JP2002040205A

JP2002040205A - 反射防止バリアフィルム

Info

Publication number: JP2002040205A
Application number: JP2000219505A
Authority: JP
Inventors: Hirokazu Ishikawa; 博一石川
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 2000-07-19
Filing date: 2000-07-19
Publication date: 2002-02-06

Abstract

(57)【要約】【課題】積層数が増加したとしても、各層界面での反
射を抑え、良好な反射防止特性を有する。【解決手段】透明基板上に、少なくとも１層以上の無
機構成膜からなる無機膜と、有機膜とが交互に少なくと
も１組以上積層形成されてなり、当該無機膜と、当該有
機膜とは、それらの界面における反射を抑えるように膜
厚や光学特性が組み合わされている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、反射防止バリアフ
ィルムに関し、具体的には、各構成層界面での反射を抑
えた反射防止バリアフィルムに関する。

【０００２】

【従来の技術】プラスチック上に無機バリア薄膜を成膜
した、水分や酸素などのガスに対するバリアフィルムに
関しては、食品パッケージ用途としてすでに広く用いら
れている。無機バリア膜として最もポピュラーなのはア
ルミであり、透明フィルムの用途では、ＳｉＯ_xやＡｌ
Ｏ_xなどが使われている。食料品用途では、これらのバ
リアフィルムは十分にその要求仕様を満足している。し
かし、近年注目されているディスプレイ用途でのガラス
板の代替となるためのバリア特性には、現存の透明バリ
ア膜は不十分である。例えば、プラスチック液晶ディス
プレイ用途では食品パッケージ用に用いられているもの
に比べて２桁以上のバリア特性が必要である。また、有
機電界発光素子（有機ＥＬ）ディスプレイで、有機ＥＬ
材料の劣化を防止する目的で用いる場合には更に１桁以
上のバリア性を向上させねばならない。そのような厳し
い仕様を満足するためには、単層の無機バリア膜では限
界がある。

【０００３】バリア特性は、無機バリアの膜厚に、ある
範囲までは依存するが、あまり厚くはできない。それ
は、ある厚さ以上ではクラックが入りやすくかえって特
性が落ちてしまうからである。Ｃ．Ｂｒｉｇｈｔの報告
では、ＩＴＯの単層バリア膜において、１３０ｎｍまで
は膜厚の上昇と共にバリア性が良くなるが、２００ｎｍ
のＩＴＯではバリア性が劣化している。（Transparent
Barrier Coating Based on ITO for Flexible
Plastic Display, Proceedings of 13th Intern
ational Conference on Vacuum Web Coating,pp.2
47-264）。そこで、彼らは、無機バリア膜と有機膜の積
層構成を提案している。この手法では、無機バリア膜の
成膜表面の平滑化が実現でき、有機膜層による応力緩和
効果で無機バリア膜のトータル膜厚を上げてバリア性を
向上させられるのではないかと期待されている。また、
現実にアルミニウムを用いたものでは、Ａ．Ｙｉａｌｉ
ｚｉｓなどが、３８ｔｈＳＶＣで報告している。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、無機バ
リア膜の材料としてアルミを用いるとディスプレイ用途
でのガラスの代替には使えない。そこで、ＩＴＯやＡｌ
Ｏ_x、ＳｉＯ_x、ＳｉＮ_xなどの透明無機薄膜を用いるこ
とになるが、これらも何層かの積層構成とすると光の反
射が大きくなり、透過率が低下する。その理由は、上記
無機バリア膜の屈折率は２．０前後であり、光学領域で
は高屈折率材料の範疇にある。一方、プラスチック基板
や有機膜層の屈折率はおおむね１．４から１．６の間に
ある。つまり、無機バリア膜と基板や有機膜の間には屈
折率のミスマッチがあることとなり、その界面では
｛（ｎ_p−ｎ_b）／（ｎ_p＋ｎ_b）｝²の反射が生じる。こ
こでｎ_bは無機バリア膜材料の屈折率、ｎ_pは有機膜の屈
折率である。ｎ_b＝２、ｎ_p＝１．５の場合、ひとつの界
面での反射は２％となる。もしその界面が２つあると４
％、４つあると８％の反射となる。つまり、積層数に比
例して反射が大きくなり、透過光量はその差（１００−
８＝９２％）となり低下する。

【０００５】本発明は、上述したような従来の実情に鑑
みて提案されたものであり、積層数が増加したとして
も、各層界面での反射を抑え、良好な反射防止特性を有
する反射防止バリアフィルムを提供することを目的とす
る。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明の反射防止バリア
フィルムは、透明基板上に、少なくとも１層以上の無機
構成膜からなる無機膜と、有機膜とが交互に少なくとも
１組以上積層形成されてなり、当該無機膜と、当該有機
膜とは、それらの界面における反射を抑えるように膜厚
や光学特性が組み合わされていることを特徴とする。

【０００７】上述したような本発明に係る反射防止バリ
アフィルムでは、界面における反射を抑えるように膜厚
や光学特性が組み合わされているので、積層数が増加し
たとしても、各層界面での反射が小さく、良好な反射防
止特性を有するものとなる。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明する。

【０００９】本実施の形態に係る反射防止バリアフィル
ム１の一構成例を図１に示す。この反射防止バリアフィ
ルム１は、透明基材２上に、第１の無機単層膜３と、有
機膜４と、第２の無機単層膜５とが形成されている。

【００１０】透明基材２は、表示装置としての機能を満
たすものであれば特に限定されることはなく、例えば可
視光に対して透明なガラス板やプラスチック板、プラス
チックフィルムなど公知の材料が利用できる。

【００１１】第１及び第２の無機単層膜３，５は、水分
やガスに対するバリア特性を有するとともに、可視光に
対して透明な無機酸化物、無機窒化物又は無機酸窒化物
を真空蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリン
グ法などに代表される各種ＰＶＤ法又はＣＶＤ法により
被着させて形成される。

【００１２】第１及び第２の無機単層膜３，５の材料と
して具体的には、例えばＳｉＮ、Ａｌ₂Ｏ₃、ＳｉＯ₂、
ＴｉＯ₂、テフロン（登録商標）などが挙げられる。

【００１３】有機膜４は、可視光に対して透明な、例え
ばエポキシ系樹脂やポリイミド系の光硬化樹脂を、スピ
ンコーティングした後、光硬化させて形成される。この
有機膜４の屈折率は、１．３から１．６の間であること
が好ましい。

【００１４】また、この有機膜４の厚さは０．５μｍ以
上、１３０μｍ以下の範囲であることが好ましい。さら
に、より好ましい透明有機膜４の厚みは、１μｍ以上、
１２０μｍ以下の範囲である。有機膜４の厚さが薄すぎ
ると、表面のゴミの埋め込み及び平坦化の効果の他、第
１及び第２の無機単層膜３，５への応力を緩和する効果
が十分に得られない。また、有機膜４の厚さが薄すぎる
と、光干渉の影響も出てきてしまう。一方、スピンコー
ティング等の塗布法により有機膜４を形成することを考
えると、有機膜４の厚さは少なくとも１００μｍ程度は
必要である。

【００１５】このように、反射防止バリアフィルム１
は、屈折率の異なる構成膜を積層して形成されている。
屈折率の異なる構成膜を積層すれば、その界面において
光が反射してしまうことは避けられない。界面での反射
は、当該界面で接する２層の屈折率差が大きいほど、大
きくなる。さらに、構成膜の積層数が多くなれば、その
分だけ構成膜の界面部分も増え、全体としての反射が大
きくなってしまう。

【００１６】本発明者は、このような問題点を解決する
ために、有機膜４と第１及び第２の無機単層膜３，５の
屈折率や膜厚を調整して全体での反射を少なくするよう
に工夫した。

【００１７】そのひとつは、第１及び第２の無機単層膜
３，５と有機膜４との屈折率を同程度にすることであ
る。第１及び第２の無機単層膜３，５と有機膜４との屈
折率を同程度にすることで、界面の反射をほぼ抑えるこ
とができる。具体的には、両者の屈折率の差が０．２程
度であれば界面での反射は０．４％以下であり、第１及
び第２の無機単層膜３，５の上下の界面でも０．８％程
度なのでおおむね無視することのできる値である。第１
及び第２の無機単層膜３，５と有機膜４との屈折率の差
が０．１以下であればより好ましい。

【００１８】しかしながら、上述した方法では、第１及
び第２の無機単層膜３，５の屈折率が有機膜４の屈折率
に近くならなければならないという材料の制約ができて
しまう。有機膜４の屈折率は１．３から１．６程度なの
で、それに該当するものは一般に低屈折率材料となり、
無機材料ではＳｉＯ₂などが挙げられるが、材料の選択
肢は狭い。さらに、ＳｉＯ₂は一般的にあまり良い特性
のバリア膜ではない。

【００１９】そこで、この反射防止バリアフィルム１で
は、第１及び第２の無機単層膜５の光学的膜厚が、設計
波長のλ／２程度となされている。後述する実験例にも
示されるように、反射防止バリアフィルム１を構成する
第１及び第２の無機単層膜３，５の光学的膜厚を、設計
波長のλ／２程度とすることで、その設計波長に対して
は反射等の特性に影響を与えない。

【００２０】すなわち、反射防止バリアフィルム１の構
成層の積層数が増加したとしても、第１及び第２の無機
単層膜３，５の光学的膜厚を、設計波長のλ／２程度と
することで、反射防止バリアフィルム１全体の反射率を
低く抑えることができる。

【００２１】さらに、本発明に係る反射防止バリアフィ
ルムにおいては、無機膜を上述したような単層膜から複
層膜構成にすることが好ましい。無機膜を複層構成とす
ることで、反射防止特性をさらに向上することができ
る。

【００２２】すなわち、例えば図２に示す反射防止バリ
アフィルム１０では、透明基材１１上に、第１の無機複
層膜１２と、有機膜１３と、第２の無機複層膜１４とが
形成されている。

【００２３】この反射防止バリアフィルム１０では、無
機膜を３層の構成膜からなる複層膜としている。これら
の第１及び第２の無機複層膜１２，１４は、それぞれ中
間屈折率膜１２ａ，１４ａ、高屈折率膜１２ｂ，１４
ｂ、中間屈折率膜１２ｃ，１４ｃが順に積層されてな
る。無機膜を中間屈折率膜１２ａ，１４ａ、高屈折率膜
１２ｂ，１４ｂ、中間屈折率膜１２ｃ，１４ｃからなる
複層構成とすることで、反射防止バリアフィルム１０の
反射防止特性をさらに向上することができる。

【００２４】これら中間屈折率膜１２ａ，１４ａ、高屈
折率膜１２ｂ，１４ｂ、中間屈折率膜１２ｃ，１４ｃの
屈折率については特に限定されないが、中間屈折率膜１
２ａ，１２ｃ，１４ａ，１４ｃの屈折率が、有機膜１３
の屈折率よりも高く、高屈折率膜１２ｂ，１４ｂの屈折
率よりも低くなされていればよい。具体的には、有機膜
１３の屈折率が１．３から１．６の間であり、高屈折率
膜１２ｂ，１４ｂの屈折率が１．９以上であることが好
ましい。屈折率が１．９以上であるような材料として
は、酸化アルミニウム（Ａｌ₂Ｏ₃）を挙げることができ
る。

【００２５】さらに、この第１及び第２の無機複層膜１
２，１４では、各構成膜の設計波長λに対する光学的膜
厚が、中間屈折率膜１２ａ，１２ｃ，１４ａ，１４ｃで
はλ／４程度、高屈折率膜ではλ／２程度、中間屈折率
膜１２ｂ，１４ｂではλ／４程度となされている。３層
からなる無機複層膜の各層の光学的膜厚を上述のように
規定して組み合わせることで、界面での反射を著しく抑
えることができ、ワイドバンドの反射防止特性を示すも
のとなる。

【００２６】屈折率１．５の有機膜に挟まれた無機膜に
ついて、当該有機膜と無機膜との界面における反射率を
比較したものを図３に示す。屈折率２．０、厚さ１００
ｎｍの無機単層膜（ａ）、厚さを１３７．５ｎｍ（λ／
２にあたる）とした無機単層膜（ｂ）、さらに屈折率
２．０、厚さ１３７．５ｎｍの無機膜の両側を、屈折率
１．６、厚さ８４．９ｎｍ（λ／４にあたる）で挟んだ
３層構成とした無機複層膜（ｃ）について、有機膜との
界面における反射を比較している。３層構成の無機複層
膜の界面での反射が著しく低いことが分かる。一般的
に、積層層数が多くなると反射率も大きくなるが、この
構成では反射はさほど大きくならない。

【００２７】以上のように、３層からなる第１及び第２
の無機複層膜１２，１４の各構成層の光学的膜厚を上述
のように規定して組み合わせることで、各層の界面での
反射を抑えて反射防止バリアフィルム１０の反射防止特
性をさらに向上することができる。

【００２８】なお、上述した実施の形態で例に挙げた反
射防止バリアフィルム１，１０は、本発明を適用した反
射防止バリアフィルムの一例であり、本発明はこれに限
定されるものではなく、各構成膜の組み合わせ方等、本
発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更が可能である。

【００２９】例えば、上述した実施の形態では、透明基
材に最も近い側に無機膜を配した構成としたが、本発明
はこれに限定されるのものではなく、透明基材に最も近
い側に有機膜を配した構成としても構わない。

【００３０】また、最上層に無機単層膜又は無機複層膜
を配することや、最上層以外に配される無機単層膜ある
いは無機複層膜に反射防止機能をもたせることも、反射
防止バリアフィルムの反射防止特性を高める上で効果的
である。

【００３１】そして、上述したような本発明に係る反射
防止バリアフィルム１，１０は、例えば陰極線管、有機
電解発光素子（有機ＥＬ素子）ディスプレイ等、各種表
示装置の表示部のフェース・プレートの表面側に、透明
基材側を接着剤層を介して貼り付けられて用いられる。
もしくは、透明基材が表示装置のフェース・プレート自
身であってもよい。そして、本発明の反射防止バリアフ
ィルム１，１０が貼り付けられた表示装置においては、
反射防止特性が良好で実用に適したものとなる。

【００３２】図４に、本発明の反射防止バリアフィルム
１，１０を、有機ＥＬ素子２０から構成された多数の画
素を備えてなる有機ＥＬディスプレイに適用した例を示
す。

【００３３】この有機ＥＬ素子２０は、ガラス基板等の
透明基板２１上にＩＴＯ（Indiumtin oxide）等の透明
電極２２からなる陽極が設けられ、その上に正孔輸送層
２３ａ及び発光層２３ｂからなる有機層２３、アルミニ
ウム等からなる陰極２４が、この順に設けられることに
より構成されたものである。

【００３４】そして、このような構成のもとに有機ＥＬ
素子２０は、陽極に正の電圧、陰極２４に負の電圧が印
加されると、陽極から注入された正孔が正孔輸送層２３
ａを経て発光層２３ｂに、また陰極２４から注入された
電子が発光層２３ｂにそれぞれ到達し、発光層２３ｂ内
で電子−正孔の再結合が生じる。このとき、所定の波長
を持った光が発生し、図４中矢印で示すように透明基板
２１側から外に出射する。

【００３５】このとき、本発明の反射防止バリアフィル
ム１，１０が透明基板２１の両面に貼り付けられている
ので、バリア性に優れ有機ＥＬ素子の劣化を防ぐほか、
発生した光の透明基板２１での反射を抑え、透過率の高
い、優れた有機ＥＬ素子ディスプレイを構成することが
できる。

【００３６】しかし、本発明の反射防止バリアフィルム
は、上述したようなディスプレイ用途に限定されるもの
ではなく、反射防止特性を付与するものとして、各種用
途に用いられる場合にも適用可能である。

【００３７】

【実施例】つぎに、本発明の効果を確認すべく行った実
施例について説明する。

【００３８】以下に示すようにしてサンプル１〜サンプ
ル１２の反射防止バリアフィルムを作製し、これらの反
射防止バリアフィルムについて反射率を計算した。ここ
で作製した反射防止バリアフィルムは設計波長を５５０
ｎｍに想定しており、また、その反射率は４５０ｎｍか
ら６５０ｎｍの範囲における平均反射率である。

【００３９】なお、プラスチック基材と、有機膜の屈折
率を共に１．５とした。また、有機膜の膜厚は１μｍ
（１０００ｎｍ）とした。

【００４０】一方、無機膜の屈折率としては、高屈折率
として２．０、中間屈折率として１．６２、低屈折率と
して１．４６などの値を用いている。これは、例えばＳ
ｉＮ（屈折率２．０）、酸化アルミニウム（屈折率１．
６２）、二酸化珪素（屈折率１．４６）などを想定して
いる。

【００４１】〈サンプル１〉プラスチック基材のみの場
合である。

【００４２】〈サンプル２〉プラスチック基材上に、１
００ｎｍ厚の無機単層膜と、有機膜とを積層形成して反
射防止バリアフィルムを作製した。

【００４３】〈サンプル３〉プラスチック基材上に、１
３７ｎｍ（λ／２）厚の無機単層膜と、有機膜とを積層
形成して反射防止バリアフィルムを作製した。

【００４４】〈サンプル４〉プラスチック基材上に、１
００ｎｍ厚の第１の無機単層膜と、有機膜と、１００ｎ
ｍ厚の第２の無機単層膜を積層形成して反射防止バリア
フィルムを作製した。

【００４５】〈サンプル５〉プラスチック基材上に、１
３７ｎｍ（λ／２）厚の第１の無機単層膜と、有機膜
と、１３７ｎｍ（λ／２）厚の第２の無機単層膜を積層
形成して反射防止バリアフィルムを作製した。

【００４６】〈サンプル６〉プラスチック基材上に、１
３７ｎｍ（λ／２）厚の無機単層膜と、有機膜と、無機
複層膜とを積層形成して反射防止バリアフィルムを作製
した。

【００４７】ここで、無機複層膜は、屈折率が２．０で
あり、厚さが１００ｎｍの第１の構成層と、屈折率が
１．４６であり、厚さが７５．６ｎｍの第２の構成層と
からなる。

【００４８】〈サンプル７〉プラスチック基材上に、１
３７ｎｍ（λ／２）厚の無機単層膜と、有機膜と、無機
複層膜とを積層形成して反射防止バリアフィルムを作製
した。

【００４９】ここで、無機複層膜は、屈折率が２．０で
あり、厚さが１３７ｎｍ（λ／２）の第１の構成層と、
屈折率が１．４６であり、厚さが９４．５ｎｍの第２の
構成層とからなる。

【００５０】〈サンプル８〉プラスチック基材上に、第
１の無機複層膜と、有機膜と、第２の無機複層膜とを積
層形成して反射防止バリアフィルムを作製した。

【００５１】ここで、第１の無機複層膜は、屈折率が
１．６２であり、厚さが８４．９ｎｍ（λ／４）である
第１の構成層と、屈折率が２．０であり、厚さが１３７
ｎｍ（λ／２）の第２の構成層と、屈折率が１．６２で
あり、厚さが８４．９０ｎｍ（λ／４）である第３の構
成層とからなる。また、第２の無機複層膜は、屈折率が
２．０であり、厚さが１３７ｎｍ（λ／２）の第１の構
成層と、屈折率が１．４６であり、厚さが９４．５ｎｍ
の第２の構成層とからなる。

【００５２】〈サンプル９〉プラスチック基材上に、１
３７ｎｍ（λ／２）厚の無機単層膜と、有機膜と、無機
複層膜とを積層形成して反射防止バリアフィルムを作製
した。

【００５３】ここで、無機複層膜は、屈折率が２．０で
あり、厚さが３４．４ｎｍである第１の構成層と、屈折
率が１．４６であり、厚さが１９．９ｎｍの第２の構成
層と、屈折率が２．０であり、厚さが８５．７ｎｍであ
る第３の構成層と、屈折率が１．４６であり、厚さが９
６．６ｎｍの第４の構成層とからなり、反射防止機能を
有する。

【００５４】〈サンプル１０〉プラスチック基材上に、
１３７ｎｍ（λ／２）厚の第１の無機単層膜と、第１の
有機膜と、１３７ｎｍ（λ／２）厚の第２の無機単層膜
と、第２の有機膜と、無機複層膜とを積層形成して反射
防止バリアフィルムを作製した。

【００５５】ここで、無機複層膜は、屈折率が２．０で
あり、厚さが３４．４ｎｍである第１の構成層と、屈折
率が１．４６であり、厚さが１９．９ｎｍの第２の構成
層と、屈折率が２．０であり、厚さが８５．７ｎｍであ
る第３の構成層と、屈折率が１．４６であり、厚さが９
６．６ｎｍの第４の構成層とからなり、反射防止機能を
有する。

【００５６】〈サンプル１１〉プラスチック基材上に、
第１の無機複層膜と、有機膜と、第２の無機複層膜とを
積層形成して反射防止バリアフィルムを作製した。

【００５７】ここで、第１の無機複層膜は、屈折率が
１．６２であり、厚さが８４．９ｎｍ（λ／４）である
第１の構成層と、屈折率が２．０であり、厚さが１３７
ｎｍ（λ／２）の第２の構成層と、屈折率が１．６２で
あり、厚さが８４．９０ｎｍ（λ／４）である第３の構
成層とからなる。

【００５８】また、第２の無機複層膜は、屈折率が２．
０であり、厚さが２５．６ｎｍである第１の構成層と、
屈折率が１．４６であり、厚さが２４．４ｎｍの第２の
構成層と、屈折率が２．０であり、厚さが７３．４ｎｍ
である第３の構成層と、屈折率が１．４６であり、厚さ
が９１．３ｎｍの第４の構成層とからなり、反射防止機
能を有する。

【００５９】〈サンプル１２〉プラスチック基材上に、
第１の無機複層膜と、第１の有機膜と、第２の無機複層
膜と、第２の有機膜と、第３の無機複層膜とを積層形成
して反射防止バリアフィルムを作製した。

【００６０】ここで、第１及び第２の無機複層膜は、屈
折率が１．６２であり、厚さが８４．９ｎｍ（λ／４）
である第１の構成層と、屈折率が２．０であり、厚さが
１３７ｎｍ（λ／２）の第２の構成層と、屈折率が１．
６２であり、厚さが８４．９０ｎｍ（λ／４）である第
３の構成層とからなる。

【００６１】また、第３の無機複層膜は、屈折率が２．
０であり、厚さが２５．６ｎｍである第１の構成層と、
屈折率が１．４６であり、厚さが２４．４ｎｍの第２の
構成層と、屈折率が２．０であり、厚さが７３．４ｎｍ
である第３の構成層と、屈折率が１．４６であり、厚さ
が９１．３ｎｍの第４の構成層とからなり、反射防止機
能を有する。

【００６２】以上のようにして作製されたサンプル１〜
サンプル１２の反射防止バリアフィルムについて、積層
構成と反射率の計算結果とを表１に示す。

【００６３】

【表１】

【００６４】サンプル１では、プラスチック基材のみの
場合である。この場合、反射率は４．０％となってい
る。

【００６５】プラスチック基材上に無機単層膜と有機膜
とを形成したサンプル２では、反射率は８．７％と、サ
ンプル１に比べて大きくなっている。

【００６６】しかし、サンプル２と同様の構成で、無機
単層膜の膜厚をλ／２相当にしたサンプル３では、反射
率は５．３％と、サンプル２に比べて小さくなってい
る。無機単層膜の厚みをλ／２相当にすることで、反射
を抑えることができることがわかる。

【００６７】サンプル４とサンプル５は、サンプル２と
サンプル４の有機膜上にさらに無機単層膜を形成した場
合である。サンプル２とサンプル４とを比較すると、サ
ンプル４の反射率は１５．０％であり、構成層数が増え
たことで、その分反射率も上がってしまっている。しか
し、サンプル４とサンプル５とを比較すると、無機単層
膜の厚みをλ／２相当にしたサンプル５では、反射率が
６．５％と小さく、無機単層膜の厚みをλ／２相当にす
ることで、反射を抑えることができることがわかる。

【００６８】サンプル６及びサンプル７は、サンプル４
とサンプル５の無機単層膜を無機複層膜にした場合であ
る。サンプル４とサンプル６とを比較すると、反射率が
１５．０％であったサンプル４に対して、サンプル６の
反射率は４．８であり、最上層に配される無機膜を複層
構成にすることで、反射を抑えることができることがわ
かる。さらに、サンプル６とサンプル７とを比較するこ
とで、無機複層膜の構成膜の厚みをλ／２相当にするこ
とで、さらに反射を抑えることができることがわかる。

【００６９】サンプル８は、サンプル７のうち、プラス
チック基材と有機膜との間に配される無機膜を３層複層
構成にしたものである。ここで、この無機複層膜は、屈
折率が１．６２の中間屈折率膜と、屈折率が２．０の高
屈折率膜と、屈折率が１．６２の中間屈折率膜とが積層
されてなる。サンプル７とサンプル８とを比較すると、
サンプル８では反射率が１．９であり、プラスチック基
材と有機膜との間に配される無機膜を３層複層構成にす
ることで、反射を抑えることができることがわかる。

【００７０】さらに、サンプル８の無機多層膜では、設
計波長λに対する光学的膜厚が、中間屈折率膜ではλ／
４程度、高屈折率膜ではλ／２程度、中間屈折率膜では
λ／４程度となされている。３層からなる無機多層膜の
各層の光学的膜厚を上述のように規定して組み合わせる
ことで、界面での反射を著しく抑えることができ、ワイ
ドバンドでの反射防止特性に優れたものとなることがわ
かる。

【００７１】サンプル９では、最上層に配される無機膜
を反射防止機能（ＡＲ機能）を持つ複層膜構成とした。
最上層に配される無機膜が単層膜であるサンプル６の反
射率が１５．０％であるのに対して、サンプル９では、
積層層数が多いにも関わらず、反射率は１．２％と非常
に低く押さえられている。従って、透明無機単層膜又は
透明無機多層膜に反射防止機能を持たせることで、積層
数の増加に伴う反射率の増加を抑制することができるこ
とがわかる。

【００７２】サンプル１０では、無機単層膜と有機膜と
の積層を２重にし、最上層に、反射防止機能を持つ無機
複層膜を配したものである。このサンプル１０の反射率
は１．６％であり、積層層数が多くなっているにも関わ
らず、サンプル９とほとんど変わらない低い反射率が実
現されている。

【００７３】また、最上層に４層構成の反射防止バリア
フィルムを配したものがサンプル１１とサンプル１２で
ある。サンプル１１は有機膜と無機複層膜との組み合わ
せが１重のもので反射は０．３％、サンプル１２は有機
膜と無機複層膜との組み合わせが２重のもので、反射率
は０．３６％となっている。積層層数が多いにもかかわ
らず、いずれも十分に低い反射率であることがわかる。

【００７４】

【発明の効果】本発明では、各構成膜の界面における反
射を抑えるように、各構成膜の膜厚や光学特性が組み合
わせることで、積層数が増加したとしても、各層界面で
の反射が小さく、良好な反射防止特性を有する反射防止
バリアフィルムを実現することができる。

【００７５】そして本発明を適用した反射防止バリアフ
ィルムを用いた各種ディスプレイは、透過率の高い、優
れたものとなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る反射防止バリアフィルムの一構成
例を示す断面図である。

【図２】本発明に係る反射防止バリアフィルムの他の一
構成例を示す断面図である。

【図３】構成を変えた無機膜について、当該無機膜と有
機膜との界面における反射率を示した図である。

【図４】本発明に係る本発明に係る反射防止バリアフィ
ルムを有機ＥＬディスプレイに適用した様子を示す断面
図である。

【符号の説明】

１，１０反射防止バリアフィルム、２，１１透明
基材、３，５無機単層膜、４，１２有機膜、
１２，１４無機複層膜、１２ａ，１２ｃ，１４ａ，
１４ｃ中間屈折率膜、１２ｂ，１４ｂ高屈折率膜

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｇ０２Ｆ 1/1333 ５０５Ｇ０２Ｆ 1/1335 1/1335 Ｇ０２Ｂ 1/10 ＡＦターム(参考） 2H090 HB03X HD01 JB03 JD11 2H091 FA37X FB06 FD06 GA01 LA30 2K009 AA05 AA06 AA07 AA09 BB11 CC02 CC03 CC26 CC33 DD03 DD04 DD07 4F100 AA00B AA00D AA00E AA12 AA19 AA20 AA21 AK01A AK01C AK49 AK53 AT00A BA03 BA05 BA07 BA10A BA10B BA13 BA26 EH66 GB23 GB41 JA20B JA20D JA20E JM02B JM02C JM02D JM02E JN01A JN06 JN18B JN18D JN18E YY00B YY00D YY00E 4K029 AA11 AA25 BA03 BA17 BA35 BA44 BA46 BA48 BA58 BB02 BC07 EA01

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】透明基板上に、少なくとも１層以上の無
機構成膜からなる無機膜と、有機膜とが交互に少なくと
も１組以上積層形成されてなり、当該無機膜と、当該有機膜とは、それらの界面における
反射を抑えるように膜厚や光学特性が組み合わされてい
ることを特徴とする反射防止バリアフィルム。
【請求項２】上記無機膜は１層の無機構成膜からな
り、当該無機膜の設計波長λに対する光学膜厚がλ／２
であることを特徴とする請求項１記載の反射防止バリア
フィルム。
【請求項３】上記無機膜が３層以上の無機構成膜から
なることを特徴とする請求項１記載の反射防止バリアフ
ィルム。
【請求項４】上記無機膜は、無機構成膜である第１の
中間屈折率膜と高屈折率膜と第２の中間屈折率膜とがこ
の順に積層されてなることを特徴とする請求項３記載の
反射防止バリアフィルム。
【請求項５】上記第１及び第２の中間屈折率膜の屈折
率が、上記有機膜の屈折率より高く、上記高屈折率膜の
屈折率よりも低いことを特徴とする請求項４記載の反射
防止バリアフィルム。
【請求項６】上記無機膜において、設計波長λに対す
る上記第１及び第２の中間屈折率膜の光学膜厚がλ／４
であり、上記高屈折率膜の光学膜厚がλ／２であること
を特徴とする請求項４記載の反射防止バリアフィルム。
【請求項７】最上層に上記無機膜が配されていること
を特徴とする請求項１記載の反射防止バリアフィルム。