JP2001259992A - ワイヤソー用ワイヤ - Google Patents
ワイヤソー用ワイヤInfo
- Publication number
- JP2001259992A JP2001259992A JP2000072054A JP2000072054A JP2001259992A JP 2001259992 A JP2001259992 A JP 2001259992A JP 2000072054 A JP2000072054 A JP 2000072054A JP 2000072054 A JP2000072054 A JP 2000072054A JP 2001259992 A JP2001259992 A JP 2001259992A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wire
- saw
- cutting
- less
- coil diameter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 被切断材の表面の凹凸が小さい、極めて高精
度の切断特性を有するワイヤソー用ワイヤを提供するこ
と。 【解決手段】 ワイヤソー用ワイヤにおいて、伸線終了
後のワイヤのフリーコイル径を６００ｍｍ以上に、ある
いは伸線終了後のワイヤの跳ね上がり高さを、０ｍｍ以
上１０ｍｍ以下、好ましくは５ｍｍ以内に、更には、伸
線終了後にリール巻きされたワイヤを、真直ぐに引き出
した場合におけるワイヤの自転を、ワイヤ単位長さあた
り０．５回転／ｍ以下、好ましくは０．２５回転／ｍ以
下に設定した。
度の切断特性を有するワイヤソー用ワイヤを提供するこ
と。 【解決手段】 ワイヤソー用ワイヤにおいて、伸線終了
後のワイヤのフリーコイル径を６００ｍｍ以上に、ある
いは伸線終了後のワイヤの跳ね上がり高さを、０ｍｍ以
上１０ｍｍ以下、好ましくは５ｍｍ以内に、更には、伸
線終了後にリール巻きされたワイヤを、真直ぐに引き出
した場合におけるワイヤの自転を、ワイヤ単位長さあた
り０．５回転／ｍ以下、好ましくは０．２５回転／ｍ以
下に設定した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、シリコン、太陽
電池等の硬質材料の切断、スライスに用いられるワイヤ
ソー用のワイヤに関するものである。
電池等の硬質材料の切断、スライスに用いられるワイヤ
ソー用のワイヤに関するものである。
【０００２】
【従来の技術とその課題】ワイヤソーは、複数の溝ロー
ラに所定のピッチでワイヤを巻き掛けたワイヤ列を走行
させ、このワイヤ列に被切断材（ワーク）を押し付けな
がら、ワイヤ列とワークとの間に砥液を注ぎつつ、砥粒
の研削作用により、ワークを多数のウエハに切断する装
置である。
ラに所定のピッチでワイヤを巻き掛けたワイヤ列を走行
させ、このワイヤ列に被切断材（ワーク）を押し付けな
がら、ワイヤ列とワークとの間に砥液を注ぎつつ、砥粒
の研削作用により、ワークを多数のウエハに切断する装
置である。
【０００３】そこで、この発明は、被切断面の表面凹凸
や、そりが小さい高精度な切断が可能なワイヤソー用ワ
イヤを提供しようとするものである。
や、そりが小さい高精度な切断が可能なワイヤソー用ワ
イヤを提供しようとするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この発明は、シリコン、
太陽電池等の硬質材料の切断、スライスに使用されるワ
イヤソー用ワイヤにおいて、まず、伸線終了後のワイヤ
のフリーコイル径を、６００ｍｍ以上に設定したもので
ある。
太陽電池等の硬質材料の切断、スライスに使用されるワ
イヤソー用ワイヤにおいて、まず、伸線終了後のワイヤ
のフリーコイル径を、６００ｍｍ以上に設定したもので
ある。
【０００５】小さなコイル径は、切断時の被切断材の表
面凹凸を劣化させる。これは、ワイヤに一定の張力をか
けて、ワイヤを走行させながら切断を行うワイヤソーの
原理において、ワイヤの直進性を阻害するためである。
面凹凸を劣化させる。これは、ワイヤに一定の張力をか
けて、ワイヤを走行させながら切断を行うワイヤソーの
原理において、ワイヤの直進性を阻害するためである。
【０００６】したがって、伸線終了後のワイヤのフリー
コイル径を、６００ｍｍ以上に設定した場合、ワイヤの
直進性が阻害されないので、切断時の被切断材の表面凹
凸を劣化させない。
コイル径を、６００ｍｍ以上に設定した場合、ワイヤの
直進性が阻害されないので、切断時の被切断材の表面凹
凸を劣化させない。
【０００７】上記フリーコイル径は、伸線加工時のダイ
スに対する引き抜き方向、バックテンション等の伸線引
き抜き条件によって変化する。特に、最終ダイスの影響
が極めて大きく、最終ダイスのセッティング方向を調整
することにより、所定のコイル径を得ることができる。
また、ワイヤソー用ワイヤは、細径であるため、バック
テンション等、他の要因の変動によって、コイル径が変
化するため、精密な伸線加工が必要である。
スに対する引き抜き方向、バックテンション等の伸線引
き抜き条件によって変化する。特に、最終ダイスの影響
が極めて大きく、最終ダイスのセッティング方向を調整
することにより、所定のコイル径を得ることができる。
また、ワイヤソー用ワイヤは、細径であるため、バック
テンション等、他の要因の変動によって、コイル径が変
化するため、精密な伸線加工が必要である。
【０００８】また、この発明では、伸線終了後のワイヤ
の跳ね上がり高さを、０ｍｍ以上１０ｍｍ以下に設定し
ている。
の跳ね上がり高さを、０ｍｍ以上１０ｍｍ以下に設定し
ている。
【０００９】ここで、跳ね上がりとは、伸線されたワイ
ヤソー用ワイヤを、一定の長さに切断し、机上又は床面
等の水平な平面上に置いた際に、ワイヤの端末が、自重
に逆らって、跳ね上がることをいい、水平面を基準と
し、跳ね上がっている最大高さを「跳ね上がり高さ」と
呼ぶ。
ヤソー用ワイヤを、一定の長さに切断し、机上又は床面
等の水平な平面上に置いた際に、ワイヤの端末が、自重
に逆らって、跳ね上がることをいい、水平面を基準と
し、跳ね上がっている最大高さを「跳ね上がり高さ」と
呼ぶ。
【００１０】伸線されたワイヤソー用ワイヤに大きな跳
ね上がりがあると、コイル径と同様に、ワイヤの直進性
を阻害するため、切断時の被切断材の表面凹凸を劣化さ
せることになる。
ね上がりがあると、コイル径と同様に、ワイヤの直進性
を阻害するため、切断時の被切断材の表面凹凸を劣化さ
せることになる。
【００１１】この跳ね上がりも、伸線加工条件の調整に
よって制御することができる。具体的には、伸線加工中
のワイヤの走行時に、ワイヤが回転（ねじれ）しないよ
うに、ワイヤをセッティングする必要がある。また、最
終ダイスを出たワイヤをリールに巻き取るまでの間のパ
スラインの最適化を必要とする。
よって制御することができる。具体的には、伸線加工中
のワイヤの走行時に、ワイヤが回転（ねじれ）しないよ
うに、ワイヤをセッティングする必要がある。また、最
終ダイスを出たワイヤをリールに巻き取るまでの間のパ
スラインの最適化を必要とする。
【００１２】また、この発明では、ワイヤソー用ワイヤ
を、リールから引き抜きセッティングし、切断を行う際
に、リールから引き出されたワイヤが自転（回転）する
と、切断時の被切断材の表面凹凸を劣化させるため、伸
線終了後にリール巻きされたワイヤを、真直ぐに引き出
した場合におけるワイヤの自転を、ワイヤ単位長さあた
り０．５回転／ｍ以下に設定するようにしている。
を、リールから引き抜きセッティングし、切断を行う際
に、リールから引き出されたワイヤが自転（回転）する
と、切断時の被切断材の表面凹凸を劣化させるため、伸
線終了後にリール巻きされたワイヤを、真直ぐに引き出
した場合におけるワイヤの自転を、ワイヤ単位長さあた
り０．５回転／ｍ以下に設定するようにしている。
【００１３】これは、小さなコイル径を有しているワイ
ヤでは、論外であるが、ワイヤは少なからずコイル状を
呈しているので、そのワイヤが回転しながら、供給され
るためである。
ヤでは、論外であるが、ワイヤは少なからずコイル状を
呈しているので、そのワイヤが回転しながら、供給され
るためである。
【００１４】この自転の制御は、最終ワイヤをリールに
巻き取るまでの間のパスラインの最適化が不可欠であ
る。
巻き取るまでの間のパスラインの最適化が不可欠であ
る。
【００１５】ワイヤソー用ワイヤには、銅もしくは銅合
金をメッキした高炭素鋼が適しており、上記線癖は、ワ
イヤソー用ワイヤとして利用される高炭素鋼に、特に必
要とされるものである。
金をメッキした高炭素鋼が適しており、上記線癖は、ワ
イヤソー用ワイヤとして利用される高炭素鋼に、特に必
要とされるものである。
【００１６】
【発明の実施の形態】φ０．１６ｍｍのワイヤソー用ワ
イヤを、異なる伸線加工条件で、種々の線癖を有するワ
イヤを得た。それぞれのワイヤを使用して、シリコンイ
ンゴットの切断を行い、被加工材の表面凹凸の状態を評
価した。その結果を、表１に示す。なお、表面状態は、
切断物表面の凹と凸の差の最大値を用いて評価し、これ
が５μｍ以下の場合を、○（極めて良好）、５μｍ〜１
０μｍの場合を、△（良好）、１０μｍを超える場合を
×（不良）とした。
イヤを、異なる伸線加工条件で、種々の線癖を有するワ
イヤを得た。それぞれのワイヤを使用して、シリコンイ
ンゴットの切断を行い、被加工材の表面凹凸の状態を評
価した。その結果を、表１に示す。なお、表面状態は、
切断物表面の凹と凸の差の最大値を用いて評価し、これ
が５μｍ以下の場合を、○（極めて良好）、５μｍ〜１
０μｍの場合を、△（良好）、１０μｍを超える場合を
×（不良）とした。
【００１７】
【表１】
【００１８】表１の通り、フリーコイル径を６００ｍｍ
以上にしたワイヤでは、跳ね上がり高さが２５μｍと極
めて高いものを除き切断性は良好（△又は○）である。
以上にしたワイヤでは、跳ね上がり高さが２５μｍと極
めて高いものを除き切断性は良好（△又は○）である。
【００１９】また、跳ね上がり高さを１０ｍｍ以下にし
たワイヤでは、フリーコイル径が３６０ｍｍと小さいも
のを除き、切断性は良好（△又は○）である。特に、跳
ね上がり高さを、５ｍｍ以下にしたワイヤでは、極めて
良好（○）である。
たワイヤでは、フリーコイル径が３６０ｍｍと小さいも
のを除き、切断性は良好（△又は○）である。特に、跳
ね上がり高さを、５ｍｍ以下にしたワイヤでは、極めて
良好（○）である。
【００２０】また、ねじれ量（自転量）を、ワイヤ単位
長さあたり０．５回転／ｍ以下にしたワイヤでは、フリ
ーコイル径が３６０ｍｍと小さいものを除き、切断性は
良好（△又は○）である。特に、ワイヤ単位長さあたり
０．２５回転／ｍ以下にしたワイヤでは、極めて良好
（○）である。
長さあたり０．５回転／ｍ以下にしたワイヤでは、フリ
ーコイル径が３６０ｍｍと小さいものを除き、切断性は
良好（△又は○）である。特に、ワイヤ単位長さあたり
０．２５回転／ｍ以下にしたワイヤでは、極めて良好
（○）である。
【００２１】以上のことから、ワイヤソー用ワイヤにお
いて、伸線終了後のワイヤのフリーコイル径を、６００
ｍｍ以上に設定した場合、あるいは、伸線終了後のワイ
ヤの跳ね上がり高さを、０ｍｍ以上１０ｍｍ以下、好ま
しくは５ｍｍ以内に設定した場合、更には、伸線終了後
にリール巻きされたワイヤを、真直ぐに引き出した場合
におけるワイヤの自転が、ワイヤ単位長さあたり０．５
回転／ｍ以下、好ましくは０．２５回転／ｍ以下に設定
した場合には、切断性が優れるということが確認され
た。
いて、伸線終了後のワイヤのフリーコイル径を、６００
ｍｍ以上に設定した場合、あるいは、伸線終了後のワイ
ヤの跳ね上がり高さを、０ｍｍ以上１０ｍｍ以下、好ま
しくは５ｍｍ以内に設定した場合、更には、伸線終了後
にリール巻きされたワイヤを、真直ぐに引き出した場合
におけるワイヤの自転が、ワイヤ単位長さあたり０．５
回転／ｍ以下、好ましくは０．２５回転／ｍ以下に設定
した場合には、切断性が優れるということが確認され
た。
【００２２】特に、フリーコイル径、跳ね上がり高さ、
ねじれ量（自転量）を全て調整したワイヤは、極めて高
精度の切断特性を有する。
ねじれ量（自転量）を全て調整したワイヤは、極めて高
精度の切断特性を有する。
【００２３】
【発明の効果】この発明に係るワイヤソー用ワイヤは、
上記のように、被切断材の表面の凹凸が小さい極めて高
精度の切断特性を有する。
上記のように、被切断材の表面の凹凸が小さい極めて高
精度の切断特性を有する。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 星間 昭人 伊丹市昆陽北一丁目１番１号 住友電気工 業株式会社伊丹製作所内 (72)発明者 山本 進 伊丹市昆陽北一丁目１番１号 住友電気工 業株式会社伊丹製作所内 Ｆターム(参考） 3C058 AA05 AA09 CA05 CB01 CB03 DA03 3C069 AA01 BA06 BB01 CA05 EA02
Claims (4)
- 【請求項１】 シリコン、太陽電池等の硬質材料の切断、
スライスに使用されるワイヤソー用ワイヤにおいて、伸
線終了後のワイヤのフリーコイル径を、６００ｍｍ以上
に設定したことを特徴とするワイヤソー用ワイヤ。 - 【請求項２】 シリコン、太陽電池等の硬質材料の切断、
スライスに使用されるワイヤソー用ワイヤにおいて、伸
線終了後のワイヤの跳ね上がり高さを、０ｍｍ以上１０
ｍｍ以下に設定したことを特徴とするワイヤソー用ワイ
ヤ。 - 【請求項３】 シリコン、太陽電池等の硬質材料の切断、
スライスに使用されるワイヤソー用ワイヤにおいて、伸
線終了後にリール巻きされたワイヤを、真直ぐに引き出
した場合におけるワイヤの自転を、ワイヤ単位長さあた
り０．５回転／ｍ以下に設定したことを特徴とするワイ
ヤソー用ワイヤ。 - 【請求項４】 ワイヤ材質が、メッキされた高炭素鋼線
である請求項１〜３のいずれかの項に記載のワイヤソー
用ワイヤ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000072054A JP2001259992A (ja) | 2000-03-15 | 2000-03-15 | ワイヤソー用ワイヤ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000072054A JP2001259992A (ja) | 2000-03-15 | 2000-03-15 | ワイヤソー用ワイヤ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001259992A true JP2001259992A (ja) | 2001-09-25 |
Family
ID=18590527
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000072054A Pending JP2001259992A (ja) | 2000-03-15 | 2000-03-15 | ワイヤソー用ワイヤ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001259992A (ja) |
-
2000
- 2000-03-15 JP JP2000072054A patent/JP2001259992A/ja active Pending
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040309 |