JP2001305472A

JP2001305472A - 光偏向器

Info

Publication number: JP2001305472A
Application number: JP2000123100A
Authority: JP
Inventors: Nobuyoshi Asaoka; 延好浅岡
Original assignee: Olympus Optical Co Ltd
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 2000-04-24
Filing date: 2000-04-24
Publication date: 2001-10-31

Abstract

(57)【要約】【課題】可動板を所望の振れ角と周波数で駆動し得る光
偏向器を提供する。【解決手段】光偏向器１００は、光偏向ミラー部１０２
と一対の永久磁石１０４ａ，１０４ｂから成る振動ユニ
ット部１０６と、光偏向ミラー部１０２の特性を調整す
るための特性調整機構１０８とを有している。光偏向ミ
ラー部１０２は、可動板１１２と、これを揺動可能に支
持する一対の弾性部材１１４ａ，１１４ｂと、これらを
支持する一対の支持体１１６ａ，１１６ｂとを有してい
る。可動板１１２は、光ビームを反射するためのミラー
１４２と、その内部を周回する駆動コイル１２２を有し
ている。特性調整機構１０８は、一対の支持体１１６
ａ，１１６ｂを保持する一対の固定用部材１５２，１５
４と、これら固定用部材１５２，１５４の間隔を変更す
るための間隔調整手段、例えば一対の固定用部材１５
２，１５４を連結する一対の圧電素子１５６とを含んで
いる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光偏向器に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】光偏向器は、例えばレーザ光を偏向する
用途などに利用されるものである。その駆動原理はいく
つかあり、例えばクーロン力を利用する静電型のアクチ
ュエータや、磁界中に配置した駆動コイルに電流を流す
と、電流と磁界との相互作用でフレミングの左手の法則
に基づく力が駆動コイルに発生することを利用する電磁
駆動型のアクチュエータ、また、素材に電圧を印加する
と素材の長さが変化する圧電素材を利用した圧電駆動型
のアクチュエータなどがある。

【０００３】特開平７−１７５００５号は電磁駆動型の
アクチュエータを開示している。このアクチュエータ
は、シリコン基板に加工して作製された、平板状の可動
板と、これを揺動可能に支持する一対のトーションバー
と、トーションバーを支持する枠状の支持体とを備えて
いる。可動板の上面の周縁部には通電により磁界を発生
させるための平面コイルが設けられ、平面コイルで囲ま
れる上面中央部には全反射ミラーが設けられている。支
持体には、平面コイルによって発生される磁界と相互作
用させるための永久磁石が設けられている。

【０００４】平面コイルの両端は、トーションバーの上
を延びるコイル配線を介して、支持体に設けられた電極
端子と電気的に接続されている。平面コイルとコイル配
線と電極端子は、シリコン基板上に電鋳法により同時形
成される。この電磁アクチュエータは、従来のものに比
べて、極めて薄型化・小型化することができる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】一般に光偏向器の作製
にあたっては、作製時の加工の誤差によって弾性部材の
形状が所望の設計形状と異なることがある。弾性部材の
形状は弾性部材の定数を決定する重要な要素であるた
め、このように設計形状からはずれた形状の弾性部材を
持つ光偏向器は、所望の振れ角と周波数で可動板を駆動
することができない。

【０００６】また、弾性部材の形状が作製時において所
望の形状であっても、温度や湿度などの使用環境の変化
によって弾性部材の特性(横弾性係数等)が変化すること
もある。この場合も、光偏向器は、可動板は所望の振れ
角と周波数で駆動されなくなる。

【０００７】本発明の目的は、可動板を常に所望の振れ
角と周波数で駆動することのできる光偏向器を提供する
ことである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の光偏向器は、光
偏向ミラー部と一対の永久磁石から成る振動ユニット部
と、光偏向ミラー部の特性を調整するための特性調整機
構とを備えており、光偏向ミラー部は、可動板と、可動
板を揺動可能に支持する一対の弾性部材と、一対の弾性
部材を支持する支持体とを有しており、特性調整機構
は、支持体を保持する一対の固定用部材と、一対の固定
用部材の間隔を変更するための間隔調整手段とを有して
いる。可動板は、光ビームを偏向させるため必要な様々
な光学要素、例えば、ミラーやプリズムや回折格子や光
源を保持する。間隔調整手段は、一例においては、一対
の固定用部材を連結する一対の圧電素子を含んでいる。
あるいは、別の一例においては、支持体は一対の支持体
であって、間隔調整手段は、一対の支持体にそれぞれ設
けられた一対の櫛形アクチュエータと、一対の支持体の
一方に連結された伸縮ばねとを含んでいる。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら本発明
の実施の形態について説明する。

【００１０】図１に示されるように、光偏向器１００
は、光偏向ミラー部１０２と一対の永久磁石１０４ａ，
１０４ｂから成る振動ユニット部１０６と、光偏向ミラ
ー部１０２の特性を調整するための特性調整機構１０８
と、振動ユニット部１０６と特性調整機構１０８を駆動
・制御する駆動制御回路１１０とを有している。

【００１１】光偏向ミラー部１０２は、図２(Ａ)に示さ
れるように、可動板１１２と、可動板１１２の両側から
対称的に延びる一対の弾性部材１１４ａ，１１４ｂと、
弾性部材１１４ａ，１１４ｂを支持する一対の支持体１
１６ａ，１１６ｂとを有している。一対の弾性部材１１
４ａ，１１４ｂはトーションバーの機能を有し、可動板
１１２を揺動可能に支持する。可動板１１２は、光ビー
ムを反射するためのミラー１４２(図２(Ｂ)参照)を備え
ており、このミラー１４２で反射された光ビームは可動
板１１２の揺動に従って走査される。

【００１２】可動板１１２は、その内部を周回する駆動
コイル１２２を有している。図示される駆動コイル１２
２は二回周回しているが、その数はこれに限らず、その
他の周回数であってもよい。駆動コイル１２２の一端
は、弾性部材１１４ａの中を延びる配線１２４ａに直接
接続されており、駆動コイル１２２の他端は、駆動コイ
ル１２２の上を横切って延びるジャンプ線１２８を介し
て、弾性部材１１４ａの中を延びる配線１２４ｂに接続
されている。配線１２４ａと配線１２４ｂはそれぞれ支
持体１１６ａに位置する駆動電極１２６ａと駆動電極１
２６ｂに接続されている。

【００１３】可動板１１２は、さらに、駆動コイル１２
２の内側を周回する検出コイル１３２を有している。図
示される検出コイル１３２は二回周回しているが、その
数はこれに限らず、その他の周回数であってもよい。検
出コイル１３２の一端は、駆動コイル１２２の上を横切
って延びるジャンプ線１３８を介して、弾性部材１１４
ｂの中を延びる配線１３４ａに接続されており、検出コ
イル１３２の他端は、検出コイル１３２と駆動コイル１
２２の上を横切って延びるジャンプ線１４０を介して、
弾性部材１１４ｂの中を延びる配線１３４ｂに接続され
ている。配線１３４ａと配線１３４ｂはそれぞれ支持体
１１６ｂに位置する検出電極１３６ａと検出電極１３６
ｂに接続されている。

【００１４】図１に示されるように、駆動電極１２６
ａ，１２６ｂは、配線を介して、駆動制御回路１１０の
駆動電流出力端子に電気的に接続されている。検出電極
１３６ａ，１３６ｂは、配線を介して、駆動制御回路１
１０の検出信号入力端子１２９に電気的に接続されてい
る。また、一対の永久磁石１０４ａ，１０４ｂは、図示
しない支持機構によって、可動板１１２の両側に間隔を
置いて支持されている。永久磁石１０４ａ，１０４ｂ
は、弾性部材１１４ａ，１１４ｂを通る軸に平行に延び
ている。

【００１５】駆動制御回路１１０は、例えば、正弦波や
矩形波や鋸波などの周期的に変化する交流の駆動電流を
駆動電極１２６ａ，１２６ｂを介して駆動コイル１２２
に供給する。好適には、駆動制御回路１１０は、駆動コ
イル１２２や配線１２４ａ，１２４ｂなどに流せる電流
の最大値を超える電流が流れないように、供給する電流
を制限する機能を有している。

【００１６】駆動コイル１２２を流れる交流の駆動電流
と、永久磁石１０４ａ，１０４ｂが作り出す磁場との相
互作用によって、駆動コイル１２２は一対の弾性部材１
１４ａ，１１４ｂを通る軸の周りに偶力を受ける。この
偶力は、駆動コイル１２２を流れる交流の駆動電流に従
って、大きさと方向が周期的に変化するため、可動板１
１２は、一対の弾性部材１１４ａ，１１４ｂを通る軸の
周りに揺動する。その結果、可動板１１２のミラー１４
２で反射された光ビームは、可動板１１２の揺動に従っ
て偏向、走査される。

【００１７】可動板１１２の揺動に伴い、検出コイル１
３２も永久磁石１０４ａ，１０４ｂが作り出す磁場の中
を揺動する。その結果、可動板１１２の速度に比例する
誘導起電力Ｖが検出コイル１３２の両端に発生する。駆
動制御回路１１０は、検出コイル１３２の両端に発生す
る誘導起電力Ｖに基づいて可動板１１２の揺動角を検知
する。

【００１８】上述した光偏向ミラー部１０２は、すなわ
ち、可動板１１２と一対の弾性部材１１４ａ，１１４ｂ
と一対の支持体１１６ａ，１１６ｂとから成る構造体
は、公知の半導体製造技術によってモノリシックに作製
される。このため、各部品は非常に高い位置精度を有す
る。また、実装工程の削減にとっても好ましい。

【００１９】光偏向ミラー部１０２は、図２(Ｂ)と図２
(Ｃ)に示されるように、シリコン基板３０２と、シリコ
ン基板３０２に形成された第一の絶縁膜３０４と、絶縁
膜３０４の上に選択的に形成された第一の導体膜３１２
と、導体膜３１２をその一部を除いて覆う第二の絶縁膜
３０６と、絶縁膜３０６の上に選択的に形成された第二
の導体膜３１４と、導体膜３１４を覆う第三の絶縁膜３
０８とを有する積層構造体で構成される。導体膜３１
２，３１４は例えばアルミ膜から成り、絶縁膜３０４，
３０６，３０８は例えば酸化シリコン膜や窒化シリコン
膜やポリイミド膜から成る。

【００２０】第一の導体膜３１２は、駆動コイル１２
２、配線１２４ａ，１２４ｂ、駆動電極１２６ａ，１２
６ｂ、検出コイル１３２、配線１３４ａ，配線１３４
ｂ、検出電極１３６ａ，１３６ｂを構成している。ま
た、第二の導体膜３１４は、ジャンプ線１２８、ジャン
プ線１３８、ジャンプ線１４０を構成している。第一の
絶縁膜３０４は第一の導体膜３１２とシリコン基板３０
２を電気的に絶縁し、絶縁膜３０６は第一の導体膜３１
２と第二の導体膜３１４を電気的に絶縁し、第三の絶縁
膜３０８は第二の導体膜３１４を大気から保護してい
る。

【００２１】可動板１１２に含まれるシリコン基板３０
２の露出面は研磨されており、これ自体がミラー１４２
として機能する。つまり、ミラー１４２は、シリコン基
板３０２の研磨された面で構成されている。ミラー１４
２は、例えば波長６５０ｎｍ程度の半導体レーザ等の光
線をより効率良く反射する必要がある場合は、シリコン
よりも反射率の高いアルミ等を例えばスパッタや蒸着で
成膜して形成されてもよい。光偏向ミラー部１０２の主
材料はシリコン基板３０２である。可動板１１２は振動
中に反射面が変形しないことが望まれるが、シリコン基
板３０２はこのような要求に好適である。

【００２２】以下、光偏向ミラー部１０２の製造工程に
ついて図５と図６を用いて説明する。なお、図５と図６
に示される各工程の断面は、図２(Ａ)における２Ｂ−２
Ｂ線に沿って破断された断面である。

【００２３】工程１(図５(Ａ))：シリコンウエハを用意
する。シリコンウエハは、１００ミクロン〜５００ミク
ロン程度の厚さを有し、その両面は共に研磨加工され鏡
面仕上げされている。一枚のシリコンウエハには、生産
性向上のため、好ましくは、その大きさに形成できる最
大数の光偏向ミラー部が作製される。図５と図６には、
一つの光偏向ミラー部の製造工程が示されており、シリ
コンウエハはその一つ分であるシリコン基板３０２とし
て図示されている。

【００２４】工程２(図５(Ｂ))：シリコンウエハ３０２
の表裏面共に酸化シリコン膜を例えば酸化炉で成膜し
て、シリコンウエハ３０２の表面に第一の絶縁膜３０４
を、裏面に酸化シリコン膜３２２を形成する。

【００２５】工程３(図５(Ｃ))：フォトリソグラフィ技
術により、酸化シリコン膜３２２を選択的にエッチング
する。つまり、可動板１１２になる部分と弾性部材１１
４ａ，１１４ｂになる部分と支持体１１６ａ，１１６ｂ
になる部分を除いて、酸化シリコン膜３２２をエッチン
グする。

【００２６】工程４(図５(Ｄ))：この構造体の表面に例
えばスパッタリング技術によりアルミニウムを成膜し、
その後フォトリソグラフィ技術によりアルミニウムをパ
ターニングして、駆動コイル１２２と配線１２４ａ，１
２４ｂと駆動電極１２６ａ，１２６ｂと検出コイル１３
２と配線１３４ａ，配線１３４ｂと検出電極１３６ａ，
１３６ｂを含む第一の導体膜３１２を形成する。

【００２７】工程５(図５(Ｅ))：この構造体の表面に例
えばプラズマＣＶＤ(Chemical Vapor Deposition)装置
やスパッタリング装置などでシリコン酸化膜やシリコン
窒化膜を成膜した後に、フォトリソグラフィ技術により
パターニングして、第二の絶縁膜３０６を形成する。

【００２８】工程６(図６(Ａ))：この構造体の表面に例
えばスパッタリング装置でアルミニウムを成膜し、その
後フォトリソグラフィ技術によりアルミニウムをパター
ニングして、ジャンプ線１２８とジャンプ線１３８とジ
ャンプ線１４０を含む第二の導体膜３１４を形成する。

【００２９】工程７(図６(Ｂ))：この構造体の表面に例
えばプラズマＣＶＤ装置やスパッタリング装置などでシ
リコン酸化膜やシリコン窒化膜を成膜した後に、フォト
リソグラフィ技術によりパターニングして、第三の絶縁
膜３０８を形成する。

【００３０】工程８(図６(Ｃ))：例えばシリコンエッチ
ング用のＲＩＥ(Reactive Ion Etching)装置でシリコン
ウエハ裏面の酸化シリコン膜３２２をマスクとしてシリ
コンをエッチングする。続いて、酸化シリコン膜３２２
と、露出している部分の第一の絶縁膜３０４、すなわ
ち、可動板１１２と弾性部材１１４ａ，１１４ｂと支持
体１１６ａ，１１６ｂに含まれない部分の第一の絶縁膜
３０４とを、酸化シリコン膜エッチング用のＲＩＥによ
りシリコンウエハ裏面からエッチングする。その結果、
可動板１１２が一対の弾性部材１１４ａ，１１４ｂを介
して一対の支持体１１６ａ，１１６ｂに支持されている
光偏向ミラー部１０２が形成される。

【００３１】本実施の形態では、弾性部材１１４ａ，１
１４ｂの主材料はシリコンであるが、これに限定される
ものではなく、例えばガラス、ガリウム−砒素系の半導
体、シリコン酸化膜、シリコン窒化膜、ポリイミド膜な
どの有機材料などであってもよい。

【００３２】図１と図３と図４に示されるように、特性
調整機構１０８は、支持体１１６ａを保持する第一の固
定用部材１５２と、支持体１１６ｂを保持する第二の固
定用部材１５４と、これらの固定用部材１５２，１５４
の間隔を変更するための間隔調整手段とを有している。
間隔調整手段は、例えば、第一の固定用部材１５２と第
二の固定用部材１５４を連結する一対の圧電素子１５
６，１５８を含んでいる。

【００３３】支持体１１６ａと支持体１１６ｂは、例え
ば接着によってそれぞれ第一の固定用部材１５２と第二
の固定用部材１５４に固定されている。第一の固定用部
材１５２はねじ止めや接着により不動部材１６０に固定
されている。不動部材１６０は、例えば、振動ユニット
部１０６を収容し保持するケースである。第二の固定用
部材１５４は一対の圧電素子１５６，１５８を介して第
一の固定用部材１５２に支持されており、不動部材１６
０に対して非接触に保たれる。

【００３４】第一の固定用部材１５２は、図４(Ｂ)と図
４(Ｃ)に示されるように、第二の固定用部材１５４より
も大きい高さを有しており、その底面が不動部材１６０
に固定されているが、これに限定されない。図４(Ｄ)と
図４(Ｅ)に示されるように、第一の固定用部材１５２
は、第二の固定用部材１５４と同じ高さを有し、その側
面が不動部材１６０に固定されていてもよい。また、第
一の固定用部材１５２は、振動ユニット部１０６を収容
するケースと一体に形成されてもよい。

【００３５】圧電素子１５６，１５８はそれぞれ一対の
駆動電極を備えており、これらの駆動電極は、図１に示
されるように、配線１２０を介して駆動制御回路１１０
の間隔信号出力端子に電気的に接続されている。駆動制
御回路１１０は間隔信号出力端子１２８から圧電素子１
５６，１５８を伸縮させるための電圧信号を出力する。
圧電素子１５６，１５８は供給される電圧信号に応じて
矢印Ｇ(図４(Ａ)参照)の方向に伸縮し、その結果、第一
の固定用部材１５２と第二の固定用部材１５４の間隔が
変更される。この間隔の変更は、弾性部材１１４ａ，１
１４ｂにかかる応力を変更し、弾性部材１１４ａ，１１
４ｂのばね定数を変える。すなわち、光偏向ミラー部１
０２の特性を変える。

【００３６】間隔調整手段は、圧電素子に限定されるも
のではなく、他の素子や機構等が用いられてもよい。間
隔調整手段は例えば静電駆動型や電磁駆動型のアクチュ
エータ等であってもよい。圧電素子や静電駆動型のアク
チュエータを用いれば、共に磁場を作り出さないので、
駆動コイル１２２や検出コイル１３２に悪影響を与え
ず、従って、可動板１１２の好適な駆動を妨げたり、検
出コイル１３２からの信号に雑音を増やしたりすること
がない。

【００３７】さらに、駆動制御回路１１０は、可動板１
１２が常に共振状態で駆動するように、すなわち、可動
板１１２が常に所望の駆動をするように、圧電素子１５
６，１５８に供給する電圧信号を制御する。前述したよ
うに、駆動制御回路１１０は、駆動コイル１２２に交流
の駆動電流Ｉを供給するとともに、検出コイル１３２の
両端に発生する誘導起電力Ｖを検知する。駆動制御回路
１１０は、誘導起電力Ｖと駆動電流Ｉとの位相差が０よ
り大きくπより小さい値、望ましくはπ/２に略等しい
値になるように、圧電素子１５６，１５８の長さを制御
する。

【００３８】つまり、駆動電流Ｉの周波数を所望の駆動
周波数に固定し、さらに駆動電流Ｉの位相と可動板１１
２の揺動運動の位相(すなわち誘導起電力Ｖの位相)との
差が常に０より大きくπよりも小さい値、好ましくはπ
/２にほぼ等しい値になるように、弾性部材１１４ａ，
１１４ｂのばね定数を制御する。

【００３９】時刻ｔにおける駆動電流を例えば正弦波、Ｉ(ｔ)＝Ｘsin(ｗｔ) (１) とする。このとき、可動板１１２の駆動に寄与するトル
クはＩ(ｔ)に比例する。一般に可動板１１２の振れ角θ
(ｔ)は、 θ(ｔ)＝Ａsin(ｗ₀ｔ＋ａ)＋(ｗ₀ ²−ｗ²)^-1×Ｂsinｗｔ (２) となる。なお、θはＶに比例する。但し、ｗ₀は可動板
１１２の質量と弾性部材１１４ａ，１１４ｂのばね定数
から決まる可動板１１２の固有振動数(可動板が自由振
動する時の振動数)、Ａとａは初期条件によって決まる
定数、ＢはＸ並びに可動板１１２の慣性モーメントによ
り決定する値である。

【００４０】ｗがｗ₀よりも小さいとき、(２)式の第二
項は駆動電流Ｉと同じ位相になっている。しかし、ｗが
ｗ₀よりも大きいとき、第二項の符号は逆になる。これ
は駆動電流Ｉの位相と可動板１１２の振れの位相Ｖがπ
ずれることを意味する。従って、駆動電流の位相と可動
板の振れの位相との差が０よりも大きくπよりも小さい
範囲にすれば、可動板１１２は共振し所望の駆動を行
う。さらに好ましくは、駆動電流の位相と可動板の振れ
の位相との差をπ/２にほぼ等しくすれば、可動板１１
２はさらに安定した共振状態になる。

【００４１】これにより、使用環境の温度変化などに起
因する弾性部材１１４ａ，１１４ｂの形状や横弾性係数
の変化により可動板１１２の固有振動数が変化して可動
板１１２が所望の駆動をしなくなることが防止され、可
動板１１２は常に所望の駆動をする。

【００４２】ここでは、正弦波の電流波形を例にあげた
が、駆動電流は、正弦波で表される波形に限らず、例え
ば鋸波や矩形波などの周期関数で表される波形を有して
いてもよい。

【００４３】また、可動板１１２は、駆動コイル１２２
に流れる電流と永久磁石１０４ａ，１０４ｂが作り出す
磁場との相互作用により駆動されているが、可動板１１
２の駆動原理はこれに限定されるものではない。可動板
１１２は、例えば静電力により駆動されてもよい。この
場合も、可動板１１２の振れと駆動電源の電圧の位相差
が、０より大きくπより小さい範囲に、望ましくはπ/
２の近傍にあれば、可動板１１２は共振して所望の駆動
をする。

【００４４】駆動制御回路１１０は、さらに好ましく
は、誘導起電力Ｖに基づいて、可動板１１２の振れ振幅
が所望の振幅となるように、駆動電流Ｉの振幅を調整す
る機能を有している。弾性部材１１４ａ，１１４ｂのば
ね定数を調整する際、共振時における可動板１１２の振
れ振幅を決める弾性部材のパラメータが、ばね定数とは
独立に変化することがある。この場合、同じ周期の共振
状態で可動板１１２が振れていても、振れ振幅が違って
くる。駆動制御回路１１０は、その振れの振幅の違いを
補正するように、すなわち可動板１１２の振れ振幅が所
望の振れ振幅となるように、可動板１１２を駆動させる
電源の出力を調整する。

【００４５】上述した実施の形態の光偏向器は様々な変
形が可能である。以下、図面を参照しながら、いくつか
の変形例について説明する。図中、上述した部材と同一
の参照符号で示される部材は、同等の部材であり、その
詳しい説明は省略する。

【００４６】[第一変形例]本変形例では、図７に示され
るように、特性調整機構１０８は、支持体１１６ａを保
持する第一の固定用部材１５２と、支持体１１６ｂを保
持する第二の固定用部材１５４と、これらの固定用部材
１５２，１５４の間隔を変更するための間隔調整手段と
を有し、間隔調整手段は、第一の固定用部材１５２と第
二の固定用部材１５４を連結する一個の圧電素子１５６
を含んでいる。

【００４７】つまり、本変形例の特性調整機構１０８
は、第一実施形態の特性調整機構１０８から圧電素子１
５８が省かれた構成となっている。このような本変形例
の構成は、弾性部材１１４ａ，１１４ｂのばね定数の変
化が小さい場合に適している。

【００４８】第一の固定用部材１５２と第二の固定用部
材１５４の間隔は、駆動制御回路１１０により圧電素子
１５６を矢印Ｇの方向に伸縮させることにより調整され
る。この調整により、光偏向ミラー部１０２の弾性部材
１１４ａ，１１４ｂの製造時の形状のばらつきによるば
ね定数のばらつきを較正できるとともに、環境温度の変
化などに起因するばね定数の変動を補正できる。従っ
て、可動板１１２を常に所望の特性で駆動させることが
できる。

【００４９】[第二変形例]本変形例では、図８に示され
るように、特性調整機構１０８は、支持体１１６ａを保
持する第一の固定用部材１５２と、支持体１１６ｂを保
持する第二の固定用部材１５４と、これらの固定用部材
１５２，１５４の間隔を変更するための間隔調整手段と
を有し、間隔調整手段は、第一の固定用部材１５２に形
成された貫通穴１６６，１６８を通り、第二の固定用部
材１５４に形成されたねじ穴１７０，１７２に螺合する
一対の調節ねじ１６２，１６４を含んでいる。

【００５０】第一の固定用部材１５２と第二の固定用部
材１５４の間隔は、一対の調節ねじ１６２，１６４を適
宜回転させることにより調整される。この調整により、
光偏向ミラー部１０２の弾性部材１１４ａ，１１４ｂの
製造時の形状のばらつきによるばね定数のばらつきを較
正できるとともに、環境温度の変化などに起因するばね
定数の変動を補正できる。従って、可動板１１２を常に
所望の特性で駆動させることができる。

【００５１】また、間隔調整手段は、調節ねじ１６２，
１６４を回転させるアクチュエータ、例えば電磁型ステ
ッピングモータ、静電型モータなどを更に含み、このア
クチュエータが、可動板１１２が所望の駆動をするよう
に、駆動制御回路１１０により制御されてもよい。

【００５２】[第三変形例]本変形例では、図９に示され
るように、特性調整機構１０８は、支持体１１６ａを保
持する第一の固定用部材１５２と、支持体１１６ｂを保
持する第二の固定用部材１５４と、これらの固定用部材
１５２，１５４の間隔を変更するための間隔調整手段と
を有し、間隔調整手段は、第一の固定用部材１５２に形
成された貫通穴１６６を通り、第二の固定用部材１５４
に形成されたねじ穴１７０に螺合する一本の調節ねじ１
６２を含んでいる。

【００５３】つまり、本変形例の特性調整機構１０８
は、第二変形例の特性調整機構１０８から調節ねじ１６
４が省かれた構成となっている。このような本変形例の
構成は、弾性部材１１４ａ，１１４ｂのばね定数の変化
が小さい場合に適している。

【００５４】第一の固定用部材１５２と第二の固定用部
材１５４の間隔は、調節ねじ１６２を適宜回転させるこ
とにより調整される。この調整により、光偏向ミラー部
１０２の弾性部材１１４ａ，１１４ｂの製造時の形状の
ばらつきによるばね定数のばらつきを較正できるととも
に、環境温度の変化などに起因するばね定数の変動を補
正できる。従って、可動板１１２を常に所望の特性で駆
動させることができる。

【００５５】また、間隔調整手段は、調節ねじ１６２を
回転させるアクチュエータを更に含み、このアクチュエ
ータが駆動制御回路１１０により可動板１１２が所望の
駆動をするように制御されてもよい。

【００５６】[第四変形例]本変形例では、図１０(Ａ)と
図１０(Ｂ)に示されるように、光偏向ミラー部１０２の
支持体１１６ａ，１１６ｂは、共に細長の矩形形状をし
ており、可動板１１２の側方に延出してない。特性調整
機構１０８は、支持体１１６ａを保持する第一の固定用
部材１７４と、支持体１１６ｂを保持する第二の固定用
部材１７６とを有し、第一の固定用部材１７４は不動部
材１８０に固定され、第二の固定用部材１７６は圧電素
子１７８を介して不動部材１８２に固定されている。特
性調整機構１０８は、さらに、第一の固定用部材１７４
と第二の固定用部材１７６の間隔を変更するための間隔
調整手段を有しており、間隔調整手段は、第二の固定用
部材１７６と不動部材１８２を連結する圧電素子１７８
を含んでいる。

【００５７】圧電素子１７８は駆動制御回路１１０の間
隔信号出力端子１２８に電気的に接続されており、第一
の固定用部材１７４と第二の固定用部材１７６の間隔
は、駆動制御回路１１０により圧電素子１７８を矢印Ｇ
の方向に伸縮させることにより調整される。この調整に
より、光偏向ミラー部１０２の弾性部材１１４ａ，１１
４ｂの製造時の形状のばらつきによるばね定数のばらつ
きを較正できるとともに、環境温度の変化などに起因す
るばね定数の変動を補正できる。従って、可動板１１２
を常に所望の特性で駆動させることができる。

【００５８】また、この変形例では、図１０(Ｃ)に示さ
れるように、永久磁石１０４ａ，１０４ｂは可動板１１
２と同じ高さに配置されている。このため、本変形例の
光偏向器は、永久磁石１０４ａ，１０４ｂが図１０(Ｄ)
に示されるレイアウトで配置されている前述した実施の
形態の光偏向器(図１参照)に比べて、高い駆動効率を有
している。

【００５９】[第五変形例]本変形例では、図１１に示さ
れるように、特性調整機構１０８は、支持体１１６ａを
保持する第一の固定用部材１５２と、支持体１１６ｂを
保持する第二の固定用部材１５４と、これらの固定用部
材１５２，１５４の間隔を変更するための間隔調整手段
とを有し、間隔調整手段は、第一の固定用部材１５２と
第二の固定用部材１５４を連結する一対の圧電素子１５
６，１５８を含んでいる。

【００６０】第一の固定用部材１５２と第二の固定用部
材１５４の間隔は、駆動制御回路１１０により圧電素子
１５６，１５８を矢印Ｇの方向に伸縮させることにより
調整される。この調整により、光偏向ミラー部１０２の
弾性部材１１４ａ，１１４ｂの製造時の形状のばらつき
によるばね定数のばらつきを較正できるとともに、環境
温度の変化などに起因するばね定数の変動を補正でき
る。従って、可動板１１２を常に所望の特性で駆動させ
ることができる。

【００６１】本変形例では、圧電素子１５６，１５８に
連結されている固定用部材１５２，１５４の部分１５２
ａ，１５２ｂ，１５４ａ，１５４ｂ、すなわち、固定用
部材１５２，１５４の光偏向ミラー部１０２の側方に位
置している部分１５２ａ，１５２ｂ，１５４ａ，１５４
ｂは、光偏向ミラー部１０２から離れている。光偏向ミ
ラー部１０２とこれらの部分の間に、永久磁石１０４
ａ，１０４ｂが配置されている。従って、永久磁石１０
４ａ，１０４ｂは可動板１１２と同じ高さに配置されて
いる。このため、本変形例の光偏向器は、前述の実施の
形態の光偏向器(図１参照)に比べて、高い駆動効率を有
している。

【００６２】[第六変形例]本変形例では、図１２(Ａ)と
図１２(Ｂ)に示されるように、特性調整機構１０８は、
支持体１１６ａを保持する第一の固定用部材１８４と、
支持体１１６ｂを保持する第二の固定用部材１８６を有
し、第一の固定用部材１８４は不動部材１９４に固定さ
れ、第二の固定用部材１８６は伸縮ばね１９２を介して
不動部材１９６に固定されている。

【００６３】特性調整機構１０８は、さらに、これらの
固定用部材１８４，１８６の間隔を変更するための間隔
調整手段を有しており、間隔調整手段は、一対の櫛形ア
クチュエータ１８８，１９０と、伸縮ばね１９２とを含
んでいる。櫛形アクチュエータ１８８は、固定用部材１
８４，１８６にそれぞれ設けられた互いに対向する櫛形
電極１８８ａ，１８８ｂを含み、同様に櫛形アクチュエ
ータ１９０は、固定用部材１８４，１８６にそれぞれ設
けられた互いに対向する櫛形電極１９０ａ，１９０ｂを
含んでいる。

【００６４】伸縮ばね１９２は、その軸が、光偏向ミラ
ー部１０２の弾性部材１１４ａ，１１４ｂのねじり軸に
揃うように設けられている。このようなレイアウトは、
弾性部材１１４ａ，１１４ｂのばね定数の変化を同様に
し、不所望な振動モードの発生を抑えるとともに、伸縮
ばねの伸縮量と弾性部材１１４ａ，１１４ｂへの応力の
かかり方の再現性を高める。

【００６５】第一の固定用部材１８４と第二の固定用部
材１８６の間隔は、駆動制御回路１１０により櫛形アク
チュエータ１８８，１９０に電圧を印加し、その電極間
に働く静電力により伸縮ばね１９２の伸びを制御するこ
とにより調整される。この調整により、光偏向ミラー部
１０２の弾性部材１１４ａ，１１４ｂの製造時の形状の
ばらつきによるばね定数のばらつきを較正できるととも
に、環境温度の変化などに起因するばね定数の変動を補
正できる。従って、可動板１１２を常に所望の特性で駆
動させることができる。

【００６６】[第七変形例]本変形例では、図１３に示さ
れるように、光偏向ミラー部１０２は、可動板１１２
と、可動板１１２を揺動可能に支持する一対の弾性部材
１１４ａ，１１４ｂと、弾性部材１１４ａ，１１４ｂを
支持する支持体１１６とを有し、支持体１１６は可動板
１１２を取り囲んでいる。つまり、支持体１１６が二つ
に分割されていない構成となっている。

【００６７】特性調整機構１０８は、支持体１１６の一
方の側を保持する第一の固定用部材１７４と、支持体１
１６の他方の側を保持する第二の固定用部材１７６とを
有し、第一の固定用部材１７４は不動部材に固定され、
第二の固定用部材１７６は圧電素子１７８を介して不動
部材１８２に固定されている。特性調整機構１０８は、
さらに、第一の固定用部材１７４と第二の固定用部材１
７６の間隔を変更するための間隔調整手段を有してお
り、間隔調整手段は、第二の固定用部材１７６と不動部
材１８２を連結する圧電素子１７８を含んでいる。つま
り、本変形例の特性調整機構１０８は、第四変形例と同
じ構成を有している。

【００６８】圧電素子１７８は駆動制御回路１１０の間
隔信号出力端子１２８に電気的に接続されており、第一
の固定用部材１５２と第二の固定用部材１５４の間隔
は、駆動制御回路１１０により圧電素子１７８を矢印Ｇ
の方向に伸縮させることにより調整される。この調整に
より、光偏向ミラー部１０２の弾性部材１１４ａ，１１
４ｂの製造時の形状のばらつきによるばね定数のばらつ
きを較正できるとともに、環境温度の変化などに起因す
るばね定数の変動を補正できる。従って、可動板１１２
を常に所望の特性で駆動させることができる。

【００６９】[第八変形例]本変形例では、光偏向ミラー
部と特性調整機構が、モノリシックに一体形成されてい
る。この一体形成された構造体は、図１４(Ａ)〜図１４
(Ｃ)に示されるように、可動板１１２と、可動板１１２
を揺動可能に支持する一対の弾性部材１１４ａ，１１４
ｂと、弾性部材１１４ａ，１１４ｂを支持する一対の支
持体１１６ａ，１１６ｂと、支持体１１６ａ，１１６ｂ
の間に設けられた一対の櫛形アクチュエータ２０２，２
０４と、支持体１１６から延びる伸縮ばね２０６と、伸
縮ばね２０６の端部が連結する取り付け部２０８とを有
しており、支持体１１６ａは不動部材２１０に固定さ
れ、取り付け部２０８は不動部材２１２に固定されてい
る。

【００７０】光偏向ミラー部は、可動板１１２と一対の
弾性部材１１４ａ，１１４ｂと一対の支持体１１６ａ，
１１６ｂを含んでいる。また、特性調整機構は、一対の
支持体１１６ａ，１１６ｂの間隔を変更するための間隔
調整手段を有しており、これは、一対の櫛形アクチュエ
ータ２０２，２０４と伸縮ばね２０６を含んでいる。

【００７１】櫛形アクチュエータ２０２は、一対の支持
体１１６ａ，１１６ｂの各々に設けられた互いに対向す
る櫛形電極２０２ａ，２０２ｂを含み、同様に櫛形アク
チュエータ２０４は、一対の支持体１１６ａ，１１６ｂ
の各々に設けられた互いに対向する櫛形電極２０４ａ，
２０４ｂを含んでいる。

【００７２】伸縮ばね２０６は、一対の弾性部材１１４
ａ，１１４ｂのばね定数の変化を揃えるため、その軸が
弾性部材１１４ａ，１１４ｂのねじり軸に揃えられてい
る。伸縮ばねの形状は、図示の形状に限定されるもので
はなく、他の形状、例えば第六変形例と同様に四角柱状
の形状であってもよい。

【００７３】このようにモノリシックに一体形成された
構造体は、前述した半導体製造プロセスにおいて、パタ
ーニング形状を伸縮ばね２０６と取り付け部２０８を含
む形状に変更するとともに、一連の工程中において櫛形
電極２０２ａ，２０２ｂ，２０４ａ，２０４ｂを作り込
むことで作製される。

【００７４】一対の支持体１１６ａ，１１６ｂの間隔
は、駆動制御回路１１０により櫛形アクチュエータ２０
２，２０４に電圧を印加し、その電極間に働く静電力に
より伸縮ばね２０６の伸びを制御することにより調整さ
れる。この調整により、光偏向ミラー部の弾性部材１１
４ａ，１１４ｂの製造時の形状のばらつきによるばね定
数のばらつきを較正できるとともに、環境温度の変化な
どに起因するばね定数の変動を補正できる。従って、可
動板１１２を常に所望の特性で駆動させることができ
る。

【００７５】本変形例では、伸縮ばね２０６が光偏向ミ
ラー部とモノリシックに一体形成されているので、伸縮
ばね２０６は第六変形例に比べて正確に位置決めされて
いる。また、伸縮ばね２０６の実装の手間がないので、
実装の際の不良発生による歩留まり低下がない。

【００７６】[第九変形例]本変形例は、第八変形例に類
似した構成をしており、光偏向ミラー部と特性調整機構
がモノリシックに一体形成されている。この一体形成さ
れた構造体は、図１５に示されるように、可動板１１２
と、可動板１１２を揺動可能に支持する一対の弾性部材
１１４ａ，１１４ｂと、弾性部材１１４ａ，１１４ｂを
支持する一対の支持体１１６ａ，１１６ｂと、支持体１
１６ａ，１１６ｂの間に設けられた一対の櫛形アクチュ
エータ２０２，２０４と、支持体１１６から延びる伸縮
ばね２０６と、伸縮ばね２０６の端部が連結する取り付
け部２０８とを有している。支持体１１６ａは不動部材
２１０に固定され、取り付け部２０８は不動部材２１２
に固定されている。

【００７７】光偏向ミラー部は、可動板１１２と一対の
弾性部材１１４ａ，１１４ｂと一対の支持体１１６ａ，
１１６ｂを含んでいる。また、特性調整機構は、一対の
支持体１１６ａ，１１６ｂの間隔を変更するための間隔
調整手段を有しており、これは、一対の櫛形アクチュエ
ータ２０２，２０４と伸縮ばね２０６を含んでいる。伸
縮ばね２０６は、一対の弾性部材１１４ａ，１１４ｂの
ばね定数の変化を揃えるため、その軸が弾性部材１１４
ａ，１１４ｂのねじり軸に揃えられている。

【００７８】一対の支持体１１６ａ，１１６ｂの間隔
は、駆動制御回路１１０により櫛形アクチュエータ２０
２，２０４に電圧を印加し、その電極間に働く静電力に
より伸縮ばね２０６の伸びを制御することにより調整さ
れる。この調整により、光偏向ミラー部の弾性部材１１
４ａ，１１４ｂの製造時の形状のばらつきによるばね定
数のばらつきを較正できるとともに、環境温度の変化な
どに起因するばね定数の変動を補正できる。従って、可
動板１１２を常に所望の特性で駆動させることができ
る。

【００７９】本変形例では、光偏向ミラー部と特性調整
機構を含む構造体は、図１６に示されるように、シリコ
ン基板３０２と、シリコン基板３０２に形成された第一
の絶縁膜３０４と、絶縁膜３０４の上に選択的に形成さ
れた第一の導体膜３１２と、導体膜３１２をその一部を
除いて覆う第二の絶縁膜３０６と、絶縁膜３０６の上に
選択的に形成された第二の導体膜３１４と、導体膜３１
４を覆う第三の絶縁膜３０８とを有している。

【００８０】絶縁膜３０４，３０６，３０８は共にポリ
イミド膜から成り、シリコン基板３０２は、弾性部材１
１４ａ，１１４ｂに当たる部分と、伸縮ばね２０６に当
たる部分においても除去されている。従って、弾性部材
１１４ａ，１１４ｂと伸縮ばね２０６は共にポリイミド
膜から成っている。ポリイミドは、シリコンに比べて耐
衝撃性の高い物質であり、このため、この構造体すなわ
ち光偏向器は、第八変形例に比べて、耐衝撃性に優れて
いる。

【００８１】上述した実施の形態とその変形例では、電
流と磁場の相互作用を利用して可動板を駆動する電磁駆
動型の光偏向器について述べてきたが、可動板の駆動原
理はこれに限定されるものではなく、光偏向器は、例え
ば静電力を利用して可動板を駆動する静電駆動型などで
あってもよい。

【００８２】また、可動板の位置の検出は、可動板に設
けられた検出コイルに可動板の速度に比例して発生する
誘導起電力を利用しているが、可動板の位置検出の原理
はこれに限定されない。可動板の位置の検出は、例え
ば、可動板に設けられたホール素子と、磁場との相互作
用によって発生するホール電流を利用して行ってもよ
く、また、可動板のミラーで反射された光ビームの数パ
ーセントの成分ををビームスプリッタにより取り出し、
これをアレイ状に並んだフォトダイオードで検出するこ
となどで行ってもよい。

【００８３】これまで、実施の形態とその変形例につい
て図面を参照しながら具体的に説明したが、本発明は、
上述した実施の形態と変形例に限定されるものではな
く、その要旨を逸脱しない範囲で行なわれるすべての実
施を含む。

【００８４】１．(構成) 可動板と、支持体と、前記可動板を前記支持体に対して
揺動可能に軸支する２つの弾性部材とを備えた光偏向器
において、前記支持体と前記可動板との間隔を変える間
隔調整手段をさらに有し、前記支持体と前記可動板との
間隔を変化させることにより弾性部材に可変応力を与え
るよう構成した光偏向器。

【００８５】(作用効果)間隔調整手段により可動板と支
持体との間隔を変化させるとにより、弾性部材にかかる
応力を変化させ、それによって弾性部材のばね定数を任
意に変化させることができる。これにより、所望の周波
数において、所望の振れ角で可動板を駆動できる。

【００８６】２．(構成) 上記支持体は一対の支持体からなり、前記間隔調整手段
は一対の支持体の間隔を変えることを特徴とする第１項
に記載の光偏向器。

【００８７】(作用効果)弾性部材の伸縮が支持体が２個
に分割されていない場合に比べて、支持体間の間隔を変
化させることが容易であり、広い範囲の共振周波数のず
れに対して補正しやすい。

【００８８】３．(構成) 上記支持体を保持する一対の固定用部材をさらに有し、
上記間隔調整手段は、上記一対の固定用部材の間隔を変
更するものであることを特徴とする請求項１記載の光偏
向器。

【００８９】(作用効果)直接支持体を動かすよりも、支
持体を保持する固定用部材を動かす光偏向器のほうが容
易に作成できる。

【００９０】４．(構成) 少なくとも前記可動板と、前記弾性部材と、前記支持体
と、前記間隔調整手段がモノリシックに一体形成されて
いることを特徴とする第１項ないし第３項のいずれかひ
とつに記載の光偏向器。

【００９１】(作用効果)実装の手間を省くことができ
る。同時に部品点数削減による実装工程における不良率
発生頻度の低減により歩留まりが向上する。

【００９２】間隔調整手段の光偏向器の他要素に対する
設置位置が正確に決められ、その結果所望の駆動をする
光偏向器を得られる。

【００９３】５．(構成) 前記間隔調整手段に伸縮ばねが含まれていて、伸縮ばね
の材質が有機材料であることを特徴とする第４項に記載
の光偏向器。

【００９４】(作用効果)耐衝撃性に優れた光偏向器を提
供できる。

【００９５】６．(構成) 前記可動板の振れを検出する検出手段と、前記検出手段
の出力と前記可動板を駆動させるための電源の出力との
位相差に基づいて、前記可動板が共振で駆動するよう前
記間隔調整手段を制御する制御手段とをさらに有するこ
とを特徴とする第１項ないし第５項のいずれかひとつに
記載の光偏向器。

【００９６】(作用効果)電源から供給する電流の周期を
可動板の所望の駆動周期Ｔｃに設定する。この時、外界
の例えば温度変化、湿度変化などの環境変化によって弾
性部材のばね定数が変化した場合を考える。前記可動板
の振れの位相と前記電源の位相との位相差から可動板が
所望の駆動周期Ｔｃで共振するように、前記間隔調整手
段により支持体の間隔を調整し、弾性部材のばね定数を
調整することかできる。その結果可動板を常に所望の周
期で所望の振れ角で駆動できる。

【００９７】７．(構成) 前記検出手段が、磁場を検出する原理によらないもので
あることを特徴とする第６項に記載の光偏向器。

【００９８】(作用効果)検出手段が磁場を検出する原理
によらないものであれば、特性調整機構や可動板を駆動
する手段が電磁駆動などの磁界を発生するようなもので
あっても、検出にあたってその影響を受けないので好ま
しい。

【００９９】８．(構成) 前記可動板に設けた駆動コイルと、前記駆動コイルに磁
界を与える磁界発生手段とを備え、前記駆動コイルに電
流を流すことにより発生する磁気力を前記可動板を駆動
する手段とし、前記間隔調整手段が磁気力を用いていな
い第１項ないし第７項のいずれかひとつに記載の光偏向
器。

【０１００】(作用効果)駆動コイルに影響を及ぼさない
ので、可動板が所望の駆動をする。９．(構成)前記可動
板の振れを検出する手段から得られる可動板の振れ振幅
が、所望の振れ振幅と一致するように電源の出力を調整
する印加振幅制御手段を具備した第５項に記載の光偏向
器。

【０１０１】(作用効果)弾性部材のばね定数の調整を行
うと、共振時における可動板の振れの振幅を決める弾性
部材のパラメータがばね定数とは独立に変化することが
ある。この場合、同じ周期の共振状態で可動板が振れて
いる場合でも、振れ振幅が違ってくる。このような場合
には、電源の出力を調整して振れ振幅の違いを調整する
ことにより、所望の振れ振幅を得る。

【０１０２】

【発明の効果】このように、本発明によれば、可動板を
所望の振れ角と周波数で駆動することのできる光偏向器
を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態の光偏向器の概略的な構成
を示す斜視図である。

【図２】(Ａ)は図１に示される光偏向ミラー部の平面
図、(Ｂ)は(Ａ)の２Ｂ−２Ｂ線に沿って破断された断面
図、(Ｃ)は(Ａ)の２Ｃ−２Ｃ線に沿って破断された断面
図である。

【図３】図１に示される特性調整機構の平面図であり、
光偏向ミラー部を保持した状態が示されている。

【図４】(Ａ)は図１に示される特性調整機構の平面図、
(Ｂ)は(Ａ)の特性調整機構の側面図、(Ｃ)は(Ａ)の４Ｃ
−４Ｃ線に沿って破断された断面を側面から(Ａ)に記し
た矢印方向に見た図、(Ｄ)は変形例の特性調整機構の側
面図、(Ｅ)は４Ｃ−４Ｃ線に沿った断面に相当する(Ｄ)
の変形例の特性調整機構の断面を側面から矢印方向に見
た図である。

【図５】図１に示される光偏向ミラー部を製造するため
の一連の工程中の最初の数工程を示しており、各工程の
断面は図２(Ａ)の２Ｂ−２Ｂ線に沿って破断された断面
に対応している。

【図６】図１に示される光偏向ミラー部を製造するため
の一連の工程中の図５の工程に続く数工程を示してお
り、各工程の断面は図２(Ａ)の２Ｂ−２Ｂ線に沿って破
断された断面に対応している。

【図７】本発明の光偏向器の実施の形態の第一変形例に
おける特性調整機構の平面図である。

【図８】本発明の光偏向器の実施の形態の第二変形例に
おける特性調整機構の平面図である。

【図９】本発明の光偏向器の実施の形態の第三変形例に
おける特性調整機構の平面図である。

【図１０】(Ａ)は本発明の光偏向器の実施の形態の第四
変形例の平面図、(Ｂ)は(Ａ)の光偏向器の側面を側面か
ら矢印方向に見た図、(Ｃ)は(Ａ)の１０Ｃ−１０Ｃ線に
沿って破断された断面図、(Ｄ)は図１の光偏向器におけ
る永久磁石のレイアウトを示す図であり、これは(Ｃ)の
断面を側面から矢印方向に見た図に相当している。

【図１１】本発明の光偏向器の実施の形態の第五変形例
の平面図である。

【図１２】(Ａ)は本発明の光偏向器の実施の形態の第六
変形例における特性調整機構の平面図、(Ｂ)は(Ａ)の特
性調整機構の側面図である。

【図１３】本発明の光偏向器の実施の形態の第七変形例
における光偏向ミラー部と特性調整機構の平面図であ
る。

【図１４】(Ａ)は本発明の光偏向器の実施の形態の第八
変形例における光偏向ミラー部と特性調整機構を含む構
造体の平面図、(Ｂ)は(Ａ)の１４Ｂ−１４Ｂ線に沿って
破断された断面を側面から矢印方向に見た図、(Ｃ)は
(Ａ)の１４Ｃ−１４Ｃ線に沿って破断された断面を側面
から矢印方向に見た図である。

【図１５】本発明の光偏向器の実施の形態の第九変形例
における光偏向ミラー部と特性調整機構を含む構造体の
平面図である。

【図１６】図１５に示される構造体のＸＶＩ−ＸＶＩ線
に沿って破断された断面を側面から矢印方向に見た図で
ある。

【符号の説明】

１００光偏向器１０２光偏向ミラー部１０４ａ，１０４ｂ永久磁石１０６振動ユニット部１０８特性調整機構１０８１１２可動板１１４ａ，１１４ｂ弾性部材１１４ａ，１１４ｂ支持体１２２駆動コイル１４２ミラー１５２，１５４固定用部材１５６，１５８圧電素子

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】光ビームを偏向するための光偏向器であ
って、光偏向ミラー部と一対の永久磁石から成る振動ユニット
部と、光偏向ミラー部の特性を調整するための特性調整機構と
を備えており、光偏向ミラー部は、可動板と、可動板を揺動可能に支持
する一対の弾性部材と、一対の弾性部材を支持する支持
体とを有しており、特性調整機構は、支持体を保持する一対の固定用部材
と、一対の固定用部材の間隔を変更するための間隔調整
手段とを有している、光偏向器。
【請求項２】少なくとも可動板、弾性部材、支持体及
び間隔調整手段が、がモノリシックに一体形成されてい
る、請求項１に記載の光偏向器。
【請求項３】光ビームを偏向するための光偏向器であ
って、光偏向ミラー部と一対の永久磁石から成る振動ユニット
部と、光偏向ミラー部の特性を調整するための特性調整機構と
を備えており、光偏向ミラー部は、可動板と、可動板を揺動可能に支持
する一対の弾性部材と、一対の弾性部材を支持する支持
体とを有しており、支持体は一対の支持体であって、間
隔調整手段が、一対の支持体にそれぞれ設けらた櫛形ア
クチュエータと、一対の支持体の一方に連結された伸縮
ばねとを含んでいる、請求項１に記載の光偏向器。