JP2001165113A - エアクッション機構付きリニアアクチュエーター - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 エアクッション式の緩衝機構を備えた小形で
合理的な設計構造を有するリニアアクチュエーターを得
る。 【解決手段】 基台１に内蔵した２組のエアシリンダ−
機構４Ａ，４Ｂで、基台１上のスライドテーブルを直線
的に往復動作させるようにしたリニアアクチュエーター
において、ポート３０ａ，３０ｂと隣接する位置に排気
口３４を設け、この排気口３４とポート３０ａ，３０ｂ
との間に排気の流量を制限する流量制限機構３５を設け
ると共に、ピストン２１Ａの外周面に、該ピストン２１
Ａがストローク端に到達する直前に排気側のポートのポ
ート孔３０ｃを乗り越えて圧力室内の圧縮空気を上記排
気口３４から流量制限機構３５を通じて排出させるよう
に動作するクッションパッキン４３ａ，４３ｂを設け
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基台に内蔵した２
組のエアシリンダ−機構を同期的に動作させて該基台上
のスライドテーブルを直線的に動作させるリニアアクチ
ュエーターに関するものであり、更に詳しくは、上記ス
ライドテーブルをストローク端に緩衝的に停止させるた
めの手段を備えたリニアアクチュエーターに関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】例えば特開平１０−６１６１１号公報に
開示されているように、基台に２組のエアシリンダ−機
構を内蔵し、これらのエアシリンダ−機構を同期的に動
作させて該基台上のスライドテーブルを直線的に往復動
作させるようにしたリニアアクチュエーターは、既に公
知である。

【０００３】このようなリニアアクチュエーターにおい
ては、スライドテーブルをストローク端に緩衝的に停止
させるために、各種の緩衝機構が付設されている。例え
ば、基台の側面にばねで弾発されたダンパーを設け、こ
のダンパーに、スライドテーブルの側面に設けた当接子
をストローク端で当接させるものなどである。

【０００４】しかしながら、公知のリニアアクチュエー
ターに設けられている緩衝機構は何れも、衝撃を機械的
に吸収する方式のもので、構造が簡単で動作も確実では
あるが、衝撃音がしたり、緩衝機構が側面に突出してい
るなどの理由により、用途によっては使用できない場合
がある。

【０００５】一方、通常のエアシリンダ−装置において
は、ピストンの動作時に排気側の圧力室内のエアを一時
的に封じ込めて昇圧させ、この排気圧でピストンを減速
させてストロークエンドに緩衝的に停止させるエアクッ
ション式の緩衝機構が用いられている。

【０００６】しかしながらこのエアクッション式の緩衝
機構は、ピストンの少なくとも一側に長さの長いクッシ
ョンリングを設けると共に、圧力室に該クッションリン
グが嵌入する長いクッション室を設ける方式のものであ
るため、シリンダの軸線方向の長さが長くなり、これを
そのままリニアアクチュエーターに適用しても、該リニ
アアクチュエーターが大形化するだけである。しかも、
２組のエアシリンダ−機構を有しているため、それぞれ
にエアクッションを設けるとなると、リニアアクチュエ
ーターがさらに大形化してしまう。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】本発明の技術的課題
は、エアクッション式の緩衝機構を備えた小形で合理的
な設計構造を有するリニアアクチュエーターを提供する
ことにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明のリニアアクチュエーターは、シリンダー孔
内を摺動自在のピストンと該ピストンの両側に区画され
た圧力室とを備え、対応する圧力室同士が連通孔により
相互に連通されている２組のエアシリンダ−機構；これ
らのエアシリンダ−機構を内蔵する基台；上記基台に摺
動自在に取り付けられて上記エアシリンダ−機構により
駆動されるスライドテーブル；上記各エアシリンダ−機
構の圧力室に圧縮空気を供給するための両エアシリンダ
−機構に共通の一対のポート、及びこれらの各ポートと
一方のエアシリンダ−機構の各圧力室とを結ぶポート
孔；上記各エアシリンダ−機構のピストンを正逆少なく
とも一方のストローク端に緩衝的に停止させるための、
両エアシリンダ−機構に共通のエアクッション機構；を
有し、上記エアクッション機構が、少なくとも一方のポ
ート側に設けられて圧力室に上記ポート孔よりも室端寄
りの位置で連通する排気口と、この排気口から排出され
る排気の流量を制限する流量制限機構と、上記ピストン
の外周面に取り付けられ、該ピストンがストローク端に
到達する直前に上記ポート孔を乗り越えて圧力室内の圧
縮空気を上記排気口から流量制限機構を通じて排出させ
るように動作するクッションパッキンとを有することを
特徴とするものである。

【０００９】上記構成を有する本発明のリニアアクチュ
エーターにおいて、一対のポートを通じて各エアシリン
ダ−機構の圧力室に圧縮空気を供給及び排出すると、両
エアシリンダ−機構のピストンは同期的に動作し、スラ
イドテーブルが基台上を直線的に往復移動する。

【００１０】上記スライドテーブルがストローク端に到
達したときの緩衝的停止は、２組のエアシリンダ−機構
のピストンを共通のエアクッション機構で同期的に減速
させることにより行われる。すなわち、各エアシリンダ
−機構におけるピストンの摺動時に、排気側の各圧力室
内の圧縮空気は初めは主として上記ポート孔からポート
を通じて排出されているが、該ピストンがストローク端
に近づいてクッションパッキンが上記排気側のポート孔
を越えると、該ポート孔と上記圧力室とが遮断され、該
圧力室内の圧縮空気は排気口のみから流量制限機構を通
じて制限的に排出されるようになる。このため、該流量
制限機構による流量制御によって上記圧力室内の圧力が
上昇し、それがピストン背圧となってピストンを減速さ
せながらストローク終端に到達させる。

【００１１】このように上記リニアアクチュエーター
は、エアクッション式の緩衝機構を備えているため、機
械式の緩衝機構のような衝突音がなく静かであると共
に、発塵のおそれもなく、クリーンルーム等においても
使用することができる。また、従来のように機械式の緩
衝機構をスライドテーブルの片側だけに設けると、停止
時に該スライドテーブルが片側で支持されるために軸線
が傾き易くなるが、本発明では、各エアシリンダ−機構
のピストンにその推力が発生する方向と同一軸線上にお
いてクッション効果が働き、しかも各エアシリンダ−機
構が同期的に減速されるため、スライドテーブルの傾き
は生じない。さらに、２組のエアシリンダ−機構に１つ
の共通のエアクッション機構を設けているだけでなく、
このエアクッション機構が従来のような長いクッション
リングやそれが嵌入する長いクッション室を必要としな
いので、リニアアクチュエータを非常に小形で合理的な
設計構造とすることができる。

【００１２】本発明の具体的な実施形態によれば、上記
流量制限機構が、上記圧力室から排出される排気の流量
を規定する絞り手段と、該絞り手段と並列に設けられ、
上記圧力室から排出される排気の流れは阻止して圧力室
に流入する給気の流れは許容する逆止弁とを有してい
る。

【００１３】本発明の好ましい一つの実施形態によれ
ば、上記基台に排気口とポートとを結ぶ弁室が形成さ
れ、この弁室内に絞り手段を有する弁部材を、室壁との
間に逆止弁を形成するリップシールを介在させて収容す
ることにより、該弁室内に上記流量制限機構が組み込ま
れている。

【００１４】本発明の他の実施形態によれば、上記基台
に排気口とポートとを結ぶ弁室が形成されると共に、こ
の弁室と圧力室とを結ぶ補助孔が上記排気口よりも端部
寄りの位置でシリンダー孔に開口するように形成され、
上記弁室内に絞り手段が設けられ、上記補助孔と圧力室
との間に上記逆止弁が設けられている。この場合、上記
絞り手段が、絞り孔を兼ねる上記排気口とこの排気口の
開口面積を調整するためのニードルとを有し、また、上
記逆止弁がリップシールからなっていて、このリップシ
ールが、上記シリンダー孔の端部を閉塞するカバーの外
周と該シリンダー孔の孔面とに間に設けられていること
が望ましい。

【００１５】また、本発明においては、上記２組のエア
シリンダ−機構のうち上記ポート及び排気口に直接連通
する一方のエアシリンダ−機構のピストンが、上記クッ
ションパッキンと、ストローク端で上記ポート孔の手前
に停止するピストンパッキンとを有し、他方のエアシリ
ンダ−機構のピストンが、ストローク端で圧力室同士を
結ぶ連通孔の手前に停止するピストンパッキンのみを有
するように構成することができる。

【００１６】

【発明の実施の形態】本発明の好ましい実施形態を図面
を参照しながら詳細に説明する。図１〜図５に示す第１
実施例のリニアアクチュエーター１００は、扁平な短角
柱状をした基台１と、該基台１の上面に設けられたリニ
アガイド２と、基台１の上面に該リニアガイド２に沿っ
て摺動自在なるように設けられたスライドテーブル３
と、上記基台１の内部に並列に内蔵されて該スライドテ
ーブル３を駆動する、同期して動作する第１及び第２の
２組のエアシリンダ−機構４Ａ，４Ｂと、これらのエア
シリンダ−機構４Ａ，４Ｂをストローク端に緩衝的に停
止させるためのエアクッション機構５ａ，５ｂとを備え
ている。

【００１７】上記リニアガイド２は、基台１の上面中央
部に固定された矩形のガイドブロック１０を有してい
て、このガイドブロック１０を跨ぐように上記スライド
テーブル３が取り付けられ、これらガイドブロック１０
の両側面の溝１１とスライドテーブル３の両ガイド壁３
ａ内面の溝１２との間にそれぞれ、複数のボール１３が
転動自在に介在せしめられており、これらのボール１３
の転動によって上記スライドテーブル３が、ガイドブロ
ック１０に沿って直線的に往復移動するようになってい
る。

【００１８】上記ボール１３はまた、上記溝１１の他
に、ガイドブロック１０の両側端部寄りの位置に溝１１
と平行に形成されたボール孔１４内にも収容されてい
て、これらの溝１１内のボール１３とボール孔１４内の
ボール１３とが環状の列をなすように連なっており、ス
ライドテーブル３の摺動時にこれらのボール１３が、上
記溝１１とボール孔１４とに沿って循環的に転動するよ
うになっている。

【００１９】上記２組のエアシリンダ−機構４Ａ，４Ｂ
は、図４及び図５から明らかなように、扁平な基台１の
内部に並列に内蔵されていて、ピストン２１Ａ，２１Ｂ
の構成が若干相違している以外は以下に述べるように実
質的に同じ構成を有するものである。なお、以下の説明
において上記ピストン２１Ａ，２１Ｂは、それらを区別
するとき以外は共通符号「２１」で表わすものとする。

【００２０】すなわち、上記基台１の内部には、その軸
線方向に延びる２つのシリンダ孔２０，２０が左右平行
に設けられ、これらの各シリンダ孔２０内に上記ピスト
ン２１が摺動自在に収容されると共に、該ピストン２１
に連結されて先端がシリンダ孔２０の一方から突出する
ピストンロッド２２が設けられている。また、上記各シ
リンダ孔２０のヘッド側の端部はヘッドカバー２４によ
り閉塞され、ロッド側の端部にはロッドカバー２５が取
り付けられ、このロッドカバー２５を上記ピストンロッ
ド２２が、シール部材を介して気密にかつ摺動自在なる
ように貫通している。

【００２１】これによって上記ピストン２１の両側に
は、上記ヘッドカバー２４との間にヘッド側圧力室２６
ａが形成されると共に、ロッドカバー２５との間にロッ
ド側圧力室２６ｂが形成され、２組のエアシリンダ−機
構４Ａ，４Ｂの対応する圧力室同士、すなわちヘッド側
圧力室２６ａ，２６ａ同士とロッド側圧力室２６ｂ，２
６ｂ同士とがそれぞれ、基台１に穿設した連通孔２７
ａ，２７ｂにより相互に連通している。

【００２２】そして、上記基台１における第１のエアシ
リンダ−機構４Ａ側の側面には、該第１のエアシリンダ
−機構４Ａにおける一対の圧力室２６ａ，２６ｂに圧縮
給気を供給するための一対のポート３０ａ，３０ｂが設
けられ、これらのポート３０ａ，３０ｂと圧力室２６
ａ，２６ｂとがそれぞれ、ポート孔３０ｃ，３０ｃを通
じて相互に連通している。これらのポート３０ａ，３０
ｂは、２組のエアシリンダ−機構４Ａ，４Ｂに共通のも
ので、これらのポート３０ａ，３０ｂから第１のエアシ
リンダ−機構４Ａのヘッド側圧力室２６ａとロッド側圧
力室２６ｂとに交互に圧縮空気を供給することにより、
圧力室同士が連通する２組のエアシリンダ−機構４Ａ，
４Ｂのピストン２１Ａ，２１Ｂが互いに同期して摺動す
るようになっている。

【００２３】上記２組のエアシリンダ−機構４Ａ，４Ｂ
におけるピストンロッド２２の先端には、共通の中継プ
レート３２が取り付けられていて、この中継プレート３
２が上記スライドテーブル３に連結され、この中継プレ
ート３２を介してスライドテーブル３が２つのエアシリ
ンダ−機構４Ａ，４Ｂにより駆動されるようになってい
る。

【００２４】また、上記エアクッション機構５ａ，５ｂ
は、２組のエアシリンダ−機構４Ａ，４Ｂに共通のもの
で、第１のエアシリンダ−機構４Ａに付設することによ
って連鎖的に第２のエアシリンダ−機構４Ｂもエアクッ
ション作用を生ずるように構成されている。すなわち、
このエアクッション機構５ａ，５ｂは、上記一対のポー
ト３０ａ，３０ｂに隣接する位置に設けられてポート孔
３０ｃ，３０ｃよりも室端側に寄った位置で各圧力室２
６ａ，２６ｂに開口する排気口３４と、これらの排気口
３４とポート３０ａ，３０ｂとの間に接続されて上記圧
力室２６ａ，２６ｂから排出される排気の流量を制限す
る流量制限機構３５とを有している。

【００２５】上記流量制限機構３５は、図６からも分か
るように、排気流量を規制する絞り孔３７と、該絞り孔
３７を経由しない排気の流れは阻止する逆止弁３８とを
並列に接続することにより構成したもので、基台１の側
面に形成した弁室３９内に収容されている。すなわち、
該基台１の側面には、上記排気口３４とポート３０ａ，
３０ｂの両方に通じる上記弁室３９が形成され、該弁室
３９内に円柱状の弁部材４０が収容されていて、該弁部
材４０に上記絞り孔３７が設けられると共に、該弁部材
４０の外周面と弁室３９の内周面との間に上記逆止弁３
８を形成するリップシールが介在されている。図中４１
は上記弁室３９とポート３０ａ，３０ｂとを結ぶ流路で
ある。

【００２６】上記絞り孔３７は、排気口３４とポート３
０ａ，３０ｂとを結ぶように形成されていて、弁部材４
０に設けたニードル３７ａで開口面積を調整できるよう
になっている。従ってこれらの絞り孔３７とニードル３
７ａとは、排気の流量を調整する絞り手段３６を形成す
るものである。しかしながら上記絞り孔３７は、このよ
うな可変絞りタイプのものに限らず、上記ニードル３７
ａを持たない固定絞りタイプのものであっても良く、こ
の場合には、絞り孔のみによって上記絞り手段が形成さ
れることになる。

【００２７】一方の逆止弁３８は、ピストン２１のスト
ローク終端側のクッション行程において、圧力室２６
ａ，２６ｂからの排気が上記絞り孔３７を通じてポート
３０ａ，３０ｂ側へと流れるもの以外は阻止し、ピスト
ン２１の駆動開始時には、ポート３０ａ，３０ｂからの
圧縮空気を圧力室２６ａ，２６ｂへ自由に流入させるも
のである。

【００２８】上記第１のエアシリンダ−機構４Ａにおけ
るピストン２１Ａの外周面には、２つのパッキン４３
ａ，４３ｂが取り付けられている。これらのパッキン４
３ａ，４３ｂは、ピストン２１Ａの両側の２つの圧力室
２６ａ，２６ｂを区画するピストンパッキンとしての機
能を有することは勿論であるが、それ以外にクッション
パッキンとしての機能をも兼備していて、上記ピストン
２１Ａがストローク端に到達する直前に移動方向前方側
のパッキン４３ａ又は４３ｂが排気状態にあるポート３
０ａ又は３０ｂのポート孔３０ｃを乗り越え、圧力室２
６ａ又は２６ｂ内の圧縮空気を上記排気口３４のみから
排出させるように動作する。このとき、ピストン２１Ａ
の移動方向後方側のパッキン４３ｂ又は４３ａは、排気
側のポート３０ｂ又は３０ａのポート孔３０ｃを越える
ことなく、ピストン２１Ａがストローク端に到達したと
き該ポート孔３０ｃの手前に停止する。

【００２９】なお、第２のエアシリンダ−機構４Ｂにお
けるピストン２１Ｂの外周面には、１つのパッキン４３
だけが取り付けられ、これがピストンパッキンとして機
能するようになっている。このピストンパッキン４３
は、ストローク端において、２つのエアシリンダ−機構
４Ａ，４Ｂの対応する圧力室２６ａ，２６ａ同士及び２
６ｂ，２６ｂ同士を結ぶ連通孔２７ａ，２７ｂの手前で
それぞれ停止する。

【００３０】上記構成を有するリニアアクチュエーター
において、２つのポート３０ａ，３０ｂから２組のエア
シリンダ−機構４Ａ，４Ｂの圧力室２６ａ，２６ｂに圧
縮空気を交互に供給すると、両エアシリンダ−機構４
Ａ，４Ｂのピストン２１Ａ，２１Ｂが同期的に動作し、
ピストンロッド２２，２２及び中継プレート３２を介し
てスライドテーブル３がリニアガイド２に沿って移動す
る。このとき、上記スライドテーブル３のストローク端
での緩衝的停止は、２組のエアシリンダ−機構４Ａ，４
Ｂのピストン２１Ａ，２１Ｂを、共通のエアクッション
機構５ａ，５ｂでストローク端に同期的に減速停止させ
ることにより行われる。この点を、図４及び図５によ
り、ピストン２１Ａ，２１Ｂをヘッド側のストローク端
にエアクッション機構５ａで緩衝的に停止させる場合に
ついて説明する。

【００３１】すなわち、図４に示すように、ロッド側ポ
ート３０ｂからエアシリンダ−機構４Ａ，４Ｂのロッド
側圧力室２６ｂに圧縮空気を供給すると、ピストン２１
Ａ，２１Ｂはヘッド側に向けて図の右方向に移動する。
このとき、排気側であるヘッド側圧力室２６ａ内の圧縮
空気は、ヘッド側ポート３０ａのポート孔３０ｃと排気
口３４とを通じて排出されているが、ピストン２１Ａが
ストローク端に近づいて、移動方向前方側のパッキン４
３ａが図５に示すように排気側のポート３０ａのポート
孔３０ｃを乗り越えると、該ポート孔３０ｃと上記圧力
室２６ａとが遮断され、該圧力室２６ａ内の圧縮空気
は、エアクッション機構５ａの排気口３４のみから流量
制限機構３５を通じて制限的に排出されるようになる。
このため、該流量制限機構３５による流量制御によって
上記圧力室２６ａｂ内の圧力が上昇し、それがピストン
背圧となって２つのピストン２１Ａ，２１Ｂを減速させ
ながら、ストローク終端に到達させる。

【００３２】上述した場合とは逆に、ピストン２１Ａ，
２１Ｂを上記ヘッド側のストローク端からロッド側に向
けて図の左方向に移動させる場合は、ヘッド側のポート
３０ａに圧縮空気を供給する。このとき、該ポート３０
ａのポート孔３０ｃは、ピストン２１Ａ上の２つのパッ
キン４３ａ，４３ｂの間にあって閉鎖されているが、上
記ポート３０ａからの圧縮空気は流量制限機構３５にお
ける逆止弁３８を押し開いて圧力室２６ａ内に自由に流
入するため、ピストン２１Ａ，２１Ｂは所定の速度で起
動することができる。そして、図４に示すようにピスト
ン２１Ａの移動方向後方側のパッキン４３ａが上記ポー
ト３０ａのポート孔３０ｃを越えると、圧縮空気はこの
ポート孔３０ｃを通じて直接圧力室２６ａに流入するよ
うになるため、ピストン２１はそのまま引き続いて移動
する。

【００３３】上記ピストン２１Ａ，２１Ｂがロッド側の
ストローク端に到達するときは、ロッド側のエアクッシ
ョン機構５ｂが機能する。すなわち、上記ピストン２１
Ａがストローク端に近づくと、その移動方向前方側にあ
るパッキン４３ｂが、ロッド側圧力室２６ｂからの排気
の流出経路を、ポート孔３０ｃを通じてポート３０ｂか
ら直接排出されている状態から、エアクッション機構５
ｂの排気口３４及び流量制限機構３５を経由して制限的
に排出される状態に切換える。このため２つのピストン
２１Ａ，２１Ｂは、ロッド側ストローク端に減速しなが
ら緩衝的に停止することになる。

【００３４】このように上記リニアアクチュエーター
は、エアクッション式の緩衝機構を備えているため、機
械式の緩衝機構のような衝突音がなく静かであると共
に、発塵のおそれもなく、クリーンルーム等においても
使用することができる。また、従来のように機械式の緩
衝機構をスライドテーブル３の片側だけに設けると、停
止時に該スライドテーブル３が片側で支持されるために
軸線が傾き易くなるが、本発明では、各エアシリンダ−
機構４Ａ，４Ｂのピストン２１，２１にその推力が発生
する方向と同一軸線上においてクッション効果が働き、
しかもこれらのエアシリンダ−機構４Ａ，４Ｂが同期的
に減速されるため、スライドテーブル３の傾きは生じな
い。さらに、２組のエアシリンダ−機構４Ａ，４Ｂに共
通のエアクッション機構５ａ，５ｂを設けているだけで
なく、このエアクッション機構５ａ，５ｂが従来のよう
な長いクッションリングやそれが嵌入する長いクッショ
ン室を必要としないので、リニアアクチュエータを非常
に小形で合理的な設計構造とすることができる。

【００３５】図７及び図８は本発明に係るリニアアクチ
ュエーターの第２実施例を示すもので、このリニアアク
チュエーター２００が上記第１実施例と相違する点は、
第１実施例では流量制限機構３５における絞り手段３６
と逆止弁３８とを何れもポート３０ａ，３０ｂに隣接す
る弁室３９内に設けているのに対し、この第２実施例で
は、絞り手段３６を弁室３９内に設け、逆止弁３８はシ
リンダー孔２０内に設けている点である。即ち、上記弁
室３９内に開口する排気口３４に絞り孔としての機能を
兼備させ、この排気口３４の開口面積を調整するニード
ル４５をホルダー４６に進退調節自在に保持させて上記
弁室３９内に設けることにより、絞り手段３６をこの弁
室３９内に収容している。また、上記基台１には、上記
弁室３９と各圧力室２６ａ，２６ｂとを結ぶ補助孔４７
が上記排気口３４よりもシリンダー孔２０の端部寄りの
位置で該シリンダー孔２０に開口するように形成され、
ヘッドカバー２４及びロッドカバー２５の外周とシリン
ダー孔２０の孔面との間にそれぞれリップシールからな
る上記逆止弁３８が設けられている。

【００３６】第２実施例における上記以外の構成やその
変形例等については、実質的に上記第１実施例と同じで
あるため、主要な同一構成部分に第１実施例と同じ符号
を付してその説明は省略する。

【００３７】かくして、逆止弁３８をヘッドカバー２４
及びロッドカバー２５に保持させてシリンダー孔２０内
に設けることにより、弁室３９内にはニードル４５を設
けるだけで良く、しかも排気口３４が絞り孔を兼ねてい
て専用の絞り孔を別に設ける必要がないため、上記弁室
３９の容積及びこの弁室内に収容する流量制限機構３５
を小さくすることができ、この結果、基台１の肉厚を上
記第１実施例の場合よりは小さくすることが可能となっ
てリニアアクチュエーター全体を小形化することができ
る。

【００３８】なお、上記各実施例では、ピストン２１を
正逆両方のストローク端で緩衝的に停止させ得るように
両ストローク端の位置に２つのエアクッション機構５
ａ，５ｂを設けているが、何れか一つのエアクッション
機構５ａ又は５ｂだけを設けることにより、ピストン２
１を一方のストローク端だけに緩衝的に停止させるよう
に構成することもできる。

【００３９】

【発明の効果】このように本発明によれば、エアクッシ
ョン式の緩衝機構を備えた小形で合理的な設計構造を有
するリニアアクチュエーターを得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るエアクッション機構付きリニアア
クチュエーターの第１実施例を示す斜視図である。

【図２】図１のリニアアクチュエーターの側面図であ
る。

【図３】図２におけるＡ−Ａ線での断面図である。

【図４】図２におけるＢ−Ｂ線での断面図である。

【図５】図４とは異なる動作位置を示す断面図である。

【図６】図４の要部拡大図である。

【図７】本発明のリニアアクチュエーターの第２実施例
を示す断面図である。

【図８】図７の要部拡大図である。

【符号の説明】

１００，２００ リニアアクチュエーター １ 基台 ３ スライドテーブル ４Ａ，４Ｂ エアシリンダ−機構 ５ａ，５ｂ エアクッション機構 ２１Ａ，２１Ｂ ピストン ２４ ヘッドカバー ２５ ロッドカバー ２６ａ，２６ｂ 圧力室 ２７ａ，２７ｂ 連通孔 ３０ａ，３０ｂ ポート ３０ｃ ポート孔 ３４ 排気口 ３５ 流量制限機構 ３６ 絞り手段 ３７ 絞り孔 ３８ 逆止弁 ３９ 弁室 ４０ 弁部材 ４３ａ，４３ｂ パッキン ４５ ニードル ４７ 補助孔

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】シリンダー孔内を摺動自在のピストンと該
   ピストンの両側に区画された圧力室とを備え、対応する
   圧力室同士が連通孔により相互に連通されている２組の
   エアシリンダ−機構；これらのエアシリンダ−機構を内
   蔵する基台；上記基台に摺動自在に取り付けられて上記
   エアシリンダ−機構により駆動されるスライドテーブ
   ル；上記各エアシリンダ−機構の圧力室に圧縮空気を供
   給するための両エアシリンダ−機構に共通の一対のポー
   ト、及びこれらの各ポートと一方のエアシリンダ−機構
   の各圧力室とを結ぶポート孔；上記各エアシリンダ−機
   構のピストンを正逆少なくとも一方のストローク端に緩
   衝的に停止させるための、両エアシリンダ−機構に共通
   のエアクッション機構；を有し、上記エアクッション機
   構が、少なくとも一方のポート側に設けられて圧力室に
   上記ポート孔よりも室端寄りの位置で連通する排気口
   と、この排気口から排出される排気の流量を制限する流
   量制限機構と、上記ピストンの外周面に取り付けられ、
   該ピストンがストローク端に到達する直前に上記ポート
   孔を乗り越えて圧力室内の圧縮空気を上記排気口から流
   量制限機構を通じて排出させるように動作するクッショ
   ンパッキンとを有する、ことを特徴とするエアクッショ
   ン機構付きリニアアクチュエーター。
2. 【請求項２】請求項１に記載のリニアアクチュエーター
   において、上記流量制限機構が、上記圧力室から排出さ
   れる排気の流量を規定する絞り手段と、該絞り手段と並
   列に設けられ、上記圧力室から排出される排気の流れは
   阻止して圧力室に流入する給気の流れは許容する逆止弁
   とを有することを特徴とするもの。
3. 【請求項３】請求項２に記載のリニアアクチュエーター
   において、上記基台に排気口とポートとを結ぶ弁室が形
   成され、この弁室内に絞り手段を有する弁部材を、室壁
   との間に逆止弁を形成するリップシールを介在させて収
   容することにより、該弁室内に上記流量制限機構が組み
   込まれていることを特徴とするもの。
4. 【請求項４】請求項２に記載のリニアアクチュエーター
   において、上記基台に排気口とポートとを結ぶ弁室が形
   成されると共に、この弁室と圧力室とを結ぶ補助孔が上
   記排気口よりも端部寄りの位置でシリンダー孔に開口す
   るように形成され、上記弁室内に絞り手段が設けられ、
   上記補助孔と圧力室との間に上記逆止弁が設けられてい
   ることを特徴とするもの。
5. 【請求項５】請求項４に記載のリニアアクチュエーター
   において、上記絞り手段が、絞り孔を兼ねる上記排気口
   と該排気口の開口面積を調整するためのニードルとを有
   し、また上記逆止弁がリップシールからなっていて、こ
   のリップシールが、上記シリンダー孔の端部を閉塞する
   カバーの外周と該シリンダー孔の孔面との間に設けられ
   ていることを特徴とするもの。
6. 【請求項６】請求項１から５までの何れかに記載のリニ
   アアクチュエーターにおいて、上記２組のエアシリンダ
   −機構のうち上記ポート及び排気口に直接連通する一方
   のエアシリンダ−機構のピストンが、上記クッションパ
   ッキンと、ストローク端で上記ポート孔の手前に停止す
   るピストンパッキンとを有し、他方のエアシリンダ−機
   構のピストンが、ストローク端で圧力室同士を結ぶ連通
   孔の手前に停止するピストンパッキンのみを有すること
   を特徴とするもの。