JP2001311874A - 光スキャナ及びこれを用いた断層画像取得装置 - Google Patents
光スキャナ及びこれを用いた断層画像取得装置Info
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- JP2001311874A JP2001311874A JP2000129972A JP2000129972A JP2001311874A JP 2001311874 A JP2001311874 A JP 2001311874A JP 2000129972 A JP2000129972 A JP 2000129972A JP 2000129972 A JP2000129972 A JP 2000129972A JP 2001311874 A JP2001311874 A JP 2001311874A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 小型で光の利用効率が向上する光スキャナ及
びこれを用いた断層画像撮影装置を実現する。 【解決手段】 繰返しパターンを有する光源像を試料に
投影してこの光源像を移動させて走査画像を得る光スキ
ャナにおいて、光源と、この光源の出力光を集光して前
記繰返しパターンを形成する集光手段と、この集光手段
が集光した光を反射若しくは透過させる光分岐手段と、
この光分岐手段の反射光若しくは透過光を前記試料に集
光すると共に前記試料からの戻り光を前記光分岐手段に
入射する対物レンズと、前記光分岐手段で透過若しくは
反射した前記戻り光を光検出器に集光するレンズと、前
記集光手段の位置を出力光の光軸に直角方向に移動させ
る駆動手段と備え、前記対物レンズの中間像面に集光点
を有し、前記繰返しパターンを形成する集光手段を設け
る。
びこれを用いた断層画像撮影装置を実現する。 【解決手段】 繰返しパターンを有する光源像を試料に
投影してこの光源像を移動させて走査画像を得る光スキ
ャナにおいて、光源と、この光源の出力光を集光して前
記繰返しパターンを形成する集光手段と、この集光手段
が集光した光を反射若しくは透過させる光分岐手段と、
この光分岐手段の反射光若しくは透過光を前記試料に集
光すると共に前記試料からの戻り光を前記光分岐手段に
入射する対物レンズと、前記光分岐手段で透過若しくは
反射した前記戻り光を光検出器に集光するレンズと、前
記集光手段の位置を出力光の光軸に直角方向に移動させ
る駆動手段と備え、前記対物レンズの中間像面に集光点
を有し、前記繰返しパターンを形成する集光手段を設け
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、繰返しパターンを
有する光源像を試料に投影してこの光源像を移動させて
走査画像を得る光スキャナ及びこれを用いた断層画像撮
影装置に関し、特に小型で光の利用効率が向上する光ス
キャナ及びこれを用いた断層画像撮影装置に関する。
有する光源像を試料に投影してこの光源像を移動させて
走査画像を得る光スキャナ及びこれを用いた断層画像撮
影装置に関し、特に小型で光の利用効率が向上する光ス
キャナ及びこれを用いた断層画像撮影装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の試料を照射してスリット画像を得
る光スキャナは開口部であるスリットを通過した光の光
路を圧電素子等で変化させて試料上を走査させ、試料か
らの反射光や蛍光等を取り出すことにより走査画像であ
るスリット画像を得るものである。
る光スキャナは開口部であるスリットを通過した光の光
路を圧電素子等で変化させて試料上を走査させ、試料か
らの反射光や蛍光等を取り出すことにより走査画像であ
るスリット画像を得るものである。
【０００３】図３はこのような従来の光スキャナの一例
を示す構成ブロック図であり、ＰＣＴ出願に係る国際公
開公報「ＷＯ９８／４５７４５」に記載されたものであ
る。
を示す構成ブロック図であり、ＰＣＴ出願に係る国際公
開公報「ＷＯ９８／４５７４５」に記載されたものであ
る。
【０００４】図３において１は光源、２は繰返しパター
ンであるスリットアレイが形成されたスリット板、３及
び７はレンズ、４は光分岐手段であるビームスプリッ
タ、５は対物レンズ、６は試料、８はＣＣＤカメラ等の
光検出器、９は圧電素子等を用いた駆動手段である。
ンであるスリットアレイが形成されたスリット板、３及
び７はレンズ、４は光分岐手段であるビームスプリッ
タ、５は対物レンズ、６は試料、８はＣＣＤカメラ等の
光検出器、９は圧電素子等を用いた駆動手段である。
【０００５】光源１の出力光はスリット板２に照射さ
れ、このスリット板２に形成されたスリットを通過した
光はレンズ３により集光されてビームスプリッタ４に入
射される。この入射光はビームスプリッタ４で反射され
対物レンズ５を介して試料６上に集光される。
れ、このスリット板２に形成されたスリットを通過した
光はレンズ３により集光されてビームスプリッタ４に入
射される。この入射光はビームスプリッタ４で反射され
対物レンズ５を介して試料６上に集光される。
【０００６】光の照射により試料６で発生した蛍光若し
くは試料６からの反射光は対物レンズ５を介して再びビ
ームスプリッタ４に入射され、この蛍光等はビームスプ
リッタ４を透過しレンズ７により光検出器８に入射され
る。
くは試料６からの反射光は対物レンズ５を介して再びビ
ームスプリッタ４に入射され、この蛍光等はビームスプ
リッタ４を透過しレンズ７により光検出器８に入射され
る。
【０００７】また、光検出器８からの同期信号は駆動手
段９に接続され、駆動手段９はスリット板２を図３中”
ＤＲ０１”に示す光軸に対して直角方向に駆動する。
段９に接続され、駆動手段９はスリット板２を図３中”
ＤＲ０１”に示す光軸に対して直角方向に駆動する。
【０００８】ここで、図３に示す従来例の動作を説明す
る。スリット板２は中間像面に配置され照明用のアパー
チャとして用いられる。すなわち、スリットアレイを通
過した光は対物レンズ５の焦点位置にのみ集光されるの
で光検出器８で得られた画像はスリット画像となる。
る。スリット板２は中間像面に配置され照明用のアパー
チャとして用いられる。すなわち、スリットアレイを通
過した光は対物レンズ５の焦点位置にのみ集光されるの
で光検出器８で得られた画像はスリット画像となる。
【０００９】さらに、駆動手段９は光検出器８のフレー
ムレートに同期してスリット板２の位置を少しずつずら
しながら光検出器８でスリット画像を得て、複数枚のス
リット画像に基づき演算により断層画像であるスライス
像を求めている。
ムレートに同期してスリット板２の位置を少しずつずら
しながら光検出器８でスリット画像を得て、複数枚のス
リット画像に基づき演算により断層画像であるスライス
像を求めている。
【００１０】具体的にはスリットを”０”、”２π／
３”及び”４π／３”、言い換えれば、”２π／３”ず
つスリット板２をずらしながら３枚のスリット画像を光
検出器８で撮影して、その値をそれぞれ”Ｉ１”、”Ｉ
２”及び”Ｉ３”、スライス画像を”Ｉｐ”とすれば、 Ｉｐ＝{(Ｉ１−Ｉ２)2＋(Ｉ１−Ｉ３)2＋(Ｉ２−Ｉ３)2}1/2 （１） という式から求めることができる。
３”及び”４π／３”、言い換えれば、”２π／３”ず
つスリット板２をずらしながら３枚のスリット画像を光
検出器８で撮影して、その値をそれぞれ”Ｉ１”、”Ｉ
２”及び”Ｉ３”、スライス画像を”Ｉｐ”とすれば、 Ｉｐ＝{(Ｉ１−Ｉ２)2＋(Ｉ１−Ｉ３)2＋(Ｉ２−Ｉ３)2}1/2 （１） という式から求めることができる。
【００１１】また、図４は従来の光スキャナの他の一例
を示す構成ブロック図であり、「M.A.A. Neil et al.,
Optics Communications 153(1998) 1-4」に記載された
ものである。
を示す構成ブロック図であり、「M.A.A. Neil et al.,
Optics Communications 153(1998) 1-4」に記載された
ものである。
【００１２】図４において１０はアルゴンレーザ等の光
源、１１はハーフミラー、１２，１４及び１５はミラ
ー、１３は試料、１６及び１８はレンズ、１７はフィル
タ、１９はＣＣＤカメラ等の光検出器、２０はコンピュ
ータ等の制御装置、２１は駆動制御手段、２２は圧電素
子等を用いた駆動手段である。
源、１１はハーフミラー、１２，１４及び１５はミラ
ー、１３は試料、１６及び１８はレンズ、１７はフィル
タ、１９はＣＣＤカメラ等の光検出器、２０はコンピュ
ータ等の制御装置、２１は駆動制御手段、２２は圧電素
子等を用いた駆動手段である。
【００１３】光源１０の出力光はハーフミラー１１で分
割され、ハーフミラー１１を透過した出力光はミラー１
２で反射されて試料１３に入射される。また、ハーフミ
ラー１１で反射された出力光はミラー１４及び１５で順
次反射されて試料１３に入射される。
割され、ハーフミラー１１を透過した出力光はミラー１
２で反射されて試料１３に入射される。また、ハーフミ
ラー１１で反射された出力光はミラー１４及び１５で順
次反射されて試料１３に入射される。
【００１４】試料１３を透過した光はレンズ１６、フィ
ルタ１７及び１８を介して光検出器１９に入射される。
光検出器１９の出力は制御装置２０に接続され、制御装
置２０の出力は駆動制御手段２１に接続され、駆動制御
手段２１の駆動信号が駆動手段２２に接続される。
ルタ１７及び１８を介して光検出器１９に入射される。
光検出器１９の出力は制御装置２０に接続され、制御装
置２０の出力は駆動制御手段２１に接続され、駆動制御
手段２１の駆動信号が駆動手段２２に接続される。
【００１５】ここで、図４に示す従来例の動作を説明す
る。光源１０の出力光はハーフミラーでそれぞれ分割さ
れて異なる光路を伝搬して試料１３に入射されるのでそ
の光路差によって試料１３表面に干渉縞が発生する。そ
して、試料１３を透過した光は光検出器１９で検出され
てスリット画像となる。
る。光源１０の出力光はハーフミラーでそれぞれ分割さ
れて異なる光路を伝搬して試料１３に入射されるのでそ
の光路差によって試料１３表面に干渉縞が発生する。そ
して、試料１３を透過した光は光検出器１９で検出され
てスリット画像となる。
【００１６】さらに、制御装置２０は駆動手段２２を制
御して光検出器１９のフレームレートに同期してミラー
１４の位置を少しずつずらしながら光検出器１９でスリ
ット画像を得て、複数枚のスリット画像に基づき演算に
より断層画像であるスライス像を求めている。
御して光検出器１９のフレームレートに同期してミラー
１４の位置を少しずつずらしながら光検出器１９でスリ
ット画像を得て、複数枚のスリット画像に基づき演算に
より断層画像であるスライス像を求めている。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】しかし、図３に示す従
来例ではスリット板２のマスク部分に入射された光源１
の出力光は遮蔽されて無駄になってしまうといった問題
点があった。
来例ではスリット板２のマスク部分に入射された光源１
の出力光は遮蔽されて無駄になってしまうといった問題
点があった。
【００１８】また、図４に示す従来例では干渉縞を用い
て試料１３を照射するために光の利用効率は良いものの
光学系が複雑になり大型で不安定になると言った問題点
があった。従って本発明が解決しようとする課題は、小
型で光の利用効率が向上する光スキャナ及びこれを用い
た断層画像撮影装置を実現することにある。
て試料１３を照射するために光の利用効率は良いものの
光学系が複雑になり大型で不安定になると言った問題点
があった。従って本発明が解決しようとする課題は、小
型で光の利用効率が向上する光スキャナ及びこれを用い
た断層画像撮影装置を実現することにある。
【００１９】
【課題を解決するための手段】このような課題を達成す
るために、本発明のうち請求項１記載の発明は、繰返し
パターンを有する光源像を試料に投影してこの光源像を
移動させて走査画像を得る光スキャナにおいて、対物レ
ンズの中間像面に集光点を有し、前記繰返しパターンを
形成する集光手段を備えたことにより、小型で光の利用
効率が向上する。
るために、本発明のうち請求項１記載の発明は、繰返し
パターンを有する光源像を試料に投影してこの光源像を
移動させて走査画像を得る光スキャナにおいて、対物レ
ンズの中間像面に集光点を有し、前記繰返しパターンを
形成する集光手段を備えたことにより、小型で光の利用
効率が向上する。
【００２０】請求項２記載の発明は、繰返しパターンを
有する光源像を試料に投影してこの光源像を移動させて
走査画像を得る光スキャナにおいて、光源と、この光源
の出力光を集光して前記繰返しパターンを形成する集光
手段と、この集光手段が集光した光を反射若しくは透過
させる光分岐手段と、この光分岐手段の反射光若しくは
透過光を前記試料に集光すると共に前記試料からの戻り
光を前記光分岐手段に入射する対物レンズと、前記光分
岐手段で透過若しくは反射した前記戻り光を光検出器に
集光するレンズと、前記集光手段の位置を出力光の光軸
に直角方向に移動させる駆動手段と備え、前記対物レン
ズの中間像面に前記集光手段の集光点を配置したことに
より、小型で光の利用効率が向上する。
有する光源像を試料に投影してこの光源像を移動させて
走査画像を得る光スキャナにおいて、光源と、この光源
の出力光を集光して前記繰返しパターンを形成する集光
手段と、この集光手段が集光した光を反射若しくは透過
させる光分岐手段と、この光分岐手段の反射光若しくは
透過光を前記試料に集光すると共に前記試料からの戻り
光を前記光分岐手段に入射する対物レンズと、前記光分
岐手段で透過若しくは反射した前記戻り光を光検出器に
集光するレンズと、前記集光手段の位置を出力光の光軸
に直角方向に移動させる駆動手段と備え、前記対物レン
ズの中間像面に前記集光手段の集光点を配置したことに
より、小型で光の利用効率が向上する。
【００２１】請求項３記載の発明は、請求項１及び請求
項２記載の発明である光スキャナにおいて、前記集光手
段が、複数個のシリンドリカルレンズが形成されたシリ
ンドリカルレンズ・アレイであることにより、小型で光
の利用効率が向上する。
項２記載の発明である光スキャナにおいて、前記集光手
段が、複数個のシリンドリカルレンズが形成されたシリ
ンドリカルレンズ・アレイであることにより、小型で光
の利用効率が向上する。
【００２２】請求項４記載の発明は、請求項３記載の発
明である光スキャナにおいて、前記シリンドリカルレン
ズが、凸型レンズ、フレネルレンズ、屈折率分布型、若
しくは、ゾーンプレートの何れの構成であることによ
り、小型で光の利用効率が向上する。
明である光スキャナにおいて、前記シリンドリカルレン
ズが、凸型レンズ、フレネルレンズ、屈折率分布型、若
しくは、ゾーンプレートの何れの構成であることによ
り、小型で光の利用効率が向上する。
【００２３】請求項５記載の発明は、請求項３及び請求
項４記載の発明である光スキャナにおいて、前記シリン
ドリカルレンズ・アレイが、形成される前記シリンドリ
カルレンズの焦点位置に開口部を有するマスクを具備し
たことにより、シリンドリカルレンズの色収差やサイド
ロブを相殺することができる。
項４記載の発明である光スキャナにおいて、前記シリン
ドリカルレンズ・アレイが、形成される前記シリンドリ
カルレンズの焦点位置に開口部を有するマスクを具備し
たことにより、シリンドリカルレンズの色収差やサイド
ロブを相殺することができる。
【００２４】請求項６記載の発明は、請求項１及び請求
項２記載の発明である光スキャナにおいて、前記集光手
段が、プリズムアレイであることにより、小型で光の利
用効率が向上する。
項２記載の発明である光スキャナにおいて、前記集光手
段が、プリズムアレイであることにより、小型で光の利
用効率が向上する。
【００２５】請求項７記載の発明は、請求項１乃至請求
項６記載の光スキャナを用いた断層画像撮影装置におい
て、装置を制御すると共に前記光スキャナで得られたス
リット画像に基づき断層画像を演算する演算制御手段
と、前記断層画像を表示する表示手段とを備えたことに
より、小型で光の利用効率が向上する。また、光スキャ
ナで得られたスリット画像に基づき演算制御手段で断層
画像を求め表示手段に断層画像を表示させることが可能
になる。
項６記載の光スキャナを用いた断層画像撮影装置におい
て、装置を制御すると共に前記光スキャナで得られたス
リット画像に基づき断層画像を演算する演算制御手段
と、前記断層画像を表示する表示手段とを備えたことに
より、小型で光の利用効率が向上する。また、光スキャ
ナで得られたスリット画像に基づき演算制御手段で断層
画像を求め表示手段に断層画像を表示させることが可能
になる。
【００２６】
【発明の実施の形態】以下本発明を図面を用いて詳細に
説明する。図１は本発明に係る光スキャナの一実施例を
示す構成ブロック図である。図１において１，３〜９は
図３と同一符号が付してあり、２３は集光手段であり複
数個のシリンドリカルレンズが形成されたシリンドリカ
ルレンズ・アレイである。
説明する。図１は本発明に係る光スキャナの一実施例を
示す構成ブロック図である。図１において１，３〜９は
図３と同一符号が付してあり、２３は集光手段であり複
数個のシリンドリカルレンズが形成されたシリンドリカ
ルレンズ・アレイである。
【００２７】光源１の出力光はシリンドリカルレンズ・
アレイ２３に照射され、このシリンドリカルレンズ・ア
レイ２３に形成されたシリンドリカルレンズにより集光
されて繰返しパターンであるスリット状の光となり、こ
のスリット状の光はレンズ３によりさらに集光されてビ
ームスプリッタ４に入射される。この入射光はビームス
プリッタ４で反射され対物レンズ５を介して試料６上に
集光される。
アレイ２３に照射され、このシリンドリカルレンズ・ア
レイ２３に形成されたシリンドリカルレンズにより集光
されて繰返しパターンであるスリット状の光となり、こ
のスリット状の光はレンズ３によりさらに集光されてビ
ームスプリッタ４に入射される。この入射光はビームス
プリッタ４で反射され対物レンズ５を介して試料６上に
集光される。
【００２８】光の照射により試料６で発生した蛍光若し
くは試料６からの反射光は対物レンズ５を介して再びビ
ームスプリッタ４に入射され、この蛍光等はビームスプ
リッタ４を透過しレンズ７により光検出器８に入射され
る。
くは試料６からの反射光は対物レンズ５を介して再びビ
ームスプリッタ４に入射され、この蛍光等はビームスプ
リッタ４を透過しレンズ７により光検出器８に入射され
る。
【００２９】また、光検出器８からの同期信号は駆動手
段９に接続され、駆動手段９はシリンドリカルレンズ・
アレイ２３を図１中”ＤＲ１１”に示す光軸に対して直
角方向に駆動する。
段９に接続され、駆動手段９はシリンドリカルレンズ・
アレイ２３を図１中”ＤＲ１１”に示す光軸に対して直
角方向に駆動する。
【００３０】ここで、図１に示す実施例の動作を説明す
る。シリンドリカルレンズ・アレイ２３の集光点は中間
像面に配置され照明用のアパーチャとして用いられる。
すなわち、シリンドリカルレンズ・アレイ２３により集
光された光は対物レンズ５の中間像面にあるため、その
像は試料上及び光検出手段８の焦点位置にスリットアレ
イ像として集光される。
る。シリンドリカルレンズ・アレイ２３の集光点は中間
像面に配置され照明用のアパーチャとして用いられる。
すなわち、シリンドリカルレンズ・アレイ２３により集
光された光は対物レンズ５の中間像面にあるため、その
像は試料上及び光検出手段８の焦点位置にスリットアレ
イ像として集光される。
【００３１】さらに、駆動手段９は光検出器８のフレー
ムレートに同期してシリンドリカルレンズ・アレイ２３
の位置を少しずつずらしながら光検出器８でスリット画
像を得て、演算制御手段（図示せず。）は複数枚のスリ
ット画像に基づき演算により断層画像であるスライス像
を求め表示手段（図示せず。）に断層画像を表示するこ
とが可能な断層画像撮影装置となる。
ムレートに同期してシリンドリカルレンズ・アレイ２３
の位置を少しずつずらしながら光検出器８でスリット画
像を得て、演算制御手段（図示せず。）は複数枚のスリ
ット画像に基づき演算により断層画像であるスライス像
を求め表示手段（図示せず。）に断層画像を表示するこ
とが可能な断層画像撮影装置となる。
【００３２】具体的にはスリット状の光を”０”、”２
π／３”及び”４π／３”、言い換えれば、”２π／
３”ずつシリンドリカルレンズ・アレイ２３をずらしな
がら３枚のスリット画像を光検出器８で撮影して、その
値をそれぞれ”Ｉ１’”、”Ｉ２’”及び”Ｉ３’”、
スライス画像を”Ｉｐ’”とすれば、 Ｉｐ’＝{(Ｉ１’−Ｉ２’)2 ＋(Ｉ１’−Ｉ３’)2＋(Ｉ２’−Ｉ３’)2}1/2 （２） という式から求めることができる。
π／３”及び”４π／３”、言い換えれば、”２π／
３”ずつシリンドリカルレンズ・アレイ２３をずらしな
がら３枚のスリット画像を光検出器８で撮影して、その
値をそれぞれ”Ｉ１’”、”Ｉ２’”及び”Ｉ３’”、
スライス画像を”Ｉｐ’”とすれば、 Ｉｐ’＝{(Ｉ１’−Ｉ２’)2 ＋(Ｉ１’−Ｉ３’)2＋(Ｉ２’−Ｉ３’)2}1/2 （２） という式から求めることができる。
【００３３】すなわち、図３に示す従来例と比較して光
源１の出力光はシリンドリカルレンズ・アレイ２３に形
成されたシリンドリカルレンズにより集光されてスリッ
ト状の光となり、全ての出力光が光源光として試料に入
射されるので光の利用効率が向上する。また、図４に示
す従来例のように複雑な光学系を必要としないので小型
になる。
源１の出力光はシリンドリカルレンズ・アレイ２３に形
成されたシリンドリカルレンズにより集光されてスリッ
ト状の光となり、全ての出力光が光源光として試料に入
射されるので光の利用効率が向上する。また、図４に示
す従来例のように複雑な光学系を必要としないので小型
になる。
【００３４】この結果、シリンドリカルレンズ・アレイ
２３に形成されたシリンドリカルレンズにより集光した
スリット状の光の位置を少しずつずらしながらスリット
画像を得てこれら複数枚のスリット画像に基づき演算に
より断層画像であるスライス像を求めることにより、小
型で光の利用効率が向上する光スキャナ及びこれを用い
た断層画像撮影装置が実現できる。
２３に形成されたシリンドリカルレンズにより集光した
スリット状の光の位置を少しずつずらしながらスリット
画像を得てこれら複数枚のスリット画像に基づき演算に
より断層画像であるスライス像を求めることにより、小
型で光の利用効率が向上する光スキャナ及びこれを用い
た断層画像撮影装置が実現できる。
【００３５】なお、図１に示す実施例においては単なる
シリンドリカルレンズ・アレイ２３を用いたが、各シリ
ンドリカルレンズの焦点位置にスリットマスクを設けて
も構わない。図２はこのように各シリンドリカルレンズ
の焦点位置に開口部を有するスリットマスクを設けたシ
リンドリカルレンズ・アレイの一例を示す断面図であ
り、２３ａはシリンドリカルレンズ・アレイを示してい
る。
シリンドリカルレンズ・アレイ２３を用いたが、各シリ
ンドリカルレンズの焦点位置にスリットマスクを設けて
も構わない。図２はこのように各シリンドリカルレンズ
の焦点位置に開口部を有するスリットマスクを設けたシ
リンドリカルレンズ・アレイの一例を示す断面図であ
り、２３ａはシリンドリカルレンズ・アレイを示してい
る。
【００３６】例えば、図２中”ＬＧ１１”に示すように
光源１の出力光が入射される場合に、図２中”ＬＺ１
１”に示すシリンドリカルレンズの図２中”ＦＰ１１”
に示す焦点位置以外の部分に図２中”ＳＭ１１”及び”
ＳＭ１２”に示すスリットマスクを設ける。言い換えれ
ば、各シリンドリカルレンズの焦点位置”ＦＰ１１”に
開口部を有するスリットマスクを設けることにより、シ
リンドリカルレンズの色収差やサイドロブを相殺するこ
とができる。
光源１の出力光が入射される場合に、図２中”ＬＺ１
１”に示すシリンドリカルレンズの図２中”ＦＰ１１”
に示す焦点位置以外の部分に図２中”ＳＭ１１”及び”
ＳＭ１２”に示すスリットマスクを設ける。言い換えれ
ば、各シリンドリカルレンズの焦点位置”ＦＰ１１”に
開口部を有するスリットマスクを設けることにより、シ
リンドリカルレンズの色収差やサイドロブを相殺するこ
とができる。
【００３７】また、シリンドリカルレンズとしては凸型
レンズ、フレネルレンズ、屈折率分布型、若しくは、ゾ
ーンプレートの何れの構成であっても構わない。
レンズ、フレネルレンズ、屈折率分布型、若しくは、ゾ
ーンプレートの何れの構成であっても構わない。
【００３８】シリンドリカルレンズではなくプリズムア
レイを用いて光源の出力光を屈折させてスリット状の光
を生じさせても良い。
レイを用いて光源の出力光を屈折させてスリット状の光
を生じさせても良い。
【００３９】また、試料で発生する蛍光等のスライス画
像ではなく反射光のスライス画像を得ることも勿論可能
である。
像ではなく反射光のスライス画像を得ることも勿論可能
である。
【００４０】また、試料へ入射する光はスリット状の光
に限らず、スパイラル状の光や円弧上の光であっても良
く、これらの光の位置を少しずつずらしながら複数枚の
スリット画像が得られる繰返しパターンの光であれば構
わない。
に限らず、スパイラル状の光や円弧上の光であっても良
く、これらの光の位置を少しずつずらしながら複数枚の
スリット画像が得られる繰返しパターンの光であれば構
わない。
【００４１】
【発明の効果】以上説明したことから明らかなように、
本発明によれば次のような効果がある。請求項１乃至請
求項４及び請求項６の発明によれば、対物レンズの中間
像面に集光点を有し、前記繰返しパターンを形成する集
光手段を備えたことにより、小型で光の利用効率が向上
する。
本発明によれば次のような効果がある。請求項１乃至請
求項４及び請求項６の発明によれば、対物レンズの中間
像面に集光点を有し、前記繰返しパターンを形成する集
光手段を備えたことにより、小型で光の利用効率が向上
する。
【００４２】また、請求項５の発明によれば、シリンド
リカルレンズ・アレイに形成されるシリンドリカルレン
ズの焦点位置に開口部を有するマスクを設けることによ
り、シリンドリカルレンズの色収差やサイドロブを相殺
することができる。
リカルレンズ・アレイに形成されるシリンドリカルレン
ズの焦点位置に開口部を有するマスクを設けることによ
り、シリンドリカルレンズの色収差やサイドロブを相殺
することができる。
【００４３】また、請求項７の発明によれば、光スキャ
ナで得られたスリット画像に基づき演算制御手段で断層
画像を求め表示手段に断層画像を表示させることが可能
になる。
ナで得られたスリット画像に基づき演算制御手段で断層
画像を求め表示手段に断層画像を表示させることが可能
になる。
【図１】本発明に係る光スキャナの一実施例を示す構成
ブロック図である。
ブロック図である。
【図２】各シリンドリカルレンズの焦点位置に開口部を
有するスリットマスクを設けたシリンドリカルレンズ・
アレイの一例を示す断面図である。
有するスリットマスクを設けたシリンドリカルレンズ・
アレイの一例を示す断面図である。
【図３】従来の光スキャナの一例を示す構成ブロック図
である。
である。
【図４】従来の光スキャナの他の一例を示す構成ブロッ
ク図である。
ク図である。
１，１０ 光源 ２ スリット板 ３，７，１６，１８ レンズ ４ ビームスプリッタ ５ 対物レンズ ６，１３ 試料 ８，１９ 光検出器 ９，２２ 駆動手段 １１ ハーフミラー １２，１４，１５ ミラー １７ フィルタ ２０ 制御装置 ２１ 駆動制御手段 ２３，２３ａ シリンドリカルレンズ・アレイ
Claims (7)
- 【請求項１】繰返しパターンを有する光源像を試料に投
影してこの光源像を移動させて走査画像を得る光スキャ
ナにおいて、 対物レンズの中間像面に集光点を有し、前記繰返しパタ
ーンを形成する集光手段を備えたことを特徴とする光ス
キャナ。 - 【請求項２】繰返しパターンを有する光源像を試料に投
影してこの光源像を移動させて走査画像を得る光スキャ
ナにおいて、 光源と、 この光源の出力光を集光して前記繰返しパターンを形成
する集光手段と、 この集光手段が集光した光を反射若しくは透過させる光
分岐手段と、 この光分岐手段の反射光若しくは透過光を前記試料に集
光すると共に前記試料からの戻り光を前記光分岐手段に
入射する対物レンズと、 前記光分岐手段で透過若しくは反射した前記戻り光を光
検出器に集光するレンズと、 前記集光手段の位置を出力光の光軸に直角方向に移動さ
せる駆動手段とを備え、前記対物レンズの中間像面に前
記集光手段の集光点を配置したことを特徴とする光スキ
ャナ。 - 【請求項３】前記集光手段が、 複数個のシリンドリカルレンズが形成されたシリンドリ
カルレンズ・アレイであることを特徴とする請求項１及
び請求項２記載の光スキャナ。 - 【請求項４】前記シリンドリカルレンズが、 凸型レンズ、フレネルレンズ、屈折率分布型、若しく
は、ゾーンプレートの何れの構成であることを特徴とす
る請求項３記載の光スキャナ。 - 【請求項５】前記シリンドリカルレンズ・アレイが、 形成される前記シリンドリカルレンズの焦点位置に開口
部を有するマスクを具備したことを特徴とする請求項３
及び４記載の光スキャナ。 - 【請求項６】前記集光手段が、 プリズムアレイであることを特徴とする請求項１及び請
求項２記載の光スキャナ。 - 【請求項７】請求項１乃至請求項６記載の光スキャナを
用いた断層画像撮影装置において、 装置を制御すると共に前記光スキャナで得られたスリッ
ト画像に基づき断層画像を演算する演算制御手段と、 前記断層画像を表示する表示手段とを備えたことを特徴
とする断層画像撮影装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000129972A JP2001311874A (ja) | 2000-04-28 | 2000-04-28 | 光スキャナ及びこれを用いた断層画像取得装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000129972A JP2001311874A (ja) | 2000-04-28 | 2000-04-28 | 光スキャナ及びこれを用いた断層画像取得装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001311874A true JP2001311874A (ja) | 2001-11-09 |
Family
ID=18639160
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000129972A Withdrawn JP2001311874A (ja) | 2000-04-28 | 2000-04-28 | 光スキャナ及びこれを用いた断層画像取得装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001311874A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007073793A (ja) * | 2005-09-08 | 2007-03-22 | Nikon Corp | 光量計測装置、露光装置、およびデバイスの製造方法 |
| JP2009015218A (ja) * | 2007-07-09 | 2009-01-22 | Olympus Corp | 走査型共焦点顕微鏡 |
| JP2012122981A (ja) * | 2010-11-15 | 2012-06-28 | Fujitsu Ltd | 電磁波イメージング装置 |
| US8436885B2 (en) | 2009-09-24 | 2013-05-07 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Apparatus for generating spatially modulated light and image recording apparatus |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10206740A (ja) * | 1997-01-23 | 1998-08-07 | Yokogawa Electric Corp | 共焦点装置 |
| WO1998045745A1 (en) * | 1997-04-04 | 1998-10-15 | Isis Innovation Limited | Microscopy imaging apparatus and method |
| JPH10311950A (ja) * | 1997-05-14 | 1998-11-24 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型顕微鏡 |
-
2000
- 2000-04-28 JP JP2000129972A patent/JP2001311874A/ja not_active Withdrawn
Patent Citations (3)
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040810 |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070614 |
|
| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20070725 |