JP2001170864A - 研磨装置 - Google Patents
研磨装置Info
- Publication number
- JP2001170864A JP2001170864A JP35884399A JP35884399A JP2001170864A JP 2001170864 A JP2001170864 A JP 2001170864A JP 35884399 A JP35884399 A JP 35884399A JP 35884399 A JP35884399 A JP 35884399A JP 2001170864 A JP2001170864 A JP 2001170864A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tool
- brush
- cleaning brush
- polishing apparatus
- cleaning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明は工具表面を洗浄ブラシで洗浄して加工
精度を向上させる研磨装置を提供する。 【解決手段】研磨装置1は、工具4を洗浄ブラシ6で洗
浄しつつ研磨加工を行い、また、洗浄ブラシ6に洗浄液
10を供給して、工具4の加工面から異物を除去して、
高品質の研磨加工を行うが、工具4の表面に洗浄ブラシ
6が押しつけられており、工具4の回転により洗浄ブラ
シ6が工具4の表面から切り屑等の異物を除去する。ま
た、研磨装置1は、洗浄ブラシ6に適宜洗浄液10を供
給している。したがって、工具4と加工物5との間に異
物が進入することを防止することができ、高精度に研磨
加工することができるとともに、工具4の表面への洗浄
液10や加工液の供給を均一に行うことができ、工具4
の表面の洗浄ムラを防止して、研磨形状の精度をより一
層向上させることができる。
精度を向上させる研磨装置を提供する。 【解決手段】研磨装置1は、工具4を洗浄ブラシ6で洗
浄しつつ研磨加工を行い、また、洗浄ブラシ6に洗浄液
10を供給して、工具4の加工面から異物を除去して、
高品質の研磨加工を行うが、工具4の表面に洗浄ブラシ
6が押しつけられており、工具4の回転により洗浄ブラ
シ6が工具4の表面から切り屑等の異物を除去する。ま
た、研磨装置1は、洗浄ブラシ6に適宜洗浄液10を供
給している。したがって、工具4と加工物5との間に異
物が進入することを防止することができ、高精度に研磨
加工することができるとともに、工具4の表面への洗浄
液10や加工液の供給を均一に行うことができ、工具4
の表面の洗浄ムラを防止して、研磨形状の精度をより一
層向上させることができる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、研磨装置に関し、
詳細には、工具表面をインプロセスで洗浄して加工品質
を向上させる研磨装置に関する。
詳細には、工具表面をインプロセスで洗浄して加工品質
を向上させる研磨装置に関する。
【0002】
【従来の技術】研磨加工においては、一般に、工具を回
転させて、加工物を研磨加工するが、加工面の均質化を
図るために、加工物の加工面に加工液を供給し、必要に
応じて、新しい加工液を供給する。
転させて、加工物を研磨加工するが、加工面の均質化を
図るために、加工物の加工面に加工液を供給し、必要に
応じて、新しい加工液を供給する。
【0003】また、従来、研削加工等の加工において
は、工具である砥石に研削液を吹き付けて、加工面の均
質化を向上させている。
は、工具である砥石に研削液を吹き付けて、加工面の均
質化を向上させている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の研磨装置にあっては、単に、加工液や研削液
を補給するのみであったため、工具の加工面に付着した
異物、切り屑(研磨屑)やゴミ等が加工物の加工面に傷
等を生じさせ、加工品質が低下するという問題があっ
た。特に、金型等の高精度な表面加工においては、工具
と加工物の間に介在する異物による傷が問題となる。
うな従来の研磨装置にあっては、単に、加工液や研削液
を補給するのみであったため、工具の加工面に付着した
異物、切り屑(研磨屑)やゴミ等が加工物の加工面に傷
等を生じさせ、加工品質が低下するという問題があっ
た。特に、金型等の高精度な表面加工においては、工具
と加工物の間に介在する異物による傷が問題となる。
【0005】そこで、請求項1記載の発明は、所定の曲
率半径の工具を回転軸周りに回転させながら、加工物を
研磨加工するに際して、多数のブラシ毛が保持部材に設
けられた洗浄ブラシのブラシ毛の先端部を回転する工具
に押し当てて当該工具を洗浄することにより、工具と加
工物との間に異物が進入することを防止し、金型等の加
工物を高精度に研磨加工することのできる研磨装置を提
供することを目的としている。
率半径の工具を回転軸周りに回転させながら、加工物を
研磨加工するに際して、多数のブラシ毛が保持部材に設
けられた洗浄ブラシのブラシ毛の先端部を回転する工具
に押し当てて当該工具を洗浄することにより、工具と加
工物との間に異物が進入することを防止し、金型等の加
工物を高精度に研磨加工することのできる研磨装置を提
供することを目的としている。
【0006】請求項2記載の発明は、洗浄ブラシを、ブ
ラシ毛が所定本数ずつ毛束として束ねられて当該毛束が
複数の列状に保持部材に設けられているとともに、列状
の毛束が千鳥目状に保持部材に設けられたものとするこ
とにより、工具に対する毛束の見かけ上の間隔を狭くし
て、洗浄ブラシで工具をより均一に洗浄し、工具と加工
物との間に異物が進入することをより一層適切に防止し
て、金型等の加工物をより高精度に研磨加工することの
できる研磨装置を提供することを目的としている。
ラシ毛が所定本数ずつ毛束として束ねられて当該毛束が
複数の列状に保持部材に設けられているとともに、列状
の毛束が千鳥目状に保持部材に設けられたものとするこ
とにより、工具に対する毛束の見かけ上の間隔を狭くし
て、洗浄ブラシで工具をより均一に洗浄し、工具と加工
物との間に異物が進入することをより一層適切に防止し
て、金型等の加工物をより高精度に研磨加工することの
できる研磨装置を提供することを目的としている。
【0007】請求項3記載の発明は、洗浄ブラシを、保
持部材が工具の回転軸と平行な方向に中心軸を有する円
筒形状に形成され、ブラシ毛が当該円筒形状の保持部材
の外周面に設けられて、保持部材が中心軸の軸周りに回
転駆動されて工具を洗浄するものとすることにより、工
具と同方向または逆方向に回転する洗浄ブラシで工具を
より一層均一に洗浄して、工具と加工物との間に異物が
進入することをより一層適切に防止し、金型等の加工物
をより一層高精度に研磨加工することのできる研磨装置
を提供することを目的としている。
持部材が工具の回転軸と平行な方向に中心軸を有する円
筒形状に形成され、ブラシ毛が当該円筒形状の保持部材
の外周面に設けられて、保持部材が中心軸の軸周りに回
転駆動されて工具を洗浄するものとすることにより、工
具と同方向または逆方向に回転する洗浄ブラシで工具を
より一層均一に洗浄して、工具と加工物との間に異物が
進入することをより一層適切に防止し、金型等の加工物
をより一層高精度に研磨加工することのできる研磨装置
を提供することを目的としている。
【0008】請求項4記載の発明は、洗浄ブラシを、保
持部材が工具の回転軸と直交する方向を中心軸として回
転駆動され、当該保持部材の中心軸方向の工具側の面に
ブラシ毛が設けられて、保持部材が回転軸の軸周りに回
転駆動されて工具を洗浄するものとすることにより、ブ
ラシ毛の並び方やブラシ毛の密度の相違による洗浄の不
均一性をなくして、洗浄ブラシで工具をより一層均一に
洗浄し、工具と加工物との間に異物が進入することをよ
り一層適切に防止して、金型等の加工物をより一層高精
度に研磨加工することのできる研磨装置を提供すること
を目的としている。
持部材が工具の回転軸と直交する方向を中心軸として回
転駆動され、当該保持部材の中心軸方向の工具側の面に
ブラシ毛が設けられて、保持部材が回転軸の軸周りに回
転駆動されて工具を洗浄するものとすることにより、ブ
ラシ毛の並び方やブラシ毛の密度の相違による洗浄の不
均一性をなくして、洗浄ブラシで工具をより一層均一に
洗浄し、工具と加工物との間に異物が進入することをよ
り一層適切に防止して、金型等の加工物をより一層高精
度に研磨加工することのできる研磨装置を提供すること
を目的としている。
【0009】請求項5記載の発明は、洗浄ブラシを、ブ
ラシ毛が工具に接触した状態で、工具の回転軸方向に往
復移動するものとすることにより、ブラシ毛の並び方や
ブラシ毛の密度の相違による洗浄の不均一性をなくし
て、洗浄ブラシで工具をより一層均一に洗浄し、工具と
加工物との間に異物が進入することをより一層適切に防
止して、金型等の加工物をより一層高精度に研磨加工す
ることのできる研磨装置を提供することを目的としてい
る。
ラシ毛が工具に接触した状態で、工具の回転軸方向に往
復移動するものとすることにより、ブラシ毛の並び方や
ブラシ毛の密度の相違による洗浄の不均一性をなくし
て、洗浄ブラシで工具をより一層均一に洗浄し、工具と
加工物との間に異物が進入することをより一層適切に防
止して、金型等の加工物をより一層高精度に研磨加工す
ることのできる研磨装置を提供することを目的としてい
る。
【0010】請求項6記載の発明は、洗浄ブラシに所定
の洗浄液または加工液を供給する液供給機構を設けるこ
とにより、洗浄液や加工液を均一に供給するとともに、
洗浄ブラシによる工具の洗浄をより均一に行い、工具と
加工物との間に異物が進入することをより一層適切に防
止して、金型等の加工物をより一層高精度に研磨加工す
ることのできる研磨装置を提供することを目的としてい
る。
の洗浄液または加工液を供給する液供給機構を設けるこ
とにより、洗浄液や加工液を均一に供給するとともに、
洗浄ブラシによる工具の洗浄をより均一に行い、工具と
加工物との間に異物が進入することをより一層適切に防
止して、金型等の加工物をより一層高精度に研磨加工す
ることのできる研磨装置を提供することを目的としてい
る。
【0011】請求項7記載の発明は、洗浄ブラシの下方
に、研磨屑等の異物、洗浄液または加工液等を受け取る
受け容器を配設することにより、工具と加工物の間に異
物や汚れた洗浄液または汚れた加工液が進入することを
適切に防止し、金型等の加工物をより一層高精度に研磨
加工することのできる研磨装置を提供することを目的と
している。
に、研磨屑等の異物、洗浄液または加工液等を受け取る
受け容器を配設することにより、工具と加工物の間に異
物や汚れた洗浄液または汚れた加工液が進入することを
適切に防止し、金型等の加工物をより一層高精度に研磨
加工することのできる研磨装置を提供することを目的と
している。
【0012】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明の研
磨装置は、回転軸に取り付けられた所定の曲率半径の工
具を、前記回転軸周りに回転させながら、加工物を研磨
加工する研磨装置において、多数のブラシ毛が保持部材
に設けられた洗浄ブラシの前記ブラシ毛の先端部を前記
回転する工具に押し当てて当該工具を洗浄することによ
り、上記目的を達成している。
磨装置は、回転軸に取り付けられた所定の曲率半径の工
具を、前記回転軸周りに回転させながら、加工物を研磨
加工する研磨装置において、多数のブラシ毛が保持部材
に設けられた洗浄ブラシの前記ブラシ毛の先端部を前記
回転する工具に押し当てて当該工具を洗浄することによ
り、上記目的を達成している。
【0013】上記構成によれば、所定の曲率半径の工具
を回転軸周りに回転させながら、加工物を研磨加工する
に際して、多数のブラシ毛が保持部材に設けられた洗浄
ブラシのブラシ毛の先端部を回転する工具に押し当てて
当該工具を洗浄しているので、工具と加工物との間に異
物が進入することを防止することができ、金型等の加工
物を高精度に研磨加工することができる。
を回転軸周りに回転させながら、加工物を研磨加工する
に際して、多数のブラシ毛が保持部材に設けられた洗浄
ブラシのブラシ毛の先端部を回転する工具に押し当てて
当該工具を洗浄しているので、工具と加工物との間に異
物が進入することを防止することができ、金型等の加工
物を高精度に研磨加工することができる。
【0014】この場合、例えば、請求項2に記載するよ
うに、前記洗浄ブラシは、前記ブラシ毛が所定本数ずつ
毛束として束ねられて当該毛束が複数の列状に前記保持
部材に設けられているとともに、前記列状の毛束が千鳥
目状に前記保持部材に設けられているものであってもよ
い。
うに、前記洗浄ブラシは、前記ブラシ毛が所定本数ずつ
毛束として束ねられて当該毛束が複数の列状に前記保持
部材に設けられているとともに、前記列状の毛束が千鳥
目状に前記保持部材に設けられているものであってもよ
い。
【0015】上記構成によれば、洗浄ブラシを、ブラシ
毛が所定本数ずつ毛束として束ねられて当該毛束が複数
の列状に保持部材に設けられているとともに、列状の毛
束が千鳥目状に保持部材に設けられたものとしているの
で、工具に対する毛束の見かけ上の間隔を狭くして、洗
浄ブラシで工具をより均一に洗浄することができ、工具
と加工物との間に異物が進入することをより一層適切に
防止して、金型等の加工物をより高精度に研磨加工する
ことができる。
毛が所定本数ずつ毛束として束ねられて当該毛束が複数
の列状に保持部材に設けられているとともに、列状の毛
束が千鳥目状に保持部材に設けられたものとしているの
で、工具に対する毛束の見かけ上の間隔を狭くして、洗
浄ブラシで工具をより均一に洗浄することができ、工具
と加工物との間に異物が進入することをより一層適切に
防止して、金型等の加工物をより高精度に研磨加工する
ことができる。
【0016】また、例えば、請求項3に記載するよう
に、前記洗浄ブラシは、前記保持部材が前記工具の前記
回転軸と平行な方向に中心軸を有する円筒形状に形成さ
れ、前記ブラシ毛が当該円筒形状の前記保持部材の外周
面に設けられており、前記保持部材が前記中心軸の軸周
りに回転駆動されて前記工具を洗浄するものであっても
よい。
に、前記洗浄ブラシは、前記保持部材が前記工具の前記
回転軸と平行な方向に中心軸を有する円筒形状に形成さ
れ、前記ブラシ毛が当該円筒形状の前記保持部材の外周
面に設けられており、前記保持部材が前記中心軸の軸周
りに回転駆動されて前記工具を洗浄するものであっても
よい。
【0017】上記構成によれば、洗浄ブラシを、保持部
材が工具の回転軸と平行な方向に中心軸を有する円筒形
状に形成され、ブラシ毛が当該円筒形状の保持部材の外
周面に設けられて、保持部材が中心軸の軸周りに回転駆
動されて工具を洗浄するものとしているので、工具と同
方向または逆方向に回転する洗浄ブラシで工具をより一
層均一に洗浄して、工具と加工物との間に異物が進入す
ることをより一層適切に防止することができ、金型等の
加工物をより一層高精度に研磨加工することができる。
材が工具の回転軸と平行な方向に中心軸を有する円筒形
状に形成され、ブラシ毛が当該円筒形状の保持部材の外
周面に設けられて、保持部材が中心軸の軸周りに回転駆
動されて工具を洗浄するものとしているので、工具と同
方向または逆方向に回転する洗浄ブラシで工具をより一
層均一に洗浄して、工具と加工物との間に異物が進入す
ることをより一層適切に防止することができ、金型等の
加工物をより一層高精度に研磨加工することができる。
【0018】さらに、例えば、請求項4に記載するよう
に、前記洗浄ブラシは、前記保持部材が前記工具の前記
回転軸と直交する方向を中心軸として回転駆動され、当
該保持部材の前記中心軸方向の前記工具側の面に前記ブ
ラシ毛が設けられており、前記保持部材が前記回転軸の
軸周りに回転駆動されて前記工具を洗浄するものであっ
てもよい。
に、前記洗浄ブラシは、前記保持部材が前記工具の前記
回転軸と直交する方向を中心軸として回転駆動され、当
該保持部材の前記中心軸方向の前記工具側の面に前記ブ
ラシ毛が設けられており、前記保持部材が前記回転軸の
軸周りに回転駆動されて前記工具を洗浄するものであっ
てもよい。
【0019】上記構成によれば、洗浄ブラシを、保持部
材が工具の回転軸と直交する方向を中心軸として回転駆
動され、当該保持部材の中心軸方向の工具側の面にブラ
シ毛が設けられて、保持部材が回転軸の軸周りに回転駆
動されて工具を洗浄するものとしているので、ブラシ毛
の並び方やブラシ毛の密度の相違による洗浄の不均一性
をなくして、洗浄ブラシで工具をより一層均一に洗浄す
ることができ、工具と加工物との間に異物が進入するこ
とをより一層適切に防止して、金型等の加工物をより一
層高精度に研磨加工することができる。
材が工具の回転軸と直交する方向を中心軸として回転駆
動され、当該保持部材の中心軸方向の工具側の面にブラ
シ毛が設けられて、保持部材が回転軸の軸周りに回転駆
動されて工具を洗浄するものとしているので、ブラシ毛
の並び方やブラシ毛の密度の相違による洗浄の不均一性
をなくして、洗浄ブラシで工具をより一層均一に洗浄す
ることができ、工具と加工物との間に異物が進入するこ
とをより一層適切に防止して、金型等の加工物をより一
層高精度に研磨加工することができる。
【0020】また、例えば、請求項5に記載するよう
に、前記洗浄ブラシは、前記ブラシ毛が前記工具に接触
した状態で、前記工具の前記回転軸方向に往復移動され
るものであってもよい。
に、前記洗浄ブラシは、前記ブラシ毛が前記工具に接触
した状態で、前記工具の前記回転軸方向に往復移動され
るものであってもよい。
【0021】上記構成によれば、洗浄ブラシを、ブラシ
毛が工具に接触した状態で、工具の回転軸方向に往復移
動するものとしているので、ブラシ毛の並び方やブラシ
毛の密度の相違による洗浄の不均一性をなくして、洗浄
ブラシで工具をより一層均一に洗浄することができ、工
具と加工物との間に異物が進入することをより一層適切
に防止して、金型等の加工物をより一層高精度に研磨加
工することができる。
毛が工具に接触した状態で、工具の回転軸方向に往復移
動するものとしているので、ブラシ毛の並び方やブラシ
毛の密度の相違による洗浄の不均一性をなくして、洗浄
ブラシで工具をより一層均一に洗浄することができ、工
具と加工物との間に異物が進入することをより一層適切
に防止して、金型等の加工物をより一層高精度に研磨加
工することができる。
【0022】さらに、例えば、請求項6に記載するよう
に、前記研磨装置は、前記洗浄ブラシに所定の洗浄液ま
たは加工液を供給する液供給機構を、さらに備えていて
もよい。
に、前記研磨装置は、前記洗浄ブラシに所定の洗浄液ま
たは加工液を供給する液供給機構を、さらに備えていて
もよい。
【0023】上記構成によれば、洗浄ブラシに所定の洗
浄液または加工液を供給する液供給機構を設けているの
で、洗浄液や加工液を均一に供給するとともに、洗浄ブ
ラシによる工具の洗浄をより均一に行うことができ、工
具と加工物との間に異物が進入することをより一層適切
に防止して、金型等の加工物をより一層高精度に研磨加
工することができる。
浄液または加工液を供給する液供給機構を設けているの
で、洗浄液や加工液を均一に供給するとともに、洗浄ブ
ラシによる工具の洗浄をより均一に行うことができ、工
具と加工物との間に異物が進入することをより一層適切
に防止して、金型等の加工物をより一層高精度に研磨加
工することができる。
【0024】また、例えば、請求項7に記載するよう
に、前記研磨装置は、前記洗浄ブラシの下方に、研磨屑
等の異物、洗浄液または加工液等を受け取る受け容器が
配設されていてもよい。
に、前記研磨装置は、前記洗浄ブラシの下方に、研磨屑
等の異物、洗浄液または加工液等を受け取る受け容器が
配設されていてもよい。
【0025】上記構成によれば、洗浄ブラシの下方に、
研磨屑等の異物、洗浄液または加工液等を受け取る受け
容器を配設しているので、工具と加工物の間に異物や汚
れた洗浄液または汚れた加工液が進入することを適切に
防止することができ、金型等の加工物をより一層高精度
に研磨加工することができる。
研磨屑等の異物、洗浄液または加工液等を受け取る受け
容器を配設しているので、工具と加工物の間に異物や汚
れた洗浄液または汚れた加工液が進入することを適切に
防止することができ、金型等の加工物をより一層高精度
に研磨加工することができる。
【0026】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
を添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下に述
べる実施の形態は、本発明の好適な実施の形態であるか
ら、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本
発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定す
る旨の記載がない限り、これらの態様に限られるもので
はない。
を添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下に述
べる実施の形態は、本発明の好適な実施の形態であるか
ら、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本
発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定す
る旨の記載がない限り、これらの態様に限られるもので
はない。
【0027】図1〜図5は、本発明の研磨装置の第1の
実施の形態を示す図であり、本実施の形態は、固定され
た洗浄ブラシで工具表面を洗浄するとともに洗浄液を洗
浄ブラシに供給するもので、請求項1、請求項2及び請
求項6に対応するものである。
実施の形態を示す図であり、本実施の形態は、固定され
た洗浄ブラシで工具表面を洗浄するとともに洗浄液を洗
浄ブラシに供給するもので、請求項1、請求項2及び請
求項6に対応するものである。
【0028】図1は、本発明の研磨装置の第1の実施の
形態を適用した研磨装置1の斜視図である。
形態を適用した研磨装置1の斜視図である。
【0029】図1において、研磨装置1は、X軸、Y
軸、Z軸方向に移動制御される主軸ヘッド2の先端にス
ピンドル3が固定されており、スピンドル3の先端に
は、工具4が取り付けられている。工具4は、略円盤形
状に形成されており、スピンドル3により所定回転速度
で回転駆動される。研磨装置1は、スピンドル3により
工具4を回転させながら、加工物5の加工面に沿って、
図1に矢印で示すように、工具4を移動させて加工物5
を研磨加工する。
軸、Z軸方向に移動制御される主軸ヘッド2の先端にス
ピンドル3が固定されており、スピンドル3の先端に
は、工具4が取り付けられている。工具4は、略円盤形
状に形成されており、スピンドル3により所定回転速度
で回転駆動される。研磨装置1は、スピンドル3により
工具4を回転させながら、加工物5の加工面に沿って、
図1に矢印で示すように、工具4を移動させて加工物5
を研磨加工する。
【0030】加工物5は、X軸、Y軸及びZ軸方向に移
動可能なテーブル上に載置されており、被加工物5は、
例えば、レンズ、ミラー及びこれらの金型となるもので
ある。
動可能なテーブル上に載置されており、被加工物5は、
例えば、レンズ、ミラー及びこれらの金型となるもので
ある。
【0031】工具4には、図2及び図3に示すように、
洗浄ブラシ6の先端部が押しつけられており、洗浄ブラ
シ6は、ブラシ保持部(保持部材)7にブラシ毛8が植
え込まれている。洗浄ブラシ6は、図4に示すように、
そのブラシ毛8が、所定本数ずつ毛束8aとしてまとめ
られているとともに、毛束8aが、行方向と列方向に揃
った碁盤目状にブラシ保持部7に植え込まれている。な
お、洗浄ブラシ6は、毛束8aが、図5に示すように、
列方向で行方向に位置ずれした千鳥目状にブラシ保持部
7に植え込まれていてもよい。この洗浄ブラシ6のブラ
シ毛8は、例えば、合成樹脂、動物の毛、あるいは、植
物の繊維等で形成されている。
洗浄ブラシ6の先端部が押しつけられており、洗浄ブラ
シ6は、ブラシ保持部(保持部材)7にブラシ毛8が植
え込まれている。洗浄ブラシ6は、図4に示すように、
そのブラシ毛8が、所定本数ずつ毛束8aとしてまとめ
られているとともに、毛束8aが、行方向と列方向に揃
った碁盤目状にブラシ保持部7に植え込まれている。な
お、洗浄ブラシ6は、毛束8aが、図5に示すように、
列方向で行方向に位置ずれした千鳥目状にブラシ保持部
7に植え込まれていてもよい。この洗浄ブラシ6のブラ
シ毛8は、例えば、合成樹脂、動物の毛、あるいは、植
物の繊維等で形成されている。
【0032】いま、洗浄ブラシ6は、図4及び図5の列
方向(図4及び図5の縦方向)が工具4に対する洗浄方
向である。したがって、毛束8aが千鳥目状にブラシ保
持部7に植え込まれている場合の方が、碁盤目状に植え
込まれている場合よりも、工具4との相対移動時の洗浄
方向での毛束8aの間隔が小さくなり、工具4の洗浄ム
ラを少なくすることができる。
方向(図4及び図5の縦方向)が工具4に対する洗浄方
向である。したがって、毛束8aが千鳥目状にブラシ保
持部7に植え込まれている場合の方が、碁盤目状に植え
込まれている場合よりも、工具4との相対移動時の洗浄
方向での毛束8aの間隔が小さくなり、工具4の洗浄ム
ラを少なくすることができる。
【0033】そして、洗浄ブラシ6は、図2及び図3に
示すように、工具4の回転方向(図2及び図3で反時計
方向)に対して、工具4の最頂部よりも略45度回転方
向に位置ずれした位置で工具4に接触する状態で配設さ
れている。
示すように、工具4の回転方向(図2及び図3で反時計
方向)に対して、工具4の最頂部よりも略45度回転方
向に位置ずれした位置で工具4に接触する状態で配設さ
れている。
【0034】研磨装置1は、図1及び図3に示すよう
に、液補給チューブ9から適宜洗浄液10を洗浄ブラシ
6に対して供給している。なお、洗浄ブラシ6に供給す
る液体は、洗浄液10に限るものではなく、例えば、加
工液であってもよい。
に、液補給チューブ9から適宜洗浄液10を洗浄ブラシ
6に対して供給している。なお、洗浄ブラシ6に供給す
る液体は、洗浄液10に限るものではなく、例えば、加
工液であってもよい。
【0035】次に、本実施の形態の作用を説明する。研
磨装置1は、研磨加工において、工具4を洗浄ブラシ6
で洗浄しつつ研磨加工を行い、また、洗浄ブラシ6に洗
浄液10を供給して、工具4の加工面から異物を除去し
て、高品質の研磨加工を行うところにその特徴がある。
磨装置1は、研磨加工において、工具4を洗浄ブラシ6
で洗浄しつつ研磨加工を行い、また、洗浄ブラシ6に洗
浄液10を供給して、工具4の加工面から異物を除去し
て、高品質の研磨加工を行うところにその特徴がある。
【0036】すなわち、研磨装置1は、主軸ヘッド2と
加工物5を相対移動させて、例えば、図1に加工物5の
加工面に矢印で示すように、工具4を加工物5の加工面
に対して相対移動させて、加工物5を研磨加工する。
加工物5を相対移動させて、例えば、図1に加工物5の
加工面に矢印で示すように、工具4を加工物5の加工面
に対して相対移動させて、加工物5を研磨加工する。
【0037】このとき、工具4には、加工物5の切り屑
(研磨屑)やゴミ等の異物が付着するが、このような異
物が工具4の表面に付着した状態で加工を進めると、洗
浄ブラシ6が取り付けられていない場合の研磨痕のピッ
ク方向の断面曲面を示す図6から分かるように、加工が
進むに従って工具4の表面に切り屑が付着して、加工深
さが波打ちながら深くなる。
(研磨屑)やゴミ等の異物が付着するが、このような異
物が工具4の表面に付着した状態で加工を進めると、洗
浄ブラシ6が取り付けられていない場合の研磨痕のピッ
ク方向の断面曲面を示す図6から分かるように、加工が
進むに従って工具4の表面に切り屑が付着して、加工深
さが波打ちながら深くなる。
【0038】ところが、本実施の形態の研磨装置1は、
工具4の表面に洗浄ブラシ6が押しつけられており、工
具4の回転により洗浄ブラシ6が工具4の表面から切り
屑等の異物を除去する。
工具4の表面に洗浄ブラシ6が押しつけられており、工
具4の回転により洗浄ブラシ6が工具4の表面から切り
屑等の異物を除去する。
【0039】したがって、図7に洗浄ブラシ6が取り付
けられている場合の研磨痕のピック方向の断面曲面を示
すように、加工物5の加工面の深さが一定になり、研磨
形状の精度を向上させることができる。
けられている場合の研磨痕のピック方向の断面曲面を示
すように、加工物5の加工面の深さが一定になり、研磨
形状の精度を向上させることができる。
【0040】また、研磨装置1は、その洗浄ブラシ6に
適宜洗浄液10を供給している。洗浄ブラシ6に洗浄液
10あるいは加工液を供給すると、工具4の表面への洗
浄液10や加工液の供給を均一に行うことができ、工具
4の表面の洗浄を均一に行うことができる。その結果、
工具4の表面の洗浄ムラを防止し、研磨形状の精度をよ
り一層向上させることができる。
適宜洗浄液10を供給している。洗浄ブラシ6に洗浄液
10あるいは加工液を供給すると、工具4の表面への洗
浄液10や加工液の供給を均一に行うことができ、工具
4の表面の洗浄を均一に行うことができる。その結果、
工具4の表面の洗浄ムラを防止し、研磨形状の精度をよ
り一層向上させることができる。
【0041】図8は、本発明の研磨装置の第2の実施の
形態を示す図であり、本実施の形態は、工具との接触位
置で工具の回転方向と反対方向に回転する洗浄ブラシで
工具表面を洗浄するもので、請求項3に対応するもので
ある。
形態を示す図であり、本実施の形態は、工具との接触位
置で工具の回転方向と反対方向に回転する洗浄ブラシで
工具表面を洗浄するもので、請求項3に対応するもので
ある。
【0042】なお、本実施の形態は、上記第1の実施の
形態と同様の研磨装置に適用したものであり、本実施の
形態の説明において、上記第1の実施の形態と同様の構
成部分には、同一の符号を付してその詳細な説明を省略
するとともに、必要に応じて上記第1の実施の形態で用
いた符号をそのまま用いて説明する。
形態と同様の研磨装置に適用したものであり、本実施の
形態の説明において、上記第1の実施の形態と同様の構
成部分には、同一の符号を付してその詳細な説明を省略
するとともに、必要に応じて上記第1の実施の形態で用
いた符号をそのまま用いて説明する。
【0043】図8は、本発明の研磨装置の第2の実施の
形態を適用した研磨装置20の要部正面図であり、研磨
装置20は、上記第1の実施の形態と同様の工具4を備
え、工具4は主軸ヘッド2の先端に固定されたスピンド
ル3の先端に取り付けられている。工具4は、スピンド
ル3により所定の方向、例えば、図8に矢印で示すよう
に、反時計方向に回転駆動される。
形態を適用した研磨装置20の要部正面図であり、研磨
装置20は、上記第1の実施の形態と同様の工具4を備
え、工具4は主軸ヘッド2の先端に固定されたスピンド
ル3の先端に取り付けられている。工具4は、スピンド
ル3により所定の方向、例えば、図8に矢印で示すよう
に、反時計方向に回転駆動される。
【0044】工具4には、洗浄ブラシ21が当接してお
り、洗浄ブラシ21は、工具4の取り付けられているス
ピンドル3の軸方向と平行にその軸方向を有する円筒状
のブラシ保持部(保持部材)22を有し、そのブラシ保
持部22の外周面にブラシ毛23が植え付けられてい
る。洗浄ブラシ21は、図示しないが、ブラシ保持部2
2に連結された軸を介して駆動モータにより、図8に矢
印で示すように、工具4との接触位置で、工具4の回転
方向とは反対方向、すなわち、時計方向に回転駆動され
る。
り、洗浄ブラシ21は、工具4の取り付けられているス
ピンドル3の軸方向と平行にその軸方向を有する円筒状
のブラシ保持部(保持部材)22を有し、そのブラシ保
持部22の外周面にブラシ毛23が植え付けられてい
る。洗浄ブラシ21は、図示しないが、ブラシ保持部2
2に連結された軸を介して駆動モータにより、図8に矢
印で示すように、工具4との接触位置で、工具4の回転
方向とは反対方向、すなわち、時計方向に回転駆動され
る。
【0045】洗浄ブラシ21のブラシ毛23は、例え
ば、合成樹脂、動物の毛、あるいは、植物の繊維等で形
成されている。
ば、合成樹脂、動物の毛、あるいは、植物の繊維等で形
成されている。
【0046】次に、本実施の形態の作用を説明する。本
実施の形態の研磨装置20は、研磨加工において、工具
4を工具4の軸と平行な方向に回転軸を有する洗浄ブラ
シ21を工具4の回転方向と反対方向に回転させて、工
具4の加工面から異物を除去して、高品質の研磨加工を
行うところにその特徴がある。
実施の形態の研磨装置20は、研磨加工において、工具
4を工具4の軸と平行な方向に回転軸を有する洗浄ブラ
シ21を工具4の回転方向と反対方向に回転させて、工
具4の加工面から異物を除去して、高品質の研磨加工を
行うところにその特徴がある。
【0047】すなわち、研磨装置20は、第1の実施の
形態の研磨装置1と同様に、主軸ヘッド2と加工物5を
相対移動させて、加工物5を研磨加工する。
形態の研磨装置1と同様に、主軸ヘッド2と加工物5を
相対移動させて、加工物5を研磨加工する。
【0048】このとき、工具4には、加工物5の切り屑
やゴミ等の異物が付着するが、本実施の形態の研磨装置
20は、工具4の表面に洗浄ブラシ21が押しつけられ
ており、工具4の回転により洗浄ブラシ21が工具4の
表面から切り屑等の異物を除去する。
やゴミ等の異物が付着するが、本実施の形態の研磨装置
20は、工具4の表面に洗浄ブラシ21が押しつけられ
ており、工具4の回転により洗浄ブラシ21が工具4の
表面から切り屑等の異物を除去する。
【0049】また、洗浄ブラシ21は、そのブラシ保持
部22が工具4の取り付けられているスピンドル3の軸
方向と平行の方向に軸方向を有し、このブラシ保持部2
2の軸方向を中心に回転駆動されているため、効率的に
工具4から異物を除去することができる。
部22が工具4の取り付けられているスピンドル3の軸
方向と平行の方向に軸方向を有し、このブラシ保持部2
2の軸方向を中心に回転駆動されているため、効率的に
工具4から異物を除去することができる。
【0050】さらに、洗浄ブラシ21は、工具4との接
触位置で、工具4の回転方向と反対方向に回転駆動さて
いるため、工具4と洗浄ブラシ21との相対速度が向上
され、洗浄ブラシ21による工具4の洗浄効果をより一
層向上させることができる。したがって、工具4と加工
物5との間に異物が進入することをより一層適切に防止
することができ、金型等の加工物5をより一層高精度に
研磨加工することができる。
触位置で、工具4の回転方向と反対方向に回転駆動さて
いるため、工具4と洗浄ブラシ21との相対速度が向上
され、洗浄ブラシ21による工具4の洗浄効果をより一
層向上させることができる。したがって、工具4と加工
物5との間に異物が進入することをより一層適切に防止
することができ、金型等の加工物5をより一層高精度に
研磨加工することができる。
【0051】図9は、本発明の研磨装置の第3の実施の
形態を示す図であり、本実施の形態は、工具の軸方向に
直交する方向を軸方向として回転する洗浄ブラシで工具
表面を洗浄するもので、請求項4に対応するものであ
る。
形態を示す図であり、本実施の形態は、工具の軸方向に
直交する方向を軸方向として回転する洗浄ブラシで工具
表面を洗浄するもので、請求項4に対応するものであ
る。
【0052】なお、本実施の形態は、上記第1の実施の
形態と同様の研磨装置に適用したものであり、本実施の
形態の説明において、上記第1の実施の形態と同様の構
成部分には、同一の符号を付してその詳細な説明を省略
するとともに、必要に応じて上記第1の実施の形態で用
いた符号をそのまま用いて説明する。
形態と同様の研磨装置に適用したものであり、本実施の
形態の説明において、上記第1の実施の形態と同様の構
成部分には、同一の符号を付してその詳細な説明を省略
するとともに、必要に応じて上記第1の実施の形態で用
いた符号をそのまま用いて説明する。
【0053】図9は、本発明の研磨装置の第3の実施の
形態を適用した研磨装置30の要部斜視図であり、研磨
装置30、上記第1の実施の形態と同様の工具4を備
え、工具4は主軸ヘッド2の先端に固定されたスピンド
ル3の先端に取り付けられている。工具4は、スピンド
ル3により所定の方向、例えば、図9の反時計方向に回
転駆動される。
形態を適用した研磨装置30の要部斜視図であり、研磨
装置30、上記第1の実施の形態と同様の工具4を備
え、工具4は主軸ヘッド2の先端に固定されたスピンド
ル3の先端に取り付けられている。工具4は、スピンド
ル3により所定の方向、例えば、図9の反時計方向に回
転駆動される。
【0054】工具4には、洗浄ブラシ31が当接してお
り、洗浄ブラシ31は、工具4の取り付けられているス
ピンドル3の軸方向と直交する方向にその軸方向を有す
る円筒状のブラシ保持部(保持部材)32の工具4側の
端面にブラシ毛33が植え付けられている。洗浄ブラシ
31は、図示しないが、ブラシ保持部32に連結された
軸を介して駆動モータにより、図9に矢印で示すよう
に、時計方向に回転駆動される。
り、洗浄ブラシ31は、工具4の取り付けられているス
ピンドル3の軸方向と直交する方向にその軸方向を有す
る円筒状のブラシ保持部(保持部材)32の工具4側の
端面にブラシ毛33が植え付けられている。洗浄ブラシ
31は、図示しないが、ブラシ保持部32に連結された
軸を介して駆動モータにより、図9に矢印で示すよう
に、時計方向に回転駆動される。
【0055】洗浄ブラシ31のブラシ毛33は、例え
ば、合成樹脂、動物の毛、あるいは、植物の繊維等で形
成されている。
ば、合成樹脂、動物の毛、あるいは、植物の繊維等で形
成されている。
【0056】次に、本実施の形態の作用を説明する。本
実施の形態の研磨装置30は、研磨加工において、工具
4を工具4の回転軸と直交する方向に回転軸を有する洗
浄ブラシ31で、工具4の加工面から異物を除去して、
高品質の研磨加工を行うところにその特徴がある。
実施の形態の研磨装置30は、研磨加工において、工具
4を工具4の回転軸と直交する方向に回転軸を有する洗
浄ブラシ31で、工具4の加工面から異物を除去して、
高品質の研磨加工を行うところにその特徴がある。
【0057】すなわち、研磨装置30は、第1の実施の
形態の研磨装置1と同様に、主軸ヘッド2と加工物5を
相対移動させて、加工物5を研磨加工する。
形態の研磨装置1と同様に、主軸ヘッド2と加工物5を
相対移動させて、加工物5を研磨加工する。
【0058】このとき、工具4には、加工物5の切り屑
やゴミ等の異物が付着するが、本実施の形態の研磨装置
30は、工具4の表面に洗浄ブラシ31が押しつけられ
ており、工具4の回転により洗浄ブラシ31が工具4の
表面から切り屑等の異物を除去する。
やゴミ等の異物が付着するが、本実施の形態の研磨装置
30は、工具4の表面に洗浄ブラシ31が押しつけられ
ており、工具4の回転により洗浄ブラシ31が工具4の
表面から切り屑等の異物を除去する。
【0059】また、洗浄ブラシ31は、そのブラシ保持
部32が工具4の取り付けられているスピンドル3の軸
方向と直交する方向にその軸方向を有し、軸方向端面に
ブラシ毛33が設けられて、このブラシ保持部32の軸
方向を中心に回転駆動されているため、効率的に工具4
から異物を除去することができる。
部32が工具4の取り付けられているスピンドル3の軸
方向と直交する方向にその軸方向を有し、軸方向端面に
ブラシ毛33が設けられて、このブラシ保持部32の軸
方向を中心に回転駆動されているため、効率的に工具4
から異物を除去することができる。
【0060】したがって、ブラシ毛33の並び方やブラ
シ毛33の密度の相違による洗浄の不均一性をなくし
て、洗浄ブラシ31で工具4をより一層均一に洗浄する
ことができ、工具4と加工物5との間に異物が進入する
ことをより一層適切に防止して、金型等の加工物5をよ
り一層高精度に研磨加工することができる。
シ毛33の密度の相違による洗浄の不均一性をなくし
て、洗浄ブラシ31で工具4をより一層均一に洗浄する
ことができ、工具4と加工物5との間に異物が進入する
ことをより一層適切に防止して、金型等の加工物5をよ
り一層高精度に研磨加工することができる。
【0061】図10は、本発明の研磨装置の第4の実施
の形態を示す図であり、本実施の形態は、工具の軸方向
に往復移動する洗浄ブラシで工具表面を洗浄するもの
で、請求項5に対応するものである。
の形態を示す図であり、本実施の形態は、工具の軸方向
に往復移動する洗浄ブラシで工具表面を洗浄するもの
で、請求項5に対応するものである。
【0062】なお、本実施の形態は、上記第1の実施の
形態と同様の研磨装置に適用したものであり、本実施の
形態の説明において、上記第1の実施の形態と同様の構
成部分には、同一の符号を付してその詳細な説明を省略
するとともに、必要に応じて上記第1の実施の形態で用
いた符号をそのまま用いて説明する。
形態と同様の研磨装置に適用したものであり、本実施の
形態の説明において、上記第1の実施の形態と同様の構
成部分には、同一の符号を付してその詳細な説明を省略
するとともに、必要に応じて上記第1の実施の形態で用
いた符号をそのまま用いて説明する。
【0063】図10は、本発明の研磨装置の第4の実施
の形態を適用した研磨装置40の要部斜視図であり、研
磨装置40、上記第1の実施の形態と同様の工具4を備
え、工具4は主軸ヘッド2の先端に固定されたスピンド
ル3の先端に取り付けられている。工具4は、スピンド
ル3により所定の方向、例えば、図10の反時計方向に
回転駆動される。
の形態を適用した研磨装置40の要部斜視図であり、研
磨装置40、上記第1の実施の形態と同様の工具4を備
え、工具4は主軸ヘッド2の先端に固定されたスピンド
ル3の先端に取り付けられている。工具4は、スピンド
ル3により所定の方向、例えば、図10の反時計方向に
回転駆動される。
【0064】工具4には、洗浄ブラシ41が当接してお
り、洗浄ブラシ41は、工具4の取り付けられているス
ピンドル3の軸方向(工具4の回転軸方向)に所定の長
さを有する板状のブラシ保持部(保持部材)42の工具
4側の側面にブラシ毛43が植え付けられている。洗浄
ブラシ41は、図示しないが、ブラシ保持部42に連結
された軸を介して駆動モータにより、図10に両矢印で
示すように、工具4の回転軸であるスピンドル3の軸方
向に往復移動される。
り、洗浄ブラシ41は、工具4の取り付けられているス
ピンドル3の軸方向(工具4の回転軸方向)に所定の長
さを有する板状のブラシ保持部(保持部材)42の工具
4側の側面にブラシ毛43が植え付けられている。洗浄
ブラシ41は、図示しないが、ブラシ保持部42に連結
された軸を介して駆動モータにより、図10に両矢印で
示すように、工具4の回転軸であるスピンドル3の軸方
向に往復移動される。
【0065】洗浄ブラシ41のブラシ毛43は、例え
ば、合成樹脂、動物の毛、あるいは、植物の繊維等で形
成されており、ブラシ毛43は、上記第1の実施の形態
の場合と同様に、所定本数ずつ毛束としてまとめられて
いるとともに、毛束が、碁盤目状あるいは千鳥目状にブ
ラシ保持部42に植え付けられている。
ば、合成樹脂、動物の毛、あるいは、植物の繊維等で形
成されており、ブラシ毛43は、上記第1の実施の形態
の場合と同様に、所定本数ずつ毛束としてまとめられて
いるとともに、毛束が、碁盤目状あるいは千鳥目状にブ
ラシ保持部42に植え付けられている。
【0066】また、洗浄ブラシ41の往復移動の移動範
囲は、洗浄ブラシ41の毛束の先端が工具4に対して接
触面で移動する範囲以上である。
囲は、洗浄ブラシ41の毛束の先端が工具4に対して接
触面で移動する範囲以上である。
【0067】次に、本実施の形態の作用を説明する。本
実施の形態の研磨装置40は、研磨加工において、工具
4を工具4の回転軸と同じ方向に往復移動する洗浄ブラ
シ41で、工具4の加工面から異物を除去して、高品質
の研磨加工を行うところにその特徴がある。
実施の形態の研磨装置40は、研磨加工において、工具
4を工具4の回転軸と同じ方向に往復移動する洗浄ブラ
シ41で、工具4の加工面から異物を除去して、高品質
の研磨加工を行うところにその特徴がある。
【0068】すなわち、研磨装置40は、第1の実施の
形態の研磨装置1と同様に、主軸ヘッド2と加工物5を
相対移動させて、加工物5を研磨加工する。
形態の研磨装置1と同様に、主軸ヘッド2と加工物5を
相対移動させて、加工物5を研磨加工する。
【0069】このとき、工具4には、加工物5の切り屑
やゴミ等の異物が付着するが、本実施の形態の研磨装置
40は、工具4の表面に洗浄ブラシ41が押しつけられ
ており、工具4の回転により洗浄ブラシ41が工具4の
表面から切り屑等の異物を除去する。
やゴミ等の異物が付着するが、本実施の形態の研磨装置
40は、工具4の表面に洗浄ブラシ41が押しつけられ
ており、工具4の回転により洗浄ブラシ41が工具4の
表面から切り屑等の異物を除去する。
【0070】また、洗浄ブラシ41は、そのブラシ保持
部42に取り付けられた駆動モータによりスピンドル3
の軸方向(工具4の回転軸方向)と平行な方向に往復移
動され、洗浄ブラシ41の毛束の密度の違いや毛束の並
び方等による影響を受けることなく、洗浄ブラシ41で
工具4を均一に洗浄することができる。したがって、洗
浄ブラシ41による工具4の洗浄効果をより一層向上さ
せることができ、洗浄ブラシ41で工具4をより一層均
一に洗浄することができる。その結果、工具4と加工物
5との間に異物が進入することをより一層適切に防止し
て、金型等の加工物5をより一層高精度に研磨加工する
ことができる。
部42に取り付けられた駆動モータによりスピンドル3
の軸方向(工具4の回転軸方向)と平行な方向に往復移
動され、洗浄ブラシ41の毛束の密度の違いや毛束の並
び方等による影響を受けることなく、洗浄ブラシ41で
工具4を均一に洗浄することができる。したがって、洗
浄ブラシ41による工具4の洗浄効果をより一層向上さ
せることができ、洗浄ブラシ41で工具4をより一層均
一に洗浄することができる。その結果、工具4と加工物
5との間に異物が進入することをより一層適切に防止し
て、金型等の加工物5をより一層高精度に研磨加工する
ことができる。
【0071】図11は、本発明の研磨装置の第5の実施
の形態を示す図であり、本実施の形態は、回転する工具
で洗浄ブラシで工具表面を洗浄するとともに、工具の下
方に受け皿を配設して汚れた液や異物が加工面に付着す
るのを防止するもので、請求項7に対応するものであ
る。
の形態を示す図であり、本実施の形態は、回転する工具
で洗浄ブラシで工具表面を洗浄するとともに、工具の下
方に受け皿を配設して汚れた液や異物が加工面に付着す
るのを防止するもので、請求項7に対応するものであ
る。
【0072】なお、本実施の形態は、上記第1の実施の
形態と同様の研磨装置に適用したものであり、本実施の
形態の説明において、上記第1の実施の形態と同様の構
成部分には、同一の符号を付してその詳細な説明を省略
するとともに、必要に応じて上記第1の実施の形態で用
いた符号をそのまま用いて説明する。
形態と同様の研磨装置に適用したものであり、本実施の
形態の説明において、上記第1の実施の形態と同様の構
成部分には、同一の符号を付してその詳細な説明を省略
するとともに、必要に応じて上記第1の実施の形態で用
いた符号をそのまま用いて説明する。
【0073】図11は、本発明の研磨装置の第5の実施
の形態を適用した研磨装置50の要部正面図であり、研
磨装置50は、上記第1の実施の形態と同様の工具4を
備え、工具4は、図示しないが、主軸ヘッド2の先端に
固定されたスピンドル3の先端に取り付けられている。
工具4は、スピンドル3により所定の方向、例えば、図
10に矢印で示すように、反時計方向に回転駆動され
る。
の形態を適用した研磨装置50の要部正面図であり、研
磨装置50は、上記第1の実施の形態と同様の工具4を
備え、工具4は、図示しないが、主軸ヘッド2の先端に
固定されたスピンドル3の先端に取り付けられている。
工具4は、スピンドル3により所定の方向、例えば、図
10に矢印で示すように、反時計方向に回転駆動され
る。
【0074】工具4には、洗浄ブラシ51が当接してお
り、洗浄ブラシ51は、工具4の取り付けられているス
ピンドル3の軸方向と平行な方向に軸方向を有する円筒
状のブラシ保持部(保持部材)52に外周面にブラシ毛
53が植え付けられている。洗浄ブラシ51は、図示し
ないが、ブラシ保持部52に連結された軸を介して駆動
モータにより、図10に矢印で示すように、工具4との
接触位置で工具4の回転方向と同じ方向、すなわち、時
計方向に回転駆動される。
り、洗浄ブラシ51は、工具4の取り付けられているス
ピンドル3の軸方向と平行な方向に軸方向を有する円筒
状のブラシ保持部(保持部材)52に外周面にブラシ毛
53が植え付けられている。洗浄ブラシ51は、図示し
ないが、ブラシ保持部52に連結された軸を介して駆動
モータにより、図10に矢印で示すように、工具4との
接触位置で工具4の回転方向と同じ方向、すなわち、時
計方向に回転駆動される。
【0075】洗浄ブラシ51のブラシ毛53は、例え
ば、合成樹脂、動物の毛、あるいは、植物の繊維等で形
成されている。
ば、合成樹脂、動物の毛、あるいは、植物の繊維等で形
成されている。
【0076】洗浄ブラシ51の下方には、受け皿(受け
容器)54が配設されており、受け皿54は、その工具
4側の先端が工具4の外周面に近接する状態で配設され
ている。受け皿54は、洗浄ブラシ51が工具4表面を
洗浄した際に洗浄ブラシ51から飛散したり、滴下ある
いは落下する切り屑等の異物や洗浄液あるいは加工液を
受け取って収納する。
容器)54が配設されており、受け皿54は、その工具
4側の先端が工具4の外周面に近接する状態で配設され
ている。受け皿54は、洗浄ブラシ51が工具4表面を
洗浄した際に洗浄ブラシ51から飛散したり、滴下ある
いは落下する切り屑等の異物や洗浄液あるいは加工液を
受け取って収納する。
【0077】次に、本実施の形態の作用を説明する。本
実施の形態の研磨装置50は、研磨加工において、工具
4を工具4の軸と平行な方向に回転軸を有する洗浄ブラ
シ51を工具4の回転方向と同じ方向に回転させて、工
具4の加工面から異物を除去するとともに、洗浄ブラシ
51から滴下あるいは落下等する異物や洗浄液等を受け
皿54で受け取って、高品質の研磨加工を行うところに
その特徴がある。
実施の形態の研磨装置50は、研磨加工において、工具
4を工具4の軸と平行な方向に回転軸を有する洗浄ブラ
シ51を工具4の回転方向と同じ方向に回転させて、工
具4の加工面から異物を除去するとともに、洗浄ブラシ
51から滴下あるいは落下等する異物や洗浄液等を受け
皿54で受け取って、高品質の研磨加工を行うところに
その特徴がある。
【0078】すなわち、研磨装置50は、第1の実施の
形態の研磨装置1と同様に、主軸ヘッド2と加工物5を
相対移動させて、加工物5を研磨加工する。
形態の研磨装置1と同様に、主軸ヘッド2と加工物5を
相対移動させて、加工物5を研磨加工する。
【0079】このとき、工具4には、加工物5の切り屑
やゴミ等の異物が付着するが、本実施の形態の研磨装置
50は、工具4の表面に洗浄ブラシ51が押しつけられ
ており、工具4の回転により洗浄ブラシ51が工具4の
表面から切り屑等の異物を除去する。
やゴミ等の異物が付着するが、本実施の形態の研磨装置
50は、工具4の表面に洗浄ブラシ51が押しつけられ
ており、工具4の回転により洗浄ブラシ51が工具4の
表面から切り屑等の異物を除去する。
【0080】また、洗浄ブラシ51は、そのブラシ保持
部52が工具4の取り付けられているスピンドル3の軸
方向と平行の方向に軸方向を有し、このブラシ保持部5
2の軸方向を中心に回転駆動されているため、効率的に
工具4から異物を除去することができる。
部52が工具4の取り付けられているスピンドル3の軸
方向と平行の方向に軸方向を有し、このブラシ保持部5
2の軸方向を中心に回転駆動されているため、効率的に
工具4から異物を除去することができる。
【0081】さらに、洗浄ブラシ51の下方に受け皿5
4が配設されており、受け皿54で工具4を洗浄した洗
浄ブラシ51から飛散、滴下あるいは落下等する工具4
から除去された異物や洗浄液あるいは加工液を受け取
る。また、このとき、洗浄ブラシ51が工具4との接触
位置で工具4の回転方向と同じ方向、すなわち、受け皿
54方向に回転駆動されているため、洗浄ブラシ51か
ら飛散、滴下あるいは落下等する工具4から除去された
異物や洗浄液あるいは加工液をより一層適切に受け皿5
4内に収納することができ、これらの異物や汚れた洗浄
液あるいは加工液が工具4と加工物5の加工面との間に
進入することを防止することができる。その結果、正常
な加工液が工具4と加工物5との間に安定して供給され
るようにすることができ、加工物5の加工面をより一層
高精度に安定して研磨することができる。
4が配設されており、受け皿54で工具4を洗浄した洗
浄ブラシ51から飛散、滴下あるいは落下等する工具4
から除去された異物や洗浄液あるいは加工液を受け取
る。また、このとき、洗浄ブラシ51が工具4との接触
位置で工具4の回転方向と同じ方向、すなわち、受け皿
54方向に回転駆動されているため、洗浄ブラシ51か
ら飛散、滴下あるいは落下等する工具4から除去された
異物や洗浄液あるいは加工液をより一層適切に受け皿5
4内に収納することができ、これらの異物や汚れた洗浄
液あるいは加工液が工具4と加工物5の加工面との間に
進入することを防止することができる。その結果、正常
な加工液が工具4と加工物5との間に安定して供給され
るようにすることができ、加工物5の加工面をより一層
高精度に安定して研磨することができる。
【0082】以上、本発明者によってなされた発明を好
適な実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は
上記のものに限定されるものではなく、その要旨を逸脱
しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもな
い。
適な実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は
上記のものに限定されるものではなく、その要旨を逸脱
しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもな
い。
【0083】
【発明の効果】請求項1記載の発明の研磨装置によれ
ば、所定の曲率半径の工具を回転軸周りに回転させなが
ら、加工物を研磨加工するに際して、多数のブラシ毛が
保持部材に設けられた洗浄ブラシのブラシ毛の先端部を
回転する工具に押し当てて当該工具を洗浄しているの
で、工具と加工物との間に異物が進入することを防止す
ることができ、金型等の加工物を高精度に研磨加工する
ことができる。
ば、所定の曲率半径の工具を回転軸周りに回転させなが
ら、加工物を研磨加工するに際して、多数のブラシ毛が
保持部材に設けられた洗浄ブラシのブラシ毛の先端部を
回転する工具に押し当てて当該工具を洗浄しているの
で、工具と加工物との間に異物が進入することを防止す
ることができ、金型等の加工物を高精度に研磨加工する
ことができる。
【0084】請求項2記載の発明の研磨装置によれば、
洗浄ブラシを、ブラシ毛が所定本数ずつ毛束として束ね
られて当該毛束が複数の列状に保持部材に設けられてい
るとともに、列状の毛束が千鳥目状に保持部材に設けら
れたものとしているので、工具に対する毛束の見かけ上
の間隔を狭くして、洗浄ブラシで工具をより均一に洗浄
することができ、工具と加工物との間に異物が進入する
ことをより一層適切に防止して、金型等の加工物をより
高精度に研磨加工することができる。
洗浄ブラシを、ブラシ毛が所定本数ずつ毛束として束ね
られて当該毛束が複数の列状に保持部材に設けられてい
るとともに、列状の毛束が千鳥目状に保持部材に設けら
れたものとしているので、工具に対する毛束の見かけ上
の間隔を狭くして、洗浄ブラシで工具をより均一に洗浄
することができ、工具と加工物との間に異物が進入する
ことをより一層適切に防止して、金型等の加工物をより
高精度に研磨加工することができる。
【0085】請求項3記載の発明の研磨装置によれば、
洗浄ブラシを、保持部材が工具の回転軸と平行な方向に
中心軸を有する円筒形状に形成され、ブラシ毛が当該円
筒形状の保持部材の外周面に設けられて、保持部材が中
心軸の軸周りに回転駆動されて工具を洗浄するものとし
ているので、工具と同方向または逆方向に回転する洗浄
ブラシで工具をより一層均一に洗浄して、工具と加工物
との間に異物が進入することをより一層適切に防止する
ことができ、金型等の加工物をより一層高精度に研磨加
工することができる。
洗浄ブラシを、保持部材が工具の回転軸と平行な方向に
中心軸を有する円筒形状に形成され、ブラシ毛が当該円
筒形状の保持部材の外周面に設けられて、保持部材が中
心軸の軸周りに回転駆動されて工具を洗浄するものとし
ているので、工具と同方向または逆方向に回転する洗浄
ブラシで工具をより一層均一に洗浄して、工具と加工物
との間に異物が進入することをより一層適切に防止する
ことができ、金型等の加工物をより一層高精度に研磨加
工することができる。
【0086】請求項4記載の発明の研磨装置によれば、
洗浄ブラシを、保持部材が工具の回転軸と直交する方向
を中心軸として回転駆動され、当該保持部材の中心軸方
向の工具側の面にブラシ毛が設けられて、保持部材が回
転軸の軸周りに回転駆動されて工具を洗浄するものとし
ているので、ブラシ毛の並び方やブラシ毛の密度の相違
による洗浄の不均一性をなくして、洗浄ブラシで工具を
より一層均一に洗浄することができ、工具と加工物との
間に異物が進入することをより一層適切に防止して、金
型等の加工物をより一層高精度に研磨加工することがで
きる。
洗浄ブラシを、保持部材が工具の回転軸と直交する方向
を中心軸として回転駆動され、当該保持部材の中心軸方
向の工具側の面にブラシ毛が設けられて、保持部材が回
転軸の軸周りに回転駆動されて工具を洗浄するものとし
ているので、ブラシ毛の並び方やブラシ毛の密度の相違
による洗浄の不均一性をなくして、洗浄ブラシで工具を
より一層均一に洗浄することができ、工具と加工物との
間に異物が進入することをより一層適切に防止して、金
型等の加工物をより一層高精度に研磨加工することがで
きる。
【0087】請求項5記載の発明の研磨装置によれば、
洗浄ブラシを、ブラシ毛が工具に接触した状態で、工具
の回転軸方向に往復移動するものとしているので、ブラ
シ毛の並び方やブラシ毛の密度の相違による洗浄の不均
一性をなくして、洗浄ブラシで工具をより一層均一に洗
浄することができ、工具と加工物との間に異物が進入す
ることをより一層適切に防止して、金型等の加工物をよ
り一層高精度に研磨加工することができる。
洗浄ブラシを、ブラシ毛が工具に接触した状態で、工具
の回転軸方向に往復移動するものとしているので、ブラ
シ毛の並び方やブラシ毛の密度の相違による洗浄の不均
一性をなくして、洗浄ブラシで工具をより一層均一に洗
浄することができ、工具と加工物との間に異物が進入す
ることをより一層適切に防止して、金型等の加工物をよ
り一層高精度に研磨加工することができる。
【0088】請求項6記載の発明の研磨装置によれば、
洗浄ブラシに所定の洗浄液または加工液を供給する液供
給機構を設けているので、洗浄液や加工液を均一に供給
するとともに、洗浄ブラシによる工具の洗浄をより均一
に行うことができ、工具と加工物との間に異物が進入す
ることをより一層適切に防止して、金型等の加工物をよ
り一層高精度に研磨加工することができる。
洗浄ブラシに所定の洗浄液または加工液を供給する液供
給機構を設けているので、洗浄液や加工液を均一に供給
するとともに、洗浄ブラシによる工具の洗浄をより均一
に行うことができ、工具と加工物との間に異物が進入す
ることをより一層適切に防止して、金型等の加工物をよ
り一層高精度に研磨加工することができる。
【0089】請求項7記載の発明の研磨装置によれば、
洗浄ブラシの下方に、研磨屑等の異物、洗浄液または加
工液等を受け取る受け容器を配設しているので、工具と
加工物の間に異物や汚れた洗浄液または汚れた加工液が
進入することを適切に防止することができ、金型等の加
工物をより一層高精度に研磨加工することができる。
洗浄ブラシの下方に、研磨屑等の異物、洗浄液または加
工液等を受け取る受け容器を配設しているので、工具と
加工物の間に異物や汚れた洗浄液または汚れた加工液が
進入することを適切に防止することができ、金型等の加
工物をより一層高精度に研磨加工することができる。
【図1】本発明の研磨装置の第1の実施の形態を適用し
た研磨装置の要部斜視図。
た研磨装置の要部斜視図。
【図2】図1の研磨装置の工具部分の拡大正面図。
【図3】図1の研磨装置の洗浄液供給部分を含む工具部
分の拡大正面図。
分の拡大正面図。
【図4】図1の研磨装置の洗浄ブラシのブラシ毛側から
見た平面図。
見た平面図。
【図5】図4の洗浄ブラシのブラシ毛の毛束の配列方法
を変化させた例の平面図。
を変化させた例の平面図。
【図6】図1の研磨装置で洗浄ブラシで工具を洗浄しな
い場合の加工の領域とその形状深さを示すグラフ。
い場合の加工の領域とその形状深さを示すグラフ。
【図7】図1の研磨装置で洗浄ブラシで工具を洗浄した
場合の加工の領域とその形状深さを示すグラフ。
場合の加工の領域とその形状深さを示すグラフ。
【図8】本発明の研磨装置の第2の実施の形態を適用し
た研磨装置の要部正面図。
た研磨装置の要部正面図。
【図9】本発明の研磨装置の第3の実施の形態を適用し
た研磨装置の要部斜視図。
た研磨装置の要部斜視図。
【図10】本発明の研磨装置の第4の実施の形態を適用
した研磨装置の要部斜視図。
した研磨装置の要部斜視図。
【図11】本発明の研磨装置の第5の実施の形態を適用
した研磨装置の要部正面図。
した研磨装置の要部正面図。
1 研磨装置 2 主軸ヘッド 3 スピンドル 4 工具 5 加工物 6 洗浄ブラシ 7 ブラシ保持部 8 ブラシ毛 8a 毛束 9 液補給チューブ 10 洗浄液 20 研磨装置 21 洗浄ブラシ 22 ブラシ保持部 23 ブラシ毛 30 研磨装置 31 洗浄ブラシ 32 ブラシ保持部 33 ブラシ毛 40 研磨装置 41 洗浄ブラシ 42 ブラシ保持部 43 ブラシ毛 50 研磨装置 51 洗浄ブラシ 52 ブラシ保持部 53 ブラシ毛 54 受け皿
Claims (7)
- 【請求項1】回転軸に取り付けられた所定の曲率半径の
工具を、前記回転軸周りに回転させながら、加工物を研
磨加工する研磨装置において、多数のブラシ毛が保持部
材に設けられた洗浄ブラシの前記ブラシ毛の先端部を前
記回転する工具に押し当てて当該工具を洗浄することを
特徴とする研磨装置。 - 【請求項2】前記洗浄ブラシは、前記ブラシ毛が所定本
数ずつ毛束として束ねられて当該毛束が複数の列状に前
記保持部材に設けられているとともに、前記列状の毛束
が千鳥目状に前記保持部材に設けられていることを特徴
とする請求項1記載の研磨装置。 - 【請求項3】前記洗浄ブラシは、前記保持部材が前記工
具の前記回転軸と平行な方向に中心軸を有する円筒形状
に形成され、前記ブラシ毛が当該円筒形状の前記保持部
材の外周面に設けられており、前記保持部材が前記中心
軸の軸周りに回転駆動されて前記工具を洗浄することを
特徴とする請求項1または請求項2記載の研磨装置。 - 【請求項4】前記洗浄ブラシは、前記保持部材が前記工
具の前記回転軸と直交する方向を中心軸として回転駆動
され、当該保持部材の前記中心軸方向の前記工具側の面
に前記ブラシ毛が設けられており、前記保持部材が前記
回転軸の軸周りに回転駆動されて前記工具を洗浄するこ
とを特徴とする請求項1または請求項2記載の研磨装
置。 - 【請求項5】前記洗浄ブラシは、前記ブラシ毛が前記工
具に接触した状態で、前記工具の前記回転軸方向に往復
移動されることを特徴とする請求項1から請求項4のい
ずれかに記載の研磨装置。 - 【請求項6】前記研磨装置は、前記洗浄ブラシに所定の
洗浄液または加工液を供給する液供給機構を、さらに備
えたことを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか
に記載の研磨装置。 - 【請求項7】前記研磨装置は、前記洗浄ブラシの下方
に、研磨屑等の異物、洗浄液または加工液等を受け取る
受け容器が配設されていることを特徴とする請求項1か
ら請求項6のいずれかに記載の研磨装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP35884399A JP2001170864A (ja) | 1999-12-17 | 1999-12-17 | 研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP35884399A JP2001170864A (ja) | 1999-12-17 | 1999-12-17 | 研磨装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001170864A true JP2001170864A (ja) | 2001-06-26 |
Family
ID=18461397
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP35884399A Pending JP2001170864A (ja) | 1999-12-17 | 1999-12-17 | 研磨装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2001170864A (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1331062A1 (de) * | 2002-01-25 | 2003-07-30 | Oerlikon Geartec AG | Schleifmaschine mit Schleifscheibenbürste, Verfahren zur Verwendung einer Schleifscheibenbürste |
JP2008221449A (ja) * | 2007-03-16 | 2008-09-25 | Dainippon Printing Co Ltd | ドクター刃研磨装置およびドクター刃研磨方法 |
EP2460624A1 (de) * | 2010-12-06 | 2012-06-06 | Jöst GmbH | Schleifvorrichtung zum maschinellen Schleifen von Rotorblättern für Windkraftanlagen |
JP2016101656A (ja) * | 2012-08-07 | 2016-06-02 | 株式会社荏原製作所 | ドレッサーディスク洗浄用ブラシ、洗浄装置及び洗浄方法 |
WO2020003357A1 (ja) * | 2018-06-25 | 2020-01-02 | 三菱電機株式会社 | エレベータのガイドレール加工装置 |
CN110640474A (zh) * | 2019-09-19 | 2020-01-03 | 泉州市泉港区伟昌晟贸易有限公司 | 一种市政工程用钢材剪切机 |
CN111230611A (zh) * | 2020-03-06 | 2020-06-05 | 南京俊达诚数控科技有限公司 | 一种具有清洁功能的散热型高精度外圆打磨设备 |
CN111451920A (zh) * | 2020-05-25 | 2020-07-28 | 宁波大榭开发区佳洁锌铸件有限公司 | 一种全自动抛光机 |
CN114310541A (zh) * | 2021-11-30 | 2022-04-12 | 盐城刚达机械有限公司 | 一种金属加工用可清理废屑的磨边装置 |
-
1999
- 1999-12-17 JP JP35884399A patent/JP2001170864A/ja active Pending
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1331062A1 (de) * | 2002-01-25 | 2003-07-30 | Oerlikon Geartec AG | Schleifmaschine mit Schleifscheibenbürste, Verfahren zur Verwendung einer Schleifscheibenbürste |
JP2008221449A (ja) * | 2007-03-16 | 2008-09-25 | Dainippon Printing Co Ltd | ドクター刃研磨装置およびドクター刃研磨方法 |
EP2460624A1 (de) * | 2010-12-06 | 2012-06-06 | Jöst GmbH | Schleifvorrichtung zum maschinellen Schleifen von Rotorblättern für Windkraftanlagen |
WO2012076418A1 (de) * | 2010-12-06 | 2012-06-14 | Jöst Gmbh | Schleifvorrichtung zum maschinellen schleifen von rotorblättern für windkraftanlagen |
JP2016101656A (ja) * | 2012-08-07 | 2016-06-02 | 株式会社荏原製作所 | ドレッサーディスク洗浄用ブラシ、洗浄装置及び洗浄方法 |
JPWO2020003357A1 (ja) * | 2018-06-25 | 2020-12-17 | 三菱電機株式会社 | エレベータのガイドレール加工装置 |
WO2020003357A1 (ja) * | 2018-06-25 | 2020-01-02 | 三菱電機株式会社 | エレベータのガイドレール加工装置 |
CN112334272A (zh) * | 2018-06-25 | 2021-02-05 | 三菱电机株式会社 | 电梯的导轨加工装置 |
CN110640474A (zh) * | 2019-09-19 | 2020-01-03 | 泉州市泉港区伟昌晟贸易有限公司 | 一种市政工程用钢材剪切机 |
CN111230611A (zh) * | 2020-03-06 | 2020-06-05 | 南京俊达诚数控科技有限公司 | 一种具有清洁功能的散热型高精度外圆打磨设备 |
CN111451920A (zh) * | 2020-05-25 | 2020-07-28 | 宁波大榭开发区佳洁锌铸件有限公司 | 一种全自动抛光机 |
CN114310541A (zh) * | 2021-11-30 | 2022-04-12 | 盐城刚达机械有限公司 | 一种金属加工用可清理废屑的磨边装置 |
CN114310541B (zh) * | 2021-11-30 | 2023-08-18 | 盐城刚达机械有限公司 | 一种金属加工用可清理废屑的磨边装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100488437B1 (ko) | 세정장치 | |
JP2001170864A (ja) | 研磨装置 | |
US20050150525A1 (en) | Cleaning method and cleaning device for fluid dynamic bearings component | |
JP2019534160A (ja) | ガラスシートをクリーニングするための方法、装置、およびアセンブリ | |
WO1999046083A1 (fr) | Dispositif de nettoyage pour dresseur correcteur de marbre | |
US6722956B2 (en) | Working apparatus | |
JPH079342A (ja) | 両面研磨機定盤の洗浄装置 | |
CN117718821A (zh) | 晶圆磨削后处理***、装置、方法及晶圆减薄设备 | |
JP3680185B2 (ja) | 洗浄用ローラ | |
JPH11126755A (ja) | 半導体熱処理用ボートの製造方法 | |
JP2000254855A (ja) | 研磨パッドのコンディショニング装置および研磨パッドのコンディショニング方法 | |
JP2000343440A (ja) | 研磨砥石及び研磨砥石の製造方法 | |
GB0317402D0 (en) | Tops cleaning brushing and resharpening device | |
JP2020124805A (ja) | 研磨部材、及び、研磨方法 | |
CN112974324B (zh) | 晶圆清洗刷及晶圆清洗装置 | |
JP3407691B2 (ja) | ベルト駆動回転付与方式硬脆材円筒形状品の研削方法 | |
JP2019089183A (ja) | 端面清掃方法、及び、切削装置 | |
JPH08323596A (ja) | ガラスの研削装置 | |
JP2005021995A (ja) | 金属リングのブラシ研磨装置 | |
JP2000246639A (ja) | 平面研削装置 | |
JP2002273656A (ja) | 砥石ドレッシング装置 | |
JPH09248750A (ja) | 光ファイバーコネクタ端面加工方法及び装置 | |
JP2004106094A (ja) | 研磨装置 | |
JP7327974B2 (ja) | ウェーハの分割方法 | |
JPS6218369Y2 (ja) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20040527 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040608 |
|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20040726 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040831 |