JP2001284490A - 高周波接地構造 - Google Patents

高周波接地構造

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JP2001284490A
JP2001284490A JP2000095578A JP2000095578A JP2001284490A JP 2001284490 A JP2001284490 A JP 2001284490A JP 2000095578 A JP2000095578 A JP 2000095578A JP 2000095578 A JP2000095578 A JP 2000095578A JP 2001284490 A JP2001284490 A JP 2001284490A
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mmic
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grounding
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Naoki Onishi
直樹 大西
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Hitachi Kokusai Electric Inc
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、高周波接地を確実に行うことによ
り、増幅器の増幅率の低下を防止し、かつ異常発振を防
ぐ等の良好な高周波特性を得ることができる高周波接地
構造を提供する。 【解決手段】 回路基板上のパッケージMMIC30の
部品直下に、実装するMMIC30の部品よりも若干小
さな貫通穴38を開け、回路基板下部の金属基板35と
の間隙に高周波接地を強化する良導電性の金属部材32
を配置する高周波接地構造である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、高周波回路部品の
実装構造に係り、特に、トランジスタ等の能動素子、及
び能動素子と受動素子を一体化したMIC(マイクロ波
集積回路)等のマイクロ波帯及びミリ波帯等の高周波領
域で用いられる高周波回路部品における高周波接地構造
に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、周波数資源の枯渇により、これま
で利用されていないマイクロ波・ミリ波帯のシステム応
用が期待されている。マイクロ波・ミリ波は、他の低い
周波数と比較して空間減衰が大きく、無線伝送距離が短
いために周波数の折り返し利用が可能という利点が有
り、さらに広帯域伝送が可能なことから大容量の情報を
高速に伝達するのに適した高速無線LANシステム、コ
ードレスカメラシステム、画像モニタシステム、高速無
線ネットワーク等の実用化が急ピッチで進められてい
る。
【0003】このようなシステムを実現するためにMI
C等の高周波回路部品が使用されている。MICには、
アルミナなどの誘電体基板上に伝送路を形成し、その上
にチップ部品を搭載したハイブリッドMIC(HMI
C)、およびGaAs、Si等の半導体基板上に受動素
子と能動素子を一括製造したモノリシックMIC(MM
IC)等がある。
【0004】以下、従来の高周波回路部品の実装構造を
図8〜図11を用いて説明する。図8は、高周波ユニッ
トの一例を示す図であり、図9は、従来のMMICチッ
プを基板上に実装したときの外観斜視図であり、図10
は、従来のMMICチップを基板上に実装したときの実
装断面図であり、図11は、従来の実装方法での帰還量
の一例を示す図である。
【0005】マイクロ波・ミリ波集積回路ユニットは、
例えば、図8に示すように、金属筺体11のキャビティ
部に複数の誘電体基板12〜15が併設されており、各
々の誘電体基板上には一つあるいは複数の高周波回路部
品であるパッケージMMIC12a、あるいはMMIC
チップ13aが実装され、図示しないが各誘電体基板間
の信号ラインは金属細線によるワイヤボンディングによ
り電気的に接続される。そして、金属筺体11の側壁に
は誘電体基板の信号ライン及びグランドと接続されたコ
ネクタ16が設けられ外部回路と接統される。
【0006】また、図示しないが高周波回路部品の実装
方法として、MMICチップ13aを実装する場合は金
属細線によるワイヤボンディング、リボンボンディン
グ、あるいは金属バンプを用いて直接接続するフリップ
チップボンディング等がある。また、パッケージMMI
C12aを実装する場合は、上記接続方法以外に導電性
接着剤もしくは半田づけによる接続方法がある。ワイヤ
ボンディングでは、複数のワイヤーを並列にボンディン
グすることで低損失化を行うのが一般的である。
【0007】図9では、一枚の誘電体基板上にひとつの
パッケージMMICを実装した従来例を示している。図
9に示すように、コバール(Fe−Ni−Co合金)等
の導電性の金属基板22上に誘電体基板21が金すず
(AnSn)等によるろう付けや半田付けにより接合さ
れ、誘電体基板21上に低雑音増幅器、あるいは高出力
増幅器等のパッケージMMIC24が実装される。
【0008】パッケージMMIC24は、入出力端子2
4a,24bおよびグランド端子24c,24dを有し
ており、入出力端子24a,24bは誘電体基板21に
形成されたマイクロストリップライン25,26に導電
性接着剤等により電気的に接続され、グランド端子24
c,24dはアースパターン27,28に接続されてい
る。そして、表面のアースパターン27,28と裏面の
ベタアース29はスルーホール27a,28aにより接
続されている。
【0009】しかしながら上記構成にあっては、誘電体
基板21上面のアースがスルーホール27a,28aを
介して裏面に接続されているため、スルーホール27
a,28aのインダクタンス成分が存在し、パッケージ
MMIC24の良好な高周波接地がとれなくなり、増幅
器の増幅率を落とす場合がある。
【0010】この問題の対策として、図示しないがパッ
ケージMMIC24のグランド端子24c,24dとス
ルーホール27a,28aのそれぞれの間にコンデンサ
を実装し、コンデンサとスルーホール27a,28aの
インダクタンス成分による直列共振により両面のアース
を高周波的に短絡する方法がある。
【0011】しかしながら、短絡されるのは共振周波数
近傍の限られた周波数帯域のみであり、また、共振周波
数においてもスルーホールの直列抵抗、コンデンサの損
失抵抗等により完全に短絡することができないという問
題がある。
【0012】また、図10のパッケージMMIC実装断
面図に示すように、ミリ波周波数帯ではパッケージMM
IC24の出力端子24bから入力端子24aにグラン
ド端子24c,24dを飛び越し空間的な結合が発生し
て帰還する場合がある。その特性例を図11に示す。増
幅率の大きい増幅器の場合は、帰還量の大きな周波数
(この例では33GHz)で発振が起きることがある。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】前述する通り、上記従
来の高周波回路部品の実装方法、あるいは高周波部品の
物理的構造により高周波特性が非常に悪くなり、最悪の
場合は不要周波数での発振が発生するなど、本来の設計
通りの特性が得られない等の問題点があった。
【0014】本発明は、上記従来の事情に鑑みてなされ
たものでありマイクロ波・ミリ波帯のような超高周波数
帯においても、高周波接地を確実に行うことにより、増
幅器の増幅率の低下を防止し、かつ異常発振を防ぐ等の
良好な高周波特性を得ることができる高周波接地構造を
提供することを目的とする。
【0015】
【課題を解決するための手段】上記従来例の問題点を解
決するための本発明は、回路基板上のパッケージMMI
C部品直下に、実装するMMIC部品よりも若干小さな
貫通穴を開け、回路基板下部の金属基板との間隙に高周
波接地を強化する良導電性金属を配置するものである。
また、金属基板と接地補強用良伝導性金属との接続は、
ろう付けや半田付け、および導電性接着剤等にて行う。
【0016】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について図面
を参照しながら説明する。本発明の実施の形態に係る高
周波接地構造は、表面にマイクロストリップ線路及びア
ースパッドが形成され、裏面にベタアースが形成される
誘電体基板と、誘電体基板と一体化される金属基板に該
ベタアースが接合され、誘電体基板に設けられた貫通穴
部に高周波接地部材が配置され、該高周波接地部材がア
ースパッドと金属基板に接合されることにより、アース
パッドが高周波接地部材を介して金属基板に高周波接地
されるものである。これにより、高周波接地を確実に行
うことにより、増幅器の増幅率の低下を防止し、かつ異
常発振を防ぐ等の良好な高周波特性を得ることができ
る。
【0017】また、本発明の実施の形態に係る高周波回
路部品の実装構造は、表面にマイクロストリップライン
が形成され、裏面にベタアースが形成された誘電体基板
上と、ベタアースに接合された金属基板とを具備し、誘
電体基板の表面には高周波回路部品が実装され、高周波
回路部品の直下に貫通穴を有し、金属基板上に高周波接
地部材を配置するものである。
【0018】また、本発明の実施の形態に係る高周波回
路部品の実装構造は、表面にマイクロストリップライン
が形成され、裏面にベタアースが形成された誘電体基板
上と、ベタアースに接合された金属基板とを具備し、誘
電体基板の表面には高周波回路部品が実装され、高周波
回路部品の直下に貫通穴を有し、金属基板上に入出力端
子の高周波結合を防ぐためのしきりを設けた高周波接地
部材を配置するものである。
【0019】また、本発明の実施の形態に係る高周波回
路部品の実装構造は、表面にコプレナー線路が形成さ
れ、裏面にベタアースが形成された誘電体基板上と、ベ
タアースに接合された金属基板とを具備し、誘電体基板
の表面には高周波回路部品が実装され、高周波回路部品
の直下に貫通穴を有し、金属基板上に高周波接地部材を
配置するものである。
【0020】また、上記高周波回路部品の実装行動で
は、金属基板上に高周波接地部材の機能を有する突起形
状を持つようにしてもよい。
【0021】本発明の実施の形態に係る高周波接地構造
について図1を用いて説明する。図1は、本発明の実施
形態に係る高周波接地構造を説明するための、基板パタ
ーン面から見た分解斜視図である。本発明の実施の形態
における概略構造は、金属基板35と誘電体基板39が
一体化され、誘電体基板39に設けられた貫通穴38に
高周波接地を強化する良導電性の金属部材32を設置
し、その上にパッケージMMICチップ30が搭載され
て、金属筺体36上に固定されるものとなっている。
【0022】以下に本発明の実施の形態における具体例
を、図面を参照して説明する。図1には、本発明の構成
を示す一例として低雑音増幅器であるパッケージMMI
Cチップ30を比誘電率10.0、厚さ0.25mmの
セラミック基板39に実装するときの分解斜視図を示
す。図2にはパッケージMMICチップ30中心の断面
図を示している。
【0023】セラミック基板39上のパッケージMMI
Cチップ30の実装部分直下には貫通穴38が開いてお
り、高周波接地を強化する良導電性の金属部材32が挿
入される構成になっている。また、セラミック基板39
上にはスルーホールはなく、パッケージMMICチップ
30の部品実装用のアースパッドパターン42があるだ
けである。
【0024】次に、本発明の高周波集積回路モジュール
をマイクロ波・ミリ波集積回路ユニット筐体に取り付け
る実装手順について簡単に説明する。セラミック基板3
9を良導電性金属基板であるコバール板35(Fe−N
i−Co合金)に金すず(AuSn)を用いたろう付け
や半田付けを行って一体化させた後に、セラミック基板
39の貫通穴方向から露出するコバール板35上に良導
電性金属である金属部材32をろう付けや半田付け、お
よび導電性接着剤等にて固定する。金属部材32とアー
スパッド42を接続して、アースパッド42とMMIC
チップ30のグランド端子とを接続する。
【0025】また、図3に示すように、高周波接地する
良導電性金属部材52は、パッケージMMICチップ3
0の端子形状により、入出力端子間にしきりを設けた構
造にして、入出力端子間の結合を抑え、異常発振を抑え
ることを可能としている。図1、図3ともにMMICチ
ップ30の入出力端子が金属部材32,52とショート
しないように入出力端子を逃げた構造になっている。図
3は、本発明の別の実施の形態に係る金属部材の一実施
形態を説明するための、基板パターン面から見た分解斜
視図である。
【0026】本実施の形態での入出力端子間の結合特性
を従来例と比較して図4に示す。図4は、本発明の実施
の形態に係る実装方法での帰還量の一例を示す図であ
る。しきりを設けたことで、広い周波数帯において帰還
量が減少し、特定周波数で異常発振を引き起こすような
急峻な帰還量の増加がないことがわかる。
【0027】その他の実施の形態の例では、図5に示す
ように、ベース金属板35に直接エッチング処理を施し
てベース金属板35上に金属部材62を併せ持つ構造に
しても同様の効果があり、金属部材62を実装する工数
の削減が可能である。
【0028】上記実施の形態の例と同様に、金属部材6
2の突起形状はMMICチップ30の入出力端子が金属
部材62とショートしないように入出力端子を逃げた構
造であり、入出力ラインでの直接の高周波結合を防ぐた
めのしきりを設けた図3のような構造も同様に考えられ
る。
【0029】また、その他の実施の形態の例では、MM
ICベアチップのようなコプレナー線路を有するMMI
Cチップ部品に対する接地構造も同様であり、図6に示
す通りである。図6は、本発明の別の実施の形態に係る
高周波接地構造において、コプレナー線路を有するMM
ICチップ部品に対する接地構造を示す分解斜視図であ
る。
【0030】図6の例では、信号ライン33部とアース
パターン72部にマイクロストリップ・コプレナー変換
部を設けた誘電体基板39上に、実装するMMICチッ
プ70の部品直下にチップ部品よりも若干小さな貫通穴
38を開け、回路基板下部の金属基板35との間隙に高
周波接地用の良導電性の金属部材71を配置している。
【0031】但し、この場合の金属部材71上面は平ら
な形状が望ましい。尚、実装状態は図7の斜視図のよう
になり、MMICベアチップ70を金すず(AuSn)
付けしたのちにワイヤボンディングにより信号ラインと
グランドラインの接続を行っている。図7は、本発明の
別の実施の形態に係る高周波接地構造において、コプレ
ナー線路のMMICチップ部品が実装された一形態を示
す外観斜視図である。
【0032】この場合も、ベースとなる金属基板35で
あるコバール板に直接エッチング処理を施して、その金
属基板35上に図5の金属部材62を併せ持つ構造にし
ても同様の効果がある。
【0033】これまで上述した実施の形態のいずれにお
いても、高周波集積回路(MIC,MMIC)がひとつ
しか実装していない最も簡単な場合について記述してい
るが、複数ある場合でも同様の方法で対応することが可
能なことは明らかである。また、マイクロコンデンサや
薄膜抵抗などの能動素子の接地についても寄生インダク
タンスを抑制するための方法として積極的に利用可能で
ある。
【0034】本発明の実施の形態の高周波接地構造によ
れば、マイクロ波・ミリ波帯のような超高周波帯におい
ても高周波集積回路であるMIC,MMIC周辺の接地
構造を、回路基板上のMMICチップ部品直下に貫通穴
38を開け、回路基板下部のベース金属基板との間隙に
高周波接地補強用の良導電性の金属部材を配置すること
で、MIC,MMICの接地に対して寄生するインダク
タンスを大幅に低減でき良好な高周波特性が得られ、不
要周波数での発振等の問題が発生せずに設計通りの特性
が得られるという絶大な効果が得られる。
【0035】
【発明の効果】本発明によれば、表面にマイクロストリ
ップ線路及びアースパッドが形成され、裏面にベタアー
スが形成される誘電体基板と、誘電体基板と一体化され
る金属基板に該ベタアースが接合され、誘電体基板に設
けられた貫通穴部に高周波接地部材が配置され、該高周
波接地部材がアースパッドと金属基板に接合されること
により、アースパッドが高周波接地部材を介して金属基
板に高周波接地される高周波接地構造としているので、
高周波接地を確実に行うことができ、増幅器の増幅率の
低下を防止し、かつ異常発振を防ぐ等の良好な高周波特
性を得ることができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態に係る高周波接地構造にお
いて、基板パターン面から見た分解斜視図である。
【図2】本発明の実施の形態に係る実装方法による実装
断面図である。
【図3】本発明の別の実施の形態に係る金属部材の一実
施形態を説明するための、基板パターン面から見た分解
斜視図である。
【図4】本発明の実施の形態に係る実装方法での帰還量
の一例を示す図である。
【図5】本発明の別の実施の形態に係る高周波接地構造
において、金属基板上に金属部材を設けたことを示す分
解斜視図である。
【図6】本発明の別の実施の形態に係る高周波接地構造
において、コプレナー線路を有するMMICチップ部品
に対する接地構造を示す分解斜視図である。
【図7】本発明の別の実施の形態に係る高周波接地構造
において、コプレナー線路のMMICチップ部品が実装
された一形態を示す外観斜視図である。
【図8】高周波ユニットの一例を示す図である。
【図9】従来のMMICチップを基板上に実装したとき
の外観斜視図である。
【図10】従来のMMICチップを基板上に実装したと
きの実装断面図である。
【図11】従来の実装方法での帰還量の一例を示す図で
ある。
【符号の説明】
11、25,36…金属筐体、 12〜15,21,3
9…誘電体基板、 12a,24,30…パッケージM
MIC、 13a,70…MMICチップ、16…コネ
クタ、 22,35…金属基板、 23,31…ねじ、
24a,24b…入出力端子、 24c,24d…グ
ランド端子、 25,26…マイクロストリップライ
ン、 27,28…アースパターン、 27a,28a
…スルーホール、 29…ベタアース、 32,52,
71…金属部材、 33…基板パターン、 34…ねじ
貫通穴、 37…ねじタップ、 38…貫通穴、 42
…アースパッドパターン、 62…金属基板上の突起、
72…アースパターン

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 表面にマイクロストリップ線路及びアー
    スパッドが形成された誘電体基板の裏面にベタアースが
    形成され、該ベタアースが金属基板に接合され、前記誘
    電体基板に設けられた貫通穴部に高周波接地部材が配置
    され、該高周波接地部材が前記アースパッドと前記金属
    基板に接合されることにより、前記アースパッドが前記
    高周波接地部材を介して前記金属基板に高周波接地され
    ることを特徴とする高周波接地構造。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006165114A (ja) * 2004-12-03 2006-06-22 Nec Corp 半導体素子の実装方法及び実装構造、装置
JP2007300153A (ja) * 2006-04-27 2007-11-15 Toshiba Corp マイクロ波回路装置
US8125009B2 (en) 2009-10-06 2012-02-28 Mitsubishi Electric Corporation Mounting circuit substrate

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