
具備したエッジゾーンに提供され、カウンターベアリン
グポイント11は外部マウント3内の光学素子1の支持
ポイント8、9、10に反対に配置され、 ベアリング
部材12は支持ポイント8、9、10とカウンターベア
リングポイント11の間に配置され、ベアリング部材1
2は支持ポイント8、9、10側に配向された球形表面
を具備することを特徴としている。
ンズ2のレンズ素子のような光学素子1を装着するため
の装置を提供する。 【解決手段】光学素子1は支持ポイント8、9、10を
具備したエッジゾーンに提供され、カウンターベアリン
グポイント11は外部マウント3内の光学素子1の支持
ポイント8、9、10に反対に配置され、 ベアリング
部材12は支持ポイント8、9、10とカウンターベア
リングポイント11の間に配置され、ベアリング部材1
2は支持ポイント8、9、10側に配向された球形表面
を具備することを特徴としている。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はレンズ、特にマイク
ロリソグラフィーにおいて露出レンズのレンズ素子のよ
うな光学素子を装着するための装置に関するものであ
る。光学素子、特にレンズ素子は方向性接着剤接着マウ
ントまたは内部マウントとして公知されたものに装着さ
れ、次に外部マウントに装着される。機械的なねじれ応
力は方向性接着剤接着マウントにより光学素子に加えら
れることもあり、光学素子のイメージング正確度を減少
させる。マイクロリソグラフィー用レンズにおいて、レ
ンズ素子のような矯正素子として公知されたものは、残
留する光学エラーを矯正または除去するためレンズで交
換されるよう設計されたもので公知のものである。
ロリソグラフィーにおいて露出レンズのレンズ素子のよ
うな光学素子を装着するための装置に関するものであ
る。光学素子、特にレンズ素子は方向性接着剤接着マウ
ントまたは内部マウントとして公知されたものに装着さ
れ、次に外部マウントに装着される。機械的なねじれ応
力は方向性接着剤接着マウントにより光学素子に加えら
れることもあり、光学素子のイメージング正確度を減少
させる。マイクロリソグラフィー用レンズにおいて、レ
ンズ素子のような矯正素子として公知されたものは、残
留する光学エラーを矯正または除去するためレンズで交
換されるよう設計されたもので公知のものである。
【0002】矯正レンズのような光学素子の交換時に、
そして他の光学素子を再設置または設置するときに、新
しいエラー、特に設置エラーが発生し得る。
そして他の光学素子を再設置または設置するときに、新
しいエラー、特に設置エラーが発生し得る。
【0003】さらに、設置するための方向性接着剤接着
ポイントに位置する光学素子、特にレンズ素子をレンズ
のマウントに対し直角な光学軸と整列させる必要が時々
発生する。また、本発明の目的は光学素子にねじれ応力
が加わらず、また、光学素子が交換または再設置される
場合に新しい応力が発生しないようにすることを保障
し、再現可能な再設置ができるようにする前述した状態
の装置を提供するものである。本発明の他の目的は設置
または事後の除去または再組立の間に光学素子のティル
ティング調整または精密設定調整のための装置を提供す
るものである。
ポイントに位置する光学素子、特にレンズ素子をレンズ
のマウントに対し直角な光学軸と整列させる必要が時々
発生する。また、本発明の目的は光学素子にねじれ応力
が加わらず、また、光学素子が交換または再設置される
場合に新しい応力が発生しないようにすることを保障
し、再現可能な再設置ができるようにする前述した状態
の装置を提供するものである。本発明の他の目的は設置
または事後の除去または再組立の間に光学素子のティル
ティング調整または精密設定調整のための装置を提供す
るものである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上記目的は請求項第1
項の特徴部に開示された方法による本発明によりなされ
る。本発明によれば、光学素子は内部マウントの機能を
同時に遂行したり、内部マウントは光学素子と一体にさ
れる。このため、単に支持ポイントを持つ対応するエッ
ジゾーンを提供する必要があり、この目的のため一般的
に単に光学素子の直径を若干拡大する必要があった。
項の特徴部に開示された方法による本発明によりなされ
る。本発明によれば、光学素子は内部マウントの機能を
同時に遂行したり、内部マウントは光学素子と一体にさ
れる。このため、単に支持ポイントを持つ対応するエッ
ジゾーンを提供する必要があり、この目的のため一般的
に単に光学素子の直径を若干拡大する必要があった。
【0005】支持ポイントおよびカウンターベアリング
ポイントの精密指定により、再設置および除去の間に再
現性が得られるだけではなく、また、方向性接着剤接着
マウントがないため、機械的なねじれ応力が存在しな
い。
ポイントの精密指定により、再設置および除去の間に再
現性が得られるだけではなく、また、方向性接着剤接着
マウントがないため、機械的なねじれ応力が存在しな
い。
【0006】本発明の望ましい実施例において、支持ポ
イントを具備した光学素子のエッジゾーンが少なくとも
おおむね平面を形成するように製造することができ、こ
れにより良好な再現性を得ることができる。
イントを具備した光学素子のエッジゾーンが少なくとも
おおむね平面を形成するように製造することができ、こ
れにより良好な再現性を得ることができる。
【0007】本発明の非常に望ましい実施例において、
支持ポイント、カウンターベアリングポイントおよびベ
アリング部材が全体表面支持部、溝型支持部および固定
点支持部を具備した3点ベアリング部材を形成するする
よう製造することができる。本発明の非常に望ましい実
施例において、設置の間にティルティング調整を設定す
るために、たとえばV字型チャネルまたは溝で形成され
た支持ポイントがz軸に対し直角におかれている平面に
対して一定角度で配列されるよう製造することができ
る。一般的にこのような平面は水平面である。光学素子
の改善された中心設定を提供することに加え、本実施例
は半径方向で支持ポイント(一またはそれ以上)の簡単
な横方向変位により、このようなポイントから光学素子
の高さを変更することができ、その結果、光学素子上の
ベアリングポイントの高さの変更により光学素子がティ
ルティングされ得るようにする。鮮明度は傾斜の角度を
選択することによって設定することができ、その結果テ
ィルティングは非常に低い値で低めるよう矯正すること
ができる。必要であれば、上述した調整方法は必要な支
持フィート(feet)の何の制御もなく、はなはだし
くは、設置の間にも利用することができる。このような
方法により対応する時間が減少する。
支持ポイント、カウンターベアリングポイントおよびベ
アリング部材が全体表面支持部、溝型支持部および固定
点支持部を具備した3点ベアリング部材を形成するする
よう製造することができる。本発明の非常に望ましい実
施例において、設置の間にティルティング調整を設定す
るために、たとえばV字型チャネルまたは溝で形成され
た支持ポイントがz軸に対し直角におかれている平面に
対して一定角度で配列されるよう製造することができ
る。一般的にこのような平面は水平面である。光学素子
の改善された中心設定を提供することに加え、本実施例
は半径方向で支持ポイント(一またはそれ以上)の簡単
な横方向変位により、このようなポイントから光学素子
の高さを変更することができ、その結果、光学素子上の
ベアリングポイントの高さの変更により光学素子がティ
ルティングされ得るようにする。鮮明度は傾斜の角度を
選択することによって設定することができ、その結果テ
ィルティングは非常に低い値で低めるよう矯正すること
ができる。必要であれば、上述した調整方法は必要な支
持フィート(feet)の何の制御もなく、はなはだし
くは、設置の間にも利用することができる。このような
方法により対応する時間が減少する。
【0008】他の実施例において、ベアリングポイント
がV字型溝またはチャンネルで形成されるようにでき、
このような溝またはチャンネルの縦方向壁は互いに一定
角度で配列される。
がV字型溝またはチャンネルで形成されるようにでき、
このような溝またはチャンネルの縦方向壁は互いに一定
角度で配列される。
【0009】通常的に、チャンネル壁は互いに平行に延
長される。万一、本発明によってこれらの壁が互いに対
し一定角度で配列されるならば、支持ポイント半径方向
変位により光学素子のティルティングをもう一度実行す
ることができる。対応する変位の結果、ベアリング本体
の貫通深さは変更され、それにともない支持ポイントの
z軸深さも変更される。
長される。万一、本発明によってこれらの壁が互いに対
し一定角度で配列されるならば、支持ポイント半径方向
変位により光学素子のティルティングをもう一度実行す
ることができる。対応する変位の結果、ベアリング本体
の貫通深さは変更され、それにともない支持ポイントの
z軸深さも変更される。
【0010】他の解決策において、万一ベアリング本体
が配列されるカウンターベアリングポイントがz軸に対
し直角な平面に対し一定角度、一般的に水平面に対し一
定角度でおかれるならば、それによって傾斜したマウン
ト上の支持ポイントの半径方向変位もまた光学素子上の
ベアリング本体の支持ポイントの高さ位置を変更する。
このような方法で、ティルティングはもう一度成され
る。次に、鮮明度は角度により設定することができる。
もともと、同一な角度が外部マウントに提供され得る。
が配列されるカウンターベアリングポイントがz軸に対
し直角な平面に対し一定角度、一般的に水平面に対し一
定角度でおかれるならば、それによって傾斜したマウン
ト上の支持ポイントの半径方向変位もまた光学素子上の
ベアリング本体の支持ポイントの高さ位置を変更する。
このような方法で、ティルティングはもう一度成され
る。次に、鮮明度は角度により設定することができる。
もともと、同一な角度が外部マウントに提供され得る。
【0011】
【発明の構成】望ましい規定および実施例は残りの従属
項と、図面を参照し後述する例示的な実施例により明ら
かになる 後述する実施例において、たとえば矯正レンズであるレ
ンズ素子1は本発明による装置を説明するための光学素
子として利用される。勿論、装置は平面光学パネル、プ
リズムまたは例えば偏光または強度分布に影響を与える
素子のような他の光学素子に対しても利用することがで
きる。本明細書において、望ましい適用分野はマイクロ
リソグラフィーでの露出レンズである。図1(a)にお
いて、簡略性のため、図示された全ての構成要素は外部
マウント3と、この外部マウント3に連結されたアダプ
タリング4を具備した露出レンズ2の一部分である。次
にアダプタリング4はこの上に配置された外部マウント
にスクリュー(図示しない)を経て連結されている。レ
ンズ素子1は底部6の上及び上部7の上に平面を有する
広いエッジゾーン5を具備する。3個の支持ポイントは
下部平面6、特に円周の回りに分布した全体表面支持部
8、溝型支持部9および固定点支持部10に提供されて
いる。固定点支持部10は図1(a)に図示されたよう
に円錐型切取部で形成されている。3個のカウンターベ
アリングポイント11は外部マウント3に対応し、整列
された方法で配列されており、上記3個のカウンターベ
アリングポイント11はベアリング部材12を含み、上
記ベアリング部材12はボールで設計されたり、それぞ
れ支持ポイント8、9、10に向かい配向された球形表
面を具備するように設計される。図1(a)および図2
に図示されたように、3点ベアリングがこのような方法
で形成され、その結果レンズ素子1は正確に位置可能に
なり、除去された後にも正確にそしてそれにより再現可
能に再挿入することができる。
項と、図面を参照し後述する例示的な実施例により明ら
かになる 後述する実施例において、たとえば矯正レンズであるレ
ンズ素子1は本発明による装置を説明するための光学素
子として利用される。勿論、装置は平面光学パネル、プ
リズムまたは例えば偏光または強度分布に影響を与える
素子のような他の光学素子に対しても利用することがで
きる。本明細書において、望ましい適用分野はマイクロ
リソグラフィーでの露出レンズである。図1(a)にお
いて、簡略性のため、図示された全ての構成要素は外部
マウント3と、この外部マウント3に連結されたアダプ
タリング4を具備した露出レンズ2の一部分である。次
にアダプタリング4はこの上に配置された外部マウント
にスクリュー(図示しない)を経て連結されている。レ
ンズ素子1は底部6の上及び上部7の上に平面を有する
広いエッジゾーン5を具備する。3個の支持ポイントは
下部平面6、特に円周の回りに分布した全体表面支持部
8、溝型支持部9および固定点支持部10に提供されて
いる。固定点支持部10は図1(a)に図示されたよう
に円錐型切取部で形成されている。3個のカウンターベ
アリングポイント11は外部マウント3に対応し、整列
された方法で配列されており、上記3個のカウンターベ
アリングポイント11はベアリング部材12を含み、上
記ベアリング部材12はボールで設計されたり、それぞ
れ支持ポイント8、9、10に向かい配向された球形表
面を具備するように設計される。図1(a)および図2
に図示されたように、3点ベアリングがこのような方法
で形成され、その結果レンズ素子1は正確に位置可能に
なり、除去された後にも正確にそしてそれにより再現可
能に再挿入することができる。
【0012】図2に図示されたように、溝型支持部9の
縦軸の延長部は円錐型収納部(図1(a))により形成
された固定点支持部10を通し延長される。このような
方法で、支持部の非常に精密な再現性が得られる。
縦軸の延長部は円錐型収納部(図1(a))により形成
された固定点支持部10を通し延長される。このような
方法で、支持部の非常に精密な再現性が得られる。
【0013】ベアリングの高い再現性は硬質金属素子を
利用することにより得られる。一般的に、マイクロリソ
グラフィーでのレンズはティルティングされておらず、
また反転していない。このような理由のため、特別に固
定する必要がない。しかし、安全のため、レンズ素子1
が粗く変位したり、または落下することを防止するため
固定装置13を追加で提供することもできる。しかし、
重要な点は固定装置13により光学素子1に、この場合
においてレンズ素子1に力が伝達されないようにするこ
とである。これは、例えば、幾つかのμmの空気ギャッ
プにより、または圧力を発揮してはならない接着層によ
り達成することができる。このために、固定装置13は
エクステンションアーム14を具備し、固定部材15は
レンズ素子1の上部平面7に向かい上記エクステンショ
ンアーム14から延長されている。
利用することにより得られる。一般的に、マイクロリソ
グラフィーでのレンズはティルティングされておらず、
また反転していない。このような理由のため、特別に固
定する必要がない。しかし、安全のため、レンズ素子1
が粗く変位したり、または落下することを防止するため
固定装置13を追加で提供することもできる。しかし、
重要な点は固定装置13により光学素子1に、この場合
においてレンズ素子1に力が伝達されないようにするこ
とである。これは、例えば、幾つかのμmの空気ギャッ
プにより、または圧力を発揮してはならない接着層によ
り達成することができる。このために、固定装置13は
エクステンションアーム14を具備し、固定部材15は
レンズ素子1の上部平面7に向かい上記エクステンショ
ンアーム14から延長されている。
【0014】精密距離設定のため、そして力からの自由
度を得るために、固定部材15はz軸または光学軸の方
向に調整可能である。固定部材15は例えば円錐型、截
頭円錐型、球形または円筒形部材で成すことができる。
図1(b)はレンズ素子1側の方向に移動可能であり、
そして距離の精密設定後に例えばスクリュウまたは接着
剤によりエクステンションアーム14に固定される固定
部材15である円筒形部材を図示したものである。
度を得るために、固定部材15はz軸または光学軸の方
向に調整可能である。固定部材15は例えば円錐型、截
頭円錐型、球形または円筒形部材で成すことができる。
図1(b)はレンズ素子1側の方向に移動可能であり、
そして距離の精密設定後に例えばスクリュウまたは接着
剤によりエクステンションアーム14に固定される固定
部材15である円筒形部材を図示したものである。
【0015】レンズ素子1の作業ゾーンを、例えば固定
装置13に接着することにより発生する機械的な応力
や、またはレンズ素子1と固定装置13との間の熱膨張
の差を除去するため、上部平面7および/または下部平
面6にリリーフ溝16を形成することもできる。リリー
フ溝16は図示されたようにエッジゾーンに提供され、
これら溝16は支持ポイント8、9、10が位置する円
周セクションにだけ位置するとすればおおむね充分であ
る。リリーフ溝16は垂直方向または選択的に傾斜する
ように、またはz軸に対し一定角度で延長することがで
きる。
装置13に接着することにより発生する機械的な応力
や、またはレンズ素子1と固定装置13との間の熱膨張
の差を除去するため、上部平面7および/または下部平
面6にリリーフ溝16を形成することもできる。リリー
フ溝16は図示されたようにエッジゾーンに提供され、
これら溝16は支持ポイント8、9、10が位置する円
周セクションにだけ位置するとすればおおむね充分であ
る。リリーフ溝16は垂直方向または選択的に傾斜する
ように、またはz軸に対し一定角度で延長することがで
きる。
【0016】図3は上部平面7内の2個の傾斜するよう
に延長されたリリーフ溝16を図示するものであり、図
5は上部平面7内の一つのリリーフ溝と、下部平面6内
の他の垂直方向リリーフ溝を図示したものである。図示
されたように図3によるリリーフ溝は円錐形成ラインで
同心で設計されている。
に延長されたリリーフ溝16を図示するものであり、図
5は上部平面7内の一つのリリーフ溝と、下部平面6内
の他の垂直方向リリーフ溝を図示したものである。図示
されたように図3によるリリーフ溝は円錐形成ラインで
同心で設計されている。
【0017】また、エッジゾーンは非条件的に平坦でな
くてもよく、必要であれば傾斜することもできる。
くてもよく、必要であれば傾斜することもできる。
【0018】エッジゾーン5の上部平面7は水平方向エ
クステンションアーム14または固定部材を固定するた
めに機械的に測定可能な表面を保障するように微細粗度
(microroughness)で精密ラップ加工される。
クステンションアーム14または固定部材を固定するた
めに機械的に測定可能な表面を保障するように微細粗度
(microroughness)で精密ラップ加工される。
【0019】支持ポイント8、9、10はミリング加工
され、また光学素子1の作業表面の事前ポリッシングの
間に事前に反射的にポリッシング加工される。図示され
たように、光学素子1はこれ以上マウントを具備してい
ないが、例えば矯正素子または矯正レンズも簡単な方法
で除去することができる非固定レンズ素子を構成する。
され、また光学素子1の作業表面の事前ポリッシングの
間に事前に反射的にポリッシング加工される。図示され
たように、光学素子1はこれ以上マウントを具備してい
ないが、例えば矯正素子または矯正レンズも簡単な方法
で除去することができる非固定レンズ素子を構成する。
【0020】図6はティルティング調整のため第1実施
例の装置を図示したものである。このような場合に、互
いに対し120°でオフセットされ配列された3個のV
字型チャンネル9aはレンズ素子1に半径方向に配列さ
れており、これらチャンネルはz軸に対し角度αで傾斜
している。従って、このような配列において、傾斜は水
平面に対し傾斜されるように配向される。この結果レン
ズ素子1の最適の中心設定が得られる。矢印Aの方向で
カウンターベアリングポイント11の単一変位により、
溝またはチャンネル9aのベアリング本体12の結果的
で対応する変位によりティルティングを設定することが
できる。このような方法で得られるレンズ素子1のため
の支持ポイントの高さの変化はレンズ素子1のティルテ
ィングを示す。傾斜の角度αをより小さくすれば、より
精密で敏感なティルティングが設定され得る。必要であ
れば、光学素子、すなわちレンズ素子1が支持ポイント
に対して変位できるようにし、ティルティングをもう一
度実行することができ、このような場合には中心が修正
される。
例の装置を図示したものである。このような場合に、互
いに対し120°でオフセットされ配列された3個のV
字型チャンネル9aはレンズ素子1に半径方向に配列さ
れており、これらチャンネルはz軸に対し角度αで傾斜
している。従って、このような配列において、傾斜は水
平面に対し傾斜されるように配向される。この結果レン
ズ素子1の最適の中心設定が得られる。矢印Aの方向で
カウンターベアリングポイント11の単一変位により、
溝またはチャンネル9aのベアリング本体12の結果的
で対応する変位によりティルティングを設定することが
できる。このような方法で得られるレンズ素子1のため
の支持ポイントの高さの変化はレンズ素子1のティルテ
ィングを示す。傾斜の角度αをより小さくすれば、より
精密で敏感なティルティングが設定され得る。必要であ
れば、光学素子、すなわちレンズ素子1が支持ポイント
に対して変位できるようにし、ティルティングをもう一
度実行することができ、このような場合には中心が修正
される。
【0021】図7および図8はティルティング調整のた
め他の実施例の装置を図示したものである。図7に図示
されたように、この場合V字型チャンネル9bの縦方向
壁17は、互いに平行に延長されるのではなく、互いに
対して角度βで配列される。カウンターベアリングポイ
ント11または選択的にレンズ素子1の矢印Aの方向で
の半径方向変位により、ベアリング本体12が対応する
V字型チャンネル9b内で貫通する深さは変更され、そ
の結果対応する支持ポイントの高さ変化と、それにとも
なう光学素子、すなわちレンズ素子1のティルティング
が設定される。
め他の実施例の装置を図示したものである。図7に図示
されたように、この場合V字型チャンネル9bの縦方向
壁17は、互いに平行に延長されるのではなく、互いに
対して角度βで配列される。カウンターベアリングポイ
ント11または選択的にレンズ素子1の矢印Aの方向で
の半径方向変位により、ベアリング本体12が対応する
V字型チャンネル9b内で貫通する深さは変更され、そ
の結果対応する支持ポイントの高さ変化と、それにとも
なう光学素子、すなわちレンズ素子1のティルティング
が設定される。
【0022】図9はベアリング本体12がその上に配列
されたカウンターベアリングポイント11がz軸に対し
直角な平面、本実施例の場合に水平面に対し角度φでお
かれているティルティング調整を示したものである。も
ちろんこの場合にカウンターベアリングポイント11近
傍に位置する外部マウント3の領域は同一な角度で成さ
れなければならない。
されたカウンターベアリングポイント11がz軸に対し
直角な平面、本実施例の場合に水平面に対し角度φでお
かれているティルティング調整を示したものである。も
ちろんこの場合にカウンターベアリングポイント11近
傍に位置する外部マウント3の領域は同一な角度で成さ
れなければならない。
【0023】傾斜にともない矢印Aの方向でのカウンタ
ーベアリングポイント11の半径方向変位により、高さ
の対応する変化と、それに伴うベアリング本体12のレ
ンズ素子1に対する支持ポイントのティルティング調整
が再度得られる。
ーベアリングポイント11の半径方向変位により、高さ
の対応する変化と、それに伴うベアリング本体12のレ
ンズ素子1に対する支持ポイントのティルティング調整
が再度得られる。
【0024】図6ないし図9の例示的な実施例におい
て、ベアリング本体12は中間ウェブ18を経てベアリ
ングポイント11にそれぞれ連結される。元々、カウン
ターベアリングポイント11上のベアリング本体12の
ベアリングはまたは例えば図1ないし図5と関連し上述
した内容から他の方法で構成することもできる。
て、ベアリング本体12は中間ウェブ18を経てベアリ
ングポイント11にそれぞれ連結される。元々、カウン
ターベアリングポイント11上のベアリング本体12の
ベアリングはまたは例えば図1ないし図5と関連し上述
した内容から他の方法で構成することもできる。
【0025】
【発明の効果】本発明の光学素子装着装置によれば、光
学素子にねじれ応力が加えられず、交換または再設置す
る場合にも新たな応力が発生せず、再現可能な設置が可
能なようにする効果がある。
学素子にねじれ応力が加えられず、交換または再設置す
る場合にも新たな応力が発生せず、再現可能な設置が可
能なようにする効果がある。
【図1】図1(a)は本発明による装置の側面図であ
り、図1(b)は固定装置の他の実施例であって図1
(a)の詳細図である。
り、図1(b)は固定装置の他の実施例であって図1
(a)の詳細図である。
【図2】図2は図1に図示された光学素子を縮小された
大きさで図示した平面図である。
大きさで図示した平面図である。
【図3】図3は本発明の実施例による***したまたは盛
り上がった状態の光学素子、特にレンズ素子の側面図で
ある。
り上がった状態の光学素子、特にレンズ素子の側面図で
ある。
【図4】図4は本発明の実施例による***したまたは盛
り上がった状態の光学素子、特にレンズ素子の側面図
で、支持ポイントがレンズ素子表面内に直接機械加工さ
れていることを図示する図面である。
り上がった状態の光学素子、特にレンズ素子の側面図
で、支持ポイントがレンズ素子表面内に直接機械加工さ
れていることを図示する図面である。
【図5】図5は本発明による実施例において、支持表面
を具備した凹んだ状態のレンズ素子の図面である。
を具備した凹んだ状態のレンズ素子の図面である。
【図6】図6は水平面に対して一定角度で傾斜したV字
型チャネルでティルティング調整するための装置の側面
図である。
型チャネルでティルティング調整するための装置の側面
図である。
【図7】図7は他の状態のティルティング調整のための
光学素子を下部から見た図面である。
光学素子を下部から見た図面である。
【図8】図8は図7に図示されたティルティング調整の
ための装置の一部であって、部分的に断面で図示された
側面図である。
ための装置の一部であって、部分的に断面で図示された
側面図である。
【図9】図9は傾斜したマウントによりティルティング
調整のための装置の一部を図示する側面図である。
調整のための装置の一部を図示する側面図である。
1: 光学素子 2:露出レンズ 3:外部マウント 4:アダプターリング 5:エッジゾーン 6:下部平面 7:上部平面 8:全体表面支持部(ポイント) 9:溝型支持部 10:固定点支持部 11:カウンターベアリングポイント 12:ベアリング部材または本体 13:固定装置 14:エクステンションアーム 15:固定部材 16:リリーフ溝
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G02B 3/00 G02B 3/00 Z (71)出願人 500545919 D−89518 Heidenheim / Germany (72)発明者 カールフリド オステーリード ドイツ国 ディー−73431 アーレン、 スタウッフェンベルグシュトラーセ 40エ ー Fターム(参考) 2H044 AA02 AA09 AA16 AB01 AB07 AB10 AB12 AB25 AC01 AE01 AJ04
Claims (17)
- 【請求項1】 レンズ、特にマイクロリソグラフィー
で、露出レンズのレンズ素子のような光学素子を装着す
るための装置において a)上記光学素子は支持ポイントを具備したエッジゾー
ンに提供され、 b)カウンターベアリングポイントは外部マウント内の
光学素子の支持ポイントに反対に配置され、 c)ベアリング部材は上記支持ポイントと上記カウンタ
ーベアリングポイントの間に配置され、 d)上記ベアリング部材は上記支持ポイント側に配向し
た球形表面を具備することを特徴とする光学素子装着装
置。 - 【請求項2】 第1項において、上記支持ポイントを具
備する光学素子の上記エッジゾーンが少なくともおおむ
ね平面を具備することを特徴とする光学素子装着装置。 - 【請求項3】 第1項において、上記支持ポイント、カ
ウンターベアリングポイント及びベアリング部材は全体
表面支持部、溝型支持部および固定点支持部を具備した
3点ベアリング部材を構成することを特徴とする光学素
子装着装置。 - 【請求項4】 第3項において、上記溝型支持部の縦軸
の延長部は円錐型収納部分により形成され固定点支持部
を通し延長されることを特徴とする光学素子装着装置。 - 【請求項5】 第1項において、上記光学素子は機械的
な応力から上記光学素子の作業ゾーンを分離させるた
め、リリーフ溝をエッジゾーンに具備することを特徴と
する光学素子装着装置。 - 【請求項6】 第1項において、光学軸の方向から固定
するため固定装置が上記支持ポイントに対向した光学素
子の側面上に提供されることを特徴とする光学素子装着
装置。 - 【請求項7】 第6項において、上記固定装置が、接着
剤により光学素子に結合されたことを特徴とする光学素
子装着装置。 - 【請求項8】 第6項において、上記固定装置が、固定
装置の熱膨張と関連し光学素子の熱膨張と附合すること
を特徴とする光学素子装着装置。 - 【請求項9】 第8項において、上記固定装置が、上記
光学素子に対し調整可能な固定部材を含むことを特徴と
する光学素子装着装置。 - 【請求項10】 第1項において、上記光学素子の上記
エッジゾーンの上部が微細粗度(microroughness)で精
密ラップ加工されたことを特徴とする光学素子装着装
置。 - 【請求項11】 第1項において、上記光学素子は、マ
イクロリソグラフィーにおける露出レンズのうちの矯正
レンズであることを特徴とする光学素子装着装置。 - 【請求項12】 第1項において、上記支持ポイントが
光学軸に対し直角におかれている平面に対し一定角度で
配列されていることを特徴とする光学素子装着装置。 - 【請求項13】 第12項において、上記支持ポイント
がV字型溝またはチャンネルで形成され、上記V字型溝
またはチャンネルの縦軸が光学軸側に配向することを特
徴とする光学素子装着装置。 - 【請求項14】 第1項において、上記支持ポイントが
V字型溝またはチャンネルで形成され、上記溝またはチ
ャンネルの縦軸が互いに対し一定角度で配列されたこと
を特徴とする光学素子装着装置。 - 【請求項15】 第1項において、上記ベアリング部材
本体を互いに結合する上記カウンターベアリングポイン
トは光学軸に直角におかれている平面に対し一定角度で
配列されたことを特徴とする光学素子装着装置。 - 【請求項16】 第15項において、上記外部マウント
側に向かった上記カウンターベアリングポイントの側面
が光学軸に対して傾斜するように形成され、上記外部マ
ウントは少なくともカウンターベアリングポイントがそ
の上に位置する領域において同一な傾斜部を具備するこ
とを特徴とする光学素子装着装置。 - 【請求項17】 第12項において、上記カウンターベ
アリングポイントは半径方向に変位可能なことを特徴と
する光学素子装着装置。
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EP01113149.7 | 2001-05-30 |
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- 2001-06-15 US US09/882,564 patent/US6829107B2/en not_active Expired - Fee Related
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