JP2001350100A - 顕微鏡装置 - Google Patents
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- G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
- G02B21/0016—Technical microscopes, e.g. for inspection or measuring in industrial production processes
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 新たにアタッチメントレンズを作製する等の
手間や費用をかけることなく多数の作動距離を選択可能
な顕微鏡装置を提供する。 【解決手段】 観察物体５０と顕微鏡１０の先端部との
距離をアタッチメントレンズ３０によって調節可能な顕
微鏡装置１において、光軸方向の寸法が異なる複数のア
ダプタ２０を備え、アダプタ２０の雄ねじ２１ａを顕微
鏡１０の先端部の雌ねじ１１ａに螺号させるとともに、
雌ねじ２２ａをアタッチメントレンズ３０に羅号させ
る。その結果、アダプタ２０を取り換えるだけで新たな
アタッチメントレンズ３０を作成したり顕微鏡の取り付
け位置を変更したりする等の手間や費用をかけることな
く、少数のアタッチメントレンズ３０で多数の作動距離
を選択することができ、設計の自由度を増やすことがで
きる。
手間や費用をかけることなく多数の作動距離を選択可能
な顕微鏡装置を提供する。 【解決手段】 観察物体５０と顕微鏡１０の先端部との
距離をアタッチメントレンズ３０によって調節可能な顕
微鏡装置１において、光軸方向の寸法が異なる複数のア
ダプタ２０を備え、アダプタ２０の雄ねじ２１ａを顕微
鏡１０の先端部の雌ねじ１１ａに螺号させるとともに、
雌ねじ２２ａをアタッチメントレンズ３０に羅号させ
る。その結果、アダプタ２０を取り換えるだけで新たな
アタッチメントレンズ３０を作成したり顕微鏡の取り付
け位置を変更したりする等の手間や費用をかけることな
く、少数のアタッチメントレンズ３０で多数の作動距離
を選択することができ、設計の自由度を増やすことがで
きる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は顕微鏡装置に関し、
特に検査装置、組立装置に組み込まれ、製品の監視に使
用される顕微鏡装置に関する。
特に検査装置、組立装置に組み込まれ、製品の監視に使
用される顕微鏡装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】顕微鏡装置は試料台に載置された物体を
観察するために使用されるだけでなく、検査装置や組立
装置に組み込まれ、製品の監視に使用されることが多
い。
観察するために使用されるだけでなく、検査装置や組立
装置に組み込まれ、製品の監視に使用されることが多
い。
【０００３】次に、顕微鏡装置をＩＣ等の半導体の組立
装置であるワイヤボンダーに組み込んだ場合を説明す
る。
装置であるワイヤボンダーに組み込んだ場合を説明す
る。
【０００４】図４は顕微鏡装置と半導体チップとの関係
を説明する図である。
を説明する図である。
【０００５】半導体チップ２５０はリードフレーム（不
図示）上のダイパッドに合金（金とシリコン）等によっ
て接合される（ダイボンディング）。
図示）上のダイパッドに合金（金とシリコン）等によっ
て接合される（ダイボンディング）。
【０００６】更に、リードフレームの端子から、ボンデ
ィングヘッド２４０により２５μｍ程度の細いワイヤ等
を接続する。
ィングヘッド２４０により２５μｍ程度の細いワイヤ等
を接続する。
【０００７】このワイヤ等の接続は顕微鏡装置２００で
観察しながら行われる。
観察しながら行われる。
【０００８】しかし、顕微鏡２１０の先端と半導体チッ
プ２５０との間にボンディングヘッド２４０や図示しな
いワイヤ供給装置等の障害物がある。
プ２５０との間にボンディングヘッド２４０や図示しな
いワイヤ供給装置等の障害物がある。
【０００９】そのため、顕微鏡装置２００は障害物を避
けて光軸Ｌが半導体チップ２５０に対して斜めになるよ
うに不図示の組立装置から延びたアーム２１５につり下
げられたマウント２１４によって保持される。
けて光軸Ｌが半導体チップ２５０に対して斜めになるよ
うに不図示の組立装置から延びたアーム２１５につり下
げられたマウント２１４によって保持される。
【００１０】この構成によってボンディングヘッド２４
０等によって遮られることなく半導体チップ２５０の観
察を行うことができる。
０等によって遮られることなく半導体チップ２５０の観
察を行うことができる。
【００１１】ところで、ワイヤボンダーには通常実体顕
微鏡が組み込まれ、ワイヤの張り具合やボンディングを
観察している。
微鏡が組み込まれ、ワイヤの張り具合やボンディングを
観察している。
【００１２】この実体顕微鏡は、観察作業を妨げない程
度の作動距離（物体と顕微鏡先端部との間の距離）Ｄ１
が設けられているが、図４に示すように障害物がある場
合には障害物を避けるために作動距離Ｄ１を変える必要
がある。
度の作動距離（物体と顕微鏡先端部との間の距離）Ｄ１
が設けられているが、図４に示すように障害物がある場
合には障害物を避けるために作動距離Ｄ１を変える必要
がある。
【００１３】そのため、従来は予め用意された図５に示
すようなアタッチメントレンズを用いて顕微鏡観察に都
合のよい作動距離となるように調整していた。
すようなアタッチメントレンズを用いて顕微鏡観察に都
合のよい作動距離となるように調整していた。
【００１４】図５はアタッチメントレンズを付加したと
きの顕微鏡装置と半導体チップとの関係を説明する図で
あり、図４と同一部分には同一符合を付してその説明を
省略する。
きの顕微鏡装置と半導体チップとの関係を説明する図で
あり、図４と同一部分には同一符合を付してその説明を
省略する。
【００１５】顕微鏡２１０の先端部のレンズ取付部（図
示せず）にはアタッチメントレンズ２３０が取り付けら
れている。
示せず）にはアタッチメントレンズ２３０が取り付けら
れている。
【００１６】アタッチメントレンズ２３０には通常凹レ
ンズ２３１が用いられるので、アタッチメントレンズ２
３０を取り付けたとき、半導体チップ２５０を位置Ｐ２
に位置させることができる。なお、アタッチメントレン
ズ２３０を取り付けないときの半導体チップ２５０を位
置はＰ１で示されている。
ンズ２３１が用いられるので、アタッチメントレンズ２
３０を取り付けたとき、半導体チップ２５０を位置Ｐ２
に位置させることができる。なお、アタッチメントレン
ズ２３０を取り付けないときの半導体チップ２５０を位
置はＰ１で示されている。
【００１７】そのため、作動距離はＤ１からＤ２へと長
くなり、半導体チップ２５０と顕微鏡の先端部の間隔が
広くなる。
くなり、半導体チップ２５０と顕微鏡の先端部の間隔が
広くなる。
【００１８】
【発明が解決しようとする課題】ところが、使用する組
立装置によって必要とされる作動距離は異なる。
立装置によって必要とされる作動距離は異なる。
【００１９】これに対し、従来は作動距離の異なる（焦
点距離の異なる）複数のアタッチメントレンズを用意し
ていた。
点距離の異なる）複数のアタッチメントレンズを用意し
ていた。
【００２０】例えば、アタッチメントレンズのない状態
の作動距離が１００ｍｍの顕微鏡装置に対して、作動距
離が１３０ｍｍ、１８０ｍｍ、２３０ｍｍ、２８０ｍｍ
等のアタッチメントレンズがアクセサリとして用意され
ている。
の作動距離が１００ｍｍの顕微鏡装置に対して、作動距
離が１３０ｍｍ、１８０ｍｍ、２３０ｍｍ、２８０ｍｍ
等のアタッチメントレンズがアクセサリとして用意され
ている。
【００２１】しかし、用意されているアタッチメントレ
ンズ以外の作動距離が必要な場合には、新たにアタッチ
メントレンズを作製したり、組立装置のマウント等の顕
微鏡の取り付け位置を変更する必要があり、多くの手間
と費用とがかかってしまうという問題がある。
ンズ以外の作動距離が必要な場合には、新たにアタッチ
メントレンズを作製したり、組立装置のマウント等の顕
微鏡の取り付け位置を変更する必要があり、多くの手間
と費用とがかかってしまうという問題がある。
【００２２】この発明はこのような事情に鑑みてなされ
たもので、その課題は新たにアタッチメントレンズを作
製する等の手間や費用をかけることなく多数の作動距離
を選択可能な顕微鏡装置を提供することである。
たもので、その課題は新たにアタッチメントレンズを作
製する等の手間や費用をかけることなく多数の作動距離
を選択可能な顕微鏡装置を提供することである。
【００２３】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に請求項１に記載の発明は、観察物体（５０）と顕微鏡
（１０）の先端部との距離を補助レンズによって調節可
能な顕微鏡装置において、前記顕微鏡の先端部と前記補
助レンズとの間に装着可能であって、光軸方向の寸法を
有する中間部材を備え、前記中間部材には前記顕微鏡の
先端部のレンズ取付部に着脱可能な第１の結合部と前記
補助レンズに着脱可能な第２の結合部とが形成されてい
ることを特徴とする。
に請求項１に記載の発明は、観察物体（５０）と顕微鏡
（１０）の先端部との距離を補助レンズによって調節可
能な顕微鏡装置において、前記顕微鏡の先端部と前記補
助レンズとの間に装着可能であって、光軸方向の寸法を
有する中間部材を備え、前記中間部材には前記顕微鏡の
先端部のレンズ取付部に着脱可能な第１の結合部と前記
補助レンズに着脱可能な第２の結合部とが形成されてい
ることを特徴とする。
【００２４】中間部材の第１の結合部を顕微鏡の先端部
のレンズ取付部に取り付け、第２の結合部を補助レンズ
に取り付けることによって、所望の作動距離とすること
ができる。
のレンズ取付部に取り付け、第２の結合部を補助レンズ
に取り付けることによって、所望の作動距離とすること
ができる。
【００２５】請求項２に記載の発明は、観察物体（５
０）と顕微鏡（１０）の先端部との距離を補助レンズ
（アタッチメントレンズ３０）によって調節可能な顕微
鏡装置において、前記顕微鏡の先端部と前記補助レンズ
との間に装着可能であって、光軸方向の寸法が異なる複
数の中間部材のうちから選択された１つの中間部材（ア
ダプタ２０）を備え、前記中間部材には前記顕微鏡の先
端部のレンズ取付部（雌ねじ１１ａ）に着脱可能な第１
の結合部（雄ねじ２１ａ）と前記補助レンズに着脱可能
な第２の結合部（雌ねじ２２ａ）とが形成されているこ
とを特徴とする。
０）と顕微鏡（１０）の先端部との距離を補助レンズ
（アタッチメントレンズ３０）によって調節可能な顕微
鏡装置において、前記顕微鏡の先端部と前記補助レンズ
との間に装着可能であって、光軸方向の寸法が異なる複
数の中間部材のうちから選択された１つの中間部材（ア
ダプタ２０）を備え、前記中間部材には前記顕微鏡の先
端部のレンズ取付部（雌ねじ１１ａ）に着脱可能な第１
の結合部（雄ねじ２１ａ）と前記補助レンズに着脱可能
な第２の結合部（雌ねじ２２ａ）とが形成されているこ
とを特徴とする。
【００２６】選択された中間部材の第１の結合部を顕微
鏡の先端部のレンズ取付部に取り付け、第２の結合部を
補助レンズに取り付けることによって、所望の作動距離
を選択することができる。
鏡の先端部のレンズ取付部に取り付け、第２の結合部を
補助レンズに取り付けることによって、所望の作動距離
を選択することができる。
【００２７】請求項３に記載の発明は、観察物体（５
０）と顕微鏡（１０）の先端部との距離を補助レンズに
よって調節可能な顕微鏡装置において、前記顕微鏡の先
端部と前記補助レンズ（アタッチメントレンズ３０）と
の間に装着可能であって、光軸方向の寸法が異なる複数
の環状部材が連結してなる中間部材（１２０）を備え、
前記中間部材の環状部材には、前記顕微鏡の先端部のレ
ンズ取付部（雌ねじ１１ａ）に着脱可能な第１の結合部
（雄ねじ１２７ａ）を備える顕微鏡取付部（１２６）
と、前記補助レンズに着脱可能な第２の結合部（雌ねじ
１２３ａ）を備え、前記顕微鏡取付部（１２６）に対し
て前記顕微鏡の光軸方向へ移動可能に取り付けられた補
助レンズ取付部（１２１）とが含まれていることを特徴
とする。
０）と顕微鏡（１０）の先端部との距離を補助レンズに
よって調節可能な顕微鏡装置において、前記顕微鏡の先
端部と前記補助レンズ（アタッチメントレンズ３０）と
の間に装着可能であって、光軸方向の寸法が異なる複数
の環状部材が連結してなる中間部材（１２０）を備え、
前記中間部材の環状部材には、前記顕微鏡の先端部のレ
ンズ取付部（雌ねじ１１ａ）に着脱可能な第１の結合部
（雄ねじ１２７ａ）を備える顕微鏡取付部（１２６）
と、前記補助レンズに着脱可能な第２の結合部（雌ねじ
１２３ａ）を備え、前記顕微鏡取付部（１２６）に対し
て前記顕微鏡の光軸方向へ移動可能に取り付けられた補
助レンズ取付部（１２１）とが含まれていることを特徴
とする。
【００２８】顕微鏡取付部の第１の結合部を顕微鏡の先
端部のレンズ取付部に取り付け、補助レンズ取付部の第
２の結合部を補助レンズに取り付け、補助レンズ取付部
を顕微鏡取付部に対して顕微鏡の光軸方向へ移動させて
所望の作動距離を選択する。
端部のレンズ取付部に取り付け、補助レンズ取付部の第
２の結合部を補助レンズに取り付け、補助レンズ取付部
を顕微鏡取付部に対して顕微鏡の光軸方向へ移動させて
所望の作動距離を選択する。
【００２９】
【発明の実施の形態】図１はこの発明の第１実施形態に
係る顕微鏡装置の一部を破断して示した側面図である。
係る顕微鏡装置の一部を破断して示した側面図である。
【００３０】顕微鏡装置１は顕微鏡１０とアダプタ（中
間部材）２０とアタッチメントレンズ（補助レンズ）３
０とを備えている。
間部材）２０とアタッチメントレンズ（補助レンズ）３
０とを備えている。
【００３１】顕微鏡１０は顕微鏡本体部１１と鏡筒１２
とを備える。鏡筒１２には対物レンズ（図示せず）によ
って生じた物体５０の像を肉眼で観察できるように拡大
する接眼レンズ１３が設けられている。
とを備える。鏡筒１２には対物レンズ（図示せず）によ
って生じた物体５０の像を肉眼で観察できるように拡大
する接眼レンズ１３が設けられている。
【００３２】アダプタ２０は小径部２１と大径部２２と
を有し、厚さ（光軸方向の寸法）ｄを異にするものが複
数用意されている。
を有し、厚さ（光軸方向の寸法）ｄを異にするものが複
数用意されている。
【００３３】小径部２１の外周面には雄ねじ（第１の結
合部）２１ａが形成され、この雄ねじ２１ａは顕微鏡本
体部１１（顕微鏡１０）の先端部に形成された雌ねじ
（レンズ取付部）１１ａに螺合している。
合部）２１ａが形成され、この雄ねじ２１ａは顕微鏡本
体部１１（顕微鏡１０）の先端部に形成された雌ねじ
（レンズ取付部）１１ａに螺合している。
【００３４】大径部２２の内周面には雌ねじ（第２の結
合部）２２ａが形成され、この雌ねじ２２ａはアタッチ
メントレンズ３０の雄ねじ３０ａに螺合している。
合部）２２ａが形成され、この雌ねじ２２ａはアタッチ
メントレンズ３０の雄ねじ３０ａに螺合している。
【００３５】アタッチメントレンズ３０には凹レンズ３
１が内蔵され、この凹レンズ３１によってアタッチメン
トレンズ３０作動距離（焦点距離）Ｄを変えている。
１が内蔵され、この凹レンズ３１によってアタッチメン
トレンズ３０作動距離（焦点距離）Ｄを変えている。
【００３６】アタッチメントレンズ３０には作動距離を
例えば１３０ｍｍ、１８０ｍｍ、２３０ｍｍ、２８０ｍ
ｍ等としたものが複数用意されている。
例えば１３０ｍｍ、１８０ｍｍ、２３０ｍｍ、２８０ｍ
ｍ等としたものが複数用意されている。
【００３７】作動距離は次の方法によって求められる。
【００３８】図２は凹レンズ３１が薄肉レンズの場合の
物体とアタッチメントレンズと像との関係を説明する図
である。
物体とアタッチメントレンズと像との関係を説明する図
である。
【００３９】図２において実線はアダプタ２０の装着前
を示し、点線はアダプタ２０の装着後を示す。
を示し、点線はアダプタ２０の装着後を示す。
【００４０】物体５０から凹レンズ３１までの距離を
ａ、像面５１から凹レンズ３１までの距離をｂとしたと
き、アタッチメントレンズ３０の倍率βは β＝ｂ／ａ （１） 物体５０と凹レンズ３１との間の距離の変化Δａは Δａ＝Δｂ／β2 （２） で求めることができる。
ａ、像面５１から凹レンズ３１までの距離をｂとしたと
き、アタッチメントレンズ３０の倍率βは β＝ｂ／ａ （１） 物体５０と凹レンズ３１との間の距離の変化Δａは Δａ＝Δｂ／β2 （２） で求めることができる。
【００４１】ここで、Δｂは像面５１から凹レンズ３１
までの距離の変化量である。
までの距離の変化量である。
【００４２】例えば、ａ＝２４５ｍｍ，ｂ＝１００ｍｍ
としたとき、（１）式からβ＝０．４となる。
としたとき、（１）式からβ＝０．４となる。
【００４３】また、アダプタ２０の厚さｄをｄ＝３．５
ｍｍとしたとき、変化量ΔｂはΔｂ＝−３．５ｍｍであ
るので、(２)式からΔａ≒−２０ｍｍとなる。
ｍｍとしたとき、変化量ΔｂはΔｂ＝−３．５ｍｍであ
るので、(２)式からΔａ≒−２０ｍｍとなる。
【００４４】すなわち、作動距離（図３のａ′）は（Ｄ
−２０）ｍｍとなる。
−２０）ｍｍとなる。
【００４５】この実施形態によれば、アダプタ２０を取
り換えるだけで新たなアタッチメントレンズ３０を作成
したり顕微鏡の取り付け位置を変更したりする等の手間
や費用をかけることなく、少数のアタッチメントレンズ
３０で多数の作動距離を選択することができる。また、
組立装置を設計するとき、顕微鏡１０の取り付け位置に
制限を受けず、設計の自由度が増す。
り換えるだけで新たなアタッチメントレンズ３０を作成
したり顕微鏡の取り付け位置を変更したりする等の手間
や費用をかけることなく、少数のアタッチメントレンズ
３０で多数の作動距離を選択することができる。また、
組立装置を設計するとき、顕微鏡１０の取り付け位置に
制限を受けず、設計の自由度が増す。
【００４６】図３はこの発明の第２実施形態に係る顕微
鏡装置の一部を破断して示した側面図であり、第１実施
形態と同一部分には同一符合を付してその説明を省略す
る。
鏡装置の一部を破断して示した側面図であり、第１実施
形態と同一部分には同一符合を付してその説明を省略す
る。
【００４７】アダプタ（中間部材）１２０は顕微鏡取付
部１２６と補助レンズ取付部１２１とを有する。
部１２６と補助レンズ取付部１２１とを有する。
【００４８】顕微鏡取付部１２６は環状であり、小径部
１２７と大径部１２８とを有する。
１２７と大径部１２８とを有する。
【００４９】小径部１２７の外周面には雄ねじ（第１の
結合部）１２７ａが形成され、この雄ねじ１２７ａは顕
微鏡本体部１１（顕微鏡１０）の先端部に形成された雌
ねじ（レンズ取付部）１１ａに螺合している。
結合部）１２７ａが形成され、この雄ねじ１２７ａは顕
微鏡本体部１１（顕微鏡１０）の先端部に形成された雌
ねじ（レンズ取付部）１１ａに螺合している。
【００５０】大径部１２８の内周面には雌ねじ１２４ａ
が形成されている。
が形成されている。
【００５１】補助レンズ取付部１２１は環状であり、小
径部１２２と大径部１２３とを有する。
径部１２２と大径部１２３とを有する。
【００５２】大径部１２３の内周面には雌ねじ（第２の
結合部）１２３ａが形成され、この雌ねじ１２３ａはア
タッチメントレンズ３０の雄ねじ３０ａに螺合してい
る。
結合部）１２３ａが形成され、この雌ねじ１２３ａはア
タッチメントレンズ３０の雄ねじ３０ａに螺合してい
る。
【００５３】小径部１２２の外周面には雄ねじ（第１の
結合部）１２２ａが形成され、この雄ねじ１２２ａは顕
微鏡取付部１２６の大径部１２８の内周面に形成された
雌ねじ１２４ａと螺合している。
結合部）１２２ａが形成され、この雄ねじ１２２ａは顕
微鏡取付部１２６の大径部１２８の内周面に形成された
雌ねじ１２４ａと螺合している。
【００５４】補助レンズ取付部１２１を回転させること
によってアダプタ１２０の厚さｄ（アダプタ１２０の光
軸方向の寸法）が変化する。作動距離の変化量は第１実
施例と同様である。
によってアダプタ１２０の厚さｄ（アダプタ１２０の光
軸方向の寸法）が変化する。作動距離の変化量は第１実
施例と同様である。
【００５５】この実施形態によれば、第１実施形態より
も多くの作動距離を選択することができる。また、作動
距離が可変であることから物体５０（図１参照）と顕微
鏡１０の間隔を連続的に可変することができるので、ア
ダプタ１２０によってピント合わせができることにもな
り、顕微鏡装置１の操作性が向上する。
も多くの作動距離を選択することができる。また、作動
距離が可変であることから物体５０（図１参照）と顕微
鏡１０の間隔を連続的に可変することができるので、ア
ダプタ１２０によってピント合わせができることにもな
り、顕微鏡装置１の操作性が向上する。
【００５６】
【発明の効果】以上に説明したように請求項１又は２に
記載の発明の顕微鏡装置によれば、新たな補助レンズを
作成したり顕微鏡の取り付け位置を変更したりする等の
手間や費用をかけることなく、少数の補助レンズで多数
の作動距離を選択することができる。また、組立装置を
設計するとき、顕微鏡の取り付け位置に制限を受けず、
設計の自由度が増す。
記載の発明の顕微鏡装置によれば、新たな補助レンズを
作成したり顕微鏡の取り付け位置を変更したりする等の
手間や費用をかけることなく、少数の補助レンズで多数
の作動距離を選択することができる。また、組立装置を
設計するとき、顕微鏡の取り付け位置に制限を受けず、
設計の自由度が増す。
【００５７】請求項３に記載の発明の顕微鏡装置によれ
ば、請求項１よりも多くの作動距離を選択することがで
きる。また、作動距離が可変であることから物体と顕微
鏡の間隔を連続的に可変することができるので、中間部
材によってピント合わせができることにもなり、顕微鏡
の操作性が向上する。
ば、請求項１よりも多くの作動距離を選択することがで
きる。また、作動距離が可変であることから物体と顕微
鏡の間隔を連続的に可変することができるので、中間部
材によってピント合わせができることにもなり、顕微鏡
の操作性が向上する。
【図１】図１はこの発明の第１実施形態に係る顕微鏡装
置の一部を破断して示した側面図である。
置の一部を破断して示した側面図である。
【図２】図２は凹レンズ３１が薄肉レンズの場合の物体
とアタッチメントレンズと像との関係を説明する図であ
る。
とアタッチメントレンズと像との関係を説明する図であ
る。
【図３】図３はこの発明の第２実施形態に係る顕微鏡装
置の一部を破断して示した側面図である。
置の一部を破断して示した側面図である。
【図４】図４は顕微鏡装置と半導体チップとの関係を説
明する図である。
明する図である。
【図５】図５はアタッチメントレンズを付加したときの
顕微鏡装置と半導体チップとの関係を説明する図であ
る。
顕微鏡装置と半導体チップとの関係を説明する図であ
る。
１ 顕微鏡装置 １０ 顕微鏡 １１ａ 雌ねじ（レンズ取付部） ２，１２０ アダプタ（中間部材） ２１ａ，１２７ａ 雄ねじ（第１の結合部） ２２ａ，１２３ａ 雌ねじ（第２の結合部） ３０ アタッチメントレンズ（補助レンズ） ５０ 物体 １２１ 補助レンズ取付部 １２６ 顕微鏡取付部
Claims (3)
- 【請求項１】 観察物体と顕微鏡の先端部との距離を補
助レンズによって調節可能な顕微鏡装置において、 前記顕微鏡の先端部と前記補助レンズとの間に装着可能
であって、光軸方向の寸法を有する中間部材を備え、 前記中間部材には前記顕微鏡の先端部のレンズ取付部に
着脱可能な第１の結合部と前記補助レンズに着脱可能な
第２の結合部とが形成されていることを特徴とする顕微
鏡装置。 - 【請求項２】 観察物体と顕微鏡の先端部との距離を補
助レンズによって調節可能な顕微鏡装置において、 前記顕微鏡の先端部と前記補助レンズとの間に装着可能
であって、光軸方向の寸法が異なる複数の中間部材のう
ちから選択された１つの中間部材を備え、 前記中間部材には前記顕微鏡の先端部のレンズ取付部に
着脱可能な第１の結合部と前記補助レンズに着脱可能な
第２の結合部とが形成されていることを特徴とする顕微
鏡装置。 - 【請求項３】 観察物体と顕微鏡の先端部との距離を補
助レンズによって調節可能な顕微鏡装置において、 前記顕微鏡の先端部と前記補助レンズとの間に装着可能
であって、光軸方向の寸法が異なる複数の環状部材が連
結してなる中間部材を備え、 前記中間部材の環状部材には、前記顕微鏡の先端部のレ
ンズ取付部に着脱可能な第１の結合部を備える顕微鏡取
付部と、前記補助レンズに着脱可能な第２の結合部を備
え、前記顕微鏡取付部に対して前記顕微鏡の光軸方向へ
移動可能に取り付けられた補助レンズ取付部とが含まれ
ていることを特徴とする顕微鏡装置。
Priority Applications (3)
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|---|---|---|---|
| JP2000167871A JP2001350100A (ja) | 2000-06-05 | 2000-06-05 | 顕微鏡装置 |
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| KR1020010031407A KR20010110212A (ko) | 2000-06-05 | 2001-06-05 | 현미경장치 |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP2000167871A JP2001350100A (ja) | 2000-06-05 | 2000-06-05 | 顕微鏡装置 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001350100A true JP2001350100A (ja) | 2001-12-21 |
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ID=18670968
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP2000167871A Withdrawn JP2001350100A (ja) | 2000-06-05 | 2000-06-05 | 顕微鏡装置 |
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|---|---|
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| JP (1) | JP2001350100A (ja) |
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- 2001-06-05 KR KR1020010031407A patent/KR20010110212A/ko not_active Application Discontinuation
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| KR100700621B1 (ko) * | 2005-12-02 | 2007-03-28 | 합명회사 서우테크 | 티씨피/씨오에프 외관검사기의 확대경 난반사 방지구 |
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| KR20010110212A (ko) | 2001-12-12 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
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