JP2001194540A - 光路変換部品及びその作製方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 装置内光配線において、光配線の任意の位置
に容易に挿入でき、かつ小型で高密度な光路変換が可能
な多チャネル光路変換部品及び多チャネルビームスプリ
ッタを得る。 【解決手段】 ３次元光導波路のコアに、光の入射端、
出射端及び反射面を有し、前記反射面における反射を利
用して所定の角度に光の伝搬方向を偏向する曲がり光導
波路からなる、光路変換部品又は多チャネル光路変換部
品であって、前記多チャネル光路変換部品が、曲がり角
の概ね等しい複数の前記曲がり光導波路により構成さ
れ、前記複数の曲がり光導波路は、その光の入射端、出
射端及び反射面がそれぞれ独立の平面上に所定の間隔で
並列に積層されており、かつ前記複数の曲がり光導波路
のコアは、光の入射端、出射端及び反射面を除いて、コ
アより屈折率の低い物質で覆われている多チャネル光路
変換部品である。また、これを用いた多チャネルビーム
スプリッタである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光を利用して信号
を伝送する交換装置、通信装置、及び情報処理装置等に
用いられる光配線を高密度に配線するための、多チャネ
ルの光路変換部品及びその作製方法に適用して有効な技
術に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年の情報通信装置の発展に伴い、これ
らの装置内部における信号配線の容量不足が問題となり
つつあり、これを解消するために装置内部への光配線の
導入が検討され始めている。装置内部においては、装置
間を接続する場合と異なり、高密度の光配線を限られた
スペースに収容する必要があるため、例えば狭い間隔で
並んだ光デバイス間の接続や、面型光素子と光配線との
光結合、あるいは光配線のコーナリングを行うにあた
り、光配線を急峻に曲げて光路を変換することが重要と
なる。光路変換に関する従来技術では、前記の用途に適
合する代表的な例として以下の方法などが報告されてい
る。

【０００３】（１）柔軟性に富む高分子系の光ファイバ
を所定の間隔で複数並列させ、前記光ファイバの端面を
面型光素子と対向させて光結合を行い、その先を半円柱
状の部材に沿わせて９０°に曲げる方法（A. Neyer et
al, “Plastic-Optical-Fiber-Based Parallel Optical
Interconnects”, IEEE Journal of Selected Topics
in Quantum Electronics, vol.5, No.2 pp.193-200, 19
99、参照）。図１３は、前記（１）の方法を説明するた
めの図であり、３０はプラスチック光ファイバ、３１は
面型光素子、３２は実装基板、３３は半円柱状部材であ
る。

【０００４】（２）特開平１０−３００９６１号公報に
代表されるように、多チャネル光導波路の一端に所定の
傾斜角度を有する傾斜端面を形成して反射面とし、光路
を概ね９０°変換させて、例えば面型光素子等と光結合
を行う方法。図１４は、前記（２）の方法を説明するた
めの図であり、３４はコア層、３５はクラッド層、３６
は傾斜端面、３７は面発光レーザ、３８はレーザ光であ
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記
（１）の方法では、図１３に示すように、高密度に並列
した光配線を方向転換させる簡便な方法ではあるが、曲
げ半径を一定値以上に小さくすると曲げ損失が急増す
る、曲げ半径を固定する半円柱状部材３３の占める体積
が余分に必要となる、前記部材を用いないと多チャネル
光ファイバの曲げ半径が一定にならず損失等のばらつき
が生じる恐れがある、という問題があった。

【０００６】また、前記（２）の方法は、図１４に示す
ように、小型かつ高密度の光路変換を実現する優れた方
法であるが、反射面（傾斜端面）３６から出射あるいは
反射面に入射する光はコア層３４に閉じ込められず空間
を伝播するため、反射した光や入射する光のビーム径の
広がりが問題となる場合があり、また、光配線の途中に
挿入することが難しいため、光配線のコーナリングなど
の用途には適さない。

【０００７】前記課題を解決するためには、光を閉じ込
めたまま光路変換を行い、かつ光路変換を行うのに必要
なスペースを最小限にすることが望ましい。図１５に示
すような、反射を利用して光の伝搬方向を偏向する曲が
り光導波路（以下これを曲がり光導波路と称す）は、前
記の条件を満たす有力な候補の一つである。しかしなが
ら、コア層２を伝搬する光を反射させるには、一般に反
射面５を空気層に露出させてコア層２と空気との屈折率
差を利用するため、コア層２をクラッド層４０で埋め込
むことが難しく、多チャネル化を行うのが困難であっ
た。

【０００８】前記図１５において、２は曲がり光導波路
のコア層、４は入射端、５は反射面、６は出射端、３９
は基板、４０はクラッド層である。

【０００９】本発明の目的は、装置内光配線において、
光配線の任意の位置に容易に挿入でき、かつ小型で高密
度な光路変換が可能な多チャネル光路変換部品を提供す
ることにある。

【００１０】本発明の他の目的は、装置内光配線におい
て、光配線の任意の位置に容易に挿入でき、かつ小型で
高密度な光路変換が可能な多チャネルビームスプリッタ
を提供することにある。

【００１１】本発明の他の目的は、光配線の任意の位置
に容易に挿入でき、かつ小型で高密度な光路変換が可能
な多チャネル光路変換部品及び多チャネルビームスプリ
ッタを容易に製作することが可能な技術を提供すること
にある。

【００１２】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述及び添付図面によって明らか
にする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。

【００１４】（１）少なくとも片端に傾斜端面を有し、
かつ前記傾斜端面の傾斜角及び傾斜端面における光導波
路コアのサイズ、配置等が概ね等しい一対の光導波路
の、前記傾斜端面同士を対向させ、この傾斜端面におけ
る光導波路のコアが概ね一致するように前記傾斜端面同
士を接続し、前記一対の光導波路が概ねＶ字型に固定さ
れ、前記Ｖ字型の光導波路の頂部を除去してコアを所定
の位置まで露出させて反射面が設けられている光路変換
部品である。

【００１５】（２）３次元光導波路のコアに、光の入射
端、出射端及び反射面を有し、前記反射面における反射
を利用して所定の角度に光の伝搬方向を偏向する曲がり
光導波路からなる多チャネル光路変換部品であって、前
記多チャネル光部品が、曲がり角の概ね等しい複数の前
記曲がり光導波路により構成され、前記複数の曲がり光
導波路は、その光の入射端、出射端及び反射面がそれぞ
れ独立の平面上に所定の間隔で並列に積層されており、
かつ前記複数の曲がり光導波路のコアは、光の入射端、
出射端及び反射面を除いて、コアより屈折率の低い物質
で覆っている多チャネル光路変換部品である。

【００１６】（３）前記手段（２）の多チャネル光路変
換部品において、少なくとも片端に傾斜端面を有し、か
つ前記傾斜端面の傾斜角及び傾斜端面における複数の光
導波路コアのサイズ、配置等が概ね等しい一対の多チャ
ネル光導波路の、前記傾斜端面同士を対向させ、この傾
斜端面における光導波路のコアが概ね一致するように前
記傾斜端面同士を接続し、前記一対の多チャネル光導波
路を概ねＶ字型に固定し、前記Ｖ字型の多チャネル光導
波路の頂部を除去してコアを所定の位置まで露出させて
反射面を設けている。

【００１７】（４）前記手段（３）の多チャネル光路変
換部品において、一対の多チャネル光導波路の傾斜端面
におけるコアが概ね一致するように前記傾斜端面同士を
接続し、前記多チャネル光導波路のコアと屈折率が概ね
等しい液状の光学接着剤で接続部の間隙を充填して接着
し、前記光学接着剤あるいは他の接着剤で残部が埋めら
れている。

【００１８】（５）前記手段（３）又は（４）の多チャ
ネル光路変換部品において、一対の多チャネル光導波路
の傾斜端面におけるコアが概ね一致するように前記傾斜
端面同士を接続し、前記多チャネル光導波路のコアと屈
折率が概ね等しい液状の光学接着剤で接続部の間隙を充
填し、液晶ポリマー等の有機高分子材料又はガラス等の
無機材料からなる、概ねＶ字型の断面形状を有する部材
を前記一対の多チャネル光導波路間に挿入し、接着剤等
を用いて多チャネル光導波路に固定した。

【００１９】（６）前記手段（２）乃至（５）のうちい
ずれか１つの多チャネル光路変換部品において、前記多
チャネル光路変換部品の反射面に、金属あるいは誘電体
多層膜をコーティングしたものである。

【００２０】（７）前記手段（６）の多チャネル光路変
換部品において、前記多チャネル光路変換部品と概ね等
しい大きさのＶ字型の間隙を構成し、前記多チャネル光
路変換部品を、前記傾斜端面のコアが一致するように位
置合わせした一対の多チャネル光導波路間に挿入し、前
記多チャネル光導波路のコアと屈折率が概ね等しい液状
の光学接着剤で全ての間隙を充填して固定し、接続した
前記多チャネル光導波路の頂部を除去して前記多チャネ
ル光導波路のコアを所定の位置まで露出させて反射面を
構成し、この反射面に金属あるいは誘電体多層膜をコー
ティングし、反射を利用して光の伝搬方向を偏向する多
チャネルの曲がり光導波路の、光の入出射端をそれぞれ
２次元的に並列させたものである。

【００２１】（８）前記手段（２）乃至（７）のうちい
ずれか１つの多チャネル光路変換部品において、前記傾
斜端面を有する多チャネル光導波路として、コアと平行
な側面のうち少なくとも一方を基板に垂直な平面とした
一対の多チャネル光導波路を用いたものである。

【００２２】（９）前記手段（１）乃至（８）のうちい
ずれか１つの光路変換部品において、前記光導波路とし
て、石英などの無機材料、エポキシ系樹脂、ポリイミ
ド、ポリメチルメタクリレートなどの有機高分子材料、
これらの組合わせのうちいずれか１つから成る、埋込型
の方形光導波路を用いたものである。

【００２３】（１０）前記手段（１）乃至（８）のうち
いずれか１つの光路変換部品において、前記光導波路と
して、石英系光ファイバ、ハードクラッド石英光ファイ
バ、プラスチック光ファイバのうちいずれか１つを用い
たものである。

【００２４】（１１）３次元光導波路のコアに、光の入
射端、出射端及び反射面を有し、前記反射面における反
射を利用して所定の角度に光の伝搬方向を偏向する曲が
り光導波路からなる多チャネル光路変換部品製作方法で
あって、少なくとも片端に傾斜端面を有し、かつ前記傾
斜端面の傾斜角及び傾斜端面における複数の光導波路コ
アのサイズ、配置等が概ね等しい一対の光導波路を形成
し、前記傾斜端面同士を対向させ、この傾斜端面におけ
る光導波路のコアが概ね一致するように前記傾斜端面同
士を接続し、前記一対の光導波路を概ねＶ字型に固定
し、前記Ｖ字型の多チャネル光導波路の頂部を除去して
コアを所定の位置まで露出させて反射面を形成する。

【００２５】（１２）前記手段（１１）の多チャネル光
路変換部品作製方法において、一対の多チャネル光導波
路の傾斜端面におけるコアが概ね一致するように前記傾
斜端面同士を位置合わせして接続し、前記多チャネル光
導波路のコアと屈折率が概ね等しい液状の光学接着剤で
接続部の間隙を充填して接着し、さらに前記光学接着剤
あるいは他の接着剤で残部を埋める。

【００２６】（１３）前記手段（１２）の多チャネル光
路変換部品作製方法において、一対の多チャネル光導波
路の傾斜端面におけるコアが概ね一致するように前記傾
斜端面同士を位置合わせして接続し、前記多チャネル光
導波路のコアと屈折率が概ね等しい液状の光学接着剤で
接続部の間隙を充填して接着し、さらに液晶ポリマー等
の有機高分子材料又はガラス等の無機材料からなる、概
ねＶ字型の断面形状を有する部材を前記一対の多チャネ
ル光導波路間に挿入し、接着剤等を用いて多チャネル光
導波路に固定する。

【００２７】（１４）前記手段（１２）又は（１３）の
多チャネル光路変換部品作製方法において、前記多チャ
ネル光路変換部品の反射面に、金属あるいは誘電体多層
膜をコーティングする。

【００２８】（１５）前記手段（１２）乃至（１４）の
うちいずれか１つの多チャネル光路変換部品作製方法に
おいて、前記多チャネル光路変換部品と概ね等しい大き
さのＶ字型の間隙を構成し、前記多チャネル光路変換部
品を、前記傾斜端面のコアが一致するように位置合わせ
した一対の多チャネル光導波路間に挿入し、前記多チャ
ネル光導波路のコアと屈折率が概ね等しい液状の光学接
着剤を用いて全ての間隙を充填して固定し、接続した前
記多チャネル光導波路の頂部を除去して前記多チャネル
光導波路のコアを所定の位置まで露出させて反射面を形
成したのち、金属あるいは誘電体多層膜をコーティング
して、この工程を少なくとも１回以上繰り返すことによ
り、反射を利用して光の伝搬方向を偏向する多チャネル
の曲がり光導波路の、光の入出射端をそれぞれ２次元的
に並列させる。

【００２９】（１６）前記手段（１２）乃至（１５）の
うちいずれか１つの多チャネル光路変換部品作製方法に
おいて、前記傾斜端面を有する多チャネル光導波路とし
て、コアと平行な側面のうち少なくとも一方を基板に垂
直な平面とした一対の多チャネル光導波路を用い、前記
側面を基準面とすることにより、コアを横断する方向の
位置合わせを概ね受動的に行う。

【００３０】（１７）前記手段（１２）乃至（１６）の
うちいずれか１つの多チャネル光路変換部品作製方法に
おいて、同一基板上に作製し、あるいは整列させて固定
した多チャネル光導波路を、概ねＶ字型の断面形状を有
する切削刃を用いてコアを横断する方向に切削すること
により、傾斜端面におけるコアのサイズや間隔が概ね等
しく、さらに位置や形状等が概ね左右対称である一対の
多チャネル光導波路を作製し、これを請求項２に記載の
一対の多チャネル光導波路として用いる。

【００３１】（１８）前記手段（１１）乃至（１７）の
うちいずれか１つの光路変換部品作製方法において、前
記光導波路として、石英などの無機材料、エポキシ系樹
脂、ポリイミド、ポリメチルメタクリレートなどの有機
高分子材料、これらの組合わせのうちいずれか１つから
成る、埋込型の方形光導波路を用いる。

【００３２】（１９）前記手段（１１）乃至（１７）の
うちいずれか１つの光路変換部品作製方法において、前
記光導波路として、石英系光ファイバ、ハードクラッド
石英光ファイバ、プラスチック光ファイバのうちいずれ
か１つを用いる。

【００３３】（２０）３次元光導波路のコアに、光の入
射端、出射端及び反射面を有し、前記反射面における反
射を利用して所定の角度に光の伝搬方向を偏向する曲が
り光導波路からなる光路変換部品が、曲がり角の概ね等
しい複数の前記曲がり光導波路により構成される光路変
換部品を有する、３次元光導波路で構成されたビームス
プリッタであって、前記曲がり光導波路で、反射面に所
定の反射率及び透過率を有する金属膜あるいは誘電体多
層膜を有するものに、透過光を伝搬するための別の３次
元光導波路あるいは曲がり光導波路を接続した構造を有
し、前記ビームスプリッタが光を入射あるいは出射する
コア端面を除いて、コアより屈折率の低い物質で覆われ
ている。

【００３４】（２１）３次元光導波路のコアに、光の入
射端、出射端及び反射面を有し、前記反射面における反
射を利用して所定の角度に光の伝搬方向を偏向する曲が
り光導波路からなる多チャネル光路変換部品が、曲がり
角の概ね等しい複数の前記曲がり光導波路により構成さ
れる多チャネル光路変換部品を有する、３次元光導波路
で構成された多チャネルのビームスプリッタであって、
前記曲がり光導波路で、反射面に所定の反射率及び透過
率を有する金属膜あるいは誘電体多層膜を有するもの
に、透過光を伝搬するための別の３次元光導波路あるい
は曲がり光導波路を接続した構造を有し、前記多チャネ
ルビームスプリッタが、複数の前記ビームスプリッタを
光の入出射方向を揃えて積層した構造を有し、かつ前記
複数のビームスプリッタが光を入射あるいは出射するコ
ア端面を除いて、コアより屈折率の低い物質で覆われて
いる。

【００３５】（２２）前記手段（２）乃至（１０）のう
ちいずれか１つの多チャネル光路変換部品のうち、曲が
り光導波路のなす角が概ね９０°である部品の反射面
に、所定の反射率及び透過率を得るよう、金属あるいは
誘電体多層膜の膜厚を制御しながらコーティングしたの
ち、少なくとも片端に概ね４５°の傾斜端面を有し、前
記傾斜端面におけるコアの配列が前記多チャネル光路変
換部品の反射面と概ね等しいもう一つの多チャネル光導
波路を、前記傾斜端面におけるコアが前記多チャネル光
路変換部品の反射面におけるコアと一致するように位置
合わせして、その接続部の間隙を前記多チャネル光導波
路あるいは多チャネル光路変換部品のコアと概ね等しい
屈折率を有する液状の光学接着剤を用いて充填し固定す
ることにより、小型かつ多チャネルの１×２ビームスプ
リッタを得る。

【００３６】（２３）前記手段（２）乃至（１０）のう
ちいずれか１つの多チャネル光路変換部品の反射面に、
所定の反射率及び透過率を得るよう、金属あるいは誘電
体多層膜の膜厚を制御しながらコーティングしたのち、
反射面におけるコアの配列が前記多チャネル光路変換部
品と概ね等しく、かつ反射面に金属あるいは誘電体多層
膜のコーティングを施さないもう一つの前記手段（２）
乃至（１０）のうちいずれか１の多チャネル光路変換部
品を、それぞれの反射面におけるコアが一致するように
位置合わせして、その接続部の間隙を前記多チャネル光
導波路あるいは多チャネル光路変換部品のコアと概ね等
しい屈折率を有する液状の光学接着剤を用いて充填し固
定することにより、小型かつ多チャネルの２×２のビー
ムスプリッタを得る。

【００３７】（２４）前記手段（２２）又は（２３）の
多チャネルビームスプリッタ作製方法において、傾斜端
面を有する多チャネル光導波路として、コアと平行な側
面のうち少なくとも一方を基板に垂直な平面とした一対
の多チャネル光導波路を用い、前記側面を基準面とする
ことにより、コアを横断する方向の位置合わせを概ね受
動的に行う。

【００３８】（２５）前記手段（２１）乃至（２４）の
うちいずれか１つ多チャネルビームスプリッタ作製方法
において、同一基板上に作製し、あるいは整列させて固
定した多チャネル光導波路を、概ねＶ字型の断面形状を
有する切削刃を用いてコアを横断する方向に切削するこ
とにより、傾斜端面におけるコアのサイズや間隔が概ね
等しく、さらに位置や形状等が概ね左右対称である一対
の多チャネル光導波路を作製し、これを請求項２に記載
の一対の多チャネル光導波路として用いる。

【００３９】（２６）前記手段（２０）乃至（２５）の
うちいずれか１つビームスプリッタ作製方法において、
前記光導波路として、石英などの無機材料、エポキシ系
樹脂、ポリイミド、ポリメチルメタクリレートなどの有
機高分子材料、これらの組合わせのうちいずれか１つか
ら成る、埋込型の方形光導波路を用いる。

【００４０】（２７）前記手段（２０）乃至（２５）の
うちいずれか１つビームスプリッタ作製方法において、
前記光導波路として、石英系光ファイバ、ハードクラッ
ド石英光ファイバ、プラスチック光ファイバのうちいず
れか１つを用いる。

【００４１】本発明のポイントは、前記曲がり光導波路
を多チャネル化するために、あらかじめ平面上にコアを
複数並列させた光導波路（多チャネル光導波路）を用い
ることを特徴とし、前記多チャネル光導波路の少なくと
も一方の端部に所定の傾斜角を有する傾斜端部を設けた
ものを一対用意して前記傾斜端面同士を対向させ、傾斜
端面におけるコアが概ね一致するように接続し、見かけ
上コアがＶ字型に折れ曲がった状態として多チャネル光
導波路を固定したのちに、前記Ｖ字型の多チャネル光導
波路の頂部を所定の位置まで除去して複数のコアを一括
して空気層に露出させ、反射面とすることにより、図１
に示すような複数の曲がり光導波路を積層し、かつコア
の反射面のみを空気層に露出させた構造を得ることであ
る。

【００４２】なお、前記光路変換機能を有する光導波路
としては、方形の埋込型光導波路と光ファイバ型光導波
路とがある。以下、本発明で単に光導波路と記した場合
は、これら方形の埋込型光導波路と光ファイバ型光導波
路とを含むものとし、それぞれを特に示す場合は、一方
を埋込型光導波路、他方を光ファイバと称する。

【００４３】以上説明したように、本発明による多チャ
ネル光路変換部品及び多チャネル光路変換部品作製方法
を用いると、簡易な工程により曲がり光導波路を積層し
て多チャネル化することができる。

【００４４】また、基板上にエッチング、パターニン
グ、リソグラフィ等により作製するか、あるいは位置決
め溝等を有する基板に整列させて固定した、傾斜端面を
有する多チャネル光導波路を、コアと平行する方向に切
り出して基板に垂直かつ平坦な側面を形成するか、ある
いは予めコアと平行する方向に切り出した基板に前記傾
斜端面を有する多チャネル光導波路を作製することによ
り、前記基板に垂直な側面を基準面として、コアを横断
する方向の位置合わせを精度よくかつ受動的に行うこと
ができる。

【００４５】さらに、同一基板上にエッチング、パター
ニング、リソグラフィ等により作製し、あるいは位置決
め溝等を有する基板に整列させて固定した傾斜端面を有
する多チャネル光導波路を、例えば、所定の角度を有す
る概ねＶ字型の断面形状を有する切削刃を用いてコアを
横断する方向に切削するなどの手段を用いて（特開平１
０−３００９６１号公報、参照）その途中に左右対称の
一対の傾斜端面を形成し、前記左右対称の多チャネル光
導波路を用いて前前記光路変換部品を作製することによ
り、傾斜端面におけるコアのサイズや形状、コアの間
隔、基板裏面からコアまでの厚み等が概ね一致し、これ
らのばらつきが無視できるようになる。

【００４６】また、積層した曲がり光導波路のコアにつ
いて、反射面のみを空気中に露出させ、それ以外の部分
をコアより屈折率の低いクラッドに埋め込むことができ
るため、反射面に金属あるいは誘電体多層膜をコーティ
ングすることが可能となる。

【００４７】これにより、例えば、前記多チャネル光路
変換部品をコネクタ等の筐体に封止したりボード等に埋
め込むことが可能となり、実装の自由度を広げることが
できる。

【００４８】さらに、反射面にコーティングする金属あ
るいは誘電体多層膜の膜厚を注意深く制御することによ
り、反射面に任意の反射率及び透過率を付与することが
可能となるため、反射面に所定の膜厚のコーティングを
施した多チャネル光路変換部品に、コーティングを施さ
ないもう一つの多チャネル光路変換部品、あるいは傾斜
端面を有する多チャネル光導波路を接続すれば、光バス
等に応用可能な小型の１×２あるいは２×２ビームスプ
リッタを作製することができる。

【００４９】以上の説明からわかるように、本発明によ
る光路変換部品の作製方法を用いると、高密度な多チャ
ネル光路変換部品ならびに多チャネルビームスプリッタ
を容易に作製することができる。

【００５０】以下、本発明について、図面を参照して実
施の形態（実施例）とともに詳細に説明する。

【００５１】なお、実施例を説明するための全図におい
て、同一機能を有するものは、同一符号をつけ、その繰
り返しの説明は省略する。

【００５２】

【発明の実施の形態】（実施例１）本発明による実施例
１の多チャネル光路変換部品は、反射を利用して所定の
角度に光の伝搬方向を変更する、３次元光導波路からな
る曲がり光導波路を、その光の入射端、出射端及び反射
面を除いてコアより屈折率の低いクラッドで埋め込み、
これを積層する方向に多チャネル化した光路変換部品で
ある。図１は、本実施例１の多チャネル光路変換部品の
概略構成を示す図であり、図１（ａ）は、多チャネル光
路変換部品の斜視図、図１（ｂ）は、多チャネル光路変
換部品を上から見た上平面図である。

【００５３】図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、
本実施例１の多チャネル光路変換部品１は、例えば、９
０°に折れ曲がった前記曲がり光導波路のコア層２を、
クラッド層３を挟んで一定の間隔をおいて８チャネル積
層させることにより、それぞれの入射端４、反射面５、
出射端６をそれぞれ独立の平面７、８、９に８個ずつ並
列させた光路変換部品である。

【００５４】前記多チャネル光路変換部品１において、
入射端４に入射した光は、反射面５において空気層とコ
ア層２の屈折率差によりほぼ全反射されてその伝搬方向
を９０°偏向し、出射端６から出射される。

【００５５】従って、入射端４が並列した平面７と出射
端６が並列した平面９に例えば８チャネルの光ファイバ
アレイを接続すれば、前記光ファイバアレイ間で９０°
の光路変換をコンパクトに行うことが可能となる。

【００５６】なお、本実施例１では主に９０°の光路変
換を取り上げたが、本実施例１の内容を逸脱しない範囲
であれば、光路変換の角度は任意で構わない。また、チ
ャネル数として８チャネルの例を取り上げたが、本実施
例１の内容を逸脱しない範囲であれば、チャネル数は任
意で構わず、さらに、隣り合う曲がり光導波路の間隔は
必ずしも等間隔でなくても構わない。また、光路変換は
光ファイバ同士だけでなく、光導波路、光素子、あるい
はそれらの任意の組み合わせの間で行っても構わない。

【００５７】（実施例２）図２は、本発明による実施例
２の光路変換部品の作製方法の例を示し、（ａ）、
（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）は、本実施例２の光路変換部品
の作製方法における各工程時の構成を示す模式図であ
る。

【００５８】本実施例２の光路変換部品の作製方法は、
図２（ａ）に示すように、片端に傾斜角４５°の斜め研
磨面（傾斜端面）１０を有する、コア径５０μｍ、クラ
ッド径１２５μｍの短尺の石英系マルチモード光ファイ
バ１１を１６本用意し、２５０μｍ間隔で８本のＶ溝を
有する２つのガラスブロック１２に、斜め研磨面１０の
先端がガラスブロック１２より一定量突き出し、かつ研
磨面が上を向くようにそれぞれ整列させ、接着剤１３を
用いて前記マルチモード光ファイバ１１とガラスブロッ
ク１２を固定する 次に、図２（ｂ）に示すように、前
記ガラスブロック１２を、光ファイバの斜め研磨面１０
Ａ，１０Ｂ同士が向き合うように対向させ、前記研磨面
における光ファイバのコア層１４Ａ，１４Ｂ同士が一致
するようにガラスブロック１２をそれぞれ４５°ずつ傾
けてＶ字型に接続する。

【００５９】次に、図２（ｃ）に示すように、ガラスブ
ロック間及び光ファイバ接続部にコア層１４と等しい屈
折率を有する液状の紫外線硬化型（以下、ＵＶ硬化型と
称す）光学接着剤１５を滴下し、紫外線を照射して硬化
させ固定する。

【００６０】続いて、前記Ｖ字型に固定した光ファイバ
の接続部の先端部１６を水平に研磨して除去し、図２
（ｄ）に示すように、接続部における光ファイバのコア
層１４を露出させて反射面５を一括形成し、図１に示す
ような８チャネルの多チャネル光路変換部品１を作製し
た。

【００６１】作製した多チャネル光路変換部品１の光の
入射端４から波長１３００ｎｍのレーザ光を入射し、出
射端６における光強度を測定することにより反射面５の
反射効率を測定したところ、８チャネルの平均で９０％
であった。また、光路の変換角度は９０°であった。

【００６２】なお、本実施例２では主に８チャネルの光
導波路を用いた９０°の光路変換を取り上げたが、本実
施例２の内容を逸脱しない範囲であれば、光路変換の角
度及び光導波路の本数は任意で構わない。また、光導波
路として基板上に整列させた光ファイバの一例を取り上
げたが、基板上に作製した埋込型光導波路等を用いても
よいことは言うまでもない。

【００６３】また、光導波路の材料としては、石英系の
材料を一例に取り上げたが、本実施例２の内容を逸脱し
ない範囲で、ガラス等の無機材料から高分子系光学材料
まで、任意の材料を組み合わせても構わない。さらに、
基板としてはガラス基板の他に、例えば、シリコン基板
等を用いてもよいことは言うまでもない。なお、光導波
路を整列させる方法としてＶ溝を取り上げたが、光導波
路を整列させる機能を有する構造であれば矩形の溝やブ
ロック間、あるいは丸穴のキャピラリー等に整列させて
も構わない。

【００６４】（実施例３）図３は、本発明による実施例
３の光路変換部品の作製方法の例を示し、（ａ）、
（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）、（ｅ）は、本実施例３の光路
変換部品の作製方法における各工程時の構成を示す模式
図である。

【００６５】本実施例３の光路変換部品の作製方法は、
図３（ａ）に示すように、シリコン基板１８上に膜厚３
μｍの水溶性の樹脂層１９を挟んで作製された、ＵＶ硬
化型のエポキシ系樹脂を材料とした下部クラッド２０、
コア層２１、及び上部クラッド２２からなる埋込型の直
線光導波路の片端を、傾斜角が４５°となるように研磨
した８チャネルの光導波路を２つ用意した。前記光導波
路のコア層２１の屈折率は１.５２７、上部及び下部ク
ラッド２０、２２の屈折率はいずれも１.５１０であ
る。また、前記一対の多チャネル光導波路１７Ａ，１７
Ｂの傾斜端面２３Ａ，２３Ｂにおいて、コア層２１の断
面形状はいずれも幅４０μｍ、高さ５６μｍの矩形であ
り、コア間隔は２５０μｍである。

【００６６】続いて、図３（ｂ）に示すように、前記一
対の多チャネル光導波路の４５°傾斜端面２３Ａ，２３
Ｂを対向させ、傾斜端面におけるコア層２１Ａ，２１Ｂ
が互いに一致するようにＶ字型に接続し、図３（ｃ）に
示すように、コア層２１と屈折率の等しい液状のＵＶ硬
化型光学接着剤１５をＶ字型の間隙に充填して紫外線を
照射し、前記一対の多チャネル光導波路１７Ａ，１７Ｂ
をＶ字型に固定する。

【００６７】次に、図３（ｄ）に示すように、これを温
水中に４０分間浸けて水溶性の樹脂層１９を溶解させ、
シリコン基板１８を剥離する。

【００６８】その後、前記Ｖ字型の多チャネル光導波路
における接続部分の先端部１６を水平に研磨して除去
し、図３（ｅ）に示すように、反射面５を一括形成し、
図１に示すような多チャネル光路変換部品１を作製し
た。

【００６９】作製した多チャネル光路変換部品１の光の
入射端４から波長８５０ｎｍのレーザ光を入射し、出射
端６における光強度を測定することにより反射面５の反
射効率を測定したところ、８チャネルの平均で９０％で
あった。また、光路の変換角度は９０°であった。

【００７０】なお、本実施例３では、主に８チャネルの
光導波路を用いた９０°の光路変換を取り上げたが、本
実施例３の内容を逸脱しない範囲であれば、光路変換の
角度、及び光導波路の本数は任意で構わない。また、光
導波路として基板上に整列させた埋込型光導波路の一例
を取り上げたが、光ファイバを用いてもよいことは言う
までもない。また、光導波路の材料としては、ＵＶ硬化
型エポキシ系樹脂を一例に取り上げたが、本実施例３の
内容を逸脱しない範囲で、ガラス等の無機材料から高分
子系光学材料まで、任意の材料を組み合わせても構わな
い。さらに、基板としてはシリコン基板の他に、ガラス
基板などを用いてもよいことはいうまでもない。また、
多チャネル光導波路間を充填する液状の光学接着剤とし
てＵＶ硬化型エポキシ系樹脂を取り上げたが、本実施例
３の内容を逸脱しない範囲であれば、熱硬化型の光学接
着剤などを用いてもよく、また一対の傾斜端面の接続部
分が前記樹脂で保護されていれば、本実施例３の内容を
逸脱しない範囲で、光学接着剤以外の他の接着剤を用い
てもよいことはいうまでもない。

【００７１】なお、基板は光導波路の研磨に影響を与え
なければ、光導波路から剥離しなくてもよく、また剥離
する必要がある場合には、基板と光導波路を剥離させる
ための犠牲層として、水溶性樹脂以外に、希塩酸によっ
て容易に溶解する銅薄膜等を用いても構わない。

【００７２】（実施例４）図４は、本発明による実施例
４の光路変換部品の作製方法の例を示し、（ａ）、
（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）は、本実施例４の光路変換部品
の作製方法における各工程時の構成を示す模式図であ
る。

【００７３】本実施例４の光路変換部品の作製方法は、
まず、前記実施例３と同様に、シリコン基板１８上に膜
厚３μｍの水溶性の樹脂層１９を挟んで作製された、Ｕ
Ｖ硬化型のエポキシ系樹脂を材料とした下部クラッド２
０、コア層２１、及び上部クラッド２２からなる埋込型
の直線光導波路の片端を、傾斜角が４５°となるように
研磨した８チャネルの光導波路を２つ用意した。前記光
導波路のコア層の屈折率は１.５２７、上部及び下部ク
ラッド２０，２２の屈折率はいずれも１.５１０であ
る。また、前記一対の多チャネル光導波路１７Ａ，１７
Ｂの傾斜端面２３Ａ，２３Ｂにおいて、コア層２１の断
面形状はいずれも幅４０μｍ、高さ５６μｍの矩形であ
り、コア間隔は２５０μｍである。

【００７４】続いて、図４（ａ）に示すように、前記一
対の多チャネル光導波路の４５°傾斜端面２３Ａ，２３
Ｂを対向させ、傾斜端面におけるコアが互いに一致する
ようにＶ字型に接続し、コアと屈折率の等しい液状のＵ
Ｖ硬化型光学接着剤１５をＶ字型の間隙に充填して紫外
線照射により固定したのち、図４（ｂ）に示すように、
前記Ｖ字型に接続した多チャネル光導波路の間隙より一
回り小さいガラスブロック２４を挿入し、残りの間隙に
ＵＶ硬化型光学接着剤１５を充填して硬化させ、前記一
対の多チャネル光導波路をＶ字型に固定する。

【００７５】次に、図４（ｃ）に示すように、これを温
水中に４０分間浸けて水溶性の樹脂層１９を溶解させ、
シリコン基板１８を剥離する。

【００７６】その後、前記Ｖ字型の多チャネル光導波路
における接続部分の先端部１６を水平に研磨して除去
し、図４（ｄ）に示すように、反射面５を一括形成し、
図１に示すような多チャネル光路変換部品１を作製し
た。

【００７７】作製した多チャネル光路変換部品１の光の
入射端４から波長８５０ｎｍのレーザ光を入射し、出射
端６における光強度を測定することにより反射面５の反
射効率を測定したところ、８チャネルの平均で９０％で
あった。また、光路の変換角度は９０°であった。

【００７８】なお、本実施例４では、主に８チャネルの
光導波路を用いた９０°の光路変換を取り上げたが、本
実施例４の内容を逸脱しない範囲であれば、光路変換の
角度、及び光導波路の本数は任意で構わない。また、Ｖ
字型に固定した多チャネル光導波路間に挿入する部材の
形状は、本実施例４の内容を逸脱しない範囲で任意の形
状で差し支えなく、部材の材料は、ガラスの他、液晶ポ
リマーなど熱による体積変化が小さい材料であれば望ま
しいが、それに限定するものではない。さらに、前記部
材と多チャネル光導波路を固定する接着剤としては、Ｕ
Ｖ硬化型接着剤の他、必要に応じて熱硬化型接着剤等を
用いてもよいことは言うまでもない。

【００７９】なお、光導波路として埋込型光導波路の一
例を取り上げたが、光ファイバを用いてもよいことは言
うまでもない。また、光導波路の材料としては、ＵＶ硬
化型エポキシ系樹脂を一例に取り上げたが、本実施例４
の内容を逸脱しない範囲で、ガラス等の無機材料から高
分子系光学材料まで、任意の材料を組み合わせても構わ
ない。さらに、基板としてはシリコン基板の他に、ガラ
ス基板などを用いてもよいことはいうまでもない。な
お、基板は光導波路の研磨に影響を与えなければ、光導
波路から剥離しなくてもよく、また、剥離する必要があ
る場合には、基板と光導波路を剥離させるための犠牲層
として、水溶性樹脂以外に、希塩酸によって容易に溶解
する銅薄膜等を用いても構わない。

【００８０】（実施例５）本発明による実施例５の多チ
ャネル光路変換部品について以下に説明する。図５は、
本実施例５の多チャネル光路変換部品の概略構成を示す
図であり、図５（ａ）は、多チャネル光路変換部品の斜
視図、図５（ｂ）は、多チャネル光路変換部品を上から
見た上平面図である。

【００８１】本実施例５の多チャネル光路変換部品は、
前記実施例３と同様の方法で作製した８チャネルの光路
変換部品の反射面５に、金薄膜２５を３００ｎｍの膜厚
となるよう均一に真空蒸着した。しかる後、前記多チャ
ネル光路変換部品の反射面５の反射効率を測定したとこ
ろ、８チャネルの平均で９６％となった。

【００８２】なお、本実施例５では、反射面にコーティ
ングする材料として金を用いたが、用いる波長等に応じ
て銀、アルミニウム、銅等の金属、あるいは誘電体多層
膜等を用いてよいことは言うまでもなく、また、膜厚も
必要に応じて変更して構わない。さらに、前記薄膜をコ
ーティングした上に、保護層として樹脂等のコーティン
グを施しても構わない。また、前記金属等をコーティン
グする方法として、真空蒸着の他にイオンビームスパッ
タやメッキ等の技術を適用してもよい。

【００８３】（実施例６）本発明による実施例６の多チ
ャネル光路変換部品について以下に説明する。図６は、
本実施例６の多チャネル光路変換部品の概略構成を示す
図であり、図６（ａ）は、多チャネル光路変換部品の斜
視図、図６（ｂ）は、多チャネル光路変換部品を上から
見た上平面図である。図７は、本実施例６の多チャネル
光路変換部品の製作方法における各工程時の概略構成例
を示す図である。

【００８４】本実施例６の多チャネル光路変換部品は、
前記実施例３の方法と同様に作製し、かつ入射端４から
反射面５までの光導波路コアの長さが概ね３ｍｍである
８チャネルの光路変換部品１Ａの反射面５が並列した平
面８に、前記実施例５と同様に金薄膜２５Ａを３００ｎ
ｍの膜厚となるように蒸着した。

【００８５】これを、図７（ａ）に示すように、前記実
施例３と同様に準備した幅３ｍｍ、長さ３.１ｍｍの一
対の８チャネル光導波路１７Ａ，１７Ｂで、傾斜端面同
士を位置合わせしてＶ字型に接続したものの間に挿入
し、顕微鏡で観察しながら前記多チャネル光路変換部品
１Ａと前記一対の多チャネル光導波路１７Ａ，１７Ｂの
間で、コアの１チャネル目から８チャネル目までがそれ
ぞれ揃うように位置合わせをし、図７（ｂ）に示すよう
に、コアと屈折率の等しい液状のＵＶ硬化型光学接着剤
１５で全ての間隙を充填して紫外線を側方から照射する
ことにより、前記多チャネル光路変換部品１及び前記一
対の多チャネル光導波路１７Ａ，１７Ｂを固定した。

【００８６】続いて、図７（ｃ）に示すように、温水中
に４０分間浸けて水溶性の樹脂層１９を溶解させ、シリ
コン基板１８を剥離した。その後、前記実施例３と同様
に、前記Ｖ字型の多チャネル光導波路における接続部分
の先端部１６を水平に研磨して除去し、反射面５を一括
形成して金薄膜２５Ｂを３００ｎｍの膜厚となるように
蒸着することにより、図６に示すように、光の入射端
４、出射端６がそれぞれ８心×２列の、２次元的に並列
した多チャネル光路変換部品１を作製した。

【００８７】作製した多チャネル光路変換部品１の反射
面の反射効率ならびに光路変換角を測定したところ、そ
れぞれ９６％、９０°となった。なお、光の入射端４、
及び出射端６の、列の上下におけるコアの相対的な位置
ずれは±２μｍであった。

【００８８】なお、本実施例では８心×２列の入出射端
を有した９０°の光路変換を取り上げたが、本実施例６
の内容を逸脱しない範囲であれば、光路変換の角度、及
び光導波路の本数等は任意で構わない。また、光導波路
として埋込型光導波路の一例を取り上げたが、光ファイ
バを用いてもよいことは言うまでもない。また、光導波
路の材料としては、ＵＶ硬化型エポキシ系樹脂を一例に
取り上げたが、本実施例６の内容を逸脱しない範囲で、
ガラス等の無機材料から高分子系光学材料まで、任意の
材料を組み合わせても構わない。さらに、基板としては
シリコン基板の他に、ガラス基板などを用いてもよいこ
とはいうまでもない。

【００８９】また、基板は光導波路の研磨に影響を与え
なければ、光導波路から剥離しなくてもよく、また剥離
する必要がある場合には、基板と光導波路を剥離させる
ための犠牲層として、水溶性樹脂以外に、希塩酸によっ
て容易に溶解する銅薄膜等を用いても構わない。また、
本実施例６では、反射面にコーティングする材料として
金を用いたが、用いる波長等に応じて銀、アルミニウ
ム、銅等の金属、あるいは誘電体多層膜等を用いても構
わず、また膜厚も必要に応じて変更して構わない。さら
に、前記薄膜をコーティングした上に、保護層として樹
脂等のコーティングを施しても構わない。また、前記金
属等をコーティングする方法として、真空蒸着の他にイ
オンビームスパッタやメッキ等の技術を適用してもよ
い。

【００９０】（実施例７）図８は、本発明による実施例
７の多チャネルビームスプリッタの概略構成を示す図で
あり、図８（ａ）は、多チャネルビームスプリッタの斜
視図、図８（ｂ）は、多チャネルビームスプリッタの作
用を説明するための図である。

【００９１】本実施例７の多チャネルビームスプリッタ
は、図８（ａ）及び図８（ｂ）に示すように、３次元光
導波路からなるビームスプリッタで、前記図１に記載の
曲がり光導波路の反射面５に膜厚を制御した金薄膜２５
をコーティングして所望の反射率及び透過率を付与し、
さらに透過光を伝搬するための別の３次元光導波路ある
いは曲がり導波路を接続して１×２あるいは２×２のビ
ームスプリッタとしたものを、その光の入出射方向を揃
えて積層した多チャネルビームスプリッタである。

【００９２】本実施例７の多チャネルビームスプリッタ
は、例えば、反射光の伝搬方向を９０°偏向させ、また
透過光は直進させる１×２のビームスプリッタを、その
光の入出射端を除いてクラッドに埋め込み、これを一定
の間隔をおいて８チャネル積層した例である。

【００９３】該ビームスプリッタにおいて、入射端４に
入射した光は、反射面５において、その反射率が５０％
となるよう金薄膜２５の膜厚を設定した場合、反射光と
透過光に概ね１対１の割合で分岐され、それぞれの出射
端６、２７から出射される。

【００９４】従って、入射端４、反射光の出射端６、透
過光の出射端２７に例えばそれぞれ８チャネルの光ファ
イバアレイを接続すれば、上記の光分岐を８チャネル同
時に行うことができる。また、反射面５にコーティング
する金薄膜２５の膜厚を注意深く制御することにより、
反射率を任意に変化させることも可能である。

【００９５】なお、本実施例７では、主に１×２のビー
ムスプリッタを取り上げたが、本実施例７の内容を逸脱
しない範囲であれば、２×２のビームスプリッタでも構
わない。また、反射光の反射角として９０°の例を取り
上げたが、本実施例７の内容を逸脱しない範囲であれば
任意で構わない。また、チャネル数として８チャネルの
例を取り上げたが、本実施例７の内容を逸脱しない範囲
であれば、チャネル数は任意で構わず、さらに、隣り合
うビームスプリッタの間隔は必ずしも等間隔でなくても
構わない。また、光の分岐比は、本実施例７の内容を逸
脱しない範囲であれば、任意に設定して構わないことは
言うまでもない。また、本実施例７のビームスプリッタ
に接続する光部品として光ファイバを一例に示したが、
光導波路、光素子、あるいはこれらの任意の組合せを用
いても差し支えない。

【００９６】なお、本実施例７では、反射面にコーティ
ングする材料として金を用いたが、用いる波長等に応じ
て銀、アルミニウム、銅等の金属、あるいは誘電体多層
膜等を用いてよいことは言うまでもなく、また、膜厚も
必要に応じて変更して構わない。さらに、前記薄膜をコ
ーティングした上に、保護層として樹脂等のコーティン
グを施しても構わない。

【００９７】（実施例８）図９は、本実施例８の多チャ
ネル光路変換部品及びビームスプリッタの製作方法にお
ける各工程時の概略構成例を示す図である。

【００９８】本実施例８の多チャネル光路変換部品は、
まず、図９（ａ）に示すように、前記実施例３と同様に
作製した、一辺が３ｍｍの８心の多チャネル光路変換部
品１の反射面５に、金薄膜２５を１００ｎｍの膜厚で蒸
着して反射率を概ね５０％としたのち、片端に４５°の
傾斜端面２３を有し、かつ前記多チャネル光路変換部品
１とコアの配列等が一致する幅３ｍｍ、長さ３ｍｍの多
チャネル光導波路１７を実施例３と同様に準備して、図
９（ｂ）に示すように、前記傾斜端面２３におけるコア
層２１を前記多チャネル光路変換部品の反射面５におけ
るコア層２と一致させるため、多チャネル光路変換部品
１のコア層２に可視光を入射し、多チャネル光導波路１
７のコア層２１に光が入る位置を目安として位置合わせ
を行った。

【００９９】続いて、図９（ｃ）に示すように、コアと
屈折率の等しい液状のＵＶ硬化型光学接着剤１５で全て
の間隙を充填して紫外線を照射し、前記多チャネル光路
変換部品１と多チャネル光導波路１７を固定した。

【０１００】これを温水中に４０分間浸けて水溶性の樹
脂層１９を溶解させ、多チャネル光導波路１７側に付着
していたシリコン基板１８を剥離して、多チャネルビー
ムスプリッタ（８心の１×２ビームスプリッタ）２６を
作製した。

【０１０１】作製した多チャネルビームスプリッタの光
分岐比を測定したところ、反射光と透過光の比は概ね１
対１となった。

【０１０２】なお、本実施例８では８心の光導波路を用
いた１×２のビームスプリッタを取り上げたが、本実施
例８の内容を逸脱しない範囲であれば、光導波路の本数
等は任意で構わない。また、基板は、取扱う上で支障な
ければ光導波路から剥離しなくてもよく、また剥離する
必要のある場合には、基板と光導波路を剥離させるため
の犠牲層として、水溶性樹脂以外に、希塩酸によって容
易に溶解する銅薄膜等を用いても構わない。さらに、基
板としてはシリコン基板の他に、ガラス基板などを用い
てもよいことはいうまでもない。

【０１０３】なお、本実施例８では、反射面にコーティ
ングする材料として金を用いたが、用いる波長等に応じ
て銀、アルミニウム、銅等の金属、あるいは誘電体多層
膜等を用いてよいことは言うまでもなく、また膜厚につ
いても、制御が行える範囲内で任意に設定して構わな
い。さらに、上記薄膜をコーティングした上に、保護層
として樹脂等のコーティングを施しても構わない。ま
た、前記金属等をコーティングする方法として、真空蒸
着の他にイオンビームスパッタやメッキ等の技術を適用
してもよい。

【０１０４】（実施例９）図１０は、本実施例９の多チ
ャネル光路変換部品及びビームスプリッタの製作方法に
おける各工程時の概略構成例を示す図である。

【０１０５】本実施例９の多チャネル光路変換部品は、
まず、図１０（ａ）に示すように、前記実施例３と同様
に作製した、一辺が３ｍｍの８心の多チャネル光路変換
部品１Ａ，１Ｂを２つ用意し、一方の多チャネル光路変
換部品１Ａの反射面５Ａに金薄膜２５を１００ｎｍの厚
みに蒸着して反射率を概ね５０％としたのち、もう一方
の多チャネル光路変換部品１Ｂの反射面５Ｂを、それぞ
れの反射面が一致するよう向かい合わせ、どちらか一方
の多チャネル光路変換部品のコアに可視光を入射し、他
方の多チャネル光路変換部品のコアに光が入る位置を目
安として位置合わせを行う。

【０１０６】続いて、図１０（ｂ）に示すように、コア
と屈折率の等しい液状のＵＶ硬化型光学接着剤１５を用
いて前記反射面の接続部及びその周辺部を固定し、８心
の２×２ビームスプリッタ２６を作製した。

【０１０７】作製した多チャネルビームスプリッタの光
分岐比を測定したところ、４つの光導波路コア端面のど
れに光を入射しても、出射する反射光と透過光の比は概
ね１対１となった。

【０１０８】なお、本実施例９では、それぞれ８心の光
導波路コアが並列した２×２のビームスプリッタを取り
上げたが、本実施例９の内容を逸脱しない範囲であれ
ば、光導波路の分岐角、及び光導波路の本数等は任意で
構わない。

【０１０９】また、本実施例９では、反射面にコーティ
ングする材料として金を用いたが、用いる波長等に応じ
て、銀、アルミニウム、銅等の金属、あるいは誘電体多
層膜を用いてよいことは言うまでもなく、また、膜厚に
ついても、制御が行える範囲内で任意に設定して構わな
い。さらに、前記薄膜をコーティングした上に、保護層
として樹脂等のコーティングを施しても構わない。ま
た、前記金属等をコーティングする方法として、真空蒸
着の他にイオンビームスパッタやメッキ等の技術を適用
してもよい。

【０１１０】（実施例１０）本発明による実施例１０
は、本発明の多チャネル光路変換部品作製方法及び多チ
ャネルビームスプリッタ作製方法のうち、多チャネル光
路変換部品を作製する例について示すものである。

【０１１１】図１１は、本実施例１０の多チャネル光路
変換部品の製作方法における各工程時の概略構成例を示
す図である。

【０１１２】本実施例１０の多チャネル光路変換部品
は、まず、図１１（ａ）に示すように、シリコン基板１
８上に膜厚３μｍの水溶性の樹脂層１９を挟んで作製さ
れた、ＵＶ硬化型のエポキシ系樹脂を材料とした下部ク
ラッド２０、コア層２１、及び上部クラッド２２からな
る埋込型の８チャネルの直線光導波路を、幅３ｍｍ、長
さ６ｍｍに切り出して基板に垂直な側壁を作製した。前
記光導波路のコア層２１の屈折率は１.５２７、上部及
び下部クラッド２０、２２の屈折率はいずれも１.５１
０である。また、８チャネルのコア層２１の断面形状は
いずれも幅４０μｍ、高さ４０μｍの矩形であり、コア
間隔は２５０μｍである。

【０１１３】次に、図１１（ｂ）に示すように、前記直
線光導波路の中央をコアを横断する方向に分断し、続け
て図１１（ｃ）に示すように、それぞれの多チャネル光
導波路の分断された断面を傾斜角が４５°となるよう研
磨して傾斜端面２３Ａ，２３Ｂを作製し、片端に４５°
の傾斜端面を有する、幅３ｍｍ、長さ３ｍｍの一対の多
チャネル光導波路１７Ａ，１７Ｂを作製する。これによ
り、該傾斜端面２３Ａ，２３Ｂにおいて、コアと平行な
側壁からコアまでの間隔は左右対称となった。

【０１１４】続いて、図１１（ｄ）に示すように、作製
した一対の多チャネル光導波路の４５°傾斜端面２３
Ａ，２３Ｂを向かい合わせ、該一対の多チャネル光導波
路のコアと平行な側面を、平坦な部材に押し当てて揃
え、傾斜端面におけるコア層２１Ａ，２１Ｂのコアを横
断する方向の位置合わせを概ね受動的に行い、引き続き
高さ方向にコアを位置合わせしてＶ字型に接続する。

【０１１５】引き続き、図１１（ｅ）に示すように、コ
アと屈折率の等しい液状のＵＶ硬化型光学接着剤１５を
Ｖ字型の間隙に充填して紫外光を照射し、該一対の多チ
ャネル光導波路１７Ａ，１７ＢをＶ字型に固定する。

【０１１６】次に、図１１（ｆ）に示すように、これを
温水中に４０分間浸けて水溶性の樹脂層１９を溶解さ
せ、シリコン基板１８を剥離する。

【０１１７】その後、前記Ｖ字型の多チャネル光導波路
における接続部分の先端部１６を水平に研磨して除去
し、反射面５を一括して形成し、図１に示すような多チ
ャネル光路変換部品１を作製した。

【０１１８】作製した多チャネル光路変換部品１の光の
入射端４から波長８５０ｎｍのレーザ光を入射し、出射
端６における光強度を測定することにより、反射面５の
反射効率を測定したところ、８チャネルの平均で９２％
であった。また、光路の変換角度は９０°であった。

【０１１９】なお、本実施例１０では、主に８チャネル
の光導波路を用いた９０°の多心光路変換部品作製方法
を取り上げたが、本実施例１０の内容を逸脱しない範囲
であれば、光路変換の角度、及び光導波路の本数は任意
で構わない。また、本実施例１０の作製方法は、多チャ
ネルビームスプリッタの作製に適用してもよいことは言
うまでもない。さらに、光導波路として埋込型光導波路
の一例を取り上げたが、光ファイバを用いてもよいこと
は言うまでもない。また、光導波路の材料としては、Ｕ
Ｖ硬化型エポキシ系樹脂を一例に取り上げたが、本実施
例の内容を逸脱しない範囲で、ガラス等の無機材料から
高分子系光学材料まで、任意の材料を組合せても構わな
い。さらに、基板としてはシリコン基板の他に、ガラス
基板などを用いてもよいことはいうまでもない。

【０１２０】また、多チャネル光導波路間を充填する液
状の光学接着剤としてＵＶ硬化型エポキシ系樹脂を一例
に取り上げたが、本実施例の内容を逸脱しない範囲であ
れば、熱硬化型の光学接着剤などを用いてもよく、また
一対の傾斜端面の接続部分が上記樹脂で保護されていれ
ば、本実施例の内容を逸脱しない範囲で、光学接着剤以
外の他の接着剤を用いてもよいことはいうまでもない。

【０１２１】また、基板は光導波路の研磨に影響を与え
なければ、光導波路から剥離しなくてもよく、また剥離
する必要のある場合には、基板と光導波路を剥離させる
ための犠牲層として、水溶性樹脂以外に、希塩酸によっ
て容易に溶解する銅薄膜等を用いても構わない。

【０１２２】（実施例１１）本発明による実施例１１
は、本発明の多チャネル光路変換部品作製方法及び多チ
ャネルビームスプリッタ作製方法のうち、多チャネル光
路変換部品を作製する例について示すものである。

【０１２３】図１２は、本実施例１１の多チャネル光路
変換部品の製作方法における各工程時の概略構成例を示
す図である。

【０１２４】本実施例１１の多チャネル光路変換部品
は、まず、図１２（ａ）に示すように、シリコン基板１
８上に膜厚３μｍの水溶性の樹脂層１９を挟んで作製さ
れた、ＵＶ硬化型のエポキシ系樹脂を材料とした下部ク
ラッド２０、コア層２１、及び上部クラッド２２からな
る埋込型の８チャネルの直線光導波路を、幅３ｍｍ、長
さ６ｍｍに切り出して基板に垂直な側壁を作製した。前
記光導波路のコア層２１の屈折率は１.５２７、上部及
び下部クラッド２０、２２の屈折率はいずれも１.５１
０である。また、８チャネルのコア層２１の断面形状は
いずれも幅４０μｍ、高さ４０μｍの矩形であり、コア
間隔は２５０μｍである。

【０１２５】次に、図１２（ｂ）に示すように、断面形
状が頂角８８°のＶ字型に加工された切削刃２８を用い
て、コア層２１を横断する方向に前記多チャネル光導波
路を切削し分断することにより、切削した溝に沿って傾
斜角が４５°で、かつ傾斜端面２３Ａ，２３Ｂにおける
コアのサイズや基板裏面からコアまでの厚み等が概ね等
しく、コアの間隔や形状が概ね左右対称である、一対の
多チャネル光導波路１７Ａ，１７Ｂを作製する。

【０１２６】続いて、図１２（ｃ）に示すように、作製
した一対の多チャネル光導波路の４５°の傾斜端面２３
Ａ，２３Ｂを向かい合わせ、該一対の多チャネル光導波
路のコアと平行な側面を、平坦な部材に押し当てて揃
え、傾斜端面におけるコア層２１Ａ，２１Ｂのコアを横
断する方向の位置合わせを概ね受動的に行い、引き続き
傾斜端面接続部の先端を揃えることにより高さ方向にも
コアを概ね受動的に位置合わせをしてＶ字型に接続す
る。

【０１２７】引き続き、図１２（ｄ）に示すように、コ
アと屈折率の等しい液状のＵＶ硬化型光学接着剤１５を
Ｖ字型の間隙に充填して紫外光を照射し、前記一対の多
チャネル光導波路１７Ａ，１７ＢをＶ字型に固定する。

【０１２８】次に、図１２（ｅ）に示すように、これを
温水中に４０分間浸けて水溶性の樹脂層１９を溶解さ
せ、シリコン基板１８を剥離する。

【０１２９】その後、前記Ｖ字型の多チャネル光導波路
における接続部分の先端１６を水平に研磨して除去し、
反射面５を一括して形成し、図１に示すような多チャネ
ル光路変換部品１を作製した。

【０１３０】作製した多チャネル光路変換部品１の光の
入射端４から波長８５０ｎｍのレーザ光を入射し、出射
端６における光強度を測定することにより反射面５の反
射効率を測定したところ、８チャネルの平均で９４％で
あった。また、光路の変換角度は９０°であった。

【０１３１】なお、本実施例１１では、主に８チャネル
の光導波路を用いた９０°の多心光路変換部品作製方法
を取り上げたが、本実施例１１の内容を逸脱しない範囲
であれば、光路変換の角度、及び光導波路の本数は任意
で構わない。また、本作製方法は多チャネルビームスプ
リッタの作製に適用してもよいことは言うまでもない。
さらに、光導波路として埋込型光導波路の一例を取り上
げたが、光ファイバを用いてもよいことは言うまでもな
い。また、光導波路の材料としては、ＵＶ硬化型エポキ
シ系樹脂を一例に取り上げたが、本実施例１１の内容を
逸脱しない範囲で、ガラス等の無機材料から高分子系光
学材料まで、任意の材料を組合せても構わない。さら
に、基板としてはシリコン基板の他に、ガラス基板など
を用いてもよいことはいうまでもない。

【０１３２】また、多チャネル光導波路間を充填する液
状の光学接着剤として、ＵＶ硬化型エポキシ系樹脂を一
例に取り上げたが、本実施例１１の内容を逸脱しない範
囲であれば、熱硬化型の光学接着剤などを用いてもよ
く、また一対の傾斜端面の接続部分が前記樹脂で保護さ
れていれば、本実施例１１の内容を逸脱しない範囲で、
光学接着剤以外の他の接着剤を用いてもよいことは言う
までもない。

【０１３３】なお、基板は光導波路の研磨に影響を与え
なければ、光導波路から剥離しなくてもよく、また剥離
する必要のある場合には、基板と光導波路を剥離させる
ための犠牲層として、水溶性樹脂以外に、希塩酸によっ
て容易に剥離する銅薄膜を用いても構わない。

【０１３４】以上の実施例１乃至１１において、光導波
路としては、石英系光ファイバならびにＵＶ硬化型エポ
キシ樹脂からなる埋込型光導波路を用いた例を示した
が、光ファイバとしては、他に例えば石英系の多成分ガ
ラス光ファイバ、ハードクラッド石英光ファイバ、ある
いはプラスチック光ファイバ等を用いてもよく、また埋
込型光導波路としては、例えば、アクリル系樹脂、ポリ
イミド、ポリアクリレート、ポリカーボネート、シリコ
ーン樹脂等の高分子材料や、ガラス系等の無機材料から
なる光導波路等を用いてもよいことはいうまでもない。

【０１３５】また、光導波路を整列させ、あるいは作製
する基板としては、ガラス及びシリコンを材料として例
に挙げたが、前記実施例１乃至１１の範囲を逸脱しない
範囲であれば、セラミックスやアクリル樹脂等を材料と
して用いても構わない。

【０１３６】以上、本発明を、前記実施例に基づき具体
的に説明したが、本発明は、前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変
更可能であることは勿論である。

【０１３７】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。

【０１３８】本発明によれば、装置内光配線において、
光配線の任意の位置に容易に挿入でき、かつ小型で高密
度な光路変換が可能な多チャネルの光路変換部品を得る
ことができる。

【０１３９】また、前記多チャネルの光路変換部品を用
いて小型で高密度な光路変換が可能な多チャネルビーム
スプリッタを容易に得ることができる。

【０１４０】すなわち、本発明による多チャネル光路変
換部品作製方法及び多チャネルビームスプリッタ作製方
法を用いると、装置内光配線の高密度化あるいは光モジ
ュールの高集積化に有効な光部品として期待されている
小型の光路変換部品、及び多チャネルビームスプリッタ
を簡易かつ高密度に作製することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による実施例１の多チャネル光路変換部
品の概略構成を示す模式図である。

【図２】本発明による実施例２の多チャネル光路変換部
品の作製方法を説明するための図である。

【図３】本発明による実施例３の多チャネル光路変換部
品の作製方法を説明するための図である。

【図４】本発明による実施例４の多チャネル光路変換部
品の作製方法を説明するための図である。

【図５】本発明による実施例５の多チャネル光路変換部
品の概略構成を示す模式図である。

【図６】本発明による実施例６の多チャネル光路変換部
品の概略構成を示す模式図である。

【図７】本実施例６の多チャネル光路変換部品の作製方
法を説明するための図である。

【図８】本発明による実施例７の多チャネルビームスプ
リッタの概略構成を示す模式図である。

【図９】本発明による実施例８の多チャネルビームスプ
リッタの作製方法を説明するための図である。

【図１０】本発明による実施例９の多チャネルビームス
プリッタの作製方法を説明するための図である。

【図１１】本発明による実施例１０の多チャネル光路変
換部品の作製方法を説明するための図である。

【図１２】本発明による実施例１１の多チャネル光路変
換部品の作製方法を説明するための図である。

【図１３】従来の光路変換方法を示す模式図である。

【図１４】従来の別の光路変換方法を示す模式図であ
る。

【図１５】曲がり光導波路を用いた光路変換方法を示す
模式図である。

【符号の説明】

１，１Ａ，１Ｂ…光路変換部品（多チャネル光路変換部
品）、２…曲がり光導波路のコア層、３…クラッド層、
４…入射端、５，５Ａ，５Ｂ…反射面、６…反射光の出
射端、７…入射端が並列した平面、８…反射面が並列し
た平面、９…出射端が並列した平面、１０，１０Ａ，１
０Ｂ…傾斜端面、１１，１１Ａ，１１Ｂ…マルチモード
光ファイバ、１２…ガラスブロック、１３…接着剤、１
４Ａ，１４Ｂ…光ファイバのコア層、１５…光学接着
剤、１６…先端部、１７，１７Ａ，１７Ｂ…多チャネル
光導波路、１８…シリコン基板、１９…水溶性の樹脂
層、２０，２０Ａ，２０Ｂ…下部クラッド、２１，２１
Ａ，２１Ｂ…コア層、２２，２２Ａ，２２Ｂ…上部クラ
ッド、２３，２３Ａ，２３Ｂ…傾斜端面、２４…三角柱
状のガラスブロック、２５，２５Ａ，２５Ｂ…金薄膜、
２６…多チャネルビームスプリッタ、２７…透過光の出
射端、２８…切削刃、３０…プラスチック光ファイバ、
３１…面型光素子、３２…実装基板、３３…半円柱状部
材、３４…コア層、３５…クラッド層、３６…傾斜端
面、３７…面発光レーザ、３８…レーザ光、３９…基
板、４０…クラッド層。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 新井 芳光 東京都千代田区大手町二丁目３番１号 日 本電信電話株式会社内 (72)発明者 安東 泰博 東京都千代田区大手町二丁目３番１号 日 本電信電話株式会社内 Ｆターム(参考） 2H047 KA03 KA12 KB01 KB03 KB08 LA09 QA04 QA05 RA00 TA04 2H050 AB03Z AB42Z AC01 AC81

Claims (27)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 少なくとも片端に傾斜端面を有し、かつ
   前記傾斜端面の傾斜角及び傾斜端面における光導波路コ
   アのサイズ、配置等が概ね等しい一対の光導波路の、前
   記傾斜端面同士を対向させ、この傾斜端面における光導
   波路のコアが概ね一致するように前記傾斜端面同士を接
   続し、前記一対の光導波路が概ねＶ字型に固定され、前
   記Ｖ字型の光導波路の頂部を除去してコアを所定の位置
   まで露出させて反射面が設けられていることを特徴とす
   る光路変換部品。
2. 【請求項２】 ３次元光導波路のコアに、光の入射端、
   出射端及び反射面を有し、前記反射面における反射を利
   用して所定の角度に光の伝搬方向を偏向する曲がり光導
   波路からなる多チャネル光路変換部品であって、前記多
   チャネル光部品が、曲がり角の概ね等しい複数の前記曲
   がり光導波路により構成され、前記複数の曲がり光導波
   路は、その光の入射端、出射端及び反射面がそれぞれ独
   立の平面上に所定の間隔で並列に積層されており、かつ
   前記複数の曲がり光導波路のコアは、光の入射端、出射
   端及び反射面を除いて、コアより屈折率の低い物質で覆
   っていることを特徴とする多チャネル光路変換部品。
3. 【請求項３】 少なくとも片端に傾斜端面を有し、かつ
   前記傾斜端面の傾斜角及び傾斜端面における複数の光導
   波路コアのサイズ、配置等が概ね等しい一対の多チャネ
   ル光導波路の、前記傾斜端面同士を対向させ、この傾斜
   端面における光導波路のコアが概ね一致するように前記
   傾斜端面同士を接続し、前記一対の多チャネル光導波路
   を概ねＶ字型に固定し、前記Ｖ字型の多チャネル光導波
   路の頂部を除去してコアを所定の位置まで露出させて反
   射面を設けていることを特徴とする請求項２に記載の多
   チャネル光路変換部品。
4. 【請求項４】 一対の多チャネル光導波路の傾斜端面に
   おけるコアが概ね一致するように前記傾斜端面同士を接
   続し、前記多チャネル光導波路のコアと屈折率が概ね等
   しい液状の光学接着剤で接続部の間隙を充填して接着
   し、前記光学接着剤あるいは他の接着剤で残部が埋めら
   れていることを特徴とする請求項３に記載の多チャネル
   光路変換部品。
5. 【請求項５】 一対の多チャネル光導波路の傾斜端面に
   おけるコアが概ね一致するように前記傾斜端面同士を接
   続し、前記多チャネル光導波路のコアと屈折率が概ね等
   しい液状の光学接着剤で接続部の間隙を充填し、液晶ポ
   リマー等の有機高分子材料又はガラス等の無機材料から
   なる、概ねＶ字型の断面形状を有する部材を前記一対の
   多チャネル光導波路間に挿入し、接着剤等を用いて多チ
   ャネル光導波路に固定したことを特徴とする請求項３又
   は４に記載の多チャネル光路変換部品。
6. 【請求項６】 前記多チャネル光路変換部品の反射面
   に、金属あるいは誘電体多層膜をコーティングしたこと
   を特徴とする請求項１乃至５のうちいずれか１項に記載
   の光路変換部品。
7. 【請求項７】 前記多チャネル光路変換部品と概ね等し
   い大きさのＶ字型の間隙を構成し、前記多チャネル光路
   変換部品を、前記傾斜端面のコアが一致するように位置
   合わせした一対の多チャネル光導波路間に挿入し、前記
   多チャネル光導波路のコアと屈折率が概ね等しい液状の
   光学接着剤で全ての間隙を充填して固定し、接続した前
   記多チャネル光導波路の頂部を除去して前記多チャネル
   光導波路のコアを所定の位置まで露出させて反射面を構
   成し、この反射面に金属あるいは誘電体多層膜をコーテ
   ィングし、反射を利用して光の伝搬方向を偏向する多チ
   ャネルの曲がり光導波路の、光の入出射端をそれぞれ２
   次元的に並列させたことを特徴とする請求項６に記載の
   多チャネル光路変換部品。
8. 【請求項８】 前記傾斜端面を有する多チャネル光導波
   路として、コアと平行な側面のうち少なくとも一方を基
   板に垂直な平面とした一対の多チャネル光導波路の、前
   記側面を位置合わせの基準面として用いることを特徴と
   する請求項２乃至７のうちいずれか１項に記載の多チャ
   ネル光路変換部品。
9. 【請求項９】 前記光導波路として、石英などの無機材
   料、エポキシ系樹脂、ポリイミド、ポリメチルメタクリ
   レートなどの有機高分子材料、これらの組合わせのうち
   いずれか１つから成る、埋込型の方形光導波路を用いた
   ことを特徴とする請求項１乃至８のうちいずれか１項に
   記載の光路変換部品。
10. 【請求項１０】 前記光導波路として、石英系光ファイ
    バ、ハードクラッド石英光ファイバ、プラスチック光フ
    ァイバのうちいずれか１つを用いたことを特徴とする請
    求項１乃至８のうちいずれか１項に記載の光路変換部
    品。
11. 【請求項１１】 ３次元光導波路のコアに、光の入射
    端、出射端及び反射面を有し、前記反射面における反射
    を利用して所定の角度に光の伝搬方向を偏向する曲がり
    光導波路からなる多チャネル光路変換部品製作方法であ
    って、少なくとも片端に傾斜端面を有し、かつ前記傾斜
    端面の傾斜角及び傾斜端面における複数の光導波路コア
    のサイズ、配置等が概ね等しい一対の光導波路を形成
    し、前記傾斜端面同士を対向させ、この傾斜端面におけ
    る光導波路のコアが概ね一致するように前記傾斜端面同
    士を接続し、前記一対の光導波路を概ねＶ字型に固定
    し、前記Ｖ字型の多チャネル光導波路の頂部を除去して
    コアを所定の位置まで露出させて反射面を形成すること
    を特徴とする光路変換部品製作方法。
12. 【請求項１２】 一対の多チャネル光導波路の傾斜端面
    におけるコアが概ね一致するように前記傾斜端面同士を
    位置合わせして接続し、前記多チャネル光導波路のコア
    と屈折率が概ね等しい液状の光学接着剤で接続部の間隙
    を充填して接着し、さらに前記光学接着剤あるいは他の
    接着剤で残部を埋めることを特徴とする請求項１１に記
    載の多チャネル光路変換部品作製方法。
13. 【請求項１３】 一対の多チャネル光導波路の傾斜端面
    におけるコアが概ね一致するように前記傾斜端面同士を
    位置合わせして接続し、前記多チャネル光導波路のコア
    と屈折率が概ね等しい液状の光学接着剤で接続部の間隙
    を充填して接着し、さらに液晶ポリマー等の有機高分子
    材料又はガラス等の無機材料からなる、概ねＶ字型の断
    面形状を有する部材を前記一対の多チャネル光導波路間
    に挿入し、接着剤等を用いて多チャネル光導波路に固定
    することを特徴とする請求項１２に記載の多チャネル光
    路変換部品作製方法。
14. 【請求項１４】 前記多チャネル光路変換部品の反射面
    に、金属あるいは誘電体多層膜をコーティングすること
    を特徴とする請求項１２又は１３に記載の多チャネル光
    路変換部品作製方法。
15. 【請求項１５】 前記多チャネル光路変換部品と概ね等
    しい大きさのＶ字型の間隙を構成し、前記多チャネル光
    路変換部品を、前記傾斜端面のコアが一致するように位
    置合わせした一対の多チャネル光導波路間に挿入し、前
    記多チャネル光導波路のコアと屈折率が概ね等しい液状
    の光学接着剤を用いて全ての間隙を充填して固定し、接
    続した前記多チャネル光導波路の頂部を除去して前記多
    チャネル光導波路のコアを所定の位置まで露出させて反
    射面を形成したのち、金属あるいは誘電体多層膜をコー
    ティングして、この工程を少なくとも１回以上繰り返す
    ことにより、反射を利用して光の伝搬方向を偏向する多
    チャネルの曲がり光導波路の、光の入出射端をそれぞれ
    ２次元的に並列させることを特徴とする請求項１２乃至
    １４のうちいずれか１項に記載の多チャネル光路変換部
    品作製方法。
16. 【請求項１６】 前記傾斜端面を有する多チャネル光導
    波路として、コアと平行な側面のうち少なくとも一方を
    基板に垂直な平面とした一対の多チャネル光導波路を用
    い、前記側面を基準面とすることにより、コアを横断す
    る方向の位置合わせを概ね受動的に行うことを特徴とす
    る請求項１２乃至１５のうちいずれか１項に記載の多チ
    ャネル光路変換部品作製方法。
17. 【請求項１７】 同一基板上に作製し、あるいは整列さ
    せて固定した多チャネル光導波路を、概ねＶ字型の断面
    形状を有する切削刃を用いてコアを横断する方向に切削
    することにより、傾斜端面におけるコアのサイズや間隔
    が概ね等しく、さらに位置や形状等が概ね左右対称であ
    る一対の多チャネル光導波路を作製し、これを請求項２
    に記載の一対の多チャネル光導波路として用いることを
    特徴とする請求項１２乃至１６のうちいずれか１項に記
    載の多チャネル光路変換部品作製方法。
18. 【請求項１８】 前記光導波路として、石英などの無機
    材料、エポキシ系樹脂、ポリイミド、ポリメチルメタク
    リレートなどの有機高分子材料、これらの組合わせのう
    ちいずれか１つから成る、埋込型の方形光導波路を用い
    ることを特徴とする請求項１１乃至１７のうちいずれか
    １項に記載の光路変換部品製作方法。
19. 【請求項１９】 前記光導波路として、石英系光ファイ
    バ、ハードクラッド石英光ファイバ、プラスチック光フ
    ァイバのうちいずれか１つを用いることを特徴とする請
    求項１１乃至１７のうちいずれか１項に記載の光路変換
    部品製作方法。
20. 【請求項２０】 ３次元光導波路のコアに、光の入射
    端、出射端及び反射面を有し、前記反射面における反射
    を利用して所定の角度に光の伝搬方向を偏向する曲がり
    光導波路からなる光路変換部品が、曲がり角の概ね等し
    い複数の前記曲がり光導波路により構成される光路変換
    部品を有する、３次元光導波路で構成されたビームスプ
    リッタであって、前記曲がり光導波路で、反射面に所定
    の反射率及び透過率を有する金属膜あるいは誘電体多層
    膜を有するものに、透過光を伝搬するための別の３次元
    光導波路あるいは曲がり光導波路を接続した構造を有
    し、前記ビームスプリッタが光を入射あるいは出射する
    コア端面を除いて、コアより屈折率の低い物質で覆われ
    ていることを特徴とするビームスプリッタ。
21. 【請求項２１】 ３次元光導波路のコアに、光の入射
    端、出射端及び反射面を有し、前記反射面における反射
    を利用して所定の角度に光の伝搬方向を偏向する曲がり
    光導波路からなる多チャネル光路変換部品が、曲がり角
    の概ね等しい複数の前記曲がり光導波路により構成され
    る多チャネル光路変換部品を有する、３次元光導波路で
    構成された多チャネルのビームスプリッタであって、前
    記曲がり光導波路で、反射面に所定の反射率及び透過率
    を有する金属膜あるいは誘電体多層膜を有するものに、
    透過光を伝搬するための別の３次元光導波路あるいは曲
    がり光導波路を接続した構造を有し、前記多チャネルビ
    ームスプリッタが、複数の前記ビームスプリッタを光の
    入出射方向を揃えて積層した構造を有し、かつ前記複数
    のビームスプリッタが光を入射あるいは出射するコア端
    面を除いて、コアより屈折率の低い物質で覆われている
    ことを特徴とする多チャネルビームスプリッタ。
22. 【請求項２２】 請求項２乃至１０のうちいずれか１項
    に記載の多チャネル光路変換部品のうち、曲がり光導波
    路のなす角が概ね９０°である部品の反射面に、所定の
    反射率及び透過率を得るよう、金属あるいは誘電体多層
    膜の膜厚を制御しながらコーティングしたのち、少なく
    とも片端に概ね４５°の傾斜端面を有し、前記傾斜端面
    におけるコアの配列が前記多チャネル光路変換部品の反
    射面と概ね等しいもう一つの多チャネル光導波路を、前
    記傾斜端面におけるコアが前記多チャネル光路変換部品
    の反射面におけるコアと一致するように位置合わせし
    て、その接続部の間隙を前記多チャネル光導波路あるい
    は多チャネル光路変換部品のコアと概ね等しい屈折率を
    有する液状の光学接着剤を用いて充填し固定することに
    より、小型かつ多チャネルの１×２ビームスプリッタを
    得ることを特徴とする多チャネルビームスプリッタ作製
    方法。
23. 【請求項２３】 請求項２乃至１０のうちいずれか１項
    に記載の多チャネル光路変換部品の反射面に、所定の反
    射率及び透過率を得るよう、金属あるいは誘電体多層膜
    の膜厚を制御しながらコーティングしたのち、反射面に
    おけるコアの配列が前記多チャネル光路変換部品と概ね
    等しく、かつ反射面に金属あるいは誘電体多層膜のコー
    ティングを施さないもう一つの請求項２乃至１０のうち
    いずれか１項に記載の多チャネル光路変換部品を、それ
    ぞれの反射面におけるコアが一致するように位置合わせ
    して、その接続部の間隙を前記多チャネル光導波路ある
    いは多チャネル光路変換部品のコアと概ね等しい屈折率
    を有する液状の光学接着剤を用いて充填し固定すること
    により、小型かつ多チャネルの２×２のビームスプリッ
    タを得ることを特徴とする請求項２２に記載の多チャネ
    ルビームスプリッタ作製方法。
24. 【請求項２４】 傾斜端面を有する多チャネル光導波路
    として、コアと平行な側面のうち少なくとも一方を基板
    に垂直な平面とした一対の多チャネル光導波路を用い、
    前記側面を基準面とすることにより、コアを横断する方
    向の位置合わせを概ね受動的に行うことを特徴とする請
    求項２２又は２３に記載の多チャネルビームスプリッタ
    作製方法。
25. 【請求項２５】 同一基板上に作製し、あるいは整列さ
    せて固定した多チャネル光導波路を、概ねＶ字型の断面
    形状を有する切削刃を用いてコアを横断する方向に切削
    することにより、傾斜端面におけるコアのサイズや間隔
    が概ね等しく、さらに位置や形状等が概ね左右対称であ
    る一対の多チャネル光導波路を作製し、これを請求項２
    に記載の一対の多チャネル光導波路として用いることを
    特徴とする請求項２２乃至２４のうちいずれか１項に記
    載の多チャネルビームスプリッタ作製方法。
26. 【請求項２６】 前記光導波路として、石英などの無機
    材料、エポキシ系樹脂、ポリイミド、ポリメチルメタク
    リレートなどの有機高分子材料、これらの組合わせのう
    ちいずれか１つから成る、埋込型の方形光導波路を用い
    ることを特徴とする請求項２０乃至２５のうちいずれか
    １項に記載のビームスプリッタ作製方法。
27. 【請求項２７】 前記光導波路として、石英系光ファイ
    バ、ハードクラッド石英光ファイバ、プラスチック光フ
    ァイバのうちいずれか１つを用いることを特徴とする請
    求項２０乃至２５のうちいずれか１項に記載のビームス
    プリッタ作製方法。