JP2001515183A - 自給を可能にする入口制御部材を具備するマイクロポンプ - Google Patents
自給を可能にする入口制御部材を具備するマイクロポンプInfo
- Publication number
- JP2001515183A JP2001515183A JP2000509953A JP2000509953A JP2001515183A JP 2001515183 A JP2001515183 A JP 2001515183A JP 2000509953 A JP2000509953 A JP 2000509953A JP 2000509953 A JP2000509953 A JP 2000509953A JP 2001515183 A JP2001515183 A JP 2001515183A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- orifice
- movable member
- valve
- membrane
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
- F04B43/02—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
- F04B43/04—Pumps having electric drive
- F04B43/043—Micropumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B53/00—Component parts, details or accessories not provided for in, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B23/00 or F04B39/00 - F04B47/00
- F04B53/10—Valves; Arrangement of valves
- F04B53/1037—Flap valves
- F04B53/1047—Flap valves the valve being formed by one or more flexible elements
- F04B53/106—Flap valves the valve being formed by one or more flexible elements the valve being a membrane
- F04B53/1067—Flap valves the valve being formed by one or more flexible elements the valve being a membrane fixed at its whole periphery and with an opening at its centre
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Reciprocating Pumps (AREA)
- Details Of Reciprocating Pumps (AREA)
Abstract
Description
される中間の板と、該第1の板と該中間板により形成されるポンプチャンバーと
、該ポンプチャンバーに連絡する入口及び出口制御部材とを具備するマイクロポ
ンプ等の流体輸送装置に係わり、幾つかの入口及び出口ダクトが該第1と第2の
板の1つを通過し、該入口制御部材が、可動部材と、該可動部材を該中間板の残
りの部分に接続しており、入口ダクトとポンプチャンバー間に挟まれており、更
にその弾力のある長所により該弁を閉位置と開位置間で動かすことが出来る膜形
状部とから形成される逆止弁であり、該可動部材がその第1と第2の端部間を通
過するオリフィスを有しており、該弁が該開位置において、可動部材が該オリフ
ィスから該ポンプチャンバーに向かって流体が流れることを妨害しないような方
法で形造られており、更に可動部材の第2の端部が該閉位置において、それが弁
の座を形成する板の1つにシールする様に接触する部分を形成する様な方法で形
造られる。
的に吐出する医療用のマイクロポンプを構成する。その様なマイクロポンプの製
作は、マイクロ加工のシリコン又はフォトリソグラフィ技術を使用するエッチン
グにより機械加工できるその他の材料に関する技術を基礎とする。上記の特定の
用途に関して、更にまたその他の場合において、マイクロポンプに自給を可能に
する入口制御部材を具備することが必要である。マイクロポンプは、そのポンプ
チャンバーの体積を変化させること(体積を交互に減少及び増加すること)によ
り、例えば、ピエゾ電気アクチュエータを使用する制御方法により制御される。
プを記述する。しかし、その文書に記述される入口弁の製作は容易ではない。 欧州特許出願第90 810 272.6号は、逆止弁を形成する入口部材を有
するマイクロポンプを記述する、しかしそれはポンプを自給式には出来ない。
材を有しており、その部材の製作が容易なマイクロポンプの様な流体輸送装置を
提供することである。 本発明によると、この目的は、可動部材が該中間板の厚みの主要な部分に設置
されており、膜形状部分が板のもう一方の近くに設置されており、更に該オリフ
ィスが限られた体積である事により達成される。
することが分かる。その逆止弁は、その弾力のある特性により弁の開閉を可能に
する膜部分、及び流体が通過できるオリフィスを囲む可動部材を具備する。その
端部の1つにおいて、可動部材はまた、該入口弁がその閉位置でシールされるこ
と、即ち可動部材が弁に近接する板の1つに対してシールされる状態で接するこ
とを確保する手段を具備し、この板は弁の座を形成する。
避するために、該膜形状部分に近接する可動部材の第1の端部が、閉位置から開
位置に向かう該弁の動きを制限する様に設計される少なくとも1つの接合要素を
具備する様に工夫されることが好ましく、該接合要素の自由端は、該接合要素が
流体を該オリフィスから該ポンプチャンバーに向かって流れることを妨害しない
で、該開位置において、膜形状部分の近くに位置する板に接触するように動く。 例により以下に示される実施の形態の次の説明を読むことにより、本発明はよ
り良く理解され、その第2の特徴及び利点が明確になる。
明に関して、その様なマイクロポンプの製作方法も説明する前述の欧州特許出願
第95 904 674.9号を参照することが出来る。図1と2に示される種
々の要素をより明確に分かり易く表すために、マイクロポンプを形成する種々の
板の厚みが、長手方向で使用されるスケールに比較して大幅に誇大表示されてい
る。
のための入口ダクトと出口ダクトをそれぞれ形成する2つの貫通ダクト14と1
6両者を有しており、ガラスから製造されるのが好ましいベースプレート12を
具備する。 中間板18は、ベースプレート12上に設置されており、該中間板はシリコン
から製造されることが好ましく、従来技術の陽極接着によりベースプレート12
に接続される。 中間板18には、ガラスから製造されることが好ましい頂部又は「第2の」板
20が上に載っており、中間板と第2の板は、ベースプレート12と中間板18
の接続に使用された技術と同じものを使用して共に接続されている。
中間板の厚みも実質的に一定であるが、しかしより薄く、0.1mmから0.5
mmの範囲にあり、好適には0.3mmから0.5mmの範囲であり、更に好都
合には約0.3mmである。 中間板18の部分は、実質的に円形であり、第1の板12の頂面と共働してポ
ンプチャンバー24を形成するポンプ膜22を構成する。ポンプ膜22は、アク
チュエータ装置26と126に制御される可動壁を構成する。
経由してポンプチャンバー24に接続する。ポンプチャンバー24は、前述の欧
州特許出願第95 904 674.9号に記述されるものに類似する構造の流体
出口制御部材又は出口弁30に接続する。
素、即ち出口ダクト16に面して設置されており、出口弁30がその閉位置にあ
る場合に、第1の板12の頂面とシールする様に接する環状リブ32と、柔軟な
膜34と、環状リブ32が第1の板12に固着することを防止し、更に第1の板
12から離れて面する膜34の側面上で、第1の板12に対してリブ32の角部
を押しつけるために、プリストレス(前荷重)を生じる様にそれぞれ作用する精
密な酸化シリコン層36と38とを有する。
環状リブ32と表裏に設置されるストロークリミッター部材39を有し、ストロ
ークリミッター部材は、出口弁30がその開位置にある場合に第2の板20に接
触する接合要素を構成し、それにより環状リブ32と第1の板12間の間隔を制
限する。
8は、入口弁が開位置にある状態が示される図3でより十分詳細に図示されてい
る。 前述の図から分かるように、入口弁28は膜形状部分42により囲まれる可動
部材40を具備する。膜42は、実質的に円形であり、約3mmの径を有してお
り、その厚みは、実質的に一定であることが好ましく、10μm(ミクロン)か
ら50μmの範囲にある様に選択され、約25μmであることが好ましい。 出口弁30と同様に、その又は各入口弁28は、弁がその閉位置にある場合に
、一部分が第1と第2の板の一方に接合する逆止弁を構成する。
に隣接するその第2の端部46に向かって可動部40を通して貫通するオリフィ
ス44を囲む。 可動部材40の外側の形状は、回転体であることが好ましく、例えば、その外
側の形状が実質的に円断面の筒形状であるか、又は図第1から3に示す様に、そ
の大部分が第1の板12の方向を向く円錐台の形状でよい。
るために、ポンプチャンバー24の体積に加えられる接続空間を構成するオリフ
ィス44の体積は出来るだけ小さくする必要がある。 オリフィス44は、円、四角又はその他の断面からなる筒形(シリンダー形状
)、円錐台あるいはピラミッド形状等の種々の形状であって良い。もし中間板1
8を構成するシリコン板のエッチングに使用される技術が、小径のオリフィス4
4の製作を可能にするのであれば、その場合はオリフィス44の全長に渡り実質
的に均一な小さい断面のオリフィス44の製作が可能である。
比較的小さく、その全長に沿って実質的に一定なオリフィスを提供できないなら
ば、その場合は以下に記載する製造方法を使用することが好ましい。 本発明の好適な実施の形態において、オリフィス44は、2つのピラミッドに
属するオリフィスの中央区域を有しており、その基礎が該オリフィスの端部を構
成する2つの四角形の基礎のピラミッドを具備する形状である。その先端が、近
づいて接合する2つの逆向きのピラミッドにより形成されるこの形状は、全体の
体積が可動部材40の2つの端部のいずれかからエッチングされた単一のピラミ
ッドの体積より小さくなる形状のオリフィス44を実現することが出来る。
めに、有利な解決方法は、可動部材40の両端45と46から異方性エッチング
を行うことにより構成される。この目的のために、可動部材40内でオリフィス
の深さが増加すると共に傾斜する長手方向の側面を有する四角形を形成する様に
、オリフィス44は、即ち可動部材40の第1の端部45から最初にエッチング
される。これにより、この方法で構成されるピラミッドの頂部に対応する位置で
断面が次第に減り0(ゼロ)になる断面を有するオリフィス44の第1又は底部
を形成する。
実施されるが、しかし今度は可動部材40の第2の端部46から開始し、その後
オリフィス44には完全にエッチングが施工され、第2のエッチング段階におい
て、オリフィス44の前述の第1の部分に達した時に、貫通するオリフィス44
がこの様に形成される。 重ねられた頂部を有する2つの逆向きのピラミッド、又は好適には共通に体積
部分を有するので、オリフィス44の最も狭い断面が十分大きい2つのピラミッ
ドを実現することがこの様に可能である。
記述する。 ・オリフィス44の入口又は出口の断面:約200μm ・オリフィス44の中央部の断面:約50μm ・オリフィス44の長さ:中間板18の厚みの少なくとも半分 オリフィス44が、その断面がその全長を通して実質的に一定である様に製作
される場合、例えば、反応性イオン式マイクロ加工又はエッチングを使用すると
、オリフィス44は、小径のものが実現され、その径は10μmから100μm
程度にすることが出来る。
る膜42が、第1の板12の非常に近くにあることが分かるはずであるので、ポ
ンプチャンバー14の体積は最少になる。 オリフィス44の体積は、単位輸送体積、即ちポンプの各開閉サイクルで置換
される体積、又はポンプ膜22の各上下のサイクルにより置換される体積に比べ
て、1/5より大きくないことが好ましく、1/10より大きくない方がより良
い。
間の最大の距離の比が、1/20以下であることが好ましく、更に好都合には約
7μmである。加えて、更に該膜形状部分、可動部材の第1の端部及びオリフィ
スの出口は、第1の板に近接しており、オリフィスの出口はポンプチャンバー内
に直接開放することが好ましい。
、それが第2の板20の底面に接触する場合に、入口弁28のためのシールを形
成可能にする環状リブ48がある。もちろん、出来る限り小さい接触面積を有す
る環状リブ48を具備することがより良いが、それは第1には、良好な表面状態
を必要とする面が出来る限り小さい面積であることを確保するためであり、第2
には入口ダクト14とポンプチャンバー24間の流体において比較的小さな差圧
に対して開くことが出来る入口弁28を提供するためである。
画50内に在る流体の圧力と、該圧力がポンプチャンバー24内の圧力と同じで
あるオリフィス44内の流体圧力の間の差に対応することが理解される。
区画50内に流入し、一度それが特定の圧力に到達すると、その後可動部材40
が膜42の弾力のある特性により下に移動すると同時に、それは入口弁28を開
けることを可能にする。流体は、その後接続区画50からオリフィス44内に流
入することが出来る。
オリフィス44からポンプチャンバー24への流入を確保するために、複数の接
合要素52は第1の板12を向く可動部材40の第1の端部45の表面に具備さ
れており、その要素は、小さな柱の形状であり、各々が可動部材40の第1の端
部に固定される1つの端部を有し、第1の板12の頂面に接触する様に動くその
自由な第2の端部を有する。それが開いてその開の動きをする場合に、これらの
接合要素52は入口弁28のためのストロークリミッター構成しており、可動部
材40が第1の板に近づく場合には、その状態は起こらないで、オリフィス44
の出口を囲む可動部材40の第1の端部の表面が第1の板12に接触する様に動
き、それによりオリフィス44からの出口を閉止することが分かる。
部上に分配される様に配置される。この様に、オリフィス44内に流入した後で
、流体はこれらの接合要素52の周りを流れることによりポンプチャンバーに向
かって流れることが出来る。
い場合は、入口弁28はその起源が次に説明される戻り現象により自動的に閉じ
る。その後、アクチュエータ装置26と126は、ポンプ膜22を下に動かすの
で、ポンプチャンバー内の流体圧力は出口弁30から下流にある接続区画内の流
体圧力より高くなる。この状態で、圧力差が十分になるとすぐに、出口弁は開き
、その後流体はポンプチャンバー24から流出する。
の流体圧力に等しい場合に、弁は閉じる。その後に、アクチュエータ装置26と
126によりポンプ膜22は離れ、それはその後上昇し、ポンプチャンバーを最
大の体積にする。その後、上記のものと等しい新しいポンプサイクルが開始出来
る。
0の第2の端部46の表面を少なくとも覆う第1の酸化シリコン層54を有する
工夫が行われるので、入口弁28がその閉位置にある場合に、弁及び第2の板が
接着しない様に確保する。 この第1の酸化シリコン層54は、第2の板20と接触する様に動くその区域
内の環状リブ48を少なくとも覆い、該酸化シリコンの精密な層は可動部材40
の第2の板20への接着の防止を可能にする。それがその休止位置にある場合に
、入口弁28の閉止を確保するために、膜42上に載せられているので、それに
図面上で上に作用する特定値のプリストレスを確実に作用させる酸化シリコン層
56と58を具備することが好都合である。
42の区域に設置されており、一方酸化層58は可動部材からより遠く離れてい
る膜42の区域で、第1の板12を向くその面上に配置される。 図5に示す異なる形態において示される様に、ポンプチャンバー24の体積を
減少するために、一定の厚みではない膜42を製作することが可能である。
、オリフィス44の周りに集中する円形のセットバック60を有するので、可動
部材40からより遠くに離れて環状表面上に伸長する膜42の第1の部分42a
は第1の板12に非常に近くなる様に、膜42の表面に工夫を施すことが出来る
、一方で可動部材40に隣接するリング状に配置される膜42の第2の部分42
bは、膜の第1の部分42aがそうであるより第1の板12からより離れる。
ンの中間板18の固まりの中に機械加工されることが好ましいので、第1の板1
2を向く第1の部分42aの表面が、入口弁28を向く第1の板12の表面に平
行であり、これらの2つの要素は同時に機械加工されるので、接合要素52の自
由端と同じレベルになるようにすることが好ましい。この様に、弁28が閉じる
場合に、これらの2つの要素は、共に該第1の板12から同じ距離で設置される
。接合要素52の自由端は、平らであり、ポンプチャンバー24に隣接する第1
の板12の表面に平行であることが好ましい。
るので、図5の入口弁28は図3の酸化層54、56及び58を具備していない
。層54がない場合には、少なくとも第2の板20を向く環状リブ48の表面及
び/又は少なくとも環状リブ48を向く第2の板20の表面が処理される工夫が
行われる、例えば耐接着層が塗布されるので、閉位置において弁28が第2の板
20に接着することを防止する。
ることができ、図3に示す様な全て又は幾つかの酸化シリコン層54、56及び
58を具備する。もし層58を具備する場合は、膜42の第1の部分42aに制
限されることが好ましい。
、その位置は図3に示すそれに比べて逆である。この場合は、膜42は第2の板
20の近くにあり、弁28の座は、図6で下を向いており、可動部材40の第2
の端部46に設置される環状リブ48を向く第1の板12の頂面の環状区域によ
り形成される。接合要素52は、第2の板20に隣接し、膜42により伸張する
可動部材40の第1の端部45に配置され、更に可動部材は膜42により半径方
向に伸張する。
る。 この異なる形態における入口弁28の逆の構成により、オリフィス44からの
出口(可動部材40の第1の端部45に隣接する)が、中間板18と第1の板1
2の間に形成されるポンプチャンバー24との流体の連絡を確保するために、オ
リフィス44と同様な追加のオリフィス64が、入口弁28から下流で中間板1
8の全厚みを貫通する。
述の欧州出願に記述するタイプのいずれかのマイクロポンプのそれに類似したも
ののままである。
された性能を証明するために、図1から5の形態及び2つの逆さのピラミッドの
形状のオリフィス44の使用により得られる稼働例を次に示す。オリフィス44
の満水体積は、15x10-9L(リッター)であった、弁28の下に形成される
満水体積、即ち膜42と第1の板12の間は34x109 Lであった(比較では
、EP出願90 810 272.6の図7Aの入口弁の相当する体積は、50
0x10-9Lより大きい)、そして単位輸送量の値は、150x10-9Lであっ
た。そのような入り口ポンプにより、マイクロポンプは、1より大きい圧縮比、
即ち全体の満水体積に対する単位輸送体積の比を有していた。 この結果は、最高で約0.1の圧縮比を有する自給式と言われる流体用の従来
技術のマイクロ加工のマイクロポンプにより得られるそれより、かなりより優れ
ている。 ここでの説明及び図面においては、指示方法は全く制限されないことが理解さ
れなければならない。添付図について以下説明する。
ある。
り、図1と2は、流体入口制御部材がその閉位置にある場合を図示する。
材又は入口弁を具備するマイクロポンプのその区域に関係する。
弁を図示する。
なる形態を示しており、この弁は本発明のマイクロポンプの入口制御部材を構成
する。
の逆止弁の異なる形態を提供する。
めに、該膜形状部分に近接する可動部材の第1の端部が、閉位置から開位置に向
かう該弁の動きを制限する様に設計される少なくとも1つの接合要素を具備する
様に工夫されることが好ましく、該接合要素の自由端は、該接合要素が流体を該
オリフィスから該ポンプチャンバーに向かって流れることを妨害しないで、該開
位置において、膜形状部分の近くに位置する板に接触するように動く。 例により以下に示される実施の形態の次の説明を読むことにより、本発明はよ
り良く理解され、その第2の特徴及び利点が明確になる。
Claims (17)
- 【請求項1】 マイクロポンプ(10;100)の様な流体輸送装置が、 少なくとも、第1の板(12)と、第2の板(20)と、該第1と第2の板(
12、20)間に配置される中間板(18)と、該第1の板(12)と該中間板
(18)により形成されるポンプチャンバー(24)と、該ポンプチャンバー(
24)に連絡する入口及び出口制御部材(28、30)と、を具備するマイクロ
ポンプ(10;100)の様な流体輸送装置であって、 幾つかの入口と出口ダクト(14、16)が該第1と第2の板(12、20)
の一つを通過しており、該入口制御部材(28)が、可動部材(40)と、該可
動部材(40)を該中間板(18)の残り部分に接続し、入口ダクト(14)と
ポンプチャンバー(24)間に挟まれており、更にその弾力のある長所により該
弁(28)を閉位置と開位置間で動かすことができる膜形状部分(42)とから
形成される逆止弁であり、該可動部材(40)がその第1と第2の端部(45、
46)間を通過するオリフィス(44)を有しており、該弁(28)が該開位置
において、流体が該オリフィス(44)から該ポンプチャンバー(24)に向か
って流れることを可動部材が妨害しない様な方法で形造られており、更に、可動
部材(40)の第2の端部(46)が該閉位置において、弁の座を形成する板(
12,20)の1つにシールする様に接触する部分を具備する様な方法で形造ら
れており、 可動部材が、中間厚み(18)の主要な部分に配置されており、膜形状部分が
板(12、20)のもう一方の近くに位置しており、該オリフィス(44)が限
られた体積であることを特徴とするマイクロポンプ(10;100)の様な流体
輸送装置。 - 【請求項2】 該膜形状部分(42)に近接する可動部材の第1の端部(4
5)が、閉位置から開位置に向かう該弁(28)の動きを制限する様に設計され
た少なくとも1つの接合要素(52)を具備しており、該接合要素(52)が流
体が該オリフィス(44)から該ポンプチャンバー(24)に向かって流れるこ
とを妨害しないで、該接合要素の自由端が、該開位置において膜形状部分(42
)の近くに位置する板(12、20)に近づいて接触することを特徴とする請求
項1に記載の装置。 - 【請求項3】 該可動部材(40)が、断面が円形の実質的に筒形又は円錐
台の形状である外形を有することを特徴とする請求項2に記載の装置。 - 【請求項4】 該オリフィス(44)が、筒形形状であることを特徴とする
請求項1から3のいずれか一項に記載の装置。 - 【請求項5】 該オリフィス(44)が、2つのピラミッドに属する該オリ
フィスの中央区域と共に、その基礎が該オリフィスの端部を構成する2つの四角
形の基礎のピラミッドから形成される形状を有することを特徴とする請求項1か
ら3のいずれか一項に記載の装置。 - 【請求項6】 該オリフィス(44)の体積が、単位輸送体積の1/5より
大きくないことを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の装置。 - 【請求項7】 該中間板(18)がシリコンから造られており、弁(28)
が、弁の座を形成する該板(12、20)に近づいて接触できる可動部材の第2
の端部(46)の表面を少なくとも覆う酸化シリコンの第1の層(54)を更に
具備しており、それにより弁がその閉位置にある場合に、該弁(28)と該板(
12、20)が接着することを防止することを特徴とする請求項6に記載の装置
。 - 【請求項8】 弁がその休止位置にある時に、弁(28)を該板(12、2
0)に対して閉位置に強制的に設置するプリストレスを生じるために、弁(28
)がまた、可動部材(40)に隣接しており、弁の座を形成する該板(12、2
0)の方向を向く膜形状部分(42)の区域において、弁(28)の外面上に少
なくとも伸張する酸化シリコンの第2の層(56)を具備することを特徴とする
請求項7に記載の装置。 - 【請求項9】 該中間板(18)が、0.3mmから0.5mmの範囲の実
質的に一定な厚みであることを特徴とする請求項1〜8のいずれか一項に記載の
装置。 - 【請求項10】 該膜形状部分(42)が、10μmから50μmの範囲の
実質的に一定な厚みであることを特徴とする請求項1〜9のいずれか一項に記載
の装置。 - 【請求項11】 該膜形状部分(42)が、膜形状部分(42)の近くに位
置する板(12、20)を向くその面であって、該可動部材(40)に隣接する
第2の部分(42b)より近くに該板(12、20)の第1の部分(42a)を
形成するその面にセットバック(60)を有することを特徴とする請求項1〜1
0のいずれか一項に記載の装置。 - 【請求項12】 該セットバック(60)が、円形で、該オリフィス(44
)の周りに集中しており、該膜形状部分(42)の該第1と第2の部分(42a
、42b)が同心のリングを形成することを特徴とする請求項11に記載の装置
。 - 【請求項13】 膜形状部分(42)の近くに位置する該板(12、20)
を向く該第1の部分(42a)の表面と該接合形成要素(52)の自由端が該板
(12、20)から等距離であることを特徴とする請求項11又は12に記載の
装置。 - 【請求項14】 膜形状部分(42)と最も近い板(12、20)の間の最
大距離が、3μmから20μmの範囲にあることを特徴とする請求項1〜13の
いずれか一項に記載の装置。 - 【請求項15】 中間板(18)の厚みに対する膜形状部分(42)と最も
近い板(12、20)の間の最大距離の比が、1/20より小さいことを特徴と
する請求項1〜14のいずれか一項に記載の装置。 - 【請求項16】 該膜形状部分(42)、可動部材の第1の端部及びオリフ
ィス(44)からの出口が、第1の板(12)に隣接しており、オリフィス(4
4)からの出口がポンプチャンバー(24)内に直接開放していることを特徴と
する請求項1〜15のいずれか一項に記載の装置。 - 【請求項17】 該膜形状部分(42)、可動部材の第1の端部及びオリフ
ィス(44)からの出口が第2の板(20)に隣接しており、オリフィス(44
)からの出口が、中間板(18)の全厚みを貫通する追加のオリフィス(64)
により該ポンプチャンバーに連絡することを特徴とする請求項1から15のいず
れか一項に記載の装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR97/10497 | 1997-08-20 | ||
FR9710497 | 1997-08-20 | ||
PCT/EP1998/005471 WO1999009321A1 (fr) | 1997-08-20 | 1998-08-19 | Micropompe comprenant un organe de controle d'entree permettant son auto-amorcage |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001515183A true JP2001515183A (ja) | 2001-09-18 |
JP2001515183A5 JP2001515183A5 (ja) | 2006-01-05 |
Family
ID=9510392
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000509953A Pending JP2001515183A (ja) | 1997-08-20 | 1998-08-19 | 自給を可能にする入口制御部材を具備するマイクロポンプ |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6390791B1 (ja) |
EP (1) | EP1003973B1 (ja) |
JP (1) | JP2001515183A (ja) |
CN (1) | CN1097168C (ja) |
AU (1) | AU9739898A (ja) |
CA (1) | CA2301878A1 (ja) |
DE (1) | DE69813569T2 (ja) |
WO (1) | WO1999009321A1 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005180530A (ja) * | 2003-12-18 | 2005-07-07 | Matsushita Electric Works Ltd | 静電駆動型半導体マイクロバルブ |
WO2013157304A1 (ja) * | 2012-04-19 | 2013-10-24 | 株式会社村田製作所 | バルブ、流体制御装置 |
JP2018013238A (ja) * | 2016-07-19 | 2018-01-25 | 科際精密股▲ふん▼有限公司 | 一方向弁アセンブリ |
Families Citing this family (52)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000314381A (ja) * | 1999-03-03 | 2000-11-14 | Ngk Insulators Ltd | ポンプ |
US7005078B2 (en) | 2000-05-25 | 2006-02-28 | Debiotech Sa | Micromachined fluidic device and method for making same |
US6627159B1 (en) * | 2000-06-28 | 2003-09-30 | 3M Innovative Properties Company | Centrifugal filling of sample processing devices |
US8097471B2 (en) * | 2000-11-10 | 2012-01-17 | 3M Innovative Properties Company | Sample processing devices |
JP2003003952A (ja) * | 2001-06-22 | 2003-01-08 | Noiberuku Kk | 流体吐出装置 |
GB0123054D0 (en) * | 2001-09-25 | 2001-11-14 | Randox Lab Ltd | Passive microvalve |
US7025324B1 (en) * | 2002-01-04 | 2006-04-11 | Massachusetts Institute Of Technology | Gating apparatus and method of manufacture |
US7135147B2 (en) * | 2002-07-26 | 2006-11-14 | Applera Corporation | Closing blade for deformable valve in a microfluidic device and method |
US7201881B2 (en) * | 2002-07-26 | 2007-04-10 | Applera Corporation | Actuator for deformable valves in a microfluidic device, and method |
US7452509B2 (en) * | 2002-07-26 | 2008-11-18 | Applied Biosystems Inc. | Microfluidic device including displaceable material trap, and system |
US7198759B2 (en) * | 2002-07-26 | 2007-04-03 | Applera Corporation | Microfluidic devices, methods, and systems |
DE50304618D1 (de) * | 2003-03-11 | 2006-09-21 | Fraunhofer Ges Forschung | Normal doppelt geschlossenes mikroventil |
DE10334240A1 (de) * | 2003-07-28 | 2005-02-24 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauteils vorzugsweise für fluidische Anwendungen und Mikropumpe mit einer Pumpmembran aus einer Polysiliciumschicht |
DE10334243B4 (de) * | 2003-07-28 | 2013-11-28 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanisches Verfahren zum Herstellen eines flexiblen Schichtelements |
US7284966B2 (en) * | 2003-10-01 | 2007-10-23 | Agency For Science, Technology & Research | Micro-pump |
DE10360709A1 (de) * | 2003-12-19 | 2005-10-06 | Bartels Mikrotechnik Gmbh | Mikropumpe und klebstoffreies Verfahren zur Verbindung zweier Substrate |
DE102004042578A1 (de) * | 2004-09-02 | 2006-03-23 | Roche Diagnostics Gmbh | Mikropumpe zur Förderung von Flüssigkeiten mit niedrigen Förderraten im Druck/Saug-Betrieb |
DE102004042987A1 (de) * | 2004-09-06 | 2006-03-23 | Roche Diagnostics Gmbh | Push-Pull betriebene Pumpe für ein mikrofluidisches System |
EP2319558B1 (en) | 2006-03-14 | 2014-05-21 | University Of Southern California | Mems device for delivery of therapeutic agents |
WO2007111049A1 (ja) | 2006-03-29 | 2007-10-04 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | マイクロポンプ |
US8202267B2 (en) * | 2006-10-10 | 2012-06-19 | Medsolve Technologies, Inc. | Method and apparatus for infusing liquid to a body |
US20080161754A1 (en) * | 2006-12-29 | 2008-07-03 | Medsolve Technologies, Inc. | Method and apparatus for infusing liquid to a body |
WO2008103963A1 (en) * | 2007-02-22 | 2008-08-28 | Sterling Investments Lc | Micro fluid transfer system |
DE102007035721B4 (de) * | 2007-07-30 | 2019-02-07 | Robert Bosch Gmbh | Mikroventil, Verfahren zum Herstellen eines Mikroventils sowie Mikropumpe |
DE102007045637A1 (de) * | 2007-09-25 | 2009-04-02 | Robert Bosch Gmbh | Mikrodosiervorrichtung zum Dosieren von Kleinstmengen eines Mediums |
EP2666510B1 (en) | 2007-12-20 | 2017-10-18 | University Of Southern California | Apparatus for controlled delivery of therapeutic agents |
US8708961B2 (en) * | 2008-01-28 | 2014-04-29 | Medsolve Technologies, Inc. | Apparatus for infusing liquid to a body |
CN101520041B (zh) * | 2008-02-26 | 2013-03-20 | 研能科技股份有限公司 | 大流量流体输送装置 |
CN101520035B (zh) * | 2008-02-26 | 2013-03-20 | 研能科技股份有限公司 | 流体输送装置 |
JP5719767B2 (ja) | 2008-05-08 | 2015-05-20 | ミニパンプス, エルエルシー | 埋込型ポンプおよびそのためのカニューレ |
WO2009137785A2 (en) | 2008-05-08 | 2009-11-12 | Replenish Pumps, Llc | Drug-delivery pumps and methods of manufacture |
US9849238B2 (en) | 2008-05-08 | 2017-12-26 | Minipumps, Llc | Drug-delivery pump with intelligent control |
US8197235B2 (en) | 2009-02-18 | 2012-06-12 | Davis David L | Infusion pump with integrated permanent magnet |
US8353864B2 (en) | 2009-02-18 | 2013-01-15 | Davis David L | Low cost disposable infusion pump |
US8017409B2 (en) | 2009-05-29 | 2011-09-13 | Ecolab Usa Inc. | Microflow analytical system |
JP5758388B2 (ja) | 2009-08-18 | 2015-08-05 | ミニパンプス, エルエルシー | 適応制御を有する電解質薬物送達ポンプ |
EP2528687B1 (en) | 2010-01-29 | 2018-08-22 | Micronics, Inc. | System comprising a host instrument and a microfluidic cartridge for assays |
DE102010032799B4 (de) * | 2010-04-09 | 2013-11-21 | Albert-Ludwigs-Universität Freiburg | Mikroventil mit elastisch verformbarer Ventillippe, Herstellungsverfahren und Mikropumpe |
US10065186B2 (en) | 2012-12-21 | 2018-09-04 | Micronics, Inc. | Fluidic circuits and related manufacturing methods |
KR20150097764A (ko) | 2012-12-21 | 2015-08-26 | 마이크로닉스 인코포레이티드. | 휴대형 형광 검출 시스템 및 미량분석 카트리지 |
WO2014100743A2 (en) | 2012-12-21 | 2014-06-26 | Micronics, Inc. | Low elasticity films for microfluidic use |
AU2014262710B2 (en) | 2013-05-07 | 2019-09-12 | Perkinelmer Health Sciences, Inc. | Methods for preparation of nucleic acid-containing samples using clay minerals and alkaline solutions |
CN105189784B (zh) | 2013-05-07 | 2020-06-30 | 珀金埃尔默健康科学有限公司 | 用于制备和分析核酸的装置 |
EP2994750B1 (en) | 2013-05-07 | 2020-08-12 | PerkinElmer Health Sciences, Inc. | Microfluidic devices and methods for performing serum separation and blood cross-matching |
US10684662B2 (en) | 2015-04-20 | 2020-06-16 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Electronic device having a coolant |
US10100822B2 (en) | 2015-04-20 | 2018-10-16 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Pump having freely movable member |
WO2016171659A1 (en) | 2015-04-20 | 2016-10-27 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Pump having freely movable member |
ITUB20151781A1 (it) * | 2015-07-02 | 2017-01-02 | Milano Politecnico | Micropompa con attuazione elettrostatica |
WO2018046078A1 (en) * | 2016-09-07 | 2018-03-15 | Robert Bosch Gmbh | Micropumps |
JP7200535B2 (ja) | 2018-08-17 | 2023-01-10 | セイコーエプソン株式会社 | 構造体、ダイヤフラム式圧縮機、冷却機、プロジェクター及び構造体の製造方法 |
JP7226221B2 (ja) * | 2019-09-24 | 2023-02-21 | 株式会社島津製作所 | マイクロバルブ |
JP2022553270A (ja) * | 2019-10-18 | 2022-12-22 | ヒールテル・(グアンジョウ)・メディカル・テクノロジー・カンパニー・リミテッド | 流体を注入するためのシステム及び方法 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CH679555A5 (ja) * | 1989-04-11 | 1992-03-13 | Westonbridge Int Ltd | |
DE69011631T2 (de) * | 1989-06-14 | 1995-03-23 | Westonbridge Int Ltd | Mikropumpe. |
US5069419A (en) * | 1989-06-23 | 1991-12-03 | Ic Sensors Inc. | Semiconductor microactuator |
DE69107813T2 (de) * | 1990-07-10 | 1995-11-09 | Lintel Harald T G Van | Ventil, Methode zur Herstellung dises Ventils und mit diesem Ventil versehene Mikropumpe. |
EP0498863B1 (en) * | 1990-08-31 | 1995-07-26 | Westonbridge International Limited | A valve equipped with a position detector and a micropump incorporating said valve |
DE4035852A1 (de) * | 1990-11-10 | 1992-05-14 | Bosch Gmbh Robert | Mikroventil in mehrschichtenaufbau |
US5759015A (en) * | 1993-12-28 | 1998-06-02 | Westonbridge International Limited | Piezoelectric micropump having actuation electrodes and stopper members |
CH689836A5 (fr) * | 1994-01-14 | 1999-12-15 | Westonbridge Int Ltd | Micropompe. |
US5529279A (en) * | 1994-08-24 | 1996-06-25 | Hewlett-Packard Company | Thermal isolation structures for microactuators |
US5542821A (en) * | 1995-06-28 | 1996-08-06 | Basf Corporation | Plate-type diaphragm pump and method of use |
WO1997005385A1 (fr) * | 1995-07-27 | 1997-02-13 | Seiko Epson Corporation | Microsoupape et son procede de realisation, micropompe utilisant cette microsoupape, et son procede de realisation, et dispositif utilisant cette micropompe |
US5785295A (en) * | 1996-08-27 | 1998-07-28 | Industrial Technology Research Institute | Thermally buckling control microvalve |
US6116863A (en) * | 1997-05-30 | 2000-09-12 | University Of Cincinnati | Electromagnetically driven microactuated device and method of making the same |
-
1998
- 1998-08-19 EP EP98951326A patent/EP1003973B1/fr not_active Expired - Lifetime
- 1998-08-19 WO PCT/EP1998/005471 patent/WO1999009321A1/fr active IP Right Grant
- 1998-08-19 JP JP2000509953A patent/JP2001515183A/ja active Pending
- 1998-08-19 DE DE69813569T patent/DE69813569T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1998-08-19 CA CA002301878A patent/CA2301878A1/en not_active Abandoned
- 1998-08-19 CN CN98809517A patent/CN1097168C/zh not_active Expired - Fee Related
- 1998-08-19 AU AU97398/98A patent/AU9739898A/en not_active Abandoned
- 1998-08-19 US US09/486,111 patent/US6390791B1/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005180530A (ja) * | 2003-12-18 | 2005-07-07 | Matsushita Electric Works Ltd | 静電駆動型半導体マイクロバルブ |
JP4572534B2 (ja) * | 2003-12-18 | 2010-11-04 | パナソニック電工株式会社 | 静電駆動型半導体マイクロバルブ |
WO2013157304A1 (ja) * | 2012-04-19 | 2013-10-24 | 株式会社村田製作所 | バルブ、流体制御装置 |
GB2515239A (en) * | 2012-04-19 | 2014-12-17 | Murata Manufacturing Co | Valve, and fluid control device |
CN104246228A (zh) * | 2012-04-19 | 2014-12-24 | 株式会社村田制作所 | 阀、流体控制装置 |
JPWO2013157304A1 (ja) * | 2012-04-19 | 2015-12-21 | 株式会社村田製作所 | バルブ、流体制御装置 |
US9631730B2 (en) | 2012-04-19 | 2017-04-25 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Valve and fluid control apparatus |
CN104246228B (zh) * | 2012-04-19 | 2017-08-29 | 株式会社村田制作所 | 阀、流体控制装置 |
GB2515239B (en) * | 2012-04-19 | 2018-12-19 | Murata Manufacturing Co | Valve and fluid control apparatus |
JP2018013238A (ja) * | 2016-07-19 | 2018-01-25 | 科際精密股▲ふん▼有限公司 | 一方向弁アセンブリ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE69813569D1 (de) | 2003-05-22 |
AU9739898A (en) | 1999-03-08 |
WO1999009321A1 (fr) | 1999-02-25 |
US6390791B1 (en) | 2002-05-21 |
DE69813569T2 (de) | 2004-04-08 |
CN1271407A (zh) | 2000-10-25 |
CN1097168C (zh) | 2002-12-25 |
EP1003973B1 (fr) | 2003-04-16 |
EP1003973A1 (fr) | 2000-05-31 |
CA2301878A1 (en) | 1999-02-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2001515183A (ja) | 自給を可能にする入口制御部材を具備するマイクロポンプ | |
US6033191A (en) | Micromembrane pump | |
CN1134596C (zh) | 微加工流体装置及制造方法 | |
JP2824975B2 (ja) | 弁及びその弁を組込んだマイクロポンプ | |
AU697402B2 (en) | Integral valve diaphragm pump and method | |
US5718567A (en) | Micro diaphragm pump | |
JP3948493B2 (ja) | マイクロポンプ | |
JP4531563B2 (ja) | 蠕動マイクロポンプ | |
US5085562A (en) | Micropump having a constant output | |
US6991214B2 (en) | Microvalve normally in a closed position | |
JP3718724B2 (ja) | マイクロポンプ | |
JP2004505212A (ja) | マイクロ加工された流体装置およびその製造方法 | |
US20020062645A1 (en) | Micromachined parylene mambrane valve and pump | |
DK2556282T3 (en) | Microvalve with valve elastically deformable lip, the preparation method and micropump | |
US6470904B1 (en) | Normally closed in-channel micro check valve | |
JP2013516582A (ja) | マイクロバルブ | |
JPH02308988A (ja) | 圧電マイクロポンプ | |
US20100171054A1 (en) | Micromechanical slow acting valve system | |
US20030183278A1 (en) | Particle-based check valve | |
JPH01266376A (ja) | 液体マイクロバルブとマイクロポンプ | |
JP5058163B2 (ja) | 薬剤を吐出する小型ポンプ | |
CN110966167A (zh) | 一种压电微泵 | |
Hirata et al. | Development of an anti-corrosive integrated mass flow controller |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050526 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050901 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20051102 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071030 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20080129 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20080205 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080422 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080701 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20080930 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20081007 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081225 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090303 |