JP2001196021A

JP2001196021A - ターゲット移動装置

Info

Publication number: JP2001196021A
Application number: JP2000005591A
Authority: JP
Inventors: Eiji Kawai; 合英治河
Original assignee: Jeol Ltd
Current assignee: Jeol Ltd
Priority date: 2000-01-14
Filing date: 2000-01-14
Publication date: 2001-07-19

Abstract

(57)【要約】【課題】確実なブレーキングとブレーキング解除を行
う。【解決手段】ブレーキング用レール２２を従動部材２
０に取り付け、平行バネ部材２４のブレーキパッド２９
Ａ，２９Ｂがブレーキング用コイル２２を挟むように平
行バネ部材２４を配置する。ピエゾ素子３１の変形に基
づき、ブレーキングパッド２９Ａ，２９Ｂを、ブレーキ
を掛ける時はブレーキング用レール２２を挟む方向に、
ブレーキを解除する時はブレーキング用レール２２から
離れる方向に動かす様に成す。ブレーキング用レール２
２とブレーキングパッド２９Ａ，２９Ｂを共に電極の役
目を兼ねらせ、ブレーキング時には互いに反対の極性の
電位を与えて互いの間に引力を働かせて、ブレーキング
解除時には互いに異なった極性の電位を与えて互いの間
に斥力を働かせてる様に成す。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する分野】本発明は、走査電子顕微鏡等の放
射ビーム装置に使用するターゲット移動装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】荷電粒子ビーム観察，検査，分析，測長
装置は、例えば、ＩＣパターンが描かれた試料（ターゲ
ット）に荷電粒子ビームを照射することにより検出され
た荷電粒子に基づいて、それぞれパターンの観察，パタ
ーン欠陥等の検査，材料上に付着しているごみ等の分
析，パターンの測長を行うものである。又、荷電粒子ビ
ーム描画装置は、例えば、ガラス板の上にレジストが塗
布された材料（ターゲット）上に荷電粒子ビームを照射
することによりＩＣパターンを描画するもので、これら
の荷電粒子ビーム装置は、近年、半導体製造業界等にお
いては欠かすことの出来ないものとなっている。尚、荷
電粒子の代わりにレーザービーム等の光ビームを使用し
て同様にＩＣパターンの観察，検査，描画などを行う光
ビーム装置もある。

【０００３】この様な荷電粒子ビーム装置や光ビーム装
置等の放射ビーム装置におけるターゲット移動装置とし
ては、通常、ターゲットを精度良く二次元方向に移動さ
せることが出来るものが使用されている。

【０００４】図１は、ターゲット移動装置の一例を示し
たものである。図中１はターゲット室で、特に図示しな
いが、このターゲット室１の上には、例えば電子ビーム
装置を例に上げると、電子銃，該電子銃からの電子ビー
ムを材料上に集束するための集束レンズ，及び同電子ビ
ームをターゲット上の所定に位置にショットさせるため
の偏向レンズ等を備えた電子光学系カラムが設けられて
いる。

【０００５】図中２はターゲット３をＸ方向へ移動させ
るための第１のステージで、ホルダー４を介してターゲ
ット２を載置している。該第１ステージ２はＹ方向移動
用の第２のステージ５上に設けられたガイドレール６
Ａ，６Ｂ上を移動可能で、又、送りネジ７が螺合されて
おり、該送りネジをターゲット室外に設けられた駆動源
（例えば、サーボモーター）８により回転させることに
より前記ガイドレール６Ａ，６Ｂ上を移動することが出
来る。尚、実際には、前記送りネジ７は第１ステージ２
に螺合されずに、前記第１ステージ２に滑合されたガイ
ド９のほぼ中央部に螺合されており、このガイド９を介
して前記第１ステージ２をＸ方向に移動させることが可
能と成っている。又、前記ガイド９はＹ方向に平行に設
けられているので、前記第１ステージ２は該ガイド９に
対してＹ方向に摺動自在である。又、該ガイド９はター
ゲット室１の底面（ベース）上に、Ｘ方向に平行に置か
れたガイドレール１０Ａ，１０Ｂ（ガイドレール１０Ｂ
はステージ２，５を挟んでガイドレール１０Ａの反対側
に設けられているので、図示されていない）に滑合され
ている。

【０００６】前記第２ステージ５はターゲット室１の底
面（ベース）上に、Ｙ方向に平行に置かれたガイドレー
ル１１Ａ，１１Ｂに滑合されている。又、第２ステージ
５には送りネジ１２が螺合されており、該送りネジ１２
にはターゲット室外に設けられた駆動源１３（例えば、
サーボモーター）により回転が与えられるように成って
いる。

【０００７】この様な構成のターゲット移動装置におい
て、サーボモーター８を駆動すると、送りネジ７が回転
し、ガイド９がガイドレール１０Ａ，１０Ｂ上を移動す
る。このガイドの移動により、第１のステージ２はレー
ル６Ａ，６Ｂ上を移動するので、ターゲット３がＸ方向
に所定量移動することになる。

【０００８】一方、サーボモーター１３を駆動すると、
送りネジ１２が回転し、第２のステージ５はレール１１
Ａ，１１Ｂ上を移動するので、該第２ステージ５上に載
置された第１ステージ２も一体的に移動し、ターゲット
３がＹ方向に所定量移動することになる。尚、このＹ方
向移動に際しては、前記ガイド９が静止しており、前記
第１ステージ２はこのガイド９に案内されることにな
る。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】さて、この様に、モー
ターで送りネジを駆動してステージを所定量移動させ、
ターゲットの位置決めを行う場合、次の様な事態が発生
する。

【００１０】例えば、ＩＣパターンが形成されたウエハ
上のパターンを電子ビームで走査し、該走査により検出
された二次電子に基づく画像データに基づいて表示画面
上にパターン像を表示する電子ビーム装置等において、
ウエハ上の観察したい領域が電子ビーム光軸の中心（電
子ビーム走査中心）上に来るようにモーターを駆動して
ステージを移動させ、モーター停止後、ウエハ上の所定
領域を電子ビームで走査してパターン像を表示装置画面
上に表示させた場合、パターン像が流れ続ける現象、即
ち、ドリフトが見られる。特に、高倍率でパターン像を
表示させた場合にそのドリフトが大きい。

【００１１】このドリフトは第１ステージ２をＸ方向に
所定量移動させた後に停止させた直後、或いは、第２ス
テージ５をＹ方向に所定量移動させた後に停止させた直
後に顕著に現れ、停止後、時間の経過と共に漸減する。

【００１２】このドリフトは、次のプロセスによるもの
と考えられる。

【００１３】（イ）ステージ２，５を移動させることに
より送りネジ７，１２が発熱する。

【００１４】（ロ）サーボモーター８，１３を停止させ
ても前記発熱による送りネジ７，１２の熱膨張によりス
テージが移動する。

【００１５】（ハ）サーボモーター８，１３停止後、時
間の経過に従って熱的平衡に達し、徐々に熱膨張が収ま
ると共にドリフトも収まる。

【００１６】しかし、この様なドリフトの発生により次
の様な問題が起きる。

【００１７】サーボモーター停止直後、若しくはステー
ジ停止直後にパターンの測長等を行うと、前記ドリフト
により極めて精度の悪い測長等が行われてしまう。さり
とて、像の観察や測長等を、ドリフトが収まるまで、即
ち、モーターを停止させてから或る程度の時間をおいて
から行うと、像観察等を行うまでに時間が著しく掛か
り、スループットが悪化する。

【００１８】本発明は、この様な問題を解決するもの
で、新規なターゲット移動装置を提供するものである。

【００１９】

【課題を解決するための手段】本発明のターゲット移
動装置は、駆動用モータの軸に繋がった送りネジの回転
によりターゲットを載置したステージを移動させるよう
に成したターゲツト移動装置において、ステージにステ
ージ移動方向に伸びたブレーキング用レールが取り付け
られており、前記ブレーキング用レールを挟む様に対向
する少なくとも１対のブレーキングパッドと、該ブレー
キングパッドを前記ブレーキング用レールを挟む方向若
しくは逆方向に駆動するパッド駆動機構がベースに取り
付けられていることを特徴としている。

【００２０】又、本発明のターゲット移動装置は、駆動
用モータの軸に繋がった送りネジの回転によりターゲッ
トを載置したステージを移動させるように成したターゲ
ツト移動装置において、ステージにステージ移動方向に
伸びたブレーキング用レールが取り付けられており、内
部の変形支点部分を境に互いに対向する部分に開けられ
た一方の溝内に前記ブレーキング用レールを挟む様に対
向する少なくとも１対のブレーキングパッドが取り付け
られ、他方の溝内に電歪若しくは磁歪素子が取り付けら
れ、該電歪若しくは磁歪素子の変形に基づいて前記ブレ
ーキングパッドが前記ブレーキング用レールを挟む方向
若しくは逆方向に変位するように成したバネ部材をベー
スに取り付けたことを特徴としている。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を詳細に説明する。

【００２２】図２及び図３は本発明のターゲット移動装
置の主要部であるブレーキング機構の一例を示してい
る。図３は図２のＡ−Ａ断面図である。

【００２３】図３において、２０は従動部材、２１は固
定部材である。前記従動部材２０は、ステージそのもの
若しくはステージに一体化したしたもので、例えば、図
１における第１ステージ２や第２ステージ５に対応し、
固定部材２１は、従動部材が前者の第１ステージ２の場
合は第２ステージ５に対応し、後者の第２ステージ５の
場合はターゲット室１の底面（ベース）に対応する。

【００２４】この従動部材２０と固定部材２１との間に
ブレーキング機構が設けられている。このブレーキング
機構は、以下の様に構成されている。

【００２５】２２は従動部材２０に絶縁部材２３を介し
て固定されたブレーキング用レールで、従動体２０の移
動を案内するガイドレールに平行になるように設けられ
いる。２４は平行バネ部材で、全体としては直方体形状
をしており、その内部に断面がコの字状の溝２５が前記
ブレーキング用レール２２に平行になるように形成され
ている。該コの字状溝の内側の部分２６の中央部の上部
と下部にはそれぞれ前記ブレーキング用レール２２に平
行になるように溝２７，２８が開けられており、上側の
溝２７は前記ブレーキング用コイル２２の外径より少し
大きめの内径になるよう形成されている。そして、該上
側の溝内の中央部に前記ブレーキング用レール２２が位
置するように平行バネ部材２４が配置される。又、該上
側の溝２７のブレーキング用レール２２に対向する両内
側部には該ブレーキング用レール２２との間に隙間が出
来るようにブレーキングパッド２９Ａ，２９Ｂが取り付
けられている。これらのブレーキングパッド２９Ａ，２
９Ｂは電極３０Ａ，３０Ｂの周囲を高誘電体部材３０
Ｃ，３０Ｄで覆ったものである。一方、下側の溝２８内
の開口部には、前記ブレーキング用レール２２に垂直な
方向に変位するピエゾ素子３１が、該ブレーキングレー
ルに平行に取り付けられており、更に、同孔内の該ピエ
ゾ素子の直ぐ上に引っ張りバネ３２が取り付けられてい
る（図３においては引っ張りバネ３２は示されていな
い）。尚、前記上側の溝２７と下側の溝２８との境界部
３３は中心部に近づくに従って薄くなるように、上側の
溝２７と下側の溝２８の対向部は半円柱状に形成されて
おり、該境界部はブレーキ支点のヒンジを成している。

【００２６】一方、前記コの字状溝２５の外側の両柱状
部３４，３５の各上部と下部の２カ所３４Ａ，３４Ｂ、
３５Ａ，３５Ｂは、両側から前記ブレーキング用レール
２２に平行に半円柱状に削られており、該ブレーキング
用レールに対して垂直な方向に変位できるように、バネ
作用のヒンジ部を形成している。

【００２７】図中３６は前記ブレーキング用レール２２
に直流電圧を印加するための直流電源、３７は前記ブレ
ーキパッド２９Ａ，２９Ｂの各電極３０Ａ，３０Ｂに直
流電圧を印加するための直流電源である。

【００２８】さて、この様な構成のブレーキング機構を
図１に示す如き装置に使用した場合についての動作を説
明する。尚、前記した様に、従動部材２０は第１ステー
ジ２及び第２ステージ５に対応し、固定部材２１は、従
動部材が前者の第１ステージ２の場合は第２ステージ５
に対応し、後者の第２ステージ５の場合はターゲット室
１の底面（ベース）に対応するが、説明の便宜上、第２
ステージ５の移動，停止等の動作について説明し、同様
な動作を行う第１ステージ２の動作の説明は省略する。

【００２９】図４はタイミング図で、（ａ）サーボモー
ター８の移動・停止と同期しているステージの状態、即
ち、ステージの移動・停止のタイミング、（ｂ）はブレ
ーキーパッド２９Ａ，２９Ｂの状態、即ちブレーキング
レール２２に対する非接触・接触のタイミング、（ｃ）
は直流電源３６からブレーキングレール２２への電圧の
印加のタイミング、（ｄ）は直流電源３７からブレーキ
パッド２９Ａ，２９Ｂへの電圧の印加のタイミング、
（ｅ）はピエゾ素子３１への電圧の印加のタイミング図
を示しており、以下の動作説明はこのタイミング図に従
っている。

【００３０】最初、ピエゾ素子電源（図示せず）からの
ピエゾ素子３１への印加電圧を０としておく。従って、
ピエゾ素子３１は何ら変形せず、ブレーキング用レール
２２とブレーキングパッド２９Ａ，２９Ｂとの各間は隙
間が維持されたままである。尚、ステージ操作を行って
いる最中、直流電源３７からブレーキパッド２９Ａ，２
９Ｂの電極３０Ａ，３０Ｂに正の電圧を印加し続けてお
く。この状態において、直流電源３６からブレーキング
レール２２に正の電圧を印加する。そして、サーボモー
ター１３をサーボオンの状態、即ち、フィードバック制
御（モータのシャフトを所定の量回転させるための制御
で、シャフトの回転は常に監視されており、所定の回転
量と検出した回転量の差に対応した電気信号を送る様に
成した制御）が行われる状態にし、モーター制御装置
（図示せず）からサーボモーター１３に第２ステージ移
動量に相応するシャフト回転量に対応した電気信号を送
る。すると、モーター１３のシャフトの回転に同期して
該シャフトに繋がった送りネジ１２が回転し、第２ステ
ージ５はレール１１Ａ，１１Ｂ上を移動するので、ター
ゲット３がＹ方向に所定量移動することになる。

【００３１】次に、サーボーモーター１３が停止し、第
２ステージ５も停止するが、この停止とほぼ同時に（或
いは停止直後に）、ピエゾ素子電源（図示せず）からピ
エゾ素子３１へ正の電圧を印加する。すると、ピエゾ素
子３１は中心部から右側が＋Ｘ方向に、左側が−Ｘ方向
に広がる変形を起こし、コの字状溝２５の内側部２６の
内、境界部３３より下側の両柱部３４，３５が引っ張り
バネ３２の引っ張り力に抗して該境界部３３を支点とし
てブレーキング用レール２２に垂直な方向に広がるよう
に変位する。即ち、右側の柱部３４が＋Ｘ方向に、左側
の柱部３５が−Ｘ方向に広がる変位を起こし、該変形に
より、ブレーキングパッド２９Ａ，２９Ｂが前記境界部
３３を支点としてブレーキング用レール２２を挟む方向
に変位する。従って、ブレーキング用レール２２とブレ
ーキングパッド２９Ａ，２９Ｂとの各隙間が無くなり、
ブレーキングパッド２９Ａ，２９Ｂはブレーキング用レ
ール２２と接触する。この時更に、ピエゾ素子電源（図
示せず）からピエゾ素子３１へ印加される正の電圧を大
きくしてピエゾ素子３１の変形を大きくして、ブレーキ
ング用レール２２に対するブレーキングパッド２９Ａ，
２９Ｂの圧縮力を強め、ステージ停止のためのブレーキ
ングを完全にする。そして、この状態において、直流電
源３６からブレーキング用レール２２に負の電圧を印加
する。この様にブレーキングパッド２９Ａ，２９Ｂとブ
レーキングレール２２とが接触した状態（この状態にお
いては、高誘電体部材３０Ｃ，３０Ｄをそれぞれ挟んだ
ブレーキングパッド２９Ａ，２９Ｂとブレーキング用レ
ール２２とがそれぞれキャパシタを形成する状態にな
る）において該ブレーキング用レール２２へ負の電圧を
印加すると、ブレーキングパッド２９Ａ，２９Ｂの電極
３０Ａ，３０Ｂには正の電圧が印加されているので、各
電極３０Ａ，３０Ｂの周囲を覆っているブレーキングパ
ッド２９Ａ，２９Ｂの高誘電体部３０Ｃ，３０Ｄ表面に
電荷がチャージされ、ブレーキング用レール２２とブレ
ーキングパッド２９Ａ，２９Ｂとはクーロン力（引力）
により、よりブレーキングが強くなる。そして、サーボ
モーター１３をサーボオフの状態にして、サーボモータ
１３のシャフトが外力により自由に回転出来る状態にし
ておく。そして、この様なブレーキングの効いた第２ス
テージ５の停止中に、電子ビーム走査に基づく、或る領
域におけるＩＣパターンの観察や測長等が行われる。

【００３２】次に、サーボモーター１３をサーボオンの
状態にして、サーボモータ１３のシャフトが外力により
自由に回転出来ない状態にしておく。そして、ピエゾ素
子電源（図示せず）からのピエゾ素子３１への印加電圧
を０とし、ピエゾ素子３１を元の変形にない状態に戻
す。すると、このピエゾ素子３１の動きに同期して右側
の柱部３４が−Ｘ方向に、左側の柱部３５が＋Ｘ方向に
変位して元の変位の無い状態に戻る。それにより、ブレ
ーキングパッド２９Ａ，２９Ｂが境界部３３を支点とし
てブレーキング用レール２２から離れる方向に変位し、
ブレーキング用レール２２とブレーキングパッド２９
Ａ，２９Ｂとの間に隙間が出来る。この状態において、
直流電源３６からブレーキング用レール２２に正の電圧
を印加すると、ブレーキングパッド２９Ａ，２９Ｂの電
極３０Ａ，３０Ｂには正の電圧が印加されているので、
ブレーキング用レール２２とブレーキングパッド２９
Ａ，２９Ｂとはクーロン力（斥力）により互いに反発し
合い、ブレーキング用レール２２とブレーキングパッド
２９Ａ，２９とは非接触がより完全になる。この状態に
おいて、モーター制御装置（図示せず）からサーボモー
ター１３に第２ステージ移動量に相応するシャフト回転
量に対応した電気信号を送る。すると、モーター１３の
シャフトの回転に同期して該シャフトに繋がった送りネ
ジ１２が回転し、第２ステージ５はレール１１Ａ，１１
Ｂ上を移動するので、ターゲット３がＹ方向に所定量移
動することになる。

【００３３】以後同様な一連の操作が繰り返される。

【００３４】尚、前記プレーキングパッド２９Ａ，２９
Ｂの各電極３０Ａ，３０Ｂを覆っている高誘電体部材３
０Ｃ，３０Ｄとして、例えば、ＰＺＴ（チタン酸ジルコ
ン酸鉛）の如き誘電率の９ｌ強い誘電体を用いても良
い。この様な誘電体を使用することにより、ステージ停
止時における高誘電体部材３０Ｃ，３０Ｄの電荷のチャ
ージ量をより高め、それにより、ステージ移動時のブレ
ーキング用レール２２とブレーキングパッド２９Ａ，２
９Ｂ間の斥力をより大きくでき、結果として、ステージ
移動時のブレーキングレール２２とブレーキングパッド
２９Ａ，２９Ｂ間の非接触をより確実に出来る。

【００３５】又、前記例ではピエゾ素子を用いたが磁歪
素子を用いても良い。

【００３６】又、本発明は電子ビームを使用したＩＣパ
ターンの測長や観察等を行う装置のターゲット移動装置
だけではなく、イオンビームを使用した同様な装置や、
電子ビームやイオンビームを使用した描画装置のターゲ
ット移動装置や、レーザービーム等を使用した同様な装
置等の放射ビーム装置のターゲット移動装置に使用可能
である。

【００３７】以上説明したように本発明では、モーター
若しくはステージ停止時にブレーキング機構を使用して
ステージが移動しないようにしているので、譬え、送り
ネジの発熱があっても、該発熱に基づくステージの移動
が発生しない。従って、モーター若しくはステージ停止
直後にパターンの測長等を行っても、精度の良い測長等
が行われる。又、精度の高い測長などが、モーター若し
くはステージ停止直後に行えるので、スループットが向
上する。

【００３８】又、本発明のブレーキング機構は、ピエゾ
素子の変形に基づき、複数のブレーキングパッドを、ブ
レーキを掛ける時はステージに取り付けられたブレーキ
ング用レールを挟む方向に、ブレーキを解除する時はブ
レーキング用レールから離れる方向に動かす様に成した
ので、ソフトなブレーキング及びブレーキング解除が出
来る。従って、ブレーキング時に反力が発生がしない。
譬え反力が発生しても、極めて小さい。従って、反力に
よるがステージへのブレが無く、試料像の観察や測長等
などが精度良く行われる。

【００３９】又、本発明のブレーキング機構は、更に、
ブレーキング用レールとブレーキングパッドを共に電極
の役目を兼ねらせ、ブレーキング時には互いに反対の極
性の電位を与えて互いの間に引力を働かせてブレーキン
グ用レールとブレーキングパッドの接触を強いものと
し、ブレーキング解除時には互いに異なった極性の電位
を与えて互いの間に斥力を働かせてブレーキング用レー
ルとブレーキングパッドの非接触を確実なものに成るよ
うにしたので、ブレーキング及びブレーキング解除が確
実に行われる。しかも、この様に、ブレーキング解除時
にブレーキング用レールとブレーキングパッドとを確実
に非接触状態に出来るので、ブレーキング解除後に行わ
れるステージ移動中に、ブレーキング用レールとブレー
キングパッドの接触に基づく発塵の発生が全くない。

【００４０】尚、前記例では、コの字状溝２５の外側の
両柱状部３４，３５の各上部と下部の２カ所に、ブレー
キング用レール２２に対して垂直な方向に柔軟に変位で
きるように、バネ作用のヒンジ部３４Ａ，３４Ｂ、３５
Ａ，３５Ｂが形成されているので、前記ブレーキング用
レール２２とブレーキングパッド２９Ａ，２９Ｂが互い
に反発し合った時に、ステージ移動時におけるブレーキ
ング用レール２２とブレーキングパッド２９Ａ，２９Ｂ
との間の隙間がより確実に維持される。

【図面の簡単な説明】

【図１】ターゲット移動装置の一概略例を示す。

【図２】本発明のターゲット移動装置の主要部である
ブレーキング機構の一例を示している。

【図３】図２のＡ−Ａ断面図である。

【図４】図２及び図３に示すターゲット移動装置に関
するタイミング図でる。

【符号の説明】１…ターゲット室２…第１ステージ３…ターゲット４…ホルダ５…第２ステージ６Ａ，６Ｂ，１０Ａ，１０Ｂ，１１Ａ，１１Ｂ…ガイド
レール７，１２…送りネジ８，１３…サーボモーター９…ガイド２０…従動部材２１…固定部材２２…ブレへキング用レール２３…絶縁部材２４…平行バネ部材２５…コの字状溝２７，２８…溝２９Ａ，２９Ｂ…ブレーキングパッド３０Ａ，３０Ｂ…電極３０Ｃ，３０Ｄ…高誘電体部材３１…ピエゾ素子３２…引っ張りバネ３３…境界部３４，３５…柱状部３６，３７…直流電源

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】駆動用モータの軸に繋がった送りネジの
回転によりターゲットを載置したステージを移動させる
ように成したターゲツト移動装置において、ステージに
ステージ移動方向に伸びたブレーキング用レールが取り
付けられており、前記ブレーキング用レールを挟む様に
対向する少なくとも１対のブレーキングパッドと、該ブ
レーキングパッドを前記ブレーキング用レールを挟む方
向若しくは逆方向に駆動するパッド駆動機構がベースに
取り付けられていることを特徴とするターゲット移動装
置。
【請求項２】駆動用モータの軸に繋がった送りネジの
回転によりターゲットを載置したステージを移動させる
ように成したターゲツト移動装置において、ステージに
ステージ移動方向に伸びたブレーキング用レールが取り
付けられており、内部の変形支点部分を境に互いに対向
する部分に開けられた一方の溝内に前記ブレーキング用
レールを挟む様に対向する少なくとも１対のブレーキン
グパッドが取り付けられ、他方の溝内に電歪若しくは磁
歪素子が取り付けられ、該電歪若しくは磁歪素子の変形
に基づいて前記ブレーキングパッドが前記ブレーキング
用レールを挟む方向若しくは逆方向に変位するように成
したバネ部材をベースに取り付けたことを特徴とするタ
ーゲット移動装置。
【請求項３】前記ブレーキング用レールを導電体部材
で、前記ブレーキングパッドを誘電体部材で覆われた導
電体部材で成し、各々の導電体部材に直流電圧を印加す
る事が出来る電圧源を設けたことを特徴とする請求項１
〜２記載の何れかのターゲット移動装置。
【請求項４】前記バネ部材は、直方体形状をしてお
り、その内部に断面がコの字状の溝が前記ブレーキング
用レールに平行になるように形成されており、該溝内部
の変形支点部分を境に互いに対向する部分に開けられ一
方の溝内に前記ブレーキング用レールを挟む様に対向す
る少なくとも１対のブレーキングパッドが取り付けら
れ、他方の溝内に電歪若しくは磁歪素子が取り付けら
れ、該電歪若しくは磁歪素子の変形に基づいて前記ブレ
ーキングパッドが前記ブレーキング用レールを挟む方向
若しくは逆方向に変位するように成し、前記コの字状溝
の外側の両方の各柱状部の少なくとも１カ所に前記ブレ
ーキング用レールに対して垂直な方向に変位できるバネ
作用のヒンジ部を形成したことを特徴とする請求項１〜
請求項３記載の何れかのターゲット移動装置。
【請求項５】前記電歪素子若しくは磁歪素子は、ステ
ージ停止時には前記ブレーキングパッドが前記ブレーキ
ング用レールを挟む方向に、ステージ移動時には逆方向
に変位するように変形するように駆動されることを特徴
とする請求項１〜４記載の何れかのターゲット移動装置
【請求項６】前記電圧源から前記ブレーキング用レー
ルと前記ブレーキングパッドへ印加される電圧は、前記
ステージ移動時には同じ極性の電圧が印加され、ステー
ジ停止時には互いに逆極性の電圧が印加されることを特
徴とする請求項３〜５記載の何れかのターゲット移動装
置。
【請求項７】前記バネ部材は平行バネであることを特
徴とする請求項１〜６記載の何れかのターゲット移動装
置。