JP2002045802A

JP2002045802A - チップ型電子部品分離洗浄乾燥装置

Info

Publication number: JP2002045802A
Application number: JP2000239497A
Authority: JP
Inventors: Kaneo Mori; 金男森; Akira Onodera; 晃小野寺; Takashi Sakurai; 隆司櫻井; Yoshihiro Hirakawa; 善博平川
Original assignee: IMAIZUMI TEKKOSHO KK; TDK Corp
Current assignee: IMAIZUMI TEKKOSHO KK; TDK Corp
Priority date: 2000-08-08
Filing date: 2000-08-08
Publication date: 2002-02-12
Anticipated expiration: 2020-08-08
Also published as: JP3749095B2

Abstract

(57)【要約】【課題】チップ部品とメディアをバレルから異なる容
器に移し替えてから、その容器を連続的にかつ直線的に
搬送しながら、チップ部品とメディアを分離し、チップ
部品を洗浄し乾燥する動作を連続的かつ効率的に実現す
る。【解決手段】チップ型電子部品及びメディアを収容す
るメッシュポットを有する容器１０と、前記容器を一定
の方向に搬送する搬送チェーン７Ａ，７Ｂと、前記搬送
チェーン７Ａ，７Ｂにおいて前記容器が搬送される方向
に、前記容器内のメディアを分離するメディア分離部３
０と、前記容器内のチップ型電子部品を超音波洗浄する
超音波洗浄部４０と、前記容器内のチップ型電子部品を
純水で洗浄する純水リンス部５０と、前記容器内のチッ
プ型電子部品を乾燥する乾燥部６０とを順次備えてい
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、外部電極の形成等
を行うため、チップ型電子部品（以下チップ部品と呼
ぶ）にメッキを施す工程に用いる装置に係り、特に端子
電極をバレル電解メッキにより形成するチップ部品のメ
ッキ工程に続けて、バレル電解メッキで使用するメディ
アを分離し、メッキを施されたチップ部品に付着する電
解メッキ液等を除去する分離洗浄乾燥装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、フェライト磁石等を連続的に洗浄
する超音波洗浄装置が知られており、特開平４−１７６
３７９号公報、特開平５−２２０４５９号公報、特開平
５−２９３４５１号公報には、連続超音波洗浄装置とし
て洗浄槽に工夫を施してネットコンベアが直線的に配置
できるようにすること、被洗浄物を載置した下側ネット
コンベアに、押さえネットあるいは上側ネットコンベア
を用いることで保持搬送することが開示される。また、
バレル形洗浄方法及び洗浄装置として特開平６−７９２
４３号公報には、洗浄すべき工作物とメディア及び洗浄
剤等をバレル槽内へ装入し、バレル槽及び工作物に運動
を与えて、工作物とメディアとの間に相対運動を発生さ
せ、洗浄剤の作用と、相対運動とによって工作物表面の
微細汚染物質を除去する洗浄方法が開示される。さら
に、洗浄、濯ぎ、乾燥等一連の工程においてバレルを順
次搬送し、洗浄槽あるいは超音波による洗浄槽で洗浄す
ることが、特開平６−９１５１６号公報、特開平６−２
２６２１６号公報、特開平７−３１９４１号公報、特開
平７−２６５８２０号公報、特開平７−２７５８０９号
公報に開示される。しかし、端子電極をバレル電解メッ
キにより形成するチップ部品には最適な洗浄装置となら
ない。すなわち、ネットコンベアによる洗浄装置ではバ
レルに収容したチップ部品とメディアを搬送するに適さ
ないし、バレル形洗浄方法及び洗浄装置ではバレル槽に
給排水装置を連結するため、複数のバレルを用いるバレ
ル電解メッキには適さない。また、バレルを順次搬送す
るいずれの開示においても、バレルは洗浄槽に対し上下
に出し入れする構成であり、水平方向に搬送する動作と
ともに上下に昇降する動作が混在し、洗浄装置の構成を
複雑にしかつ搬送に伴う動作に無駄が生じることにな
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記のよう
な従来の技術における問題点を解決するためになされた
ものであり、特にチップ部品とメディアをバレルに収容
して、複数のバレルを用い連続的にバレル電解メッキす
る工程において、チップ部品とメディアをバレルから異
なる容器に移し替えてから、その容器を連続的にかつ直
線的に搬送しながら、チップ部品とメディアを分離し、
チップ部品を洗浄し乾燥することを連続的に実現するの
に好適な装置であって、その装置の構成は簡単にしなが
ら搬送に伴う無駄が生じないチップ型電子部品分離洗浄
乾燥装置を提供することを目的とする。

【０００４】本発明のその他の目的や新規な特徴は後述
の実施の形態において明らかにする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本願請求項１の発明に係るチップ型電子部品分離洗
浄乾燥装置は、チップ部品及びメディアを収容するメッ
シュポットを有する容器と、前記容器を一定の方向に搬
送する搬送機構と、前記搬送機構において前記容器が搬
送される方向に、前記容器内のメディアを分離するメデ
ィア分離部と、前記容器内のチップ部品を超音波洗浄す
る超音波洗浄部と、前記容器内のチップ部品を乾燥する
乾燥部とを順次備えることを特徴としている。

【０００６】本願請求項２の発明は、請求項１におい
て、前記容器内のチップ部品を純水で洗浄する純水リン
ス部を、前記超音波洗浄部と前記乾燥部との間に設けた
ことを特徴としている。

【０００７】本願請求項３の発明は、請求項１又は２に
おいて、前記メッシュポットは、チップ部品の最大長さ
寸法よりも小さい最大長さ寸法のメディアが通過するが
前記チップ部品は通過しないメッシュを有し、前記メデ
ィア分離部は、前記チップ部品及び前記メディアを収容
する前記メッシュポットを有する前記容器に向けて洗浄
液を噴出する噴出手段を備え、前記洗浄液により前記メ
ッシュポットから前記メディアを通過させて排出し、前
記メッシュポット内に前記チップ部品が残留する構成と
したことを特徴としている。

【０００８】本願請求項４の発明は、請求項３におい
て、前記メディア分離部にて、前記容器を回転させる回
転駆動手段を備え、前記チップ部品及び前記メディアを
収容するメッシュポットを有する前記容器を回転させな
がら、前記容器に向けて洗浄液を噴出することを特徴と
している。

【０００９】本願請求項５の発明は、請求項１，２，３
又は４において、前記超音波洗浄部は、超音波振動子が
設けられた洗浄槽と、前記洗浄槽の前記容器が搬送され
る方向の両側面に設けられた入口と出口をなす２つの開
口と、前記開口を開閉するシャッターと、前記洗浄槽に
洗浄液を供給する洗浄液供給手段を備えていることを特
徴としている。

【００１０】本願請求項６の発明は、請求項１，２，
３，４又は５において、前記乾燥部は、前記容器に向け
てエアーブローするエアーブローノズルを少なくとも備
えていることを特徴としている。

【００１１】本願請求項７の発明は、請求項１，２，
３，４，５又は６において、前記搬送機構における前記
一定の方向が直線的であることを特徴としている。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係るチップ型電子
部品分離洗浄乾燥装置の実施の形態を図面に従って説明
する。

【００１３】図１はチップ型電子部品分離洗浄乾燥装置
の実施の形態の主要部全体構成を示す正断面図であり、
図２は同じく正面図であるが開閉する扉等も見える全体
構成図を示し、図３は正面図に直交する上方からみた平
面図である。また、図４は容器（ポット）を示す概略斜
視図、図５は容器の側断面図、図６は容器が搬送チェー
ンに載っている状態の正面図を示す。

【００１４】バレル電解メッキ処理において、チップ部
品とメディア（電解メッキのために使用する金属球体）
はバレル内に一緒に収容されているが、分離洗浄乾燥処
理の前に、バレルから図４及び図５に示す容器１０にチ
ップ部品１００とメディア１０１は入れ替えられる。

【００１５】分離洗浄乾燥装置１は、メディア分離部３
０、超音波洗浄部４０、純水リンス部５０及び乾燥部６
０を備えており、チップ部品１００とメディア１０１を
入れた専用の容器１０を受け取り、メディア分離部３０
によって始めにチップ部品１００とメディア１０１を洗
浄しながら分離し、超音波洗浄部４０にてチップ部品１
００を超音波洗浄し、純水リンス部５０にてチップ部品
１００を純水で洗浄し、乾燥部６０でチップ部品１００
を乾燥し、専用の容器１０からチップ部品１００を取り
出す次の工程に対し、この容器１０を受け渡すまでを１
パスで自動的に行う構成である。

【００１６】例えば、チップ部品１００は寸法が長さ
１．６mm，幅０．８mm，厚さ０．８mmを製品１６０８と
呼ぶことにする、製品とメディアサイズの関係につい
て、製品１６０８に対して、メディア１０１は形状が球
形で外径０．５７mmを選択しメディアサイズφ０．５７
と呼ぶことにする。容器１０は円筒状のメッシュポット
１１を有し、このメッシュポット１１はメディアサイズ
φ０．５７が通過し製品１６０８が通過しないメッシュ
で構成する。チップ部品１００の寸法が異なるとメディ
ア１０１の形状やサイズを変更し、容器１０のメッシュ
ポット１１のメッシュを変更することになる。

【００１７】容器１０を搬送しながらチップ部品１００
とメディア１０１を分離し、その後に乾燥までの一連の
自動化を図るためには、メディア１０１の分離、チップ
部品１００の洗浄、乾燥まで容器１０を共用することが
重要であり、容器１０は上記工程を通して使用できる専
用のメッシュポットを具備している。

【００１８】前記容器１０は図５に構造をより詳しく示
すが、図４に模式的に示す如く、メッシュポット１１を
有する。このメッシュポット１１はステンレス鋼線の網
を円筒状にし、円筒網の両端を塞ぐ円盤状の蓋１２Ａ，
１２Ｂを装着したものである。図５のように蓋１２Ａは
円筒網の一端に固着され、蓋１２Ａの外側には当該蓋１
２Ａの中心に円筒網に平行な軸１３が固着され、軸１３
の端部に蓋１２Ａと面を平行にしてスプロケット１４が
固着されている。メッシュポット１１の中心とスプロケ
ット１４の回転中心は同心である。

【００１９】前記蓋１２Ｂは前記円筒網の他方にワンタ
ッチで着脱自在である。図６に示すように、蓋１２Ｂに
は複数本の放射状ピン１５が設けられており、円筒網端
部に固着された環状部材１６の内周溝１７に突出状態の
放射状ピン１５が係合するようになっている。放射状ピ
ン１５は引き込み方向にばね１８で付勢されている。蓋
１２Ｂの中央部にはワンタッチのロック解除部材１９が
設けられており、ロック解除部材１９のテーパー面１９
ａが放射状ピン１５の基端に当接するようになってい
る。ロック解除部材１９は底面側のコイルばね１９ｂに
て突出方向に付勢されている。

【００２０】従って、ロック解除部材１９に外力が加わ
らない状態では、図５に図示の状態であり、ロック解除
部材１９のテーパー面１９ａによって放射状ピン１５が
ばね１８の弾性力に抗して突出方向に駆動されて環状部
材１６の内周溝１７に係合している。ロック解除部材１
９を押せば、テーパー面１９ａの位置が放射状ピン１５
から外れて放射状ピン１５はばね１８によって引き込み
方向に駆動され、放射状ピン１５と環状部材１６との係
合が外れ、蓋１２Ｂを離脱させることができる。逆に蓋
１２Ｂを装着するときはロック解除部材１９を押した状
態で円筒網端部の環状部材１６に嵌合すればよい。な
お、蓋１２Ａと環状部材１６とは補強用ピン２２で連結
されている。

【００２１】このように構成された容器１０に対して、
バレルからチップ部品１００とメディア１０１をそのま
ま移し入れワンタッチ蓋１２Ｂを閉め、容器１０を分離
洗浄乾燥装置の入口（投入ステーション）から搬送チェ
ーン７Ａ，７Ｂに載せると一連のプロセスが完了できる
ようになる。容器１０のサイズは、例えば円筒網の外径
１００mm×長さ２００mmで容量が１５７０ｃｃとし、チ
ップ部品１００とメディア１０１の合計で８００ｃｃを
収容するので約半分の内容量になる。

【００２２】図１乃至図３に示す如く、分離洗浄乾燥装
置１は架台２に各機構を組み付けて構成し、架台２は複
数の脚２１により床Ｆに載置する。架台２に固定する軸
受３が軸支する軸４と、軸４に嵌着するスプロケットは
複数組が備えられる。図３の複数のスプロケット５Ａ間
には容器１０を回転駆動するための回転用チェーン６が
張架されている。また、軸４の両側に設けられたスプロ
ケット５Ｂ，５Ｃ間には容器１０を搬送する一対の搬送
用チェーン７Ａ，７Ｂが張架されている。つまり、搬送
用チェーンは図１の手前からチェーン７Ａ，７Ｂと複数
が備えられる。この状態は図１に対し直交する方向から
見て示す図５により詳しく示され、容器１０のメッシュ
ポット１１の両側に搬送チェーン７Ａ，７Ｂが位置す
る。搬送チェーン７Ａ，７Ｂは対向する位置のリンク軸
を延長するステーピン２５で一体化され、搬送チェーン
７Ａ，７Ｂは複数のステーピン２５を梯子のような形態
に備える。そうして、搬送チェーン７Ａは複数のスプロ
ケット５Ｂで、搬送チェーン７Ｂは複数のスプロケット
５Ｃで、各々張架されている。回転用チェーン６は図５
に示す如く容器１０が備えるスプロケット１４に係合す
る。搬送チェーン７Ａ，７Ｂを連結するステーピン２５
は両端にローラ２６Ａ，２６Ｂを回転自在に支持し、隣
り合うローラ２６Ａの２個と、隣り合うローラ２６Ｂの
２個で計４個が１つの容器１０を回転自在に支持する構
成である。これらの搬送チェーン７Ａ，７Ｂ等を含む機
構が搬送機構をなしている。

【００２３】また、走行する回転用チェーン６にて前記
容器１０側スプロケット１４を回転させると、軸１３か
ら蓋１２Ａを経てメッシュポット１１に回転力が伝わ
り、結局、容器１０は一体にローラ２６Ａ，２６Ｂに回
転自在に支持され回転することになる。これらの回転用
チェーン６を含む機構が容器１０を回転させる回転駆動
手段をなしている。

【００２４】図１及び図２の右端には容器１０を搬送チ
ェーン７Ａ，７Ｂ上に自動載置するためのローダー２０
が設置されている。

【００２５】また、図１及び図２において架台２左端に
モータ８，９が固定されている。モータ８の出力軸に固
着したスプロケットと軸４に固着したスプロケット間に
チェーンを張架して、モータ８の出力軸が回転すると搬
送チェーン７Ａ，７Ｂが循環する仕組みとする。モータ
９の出力軸に固着したスプロケットと軸４Ａに固着した
スプロケット間にチェーンを張架して、モータ９の出力
軸が回転すると回転チェーン６が循環する仕組みとす
る。

【００２６】架台２の上方に複数のチェーンガイドが固
定される。チェーンガイドは図１の手前から直交する方
向にチェーンガイド２７Ａ，２７Ｂと備えられ、チェー
ンガイド２７Ａは図１の手前において横一列に複数個が
配置され、チェーンガイド２７Ｂは図１の奥側において
横一列に複数個が配置される。チェーンガイド２７Ａは
搬送チェーン７Ａを支持し、チェーンガイド２７Ｂは搬
送チェーン７Ｂを支持する。なお、テンショナ１８はこ
の個所の軸受と軸とスプロケットの一体構造体を平行移
動する構成であり、搬送チェーン７Ａ，７Ｂの張りを加
減することができる。また、テンショナ１９は回転チェ
ーン６の張りを加減できるよう左右に移動させてから固
定できる。

【００２７】図１に示すように、分離洗浄乾燥装置１は
矢印Ｐの方向に容器１０を搬送する構成であるが、搬送
される容器１０に対し行われるプロセス用の構成を順に
説明する。なお、本実施の形態では容器１０の搬送は間
欠搬送であるものとする。

【００２８】図７及び図８に示すように、メディア１０
１を分離排出するメディア分離部３０が容器搬送方向よ
りみて最前位置に配置されている。このメディア分離部
３０はシャワー部３１を備えている。シャワー部３１は
シャワーノズル３１１を備え、シャワーノズル３１１は
噴出口３１２を備えていて、洗浄液としての洗浄水を噴
出する噴出手段を構成している。噴出口３１２は容器１
０の円筒方向に延長する長方形で細長い開口であり、例
えば洗浄水を下方の容器１０の円筒方向全長にわたりナ
イフエッジ状に噴出する。図８のように矢印Ｐ１方向に
間欠搬送される容器１０の下方にはメディア１０１や洗
浄水の排出路３３を配置する。排出路３３は漏斗状のシ
ュート３３１と排出口３３２でなり、シュート３３１で
メディア１０１や洗浄水を受けて排出口３３２から洗浄
水分離部３４に排出する。図８は矢印Ｑでメディア１０
１や洗浄水が移動することを示すが、排出口３３２の真
下に洗浄水分離部３４を配置するか、排出口３３２にダ
クトやパイプを接続する構成とすれば真下に位置しなく
てもよい。いずれにしても、排出口３３２から排出され
たメディア１０１や洗浄水は全て洗浄水分離部３４に至
る構成である。

【００２９】シャワー部３１での条件として例えば、メ
ッシュポット１１を有する容器１０の回転数を２５〜３
０rpmとし、噴出口３１２のスリット寸法は幅０．８〜
１．０mm×長さ２５０mmとし、噴出する洗浄水量は５０
リットル／分以上とし、分離に要する時間を１８０秒と
すると、ほぼ完全に容器１０からメディア１０１を分離
することが可能である。シャワー部３１により分離され
たメディア１０１が、約４分毎に２．５ｋｇ（容量にし
て５００ｃｃ以上）ずつ排出されることになり、図８の
ようにシュート３３１で受け止めて洗浄水と同時に排出
口３３２から排出し、洗浄水分離部３４のメッシュ篭３
４１内に導いてメディア１０１を残し洗浄水は通過させ
て水切りする構成である。メッシュ篭３４１は円筒網の
内周に螺旋状ヒレ３４２を設けたものであり、かつ円筒
網はその円筒中心を回転中心として回転駆動されるよう
になっている。回転するメッシュ篭３４１内に洗浄水と
ともに導入されたメディア１０１はメッシュ篭３４１に
より通過を阻止され、メッシュ篭３４１内側の螺旋ヒレ
３４２の働きで篭右端方向に移送され、水タンク５３２
の横に併設されたメディア回収箱３４３内に次々に落下
する。洗浄水はメッシュ篭３４１を通過して下方の水タ
ンク５３２に戻る。図８に示すように、水タンク５３２
内の水をポンプ４４で汲み上げてシャワーノズル３１１
に供給する。つまり、水タンク５３２の下方にパイプ４
３が接続し、パイプ４３の他端にポンプ４４が接続し、
ポンプ４４の出口に接続したパイプ４５を通してシャワ
ーノズル３１１に水を供給するようになっている。

【００３０】なお、後述するが水タンク５３２内の水は
超音波洗浄部４０と純水リンス部５０でも使用するた
め、水タンク５３２に補給する水は純水とする。

【００３１】図８に示すように、容器１０の搬送方向よ
りみてメディア分離部３０の後に超音波洗浄部４０と純
水リンス部５０とが設けられている。超音波洗浄部４０
において、矢印Ｐ２の方向に間欠搬送されながら回転す
るメッシュポット１１を有する容器１０に対し超音波洗
浄する構成であり、洗浄槽４２は４側面の角筒形状に底
４２１を備える容器であって、上面の開口と下方の排水
口４２２を備える。さらに、容器１０の搬送路において
開口４２３，４２４を備え、開口４２３を開閉するシャ
ッター４１１と、開口４２４を開閉するシャッター４１
２とを備える。シャッター４１１，４１２は開口４２
３，４２４の上部に枢支され、仮想線４１１’，４１
２’に示す位置まで揺動して開閉する。シャッター４１
１，４１２は図示しない駆動手段（例えば空庄あるいは
油圧あるいは電動等）で開閉する構成である。間欠走行
する搬送チェーン７Ａ，７Ｂでシャッター４１１，４１
２の開いているときに洗浄槽４２内に１つの容器１０を
送り込んだ後、シャッター４１１，４１２を閉めると洗
浄槽４２は上面の開口以外は下方の排水口４２２が開口
するだけである。排水口４２２はスリット状で所定の流
量を通過させるが、水タンク５３２から所定量の水をポ
ンプ４４で補給することで洗浄槽４２内の水位を保つ。
つまり、水タンク５３２の下方にパイプ４３が接続し、
パイプ４３の他端にポンプ４４が接続し、ポンプ４４の
出口にパイプ４５が接続する循環系において、洗浄槽４
２に所定の量の水を補給することで水位を保つ構成であ
る。シャッター４１１，４１２を開く前には水補給を止
めて開口の下辺以下に水位を下げてから開くようにす
る。

【００３２】超音波洗浄部４０は、洗浄槽４２に対し
て、例えば容器１０の搬送経路の下側に超音波振動子４
１を配置する。但し、超音波振動子の個数及び配置は超
音波洗浄が有効に行われる範囲で任意である。超音波振
動子４１は図示しない駆動電源に接続されており、駆動
電源（超音波発振器）から電力を供給すると振動し、洗
浄槽４２に所定の水位を保ち収容された水に超音波振動
を与える。所定の位置の容器１０は超音波振動子４１か
ら最も効率的に超音波振動を受ける位置にあり、容器１
０内のチップ部品１００を効果的に振動させてチップ部
品１００から付着物を除去し、また、純水置換によりよ
り高度な洗浄をする。容器１０を各々次の位置に搬送す
る前にはポンプ４４を止めて洗浄槽４２の水位を下げ、
シャッター４１１，４１２を仮想線の位置に開いてから
容器１０を各々次の位置に搬送し、各々次の位置に容器
１０が停止するとシャッター４１１，４１２を閉じてか
らポンプ４４を運転し、洗浄槽４２に所定の量の水を供
給し水位を所定の位置に回復する。このためポンプ４４
と超音波振動子４１は間欠的な運転をすることになる。
なお、前記洗浄槽４２の排水口４２２から出た水は漏斗
状のシュート３３１、洗浄水分離部３４を経て水タンク
５３２に戻るようになっている。

【００３３】純水リンス部５０と純水の循環処理系につ
いて説明すると、純水リンス部５０は前記シャワーノズ
ルとは異なるスプレーノズル５１を備える。スプレーノ
ズル５１は容器１０の円筒に平行なパイプ５１１と、容
器円筒方向に沿ってパイプ５１１の長手方向に配列され
た複数個の噴射口５１２とを備え、加圧された純水がパ
イプ５１１に供給されると噴射口５１２から容器１０に
噴射する構成であり、噴射により容器１０が純水でリン
スシャワーされ、チップ部品１００の表面は純水置換さ
れる。噴射後の水は漏斗状のシュート３３１、洗浄水分
離部３４を経て水タンク５３２に戻るようになってい
る。容器１０は搬送チェーン７Ａ，７Ｂの間欠走行によ
り矢印Ｐ３の方向に搬送され超音波洗浄部４０から純水
リンス部５０に搬入され、リンスシャワーを受けた後、
次の位置に送り出される。

【００３４】前記水タンク５３２には純水を補給する
が、メディア分離部３０、超音波洗浄部４０及び純水リ
ンス部５０で循環使用するため、回収した水は幾分汚れ
ている可能性がある。メディア分離部３０及び超音波洗
浄部４０ではポンプ４４で水タンク５３２内の水を直接
汲み上げて使用可能であるが（必要ならば汚染物質を除
去するフィルターを通す）、純水リンス部５０では純水
のリンスシャワーをかける必要上、水タンク５３２の水
を直接使用することはできない。このため、水タンク５
３２の最下方にパイプ５４が接続し、パイプ５４の他端
にポンプ５５が接続し、ポンプ５５の吐出口にパイプ５
６１が接続し、パイプ５６１の他端にＵＶ殺菌部５７が
接続し、ＵＶ殺菌部５７の出口にパイプ５６２を介して
１０μｍのフィルター５８１が接続し、フィルター５８
１の出口にパイプ５６３を介してイオン交換器５９が接
続し、イオン交換器５９の出口にパイプ５６４を介して
１μｍのフィルター５８２が接続し、フィルター５８２
の出口にパイプ５６５が接続し、パイプ５６５の他端は
スプレーノズル５１のパイプ５１１に接続する構成とす
る。パイプ５１１はパイプ５６５の接続を除き複数個の
噴射口５１２が外部に開口するのみであり、ポンプ５５
で加圧された純水がパイプ５１１に循環すると噴射口５
１２から容器１０に噴射する。タンク５３２からの水が
ポンプ５５で循環する途中のＵＶ殺菌部５７はＵＶ殺菌
灯で水を照射してバクテリア等を死滅させ、フィルター
５８１，５８２は、洗浄工程で水が除去し含有した塵、
バクテリア等の死菌、ポンプの発塵等の微粒子を除去
し、イオン交換器５９は使用済み水に含有するイオンを
除去して純水リンス部５０に純水として供給する。な
お、水タンク５３２に新しい純水５３３の所定量を補給
し、純水の循環系と循環処理系に保有される純水の量を
常に所定量に保つようにする。

【００３５】図９に示すように乾燥部６０は、容器１０
を矢印Ｐ４の方向に搬送する搬送チェーン７Ａ，７Ｂに
沿い、エアブロー部６１，６２を備えている。そのエア
ーブロー部６１におけるエアー供給の構成は、大気の取
込口６４１にサクションフィルター６３を備えるブロア
ー６４と、ブロアー６４のエアー出口に接続するパイプ
６５と、パイプ６５の他端に微粒子の除去等に有効なエ
アーフィルターであるヘパフィルター６６が接続し、ヘ
パフィルタ６６の出口にパイプ６７が接続する。パイプ
６７はエアープロ一部６１でパイプ６８Ａ，６８Ｂ，６
８Ｃに分岐する。エアーブロー部６１はエアーブローノ
ズル６１１，６１４とスポットノズル６１７を備え、パ
イプ６８Ａに接続するエアーブローノズル６１１は噴気
口６１２を備え、パイプ６８Ｂに接続するエアーブロー
ノズル６１４は噴気口６１５を備える。噴気口６１２，
６１５は容器１０の円筒方向に長いノズルスリットであ
り、例えばノズルスリットの寸法として幅０．５mmで長
さが３５０mmとすることができ、上方から下方の容器１
０に向かってエアーブロー６１３，６１６を噴出する構
成である。また、パイプ６８Ｃに接続するスポットノズ
ル６１７は噴気口６１８を備え、容器１０の円筒方向に
複数個が配置され、上方から下方の容器１０に向かって
エアーブロー６１９を噴出する構成である。

【００３６】エアーブロー部６２はエアーブロー部６１
の後段に配置されており、容器１０の配置された室６９
の全体に前記ヘパフィルタ６６を通過したエアーを通過
させて容器１０内のチップ部品１００を乾燥させてい
る。

【００３７】前記エアーブロー部６１，６２は容器１０
の搬送経路下方にエアー及び水滴の排出路７０を備え
る。排出路７０はエアーブロー部６１下方に漏斗状をし
ており、下端に排出口７０１を有し、排出路７０の途中
位置に受け網７１が配置される。排出口７０１は排出パ
イプ７２を通して前記水タンク５３２に接続されてい
る。排出路７０を下降した水滴は受け網７１を通過して
排出口７０１に至り、排出パイプ７２を経て水タンク５
３２に戻る。容器１０は乾燥部６０に至っても僅かなが
らメディア１０１が残存している可能性があり、容器１
０に上方からエアーブローすると水滴と共に残存するメ
ディア１０１も落下する。この落下するメディア１０１
を受け止めるのが受け網７１であり、水滴だけが下方の
排出口７０１に降下してメディア１０１を回収すること
になる。また、乾燥における条件として例えば、メッシ
ュポット１１を有する容器１０を２５〜３０rpmで回転
させながら、エアブロー部６１において１８０秒の乾燥
時間を設けたところ、１２０秒ほどから急速に乾燥しは
じめ１８０秒では完璧に乾燥することが確認された。さ
らにエアーブロー部６２で容器１０全体に送風すること
で乾燥を一層確実にしている。

【００３８】図１０は分離洗浄乾燥装置の工程を示すフ
ローチャートであり、これにより分離洗浄乾燥装置の全
体的な動作説明を行う。

【００３９】分離洗浄乾燥装置に容器１０を投入する
と、図１のローダー２０で搬送チェーン７Ａ，７Ｂを有
する搬送機構上に載置され、まずメディア分離部３０に
間欠搬送され、ここのシャワー部３１において容器１０
を回転させながら洗浄水を噴射して容器１０からメディ
ア１０１を分離する。メディア１０１は図８の洗浄水分
離部３４が有するメッシュ篭３４１を介してメディア回
収箱３４３内に回収される。洗浄水はメッシュ篭３４１
を通過して水タンク５３２に戻る。なお、シャワー部３
１への洗浄水の供給は水タンク５３２の水をポンプ４４
で汲み上げることにより行う。

【００４０】容器１０は搬送機構によりメディア分離部
３０から図８の超音波洗浄部４０のシャッター４１１，
４１２が開いた状態において洗浄槽４２内に導入され
る。容器１０が洗浄槽４２内に入るとシャッター４１
１，４１２が閉じ、洗浄槽４２内に洗浄水が満たされ、
超音波振動子４１より超音波を放射し、容器１０内のチ
ップ部品１００に超音波振動を与えることで超音波洗浄
が行われる。なお、前記洗浄槽４２への洗浄水の供給は
水タンク５３２の水をポンプ４４で汲み上げることによ
り行う。

【００４１】超音波洗浄の終了した容器１０は洗浄槽４
２内の水位を下げ、シャッター４１１，４１２を開いた
状態にて搬送機構により純水リンス部５０に移送され
る。純水リンス部５０においては図８のスプレーノズル
５１から容器１０に純水を噴射して洗浄し、チップ部品
１００の表面を純水置換する。スプレーノズル５１への
純水の供給はポンプ５５で水タンク５３２の水を汲み上
げ、ＵＶ殺菌部５７、１０μｍのフィルター５８１、イ
オン交換器５９、１μｍのフィルター５８２を通して行
う。

【００４２】純水リンス部５０を出た容器１０は、搬送
機構の間欠搬送により乾燥部６０のエアブロー部６１，
６２の順に移送され、サクションフィルター６３を持つ
ブロアー６４よりヘパフィルター６６を介して送風し、
エアーブローによってチップ部品１００は乾燥させられ
る。その後、容器１０が搬送機構の排出側端に移送され
る。

【００４３】この実施の形態によれば、次の通りの効果
を得ることができる。

【００４４】(1) チップ部品１００とメディア１０１
とを収容するメッシュポット１１を有する容器１０を一
定の方向に搬送する搬送機構と、容器１０が搬送される
方向に順に、メディア分離部３０と、超音波洗浄部４０
と、純水リンス部５０と、乾燥部６０とを備え、容器１
０が間欠的にかつ一定の水平方向（横方向）に搬送され
る構成であり、搬送方向と異なる例えば上下方向に容器
を移動させる動作を余分に行う必要がなく、容器の搬送
や移動に伴う無駄が生じない。

【００４５】(2) チップ部品１００とメディア１０１
とを収容するメッシュポット１１を有する容器１０につ
いて、チップ部品１００の最大長さ寸法よりも小さい最
大長さ寸法のメディア１０１を選択し、かつメッシュポ
ット１１はメディア１０１が通過するがチップ部品１０
０は通過しないメッシュで構成するようにしたので、メ
ディア分離部３０において噴出口から容器１０に向けて
洗浄水を噴出し、洗浄水によりメッシュポット１１から
メディア１０１を通過させて排出し、メッシュポット１
１内にチップ部品１００を残留させることにより、比較
的に簡単な構成で効率よくチップ部品とメディアとを分
離できる効果が得られる。その際、容器１０を回転させ
ることで、メディア分離をいっそう確実かつ効率的に行
うことができる。

【００４６】(3) 超音波洗浄部４０で容器内のチップ
部品１００を超音波洗浄するため、チップ部品１００か
ら汚染物質を確実に除去できる。また、超音波洗浄部４
０の洗浄槽４２は入口、出口にシャッターを有するの
で、容器１０を水平移動させることで洗浄槽４２に搬
入、搬出できる。

【００４７】(4) 純水リンス部５０では容器１０内の
チップ部品１００に純水のリンスシャワーをかけるの
で、チップ部品１００表面に汚染物質が残存するのを防
止できる。

【００４８】(5) 乾燥部６０のエアブロー部６１では
高速エアーブローにより容器内のチップ部品１００に付
着した水滴を吹き飛ばすことができ、チップ部品１００
表面の水滴が付着した状態で乾燥させたときに発生しや
すい汚れやしみの発生を回避できる。

【００４９】なお、メディア分離部３０におけるシャワ
ー部は１つのステーションとしたが、複数ステーション
としてもよい。

【００５０】また、純水が補給される水タンク５３２の
水をメディア分離部３０、超音波洗浄部４０、純水リン
ス部５０に共通に使用したが、純水リンス部５０だけ水
の循環系統を全く別にして、純水リンス部５０のみ純水
の補給を受ける純水タンクとし、他の部分は工業用水又
は水以外の洗浄液を使用する構成としてもよい。

【００５１】以上本発明の実施の形態について説明して
きたが、本発明はこれに限定されることなく請求項の記
載の範囲内において各種の変形、変更が可能なことは当
業者には自明であろう。

【００５２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るチッ
プ部品分離洗浄乾燥装置によれば、チップ部品及びメデ
ィアを収容するメッシュポットを有する容器と、前記容
器を一定の方向に搬送する搬送機構と、前記搬送機構に
おいて前記容器が搬送される方向に、前記容器内のメデ
ィアを分離するメディア分離部と、前記容器内のチップ
部品を超音波洗浄する超音波洗浄部と、前記容器内のチ
ップ部品を乾燥する乾燥部とを順次備える構成としたの
で、前記容器を一定の方向（横方向）に搬送すること
で、メディアの分離、洗浄、乾燥を自動的に実行可能で
ある。また、それらの分離、洗浄、乾燥に際し、搬送方
向と異なる例えば上下方向に容器を移動させる動作を余
分に行う必要がなく、容器の搬送や移動に伴う無駄が生
じない。

【００５３】また、チップ部品とメディアとを収容する
メッシュポットを有する容器を用い、かつメッシュポッ
トはメディアが通過するがチップ部品は通過しないメッ
シュで構成するようにすれば、メディア分離部において
噴出口から容器に向けて洗浄液を噴出することで、比較
的に簡単な構成で効率よくチップ部品とメディアとを分
離できる効果が得られる。

【００５４】さらに、超音波洗浄部で容器内のチップ部
品を超音波洗浄するため、チップ部品の汚染物質を確実
に除去できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るチップ部品分離洗浄乾燥装置の実
施の形態の主要部全体構成を示す正断面図である。

【図２】同正面図である。

【図３】同平面図である。

【図４】実施の形態においてチップ部品及びメディアを
収容する容器を示す模式図である。

【図５】前記容器の側断面図である。

【図６】搬送チェーンに載置された前記容器を示す背面
図である。

【図７】前記容器からメディアを分離するメディア分離
部を示す説明図である。

【図８】メディア分離部、超音波洗浄部及び純水リンス
部を示す説明図である。

【図９】前記容器に向かいエアーブローする乾燥部を示
す説明図である。

【図１０】分離洗浄乾燥装置の工程を示すフローチャー
トである。

【符号の説明】

１分離洗浄乾燥装置２架台３軸受４，１３軸５Ａ，５Ｂ，５Ｃ，１４スプロケット７Ａ，７Ｂ搬送チェーン８，９モータ１０容器１１メッシュポット１２Ａ，１２Ｂ蓋１４スプロケット１５放射状ピン１６環状部材１７内周溝１９ロック解除部材２０ローダー２５ステーピン２６Ａ，２６Ｂローラー２８，２９テンショナ３０メディア分離部３１シャワー部３３排出路３４洗浄水分離部４０超音波洗浄部４１超音波振動子４２洗浄槽４４，５５ポンプ５０純水リンス部５７ＵＶ殺菌部５９イオン交換器６０乾燥部６１，６２エアーブロー部６４ブロアー７０排出路７１受け網１００チップ部品１０１メディア３１１シャワーノズル３１２噴出口３３１シュート３４１メッシュ篭３４３メディア回収箱４１１，４１２開閉シャッター４２２排出口５１２噴射口５３２水タンク５３３純水５８１，５８２フィルター６１１，６１４エアーブローノズル６１２，６１５，６１８噴気口６１７スポットノズル

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者小野寺晃東京都中央区日本橋一丁目13番１号ティーディーケイ株式会社内 (72)発明者櫻井隆司東京都中央区日本橋一丁目13番１号ティーディーケイ株式会社内 (72)発明者平川善博佐賀県西松浦郡有田町中部丙1054株式会社今泉鐵工所内Ｆターム(参考） 3B201 AA48 AB14 AB45 BB03 BB21 BB83 BB92 BB93 CB15 CC01 CC12 CD22 3L113 AA01 AB02 AC51 BA34 DA13 4K053 PA17 QA07 RA07 SA04 SA18 TA01 TA17 TA18 TA19 XA02 XA09 XA24 XA27 YA06 YA07 YA13

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】チップ型電子部品及びメディアを収容す
るメッシュポットを有する容器と、前記容器を一定の方
向に搬送する搬送機構と、前記搬送機構において前記容
器が搬送される方向に、前記容器内のメディアを分離す
るメディア分離部と、前記容器内のチップ型電子部品を
超音波洗浄する超音波洗浄部と、前記容器内のチップ型
電子部品を乾燥する乾燥部とを順次備えることを特徴と
するチップ型電子部品分離洗浄乾燥装置。
【請求項２】前記容器内のチップ型電子部品を純水で
洗浄する純水リンス部を、前記超音波洗浄部と前記乾燥
部との間に設けた請求項１記載のチップ型電子部品分離
洗浄乾燥装置。
【請求項３】前記メッシュポットは、チップ型電子部
品の最大長さ寸法よりも小さい最大長さ寸法のメディア
が通過するが前記チップ型電子部品は通過しないメッシ
ュを有し、前記メディア分離部は、前記チップ型電子部
品及び前記メディアを収容する前記メッシュポットを有
する前記容器に向けて洗浄液を噴出する噴出手段を備
え、前記洗浄液により前記メッシュポットから前記メデ
ィアを通過させて排出し、前記メッシュポット内に前記
チップ型電子部品が残留する構成とした請求項１又は２
記載のチップ型電子部品分離洗浄乾燥装置。
【請求項４】前記メディア分離部において、前記容器
を回転させる回転駆動手段を備え、前記チップ型電子部
品及び前記メディアを収容するメッシュポットを有する
前記容器を回転させながら、前記容器に向けて洗浄液を
噴出する請求項３記載のチップ型電子部品洗浄乾燥装
置。
【請求項５】前記超音波洗浄部は、超音波振動子が設
けられた洗浄槽と、前記洗浄槽の前記容器が搬送される
方向の両側面に設けられた入口と出口をなす２つの開口
と、前記開口を開閉するシャッターと、前記洗浄槽に洗
浄液を供給する洗浄液供給手段を備えている請求項１，
２，３又は４記載のチップ型電子部品分離洗浄乾燥装
置。
【請求項６】前記乾燥部は、前記容器に向けてエアー
ブローするエアーブローノズルを少なくとも備えている
請求項１，２，３，４又は５記載のチップ型電子部品分
離洗浄乾燥装置。
【請求項７】前記搬送機構において、前記一定の方向
が直線的である請求項１，２，３，４，５又は６記載の
チップ型電子部品分離洗浄乾燥装置。