JP2001517361A - 要素配置用の自動化されたシステム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 自動化された要素配置装置が、配置部位２２を有するボードを保持しているテーブルと、配置部位上の配置される要素を保持する配置ヘッド１４と、整合アセンブリと、第１アクチュエータと、第２アクチュエータと、を有している。整合アセンブリは配置ヘッド上の要素の第１画像と配置部位の第２画像とを得るための整合光学装置を有している。この整合アセンブリは更に要素と配置部位との間の相対的な位置誤差を決定するため第１画像及び第２画像を処理しかつこの位置誤差の制御信号の典型を提供するためのイメージプロセッサ４８を有している。この第１アクチュエータは前記位置誤差を矯正するよう該制御信号に応答して、通常配置ヘッドの運動によって、前記配置ヘッドと前記配置部位との間で相対運動をもたらす。次いで第２アクチュエータは配置部位上へ要素を配置するため前記整合位置と前記配置位置との間で前記配置ヘッドを移動する。

Description

【発明の詳細な説明】 要素配置用の自動化されたシステム 関連出願に対する相互関係 本件出願は１９９５年６月３０日付提出の仮出願番号第６０／０００７６９号 の利益を請求している出願である。 発明の分野 本件発明はプリント回路基板へ要素を搭載するための装置に関し、より詳細に は高い正確さでプリント回路基板へ、集積回路のように、要素を配置するための 画像処理技術即ちイメージプロセッシングテクニックを使用している自動化され たシステムに関する。 発明の背景 集積回路の構造及び小型化の利点は、より多くの機能が単一のチップ自体に組 み込まれ、より大きい次元、増大されたリード密度及び／又は減少されたリード ピッチを有するチップの使用を必要とするということである。微細なピッチの集 積回路デバイスは０．００６〜０．０１０インチのリードピッチ（リード部間の 中心から中心までの間隔）を有することがある。例えば、ペンチウム（Ｐｅｎｔ ｉｕｍ）マイクロプロセッサの１パッケージは３２２個のリード部を有している 。そして集積回路はまもなく１０００個のリード部を有するようになることが期 待されている。このデバイスは０．００１〜０．００２インチ内の正確さでプリ ント回路基板の伝導パッドのパターンへ整合しなければならない。“フリップチ ップ（ｆｌｉｐ ｃｈｉｐ）”として知られている提示された集積回路パッケー ジはインプット／アウトプットリード部として集積回路パッケージの裏面にボー ルコンタクトのパターンを使用している。このボールコンタクトは０．００４イ ンチの直径と０．００８インチのピッチとを有しているであろう。このボールコ ンタクトは集積回路パッケージの裏面の全て又は主要な部分をカバーしているで あ ろう。プリント回路基板へのフリップチップパッケージの配置は、該基板へデバ イスが配設されるときにボールコンタクトを見ることが出来ないので、特に困難 である。 回路基板へ集積回路を自動的に配置するためのシステムが開発されている。新 たな集積回路パッケージング技術の開発と同様に、増大する数のリード部及び減 少するリード部ピッチに対する集積回路パッケージングの傾向は集積回路配置シ ステムへの増大した要求を押し付けている。増大された正確さの必要性は配置シ ステムのコストを増大している。幾つかの公知のシステムは最近の集積回路パッ ケージのための配置要求には適合出来ないような状態である。 集積回路要素又はデバイスを配置し搭載するための、イメージ即ち画像習得／ 処理サブシステムを含む、ガイダンスタイプの配置装置がスピガレリ（Ｓｐｉｇ ａｒｅｌｌｉ）等に対する１９９３年８月１０日付発行の米国特許第５２３５４ ０７号に開示されている。この開示されたシステムにおいては、画像習得サブシ ステムが、配置部位の少なくとも一対の対角線上に対向している角部の画像と、 同様の光学透視図からのＩＣデバイスと、を形成する。この画像習得サブシステ ムによって形成された画像は、リード部とパッドとの整合を獲得しかつ照合する ように配置プロセスを制御するためにフィードバック制御を提供する。 発明の簡単な説明 本件発明によれば、要素配置装置及び方法が提供される。この要素配置装置は 、配置部位を有している基板を保持するテーブルと、配置部位へ配設される要素 を保持する配置ヘッドと、整合アセンブリと、第１アクチュエータと、第２アク チュエータと、を有している。配置ヘッドは、整合位置と配置位置との間を移動 出来る。整合アセンブリは、配置ヘッド上の要素の第１画像即ち第１イメージと 配置部位の第２画像即ち第２イメージとを得るための整合光学装置と、作動位置 と引き戻し位置との間で整合光学装置の少なくとも一部を移動する光学装置位置 制御装置と、を有している。整合アセンブリは更に、要素と配置部位との間の相 対的位置誤差を決定するため第１画像及び第２画像を処理しかつこの位置誤差の 制御信号の典型を提供するためのイメージプロセッサを有している。第１アクチ ュ エータが前記位置誤差を矯正するよう該制御信号に応答して前記配置ヘッドと前 記配置部位との間で相対運動をもたらしている。次いで第２アクチュエータが、 前記整合位置と要素の配置のための前記配置位置との間で前記配置ヘッドを移動 する。 第１実施例においては、整合光学装置が、前記第１画像及び第２画像を得るた めのカメラと、該カメラが前記配置部位と前記要素とを検知することを可能とし ているビームスプリッタと、前記要素を照射する第１照射ユニットと、前記配置 部位を照射する第２照射ユニットと、を有している。この第１実施例においては 、該整合光学装置の各要素は作動位置と引き戻し位置との間で移動可能となって いる。 第２実施例においては、整合光学装置が、作動位置と引き戻し位置との間で移 動可能となっている可動の光学装置と、固定の光学装置と、を有している。この 固定の光学装置は、高解像度のビデオカメラと、ズームレンズと、を含んでいる 。可動の光学装置は、ビームスプリッタと、要素を照射する第１照射ユニットと 、配置部位を照射する第２照射ユニットと、を有している。 第１アクチュエータは、前記ボード即ち基板の面に対して平行なＸ軸及びＹ軸 方向に前記配置ヘッドを移動しかつ前記要素を前記配置部位に整合するように前 記ボード即ち基板の面に対して垂直な軸周りに前記配置ヘッドを回転するための 手段を有している。更には、前記第１アクチュエータは、前記ボード即ち基板を Ｘ軸及びＹ軸方向に移動しかつ前記要素を前記配置部位に整合するように前記ボ ード即ち基板を回転する。 一実施例においては、照射ユニットの各々が、光線を発生するための光源と、 該光線を分散するためのデフューザと、通路を検知しているカメラに沿って該分 散された光線を指向するためのビームスプリッタと、を有している。別の実施例 においては、第１照射ユニット及び第２照射ユニットの各々が、要素又は配置部 位の面に関して鋭角に光線を指向する光源を有している。 配置ヘッドは前記要素を前記ボード即ち基板へ接合するための接合デバイスを 有している。第１の実施例においては、該接合デバイスは接合のために前記要素 の方へ加熱ガスを指向するための手段を有している。第２の実施例においては、 該接合デバイスは前記要素を前記ボード即ち基板へ接合するための赤外線エネル ギを発生する手段を有している。第３の実施例においては、該接合デバイスは接 合のために前記要素を接触加熱のための手段を有している。前記接合デバイスは 単一の要素を接合し又は一群の要素を同時に接合する。 本件発明の別の観点によれば、要素のための配置部位を有しているボード即ち 基板上に当該要素を正確に配設するための方法が提供されている。ボード即ち基 板がテーブル上へ搭載され、整合位置と配置位置との間を移動可能な配置ヘッド によって要素が保持される。該配置ヘッド上の前記要素の第１画像と該配置部位 の第２画像とが得られる。該第１画像と第２画像とが前記要素と前記配置部位と の間の相対的位置誤差を決定するため処理され、前記位置誤差の制御信号の典型 が提供される。前記位置誤差を矯正するよう該制御信号に応答して前記配置ヘッ ド又は前記ボード即ち基板が移動される。次いで、配置ヘッドが前記整合位置と 前記配置位置との間で移動され、要素が配置ヘッドから解放される。 図面の簡単な説明 本件発明のより良い理解のために、添付図面が参照されよう。ここでこれらの 図面において； 図１は本件発明による要素の配置のための自動化されたシステムの第１実施例 のブロックダイヤグラムである。 図２は集積回路パッケージの単純化した表現であり、整合アセンブリのカメラ によって見たパッケージの対角線上に対向した角部の領域を眺めた図である。 図３は照射ユニットの第１実施例を示している整合アセンブリの一部のブロッ クダイヤグラムである。 図４は本件発明による要素の配置のための自動化されたシステムの第２実施例 のブロックダイヤグラムである。 図５は図４の自動化された要素配置システムにおける整合アセンブリの一部の 上面図を示すブロックダイヤグラムである。 図６は照射ユニットの第２実施例を示している整合アセンブリの一部のブロッ クダイヤグラムである。 図７は整合位置における配置ヘッドと作動位置における可動光学装置とを示し ている単純化されたブロックダイヤグラムである。 図８は配置位置における配置ヘッドと引き戻し位置における可動光学装置とを 示している単純化されたブロックダイヤグラムである。 図９は自動化された要素配置システムによって行われる作動を示しているフロ ーダイヤグラムである。 図１０は配置前の要素の整合のための作動をしめしているフローダイヤグラム である。 図１１Ａは可動光学装置が引き戻し位置にあるときの本件発明における自動化 された要素配置システムの例を示す図である。 図１１Ｂは可動光学装置が作動位置にあるときの図１１Ａの自動化された要素 配置システムを示す図である。 図１２Ａはプリント回路基板上方に位置付けられた配置ヘッドの拡大概略図で ある。 図１２Ｂはプリント回路基板上の配置位置にある配置ヘッドの拡大概略図であ る。 詳細な記載 本件発明による要素配置用の自動化されたシステムの第１の実施例のブロック ダイヤグラムが図１に示されている。このシステムの主要な要素は、配置作業の 間中プリント回路基板１２を保持しているテーブル１０と、該プリント回路基板 １２上に要素１６を正確に配置しかつ所定位置へ該要素１６を選択的に接合する ための配置ヘッド１４と、該プリント回路基板１２上において要素１６と配置部 位２２との間の整合を感知しかつ制御する整合アセンブリ２０と、を含んでいる 。この配置部位２２は、通常、要素１６のリード部に対応している導電パッドの パターンをなしている。 基板を取り付けたり取り外したりするボードローデング・アンローデングシス テム３０が、配置作業の初期においてテーブル１０上の所定位置へ基板即ちボー ド１２を位置付け、かつ配置作業が完了した後に該基板１２を取り外す。いくつ かの適切なボードローデング・アンローデングシステム３０が使用されることが 出来る。例えばそれはコンベアや手動システムを含む。図１に示す例においては 、テーブル１０は配置処理の間中固定位置にある。 要素ローデングシステム３４がプリント回路基板１２上の位置へ要素を一度に 一個だけ供給する。この要素ローデングシステム３４は要素１６を所定の位置ま で運ぶことが出来る。配置ヘッド１４はその所定の位置に整合するように移動さ れ、該要素は真空ピックアップ装置によって持ち上げられる。配置ヘッド１４へ 接続された真空ピックアップ制御装置３６が真空ピックアップ装置の作動及び非 作動を制御している。いくつかの適切な要素ローデングシステム３４が使用され ることが出来る。例えばこれは、要素のトリム／成形／切除システム、マトリッ クストレーシステム及びテープ供給システム等を含む。 ヘッド位置制御装置４０が４の自由度を持って配置ヘッド１４の位置を制御し ている。図１にはＸ，Ｙ，Ｚ座標システムが示されている。ここで、Ｘ軸とＹ軸 とはプリント回路基板１２の面に平行をなしており、Ｚ軸はプリント回路基板１ ２の面に垂直をなしている。ヘッド位置制御装置４０は配置ヘッド１４をＸ，Ｙ ，Ｚ方向に制御自在に移動するために適当なモータ又はその他のアクチュエータ を有している。更に、このヘッド位置制御装置４０はＺ軸に対して平行な軸の周 りに角度θだけ要素１６を回転するためのモータ又はアクチュエータを有してい る。より詳細には配置ヘッド１４の運動は以下の通りである。配置ヘッド１４は 要素ローデングシステム３４から要素をピックアップするためにＸ，Ｙ，Ｚ方向 に要求されるように移動可能となっている。更に、該配置ヘッド１４は配置部位 ２２に要素１６を整合するためにＸ，Ｙ，θ方向に移動可能となっている。また 該配置ヘッド１４は、プリント回路基板１２の配置部位２２に要素１６を配置す るためＺ方向に、更にもし必要なら、Ｘ，Ｙ方向に移動可能となっている。この 配置ヘッド１４は必ずしも配置部位２２上に直接位置付けられるものではないこ とは注意されるべきである。要求される全てのことは、配置ヘッドが、整合が達 成される位置とプリント回路基板１２上の配置部位２２との間の公知の繰り替え し可能な通路を移動すると言うことである。 一つの実施例においては、ヘッド位置制御装置４０は、配置ヘッド１４をＸ， Ｙ，Ｚ方向に移動するためのリードスクリュードライブと、配置ヘッド１４を回 転するための回転モータ及びボールレデユーサとを使用している。別の実施例に おいては、配置ヘッド１４をＸ，Ｙ，Ｚ方向に移動するためにリニアモータが使 用されることが出来る。更に別の実施例においては、配置ヘッドをＸ，Ｙ方向に 移動するためにソーヤ（Ｓａｗｙｅｒ）モータが使用されることが出来る。この ソーヤモータの使用に適する更に別の実施例が以下に述べられている。 システムコントローラ４４は、以下に述べる作動を行うために、整合アセンブ リ２０、ボードローデング・アンローデングシステム３０、要素ローデングシス テム３４、真空ピックアップ制御装置３６及びヘッド位置制御装置４０を含む、 配置システムの要素をコントロールしている。このシステムコントローラ４４は 、汎用目的のコンピュータ、マイクロプロセッサ、又は特定目的のコントローラ とすることが出来る。 上述のように、この配置ヘッド１４は、配置部位２２においてプリント回路基 板１２へ要素１６を接合するためのデバイスを選択的に有することが出来る。よ り詳細には要素１６のリード部が溶接によってプリント回路基板上の各パッドへ 接合されることが出来る。一実施例においては、その接合装置は接合のために要 素のリード部へ加熱ガスのジェットを指向するためのマニホルドを有している。 また別の実施例においては、その接合装置は要素のリード部を加熱するために赤 外線を使用している。更に別の実施例においては、その接合装置は要素のリード 部を加熱するためにコンタクトヒーテイングを使用している。これらの技術の組 み合わせも使用され得るであろう。本件発明の範囲には多くの適切な接合装置が 含まれる。この接合装置は各要素がプリント回路基板１２上に配置された後に該 基板へ個別に接合されるであろう。更には、このシステムは始めに一度に一グル ープの要素を基板上に配置し、その後に接合装置は基板上にそのグループの要素 を同時に接合することも出来る。このような方法は時間を節約し更にプリント回 路基板及び要素に対する熱応力を減少する。更に別の方法においては配置ヘッド １４がプリント回路基板１２へ対して要素16を接合するための装置を備えておら ないであろう。そのような場合には、接合は別の装置による別の操作によって行 われる。 整合アセンブリ２０は、整合光学装置４６と、作業位置と引き戻し位置との間 で該整合光学装置４６を移動するための光学装置位置制御装置４７と、該整合光 学装置４６とヘッド位置制御装置４０との間に接合されているイメージプロセッ サ４８と、を有している。整合光学装置４６は、ビームスプリッタ５４へ指向さ れたレンズ５２を含んでいる、ビデオカメラ５０のような少なくとも一の画像装 置を含んでいる。図１に示す例においては、ビームスプリッタ５４はプリズム５ ６及びミラー５８を含んでいる。このミラー５８は、その反射面がカメラ５０を 面した状態でプリズム５６へ固定されている。ビームスプリッタ５４は整合プロ セスの間中、要素１６とプリント回路基板１２上の配置部位２２との間に位置付 けられている。このビームスプリッタ５４は、カメラ５０が要素１６又はプリン ト回路基板１２上の配置部位２２を検知することが出来るように設計されている 。照射ユニット６０が要素１６を照射し、照射ユニット６２がプリント回路基板 １２上の配置部位２２を照射する。以下において述べるように、カメラ５０はプ リント回路基板１２の画像と要素１６の画像とを順序通りに得る。このカメラ５ ０は適当な寸法と解像度とを有するビデオカメラとすることが出来る。例えば、 東芝製のミニチュアＣＣＤカメラが使用され得る。 光学装置位置制御装置４７は整合光学装置４６の位置を制御する。特に、整合 光学装置４６がプリント回路基板１２上の配置部位２２を検知しかつ要素１６を 検知するように位置付けられる。整合光学装置４６の作動位置は図１に示されて いる。要素１６及び配置部位２２は、整合光学装置４６が作動位置にあるときに 、該整合光学装置４６が検知される範囲内に位置されている。この整合処置が完 了した後に該整合光学装置４６は基板１２及び配置ヘッド１４から引き戻し位置 まで移動され、要素１６は基板上に配置される。 図１に示す整合光学装置４６は、単一のカメラ５０と、ビームスプリッタ５４ と、照射ユニット６０、６２と、を有している。要求されたカメラ５０の正確さ と解像度に応じて、単一のカメラシステムが使用され得る。更にこの整合光学装 置は正確性を増大するために２つまたはそれ以上のカメラ及び協働する光学装置 を有することが出来る。２つまたはそれ以上のカメラの使用は、選択された要素 １６及び配置部位２２の部分を高い解像度で検知することを可能としている。あ る構造においては、２つのカメラ及び協働する光学装置が使用される。図２を参 照すると、複数のリード部７２を有している集積回路７０が示してある。図１に 示されているような構造の整合光学装置４６は、集積回路７０の一つの角部にお ける検知領域（ｖｉｅｗｉｎｇ ｒｅｇｉｏｎ）７４の画像を得るように位置付 けられている。整合光学装置４６と同一の構造を有している整合光学装置７６が 、集積回路７０の検知領域７８の画像を得るために配置されている。これらの検 知領域７４、７８は好ましくは集積回路７０の対角上に対向している角部に又は その付近に所定数のリード部７２を有している。配置部位２２上の検知領域は集 積回路７０上の検知領域７４、７８に対応している。整合光学装置４６、７６は それぞれ、イメージプロセッサ４８へ対して各領域７４、７８の各画像の画像デ ータ即ちイメージデータを提供している。同様な方法によって、これらの整合光 学装置４６、７６は配置部位２２の対角上に対向している角部に、対応する検知 領域の画像を形成している。 要素１６の画像は、イメージプロセッサ４８によって配置部位２２の画像と比 較され、両者間の位置の偏倚の大きさが得られる。特にイメージプロセッサ４８ は、要素１６のリード部と配置部位２２の対応するパッドとの間の位置偏倚誤差 をＸ及びＹ方向の変位及び回転角度θによって決定する。イメージプロセッサ４ ８は、偏倚誤差をＸ、Ｙ及びθで表した制御信号をヘッド位置制御装置４０へ提 供し配置ヘッド１４を置き換えかつ回転し、こうして要素１６が配置部位２２に 整合するように搬送される。ここに述べた整合技術についての利点は、整合のた めの基準マークがプリント回路基板１２上に必要とされないということである。 集積回路７０のリード部及び配置部位２２における接合パッド等のような２つの 画像即ちイメージの対応するエレメントの置き換え及び回転を決定するイメージ 処理技術は当業者に知られているところである。イメージプロセッサ４８は、通 常、フレームグレーバ（ｆｒａｍｅ ｇｒａｂｂｅｒ）とコンピュータとを有し ている。このコンピュータはシステムコントローラ４４コンピュータであること が可能であり又は独立したビジョン（ｖｉｓｉｏｎ）プロセッサであることが可 能である。 照射ユニット６２の第１実施例を示している整合光学装置４６の部分のブロッ クダイヤグラムが図３に示されている。ライトエミッテングダイオード即ち発光 ダイオードのような光源８０がビームスプリッタ８６へ入射する拡散光線を形成 するためにデフユーザ即ち拡散体８４を介して光線８２を指向する。このビーム スプリッタ８６は、配置部位２２を照らすためにプリント回路基板１２上の該配 置部位まで、通路９０に沿って拡散光線を指向する。この光線は配置部位２２に より反射され、通路９０に沿ってビームスプリッタ８６を介してビームスプリッ タ５４まで至る。ビームスプリッタ５４はこの反射光をレンズ５２及びカメラ５ ０まで指向して配置部位２２のイメージを確保する。こうして照射ユニット６２ は配置部位２２の拡散した軸線に沿った（ｏｎ−ａｘｉｓ）照射を提供する。照 射ユニット６０は好ましくは照射ユニット６２と同様の構成を有している。垂直 拡散照射を使用している図３に示す照射ユニットは、鏡のような反射を起こし配 置部位２２のイメージを得るのに妨げとなるようなフラックス又はその他のコー テイングを有しているようなプリント回路基板の照射にとって有利である。その 他の照射形態は本件発明の請求項の範囲内で使用されることが出来る。例えば、 軸線に沿わない（ｏｆｆ−ａｘｉｓ）別の用法においては、プリント回路基板及 び要素の触接照射が望ましいであろう。ある実施例においては、光源８０は６６ ０ナノメータに集中した出力波長を有する発光ダイオードである。狭い帯域の照 射（ｎａｒｒｏｗ ｂａｎｄ ｉｌｌｕｍｉｎａｔｉｏｎ）の使用が整合光学装 置の作業による周辺光の効果を減少する上では望ましいであろう。このような場 合には、照射バンド外側の光を減じるために光ファイバが使用される。しかしな がら、白色光を含む広帯域の照射（ｂｒｏａｄ ｂａｎｄ ｉｌｌｕｍｉｎａｔ ｉｏｎ）は本件発明の範囲の照射に使用され得るのである。 作業に際しては、プリント回路基板１２が、ボードローデング・アンローデン グシステム３０によってテーブル１０上に搭載される。配置ヘッド１４が要素ロ ーデンイグシステム３４から要素１６をピックアップ即ち摘まみ上げる。要素１ ６は真空ピックアップ制御装置３６の作動により配置ヘッド１４上に保持される 。整合光学装置４６、７６が光学装置位置制御装置４７によってプリント回路基 板１２の配置部位２２と整合するように移動される。各カメラと協働している照 射ユニット６２が付勢され、カメラ５０が配置部位２２の画像を得る。この整合 シ ステムが図２に関して上述したように２台のカメラを有しているときには整合光 学装置４６、７６は配置部位の対角線上の対向する角部を高い解像度で得るであ ろう。この配置部位のための画像データ即ちイメージデータは画像処理装置即ち イメージプロセッサ４８へ送られ、照射ユニット６２が消勢される。各カメラと 協働する照射ユニット６０が付勢され、要素１６の画像がカメラによって得られ る。整合システムが図２に関して上述したように２台のカメラを有しているとき には整合光学装置４６、７６は要素１６の対角線上の対向する角部に領域７４、 ７８の画像を得るであろう。この画像データは画像処理装置即ちイメージプロセ ッサ４８へ供給される。 画像処理装置即ちイメージプロセッサ４８は配置部位２２及び要素１６を表す 画像データを処理し、Ｘ、Ｙ及びθの偏倚誤差を決定する。これらの偏倚誤差を 表す信号はヘッド位置制御装置４０へ供給され、要素１６を配置部位２２と整合 するように配置しかつ回転する。もし望まれるなら、この整合は、残存偏倚誤差 の大きさを決定するように、配置部位２２及び要素１６の新たな画像を得てかつ 画像データを処理することにより再チェックされることが出来る。 要素１６と配置部位２２との間の所望の整合が達成された後、整合光学装置４ ６、７６は配置ヘッド１４とプリント回路基板１２との間の通路から光学装置位 置制御装置４７によって移動される。次いで、配置ヘッド１４が公知の繰り返し 可能通路に沿って移動され、要素１６が所望の整合をなすように配置部位２２に 位置づけられる。通常、配置ヘッド１４は垂直通路に沿って下方へ配置部位２２ まで移動される。しかしながら、上述のように、予め決定されているＸ及びＹの 変位は配置部位２２へ対する配置ヘッドの運動の一部とすることが出来る。要素 １６が配置部位２２上へ位置付けられると、選択的な接合処置が開始されること が出来る。例えば、ガスジェットが集積回路のリード部へ対してマニホールドを 介して指向されプリント回路基板１２上のパッドへ該リード部を接合し、こうし て、配置及び接合処置を完了するのである。 整合光学装置４６、７６及び光学装置位置制御装置４７は、配置ヘッド１４へ 取り付けられかつこれと一緒に移動出来るようになっている。このような構成に おいては、光学装置位置制御装置４７は、整合光学装置４６、７６を配置ヘッド １４に関して移動する。別の構成においては、整合光学装置４６、７６及び光学 装置位置制御装置４７は、配置ヘッド１４から独立している。この構成において は、可動配置ヘッドと、分離し独立して移動可能な整合光学ヘッドと、を使用し ている。この構成においては２つのヘッドをＸ及びＹ方向に移動するのにソーヤ モータが特に適しているであろう。この構成の特徴は、配置ヘッドが要素ローデ ンイグシステムから要素をピックアップすると同時に、整合光学装置が配置部位 の画像を得るように位置付けられ、こうして整合及び配置作業のための時間を減 少することが出来ることである。 本件発明による要素の配置のための自動化されたシステムの第２の実施例のブ ロックダイヤグラムが図４に示されている。図１及び図４において同様の部材に は同様の参照番号が使用されている。図４に示す実施例は整合光学装置の形態に おいて図１の実施例と基本的に異なっている。整合光学装置１１０は、図４のシ ステムにおいては、画像処理装置即ちイメージプロセッサ４８及び光学装置位置 制御装置４７と共に作動する。この整合光学装置１１０は、可動光学装置１１２ と固定光学装置とを有している。ここで固定光学装置は、カメラ１２０と、ミラ ー１２２と、ズームレンズ１２４と、ミラー１１４（図５）と、を含んでいる。 整合光学装置１１０の部分頂部が図５に示されており、使用される三次元光学通 路が図示されている。配置ヘッド１４に関して移動可能な可動光学装置１１２は 、ビームスプリッタ５４と、照射ユニット６０、６２と、を有している。カメラ １２０は、該カメラ１２０とミラー１２２との間のＺ軸線に平行なセグメント１ ３０ａと、ミラー１２２とズームレンズ１２４との間及びズームレンズ１２４と ミラー１１４との間のＸ軸線に平行なセグメント１３０ｂと、ミラー１１４とビ ームスプリッタ５４との間のＹ軸線に平行なセグメント１３０ｃと、ビームスプ リッタ５４と要素１６（セグメント１３０ｄ）又は配置部位２２（セグメント１ ３０ｅ）との間のＺ軸線に平行なセグメント１３０ｄ、１３０ｅと、を有する光 通路１３０に沿って、要素１６と、配置部位２２と、を異なる時間に視覚する。 この形態はかなりコンパクトな構造を提供し、同時にズームレンズ１２４の作動 に必要な比較的長い光通路を有することが出来る。カメラ１２０と要素１６と配 置部位２２との間の光通路は周辺光によって妨げられないように遮蔽される。好 ま しい実施例においては、カメラ１２０は高い解像度を有しており、イーストマン コダック社製の１．４Ｉ又は４．０Ｉ型があり、ズームレンズ１２４はユニトロ ン社製のものがある。高解像度を有しているカメラの使用は、単一のカメラで受 け入れ可能な解像度を有する要素全体を視覚することを可能としている。しかし て図２を参照すると、集積回路７０の全体面は受け入れ可能な解像度にて視覚す ることが出来るのである。ズームレンズ１２４は、異なる寸法の要素又は要素の 選択された視覚範囲の画像を得るように作動され得るのである。 配置部位２２及び要素１６を照射する照射ユニットに関する第２の実施例が図 ６に示されている。図１、図３及び図６において同様の部材は同様の参照符号を 有している。照射ユニット１５０は、通路９０であって該通路に沿って配置部位 ２２がカメラ５０又は１２０によって検知されている当該通路９０に関して配置 されている、発光ダイオードのような光源１５２を有している。この光源１５２ は配置部位２２の表面に対して鋭角にて配置部位２２へ光線１５４を指向してい る。選択的な光源１５８が別の方向から配置部位２２へ光線１６０を指向するた めに使用され得る。図６に示す照射ユニット１５０は、例えばフリップチップ集 積回路パッケージの裏面のボールコンタクトのような輪郭表面を照射するのに有 利である。このような照射はカメラによって得られる画像においてより良いコン トラストをもたらすのである。図３に示されかつ上述したタイプの照射ユニット は画像化される面が比較的平坦な場合に望ましいものである。図３に示されるタ イプの照射ユニット６２又は図６に示されるタイプの照射ユニット１５０は、図 １及び図４に示される照射ユニット６０、６２の実行のために使用され得るもの である。更に、拡散照射及び直接照射が単一の照射ユニットに組み合わされ、い ずれか一方又は双方のタイプの照射が特定の用途に使用されることが出来る。 図１〜図６に示されかつ上述されたような本件発明の自動化された要素配置シ ステムは該システムの要素に余分な正確さを要求すること無しで、要素のかなり 正確な配置を可能としている。特に、整合組み立ては単一のカメラを使用して要 素の画像及び配置部位の画像を順次形成する。（２つのカメラを使用している実 施例がここに開示されているが各カメラは要素の選択された領域の画像及び配置 部位の対応する領域の画像を含む２つの画像を順次形成する。）この画像処理装 置即ちイメージプロセッサは、公知のシステムのように当該システムに対する要 素の絶対的な位置誤差よりも、要素と配置部位との間の相対的な位置誤差を決定 するのである。この相対的な位置誤差が決定された後に、出来るだけこの位置誤 差を減少するのに必要なように配置ヘッドが配設されかつ回転される。次いでこ の配置ヘッドは非常な正確さで配置部位へ要素を位置付けるのである。整合位置 と配置位置との間における配置ヘッドの通路は繰り返し可能でなければならない 。更に整合光学装置の光学通路は該システムのＺ軸に対して安定していなけらば ならない。しかしながら、テーブルに対する絶対的な位置の正確さは要求されな いのである。 自動化された要素配置システムの更なる特徴は、位置調整をすることが出来る ことである。しかして、要素の位置誤差が、必要なだけＸ方向、Ｙ方向及びθ方 向へ調節された後に、要素及び配置部位の第２の画像が得られるのである。要素 と配置部位との間の相対的な位置誤差は位置調整処置を達成する二度目に決定さ れる。もし必要ならば、要素は更に位置誤差を減少するためにＸ方向、Ｙ方向及 びθ方向へ移動され得るのである。 図１及び図４から明らかなように、この自動化された要素配置システムの整合 光学装置は本件発明の範囲に属する異なる形態を有していることも可能である。 図１の実施例においては、整合光学装置４６は配置ヘッド１４へ搭載され、ヘッ ド位置制御装置４０の制御のもとで配置ヘッド１４と共に移動可能である。カメ ラ５０、レンズ５２、照射ユニット６０、６２及びビームスプリッタ５４等を含 む整合光学装置４６は、光学装置位置制御装置４７の制御のもとで配置ヘッド１ ４に関して、図１に示す作動位置と該整合光学装置４６が配置部位２２に対する 配置ヘッド１４の下方運動を妨げない引き戻し位置との間で移動可能である。 図４に示す実施例においては、整合光学装置１１０は配置ヘッド１４へ搭載さ れるであろう。しかしながら、この整合光学装置１１０は、可動光学装置１１２ と、カメラ１２０、ミラー１１４、１２２及びズームレンズ１２４等を含む固定 光学装置と、を含んでいる。この整合光学装置１１０は、ヘッド位置制御装置４ ０の制御のもとで配置ヘッド１４と共に移動可能である。可動光学装置１１２は 光学装置位置制御装置４７の制御のもとで配置ヘッド１４に対して移動可能であ る。 整合及び配置の際におけるこのシステムエレメントの位置は図７及び図８に示 す簡略化されたブロックダイヤグラムに示されており、配置ヘッド１４は整合位 置にあり、可動光学装置１１２は要素１６と配置部位２２との間の作動位置にあ る。図７に示す位置においては、カメラ１２０は要素１６と配置部位２２との画 像を順次検知し、これらの画像は画像処理装置即ちイメージプロセッサ４８（図 ４参照）によって処理され相対的な位置誤差を決定する。次いで、この位置誤差 は要素１６を必要なだけＸ方向及びＹ方向に移動し更に要素１６をＺ軸に平行な 軸線周りに角度θだけ回転することにより矯正される。図８を参照すると、可動 光学装置１１２が図７に示す作動位置から引き戻し位置まで引き戻されている。 この引き戻し位置においては、配置ヘッド１４は配置部位２２へ要素１６を配置 するように下方へ自由に移動出来るようになっている。この配置ヘッド１４は図 ７に示す整合位置から図８に示す配置位置まで下方へ移動され、要素１６は配置 部位２２へ配設される。カメラ１２０、ミラー１１４、１２２及びズームレンズ １２４等は配置ヘッド１４に対して移動出来ない。図１に示す実施例における作 動は、カメラ５０を含む整合光学装置４６が作動位置と引き戻し位置との間を移 動することを除き、図７及び図８に示す作動と同様である。 本件発明の自動化された要素配置システムの作動を示すフローダイヤグラムが 図９に示されている。作動は図４に示す実施例に関して記述する。図１に示す実 施例に関する作動が非常に類似しており、異なる形態の整合光学装置を収容する ような適切な変更が付加されているが理解されるであろう。ステップ２００にお いて、プリント回路基板１２がボードローデング・アンローデングシステム３０ によってテーブル１０上に付与される。この基板１２は幾つかの回路基板を含む パネルの一部をなすことが出来る。ステップ２０２において、配置ヘッド１４が 要素ローデングシステム３４から要素１６をピックアップし、もしシステム作動 によって要求されるなら、要素リード部を形成する。自動化された要素配置シス テムがリード部形成アセンブリを含むことが出来、このアセンブリは要素リード 部を所望の形状に形成することが理解されよう。ステップ２０４において、要素 が配置部位２２上の位置へ整合される。この整合作動は以下に詳細に記載されよ う。ステップ２０６において、正確に整合された要素１６が配置部位２２へ位置 付けられ、要素はステップ２０８においてプリント回路基板１２へ接合される。 上述したように、要素接合作動は幾つかの方法のうちの一つにて行われるであろ う。しかして、ステップ２０８における個々の要素の接合は選択的なものである 。ステップ２１０において、全ての要求された要素がプリント回路基板１２上に 位置付けられたかどうかの決定がなされる。もし付加的な要素が基板上に位置付 けられなければならないなら、このプロセスはステップ２０２へ戻り、そして別 の要素が要素ローデングシステム３４からピックアップされる。ステップ２０２ 、２０４、２０６及び選択的なステップ２０８が各要素のために繰り返される。 全ての要求された要素がプリント回路基板１２上に位置付けられたなら、一群の 要素は選択的なステップ２１２にて基板１２上に接合される。次いで、プリント 回路基板１２はシステムからステップ２１４においてボードローデング・アンロ ーデングシステム３０によってアンロード即ちおろされる。 要素整合プロセス（図９のステップ２０４）のフローダイヤグラムが図１０に 示されている。ステップ２３０において、整合光学装置の可動部分が配置ヘッド １４と配置部位２２との間の位置へ移動されかつ必要に応じて調整がなされる。 図４に示す実施例において、可動光学装置１１２は所定位置へ移動される。図１ に示す実施例において、整合光学装置４６は所定位置へ移動される。可動光学装 置１１２、ズームレンズ１２４及びカメラ１２０が必要に応じて調整され、要素 １６と配置部位２２との所望の画像を得る。例えば、照射ユニット６２が付勢さ れ、ズームレンズ１２４が要素の特定領域を検知するように調整される。ステッ プ２３２において、プリント回路基板１２上での配置部位２２の画像が得られ、 照射ユニット６２が付勢され、照射ユニット６０が消勢される。次いで要素１６ の画像が得られ、照射ユニット６０が付勢され、照射ユニット６２が消勢される 。２つの画像の画像データが画像処理装置即ちイメージプロセッサ４８へ供給さ れる。イメージプロセッサ４８は、特定化されたリード部のような要素画像の特 定化された領域や、その特定化された要素のリード部を受け入れるためのパッド のような配置部位の特定化された領域を分析し、要素１６と配置部位２２との間 の相対的な位置誤差を決定する。この位置誤差は、Ｘ方向の配置誤差、Ｙ方向の 配 置誤差及びθ方向の回転誤差を含んでいる。ステップ２３４において、イメージ プロセッサ４８がヘッド位置制御装置４０へ対して、この位置誤差を減少するた めのＸ及びＹ方向の変位及び回転を示す制御信号を供給する。ヘッド位置制御装 置４０はこの制御信号に応じて配置ヘッド１４及び要素１６を偏倚しかつ回転す る。今や、要素１６はプリント回路基板１２上の部所へ適切に整合されている。 ステップ２３６及びステップ２４０において、選択的な照合処置が行われる。要 素１６及び配置部位２２の第２の画像がステップ２３６において得られ、いくら かの見逃し位置誤差がイメージプロセッサ４８によって決定される。ステップ２ ４０において、位置誤差が指令された限界内にあるか否かの決定がなされる。も し位置誤差が未だに受け入れ不能な状態にある場合にはステップ２３２及びステ ップ２３４が繰り返される。所望の位置正確性を得るために必要に応じて照合処 置が繰り返される。上述したようにステップ２３６及びステップ２４０の照合処 置は選択的に削除されることが出来る。ステップ２４０又はステップ２３４に次 いで、ステップ２４２において、可動光学装置１１２が作動位置（図４及び図７ ）から引き戻し位置（図８）まで移動される。その後、ステップ２４４において 、図８に示す配置位置へ配置ヘッド１４を移動しかつ該配置ヘッド１４から要素 を解放することによって要素１６が配置部位２２へ位置付けられる。 要素及び配置部位上の重要な特徴を識別するためにイメージプロセッサが使用 されている。その目的は一般的には要素のリード部又はバンプ（ｂｕｍｐｓ）（ 電気的な接点）を基板上の適切な接点又はパッドへ整合することである。これら の特徴は、エッジ部を検出するエッジデテクション（ｅｄｇｅ ｄｅｔｅｃｔｉ ｏｎ）、正規化された標準（ｎｏｒｍａｌｉｚｅｄ ｃｏｒｒｅｌａｔｉｏｎ） 又はブロッブ分析（ｂｌｏｂ ａｎａｌｙｓｉｓ）のような１つ又はそれ以上の 普通に使用されている画像処理技術を使用することにより識別される。これらの 技術によりもたらされる寸法に加え、リード部又はバンプの幾何学的位置（ｇｅ ｏｍｅｔｒｙ）、検知領域における間隔及び適切な期待される位置等の要素又は 配置部位に関する情報が使用されることにより、所定の特徴又は一群の特徴の寸 法の信頼性が決定されるのである。もしこの寸法が十分に期待に添わない場合に は、これらは整合計算から除去されよう。反対に、もし要素又は配置部位の寸法 が十分に期待に添わないならば、要素の配置は自動的にアボートされ得るのであ る。 リード部、バンプ又はパッド等が確かに識別されることが出来ない時には、リ ード部、バンプ又はパッド等に対する公知の相対関係をもつ参照的特徴が使用さ れることが出来る。検知領域内における配置部位に対する要素の位置が検出され 、機械の偏倚を含み適切な訂正が付与される。 図４のシステムに対応している自動化された要素配置システムの改良の一例が 図１１Ａ及び図１１Ｂに示されている。図４、図５、図１１Ａ及び図１１Ｂにお いて同様の部材は同一の参照番号を有している。このシステムの主要な要素は適 切なキャビネット３００へ載置されている。可動光学装置１１２が図１１Ｂにお いては作動位置にて示されており、図１１Ａにおいては引き戻し位置にて示され ている。配置ヘッド１４が接合装置３０２を有している。ヘッド位置制御装置４ ０がＸ軸アクチュエータ３１０と、Ｙ軸アクチュエータ３１２と、Ｚ軸アクチュ エータ３１４と、垂直軸の周りに要素１６を回転するロータリアクチュエータ３ １６と、を有している。これらのＸ軸アクチュエータ３１０とＹ軸アクチュエー タ３１２とロータリアクチュエータ３１６とは、配置部位２２に対する要素１６ の位置誤差を矯正するために使用されている。Ｚ軸アクチュエータ３１４は整合 位置と配置位置との間で配置ヘッド１４を移動させるために使用される。このシ ステムは更に、システムのオペレータ制御を可能とするためにシステムコントロ ーラ４４（図４）へ接続されたコンピュータターミナル３２０を含んでいる。 配置ヘッド１４の拡大概略図が図１２Ａ及び図１２Ｂに示されている。図１２ Ａにおいては、配置ヘッド１４がプリント回路基板１２の上方に位置付けられて いる。図１２Ｂにおいては、配置ヘッド１４がプリント回路基板１２上の配置部 所に位置付けられている。配置ヘッド１４が配置部位２２に至り要素１６が解放 されるまで、該要素１６は真空ピックアップ装置によって配置ヘッド１４に保持 されている。要素１６はダイ１６ａと形成されたリード部１６ｂとを含んでいる 。好ましい実施例においては、配置ヘッド１４がメカニカル停止部材３５０を有 しているノズル３４８を含んでおり、この停止部材３５０は要素１６の周りの幾 つかの点においてノズル３４８から下方に伸びている。メカニカル停止部材３５ ０ の長さは、垂直方向（Ｚ軸に平行な方向）において、ダイ１６ａが基板１２の上 方に所定の距離だけ離れ、形成されたリード部１６ｂが僅かにたわむように該要 素１６を位置付けるように選択される。基板１２へ対してダイ１６ａを接合する ために要素１６の下方にて配置部位２２上に熱コンパウンド３５２が配置されて いる。 配置ヘッド１４における選択的な接合装置がはんだをリフローし又は伝導性の エポキシを硬化するために、形成されたリード部１６ｂの領域にて基板１２を加 熱する。この熱は更に熱コンパウンド３５２を硬化する。こうして図１２Ａ及び 図１２Ｂに示された配置ヘッド構造体が配置部位２２にて要素１６へ熱と圧力と を付与する。この圧力は、メカニカル停止部材３５０と、形成されたリード部１ ６ｂと、の相対寸法によって定められる。この圧力は要素１６が基板１２へ接合 されるときに要素１６へ対して付与される。メカニカル停止部材３５０は基板１ ２上方のダイ１６ａ制御された高さを定める。このメカニカル停止部材３５０は 異なるパッケージタイプ及び異なる用途のためには異なる寸法を有するであろう ことが理解されよう。こうして、当該要素１６は高度な正確さで基板１２上に配 置されかつ高度に制御された繰り返し可能な方法で基板１２へ接合されるのでる ある。 本件発明の範囲には多くの種々の自動化された要素配置システムが包含される ことが理解されよう。例えば要素と配置部位との間の相対的な位置誤差は、テー ブル１０の運動によって又は配置ヘッド１４とテーブル１０との組み合わせ運動 によって矯正されるであろう。より詳細にはこの相対的な位置誤差は、基板の面 に平行なＸ方向及びＹ方向に基板１２を変位しかつ該基板の面に対して垂直な軸 周りに基板１２を回転することによって矯正され得るのである。整合光学装置が 配置ヘッドから独立して搭載されることが出来又は配置ヘッドへ対して搭載され ることが出来る。要素１６及び配置部位２２を照射するためには種々の異なる光 源が使用され得る。 本件発明の自動化された要素配置システムは幾つかの要素の配置のために使用 され得るが、高度なリード部密度及び小さいリード部ピッチを有する集積回路デ バイスを配置するための基本的な用法を有している。本件発明の自動化された要 素配置システムを有する集積回路の例としては、テープオートメイテドボンデン グ（ｔａｐｅ ａｕｔｏｍａｔｅｄ ｂｏｎｄｉｎｇ：ＴＡＢ）パッケージ、カ ッドフラットパック（ｑｕａｄ ｆｌａｔ ｐａｃｋ：ＱＦＰ）パッケージ、リ ーデドセラミックキャリア（ｌｅａｄｅｄ ｃｅｒａｍｉｃ ｃａｒｒｉｅｒ： ＬＣＣ）パッケージのようなリーデドパッケージや、フリップチップ（ｆｌｉｐ ｃｈｉｐ）パッケージ、エリアアレイテープオートメイテドボンデング（ａｒ ｅａ ａｒｒａｙ ｔａｐｅ ａｕｔｏｍａｔｅｄ ｂｏｎｄｉｎｇ：ＡＴＡＢ ）パッケージ、ボールグリッドアレイ（ｂａｌｌ ｇｒｉｄ ａｒｒａｙ：ＢＧ Ａ）パッケージ、マイクロＢＧＡパッケージ、コラムグリッドアレー（ｃｏｌｏ ｍｎ ｇｒｉｄ ａｒｒａｙ：ＣＧＡ）パッケージ、セラミックＢＧＡパッケー ジのようなエリアアレイパッケージを含んでいる。 本件発明の好ましい実施例と現在考えられている具体例がここにおいて示され かつ記述されたが、当業者においては種々の変更及び改良が添付の請求項によっ て画定される本件発明の範囲から出ることなくなし得ることは明らかである。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＤＥ， ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，ＩＴ，Ｌ Ｕ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＪＰ，ＫＲ，ＳＧ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．要素配置装置であって、 配置部位を有するボードを保持するテーブルと、 該配置部位へ配置されるべき要素を保持する配置ヘッドであって整合位置と配 置位置との間を移動可能な配置ヘッドと、 該配置ヘッド上の前記要素の第１画像と前記配置部位の第２画像とを得、前記 要素と前記配置部位との間の相対的位置誤差を決定するため前記第１画像と第２ 画像とを処理しかつ該位置誤差の制御信号の典型を提供するための整合アセンブ リと、 前記位置誤差を矯正するよう該制御信号に応答して前記配置ヘッドと前記配置 部位との間で相対運動をもたらす第１アクチュエータと、 前記整合位置と前記配置位置との間で前記配置ヘッドを移動するための第２ア クチュエータと、 を有している要素配置装置。 ２．該整合アセンブリが、前記第１画像及び第２画像を得るための整合光学装置 と、該整合光学装置の少なくとも一部を作動位置と引き戻し位置との間で移動す る光学位置制御装置と、該第１画像と第２画像とを処理しかつ前記位置誤差を決 定するイメージプロセッサと、を有している請求項１に記載の要素配置装置。 ３．該整合光学装置が、前記第１画像及び第２画像を得るためのカメラと、該カ メラが前記配置部位と前記要素とを検知することを可能としているビームスプリ ッタと、前記要素を照射する第１照射ユニットと、前記配置部位を照射する第２ 照射ユニットと、を有している請求項２に記載の要素配置装置。 ４．該第１照射ユニット及び第２照射ユニットの各々が、光線を発生するための 光源と、該光線を分散するためのデフューザと、通路を検知しているカメラに沿 って該分散された光線を指向するためのビームスプリッタと、を有している請求 項３に記載の要素配置装置。 ５．該第１照射ユニット及び第２照射ユニットの各々が、前記要素又は前記配置 部位の面に関して鋭角に光線を指向する光源を有している請求項３に記載の要素 配置装置。 ６．前記配置ヘッドが更に前記要素を前記ボードへ接合するための接合デバイス を有している請求項１に記載の要素配置装置。 ７．前記接合デバイスが接合のために前記要素の方へ加熱ガスを指向するための 手段を有している請求項６に記載の要素配置装置。 ８．前記接合デバイスが前記要素を前記ボードへ接合するための赤外線エネルギ を発生する手段を有している請求項６に記載の要素配置装置。 ９．前記接合デバイスが前記要素の接触加熱のための手段を有している請求項６ に記載の要素配置装置。 １０．前記接合デバイスが一群の要素を同時に接合するための手段を有している 請求項６に記載の要素配置装置。 １１．前記接合デバイスが単一の要素を接合するための手段を有している請求項 ６に記載の要素配置装置。 １２．前記第１アクチュエータが、前記ボードの面に対して平行なＸ軸及びＹ軸 方向に前記配置ヘッドを移動しかつ前記要素を前記配置部位に整合するように前 記ボードの面に対して垂直な軸周りに前記配置ヘッドを回転するための手段を有 している請求項１に記載の要素配置装置。 １３．前記第１アクチュエータが、前記ボードの面に対して平行なＸ軸及びＹ軸 方向に前記ボードを移動しかつ前記要素を前記配置部位に整合するように前記ボ ードの面に対して垂直な軸周りに前記ボードを回転するための手段を有している 請求項１に記載の要素配置装置。 １４．更に前記要素を前記配置ヘッドへローデングするための要素ローデングア センブリを有している請求項１に記載の要素配置装置。 １５．更に前記要素の配置のため前記テーブルへ前記ボードをローデングし、か つ該要素の配置の後に前記テーブルから前記ボードをアンローデングするための ボードローデング・アンローデングアセンブリを有している請求項１に記載の要 素配置装置。 １６．前記配置ヘッドが前記要素を保持するための真空ピックアップデバイスを 含んでいる請求項１に記載の要素配置装置。 １７．前記配置ヘッドが前記整合位置にて前記配置部位上方へ位置付けられ、前 記整合光学装置が前記作動位置において前記配置ヘッドと前記テーブルとの間に 位置付けられる請求項２に記載の要素配置装置。 １８．該整合光学装置が、前記第１画像及び第２画像を得るためのカメラと、該 カメラの視界範囲を変動するためのズームレンズと、該カメラが前記配置部位と 前記要素とを検知することを可能としているビームスプリッタと、前記要素を照 射する第１照射ユニットと、前記配置部位を照射する第２照射ユニットと、を有 している請求項２に記載の要素配置装置。 １９．前記ビームスプリッタ及び前記第１照射ユニット及び前記第２照射ユニッ トが前記作動位置と前記引き戻し位置との間を移動可能な可動光学装置を構成し ている請求項１８に記載の要素配置装置。 ２０．前記整合光学装置及び前記光学装置位置制御装置が前記配置ヘッドへ載置 されかつ該配置ヘッドと共に移動可能である請求項２に記載の要素配置装置。 ２１．前記整合光学装置が前記第１画像及び第２画像を順次形成するための単一 のビデオカメラを有している請求項２に記載の要素配置装置。 ２２．前記整合組立体が、前記要素の第１検知領域の前記第１画像を得かつ前記 配置部位の対応する第１検知領域の前記第２画像を得るための第１整合光学装置 と、作動位置と引き戻し位置との間で前記第１整合光学装置の少なくとも一部を 移動するための第１光学装置位置コントローラと、前記要素の第２検知領域の前 記第１画像及び前記配置部位の対応する第２検知領域の前記第２画像を得るため の第２整合光学装置と、作動位置と引き戻し位置との間で前記第２整合光学装置 の少なくとも一部を移動するための第２光学装置位置コントローラと、前記第１ 整合光学装置及び第２整合光学装置の各々によって提供される第１画像及び第２ 画像を形成しかつ前記位置誤差を決定するためのイメージプロセッサと、を有し ている請求項１に記載の要素配置装置。 ２３．前記イメージプロセッサが更に前記要素及び前記配置部位の付加的な画像 を得ることにより前記誤差の矯正に続いて前記配置部位に関する前記要素の整合 を照合しかつ前記要素と配置部位との間の位置誤差を前記付加的な画像から決定 する手段を有している請求項２に記載の要素配置装置。 ２４．要素のための配置部位を有しているボード上に当該要素を正確に配置する 方法であって、 テーブル上へボードを搭載すること、 整合位置と配置位置との間を移動可能な配置ヘッドで要素を保持すること、 該配置ヘッド上の前記要素の第１画像を得ること、 該配置部位の第２画像を得ること、 前記要素と前記配置部位との間の相対的位置誤差を決定するため前記第１画像 と第２画像とを処理すること、 前記位置誤差の制御信号の典型を提供すること、 前記位置誤差を矯正するよう該制御信号に応答して前記配置ヘッドと前記配置 部位との間で相対運動をもたらすこと、 前記整合位置と前記配置位置との間で前記配置ヘッドを移動すること、 前記配置ヘッドから前記要素を解放すること、 の諸工程から成るボード上に要素を正確に配置する要素配置方法。 ２５．前記要素の第１画像を得る工程が第１光源で該要素を照射してビデオカメ ラによって該要素の第１画像を得ることを含み、かつ前記配置部位の第２画像を 得る工程が第２光源で該配置部位を照射して前記ビデオカメラによって該配置部 位の画像を得ることを含んでいる、請求項２４に画定される要素配置方法。 ２６．前記第１画像及び第２画像を処理する工程が前記ビデオカメラによって得 られた第１画像及び第２画像をエレクトロニックイメージプロセッサによって処 理することを含む請求項２４に画定される要素配置方法。 ２７．相対運動をもたらす工程が、前記ボードの面に対して平行な面において前 記配置ヘッドを配設しかつ前記ボードの面に対して垂直な軸周りに前記配設ヘッ ドを回転することを含む請求項２４に画定される要素配置方法。 ２８．更に前記配設部位へ対して前記要素を接合する工程を含む請求項２４に画 定される要素配置方法。 ２９．前記要素を接合する工程が前記ボードへ一群の要素を同時に接合すること を含む請求項２８に画定される要素配置方法。 ３０．前記要素を接合する工程が前記配置部位へ単一の要素を接合することを含 む請求項２８に画定される要素配置方法。 ３１．要素配置装置であって、 配置部位を有するボードを保持するテーブルと、 該配置部位へ配置されるべき要素を保持する配置ヘッドであって整合位置と配 置位置との間を移動可能な配置ヘッドと、 該配置ヘッド上の前記要素の第１画像と前記配置部位の第２画像とを得るため の整合光学装置と、 該整合光学装置の少なくとも一部を作動位置と引き戻し位置との間で移動する 光学位置制御装置と、 該第１画像と第２画像とを処理し前記要素と前記配置部位との間の相対的位置 誤差を決定しかつこの位置誤差の制御信号の典型を提供するイメージプロセッサ と、 前記位置誤差を矯正するよう該制御信号に応答して前記配置ヘッドと前記配置 部位との間で相対運動をもたらす第１アクチュエータと、 前記整合位置と前記配置位置との間で前記配置ヘッドを移動するための第２ア クチュエータと、 を有している要素配置装置。 ３２．前記整合光学装置及び前記光学位置制御装置が、配置ヘッドへ搭載されか つ前記配置ヘッドと共に移動する請求項３１に記載の要素配置装置。 ３３．前記イメージプロセッサが更に前記位置誤差矯正後に前記配置部位に対す る前記要素の整合を照合するための手段を有している請求項３１に記載の要素配 置装置。 ３４．前記配置ヘッドが更に前記要素を前記ボードへ接合するための接合デバイ スを有している請求項３１に記載の要素配置装置。 ３５．前記接合デバイスが一群の要素を同時に前記ボードへ接合するための手段 を有している請求項３４に記載の要素配置装置。 ３６．前記第１アクチュエータが、前記ボードの面に対して平行なＸ軸及びＹ軸 方向に前記配置ヘッドを移動しかつ前記要素を前記配置部位に整合するように前 記ボードの面に対して垂直な軸周りに前記配置ヘッドを回転するための手段を有 している請求項３１に記載の要素配置装置。 ３７．前記第１アクチュエータが、前記ボードの面に対して平行なＸ軸及びＹ軸 方向に前記ボードを移動しかつ前記要素を前記配置部位に整合するように前記ボ ードの面に対して垂直な軸周りに前記ボードを回転するための手段を有している 請求項３１に記載の要素配置装置。 ３８．前記要素が、ダイと、成形されたリード部と、を有しており、前記配置ヘ ッドが、前記ボードから所定距離だけ離れた該ダイにより前記要素を配置するた めの位置制御手段を有している、請求項３１に記載の要素配置装置。 ３９．前記配置ヘッドが前記要素を保持するノズルを有しており、前記位置制御 手段が該ノズルから前記ボードの方へ伸びている１又はそれ以上の機械的な停止 部材を有している請求項３８に記載の要素配置装置。