JP2001208693A - Method and apparatus for inspecting plate-shaped workpiece - Google Patents
Method and apparatus for inspecting plate-shaped workpieceInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明が属する技術分野】本発明は、板状ワークの検査
方法及び装置、特に反射照明と透過照明とを併用して板
状のワークを撮像し、得られる検査画像に基づいて該ワ
ークを検査する際に適用して好適な、板状ワークの検査
方法及び装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and an apparatus for inspecting a plate-like work, and more particularly to an image of a plate-like work using both reflection illumination and transmission illumination, and inspecting the work based on an inspection image obtained. The present invention relates to a method and an apparatus for inspecting a plate-like work, which are preferably applied when performing the inspection.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、金属薄板に所定の開口パターンが
形成されているリードフレーム等の板状ワークの検査に
は、該ワークをカメラで撮像して得られる画像を利用す
ることが行われている。図５は、このような検査に用い
られる従来の検査装置を模式的に示す概略正面図であ
り、ワークＷの表面側を撮像するカメラ１００と、該カ
メラ１００によりワークＷの反射像を撮像する際に表面
を照射する反射照明１０２と、同カメラ１００によりワ
ークＷの透過光像を撮像する際にその裏面を照射する透
過照明１０４とを備えている。2. Description of the Related Art Conventionally, for inspection of a plate-like work such as a lead frame having a predetermined opening pattern formed in a thin metal plate, an image obtained by imaging the work with a camera is used. I have. FIG. 5 is a schematic front view schematically showing a conventional inspection apparatus used for such an inspection. A camera 100 for imaging the front side of the work W, and a reflected image of the work W is taken by the camera 100. The camera 100 includes a reflective illumination 102 for illuminating the front surface, and the camera 100 includes a transmitted illumination 104 for illuminating the back surface of the workpiece W when capturing a transmitted light image of the workpiece W.
【０００３】今、リードフレームからなるワークＷの一
部を拡大して図６（Ａ）の平面図と同図（Ｂ）のＢ−Ｂ
断面図に模式的に示すように、パターン間の一部がつな
がっているショートと、一部がパターンから突出してい
る突起と、表面の一部が窪んでいるエグレという３種類
の欠陥が存在しているとする。Now, a part of a work W composed of a lead frame is enlarged to show a plan view of FIG.
As schematically shown in the cross-sectional view, there are three types of defects: a short circuit in which a part of the pattern is connected, a protrusion in which a part is protruded from the pattern, and an egre in which a part of the surface is depressed. Suppose
【０００４】このようなワークＷを上記のような検査装
置により撮像して検査する場合、欠陥の断面形状が異な
る等の理由により、単一の照明を使用して得られる画像
だけでは全ての欠陥をとらえることができない。そのた
め、反射照明１０２のみを使用して得られる図７（Ａ）
に示すような反射画像と、透過照明１０４のみを使用し
て得られる同図（Ｂ）に示すような透過画像とを別々に
撮像するか、あるいは両方の照明１０２、１０４を同時
に使用して同図（Ｃ）に示すような同時照射画像を撮像
することにより、画像による各種欠陥の検査が行われて
いる。In the case where such a workpiece W is imaged and inspected by the inspection apparatus as described above, all the defects can be obtained only with an image obtained by using a single illumination because the cross-sectional shape of the defect is different. Can't catch Therefore, FIG. 7A obtained by using only the reflection illumination 102.
(B) and a transmission image as shown in FIG. 2B obtained by using only the transmitted illumination 104, or by using both illuminations 102 and 104 simultaneously. By taking a simultaneous irradiation image as shown in FIG. (C), inspection of various defects by the image is performed.
【０００５】又、上記検査装置では、カメラ１００によ
りワークＷの画像を撮像する場合、該カメラ１００をワ
ークＷの面に沿って走査しながら、一部分ずつ順に取り
込むことが行われているため、透過照明１０４は固定さ
れているが、反射照明１０２はカメラ１００と同期して
移動することにより、常に同軸落射照明ができるように
なっている。In the above inspection apparatus, when an image of the work W is taken by the camera 100, the camera 100 scans along the surface of the work W while taking in a part of the work W in order. The illumination 104 is fixed, but the reflection illumination 102 moves in synchronization with the camera 100, so that coaxial epi-illumination can always be performed.
【０００６】又、前記従来の検査装置では、リードフレ
ーム等の大きなワークを検査する場合に、透過照明１０
４により広い範囲を照射できるように、その光源として
蛍光灯等を使用し、その光源光を例えば、ワーク１００
側に張設した拡散シート（図示せず）により拡散し、照
明光が均等になるようにしている。In the conventional inspection apparatus, when inspecting a large work such as a lead frame, the transmission illumination 10 is used.
4, a fluorescent lamp or the like is used as the light source so that the light from the light source can be applied to the work 100, for example.
The light is diffused by a diffusion sheet (not shown) stretched on the side to make the illumination light uniform.
【０００７】又、前記図５に示した検査装置では、裏面
側を検査する場合には、ワークを反転する必要があるこ
とから、図８に示すように、前記図５に示したものと実
質的に同一の、表面用のカメラ１００Ａ、反射照明１０
２Ａ、透過照明１０４Ａと共に、裏面用のカメラ１００
Ｂ、反射照明１０２Ｂ、透過照明１０４Ｂを備え、ワー
クＷの表面側と裏面側を同時に撮像できるようにしたも
のも知られている。Further, in the inspection apparatus shown in FIG. 5, when inspecting the back side, it is necessary to reverse the work, so that the inspection apparatus is substantially the same as that shown in FIG. 5 as shown in FIG. Identical surface camera 100A, reflected illumination 10
2A, transmitted light 104A, backside camera 100
B, a reflection illumination 102B, and a transmission illumination 104B are also known so that the front side and the back side of the work W can be imaged simultaneously.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記透
過照明では蛍光灯等の光源光を拡散シート等により拡散
してはいるが、光源自体が大きいため、拡散シート等の
面方向の場所により明暗の差（シェーディング）がある
ことが多い。それ故に、拡散シート内の位置、即ち透過
照明の面方向の場所によって透過光（背景）の強度（輝
度）が異なるために、常に一定の背景の下で画像を取り
込むことができないことから、精度の高い検査ができな
いという問題があった。However, in the above-mentioned transmissive illumination, light from a light source such as a fluorescent lamp is diffused by a diffusion sheet or the like. There is often a difference (shading). Therefore, since the intensity (brightness) of the transmitted light (background) differs depending on the position in the diffusion sheet, that is, the location in the plane direction of the transmitted illumination, an image cannot always be captured under a constant background. There is a problem that high inspection cannot be performed.
【０００９】本発明は、前記従来の問題点を解決するべ
くなされたもので、常に一定の背景の下で検査対象を撮
像することができ、それ故に検査精度を向上することが
できる検査方法及び装置を提供することを課題とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problems, and an inspection method and an inspection method capable of always imaging an inspection object under a fixed background and therefore improving inspection accuracy. It is an object to provide a device.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】本発明は、板状のワーク
の検査方法において、所定のパターンが形成されている
板状のワークの表面に沿って表面用カメラを走査して該
表面の画像を撮像すると共に、該ワークの裏面に沿って
裏面用カメラを走査して該裏面の画像を撮像し、得られ
る画像に基づいて該ワークを検査する際、前記表面用カ
メラの走査に同期して、表面側に配置された表面用反射
照明と裏面側に配置された表面用透過照明とをそれぞれ
移動させて前記表面の画像を撮像し、前記裏面用カメラ
の走査に同期して、裏面側に配置された裏面用反射照明
と表面側に配置された裏面用透過照明とをそれぞれ移動
させて前記裏面の画像を撮像することにより、前記課題
を解決したものである。According to the present invention, in a method of inspecting a plate-like work, an image of the surface is scanned by scanning a surface camera along the surface of the plate-like work on which a predetermined pattern is formed. While imaging the back surface camera by scanning the back surface camera along the back surface of the work, and inspecting the work based on the obtained image, in synchronization with the scanning of the front surface camera. The front-side reflection illumination arranged on the front side and the front-side transmission illumination arranged on the back side are respectively moved to capture an image of the front side, and in synchronization with the scanning of the back-side camera, on the back side. The object is achieved by moving the rear-surface reflection illumination disposed and the rear-surface transmission illumination disposed on the front side to capture an image of the rear surface.
【００１１】本発明は、又、板状ワークの検査装置にお
いて、所定のパターンが形成されている板状のワークを
支持するステージと、該ステージに支持されているワー
クの表面側に配置され、該ワークの表面に沿って走査さ
れる表面用カメラと、該カメラの走査に同期して移動す
る、表面側に配置された表面用反射照明及び裏面側に配
置された表面用透過照明と、前記ワークの裏面側に配置
され、該ワークの裏面に沿って走査される裏面用カメラ
と、該カメラの走査に同期して移動する、裏面側に配置
された裏面用反射照明及び表面側に配置された裏面用透
過照明と、を備えたことにより、同様に前記課題を解決
したものである。According to the present invention, in a plate-like work inspection apparatus, a stage for supporting a plate-like work on which a predetermined pattern is formed, and a stage arranged on a surface side of the work supported by the stage, A front surface camera that is scanned along the surface of the work, and moves in synchronization with the scanning of the camera, the front reflection illumination disposed on the front side and the front transmission illumination disposed on the back side, A backside camera arranged on the backside of the work and scanned along the backside of the work, and moved in synchronization with the scanning of the camera, the backside reflection illumination arranged on the backside and arranged on the front side. In addition, the above-mentioned problem is solved by providing the rear-surface transmission illumination.
【００１２】即ち、本発明においては、表面用と裏面用
のいずれのカメラの走査に対しても、反射照明と共に透
過照明をも同期して移動させるようにしたので、表裏両
面側で常に一定の背景の下でワークを撮像することが可
能となり、検査精度を向上させることが可能となる。That is, in the present invention, the transmitted illumination and the reflected illumination are moved in synchronization with the scanning of both the front and rear cameras, so that the fixed illumination is always maintained on both the front and back sides. The work can be imaged under the background, and the inspection accuracy can be improved.
【００１３】[0013]
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、本発明の
実施の形態について詳細に説明する。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.
【００１４】図１は、本発明に係る一実施形態の検査装
置を示す、ブロック図を含む概略斜視図である。FIG. 1 is a schematic perspective view, including a block diagram, showing an inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
【００１５】本実施形態の検査装置は、所定の開口パタ
ーンが形成されている、リードフレーム等の板状のワー
クＷを支持するステージ２０と、該ステージ２０の上方
に配置されている表面検査部２２Ａと、下方に配置され
ている裏面検査部２２Ｂとを備えている。The inspection apparatus according to the present embodiment includes a stage 20 for supporting a plate-shaped work W such as a lead frame on which a predetermined opening pattern is formed, and a surface inspection unit disposed above the stage 20. 22A and a back surface inspection unit 22B disposed below.
【００１６】上記表面検査部２２Ａは、上記ステージ２
０に支持されているワークＷの表面側に配置され、該ワ
ークＷの表面に沿って搬送部２４ＡによりＸ方向及びＹ
方向にそれぞれ走査される表面用カメラ１０Ａと、該カ
メラ１０Ａの走査に同期して移動する、表面側に配置さ
れた表面用反射照明１２Ａ及び裏面側に配置された表面
用透過照明１４Ａと、前記カメラ１０Ａにより撮像され
た画像を処理する画像処理部２６Ａとを備えている。The surface inspection section 22A is provided with the stage 2
0 along the surface of the work W supported by the transport unit 24A along the surface of the work W.
A front-side camera 10A that is scanned in each direction, a front-side reflective illumination 12A disposed on the front side, and a front-side transmissive illumination 14A disposed on the rear side that move in synchronization with the scanning of the camera 10A; An image processing unit 26A that processes an image captured by the camera 10A.
【００１７】又、前記裏面検査部２２Ｂは、表面検査部
２２Ａとは逆の構成からなり、前記ワークＷの裏面側に
配置され、該ワークＷの裏面に沿って搬送部２４Ｂによ
りＸ方向及びＹ方向に走査される裏面用カメラ１０Ｂ
と、該カメラ１０Ｂの走査に同期して移動する、裏面側
に配置された裏面用反射照明１２Ｂ及び表面側に配置さ
れた裏面用透過照明１４Ｂと、前記カメラ１０Ｂにより
撮像される画像を処理する画像処理部２６Ｂとを備えて
いる。The back surface inspection unit 22B has a configuration opposite to that of the front surface inspection unit 22A, is arranged on the back surface side of the work W, and is moved along the back surface of the work W by the transport unit 24B in the X and Y directions. Camera 10B for backside scanning in the direction
And the back-side reflective illumination 12B disposed on the back side and the back-side transmitted illumination 14B disposed on the front side, which move in synchronization with the scanning of the camera 10B, and process images captured by the camera 10B. An image processing unit 26B is provided.
【００１８】又、本実施形態では、図２の制御ブロック
図にも示すように、前記表面検査部２２Ａが備えてい
る、表面用カメラ１０Ａを含む画像入力部、反射照明１
２Ａ及び透過照明１４Ａを含む照明部、搬送部２４Ａ及
び画像処理部２６Ａと、前記裏面検査部２２Ｂが備えて
いる、裏面用カメラ１０Ｂを含む画像入力部、反射照明
１２Ｂ及び透過照明１４Ｂを含む照明部、搬送部２４Ｂ
及び画像処理部２６Ｂが、いずれも制御部２８により制
御されるようになっていると共に、処理結果等が表示部
３０に表示されるようになっている。In the present embodiment, as shown in the control block diagram of FIG. 2, the image input unit including the front surface camera 10A, the reflected light 1 provided in the surface inspection unit 22A are provided.
Illumination unit including 2A and transmitted light 14A, transport unit 24A and image processing unit 26A, and image input unit including back surface camera 10B provided in back surface inspection unit 22B, illumination including reflected light 12B and transmitted light 14B. Section, transport section 24B
The image processing unit 26B and the image processing unit 26B are both controlled by the control unit 28, and the processing results and the like are displayed on the display unit 30.
【００１９】本実施形態の検査装置を、ワークＷの側方
から見た前記図８に相当する図３を参照して、更に詳述
する。The inspection apparatus of this embodiment will be described in more detail with reference to FIG. 3 corresponding to FIG.
【００２０】ワークＷの上方に配置されている前記表面
用カメラ１０Ａには、前記図１に明示してあるように、
反射照明１２Ａが一体的に取り付けられていると共に、
前記透過照明１４Ｂが一体的に固定され、該カメラ１０
Ａと両照明１２Ａ、１４Ｂが一体で移動するようになっ
ている。又、ワークＷの下方に配置されている前記裏面
用カメラ１０Ｂにも、配置は逆になるが、前記反射照明
１２Ｂと透過照明１４Ａとが一体となっている。As clearly shown in FIG. 1, the front camera 10A disposed above the work W
While the reflective illumination 12A is integrally attached,
The transmitted light 14B is integrally fixed, and the camera 10
A and both lights 12A and 14B move integrally. The arrangement of the backside camera 10B disposed below the workpiece W is reversed, but the reflection illumination 12B and the transmission illumination 14A are integrated.
【００２１】本実施形態では、前記表面用カメラ１０Ａ
の走査に透過照明１４Ａが同期して移動し、又、前記裏
面用カメラ１０Ｂに同様に透過照明１４Ｂが同期して移
動するようになっている。このように表面用透過照明１
４Ａと裏面用透過照明１４Ｂをそれぞれ表面用カメラ１
０Ａと裏面用カメラ１０Ｂに同期して移動するようにし
てあるため、透過画像を常に一定の背景の下で撮像する
ことが可能となると共に、撮像する範囲を照射できれば
よいので、照射範囲を狭くすることができることから、
ハロゲン光源等の光強度の大きな光源を利用することが
できる。In this embodiment, the front camera 10A is used.
The transmitted illumination 14A moves in synchronization with the scanning of the camera, and the transmitted illumination 14B moves in synchronization with the back camera 10B. Thus, the transmitted light for surface 1
4A and the backside transmitted illumination 14B are respectively attached to the front side camera 1
Since it is configured to move in synchronization with 0A and the back camera 10B, it is possible to always capture a transmitted image under a fixed background, and it is only necessary to irradiate the imaged range. Because you can
A light source having a large light intensity such as a halogen light source can be used.
【００２２】又、本実施形態の検査装置では、前記制御
部２８により表裏両面用のカメラの走査、各照明の点
灯、画像入力、画像処理等のタイミングを制御すること
により、一度のカメラ走査で表裏両面について、反射照
明と透過照明を同時に照射して画像を撮像できると共
に、反射照明を消して透過画像を、逆に透過照明を消し
て反射画像をそれぞれ個別に撮像することもできる。In the inspection apparatus according to the present embodiment, the control unit 28 controls the timing of scanning of the front and back cameras, lighting of each illumination, image input, image processing, etc., so that the camera can be scanned once by the camera. For both the front and back surfaces, an image can be captured by simultaneously irradiating the reflection illumination and the transmission illumination, and a transmission image can be captured separately by extinguishing the reflection illumination, and a reflection image can be captured separately by extinguishing the transmission illumination.
【００２３】従って、本実施形態では、前記両画像処理
部２６Ａ、２６Ｂにおいて、同時照明により得られる検
査画像を基に、図４に示したアルゴリズムに従って、前
記図６に示した欠陥を高精度に検査することができる。Therefore, in the present embodiment, the defects shown in FIG. 6 can be accurately determined in the image processing units 26A and 26B according to the algorithm shown in FIG. 4 based on the inspection images obtained by the simultaneous illumination. Can be inspected.
【００２４】即ち、本実施形態の検査装置により同時照
明の下で撮像した検査画像が、図４（Ａ）で、予め撮像
しておいて良品画像（マスター画像）が同図（Ｂ）であ
るとする。上記検査画像を低い閾値と高い閾値でそれぞ
れ２値化して同図（Ｃ）の２値化画像Ａと同図（Ｄ）の
２値化画像Ｂとを作成し、後者の２値化画像Ｂと、前記
良品画像から同レベルの閾値で２値化して作成した２値
化画像との差分をとり、同図（Ｅ）の差分画像を作成
し、その後該差分画像と前記２値化画像Ａとの論理和を
とって同図（Ｆ）の判定画像を作成し、それを表示部３
０に表示させることができると共に、該画像から３種類
の欠陥を検出することができる。That is, FIG. 4A shows an inspection image taken under simultaneous illumination by the inspection apparatus of the present embodiment, and FIG. 4B shows a non-defective image (master image) taken in advance. And The inspection image is binarized with a low threshold and a high threshold, respectively, to generate a binarized image A in FIG. 3C and a binarized image B in FIG. And a binarized image created by binarizing the non-defective image with the same level of threshold value to obtain a differential image shown in FIG. 7E, and thereafter, the differential image and the binary image A (F) in the same manner as in FIG.
0 can be displayed, and three types of defects can be detected from the image.
【００２５】以上、本発明について具体的に説明した
が、本発明は、前記実施形態に示したものに限られるも
のでなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能で
ある。Although the present invention has been specifically described above, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be variously modified without departing from the gist thereof.
【００２６】例えば、前記実施形態では、表面用カメラ
１０Ａと裏面用透過照明１４Ｂが、裏面用カメラ１０Ｂ
と表面用透過照明１４Ａがそれぞれ一体的に固定されて
いる場合を示したが、それぞれ別体で移動できるように
してもよい。For example, in the embodiment, the front camera 10A and the rear transmission illumination 14B are connected to the rear camera 10B.
Although the case where the transmitted light 14A and the front-side transmitted light 14A are integrally fixed is shown, they may be separately movable.
【００２７】[0027]
【発明の効果】以上説明したとおり、本発明によれば、
常に一定の背景の下で検査対象を撮像することができる
ことから、検査精度を向上することができる。As described above, according to the present invention,
Since the inspection target can be always imaged under a constant background, the inspection accuracy can be improved.
【図１】本発明に係る一実施形態の検査装置の要部を示
す、ブロック図を含む概略斜視図FIG. 1 is a schematic perspective view, including a block diagram, showing a main part of an inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
【図２】実施形態の検査装置の制御系の概要を示すブロ
ック図FIG. 2 is a block diagram illustrating an outline of a control system of the inspection apparatus according to the embodiment;
【図３】実施形態の検査装置の要部を拡大して示す概略
正面図FIG. 3 is a schematic front view showing an enlarged main part of the inspection apparatus according to the embodiment;
【図４】実施形態による検査のアルゴリズムを示す説明
図FIG. 4 is an explanatory diagram illustrating an inspection algorithm according to the embodiment;
【図５】従来の検査装置の要部を示す概略正面図FIG. 5 is a schematic front view showing a main part of a conventional inspection device.
【図６】ワーク上の欠陥の種類を模式的に示す平面図と
断面図FIG. 6 is a plan view and a cross-sectional view schematically showing types of defects on a work.
【図７】ワークの撮像画像と欠陥の関係を示す説明図FIG. 7 is an explanatory diagram showing a relationship between a captured image of a workpiece and a defect.
【図８】従来の他の検査装置の要部を示す概略正面図FIG. 8 is a schematic front view showing a main part of another conventional inspection apparatus.
Ｗ…ワーク １０…カメラ １２…反射照明 １４…透過照明 ２０…ステージ ２２…検査部 ２４…搬送部 ２６…画像処理部 ２８…制御部 ３０…表示部 W ... Work 10 ... Camera 12 ... Reflection illumination 14 ... Transmission illumination 20 ... Stage 22 ... Inspection unit 24 ... Transportation unit 26 ... Image processing unit 28 ... Control unit 30 ... Display unit
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 林 謙太 東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内 (72)発明者 戸塚 貴之 東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内 Ｆターム(参考） 2G051 AA61 AA90 AB02 BA01 BB03 BC06 CA07 CB01 CB02 CD06 EA11 EB01 5F067 AA19 DA01 DB09 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Kenta Hayashi, 1-1-1, Ichigaya Kagacho, Shinjuku-ku, Tokyo Inside Dai Nippon Printing Co., Ltd. (72) Takayuki Totsuka 1-1-1, Ichigaga-cho, Shinjuku-ku, Tokyo No. 1 Dai Nippon Printing Co., Ltd. F term (reference) 2G051 AA61 AA90 AB02 BA01 BB03 BC06 CA07 CB01 CB02 CD06 EA11 EB01 5F067 AA19 DA01 DB09
Claims (4)
ークの表面に沿って表面用カメラを走査して該表面の画
像を撮像すると共に、該ワークの裏面に沿って裏面用カ
メラを走査して該裏面の画像を撮像し、得られる画像に
基づいて該ワークを検査する際、 前記表面用カメラの走査に同期して、表面側に配置され
た表面用反射照明と裏面側に配置された表面用透過照明
とをそれぞれ移動させて前記表面の画像を撮像し、 前記裏面用カメラの走査に同期して、裏面側に配置され
た裏面用反射照明と表面側に配置された裏面用透過照明
とをそれぞれ移動させて前記裏面の画像を撮像すること
を特徴とする板状ワークの検査方法。1. A front surface camera is scanned along a surface of a plate-shaped work on which a predetermined pattern is formed to capture an image of the front surface, and the back surface camera is scanned along a back surface of the work. When capturing the image of the back surface, and inspecting the work based on the obtained image, in synchronization with the scanning of the front camera, the reflection illumination for the front surface arranged on the front surface side and the rear surface is disposed. The front-side transmission illumination is moved to capture the image of the front side, and in synchronization with the scanning of the back-side camera, the back-side reflection illumination disposed on the back side and the back-side transmission disposed on the front side. A method for inspecting a plate-like workpiece, wherein an image of the back surface is captured by moving a lighting device.
動させ、前記裏面用透過照明を、前記表面用カメラと一
体的に移動させることを特徴とする板状ワークの検査方
法。2. The system according to claim 1, wherein the front-side transmitted illumination is moved integrally with the back-side camera, and the rear-side transmitted illumination is moved integrally with the front-side camera. Inspection method for plate-like work.
ークを支持するステージと、 該ステージに支持されているワークの表面側に配置さ
れ、該ワークの表面に沿って走査される表面用カメラ
と、 該カメラの走査に同期して移動する、表面側に配置され
た表面用反射照明及び裏面側に配置された表面用透過照
明と、 前記ワークの裏面側に配置され、該ワークの裏面に沿っ
て走査される裏面用カメラと、 該カメラの走査に同期して移動する、裏面側に配置され
た裏面用反射照明及び表面側に配置された裏面用透過照
明と、を備えていることを特徴とする板状ワークの検査
装置。3. A stage for supporting a plate-like work on which a predetermined pattern is formed, and a surface disposed on the front side of the work supported on the stage, for scanning along the surface of the work. A camera, a front-surface reflective illumination and a front-side transmissive illumination arranged on the front side, which move in synchronization with scanning of the camera, and a rear-surface of the work arranged on the back side of the work. A back-side camera that scans along the rear surface, and a back-side reflection illumination disposed on the back side and a back-side transmission illumination disposed on the front side that move in synchronization with the scanning of the camera. An inspection device for a plate-like work characterized by the following.
成され、前記裏面用透過照明が、前記表面用カメラと一
体的に形成されていることを特徴とする板状ワークの検
査装置。4. The transmissive illumination for the front surface according to claim 3, wherein the transmitted illumination for the front surface is formed integrally with the camera for the back surface, and the transmitted illumination for the back surface is formed integrally with the camera for the front surface. Inspection device for plate-like work.
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|---|---|
| JP2001208693A true JP2001208693A (en) | 2001-08-03 |
Family
ID=18544312
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000017301A Pending JP2001208693A (en) | 2000-01-26 | 2000-01-26 | Method and apparatus for inspecting plate-shaped workpiece |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001208693A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100456024C (en) * | 2002-07-29 | 2009-01-28 | 崔铉镐 | System and method for preventing mistakes in optical inspection |
| JP2009038109A (en) * | 2007-07-31 | 2009-02-19 | Mitsui High Tec Inc | Lead frame continuum and manufacturing method of lead frame |
| JP2010210373A (en) * | 2009-03-10 | 2010-09-24 | Kyushu Nogeden:Kk | Visual inspection apparatus |
-
2000
- 2000-01-26 JP JP2000017301A patent/JP2001208693A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100456024C (en) * | 2002-07-29 | 2009-01-28 | 崔铉镐 | System and method for preventing mistakes in optical inspection |
| JP2009038109A (en) * | 2007-07-31 | 2009-02-19 | Mitsui High Tec Inc | Lead frame continuum and manufacturing method of lead frame |
| JP2010210373A (en) * | 2009-03-10 | 2010-09-24 | Kyushu Nogeden:Kk | Visual inspection apparatus |
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