JP2002001686A - 半導体収納容器搬送装置及び搬送方法及びそれに用いる吸着パッド - Google Patents
半導体収納容器搬送装置及び搬送方法及びそれに用いる吸着パッドInfo
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Abstract
いて、ハンドラーにおける半導体収納容器(トレー)の
搬送に、品種切り替えなどによる治具交換及び治具調整
をすることなく、簡易に対応できるようにすること。 【構成】 吸着ハンド5は、角型の弾性体の中央に吸着
口が位置するように配置した吸着パッド4と、吸着パッ
ド4を押しつけるスプリング6で構成されている。吸着
パッド4は、トレ−のICポケット2の周囲の上面に接
触し、遮蔽されているICポケット2を密閉させるよう
な位置に吸着ハンド5を移動させ、トレ−を吸着させ
る。吸着ハンドは位置設定の可変なロボットに設置され
ている。 【効果】 トレーのような表面形状の複雑なものも、吸
着径に関係なく大きな吸着力が得ることができる。また
品種切り替え時には、ロボットの位置設定の変更だけ
で、機械的調整や治具交換をなくすことができる。
Description
及び搬送方法及びそれに用いる吸着パッドに関し、特に
半導体パッケージの収納容器を搬送する構造に特徴のあ
る半導体収納容器搬送装置及び搬送方法及びそれに用い
る吸着パッドに関するものである。
ハンドラーと称す)において、半導体収納容器(以下、
トレーと称す)の搬送方式は、大別すると機械ハンド方
式と吸着ハンド方式があった。
み重ねられたトレー1を分離するため、トレーの外形端
に設けられた切り欠き部を把持用ハンドで把持し、一枚
毎搬送を行うものである。
平坦部を設け、その平坦部分に吸着パッドを組み込んだ
ハンドで、吸着把持し搬送を行うものであった。図3
は、吸着パッド方式の断面図である。吸着パッド7のパ
ッド径により吊り下げ力が決められ、トレー1の品種ご
とに吸着パッド7の位置調整または、ハンド全体の交換
が必要であった。
ハンド方式においては、積み重ねられたトレーを一枚毎
分離できるように、トレーの外形端に把持用ハンド先端
が入るための切り欠き部を有しなければならない。ま
た、トレーの切り欠き部の形状や位置が個々異なるた
め、品種切り替え時の治具交換の作業時間の増大、また
個々の治具製作の費用が増大するといった課題があっ
た。
は、トレーのICパッケージ収納部(以下、ICポケッ
トと称す)に、本来開口部が設けられているが、吸着パ
ッドによって吸着できるように、特定のICポケットの
開口部を遮蔽している。ところがその開口部を遮蔽した
ICポケットの位置は、トレーの種類によって異なるこ
とがあるため、ICの品種切り替え時に治具を交換する
必要があり、治具交換の作業時間が増大するという課題
があった。
レーの搬送を行う際に、品種切り替えなどによる治具交
換及び治具調整することなく簡易に対応できる半導体パ
ッケージ搬送装置及びそれに用いる吸着パッドを提供す
ることにある。
めに本発明の半導体収納容器搬送装置においては、略中
央に吸着口となる開口部を形成した吸着パッドと、半導
体用トレーの搬送時に該トレーに前記吸着パッドを押圧
するスプリングとを有する吸着ハンドを含んでなること
を特徴とする。
は、前記トレーのICポケットの面積以上の吸着面を有
することを特徴とする。
着パッドは、軟質の弾性体を用いてなることを特徴とす
る。
ジまたはシリコンゴムであることが好ましい。
おいては、前記トレーのICポケットの周囲のトレー上
面を吸着することを特徴とする。
用いる吸着パッドであって、前記吸着パッドは、軟質の
弾性体を用いてなることを特徴とする。
形成されてなることを特徴とする。
部を吸着することをせずに吸着することが出来る。
となく、吸着パッドを密着させることができる。
閉することができる吸着パッドにより、吊り下げ力を確
保することができる。
いて説明する。
5が、トレー1を吸着しているところを示した断面図で
ある。3はICポケットの開口部であり、トレーを積み
重ねた場合に、下に位置するトレーのICが収納されて
いるか否かの確認するもであり、またトレーの重量を軽
減するものである。
着口が位置するように配置した吸着パッド4と、吸着パ
ッド4を押しつけるスプリング6で構成されている。
ポケット2の周囲の上面に接触し、遮蔽されているIC
ポケット2を密閉させるような位置に吸着ハンド5を移
動させ、トレーを吸着させる。
ケット2のように開口部3が、トレーを積み重ねた場合
の、下に位置するトレーのICが収納されているか否か
の確認するためと、またトレーの重量を軽減するために
設けられており、部分的に遮蔽されたICポケット2が
配置されている。この遮蔽されたICポケット2の位置
が、品種によって異なっている。
は、吸着ハンドを位置設定の可変なロボットに設置する
ことにより、遮蔽したICポケット2を、図1または図
5に示すごとく、遮蔽したICポケット2の周囲のトレ
ー上面と、吸着パッド4が接触し、吸着パッドの吸着口
が、遮蔽したICポケット2を吸着可能な位置に配置で
きるようにする。
着搬送する吸着ハンド5の有するスプリング7による押
しつけ力で、トレー1に密着することが可能な、軟質の
弾性体が使用される。軟質の弾性体としては、例えばシ
リコンスポンジや軟質のシリコンゴムなどのものを用い
ると良い。
ーの中の、ICポケット寸法Aの最大のものが密閉でき
る大きさが適している。その理由は、本発明による吸着
パッドは、従来の吸着パッドが、その吸着面積から吸着
力を得るのに対し、遮蔽されたICポケットの数とその
内容積から吸着力を得るため、ICポケット寸法Aの最
大のものが密閉できる大きさが必要だからである。例え
ば、一辺40mmのICパッケージの場合、ICポケッ
ト寸法Aが、約45mmになるため、吸着パッド4の大
きさは、約55mmが適正な大きさになる。
の有するスプリング6による押しつけ力と、シリコンス
ポンジの弾性によるが、スプリング6の押しつけ力によ
り、シリコンスポンジが、トレー1に密着できるような
弾性を得るといった理由から、約10mmが適してい
る。
小さく、トレー1を吸着搬送できる吊り下げ力を得るだ
けの吸着面積がない場合、例えば、隣接したICポケッ
ト間の寸法Bが、約5mmになると吸着パッドを図5の
ように、複数個のICポケットにまたがって、吸着する
ように配置する。このとき、吸着パッド4の吸着径C
は、約8mmが適している。
ーのような表面形状の複雑なものも、吸着径に関係な
く、大きな吸着力が得ることができる。
設定の変更だけで、機械的調整や治具交換をなくすこと
ができる。このため、本発明による吸着パッドを採用し
たハンドラーでは、品種切り替え時の作業時間の短縮が
可能になる。
さく、トレー1を吸着搬送できる吊り下げ力を得るだけ
の吸着面積がない場合でも、吸着パッドを図5のよう
に、複数個のICポケットにまたがって、吸着するよう
に配置するため、複数個のICポケットの表面積から大
きな吸着力が得られる。
吸着ハンド5が、トレー1を吸着しているところを示し
た断面図である。
の寸法が小さく、トレーを吸着搬送できる吊り下げ力を
得るだけの吸着面積がない場合で、トレーを吸着搬送す
る吸着ハンドが、トレーを吸着しているところを示した
断面図である。
Claims (7)
- 【請求項1】 略中央に吸着口となる開口部を形成した
吸着パッドと、半導体用トレーの搬送時に該トレーに前
記吸着パッドを押圧するスプリングとを有する吸着ハン
ドを含んでなることを特徴とする半導体収納容器搬送装
置。 - 【請求項2】 前記吸着パッドは、前記トレーのICポ
ケットの面積以上の吸着面を有することを特徴とする請
求項1記載の半導体収納容器搬送装置。 - 【請求項3】 前記吸着パッドは、軟質の弾性体を用い
てなることを特徴とする請求項1または2に記載の半導
体収納容器搬送装置。 - 【請求項4】 前記軟質の弾性体はシリコンスポンジま
たはシリコンゴムであることを特徴とする請求項3記載
の半導体収納容器搬送装置。 - 【請求項5】 半導体パッケージ用トレーを搬送する半
導体収納容器搬送方法であって、 前記トレーのICポケットの周囲のトレー上面を吸着す
ることを特徴とする半導体収納容器搬送方法。 - 【請求項6】 半導体収納容器搬送装置に用いる吸着パ
ッドであって、前記吸着パッドは、軟質の弾性体を用い
てなることを特徴とする半導体収納容器搬送装置に用い
る吸着パッド。 - 【請求項7】 前記吸着パッドは略中央に開口部を形成
されてなることを特徴とする請求項6記載の半導体収納
容器搬送装置に用いる吸着パッド。
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