JP2001262248A - Zn−Sb系材料及びその製造方法、並びにZn−Sb系材料のクラック抑制方法 - Google Patents

Zn−Sb系材料及びその製造方法、並びにZn−Sb系材料のクラック抑制方法

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JP2001262248A
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Akio Kasama
昭夫 笠間
Hiroyuki Tanahashi
浩之 棚橋
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 Zn−Sb系材料の焼結体におけるクラック
の発生を抑制する。 【解決手段】 ZnとSbとが所定の組成式で含まれて
いるZn−Sb粉末を、複数の粒径範囲に分級し、分級
されたZn−Sb粉末のうち、異なる粒径の範囲に属す
るZn−Sb粉末を混合し、その混合粉を焼結する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、熱電材料などに使
用されるZn−Sb系材料、およびその製造方法などの
技術に関し、特に、焼結体のクラックを抑制することに
より、Zn−Sb系材料の有する脆弱性を改善する技術
に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、熱エネルギーを電気エネルギーに
直接変換したり、あるいは電気エネルギーを熱エネルギ
ーに直接変換する熱電材料の研究が積極的に進められて
いる。現在までに種々の熱電材料が開発され実用に供さ
れているが、かかる熱電材料としては、Zn−Sb系材
料が以前からよく知られている。
【0003】Zn−Sb系材料は、一般的には、微細均
一な組織を形成するために、例えば、100μm以下な
どの所定粒径範囲に分級された微細粉を選択的に使用し
て、粉末焼結法などにより製造される。目的とする化学
組成に基づき、Zn、Sbを化学量論的に秤量し、秤量
したこれらの原料をグラファイト坩堝に入れて高周波炉
内で溶融する。
【0004】その後、冷却して作製したインゴットを粉
砕したり、あるいは溶融後連続的にアトマイズ法を適用
したりして、所要の化学組成を有する微粉末を製造す
る。得られた微粉末を分級して、所定粒径範囲の微細粉
を選択する。かかる微細粉を、例えば放電プラズマ焼結
法(SPS)などの焼結手段を用いて焼結することによ
り、熱電材料を製造している。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来法で
製造されるZn−Sb系熱電材料は、焼結体内部にクラ
ックが発生しており、取り扱い時に割れ易いという問題
点を有している。かかる脆弱性の故に、Zn−Sb系材
料は、その熱電変換効率が優れていても、使用しにくい
と言われている。
【0006】かかる焼結体におけるクラック発生のメカ
ニズムについては、必ずしも明確ではないが、おそらく
焼結プロセスのうちの、最後の冷却過程で発生するもの
と本発明者らは考えている。すなわち、焼結体が収縮す
る際のひずみ方が不均一であることがその原因と考えら
れる。
【0007】かかる点を解決する方法としては、焼結体
を、例えば球形などのような等方的な形状の成形体に構
成し、かかる等方的な形状の焼結体を等方的に冷却する
ことが考えられる。しかし、かかる方法は工業的な製造
方法としては、現実的ではない。
【0008】本発明の目的は、Zn−Sb系材料の焼結
体におけるクラックの発生を抑制することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明は、ZnとSbと
を構成元素として有するZn−Sb系材料であって、前
記Znと前記Sbを所定組成比で有するZn−Sb粉末
の異なる粒径範囲に属する前記Zn−Sb粉末同士を混
合し、その後焼結して製造されることを特徴とする。前
記異なる粒径範囲を、例えば、0を含まない100μm
以下の第一の粒径範囲と、100μmより大きく212
μm以下の第二の粒径範囲に設定してもよい。
【0010】かかる第二の粒径範囲に属するZn−Sb
粉末は、前記第一の粒径範囲に属するZn−Sb粉末
と、前記第二の粒径範囲に属するZn−Sb粉末との混
合粉末の全量に対して、0.4%以上、10%以下の範
囲で混合しておけば、焼結体のクラックの発生数を、か
かる混合粉末を用いずに従来のように単一粒径範囲の粉
末のみを焼結する場合に比べて、減少させることができ
る。
【0011】本発明のZn−Sb系材料は、熱電材料と
しても使用できる。例えば、本発明で使用するZn−S
b粉末には、例えば、Zn4Sb3の組成のZn−Sb系
材料に適用すれば、強度的にも優れた熱電材料が得られ
る。
【0012】他の本発明は、ZnとSbとを構成元素と
して有するZn−Sb系材料の製造方法であって、前記
Znと前記Sbを所定組成比で有するZn−Sb粉末を
製造する粉末製造工程と、前記Zn−Sb粉末を異なる
粒径範囲に分級する分級工程と、前記異なる粒径範囲に
属するZn−Sb粉末を混合する混合工程と、前記混合
工程で混合された混合粉末を焼結する焼結工程とを有す
ることを特徴とする。
【0013】他の本発明は、ZnとSbとを構成元素と
して有するZn−Sb系材料の内部のクラックを抑制す
る方法であって、前記Znと前記Sbを所定組成比で有
するZn−Sb粉末の異なる粒径範囲に属する前記Zn
−Sb粉末同士を混合して焼結することにより、焼結し
て得られる前記Zn−Sb系材料の内部のクラック数を
抑制することを特徴とする。
【0014】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を、以下、図
面および実施例に基づいて詳細に説明する。図1は、本
発明のZn−Sb系材料の製造方法の各工程を示すフロ
ー図である。図2は、従来法および本発明の方法により
製造されたZn−Sb系材料の焼結体内部のクラックの
様子を示した模式図である。図3は、本発明の方法によ
り製造されたZn−Sb系材料と、従来法で製造された
Zn−Sb系材料とにおけるクラック数の比較を示すグ
ラフ図である。
【0015】本発明のZn−Sb系材料では、図1に示
すように、組成式に合わせて所定純度のZn、Sbの必
要量を秤量する。秤量したZn、Sbを、グラファイト
坩堝などに入れて溶融し、Arガスを使用したアトマイズ
法で、上記組成式に適ったZn−Sb粉末を作成する。
かかるZn−Sb粉末の作製は、アトマイズ法以外の方
法を使用しても構わない。
【0016】このようにして得られたZn−Sb粉末
を、複数の粒径範囲に分級する。粒径範囲の設定は、例
えば、上記組成のZn−Sb系材料の製造に際して一般
的に使用されている100μm程度の平均粒径を目安と
して、大きくは、この平均粒径以下の範囲(第1の粒径
範囲)と、この平均粒径より大きい粒径範囲(第2の粒
径範囲)とに分けて行えばよい。さらに必要に応じて、
これら第1の粒径範囲、第2の粒径範囲をさらに細分す
るようにしてもよい。
【0017】また、粒径範囲を定めるに際しての幅は、
得られるZn−Sb粉末の粒径分布の様子などを勘案し
て行えばよい。例えば、100μm程度の幅に設定する
こともできる。
【0018】このように複数の粒径範囲に分級されたZ
n−Sb粉末のうち、従来から一般的に採用されている
粒径以下(100μm程度以下)の粒径範囲に属するZ
n−Sb粉末を主体として、それより大きい粒径範囲に
属するZn−Sb粉末を少量添加して混合する。例え
ば、第1の粒径範囲に属する粉末を主体にして、これに
第2の粒径範囲に属するZn−Sb粉末を少量混合すれ
ばよい。混合に際しては、できるだけ均一になるように
混合することが好ましい。
【0019】このようにして得られた混合粉末を、粉末
焼結法により焼結して所望のZn−Sb系材料を作成す
る。焼結、冷却は、従来通りに行っても構わない。この
ようにして得られたZn−Sb系材料は、単一粒径範囲
の粉末を粉末焼結して得られたZn−Sb系材料とは異
なり、焼結体内部のクラックが少ない。
【0020】
【実施例】本実施例では、先ず、従来法によるZn−S
b系材料の焼結体におけるクラックの発生状況を確認し
た。Zn4Sb3の組成式に合わせて、純度99.99%
のZnと、99.999%のSbとを秤量し、これらを
アトマイズ法で微粉末にした。100μm以下の微粉末
のみを使用して、放電プラズマ法で焼結し、20mmφ
×7〜8mmの円柱型焼結体を得た。かかる焼結体のい
ずれか一方の底面を約0.5mm研磨し、この研磨面を
顕微鏡で観察した。図2では、かかる顕微鏡観察で見出
された0.1mm以上のクラックの様子をスケッチし
た。
【0021】図2(A)、(B)には、クラック数が2
0、10の場合を示しているが、取り扱い時の割れやす
さなどはこれと呼応していることが分かった。すなわ
ち、このクラック数の多い順に割れやすいことが確認さ
れた。さらに、図からは、クラックの数が多いばかりで
はなく、周辺域にクラックが発生しているため、実際に
使用できる範囲は、クラックの入らない中央部分しか使
用できないことが分かる。なお、クラック数の確認は、
以下の実験でもこれと同様の方法で行った。
【0022】以下、本発明に関わるZn−Sb系材料に
ついて、そのクラック数を確認し、本発明の有効性を検
証した。Zn4Sb3の組成式に合わせて、純度99.9
9%のZnと、純度99.999%以上のSbを化学量
論的に秤量する。秤量したZn、Sbを、グラファイト
坩堝に入れ、その状態で高周波炉に入れて溶融し、その
後Arガスを使用したアトマイズ法で、上記組成式を有
するZn−Sb粉末を製造した。
【0023】アトマイズ法で得られるZn−Sb粉末
を、標準ふるいを使用して、100μm以下の粒径範囲
(第1の粒径範囲)、100μmより大きく、212μ
m未満の粒径範囲(第2の粒径範囲)と、212μm以
上の粒径範囲との3種の粒径範囲に分級した。
【0024】実験では、第1の粒径範囲に属するZn−
Sb粉末を単独で粉末焼結した場合と、第1の粒径範囲
に属するZn−Sb粉末と、第2の粒径範囲に属するZ
n−Sb粉末とを、種々の割合で混合して、その混合粉
を焼結した。
【0025】なお、焼結には、放電プラズマ焼結法(S
PS)法を用い、アルゴンガス雰囲気、加圧力30MP
aで、400℃で20分間保持し、その後自然冷却する
条件で焼結した。
【0026】
【表1】
【0027】
【表2】
【0028】第1の範囲に属するZn−Sb粉末を単独
で使用する場合には、焼結体を5体作成し、その各々に
ついてクラック数を数え、その結果を表1および図3に
示した。第1の粒径系範囲に属するZn−Sb系粉末と
第2の粒径範囲に属する粉末とを混合した場合では、各
々の混合率でそれぞれ2体ずつ試験を行い、その平均値
を表2および図3に示した。
【0029】なお、上記本発明の方法により製造した焼
結体で、クラック数が5、0の場合を、図2(C)、
(D)にそれぞれ示した。図2(D)に示す場合には、
クラック数が従来法で製造した焼結体(A)、(B)に
比べて少ないことが分かる。
【0030】さらに、クラックの発生位置に着目する
と、図2(C)に示すように、クラックが周辺域の一部
に局在している。一方、従来法の場合は、例えば図2
(B)に示すように、クラックが散在している。クラッ
クの発生位置が従来法のように散在すると、使用可能な
範囲を広くとりずらいという問題点がある。しかし、本
発明の方法で得られた焼結体は、図2(C)に示すよう
に、クラックが局在するため、その分使用可能な範囲を
広くとりやすいというメリットがある。
【0031】表1、2の結果を示す図3では、横軸に混
合率を、縦軸にクラック数を示した。横軸の混合率は、
第2の粒径範囲に属するZn−Sb粉末の、混合粉末全
体に対する質量百分率で示した。
【0032】図3に示すように、混合率を増大して行く
とクラック数が減少することが分かる。減少の傾向は、
混合率が0.4%程度までが大きくなり、0.5%を越
えると、クラック数がほぼ0で横這いになることが分か
る。
【0033】混合率の上限は、図示しないが、クラック
数を減少させるという点からは、10%程度までは可能
であった。しかし、かかるZn−Sb系材料を熱電材料
として使用する場合には、熱電特性への悪影響を考え
て、上限を5%程度と設定するのが好ましい。
【0034】本発明は、上記説明に限定されるものでは
なく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更しても構わ
ない。例えば、Zn−Sb系材料の組成は、上記Zn4
Sb3に限定する必要はなく、ZnSbなどのように種
々のZn−Sb系のとり得る組成式のZn−Sb系材料
に適用できるものである。
【0035】また、本発明が適用されるZn−Sb系材
料は、熱電材料にその用途を特定する必要はない。種々
の用途に使用されるZn−Sb系材料に適用できるもの
である。
【0036】上記説明では、同一処理で得られたZn−
Sb粉末を異なる粒径範囲に分級し、異なる粒径範囲に
属するZn−Sb粉末を混合しているが、混合するZn
−Sb粉末は、その組成式が同一であれば、混合するZ
n−Sb粉末はそれぞれ別個のルートで製造されたもの
でも構わない。
【0037】上記説明では、100μm以下、100〜
212μm、212μm以上の3種の粒径範囲に分級し
て、そのうち100μm以下の粒径範囲と、この範囲に
隣接する100〜212μmの粒径範囲に属するZn−
Sb粉末を混合する場合を示したが、例えば、分級した
複数の粒径範囲から微量ずつ混合する場合も考えられ
る。混合に関与する異なる粒径範囲は、必ずしも、隣接
する粒径範囲でなくてもよい。
【0038】
【発明の効果】本発明によれば、Zn−Sb系材料の焼
結体のクラックを抑制、若しくは解消させることができ
る。そのため、従来は割れやすく取り扱い難かったZn
−Sb系材料の取り扱いが容易になった。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態のZn−Sb系材料の製
造工程を示すフロー図である。
【図2】(A)、(B)は、従来法により製造されたZ
n−Sb系材料の焼結体内部のクラックの発生状況、
(C)、(D)は、本発明の方法により製造されたZn
−Sb系材料の焼結体内部のクラックの発生状況を示す
模式図である。
【図3】Zn−Sb系材料のクラック数と、混合比率と
の関係を示すグラフ図である。
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) C22C 18/00 C22C 18/00 H01L 35/18 H01L 35/18 35/34 35/34

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ZnとSbとを構成元素として有するZ
    n−Sb系材料であって、 前記Znと前記Sbを所定組成比で有するZn−Sb粉
    末の異なる粒径範囲に属する前記Zn−Sb粉末同士を
    混合し、その後焼結して製造されることを特徴とするZ
    n−Sb系材料。
  2. 【請求項2】 請求項1記載のZn−Sb系材料におい
    て、 異なる粒径範囲に属する前記Zn−Sb粉末の混合に際
    しては、小粒径の粒径範囲に属するZn−Sb粉末を、
    大粒径の粒径範囲に属するZn−Sb粉末よりも多く混
    合することを特徴とするZn−Sb系材料。
  3. 【請求項3】 請求項1または2記載のZn−Sb系材
    料において、 前記異なる粒径範囲とは、0を含まない100μm以下
    の第一の粒径範囲と、100μmより大きく212μm
    以下の第二の粒径範囲であることを特徴とするZn−S
    b系材料。
  4. 【請求項4】 請求項3記載のZn−Sb系材料におい
    て、 前記第二の粒径範囲に属するZn−Sb粉末は、前記第
    一の粒径範囲に属するZn−Sb粉末と、前記第二の粒
    径範囲に属するZn−Sb粉末との混合粉末の全量に対
    して、0.4%以上10%以下混合されていることを特
    徴とするZn−Sb系材料。
  5. 【請求項5】 請求項1ないし4のいずれか1項に記載
    のZn−Sb系材料において、 前記Zn−Sb粉末は、Zn4Sb3の組成比を有してい
    ることを特徴とするZn−Sb系材料。
  6. 【請求項6】 請求項1ないし5のいずれか1項に記載
    のZn−Sb系材料において、 前記Zn−Sb系材料は、熱電材料であることを特徴と
    するZn−Sb系材料。
  7. 【請求項7】 ZnとSbとを構成元素として有するZ
    n−Sb系材料の製造方法であって、 前記Znと前記Sbを所定組成比で有するZn−Sb粉
    末を製造する粉末製造工程と、 前記Zn−Sb粉末を異なる粒径範囲に分級する分級工
    程と、 前記異なる粒径範囲に属するZn−Sb粉末を混合する
    混合工程と、 前記混合工程で混合された混合粉末を焼結する焼結工程
    とを有することを特徴とするZn−Sb系材料の製造方
    法。
  8. 【請求項8】 ZnとSbとを構成元素として有するZ
    n−Sb系材料の焼結体内部のクラックを抑制する方法
    であって、 前記Znと前記Sbを所定組成比で有するZn−Sb粉
    末の異なる粒径範囲に属する前記Zn−Sb粉末同士を
    混合して焼結することにより、焼結して得られる前記Z
    n−Sb系材料の焼結体内部のクラックを抑制すること
    を特徴とするZn−Sb系材料のクラック抑制方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100395057C (zh) * 2005-03-05 2008-06-18 富准精密工业(深圳)有限公司 多孔结构的制造方法
WO2009008127A1 (ja) * 2007-07-09 2009-01-15 Kabushiki Kaisha Toshiba 熱電変換モジュールとそれを用いた熱交換器、熱電温度調節装置および熱電発電装置
CN103173650A (zh) * 2011-12-23 2013-06-26 财团法人工业技术研究院 热电材料与其制造方法、以及包含其的热电模组

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100395057C (zh) * 2005-03-05 2008-06-18 富准精密工业(深圳)有限公司 多孔结构的制造方法
WO2009008127A1 (ja) * 2007-07-09 2009-01-15 Kabushiki Kaisha Toshiba 熱電変換モジュールとそれを用いた熱交換器、熱電温度調節装置および熱電発電装置
JP5422383B2 (ja) * 2007-07-09 2014-02-19 株式会社東芝 熱電変換モジュールとそれを用いた熱交換器、熱電温度調節装置および熱電発電装置
CN103173650A (zh) * 2011-12-23 2013-06-26 财团法人工业技术研究院 热电材料与其制造方法、以及包含其的热电模组

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