JP2001315345A - インクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents
インクジェットヘッドの製造方法Info
- Publication number
- JP2001315345A JP2001315345A JP2000139803A JP2000139803A JP2001315345A JP 2001315345 A JP2001315345 A JP 2001315345A JP 2000139803 A JP2000139803 A JP 2000139803A JP 2000139803 A JP2000139803 A JP 2000139803A JP 2001315345 A JP2001315345 A JP 2001315345A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- piezoelectric element
- ink
- positioning
- pressure chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 製造の組立精度に起因するマルチノズルイン
クジェットヘッドのインク噴射特性にばらつきを解消す
る。 【解決手段】 圧電素子と振動板を接着する際に、予め
治具を用意し、位置決めに直接関係する支持板、あるい
はリストリクタプレート(位置決めプレート)のみを取
り出し、これに合わせて、駆動モジュールを位置決めし
て固定し、次に、前記支持板あるいはリストリクタプレ
ートを除去して、代りに流路プレートをおいて、圧電素
子と振動板とを接着する。
クジェットヘッドのインク噴射特性にばらつきを解消す
る。 【解決手段】 圧電素子と振動板を接着する際に、予め
治具を用意し、位置決めに直接関係する支持板、あるい
はリストリクタプレート(位置決めプレート)のみを取
り出し、これに合わせて、駆動モジュールを位置決めし
て固定し、次に、前記支持板あるいはリストリクタプレ
ートを除去して、代りに流路プレートをおいて、圧電素
子と振動板とを接着する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧電素子を用いた
オンデマンド型インクジェットヘッドで、特に多数のノ
ズルを高密度に集積させたマルチノズルインクジェット
ヘッドの製造方法に関するものである。
オンデマンド型インクジェットヘッドで、特に多数のノ
ズルを高密度に集積させたマルチノズルインクジェット
ヘッドの製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】オフィス用並びに産業用インクジェット
プリントヘッドのうち、オンデマンド型インクジェット
ヘッドにはインクを噴射する方式として、圧電素子を用
いて、加圧室の壁面の一部を変形させてインクを噴射す
る圧電素子方式がある。
プリントヘッドのうち、オンデマンド型インクジェット
ヘッドにはインクを噴射する方式として、圧電素子を用
いて、加圧室の壁面の一部を変形させてインクを噴射す
る圧電素子方式がある。
【0003】この圧電素子方式は圧電素子の変位量が小
さいのでインク噴射のためには加圧室の振動板表面積を
大きくする必要があり、そのため、ノズルピッチを14
0μm程度までしか小さくできない。しかし、駆動周波
数は各ノズルに対応して配置された圧電素子片の長さに
依存するので長さを適当に選べば20kHz以上にする
ことが出来、印刷速度の高速化に適した方式といえる。
また、サーマル方式と違ってインクの種類を選ばないと
いう利点もある。
さいのでインク噴射のためには加圧室の振動板表面積を
大きくする必要があり、そのため、ノズルピッチを14
0μm程度までしか小さくできない。しかし、駆動周波
数は各ノズルに対応して配置された圧電素子片の長さに
依存するので長さを適当に選べば20kHz以上にする
ことが出来、印刷速度の高速化に適した方式といえる。
また、サーマル方式と違ってインクの種類を選ばないと
いう利点もある。
【0004】以下、従来のインクジェットヘッドについ
て、図2及び図6に示す。
て、図2及び図6に示す。
【0005】図6は従来のインクジェットヘッド組立方
法を示す斜視図である。また、図2は従来のインクジェ
ットヘッド組立方法を示す圧電素子の列方向から見た断
面図であり、図6のA−A断面図である。
法を示す斜視図である。また、図2は従来のインクジェ
ットヘッド組立方法を示す圧電素子の列方向から見た断
面図であり、図6のA−A断面図である。
【0006】図2に示すように、まず、オリフィスプレ
ート12から支持板13、共通インク供給路部材19ま
でを接着した流路プレート20、並びに圧電素子4と圧
電素子固定板6とを接着した駆動モジュール30とを別
々に作製し、準備しておく。次いで、図6に示すよう
に、流路プレート20及び駆動モジュール30に設けた
位置決めピン穴16a、16bに治具40上のピン46
を通して位置合わせを行う。以上の工程により、インク
ジェットヘッドが組み立てられていた。
ート12から支持板13、共通インク供給路部材19ま
でを接着した流路プレート20、並びに圧電素子4と圧
電素子固定板6とを接着した駆動モジュール30とを別
々に作製し、準備しておく。次いで、図6に示すよう
に、流路プレート20及び駆動モジュール30に設けた
位置決めピン穴16a、16bに治具40上のピン46
を通して位置合わせを行う。以上の工程により、インク
ジェットヘッドが組み立てられていた。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、流路プ
レート20と駆動モジュール30との組み立てに際して
は、ピン46と位置決めピン穴16a、16bとのがた
が50μm程度あるため、振動板3の各々の自由振動面
と圧電素子4の自由端面との位置合わせが正確に行われ
ず、振動板3の自由振動面の中心と圧電素子4の自由端
面の中心との位置関係が正規の値から最大50μmずれ
ることが有った。このような位置ずれの存在により、各
々のノズルの液滴速度、ひいてはインク噴射量が10〜
20%程度変動し、印刷品質を低下させしまっていた。
レート20と駆動モジュール30との組み立てに際して
は、ピン46と位置決めピン穴16a、16bとのがた
が50μm程度あるため、振動板3の各々の自由振動面
と圧電素子4の自由端面との位置合わせが正確に行われ
ず、振動板3の自由振動面の中心と圧電素子4の自由端
面の中心との位置関係が正規の値から最大50μmずれ
ることが有った。このような位置ずれの存在により、各
々のノズルの液滴速度、ひいてはインク噴射量が10〜
20%程度変動し、印刷品質を低下させしまっていた。
【0008】そこで、本発明では前記のインク噴射量の
ばらつきを低減する製造方法を提案するものである。
ばらつきを低減する製造方法を提案するものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明においては、インクを蓄える加圧室と、電気
信号の印加により前記加圧室内に圧力変動を発生させる
圧電素子と、前記加圧室の壁面の少なくとも一部を形成
し、前記圧電素子と弾性材料で連結されている振動板
と、該振動板と圧電素子との間にあって振動板の所定領
域を補強するために設けられた支持板と、前記加圧室に
インクを供給する流路となるリストリクタと、該リスト
リクタにインクを供給する共通インク供給路と、インク
液滴を加圧室から噴射するオリフィスと、前記圧電素子
を固定する圧電素子固定板等によって構成された複数の
ノズルを有し、該ノズルが複数配置されたインクジェッ
トヘッドにおいて、前記オリフィスを形成するオリフィ
スプレートと、加圧室を形成する加圧室プレートと、リ
ストリクタを形成するリストリクタプレートと、振動板
と、支持板及び共通インク供給路を形成する共通インク
供給路部材を夫々のプレートに予め設けられている位置
決めピン穴を基準に一体に接着して1組の流路プレート
を作製すると共に、圧電素子と圧電素子固定板とを接着
して駆動モジュールを作成し、振動板の自由振動面を規
定する支持板またはリストリクタプレートのいずれかを
取り出して位置決めプレートとし、この位置決めプレー
トの位置決めピン穴を利用して治具の所定の位置に固定
し、駆動モジュールと前記位置決めプレートとを位置合
わせし、駆動モジュールの固定位置を決定し、前記位置
決めプレートを取り除き、代りに流路プレートを治具に
装着し、前記駆動モジュールと流路プレートとを組み立
てるようにした。
め、本発明においては、インクを蓄える加圧室と、電気
信号の印加により前記加圧室内に圧力変動を発生させる
圧電素子と、前記加圧室の壁面の少なくとも一部を形成
し、前記圧電素子と弾性材料で連結されている振動板
と、該振動板と圧電素子との間にあって振動板の所定領
域を補強するために設けられた支持板と、前記加圧室に
インクを供給する流路となるリストリクタと、該リスト
リクタにインクを供給する共通インク供給路と、インク
液滴を加圧室から噴射するオリフィスと、前記圧電素子
を固定する圧電素子固定板等によって構成された複数の
ノズルを有し、該ノズルが複数配置されたインクジェッ
トヘッドにおいて、前記オリフィスを形成するオリフィ
スプレートと、加圧室を形成する加圧室プレートと、リ
ストリクタを形成するリストリクタプレートと、振動板
と、支持板及び共通インク供給路を形成する共通インク
供給路部材を夫々のプレートに予め設けられている位置
決めピン穴を基準に一体に接着して1組の流路プレート
を作製すると共に、圧電素子と圧電素子固定板とを接着
して駆動モジュールを作成し、振動板の自由振動面を規
定する支持板またはリストリクタプレートのいずれかを
取り出して位置決めプレートとし、この位置決めプレー
トの位置決めピン穴を利用して治具の所定の位置に固定
し、駆動モジュールと前記位置決めプレートとを位置合
わせし、駆動モジュールの固定位置を決定し、前記位置
決めプレートを取り除き、代りに流路プレートを治具に
装着し、前記駆動モジュールと流路プレートとを組み立
てるようにした。
【0010】
【発明の実施の形態】以下図面を参照して本発明につい
て説明する。本発明はノズル列が1列の場合あるいは2
列以上の場合でも適用できるが、ここではノズル列が1
列の場合を説明する。
て説明する。本発明はノズル列が1列の場合あるいは2
列以上の場合でも適用できるが、ここではノズル列が1
列の場合を説明する。
【0011】図1は、本発明で用いたマルチノズルイン
クジェットヘッドのノズル部の構成を示す断面図であ
る。
クジェットヘッドのノズル部の構成を示す断面図であ
る。
【0012】図において、1はオリフィス、2は加圧
室、3は振動板、4は圧電素子、5aと5bは信号入力
端子、6は圧電素子固定板、7は共通インク供給路8と
加圧室2とを連結し加圧室2へのインク流入を制御する
絞り流路(以後リストリクタと呼ぶ)、8は共通インク
供給路、9は振動板3と圧電素子4とを連結するシリコ
ン接着剤等の弾性を有する接着剤、10はリストリクタ
7を形成するリストリクタプレート、11は加圧室2を
形成する加圧室プレート、12はオリフィス1を形成す
るオリフィスプレート、13は振動板3を補強する支持
板、19は共通インク供給路8を形成するための共通イ
ンク供給路部材である。
室、3は振動板、4は圧電素子、5aと5bは信号入力
端子、6は圧電素子固定板、7は共通インク供給路8と
加圧室2とを連結し加圧室2へのインク流入を制御する
絞り流路(以後リストリクタと呼ぶ)、8は共通インク
供給路、9は振動板3と圧電素子4とを連結するシリコ
ン接着剤等の弾性を有する接着剤、10はリストリクタ
7を形成するリストリクタプレート、11は加圧室2を
形成する加圧室プレート、12はオリフィス1を形成す
るオリフィスプレート、13は振動板3を補強する支持
板、19は共通インク供給路8を形成するための共通イ
ンク供給路部材である。
【0013】振動板3、リストリクタプレート10、加
圧室プレート11、支持板13は、例えばステンレス材
から作られ、オリフィスプレート12はニッケル材ある
いはステンレス材から作られている。また、圧電素子固
定板6は、セラミックス、ポリイミドなどの絶縁物から
作られている。
圧室プレート11、支持板13は、例えばステンレス材
から作られ、オリフィスプレート12はニッケル材ある
いはステンレス材から作られている。また、圧電素子固
定板6は、セラミックス、ポリイミドなどの絶縁物から
作られている。
【0014】インクは、上流から下流へ向かって、共通
インク供給路8、リストリクタ7、加圧室2、オリフィ
ス1の順に流れる。
インク供給路8、リストリクタ7、加圧室2、オリフィ
ス1の順に流れる。
【0015】圧電素子4は信号入力端子5aと5bの間
に電位差が印加されたときに伸縮し、信号入力端子5a
と5b間に電位差が無くなれば伸縮前の形に戻る。
に電位差が印加されたときに伸縮し、信号入力端子5a
と5b間に電位差が無くなれば伸縮前の形に戻る。
【0016】この構造において、圧電素子4の自由端1
7と振動板3の自由振動面との位置関係がインク噴射特
性に大きな影響を与える。この様子を図7に示す。
7と振動板3の自由振動面との位置関係がインク噴射特
性に大きな影響を与える。この様子を図7に示す。
【0017】図7において、支持板13並びにリストリ
クタプレート10の溝等によって挟まれた長方形の枠1
8の中が振動板3の自由振動面(図1の18aの領域)
となっている。この振動板3の自由振動面のほぼ中央部
分に圧電素子4の自由端面17を配置することにより、
インク噴射に適した圧電素子、振動板からなる振動系の
振動モードを得ることが出来る。
クタプレート10の溝等によって挟まれた長方形の枠1
8の中が振動板3の自由振動面(図1の18aの領域)
となっている。この振動板3の自由振動面のほぼ中央部
分に圧電素子4の自由端面17を配置することにより、
インク噴射に適した圧電素子、振動板からなる振動系の
振動モードを得ることが出来る。
【0018】本発明のインクジェットヘッドを製作する
順序を以下に説明する。
順序を以下に説明する。
【0019】まず、オリフィスプレート12、加圧室プ
レート11、リストリクタプレート10、振動板3、支
持板13、及び共通インク供給路部材19を位置決めピ
ン穴を基準に一体に接着しておく。この組み合わせを流
路プレート20と呼ぶ。
レート11、リストリクタプレート10、振動板3、支
持板13、及び共通インク供給路部材19を位置決めピ
ン穴を基準に一体に接着しておく。この組み合わせを流
路プレート20と呼ぶ。
【0020】一方、図示しないが、圧電素子固定板6に
棒状圧電素子を接着・固定する。その後、棒状圧電素子
をダイシングソー、ワイヤソー等を利用した切断により
分割する。この時、分割された各々の圧電素子4は加圧
室2の一つずつに対応するようになっている。この状態
の部品を駆動モジュール30と呼ぶ。
棒状圧電素子を接着・固定する。その後、棒状圧電素子
をダイシングソー、ワイヤソー等を利用した切断により
分割する。この時、分割された各々の圧電素子4は加圧
室2の一つずつに対応するようになっている。この状態
の部品を駆動モジュール30と呼ぶ。
【0021】すでに述べたように、位置決めピン46の
直径は位置決めピン穴16より50μm程度小さめに製
作されている。このガタのために流路プレート20と駆
動モジュール30とを組み合わせた場合に圧電素子4の
自由端17と振動板3の自由振動面18との位置関係が
最大50μm程度ずれる。具体的には、例えば図7の点
線枠172に示すように圧電素子4の自由端17の位置
がずれる。そこで、この点を改めるために、次のような
方法で組み立てを行う。まず、本発明の製造方法に用い
る接着治具40を図3にて説明する。
直径は位置決めピン穴16より50μm程度小さめに製
作されている。このガタのために流路プレート20と駆
動モジュール30とを組み合わせた場合に圧電素子4の
自由端17と振動板3の自由振動面18との位置関係が
最大50μm程度ずれる。具体的には、例えば図7の点
線枠172に示すように圧電素子4の自由端17の位置
がずれる。そこで、この点を改めるために、次のような
方法で組み立てを行う。まず、本発明の製造方法に用い
る接着治具40を図3にて説明する。
【0022】図に示すように、接着治具40は接着治具
下台41と接着治具上台42から構成されており、どち
らも高剛性の材料で製作されている。また、接着治具上
台42は直動機構44を介して接着治具下台41に取り
付けられており、平行の位置を保ったまま上下に移動す
ることが出来る。更に、接着治具上台42には可動治具
43が設置されている。接着治具上台42には複数のマ
イクロメータヘッド45が取り付けられており、接着治
具上台42上の可動治具43の位置を微少移動する働き
をする。
下台41と接着治具上台42から構成されており、どち
らも高剛性の材料で製作されている。また、接着治具上
台42は直動機構44を介して接着治具下台41に取り
付けられており、平行の位置を保ったまま上下に移動す
ることが出来る。更に、接着治具上台42には可動治具
43が設置されている。接着治具上台42には複数のマ
イクロメータヘッド45が取り付けられており、接着治
具上台42上の可動治具43の位置を微少移動する働き
をする。
【0023】上記組立治具40を用い、下記工程にて組
み立てを行う。まず、駆動モジュール30及び支持板1
3(またはリストリクタプレート)を上記構成の接着治
具40に、所定の位置に固定する。すなわち、駆動モジ
ュール30は可動治具43に固定ネジ等(図示せず)に
より固定する。支持板13は接着治具下台41に位置決
めピン46を介して固定する。ここで、支持板13のみ
固定するのは、位置決め用のサンプル、位置決めプレー
トとして利用するためである。つまり、支持板13は振
動板3の自由端面18の枠を形成する(相当する)もの
であるため、位置決めの確認のみ行うには支持板13の
みを装着するだけで足りるのである。
み立てを行う。まず、駆動モジュール30及び支持板1
3(またはリストリクタプレート)を上記構成の接着治
具40に、所定の位置に固定する。すなわち、駆動モジ
ュール30は可動治具43に固定ネジ等(図示せず)に
より固定する。支持板13は接着治具下台41に位置決
めピン46を介して固定する。ここで、支持板13のみ
固定するのは、位置決め用のサンプル、位置決めプレー
トとして利用するためである。つまり、支持板13は振
動板3の自由端面18の枠を形成する(相当する)もの
であるため、位置決めの確認のみ行うには支持板13の
みを装着するだけで足りるのである。
【0024】次に、図4に示すように、接着治具上台4
2を図中下方に移動させ、駆動モジュール30の個々の
圧電素子4と支持板13の相対位置が観察できるところ
まで近づける。
2を図中下方に移動させ、駆動モジュール30の個々の
圧電素子4と支持板13の相対位置が観察できるところ
まで近づける。
【0025】更に、この状態で下方より光学顕微鏡等に
より圧電素子4の自由端17と支持板13の位置関係を
観察する。例えば、図7において、圧電素子自由端17
が点線で示されたような不適な位置172にあるときに
は、複数のマイクロメータヘッド45を調整することに
より可動治具43を微動させ、図7において実線で示さ
れた所定の位置に圧電素子自由端17を移動させる。
より圧電素子4の自由端17と支持板13の位置関係を
観察する。例えば、図7において、圧電素子自由端17
が点線で示されたような不適な位置172にあるときに
は、複数のマイクロメータヘッド45を調整することに
より可動治具43を微動させ、図7において実線で示さ
れた所定の位置に圧電素子自由端17を移動させる。
【0026】所定の位置にあることを確認後、可動治具
43は位置が変わらないように固定ネジ(図示せず)に
より接着治具上台42に固定される。
43は位置が変わらないように固定ネジ(図示せず)に
より接着治具上台42に固定される。
【0027】次に、図5のように接着治具上台42を上
方に移動させる。そして、支持板13は接着治具下台4
1から取り外され、代わりに流路プレート20を位置決
めピン46を介して固定する。
方に移動させる。そして、支持板13は接着治具下台4
1から取り外され、代わりに流路プレート20を位置決
めピン46を介して固定する。
【0028】続いて、流路プレート20の振動板3か、
あるいは圧電素子4のいずれかに硬化前のシリコン接着
剤9を塗布する。
あるいは圧電素子4のいずれかに硬化前のシリコン接着
剤9を塗布する。
【0029】その後、直ちに接着治具上台42を下方に
移動させ、圧電素子4と振動板3を接触させる。このと
き圧電素子4は振動板3の自由振動面を規制する支持板
13に対しては既に位置合わせを完了しているので、正
確に規定の位置に合わせることが出来る。
移動させ、圧電素子4と振動板3を接触させる。このと
き圧電素子4は振動板3の自由振動面を規制する支持板
13に対しては既に位置合わせを完了しているので、正
確に規定の位置に合わせることが出来る。
【0030】より強く圧電素子4と振動板3接触させた
い場合は、この状態で更に接着治具上台42に適度な荷
重を与える。シリコン接着剤9が熱硬化性である場合
は、この治具全体を加熱炉に入れシリコン接着剤9を硬
化させる。
い場合は、この状態で更に接着治具上台42に適度な荷
重を与える。シリコン接着剤9が熱硬化性である場合
は、この治具全体を加熱炉に入れシリコン接着剤9を硬
化させる。
【0031】シリコン接着剤9の硬化後、インクジェッ
トヘッドを治具から取り外して製作作業は完了する。
トヘッドを治具から取り外して製作作業は完了する。
【0032】
【発明の効果】本発明によれば、圧電素子の自由端を支
持板の個別の所定位置に位置決め出来るので、ノズル毎
のインク噴射特性を一様にすることが出来る。
持板の個別の所定位置に位置決め出来るので、ノズル毎
のインク噴射特性を一様にすることが出来る。
【図1】 本発明で用いたインクジェットヘッドのノズ
ル断面図である。
ル断面図である。
【図2】 従来のインクジェットヘッド組立方法を示す
断面図(図6のA−A断面図)である。
断面図(図6のA−A断面図)である。
【図3】 本発明のインクジェットヘッド組立方法を示
す断面図である。
す断面図である。
【図4】 本発明のインクジェットヘッド組立方法を示
す断面図である。
す断面図である。
【図5】 本発明のインクジェットヘッド組立方法を示
す断面図である。
す断面図である。
【図6】 従来のインクジェットヘッド組立方法を示す
斜視図である。
斜視図である。
【図7】 支持板13の枠18と圧電素子の自由端17
の相対位置関係を示す説明図である。
の相対位置関係を示す説明図である。
1はオリフィス、2は加圧室、3は振動板、4は圧電素
子、5aと5bは信号入力端子、6は圧電素子固定板、
7はリストリクタ、8は共通インク供給路、9はシリコ
ン接着剤、10はリストリクタプレート、11は加圧室
プレート、12はオリフィスプレート、13は支持板、
16a,16bは位置決めピン穴、17は圧電素子の自
由端、172は不正な位置にある時の圧電素子の自由
端、18は枠、19は共通インク供給路部材、20は流
路プレート、30は駆動モジュール、40は接着治具、
41は接着治具下台、42は接着治具上台、43は可動
治具、44は直動機構、45はマイクロメータヘッド、
46は位置決めピンである。
子、5aと5bは信号入力端子、6は圧電素子固定板、
7はリストリクタ、8は共通インク供給路、9はシリコ
ン接着剤、10はリストリクタプレート、11は加圧室
プレート、12はオリフィスプレート、13は支持板、
16a,16bは位置決めピン穴、17は圧電素子の自
由端、172は不正な位置にある時の圧電素子の自由
端、18は枠、19は共通インク供給路部材、20は流
路プレート、30は駆動モジュール、40は接着治具、
41は接着治具下台、42は接着治具上台、43は可動
治具、44は直動機構、45はマイクロメータヘッド、
46は位置決めピンである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 黒沢 信広 茨城県ひたちなか市武田1060番地 日立工 機株式会社内 Fターム(参考) 2C057 AF93 AG12 AG44 AP02 AP25 AP77 BA04 BA14
Claims (1)
- 【請求項1】インクを蓄える加圧室と、電気信号の印加
により前記加圧室内に圧力変動を発生させる圧電素子
と、前記加圧室の壁面の少なくとも一部を形成し、前記
圧電素子と弾性材料で連結されている振動板と、該振動
板と圧電素子との間にあって振動板の所定領域を補強す
るために設けられた支持板と、前記加圧室にインクを供
給する流路となるリストリクタと、該リストリクタにイ
ンクを供給する共通インク供給路と、インク液滴を加圧
室から噴射するオリフィスと、前記圧電素子を固定する
圧電素子固定板等によって構成された複数のノズルを有
し、該ノズルが複数配置されたインクジェットヘッドに
おいて、 前記オリフィスを形成するオリフィスプレートと、加圧
室を形成する加圧室プレートと、リストリクタを形成す
るリストリクタプレートと、振動板と、支持板及び共通
インク供給路を形成する共通インク供給路部材を夫々の
プレートに予め設けられている位置決めピン穴を基準に
一体に接着して1組の流路プレートを作製すると共に、
圧電素子と圧電素子固定板とを接着して駆動モジュール
を作成し、 振動板の自由振動面を規定する支持板またはリストリク
タプレートのいずれかを取り出して位置決めプレートと
し、この位置決めプレートの位置決めピン穴を利用して
治具の所定の位置に固定し、 駆動モジュールと前記位置決めプレートとを位置合わせ
し、駆動モジュールの固定位置を決定し、 前記位置決めプレートを取り除き、代りに流路プレート
を治具に装着し、 前記駆動モジュールと流路プレートとを組み立てるよう
にしたことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方
法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000139803A JP2001315345A (ja) | 2000-05-12 | 2000-05-12 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000139803A JP2001315345A (ja) | 2000-05-12 | 2000-05-12 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001315345A true JP2001315345A (ja) | 2001-11-13 |
Family
ID=18647194
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000139803A Pending JP2001315345A (ja) | 2000-05-12 | 2000-05-12 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2001315345A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007245519A (ja) * | 2006-03-15 | 2007-09-27 | Seiko Epson Corp | 加圧接合装置 |
JP2008238753A (ja) * | 2007-03-28 | 2008-10-09 | Seiko Epson Corp | 加圧接合装置及びそれを用いた圧電素子ユニットの製造方法 |
JP2008296578A (ja) * | 2007-05-30 | 2008-12-11 | Oce Technologies Bv | 圧電インクジェットデバイスの製作方法 |
JP2010173242A (ja) * | 2009-01-30 | 2010-08-12 | Olympus Corp | 記録ヘッドの位置調整方法 |
JP2011194775A (ja) * | 2010-03-23 | 2011-10-06 | Seiko Epson Corp | インクジェットヘッドの組立治具 |
KR20210006063A (ko) * | 2019-07-08 | 2021-01-18 | 세메스 주식회사 | 잉크젯 헤드 유닛 |
-
2000
- 2000-05-12 JP JP2000139803A patent/JP2001315345A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007245519A (ja) * | 2006-03-15 | 2007-09-27 | Seiko Epson Corp | 加圧接合装置 |
JP2008238753A (ja) * | 2007-03-28 | 2008-10-09 | Seiko Epson Corp | 加圧接合装置及びそれを用いた圧電素子ユニットの製造方法 |
JP2008296578A (ja) * | 2007-05-30 | 2008-12-11 | Oce Technologies Bv | 圧電インクジェットデバイスの製作方法 |
JP2010173242A (ja) * | 2009-01-30 | 2010-08-12 | Olympus Corp | 記録ヘッドの位置調整方法 |
JP2011194775A (ja) * | 2010-03-23 | 2011-10-06 | Seiko Epson Corp | インクジェットヘッドの組立治具 |
KR20210006063A (ko) * | 2019-07-08 | 2021-01-18 | 세메스 주식회사 | 잉크젯 헤드 유닛 |
KR102277981B1 (ko) | 2019-07-08 | 2021-07-15 | 세메스 주식회사 | 잉크젯 헤드 유닛 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100208200B1 (ko) | 잉크분사 프린트헤드 및 잉크분사프린터 | |
JP3859967B2 (ja) | 印刷装置の製造方法 | |
JP3404750B2 (ja) | インクジェットヘッド及びその製造方法並びにインクジェット記録装置 | |
JP2001315345A (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
JP2002361862A (ja) | インクジェットプリントヘッド | |
JP3849917B2 (ja) | インクジェットプリントヘッド | |
JP3262134B2 (ja) | インクジェット記録ヘッド、及びその製造方法 | |
JP2002337338A (ja) | インクジェットプリントヘッド | |
JPH06188472A (ja) | マイクロアクチュエータ及びこれを用いたインクジェットヘッド | |
JP3257140B2 (ja) | インクジェット記録装置 | |
JP4797259B2 (ja) | インクジェットプリントヘッドの製造方法及びインクジェットプリントヘッド並びにインクジェット記録装置 | |
JPH0691872A (ja) | インクジェットヘッドおよびその製造方法 | |
JPH068423A (ja) | インクジェット記録ヘッド | |
US7163279B2 (en) | Inkjet head having relay member interposed between piezoelectric element and diaphragm | |
JP2001047632A (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
JP2002172793A (ja) | インクジェットプリントヘッドの製造方法 | |
JPH07178906A (ja) | インクジェットヘッド | |
JP2007062325A (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
JP2000280470A (ja) | 圧電ヘッド装置及びその製造方法 | |
JP2003072066A (ja) | インクジェットプリントヘッド | |
JP2003136705A (ja) | インクジェットヘッド及びその製造方法 | |
JP2001260365A (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
JPH05229117A (ja) | インクジェット式印字ヘッドとその製造方法 | |
JP4120058B2 (ja) | インクジェットプリンタ用ヘッド装置 | |
JP2001284669A (ja) | 圧電アクチュエータ並びにこれを備えたインクジェットプリントヘッド |