JP2001251846A - 電力用半導体装置 - Google Patents

電力用半導体装置

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JP2001251846A
JP2001251846A JP2000058414A JP2000058414A JP2001251846A JP 2001251846 A JP2001251846 A JP 2001251846A JP 2000058414 A JP2000058414 A JP 2000058414A JP 2000058414 A JP2000058414 A JP 2000058414A JP 2001251846 A JP2001251846 A JP 2001251846A
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Tomoyuki Onuma
智幸 大沼
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ノーマリオン型のSITを主デバイスした電
力用半導体装置であって、従来のSITの取り扱いの難
しさを緩和し、駆動を容易に行え、しかもSITの性能
を充分に活かすことのできる電力用半導体装置を得る。 【解決手段】 SIT1と、MOSFET2と、ツェナ
ーダイオード3と、ダイオード5と、直流電源4とを主
要構成要素とする電力用半導体装置であって、前記SI
T1のソースと、前記MOSFET2のドレインを直列
に接続し、前記SIT1のゲートを前記ツェナーダイオ
ード3のカソードに接続し、前記ツェナーダイオード3
のアノードを、前記MOSFET2のソースに接続し、
前記ツェナーダイオード3の両端に、ダイオード5を介
して、前記直流電源4を接続した電力用半導体装置とす
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、主として産業用機
器の電源部分に用いられるのに好適な電力用半導体装置
に係り、特に静電誘導型トランジスタを電力制御用の素
子として用いた電力用半導体装置に関する。
【0002】
【従来の技術】静電誘導型トランジスタ(以下、SIT
と呼ぶ)は、高電圧、大電力領域において、高速動作が
可能な電力用半導体であり、工業用加熱装置、高周波発
振器、中波用放送機等に広く利用されている。
【0003】一般に、SITは、バイアス電圧0Vの時
にドレイン電流が流れるノーマリオン特性を示し、ゲー
トに負極性のバイアスを充分に印加しない状態でドレイ
ン電圧を印加すると、大きなドレイン電流によって素子
が破損することがあり、バイポーラトランジスタ、絶縁
ゲート型電界効果トランジスタ(以下、MOSFETと
称する)、絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ(以
下、IGBTと称する)等のノーマリオフ特性を有する
トランジスタに比べて、取り扱いが難しいという問題が
指摘されている。
【0004】また、一般的な300〜3000W級のS
ITをオフさせるためには、数十Vの負バイアスが必要
である。さらに、SITを低損失でオンさせるために
は、ゲートに数百mAの順方向電流を流す必要があるた
め、MOSFETやIGBT等のMOSゲート型電力用
半導体に比べて、駆動回路が複雑になるという問題が指
摘されている。
【0005】図5は、SITおよびその駆動回路を示す
回路構成図である。図5より、駆動回路9には、電源と
して、正電圧と、負電圧の両方を必要としている。
【0006】一方、SITと同様にノーマリオン特性を
持つ静電誘導サイリスタ(以下、SIサイリスタ)にお
いて、図6に示すようなSIサイリスタ11とMOSF
ET12のカスコード接続によるノーマリオフ型の複合
半導体10が報告されている。この複合半導体は、SI
サイリスタ11が主デバイスであり、MOSFET12
がSIサイリスタ11を制御する構成となっている。
【0007】また、SIサイリスタ11のゲートとMO
SFET12のソースの間に接続されているツェナーダ
イオード13の接合容量を利用して、順方向ゲート電流
を流すことでオン動作を助ける役目をしている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかし、この構成をS
ITに適用してもオン期間を通して順方向電流を流し続
けることは困難で、SITの性能を充分に活かすことが
できない。
【0009】従って、本発明の目的は、ノーマリオン型
のSITを主デバイスした電力用半導体装置であって、
従来のSITの取り扱いの難しさを緩和し、駆動を容易
に行え、しかもSITの性能を充分に活かすことのでき
る電力用半導体装置を提供することである。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明による電力用半導
体装置によれば、静電誘導型トランジスタのソースと絶
縁ゲート型電界効果トランジスタのドレインを直列に接
続し、静電誘導型トランジスタのゲートをツェナーダイ
オードのカソードに接続し、ツェナーダイオードのアノ
ードを絶縁ゲート型電界効果トランジスタのソースに接
続し、ツェナーダイオードの両端に直流電源を接続した
電力用半導体装置とするものである。
【0011】また、本発明によれば、上記電力用半導体
装置において、直流電源の正電極を、ダイオードを介し
て上記ツェナーダイオードのカソードに接続し、上記直
流電源の負電極を上記ツェナーダイオードのアノードに
接続する電力用半導体装置が得られる。
【0012】さらに、本発明によれば、上記電力用半導
体装置において、上記電力用半導体装置は、単体部品を
各々外部接続して得られるか、または同一ユニット内部
で各々接続して得られるか、あるいは同一半導体基板上
に形成して得られるかのいずれかである電力用半導体装
置が得られる。
【0013】即ち、本発明は、静電誘導型トランジスタ
と、絶縁ゲート型電界効果トランジスタと、ツェナーダ
イオードと、ダイオードと、直流電源とを主要構成要素
とする電力用半導体装置において、前記静電誘導型トラ
ンジスタのソースと、前記絶縁ゲート型電界効果トラン
ジスタのドレインを直列に接続し、前記静電誘導型トラ
ンジスタのゲートを前記ツェナーダイオードのカソード
に接続し、前記ツェナーダイオードのアノードを、前記
絶縁ゲート型電解効果トランジスタのソースに接続し、
前記ツェナーダイオードの両端に、ダイオードを介し
て、前記直流電源を接続した電力用半導体装置である。
【0014】また、本発明は、前記電力用半導体装置に
おいて、直流電源の正電極を、ダイオードを介して上記
ツェナーダイオードのカソードに接続し、上記直流電源
の負電極を上記ツェナーダイオードのアノードに接続す
る電力用半導体装置である。
【0015】また、本発明は、前記電力用半導体装置
は、前記静電誘導型トランジスタと、絶縁ゲート型電界
効果トランジスタと、ツェナーダイオードと、ダイオー
ドと、直流電源とを、各々外部接続した構成とする電力
用半導体装置である。
【0016】また、本発明は、前記電力用半導体装置
は、前記静電誘導型トランジスタと、絶縁ゲート型電界
効果トランジスタと、ツェナーダイオードと、ダイオー
ドと、直流電源とが同一ユニット内に配置され、前記各
部品を接続した構成とする電力用半導体装置である。
【0017】また、本発明は、前記電力用半導体装置
は、同一半導体基板上に、前記静電誘導型トランジスタ
と、絶縁ゲート型電界効果トランジスタと、ツェナーダ
イオードと、ダイオードと、直流電源とを形成した構成
とする電力用半導体装置である。
【0018】
【実施例】本発明の実施例による電力用半導体装置につ
いて、以下に説明する。
【0019】(実施例1)図1に、本発明の実施例1に
よる電力用半導体装置の回路構成図を示す。図1の回路
構成は、SIT1とMOSFET2のカスコード接続を
利用したものである。まず、SIT1のソースS1とM
OSFET2のドレインD2を直列に接続し、SIT1
のゲートG1をツェナーダイオード3のカソードK3に
接続し、ツェナーダイオード3のアノードA3をMOS
FET2のソースS2に接続し、ツェナーダイオード3
の両端に直流電源4を接続する。このとき、直流電源4
の正電極4aは、ツェナーダイオードのカソードK3に
接続し、直流電源4の負電極4bは、上記ツェナーダイ
オード3のアノードA3に接続する。
【0020】さらに、必要に応じて電源保護のために直
流電源4の正電極4aに、ダイオード5を順方向となる
ように(即ち、直流電源側にアノードA5,ツェナーダ
イオード側にカソードK5となるように)直列に接続す
る。
【0021】以下に、この電力用半導体装置の動作を説
明する。
【0022】まず、制御電極が0Vのとき、MOSFE
T2はオフ状態であり、SIT1のドレインD1に印加
された電源7の電圧によって、MOSFET2のドレイ
ンD2・ソースS2間には、ドレインD2が正となる電
位差が生じる。この電位差がツェナー電圧以上になった
とき、SIT1のゲートG1・ソースS1間には、ゲー
トG1が負となる電圧が印加される。SIT1の電圧増
幅率が充分大きい場合、SIT1はオフ状態となり、主
電極(SIT1のドレインD1とMOSFET2のソー
スS2)間に印加されている電源電圧のほとんどは、S
IT1のドレインD1・ソースS1間に、残りの電圧が
MOSFET2のドレインD2・ソースS2間に、それ
ぞれ分圧される。
【0023】次に、制御電極にMOSFET2の遮断電
圧Vth以上の電圧を印加すると、MOSFET2はオ
ン状態となり、MOSFET2のドレインD2・ソース
S2間電圧は減少する。従って、SIT1のゲートG1
・ソースS1間電圧も減少する。ここで、MOSFET
2のドレインD2・ソースS2間電圧がツェナー電圧以
下になると、SIT1のゲートG1・ソースS1間に
は、直流電源4による順方向ゲート電流が流れ、SIT
1はオン状態となる。
【0024】さらに、制御電極が0Vになると、半導体
装置6aは再びオフ状態となる。このとき、SIT1の
ゲートG1からの引き抜き電流は、ツェナーダイオード
3を通ってMOSFET2のソースS2に流れる。
【0025】即ち、本発明による電力用半導体装置は、
SIT1を主デバイス、MOSFET2をSIT1の制
御デバイスとして使用する。前述のとおり、SIT1の
電圧増幅率が充分大きければ、オフ時に主電極D1・S
2間に印加される電圧のほとんどはSIT1にかかり、
MOSFET2にはSIT1をオフするのに必要な電圧
とツェナーダイオード3のツェナー電圧の和のみがかか
る。
【0026】従って、MOSFET2の耐圧は低くて良
く、オン抵抗も低く抑えられるため、主デバイスである
SIT1の特性に影響を及ぼすことなく、SIT1の制
御を行うことが可能である。
【0027】直流電源4は、SIT1をオンする際にゲ
ートG1に安定した順方向電流を流すためにあり、その
電圧は、所望の電流が得られるよう予め調整しておく必
要がある。本実施例では5Vとした。ツェナーダイオー
ド3のツェナー電圧は、直流電源4の電圧より高く設定
する必要があるが、MOSFET2の耐圧からSIT1
をオフするのに必要な電圧を差し引いた電圧の範囲にな
ければならない。本実施例では、ツェナーダイオード3
のツェナー電圧は5.5Vとした。
【0028】さらに、ツェナーダイオード3の役目は、
SIT1がオフする際のゲート引き抜き電流をMOSF
ET2のソースS2に流すことであり、上記引き抜き電
流に耐えうる電流容量があれば良く、大きな接合容量は
不要である。一例として、制御入力として6Vの矩形波
(周波数10kHz、デューティー50%)を入力した
ときのSIT1のゲートG1・ソースS1間電圧VGS
(SIT)およびゲート電流波形IG(SIT)を図3
に示す。さらに、出力電流ID(SIT+FET)およ
び電圧波形VDS(SIT+FET)、即ち、主電極の
電圧電流波形を図4に示す。
【0029】ここで、波形から明らかなように、本発明
による電力用半導体装置は、全体としてノーマリオフ特
性を示す。また、オン時のSIT1の駆動電流もオン期
間を通して流れ続けており、結果的にSIT1の性能を
充分に引き出すことが可能である。
【0030】さらに、オフ時には、主電極用電源7の電
圧を利用してSIT1のゲートG1に負バイアスを供給
するため、従来のように負バイアス用の電源を用意する
必要がなく、取り扱いも容易である。また、この半導体
装置は、電圧制御型デバイスとして動作するため、従来
に比べて駆動回路の構成を単純にすることが可能であ
る。
【0031】なお、本実施例1の回路構成は、SIT1
に、MOSFET2を主構成要素とするものであるが、
前記MOSFET2の部分をIGBTに置き換えても、
同様の効果が得られるものである。
【0032】(実施例2)図2に、本発明の実施例2に
よる電力用半導体装置の回路構成図を示す。本実施例で
は、先の実施例1の直流電源4の代わりに主電極用電源
7の電圧を直流電源として利用し、SITにゲート順方
向電流を流すものであり、実施例1と同様に、良好なノ
ーマリオン特性が得られる。
【0033】即ち、ツェナーダイオード3と、抵抗R3
との直列回路にて、主電極用電源7の電圧が分圧され、
SITのゲートG1に、適正な電圧が供給されるもので
ある。
【0034】なお、基本的な回路動作原理は、先の実施
例1と同様なので、省略する。なお、本実施例2の回路
構成は、SIT1に、MOSFET2を主構成要素とす
るものであるが、前記MOSFET2の部分をIGBT
に置き換えても、同様の効果が得られるものである。
【0035】以上、説明したように、本発明による電力
用半導体装置によれば、ノーマリオン型のSITを主デ
バイスした半導体装置であって、従来のSITの取り扱
いの難しさを緩和し、駆動を容易に行え、しかもSIT
の性能を充分に活かすことができる電力用半導体装置を
提供することが可能となる。
【0036】なお、本実施例においては、SIT、MO
SFET、ツェナーダイオード等を単体部品として用意
し、各々外部接続して半導体装置6bを構成したが、本
発明による電力用半導体装置は、チップ部品等を同一ユ
ニット内で接続するものや、半導体製造プロセス上で各
機能を同一半導体基板上に形成するものであってもよ
い。
【0037】
【発明の効果】以上、本発明によれば、従来のSITの
取り扱いの難しさを改善した、駆動を容易に行え、しか
もSITの性能を充分に活かすことのできる電力用半導
体装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例による電力用半導体装置の回路
構成図。
【図2】本発明の別の実施例による電力用半導体装置の
回路構成図。
【図3】本発明による電力用半導体装置におけるSIT
のゲート・ソース間電圧およびゲート電流波形の一例を
示す図。
【図4】本発明による電力用半導体装置における出力電
流および電圧波形(主電極波形)の一例を示す図。
【図5】SITおよびその駆動回路を示す回路構成図。
【図6】SIサイリスタとMOSFETのカスコード接
続の一例を示す図。
【符号の説明】
1 SIT 2 MOSFET 3 ツェナーダイオード 4 直流電源 4a 直流電源の正電極 4b 直流電源の負電極 5 ダイオード 6a,6b 半導体装置 7 主電極用電源 8 SIT 9 駆動回路 10 SIサイリスタとMOSFETのカスコード接
続によるノーマリオフ型複合半導体 11 SIサイリスタ 12 MOSFET 13 ツェナーダイオード A3 ツェナーダイオードのアノード A5 ダイオードのアノード D1 SITのドレイン D2 MOSFETのドレイン G1 SITのゲート G2 MOSFETのゲート K3 ツェナーダイオードのカソード K5 ダイオードのカソード S1 SITのソース S2 MOSFETのソース R1,R2,R3 抵抗

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 静電誘導型トランジスタと、絶縁ゲート
    型電界効果トランジスタと、ツェナーダイオードと、ダ
    イオードと、直流電源とを主要構成要素とする電力用半
    導体装置において、前記静電誘導型トランジスタのソー
    スと、前記絶縁ゲート型電界効果トランジスタのドレイ
    ンを直列に接続し、前記静電誘導型トランジスタのゲー
    トを前記ツェナーダイオードのカソードに接続し、前記
    ツェナーダイオードのアノードを、前記絶縁ゲート型電
    解効果トランジスタのソースに接続し、前記ツェナーダ
    イオードの両端に、ダイオードを介して、前記直流電源
    を接続したことを特徴とする電力用半導体装置。
  2. 【請求項2】 前記電力用半導体装置において、直流電
    源の正電極を、ダイオードを介して上記ツェナーダイオ
    ードのカソードに接続し、上記直流電源の負電極を上記
    ツェナーダイオードのアノードに接続することを特徴と
    する請求項1記載の電力用半導体装置。
  3. 【請求項3】 前記電力用半導体装置は、前記静電誘導
    型トランジスタと、絶縁ゲート型電界効果トランジスタ
    と、ツェナーダイオードと、ダイオードと、直流電源と
    を、各々外部接続した構成であることを特徴とする請求
    項1または2に記載の電力用半導体装置。
  4. 【請求項4】 前記電力用半導体装置は、前記静電誘導
    型トランジスタと、絶縁ゲート型電界効果トランジスタ
    と、ツェナーダイオードと、ダイオードと、直流電源と
    が同一ユニット内に配置され、前記各部品を接続した構
    成であることを特徴とする請求項1または2に記載の電
    力用半導体装置。
  5. 【請求項5】 前記電力用半導体装置は、同一半導体基
    板上に、前記静電誘導型トランジスタと、絶縁ゲート型
    電界効果トランジスタと、ツェナーダイオードと、ダイ
    オードと、直流電源とを形成した構成であることを特徴
    とする請求項1または2に記載の電力用半導体装置。
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