JP2001126282A

JP2001126282A - 光情報記録再生装置

Info

Publication number: JP2001126282A
Application number: JP2000246898A
Authority: JP
Inventors: Nobuyuki Kasama; 宣行笠間; Manabu Omi; 学大海; Yasuyuki Mitsuoka; 靖幸光岡; Hidetaka Maeda; 英孝前田; Kenji Kato; 健二加藤; Takashi Arawa; 隆新輪
Original assignee: Seiko Instruments Inc
Current assignee: Seiko Instruments Inc
Priority date: 1999-08-17
Filing date: 2000-08-16
Publication date: 2001-05-11

Abstract

(57)【要約】【課題】ＨＤＤ等の磁気ヘッドを光ヘッドに置き換え
た場合でも超精密な位置決めが可能となる超高密度な光
情報記録再生装置を提供すること。【解決手段】情報が記録されている記録媒体３と、微
小構造を有する近視野光ヘッド９と、近視野光ヘッド９
に光を照射する光源部１と、近視野光ヘッド９と光源部
１を光で接続する導光構造と、近視野光と記録媒体３と
の相互作用の結果生成された伝搬光２１を検出するため
の光検出部２と、を含み近視野光ヘッド９は、微動機構
４を介して粗動機構に取り付けられ、光源部１は、前記
粗動機構に取り付けられている構成とした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光を利用して記録
媒体表面の微小領域との相互作用を検出することによ
り、超高密度な情報記録および再生を行う記録再生装
置、特に入力光の波長以下の微小領域での構造情報ある
いは光学情報を観察し、高密度な情報記録および再生に
利用する光情報記録再生装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、光ディスクなど光を利用した高密
度な情報記録および再生を行う装置の開発が盛んに進め
られている。情報の高密度化のためには紫外線を用いる
など波長を短くすることが必要だが、これには限界があ
るため油浸あるいは固浸対物レンズを使うなどの方法が
ある。実質的な波長を短くする別の方法として波数の一
成分を虚数にする近視野光利用が挙げられる。

【０００３】近視野光を利用した高分解能プローブは、
近視野光顕微鏡や近視野光ヘッドに使われている。プロ
ーブの先端から近視野光を発生させて、顕微鏡試料ある
いは記録媒体と近視野光の相互作用の結果発生する伝搬
光を検出することで、光の回折限界を超える空間分解能
が得られる。入射伝搬光と、試料あるいは記録媒体との
相互作用の結果発生した近視野光をプローブによって検
出する方法もある。近視野顕微鏡はこの原理によって従
来の光学顕微鏡の回折限界を超える分解能を達成してい
る。またこのような近視野光プローブを近視野光ヘッド
に利用した場合には、従来の光ディスクを超えるデータ
記録密度が可能となる。

【０００４】近視野光ヘッドを用いたデータストレージ
装置においては、基本的構成は従来型の磁気ディスク装
置と同じで、磁気ヘッドの代わりに近視野光ヘッドを用
いる。

【０００５】磁気ヘッドを用いたデータストレージ装置
においては、情報が記録されている場所に正確にヘッド
を持っていくヘッド位置決め機構として、たとえば、日
本国特許第2712599号に開示されているような主アクチ
ュータと微小揺動用副アクチュエータからなるヘッド位
置決め機構を用いる。これは、ヘッドを独立して微小移
動させる副アクチュエータにおける揺動中心部材にばね
性をもたせると共に、積層型圧電素子にも予圧を付加し
た軽量、剛性を有する機構とすることにより、ヘッドを
高精度で、かつ高速に位置決めを可能とする。

【０００６】記録ディスクの半径方向に主アクチュエー
タにより揺動されるサスペンションアームにインライン
型のヘッド支持ばね機構を介してヘッドを支持したヘッ
ド位置決め機構であって、サスペンションアームとヘッ
ド支持ばね機構とを、サスペンションアームの長手方向
に対して直交するように左右から交互に複数のスリット
を設けたばね性を有する揺動中心ばね部材と、その両側
に該揺動中心ばね部材の長さ方向に互いに逆方向に伸縮
する一対の圧電素子を並設した構成の微小揺動用副アク
チュエータにより連結し、微小揺動用副アクチュエータ
によってヘッド支持ばね機構をディスクの半径方向に揺
動可能とする。

【０００７】このように構成されたサスペンションアー
ムに対して磁気ヘッドの代わりに近視野光ヘッドを用い
る場合、光をスライダーに入射させるには、光ファイバ
や導波路をスライダーに接続する、あるいはスライダー
側面に向けて光を照射するなどして行っていた。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、平面プ
ローブ型の近視野光ヘッドを用いた超高密度な光情報記
録再生装置を実現するためには、現在市販されているＨ
ＤＤ等に用いられている通常の位置決め機構では、精度
が不足しており、超精密位置決め用の超精密位置決め機
構が必要となる。しかし、超精密位置決め機構では、Ｈ
ＤＤのヘッドのような比較的重量の軽いヘッドに用いる
場合を念頭に置き構成されている。そのため、磁気ヘッ
ドの代わりに微小開口などの微小構造を有する平面型プ
ローブを用いた近視野光ヘッドに置き換えた場合、近視
野光ヘッドには、光源であるレーザーやレンズ系も必要
であり、その質量はかなり大きくなり、その慣性の為に
超精密位置決め機構がきちんと動作しなくなるという課
題がある。そのため、ＨＤＤ等の磁気ヘッド用の超精密
位置決め機構をそのまま近視野光ヘッドに置き換えたの
では、超精密に位置決めをすることが困難であり、超高
密度な光情報の記録再生を行うことができない。

【０００９】

【課題を解決するための手段】そこで、上記の課題を解
決するために本発明に係る第１および第２の光情報記録
再生装置は、近視野光を利用して記録媒体の情報の記録
及び／または再生を行う光情報記録再生装置であって、
情報が記録されている記録媒体と、微小構造を有する近
視野光ヘッドと、前記近視野光ヘッドに光を照射する光
源部と、前記近視野光ヘッドと前記光源部を光で接続す
る導光構造と、近視野光と前記記録媒体との相互作用の
結果生成された伝搬光を検出するための光検出部と、を
含み前記近視野光ヘッドは、微動機構を介して粗動機構
に取り付けられ、前記光源部は、前記粗動機構に取り付
けられていることを特徴とする。

【００１０】この発明によれば、光情報記録再生を行う
ヘッドである微小開口などの微小構造を有する近視野光
ヘッド、光源部、光検出部は、粗動機構により記録媒体
上の任意の位置に位置決めされる。そして、さらにヘッ
ドのみが微動機構に取付けられている。この近視野光ヘ
ッドのみは質量が軽いため、超精密な位置決めを行う微
動機構により、超精密な位置決めが可能となる。

【００１１】また、本発明に係る第３の光情報記録再生
装置は、本発明に係る第１あるいは第２の光情報記録再
生装置において、光源部と光検出部が一体となったこと
を特徴とする。

【００１２】この発明によれば、光源部と光検出部を一
体として構成することで、記録媒体への記録、或いは記
録媒体からの再生を反射で実現でき、記録媒体の両面を
記録部として利用出来るので、記録容量を容易に２倍に
することが可能となる。

【００１３】また、本発明に係る第４の光情報記録再生
装置は、近視野光を利用して記録媒体の情報の記録及び
／または再生を行う光情報記録再生装置であって、情報
が記録されている記録媒体と、微小構造を有する近視野
光ヘッドと、近視野光ヘッドに光を照射する光源部と、
近視野光ヘッドと光源部を光で接続する導光構造と、微
小構造の近傍に形成された光導波路と、光導波路の一端
部に形成された受光部と、を含み、光導波路の他端部は
微小構造の縁部に位置し、近視野光ヘッドは、微動機構
を介して粗動機構に取り付けられ、光源部は、粗動機構
に取り付けられていることを特徴とする。

【００１４】この発明によれば、光検出部と光情報記録
再生を行うヘッドである微小開口などの微小構造を有す
る近視野光ヘッドは、質量の大きな増加を伴なわないで
一体化でき、超精密な位置決めを行う微動機構により、
超精密な位置決めが可能となり、近視野光を利用した超
高密度な光情報の記録再生を行うことが可能となる。さ
らに、記録媒体からの光情報の再生を反射で実現でき、
記録媒体の両面を記録部として利用出来るので、記録容
量を容易に２倍にすることが可能となる。

【００１５】また、本発明に係る第５の光情報記録再生
装置は、近視野光を利用して記録媒体の情報の記録及び
／または再生を行う光情報記録再生装置であって、情報
が記録されている記録媒体と、微小構造を有する近視野
光ヘッドと、近視野光ヘッドに光を照射する光源部と、
近視野光ヘッドと光源部を光で接続する導光構造と、を
含み、微小構造の縁部において受光部を備えており、受
光部を除く表面に遮光膜が形成され、近視野光ヘッド
は、微動機構を介して粗動機構に取り付けられ、光源部
は、粗動機構に取り付けられていることを特徴とする。

【００１６】この発明によれば、光検出部と光情報記録
再生を行うヘッドである微小開口などの微小構造を有す
る近視野光ヘッドは、質量の増加をほとんど伴なわない
で一体化でき、超精密な位置決めを行う微動機構によ
り、超精密な位置決めが可能となり、近視野光を利用し
た超高密度な光情報の記録再生を行うことが可能とな
る。さらに、記録媒体からの光情報の再生を反射で実現
でき、記録媒体の両面を記録部として利用出来るので、
記録容量を容易に２倍にすることが可能となる。

【００１７】また、本発明に係る第６の光情報記録再生
装置は、近視野光を利用して記録媒体の情報の記録及び
／または再生を行う光情報記録再生装置であって、情報
が記録されている記録媒体と、微小構造を有する近視野
光ヘッドと、近視野光ヘッドに光を照射する光源部と、
近視野光ヘッドと光源部を光で接続する導光構造と、を
含み、近視野光ヘッドは、受光素子基板であり、受光素
子基板の一部を除く表面に遮光膜が形成されており、近
視野光ヘッドは、微動機構を介して粗動機構に取り付け
られ、光源部は、粗動機構に取り付けられていることを
特徴とする。

【００１８】この発明によれば、光検出部と光情報記録
再生を行うヘッドである微小開口などの微小構造を有す
る近視野光ヘッドとが同一となり質量の増加をほとんど
伴なわないで一体化でき、超精密な位置決めを行う微動
機構により、超精密な位置決めが可能となり、近視野光
を利用した超高密度な光情報の記録再生を行うことが可
能となる。さらに、記録媒体からの光情報の再生を反射
で実現でき、記録媒体の両面を記録部として利用出来る
ので、記録容量を容易に２倍にすることが可能となる。

【００１９】また、本発明に係る第７の光情報記録再生
装置は、近視野光を利用して記録媒体の情報の記録及び
／または再生を行う光情報記録再生装置であって、情報
が記録されている記録媒体と、微小構造を有する近視野
光ヘッドと、近視野光ヘッドに光を照射する光源部と、
近視野光ヘッドと光源部を光で接続する導光構造と、近
視野光と記録媒体との相互作用の結果生成された伝搬光
を検出するための光検出部と、を含み、近視野光ヘッド
は、微動機構を介して固定部により粗動機構に取り付け
られ、光源部も同じ固定部に取り付けられていることを
特徴とする。

【００２０】この発明によれば、近視野光ヘッドは、微
動機構を介して粗動機構に取り付けられ、光源部も同じ
粗動機構に取り付けられている為、光源部用に新たな粗
動機構が必要なく、より装置の小型・薄型・軽量化が可
能である。そして部品点数の削減により、組み立て作業
が簡便となり、低コストが実現できる。また、軽量化に
より、高速位置決めやデータへの高速アクセスが可能と
なり、超高速な再生・記録が実現できる。さらに、軽量
化により、駆動用アクチュエータへの負荷が減り、低消
費電力化がはかれる。その上、駆動用アクチュエータへ
の負荷が減ることにより位置制御が容易になる。

【００２１】また、本発明に係る第８の光情報記録再生
装置は、本発明に係る第１、第４から第７のいずれか一
つの光情報記録再生装置において、導光構造が、近視野
光ヘッドが微動機構により微動した時にも微小構造に光
を照射する事ができる構造であることを特徴とする。

【００２２】この発明によれば、本発明に係る第１、第
４から第７の光情報記録再生装置の効果に加え、近視野
光ヘッドに対して光源部の位置が上下左右前後に多少ず
れたとしても、近視野光ヘッドに形成された微小開口な
どの微小構造に光を安定的に入射することが出来る。よ
って、近視野光を利用した超高密度な光情報の記録再生
を安定的に行うことが可能となる。

【００２３】また、本発明に係る第９の光情報記録再生
装置は、本発明に係る第８の光情報記録再生装置におい
て、導光構造が、光源部から近視野光ヘッドへ光が空中
伝搬する構造であることを特徴とする。

【００２４】この発明によれば、本発明に係る第８の光
情報記録再生装置の効果に加え、近視野光ヘッドに対し
て光源部の位置が上下左右に多少ずれたとしても、近視
野光ヘッドに形成された微小開口などの微小構造に光を
安定的に入射することが出来る。また、空中伝搬する光
束の断面形状を円形以外の楕円形等にすることにより、
さらに近視野光ヘッドに対して光源部の位置左右にずれ
た時にもより微小開口などの微小構造に光を安定的に入
射することが出来る。よって、近視野光を利用した超高
密度な光情報の記録再生を安定的に行うことが可能とな
る。

【００２５】また、本発明に係る第１０の光情報記録再
生装置は、本発明に係る第８の光情報記録再生装置にお
いて、導光構造が、光導波路であることを特徴とする。

【００２６】この発明によれば、本発明に係る第８の光
情報記録再生装置の効果に加え、光源部と光情報記録再
生を行うヘッドである近視野光ヘッドとが光ファイバー
等の光導波路で接続されているので、光ファイバーや光
導波路の材質の持つ弾性によるフレキシビリティーによ
り、近視野光ヘッドに対して光源部の位置が上下左右に
多少ずれたとしても、近視野光ヘッドに形成された微小
開口などの微小構造に光を安定的に入射することが出来
る。また、光ファイバーや光導波路の構造を工夫する
（例えば、形状を片側だけ細くしたり、括れ部を作った
りする）ことによりフレキシビリティーを得ることが出
来る。よって、記録媒体のうねり等の原因により近視野
光ヘッドが上下した時にも、記録媒体に光情報を記録或
いは記録媒体から光情報を読み出すことが可能となる。

【００２７】また、本発明に係る第１１の光情報記録再
生装置は、本発明に係る第１、第４から第７のいずれか
一つの光情報記録再生装置において、光源部が、レンズ
と、レンズの後焦点面に配置された少なくとも１つの光
源から構成されていることを特徴とする。

【００２８】この発明によれば、本発明に係る第１、第
４から第７の光情報記録再生装置の効果に加え、光源部
から出力される光は平行光束となり、近視野光ヘッド上
に配置された集光レンズに平行光束が入射されるため、
近視野光ヘッドに対して、光源部の位置が上下左右に多
少ずれたとしても、近視野光ヘッドに形成された微小開
口などの微小構造に光を入射することが出来る。よっ
て、記録媒体のうねり等の原因により近視野光ヘッドが
上下した時にも、記録媒体に光情報を記録或いは記録媒
体から光情報を読み出すことが可能となる。

【００２９】また、本発明に係る第１２の光情報記録再
生装置は、本発明に係る第１、第４から第７のいずれか
一つの光情報記録再生装置において、近視野光ヘッド
が、レンズ機能と微小構造に光が照射される機能を有す
る基板とからなることを特徴とする。

【００３０】この発明によれば、本発明に係る第１、第
４から第７の光情報記録再生装置の効果に加え、レンズ
により微小構造に光が集光されるので、より強い近視野
光が発生され、強度の強い光が受光素子で受光される。
よって、高速再生が可能で且つ、超高密度な記録容量を
もつ光情報記録再生装置を実現できる。

【００３１】また、本発明に係る第１３の光情報記録再
生装置は、本発明に係る第１２の光情報記録再生装置に
おいて、レンズ機能と微小構造に光が照射される機能を
有する基板が、１つの基板からなることを特徴とする。

【００３２】この発明によれば、本発明に係る第１２の
光情報記録再生装置の効果に加え、レンズを一体にする
ことにより、レンズと微小構造との位置合わせを不要に
し、組立てにかかるコストを削減することができ。

【００３３】また、本発明に係る第１４の光情報記録再
生装置は、本発明に係る第１、第４から第７のいずれか
一つの光情報記録再生装置において、近視野光ヘッド
が、近視野光ヘッドの微小構造を有する側とは異なる側
から光が入射され、微小構造に光が照射される構造であ
ることを特徴とする。

【００３４】この発明によれば、本発明に係る第１、第
４から第７の光情報記録再生装置の効果に加え、近視野
光ヘッドの側面から光を近視野光ヘッドに入射するた
め、非常に薄型の光情報記録再生装置を実現できる。

【００３５】

【発明の実施の形態】以下に、本発明に係る光情報記録
再生装置の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明す
る。［実施の形態１］図１に本発明の実施の形態１に係る光
情報記録再生装置の概略を示す。図２は本発明の実施の
形態１に係る光情報記録再生装置の構成である。

【００３６】記録媒体３の表面に近視野光ヘッド９を数
十ナノメートルまで近接した状態で記録媒体３を高速に
回転させ、近視野光ヘッド９が記録媒体３と常に一定の
相対配置で浮上するために近視野光ヘッド用サスペンシ
ョン７に近視野光ヘッドを取付けている。そしてこの近
視野光ヘッド用サスペンション７は、微動機構４を介し
て粗動機構である駆動用アクチュエータ１８に取り付け
られている。また、光源部１は光源部用サスペンション
６を、光検出部２は光検出部用サスペンション８をそれ
ぞれ介して駆動アクチュエータ１８に取り付けられてい
る。駆動アクチュエータ１８は、例えば、ボイスコイル
モータ（図示略）により記録媒体３の半径方向に移動可
能である。また、微動機構４は、例えば圧電素子を用い
て微小な移動が可能である。

【００３７】図３は図２の光情報記録再生装置のヘッド
部分およびその近傍の構成を示す図である。本実施の形
態では、微小構造として微小開口を用いている。近視野
光ヘッド９は、シリコン基板１４にこれを貫通するテー
パ開口部１６が微小開口１７を有して形成されている。
そしてこのテーパ−開口部１６の上部にヘッドレンズ１
５が固定されている。このヘッドレンズ１５はシリコン
基板１４と接着され一体化されている。微小開口１７
は、微小開口１７の近傍に生じる近視野光と記録媒体３
と相互作用を起こし、かつその結果得られ伝搬光２１を
取り出せるように、例えば数十ナノメートルの径を有し
ている。テーパ開口部１６は、例えば半導体製造プロセ
スにおけるフォトリソグラフィ−やシリコン異方性エッ
チングなどを用いた微細加工によって形成される。ま
た、シリコン基板が照射光２０の波長に対して、十分な
遮光性を有していない場合には、遮光膜が必要である。
遮光膜は、例えばＡｕ／Ｃｒ等の金属膜を用いることが
でき、スパッタリングや真空蒸着によって得られる。

【００３８】次に、以上に説明した光情報記録再生装置
における、光情報の再生方法について図２と図３を用い
て説明する。

【００３９】光源部１は、照射光レンズ１１と、この照
射光レンズ１１の後焦点面に配置された光源１０から構
成されている。この光源１０は、例えば半導体レーザー
である。勿論、半導体レーザー以外の光源を用いても良
いことは言うまでもない。光源１０から出射された光束
は照射光レンズ１１により、平行光束となる。そして近
視野光ヘッド９に照射光２０として入射される。

【００４０】光源部１から照射される平行光束である照
射光２０は、近視野光ヘッド９のヘッドレンズ１５によ
り、微小開口１７に集光される。そして、記録媒体３の
表面に近視野光ヘッド９を数十ナノメートルまで近接し
た状態で記録媒体３を高速に回転させ、近視野光ヘッド
９が記録媒体３と常に一定の相対配置で浮上させる。そ
の後、粗動機構である駆動用アクチュエータ１８により
微小開口１７を記録媒体３上の所望の情報再生位置に移
動させる。そして、近視野光ヘッド９に照射光２０を照
射することにより微小開口１７近傍に近視野光が生成さ
れる。この近視野光と記録媒体３との相互作用によっ
て、その情報記録部の記録状態に依存した強度や位相等
の特性を伴った伝搬光２１が、受光レンズ１２を介して
受光素子１３で受光される。受光された光は電気信号に
変換され、図示しない信号処理部によって情報記録部の
記録状態が判断される。

【００４１】図２において、記録媒体３に記録されてい
る情報を再生する際、粗動機構として駆動用アクチュエ
ータ１８により光源部１と光検出部２と近視野光ヘッド
９を記録媒体３上の所望の情報再生位置に移動させる。
駆動用アクチュエータ１８により光源部１と光検出部２
と近視野光ヘッド９全てを一体で移動させる場合には、
光源部１と光検出部２と近視野光ヘッド９の質量が大き
く、トラッキングを行う場合に微動させることは難し
く、すばやく超精密に位置決めをすることは困難であ
り、そのままでは超高密度な情報が記録された記録媒体
３から情報を高速に再生することができない。そこで、
必要に応じて微動機構４により近視野光ヘッド９を微動
させ、超高密度に情報が記録された記録媒体３上の所望
の情報再生位置に移動させる。微動させるのは近視野光
ヘッド９のみであり、質量も軽く、超精密に高速に位置
決めすることが可能である。

【００４２】近視野光ヘッド９を微動させるために、光
源部１と近視野光ヘッド９との相対的な位置関係がずれ
てしまうが、光源部１からの照射光２０は平行光束で近
視野光ヘッド９に入射するため、照射部１と近視野光ヘ
ッド９との相対的な位置ずれによる影響は最小限度に抑
えることができ、超高密度に記録された情報の再生が可
能である。

【００４３】次に、記録媒体３への情報の記録方法につ
いて図２を用いて説明する。

【００４４】光源部１と近視野光ヘッド９を所望の情報
記録位置に移動方法は、記録された情報の再生方法の場
合と全く同様であるのでここでは説明を省略する。所望
の情報記録位置に移動後、書込み動作をすることにより
情報の記録を行うことができる。

【００４５】また、図４に本発明の実施の形態１に係る
他の光情報記録再生装置の構成を示す。この実施の形態
は、光源部１以外は図１から図３の実施の形態と全く同
じであるので、説明を一部省略あるいは簡単にする。

【００４６】図４の実施の形態は、光源部１においてミ
ラー２２を用いて近視野光ヘッド９の上部に光源１０と
照射光レンズ１１を配置せずに、光源１０と照射レンズ
１１を記録媒体に対して平行に配置している。つまり、
光源１０から出射された光束は、照射光レンズを介して
平行光束になり、その後ミラー２２により９０度に折り
曲げられ、近視野光ヘッド９に照射光を照射する。他の
構成については、図１から図３の実施の形態と全く同じ
であり、記録媒体３への記録や再生方法も同様である。

【００４７】以上説明したように、実施の形態１によれ
ば、粗動機構として駆動用アクチュエータ１８により光
源部１と光検出部２と近視野光ヘッド９を記録媒体３上
の所望の情報記録再生位置に移動させ、さらに近視野光
ヘッド９を微動機構４により超高精度に高速に所望の情
報記録再生位置に移動させることが可能となる。さら
に、近視野光ヘッドに対して光源部の位置が上下左右に
多少ずれたとしても、近視野光ヘッドに形成された微小
開口に光を安定的に入射することが出来る。また、空中
伝搬する光束の断面形状を円形以外の楕円形等にするこ
とにより、さらに近視野光ヘッドに対して光源部の位置
が左右にずれた時にもより微小開口に光を安定的に入射
することが出来る。つまり、トラッキングのような記録
媒体平面内での微小な位置合せだけでなく、記録媒体の
うねり等の原因により近視野光ヘッドが光源部に対して
相対的に上下した時にも、記録媒体に光情報を記録或い
は記録媒体から光情報を読み出すことが可能となる。よ
って、近視野光を使用することで記録・再生可能な、且
つ超高密度な情報の記録や再生を行うことができる光情
報記録再生装置を実現することができる。

【００４８】更に、図４の実施の形態の場合には、上記
の効果に加え、光源部の形を横長にすることができるの
で、光情報記録再生装置の厚さを薄くすることができ
る。

【００４９】本実施の形態では、近視野光ヘッドとし
て、シリコン基板１４にこれを貫通するテーパ−開口部
１６が微小開口１７を有して形成された場合の実施の形
態について述べた。しかし、近視野光ヘッドには、微小
開口があればよく、テーパ−開口部が無い近視野光ヘッ
ドであっても同様の効果をえらえる事は言うまでもな
い。

【００５０】また、本実施の形態では、近視野光ヘッド
として微小開口を有する構造としているが、これは微小
開口に限らず、微小突起等の微小構造でもよい。微小突
起等の微小構造に光を照射すると微小構造近傍に近視野
光が生成され、微小構造を記録媒体に近接させると、こ
の近視野光と記録媒体との相互作用の結果として伝搬光
が得られる。よって、微小開口だけでなく、微小突起等
の微小構造を用いても、本実施の形態と同様の効果を得
ることができる。

【００５１】また、近視野光ヘッドにレンズを組み入れ
ているので、微小開口に光が集光され、より強い近視野
光が発生するので、強度の強い光が受光素子に受光され
る。よって、高速再生が可能であり、超高密度な記録容
量をもつ光情報記録再生装置を実現できる。

【００５２】さらに、本実施の形態では、近視野光を利
用して光情報の記録再生を行っているが、近視野光を用
いずに、通常の光である伝搬光を用いた光情報記録再生
装置の場合にも同様の効果が得られる。［実施の形態２］図５に本発明の実施の形態２に係る光
情報記録再生装置の構成を示す。本実施の形態におい
て、実施の形態１の場合と同じ部分については、説明を
一部省略あるいは簡単にする。

【００５３】本実施の形態は、記録媒体３の表面に近視
野光ヘッド１０１を数十ナノメートルまで近接した状態
で記録媒体３を高速に回転させ、近視野光ヘッド１０１
が記録媒体３と常に一定の相対配置で浮上するために近
視野光ヘッド用サスペンション７に近視野光ヘッドを取
付けている。そしてこの近視野光ヘッド用サスペンショ
ン７は、微動機構４を介して粗動機構である駆動用アク
チュエータ１８に取り付けられている。また、光源部１
は光源部用サスペンション７を、光検出部２は光検出部
用サスペンション８をそれぞれ介して駆動アクチュエー
タ１８に取り付けられている。駆動アクチュエータ１８
は、例えば、ボイスコイルモータにより記録媒体３の半
径方向に移動可能である。また、微動機構４は、例えば
圧電素子を用いて微小な移動が可能である。そして、光
源部１と近視野光ヘッド１０１とは、光ファイバー１０
２を介して接続されている。

【００５４】図６は、図５の光情報記録再生装置のヘッ
ド部分およびその近傍の構成を示す図である。近視野光
ヘッド１０１は、実施の形態１の場合と同様にシリコン
基板１４にテーパ開口部１６及び微小開口１７を有して
形成されている。実施の形態１との違いは、本実施の形
態ではテーパ−開口部１６の上部にレンズを固定してい
ない点である。レンズの代わりにコア１０３とクラッド
１０４を有する光ファイバ−１０２を用いている。

【００５５】他の構成は図２の実施の形態と同じである
ので、説明を省略する。

【００５６】次に、以上に説明した光情報記録再生装置
における、光情報の再生方法について図５および図６を
用いて説明する。

【００５７】光源部１は、光源１０と集光レンズ１０５
から構成されている。この光源１０は、例えば半導体レ
ーザーである。勿論、半導体レーザー以外の光源を用い
ても良いことは言うまでもない。光源１０から出射され
た光束は集光レンズ１０５により、光ファイバー１０２
のコア１０３部分に集光される。そして、光ファイバー
に入射された照射光２０は、近視野光ヘッド９のテーパ
−開口部１６に照射され、微小開口１７に照射光２０が
入射される。

【００５８】そして、実施の形態１と同様に、微小開口
１７近傍に近視野光が生成される。この近視野光と記録
媒体３との相互作用によって、その情報記録部の記録状
態に依存した強度や位相等の特性を伴った伝搬光２１
が、受光レンズ１２を介して受光素子１３で受光され
る。受光された光は電気信号に変換され、図示しない信
号処理部によって情報記録部の記録状態が判断される。

【００５９】記録媒体３に記録されている情報を再生す
る際、所望の情報再生位置に移動させる方法は、実施の
形態１の場合と全く同じである。つまり、駆動用アクチ
ュエータ１８により光源部１と光検出部２と近視野光ヘ
ッド１０１を記録媒体３上の所望の情報再生位置に移動
させる。その後、必要に応じて微動機構４により近視野
光ヘッド１０１を微動させ、超高密度に情報が記録され
た記録媒体３上の所望の情報再生位置に移動させる。微
動させるのは近視野光ヘッド１０１のみであり、質量も
軽く、超精密に位置決めすることが可能である。

【００６０】近視野光ヘッド１０１を微動させるため
に、光源部１と近視野光ヘッド１０１との相対的な位置
関係がずれてしまうが、光源部１と近視野光ヘッド１０
１とは光ファイバー１０２を介して接続されているた
め、この光ファイバーの持つ形状のフレキシビリティー
により光源部１と近視野光ヘッド１０１との相対的な位
置が微小にずれても光源１０からの光束を微小開口１７
に照射する事ができ安定した近視野光を得ることがで
き、超高密度に記録された情報の再生が可能である。

【００６１】次に、記録媒体３への情報の記録方法につ
いて説明する。

【００６２】光源部１と近視野光ヘッド１０１の所望の
情報記録位置への移動方法は、記録された情報の再生方
法の場合と全く同様であるのでここでは説明を省略す
る。所望の情報記録位置に移動後、書込み動作をするこ
とにより情報の記録を行うことができる。

【００６３】以上説明したように、実施の形態２によれ
ば、粗動機構として駆動用アクチュエータ１８により光
源部１と光検出部２と近視野光ヘッド１０１を記録媒体
３上の所望の情報記録再生位置に移動させ、さらに近視
野光ヘッド１０１を微動機構４により超高精度に高速に
所望の情報記録再生位置に移動させることが可能とな
る。光源部と光情報記録再生を行うヘッドである微小開
口を有する近視野光ヘッドとが光ファイバーで接続され
ているので、光ファイバーの材質の持つ弾性によるフレ
キシビリティーにより、近視野光ヘッドに対して光源部
の位置が上下左右に多少ずれたとしても、近視野光ヘッ
ドに形成された微小開口に光を安定的に入射することが
出来る。また、光ファイバーの構造を工夫する（例え
ば、形状を片側だけ細くしたり、括れ部を作ったりす
る）ことによりフレキシビリティーを得ることが出来
る。よって、近視野光ヘッドに対して光源部の位置が上
下左右に多少ずれたとしても、近視野光ヘッドに形成さ
れた微小開口に光を安定的に入射することが出来る。つ
まり、トラッキングのような記録媒体平面内での微小な
位置合せだけでなく、記録媒体のうねり等の原因により
近視野光ヘッドが光源部に対して相対的に上下した時に
も、記録媒体に光情報を記録或いは記録媒体から光情報
を読み出すことが可能となる。よって近視野光を使用す
ることで記録・再生可能な、且つ超高密度な情報の記録
や再生を行うことができる光情報記録再生装置を実現す
ることができる。

【００６４】本実施の形態では、近視野光ヘッドとし
て、シリコン基板１４にこれを貫通するテーパ−開口部
１６が微小開口１７を有して形成された場合の実施の形
態について述べた。しかし、近視野光ヘッドには、微小
開口があればよく、テーパ−開口部が無い近視野光ヘッ
ドであっても同様の効果をえらえる事は言うまでもな
い。

【００６５】また、光ファイバーの代わりに、光導波路
を用いても同様の効果が得られることは言うまでもな
い。

【００６６】さらに、本実施の形態では、近視野光ヘッ
ドとして微小開口を有する構造としているが、これは、
微小開口に限らず、微小突起等の微小構造でも、同様の
効果が得られる。

【００６７】そのうえ、本実施の形態では、近視野光を
利用して光情報の記録再生を行っているが、近視野光を
用いずに、通常の光である伝搬光を用いた光情報記録再
生装置の場合にも同様の効果が得られる。［実施の形態３］図７に本発明の実施の形態３に係る光
情報記録再生装置の構成を示す。

【００６８】本実施の形態は、実施の形態１において、
光源部と光検出手部とを一体として構成したものであ
る。よって実施の形態１と同じ部分については、説明を
一部省略あるいは簡単にする。また、本実施の形態は、
実施の形態２に対しても同様に適用可能である。

【００６９】記録媒体３の表面に近視野光ヘッド２０１
を数十ナノメートルまで近接した状態で記録媒体３を高
速に回転させ、近視野光ヘッド２０１が記録媒体３と常
に一定の相対配置で浮上するために近視野光ヘッド用サ
スペンション７に近視野光ヘッドを取付けている。そし
てこの近視野光ヘッド用サスペンション７は、微動機構
４を介して粗動機構である駆動用アクチュエータ１８に
取り付けられている。また、光源検出部２０２は光源検
出部用サスペンション２０８を介して駆動アクチュエー
タ１８に取り付けられている。駆動アクチュエータ１８
は、例えば、ボイスコイルモータにより記録媒体３の半
径方向に移動可能である。また、微小機構４は、例えば
圧電素子を用いて微小な移動が可能である。

【００７０】図８は、図７の光情報記録再生装置のヘッ
ド部分およびその近傍の構成を示す図である。近視野光
ヘッド２０１は、実施の形態１の場合と同様にシリコン
基板１４にテーパ−開口部１６及び微小開口１７を有し
て形成されている。

【００７１】他の構成は図１の実施の形態と同じである
ので、説明を省略する。

【００７２】次に、以上に説明した光情報記録再生装置
における、光情報の再生方法について説明する。

【００７３】図７において、光源検出部２０２は、光源
２０３と照射光レンズ２０４、ビームスプリッタ２０
７、受光レンズ２０５、受光素子２０６から構成されて
いる。光源２０３は照射光レンズ２０４の後焦点面に配
置されている。この光源２０３は、例えば半導体レーザ
ーである。勿論、半導体レーザー以外の光源を用いても
良いことは言うまでもない。光源２０３から出射された
光束は照射レンズ２０４により、平行光束となりビーム
スプリッタ２０７を透過する。透過した光束は近視野光
ヘッド２０１のヘッドレンズ１５に照射され、微小開口
１７に集光される。そして、実施の形態１と同様に、微
小開口１７近傍に近視野光が生成される。この近視野光
と記録媒体３との相互作用によって、その情報記録部の
記録状態に依存した強度や位相等の特性を伴った伝搬光
を、再度微小開口１７からヘッドレンズ１５、受光レン
ズ２０５を介して受光素子２０６で受光される。受光レ
ンズ２０５に入射される前に、ビームスプリッタ２０７
で９０度に折り曲げられる。受光された光は電気信号に
変換され、図示しない信号処理部によって情報記録部の
記録状態が判断される。

【００７４】記録媒体３に記録されている情報を再生す
る際、所望の情報再生位置に移動させる方法は、実施の
形態１の場合とほぼ同じである。実施の形態１の光源部
と光検出部が一体の光源検出部２０２になっているの
で、駆動用アクチュエータ１８に固定する為のサスペン
ションが光源検出部用サスペンション２０８の１つにな
っている点だけ実施の形態１と異なる。つまり、光源検
出部２０２と近視野光ヘッド２０１を粗動機構である駆
動用アクチュエータ１８により記録媒体３上の所望の情
報再生位置に移動させる。その後、必要に応じて微動機
構４により近視野光ヘッド２０１を微動させ、超高密度
に情報が記録された記録媒体３上の所望の情報再生位置
に移動させる。微動させるのは近視野光ヘッド２０１の
みであり、質量も軽く、超精密に位置決めすることが可
能である。

【００７５】記録媒体３への情報の記録方法について実
施の形態１と全く同じであるので説明を省略する。

【００７６】以上説明したように、実施の形態３によれ
ば、実施の形態１や実施の形態２の効果に加え、光源部
と光検出部を一体として構成することで、記録媒体から
の再生を反射型で実現でき、記録媒体の両面を記録部と
して利用出来るので、記録容量を容易に２倍にすること
が可能となる。

【００７７】本実施の形態では、近視野光ヘッドとし
て、シリコン基板にこれを貫通するテーパ−開口部が微
小開口を有して形成された場合の実施の形態について述
べた。しかし、近視野光ヘッドには、微小開口があれば
よく、テーパ−開口部が無い近視野光ヘッドであっても
同様の効果をえらえる事は言うまでもない。

【００７８】また、本実施の形態では、近視野光ヘッド
として微小開口を有する構造としているが、これは、微
小開口に限らず、微小突起等の微小構造でも、同様の効
果が得られる。

【００７９】さらに、本実施の形態では、近視野光を利
用して光情報の記録再生を行っているが、近視野光を用
いずに、通常の光である伝搬光を用いた光情報記録再生
装置の場合にも同様の効果が得られる。［実施の形態４］図９に本発明の実施の形態４に係る光
情報記録再生装置の構成を示す。

【００８０】本実施の形態は、実施の形態１において、
光検出手部と近視野光ヘッドを一体として構成した実施
の形態である。よって実施の形態１と同じ部分について
は、説明を一部省略あるいは簡単にする。また、本実施
の形態は、実施の形態２に対していも同様に適用可能で
ある。

【００８１】図１０は、図９の光情報記録再生装置のヘ
ッド部分およびその近傍の構成を示す図である。近視野
光ヘッド３０１において、シリコン基板３０２にはこれ
を貫通するテーパ−開口部１６が微小開口１７を有して
形成されている。微小開口１７は、テーパ−開口部３か
ら導入される照射光２０によって近視野光が生成される
ように、例えば数十ナノメートルの径を有している。こ
こで、図１０に示すように、微小開口１７の開口縁部か
らテーパ開口部３のテーパに沿って光導波路３０５が形
成されている。微小開口１７部に生成された近視野光と
記録媒体３の情報記録部との相互作用により生じた伝搬
光２１は、光導波路３０５を通して光導波路３０５の上
端部、すなわち光導波路３０５により伝搬光２１が入射
される端部と反対側の端部に形成された受光素子３０４
に導かれる。受光された光は電気信号に変換され、図示
しない信号処理部によって情報記録部の記録状態が判断
される。

【００８２】ここで、光導波路３０５はコアとクラッド
から構成されている。更に、シリコン基板３０２、テー
パ開口部１６及び受光素子３０４の表面には、光導波路
３０５の伝搬光２１の入射部以外を光学的に閉塞するた
めに遮光膜（図面では省略）が形成されている。

【００８３】テーパ開口部１６、光導波路３０５及び受
光素子３０４は、例えば半導体製造プロセスにおけるフ
ォトリソグラフィ−やシリコン異方性エッチングなどを
用いた微細加工によって形成される。また、遮光膜は、
例えばＡｕ／Ｃｒ等の金属膜であり、スパッタリングや
真空蒸着によって得られる。

【００８４】図９において、このように構成された近視
野光ヘッド３０１を記録媒体３の表面に数十ナノメート
ルまで近接した状態で記録媒体３を高速に回転させ、近
視野光ヘッド３０１が記録媒体３と常に一定の相対配置
で浮上するために近視野光ヘッド用サスペンション７に
近視野光ヘッドを取付けている。そしてこの近視野光ヘ
ッド用サスペンション７は、微動機構４を介して粗動機
構である駆動用アクチュエータ１８に取り付けられてい
る。また、光源部１は光源部用サスペンション６を介し
て駆動アクチュエータ１８に取り付けられている。駆動
アクチュエータ１８は、例えば、ボイスコイルモータに
より記録媒体３の半径方向に移動可能である。また、微
小機構４は、例えば圧電素子を用いて微小な移動が可能
である。

【００８５】記録媒体３に記録されている情報を再生す
る際、所望の情報再生位置に移動させる方法は、実施の
形態１の場合とほぼ同じである。実施の形態１の光検出
部と近視野光ヘッドが一体化した近視野光ヘッド３０１
になっているので、本実施の形態では光検出部用サスペ
ンションがない構成となっている。つまり、光源部１と
近視野光ヘッド３０１を粗動機構である駆動用アクチュ
エータ１８により記録媒体３上の所望の情報再生位置に
移動させる。その後、必要に応じて微動機構４により近
視野光ヘッド３０１を微動させ、超高密度に情報が記録
された記録媒体３上の所望の情報再生位置に移動させ
る。この受光素子３０４や光導波路３０５を近視野光ヘ
ッドと一体化させ近視野光ヘッド３０１としても、質量
的には実施の形態１の近視野光ヘッド９とほとんど変わ
らない。近視野光ヘッド３０１を微動機構４で微動させ
ても、質量も軽く、超精密に位置決めすることが可能で
ある。

【００８６】また、記録媒体への記録方法は、実施の形
態１と全く同じであるので省略する。

【００８７】次に、本発明の実施の形態４に係る光情報
記録再生装置の他のヘッド部分およびその近傍の他の構
成を図１１に示す。この図１１に示す近視野光ヘッドを
図９の近視野光ヘッド３０１の代わりに用いる。この近
視野光ヘッドは、シリコン基板３０２にこれを貫通する
テーパ開口部１６が微小開口１７を有して形成されてい
る。微小開口１６は、テーパ−開口部１６から導入され
る照射光２０によって近視野光が生成されるように、例
えば数十ナノメートルの径を有している。ここで、図１
１に示すように、微小開口１７の開口縁部において受光
素子３０６が形成されている。微小開口１７部に生成さ
れた近視野光と記録媒体３の情報記録部との相互作用に
より生じた伝搬光２１は、微小開口１７の開口縁部の受
光素子３０６において受光される。更に、シリコン基板
３０２及びテーパ−開口部１６の表面には、受光素子３
０６を伝搬光２１の入射部以外を光学的に閉塞するため
に遮光膜（図面では省略）が形成されている。

【００８８】テーパ−開口部１６及び受光素子３０６
は、図１０の実施の形態と同様に、例えば半導体製造プ
ロセスにおけるフォトリソグラフィ−やシリコン異方性
エッチングなどを用いた微細加工によって形成され、遮
光膜は、スパッタリングや真空蒸着によって、例えばＡ
ｕ／Ｃｒ等の金属膜として得られる。なお、シリコン基
板３０２が微小開口１７に向けて照射される照射光２０
の波長に対して十分な遮光性を有する場合には、遮光膜
を省略できる。

【００８９】他の構成や記録媒体３への情報の記録・再
生方法は、図９の実施の形態と全く同じであるので、説
明を省略する。

【００９０】また、本発明の実施の形態４に係る光情報
記録再生装置の他のヘッド部分およびその近傍の他の構
成を図１２に示す。この図１２に示す近視野光ヘッドを
図９の近視野光ヘッド３０１の代わりに用いる。この近
視野光ヘッドは、図１１のシリコン基板３０２の代わり
に受光素子基板３０７を用い、これを貫通するテーパ−
開口部１６が微小開口１７を有して形成されている。微
小開口１７部に生成された近視野光と記録媒体３の情報
記録部との相互作用により生じた伝搬光２１は、受光素
子基板３０７において受光される。更に、受光素子基板
３０７およびテーパ−開口部１６の表面には、受光素子
基板３０７で受光される伝搬光２１の以外の光束を光学
的に閉塞するために遮光膜３０８が形成されている。

【００９１】他の構成や記録媒体３への情報の記録・再
生方法は、図９の実施の形態と全く同じであるので、説
明を省略する。

【００９２】以上説明したように、実施の形態４によれ
ば、実施の形態１の効果に加え、光検出部と近視野光ヘ
ッドを一体として構成することで、記録媒体からの再生
を反射型で実現でき、記録媒体の両面を記録部として利
用出来るので、記録容量を容易に２倍にすることが可能
となり、さらに、光情報記録再生装置全体の構成をコン
パクトにすることが可能である。

【００９３】また、実施の形態３の効果に加え、光の照
射と光の受光に１つの微小開口を用いていないので、受
光素子あるいは受光素子基板で受光される光量が実施の
形態３の場合よりも増大する。つまり、受光される光強
度が強くなり、より高速な情報の再生が可能となる。

【００９４】本実施の形態では、近視野光ヘッドとし
て、シリコン基板あるいは受光素子基板にこれを貫通す
るテーパ開口部が微小開口を有して形成された場合の実
施の形態について述べた。しかし、近視野光ヘッドに
は、微小開口があればよく、テーパ−開口部が無い近視
野光ヘッドであっても同様の効果をえらえる事は言うま
でもない。

【００９５】また、本実施の形態では、近視野光ヘッド
として微小開口を有する構造としているが、これは微小
開口に限らず、微小突起等の微小構造でも、同様の効果
が得られる。

【００９６】さらに、本実施の形態では、近視野光を利
用して光情報の記録再生を行っているが、近視野光を用
いずに、通常の光である伝搬光を用いた光情報記録再生
装置の場合にも同様の効果が得られる。［実施の形態５］図１３に本発明の実施の形態５に係る
光情報記録再生装置の構成を示す。本実施の形態は、近
視野光ヘッド５０１以外は図４の実施の形態１と全く同
じであるので、説明を一部省略あるいは簡単にする。

【００９７】図１４は、図１３の光情報記録再生装置の
ヘッド部分およびその近傍の構成を示す図である。近視
野光ヘッド５０１は、Tip付マイクロレンズ基板５０２
と遮光膜５０３から構成され、Tip先端部に微小開口を
もうけてある。

【００９８】まず、近視野光ヘッド５０１の製造方法に
ついて説明する。

【００９９】ガラスや石英基板等に凸形状のマイクロレ
ンズレンズをエッチングや研磨等の方法により作成す
る。次に、凸形状のマイクロレンズを作成した面とは反
対側の表面にレジスト膜を成膜する。そして、Tip形状
を作成したい部分にだけ露光光束を照射することでレジ
スト膜を露光し、フォトリソグラフィ−の技術によりTi
p形状を作成するためのマスクを作成する。その後、作
製したマスクをもとに、化学エッチング法を用いてTip
形状をもつTip付マイクロレンズ基板５０２を作成し、
不要なマスクを除去する。ここで、ＨＤＤ等で一般的に
利用されているフライングヘッドとして、この近視野光
ヘッドを用いるためにフライングヘッドに必要な構造を
フォトリソグラフィ−技術を用いて作成することができ
る。

【０１００】次に、Tip付マイクロレンズ基板５０２のT
ip形状が作成された側の表面に金属膜等の遮光膜５０３
を積層形成する。その後、Tip形状頂部の遮光膜５０３
に微小開口１７を作成する。微小開口１７は、マイクロ
レンズに照射される照射光２０によって近視野光が生成
されるように、例えば数十ナノメートルの径を有してい
る。また、遮光膜５０３の上面に保護膜となる誘電体膜
を形成することもできる。

【０１０１】図１３において、上記のようにして作成さ
れた近視野光ヘッド５０１は、図４の実施の形態１と同
じように、近視野光ヘッド用サスペンション７に取り付
けられ、微動機構４を介して粗動機構である駆動用アク
チュエータ１８に取り付けられている。

【０１０２】他の構成や記録媒体３への情報の記録・再
生方法は、図４の実施の形態と全く同じであるので、説
明を省略する。

【０１０３】よって、実施の形態２と同様に、この近視
野光ヘッド５０１を用いることで、記録媒体に記録され
た情報の再生や記録媒体へ記録を実現することができ
る。

【０１０４】また、本実施の形態で説明した近視野光ヘ
ッド５０１は、実施の形態２から実施の形態４について
も同様に適用可能であることは言うまでもない。

【０１０５】以上説明したように、実施の形態５によれ
ば、実施の形態１から実施の形態４の効果に加え、実施
の形態１、実施の形態３や実施の形態４におけるヘッド
レンズ１５とシリコン基板１４、あるいは実施の形態２
におけるシリコン基板１４と光ファイバー１０２の２つ
の構成要素からなる近視野光ヘッドを一体化し、１つの
構成要素からなる近視野光ヘッド５０１にすることが可
能である。よって、部品点数の削減が可能であり、さら
なる小型・薄型・軽量化を実現できる。また、部品点数
が少ないため、組み立て作業が簡便となり、さらなる低
コストが実現できる。さらに、軽量化により、高速位置
決めやデータへの高速アクセスが可能となり、さらな高
速な再生・記録が実現できる。

【０１０６】また、図７の実施の形態３に近視野光ヘッ
ド５０１を適用することにより、光検出部と近視野光ヘ
ッドを一体として構成することができ、記録媒体からの
再生を反射型で実現でき、記録媒体の両面を記録部とし
て利用出来るので、記録容量を容易に２倍にすることが
可能となり、さらに、光情報記録再生装置全体の構成を
コンパクトにすることが可能である。

【０１０７】本実施の形態では、近視野光ヘッドとして
微小開口を有する構造としているが、微小開口を作成せ
ず、Tip先端の微小突起形状やTip先端に微小金属等の微
小構造でも、同様の効果が得られる。

【０１０８】本実施の形態は、Tip形状とマイクロレン
ズが1組の近視野光ヘッドの場合の実施の形態である
が、マイクロレンズとそれに対応したTip形状を複数個
同時に作成することは容易であり、1つの近視野光ヘッ
ドで、複数のデータを同時に記録再生することが可能で
ある。［実施の形態６］図１５に本発明の実施の形態６に係る
光情報記録再生装置の構成を示す。

【０１０９】本実施の形態は、光源部６０３からの光束
を近視野光ヘッド６０１横側より照射し、屈折率分布レ
ンズ６０２で近視野光ヘッド６０１内の光導波路に光束
を導入することで、図２の実施の形態１における光源部
用サスペンション６を省略した場合の実施の形態であ
る。よって、図２の実施の形態１と同じ部分について
は、説明を一部省略あるいは簡単にする。

【０１１０】記録媒体３の表面に近視野光ヘッド６０１
を数十ナノメートルまで近接した状態で記録媒体３を高
速に回転させ、近視野光ヘッド６０１が記録媒体３と常
に一定の相対配置で浮上するために近視野光ヘッド用サ
スペンション７に近視野光ヘッドを取付けている。そし
てこの近視野光ヘッド用サスペンション７は、微動機構
４、微動機構４を粗動機構に取り付ける取付部である取
付用サスペンション６０６を介して粗動機構である駆動
用アクチュエータ１８に取り付けられている。また、光
源部６０３は、上記取付用サスペンション６０６に取り
付けられている。また、光検出部２は図２の実施の形態
１と同様に、光検出部用サスペンション８を介して駆動
アクチュエータ１８に取り付けられている。駆動アクチ
ュエータ１８は、例えば、ボイスコイルモータ（図示
略）により記録媒体３の半径方向に移動可能である。ま
た、微動機構４は、例えば圧電素子を用いて微小な移動
が可能である。

【０１１１】次に、近視野光ヘッド６０１の製造方法に
ついて説明する。

【０１１２】図１６は、近視野光ヘッド６０１の製造方
法を示している。

【０１１３】ステップＳ１６１では、基板には、面方位
(100)の単結晶のシリコン基板７０１を使用する。この
基板の両面にマスク７０２、７０３となる熱酸化膜ある
いは酸化珪素膜をCVD法あるいはスパッタ法により積層
させる。マスク材としては、この他に窒化珪素あるいは
非アルカリ溶解系金属を用いても良い。リソグラフィ−
の手法を用いてこのマスク材に所望の大きさの窓を開
け、エッチングを行う所のシリコンを露出させる。

【０１１４】ステップＳ１６２では、水酸化カリウム(K
OH)、あるいはテトラメチルアンモミウムハイドロオキ
サイド(TMAH)を用いて、シリコン基板７０１にウェット
エッチングを施すことにより段差を設け、(100)面に対
し54.7°の角度を有する(111)面である斜面を形成し、
マスク７０２、７０３を除去する。続けてこの作製され
た斜面の上面に横方向から伝搬してきた光を開口方向に
供給できるようアルミニウム、銀、金等の金属膜や誘電
体多層膜からなる反射膜７０４を積層形成する。

【０１１５】ステップＳ１６３では、この反射膜７０４
まで光を伝搬させるための光導波路の材料として、低屈
折率層７０５と高屈折率層７０６の酸化シリコンや窒化
シリコン等の石英系材料、ポリイミドやポリメタクリル
酸といった高分子等の誘電体材料を堆積させる。誘電体
材料である酸化シリコンの場合、スパッタリング法、CV
D(Chemical Vapor Deposition)法、真空蒸着法によって
容易に形成できる。屈折率をより大きくするには、成膜
時にゲルマニウムをドープすればよく、また屈折率をよ
り小さくするには、クラッド成膜時にフッ素をドープす
ればよい。

【０１１６】ステップＳ１６４では、フォトリソグラフ
ィ−技術とエッチングを用いて、光導波路の形状を調整
する。通常の半導体製造工程で用いられるフォトリソグ
ラフィ−技術を使用して、光導波路上にエッチングを保
護するマスク材を積層してパターニングを行なう。その
後、光導波路材料をエッチングし、マスク材を除去する
ことにより、光導波路をパターニングできる。

【０１１７】ステップＳ１６５では、斜面の反射膜７０
４および光導波路の上面にＴＥＯＳ( Tetraethoxysilan
e : Si(OC₂H₅)₄ )膜をCVD法にて積層形成し、コア７０
８とクラッド７０７からなる光導波路を形成する。他の
誘電体材料を用いても問題ない。

【０１１８】ステップＳ１６６では、段差のあるＴＥＯ
Ｓ膜の表面を研磨加工し、平坦化し、その上にレジスト
膜７０９を成膜する。

【０１１９】ステップＳ１６７では、レジスト膜７０９
を露光し、その後、フォトリソグラフィ−の技術によ
り、マスク７１０を作製する。ここでは図示していない
が、ＨＤＤ等で一般的に利用されているフライングヘッ
ドとして、この近視野光ヘッドを用いる場合には、フラ
イングヘッドに必要な構造をフォトリソグラフィ−技術
を用いて表面に必要な構造のマスクを作製することで可
能である。

【０１２０】ステップＳ１６７で作製したマスク７１０
をもとに、化学エッチング法を用いてステップＳ１６８
で凸形状部７１１を作製する。

【０１２１】ウェットエッチングを用いる場合は、マス
ク形状とマスク下のアンダーエッチングの速度を調整す
ることによりTEOS膜の凸形状部７１１を作製できる。こ
れは、ウェットエッチングの等方性を利用したものであ
る。アンダーエッチングの速度を調節することにより任
意のテーパ角度をもつ錘状の凸形状部７１１を形成する
ことが可能となる。フォトレジストをマスクとして使用
する場合は、TEOS膜表面粗さ、レジストの種類、コート
方法あるいはベーキング温度の調整を行いTEOS膜とレジ
ストの密着性を最適化することにより任意のテーパ角を
作製する。ウェットエッチャントとして、弗化水素酸と
弗化アンモニウムの混合液を使用する。

【０１２２】また、ドライエッチングを用いる場合は、
マスクの形状が転写されながらTEOS膜のエッチングが進
行するため、マスク自体にあらかじめ凸形状をもたせて
おく必要がある。また、ドライエッチングでもスパッタ
系のエッチング法を用いる場合の作製方法はまた異な
る。あらかじめTEOS膜を柱型あるいは台形に加工する。
その後、スパッタ系エッチングを施すことにより、柱あ
るいは台形の角だけが削れていき、先端の尖った突起形
状が作製される。

【０１２３】ステップＳ１６９では、不要なマスク７１
０を除去し、表面に遮光膜７１３として金属膜を積層形
成する。光反射率の高い金、銀、アルミ等の金属膜を真
空蒸着法にて成膜する。デポレートの高い蒸着条件によ
り、グレインサイズの小さい成膜が可能となる。被覆方
法として、スパッタリング法やイオンプレーティング法
を用いて成膜しても良い。

【０１２４】そして、遮光膜７１３の上面にレジスト膜
を成膜し、露光することでマスクを作成する。そのマス
クを元にエッチングを行い、レンズガイド７１２を作成
する。

【０１２５】その後、凸形状部７１１の先端部の遮光膜
７１３を加工し、微小開口７１４を形成する。微小開口
７１４は、微小開口７１４の近傍に生じる近視野光と記
録媒体と相互作用を起こし、かつその結果得られる伝搬
光を取り出せるように、例えば数十ナノメートルの径を
有している。遮光膜７１３の成膜で、方向依存性の高い
成膜条件にて基板の斜め方向からデポすることにより、
凸形状部７１１斜面の厚みに対し、先端部での厚みが薄
くなる傾向がある。このような厚み分布をもった遮光膜
７１３をエッチングすることにより先端部に微小開口７
１４を形成することが可能となる。また、別の方法とし
て、先端部に微小開口７１４の大きさに相当する穴をも
つマスク材を遮光膜７１３上面に形成し、先端部の遮光
膜７１３だけを選択的にエッチングすることにより微小
開口を作製することも可能である。この場合エッチング
のマスクとして、スピンコートすることにより先端部だ
け塗布されないで遮光膜７１３が露出された状態のフォ
トレジストを使用したり、あるいはCVD法により先端部
のみ薄く形成された誘電体をエッチングすることにより
微小開口７１４に相当する大きさの穴が形成されたもの
を使用することができる。

【０１２６】また、別の微小開口作製方法として、遮光
膜７１３より硬い材料から成る表面が滑らかな平板を、
凸形状部７１１先端部の上方より遮光膜７１３に押し当
て、一定の負荷荷重を加えることにより、遮光膜７１３
先端部の形状を平板の型にあうよう平らに変化させ、下
層のTEOS膜を露出させることにより微小開口を作製して
も良い。この場合、平板で押し当てず、先端の尖った形
状のもの、あるいは球状のものを先端部に押し当てて、
遮光膜７１３をその型にはめ込んだ形状に加工すること
により微小開口７１４を作製することも可能である。そ
の後、遮光膜７１３の上面に保護膜となる誘電体膜（図
示略）を形成する。保護膜は30nm以下の厚みに形成す
る。誘電体膜の形成により、遮光膜７１３の経時的な酸
化による反射率の低下あるいは光の漏れ、あるいは媒体
との接触に起因する剥離による光漏れを抑制することが
可能となる。なお、このステップは省略できる場合もあ
る。このようにして作成された近視野光ヘッド６０１
は、レンズガイド７１２に屈折率分布レンズ６０２を固
定して用いる。

【０１２７】次に、図１５を用いて、光情報の再生方法
について説明する。

【０１２８】上記説明した近視野光ヘッド６０１は、記
録媒体３と常に一定の相対配置で浮上するために近視野
光ヘッド用サスペンション７、微動機構４、取付用サス
ペンション６０６を介して粗動機構である駆動用アクチ
ュエータ１８に取付けられている。また、光源６０４と
照射光レンズ６０５から構成される光源部６０３は、取
付用サスペンション６０６に取付けられている。この光
源６０４は、例えば半導体レーザーである。勿論、半導
体レーザー以外の光源を用いても良いことは言うまでも
ない。

【０１２９】記録媒体３の表面に近視野光ヘッド６０１
を数十ナノメートルまで近接した状態で記録媒体３を高
速に回転させ、近視野光ヘッド６０１が記録媒体３と常
に一定の相対配置で浮上させる。その後、粗動機構であ
る駆動用アクチュエータ１８により近視野光ヘッド６０
１の微小開口７１４を記録媒体３上の所望の情報再生位
置に移動させる。その際、同時に取付用サスペンション
６０６に取付けられている光源部６０３も移動する。そ
の後、必要に応じて微動機構４により近視野光ヘッド６
０１を微動させ、超高密度に情報が記録された記録媒体
３上の所望の情報再生位置に移動させる。

【０１３０】取付用サスペンション６０６に取付けられ
た光源部６０３の光源６０４からの光束は、照射レンズ
６０５により平行光束にされ、近視野光ヘッド６０２に
固定された屈折率分布レンズ６０２に照射される。この
屈折率分布レンズ６０２は、平行光束が入射された場合
に、出射側のレンズ端面に集光され、近視野光ヘッド６
０１の光導波路のコア７０８に光束が入射される。ここ
で、本実施の形態では、屈折率分布レンズを用いたが、
レンズや回折格子などレンズ機能を有する素子を用いて
も良いことは言うまでもない。

【０１３１】光導波路のコア７０８に入射された光束
は、光導波路を伝搬し、反射膜７０４で反射し折り曲げ
られ、微小開口７１４に照射され、微小開口７１４近傍
に近視野光が生成される。この近視野光と記録媒体３と
の相互作用によって、その情報記録部の記録状態に依存
した強度や位相等の特性を伴った伝搬光が、受光レンズ
１２を介して受光素子１３で受光される。受光された光
は電気信号に変換され、図示しない信号処理部によって
情報記録部の記録状態が判断される。

【０１３２】近視野光ヘッド６０１を微動させるため
に、光源部６０３と近視野光ヘッド６０１との相対的な
位置関係がずれてしまうが、光源部６０３からの照射光
は平行光束で近視野光ヘッド６０１に固定された屈折率
分布レンズ６０２に入射するため、光源部６０３と近視
野光ヘッド６０１との相対的な位置ずれによる影響は最
小限度に抑えることができ、超高密度に記録された情報
の再生が可能である。

【０１３３】このように、近視野光ヘッド６０１を微動
機構４で微動させても、質量も軽く、超精密に位置決め
することが可能である。また、光源部６０３が取付用サ
スペンション６０６に取付けられているが、光源６０４
と照射レンズ６０５の質量は非常に軽い。よって、この
ような光源部６０３が取付用サスペンション６０６に固
定されていても、駆動用アクチュエータ１８の動作への
影響は軽微である。

【０１３４】次に、記録媒体への記録方法について説明
する。

【０１３５】近視野光ヘッド６０１を所望の情報記録位
置に移動方法は、記録された情報の再生方法の場合と全
く同様であるのでここでは説明を省略する。所望の情報
記録位置に移動後、書込み動作をすることにより情報の
記録を行うことができる。

【０１３６】以上説明したように、実施の形態６によれ
ば、実施の形態１から実施の形態５の効果に加え、光源
部を取付用サスペンションに取付けるので、光源部用サ
スペンションが必要なくなり、より装置の小型・薄型・
軽量化が可能である。特に、近視野光ヘッドの側面から
光を近視野光ヘッドに入射するため、非常に薄型の光情
報記録再生装置を実現できる。

【０１３７】また、軽量化により、駆動用アクチュエー
タへの負荷が減り、低消費電力化をはかれる。その上、
駆動用アクチュエータによる位置制御が容易になる。

【０１３８】さらに、光源用サスペンションを用いない
ために、部品点数の削減ができ、組み立て作業が簡便と
なり、さらなる低コストが実現できる。さらに、軽量化
により、高速位置決めやデータへの高速アクセスが可能
となり、さらな高速な再生・記録が実現できる。

【０１３９】本実施の形態では、近視野光ヘッドとして
微小開口を有する構造としているが、微小開口を作成せ
ず、Tip先端の微小突起形状やTip先端に微小金属等の微
小構造でも、同様の効果が得られる。

【０１４０】本実施の形態は、凸形状部と光導波路が１
組の近視野光ヘッドの場合の実施の形態であるが、凸形
状部とそれに対応した光導波路を複数個同時に作成する
ことは容易であり、1つの近視野光ヘッドで、複数のデ
ータを同時に記録再生することが可能である。よって、
超高速なデータ再生が可能となる。

【０１４１】

【発明の効果】以上説明したように本発明に係る第１お
よび第２の光情報記録再生装置によれば、光情報記録再
生を行うヘッドである微小開口を有する近視野光ヘッ
ド、光源部、光検出部は、粗動機構により記録媒体上の
任意の位置に位置決めされる。そして、さらにヘッドの
みが微動機構に取付けられている。この近視野光ヘッド
のみは質量が軽いため、超精密な位置決めを行う微動機
構により、超精密な位置決めが可能となる。

【０１４２】以上説明したように本発明に係る第３の光
情報記録再生装置によれば、本発明に係る第１あるいは
第２の光情報記録再生装置の効果に加え、光源部と光検
出部を一体として構成することで、記録媒体への記録、
或いは記録媒体からの再生を反射で実現でき、記録媒体
の両面を記録部として利用出来るので、記録容量を容易
に２倍にすることが可能となり、さらに装置の小型化が
可能である。

【０１４３】以上説明したように本発明に係る第４の光
情報記録再生装置によれば、光検出部と光情報記録再生
を行うヘッドである微小開口を有する近視野光ヘッドと
質量の大きな増加を伴なわないで一体化でき、超精密な
位置決めを行う微動機構により、超精密な位置決めが可
能となり、近視野光を利用した超高密度な光情報の記録
再生を行うことが可能となる。さらに、記録媒体からの
光情報の再生を反射で実現でき、記録媒体の両面を記録
部として利用出来るので、記録容量を容易に２倍にする
ことが可能となり、さらに装置の小型化が可能である。

【０１４４】以上説明したように本発明に係る第５の光
情報記録再生装置によれば、光検出部と光情報記録再生
を行うヘッドである微小開口を有する近視野光ヘッドと
質量の増加をほとんど伴なわないで一体化でき、超精密
な位置決めを行う微動機構により、超精密な位置決めが
可能となり、近視野光を利用した超高密度な光情報の記
録再生を行うことが可能となる。さらに、受光素子基板
で受光される光量を増大させることが出来きるのでより
高速な情報再生が可能となる。そのうえ、記録媒体から
の光情報の再生を反射で実現でき、記録媒体の両面を記
録部として利用出来るので、記録容量を容易に２倍にす
ることが可能となり、さらに装置の小型化が可能であ
る。

【０１４５】以上説明したように本発明に係る第６の光
情報記録再生装置によれば、光検出部と光情報記録再生
を行うヘッドである微小開口を有する近視野光ヘッドと
が同一となり質量の増加をほとんど伴なわないで一体化
でき、超精密な位置決めを行う微動機構により、超精密
な位置決めが可能となり、近視野光を利用した超高密度
な光情報の記録再生を行うことが可能となる。さらに、
受光素子基板で受光される光量を増大させることが出来
きるのでより高速な情報再生が可能となる。そのうえ、
記録媒体からの光情報の再生を反射で実現でき、記録媒
体の両面を記録部として利用出来るので、記録容量を容
易に２倍にすることが可能となり、さらに装置の小型化
が可能である。

【０１４６】以上説明したように本発明に係る第７の光
情報記録再生装置によれば、近視野光ヘッドは、微動機
構を介して粗動機構に取り付けられ、光源部も同じ粗動
機構に取り付けられている為、光源部用に新たな粗動機
構が必要なく、より装置の小型・薄型・軽量化が可能で
ある。そして部品点数の削減により、組み立て作業が簡
便となり、さらなる低コストが実現できる。さらに、軽
量化により、高速位置決めやデータへの高速アクセスが
可能となり、さらな高速な再生・記録が実現できる。ま
た、軽量化により、駆動用アクチュエータへの負荷が減
り、低消費電力化がはかれる。その上、駆動用アクチュ
エータへの負荷が減ることにより位置制御が容易にな
る。

【０１４７】以上説明したように本発明に係る第８の光
情報記録再生装置によれば、本発明に係る第１、第４か
ら第７のいずれか一つの光情報記録再生装置の効果に加
え、近視野光ヘッドに対して光源部の位置が上下左右前
後に多少ずれたとしても、近視野光ヘッドに形成された
微小開口などの微小構造に光を安定的に入射することが
出来る。よって、近視野光を利用した超高密度な光情報
の記録再生を安定的に行うことが可能となる。

【０１４８】以上説明したように本発明に係る第９の光
情報記録再生装置によれば、本発明に係る第８の光情報
記録再生装置の効果に加え、近視野光ヘッドに対して光
源部の位置が上下左右に多少ずれたとしても、近視野光
ヘッドに形成された微小開口などの微小構造に光を安定
的に入射することが出来る。また、空中伝搬する光束の
断面形状を円形以外の楕円形等にすることにより、さら
に近視野光ヘッドに対して光源部の位置左右にずれた時
にもより微小開口などの微小構造に光を安定的に入射す
ることが出来る。よって、近視野光を利用した超高密度
な光情報の記録再生を安定的に行うことが可能となる。

【０１４９】以上説明したように本発明に係る第１０の
光情報記録再生装置によれば、本発明に係る第８の光情
報記録再生装置の効果に加え、光源部と光情報記録再生
を行うヘッドである近視野光ヘッドとが光ファイバー等
の光導波路で接続されているので、光ファイバーや光導
波路の材質の持つ弾性によるフレキシビリティーによ
り、近視野光ヘッドに対して光源部の位置が上下左右に
多少ずれたとしても、近視野光ヘッドに形成された微小
開口などの微小構造に光を安定的に入射することが出来
る。また、光ファイバーや光導波路の構造を工夫する
（例えば、形状を片側だけ細くしたり、括れ部を作った
りする）ことによりフレキシビリティーを得ることが出
来る。よって、記録媒体のうねり等の原因により近視野
光ヘッドが上下した時にも、記録媒体に光情報を記録或
いは記録媒体から光情報を読み出すことが可能となる。

【０１５０】以上説明したように本発明に係る第１１の
光情報記録再生装置によれば、本発明に係る第１、第４
から第７のいずれか一つの光情報記録再生装置の効果に
加え、光源部から出力される光は平行光束となり、近視
野光ヘッド上に配置された集光レンズに平行光束が入射
されるため、近視野光ヘッドに対して、光源部の位置が
上下左右に多少ずれたとしても、近視野光ヘッドに形成
された微小開口などの微小構造に光を入射することが出
来る。よって、記録媒体のうねり等の原因により近視野
光ヘッドが上下した時にも、記録媒体に光情報を記録或
いは記録媒体から光情報を読み出すことが可能となる。

【０１５１】以上説明したように本発明に係る第１２の
光情報記録再生装置によれば、本発明に係る第１、第４
から第７のいずれか一つの光情報記録再生装置の効果に
加え、レンズにより微小構造に光が集光されるので、よ
り強い近視野光が発生し、強度の強い光が受光素子で受
光されるので、高速再生が可能であり、超高密度な記録
容量をもつ光情報記録再生装置を実現できる。

【０１５２】以上説明したように本発明に係る第１３の
光情報記録再生装置によれば、本発明に係る第１２の光
情報記録再生装置の効果に加え、レンズを一体にするこ
とにより、レンズと微小構造との位置合わせを不要に
し、組立てにかかるコストを削減することができ。

【０１５３】以上説明したように本発明に係る第１４の
光情報記録再生装置によれば、本発明に係る第１、第４
から第７のいずれか一つの光情報記録再生装置の効果に
加え、近視野光ヘッドの側面から光を近視野光ヘッドに
入射するため、非常に薄型の光情報記録再生装置を実現
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態１に係る光情報記録再生装
置の概略を示す図である。

【図２】本発明の実施の形態１に係る光情報記録再生装
置の構成を示す図である。

【図３】本発明の実施の形態１に係る光情報記録再生装
置のヘッド部分およびその近傍の構成を示す図である。

【図４】本発明の実施の形態１に係る他の光情報記録再
生装置の構成を示す図である。

【図５】本発明の実施の形態２に係る光情報記録再生装
置の構成を示す図である。

【図６】本発明の実施の形態２に係る光情報記録再生装
置のヘッド部分およびその近傍の構成を示す図である。

【図７】本発明の実施の形態３に係る光情報記録再生装
置の構成を示す図である。

【図８】本発明の実施の形態３に係る光情報記録再生装
置のヘッド部分およびその近傍の構成を示す図である。

【図９】本発明の実施の形態４に係る光情報記録再生装
置の構成を示す図である。

【図１０】本発明の実施の形態４に係る光情報記録再生
装置のヘッド部分およびその近傍の構成を示す図であ
る。

【図１１】本発明の実施の形態４に係る光情報記録再生
装置のヘッド部分およびその近傍の他の構成を示す図で
ある。

【図１２】本発明の実施の形態４に係る光情報記録再生
装置のヘッド部分およびその近傍の他の構成を示す図で
ある。

【図１３】本発明の実施の形態５に係る光情報記録再生
装置の構成を示す図である。

【図１４】本発明の実施の形態５に係る光情報記録再生
装置のヘッド部分およびその近傍の構成を示す図であ
る。

【図１５】本発明の実施の形態６に係る光情報記録再生
装置の構成を示す図である。

【図１６】本発明の実施の形態６に係る光情報記録再生
装置のヘッドの作成方法を示す図である。

【符号の説明】

１、６０３光源部２光検出部３記録媒体４微動機構６光源部用サスペンション７近視野光ヘッド用サスペンション８光検出部用サスペンション９、１０１、２０１、３０１、５０１、６０１近視野
光ヘッド１０、２０３、６０４光源１１、２０４、６０５照射光レンズ１２、２０５受光レンズ１３、２０６、３０４、３０６受光素子１４、３０２シリコン基板１５、３０３ヘッドレンズ１６テーパ−開口部１７微小開口１８駆動用アクチュエータ１９アクチュエーターカバー２０照射光２１伝搬光２２ミラー１０２光ファイバー１０３コア１０４クラッド１０５集光レンズ２０２光源検出部２０７ビームスプリッタ− ２０８光源検出部用サスペンション３０５光導波路３０７受光素子基板３０８、５０３遮光膜５０２ Tip付マイクロレンズ基板６０２屈折率分布レンズ６０６取付用サスペンション７０１シリコン基板７０２、７０３、７１０マスク７０４反射膜７０５低屈折率層７０６高屈折率層７０７クラッド７０８コア７０９レジスト膜７１１凸形状部７１２レンズガイド７１３遮光膜７１４微小開口

フロントページの続き (72)発明者光岡靖幸千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地セイコーインスツルメンツ株式会社内 (72)発明者前田英孝千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地セイコーインスツルメンツ株式会社内 (72)発明者加藤健二千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地セイコーインスツルメンツ株式会社内 (72)発明者新輪隆千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地セイコーインスツルメンツ株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】近視野光を利用して記録媒体の情報の記
録及び／または再生を行う光情報記録再生装置であっ
て、情報が記録されている記録媒体と、微小構造を有する近視野光ヘッドと、前記近視野光ヘッドに光を照射する光源部と、前記近視野光ヘッドと前記光源部を光で接続する導光構
造と、近視野光と前記記録媒体との相互作用の結果生成された
伝搬光を検出するための光検出部と、を含み前記近視野
光ヘッドは、微動機構を介して粗動機構に取り付けら
れ、前記光源部は、粗動機構に取り付けられていること
を特徴とする光情報記録再生装置。
【請求項２】前記光源部と前記光検出部と前記微動機
構を介した近視野光ヘッドが全て同じ粗動機構に取り付
けられていることを特徴とする請求項１記載の光情報記
録再生装置。
【請求項３】前記光源部と前記光検出部が一体である
ことを特徴とする請求項１あるいは請求項２記載の光情
報記録再生装置。
【請求項４】近視野光を利用して記録媒体の情報の記
録及び／または再生を行う光情報記録再生装置であっ
て、情報が記録されている記録媒体と、微小構造を有する近視野光ヘッドと、前記近視野光ヘッドに光を照射する光源部と、前記近視野光ヘッドと前記光源部を光で接続する導光構
造と、前記微小構造の近傍に形成された光導波路と、前記光導波路の一端部に形成された受光部と、を含み、前記光導波路の他端部は前記微小構造の縁部に位置し、前記近視野光ヘッドは、微動機構を介して粗動機構に取
り付けられ、前記光源部は、粗動機構に取り付けられて
いることを特徴とする光情報記録再生装置。
【請求項５】近視野光を利用して記録媒体の情報の記
録及び／または再生を行う光情報記録再生装置であっ
て、情報が記録されている記録媒体と、微小構造を有する近視野光ヘッドと、前記近視野光ヘッドに光を照射する光源部と、前記近視野光ヘッドと前記光源部を光で接続する導光構
造と、を含み、前記微小構造の縁部において受光部を備えており、前記
受光部を除く表面に遮光膜が形成され、前記近視野光ヘ
ッドは、微動機構を介して粗動機構に取り付けられ、前
記光源部は、粗動機構に取り付けられていることを特徴
とする光情報記録再生装置。
【請求項６】近視野光を利用して記録媒体の情報の記
録及び／または再生を行う光情報記録再生装置であっ
て、情報が記録されている記録媒体と、微小構造を有する近視野光ヘッドと、前記近視野光ヘッドに光を照射する光源部と、前記近視野光ヘッドと前記光源部を光で接続する導光構
造と、を含み、前記近視野光ヘッドは、受光素子基板であり、前記受光
素子基板の一部を除く表面に遮光膜が形成されており、
前記近視野光ヘッドは、微動機構を介して粗動機構に取
り付けられ、前記光源部は、粗動機構に取り付けられて
いることを特徴とする光情報記録再生装置。
【請求項７】近視野光を利用して記録媒体の情報の記
録及び／または再生を行う光情報記録再生装置であっ
て、情報が記録されている記録媒体と、微小構造を有する近視野光ヘッドと、前記近視野光ヘッドに光を照射する光源部と、前記近視野光ヘッドと前記光源部を光で接続する導光構
造と、近視野光と前記記録媒体との相互作用の結果生成された
伝搬光を検出するための光検出部と、を含み前記近視野光ヘッドは、微動機構を介して取付部により
粗動機構に取り付けられ、前記光源部は、前記取付部に
取り付けられていることを特徴とする光情報記録再生装
置。
【請求項８】前記導光構造が、前記微動機構により微
動した前記近視野光ヘッドにも前記微小構造に光を照射
する事ができる構造であることを特徴とする請求項１、
請求項４から請求項７のいずれかに記載の光情報記録再
生装置。
【請求項９】前記導光構造が、前記光源部から前記近
視野光ヘッドへ光が空中伝搬する構造であることを特徴
とする請求項８記載の光情報記録再生装置。
【請求項１０】前記導光構造が、光導波路であること
を特徴とする請求項８記載の光情報記録再生装置。
【請求項１１】前記光源部が、レンズと、レンズの後
焦点面に配置された少なくとも１つの光源から構成され
ていることを特徴とする請求項１、請求項４から請求項
７のいずれかに記載の光情報記録再生装置。
【請求項１２】前記近視野光ヘッドが、レンズ機能と
前記微小構造に光が照射される機能を有する基板とから
なることを特徴とする請求項１、請求項４から請求項７
のいずれかに記載の光情報記録再生装置。
【請求項１３】前記レンズ機能と前記微小構造に光が
照射される機能を有する前記基板が、１つの基板からな
ることを特徴とする請求項１２に記載の光情報記録再生
装置。
【請求項１４】前記近視野光ヘッドが、前記近視野光
ヘッドの前記微小構造を有する側とは異なる側から光が
入射され、前記微小構造に光が照射される構造であるこ
とを特徴とする請求項１、請求項４から請求項７のいず
れかに記載の光情報記録再生装置。