JP2001296328A - 被測定装置に対する所定試験項目の試験装置 - Google Patents
被測定装置に対する所定試験項目の試験装置Info
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- JP2001296328A JP2001296328A JP2000110654A JP2000110654A JP2001296328A JP 2001296328 A JP2001296328 A JP 2001296328A JP 2000110654 A JP2000110654 A JP 2000110654A JP 2000110654 A JP2000110654 A JP 2000110654A JP 2001296328 A JP2001296328 A JP 2001296328A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】ノイズをリアル・タイムに、又即時に検知し、
試験結果に影響が出てくる際には、問題を早期に解決す
ることを促すことができる被測装置に対する所定試験項
目の試験測定装置を提供する。 【解決手段】被測定装置に対する予め定めた測定仕様に
従って設定された試験項目をその被測定装置に実施する
ために、その試験項目に対応する入力信号を被測定装置
に入力し、その入力信号の印加に伴う被測定装置からの
測定信号を測定して測定データとして取り出し、被測定
装置に対する前記試験項目に対応する測定条件を予め又
は該測定データに基づき設定し、その条件設定に従って
被測定装置における所望の位置におけるノイズを測定し
たノイズ・データが前記条件設定に適合するか否かの判
定をするように構成されている。
試験結果に影響が出てくる際には、問題を早期に解決す
ることを促すことができる被測装置に対する所定試験項
目の試験測定装置を提供する。 【解決手段】被測定装置に対する予め定めた測定仕様に
従って設定された試験項目をその被測定装置に実施する
ために、その試験項目に対応する入力信号を被測定装置
に入力し、その入力信号の印加に伴う被測定装置からの
測定信号を測定して測定データとして取り出し、被測定
装置に対する前記試験項目に対応する測定条件を予め又
は該測定データに基づき設定し、その条件設定に従って
被測定装置における所望の位置におけるノイズを測定し
たノイズ・データが前記条件設定に適合するか否かの判
定をするように構成されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体試験装置に
おいて、被測定ＩＣ（ＤＵＴ：Device Under Test ）の
試験時の測定結果に影響を及ぼすあらゆるノイズ源の状
態を監視し、警告を発生する機能に関するものである。
おいて、被測定ＩＣ（ＤＵＴ：Device Under Test ）の
試験時の測定結果に影響を及ぼすあらゆるノイズ源の状
態を監視し、警告を発生する機能に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、ＤＵＴ試験時において発生するノ
イズの問題に対しては、半導体試験装置による測定結果
から類推される試験環境条件に係わる情報を元に、想定
される入出力ならびに電源ピン電圧を計測機器で測定
し、そのデータから原因を特定し、それに応じた対策を
行ってきた。このような対策は、通常テスト・プログラ
ムの開発時に行うが、その際には、良品サンプルを用い
たテスト結果を他の計測機器と比較する等により、妥当
と思われるテスト結果が得られたときに最終的に測定回
路とテスト・プログラムが完成したものと判断してい
る。
イズの問題に対しては、半導体試験装置による測定結果
から類推される試験環境条件に係わる情報を元に、想定
される入出力ならびに電源ピン電圧を計測機器で測定
し、そのデータから原因を特定し、それに応じた対策を
行ってきた。このような対策は、通常テスト・プログラ
ムの開発時に行うが、その際には、良品サンプルを用い
たテスト結果を他の計測機器と比較する等により、妥当
と思われるテスト結果が得られたときに最終的に測定回
路とテスト・プログラムが完成したものと判断してい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、最終的に使用
される試験環境は、先に行われた開発時の作業環境と異
なる場合が多い。即ち、ノイズを中心とした外乱による
ＤＵＴへの影響であり、これによって、試験結果に差異
が出た場合に、その原因についての対策をとるという開
発時と同様の作業を繰り返さなければならない。また、
一時的なものや、突発的なノイズに対するもの、更に試
験装置の経年変化によるノイズ成分増加による影響対策
等も必要となる場合があるが、ほとんどの場合、適切な
対応ができていないのが現状である。例えば、従来の装
置では、ノイズによる影響が試験結果による判定のみに
限定されてしまうので、具体的な原因がノイズによると
して判断・対処するには、他の機器を使用する必要があ
り、その準備等のため多くの時間を要することになる。
また、実際に試験工場内においてはそれらの機器が常に
準備されていない場合も多く、そのノイズ確認作業すら
なかなかできない場合もある。
される試験環境は、先に行われた開発時の作業環境と異
なる場合が多い。即ち、ノイズを中心とした外乱による
ＤＵＴへの影響であり、これによって、試験結果に差異
が出た場合に、その原因についての対策をとるという開
発時と同様の作業を繰り返さなければならない。また、
一時的なものや、突発的なノイズに対するもの、更に試
験装置の経年変化によるノイズ成分増加による影響対策
等も必要となる場合があるが、ほとんどの場合、適切な
対応ができていないのが現状である。例えば、従来の装
置では、ノイズによる影響が試験結果による判定のみに
限定されてしまうので、具体的な原因がノイズによると
して判断・対処するには、他の機器を使用する必要があ
り、その準備等のため多くの時間を要することになる。
また、実際に試験工場内においてはそれらの機器が常に
準備されていない場合も多く、そのノイズ確認作業すら
なかなかできない場合もある。
【０００４】本発明は、ノイズをリアル・タイムに、又
即時に検知し、試験結果に影響が出てくる際には、問題
を早期に解決することを促すことができる被測装置に対
する所定試験項目の試験測定装置を提供するものであ
る。
即時に検知し、試験結果に影響が出てくる際には、問題
を早期に解決することを促すことができる被測装置に対
する所定試験項目の試験測定装置を提供するものであ
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明による被測定装置に対する所定試験項目の試
験測定装置は、被測定装置に対する予め定めた測定仕様
に従って設定された試験項目を該被測定装置に実施する
ために、該試験項目に対応する入力信号を発生する信号
発生器と、該入力信号を前記被測定装置に入力する入力
信号の印加手段と、該入力信号の印加に伴う該被測定装
置からの測定信号を取り出す測定信号の取り出し手段
と、該測定信号の取り出し手段を介して取り出された前
記測定信号を測定して測定データとして出力する測定器
と、該被測定装置に対する前記試験項目に対応する測定
条件を予め又は該測定データに基づき設定するコントロ
ーラと、該コントローラからの該条件設定に従って前記
被測定装置における所望の位置におけるノイズを測定し
たノイズ・データを出力するノイズ・モニタとを備え、
前記コントローラは、該ノイズ・モニタからの該ノイズ
・データが前記条件設定に適合するか否かの判定をする
判定機能をさらに備えるように構成されている。前記コ
ントローラは、前記判定機能による判定結果を前記被測
定装置からの前記ノイズ・データ毎に出力するように構
成することができる。また、前記コントローラは、前記
判定機能による判定結果を前記被測定装置からの前記ノ
イズ・データに対して予め定められた一定周期毎に出力
するように構成することができる。
に、本発明による被測定装置に対する所定試験項目の試
験測定装置は、被測定装置に対する予め定めた測定仕様
に従って設定された試験項目を該被測定装置に実施する
ために、該試験項目に対応する入力信号を発生する信号
発生器と、該入力信号を前記被測定装置に入力する入力
信号の印加手段と、該入力信号の印加に伴う該被測定装
置からの測定信号を取り出す測定信号の取り出し手段
と、該測定信号の取り出し手段を介して取り出された前
記測定信号を測定して測定データとして出力する測定器
と、該被測定装置に対する前記試験項目に対応する測定
条件を予め又は該測定データに基づき設定するコントロ
ーラと、該コントローラからの該条件設定に従って前記
被測定装置における所望の位置におけるノイズを測定し
たノイズ・データを出力するノイズ・モニタとを備え、
前記コントローラは、該ノイズ・モニタからの該ノイズ
・データが前記条件設定に適合するか否かの判定をする
判定機能をさらに備えるように構成されている。前記コ
ントローラは、前記判定機能による判定結果を前記被測
定装置からの前記ノイズ・データ毎に出力するように構
成することができる。また、前記コントローラは、前記
判定機能による判定結果を前記被測定装置からの前記ノ
イズ・データに対して予め定められた一定周期毎に出力
するように構成することができる。
【０００６】
【発明の実施の形態】本発明は、検知機能を本体である
半導体検査装置にシステムとして組み込むことにより、
即時にノイズの監視が行えるようにしたことが特徴のひ
とつである。すなわち、前記の如き従来技術の問題点を
解消するために、半導体検査装置の一部として動作する
本発明の機能により、常に使用者がノイズの影響を問題
とする対象部分に関して、測定系の任意の位置を指定
し、且つテスト・プログラム上で監視のタイミングや限
界レベルを指定することができる。また、その検知結果
はＤＵＴ毎にモニタされ、ノイズが規定レベル位置に達
したときに警告を発し異常を知らせることが可能であ
る。また、プログラム上での設定方法によっては、その
種類又はレベル等による分類も可能である。
半導体検査装置にシステムとして組み込むことにより、
即時にノイズの監視が行えるようにしたことが特徴のひ
とつである。すなわち、前記の如き従来技術の問題点を
解消するために、半導体検査装置の一部として動作する
本発明の機能により、常に使用者がノイズの影響を問題
とする対象部分に関して、測定系の任意の位置を指定
し、且つテスト・プログラム上で監視のタイミングや限
界レベルを指定することができる。また、その検知結果
はＤＵＴ毎にモニタされ、ノイズが規定レベル位置に達
したときに警告を発し異常を知らせることが可能であ
る。また、プログラム上での設定方法によっては、その
種類又はレベル等による分類も可能である。
【０００７】
【実施例】図１は、本発明の実施例を示す図である。１
はノイズ・モニタ、２はコントローラ、３は信号発生
器、４は測定器、５はＤＵＴボード、６は被測定ＩＣ、
７は入力信号ケーブル、８は測定信号ケーブル、９はノ
イズ測定プローブ、１１は分類装置である。１，２，
３，４は半導体検査装置本体に含まれる。
はノイズ・モニタ、２はコントローラ、３は信号発生
器、４は測定器、５はＤＵＴボード、６は被測定ＩＣ、
７は入力信号ケーブル、８は測定信号ケーブル、９はノ
イズ測定プローブ、１１は分類装置である。１，２，
３，４は半導体検査装置本体に含まれる。
【０００８】図３は図１に示す本発明装置の動作を説明
するための動作タイミングフローチャートである。この
図３を参照して、図１に示す本発明装置の動作を説明す
る。被測定ＩＣの回路構成，印加電圧及び過去の測定デ
ータ等を考慮してノイズ・モニタ１の条件設定をする。
本装置の信号発生装置３から発生させた入力信号は、入
力信号ケーブル７を通ってＤＵＴボード５内のＤＵＴ６
に入力され、測定信号ケーブル８を通って測定器４によ
って測定され、コントローラ２で判定される。ここで、
ノイズ・モニタ用のノイズ測定プローブ９をノイズに影
響を受けやすい箇所を選択し接続する。
するための動作タイミングフローチャートである。この
図３を参照して、図１に示す本発明装置の動作を説明す
る。被測定ＩＣの回路構成，印加電圧及び過去の測定デ
ータ等を考慮してノイズ・モニタ１の条件設定をする。
本装置の信号発生装置３から発生させた入力信号は、入
力信号ケーブル７を通ってＤＵＴボード５内のＤＵＴ６
に入力され、測定信号ケーブル８を通って測定器４によ
って測定され、コントローラ２で判定される。ここで、
ノイズ・モニタ用のノイズ測定プローブ９をノイズに影
響を受けやすい箇所を選択し接続する。
【０００９】信号発生装置３から発生させ入力信号ケー
ブル７を介してＤＵＴ６に入力される入力信号として
は、、単一周波数の正弦波，マルチトーン，ディジタル
クロックパルス，インパルス，映像信号，直流電圧，直
流スイープ波形，等のように、ＤＵＴに対する測定条件
に適合する信号形式を選択して定められた信号である。
ブル７を介してＤＵＴ６に入力される入力信号として
は、、単一周波数の正弦波，マルチトーン，ディジタル
クロックパルス，インパルス，映像信号，直流電圧，直
流スイープ波形，等のように、ＤＵＴに対する測定条件
に適合する信号形式を選択して定められた信号である。
【００１０】また、測定信号ケーブル８を介してとり出
され、測定器４で測定されるのは、入力信号に対するＤ
ＵＴ６からの出力レベル，周波数等である。図４（ａ）
は、この場合の測定波形例である。ここで、測定波形の
観察結果に基づき、コントローラ２からノイズ・モニタ
１への条件設定の変更をしてもよい。
され、測定器４で測定されるのは、入力信号に対するＤ
ＵＴ６からの出力レベル，周波数等である。図４（ａ）
は、この場合の測定波形例である。ここで、測定波形の
観察結果に基づき、コントローラ２からノイズ・モニタ
１への条件設定の変更をしてもよい。
【００１１】さらに、ノイズ測定プローブ９を介してノ
イズモニタ１で測定されるのは、ノイズのレベル，周波
数成分，波形等であり、周波数成分はスペクトラム・ア
ナライザを用いて含まれている周波数成分毎のレベルを
測定することができる。ノイズの波形は、ＣＲＴ等を用
いて白色雑音，インパルス性雑音，誘導雑音等の雑音の
種類，レベル配分等についての情報が得られる。図４
（ｂ）は、この場合の測定データの一例である。ここ
で、＋Ｌth はプラス側判定レベル, −Ｌth はマイナ
ス側判定レベルである。
イズモニタ１で測定されるのは、ノイズのレベル，周波
数成分，波形等であり、周波数成分はスペクトラム・ア
ナライザを用いて含まれている周波数成分毎のレベルを
測定することができる。ノイズの波形は、ＣＲＴ等を用
いて白色雑音，インパルス性雑音，誘導雑音等の雑音の
種類，レベル配分等についての情報が得られる。図４
（ｂ）は、この場合の測定データの一例である。ここ
で、＋Ｌth はプラス側判定レベル, −Ｌth はマイナ
ス側判定レベルである。
【００１２】このときノイズ測定に関する種々の条件を
テスト・プログラム上か、テスト・プログラムが制御可
能な“ノイズ測定条件ファイル”に記述しておく。その
内容は、測定するノイズの周波数成分，判定するレベル
（例えば数ｍＶ），判定タイミング等である。そのプロ
グラムを実行すると、記述内容に従って、常にノイズ・
モニタ１は、測定を実施し、前記図４（ｂ）におけるＮ
ｐポイントにおけるように判定レベルを超える場合にフ
ラグを立て、判定タイミング時に“ＮＧ・フラグ”をデ
ータと共にコントローラ２に送る。コントローラ２はそ
の結果を、ＤＵＴ測定仕様に従って予め定められた判定
基準に従って判定し、その判定出力をハンドラの如き分
類装置１１に送出する。
テスト・プログラム上か、テスト・プログラムが制御可
能な“ノイズ測定条件ファイル”に記述しておく。その
内容は、測定するノイズの周波数成分，判定するレベル
（例えば数ｍＶ），判定タイミング等である。そのプロ
グラムを実行すると、記述内容に従って、常にノイズ・
モニタ１は、測定を実施し、前記図４（ｂ）におけるＮ
ｐポイントにおけるように判定レベルを超える場合にフ
ラグを立て、判定タイミング時に“ＮＧ・フラグ”をデ
ータと共にコントローラ２に送る。コントローラ２はそ
の結果を、ＤＵＴ測定仕様に従って予め定められた判定
基準に従って判定し、その判定出力をハンドラの如き分
類装置１１に送出する。
【００１３】この動作をＤＵＴ測定毎に繰り返す。ノイ
ズの測定点は複数設定することができ、その判定条件は
試験項目毎に適宜設定することができる。
ズの測定点は複数設定することができ、その判定条件は
試験項目毎に適宜設定することができる。
【００１４】図２は、半導体検査装置内のノイズ測定の
他の実施例である。ＤＵＴ測定と関連した動作をする
か、しないかは限定せずに試験装置内の電源１０のノイ
ズ測定を行う。前述した経年変化等によるノイズ分増加
を事前に検知する使用方法である。信号発生装置，測定
装置，電源等でノイズ発生源とみなされるものに対し
て、例えば、一定時間毎，一定日数毎，一定月数毎，一
定年数毎等の一定周期毎のように、定期的且つ継続的に
行うものである。
他の実施例である。ＤＵＴ測定と関連した動作をする
か、しないかは限定せずに試験装置内の電源１０のノイ
ズ測定を行う。前述した経年変化等によるノイズ分増加
を事前に検知する使用方法である。信号発生装置，測定
装置，電源等でノイズ発生源とみなされるものに対し
て、例えば、一定時間毎，一定日数毎，一定月数毎，一
定年数毎等の一定周期毎のように、定期的且つ継続的に
行うものである。
【００１５】データは、経年変化も考慮にいれて測定ポ
イント毎に蓄積することができるようシステムによって
管理される。
イント毎に蓄積することができるようシステムによって
管理される。
【００１６】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば、一時的なＤＵＴ周辺回路の異常ノイズによる測
定、トラブルを未然に防ぐことができる。また、半導体
検査装置自身の特定のポイントを長期に亘って監視する
ことによって、経年変化によるノイズ増加等も未然に検
知することができる。即ち、ノイズに関わる種類の問題
点を早期に検知し、解決することができるため、常に最
適な試験環境が得られることになる。
れば、一時的なＤＵＴ周辺回路の異常ノイズによる測
定、トラブルを未然に防ぐことができる。また、半導体
検査装置自身の特定のポイントを長期に亘って監視する
ことによって、経年変化によるノイズ増加等も未然に検
知することができる。即ち、ノイズに関わる種類の問題
点を早期に検知し、解決することができるため、常に最
適な試験環境が得られることになる。
【図１】本発明の実施例を示すブロック図である。
【図２】本発明の他の実施例を示すブロック図である。
【図３】本発明装置の動作タイミングフローチャートで
ある。
ある。
【図４】本発明装置におけるＤＵＴ印加時の測定波形
（ａ）及びノイズ・モニタによる判定動作を説明するた
めの波形（ｂ）である。
（ａ）及びノイズ・モニタによる判定動作を説明するた
めの波形（ｂ）である。
１ ノイズ・モニタ ２ コントローラ ３ 信号発生器 ４ 測定器 ５ ＤＵＴボード ６ ＤＵＴ ７ 入力信号ケーブル ８ 測定信号ケーブル ９ ノイズ測定プローブ １０ 電源 １１ 分類装置
Claims (3)
- 【請求項１】 被測定装置に対する予め定めた測定仕様
に従って設定された試験項目を該被測定装置に実施する
ために、 該試験項目に対応する入力信号を発生する信号発生器
と、 該入力信号を前記被測定装置に入力する入力信号の印加
手段と、 該入力信号の印加に伴う該被測定装置からの測定信号を
取り出す測定信号の取り出し手段と、 該測定信号の取り出し手段を介して取り出された前記測
定信号を測定して測定データとして出力する測定器と、 該被測定装置に対する前記試験項目に対応する測定条件
を予め又は該測定データに基づき設定するコントローラ
と、 該コントローラからの該条件設定に従って前記被測定装
置における所望の位置におけるノイズを測定したノイズ
・データを出力するノイズ・モニタとを備え、 前記コントローラは、該ノイズ・モニタからの該ノイズ
・データが前記条件設定に適合するか否かの判定をする
判定機能をさらに備えるように構成された被測定装置に
対する所定試験項目の試験測定装置。 - 【請求項２】 前記コントローラは、前記判定機能によ
る判定結果を前記被測定装置からの前記ノイズ・データ
毎に出力するように構成されていることを特徴とする請
求項１に記載の被測定装置に対する所定試験項目の試験
測定装置。 - 【請求項３】 前記コントローラは、前記判定機能によ
る判定結果を前記被測定装置からの前記ノイズ・データ
に対して予め定められた一定周期毎に出力するように構
成されていることを特徴とする請求項１に記載の被測定
装置に対する所定試験項目の試験測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000110654A JP2001296328A (ja) | 2000-04-12 | 2000-04-12 | 被測定装置に対する所定試験項目の試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000110654A JP2001296328A (ja) | 2000-04-12 | 2000-04-12 | 被測定装置に対する所定試験項目の試験装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001296328A true JP2001296328A (ja) | 2001-10-26 |
Family
ID=18623132
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000110654A Pending JP2001296328A (ja) | 2000-04-12 | 2000-04-12 | 被測定装置に対する所定試験項目の試験装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001296328A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008072401A1 (ja) * | 2006-12-14 | 2008-06-19 | Advantest Corporation | 試験装置および検出方法 |
-
2000
- 2000-04-12 JP JP2000110654A patent/JP2001296328A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008072401A1 (ja) * | 2006-12-14 | 2008-06-19 | Advantest Corporation | 試験装置および検出方法 |
| JP2008151540A (ja) * | 2006-12-14 | 2008-07-03 | Advantest Corp | 試験装置および検出方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060522 |