JP2001228091A - 欠陥検査方法及びその装置 - Google Patents

欠陥検査方法及びその装置

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JP2001228091A JP2000034810A JP2000034810A JP2001228091A JP 2001228091 A JP2001228091 A JP 2001228091A JP 2000034810 A JP2000034810 A JP 2000034810A JP 2000034810 A JP2000034810 A JP 2000034810A JP 2001228091 A JP2001228091 A JP 2001228091A
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光博 北側
Shigeru Yuki
滋 結城
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 例えばプリント基板などの検査対象物の撮像
画像に基づいて欠陥を検査する場合に，前記検査対象物
の両端のみを支持したり，前記検査対象物を単に平坦な
テーブルに載置するだけでは，前記検査対象物に湾曲等
が生じて，前記撮像画像の質が劣化し，精緻な欠陥検査
を行うことが難しかった。 【解決手段】 本発明は，互いに平行に配置された板部
材の間に前記検査対象物を挟んだ状態で支持することに
より，前記検査対象物の平坦度を簡単に確保し，精緻な
欠陥検査を行うことを図ったものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は，欠陥検査装置及び
その装置に係り，例えばプリント基板などに形成される
配線パターンやボンディングパッド等について，欠陥の
検査を行うための欠陥検査方法，及びその装置に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】例えばプリント基板上に形成される，配
線パターンや金めっきを施したボンディングパッド等に
は，傷，異物，打痕，汚れなどによる欠陥が生じること
がある。近年，前記プリント基板などを利用した電気電
子回路について，より一層の複雑化が要求される一方，
軽量化，コンパクト化に対する要求は益々強くなるばか
りであり，製品の品質や歩留りを向上させるには，これ
らの欠陥について精緻な検査を行うことが欠かせない。
前記欠陥のある箇所では，本来の配線パターンやボンデ
ィングパッドなどと形状や反射光強度などに相違がある
ので，ＣＣＤカメラ等の撮像手段により前記プリント基
板などの撮像画像を取得し，その撮像画像に形状や反射
光強度などに基づいた画像処理を施したり，基準画像と
比較するなどして，自動的に前記欠陥の検査を行うこと
が可能である。前記欠陥を検査する際に重要となること
の一つが，検査時のプリント基板などの平坦度である。
前記撮像手段の光学系は，通常撮像対象が平坦であるこ
とを想定して設定されるが，撮像対象となる前記プリン
ト基板などは実際には必ずしも平坦になっていない。ま
た，精緻な検査を行うために，被写体深度がなるべく小
さく設定される。このため，前記撮像対象が平坦でない
と，鮮明な画像が得られなかったり正確な形状を得られ
なかったりして，検査精度が低下してしまう。前記プリ
ント基板などを単に平坦な場所に載置するだけでは，前
記撮像対象の撓みなどが解消されないので，従来，例え
ば図８に示す如く，前記撮像対象８１の両端に対応した
位置に設けられた押え板８２と昇降部材８３との間に前
記撮像対象８１を挟み込んで，前記撮像対象８１の平坦
度を確保していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】これまで，多くの基板
にある程度の厚みが持たされており，基板自体がリジッ
ドな性質を有していたから，前記撮像対象８１の両端を
挟み込むだけで十分に平坦度が確保できていた。しかし
ながら，前記プリント基板などにおいても，０．０６ｍ
ｍ〜０．６ｍｍ程度の極めて薄いものが広く製造，使用
されるようになってきた。特に，いわゆるＢＧＡやＣＳ
Ｐ用インターポーザ基板の薄膜化は顕著である。このよ
うに極めて薄い基板では，上述の通りその両端部を挟み
込むように支持しても，基板の自重によって基板が撓ん
でしまい，精度の良い検査を行うことができない。ま
た，単に平坦な場所に載置するだけでは，一部に湾曲等
を生じてしまうことが多く，それを解消するために検査
に余計な手間が生じる。テープＢＧＡやＴＡＢなどのリ
ール型のプリント基板のように，その側方部にパーフォ
レーション部（送り機構に噛み合わせるための複数の連
なった孔）が形成されていれば，前記パーフォレーショ
ン部に張力をかけることによって，不均一な湾曲が発生
するのをある程度防止することができるが，前記パーフ
ォレーション部を形成していない薄膜基板も多い。この
ため，上述のように厚みが極めて薄いプリント基板は，
欠陥検査時の取り扱いが難しく，欠陥の検査精度を低下
させる要因になっていた。本発明は，このような従来の
技術における課題を解決するために，欠陥検査方法及び
その装置を改良し，検査対象物の照明側に配置された光
透過性を有する光透過性板部材と，前記検査対象物に対
し前記光透過性板部材とは逆側に前記光透過性部材と平
行に配置された板部材とにより，前記検査対象物を挟ん
だ状態で支持することにより，前記検査対象物が例えば
極めて厚みの薄いプリント基板の場合でも精緻な欠陥検
査を行うことが可能な欠陥検査方法及びその装置を提供
することを目的とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に，請求項１に係る発明は，支持された板状の検査対象
物からの反射光を撮像手段を用いて撮像して前記検査対
象物の撮像画像を取得し，取得した前記撮像画像に基づ
いて前記検査対象物の欠陥を検査する欠陥検査方法にお
いて，前記検査対象物を支持する際に，互いに平行に配
置された板部材の間に前記検査対象物を挟んだ状態で支
持してなることを特徴とする欠陥検査方法として構成さ
れている。
【０００５】また，請求項２に係る発明は，支持された
板状の検査対象物を照明し，前記検査対象物からの反射
光を撮像手段により撮像して前記検査対象物の撮像画像
を取得し，取得した前記撮像画像に基づいて前記検査対
象物の欠陥を検査する欠陥検査方法において，前記検査
対象物の照明側に配置された光透過性を有する光透過性
板部材と，前記検査対象物に対し前記光透過性板部材と
は逆側に前記光透過性部材と平行に配置された板部材と
により，前記検査対象物を挟んだ状態で支持してなるこ
とを特徴とする欠陥検査方法である。
【０００６】前記請求項１又は２に記載の発明では，検
査対象物が互いに平行に配置された板部材（光透過性板
部材と板部材と）の間に挟まれた状態で支持されるた
め，前記検査対象物が例えば極めて厚みの薄いプリント
基板である場合にも，容易に前記検査対象物の平坦度を
確保して，精緻な欠陥検査を行うことが可能な欠陥検査
方法を提供することができる。
【０００７】また，請求項３に係る発明は，板状の検査
対象物を支持する支持手段と，前記支持手段に支持され
た前記検査対象物を照明する照明手段と，前記照明手段
により照明された前記検査対象物からの反射光を撮像し
前記検査対象物の撮像画像を得る撮像手段とを備え，前
記撮像手段により得られた前記撮像画像に基づいて前記
検査対象物の欠陥を検査する欠陥検査装置において，前
記支持手段が，前記検査対象物の前記撮像手段側に配置
された光透過性を有する光透過性板部材と，前記検査対
象物に対し前記光透過性板部材とは逆側に前記光透過性
板部材と平行に配置された板部材とを備え，前記光透過
性板部材及び前記板部材により前記検査対象物を挟んだ
状態で支持してなることを特徴とする欠陥検査装置であ
る。
【０００８】また，請求項４に係る発明は，前記請求項
３に記載の欠陥検査装置において，予め前記光透過性板
部材と前記撮像手段との位置関係を固定しておき，前記
検査対象物を支持する際に，前記光透過性板部材に対し
て前記板部材を移動させることにより，前記検査対象物
を前記光透過性部材と前記板部材との間に支持してなる
ことをその要旨とする。
【０００９】また，請求項５に係る発明は，前記請求項
３又は４に記載の欠陥検査装置において，前記光透過性
板部材及び前記板部材のいずれか一方又は両方に平面部
から突出して設けられた突出部にて前記検査対象物の縁
部を支持することにより，前記検査対象物の面方向の位
置合わせを行うことをその要旨とする。
【００１０】前記請求項３〜５のいずれか１項に記載の
発明では，検査対象物が光透過性板部材と板部材との間
に挟まれた状態で支持されるため，前記検査対象物が例
えば極めて厚みの薄いプリント基板である場合にも，容
易に前記検査対象物の平坦度を確保して，精緻な欠陥検
査を行うことが可能な欠陥検査装置を提供することがで
きる。
【００１１】さらに，前記請求項４に記載の欠陥検査装
置では，予め前記光透過性板部材と前記撮像手段との位
置関係が固定され，前記検査対象物を支持する際に，前
記光透過性板部材に対して前記板部材を移動させること
により，前記検査対象物が前記光透過性部材と前記板部
材との間に支持されるため，前記検査対象物と前記撮像
手段との位置合わせを容易且つ確実に行うことが可能と
なる。
【００１２】さらに，前記請求項５に記載の欠陥検査装
置では，前記光透過性板部材及び前記板部材のいずれか
一方又は両方に平面部から突出して設けられた突出部に
て前記検査対象物の縁部を支持することにより，前記検
査対象物の面方向の位置合わせを容易に行うことが可能
である。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下，添付図面を参照して，本発
明の実施の形態につき説明し，本発明の理解に供する。
尚，以下の実施の形態は，本発明の具体的な例であっ
て，本発明の技術的範囲を限定する性格のものではな
い。図１に示すのは，本発明の実施の形態に係る欠陥検
査方法を実施するのに好適な欠陥検査装置の基本的構成
である。図１に示す如く，本発明の実施の形態に係る欠
陥検査装置は，例えばプリント基板などの板状の検査対
象物１を支持する検査ステージ部（支持手段に相当）２
と，前記検査ステージ部２に支持された前記検査対象物
１を照明するリング照明（照明手段の一例）３と，前記
リング照明３により照明された前記検査対象物１からの
反射光を撮像し前記検査対象物１の撮像画像を得るＣＣ
Ｄカメラ（撮像手段の一例）４とを備え，前記ＣＣＤカ
メラ４により得られた前記撮像画像に基づいて前記検査
対象物１の欠陥を検査する点で従来装置と同様である。
一方，本発明の実施の形態に係る欠陥検査装置が，従来
装置と異なるのは，前記検査ステージ部２が，前記検査
対象物１の前記ＣＣＤカメラ４側に配置された光透過性
を有する光透過性板部材５と，前記検査対象物１に対し
前記光透過性板部材５とは逆側に前記光透過性板部材５
と平行に配置された板部材６とを備え，前記光透過性板
部材５及び前記板部材６により前記検査対象物１を挟ん
だ状態で支持する点である。
【００１４】前記欠陥検査装置の基本的構成は，前記検
査ステージ部２と，前記ＣＣＤカメラ４，及び前記リン
グ照明３を含む撮像部７とに大別される。前記検査ステ
ージ部２は，リニアアクチュエータ８を備えており，前
記撮像部７に対して水平方向に移動可能である。図１に
示したのは，前記検査ステージ部２が前記撮像部７の下
方の検査位置にある状態である。前記検査ステージ部２
において，前記リニアアクチュエータ８上に設けられる
構成に，例えばプリント基板などの板状の検査対象物１
を支持するための前記光透過性板部材５と前記板部材６
とが含まれる。前記光透過性板部材５は，可視光が透過
する，例えばガラス板である。前記光透過性板部材５
は，前記リニアアクチュエータ８上に固定された支持部
材８１に，水平方向と平行となるように取り付けられ
る。また，前記板部材６は，可視光を透過しない，有色
の板部材である。前記板部材６は，前記光透過性板部材
５と互いに平行になるように（この場合水平方向に平行
となるように），前記リニアアクチュエータ８上のエア
シリンダー８２に取り付けられる。前記エアシリンダー
８２の駆動によって，前記板部材６は，上下方向に移動
が可能である。
【００１５】一方，前記撮像部７において，前記ＣＣＤ
カメラ４，及び前記リング照明３は，フレーム７１に取
り付けられる。前記ＣＣＤカメラ４は，図示しない計算
手段に接続されており，前記ＣＣＤカメラ４から出力さ
れる撮像画像は，前記計算手段に出力される。また，前
記リング照明３は，円環状の照明であり，前記検査位置
にある前記検査対象物１の表面に均一に光を照射する。
前記ＣＣＤカメラ４，及び前記リング照明３の高さ位置
は調整が可能であり，例えば前記欠陥検査装置の初動運
転時などに最適化が行われる。前記ＣＣＤカメラ４，及
び前記リング照明３の高さ位置を調整する際には，とり
わけ前記ＣＣＤカメラ４と前記検査対象物１との高さ位
置の関係が重要である。前記ＣＣＤカメラ４と前記検査
対象物１との高さ位置の関係は，前記ＣＣＤカメラ４に
より撮像される前記検査対象物１の撮像画像に大きく影
響を及ぼすので，前記最適化後は，前記ＣＣＤカメラ４
と前記検査対象物１との高さ位置の関係ができるだけ変
動しないようにする必要がある。前記光透過性板部材５
が，前記支持部材８１に固定された状態で取り付けられ
るのは，このためである。前記光透過性板部材５が固定
されていれば，最適化後の前記ＣＣＤカメラ４と前記光
透過性板部材５との高さ位置は変化しない。従って，常
に前記光透過性板部材５を基準に前記検査対象物１の高
さ位置を定めれば，前記ＣＣＤカメラ４と前記検査対象
物１との高さ位置の最適な関係を保つことができる。
【００１６】上述のような基本的構成に，前記検査対象
物１の搬入装置などを加えた前記欠陥検査装置の全体構
成を，図２に示す。尚，図２に示す各構成の配置関係
は，前記ＣＣＤカメラ４のある上方から各構成を見たと
きの配置関係に対応する。図２において，矢印Ｙ１は，
前記検査対象物１の移送経路を示す。前記検査対象物１
は，前記矢印Ｙ１に沿うように，搬入部９１からロード
部９２を介し，前記撮像部７が配置される検査部９３に
移送される。前記検査部９３にて検査が行われた前記検
査対象物１は，前記検査部９３から，アンロード部９４
を介し，搬出部９５へ搬出される。ここで，前記搬入部
９１は，複数枚の前記検査対象物１が格納される前記検
査対象物１の移送の起点であり，前記ロード部９２は，
前記搬入部９１にあった前記検査対象物１が前記検査ス
テージ部２に移送される場所であり，前記検査部９３
は，前記撮像部３がある場所であり，前記アンロード部
９４は，前記検査ステージ部２から前記検査対象物１が
退出させられる場所であり，前記搬出部９５は，前記ア
ンロード部９４から退出させられた前記検査対象物１が
一時的に格納される移送の終点である。前記搬入部９１
には棚部材９１１が設けられており，図２（ｂ）に示す
如く，複数枚の前記検査対象物１が，前記棚部材９１１
に積層された状態で格納される。前記棚部材９１１にお
いて，各検査対象物１が裁置される各棚は同期して上下
方向に移動可能である。前記棚部材９１１の近傍には前
記検査対象物１を把持し前記搬入部９１と前記ロード部
９２との間で往復動可能な搬入用チャック装置９１２が
設けられている。前記搬入用チャック装置９１２に前記
棚部材９１１にある前記検査対象物１を把持させ，前記
ロード部９２まで移動させることにより，前記検査対象
物１が前記搬入部９１から前記ロード部９２に移送され
る。また，前記搬出部９５の近傍にも，前記搬入用チャ
ック装置９１２と類似した搬出用チャック装置９５１が
設けられている。この搬出用チャック装置９５１は，前
記アンロード部９４と前記搬出部９５との間で往復動可
能であり，且つ上下方向に移動可能である。前記搬出用
チャック装置９５１に前記アンロード部９４にある前記
検査対象物１を把持させた後，前記搬出用チャック装置
９５１を前記搬出部９５まで移動させることにより，前
記検査対象物１が前記アンロード部９４から前記搬出部
９５に移送される。前記ロード部９２から前記ロード部
９４までの前記検査対象物１の移送は，前記検査ステー
ジ部２のリニアアクチュエータ８を用いて行われる。複
数枚の前記検査対象物１は，前記搬入部９１から一枚ず
つ順次前記ロード部９２に供給されるが，これら複数枚
の前記検査対象物１について移送と検査を円滑に行うた
めに，前記検査ステージ部２の前記光透過性板部材５と
前記板部材６は，その移送方向に前記検査対象物１の少
なくとも２倍の長さを有し，２枚の前記検査対象物１を
同時に支持することが可能である。これは，例えば図２
（ａ）に示す如く，前記検査対象物１の移送と，それよ
り前に移送された前記検査対象物１に対する検査とを同
時に行うことを可能とするためである。
【００１７】以下，図３（ａ）乃至図３（ｄ），及び図
４（ａ）乃至図４（ｄ）を順次参照しながら，前記欠陥
検査装置の動作説明（本発明の実施の形態に係る欠陥検
査方法の詳細説明も兼ねる）を行う。尚，以下では前記
光透過性板部材５及び板部材６の全表面部分のうち，２
枚の前記検査対象物１を同時に載置するためのそれぞれ
の面部分に５ａ，６ａ，５ｂ，６ｂの符号を付す。ま
た，図２（ａ），（ｂ）における前記搬入用チャック装
置９１２と，図３（ａ）乃至図３（ｄ），および図４
（ａ）乃至図４（ｄ）におけるそれらとは，図示した形
状に相違があるが，少なくとも前記検査対象物１を前記
棚部材９１１から前記ロード部９２まで移送する両者間
で往復動可能である点において，動作上の機能は同一の
ものである。さらに，各図における前記搬出用チャック
装置９５１についても，前記検査対象物１を移送するた
め前記アンロード部９４と前記搬出部９５との間で往復
動可能であり，且つ前記方向に移動可能である点におい
て，動作上の機能は同一のものである。図３（ａ）は前
記搬入部９１から前記搬入用チャック装置９１２によっ
て前記ロード部９２にある前記検査ステージ部２に前記
検査対象物１が移送された状態を示すものである。前記
搬入部９１から前記ロード部９２に前記検査対象物１を
移送する際には，まず前記棚部材９１１の各棚，及び前
記搬入用チャック装置９１２が上下させられ，予め設定
された前記検査対象物１の移送時の高さ位置に，前記棚
部材９１１の次に検査対象となる前記検査対象物１の棚
の高さと前記搬入用チャック装置９１２の高さが調整さ
れる。一方，前記検査ステージ部２では，前記エアシリ
ンダー８２により前記板部材６が下降させられ，高さ位
置が固定された前記光透過性板部材５と前記板部材６と
の間に空間が形成される。この後，前記検査ステージ部
２は前記リニアアクチュエータ８により駆動され前記ロ
ード部９２の所定位置まで移動する。前記ロード部９２
に前記検査ステージ部２が移動すると，前記搬入用チャ
ック装置９１２により当該検査対象物１が把持され，前
記搬入部９１から前記ロード部９２へ移送される。前記
搬入用チャック装置９１２により当該検査対象物１が前
記検査ステージ部２の所定水平位置まで移動すると，前
記搬入用チャック装置９１２は当該検査対象物１を開放
し，当該検査対象物１は前記板部材６の面部分６ａ上に
載置される。当該検査対象物１を開放した後，前記搬入
用チャック装置９１２は，前記搬入部９１に戻る。前記
搬入用チャック装置９１２が前記搬入部９１に戻ると，
前記光透過性板部材５と前記板部材６との間の距離が前
記検査対象物１の厚み程度となるまで，前記エアシリン
ダー８２の駆動により前記板部材６が上昇させられる。
この際，前記板部材６上の当該検査対象物１が湾曲して
いる場合があるが，前記板部材６の上昇に伴い，当該検
査対象物１は前記板部材６の上方にある前記光透過性板
部材５に当接し，前記光透過性板部材５によりその湾曲
部分が押圧される。当該検査対象物１にある湾曲等は徐
々に平坦化され，前記光透過性板部材５と前記板部材６
との間の距離が前記検査対象物１の厚み程度となったと
き，すなわち前記検査対象物１が前記光透過性板部材５
と前記板部材６との間に挟まれた状態で支持されたと
き，当該検査対象物１はほぼ平坦化された状態となる。
尚，前記光透過性板部材５と前記板部材６との間に前記
検査対象物１が挟まれた状態で支持されたときの，前記
検査対象物１の高さ位置は，上述の通り，前記光透過性
板部材５を基準に前記撮像手段７に対して最適化されて
いる。
【００１８】上述のように前記ロード部９２において，
前記検査ステージ部２の前記光透過性板部材５と前記板
部材６との間に前記検査対象物１が挟まれた状態で支持
されると，次に図３（ｂ）に示す如く，前記検査対象物
１が載置された前記光透過性板部材５の面部分５ａ，前
記板部材６の面部分６ａが，前記リニアアクチュエータ
８により前記検査部９３に移動させられ，前記検査対象
物１が前記ＣＣＤカメラ４，及び前記リング照明３の下
方に配置される。前記検査対象物１が前記撮像部７の下
方に配置されると，前記リング照明３により前記検査対
象物１が照明され，前記ＣＣＤカメラ４により前記検査
対象物１からの反射光が撮像され，前記検査対象物１の
撮像画像が取得される。前記ＣＣＤカメラ４により取得
された前記撮像画像について，前記計算手段により所定
の画像処理が施され，欠陥の検査が行われる。前記検査
部９３における欠陥の検査が終了すると，前記エアシリ
ンダー８２により前記板部材６が下降させられる。前記
板部材６が下降させられると，図示しない支持手段によ
り前記板部材６上の前記検査対象物１が持ち上げられ，
前記光透過性板部材５と前記板部材６から離される。こ
の状態で，前記リニアアクチュエータ８により前記検査
ステージ部２が前記ロード部９２側に移動させられる。
このとき，前記支持手段によって支持された前記検査対
象物１は，図３（ｃ）に示す如く，前記検査部９３に残
り，前記光透過性板部材５，及び前記板部材６の面部分
５ｂ，６ｂ側に位置することになる。前記検査ステージ
部２が前記ロード９２側に移動すると，図３（ａ）の場
合と同様，未だ検査の行われていない前記検査対象物１
が前記搬入部９１から前記ロード部９２に移送される。
この状態を示すのが，図３（ｄ）である。未検査の前記
検査対象物１が前記光透過性板部材５，及び前記板部材
６の面部分５ａ，６ａにまで移動すると，図４（ａ）に
示す如く，前記搬入用チャック装置９１２が前記搬入部
９１に戻される。
【００１９】図３（ａ）の場合と，図３（ｄ）及び図４
（ａ）の場合とで異なるのは，前記搬入部９１から前記
ロード部９２への前記検査対象物１の移送の際に，検査
済の前記検査対象物１が，前記光透過性板部材５，及び
前記板部材６の面部分５ｂ，６ｂ側に位置することであ
る。未検査の前記検査対象物１が前記光透過性板部材
５，及び前記板部材６の面部分５ａ，６ａの間に挟まれ
た状態で支持されたときには，検査済の前記検査対象物
１が前記光透過性板部材５，及び前記板部材６の面部分
５ｂ，６ｂの間に挟まれた状態で支持される。この状態
で，前記リニアアクチュエータ８により前記検査ステー
ジ部２が前記アンロード部９４側に移動させられ，図４
（ｂ）に示す如く，未検査の前記検査対象物１が前記検
査部９３に配置される。一方，検査済の前記検査対象物
１は前記アンロード部９４に配置される。未検査の前記
検査対象物１，及び検査済の前記検査対象物１が，それ
ぞれ前記検査部９３，及び前記アンロード部９４に配置
されると，前記検査部９３については，上述の通りの欠
陥検査が行われる。前記アンロード部９４にある検査済
の前記検査対象物１については，前記検査部９３にある
前記検査対象物１の検査の際に，前記エアシリンダー８
２により前記板部材６が下降させられると，図４（ｃ）
に示す如く，前記搬出用チャック装置９５１が前記アン
ロード部９４にまで移動する。そして，前記板部材６の
前記面部分６ｂ側にある検査済の前記検査対象物１が前
記搬出用チャック装置９５１により把持され，図４
（ｄ）に示す如く，前記搬出用チャック装置９５１によ
り前記アンロード部９４から前記搬出部９５に検査済の
前記検査対象物１が移送させられる。図４（ｄ）に示す
状態は，既に検査済の前記検査対象物１が前記搬出部９
５に格納されている点を除いて，図３（ｂ）の状態と同
様である。以降，図３（ｂ）の状態からの手順を繰り返
せば，前記検査対象物１の移送と検査をほぼ同時に行う
ことにより，複数枚の前記検査対象物１の検査を円滑に
行うことが可能となる。このような本発明の実施の形態
に係る欠陥検査方法，及びその装置によれば，検査対象
物が光透過性板部材と板部材との間に挟まれた状態で支
持されるため，前記検査対象物が例えば極めて厚みの薄
いプリント基板である場合にも，容易に前記検査対象物
の平坦度を確保して，精緻な欠陥検査を行うことができ
る。
【００２０】
【実施例】前記実施の形態では，前記検査対象物１の片
面について検査が行われていた。前記検査対象物１に
は，両面に配線パターンなどが形成されるものもある
が，前記実施の形態に係る欠陥検査装置の構成を用いて
両面の検査を行う場合には，各検査対象物１を前記搬入
部９１から前記搬出部９５まで２回移送させる必要があ
る。そうすると，その分だけ検査に要する時間が増大す
る。前記検査対象物１の両面の検査を迅速に行い得るよ
う前記実施の形態に係る前記欠陥検査装置を応用した，
本発明の実施例に係る欠陥検査装置の構成を図５，図６
に示す。図６は，本発明の一実施例に係る欠陥検査装置
の検査ステージ部２′の拡大図である。図５に示す如
く，本発明の一実施例に係る欠陥検査装置が，前記実施
の形態に係る欠陥検査装置と異なる点の一つは，前記撮
像部７の他にリング照明３′，ＣＣＤカメラ４′を有す
る撮像部７′を備える点である。前記撮像部７′は，検
査ステージ部２′を挟んで前記撮像部７とは逆側に，そ
の撮像方向を前記検査ステージ部２′側に向けて配置さ
れている。また，本発明の一実施例に係る欠陥検査装置
が，前記実施の形態に係る欠陥検査装置と異なる点の他
の一つは，前記検査ステージ部２′の構成である。図５
及び図６に示す如く，前記実施の形態に係る欠陥検査装
置と異なり，本発明の一実施例に係る欠陥検査装置で
は，前記光透過性板部材５，及び前記板部材６が２対設
けられている。図６に拡大して示すように，そのうちの
一対５ａ′，６ａ′は前記撮像部７に対応するものであ
り，前記光透過性板部材５ａ′が図面上側に配置され
る。他の一対５ｂ′，６ｂ′は前記撮像部７′に対応す
るものであり，前記光透過性板部材５ｂ′が図面下側に
配置される。前記光透過性板部材５，及び前記板部材６
の各対はそれぞれ別個に上下動が可能であり，前記板部
材６ａ′は前記エアシリンダー８２ａにより，板部材６
ｂ′は前記エアシリンダー８２ｂにより駆動される。本
発明の一実施例に係る欠陥検査装置を用いる場合には，
例えば図３（ｂ）のような状態下において，前記撮像部
７を用いて前記検査対象物１の片面について欠陥検査を
行った後，図３（ｄ）のような状態下において，前記検
査ステージ部２′の前記光透過性板部材５ａ′，前記板
部材６ａ′側に未検査の前記検査対象物１を移送すると
同時に，前記透過性板部材５ｂ′，前記板部材６ｂ′側
に残った片面検査済の前記検査対象物１について前記撮
像部７′を用いて前記検査対象物１の他面について欠陥
検査を行うようにすればよい。このようにすれば，図３
及び図４を用いて説明した前記検査対象物１の検査，移
送手順をほとんど変更することなく，即ち前記実施の形
態に係る欠陥検査装置に対して検査に要する時間をほと
んど変更することなく，前記検査対象物１の両面の検査
を行うことが可能となる。
【００２１】また，前記実施の形態では，前記検査ステ
ージ部２に１枚ずつ前記検査対象物１を搬入し，前記検
査ステージ部２から一枚ずつ搬出したが，これに限られ
るものではなく，前記検査対象物１を複数枚ずつ前記検
査ステージ部２に搬出入するようにしてもよい。例えば
前記検査対象物１を２枚ずつ前記検査ステージ部２に搬
出入する場合には，少なくとも前記光透過性板部材５及
び前記板部材６の大きさを，４枚の前記検査対象物１が
載置可能な大きさにしておく必要がある。また，前記撮
像部７を水平方向に２つ配置しておく。動作は基本的に
前記実施の形態のものと同様であるが，前記検査対象物
１の移送及び検査が２枚同時に行われることになる。ま
た，前記実施の形態では，前記ＣＣＤカメラ４を用いて
前記検査対象物１の撮像画像を取得したが，これに限ら
れるものではなく，ラインセンサなどの他の撮像素子を
用いるようにしてもよい。ラインセンサを用いる場合に
は，前記検査対象物１を移動させながら，前記撮像画像
を得ることになる。また，前記実施の形態では，前記光
透過性板部材５と前記板部材６とを水平に配置したが，
これに限られるものではなく，図７に示す如く，前記光
透過性板部材５と前記板部材６を斜め方向に配置するよ
うにしてもよい。この場合に，前記光透過性板部材５及
び前記板部材６のいずれか又は両方に平面部より突出し
た突出部を設け，前記突出部が下方になるように前記光
透過性板部材５及び前記板部材６を斜めにすれば，前記
検査対象物１の縁部を前記突出部により支持させるだけ
で，前記検査対象物１の面方向の位置合わせを前記突出
部を基準に簡単に行うことが可能となる。図７の例で
は，前記板部材６に，その平面部６１より突出した突出
部６２が設けられており，この突出部６２が下方に配置
されるよう，前記撮像部３などの位置も設定される。こ
のように前記突出部６２を設けておけば，前記検査対象
物１の縁部の位置合わせを行うことが簡単になり，複雑
な位置制御なしに，検査速度及び精度の向上を図ること
が可能になる。また，各構成を斜め方向に設けること
で，比較的大きい前記撮像部７の配置用空間を確保する
ことも容易となる。また，前記実施の形態では，前記板
部材６に有色の光透過性を有しない板部材を用いたが，
ガラス板などの光透過性の板部材を用いることも可能で
ある。但し，前記検査対象物１にボンディングパッド等
による穴が存在すると，前記板部材６側からの透過光も
前記ＣＣＤカメラ４に入光することになり，画像処理に
悪影響を及ぼす恐れもあるため，光透過性の板部材を用
いるのは，前記ＣＣＤカメラ４への反射光を確保するた
めの前記光透過性板部材５のみにした方が好ましい。
【００２２】
【発明の効果】以上説明した通り，前記請求項１又は２
に記載の発明では，検査対象物が互いに平行に配置され
た板部材（光透過性板部材と板部材と）の間に挟まれた
状態で支持されるため，前記検査対象物が例えば極めて
厚みの薄いプリント基板である場合にも，容易に前記検
査対象物の平坦度を確保して，精緻な欠陥検査を行うこ
とが可能な欠陥検査方法を提供することができる。ま
た，前記請求項３〜５のいずれか１項に記載の発明で
は，検査対象物が光透過性板部材と板部材との間に挟ま
れた状態で支持されるため，前記検査対象物が例えば極
めて厚みの薄いプリント基板である場合にも，容易に前
記検査対象物の平坦度を確保して，精緻な欠陥検査を行
うことが可能な欠陥検査装置を提供することができる。
さらに，前記請求項４に記載の欠陥検査装置では，予め
前記光透過性板部材と前記撮像手段との位置関係が固定
され，前記検査対象物を支持する際に，前記光透過性板
部材に対して前記板部材を移動させることにより，前記
検査対象物が前記光透過性部材と前記板部材との間に支
持されるため，前記検査対象物と前記撮像手段との位置
合わせを容易且つ確実に行うことが可能となる。さら
に，前記請求項５に記載の欠陥検査装置では，前記光透
過性板部材及び前記板部材のいずれか一方又は両方に平
面部から突出して設けられた突出部にて前記検査対象物
の縁部を支持することにより，前記検査対象物の面方向
の位置合わせを容易に行うことが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の実施の形態に係る欠陥検査装置の基
本的構成を示す図。
【図２】 本発明の実施の形態に係る欠陥検査装置にお
ける，検査対象物の移送経路を説明するための図。
【図３】 本発明の実施の形態に係る欠陥検査装置の動
作を説明するための図。
【図４】 本発明の実施の形態に係る欠陥検査装置の動
作を説明するための他の図。
【図５】 本発明の一実施例に係る欠陥検査装置の基本
的構成を示す図。
【図６】 本発明の一実施例に係る欠陥検査装置の検査
ステージ部の構成を説明するための図。
【図７】 本発明の他の実施例に係る欠陥検査装置の要
部構成を示す図。
【図８】 従来の欠陥検査装置の概略構成例を示す図。
【符号の説明】
１…検査対象物 ３…リング照明 ４…ＣＣＤカメラ ５…光透過性板部材 ６…板部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G014 AA25 AB51 AB59 AC09 2G051 AA65 AB07 AB08 BB02 CA04 CB01 DA01 4M106 AA11 AA20 AD27 BA04 CA40 DB04 DB19 DJ02 DJ05

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 支持された板状の検査対象物からの反射
    光を撮像手段を用いて撮像して前記検査対象物の撮像画
    像を取得し，取得した前記撮像画像に基づいて前記検査
    対象物の欠陥を検査する欠陥検査方法において，前記検
    査対象物を支持する際に，互いに平行に配置された板部
    材の間に前記検査対象物を挟んだ状態で支持してなるこ
    とを特徴とする欠陥検査方法。
  2. 【請求項２】 支持された板状の検査対象物を照明し，
    前記検査対象物からの反射光を撮像手段により撮像して
    前記検査対象物の撮像画像を取得し，取得した前記撮像
    画像に基づいて前記検査対象物の欠陥を検査する欠陥検
    査方法において，前記検査対象物の照明側に配置された
    光透過性を有する光透過性板部材と，前記検査対象物に
    対し前記光透過性板部材とは逆側に前記光透過性部材と
    平行に配置された板部材とにより，前記検査対象物を挟
    んだ状態で支持してなることを特徴とする欠陥検査方
    法。
  3. 【請求項３】 板状の検査対象物を支持する支持手段
    と，前記支持手段に支持された前記検査対象物を照明す
    る照明手段と，前記照明手段により照明された前記検査
    対象物からの反射光を撮像し前記検査対象物の撮像画像
    を得る撮像手段とを備え，前記撮像手段により得られた
    前記撮像画像に基づいて前記検査対象物の欠陥を検査す
    る欠陥検査装置において，前記支持手段が，前記検査対
    象物の前記撮像手段側に配置された光透過性を有する光
    透過性板部材と，前記検査対象物に対し前記光透過性板
    部材とは逆側に前記光透過性板部材と平行に配置された
    板部材とを備え，前記光透過性板部材及び前記板部材に
    より前記検査対象物を挟んだ状態で支持してなることを
    特徴とする欠陥検査装置。
  4. 【請求項４】 予め前記光透過性板部材と前記撮像手段
    との位置関係を固定しておき，前記検査対象物を支持す
    る際に，前記光透過性板部材に対して前記板部材を移動
    させることにより，前記検査対象物を前記光透過性部材
    と前記板部材との間に支持してなる請求項３に記載の欠
    陥検査装置。
  5. 【請求項５】 前記光透過性板部材及び前記板部材のい
    ずれか一方又は両方に平面部から突出して設けられた突
    出部にて前記検査対象物の縁部を支持することにより，
    前記検査対象物の面方向の位置合わせを行う請求項３又
    は４に記載の欠陥検査装置。
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