JP2001337109A - Contact probe - Google Patents

Contact probe

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JP2001337109A
JP2001337109A JP2000156736A JP2000156736A JP2001337109A JP 2001337109 A JP2001337109 A JP 2001337109A JP 2000156736 A JP2000156736 A JP 2000156736A JP 2000156736 A JP2000156736 A JP 2000156736A JP 2001337109 A JP2001337109 A JP 2001337109A
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Japan
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probe
contact
elastic deformation
probe body
main body
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JP2000156736A
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Japanese (ja)
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Tadashi Tomoi
忠司 友井
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Hioki EE Corp
Original Assignee
Hioki EE Corp
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Publication date
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    • G01R1/02General constructional details
    • G01R1/06Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067Measuring probes
    • G01R1/06711Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
    • G01R1/06733Geometry aspects
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    • GPHYSICS
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a contact probe capable of accurate probing to an inspection position, while preventing damages to the probe body and the subject of inspection. SOLUTION: The contact probe 1 includes the elastically deformable linear probe body 3; a fixing part 12 to which the rear end portion 21 of the probe body 3 is fixed; and a probe holder 2 having a guide part 13 for guiding the front end 21 of the probe body 3 in a prescribed direction when the probe body is deformed elastically. The contact probe 1 also includes a first elastic deformation restricting plate 14 fixed to the probe holder 2, for preventing the probe body 3 from being elastically deformed in the direction of contact, when a side face 23 between the rear end portion 21 and the front end portion 22 of the probe body 3 deformed elastically makes contact therewith.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、弾性変形可能な線
状のプローブ本体と、そのプローブ本体を保持するプロ
ーブ保持具とを有するコンタクトプローブに関するもの
である。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a contact probe having an elastically deformable linear probe main body and a probe holder for holding the probe main body.

【0002】[0002]

【従来の技術】この種のコンタクトプローブとして、図
5,6に示すコンタクトプローブ51が従来から知られ
ている。このコンタクトプローブ51は、例えば回路基
板検査装置に装着されて所定の電気的検査を実行するた
めのものであって、回路基板検査装置におけるプローブ
案内機構(図示せず)に取り付けられるプローブ保持具
52と、プローブ保持具52によって保持された状態で
プローブ案内機構の案内に従って所定の検査位置に接触
させられるプローブ本体3とを備えている。プローブ保
持具52は、プローブ案内機構に取り付けるための取付
部11と、プローブ本体3の後端部を圧入して固定する
ための圧入用孔12aが形成されたプローブ固定部12
と、プローブ本体3の先端部を挿通可能なガイド孔13
aが形成された案内部13とを一体化して構成され、図
6(a)に示すように、その側面視形状がコ字状に形成
されている。
2. Description of the Related Art As a contact probe of this type, a contact probe 51 shown in FIGS. The contact probe 51 is mounted on, for example, a circuit board inspection apparatus to execute a predetermined electrical inspection, and is provided with a probe holder 52 attached to a probe guide mechanism (not shown) in the circuit board inspection apparatus. And a probe main body 3 that is brought into contact with a predetermined inspection position in accordance with the guidance of the probe guide mechanism while being held by the probe holder 52. The probe holder 52 includes an attachment portion 11 for attachment to the probe guide mechanism, and a probe fixing portion 12 having a press-fitting hole 12a for press-fitting and fixing the rear end of the probe main body 3.
And a guide hole 13 through which the distal end of the probe body 3 can be inserted.
6A is formed integrally with the guide portion 13 formed with a. As shown in FIG. 6A, the side view shape is formed in a U-shape.

【0003】一方、プローブ本体3は、いわゆる座屈型
プローブであって、金属製弾性細線を所定形状に曲げ加
工して製作されている。このプローブ本体3では、その
後端部21がプローブ保持具52の圧入用孔12aに圧
入されてプローブ固定部12から上方に突出させられる
と共に、その先端部22がガイド孔13aに挿通させら
れて案内部13から下方に突出させられている。また、
後端部21および先端部22の中間部位である変形部2
3は、プロービング時に先端部22が相対的に上動し易
いように予め曲げ加工されており、プロービング時に
は、弾性変形して先端部22を回路基板に向けて付勢す
る。
On the other hand, the probe body 3 is a so-called buckling type probe, and is manufactured by bending a metal elastic thin wire into a predetermined shape. In the probe main body 3, the rear end 21 is press-fitted into the press-fitting hole 12a of the probe holder 52 so as to protrude upward from the probe fixing portion 12, and the distal end 22 is inserted into the guide hole 13a to guide the probe. It protrudes downward from the part 13. Also,
Deformed portion 2 which is an intermediate portion between rear end portion 21 and front end portion 22
3 is bent in advance so that the distal end portion 22 is relatively easily moved upward during probing, and elastically deforms to bias the distal end portion 22 toward the circuit board during probing.

【0004】このコンタクトプローブ51を用いた電気
的検査に際しては、まず、コンタクトプローブ51をプ
ローブ案内機構に取り付ける。次に、プローブ案内機構
がコンタクトプローブ51を所定の検査位置に移動させ
て回路基板の表面Xに向けて下動させることにより、プ
ローブ本体3の先端を表面Xに接触させる。次いで、図
7に示すように、プローブ案内機構が、回路基板に向け
てプローブ保持具52をさらに下動させることにより、
プローブ本体3の変形部23が弾性変形する。この際に
は、変形部23の弾性変形に伴い、先端部22が、ガイ
ド孔13aの案内に従って後端部21に対して相対的に
上動させられ、これにより、プローブ本体3の先端が、
回路基板の表面Xに向けて付勢される。この後、プロー
ブ本体3を介して回路基板に検査用信号を出力すること
により、所定の電気的検査を実行する。
[0004] In the electrical inspection using the contact probe 51, first, the contact probe 51 is attached to a probe guide mechanism. Next, the probe guide mechanism moves the contact probe 51 to a predetermined inspection position and moves the contact probe 51 downward toward the surface X of the circuit board, thereby bringing the tip of the probe main body 3 into contact with the surface X. Next, as shown in FIG. 7, the probe guide mechanism further lowers the probe holder 52 toward the circuit board,
The deformation portion 23 of the probe body 3 is elastically deformed. At this time, with the elastic deformation of the deformable portion 23, the distal end portion 22 is relatively moved upward with respect to the rear end portion 21 according to the guide of the guide hole 13a.
It is urged toward the surface X of the circuit board. Thereafter, a predetermined electrical test is executed by outputting a test signal to the circuit board via the probe main body 3.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ところが、従来のコン
タクトプローブ51には、以下の問題点がある。すなわ
ち、従来のコンタクトプローブ51では、変形部23を
予め曲げ加工しておくことにより、弾性変形し易い向き
が予め規定されている。しかし、例えば高速なプロービ
ングを実行した際には、図8(a)に示すように、変形
部23が、本来的には弾性変形しにくい方向にも変形す
ることがある。かかる場合には、同図(b)に実線で示
すように、先端部22が傾くため、その先端が、接触さ
せられるべき本来の位置(同図に破線で示すプローブ本
体3の接触位置)から位置ずれした位置に接触するとい
う問題点がある。また、変形部23が、予め規定された
向き以外の向きにも変形した場合には、先端部22がガ
イド孔13aの縁部に強く押し当てられてプローブ本体
3とプローブ保持具52との間に摩擦力が生じるため、
プローブ本体3の摺動が妨げられる結果、プローブ本体
3の先端が回路基板の表面Xに向けて強く押し付けられ
る。したがって、コンタクトプローブ51には、プロー
ブ本体3の損傷や回路基板の傷付きを招くことがあると
いう問題も存在する。
However, the conventional contact probe 51 has the following problems. That is, in the conventional contact probe 51, the direction in which the deformable portion 23 is easily elastically deformed is defined in advance by bending the deformable portion 23 in advance. However, for example, when high-speed probing is performed, as shown in FIG. 8A, the deformable portion 23 may deform in a direction in which elastic deformation is originally difficult. In such a case, as shown by the solid line in FIG. 4B, the tip 22 is inclined, so that the tip moves from the original position to be brought into contact (the contact position of the probe main body 3 shown by the broken line in FIG. 4). There is a problem that it touches a position shifted. When the deforming portion 23 is deformed in a direction other than the direction defined in advance, the distal end portion 22 is strongly pressed against the edge of the guide hole 13a and the gap between the probe main body 3 and the probe holder 52 is formed. Produces frictional force on
As a result of preventing the probe body 3 from sliding, the tip of the probe body 3 is strongly pressed toward the surface X of the circuit board. Therefore, the contact probe 51 also has a problem that the probe body 3 may be damaged or the circuit board may be damaged.

【0006】本発明は、かかる問題点に鑑みてなされた
ものであり、プローブ本体の損傷および検査対象体の傷
付きを防止しつつ、検査位置への正確なプロービングが
可能なコンタクトプローブを提供することを主目的とす
る。
The present invention has been made in view of the above problems, and provides a contact probe capable of accurately probing to an inspection position while preventing damage to a probe body and damage to an inspection object. Its main purpose is to:

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成すべく請
求項1記載のコンタクトプローブは、弾性変形可能な線
状のプローブ本体と、プローブ本体における後端部を固
定する固定部、および弾性変形状態におけるプローブ本
体の先端部を所定方向に案内する案内部を有するプロー
ブ保持具とを備えているコンタクトプローブにおいて、
プローブ保持具に固定されると共に弾性変形状態におけ
るプローブ本体の後端部および先端部の間の側面が接触
した際にプローブ本体に対して接触方向への弾性変形を
阻止する第1の弾性変形規制板を備えていることを特徴
とする。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a contact probe, comprising: a linear probe body capable of elastic deformation; a fixing portion for fixing a rear end of the probe body; A probe holder having a guide portion for guiding the distal end portion of the probe body in a predetermined direction in the state,
A first elastic deformation regulation that is fixed to the probe holder and that prevents elastic deformation in the contact direction with respect to the probe body when the side surface between the rear end and the front end of the probe body in the elastic deformation state contacts. It is characterized by having a plate.

【0008】請求項2記載のコンタクトプローブは、請
求項1記載のコンタクトプローブにおいて、プローブ本
体を挟んで第1の弾性変形規制板に対向するようにプロ
ーブ保持具に固定されると共に弾性変形状態におけるプ
ローブ本体の側面が接触した際にプローブ本体に対して
接触方向への弾性変形を阻止する第2の弾性変形規制板
をさらに備えていることを特徴とする。
According to a second aspect of the present invention, in the contact probe according to the first aspect, the contact probe is fixed to the probe holder so as to face the first elastic deformation regulating plate with the probe body interposed therebetween and is in an elastically deformed state. It is characterized by further comprising a second elastic deformation restricting plate for preventing elastic deformation of the probe main body in the contact direction when the side surface of the probe main body comes into contact.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して、本発
明に係るコンタクトプローブの好適な発明の実施の形態
について説明する。なお、従来のコンタクトプローブ5
1と同一の構成要素については、同一の符号を付して重
複した説明を省略する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of a contact probe according to the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. The conventional contact probe 5
The same components as those in 1 are denoted by the same reference numerals, and redundant description will be omitted.

【0010】最初に、本発明におけるコンタクトプロー
ブ1の構成について、図1,2を参照して説明する。
First, the configuration of the contact probe 1 according to the present invention will be described with reference to FIGS.

【0011】コンタクトプローブ1は、例えば回路基板
検査装置に装着され、その回路基板検査装置による所定
の電気的検査の際に、検査対象の回路基板に接触可能に
構成されている。具体的には、図1,2に示すように、
コンタクトプローブ1は、回路基板検査装置におけるプ
ローブ案内機構に取り付けられるプローブ保持具2と、
金属製弾性細線を所定形状に曲げ加工して製作されると
共にプローブ保持具2によって保持された状態でプロー
ブ案内機構の案内に従って回路基板に接触させられるプ
ローブ本体3とを備えている。この場合、プローブ保持
具2は、取付部11、プローブ固定部12および案内部
13が、例えばポリアセタール樹脂で一体成形され、図
2(a)に示すように、その側面視形状がコ字状に形成
されている。
The contact probe 1 is mounted on, for example, a circuit board inspection apparatus, and is configured to be able to contact a circuit board to be inspected at the time of a predetermined electrical inspection by the circuit board inspection apparatus. Specifically, as shown in FIGS.
The contact probe 1 includes a probe holder 2 attached to a probe guide mechanism in a circuit board inspection device;
A probe main body 3 is manufactured by bending a metal elastic thin wire into a predetermined shape, and is brought into contact with a circuit board in accordance with the guidance of the probe guide mechanism while being held by the probe holder 2. In this case, in the probe holder 2, the mounting portion 11, the probe fixing portion 12, and the guide portion 13 are integrally formed of, for example, a polyacetal resin, and as shown in FIG. Is formed.

【0012】また、図1,2に示すように、プローブ保
持具2には、本発明における第1の弾性変形規制板に相
当し例えばポリアセタール樹脂で形成された案内板14
が配設されている。この案内板14は、プローブ本体3
の変形部23が案内板14側に弾性変形した際に、変形
部23の側面が接触することにより、その接触方向への
変形部23の弾性変形を阻止する。この場合、平板14
は、その表面14aがプローブ本体3における変形部2
3の曲げ方向に対して平行で、かつ、図2(b)に示す
ように、プローブ本体3の変形部23と、その表面14
aとの間に極く狭い隙間が形成されるように、例えば接
着によってプローブ保持具2の取付部11に固定されて
いる。
As shown in FIGS. 1 and 2, the probe holder 2 has a guide plate 14 corresponding to a first elastic deformation regulating plate of the present invention and formed of, for example, polyacetal resin.
Are arranged. The guide plate 14 is used for the probe main body 3.
When the deformed portion 23 elastically deforms toward the guide plate 14, the side surfaces of the deformed portion 23 come into contact with each other, thereby preventing elastic deformation of the deformed portion 23 in the contact direction. In this case, the flat plate 14
Means that the surface 14a of the probe body 3
2B, the deformed portion 23 of the probe main body 3 and the surface 14 thereof are parallel to the bending direction of the probe body 3 as shown in FIG.
The probe holder 2 is fixed to the mounting portion 11 of the probe holder 2 by, for example, bonding so that a very narrow gap is formed between the probe holder 2 and the gap a.

【0013】次に、コンタクトプローブ1を用いた電気
的検査の方法について、各図を参照して説明する。
Next, a method of electrical inspection using the contact probe 1 will be described with reference to the drawings.

【0014】まず、コンタクトプローブ1をプローブ案
内機構に取り付ける。この際には、例えばプローブ保持
具2の取付部11をプローブ案内機構に把持させて固定
すると共に、プローブ本体3の後端部21に検査信号出
力用の信号ケーブルを接続する。次に、プローブ案内機
構がコンタクトプローブ1を所定の検査位置に移動させ
て回路基板の表面Xに向けて下動させることにより、プ
ローブ本体3の先端を表面Xに接触させる。次いで、プ
ローブ案内機構が、回路基板に向けてプローブ保持具2
をさらに下動させることにより、図3に示すように、プ
ローブ本体3の変形部23が弾性変形する。この場合、
変形部23が案内板14側に弾性変形してその表面14
aに接触したときには、平板14は、その表面14a側
へに向けての変形部23の弾性変形を阻止する。したが
って、変形部23は、予め規定された向きとは異なる少
なくとも1方向への弾性変形が阻止されると共に、平板
14の表面14aに沿って(つまり、予め加工された曲
げの向きに沿って)弾性変形する。この結果、先端部2
2が、ガイド孔13aの案内に従って後端部21に対し
て相対的に上動させられるため、プローブ本体3の先端
が表面Xに向けて付勢される。この後、プローブ本体3
を介して回路基板に所定の検査用信号を出力することに
より、所定の電気的検査を実行する。
First, the contact probe 1 is attached to the probe guide mechanism. At this time, for example, the mounting portion 11 of the probe holder 2 is gripped and fixed by the probe guiding mechanism, and a signal cable for outputting a test signal is connected to the rear end 21 of the probe main body 3. Next, the probe guide mechanism moves the contact probe 1 to a predetermined inspection position and moves the contact probe 1 downward toward the surface X of the circuit board, thereby bringing the tip of the probe main body 3 into contact with the surface X. Next, the probe guide mechanism moves the probe holder 2 toward the circuit board.
Is further lowered, as shown in FIG. 3, the deformable portion 23 of the probe body 3 is elastically deformed. in this case,
The deformable portion 23 is elastically deformed toward the guide plate 14 and its surface 14
a, the flat plate 14 prevents elastic deformation of the deformable portion 23 toward the surface 14a. Therefore, the deformable portion 23 is prevented from being elastically deformed in at least one direction different from the predetermined direction, and is along the surface 14a of the flat plate 14 (that is, along the preformed bending direction). Elastically deform. As a result, the tip 2
2 is moved upward relative to the rear end portion 21 according to the guide of the guide hole 13a, so that the front end of the probe main body 3 is urged toward the surface X. After this, the probe body 3
A predetermined electrical test is executed by outputting a predetermined test signal to the circuit board via the.

【0015】このように、このコンタクトプローブ1に
よれば、プローブ本体3における変形部23の側方に平
板14を配設し、プロービング時には、この平板14の
表面14aに沿って変形部23を弾性変形させることに
より、接触させるべき本来の位置にプローブ本体3の先
端を接触させることが可能となる。また、先端部22の
案内板14側への傾きを防止できるため、プローブ本体
3がガイド孔13aの案内に従ってスムーズに上下動す
る。したがって、プローブ本体3の先端を常に一定の付
勢力で表面Xに接触させることができ、これにより、プ
ローブ本体3の破損、および回路基板の傷付きを防止す
ることができる。
As described above, according to the contact probe 1, the flat plate 14 is disposed on the side of the deformed portion 23 in the probe body 3, and the elastically deformed portion 23 is protruded along the surface 14a of the flat plate 14 during probing. By deforming, the tip of the probe main body 3 can be brought into contact with the original position to be brought into contact. Further, since the tip portion 22 can be prevented from tilting toward the guide plate 14, the probe main body 3 smoothly moves up and down according to the guide of the guide hole 13a. Therefore, the tip of the probe main body 3 can always be brought into contact with the surface X with a constant urging force, thereby preventing the probe main body 3 from being damaged and the circuit board from being damaged.

【0016】なお、本発明は、上記した本発明の実施の
形態に示した構成に限定されない。例えば、本発明の実
施の形態では、変形部23の1つの側面が平板14に接
触可能に構成した例について説明したが、本発明におけ
るコンタクトプローブは、これに限定されず、図4
(a)に示すコンタクトプローブ31のように、本発明
における第2の弾性変形規制板としての平板14をさら
に配設し、プローブ本体3を挟むようにして、平行状態
でかつ互いに対向するように両平板14,14を配置し
てもよい。この場合には、予め規定した向きとは異なる
少なくとも2方向への変形部23の弾性変形を阻止でき
ると共に、両平板14,14に沿って(つまり、予め規
定した向きに沿って)変形部23を弾性変形させること
ができる。この結果、プローブ本体3のプロービング
(接触位置)精度をさらに向上させることができる。
The present invention is not limited to the configuration shown in the embodiment of the present invention. For example, in the embodiment of the present invention, an example in which one side surface of the deformable portion 23 is configured to be able to contact the flat plate 14 has been described. However, the contact probe in the present invention is not limited to this.
As in the contact probe 31 shown in (a), a flat plate 14 as a second elastic deformation restricting plate in the present invention is further provided, and both flat plates are placed in a parallel state and opposed to each other so as to sandwich the probe main body 3. 14, 14 may be arranged. In this case, elastic deformation of the deformable portion 23 in at least two directions different from the predetermined direction can be prevented, and the deformable portion 23 along the flat plates 14, 14 (that is, along the predetermined direction). Can be elastically deformed. As a result, the probing (contact position) accuracy of the probe main body 3 can be further improved.

【0017】また、本発明の実施の形態では、1つのプ
ローブ保持具2に、1本のプローブ本体3を保持させる
例について説明したが、本発明におけるコンタクトプロ
ーブはこれに限定されず、図4(b)に示すコンタクト
プローブ41のように、1つのプローブ保持具42に、
2本のプローブ本体3,3を保持させてもよい。さら
に、本発明の実施の形態では、本発明における第1の弾
性変形規制板としての平板14を接着剤によってプロー
ブ保持具2の取付部11に固定した例について説明した
が、本発明は、これに限定されず、取付部11、プロー
ブ固定部12、案内部13および平板14を一体成形し
てコンタクトプローブを構成することもできる。また、
各部材の材質は、本発明の実施の形態に示したポリアセ
タール樹脂に限定されず、プローブ本体がスムーズに摺
動可能な各種素材を用いて構成することができる。さら
に、本発明の実施の形態では、プローブ本体3の変形部
23と、平板14の表面14aとの間に極く狭い隙間が
形成される例について説明したが、変形部23と表面1
4aとを予め接触させておく構成を採用することもでき
る。また、本発明におけるプローブ本体は、予め曲げ加
工したタイプに限定されず、一直線状タイプのプローブ
本体の上端部21を圧入用孔12aに圧入し、かつ先端
部22をガイド孔13aの縁部に接触させておくことに
より、その一直線状タイプのプローブ本体を座屈させた
状態でプローブ固定部12に保持させることもできる。
Further, in the embodiment of the present invention, an example in which one probe main body 3 is held by one probe holder 2 has been described. However, the contact probe in the present invention is not limited to this. As in a contact probe 41 shown in FIG.
Two probe bodies 3 may be held. Further, in the embodiment of the present invention, an example in which the flat plate 14 as the first elastic deformation restricting plate in the present invention is fixed to the mounting portion 11 of the probe holder 2 with an adhesive has been described. However, the present invention is not limited to this, and the contact probe can be formed by integrally molding the mounting portion 11, the probe fixing portion 12, the guide portion 13, and the flat plate 14. Also,
The material of each member is not limited to the polyacetal resin described in the embodiment of the present invention, and can be configured using various materials that allow the probe body to slide smoothly. Further, in the embodiment of the present invention, an example in which an extremely narrow gap is formed between the deformed portion 23 of the probe main body 3 and the surface 14a of the flat plate 14 has been described.
4a may be adopted in advance. Further, the probe main body in the present invention is not limited to the type that has been bent in advance, and the upper end portion 21 of the linear type probe main body is press-fitted into the press-fitting hole 12a, and the tip end portion 22 is provided at the edge of the guide hole 13a. By keeping the probe body in contact, the probe body of the linear type can be held by the probe fixing portion 12 in a buckled state.

【0018】[0018]

【発明の効果】以上のように、請求項1記載のコンタク
トプローブによれば、弾性変形状態におけるプローブ本
体の側面が接触した際にプローブ本体に対して接触方向
への弾性変形を阻止する第1の弾性変形規制板を備えた
ことにより、プローブ本体の第1の弾性変形規制板側へ
の弾性変形を阻止することができるため、プロービング
精度を向上させることができる。また、プローブ本体の
先端部が案内部によってスムーズに案内されるため、プ
ローブ本体の破損、およびプロービング対象体の傷付き
を防止することができる。
As described above, according to the contact probe of the first aspect, when the side surface of the probe body in the elastic deformation state comes into contact with the probe body, the first deformation preventing the probe body from being elastically deformed in the contact direction. Since the elastic deformation restricting plate is provided, it is possible to prevent the probe body from being elastically deformed toward the first elastic deformation restricting plate, so that the probing accuracy can be improved. Further, since the distal end portion of the probe main body is smoothly guided by the guide portion, it is possible to prevent damage to the probe main body and damage to the probing target body.

【0019】また、請求項2記載のコンタクトプローブ
によれば、プローブ本体を挟んで第1の弾性変形規制板
に対向するように第2の弾性変形規制板をプローブ保持
具に固定したことにより、第1および第2の弾性変形規
制板によって、予め規定した向きとは異なる2方向への
プローブ本体の弾性変形を阻止することができるため、
プロービング精度をさらに向上させることができる。
According to the contact probe of the second aspect, the second elastic deformation restricting plate is fixed to the probe holder so as to face the first elastic deformation restricting plate with the probe body interposed therebetween. Since the first and second elastic deformation restricting plates can prevent elastic deformation of the probe main body in two directions different from the predetermined direction,
Probing accuracy can be further improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施の形態に係るコンタクトプローブ
1の外観斜視図である。
FIG. 1 is an external perspective view of a contact probe 1 according to an embodiment of the present invention.

【図2】(a)はコンタクトプローブ1を側面から見た
断面図、(b)はコンタクトプローブ1を正面から見た
断面図である。
2A is a cross-sectional view of the contact probe 1 as viewed from the side, and FIG. 2B is a cross-sectional view of the contact probe 1 as viewed from the front.

【図3】(a)はプローブ本体3の先端が回路基板の表
面Xに付勢された状態のコンタクトプローブ1を側面か
ら見た断面図、(b)はその状態のコンタクトプローブ
1を正面から見た断面図である。
3A is a cross-sectional view of the contact probe 1 in a state where the tip of the probe main body 3 is urged against the surface X of the circuit board, and FIG. 3B is a front view of the contact probe 1 in that state. It is sectional drawing seen.

【図4】(a)は本発明の他の実施の形態に係るコンタ
クトプローブ31の外観斜視図、(b)は本発明のさら
に他の実施の形態に係るコンタクトプローブ41の外観
斜視図である。
FIG. 4A is an external perspective view of a contact probe 31 according to another embodiment of the present invention, and FIG. 4B is an external perspective view of a contact probe 41 according to still another embodiment of the present invention. .

【図5】従来のコンタクトプローブ51の外観斜視図で
ある。
FIG. 5 is an external perspective view of a conventional contact probe 51.

【図6】(a)はコンタクトプローブ51を側面から見
た断面図、(b)はコンタクトプローブ51を正面から
見た断面図である。
6A is a cross-sectional view of the contact probe 51 as viewed from the side, and FIG. 6B is a cross-sectional view of the contact probe 51 as viewed from the front.

【図7】(a)はプローブ本体3の先端が回路基板の表
面Xに付勢された状態のコンタクトプローブ51を側面
から見た断面図、(b)はその状態のコンタクトプロー
ブ51を正面から見た断面図である。
FIG. 7A is a cross-sectional view of the contact probe 51 in a state where the tip of the probe main body 3 is urged against the surface X of the circuit board as viewed from the side, and FIG. It is sectional drawing seen.

【図8】(a)はプローブ本体3の先端部22が撓んだ
状態のコンタクトプローブ51を正面から見た断面図、
(b)はその状態のプローブ本体3の先端部22の近傍
を正面から見た断面図である。
FIG. 8A is a cross-sectional view of a contact probe 51 in a state where a distal end portion 22 of a probe main body 3 is bent, as viewed from the front;
(B) is a cross-sectional view of the vicinity of the distal end portion 22 of the probe main body 3 in that state as viewed from the front.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 コンタクトプローブ 2 プローブ保持具 3 プローブ本体 12 プローブ固定部 12a 圧入用孔 13 案内部 13a ガイド孔 14 平板 21 後端部 22 先端部 23 変形部 31 コンタクトプローブ 41 コンタクトプローブ 42 プローブ保持具 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Contact probe 2 Probe holder 3 Probe main body 12 Probe fixing part 12a Press-fit hole 13 Guide part 13a Guide hole 14 Flat plate 21 Rear end 22 Front end 23 Deformation part 31 Contact probe 41 Contact probe 42 Probe holder

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 弾性変形可能な線状のプローブ本体と、
当該プローブ本体における後端部を固定する固定部、お
よび弾性変形状態における前記プローブ本体の先端部を
所定方向に案内する案内部を有するプローブ保持具とを
備えているコンタクトプローブにおいて、 前記プローブ保持具に固定されると共に前記弾性変形状
態における前記プローブ本体の前記後端部および前記先
端部の間の側面が接触した際に当該プローブ本体に対し
て当該接触方向への弾性変形を阻止する第1の弾性変形
規制板を備えていることを特徴とするコンタクトプロー
ブ。
1. An elastically deformable linear probe main body,
A contact probe having a fixing portion for fixing a rear end portion of the probe body and a guide portion for guiding a tip portion of the probe body in an elastically deformed state in a predetermined direction; And a first body that prevents elastic deformation in the contact direction with respect to the probe body when the side surface between the rear end and the front end of the probe body in the elastic deformation state comes into contact with each other. A contact probe comprising an elastic deformation restricting plate.
【請求項2】 前記プローブ本体を挟んで前記第1の弾
性変形規制板に対向するように前記プローブ保持具に固
定されると共に前記弾性変形状態における前記プローブ
本体の前記側面が接触した際に当該プローブ本体に対し
て当該接触方向への弾性変形を阻止する第2の弾性変形
規制板をさらに備えていることを特徴とする請求項1記
載のコンタクトプローブ。
2. When the probe body is fixed to the probe holder so as to face the first elastic deformation restricting plate with the probe body interposed therebetween, and when the side surface of the probe body in the elastic deformation state comes into contact with the first elastic deformation regulating plate, The contact probe according to claim 1, further comprising a second elastic deformation restricting plate for preventing elastic deformation of the probe body in the contact direction.
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