JP2001228091A - 欠陥検査方法及びその装置 - Google Patents
欠陥検査方法及びその装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 例えばプリント基板などの検査対象物の撮像
画像に基づいて欠陥を検査する場合に,前記検査対象物
の両端のみを支持したり,前記検査対象物を単に平坦な
テーブルに載置するだけでは,前記検査対象物に湾曲等
が生じて,前記撮像画像の質が劣化し,精緻な欠陥検査
を行うことが難しかった。 【解決手段】 本発明は,互いに平行に配置された板部
材の間に前記検査対象物を挟んだ状態で支持することに
より,前記検査対象物の平坦度を簡単に確保し,精緻な
欠陥検査を行うことを図ったものである。
画像に基づいて欠陥を検査する場合に,前記検査対象物
の両端のみを支持したり,前記検査対象物を単に平坦な
テーブルに載置するだけでは,前記検査対象物に湾曲等
が生じて,前記撮像画像の質が劣化し,精緻な欠陥検査
を行うことが難しかった。 【解決手段】 本発明は,互いに平行に配置された板部
材の間に前記検査対象物を挟んだ状態で支持することに
より,前記検査対象物の平坦度を簡単に確保し,精緻な
欠陥検査を行うことを図ったものである。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は,欠陥検査装置及び
その装置に係り,例えばプリント基板などに形成される
配線パターンやボンディングパッド等について,欠陥の
検査を行うための欠陥検査方法,及びその装置に関する
ものである。
その装置に係り,例えばプリント基板などに形成される
配線パターンやボンディングパッド等について,欠陥の
検査を行うための欠陥検査方法,及びその装置に関する
ものである。
【0002】
【従来の技術】例えばプリント基板上に形成される,配
線パターンや金めっきを施したボンディングパッド等に
は,傷,異物,打痕,汚れなどによる欠陥が生じること
がある。近年,前記プリント基板などを利用した電気電
子回路について,より一層の複雑化が要求される一方,
軽量化,コンパクト化に対する要求は益々強くなるばか
りであり,製品の品質や歩留りを向上させるには,これ
らの欠陥について精緻な検査を行うことが欠かせない。
前記欠陥のある箇所では,本来の配線パターンやボンデ
ィングパッドなどと形状や反射光強度などに相違がある
ので,CCDカメラ等の撮像手段により前記プリント基
板などの撮像画像を取得し,その撮像画像に形状や反射
光強度などに基づいた画像処理を施したり,基準画像と
比較するなどして,自動的に前記欠陥の検査を行うこと
が可能である。前記欠陥を検査する際に重要となること
の一つが,検査時のプリント基板などの平坦度である。
前記撮像手段の光学系は,通常撮像対象が平坦であるこ
とを想定して設定されるが,撮像対象となる前記プリン
ト基板などは実際には必ずしも平坦になっていない。ま
た,精緻な検査を行うために,被写体深度がなるべく小
さく設定される。このため,前記撮像対象が平坦でない
と,鮮明な画像が得られなかったり正確な形状を得られ
なかったりして,検査精度が低下してしまう。前記プリ
ント基板などを単に平坦な場所に載置するだけでは,前
記撮像対象の撓みなどが解消されないので,従来,例え
ば図8に示す如く,前記撮像対象81の両端に対応した
位置に設けられた押え板82と昇降部材83との間に前
記撮像対象81を挟み込んで,前記撮像対象81の平坦
度を確保していた。
線パターンや金めっきを施したボンディングパッド等に
は,傷,異物,打痕,汚れなどによる欠陥が生じること
がある。近年,前記プリント基板などを利用した電気電
子回路について,より一層の複雑化が要求される一方,
軽量化,コンパクト化に対する要求は益々強くなるばか
りであり,製品の品質や歩留りを向上させるには,これ
らの欠陥について精緻な検査を行うことが欠かせない。
前記欠陥のある箇所では,本来の配線パターンやボンデ
ィングパッドなどと形状や反射光強度などに相違がある
ので,CCDカメラ等の撮像手段により前記プリント基
板などの撮像画像を取得し,その撮像画像に形状や反射
光強度などに基づいた画像処理を施したり,基準画像と
比較するなどして,自動的に前記欠陥の検査を行うこと
が可能である。前記欠陥を検査する際に重要となること
の一つが,検査時のプリント基板などの平坦度である。
前記撮像手段の光学系は,通常撮像対象が平坦であるこ
とを想定して設定されるが,撮像対象となる前記プリン
ト基板などは実際には必ずしも平坦になっていない。ま
た,精緻な検査を行うために,被写体深度がなるべく小
さく設定される。このため,前記撮像対象が平坦でない
と,鮮明な画像が得られなかったり正確な形状を得られ
なかったりして,検査精度が低下してしまう。前記プリ
ント基板などを単に平坦な場所に載置するだけでは,前
記撮像対象の撓みなどが解消されないので,従来,例え
ば図8に示す如く,前記撮像対象81の両端に対応した
位置に設けられた押え板82と昇降部材83との間に前
記撮像対象81を挟み込んで,前記撮像対象81の平坦
度を確保していた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】これまで,多くの基板
にある程度の厚みが持たされており,基板自体がリジッ
ドな性質を有していたから,前記撮像対象81の両端を
挟み込むだけで十分に平坦度が確保できていた。しかし
ながら,前記プリント基板などにおいても,0.06m
m〜0.6mm程度の極めて薄いものが広く製造,使用
されるようになってきた。特に,いわゆるBGAやCS
P用インターポーザ基板の薄膜化は顕著である。このよ
うに極めて薄い基板では,上述の通りその両端部を挟み
込むように支持しても,基板の自重によって基板が撓ん
でしまい,精度の良い検査を行うことができない。ま
た,単に平坦な場所に載置するだけでは,一部に湾曲等
を生じてしまうことが多く,それを解消するために検査
に余計な手間が生じる。テープBGAやTABなどのリ
ール型のプリント基板のように,その側方部にパーフォ
レーション部(送り機構に噛み合わせるための複数の連
なった孔)が形成されていれば,前記パーフォレーショ
ン部に張力をかけることによって,不均一な湾曲が発生
するのをある程度防止することができるが,前記パーフ
ォレーション部を形成していない薄膜基板も多い。この
ため,上述のように厚みが極めて薄いプリント基板は,
欠陥検査時の取り扱いが難しく,欠陥の検査精度を低下
させる要因になっていた。本発明は,このような従来の
技術における課題を解決するために,欠陥検査方法及び
その装置を改良し,検査対象物の照明側に配置された光
透過性を有する光透過性板部材と,前記検査対象物に対
し前記光透過性板部材とは逆側に前記光透過性部材と平
行に配置された板部材とにより,前記検査対象物を挟ん
だ状態で支持することにより,前記検査対象物が例えば
極めて厚みの薄いプリント基板の場合でも精緻な欠陥検
査を行うことが可能な欠陥検査方法及びその装置を提供
することを目的とするものである。
にある程度の厚みが持たされており,基板自体がリジッ
ドな性質を有していたから,前記撮像対象81の両端を
挟み込むだけで十分に平坦度が確保できていた。しかし
ながら,前記プリント基板などにおいても,0.06m
m〜0.6mm程度の極めて薄いものが広く製造,使用
されるようになってきた。特に,いわゆるBGAやCS
P用インターポーザ基板の薄膜化は顕著である。このよ
うに極めて薄い基板では,上述の通りその両端部を挟み
込むように支持しても,基板の自重によって基板が撓ん
でしまい,精度の良い検査を行うことができない。ま
た,単に平坦な場所に載置するだけでは,一部に湾曲等
を生じてしまうことが多く,それを解消するために検査
に余計な手間が生じる。テープBGAやTABなどのリ
ール型のプリント基板のように,その側方部にパーフォ
レーション部(送り機構に噛み合わせるための複数の連
なった孔)が形成されていれば,前記パーフォレーショ
ン部に張力をかけることによって,不均一な湾曲が発生
するのをある程度防止することができるが,前記パーフ
ォレーション部を形成していない薄膜基板も多い。この
ため,上述のように厚みが極めて薄いプリント基板は,
欠陥検査時の取り扱いが難しく,欠陥の検査精度を低下
させる要因になっていた。本発明は,このような従来の
技術における課題を解決するために,欠陥検査方法及び
その装置を改良し,検査対象物の照明側に配置された光
透過性を有する光透過性板部材と,前記検査対象物に対
し前記光透過性板部材とは逆側に前記光透過性部材と平
行に配置された板部材とにより,前記検査対象物を挟ん
だ状態で支持することにより,前記検査対象物が例えば
極めて厚みの薄いプリント基板の場合でも精緻な欠陥検
査を行うことが可能な欠陥検査方法及びその装置を提供
することを目的とするものである。
【0004】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に,請求項1に係る発明は,支持された板状の検査対象
物からの反射光を撮像手段を用いて撮像して前記検査対
象物の撮像画像を取得し,取得した前記撮像画像に基づ
いて前記検査対象物の欠陥を検査する欠陥検査方法にお
いて,前記検査対象物を支持する際に,互いに平行に配
置された板部材の間に前記検査対象物を挟んだ状態で支
持してなることを特徴とする欠陥検査方法として構成さ
れている。
に,請求項1に係る発明は,支持された板状の検査対象
物からの反射光を撮像手段を用いて撮像して前記検査対
象物の撮像画像を取得し,取得した前記撮像画像に基づ
いて前記検査対象物の欠陥を検査する欠陥検査方法にお
いて,前記検査対象物を支持する際に,互いに平行に配
置された板部材の間に前記検査対象物を挟んだ状態で支
持してなることを特徴とする欠陥検査方法として構成さ
れている。
【0005】また,請求項2に係る発明は,支持された
板状の検査対象物を照明し,前記検査対象物からの反射
光を撮像手段により撮像して前記検査対象物の撮像画像
を取得し,取得した前記撮像画像に基づいて前記検査対
象物の欠陥を検査する欠陥検査方法において,前記検査
対象物の照明側に配置された光透過性を有する光透過性
板部材と,前記検査対象物に対し前記光透過性板部材と
は逆側に前記光透過性部材と平行に配置された板部材と
により,前記検査対象物を挟んだ状態で支持してなるこ
とを特徴とする欠陥検査方法である。
板状の検査対象物を照明し,前記検査対象物からの反射
光を撮像手段により撮像して前記検査対象物の撮像画像
を取得し,取得した前記撮像画像に基づいて前記検査対
象物の欠陥を検査する欠陥検査方法において,前記検査
対象物の照明側に配置された光透過性を有する光透過性
板部材と,前記検査対象物に対し前記光透過性板部材と
は逆側に前記光透過性部材と平行に配置された板部材と
により,前記検査対象物を挟んだ状態で支持してなるこ
とを特徴とする欠陥検査方法である。
【0006】前記請求項1又は2に記載の発明では,検
査対象物が互いに平行に配置された板部材(光透過性板
部材と板部材と)の間に挟まれた状態で支持されるた
め,前記検査対象物が例えば極めて厚みの薄いプリント
基板である場合にも,容易に前記検査対象物の平坦度を
確保して,精緻な欠陥検査を行うことが可能な欠陥検査
方法を提供することができる。
査対象物が互いに平行に配置された板部材(光透過性板
部材と板部材と)の間に挟まれた状態で支持されるた
め,前記検査対象物が例えば極めて厚みの薄いプリント
基板である場合にも,容易に前記検査対象物の平坦度を
確保して,精緻な欠陥検査を行うことが可能な欠陥検査
方法を提供することができる。
【0007】また,請求項3に係る発明は,板状の検査
対象物を支持する支持手段と,前記支持手段に支持され
た前記検査対象物を照明する照明手段と,前記照明手段
により照明された前記検査対象物からの反射光を撮像し
前記検査対象物の撮像画像を得る撮像手段とを備え,前
記撮像手段により得られた前記撮像画像に基づいて前記
検査対象物の欠陥を検査する欠陥検査装置において,前
記支持手段が,前記検査対象物の前記撮像手段側に配置
された光透過性を有する光透過性板部材と,前記検査対
象物に対し前記光透過性板部材とは逆側に前記光透過性
板部材と平行に配置された板部材とを備え,前記光透過
性板部材及び前記板部材により前記検査対象物を挟んだ
状態で支持してなることを特徴とする欠陥検査装置であ
る。
対象物を支持する支持手段と,前記支持手段に支持され
た前記検査対象物を照明する照明手段と,前記照明手段
により照明された前記検査対象物からの反射光を撮像し
前記検査対象物の撮像画像を得る撮像手段とを備え,前
記撮像手段により得られた前記撮像画像に基づいて前記
検査対象物の欠陥を検査する欠陥検査装置において,前
記支持手段が,前記検査対象物の前記撮像手段側に配置
された光透過性を有する光透過性板部材と,前記検査対
象物に対し前記光透過性板部材とは逆側に前記光透過性
板部材と平行に配置された板部材とを備え,前記光透過
性板部材及び前記板部材により前記検査対象物を挟んだ
状態で支持してなることを特徴とする欠陥検査装置であ
る。
【0008】また,請求項4に係る発明は,前記請求項
3に記載の欠陥検査装置において,予め前記光透過性板
部材と前記撮像手段との位置関係を固定しておき,前記
検査対象物を支持する際に,前記光透過性板部材に対し
て前記板部材を移動させることにより,前記検査対象物
を前記光透過性部材と前記板部材との間に支持してなる
ことをその要旨とする。
3に記載の欠陥検査装置において,予め前記光透過性板
部材と前記撮像手段との位置関係を固定しておき,前記
検査対象物を支持する際に,前記光透過性板部材に対し
て前記板部材を移動させることにより,前記検査対象物
を前記光透過性部材と前記板部材との間に支持してなる
ことをその要旨とする。
【0009】また,請求項5に係る発明は,前記請求項
3又は4に記載の欠陥検査装置において,前記光透過性
板部材及び前記板部材のいずれか一方又は両方に平面部
から突出して設けられた突出部にて前記検査対象物の縁
部を支持することにより,前記検査対象物の面方向の位
置合わせを行うことをその要旨とする。
3又は4に記載の欠陥検査装置において,前記光透過性
板部材及び前記板部材のいずれか一方又は両方に平面部
から突出して設けられた突出部にて前記検査対象物の縁
部を支持することにより,前記検査対象物の面方向の位
置合わせを行うことをその要旨とする。
【0010】前記請求項3〜5のいずれか1項に記載の
発明では,検査対象物が光透過性板部材と板部材との間
に挟まれた状態で支持されるため,前記検査対象物が例
えば極めて厚みの薄いプリント基板である場合にも,容
易に前記検査対象物の平坦度を確保して,精緻な欠陥検
査を行うことが可能な欠陥検査装置を提供することがで
きる。
発明では,検査対象物が光透過性板部材と板部材との間
に挟まれた状態で支持されるため,前記検査対象物が例
えば極めて厚みの薄いプリント基板である場合にも,容
易に前記検査対象物の平坦度を確保して,精緻な欠陥検
査を行うことが可能な欠陥検査装置を提供することがで
きる。
【0011】さらに,前記請求項4に記載の欠陥検査装
置では,予め前記光透過性板部材と前記撮像手段との位
置関係が固定され,前記検査対象物を支持する際に,前
記光透過性板部材に対して前記板部材を移動させること
により,前記検査対象物が前記光透過性部材と前記板部
材との間に支持されるため,前記検査対象物と前記撮像
手段との位置合わせを容易且つ確実に行うことが可能と
なる。
置では,予め前記光透過性板部材と前記撮像手段との位
置関係が固定され,前記検査対象物を支持する際に,前
記光透過性板部材に対して前記板部材を移動させること
により,前記検査対象物が前記光透過性部材と前記板部
材との間に支持されるため,前記検査対象物と前記撮像
手段との位置合わせを容易且つ確実に行うことが可能と
なる。
【0012】さらに,前記請求項5に記載の欠陥検査装
置では,前記光透過性板部材及び前記板部材のいずれか
一方又は両方に平面部から突出して設けられた突出部に
て前記検査対象物の縁部を支持することにより,前記検
査対象物の面方向の位置合わせを容易に行うことが可能
である。
置では,前記光透過性板部材及び前記板部材のいずれか
一方又は両方に平面部から突出して設けられた突出部に
て前記検査対象物の縁部を支持することにより,前記検
査対象物の面方向の位置合わせを容易に行うことが可能
である。
【0013】
【発明の実施の形態】以下,添付図面を参照して,本発
明の実施の形態につき説明し,本発明の理解に供する。
尚,以下の実施の形態は,本発明の具体的な例であっ
て,本発明の技術的範囲を限定する性格のものではな
い。図1に示すのは,本発明の実施の形態に係る欠陥検
査方法を実施するのに好適な欠陥検査装置の基本的構成
である。図1に示す如く,本発明の実施の形態に係る欠
陥検査装置は,例えばプリント基板などの板状の検査対
象物1を支持する検査ステージ部(支持手段に相当)2
と,前記検査ステージ部2に支持された前記検査対象物
1を照明するリング照明(照明手段の一例)3と,前記
リング照明3により照明された前記検査対象物1からの
反射光を撮像し前記検査対象物1の撮像画像を得るCC
Dカメラ(撮像手段の一例)4とを備え,前記CCDカ
メラ4により得られた前記撮像画像に基づいて前記検査
対象物1の欠陥を検査する点で従来装置と同様である。
一方,本発明の実施の形態に係る欠陥検査装置が,従来
装置と異なるのは,前記検査ステージ部2が,前記検査
対象物1の前記CCDカメラ4側に配置された光透過性
を有する光透過性板部材5と,前記検査対象物1に対し
前記光透過性板部材5とは逆側に前記光透過性板部材5
と平行に配置された板部材6とを備え,前記光透過性板
部材5及び前記板部材6により前記検査対象物1を挟ん
だ状態で支持する点である。
明の実施の形態につき説明し,本発明の理解に供する。
尚,以下の実施の形態は,本発明の具体的な例であっ
て,本発明の技術的範囲を限定する性格のものではな
い。図1に示すのは,本発明の実施の形態に係る欠陥検
査方法を実施するのに好適な欠陥検査装置の基本的構成
である。図1に示す如く,本発明の実施の形態に係る欠
陥検査装置は,例えばプリント基板などの板状の検査対
象物1を支持する検査ステージ部(支持手段に相当)2
と,前記検査ステージ部2に支持された前記検査対象物
1を照明するリング照明(照明手段の一例)3と,前記
リング照明3により照明された前記検査対象物1からの
反射光を撮像し前記検査対象物1の撮像画像を得るCC
Dカメラ(撮像手段の一例)4とを備え,前記CCDカ
メラ4により得られた前記撮像画像に基づいて前記検査
対象物1の欠陥を検査する点で従来装置と同様である。
一方,本発明の実施の形態に係る欠陥検査装置が,従来
装置と異なるのは,前記検査ステージ部2が,前記検査
対象物1の前記CCDカメラ4側に配置された光透過性
を有する光透過性板部材5と,前記検査対象物1に対し
前記光透過性板部材5とは逆側に前記光透過性板部材5
と平行に配置された板部材6とを備え,前記光透過性板
部材5及び前記板部材6により前記検査対象物1を挟ん
だ状態で支持する点である。
【0014】前記欠陥検査装置の基本的構成は,前記検
査ステージ部2と,前記CCDカメラ4,及び前記リン
グ照明3を含む撮像部7とに大別される。前記検査ステ
ージ部2は,リニアアクチュエータ8を備えており,前
記撮像部7に対して水平方向に移動可能である。図1に
示したのは,前記検査ステージ部2が前記撮像部7の下
方の検査位置にある状態である。前記検査ステージ部2
において,前記リニアアクチュエータ8上に設けられる
構成に,例えばプリント基板などの板状の検査対象物1
を支持するための前記光透過性板部材5と前記板部材6
とが含まれる。前記光透過性板部材5は,可視光が透過
する,例えばガラス板である。前記光透過性板部材5
は,前記リニアアクチュエータ8上に固定された支持部
材81に,水平方向と平行となるように取り付けられ
る。また,前記板部材6は,可視光を透過しない,有色
の板部材である。前記板部材6は,前記光透過性板部材
5と互いに平行になるように(この場合水平方向に平行
となるように),前記リニアアクチュエータ8上のエア
シリンダー82に取り付けられる。前記エアシリンダー
82の駆動によって,前記板部材6は,上下方向に移動
が可能である。
査ステージ部2と,前記CCDカメラ4,及び前記リン
グ照明3を含む撮像部7とに大別される。前記検査ステ
ージ部2は,リニアアクチュエータ8を備えており,前
記撮像部7に対して水平方向に移動可能である。図1に
示したのは,前記検査ステージ部2が前記撮像部7の下
方の検査位置にある状態である。前記検査ステージ部2
において,前記リニアアクチュエータ8上に設けられる
構成に,例えばプリント基板などの板状の検査対象物1
を支持するための前記光透過性板部材5と前記板部材6
とが含まれる。前記光透過性板部材5は,可視光が透過
する,例えばガラス板である。前記光透過性板部材5
は,前記リニアアクチュエータ8上に固定された支持部
材81に,水平方向と平行となるように取り付けられ
る。また,前記板部材6は,可視光を透過しない,有色
の板部材である。前記板部材6は,前記光透過性板部材
5と互いに平行になるように(この場合水平方向に平行
となるように),前記リニアアクチュエータ8上のエア
シリンダー82に取り付けられる。前記エアシリンダー
82の駆動によって,前記板部材6は,上下方向に移動
が可能である。
【0015】一方,前記撮像部7において,前記CCD
カメラ4,及び前記リング照明3は,フレーム71に取
り付けられる。前記CCDカメラ4は,図示しない計算
手段に接続されており,前記CCDカメラ4から出力さ
れる撮像画像は,前記計算手段に出力される。また,前
記リング照明3は,円環状の照明であり,前記検査位置
にある前記検査対象物1の表面に均一に光を照射する。
前記CCDカメラ4,及び前記リング照明3の高さ位置
は調整が可能であり,例えば前記欠陥検査装置の初動運
転時などに最適化が行われる。前記CCDカメラ4,及
び前記リング照明3の高さ位置を調整する際には,とり
わけ前記CCDカメラ4と前記検査対象物1との高さ位
置の関係が重要である。前記CCDカメラ4と前記検査
対象物1との高さ位置の関係は,前記CCDカメラ4に
より撮像される前記検査対象物1の撮像画像に大きく影
響を及ぼすので,前記最適化後は,前記CCDカメラ4
と前記検査対象物1との高さ位置の関係ができるだけ変
動しないようにする必要がある。前記光透過性板部材5
が,前記支持部材81に固定された状態で取り付けられ
るのは,このためである。前記光透過性板部材5が固定
されていれば,最適化後の前記CCDカメラ4と前記光
透過性板部材5との高さ位置は変化しない。従って,常
に前記光透過性板部材5を基準に前記検査対象物1の高
さ位置を定めれば,前記CCDカメラ4と前記検査対象
物1との高さ位置の最適な関係を保つことができる。
カメラ4,及び前記リング照明3は,フレーム71に取
り付けられる。前記CCDカメラ4は,図示しない計算
手段に接続されており,前記CCDカメラ4から出力さ
れる撮像画像は,前記計算手段に出力される。また,前
記リング照明3は,円環状の照明であり,前記検査位置
にある前記検査対象物1の表面に均一に光を照射する。
前記CCDカメラ4,及び前記リング照明3の高さ位置
は調整が可能であり,例えば前記欠陥検査装置の初動運
転時などに最適化が行われる。前記CCDカメラ4,及
び前記リング照明3の高さ位置を調整する際には,とり
わけ前記CCDカメラ4と前記検査対象物1との高さ位
置の関係が重要である。前記CCDカメラ4と前記検査
対象物1との高さ位置の関係は,前記CCDカメラ4に
より撮像される前記検査対象物1の撮像画像に大きく影
響を及ぼすので,前記最適化後は,前記CCDカメラ4
と前記検査対象物1との高さ位置の関係ができるだけ変
動しないようにする必要がある。前記光透過性板部材5
が,前記支持部材81に固定された状態で取り付けられ
るのは,このためである。前記光透過性板部材5が固定
されていれば,最適化後の前記CCDカメラ4と前記光
透過性板部材5との高さ位置は変化しない。従って,常
に前記光透過性板部材5を基準に前記検査対象物1の高
さ位置を定めれば,前記CCDカメラ4と前記検査対象
物1との高さ位置の最適な関係を保つことができる。
【0016】上述のような基本的構成に,前記検査対象
物1の搬入装置などを加えた前記欠陥検査装置の全体構
成を,図2に示す。尚,図2に示す各構成の配置関係
は,前記CCDカメラ4のある上方から各構成を見たと
きの配置関係に対応する。図2において,矢印Y1は,
前記検査対象物1の移送経路を示す。前記検査対象物1
は,前記矢印Y1に沿うように,搬入部91からロード
部92を介し,前記撮像部7が配置される検査部93に
移送される。前記検査部93にて検査が行われた前記検
査対象物1は,前記検査部93から,アンロード部94
を介し,搬出部95へ搬出される。ここで,前記搬入部
91は,複数枚の前記検査対象物1が格納される前記検
査対象物1の移送の起点であり,前記ロード部92は,
前記搬入部91にあった前記検査対象物1が前記検査ス
テージ部2に移送される場所であり,前記検査部93
は,前記撮像部3がある場所であり,前記アンロード部
94は,前記検査ステージ部2から前記検査対象物1が
退出させられる場所であり,前記搬出部95は,前記ア
ンロード部94から退出させられた前記検査対象物1が
一時的に格納される移送の終点である。前記搬入部91
には棚部材911が設けられており,図2(b)に示す
如く,複数枚の前記検査対象物1が,前記棚部材911
に積層された状態で格納される。前記棚部材911にお
いて,各検査対象物1が裁置される各棚は同期して上下
方向に移動可能である。前記棚部材911の近傍には前
記検査対象物1を把持し前記搬入部91と前記ロード部
92との間で往復動可能な搬入用チャック装置912が
設けられている。前記搬入用チャック装置912に前記
棚部材911にある前記検査対象物1を把持させ,前記
ロード部92まで移動させることにより,前記検査対象
物1が前記搬入部91から前記ロード部92に移送され
る。また,前記搬出部95の近傍にも,前記搬入用チャ
ック装置912と類似した搬出用チャック装置951が
設けられている。この搬出用チャック装置951は,前
記アンロード部94と前記搬出部95との間で往復動可
能であり,且つ上下方向に移動可能である。前記搬出用
チャック装置951に前記アンロード部94にある前記
検査対象物1を把持させた後,前記搬出用チャック装置
951を前記搬出部95まで移動させることにより,前
記検査対象物1が前記アンロード部94から前記搬出部
95に移送される。前記ロード部92から前記ロード部
94までの前記検査対象物1の移送は,前記検査ステー
ジ部2のリニアアクチュエータ8を用いて行われる。複
数枚の前記検査対象物1は,前記搬入部91から一枚ず
つ順次前記ロード部92に供給されるが,これら複数枚
の前記検査対象物1について移送と検査を円滑に行うた
めに,前記検査ステージ部2の前記光透過性板部材5と
前記板部材6は,その移送方向に前記検査対象物1の少
なくとも2倍の長さを有し,2枚の前記検査対象物1を
同時に支持することが可能である。これは,例えば図2
(a)に示す如く,前記検査対象物1の移送と,それよ
り前に移送された前記検査対象物1に対する検査とを同
時に行うことを可能とするためである。
物1の搬入装置などを加えた前記欠陥検査装置の全体構
成を,図2に示す。尚,図2に示す各構成の配置関係
は,前記CCDカメラ4のある上方から各構成を見たと
きの配置関係に対応する。図2において,矢印Y1は,
前記検査対象物1の移送経路を示す。前記検査対象物1
は,前記矢印Y1に沿うように,搬入部91からロード
部92を介し,前記撮像部7が配置される検査部93に
移送される。前記検査部93にて検査が行われた前記検
査対象物1は,前記検査部93から,アンロード部94
を介し,搬出部95へ搬出される。ここで,前記搬入部
91は,複数枚の前記検査対象物1が格納される前記検
査対象物1の移送の起点であり,前記ロード部92は,
前記搬入部91にあった前記検査対象物1が前記検査ス
テージ部2に移送される場所であり,前記検査部93
は,前記撮像部3がある場所であり,前記アンロード部
94は,前記検査ステージ部2から前記検査対象物1が
退出させられる場所であり,前記搬出部95は,前記ア
ンロード部94から退出させられた前記検査対象物1が
一時的に格納される移送の終点である。前記搬入部91
には棚部材911が設けられており,図2(b)に示す
如く,複数枚の前記検査対象物1が,前記棚部材911
に積層された状態で格納される。前記棚部材911にお
いて,各検査対象物1が裁置される各棚は同期して上下
方向に移動可能である。前記棚部材911の近傍には前
記検査対象物1を把持し前記搬入部91と前記ロード部
92との間で往復動可能な搬入用チャック装置912が
設けられている。前記搬入用チャック装置912に前記
棚部材911にある前記検査対象物1を把持させ,前記
ロード部92まで移動させることにより,前記検査対象
物1が前記搬入部91から前記ロード部92に移送され
る。また,前記搬出部95の近傍にも,前記搬入用チャ
ック装置912と類似した搬出用チャック装置951が
設けられている。この搬出用チャック装置951は,前
記アンロード部94と前記搬出部95との間で往復動可
能であり,且つ上下方向に移動可能である。前記搬出用
チャック装置951に前記アンロード部94にある前記
検査対象物1を把持させた後,前記搬出用チャック装置
951を前記搬出部95まで移動させることにより,前
記検査対象物1が前記アンロード部94から前記搬出部
95に移送される。前記ロード部92から前記ロード部
94までの前記検査対象物1の移送は,前記検査ステー
ジ部2のリニアアクチュエータ8を用いて行われる。複
数枚の前記検査対象物1は,前記搬入部91から一枚ず
つ順次前記ロード部92に供給されるが,これら複数枚
の前記検査対象物1について移送と検査を円滑に行うた
めに,前記検査ステージ部2の前記光透過性板部材5と
前記板部材6は,その移送方向に前記検査対象物1の少
なくとも2倍の長さを有し,2枚の前記検査対象物1を
同時に支持することが可能である。これは,例えば図2
(a)に示す如く,前記検査対象物1の移送と,それよ
り前に移送された前記検査対象物1に対する検査とを同
時に行うことを可能とするためである。
【0017】以下,図3(a)乃至図3(d),及び図
4(a)乃至図4(d)を順次参照しながら,前記欠陥
検査装置の動作説明(本発明の実施の形態に係る欠陥検
査方法の詳細説明も兼ねる)を行う。尚,以下では前記
光透過性板部材5及び板部材6の全表面部分のうち,2
枚の前記検査対象物1を同時に載置するためのそれぞれ
の面部分に5a,6a,5b,6bの符号を付す。ま
た,図2(a),(b)における前記搬入用チャック装
置912と,図3(a)乃至図3(d),および図4
(a)乃至図4(d)におけるそれらとは,図示した形
状に相違があるが,少なくとも前記検査対象物1を前記
棚部材911から前記ロード部92まで移送する両者間
で往復動可能である点において,動作上の機能は同一の
ものである。さらに,各図における前記搬出用チャック
装置951についても,前記検査対象物1を移送するた
め前記アンロード部94と前記搬出部95との間で往復
動可能であり,且つ前記方向に移動可能である点におい
て,動作上の機能は同一のものである。図3(a)は前
記搬入部91から前記搬入用チャック装置912によっ
て前記ロード部92にある前記検査ステージ部2に前記
検査対象物1が移送された状態を示すものである。前記
搬入部91から前記ロード部92に前記検査対象物1を
移送する際には,まず前記棚部材911の各棚,及び前
記搬入用チャック装置912が上下させられ,予め設定
された前記検査対象物1の移送時の高さ位置に,前記棚
部材911の次に検査対象となる前記検査対象物1の棚
の高さと前記搬入用チャック装置912の高さが調整さ
れる。一方,前記検査ステージ部2では,前記エアシリ
ンダー82により前記板部材6が下降させられ,高さ位
置が固定された前記光透過性板部材5と前記板部材6と
の間に空間が形成される。この後,前記検査ステージ部
2は前記リニアアクチュエータ8により駆動され前記ロ
ード部92の所定位置まで移動する。前記ロード部92
に前記検査ステージ部2が移動すると,前記搬入用チャ
ック装置912により当該検査対象物1が把持され,前
記搬入部91から前記ロード部92へ移送される。前記
搬入用チャック装置912により当該検査対象物1が前
記検査ステージ部2の所定水平位置まで移動すると,前
記搬入用チャック装置912は当該検査対象物1を開放
し,当該検査対象物1は前記板部材6の面部分6a上に
載置される。当該検査対象物1を開放した後,前記搬入
用チャック装置912は,前記搬入部91に戻る。前記
搬入用チャック装置912が前記搬入部91に戻ると,
前記光透過性板部材5と前記板部材6との間の距離が前
記検査対象物1の厚み程度となるまで,前記エアシリン
ダー82の駆動により前記板部材6が上昇させられる。
この際,前記板部材6上の当該検査対象物1が湾曲して
いる場合があるが,前記板部材6の上昇に伴い,当該検
査対象物1は前記板部材6の上方にある前記光透過性板
部材5に当接し,前記光透過性板部材5によりその湾曲
部分が押圧される。当該検査対象物1にある湾曲等は徐
々に平坦化され,前記光透過性板部材5と前記板部材6
との間の距離が前記検査対象物1の厚み程度となったと
き,すなわち前記検査対象物1が前記光透過性板部材5
と前記板部材6との間に挟まれた状態で支持されたと
き,当該検査対象物1はほぼ平坦化された状態となる。
尚,前記光透過性板部材5と前記板部材6との間に前記
検査対象物1が挟まれた状態で支持されたときの,前記
検査対象物1の高さ位置は,上述の通り,前記光透過性
板部材5を基準に前記撮像手段7に対して最適化されて
いる。
4(a)乃至図4(d)を順次参照しながら,前記欠陥
検査装置の動作説明(本発明の実施の形態に係る欠陥検
査方法の詳細説明も兼ねる)を行う。尚,以下では前記
光透過性板部材5及び板部材6の全表面部分のうち,2
枚の前記検査対象物1を同時に載置するためのそれぞれ
の面部分に5a,6a,5b,6bの符号を付す。ま
た,図2(a),(b)における前記搬入用チャック装
置912と,図3(a)乃至図3(d),および図4
(a)乃至図4(d)におけるそれらとは,図示した形
状に相違があるが,少なくとも前記検査対象物1を前記
棚部材911から前記ロード部92まで移送する両者間
で往復動可能である点において,動作上の機能は同一の
ものである。さらに,各図における前記搬出用チャック
装置951についても,前記検査対象物1を移送するた
め前記アンロード部94と前記搬出部95との間で往復
動可能であり,且つ前記方向に移動可能である点におい
て,動作上の機能は同一のものである。図3(a)は前
記搬入部91から前記搬入用チャック装置912によっ
て前記ロード部92にある前記検査ステージ部2に前記
検査対象物1が移送された状態を示すものである。前記
搬入部91から前記ロード部92に前記検査対象物1を
移送する際には,まず前記棚部材911の各棚,及び前
記搬入用チャック装置912が上下させられ,予め設定
された前記検査対象物1の移送時の高さ位置に,前記棚
部材911の次に検査対象となる前記検査対象物1の棚
の高さと前記搬入用チャック装置912の高さが調整さ
れる。一方,前記検査ステージ部2では,前記エアシリ
ンダー82により前記板部材6が下降させられ,高さ位
置が固定された前記光透過性板部材5と前記板部材6と
の間に空間が形成される。この後,前記検査ステージ部
2は前記リニアアクチュエータ8により駆動され前記ロ
ード部92の所定位置まで移動する。前記ロード部92
に前記検査ステージ部2が移動すると,前記搬入用チャ
ック装置912により当該検査対象物1が把持され,前
記搬入部91から前記ロード部92へ移送される。前記
搬入用チャック装置912により当該検査対象物1が前
記検査ステージ部2の所定水平位置まで移動すると,前
記搬入用チャック装置912は当該検査対象物1を開放
し,当該検査対象物1は前記板部材6の面部分6a上に
載置される。当該検査対象物1を開放した後,前記搬入
用チャック装置912は,前記搬入部91に戻る。前記
搬入用チャック装置912が前記搬入部91に戻ると,
前記光透過性板部材5と前記板部材6との間の距離が前
記検査対象物1の厚み程度となるまで,前記エアシリン
ダー82の駆動により前記板部材6が上昇させられる。
この際,前記板部材6上の当該検査対象物1が湾曲して
いる場合があるが,前記板部材6の上昇に伴い,当該検
査対象物1は前記板部材6の上方にある前記光透過性板
部材5に当接し,前記光透過性板部材5によりその湾曲
部分が押圧される。当該検査対象物1にある湾曲等は徐
々に平坦化され,前記光透過性板部材5と前記板部材6
との間の距離が前記検査対象物1の厚み程度となったと
き,すなわち前記検査対象物1が前記光透過性板部材5
と前記板部材6との間に挟まれた状態で支持されたと
き,当該検査対象物1はほぼ平坦化された状態となる。
尚,前記光透過性板部材5と前記板部材6との間に前記
検査対象物1が挟まれた状態で支持されたときの,前記
検査対象物1の高さ位置は,上述の通り,前記光透過性
板部材5を基準に前記撮像手段7に対して最適化されて
いる。
【0018】上述のように前記ロード部92において,
前記検査ステージ部2の前記光透過性板部材5と前記板
部材6との間に前記検査対象物1が挟まれた状態で支持
されると,次に図3(b)に示す如く,前記検査対象物
1が載置された前記光透過性板部材5の面部分5a,前
記板部材6の面部分6aが,前記リニアアクチュエータ
8により前記検査部93に移動させられ,前記検査対象
物1が前記CCDカメラ4,及び前記リング照明3の下
方に配置される。前記検査対象物1が前記撮像部7の下
方に配置されると,前記リング照明3により前記検査対
象物1が照明され,前記CCDカメラ4により前記検査
対象物1からの反射光が撮像され,前記検査対象物1の
撮像画像が取得される。前記CCDカメラ4により取得
された前記撮像画像について,前記計算手段により所定
の画像処理が施され,欠陥の検査が行われる。前記検査
部93における欠陥の検査が終了すると,前記エアシリ
ンダー82により前記板部材6が下降させられる。前記
板部材6が下降させられると,図示しない支持手段によ
り前記板部材6上の前記検査対象物1が持ち上げられ,
前記光透過性板部材5と前記板部材6から離される。こ
の状態で,前記リニアアクチュエータ8により前記検査
ステージ部2が前記ロード部92側に移動させられる。
このとき,前記支持手段によって支持された前記検査対
象物1は,図3(c)に示す如く,前記検査部93に残
り,前記光透過性板部材5,及び前記板部材6の面部分
5b,6b側に位置することになる。前記検査ステージ
部2が前記ロード92側に移動すると,図3(a)の場
合と同様,未だ検査の行われていない前記検査対象物1
が前記搬入部91から前記ロード部92に移送される。
この状態を示すのが,図3(d)である。未検査の前記
検査対象物1が前記光透過性板部材5,及び前記板部材
6の面部分5a,6aにまで移動すると,図4(a)に
示す如く,前記搬入用チャック装置912が前記搬入部
91に戻される。
前記検査ステージ部2の前記光透過性板部材5と前記板
部材6との間に前記検査対象物1が挟まれた状態で支持
されると,次に図3(b)に示す如く,前記検査対象物
1が載置された前記光透過性板部材5の面部分5a,前
記板部材6の面部分6aが,前記リニアアクチュエータ
8により前記検査部93に移動させられ,前記検査対象
物1が前記CCDカメラ4,及び前記リング照明3の下
方に配置される。前記検査対象物1が前記撮像部7の下
方に配置されると,前記リング照明3により前記検査対
象物1が照明され,前記CCDカメラ4により前記検査
対象物1からの反射光が撮像され,前記検査対象物1の
撮像画像が取得される。前記CCDカメラ4により取得
された前記撮像画像について,前記計算手段により所定
の画像処理が施され,欠陥の検査が行われる。前記検査
部93における欠陥の検査が終了すると,前記エアシリ
ンダー82により前記板部材6が下降させられる。前記
板部材6が下降させられると,図示しない支持手段によ
り前記板部材6上の前記検査対象物1が持ち上げられ,
前記光透過性板部材5と前記板部材6から離される。こ
の状態で,前記リニアアクチュエータ8により前記検査
ステージ部2が前記ロード部92側に移動させられる。
このとき,前記支持手段によって支持された前記検査対
象物1は,図3(c)に示す如く,前記検査部93に残
り,前記光透過性板部材5,及び前記板部材6の面部分
5b,6b側に位置することになる。前記検査ステージ
部2が前記ロード92側に移動すると,図3(a)の場
合と同様,未だ検査の行われていない前記検査対象物1
が前記搬入部91から前記ロード部92に移送される。
この状態を示すのが,図3(d)である。未検査の前記
検査対象物1が前記光透過性板部材5,及び前記板部材
6の面部分5a,6aにまで移動すると,図4(a)に
示す如く,前記搬入用チャック装置912が前記搬入部
91に戻される。
【0019】図3(a)の場合と,図3(d)及び図4
(a)の場合とで異なるのは,前記搬入部91から前記
ロード部92への前記検査対象物1の移送の際に,検査
済の前記検査対象物1が,前記光透過性板部材5,及び
前記板部材6の面部分5b,6b側に位置することであ
る。未検査の前記検査対象物1が前記光透過性板部材
5,及び前記板部材6の面部分5a,6aの間に挟まれ
た状態で支持されたときには,検査済の前記検査対象物
1が前記光透過性板部材5,及び前記板部材6の面部分
5b,6bの間に挟まれた状態で支持される。この状態
で,前記リニアアクチュエータ8により前記検査ステー
ジ部2が前記アンロード部94側に移動させられ,図4
(b)に示す如く,未検査の前記検査対象物1が前記検
査部93に配置される。一方,検査済の前記検査対象物
1は前記アンロード部94に配置される。未検査の前記
検査対象物1,及び検査済の前記検査対象物1が,それ
ぞれ前記検査部93,及び前記アンロード部94に配置
されると,前記検査部93については,上述の通りの欠
陥検査が行われる。前記アンロード部94にある検査済
の前記検査対象物1については,前記検査部93にある
前記検査対象物1の検査の際に,前記エアシリンダー8
2により前記板部材6が下降させられると,図4(c)
に示す如く,前記搬出用チャック装置951が前記アン
ロード部94にまで移動する。そして,前記板部材6の
前記面部分6b側にある検査済の前記検査対象物1が前
記搬出用チャック装置951により把持され,図4
(d)に示す如く,前記搬出用チャック装置951によ
り前記アンロード部94から前記搬出部95に検査済の
前記検査対象物1が移送させられる。図4(d)に示す
状態は,既に検査済の前記検査対象物1が前記搬出部9
5に格納されている点を除いて,図3(b)の状態と同
様である。以降,図3(b)の状態からの手順を繰り返
せば,前記検査対象物1の移送と検査をほぼ同時に行う
ことにより,複数枚の前記検査対象物1の検査を円滑に
行うことが可能となる。このような本発明の実施の形態
に係る欠陥検査方法,及びその装置によれば,検査対象
物が光透過性板部材と板部材との間に挟まれた状態で支
持されるため,前記検査対象物が例えば極めて厚みの薄
いプリント基板である場合にも,容易に前記検査対象物
の平坦度を確保して,精緻な欠陥検査を行うことができ
る。
(a)の場合とで異なるのは,前記搬入部91から前記
ロード部92への前記検査対象物1の移送の際に,検査
済の前記検査対象物1が,前記光透過性板部材5,及び
前記板部材6の面部分5b,6b側に位置することであ
る。未検査の前記検査対象物1が前記光透過性板部材
5,及び前記板部材6の面部分5a,6aの間に挟まれ
た状態で支持されたときには,検査済の前記検査対象物
1が前記光透過性板部材5,及び前記板部材6の面部分
5b,6bの間に挟まれた状態で支持される。この状態
で,前記リニアアクチュエータ8により前記検査ステー
ジ部2が前記アンロード部94側に移動させられ,図4
(b)に示す如く,未検査の前記検査対象物1が前記検
査部93に配置される。一方,検査済の前記検査対象物
1は前記アンロード部94に配置される。未検査の前記
検査対象物1,及び検査済の前記検査対象物1が,それ
ぞれ前記検査部93,及び前記アンロード部94に配置
されると,前記検査部93については,上述の通りの欠
陥検査が行われる。前記アンロード部94にある検査済
の前記検査対象物1については,前記検査部93にある
前記検査対象物1の検査の際に,前記エアシリンダー8
2により前記板部材6が下降させられると,図4(c)
に示す如く,前記搬出用チャック装置951が前記アン
ロード部94にまで移動する。そして,前記板部材6の
前記面部分6b側にある検査済の前記検査対象物1が前
記搬出用チャック装置951により把持され,図4
(d)に示す如く,前記搬出用チャック装置951によ
り前記アンロード部94から前記搬出部95に検査済の
前記検査対象物1が移送させられる。図4(d)に示す
状態は,既に検査済の前記検査対象物1が前記搬出部9
5に格納されている点を除いて,図3(b)の状態と同
様である。以降,図3(b)の状態からの手順を繰り返
せば,前記検査対象物1の移送と検査をほぼ同時に行う
ことにより,複数枚の前記検査対象物1の検査を円滑に
行うことが可能となる。このような本発明の実施の形態
に係る欠陥検査方法,及びその装置によれば,検査対象
物が光透過性板部材と板部材との間に挟まれた状態で支
持されるため,前記検査対象物が例えば極めて厚みの薄
いプリント基板である場合にも,容易に前記検査対象物
の平坦度を確保して,精緻な欠陥検査を行うことができ
る。
【0020】
【実施例】前記実施の形態では,前記検査対象物1の片
面について検査が行われていた。前記検査対象物1に
は,両面に配線パターンなどが形成されるものもある
が,前記実施の形態に係る欠陥検査装置の構成を用いて
両面の検査を行う場合には,各検査対象物1を前記搬入
部91から前記搬出部95まで2回移送させる必要があ
る。そうすると,その分だけ検査に要する時間が増大す
る。前記検査対象物1の両面の検査を迅速に行い得るよ
う前記実施の形態に係る前記欠陥検査装置を応用した,
本発明の実施例に係る欠陥検査装置の構成を図5,図6
に示す。図6は,本発明の一実施例に係る欠陥検査装置
の検査ステージ部2′の拡大図である。図5に示す如
く,本発明の一実施例に係る欠陥検査装置が,前記実施
の形態に係る欠陥検査装置と異なる点の一つは,前記撮
像部7の他にリング照明3′,CCDカメラ4′を有す
る撮像部7′を備える点である。前記撮像部7′は,検
査ステージ部2′を挟んで前記撮像部7とは逆側に,そ
の撮像方向を前記検査ステージ部2′側に向けて配置さ
れている。また,本発明の一実施例に係る欠陥検査装置
が,前記実施の形態に係る欠陥検査装置と異なる点の他
の一つは,前記検査ステージ部2′の構成である。図5
及び図6に示す如く,前記実施の形態に係る欠陥検査装
置と異なり,本発明の一実施例に係る欠陥検査装置で
は,前記光透過性板部材5,及び前記板部材6が2対設
けられている。図6に拡大して示すように,そのうちの
一対5a′,6a′は前記撮像部7に対応するものであ
り,前記光透過性板部材5a′が図面上側に配置され
る。他の一対5b′,6b′は前記撮像部7′に対応す
るものであり,前記光透過性板部材5b′が図面下側に
配置される。前記光透過性板部材5,及び前記板部材6
の各対はそれぞれ別個に上下動が可能であり,前記板部
材6a′は前記エアシリンダー82aにより,板部材6
b′は前記エアシリンダー82bにより駆動される。本
発明の一実施例に係る欠陥検査装置を用いる場合には,
例えば図3(b)のような状態下において,前記撮像部
7を用いて前記検査対象物1の片面について欠陥検査を
行った後,図3(d)のような状態下において,前記検
査ステージ部2′の前記光透過性板部材5a′,前記板
部材6a′側に未検査の前記検査対象物1を移送すると
同時に,前記透過性板部材5b′,前記板部材6b′側
に残った片面検査済の前記検査対象物1について前記撮
像部7′を用いて前記検査対象物1の他面について欠陥
検査を行うようにすればよい。このようにすれば,図3
及び図4を用いて説明した前記検査対象物1の検査,移
送手順をほとんど変更することなく,即ち前記実施の形
態に係る欠陥検査装置に対して検査に要する時間をほと
んど変更することなく,前記検査対象物1の両面の検査
を行うことが可能となる。
面について検査が行われていた。前記検査対象物1に
は,両面に配線パターンなどが形成されるものもある
が,前記実施の形態に係る欠陥検査装置の構成を用いて
両面の検査を行う場合には,各検査対象物1を前記搬入
部91から前記搬出部95まで2回移送させる必要があ
る。そうすると,その分だけ検査に要する時間が増大す
る。前記検査対象物1の両面の検査を迅速に行い得るよ
う前記実施の形態に係る前記欠陥検査装置を応用した,
本発明の実施例に係る欠陥検査装置の構成を図5,図6
に示す。図6は,本発明の一実施例に係る欠陥検査装置
の検査ステージ部2′の拡大図である。図5に示す如
く,本発明の一実施例に係る欠陥検査装置が,前記実施
の形態に係る欠陥検査装置と異なる点の一つは,前記撮
像部7の他にリング照明3′,CCDカメラ4′を有す
る撮像部7′を備える点である。前記撮像部7′は,検
査ステージ部2′を挟んで前記撮像部7とは逆側に,そ
の撮像方向を前記検査ステージ部2′側に向けて配置さ
れている。また,本発明の一実施例に係る欠陥検査装置
が,前記実施の形態に係る欠陥検査装置と異なる点の他
の一つは,前記検査ステージ部2′の構成である。図5
及び図6に示す如く,前記実施の形態に係る欠陥検査装
置と異なり,本発明の一実施例に係る欠陥検査装置で
は,前記光透過性板部材5,及び前記板部材6が2対設
けられている。図6に拡大して示すように,そのうちの
一対5a′,6a′は前記撮像部7に対応するものであ
り,前記光透過性板部材5a′が図面上側に配置され
る。他の一対5b′,6b′は前記撮像部7′に対応す
るものであり,前記光透過性板部材5b′が図面下側に
配置される。前記光透過性板部材5,及び前記板部材6
の各対はそれぞれ別個に上下動が可能であり,前記板部
材6a′は前記エアシリンダー82aにより,板部材6
b′は前記エアシリンダー82bにより駆動される。本
発明の一実施例に係る欠陥検査装置を用いる場合には,
例えば図3(b)のような状態下において,前記撮像部
7を用いて前記検査対象物1の片面について欠陥検査を
行った後,図3(d)のような状態下において,前記検
査ステージ部2′の前記光透過性板部材5a′,前記板
部材6a′側に未検査の前記検査対象物1を移送すると
同時に,前記透過性板部材5b′,前記板部材6b′側
に残った片面検査済の前記検査対象物1について前記撮
像部7′を用いて前記検査対象物1の他面について欠陥
検査を行うようにすればよい。このようにすれば,図3
及び図4を用いて説明した前記検査対象物1の検査,移
送手順をほとんど変更することなく,即ち前記実施の形
態に係る欠陥検査装置に対して検査に要する時間をほと
んど変更することなく,前記検査対象物1の両面の検査
を行うことが可能となる。
【0021】また,前記実施の形態では,前記検査ステ
ージ部2に1枚ずつ前記検査対象物1を搬入し,前記検
査ステージ部2から一枚ずつ搬出したが,これに限られ
るものではなく,前記検査対象物1を複数枚ずつ前記検
査ステージ部2に搬出入するようにしてもよい。例えば
前記検査対象物1を2枚ずつ前記検査ステージ部2に搬
出入する場合には,少なくとも前記光透過性板部材5及
び前記板部材6の大きさを,4枚の前記検査対象物1が
載置可能な大きさにしておく必要がある。また,前記撮
像部7を水平方向に2つ配置しておく。動作は基本的に
前記実施の形態のものと同様であるが,前記検査対象物
1の移送及び検査が2枚同時に行われることになる。ま
た,前記実施の形態では,前記CCDカメラ4を用いて
前記検査対象物1の撮像画像を取得したが,これに限ら
れるものではなく,ラインセンサなどの他の撮像素子を
用いるようにしてもよい。ラインセンサを用いる場合に
は,前記検査対象物1を移動させながら,前記撮像画像
を得ることになる。また,前記実施の形態では,前記光
透過性板部材5と前記板部材6とを水平に配置したが,
これに限られるものではなく,図7に示す如く,前記光
透過性板部材5と前記板部材6を斜め方向に配置するよ
うにしてもよい。この場合に,前記光透過性板部材5及
び前記板部材6のいずれか又は両方に平面部より突出し
た突出部を設け,前記突出部が下方になるように前記光
透過性板部材5及び前記板部材6を斜めにすれば,前記
検査対象物1の縁部を前記突出部により支持させるだけ
で,前記検査対象物1の面方向の位置合わせを前記突出
部を基準に簡単に行うことが可能となる。図7の例で
は,前記板部材6に,その平面部61より突出した突出
部62が設けられており,この突出部62が下方に配置
されるよう,前記撮像部3などの位置も設定される。こ
のように前記突出部62を設けておけば,前記検査対象
物1の縁部の位置合わせを行うことが簡単になり,複雑
な位置制御なしに,検査速度及び精度の向上を図ること
が可能になる。また,各構成を斜め方向に設けること
で,比較的大きい前記撮像部7の配置用空間を確保する
ことも容易となる。また,前記実施の形態では,前記板
部材6に有色の光透過性を有しない板部材を用いたが,
ガラス板などの光透過性の板部材を用いることも可能で
ある。但し,前記検査対象物1にボンディングパッド等
による穴が存在すると,前記板部材6側からの透過光も
前記CCDカメラ4に入光することになり,画像処理に
悪影響を及ぼす恐れもあるため,光透過性の板部材を用
いるのは,前記CCDカメラ4への反射光を確保するた
めの前記光透過性板部材5のみにした方が好ましい。
ージ部2に1枚ずつ前記検査対象物1を搬入し,前記検
査ステージ部2から一枚ずつ搬出したが,これに限られ
るものではなく,前記検査対象物1を複数枚ずつ前記検
査ステージ部2に搬出入するようにしてもよい。例えば
前記検査対象物1を2枚ずつ前記検査ステージ部2に搬
出入する場合には,少なくとも前記光透過性板部材5及
び前記板部材6の大きさを,4枚の前記検査対象物1が
載置可能な大きさにしておく必要がある。また,前記撮
像部7を水平方向に2つ配置しておく。動作は基本的に
前記実施の形態のものと同様であるが,前記検査対象物
1の移送及び検査が2枚同時に行われることになる。ま
た,前記実施の形態では,前記CCDカメラ4を用いて
前記検査対象物1の撮像画像を取得したが,これに限ら
れるものではなく,ラインセンサなどの他の撮像素子を
用いるようにしてもよい。ラインセンサを用いる場合に
は,前記検査対象物1を移動させながら,前記撮像画像
を得ることになる。また,前記実施の形態では,前記光
透過性板部材5と前記板部材6とを水平に配置したが,
これに限られるものではなく,図7に示す如く,前記光
透過性板部材5と前記板部材6を斜め方向に配置するよ
うにしてもよい。この場合に,前記光透過性板部材5及
び前記板部材6のいずれか又は両方に平面部より突出し
た突出部を設け,前記突出部が下方になるように前記光
透過性板部材5及び前記板部材6を斜めにすれば,前記
検査対象物1の縁部を前記突出部により支持させるだけ
で,前記検査対象物1の面方向の位置合わせを前記突出
部を基準に簡単に行うことが可能となる。図7の例で
は,前記板部材6に,その平面部61より突出した突出
部62が設けられており,この突出部62が下方に配置
されるよう,前記撮像部3などの位置も設定される。こ
のように前記突出部62を設けておけば,前記検査対象
物1の縁部の位置合わせを行うことが簡単になり,複雑
な位置制御なしに,検査速度及び精度の向上を図ること
が可能になる。また,各構成を斜め方向に設けること
で,比較的大きい前記撮像部7の配置用空間を確保する
ことも容易となる。また,前記実施の形態では,前記板
部材6に有色の光透過性を有しない板部材を用いたが,
ガラス板などの光透過性の板部材を用いることも可能で
ある。但し,前記検査対象物1にボンディングパッド等
による穴が存在すると,前記板部材6側からの透過光も
前記CCDカメラ4に入光することになり,画像処理に
悪影響を及ぼす恐れもあるため,光透過性の板部材を用
いるのは,前記CCDカメラ4への反射光を確保するた
めの前記光透過性板部材5のみにした方が好ましい。
【0022】
【発明の効果】以上説明した通り,前記請求項1又は2
に記載の発明では,検査対象物が互いに平行に配置され
た板部材(光透過性板部材と板部材と)の間に挟まれた
状態で支持されるため,前記検査対象物が例えば極めて
厚みの薄いプリント基板である場合にも,容易に前記検
査対象物の平坦度を確保して,精緻な欠陥検査を行うこ
とが可能な欠陥検査方法を提供することができる。ま
た,前記請求項3〜5のいずれか1項に記載の発明で
は,検査対象物が光透過性板部材と板部材との間に挟ま
れた状態で支持されるため,前記検査対象物が例えば極
めて厚みの薄いプリント基板である場合にも,容易に前
記検査対象物の平坦度を確保して,精緻な欠陥検査を行
うことが可能な欠陥検査装置を提供することができる。
さらに,前記請求項4に記載の欠陥検査装置では,予め
前記光透過性板部材と前記撮像手段との位置関係が固定
され,前記検査対象物を支持する際に,前記光透過性板
部材に対して前記板部材を移動させることにより,前記
検査対象物が前記光透過性部材と前記板部材との間に支
持されるため,前記検査対象物と前記撮像手段との位置
合わせを容易且つ確実に行うことが可能となる。さら
に,前記請求項5に記載の欠陥検査装置では,前記光透
過性板部材及び前記板部材のいずれか一方又は両方に平
面部から突出して設けられた突出部にて前記検査対象物
の縁部を支持することにより,前記検査対象物の面方向
の位置合わせを容易に行うことが可能である。
に記載の発明では,検査対象物が互いに平行に配置され
た板部材(光透過性板部材と板部材と)の間に挟まれた
状態で支持されるため,前記検査対象物が例えば極めて
厚みの薄いプリント基板である場合にも,容易に前記検
査対象物の平坦度を確保して,精緻な欠陥検査を行うこ
とが可能な欠陥検査方法を提供することができる。ま
た,前記請求項3〜5のいずれか1項に記載の発明で
は,検査対象物が光透過性板部材と板部材との間に挟ま
れた状態で支持されるため,前記検査対象物が例えば極
めて厚みの薄いプリント基板である場合にも,容易に前
記検査対象物の平坦度を確保して,精緻な欠陥検査を行
うことが可能な欠陥検査装置を提供することができる。
さらに,前記請求項4に記載の欠陥検査装置では,予め
前記光透過性板部材と前記撮像手段との位置関係が固定
され,前記検査対象物を支持する際に,前記光透過性板
部材に対して前記板部材を移動させることにより,前記
検査対象物が前記光透過性部材と前記板部材との間に支
持されるため,前記検査対象物と前記撮像手段との位置
合わせを容易且つ確実に行うことが可能となる。さら
に,前記請求項5に記載の欠陥検査装置では,前記光透
過性板部材及び前記板部材のいずれか一方又は両方に平
面部から突出して設けられた突出部にて前記検査対象物
の縁部を支持することにより,前記検査対象物の面方向
の位置合わせを容易に行うことが可能である。
【図1】 本発明の実施の形態に係る欠陥検査装置の基
本的構成を示す図。
本的構成を示す図。
【図2】 本発明の実施の形態に係る欠陥検査装置にお
ける,検査対象物の移送経路を説明するための図。
ける,検査対象物の移送経路を説明するための図。
【図3】 本発明の実施の形態に係る欠陥検査装置の動
作を説明するための図。
作を説明するための図。
【図4】 本発明の実施の形態に係る欠陥検査装置の動
作を説明するための他の図。
作を説明するための他の図。
【図5】 本発明の一実施例に係る欠陥検査装置の基本
的構成を示す図。
的構成を示す図。
【図6】 本発明の一実施例に係る欠陥検査装置の検査
ステージ部の構成を説明するための図。
ステージ部の構成を説明するための図。
【図7】 本発明の他の実施例に係る欠陥検査装置の要
部構成を示す図。
部構成を示す図。
【図8】 従来の欠陥検査装置の概略構成例を示す図。
1…検査対象物 3…リング照明 4…CCDカメラ 5…光透過性板部材 6…板部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2G014 AA25 AB51 AB59 AC09 2G051 AA65 AB07 AB08 BB02 CA04 CB01 DA01 4M106 AA11 AA20 AD27 BA04 CA40 DB04 DB19 DJ02 DJ05
Claims (5)
- 【請求項1】 支持された板状の検査対象物からの反射
光を撮像手段を用いて撮像して前記検査対象物の撮像画
像を取得し,取得した前記撮像画像に基づいて前記検査
対象物の欠陥を検査する欠陥検査方法において,前記検
査対象物を支持する際に,互いに平行に配置された板部
材の間に前記検査対象物を挟んだ状態で支持してなるこ
とを特徴とする欠陥検査方法。 - 【請求項2】 支持された板状の検査対象物を照明し,
前記検査対象物からの反射光を撮像手段により撮像して
前記検査対象物の撮像画像を取得し,取得した前記撮像
画像に基づいて前記検査対象物の欠陥を検査する欠陥検
査方法において,前記検査対象物の照明側に配置された
光透過性を有する光透過性板部材と,前記検査対象物に
対し前記光透過性板部材とは逆側に前記光透過性部材と
平行に配置された板部材とにより,前記検査対象物を挟
んだ状態で支持してなることを特徴とする欠陥検査方
法。 - 【請求項3】 板状の検査対象物を支持する支持手段
と,前記支持手段に支持された前記検査対象物を照明す
る照明手段と,前記照明手段により照明された前記検査
対象物からの反射光を撮像し前記検査対象物の撮像画像
を得る撮像手段とを備え,前記撮像手段により得られた
前記撮像画像に基づいて前記検査対象物の欠陥を検査す
る欠陥検査装置において,前記支持手段が,前記検査対
象物の前記撮像手段側に配置された光透過性を有する光
透過性板部材と,前記検査対象物に対し前記光透過性板
部材とは逆側に前記光透過性板部材と平行に配置された
板部材とを備え,前記光透過性板部材及び前記板部材に
より前記検査対象物を挟んだ状態で支持してなることを
特徴とする欠陥検査装置。 - 【請求項4】 予め前記光透過性板部材と前記撮像手段
との位置関係を固定しておき,前記検査対象物を支持す
る際に,前記光透過性板部材に対して前記板部材を移動
させることにより,前記検査対象物を前記光透過性部材
と前記板部材との間に支持してなる請求項3に記載の欠
陥検査装置。 - 【請求項5】 前記光透過性板部材及び前記板部材のい
ずれか一方又は両方に平面部から突出して設けられた突
出部にて前記検査対象物の縁部を支持することにより,
前記検査対象物の面方向の位置合わせを行う請求項3又
は4に記載の欠陥検査装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000034810A JP2001228091A (ja) | 2000-02-14 | 2000-02-14 | 欠陥検査方法及びその装置 |
TW090102533A TW577981B (en) | 2000-02-14 | 2001-02-06 | Method and apparatus for inspecting flaw |
KR10-2001-0006664A KR100417764B1 (ko) | 2000-02-14 | 2001-02-12 | 결함검사장치 및 그 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000034810A JP2001228091A (ja) | 2000-02-14 | 2000-02-14 | 欠陥検査方法及びその装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001228091A true JP2001228091A (ja) | 2001-08-24 |
Family
ID=18559096
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000034810A Pending JP2001228091A (ja) | 2000-02-14 | 2000-02-14 | 欠陥検査方法及びその装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
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KR (1) | KR100417764B1 (ja) |
TW (1) | TW577981B (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100341130C (zh) * | 2002-04-30 | 2007-10-03 | S.O.I.Tec绝缘体上硅技术公司 | 通过测量键合速度自动检测晶片表面质量的装置和方法 |
CN102053092A (zh) * | 2009-10-27 | 2011-05-11 | 日东电工株式会社 | 布线电路基板的检查方法、制造方法和检查装置 |
CN107345789A (zh) * | 2017-07-06 | 2017-11-14 | 深圳市强华科技发展有限公司 | 一种pcb板孔位检测装置及方法 |
CN107472866A (zh) * | 2017-08-11 | 2017-12-15 | 上海凯思尔电子有限公司 | 一种用于pcb板aoi工序的双层流转*** |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR0154559B1 (ko) * | 1993-06-30 | 1998-12-01 | 가나이 쯔또무 | 결함 레티클 검사장치 및 방법 |
-
2000
- 2000-02-14 JP JP2000034810A patent/JP2001228091A/ja active Pending
-
2001
- 2001-02-06 TW TW090102533A patent/TW577981B/zh not_active IP Right Cessation
- 2001-02-12 KR KR10-2001-0006664A patent/KR100417764B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100341130C (zh) * | 2002-04-30 | 2007-10-03 | S.O.I.Tec绝缘体上硅技术公司 | 通过测量键合速度自动检测晶片表面质量的装置和方法 |
CN102053092A (zh) * | 2009-10-27 | 2011-05-11 | 日东电工株式会社 | 布线电路基板的检查方法、制造方法和检查装置 |
JP2011095000A (ja) * | 2009-10-27 | 2011-05-12 | Nitto Denko Corp | 配線回路基板の検査方法、配線回路基板の製造方法および配線回路基板の検査装置 |
US8773159B2 (en) | 2009-10-27 | 2014-07-08 | Nitto Denko Corporation | Method of inspecting printed circuit board, method of manufacturing printed circuit board and inspection device of printed circuit board |
CN102053092B (zh) * | 2009-10-27 | 2014-07-23 | 日东电工株式会社 | 布线电路基板的检查方法、制造方法和检查装置 |
CN107345789A (zh) * | 2017-07-06 | 2017-11-14 | 深圳市强华科技发展有限公司 | 一种pcb板孔位检测装置及方法 |
CN107472866A (zh) * | 2017-08-11 | 2017-12-15 | 上海凯思尔电子有限公司 | 一种用于pcb板aoi工序的双层流转*** |
Also Published As
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---|---|
TW577981B (en) | 2004-03-01 |
KR20010082128A (ko) | 2001-08-29 |
KR100417764B1 (ko) | 2004-02-05 |
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