JP2002039178A - 磁気軸受装置 - Google Patents
磁気軸受装置Info
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- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/044—Active magnetic bearings
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-
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- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2360/00—Engines or pumps
- F16C2360/44—Centrifugal pumps
- F16C2360/45—Turbo-molecular pumps
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- Mechanical Engineering (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 電磁石近傍に磁束センサを設ける必要がな
く、ケーブル内の信号線の本数を増加させることがな
く、コントローラ内で磁束フィードバック形パワーアン
プと同等な効果が実現できる磁気軸受装置を提供するこ
と。 【解決手段】 磁気力で被支持体を浮上支持する制御形
の磁気軸受装置において、パワーアンプ７の出力制御電
流を検出する電流センサ１１及び被支持体１の変位を検
出する変位センサ１０とを具備し、電磁石コイル６に制
御電流ｉを通電するパワーアンプ７に、電流センサ１１
の制御電流検出信号Ｓｉと変位センサ１０の変位検出信
号Ｓｇを入力信号とし、該入力信号を受け支持体側の電
磁石４面と被支持体１側の電磁石ターゲット３間に発生
する磁束又は磁束密度を推定する推定器２０を設け、該
推定器２０の推定値をパワーアンプ７にフィードバック
する。
く、ケーブル内の信号線の本数を増加させることがな
く、コントローラ内で磁束フィードバック形パワーアン
プと同等な効果が実現できる磁気軸受装置を提供するこ
と。 【解決手段】 磁気力で被支持体を浮上支持する制御形
の磁気軸受装置において、パワーアンプ７の出力制御電
流を検出する電流センサ１１及び被支持体１の変位を検
出する変位センサ１０とを具備し、電磁石コイル６に制
御電流ｉを通電するパワーアンプ７に、電流センサ１１
の制御電流検出信号Ｓｉと変位センサ１０の変位検出信
号Ｓｇを入力信号とし、該入力信号を受け支持体側の電
磁石４面と被支持体１側の電磁石ターゲット３間に発生
する磁束又は磁束密度を推定する推定器２０を設け、該
推定器２０の推定値をパワーアンプ７にフィードバック
する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は被支持体を磁気力で
浮上支持する磁気軸受装置に関し、特に高速回転機械
（例えば、ターボ分子ポンプ、遠心圧縮機等）、低速回
転ではあるが被支持体を非接触で支持することをメリッ
トとした半導体デバイス製造装置用の回転機器、ガス循
環ファン等に好適な磁気軸受装置に関するものである。
浮上支持する磁気軸受装置に関し、特に高速回転機械
（例えば、ターボ分子ポンプ、遠心圧縮機等）、低速回
転ではあるが被支持体を非接触で支持することをメリッ
トとした半導体デバイス製造装置用の回転機器、ガス循
環ファン等に好適な磁気軸受装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】制御形磁気軸受は、変位センサによっ
て、被支持体との相対変位を検出し、所定の制御則によ
って、制御電流を演算し、その演算結果に基づき電磁石
コイルに通電し電磁石を駆動するパワーアンプを備える
構成である。このパワーアンプの負荷特性は、負荷が電
磁石コイルであることから、遅れ特性であることは容易
に推測できる。この遅れ特性のため、周波数が高くなる
ほど、パワーアンプ入力信号に対する制御電流との関係
に大きな遅れが発生する。
て、被支持体との相対変位を検出し、所定の制御則によ
って、制御電流を演算し、その演算結果に基づき電磁石
コイルに通電し電磁石を駆動するパワーアンプを備える
構成である。このパワーアンプの負荷特性は、負荷が電
磁石コイルであることから、遅れ特性であることは容易
に推測できる。この遅れ特性のため、周波数が高くなる
ほど、パワーアンプ入力信号に対する制御電流との関係
に大きな遅れが発生する。
【０００３】このような遅れ特性を改善するには、局部
的なフィードバック補償を施すことは古くからしばしば
行なわれ、従来３つの手法が知られている。一つは、電
磁石コイル電流を検出し、パワーアンプ入力にフィード
バックする方法（これを「電流フィードバック形パワー
アンプ」と呼ぶ）。２つ目は電磁石コイルに印加するコ
イル電圧を検出し、パワーアンプ入力にフィードバック
する方法（これを「電圧フィードバック形パワーアン
プ」と呼ぶ）。３つ目は、電磁石と被支持体のターゲッ
ト間の間隙に発生する磁束を検出し、同じくパワーアン
プ入力にフィードバックする方法（これを「磁束フィー
ドバック形パワーアンプ」と呼ぶ）。
的なフィードバック補償を施すことは古くからしばしば
行なわれ、従来３つの手法が知られている。一つは、電
磁石コイル電流を検出し、パワーアンプ入力にフィード
バックする方法（これを「電流フィードバック形パワー
アンプ」と呼ぶ）。２つ目は電磁石コイルに印加するコ
イル電圧を検出し、パワーアンプ入力にフィードバック
する方法（これを「電圧フィードバック形パワーアン
プ」と呼ぶ）。３つ目は、電磁石と被支持体のターゲッ
ト間の間隙に発生する磁束を検出し、同じくパワーアン
プ入力にフィードバックする方法（これを「磁束フィー
ドバック形パワーアンプ」と呼ぶ）。
【０００４】図１は電流フィードバック形パワーアンプ
を採用した磁気軸受の構成例を示す図である。図１では
１軸分を抜き出して示している。図１において、１は被
支持体であり、該被支持体１には、センサターゲット２
と電磁石ターゲット３が設けられている。支持体（図示
せず）側にはこのセンサターゲット２、電磁石ターゲッ
ト３のそれぞれに対応して変位センサ１０、電磁石４が
設けられている。変位センサ１０は変位センサアンプ９
に接続され、変位センサ１０とセンサターゲット２の間
のギャップ長さｇを示す変位検出信号Ｓｇを出力する。
を採用した磁気軸受の構成例を示す図である。図１では
１軸分を抜き出して示している。図１において、１は被
支持体であり、該被支持体１には、センサターゲット２
と電磁石ターゲット３が設けられている。支持体（図示
せず）側にはこのセンサターゲット２、電磁石ターゲッ
ト３のそれぞれに対応して変位センサ１０、電磁石４が
設けられている。変位センサ１０は変位センサアンプ９
に接続され、変位センサ１０とセンサターゲット２の間
のギャップ長さｇを示す変位検出信号Ｓｇを出力する。
【０００５】この変位検出信号Ｓｇと目標指令信号ｅO
とにより、被支持体１の目標浮上位置が与えられる。こ
の目標浮上位置に非接触で浮上位置決めするための制御
則が補償器８にあり、補償器８の出力が制御指令信号Ｓ
１となる。この制御指令信号Ｓ１をパワーアンプ７に入
力し、制御指令信号Ｓ１に追従した制御電流ｉを電磁石
４の電磁石コイル６に通電する。この時、電磁石４はコ
イル負荷＝遅れ負荷であるため、入力信号に追従できな
い。この遅れ特性を改善するため、電磁石コイル６の制
御電流ｉを電流センサ１１で検出し、局部的フィードバ
ックを行なっている。即ち、電流センサ１１で検出した
制御電流検出信号Ｓｉを調整器１２を介してパワーアン
プ７の入力にフィードバック（負帰還）させている。
とにより、被支持体１の目標浮上位置が与えられる。こ
の目標浮上位置に非接触で浮上位置決めするための制御
則が補償器８にあり、補償器８の出力が制御指令信号Ｓ
１となる。この制御指令信号Ｓ１をパワーアンプ７に入
力し、制御指令信号Ｓ１に追従した制御電流ｉを電磁石
４の電磁石コイル６に通電する。この時、電磁石４はコ
イル負荷＝遅れ負荷であるため、入力信号に追従できな
い。この遅れ特性を改善するため、電磁石コイル６の制
御電流ｉを電流センサ１１で検出し、局部的フィードバ
ックを行なっている。即ち、電流センサ１１で検出した
制御電流検出信号Ｓｉを調整器１２を介してパワーアン
プ７の入力にフィードバック（負帰還）させている。
【０００６】図２は電圧フィードバック形パワーアンプ
を採用した磁気軸受の構成例を示す図である。同図にお
いて、図１と同一符号を付した部分は同一又は相当部分
を示す。なお、他の図面においても同様とする。本磁気
軸受は電磁石４の電磁石コイル６に印加されるコイル電
圧を検出する電圧センサ１３を設け、該電圧センサ１３
で検出した検出電圧信号Ｓｖを調整器１２を介してパワ
ーアンプ７の入力にフィードバック（負帰還）させてい
る。これにより、図１の磁気軸受と同様、遅れ負荷特性
の改善をしている。
を採用した磁気軸受の構成例を示す図である。同図にお
いて、図１と同一符号を付した部分は同一又は相当部分
を示す。なお、他の図面においても同様とする。本磁気
軸受は電磁石４の電磁石コイル６に印加されるコイル電
圧を検出する電圧センサ１３を設け、該電圧センサ１３
で検出した検出電圧信号Ｓｖを調整器１２を介してパワ
ーアンプ７の入力にフィードバック（負帰還）させてい
る。これにより、図１の磁気軸受と同様、遅れ負荷特性
の改善をしている。
【０００７】図３は磁束フィードバック形パワーアンプ
を採用した磁気軸受の構成例を示す図である。本磁気軸
受は、電磁石４の電磁石ヨーク５の電磁石ターゲット３
の対向面に磁束φを検出するホール素子等の磁束センサ
１４を設け、該磁束センサ１４の検出磁束信号Ｓφを調
整器１２を介してパワーアンプ７の入力に負帰還させて
いる。この磁束フィードバック形パワーアンプ方式は、
電磁石コイル６のコイル負荷に加え、電磁石４の電磁石
ヨーク５、電磁石ターゲット３を構成する磁性材料の特
性による電磁石コイル６に通電する制御電流ｉと発生磁
束φの伝達特性をも考慮して、改善しようとするもので
ある。例えば、日本機械学会論文集（第一部）３６巻２
８４号（昭和４５−４）Ｐ．５７８に開示されているよ
うな効果が知られている。
を採用した磁気軸受の構成例を示す図である。本磁気軸
受は、電磁石４の電磁石ヨーク５の電磁石ターゲット３
の対向面に磁束φを検出するホール素子等の磁束センサ
１４を設け、該磁束センサ１４の検出磁束信号Ｓφを調
整器１２を介してパワーアンプ７の入力に負帰還させて
いる。この磁束フィードバック形パワーアンプ方式は、
電磁石コイル６のコイル負荷に加え、電磁石４の電磁石
ヨーク５、電磁石ターゲット３を構成する磁性材料の特
性による電磁石コイル６に通電する制御電流ｉと発生磁
束φの伝達特性をも考慮して、改善しようとするもので
ある。例えば、日本機械学会論文集（第一部）３６巻２
８４号（昭和４５−４）Ｐ．５７８に開示されているよ
うな効果が知られている。
【０００８】現在、工業的に多く実施されているもの
は、電流フィードバック形パワーアンプを採用した磁気
軸受である。これは電磁石コイルのコイル電流は磁気軸
受内の安全性確保のために必要な検出パラメータであ
り、コントローラ内でフィードバック系が閉じるなどの
やり易さから、多く採用されている。しかしながら、電
磁石コイル電流とそれによって発生するはずの磁束が、
電磁石ヨークや電磁石ターゲットの磁気的、電気的特性
（ヒステリシス損、渦電流損）の影響によって遅れ特性
をもつことがあり、電流フィードバック形パワーアンプ
ではこれを改善できないという問題がある。
は、電流フィードバック形パワーアンプを採用した磁気
軸受である。これは電磁石コイルのコイル電流は磁気軸
受内の安全性確保のために必要な検出パラメータであ
り、コントローラ内でフィードバック系が閉じるなどの
やり易さから、多く採用されている。しかしながら、電
磁石コイル電流とそれによって発生するはずの磁束が、
電磁石ヨークや電磁石ターゲットの磁気的、電気的特性
（ヒステリシス損、渦電流損）の影響によって遅れ特性
をもつことがあり、電流フィードバック形パワーアンプ
ではこれを改善できないという問題がある。
【０００９】上記のように、高速回転機械、低速回転で
あるが被支持体を非接触で支持することをメリットとし
た半導体デバイス製造装置用回転機器、ガス循環ファン
等の特殊環境下で用いる特殊環境用磁気軸受では、電磁
石ヨーク、電磁石ターゲットをソリッドな構造とする必
要があり、パワーアンプ入力指令信号と実際に発生する
磁束との遅れ現象が重大な問題となっている。また、よ
り制御性能の高い磁気軸受の実現に対してもこの遅れ特
性の改善の必要がある。
あるが被支持体を非接触で支持することをメリットとし
た半導体デバイス製造装置用回転機器、ガス循環ファン
等の特殊環境下で用いる特殊環境用磁気軸受では、電磁
石ヨーク、電磁石ターゲットをソリッドな構造とする必
要があり、パワーアンプ入力指令信号と実際に発生する
磁束との遅れ現象が重大な問題となっている。また、よ
り制御性能の高い磁気軸受の実現に対してもこの遅れ特
性の改善の必要がある。
【００１０】磁気軸受の性能という点からは、図３に示
す構成の磁束フィードバック形パワーアンプを用いれば
よいのであるが、磁束センサを新たに設ける必要がある
こと、この磁束センサはコントローラ内ではなく、長い
ケーブルで繋がれた磁気軸受の電磁石近傍に設ける必要
があるため、新たにケーブル内の信号線が増えるという
問題がある。仮に真空雰囲気中に用いる磁気軸受では、
信号線をハーメチックシールしたコネクタを介して大気
側に引き出す必要がある。このためコネクタピン数はで
きるだけ少ないほうが好ましいが、ケーブル内の信号線
数が増えるということはこの要請に反することになる。
また、磁束センサに薄型のホール素子を用いると壊れ易
いという問題、二次コイル施工のスペースがない等の問
題がある。
す構成の磁束フィードバック形パワーアンプを用いれば
よいのであるが、磁束センサを新たに設ける必要がある
こと、この磁束センサはコントローラ内ではなく、長い
ケーブルで繋がれた磁気軸受の電磁石近傍に設ける必要
があるため、新たにケーブル内の信号線が増えるという
問題がある。仮に真空雰囲気中に用いる磁気軸受では、
信号線をハーメチックシールしたコネクタを介して大気
側に引き出す必要がある。このためコネクタピン数はで
きるだけ少ないほうが好ましいが、ケーブル内の信号線
数が増えるということはこの要請に反することになる。
また、磁束センサに薄型のホール素子を用いると壊れ易
いという問題、二次コイル施工のスペースがない等の問
題がある。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上述の点に鑑
みてなされたもので、電磁石近傍に磁束センサを設ける
必要がなく、ケーブル内の信号線の本数を増加させるこ
とがなく、コントローラ内で磁束フィードバック形パワ
ーアンプと同等な効果が実現できる磁気軸受装置を提供
することを目的とする。
みてなされたもので、電磁石近傍に磁束センサを設ける
必要がなく、ケーブル内の信号線の本数を増加させるこ
とがなく、コントローラ内で磁束フィードバック形パワ
ーアンプと同等な効果が実現できる磁気軸受装置を提供
することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
請求項１に記載の発明は、磁気力を発生する支持体側の
電磁石を具備し、該支持体側の電磁石のコイルにパワー
アンプより制御電流を通電することにより発生する磁気
力で被支持体を浮上支持する制御形の磁気軸受装置にお
いて、パワーアンプの出力制御電流を検出する電流セン
サ及び被支持体の変位を検出する変位センサとを具備
し、支持体側電磁石のコイルに制御電流を通電するパワ
ーアンプに、少なくとも電流センサの制御電流検出信号
と変位センサの変位検出信号を入力信号とし、該入力信
号を受け支持体側の電磁石面と被支持体側の電磁石ター
ゲット間に発生する磁束又は磁束密度を推定する磁束又
は磁束密度推定手段を設け、該磁束又は磁束密度推定手
段の推定値をパワーアンプにフィードバックすることを
特徴とする。
請求項１に記載の発明は、磁気力を発生する支持体側の
電磁石を具備し、該支持体側の電磁石のコイルにパワー
アンプより制御電流を通電することにより発生する磁気
力で被支持体を浮上支持する制御形の磁気軸受装置にお
いて、パワーアンプの出力制御電流を検出する電流セン
サ及び被支持体の変位を検出する変位センサとを具備
し、支持体側電磁石のコイルに制御電流を通電するパワ
ーアンプに、少なくとも電流センサの制御電流検出信号
と変位センサの変位検出信号を入力信号とし、該入力信
号を受け支持体側の電磁石面と被支持体側の電磁石ター
ゲット間に発生する磁束又は磁束密度を推定する磁束又
は磁束密度推定手段を設け、該磁束又は磁束密度推定手
段の推定値をパワーアンプにフィードバックすることを
特徴とする。
【００１３】上記のように、磁束又は磁束密度推定手段
を設け、電流センサの制御電流検出信号と変位センサの
変位検出信号から、支持体側の電磁石面と被支持体側の
電磁石ターゲット間に発生する磁束又は磁束密度を推定
し、この推定値をパワーアンプにフィードバックするの
で、磁束フィードバック形パワーアンプと同様、電磁石
コイルのコイル負荷に加え、電磁石の電磁石ヨークや電
磁石ターゲットを構成する磁性材料の特性による電磁石
コイルの制御電流と発生磁束の伝達特性をも考慮した改
善が可能であると共に、磁束又は磁束密度推定手段はコ
ントローラ内に設けるので、ケーブル内の信号線の本数
を増加させる必要がない。
を設け、電流センサの制御電流検出信号と変位センサの
変位検出信号から、支持体側の電磁石面と被支持体側の
電磁石ターゲット間に発生する磁束又は磁束密度を推定
し、この推定値をパワーアンプにフィードバックするの
で、磁束フィードバック形パワーアンプと同様、電磁石
コイルのコイル負荷に加え、電磁石の電磁石ヨークや電
磁石ターゲットを構成する磁性材料の特性による電磁石
コイルの制御電流と発生磁束の伝達特性をも考慮した改
善が可能であると共に、磁束又は磁束密度推定手段はコ
ントローラ内に設けるので、ケーブル内の信号線の本数
を増加させる必要がない。
【００１４】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の磁気軸受装置において、電流センサの制御電流検出信
号をパワーアンプにフィードバックすることを特徴とす
る。
の磁気軸受装置において、電流センサの制御電流検出信
号をパワーアンプにフィードバックすることを特徴とす
る。
【００１５】上記のように、電流センサの制御電流検出
信号をパワーアンプにフィードバックする、従来の電流
フィードバック形パワーアンプ方式を請求項１に記載の
磁気軸受装置に負荷することにより、工業的信頼性を向
上させることができる。
信号をパワーアンプにフィードバックする、従来の電流
フィードバック形パワーアンプ方式を請求項１に記載の
磁気軸受装置に負荷することにより、工業的信頼性を向
上させることができる。
【００１６】請求項３に記載の発明は、請求項１に記載
の磁気軸受装置において、支持体側電磁石のコイル電圧
を検出する電圧センサを設け、該電圧センサのコイル電
圧検出信号をパワーアンプにフィードバックすることを
特徴とする。
の磁気軸受装置において、支持体側電磁石のコイル電圧
を検出する電圧センサを設け、該電圧センサのコイル電
圧検出信号をパワーアンプにフィードバックすることを
特徴とする。
【００１７】上記のように、電圧センサのコイル電圧検
出信号をパワーアンプにフィードバックする、従来の電
圧フィードバック形パワーアンプ方式を請求項１に記載
の磁気軸受装置に負荷することにより、工業的信頼性を
向上させることができる。
出信号をパワーアンプにフィードバックする、従来の電
圧フィードバック形パワーアンプ方式を請求項１に記載
の磁気軸受装置に負荷することにより、工業的信頼性を
向上させることができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態例を図
面に基づいて説明する。図４は本発明に係る磁気軸受装
置の構成例を示す図である。本磁気軸受装置は、被支持
体１のセンサターゲット２と電磁石ターゲット３のそれ
ぞれに対応して変位センサ１０、電磁石４が設けられて
いる。変位センサ１０は変位センサアンプ９に接続さ
れ、変位センサ１０とセンサターゲット２の間のギャッ
プ長さｇを示す変位検出信号Ｓｇを出力する。変位検出
信号Ｓｇと目標指令信号ｅOとにより、被支持体１の目
標浮上位置が与えられ、補償器８から制御指令信号Ｓ１
がパワーアンプ７に出力される。
面に基づいて説明する。図４は本発明に係る磁気軸受装
置の構成例を示す図である。本磁気軸受装置は、被支持
体１のセンサターゲット２と電磁石ターゲット３のそれ
ぞれに対応して変位センサ１０、電磁石４が設けられて
いる。変位センサ１０は変位センサアンプ９に接続さ
れ、変位センサ１０とセンサターゲット２の間のギャッ
プ長さｇを示す変位検出信号Ｓｇを出力する。変位検出
信号Ｓｇと目標指令信号ｅOとにより、被支持体１の目
標浮上位置が与えられ、補償器８から制御指令信号Ｓ１
がパワーアンプ７に出力される。
【００１９】２０は支持体側の電磁石ヨーク５の面と被
支持体１の電磁石ターゲット３の間に発生する磁束又は
磁束密度を推定する推定器である。該推定器２０に電流
センサ１１で検出される制御電流検出信号Ｓｉと変位セ
ンサ１０で検出された変位検出信号Ｓｇが入力される。
推定器２０はこの制御電流検出信号Ｓｉと変位検出信号
Ｓｇを入力信号として、電磁石ヨーク５の面と電磁石タ
ーゲット３の間に発生する磁束φ又は磁束密度Ｂを推定
し、この推定値をパワーアンプ７の入力に負帰還させて
いる。なお、ゲイン等の調整も推定器２０に含まれる。
支持体１の電磁石ターゲット３の間に発生する磁束又は
磁束密度を推定する推定器である。該推定器２０に電流
センサ１１で検出される制御電流検出信号Ｓｉと変位セ
ンサ１０で検出された変位検出信号Ｓｇが入力される。
推定器２０はこの制御電流検出信号Ｓｉと変位検出信号
Ｓｇを入力信号として、電磁石ヨーク５の面と電磁石タ
ーゲット３の間に発生する磁束φ又は磁束密度Ｂを推定
し、この推定値をパワーアンプ７の入力に負帰還させて
いる。なお、ゲイン等の調整も推定器２０に含まれる。
【００２０】図５は電磁石の磁気回路について説明する
ための図である。図では、漏れ磁束が無視できるような
磁気回路を例としている。図中、点線Ｌは平均磁路を示
す。漏れ磁束が無い場合の磁束密度Ｂは Ｂ＝ｉＮ／｛（２ｇ／μO）＋（ｌm／μOμS1）＋（ｌn／μOμS2）｝[Ｔ] （１） となり、 （ｌm／μOμS1）＋（ｌn／μOμS2）≪（２ｇ／μO） （２） とおける場合には、 Ｂ≒（μOｉＮ）／（２ｇ）[Ｔ] （３） と、概算で扱える。
ための図である。図では、漏れ磁束が無視できるような
磁気回路を例としている。図中、点線Ｌは平均磁路を示
す。漏れ磁束が無い場合の磁束密度Ｂは Ｂ＝ｉＮ／｛（２ｇ／μO）＋（ｌm／μOμS1）＋（ｌn／μOμS2）｝[Ｔ] （１） となり、 （ｌm／μOμS1）＋（ｌn／μOμS2）≪（２ｇ／μO） （２） とおける場合には、 Ｂ≒（μOｉＮ）／（２ｇ）[Ｔ] （３） と、概算で扱える。
【００２１】ここで、Ｎ：電磁石コイルの巻数、Ａ：電
磁石ヨークの断面積、ｉ：電磁石コイル６の電流、ｇ：
電磁石ヨーク端面と電磁石ターゲットの間のギャップ、
ｌm：電磁石ヨーク側の平均磁路長、ｌn：電磁石ターゲ
ット側の平均磁路長、Ｂ：磁束密度、φ：磁束（φ＝Ｂ
・Ａ）、μO：真空透磁率（大気でも同じ）、μS1：電
磁石ヨーク側比透磁率、μS2：電磁ターゲット側比透磁
率、である。
磁石ヨークの断面積、ｉ：電磁石コイル６の電流、ｇ：
電磁石ヨーク端面と電磁石ターゲットの間のギャップ、
ｌm：電磁石ヨーク側の平均磁路長、ｌn：電磁石ターゲ
ット側の平均磁路長、Ｂ：磁束密度、φ：磁束（φ＝Ｂ
・Ａ）、μO：真空透磁率（大気でも同じ）、μS1：電
磁石ヨーク側比透磁率、μS2：電磁ターゲット側比透磁
率、である。
【００２２】断面積Ａの電磁石ヨーク５で、漏れ磁束が
無い場合であるので、電磁石ヨーク５の端面と電磁石タ
ーゲット３面の間のギャップｇでの磁束φは、磁束密度
Ｂと断面積Ａの積に等しい。式（１）に磁束密度と他の
パラメータとの関係を示す。電磁石ヨーク側比透磁率μ
S1、電磁ターゲット側比透磁率μS2は磁束密度又は磁界
の強さＨの大きさ、その変動周波数の変数である。従来
はこれらを定数として扱うことで十分である用途が多か
った。これが無視できないケースでは図３に示す構成の
磁気フィードバック形パワーアンプを採用していた。
無い場合であるので、電磁石ヨーク５の端面と電磁石タ
ーゲット３面の間のギャップｇでの磁束φは、磁束密度
Ｂと断面積Ａの積に等しい。式（１）に磁束密度と他の
パラメータとの関係を示す。電磁石ヨーク側比透磁率μ
S1、電磁ターゲット側比透磁率μS2は磁束密度又は磁界
の強さＨの大きさ、その変動周波数の変数である。従来
はこれらを定数として扱うことで十分である用途が多か
った。これが無視できないケースでは図３に示す構成の
磁気フィードバック形パワーアンプを採用していた。
【００２３】図６は電磁石のコイル電流と発生する磁束
又は磁束密度との一般的な伝達特性を示す図である。こ
こでは、ゲインを省略し、位相特性を示す。図６におい
て、曲線は電磁石ヨークと電磁石ターゲットに珪素鋼
板の積層構造を使用した場合、曲線は同じく珪素鋼板
の積層構造を用いているが駆動電圧が高い場合（駆動電
圧が高い場合、鉄損が増えるので珪素鋼板の積層構造で
もに比べて位相特性は劣化する）、曲線は電磁石ヨ
ークと電磁石ターゲットにソリッドな磁性材料を使用し
た場合を示す。
又は磁束密度との一般的な伝達特性を示す図である。こ
こでは、ゲインを省略し、位相特性を示す。図６におい
て、曲線は電磁石ヨークと電磁石ターゲットに珪素鋼
板の積層構造を使用した場合、曲線は同じく珪素鋼板
の積層構造を用いているが駆動電圧が高い場合（駆動電
圧が高い場合、鉄損が増えるので珪素鋼板の積層構造で
もに比べて位相特性は劣化する）、曲線は電磁石ヨ
ークと電磁石ターゲットにソリッドな磁性材料を使用し
た場合を示す。
【００２４】図６に示すように、コイル電流と発生する
磁束又は磁束密度との伝達特性は遅れ特性であり、電磁
石ヨークや電磁石ターゲットを構成する磁性材料や構造
によって遅れ特性は異なる。特殊用途の磁気軸受の伝達
特性は、図６の矢印Ｃに示す方向になり易い。
磁束又は磁束密度との伝達特性は遅れ特性であり、電磁
石ヨークや電磁石ターゲットを構成する磁性材料や構造
によって遅れ特性は異なる。特殊用途の磁気軸受の伝達
特性は、図６の矢印Ｃに示す方向になり易い。
【００２５】電磁石のコイル電流と、磁束φ、磁束密度
Ｂとの位相遅れ伝達関数は、よく知られた、図７
（ａ）、（ｂ）に示すようなローパスフィルタ等の伝達
関数式で表現することができる。また、実際のデータを
カーブフィットし、式で得ることもできる。また、簡単
なアナログ回路で模擬できる場合もある。なお、図７
（ａ）は受動素子を用いたローパスフィルタの構成を示
し、図７（ｂ）はオペアンプを用いたローパスフィルタ
の構成を示す。
Ｂとの位相遅れ伝達関数は、よく知られた、図７
（ａ）、（ｂ）に示すようなローパスフィルタ等の伝達
関数式で表現することができる。また、実際のデータを
カーブフィットし、式で得ることもできる。また、簡単
なアナログ回路で模擬できる場合もある。なお、図７
（ａ）は受動素子を用いたローパスフィルタの構成を示
し、図７（ｂ）はオペアンプを用いたローパスフィルタ
の構成を示す。
【００２６】図８は上記推定器２０の構成例を示す図で
ある。上記式（１）や（３）の関係から、 Ｂ＝Ｋ・（ｉ／ｇ）・ｆ （４） φ＝Ｂ・Ａ （５） ここで、Ｋはゲイン定数で、電磁石コイル６の巻き数や
調整ゲインである。ｆは図６に示した方法により、遅れ
特性を模擬した模擬器の特性である。従って、少なくと
も電磁石コイル６のコイル電流ｉ（電流センサ１１の制
御電流検出信号Ｓｉ）と、電磁石ヨーク５端面と電磁石
ターゲット３の間のギャップｇ（変位センサ１０の変位
検出信号Ｓｇ）を入力すると磁束密度Ｂ相当の信号を得
ることができる。また、磁束φと磁束密度Ｂの関係は式
（５）の関係であるので、ゲイン定数Ｋに断面積Ａを含
めれば、磁束φ相当の信号を得る。
ある。上記式（１）や（３）の関係から、 Ｂ＝Ｋ・（ｉ／ｇ）・ｆ （４） φ＝Ｂ・Ａ （５） ここで、Ｋはゲイン定数で、電磁石コイル６の巻き数や
調整ゲインである。ｆは図６に示した方法により、遅れ
特性を模擬した模擬器の特性である。従って、少なくと
も電磁石コイル６のコイル電流ｉ（電流センサ１１の制
御電流検出信号Ｓｉ）と、電磁石ヨーク５端面と電磁石
ターゲット３の間のギャップｇ（変位センサ１０の変位
検出信号Ｓｇ）を入力すると磁束密度Ｂ相当の信号を得
ることができる。また、磁束φと磁束密度Ｂの関係は式
（５）の関係であるので、ゲイン定数Ｋに断面積Ａを含
めれば、磁束φ相当の信号を得る。
【００２７】図４に示すように、磁束又は磁束密度を推
定する推定器２０を用いることで、磁束φの検出やケー
ブルの信号線数を増加させることなく、コントローラ内
で磁束相当信号を得て、パワーアンプ７にフィードバッ
クできる。また、推定器２０に必要な入力信号は、従来
の磁気軸受装置で既に持っている変位センサ１０の変位
検出信号Ｓｇと電流センサ１１の制御電流検出信号Ｓｉ
である。
定する推定器２０を用いることで、磁束φの検出やケー
ブルの信号線数を増加させることなく、コントローラ内
で磁束相当信号を得て、パワーアンプ７にフィードバッ
クできる。また、推定器２０に必要な入力信号は、従来
の磁気軸受装置で既に持っている変位センサ１０の変位
検出信号Ｓｇと電流センサ１１の制御電流検出信号Ｓｉ
である。
【００２８】図９は本発明に係る磁気軸受装置の構成例
を示す図である。本磁気軸受装置が図４に示す磁気軸受
装置と異なる点は調整器１２を設け電流センサ１１で検
出した制御電流検出信号Ｓｉを該調整器１２を介してパ
ワーアンプ７にフィードバックしている点である。即
ち、本磁気軸受装置は、図１に示す構成の従来の電流フ
ィードバック形パワーアンプに、磁束又は磁束密度を推
定する推定器２０を併用したものである。
を示す図である。本磁気軸受装置が図４に示す磁気軸受
装置と異なる点は調整器１２を設け電流センサ１１で検
出した制御電流検出信号Ｓｉを該調整器１２を介してパ
ワーアンプ７にフィードバックしている点である。即
ち、本磁気軸受装置は、図１に示す構成の従来の電流フ
ィードバック形パワーアンプに、磁束又は磁束密度を推
定する推定器２０を併用したものである。
【００２９】図１０は本発明に係る磁気軸受装置の構成
例を示す図である。本磁気軸受装置が図４に示す磁気軸
受装置と異なる点は、電磁石コイル６に印加されるコイ
ル電圧を検出する電圧センサ１３及び調整器１２を設
け、該電圧センサ１３で検出した検出電圧信号Ｓｖを調
整器１２を介してパワーアンプ７にフィードバックして
いる点である。即ち、本磁気軸受装置は、図２に示す構
成の従来の電圧フィードバック形パワーアンプに、磁束
又は磁束密度を推定する推定器２０を併用したものであ
る。
例を示す図である。本磁気軸受装置が図４に示す磁気軸
受装置と異なる点は、電磁石コイル６に印加されるコイ
ル電圧を検出する電圧センサ１３及び調整器１２を設
け、該電圧センサ１３で検出した検出電圧信号Ｓｖを調
整器１２を介してパワーアンプ７にフィードバックして
いる点である。即ち、本磁気軸受装置は、図２に示す構
成の従来の電圧フィードバック形パワーアンプに、磁束
又は磁束密度を推定する推定器２０を併用したものであ
る。
【００３０】図１１は一般的な磁気軸受を採用する装置
の構成を示す図である。磁気軸受用コントローラ１００
と被支持体を浮上支持するのに磁気軸受を用いる磁気軸
受内蔵回転機械１０１とは、比較的長い（例えば、約２
０ｍ）ケーブル１０２で接続されている。磁気軸受内蔵
回転機械１０１の磁気軸受から、変位センサ１０の変位
検出信号Ｓｇ、電流センサ１１で検出した制御電流検出
信号Ｓｉ及び電圧センサ１３で検出した検出電圧信号Ｓ
ｖがケーブル１０２を介して磁気軸受用コントローラ１
００に伝送され、磁気軸受用コントローラ１００のパワ
ーアンプ７からの制御電流ｉ等がケーブル１０２を介し
て磁気軸受内蔵回転機械１０１に伝送される。
の構成を示す図である。磁気軸受用コントローラ１００
と被支持体を浮上支持するのに磁気軸受を用いる磁気軸
受内蔵回転機械１０１とは、比較的長い（例えば、約２
０ｍ）ケーブル１０２で接続されている。磁気軸受内蔵
回転機械１０１の磁気軸受から、変位センサ１０の変位
検出信号Ｓｇ、電流センサ１１で検出した制御電流検出
信号Ｓｉ及び電圧センサ１３で検出した検出電圧信号Ｓ
ｖがケーブル１０２を介して磁気軸受用コントローラ１
００に伝送され、磁気軸受用コントローラ１００のパワ
ーアンプ７からの制御電流ｉ等がケーブル１０２を介し
て磁気軸受内蔵回転機械１０１に伝送される。
【００３１】
【発明の効果】以上、説明したように各請求項に記載の
発明によれば下記のような優れた効果が得られる。
発明によれば下記のような優れた効果が得られる。
【００３２】請求項１に記載の発明によれば、磁束密度
推定手段を設け、電流センサの制御電流検出信号と変位
センサの変位検出信号から、支持体側電磁石面と被支持
体側電磁石ターゲット間に発生する磁束又は磁束密度を
推定し、この推定値をパワーアンプにフィードバックす
るので、磁束フィードバック形パワーアンプと同様、電
磁石コイルのコイル負荷に加え、電磁石の電磁石ヨー
ク、電磁石ターゲットを構成する磁性材料の特性による
電磁石コイルの電流と発生磁束の伝達特性をも考慮した
改善が可能であると共に、磁束密度推定手段はコントロ
ーラ内に設けるので、ケーブル内の信号線の本数を増加
させる必要がない。
推定手段を設け、電流センサの制御電流検出信号と変位
センサの変位検出信号から、支持体側電磁石面と被支持
体側電磁石ターゲット間に発生する磁束又は磁束密度を
推定し、この推定値をパワーアンプにフィードバックす
るので、磁束フィードバック形パワーアンプと同様、電
磁石コイルのコイル負荷に加え、電磁石の電磁石ヨー
ク、電磁石ターゲットを構成する磁性材料の特性による
電磁石コイルの電流と発生磁束の伝達特性をも考慮した
改善が可能であると共に、磁束密度推定手段はコントロ
ーラ内に設けるので、ケーブル内の信号線の本数を増加
させる必要がない。
【００３３】請求項２に記載の発明によれば、電流セン
サの制御電流検出信号をパワーアンプにフィードバック
する、従来の電流フィードバック形パワーアンプ方式を
請求項１に記載の磁気軸受装置に付加することにより、
工業的信頼性を向上させることができる。
サの制御電流検出信号をパワーアンプにフィードバック
する、従来の電流フィードバック形パワーアンプ方式を
請求項１に記載の磁気軸受装置に付加することにより、
工業的信頼性を向上させることができる。
【００３４】請求項３に記載の発明によれば、電圧セン
サのコイル電圧検出信号をパワーアンプにフィードバッ
クする、従来の電圧フィードバック形パワーアンプ方式
を請求項１に記載の磁気軸受装置に付加することによ
り、工業的信頼性を向上させることができる。
サのコイル電圧検出信号をパワーアンプにフィードバッ
クする、従来の電圧フィードバック形パワーアンプ方式
を請求項１に記載の磁気軸受装置に付加することによ
り、工業的信頼性を向上させることができる。
【図１】従来の電流フィードバック形パワーアンプを採
用した磁気軸受装置の構成例を示す図である。
用した磁気軸受装置の構成例を示す図である。
【図２】従来の電圧フィードバック形パワーアンプを採
用した磁気軸受装置の構成例を示す図である。
用した磁気軸受装置の構成例を示す図である。
【図３】従来の磁束フィードバック形パワーアンプを採
用した磁気軸受装置の構成例を示す図である。
用した磁気軸受装置の構成例を示す図である。
【図４】本発明に係る磁気軸受装置の構成例を示す図で
ある。
ある。
【図５】磁気回路の各パラメータと磁束密度との関係を
示す図である。
示す図である。
【図６】コイル電流と発生磁束又は磁束密度との一般的
な伝達特性を示す図である。
な伝達特性を示す図である。
【図７】図６の遅れ特性を模擬する方法についての説明
図である。
図である。
【図８】本発明に係る磁気軸受装置に用いる磁束又は磁
束密度を推定する推定器の構成例を示す図である。
束密度を推定する推定器の構成例を示す図である。
【図９】本発明に係る磁気軸受装置の構成例を示す図で
ある。
ある。
【図１０】本発明に係る磁気軸受装置の構成例を示す図
である。
である。
【図１１】一般的な磁気軸受を採用する装置の構成を示
す図である。
す図である。
１ 被支持体 ２ センサターゲット ３ 電磁石ターゲット ４ 電磁石 ５ 電磁石ヨーク ６ 電磁石コイル ７ パワーアンプ ８ 補償器 ９ 変位センサアンプ １０ 変位センサ １１ 電流センサ １２ 調整器 １３ 電圧センサ １４ 磁束センサ ２０ 推定器
Claims (3)
- 【請求項１】 磁気力を発生する支持体側の電磁石を具
備し、該支持体側の電磁石のコイルにパワーアンプより
制御電流を通電することにより発生する磁気力で被支持
体を浮上支持する制御形の磁気軸受装置において、 前記パワーアンプの出力制御電流を検出する電流センサ
及び前記被支持体の変位を検出する変位センサとを具備
し、 前記支持体側電磁石のコイルに制御電流を通電するパワ
ーアンプに、少なくとも前記電流センサの制御電流検出
信号と前記変位センサの変位検出信号を入力信号とし、
該入力信号を受け、前記支持体側の電磁石面と前記被支
持体側の電磁石ターゲット間に発生する磁束又は磁束密
度を推定する磁束又は磁束密度推定手段を設け、該磁束
又は磁束密度推定手段の推定値を前記パワーアンプにフ
ィードバックすることを特徴とする磁気軸受装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載の磁気軸受装置におい
て、 前記電流センサの制御電流検出信号を前記パワーアンプ
にフィードバックすることを特徴とする磁気軸受装置。 - 【請求項３】 請求項１に記載の磁気軸受装置におい
て、 前記支持体側の電磁石のコイル電圧を検出する電圧セン
サを設け、該電圧センサのコイル電圧検出信号を前記パ
ワーアンプにフィードバックすることを特徴とする磁気
軸受装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000227608A JP2002039178A (ja) | 2000-07-27 | 2000-07-27 | 磁気軸受装置 |
| EP01118169A EP1176325A3 (en) | 2000-07-27 | 2001-07-26 | Magnetic bearing apparatus |
| US09/912,338 US20020011754A1 (en) | 2000-07-27 | 2001-07-26 | Magnetic bearing apparatus |
| KR1020010045406A KR20020010100A (ko) | 2000-07-27 | 2001-07-27 | 자기 베어링 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000227608A JP2002039178A (ja) | 2000-07-27 | 2000-07-27 | 磁気軸受装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002039178A true JP2002039178A (ja) | 2002-02-06 |
Family
ID=18721027
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000227608A Pending JP2002039178A (ja) | 2000-07-27 | 2000-07-27 | 磁気軸受装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20020011754A1 (ja) |
| EP (1) | EP1176325A3 (ja) |
| JP (1) | JP2002039178A (ja) |
| KR (1) | KR20020010100A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005045266A1 (ja) * | 2003-11-05 | 2005-05-19 | Jtekt Corporation | 電力増幅装置および磁気軸受 |
| JP2010268552A (ja) * | 2009-05-13 | 2010-11-25 | Saitama Univ | 磁気浮上装置 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2817088B1 (fr) * | 2000-11-17 | 2003-02-21 | Mecanique Magnetique Sa | Machine tournante a butee axiale magnetique integrant une generatrice de courant |
| US7107163B1 (en) * | 2003-05-06 | 2006-09-12 | Lockheed Martin Corporation | Magnetic levitation force control |
| JP5279890B2 (ja) * | 2011-12-29 | 2013-09-04 | 株式会社大阪真空機器製作所 | ラジアル方向制御器及び、それが適用された磁気軸受装置 |
| KR102026009B1 (ko) * | 2018-01-05 | 2019-09-26 | 엘지전자 주식회사 | 자기 베어링 제어장치 및 그 제어방법 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5003211A (en) * | 1989-09-11 | 1991-03-26 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Permanent magnet flux-biased magnetic actuator with flux feedback |
| US5036236A (en) * | 1990-05-07 | 1991-07-30 | Hughes Aircraft Company | Air gap matching proximity sensor for magnetic bearings |
| NL9001909A (nl) * | 1990-08-30 | 1992-03-16 | Philips Nv | Elektromagnetische ondersteuning met enkelzijdige regelstromen. |
| WO1994020767A1 (en) * | 1993-03-08 | 1994-09-15 | Noise Cancellation Technologies, Inc. | Methods and apparatus for closed-loop control of magnetic bearings |
| JP3680363B2 (ja) * | 1995-07-12 | 2005-08-10 | 石川島播磨重工業株式会社 | 磁気軸受制御装置 |
| JP4005654B2 (ja) * | 1996-12-26 | 2007-11-07 | Ｎｔｎ株式会社 | 磁気浮上型遠心式ポンプ装置 |
| US6091215A (en) * | 1998-06-02 | 2000-07-18 | Switched Reluctance Drives Limited | Trajectory controller |
-
2000
- 2000-07-27 JP JP2000227608A patent/JP2002039178A/ja active Pending
-
2001
- 2001-07-26 US US09/912,338 patent/US20020011754A1/en not_active Abandoned
- 2001-07-26 EP EP01118169A patent/EP1176325A3/en not_active Withdrawn
- 2001-07-27 KR KR1020010045406A patent/KR20020010100A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005045266A1 (ja) * | 2003-11-05 | 2005-05-19 | Jtekt Corporation | 電力増幅装置および磁気軸受 |
| JP2010268552A (ja) * | 2009-05-13 | 2010-11-25 | Saitama Univ | 磁気浮上装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP1176325A2 (en) | 2002-01-30 |
| KR20020010100A (ko) | 2002-02-02 |
| US20020011754A1 (en) | 2002-01-31 |
| EP1176325A3 (en) | 2004-05-12 |
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