DE10359576A1

DE10359576A1 - Verfahren zur Herstellung einer optischen Einheit

Info

Publication number: DE10359576A1
Application number: DE10359576A
Authority: DE
Inventors: Manfred Pilz; Christian Dr. Münster
Original assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Current assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Priority date: 2003-12-18
Filing date: 2003-12-18
Publication date: 2005-07-28
Also published as: US7387395B2; JP2005191579A; US20050134973A1

Abstract

Bei einem Verfahren zur Herstellung einer optischen Einheit (7) mit einem von einer Kreisform abweichenden optischen Element (13) für eine abbildende Optik (1), insbesondere für ein Projektionsobjektiv in der Halbleiter-Lithographie im EUV-Bereich, ist ein Tragteil (8) vorgesehen, das mit Referenzflächen (10, 14, 15) zur Justage in der Optik (1) versehen wird, wonach das optische Element (13) mit dem Tragteil (8) verbunden wird. Anschließend wird ein Nullpunkt (17) zu dem optischen Element (13) festgelegt, der einen Bezugspunkt mit einem in der Optik (1) festgelegten Nullpunkt (18) beim Einbau der optischen Einheit (7) in die Optik (1) bildet.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer optischen Einheit mit einem von der Kreisform abweichenden optischen Element für eine abbildende Optik, insbesondere für ein Projektionsobjektiv in der Halbleiter-Lithographie im EUV-Bereich.
Die Erfindung betrifft auch eine optische Einheit mit einem optischen Element für eine abbildende Optik.

Bei Projektionsobjektiven in der Halbleiter-Lithographie zur Herstellung von Halbleiterelementen, die im EUV-Bereich bei Wellenlängen um 11 bis 13 nm arbeiten, werden äußerst hohe Anforderungen an die optischen Elemente gestellt. Dies gilt z.B. zum einen für die optische Nutzfläche innerhalb einer bestimmten Spezifikation (Passe, Rauheit) bezüglich der Fertigung und zum anderen auch für eine spätere Justage bezüglich einer sehr exakten Einbaulage in ein Objektiv. Dies betrifft insbesondere Spiegel, welche anstelle von Linsen bei den vorstehend genannten sehr kurzen Wellenlängen erforderlich werden. Da die optische Nutzfläche des optischen Elementes für die spätere Justage bezüglich ihrer Lage bis auf wenige μ bekannt sein muss, sind an der optischen Einheit, z.B. dem Spiegel, mehrere Referenzflächen vorzusehen, die dann – entsprechend bezogen auf einen Nullpunkt – Referenzflächen für den Einbau bilden. Um mit den Referenzflächen die geforderten Genauigkeitsspezifikationen zu erfüllen, ist hierfür ein sehr hoher wirtschaftlicher Aufwand erforderlich. Bei einem von der Kreisform abweichenden optischen Element, z.B. einem Spiegelelement oder einem Prisma, sind die vorstehend genannten Probleme noch deutlich größer.

Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde ein Verfahren zur Herstellung einer optischen Einheit mit einem von der Kreisform abweichenden optischen Element, insbe sondere eines Spiegels, und eine danach hergestellte optische Einheit zu schaffen, bei welchem sich die geforderten Genauigkeiten und die exakte Justage bezüglich eines Einbaus in ein Objektiv mit geringerem Aufwand realisieren lassen.

Erfindungsgemäß wird dies durch ein Verfahren gelöst, bei dem das von der Kreisform abweichende optische Element mit einem Tragteil versehen wird, das mit Referenzflächen zur Justage in der Optik versehen wird, wonach das optische Element mit dem Tragteil zu einer optischen Einheit verbunden und ein Nullpunkt zu dem optischen Element festgelegt wird, der einen Bezugspunkt mit einem in der Optik festgelegten Nullpunkt beim Einbau der optischen Einheit in die Optik bildet.

Erfindungsgemäß wird nunmehr an einer von dem Benutzer festgelegten Stelle ein Nullpunkt "irgendwo" an dem mit einem von einer Kreisform abweichenden optischen Element, z.B. in der Mitte einer Sphären- oder Asphärenfläche eines Spiegels, festgelegt. Auf diesen Nullpunkt werden dann die Referenzflächen bezogen, wobei die erhaltenen Werte dann entsprechend für einen Einbau in eine Optik, z.B. einem Objektiv mitgegeben und es auf diese Weise möglich wird das optische Element, z.B. eine Asphärenfläche, exakt auf einen anderen Nullpunkt in der Optik zu beziehen.

Eines der wesentlichen Merkmale der Erfindung liegt darin, dass die optische Einheit mit dem optischen Element und dem Tragteil nicht monolytisch aus einem Teil hergestellt ist, sondern dass sie aus mehreren Teilen, zumindest aus zwei Teilen, besteht, nämlich dem Tragteil und dem eigentlichen optischen Element. Dabei kann das optische Element ebenfalls noch aus einem Grundkörper gebildet werden, auf dem dann das eigentliche von der Kreisform abweichende optische Element aufgebaut wird, wie z.B. ein Spiegel in Form einer Asphäre, der aus einem sogenannten Parent gebildet ist.

Durch die Aufteilung der optischen Einheit auf mehrere Einzelteile können die Einzelteile jeweils separat mit der geforder ten hohen Genauigkeit und gegebenenfalls mit den erforderlichen Referenzflächen gefertigt werden.

In einer sehr vorteilhaften Ausführung der Erfindung können die folgenden Referenzflächen vorgesehen werden:

a) wenigstens drei koplanare Befestigungsflächen, die eine Referenzebene bilden,
b) eine in einem Winkel zu den koplanaren Referenzflächen liegende erste Anlagekante des Tragteiles und
c) eine zweite Anlagestelle, durch die translatorische Verschiebungen entlang der ersten Anlagekante vermieden werden.

Durch die wenigstens drei koplanaren Referenzflächen, über die später ggf. auch eine Befestigung mit bzw. in der Optik erfolgen kann, wird in einem ersten Schritt eine Referenzebene festgelegt. Diese Referenzebene ist in vorteilhafter Weise die gleiche Ebene, auf der bzw. an der das eigentliche optische Element, z.B. ein Spiegel befestigt wird. Dies kann z.B. durch ein Ansprengen an entsprechend hochgenaue Flächen erfolgen. Die Referenzebene kann senkrecht zur z-Achse (optische Achse) liegen.

Durch die erste, vorzugsweise senkrecht zu den koplanaren Befestigungsflächen liegende Anlagekante werden Drehungen auf der durch die koplanaren Befestigungsflächen gebildeten Referenzebene ausgeschaltet bzw. wird die Lage auf der Referenzebene festgelegt.

Durch die zweite Anlagestelle, die vorzugsweise ebenfalls eine Anlagekante ist, werden dann in einem letzten Schritt translatorische Verschiebungen entlang der ersten Anlagekante vermieden. Auf diese Weise ist die Lage des optischen Elementes exakt bezüglich der Referenzflächen und bezogen auf den Nullpunkt des optischen Elements festgelegt.

Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den übrigen Unteransprüchen und aus dem nachfolgend anhand der Zeichnung prinzipmäßig beschriebenen Ausführungsbeispiel.

Es zeigt:

1 eine schematische Darstellung eines Projektionsobjektives mit mehreren Spiegeln als optische Elemente;

2 eine Draufsicht auf einen Spiegel als optische Einheit mit einem Tragteil;

3 eine Seitenansicht des Spiegels nach der 2;

4 eine Draufsicht auf einen Parent;

5 einen Teilschnitt durch eine optische Einheit mit einem Prisma; und

6 eine perspektivische Ansicht eines Tragkörpers für das Prisma nach 5.

Das in der 1 dargestellte Projektionsobjektiv 1 als Optik ist für die Halbleiter-Lithographie im EUV-Bereich zur Herstellung von Halbleiterelementen vorgesehen. Zur Belichtung dient eine Lichtquelle, z.B. eine Plasmaquelle 2, die über ein Beleuchtungssystem 3 Belichtungsstrahlen 4 auf eine Maske (Retikel) 5 sendet. In die Maske 5 ist die Struktur eingeformt, die die Strahlen nach Durchgang durch das Objektiv 1 auf einem Wafer 6 mit entsprechend verkleinertem Maßstab abbildet. Der Belichtungsstrahl 4 wird in dem Projektionsobjektiv 1 in bekannter Weise über mehrere Spiegel 7 als optische Einheiten umgeleitet, bevor er auf den Wafer 6 trifft. Die von einer Kreisform abweichenden Spiegel 7 sind jeweils über ein Tragteil 8 in nicht näher dargestellter Weise, z.B. über Schrauben (siehe Bohrungen in 2) mit dem Gehäuse des Objektives 1 verbunden. Das Tragteil 8 ist hierzu mit drei über den Umfang verteilt angeordneten Befestigungsabschnitten 9 versehen, die jeweils Befestigungsflächen 10 aufweisen. Die Befestigungsflächen 10 der Befestigungsabschnitte 9 bilden gleichzeitig Referenzflächen und sind hierzu koplanar zueinander, d.h. sie liegen in der gleichen Ebene. Diese Ebene ist gleichzeitig auch eine mit hoher Genauigkeit gefertigte Planfläche 11 des Tragteiles 8. Auf die Planfläche 11 des Tragteiles 8 wird ein Grundkörper 12 aufgelegt, in welchem auf der von dem Tragteil 8 abgewandten Seite eine Spiegelfläche 13 als optisches Element eingeformt wird. Die Unterseite des Grundkörpers 12 ist mit entsprechend hoher Genauigkeit gefertigt, wodurch sie durch Ansprengen mit dem Tragteil 8 verbunden werden kann.
Selbstverständlich ist es nicht unbedingt erforderlich, dass die Referenzflächen gleichzeitig die Befestigungsflächen bilden. Im Bedarfsfalle können diese auch an einer anderen Stelle zusammen eine Referenzebene bilden. In vorteilhafter Weise sollte man jedoch die Referenzflächen in diesem Falle gleichzeitig mit den Befestigungsflächen 10 bearbeiten. Hierzu sollten die Referenzflächen 10 dann möglichst unmittelbar benachbart zu den Befestigungsflächen 10 liegen.
Anstelle einer Einformung der Spiegelfläche 13 (Asphäre) in den Grundkörper 12 kann auch eine separate auf den Grundkörper 12 aufgesetzte Spiegelfläche 13 als Freiformfläche vorgesehen werden. In diesem Falle ist dafür zu sorgen, dass die Unterseite der Asphäre eine Planfläche mit entsprechend hoher Genauigkeit aufweist oder erhält, über die dann die Verbindung mit dem Grundkörper 12 erfolgt.
Die Oberseite der Spiegelfläche 13, nämlich die Asphärenfläche, kann an stelle eines einzelnen außeraxialen Ellipsenabschnitt auch aus einem Parent 15 hergestellt werden, wie aus 4 ersichtlich. Aus dem Parent 15 werden hierzu die benötigten außeraxialen Abschnitte als Spiegelflächen 13 herausgeschnitten und entsprechend auf ihren Unterseiten für das Ansprengen vorbereitet. Der Vorteil dieses Herstellungsverfahrens besteht unter anderem darin, dass die für die Fertigung wichtigen "Überläufe" 16 an den optischen Flächen intrinsisch vorhanden sein können. Dies bedeutet es müssen keine Polierüberläufe, welche bis zu 9 mm betragen können, für die Fertigung der optischen Nutzfläche vorgehalten werden. Damit kann der Spiegel 13 deutlich kompakter hergestellt werden, womit ein im allgemeinen knapp vorhandener Bauraum noch optimaler ausgenutzt wird.
Zur Lagebestimmung der Spiegelfläche bzw. der Asphäre 13 dienen die Referenzflächen an dem Tragteil 8. Dabei bilden – wie erwähnt – die erste Referenzebene die drei koplanaren Befestigungsflächen 10. Eine Lagefestlegung auf der Referenzebene bezüglich einer Achse, z.B. der x-Achse, erfolgt durch eine erste Anlagekante 14, die durch eine Längsseite des Tragteiles 8 gebildet wird.
Durch eine weitere zweite Anlagestelle in Form einer Anlagekante 15, welche in einem Winkel zu der Anlagekante 14 liegt, werden translatorische Verschiebungen entlang der Anlagekante 14 vermieden bzw. wird der letzte Freiheitsgrad des Tragteiles 8 festgelegt.
Mit den vorstehend genannten Referenzflächen, nämlich den Befestigungsflächen 10, den beiden Anlagekanten 14 und 15 ist es möglich das System zu justieren. Hierzu wird ein Nullpunkt 17 z.B. in der Mitte der Asphärenfläche 13 festgelegt, womit die Lage der Asphärenfläche bezüglich der Referenzflächen bekannt ist. Die daraus gewonnenen Werte werden dann zum Systemeinbau des optischen Elementes über das Tragteil 8 als optische Einheit in das Objektiv 1 entsprechend weitergegeben, wobei dieser Nullpunkt relativ zu einem Nullpunkt 18 in dem Objektiv, der ebenfalls entsprechend vorher frei festlegbar ist, festgelegt wird. Der Nullpunkt 18 in dem Objektiv kann z.B. an eine bestimmte Stelle auf der Innenseite des Gehäuses des Objektives 1 oder auch an irgendeine Stelle auf der optischen Achse gelegt werden.
Auf diese Weise gelingt es das optische Element, in diesem Falle die Asphärenfläche 13, mit dem vorher bei der Herstel lung festgelegten Nullpunkt 17 auf den Nullpunkt 18 in dem Objektiv zu beziehen, womit nicht nur eine entsprechend genaue Justage möglich wird, sondern auch bei einem Ausbau und einem anschließenden Wiedereinbau eine exakte Reproduzierbarkeit erreicht wird.
Mit den drei Referenzflächen kann man das Tragteil 8 für einen Einbau in das Objektiv 1 auf einfache Weise antasten und damit entsprechend exakt justieren.
Aus Stabilitätsgründen kann vorgesehen werden, dass auf der von dem optischen Element abgewandten Seite des Tragteiles 8 ein Unterteil 20 angeordnet wird. Auf diese Weise können auch Spannungen, die z.B. durch Beschichtungen in dem optischen Element entstehen, minimiert werden. Das Unterteil 20 kann ebenfalls durch ein Ansprengen mit dem Tragteil 8 verbunden erden. Hierzu müssen selbstverständlich die einander zugewandten Flächen des Tragteiles 8 und des Unterteiles 20 entsprechend hoch genau gefertigt sein.
In vorteilhafter Weise wird man alle Teile der optischen Einheit, die somit aus der Asphäre 13, dem Tragteil 8 und dem Unterteil 20 bestehen kann, aus dem gleichen Material herstellen. Als Material für das optische Element ist z.B. Zerodur geeignet, da es einen sehr kleinen Wärmeausdehnungskoeffizienten besitzt. Ebenso ist ULE, (Hersteller Fa. Corning) geeignet.
Nachfolgend sind beispielsweise zwei Verfahren zum Herstellen einer optischen Einheit prinzipmäßig beschrieben:
In einem ersten Schritt wird das Tragteil 8 hergestellt. Anschließend wird der Grundkörper 12 hergestellt, wonach der Grundkörper 12 mit dem Tragteil 8 verbunden wird. Anschließend erfolgt die Bearbeitung der Oberfläche des eigentlichen optischen Elementes 13 (Spiegelfläche oder Asphärenfläche) auf dem Grundkörper 12.
Bei dem zweiten Verfahren wird ebenfalls in einem ersten Schritt das Tragteil 8 hergestellt. Anschließend stellt man ein Parent 15 her und bearbeitet dieses entsprechend, wobei man nach Ausarbeitung aus dem Parent 15 entsprechend den gewünschten außeraxialen Ellipsenabschnitt als Spiegelfläche 13 herausschneidet. Abschließend wird der Grundkörper 12 oder das Tragteil 8 mit dem herausgeschnittenen axialen Ellipsenabschnitt verbunden.
Die 5 zeigt eine Ausführungsform einer optischen Einheit mit einem zylinderförmigen Grundkörper 12, an dessen vorderen Stirnseite das optische Element 13 angeordnet ist, in einem Teilschnitt.
Der Grundkörper 12 ist zur Verbindung mit dem Tragteil 8' mit einem Hilfsstück 19 versehen, das an der von dem optischen Element 13 abgewandten Stirnseite des Grundkörers 12 mit diesem verbunden ist. Der Grundkörper 12 ist in einer Aussparung 20 des Tragkörpers 8' gelagert, wobei der Tragkörper 8' in diesem Falle eine Prismaform aufweist, wie dies aus der perspektivischen Darstellung in der 6 ersichtlich ist. Das Hilfsstück 19 mit dem Grundkörper 12 liegt auf einer der beiden rechtwinklig zueinander angeordneten Seiten des Tragkörpers 8' an. Dabei handelt es sich um die Seite mit der Aussparung 20, in der der Hilfskörper 12 gelagert ist. Selbstverständlich muss die Aussparung 20 nicht kreisförmig sein. Sie ist vielmehr dem Querschnitt des Grundkörpers 12 anzupassen, welcher selbstverständlich ebenfalls nicht zylinderförmig sein muss, sondern z.B. auch eine Rechteckform aufweisen kann.
Bei dem optischen Element 13 kann es sich beispielsweise um eine Asphäre handeln, die z.B. aus dem in der 4 dargestellten Parent 15 herausgeformt ist.
Ebenso kann als optisches Element ein Prisma 13' an der vorderen Stirnseite des Grundkörpers 12 angeordnet sein, wie dies in der 5 gestrichelt dargestellt ist.
Ziel bei der Ausführungsform nach der 5 ist es, Winkelfehler des Nullpunktes 17 des optischen Elementes 13 bezüglich des Nullpunktes 18 in der Optik kleiner als 10 Winkelsekunden, vorzugsweise kleiner 3 Winkelsekunden zu halten, wobei der Nullpunkt 17 wieder ein willkürlich an dem optischen Element 13 gewählter Nullpunkt und "18" der in der Optik 1 willkürlich festgelegte Nullpunkt ist. Auf diese Weise erfolgt beim Einbau des optischen Elementes 13 wiederum eine exakte und wiederholbare Zuordnung.
Das Hilfsstück 19 wird z.B. durch Ansprengen mit dem Grundkörper 12 und dem Tragteil 8' verbunden. Die optische Einheit nach der 5 mit dem Grundkörper 12, dem Hilfsstück 19 und dem Tragkörper 8' besitzt in gleicher Weise Referenzflächen, wie das Ausführungsbeispiel nach den 1 bis 3 mit der Spiegelfläche 13 als optischem Element. Aus Übersichtlichkeitsgründen sind diese jedoch nicht dargestellt.
Bei dem nachfolgend beispielsweise dargestellten Herstellverfahren wird in einem ersten Schritt der Tragkörper 8' hergestellt, wobei Winkelfehler γ < 3'' Winkelsekunden, vorzugsweise < 1 Winkelsekunde sein sollten. Der Ebenheitsfehler sollte < 10 μ, vorzugsweise < 1 μ sein. Der Winkel γ ist dabei der Winkel der Rechtwinkligkeit des prismaförmigen Tragkörpers 8'. Anschließend wird das planparallele Hilfsstück 19 hergestellt, wonach der Grundkörper 12 mit dem Hilfsstück 19 und gleichzeitig auch mit dem Tragkörper 8', z.B. durch Ansprengen, verbunden wird.
Im Bedarfsfalle können die einzelnen Teile der optischen Einheit auch auf andere Weise miteinander verbunden werden, wie z.B. durch Kleben. Allerdings wird man im allgemeinen ein Ansprengen bevorzugen, um ein Einbringen von Kleberspannungen zu vermeiden.

Claims

Verfahren zur Herstellung einer optischen Einheit (7) mit einem von einer Kreisform abweichenden optischen Element (13), für eine abbildende Optik (1), insbesondere für ein Projektionsobjektiv in der Halbleiter-Lithographie im EUV-Bereich, mit einem Tragteil (8), das mit Referenzflächen (10, 14, 15) zur Justage in der Optik (1) versehen wird, wonach das optische Element (13) mit dem Tragteil (8) zu der optischen Einheit (7) verbunden und ein Nullpunkt (17) zu dem optischen Element (13) festgelegt wird, der einen Bezugspunkt mit einem in der Optik (1) festgelegten Nullpunkt (18) beim Einbau der optischen Einheit (7) in die Optik (1) bildet.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass folgende Referenzflächen vorgesehen werden: a) wenigstens drei koplanare Referenzflächen (10), die eine Referenzebene bilden, b) eine in einem Winkel zu den koplanaren Referenzflächen (10) liegende erste Anlagekante (14) des Tragteiles ( 8) , und c) eine zweite Anlagestelle (15), durch die translatorische Verschiebungen entlang der ersten Anlagekante (14) vermieden werden.
Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die drei eine Referenzebene bildenden Referenzflächen (10) senkrecht zur optischen Achse (z-Achse) liegen.
Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Anlagekante (14) senkrecht zu der Referenzebene liegt.
Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite Anlagestelle (15) als Anlagekante ausgebildet ist.
Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Referenzflächen (10) gleichzeitig die Befestigungsflächen (10) bilden, an denen die optische Einheit (7) mit der Optik (1) verbunden wird.
Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Referenzflächen (10) gleichzeitig mit den Befestigungsflächen (10) bearbeitet werden.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Tragteil (8) auf der von dem optischen Element (13) abgewandten Seite mit einem Unterteil (20) versehen wird.
Verfahren nach Anspruch 1 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dass die einzelnen Teile (13, 18, 20) durch Ansprengen miteinander verbunden werden.
Verfahren nach Anspruch 1 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dass die einzelnen Teile (13, 18, 20) durch Kleben miteinander verbunden werden.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das optische Element (13) mit einem Grundkörper (12) versehen wird, der mit einer Planfläche zur Verbindung mit dem Tragteil (8) versehen wird, und dass auf dem Grundkörper (12) ein Spiegel als optisches Element (13) gebildet wird.
Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass der Spiegel (13) als Teil einer Freiformfläche (Asphäre) gebildet wird.
Verfahren nach Anspruch 1 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dass die einzelnen Teile (13, 8, 20) der optischen Einheit (7) aus einem gleichen Material, insbesondere einem Material mit sehr geringer Wärmeausdehnung, hergestellt werden.
Optische Einheit mit einem von einer Kreisform abweichenden optischen Element (13) für eine abbildende Optik (1), insbesondere für ein Projektionsobjektiv in der Halbleiter- Lithographie im EUV-Bereich, und mit einem Tragteil (8), das mit Referenzflächen (10, 14 ,15) zur Justage in der Optik (1) versehen ist, wobei das Tragteil (8) mit dem optischen Element (13) verbunden ist, und wobei die Referenzflächen (10, 14, 15) auf einen Nullpunkt zum optischen Element (13) bezogen sind, der einen Bezugspunkt mit einem in der Optik (1) festgelegten Nullpunkt (18) beim Einbau der optischen Einheit (7) in die Optik bildet.
Optische Einheit nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass an dem Tragteil (8) folgende Referenzflächen vorgesehen sind: a) wenigstens drei koplanare Referenzflächen (10), die eine Referenzebene bilden, b) eine in einem Winkel zu den koplanaren Referenzflächen (10) liegende erste Anlagekante (14) des Tragteiles (8) und c) eine zweite Anlagestelle (15), durch die translatorische Verschiebungen entlang der ersten Anlagekante (14) vermieden werden.
Optische Einheit nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass die drei eine Referenzebene bildenden Referenzflächen (10) senkrecht zur optischen Achse (z-Achse) liegen.
Optische Einheit nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Anlagekante (14) senkrecht zu der Referenzebene liegt.
Optische Einheit nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite Anlagestelle (15) als Anlagekante ausgebildet ist.
Optische Einheit nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Referenzflächen (10) gleichzeitig die Befestigungsflächen (10) bilden, an denen die optische Einheit (7) mit der Optik (1) verbunden ist.
Optische Einheit nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Referenzflächen (10) benachbart zu den Befestigungsflächen (10) liegen.
Optische Einheit nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass das Tragteil (8) auf der von dem optischen Element (13) abgewandten Seite mit einem Unterteil (16) versehen ist.
Optische Einheit nach Anspruch 15 oder 21, dadurch gekennzeichnet, dass die einzelnen Teile (13, 8, 20) der optischen Einheit durch Ansprengen miteinander verbunden sind.
Optische Einheit nach Anspruch 15 oder 21, dadurch gekennzeichnet, dass die einzelnen Teile (13, 8, 20) der optischen Einheit durch Kleben miteinander verbunden sind.
Optische Einheit nach Anspruch 15 oder 21, dadurch gekennzeichnet, dass die einzelnen Teile (13, 8, 20) aus einem gleichen Material, insbesondere einem Material mit sehr geringer Wärmeausdehnung, gebildet sind.
Optische Einheit nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass ein Grundkörper (12) mit einer Planfläche vorgesehen ist, über die der Grundkörper (12) mit dem Tragteil (8) verbunden ist, und dass der Grundkörper (12) eine Spiegelfläche als optisches Element (13) aufweist.
Optische Einheit nach Anspruch 25, dadurch gekennzeichnet, dass die Spiegelfläche (13) als Freiformfläche (Asphäre) in den Grundkörper (12) eingeformt ist.
Optische Einheit nach Anspruch 25, dadurch gekennzeichnet, dass die Spiegelfläche (13) aus einem Parent (15) gebildet ist, aus welchem die Spiegelfläche (13) ausgeschnitten ist.
Projektionsobjektiv für die Halbleiterlithographie im EUV- Bereich mit wenigstens einer optischen Einheit mit einem von einer Kreisform abweichenden optischen Element (13) und mit einem Tragteil (8), das mit Referenzflächen (10, 14, 15) zur Justage in der Optik (1) versehen ist, wobei das optische Element (13) mit dem Tragteil (8) zu der optischen Einheit (7) verbunden und ein Nullpunkt (17) zu dem optischen Element (13) festgelegt ist, der einen Bezugspunkt mit einem in dem Projektionsobjektiv (1) festgelegten Nullpunkt (18) beim Einbau der optischen Einheit (7) in das Projektionsobjektiv (1) bildet.
Projektionsobjektiv nach Anspruch 28, dadurch gekennzeichnet, dass folgende Referenzflächen vorgesehen sind: a) wenigstens drei koplanare Referenzflächen (10), die eine Referenzebene bilden, b) eine in einem Winkel zu den koplanaren Referenzflächen (10) liegende erste Anlagekante (14) des Tragteiles (8) und c) eine zweite Anlagestelle (15), durch die translatorische Verschiebungen entlang der ersten Anlagekante (14) vermieden werden.
Projektionsobjektiv nach Anspruch 29, dadurch gekennzeichnet, dass die drei eine Referenzebene bildende Referenzfläche (10) senkrecht zur optischen Achse (z-Achse) liegen.
Projektionsobjektiv nach Anspruch 29, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Anlagekante (14) senkrecht zu der Referenzfläche (10) liegt.
Projektionsobjektiv nach Anspruch 29, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite Anlagestelle (15) als Anlagekante ausgebildet ist.
Projektionsobjektiv nach Anspruch 28, dadurch gekennzeichnet, dass die Referenzflächen (10) gleichzeitig die Befestigungsflächen bilden, mit denen die optische Einheit (7) in dem Projektionsobjektiv befestigt ist.
Projektionsobjektiv nach Anspruch 28, dadurch gekennzeichnet, dass das Tragteil (8) auf der von dem optischen Element (13) abgewandten Seite mit einem Unterteil (20) versehen wird.
Projektionsobjektiv nach Anspruch 28, dadurch gekennzeichnet, dass die einzelnen Teile (13, 18, 20) der optischen Einheit (7) durch Ansprengen oder Kleben miteinander verbunden werden.
Projektionsobjektiv nach Anspruch 28, dadurch gekennzeichnet, dass das optische Element (13) mit einem Grundkörper (12) versehen ist, der mit dem Tragteil (8) verbunden ist.
Projektionsobjektiv nach Anspruch 36, dadurch gekennzeichnet, dass der Grundkörper (12) mit einer Spiegelfläche als optischem Element (13) versehen ist.
Projektionsobjektiv nach Anspruch 36, dadurch gekennzeichnet, dass der Grundkörper (12) mit einer Planfläche zur Verbindung mit dem Tragteil (8) versehen ist.
Projektionsobjektiv nach Anspruch 28, dadurch gekennzeichnet, dass der Grundkörper (12) über ein Hilfsstück (19) mit dem Tragteil (8') verbunden ist.
Projektionsobjektiv nach Anspruch 39, dadurch gekennzeichnet, dass das Tragteil (8') in Prismaform ausgebildet ist.
Projektionsobjektiv nach Anspruch 40, dadurch gekennzeichnet, dass der Grundkörper (12) in einer Aussparung (20) des Tragteiles (8') gelagert ist.
Projektionsobjektiv nach Anspruch 39 und 41, dadurch gekennzeichnet, dass das Hilfsstück (19) an der von dem optischen Element (13) abgewandten Seite des Grundkörpers (12) angeordnet ist.
Projektionsobjektiv nach Anspruch 42, dadurch gekennzeichnet, dass das Hilfsstück (19) auf der von dem optischen Element (13) abgewandten Rückseite einer Wand des Tragteiles (8') anliegt, in der sich die Aussparung (20) befindet.
Projektionsobjektiv nach einem der Ansprüche 28 bis 43, dadurch gekennzeichnet, dass das optische Element eine Asphäre ist.
Projektionsobjektiv nach einem der Ansprüche 28 bis 43, dadurch gekennzeichnet, dass das optische Element ein Prisma (13') ist.