JP2001356144A - Electronic part testing device - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体集積回路素
子などの各種電子部品（以下、代表的にＩＣともい
う。）をテストするための電子部品試験装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electronic component testing apparatus for testing various electronic components (hereinafter, also typically referred to as ICs) such as semiconductor integrated circuit devices.
【０００２】[0002]
【従来の技術】ハンドラ（handler ）と称される電子部
品試験装置では、トレイに収納された多数のＩＣを試験
装置内に搬送し、各ＩＣをテストヘッドに電気的に接触
させ、ＩＣ試験装置本体（tester）に試験を行わせる。
そして、試験を終了すると各ＩＣをテストヘッドから搬
出し、試験結果に応じたトレイに載せ替えることで、良
品や不良品といったカテゴリへの仕分けが行われる。2. Description of the Related Art In an electronic component test apparatus called a handler, a large number of ICs stored in a tray are conveyed into a test apparatus, and each IC is brought into electrical contact with a test head. Have the body (tester) perform the test.
When the test is completed, each IC is taken out of the test head and placed on a tray according to the test result, whereby sorting into categories such as non-defective products and defective products is performed.
【０００３】この試験を終了したＩＣを試験結果に応じ
たトレイへ載せ替える場合、良品、不良品、再検査とい
ったカテゴリ分だけ空のトレイを用意し、これにＩＣを
載せ替え、そのトレイが満杯になるとこれを搬出し、新
たな空トレイと入れ替える。In order to replace the IC after the test with a tray corresponding to the test result, prepare empty trays corresponding to categories such as non-defective products, defective products, and re-inspection, replace the ICs with the empty trays, and fill the trays. When this happens, carry it out and replace it with a new empty tray.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】ところで、ＩＣ製品の
検査仕様によっては仕分けすべきカテゴリ数がハンドラ
の分類可能数を超える場合もある。こうした場合に備え
て、従来より、多分類用ストッカを外付けすることで、
頻度の少ないカテゴリのＩＣ製品の分類に対応すること
が行われている。By the way, the number of categories to be sorted may exceed the number of classifiable handlers depending on the inspection specifications of IC products. In preparation for such cases, by attaching an external multi-class stocker,
It has been practiced to deal with the classification of IC products in a less frequent category.
【０００５】しかしながら、従来の多分類ストッカは外
付けタイプのものであるため、そのストッカの大きさ分
だけハンドラの外形が大型化するという問題がある。ま
た、従来の多分類ストッカは、試験済みＩＣ製品をトレ
イに載せ替えるステージに設けられているので、ＩＣ製
品を吸着保持するＩＣ搬送装置との干渉が問題となりＩ
Ｃ搬送装置の動作範囲が制約されるおそれがある。However, since the conventional multi-class stocker is an external type, there is a problem that the outer shape of the handler is increased by the size of the stocker. In addition, since the conventional multi-class stocker is provided on the stage for replacing the tested IC product on the tray, interference with the IC transport device that suctions and holds the IC product becomes a problem.
The operating range of the C transport device may be restricted.
【０００６】さらに、従来の多分類ストッカは外付けま
たは後付けであるため、ハンドラとは独立の制御にせざ
るを得ず、トレイ搬送装置を備えたハンドラであって
も、多分類ストッカのトレイの交換は手動であった。こ
のため、ＩＣ製品の再検査を自動で行うことができなか
った。Further, since the conventional multi-class stocker is external or retrofitted, it must be controlled independently of the handler. Even if the handler has a tray transport device, the tray of the multi-class stocker can be replaced. Was manual. For this reason, re-inspection of IC products could not be performed automatically.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明は、試験装置の外
形を大きくすることなく多分類が可能で、トレイ交換を
自動化できる電子部品試験装置を提供することを目的と
する。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide an electronic component testing apparatus capable of performing multi-classification without increasing the outer shape of the testing apparatus and automating tray replacement.
【０００８】本発明の第１の観点によれば、被試験電子
部品の搭載用トレイが格納されるトレイ格納部を備えた
電子部品試験装置であって、トレイが搭載される複数の
テーブルと、前記テーブルを格納位置と排出位置とに移
動させる第１の移動手段と、前記排出位置に移動したテ
ーブルのトレイを所定のポジションに移動させる第２の
移動手段とを有し、前記トレイ格納部に設けられたトレ
イストッカに併設された多分類ストッカを備えた電子部
品試験装置が提供される。According to a first aspect of the present invention, there is provided an electronic component test apparatus provided with a tray storage unit for storing a tray for mounting an electronic component under test, comprising: a plurality of tables on which trays are mounted; A first moving unit for moving the table to a storage position and a discharging position; and a second moving unit for moving a tray of the table moved to the discharging position to a predetermined position. Provided is an electronic component test apparatus provided with a multi-class stocker attached to a provided tray stocker.
【０００９】また、本発明の第２の観点によれば、トレ
イが搭載される複数のテーブルと、前記テーブルを格納
位置と排出位置とに移動させる第１の移動手段と、前記
排出位置に移動したテーブルのトレイを所定のポジショ
ンに移動させる第２の移動手段とを有し、電子部品試験
装置のトレイ格納部に設けられたトレイストッカに併設
される多分類ストッカが提供される。According to a second aspect of the present invention, a plurality of tables on which trays are mounted, first moving means for moving the tables to a storing position and a discharging position, and moving to the discharging position A second moving means for moving the tray of the table to a predetermined position, and a multi-class stocker attached to a tray stocker provided in a tray storage section of the electronic component test apparatus is provided.
【００１０】上記発明における所定のポジションについ
ては特に限定されないが、試験済み電子部品をトレイに
載せ替える位置や、第３の移動手段とのトレイの受け渡
し位置である。The predetermined position in the present invention is not particularly limited, but may be a position where the tested electronic component is replaced on the tray, or a position where the tray is transferred to and from the third moving means.
【００１１】[0011]
【作用】本発明では、トレイ格納部のトレイストッカの
分類数を超えるカテゴリの被試験電子部品が発生した
ら、テーブルに搭載されたトレイの一つを第１の移動手
段で排出位置へ移動させ、このトレイを第２の移動手段
で、電子部品の載せ替え位置やトレイの受け渡し位置な
どの所定のポジションへ移動させる。According to the present invention, when an electronic component under test of a category exceeding the number of classified tray stockers in the tray storage section occurs, one of the trays mounted on the table is moved to the discharge position by the first moving means, The tray is moved by a second moving means to a predetermined position such as an electronic component replacement position or a tray transfer position.
【００１２】そして、そのカテゴリの電子部品を搭載し
終えたら、所定のポジションから第２の移動手段で排出
位置に戻し、さらに第１の移動手段で格納位置へ戻す。When the electronic components of the category have been mounted, the electronic components are returned to the discharge position from the predetermined position by the second moving means, and further returned to the storage position by the first moving means.
【００１３】[0013]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。図１は本発明の多分類ストッカ５０
０が組み込まれた電子部品試験装置を示す一部破断斜視
図、図２は同装置のトレイの取り廻し方法を示す概念図
である。なお、図２は本実施形態の電子部品試験装置に
おけるトレイの取り廻し方法を理解するための図であっ
て、実際には上下方向に並んで配置されている部材を平
面的に示した部分もある。したがって、その機械的（三
次元的）構造は図１を参照して説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows a multi-class stocker 50 according to the present invention.
FIG. 2 is a partially cutaway perspective view showing an electronic component testing apparatus in which the reference numeral 0 is incorporated. FIG. Note that FIG. 2 is a diagram for understanding a tray handling method in the electronic component test apparatus according to the present embodiment, and in fact, parts shown in plan view of members arranged vertically are also shown. is there. Therefore, the mechanical (three-dimensional) structure will be described with reference to FIG.
【００１４】図１および図２に示すように、本実施形態
の電子部品試験装置１は、テストヘッドを含むチャンバ
部１００と、これから試験を行なう被試験ＩＣを格納
し、また試験済のＩＣを分類して格納するトレイ格納部
２００と、被試験ＩＣをチャンバ部１００に送り込むロ
ーダ部３００と、チャンバ部１００で試験が行なわれた
試験済のＩＣを分類して取り出すアンローダ部４００と
から構成されている。As shown in FIGS. 1 and 2, an electronic component test apparatus 1 of the present embodiment stores a chamber section 100 including a test head and an IC under test to be tested from now on. It is composed of a tray storage unit 200 for sorting and storing, a loader unit 300 for sending ICs to be tested into the chamber unit 100, and an unloader unit 400 for sorting and extracting tested ICs tested in the chamber unit 100. ing.
【００１５】なお、以下の説明では、本発明の多分類ス
トッカ５００をチャンバ方式の電子部品試験装置１に適
用した場合を示すが、本発明に係る多分類ストッカ５０
０は被試験ＩＣが搭載されたトレイ（以下、カスタマト
レイＫＳＴともいう。）を用いるハンドラであれば適用
することができ、下記のチャンバ方式電子部品試験装置
にのみ限定されるものではなく、たとえばヒートプレー
ト方式のものにも適用することができる。In the following description, a case is shown in which the multi-class stocker 500 of the present invention is applied to the chamber-type electronic component test apparatus 1, but the multi-class stocker 50 according to the present invention is shown.
0 can be applied to any handler using a tray on which an IC under test is mounted (hereinafter, also referred to as a customer tray KST), and is not limited to the following chamber-type electronic component test apparatus. It can also be applied to a heat plate type.
【００１６】トレイ格納部２００ トレイ格納部２００には、試験前の被試験ＩＣを格納す
る試験前ＩＣストッカ２０１と、試験の結果に応じて分
類された被試験ＩＣを格納する試験済ＩＣストッカ２０
２とが設けられている。これらのストッカ２０１，２０
２が本発明に係る「トレイストッカ」である。[0016] the tray storage section 200 tray storage unit 200 includes a pre-test IC stocker 201 for storing the IC before test, post-test IC stores the IC classified according to the result of the test stocker 20
2 are provided. These stockers 201, 20
Reference numeral 2 denotes a “tray stocker” according to the present invention.
【００１７】試験前ＩＣストッカ２０１及び試験済ＩＣ
ストッカ２０２は、詳細な図示は省略するが、枠状のト
レイ支持枠と、このトレイ支持枠の下部から侵入して上
部に向って昇降可能とするエレベータとで構成され、ト
レイ支持枠には、カスタマトレイＫＳＴが複数積み重ね
られて支持され、この積み重ねられたカスタマトレイＫ
ＳＴがエレベータによって上下に移動される。Pre-test IC stocker 201 and tested IC
Although not shown in detail, the stocker 202 includes a frame-shaped tray support frame, and an elevator that can enter from a lower portion of the tray support frame and move up and down. The tray support frame includes: A plurality of customer trays KST are stacked and supported.
ST is moved up and down by the elevator.
【００１８】そして、試験前ＩＣストッカ２０１には、
これから試験が行われる被試験ＩＣが格納されたカスタ
マトレイＫＳＴが積層されて保持される一方で、試験済
ＩＣストッカ２０２には、試験を終えた被試験ＩＣが適
宜に分類されたカスタマトレイＫＳＴが積層されて保持
されている。The pre-test IC stocker 201 includes:
While the customer trays KST in which the ICs to be tested are stored are stacked and held, the customer tray KST in which the ICs to be tested are appropriately classified is stored in the tested IC stocker 202. Laminated and held.
【００１９】被試験ＩＣストッカ２０１及び試験済ＩＣ
ストッカ２０２の上部には、基板１０５との間におい
て、被試験ＩＣストッカ２０１と試験済ＩＣストッカ２
０２の配列方向の全範囲にわたって移動するトレイ移送
アーム２０５が設けられている。本例では、被試験ＩＣ
ストッカ２０１および試験済ＩＣストッカ２０２の直上
（Ｙ軸方向にずれることなく）にローダ部３００および
アンローダ部４００の窓３０６，４０６が設けられてい
るので、トレイ移送アーム２０５もＸ軸およびＺ軸方向
にのみ移動可能になっている。ちなみに、トレイ格納部
２００とローダ部３００またはアンローダ部４００との
位置関係によっては、トレイ移送アーム２０５をＸ軸、
Ｙ軸およびＺ軸の全ての方向に移動可能としても良い。Test IC Stocker 201 and Tested IC
On the upper part of the stocker 202, the IC stocker 201 to be tested and the tested IC stocker 2
A tray transfer arm 205 that moves over the entire range in the array direction of No. 02 is provided. In this example, the IC under test is
Since the windows 306 and 406 of the loader unit 300 and the unloader unit 400 are provided immediately above the stocker 201 and the tested IC stocker 202 (without shifting in the Y-axis direction), the tray transfer arm 205 is also moved in the X-axis and Z-axis directions. It can be moved only to. Incidentally, depending on the positional relationship between the tray storage unit 200 and the loader unit 300 or the unloader unit 400, the tray transfer arm 205 is
It may be movable in all directions of the Y axis and the Z axis.
【００２０】このトレイ移送アーム２０５は、カスタマ
トレイＫＳＴを左右（Ｘ方向）に並べて保持するための
一対のトレイ収納部２０５ａ，２０５ｂを備え、ローダ
部３００およびアンローダ部４００と被試験ＩＣストッ
カ２０１および試験済ＩＣストッカ２０２との間でカス
タマトレイＫＳＴの移送を行う。The tray transfer arm 205 includes a pair of tray storage portions 205a and 205b for holding the customer trays KST side by side (in the X direction), and includes a loader section 300 and an unloader section 400; The customer tray KST is transferred to and from the tested IC stocker 202.
【００２１】なお、試験前ＩＣストッカ２０１と試験済
ＩＣストッカ２０２とは同じ構造とされているので、試
験前ＩＣストッカ２０１と試験済ＩＣストッカ２０２と
のそれぞれの数を必要に応じて適宜数に設定することが
できる。図１及び図２に示す例では、試験前ストッカ２
０１に２個のストッカＳＴＫ−Ｂを設け、またその隣に
アンローダ部４００へ送られる空ストッカＳＴＫ−Ｅを
２個設けるとともに、試験済ＩＣストッカ２０２に６個
のストッカＳＴＫ−１，ＳＴＫ−２，‥・，ＳＴＫ−６
を設けて試験結果に応じて最大６つの分類に仕分けして
格納できるように構成されている。たとえば、良品と不
良品の別の外に、良品の中でも動作速度が高速のもの、
中速のもの、低速のもの、あるいは不良の中でも再試験
が必要なもの等に仕分けすることができる。Since the pre-test IC stocker 201 and the tested IC stocker 202 have the same structure, the number of the pre-test IC stocker 201 and the number of the tested IC stocker 202 can be appropriately changed as necessary. Can be set. In the example shown in FIG. 1 and FIG.
01, two stockers STK-B, two empty stockers STK-E to be sent to the unloader section 400, and six stockers STK-1, STK-2 in the tested IC stocker 202. , ‥ ・, STK-6
Are provided so that they can be sorted and stored in a maximum of six categories according to the test results. For example, in addition to good and bad products, among the good products,
It can be classified into medium-speed ones, low-speed ones, and failures that require retesting.
【００２２】ローダ部３００ 上述したカスタマトレイＫＳＴは、ローダ部３００に運
ばれ、当該ローダ部３００において、カスタマトレイＫ
ＳＴに積み込まれた被試験ＩＣが、ローダ部３００に停
止しているテストトレイＴＳＴに積み替えられる。 Loader section 300 The above-mentioned customer tray KST is carried to the loader section 300, where the customer tray KST is loaded.
The IC under test loaded in ST is transferred to the test tray TST stopped in the loader unit 300.
【００２３】カスタマトレイＫＳＴからテストトレイＴ
ＳＴへ被試験ＩＣを積み替えるＩＣ搬送装置としては、
図１に示すように、基板１０５の上部に架設された２本
のレール３０１と、この２本のレール３０１によってテ
ストトレイＴＳＴとカスタマトレイＫＳＴとの間をＹ方
向に往復することができる可動アーム３０２と、この可
動アーム３０２によって支持され、可動アーム３０２に
沿ってＸ方向に移動できる可動ヘッド３０３とを備えた
Ｘ−Ｙ搬送装置３０４が用いられる。From the customer tray KST to the test tray T
As an IC transfer device for transferring the IC under test to ST,
As shown in FIG. 1, two rails 301 provided on the upper portion of the substrate 105, and a movable arm capable of reciprocating in the Y direction between the test tray TST and the customer tray KST by the two rails 301. An XY transfer device 304 including a movable head 302 and a movable head 303 supported by the movable arm 302 and capable of moving in the X direction along the movable arm 302 is used.
【００２４】このＸ−Ｙ搬送装置３０４の可動ヘッド３
０３には、吸着ヘッドが下向に装着されており、この吸
着ヘッドが空気を吸引しながら移動することで、カスタ
マトレイＫＳＴから被試験ＩＣを吸着し、その被試験Ｉ
ＣをテストトレイＴＳＴに積み替える。こうした吸着ヘ
ッドは、可動ヘッド３０３に対して例えば８本程度装着
されており、一度に８個の被試験ＩＣをテストトレイＴ
ＳＴに積み替えることができる。The movable head 3 of the XY transfer device 304
03, a suction head is mounted downward, and the suction head moves while sucking air, thereby sucking the IC under test from the customer tray KST, and
Transfer C to the test tray TST. For example, about eight such suction heads are mounted on the movable head 303, and eight ICs to be tested are stored in the test tray T at a time.
Can be transshipped to ST.
【００２５】なお、一般的なカスタマトレイＫＳＴにあ
っては、被試験ＩＣを搭載するための凹状ポケットが、
被試験ＩＣの形状よりも比較的大きく形成されているの
で、カスタマトレイＫＳＴに格納された状態における被
試験ＩＣの位置は、大きなバラツキを持っている。した
がって、この状態で被試験ＩＣを吸着ヘッドに吸着し、
直接テストトレイＴＳＴに運ぶと、テストトレイＴＳＴ
に形成されたＩＣ収納凹部に正確に落し込むことが困難
となる。Incidentally, in a general customer tray KST, a concave pocket for mounting an IC under test is provided.
Since the shape of the IC under test is relatively larger than the shape of the IC under test, the position of the IC under test stored in the customer tray KST has a large variation. Therefore, in this state, the IC under test is sucked to the suction head,
If you carry it directly to the test tray TST,
It is difficult to accurately drop the IC into the recess formed in the IC housing.
【００２６】このため、本実施形態の電子部品試験装置
１では、カスタマトレイＫＳＴの設置位置とテストトレ
イＴＳＴとの間にプリサイサ３０５と呼ばれるＩＣの位
置修正手段が設けられている。このプリサイサ３０５
は、比較的深い凹部を有し、この凹部の周縁が傾斜面で
囲まれた形状とされているので、この凹部に吸着ヘツド
に吸着された被試験ＩＣを落し込むと、傾斜面で被試験
ＩＣの落下位置が修正されることになる。これにより、
８個の被試験ＩＣの相互の位置が正確に定まり、位置が
修正された被試験ＩＣを再び吸着ヘッドで吸着してテス
トトレイＴＳＴに積み替えることで、テストトレイＴＳ
Ｔに形成されたＩＣ収納凹部に精度良く被試験ＩＣを積
み替えることができる。For this reason, in the electronic component test apparatus 1 of this embodiment, an IC position correcting means called a precisor 305 is provided between the installation position of the customer tray KST and the test tray TST. This Precisor 305
Has a relatively deep concave portion, and the peripheral edge of the concave portion is surrounded by an inclined surface. Therefore, when the IC under test sucked by the suction head is dropped into the concave portion, the test object is tested on the inclined surface. The drop position of the IC will be corrected. This allows
The mutual positions of the eight ICs to be tested are accurately determined, and the ICs whose positions have been corrected are sucked again by the suction head and are reloaded on the test tray TST, whereby the test tray TS
The IC under test can be accurately transferred to the IC receiving recess formed in the T.
【００２７】図３は、図１のIII-III線に沿う断面図で
あり、基板１０５、後述するトレイ移送アーム２０５お
よびトレイ格納部２００の縦断面図である。同図に示さ
れるように、ローダ部３００の基板１０５には、当該ロ
ーダ部３００へ運ばれたカスタマトレイＫＳＴが基板１
０５の上面に臨むように配置される一対の窓部３０６，
３０６が開設されている。また、この窓部３０６のそれ
ぞれには、当該窓部３０６に運ばれたカスタマトレイＫ
ＳＴを保持するための保持用フック３０６ａが設けられ
ており、カスタマトレイＫＳＴの上面が窓部３０６を介
して基板１０５の表面に臨む位置でカスタマトレイＫＳ
Ｔが保持される。FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line III-III of FIG. 1, and is a vertical cross-sectional view of the substrate 105, a tray transfer arm 205 described later, and a tray storage unit 200. As shown in the drawing, the customer tray KST carried to the loader unit 300 is placed on the substrate 105 of the loader unit 300.
05, a pair of windows 306 arranged so as to face the upper surface of
306 are established. Each of the windows 306 has a customer tray K transported to the window 306.
A holding hook 306 a for holding the ST is provided, and the customer tray KS is located at a position where the upper surface of the customer tray KST faces the surface of the substrate 105 via the window 306.
T is held.
【００２８】また、それぞれの窓部３０６の下側には、
カスタマトレイＫＳＴを昇降させるための昇降テーブル
３０７が設けられており、ここでは試験前の被試験ＩＣ
が積み替えられて空になったカスタマトレイＫＳＴを載
せて下降し、この空トレイをトレイ移送アーム２０５の
トレイ収納部に受け渡す。Also, below each window 306,
An elevating table 307 for elevating and lowering the customer tray KST is provided.
Is loaded with the empty customer tray KST and lowered, and transfers the empty tray to the tray storage section of the tray transfer arm 205.
【００２９】チャンバ部１００ 本例の電子部品試験装置１は、ＩＣに高温もしくは低温
の温度ストレスを与えた状態または温度ストレスを与え
ない状態でＩＣが適切に動作するかどうかを試験（検
査）し、当該試験結果に応じてＩＣを分類する装置であ
る。こうした温度ストレスを与えた状態での動作テスト
は、試験対象となる被試験ＩＣが多数搭載されたカスタ
マトレイＫＳＴから当該電子部品試験装置１内を搬送さ
れるテストトレイＴＳＴに被試験ＩＣを載せ替えて実施
される。 Chamber section 100 The electronic component test apparatus 1 of this embodiment tests (tests) whether or not the IC operates properly in a state where high or low temperature stress is applied to the IC or in a state where no temperature stress is applied to the IC. This is a device for classifying ICs according to the test results. In an operation test under such a temperature stressed condition, the IC under test is reloaded from a customer tray KST on which a large number of ICs under test are mounted to a test tray TST transported in the electronic component test apparatus 1. Implemented.
【００３０】テストトレイＴＳＴは、ローダ部３００で
被試験ＩＣが積み込まれたのちチャンバ部１００に送り
込まれ、当該テストトレイＴＳＴに搭載された状態でチ
ャンバ部１００において各被試験ＩＣが試験される。そ
して、試験済の被試験ＩＣがアンローダ部４００に運び
出されたのち、当該アンローダ部４００において各被試
験ＩＣは試験結果に応じたカスタマトレイＫＳＴに載せ
替えられる。なお、試験済みＩＣがカスタマトレイＫＳ
Ｔに載せ替えられて空になったテストトレイＴＳＴは、
テストトレイ搬送装置１０８によって、ローダ部３００
を介して恒温槽１０１へ返送される。The test tray TST is loaded with the ICs to be tested by the loader unit 300 and then sent to the chamber unit 100. Each IC under test is tested in the chamber unit 100 while being mounted on the test tray TST. After the tested ICs are carried out to the unloader section 400, the ICs are replaced on the customer tray KST according to the test results in the unloader section 400. The tested IC is the customer tray KS
The test tray TST that has been emptied after being replaced with T
The test tray transport device 108 allows the loader unit 300
Is returned to the thermostat 101 via the.
【００３１】チャンバ部１００は、テストトレイＴＳＴ
に積み込まれた被試験ＩＣに目的とする高温又は低温の
温度ストレスを与える恒温槽１０１と、この恒温槽１０
１で熱ストレスが与えられた状態にある被試験ＩＣをテ
ストヘッド１０４に接触させるテストチャンバ１０２
と、テストチャンバ１０２で試験された被試験ＩＣか
ら、与えられた熱ストレイスを除去する除熱槽１０３と
で構成されている。The chamber section 100 includes a test tray TST
Temperature chamber 101 for applying a desired high or low temperature stress to the IC under test loaded in the
1. A test chamber 102 in which the IC under test subjected to the thermal stress in step 1 is brought into contact with a test head 104.
And a heat removal tank 103 for removing a given thermal streak from the IC under test tested in the test chamber 102.
【００３２】除熱槽１０３では、恒温槽１０１で高温を
印加した場合は、被試験ＩＣを送風により冷却して室温
に戻し、また恒温槽１０１で例えば−３０℃程度の低温
を印加した場合は、被試験ＩＣを温風またはヒータ等で
加熱して結露が生じない程度の温度まで戻す。そして、
この除熱された被試験ＩＣをアンローダ部４００に搬出
する。In the heat removal tank 103, when a high temperature is applied in the constant temperature bath 101, the IC under test is cooled by blowing air to return it to room temperature, and when a low temperature of approximately -30 ° C. is applied in the constant temperature bath 101, Then, the IC under test is heated with warm air or a heater to return the temperature to a temperature at which dew condensation does not occur. And
The heat-removed IC under test is carried out to the unloader section 400.
【００３３】アンローダ部４００ アンローダ部４００にも、ローダ部３００に設けられた
Ｘ−Ｙ搬送装置３０４と同一構造のＸ−Ｙ搬送装置４０
４，４０４が設けられ、このＸ−Ｙ搬送装置４０４，４
０４によって、アンローダ部４００に運び出されたテス
トトレイＴＳＴから試験済の被試験ＩＣがカスタマトレ
イＫＳＴに積み替えられる。[0033] Also in the unloader section 400 unloader section 400, X-Y transport device having the same structure as X-Y conveyor 304 provided in the loader section 300 40
4, 404 are provided, and the XY transfer devices 404, 4 are provided.
At 04, the tested IC under test is transferred from the test tray TST carried out to the unloader section 400 to the customer tray KST.
【００３４】図３の基板１０５、トレイ移送アーム２０
５およびトレイ格納部２００の縦断面図に示されるよう
に、アンローダ部４００の基板１０５には、当該アンロ
ーダ部４００へ運ばれたカスタマトレイＫＳＴが基板１
０５の上面に臨むように配置される一対の窓部４０６，
４０６が二対開設されている。また、この窓部４０６の
それぞれには、当該窓部４０６に運ばれたカスタマトレ
イＫＳＴを保持するための保持用フック４０６ａが設け
られており、カスタマトレイＫＳＴの上面が窓部４０６
を介して基板１０５の表面に臨む位置でカスタマトレイ
ＫＳＴが保持される。保持用フック４０６ａの具体的構
成は特に限定されず、たとえば機構的にカスタマトレイ
ＫＳＴを掴んだり、あるいは吸着手段によりカスタマト
レイＫＳＴを保持することができる。The substrate 105 and the tray transfer arm 20 shown in FIG.
5 and a vertical sectional view of the tray storage unit 200, the customer tray KST carried to the unloader unit 400 is provided on the substrate 105 of the unloader unit 400.
05, a pair of windows 406 arranged to face the upper surface of
406 are set up. Each of the window portions 406 is provided with a holding hook 406a for holding the customer tray KST carried to the window portion 406.
, The customer tray KST is held at a position facing the surface of the substrate 105. The specific configuration of the holding hook 406a is not particularly limited. For example, the customer tray KST can be mechanically grasped or the customer tray KST can be held by suction means.
【００３５】また、それぞれの窓部４０６の下側には、
カスタマトレイＫＳＴを昇降させるための昇降テーブル
４０７が設けられており、ここでは試験済の被試験ＩＣ
が積み替えられて満杯になったカスタマトレイＫＳＴを
載せて下降し、この満杯トレイをトレイ移送アーム２０
５の下側トレイ収納部に受け渡す。なお、昇降テーブル
４０７の代わりに、それぞれの窓部４０６の直下に位置
するストッカＳＴＫのエレベータ２０４によってカスタ
マトレイＫＳＴの昇降を行うこともできる。In addition, below each window 406,
An elevating table 407 for elevating and lowering the customer tray KST is provided.
Is loaded with the full customer tray KST and lowered, and the full tray is moved to the tray transfer arm 20.
5 to the lower tray storage unit. Note that, instead of the elevating table 407, the customer tray KST can be raised and lowered by the elevator 204 of the stocker STK located immediately below each window 406.
【００３６】なお、本実施形態の電子部品試験装置１で
は、アンローダ部４００のテストトレイＴＳＴと窓部４
０６との間にバッファ部４０５を設け、このバッファ部
４０５に希にしか発生しないカテゴリの被試験ＩＣを一
時的に預かるようにしている。In the electronic component test apparatus 1 of the present embodiment, the test tray TST of the unloader 400 and the window 4
A buffer section 405 is provided between the buffer section 605 and the buffer section 405 to temporarily store an IC under test of a category that rarely occurs.
【００３７】多分類ストッカ 本実施形態の電子部品試験装置１では、仕分け可能なカ
テゴリーの最大が６種類であるものの、アンローダ部４
００の窓部４０６には最大４枚のカスタマトレイＫＳＴ
しか配置することができない。したがって、リアルタイ
ムに仕分けできるカテゴリは４分類に制限される。一般
的には、良品を高速応答素子、中速応答素子、低速応答
素子の３つのカテゴリに分類し、これに不良品を加えて
４つのカテゴリで充分ではあるが、たとえば再試験を必
要とするものなどのように、これらのカテゴリに属さな
いカテゴリが生じることもある。[0037] In the electronic device testing apparatus 1 of the multi-classification stocker present embodiment, although the maximum sortable category is six, the unloader section 4
The window 406 of 00 has a maximum of four customer trays KST
Can only be deployed. Therefore, the categories that can be sorted in real time are limited to four categories. In general, good products are classified into three categories: high-speed response elements, medium-speed response elements, and low-speed response elements, and four categories are added to this, including defective products. There may be categories that do not belong to these categories, such as things.
【００３８】このように、アンローダ部４００の窓部４
０６に配置された４つのカスタマトレイＫＳＴに割り当
てられたカテゴリー以外のカテゴリーに分類される被試
験ＩＣが発生した場合には、アンローダ部４００から１
枚のカスタマトレイＫＳＴをトレイ格納部２００に戻
し、これに代えて新たに発生したカテゴリーの被試験Ｉ
Ｃを格納すべきカスタマトレイＫＳＴをアンローダ部４
００に転送し、その被試験ＩＣを格納すればよい。ただ
し、仕分け作業の途中でカスタマトレイＫＳＴの入れ替
えを行うと、その間は仕分け作業を中断しなければなら
ず、スループットが低下するといった問題がある。この
ため、上述したバッファ部４０５に希にしか発生しない
カテゴリの試験済みＩＣを一時的に預かり、適当なタイ
ミングでそのカテゴリに応じたカスタマトレイＫＳＴを
窓部４０６に転送して移載する。As described above, the window section 4 of the unloader section 400
When an IC under test classified into a category other than the category assigned to the four customer trays KST arranged at 06 is generated, the unloader unit 400 outputs one IC.
The customer trays KST are returned to the tray storage unit 200, and the test I
Unloader unit 4 stores customer tray KST in which C is to be stored.
00 and store the IC under test. However, if the customer tray KST is replaced during the sorting operation, the sorting operation must be interrupted during that time, which causes a problem that the throughput is reduced. For this reason, tested ICs of a category that rarely occurs are temporarily stored in the buffer unit 405 described above, and the customer tray KST corresponding to the category is transferred to the window unit 406 and transferred at an appropriate timing.
【００３９】ただし、窓部４０６に呼び出せるカスタマ
トレイＫＳＴのカテゴリ数も最大６種類であり、それ以
上の分類数を設定することはできない。こうした分類数
の増加に対応するため、多分類ストッカ５００（ＳＴＫ
−ＯＰＴ）が、図１に示すように試験済みＩＣストッカ
２０２（ＳＴＫ−６）の側部に設けられている。However, the maximum number of categories of the customer tray KST that can be called into the window 406 is six, and it is not possible to set more categories. To cope with such an increase in the number of classifications, a multi-class stocker 500 (STK
-OPT) is provided on the side of the tested IC stocker 202 (STK-6) as shown in FIG.
【００４０】本例の多分類ストッカ５００を図４乃至図
６に示す。この多分類ストッカ５００は、カスタマトレ
イＫＳＴがそれぞれ搭載されるテーブル５０１と、この
それぞれのテーブル５０１を格納位置ＳＴと排出位置Ｄ
Ｃとに移動させるためのリニアガイド５０２およびロッ
ドレスシリンダ５０３と、排出位置ＤＣに移動したカス
タマトレイＫＳＴを載せて昇降させるテーブル５０４、
ボールネジ５０５およびステッピングモータ５０６とを
有する。FIGS. 4 to 6 show the multi-class stocker 500 of this embodiment. The multi-class stocker 500 includes a table 501 on which the customer trays KST are mounted, and stores the respective tables 501 in the storage position ST and the discharge position D.
C, a linear guide 502 and a rodless cylinder 503 for moving the customer tray KST moved to the discharge position DC, and a table 504 for moving up and down.
It has a ball screw 505 and a stepping motor 506.
【００４１】カスタマトレイＫＳＴを搭載するテーブル
５０１は、ロッドレスシリンダ５０３の作動によりリニ
アガイド５０２に沿って±Ｘ方向に往復移動し、テーブ
ル５０４の昇降によりカスタマトレイＫＳＴのみを載せ
るべく、その中央部がテーブル５０４が通過可能な程度
に切り欠かれている。本例の多分類ストッカ５００はこ
うしたテーブル５０１、リニアガイド５０２およびロッ
ドレスシリンダ５０３が５段に重ねられているので、試
験済みＩＣストッカ２０２による最大分類数（６種類）
に加えて、さらに５種類のカテゴリに対応できる。The table 501 on which the customer tray KST is mounted reciprocates in the ± X direction along the linear guide 502 by the operation of the rodless cylinder 503, and the table 501 is moved up and down so that only the customer tray KST is placed thereon. Are cut out so that the table 504 can pass through. In the multi-class stocker 500 of this example, since the table 501, the linear guide 502, and the rodless cylinder 503 are stacked in five stages, the maximum number of classes (six types) by the tested IC stocker 202 is obtained.
In addition to the above, five types of categories can be supported.
【００４２】一方、テーブル５０４は、ステッピングモ
ータ５０６の作動によりボールネジ５０５を介して±Ｚ
方向に昇降する。本例では最下段のテーブル５０１に搭
載されたカスタマトレイＫＳＴより下の位置から、トレ
イ移送アーム２０５との受け渡し位置（図７（Ａ）参
照）までの間を往復移動することができる。On the other hand, the table 504 is controlled by the operation of the stepping motor 506 so that ± Z
Go up and down in the direction. In this example, it is possible to reciprocate between a position below the customer tray KST mounted on the lowermost table 501 and a transfer position with the tray transfer arm 205 (see FIG. 7A).
【００４３】次に動作を説明する。ここでは図７（Ａ）
乃至（Ｃ）を参照しながら、多分類ストッカ５００（Ｓ
ＴＫ−ＯＰＴ）からアンローダ部４００の一方の窓部４
０６に対して、多分類ストッカ５００に格納されたカス
タマトレイＫＳＴをセットし、これを元に戻すまでの一
連の動作を説明する。その他のシーケンスにおいても、
本発明に関する多分類ストッカ５００の動作としては基
本的に同じであるためここでは省略する。なお、以下の
説明では窓部４０６にはカスタマトレイＫＳＴがセット
されていない状態から開始するものとする。Next, the operation will be described. Here, FIG.
To (C), the multi-class stocker 500 (S
TK-OPT) to one window 4 of the unloader section 400
A series of operations from setting the customer tray KST stored in the multi-class stocker 500 to setting the customer tray KST to the original position will be described. In other sequences,
The operation of the multi-class stocker 500 according to the present invention is basically the same and will not be described here. In the following description, it is assumed that the process starts from a state in which the customer tray KST is not set in the window 406.
【００４４】まず、試験済みＩＣのカテゴリに応じたカ
テゴリのカスタマトレイＫＳＴが格納されたテーブル５
０１を格納位置ＳＴから排出位置ＤＣへ移動させる。図
７（Ａ）に示す例では４段目のテーブル５０１を排出位
置ＤＣへ前進させる。次に、ステッピングモータ５０６
を作動してテーブル５０４を排出位置ＤＣに前進した先
程のカスタマトレイＫＳＴの下から上昇させ、当該カス
タマトレイＫＳＴをテーブル５０４に移載する。これと
相前後して、トレイ移送アーム２０５をＸ軸方向に駆動
して、多分類ストッカ５００の直上で停止させる。First, a table 5 in which customer trays KST of categories corresponding to the category of the tested IC are stored.
01 is moved from the storage position ST to the discharge position DC. In the example shown in FIG. 7A, the fourth table 501 is advanced to the discharge position DC. Next, the stepping motor 506
Is operated to raise the table 504 from below the customer tray KST, which has been advanced to the discharge position DC, and transfer the customer tray KST to the table 504. At about the same time, the tray transfer arm 205 is driven in the X-axis direction and stopped immediately above the multi-class stocker 500.
【００４５】次いで、目的とするカスタマトレイＫＳＴ
を載せたテーブル５０４をトレイ移送アーム２０５との
受け渡し位置まで上昇させる。以上の動作を図７（Ａ）
に示す。Next, the target customer tray KST
Is moved up to a transfer position with the tray transfer arm 205. The above operation is shown in FIG.
Shown in
【００４６】トレイ移送アーム２０５の一方のトレイ格
納部２０５ｂに目的とするカスタマトレイＫＳＴを移載
したら、テーブル５０４を僅かに下降させるとともに、
トレイ移送アーム２０５をアンローダ部４００の窓部４
０６の直下までＸ方向に移動させる。そして、その窓部
４０６に設けられた昇降テーブル４０７を上昇させ、ト
レイ移送アーム２０５のトレイ格納部２０５ｂに保持さ
れたカスタマトレイＫＳＴを昇降テーブル４０７に移載
する。以上の動作を図７（Ｂ）に示す。After the target customer tray KST has been transferred to one of the tray storage portions 205b of the tray transfer arm 205, the table 504 is slightly lowered, and
The tray transfer arm 205 is moved to the window 4 of the unloader 400.
Move in the X direction to just below 06. Then, the elevating table 407 provided in the window 406 is raised, and the customer tray KST held in the tray storage unit 205b of the tray transfer arm 205 is transferred to the elevating table 407. The above operation is shown in FIG.
【００４７】目的とするカスタマトレイＫＳＴが昇降テ
ーブル４０７に移載されたら、トレイ移送アーム２０５
をＸ軸方向の何れかへ移動させたのち、昇降テーブル４
０７を上昇させ、アンローダ部４００の窓部４０６にカ
スタマトレイＫＳＴをセットする。以上の動作を図７
（Ｃ）に示す。When the target customer tray KST is transferred to the elevating table 407, the tray transfer arm 205
Is moved in any of the X-axis directions, and then the lifting table 4
07 is raised, and the customer tray KST is set in the window section 406 of the unloader section 400. The above operation is shown in FIG.
It is shown in (C).
【００４８】以上のシーケンスにより、多分類ストッカ
５００からアンローダ部４００の窓部４０６に対して、
目的とするカテゴリのカスタマトレイＫＳＴがセットさ
れる。According to the above sequence, the multi-class stocker 500 moves the window 406 of the unloader unit 400
The customer tray KST of the target category is set.
【００４９】なお、この窓部４０６にセットされたカス
タマトレイＫＳＴに試験済みＩＣが搭載されたら、以上
のシーケンスの逆を実行して当該カスタマトレイＫＳＴ
を多分類ストッカ５００の元のテーブル５０１へ戻す。When a tested IC is mounted on the customer tray KST set in the window 406, the above sequence is reversed to execute the customer tray KST.
To the original table 501 of the multi-class stocker 500.
【００５０】このように、本実施形態の多分類ストッカ
５００は、トレイ格納部２００に併設されているので、
Ｘ−Ｙ搬送装置３０４，４０４の動作範囲を制約するこ
とがなく、カテゴリの増加に対しても柔軟に対応するこ
とができる。また、カスタマトレイＫＳＴの排出および
格納動作を全て自動化できるので、高速でトレイ交換を
行うことができる。As described above, since the multi-class stocker 500 of this embodiment is provided in the tray storage unit 200,
It is possible to flexibly cope with an increase in categories without restricting the operation range of the XY transport devices 304 and 404. Further, since all the operations of discharging and storing the customer tray KST can be automated, the tray can be replaced at a high speed.
【００５１】なお、以上説明した実施形態は、本発明の
理解を容易にするために記載されたものであって、本発
明を限定するために記載されたものではない。したがっ
て、上記の実施形態に開示された各要素は、本発明の技
術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨
である。The embodiments described above are described for the purpose of facilitating the understanding of the present invention, but are not described for limiting the present invention. Therefore, each element disclosed in the above embodiment is intended to include all design changes and equivalents belonging to the technical scope of the present invention.
【００５２】たとえば、上述した実施形態では、多分類
ストッカ５００からアンローダ部４００の窓部４０６へ
カスタマトレイＫＳＴをセットする場合、トレイ移送ア
ーム２０５を介してカスタマトレイＫＳＴを受け渡した
が、本発明の電子部品試験装置はトレイ移送アーム２０
５が存在しない、または存在してもカスタマトレイＫＳ
Ｔを直接窓部へセットするように構成することもでき
る。図８はその一例を示す図であり、この場合にはアン
ローダ部４００の窓部４０６の直下にテーブル５０４を
設け、排出位置ＤＣに前進したカスタマトレイＫＳＴを
テーブル５０４に載せ、そのまま上昇させて当該カスタ
マトレイＫＳＴを窓部４０６にセットする。そして、試
験済みＩＣが載せ替えられたら、テーブル５０４をその
まま下降させ、排出位置ＤＣに前進したままのテーブル
５０１に当該カスタマトレイＫＳＴを載せ替える。For example, in the above-described embodiment, when the customer tray KST is set from the multi-class stocker 500 to the window 406 of the unloader unit 400, the customer tray KST is transferred via the tray transfer arm 205. The electronic component testing device is a tray transfer arm 20
5 does not exist or customer tray KS exists even if it exists
T can be configured to be set directly on the window. FIG. 8 is a diagram showing an example of this case. In this case, a table 504 is provided immediately below the window 406 of the unloader unit 400, the customer tray KST advanced to the discharge position DC is placed on the table 504, and the customer tray KST is lifted as it is. The customer tray KST is set in the window 406. Then, when the tested IC is replaced, the table 504 is lowered as it is, and the customer tray KST is replaced on the table 501 that has been advanced to the discharge position DC.
【００５３】[0053]
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、多分
類ストッカをトレイ格納部のトレイストッカに併設した
ので試験装置の外形を大きくすることなく多分類が可能
となる。また、第１および第２の移動手段によりトレイ
の交換を自動化できる。As described above, according to the present invention, since the multi-class stocker is provided alongside the tray stocker in the tray storage section, multi-class can be performed without increasing the outer shape of the test apparatus. In addition, the tray exchange can be automated by the first and second moving means.
【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]
【図１】本発明の電子部品試験装置の実施形態を示す斜
視図である。FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of an electronic component test apparatus of the present invention.
【図２】図１に示す電子部品試験装置におけるトレイの
取り廻し方法を示す概念図である。FIG. 2 is a conceptual diagram showing a method of routing trays in the electronic component test apparatus shown in FIG.
【図３】図１のIII-III 線に沿う断面図である。FIG. 3 is a sectional view taken along line III-III in FIG.
【図４】本発明に係る多分類ストッカの実施形態を示す
斜視図である。FIG. 4 is a perspective view showing an embodiment of a multi-class stocker according to the present invention.
【図５】図４のＶ矢視図である。FIG. 5 is a view taken in the direction of the arrow V in FIG. 4;
【図６】図４のＶＩ矢視図である。FIG. 6 is a view taken in the direction of the arrow VI in FIG. 4;
【図７】本発明に係る多分類ストッカの動作の一例を示
す図である。FIG. 7 is a diagram showing an example of the operation of the multi-class stocker according to the present invention.
【図８】本発明に係る多分類ストッカの他の実施形態を
示す断面図である。FIG. 8 is a cross-sectional view showing another embodiment of the multi-class stocker according to the present invention.
１…電子部品試験装置 １００…チャンバ部 １０１…恒温槽 １０２…テストチャンバ １０３…除熱槽 １０４…テストヘッド ２００…トレイ格納部 ２０１…試験前ＩＣストッカ ２０２…試験済ＩＣストッカ ２０５…トレイ移送アーム（第３の移動手段） ３００…ローダ部 ３０４…Ｘ−Ｙ搬送装置 ３０６…窓部 ３０６ａ…保持用フック ３０７…昇降テーブル ４００…アンローダ部 ４０４…Ｘ−Ｙ搬送装置 ４０６…窓部 ４０６ａ…保持用フック ４０７…昇降テーブル ５００…多分類ストッカ ５０１…テーブル ５０２…リニアガイド（第１の移動手段） ５０３…ロッドレスシリンダ（第１の移動手段） ５０４…テーブル（第２の移動手段） ５０５…ボールネジ（第２の移動手段） ５０６…ステッピングモータ（第２の移動手段） ＳＴ…格納位置 ＤＣ…排出位置 ＫＳＴ…カスタマトレイ（トレイ） ＴＳＴ…テストトレイ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Electronic component test apparatus 100 ... Chamber part 101 ... Constant temperature chamber 102 ... Test chamber 103 ... Heat removal tank 104 ... Test head 200 ... Tray storage part 201 ... Pre-test IC stocker 202 ... Tested IC stocker 205 ... Tray transfer arm ( Third moving means) 300: loader unit 304: XY transfer device 306: window unit 306a: holding hook 307: elevating table 400: unloader unit 404: XY transfer device 406: window unit 406a: holding hook 407: lifting table 500: multi-class stocker 501: table 502: linear guide (first moving means) 503: rodless cylinder (first moving means) 504: table (second moving means) 505: ball screw (second 506 ... stepping motor (second moving means) ST Storage position DC ... discharge position KST ... customer tray (tray) TST ... test tray
Claims (4)
るトレイ格納部を備えた電子部品試験装置であって、 トレイが搭載される複数のテーブルと、前記テーブルを
格納位置と排出位置とに移動させる第１の移動手段と、
前記排出位置に移動したテーブルのトレイを所定のポジ
ションに移動させる第２の移動手段とを有し、前記トレ
イ格納部に設けられたトレイストッカに併設された多分
類ストッカを備えた電子部品試験装置。1. An electronic component test apparatus comprising a tray storage section for storing a tray for mounting an electronic component under test, comprising: a plurality of tables on which trays are mounted; First moving means for moving to
An electronic component test apparatus comprising: a second moving unit for moving a tray of the table moved to the discharge position to a predetermined position; and a multi-class stocker attached to a tray stocker provided in the tray storage unit. .
品をトレイに載せ替える位置である請求項１記載の電子
部品試験装置。2. The electronic component test apparatus according to claim 1, wherein the predetermined position is a position where the tested electronic component is replaced on a tray.
動させる第３の移動手段を有し、 前記所定のポジションが、前記第３の移動手段とのトレ
イの受け渡し位置である請求項１記載の電子部品試験装
置。3. The apparatus according to claim 1, further comprising: third moving means for moving a tray stored in the tray storing section, wherein the predetermined position is a transfer position of the tray with the third moving means. Electronic parts testing equipment.
記テーブルを格納位置と排出位置とに移動させる第１の
移動手段と、前記排出位置に移動したテーブルのトレイ
を所定のポジションに移動させる第２の移動手段とを有
し、電子部品試験装置のトレイ格納部に設けられたトレ
イストッカに併設される多分類ストッカ。4. A plurality of tables on which trays are mounted, first moving means for moving the tables to a storage position and a discharge position, and moving the trays of the tables moved to the discharge positions to predetermined positions. A multi-class stocker that has a second moving means and is provided alongside a tray stocker provided in a tray storage section of the electronic component test apparatus.
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