JP2001122637A - ディスプレイ用ガラス基板 - Google Patents
ディスプレイ用ガラス基板Info
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- JP2001122637A JP2001122637A JP30418399A JP30418399A JP2001122637A JP 2001122637 A JP2001122637 A JP 2001122637A JP 30418399 A JP30418399 A JP 30418399A JP 30418399 A JP30418399 A JP 30418399A JP 2001122637 A JP2001122637 A JP 2001122637A
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C3/00—Glass compositions
- C03C3/04—Glass compositions containing silica
- C03C3/076—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight
- C03C3/089—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing boron
- C03C3/091—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing boron containing aluminium
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- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 液晶ディスプレイに求められる要求特性を全
て満足し、しかもたわみ量が小さいため、大型で、薄肉
のガラス基板であっても、製造上、梱包上の問題が生じ
にくく、しかも電子機器に装着した時の画像面の歪みが
少ないディスプレイ用ガラス基板を提供することであ
る。 【構成】 本発明のディスプレイ用ガラス基板は、重量
百分率で、ＳｉＯ2 ５０．０〜７１．８％、Ａｌ2Ｏ3
１０．０〜２５．０％、Ｂ2Ｏ3 ０．１〜５．０％、
ＭｇＯ ０〜１０．０％、ＣａＯ １８．１〜２５．０
％、ＳｒＯ ０〜５．０％、ＢａＯ ０〜５．０％、Ｚ
ｎＯ ０〜５．０％、ＺｒＯ2 ０〜５．０％、ＴｉＯ2
０〜５．０％、Ｙ2Ｏ3 ０〜５．０％、Ｐ2Ｏ5 ０〜
５％の組成を有し、実質的にアルカリ金属酸化物を含有
せず、比ヤング率（ヤング率／密度）が２９．０ＧＰａ
／ｇ・ｃｍ-3以上であることを特徴とする。
て満足し、しかもたわみ量が小さいため、大型で、薄肉
のガラス基板であっても、製造上、梱包上の問題が生じ
にくく、しかも電子機器に装着した時の画像面の歪みが
少ないディスプレイ用ガラス基板を提供することであ
る。 【構成】 本発明のディスプレイ用ガラス基板は、重量
百分率で、ＳｉＯ2 ５０．０〜７１．８％、Ａｌ2Ｏ3
１０．０〜２５．０％、Ｂ2Ｏ3 ０．１〜５．０％、
ＭｇＯ ０〜１０．０％、ＣａＯ １８．１〜２５．０
％、ＳｒＯ ０〜５．０％、ＢａＯ ０〜５．０％、Ｚ
ｎＯ ０〜５．０％、ＺｒＯ2 ０〜５．０％、ＴｉＯ2
０〜５．０％、Ｙ2Ｏ3 ０〜５．０％、Ｐ2Ｏ5 ０〜
５％の組成を有し、実質的にアルカリ金属酸化物を含有
せず、比ヤング率（ヤング率／密度）が２９．０ＧＰａ
／ｇ・ｃｍ-3以上であることを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶ディスプレイ、Ｅ
Ｌディスプレイ等のフラットディスプレイ基板として用
いられるガラス基板に関するものである。
Ｌディスプレイ等のフラットディスプレイ基板として用
いられるガラス基板に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、液晶ディスプレイ、ＥＬディ
スプレイ等のディスプレイ基板としては、矩形状のガラ
ス基板が広く使用されている。
スプレイ等のディスプレイ基板としては、矩形状のガラ
ス基板が広く使用されている。
【０００３】この種のガラス基板の表面には、透明導電
膜、絶縁膜、半導体膜、金属膜等が成膜され、しかもフ
ォトリソグラフィーエッチング（フォトエッチング）に
よって種々の回路やパターンが形成される。これらの成
膜、フォトエッチング工程において、ガラス基板には、
種々の熱処理や薬品処理が施される。
膜、絶縁膜、半導体膜、金属膜等が成膜され、しかもフ
ォトリソグラフィーエッチング（フォトエッチング）に
よって種々の回路やパターンが形成される。これらの成
膜、フォトエッチング工程において、ガラス基板には、
種々の熱処理や薬品処理が施される。
【０００４】例えば薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）型アク
ティブマトリックス液晶ディスプレイの場合、ガラス基
板上に絶縁膜や透明導電膜が成膜され、さらにアモルフ
ァスシリコンや多結晶シリコンのＴＦＴが、フォトエッ
チングによって多数形成される。このような工程におい
て、ガラス基板は、数百度の熱処理を受けると共に、硫
酸、塩酸、アルカリ溶液、フッ酸、バッファードフッ酸
等の種々の薬品による処理を受ける。
ティブマトリックス液晶ディスプレイの場合、ガラス基
板上に絶縁膜や透明導電膜が成膜され、さらにアモルフ
ァスシリコンや多結晶シリコンのＴＦＴが、フォトエッ
チングによって多数形成される。このような工程におい
て、ガラス基板は、数百度の熱処理を受けると共に、硫
酸、塩酸、アルカリ溶液、フッ酸、バッファードフッ酸
等の種々の薬品による処理を受ける。
【０００５】従ってＴＦＴ型アクティブマトリックス液
晶ディスプレイに使用されるガラス基板には、以下のよ
うな特性が要求される。 （１）ガラス中にアルカリ金属酸化物が含有されている
と、熱処理中にアルカリイオンが成膜された半導体物質
中に拡散し、膜特性の劣化を招くため、実質的にアルカ
リ金属酸化物を含有しないこと。 （２）フォトエッチング工程において使用される種々の
酸、アルカリ等の薬品によって劣化しないような耐薬品
性を有すること。
晶ディスプレイに使用されるガラス基板には、以下のよ
うな特性が要求される。 （１）ガラス中にアルカリ金属酸化物が含有されている
と、熱処理中にアルカリイオンが成膜された半導体物質
中に拡散し、膜特性の劣化を招くため、実質的にアルカ
リ金属酸化物を含有しないこと。 （２）フォトエッチング工程において使用される種々の
酸、アルカリ等の薬品によって劣化しないような耐薬品
性を有すること。
【０００６】またこれ以外にも、次のような特性が要求
される。 （３）成膜等の液晶製造工程でガラス基板が熱収縮して
パターンずれを起こさないように、高い歪点、具体的に
は、６５０℃以上の歪点を有すること。例えば多結晶シ
リコンＴＦＴ−ＬＣＤの場合、その工程温度が６００℃
以上であるため、このような用途のガラス基板には、歪
点が６５０℃以上であることが要求される。 （４）ガラス中に基板として好ましくない溶融欠陥が発
生しないよう溶融性に優れていること。 （５）ＴＦＴの材料の熱膨張係数に近似した熱膨張係数
を有すること。
される。 （３）成膜等の液晶製造工程でガラス基板が熱収縮して
パターンずれを起こさないように、高い歪点、具体的に
は、６５０℃以上の歪点を有すること。例えば多結晶シ
リコンＴＦＴ−ＬＣＤの場合、その工程温度が６００℃
以上であるため、このような用途のガラス基板には、歪
点が６５０℃以上であることが要求される。 （４）ガラス中に基板として好ましくない溶融欠陥が発
生しないよう溶融性に優れていること。 （５）ＴＦＴの材料の熱膨張係数に近似した熱膨張係数
を有すること。
【０００７】また近年、ＴＦＴ型アクティブマトリック
ス液晶ディスプレイ等の電子デバイスは、パーソナルな
分野への応用が進められており、機器の軽量化が要求さ
れている。これに伴ってガラス基板にも軽量化が要求さ
れ、薄肉化が進められている。それゆえ、現在では０．
７ｍｍ以下の厚みのガラスが標準となりつつある。
ス液晶ディスプレイ等の電子デバイスは、パーソナルな
分野への応用が進められており、機器の軽量化が要求さ
れている。これに伴ってガラス基板にも軽量化が要求さ
れ、薄肉化が進められている。それゆえ、現在では０．
７ｍｍ以下の厚みのガラスが標準となりつつある。
【０００８】さらにこの種の電子デバイスは、大型化も
進められており、これに伴って大型のガラス基板も要求
されている。すなわち、この種の電子デバイスを製造す
る場合には、ガラスメーカーで成形された大型のガラス
基板（素板）の上に複数個分のデバイスを作製した後、
デバイス毎に分割切断して製品とするため、電子デバイ
スが大型化するほど、ガラス基板をより大きくする必要
がある。例えば、１２．１インチのデバイスを６枚取り
するためには５５０×６５０ｍｍのサイズの基板が要求
されている。
進められており、これに伴って大型のガラス基板も要求
されている。すなわち、この種の電子デバイスを製造す
る場合には、ガラスメーカーで成形された大型のガラス
基板（素板）の上に複数個分のデバイスを作製した後、
デバイス毎に分割切断して製品とするため、電子デバイ
スが大型化するほど、ガラス基板をより大きくする必要
がある。例えば、１２．１インチのデバイスを６枚取り
するためには５５０×６５０ｍｍのサイズの基板が要求
されている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上記したようにＴＦＴ
型アクティブマトリックス液晶ディスプレイ等に用いら
れるガラス基板は、大型化、薄肉化が進められている
が、これに伴い各種の問題が生じている。
型アクティブマトリックス液晶ディスプレイ等に用いら
れるガラス基板は、大型化、薄肉化が進められている
が、これに伴い各種の問題が生じている。
【００１０】すなわちこの種のガラス基板は、ガラスメ
ーカーで成形された後、切断、徐冷、検査、洗浄等の工
程を通過する。これらの工程中、ガラス基板は、複数段
の棚が形成されたカセットに出し入れされる。このカセ
ットは、左右の内側面に形成された棚に、ガラス基板の
両辺を載置するようにして水平方向に保持できるように
なっているが、大型のガラス基板はたわみ量が大きいた
め、ガラス基板をカセットの棚に入れる際に、ガラス基
板の一部が、カセットや他のガラス基板に接触して破損
したり、カセットの棚からガラス基板を取り出す際に、
大きく揺動して不安定となりやすい。このような形態の
カセットは、電子デバイスメーカーでも使用されるた
め、同様の問題が発生している。
ーカーで成形された後、切断、徐冷、検査、洗浄等の工
程を通過する。これらの工程中、ガラス基板は、複数段
の棚が形成されたカセットに出し入れされる。このカセ
ットは、左右の内側面に形成された棚に、ガラス基板の
両辺を載置するようにして水平方向に保持できるように
なっているが、大型のガラス基板はたわみ量が大きいた
め、ガラス基板をカセットの棚に入れる際に、ガラス基
板の一部が、カセットや他のガラス基板に接触して破損
したり、カセットの棚からガラス基板を取り出す際に、
大きく揺動して不安定となりやすい。このような形態の
カセットは、電子デバイスメーカーでも使用されるた
め、同様の問題が発生している。
【００１１】また、このような大型のガラス基板をガラ
スメーカーから電子デバイスメーカーに輸送する際、実
開平５−１２０９８号に開示されているような箱状の上
下支持部材を用いて上下方向から挟み込む形態の梱包体
が使用されることがあるが、下側の支持部材に形成され
た複数の保持溝にガラス基板を１枚づつ挿入した後で、
ガラス基板が大きくたわむと、上側の支持部材に形成さ
れた複数の保持溝に各ガラス基板を挿入するのが困難と
なり、作業性が大幅に低下する。
スメーカーから電子デバイスメーカーに輸送する際、実
開平５−１２０９８号に開示されているような箱状の上
下支持部材を用いて上下方向から挟み込む形態の梱包体
が使用されることがあるが、下側の支持部材に形成され
た複数の保持溝にガラス基板を１枚づつ挿入した後で、
ガラス基板が大きくたわむと、上側の支持部材に形成さ
れた複数の保持溝に各ガラス基板を挿入するのが困難と
なり、作業性が大幅に低下する。
【００１２】さらに電子デバイスが大型化するほど、こ
れに装着されるガラス基板がたわみやすくなるため、電
子デバイスの画像面が歪んで見える虞れがある。
れに装着されるガラス基板がたわみやすくなるため、電
子デバイスの画像面が歪んで見える虞れがある。
【００１３】本発明の目的は、上記した要求特性項目
（１）〜（５）の全てを満足し、しかもたわみ量が小さ
いため、大型で、薄肉のガラス基板であっても、上記し
たような製造上、梱包上の問題が生じにくく、しかも電
子デバイスに装着した時の画像面の歪みが少ないディス
プレイ用ガラス基板を提供することである。
（１）〜（５）の全てを満足し、しかもたわみ量が小さ
いため、大型で、薄肉のガラス基板であっても、上記し
たような製造上、梱包上の問題が生じにくく、しかも電
子デバイスに装着した時の画像面の歪みが少ないディス
プレイ用ガラス基板を提供することである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】ガラス基板のたわみ量は
ヤング率／密度（比ヤング率）に比例して変化し、比ヤ
ング率が大きくなればたわみ量が小さくなることが知ら
れている。
ヤング率／密度（比ヤング率）に比例して変化し、比ヤ
ング率が大きくなればたわみ量が小さくなることが知ら
れている。
【００１５】そこで、本発明者は、種々の実験を繰り返
した結果、ＴＦＴ型アクティブマトリックス液晶ディス
プレイに使用されるガラス基板に要求される特性を満足
し、しかも、ヤング率が大きく、比ヤング率を大きくす
るのに適したガラス組成を見いだし、本発明として提案
するものである。
した結果、ＴＦＴ型アクティブマトリックス液晶ディス
プレイに使用されるガラス基板に要求される特性を満足
し、しかも、ヤング率が大きく、比ヤング率を大きくす
るのに適したガラス組成を見いだし、本発明として提案
するものである。
【００１６】すなわち本発明のディスプレイ用ガラス基
板は、重量百分率で、ＳｉＯ2 ５０．０〜７１．８
％、Ａｌ2Ｏ3 １０．０〜２５．０％、Ｂ2Ｏ3 ０．１
〜５．０％、ＭｇＯ ０〜１０．０％、ＣａＯ １８．
１〜２５．０％、ＳｒＯ ０〜５．０％、ＢａＯ ０〜
５．０％、ＺｎＯ ０〜５．０％、ＺｒＯ2 ０〜５．
０％、ＴｉＯ2 ０〜５．０％、Ｙ2Ｏ3 ０〜５．０
％、Ｐ2Ｏ5 ０〜５％の組成を有し、実質的にアルカリ
金属酸化物を含有せず、比ヤング率（ヤング率／密度）
が２９．０ＧＰａ／ｇ・ｃｍ-3以上であることを特徴と
する。
板は、重量百分率で、ＳｉＯ2 ５０．０〜７１．８
％、Ａｌ2Ｏ3 １０．０〜２５．０％、Ｂ2Ｏ3 ０．１
〜５．０％、ＭｇＯ ０〜１０．０％、ＣａＯ １８．
１〜２５．０％、ＳｒＯ ０〜５．０％、ＢａＯ ０〜
５．０％、ＺｎＯ ０〜５．０％、ＺｒＯ2 ０〜５．
０％、ＴｉＯ2 ０〜５．０％、Ｙ2Ｏ3 ０〜５．０
％、Ｐ2Ｏ5 ０〜５％の組成を有し、実質的にアルカリ
金属酸化物を含有せず、比ヤング率（ヤング率／密度）
が２９．０ＧＰａ／ｇ・ｃｍ-3以上であることを特徴と
する。
【００１７】
【作用】現在、市販されているガラス基板は、比ヤング
率が２８．０ＧＰａ／ｇ・ｃｍ -3程度の小さいガラスか
ら作製されているため、これらのガラス基板の大型化、
薄肉化を図ると、たわみ量が大きくなる。
率が２８．０ＧＰａ／ｇ・ｃｍ -3程度の小さいガラスか
ら作製されているため、これらのガラス基板の大型化、
薄肉化を図ると、たわみ量が大きくなる。
【００１８】これに対し、本発明のディスプレイ用ガラ
ス基板は上記した特定の組成範囲を有するガラス組成物
からなるため、２９．０ＧＰａ／ｇ・ｃｍ-3以上の比ヤ
ング率が得られ、大型で薄肉のガラス基板、具体的に
は、ガラス基板の縦寸法が５００ｍｍ以上、横寸法が６
００ｍｍ以上、厚みが０．７ｍｍ以下であっても、問題
とならない程度のたわみ量に抑えることができる。
ス基板は上記した特定の組成範囲を有するガラス組成物
からなるため、２９．０ＧＰａ／ｇ・ｃｍ-3以上の比ヤ
ング率が得られ、大型で薄肉のガラス基板、具体的に
は、ガラス基板の縦寸法が５００ｍｍ以上、横寸法が６
００ｍｍ以上、厚みが０．７ｍｍ以下であっても、問題
とならない程度のたわみ量に抑えることができる。
【００１９】更に上記組成範囲は、ガラス基板のたわみ
量以外にも、耐薬品性、熱収縮性、溶融性、成形性及び
熱膨張係数を考慮して規制したものであり、各成分の限
定理由は、次のとおりである。
量以外にも、耐薬品性、熱収縮性、溶融性、成形性及び
熱膨張係数を考慮して規制したものであり、各成分の限
定理由は、次のとおりである。
【００２０】ＳｉＯ2は、ガラスのネットワークフォー
マーとなる成分であり、５０．０％より少ないと、ガラ
スの耐薬品性、特に耐酸性が低下すると共に、歪点が低
くなり、熱収縮しやすくなるため好ましくない。一方、
７１．８％より多いと、高温粘度が大きくなり、溶融性
が悪くなるため好ましくない。
マーとなる成分であり、５０．０％より少ないと、ガラ
スの耐薬品性、特に耐酸性が低下すると共に、歪点が低
くなり、熱収縮しやすくなるため好ましくない。一方、
７１．８％より多いと、高温粘度が大きくなり、溶融性
が悪くなるため好ましくない。
【００２１】Ａｌ2Ｏ3は、ガラスの密度の低下とヤング
率の向上により、比ヤング率を上昇させ、且つ、歪点を
高くする成分であり、１０．０％より少ないと、比ヤン
グ率を２９ＧＰａ／ｇ・ｃｍ-3以上にすることが困難と
なり、また、歪点が低くなるため好ましくない。一方、
２５．０％より多いと、耐酸性と溶融性が悪くなるため
好ましくない。
率の向上により、比ヤング率を上昇させ、且つ、歪点を
高くする成分であり、１０．０％より少ないと、比ヤン
グ率を２９ＧＰａ／ｇ・ｃｍ-3以上にすることが困難と
なり、また、歪点が低くなるため好ましくない。一方、
２５．０％より多いと、耐酸性と溶融性が悪くなるため
好ましくない。
【００２２】Ｂ2Ｏ3は、融剤として作用し、ガラスの粘
性を下げ、溶融性を改善する成分であるが、０．１％よ
り少ないと、このような効果が得られず好ましくない。
一方、５．０％より多いと、ガラスの歪点が低下して６
５０℃以上にすることが困難となると共に、耐塩酸性も
悪化するため好ましくない。
性を下げ、溶融性を改善する成分であるが、０．１％よ
り少ないと、このような効果が得られず好ましくない。
一方、５．０％より多いと、ガラスの歪点が低下して６
５０℃以上にすることが困難となると共に、耐塩酸性も
悪化するため好ましくない。
【００２３】ＭｇＯとＣａＯは、ＲＯの中でも、比較的
密度を上げることなく、ヤング率だけを上昇させ、ま
た、歪点を下げることなく、高温粘性を下げ、ガラスの
溶融性を改善する成分である。但し、ＭｇＯは多量に含
有させるとガラスが失透するが、ＣａＯは多量に含有さ
せても失透しないため、本発明のガラスにおいてはＣａ
Ｏを必須成分として多量に含有させている。
密度を上げることなく、ヤング率だけを上昇させ、ま
た、歪点を下げることなく、高温粘性を下げ、ガラスの
溶融性を改善する成分である。但し、ＭｇＯは多量に含
有させるとガラスが失透するが、ＣａＯは多量に含有さ
せても失透しないため、本発明のガラスにおいてはＣａ
Ｏを必須成分として多量に含有させている。
【００２４】尚、ＭｇＯが１０．０％より多いと、耐酸
性が悪化したり、ガラスが失透するため好ましくない。
性が悪化したり、ガラスが失透するため好ましくない。
【００２５】ＣａＯが１８．１％より少ないと、ヤング
率が低くなり、比ヤング率が低下するため好ましくな
い。一方、２５．０％より多いと、ガラスの歪点が低下
するため好ましくない。
率が低くなり、比ヤング率が低下するため好ましくな
い。一方、２５．０％より多いと、ガラスの歪点が低下
するため好ましくない。
【００２６】ＳｒＯは、ガラスの耐薬品性を向上させる
成分であるが、５％を超えて含有させるとガラスの密度
が上昇し、比ヤング率が小さくなる傾向があるため、好
ましくない。
成分であるが、５％を超えて含有させるとガラスの密度
が上昇し、比ヤング率が小さくなる傾向があるため、好
ましくない。
【００２７】ＢａＯも、ＳｒＯと同様、ガラスの耐薬品
性を向上させる成分であるが、５．０％より多くなる
と、ガラスの密度が上昇し、比ヤング率が小さくなるた
め好ましくない。
性を向上させる成分であるが、５．０％より多くなる
と、ガラスの密度が上昇し、比ヤング率が小さくなるた
め好ましくない。
【００２８】ＺｎＯは、溶融性を改善するための成分で
あるが、５．０％より多いと、歪点が低下するため好ま
しくない。
あるが、５．０％より多いと、歪点が低下するため好ま
しくない。
【００２９】ＺｒＯ2は、ヤング率の増大により、比ヤ
ング率を上昇させると共に、ガラスの耐薬品性、特に耐
酸性を改善する作用を有する成分であるが、５．０％よ
り多いと、溶融性が悪化するため好ましくない。
ング率を上昇させると共に、ガラスの耐薬品性、特に耐
酸性を改善する作用を有する成分であるが、５．０％よ
り多いと、溶融性が悪化するため好ましくない。
【００３０】ＴｉＯ2は、ガラスの耐薬品性を改善する
と共に、高温粘性を低下させ、溶融性を向上させる成分
であるが、多量に含有させると、ガラスに着色を生じ、
透過率が低下するため、５．０％以下に抑えることが好
ましい。
と共に、高温粘性を低下させ、溶融性を向上させる成分
であるが、多量に含有させると、ガラスに着色を生じ、
透過率が低下するため、５．０％以下に抑えることが好
ましい。
【００３１】Ｙ2Ｏ3も、ヤング率の増大により、比ヤン
グ率を上昇させる作用を有する成分であるが、５．０％
より多いと、ガラスの耐薬品性が悪化するため好ましく
ない。
グ率を上昇させる作用を有する成分であるが、５．０％
より多いと、ガラスの耐薬品性が悪化するため好ましく
ない。
【００３２】Ｐ2Ｏ5は、溶融性を改善するための成分で
あるが、５．０％より多いと、ガラスの耐薬品性が悪化
するため好ましくない。
あるが、５．０％より多いと、ガラスの耐薬品性が悪化
するため好ましくない。
【００３３】尚、本発明においては、上記の成分以外に
も、特性を損なわない範囲で他の成分を添加させること
も可能であり、例えば清澄剤として、Ａｓ2Ｏ3、Ｓｂ2
Ｏ3、ＳｎＯ2、Ｆ2、Ｃｌ2、ＳＯ3等を各々３％まで添
加することが可能である。但し、Ａｓ2Ｏ3は、環境上問
題となる成分であるため、できるだけ添加を避けるべき
である。
も、特性を損なわない範囲で他の成分を添加させること
も可能であり、例えば清澄剤として、Ａｓ2Ｏ3、Ｓｂ2
Ｏ3、ＳｎＯ2、Ｆ2、Ｃｌ2、ＳＯ3等を各々３％まで添
加することが可能である。但し、Ａｓ2Ｏ3は、環境上問
題となる成分であるため、できるだけ添加を避けるべき
である。
【００３４】更に、前記した理由から、アルカリ金属酸
化物（Ｎａ2Ｏ、Ｋ2Ｏ、Ｌｉ2Ｏ）の添加も避けるべき
である。また、一般に融剤として使用されるＰｂＯもガ
ラスの耐薬品性を著しく低下させたり、ガラス溶融時に
融液の表面から揮発し、環境を汚染する虞れもあるため
好ましくない。
化物（Ｎａ2Ｏ、Ｋ2Ｏ、Ｌｉ2Ｏ）の添加も避けるべき
である。また、一般に融剤として使用されるＰｂＯもガ
ラスの耐薬品性を著しく低下させたり、ガラス溶融時に
融液の表面から揮発し、環境を汚染する虞れもあるため
好ましくない。
【００３５】
【実施例】以下、本発明を実施例に基づいて詳細に説明
する。
する。
【００３６】表１〜４は、本発明の実施例（試料Ｎｏ．
１〜１９）と比較例（試料Ｎｏ．２０〜２６）を示すも
のである。
１〜１９）と比較例（試料Ｎｏ．２０〜２６）を示すも
のである。
【００３７】
【表１】
【００３８】
【表２】
【００３９】
【表３】
【００４０】
【表４】
【００４１】表中の各試料は、次のようにして作製し
た。
た。
【００４２】まず表の組成となるようにガラス原料を調
合し、白金ポットで１５８０℃で２４時間溶融した後、
スロットダウン法を用いて板状に成形した。次いでこれ
らの板状ガラスの両面を光学研磨することによって、縦
寸法が５５０ｍｍ、横寸法が６６０ｍｍ、厚みが０．７
ｍｍの大型で薄肉のガラス基板を作製した。
合し、白金ポットで１５８０℃で２４時間溶融した後、
スロットダウン法を用いて板状に成形した。次いでこれ
らの板状ガラスの両面を光学研磨することによって、縦
寸法が５５０ｍｍ、横寸法が６６０ｍｍ、厚みが０．７
ｍｍの大型で薄肉のガラス基板を作製した。
【００４３】このようにして作製した各試料について、
各種の特性を評価した。結果を表に示す。
各種の特性を評価した。結果を表に示す。
【００４４】表から明らかなように実施例であるＮｏ．
１〜１９の各試料は、ＴＦＴ型アクティブマトリックス
液晶ディスプレイに使用されるガラス基板に要求される
種々の特性を満足し、しかも、比ヤング率が３０．４Ｇ
Ｐａ／ｇ・ｃｍ-3以上であるため、たわみ量が１８．３
ｍｍ以下と小さかった。
１〜１９の各試料は、ＴＦＴ型アクティブマトリックス
液晶ディスプレイに使用されるガラス基板に要求される
種々の特性を満足し、しかも、比ヤング率が３０．４Ｇ
Ｐａ／ｇ・ｃｍ-3以上であるため、たわみ量が１８．３
ｍｍ以下と小さかった。
【００４５】それに対し、比較例であるＮｏ．２０〜２
４の各試料は、いずれも比ヤング率が２８．３ＧＰａ／
ｇ・ｃｍ-3以下であるため、たわみ量が１９．７ｍｍ以
上と大きかった。Ｎｏ．２０〜２３については、歪点が
６４８℃以下と低くかった。また、Ｎｏ．２０〜２２に
ついては耐酸性も悪かった。Ｎｏ．２４については、１
０2.5ポイズに相当する温度が１７１０℃と高く、溶融
性が悪かった。Ｎｏ．２５及び２６については、比ヤン
グ率が３２．１ＧＰａ／ｇ・ｃｍ-3以上、歪点が６９６
℃以上と高かったが耐酸性が悪かった。
４の各試料は、いずれも比ヤング率が２８．３ＧＰａ／
ｇ・ｃｍ-3以下であるため、たわみ量が１９．７ｍｍ以
上と大きかった。Ｎｏ．２０〜２３については、歪点が
６４８℃以下と低くかった。また、Ｎｏ．２０〜２２に
ついては耐酸性も悪かった。Ｎｏ．２４については、１
０2.5ポイズに相当する温度が１７１０℃と高く、溶融
性が悪かった。Ｎｏ．２５及び２６については、比ヤン
グ率が３２．１ＧＰａ／ｇ・ｃｍ-3以上、歪点が６９６
℃以上と高かったが耐酸性が悪かった。
【００４６】尚、表中のヤング率は、曲げ共振法により
測定し、密度は、周知のアルキメデス法によって測定し
たものである。また、たわみ量は、図１に示すように、
ガラス基板１０の縦方向の両辺付近１０ａ、１０ｂを支
持片１１ａ、１１ｂで支持し、スパン６５０ｍｍで水平
方向に配置した時の最大たわみ量１２を測定したもので
ある。
測定し、密度は、周知のアルキメデス法によって測定し
たものである。また、たわみ量は、図１に示すように、
ガラス基板１０の縦方向の両辺付近１０ａ、１０ｂを支
持片１１ａ、１１ｂで支持し、スパン６５０ｍｍで水平
方向に配置した時の最大たわみ量１２を測定したもので
ある。
【００４７】さらに歪点は、ＡＳＴＭ Ｃ３３６−７１
の方法に基づいて測定し、この値が高いほど、ガラスの
熱収縮は小さくなる。ｌｏｇη ａｔ １０2.5は、高
温粘度である１０2.5ポイズに相当する温度を示すもの
であり、この温度が低いほど、溶融性に優れていること
になる。
の方法に基づいて測定し、この値が高いほど、ガラスの
熱収縮は小さくなる。ｌｏｇη ａｔ １０2.5は、高
温粘度である１０2.5ポイズに相当する温度を示すもの
であり、この温度が低いほど、溶融性に優れていること
になる。
【００４８】また耐ＨＣｌ性は、各試料を８０℃に保持
された１０重量％塩酸水溶液に２４時間浸漬した後、そ
れらの表面状態を目視で観察することによって評価し
た。ガラス基板の表面が変色したものは×、全く変化の
ないものは○で示した。熱膨張係数は、ディラトメータ
ーを用いて、３０〜３８０℃における平均熱膨張係数を
測定したものである。
された１０重量％塩酸水溶液に２４時間浸漬した後、そ
れらの表面状態を目視で観察することによって評価し
た。ガラス基板の表面が変色したものは×、全く変化の
ないものは○で示した。熱膨張係数は、ディラトメータ
ーを用いて、３０〜３８０℃における平均熱膨張係数を
測定したものである。
【００４９】
【発明の効果】以上のように本発明のガラス基板は、実
質的にアルカリ金属酸化物を含有せず、耐薬品性、溶融
性、成形性に優れ、さらに歪点が６５０℃以上であるた
め熱処理時の熱収縮が小さく、しかもＴＦＴ材料の熱膨
張係数に近似した熱膨張係数を有するガラス組成物から
なるため、特にＴＦＴ型アクティブマトリックス液晶デ
ィスプレイに使用されるガラス基板として好適である。
質的にアルカリ金属酸化物を含有せず、耐薬品性、溶融
性、成形性に優れ、さらに歪点が６５０℃以上であるた
め熱処理時の熱収縮が小さく、しかもＴＦＴ材料の熱膨
張係数に近似した熱膨張係数を有するガラス組成物から
なるため、特にＴＦＴ型アクティブマトリックス液晶デ
ィスプレイに使用されるガラス基板として好適である。
【００５０】更にこのガラス基板は、比ヤング率が高
く、たわみ量が小さいため、大型で薄肉であっても、製
造上、梱包作業上の問題が発生せず、しかも良好な画像
面を得ることができる。それゆえ、例えば、縦寸法が５
００ｍｍ以上、横寸法が６００ｍｍ以上、厚みが０．７
ｍｍ以下の大型薄肉基板に有用である。
く、たわみ量が小さいため、大型で薄肉であっても、製
造上、梱包作業上の問題が発生せず、しかも良好な画像
面を得ることができる。それゆえ、例えば、縦寸法が５
００ｍｍ以上、横寸法が６００ｍｍ以上、厚みが０．７
ｍｍ以下の大型薄肉基板に有用である。
【図１】ガラス基板の最大たわみ量の測定方法を示す説
明図である。
明図である。
１０ ガラス基板 １１ａ、１１ｂ 支持片 １２ 最大たわみ量
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０２Ｆ 1/1333 ５００ Ｇ０２Ｆ 1/1333 ５００ Ｇ０９Ｆ 9/30 ３１０ Ｇ０９Ｆ 9/30 ３１０ Ｆターム(参考） 2H088 HA01 HA08 MA20 2H090 JB02 JD13 JD15 JD18 LA04 4G062 AA01 BB01 CC04 DA06 DB04 DC02 DC03 DD01 DD02 DD03 DE01 DE02 DE03 DF01 EA01 EB01 EC01 ED01 ED02 ED03 EE04 EF01 EF02 EF03 EG01 EG02 EG03 FA01 FB01 FB02 FB03 FC01 FC02 FC03 FD01 FE01 FF01 FG01 FH01 FJ01 FJ02 FJ03 FK01 FL01 GA01 GA10 GB01 GC01 GD01 GE01 HH01 HH03 HH05 HH07 HH09 HH11 HH13 HH15 HH17 HH20 JJ01 JJ03 JJ05 JJ07 JJ10 KK01 KK03 KK05 KK07 KK10 MM12 MM27 NN33 5C094 AA03 AA14 AA31 AA33 AA36 AA43 BA03 EB02 FB02 FB15 JA01 JA20
Claims (1)
- 【請求項１】 重量百分率で、ＳｉＯ2 ５０．０〜７
１．８％、Ａｌ2Ｏ3１０．０〜２５．０％、Ｂ2Ｏ3
０．１〜５．０％、ＭｇＯ ０〜１０．０％、ＣａＯ
１８．１〜２５．０％、ＳｒＯ ０〜５．０％、ＢａＯ
０〜５．０％、ＺｎＯ ０〜５．０％、ＺｒＯ2 ０
〜５．０％、ＴｉＯ2 ０〜５．０％、Ｙ 2Ｏ3 ０〜
５．０％、Ｐ2Ｏ5 ０〜５％の組成を有し、実質的にア
ルカリ金属酸化物を含有せず、比ヤング率（ヤング率／
密度）が２９．０ＧＰａ／ｇ・ｃｍ-3以上であることを
特徴とするディスプレイ用ガラス基板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30418399A JP2001122637A (ja) | 1999-10-26 | 1999-10-26 | ディスプレイ用ガラス基板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30418399A JP2001122637A (ja) | 1999-10-26 | 1999-10-26 | ディスプレイ用ガラス基板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001122637A true JP2001122637A (ja) | 2001-05-08 |
Family
ID=17930041
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30418399A Pending JP2001122637A (ja) | 1999-10-26 | 1999-10-26 | ディスプレイ用ガラス基板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001122637A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004002062A (ja) * | 2002-05-29 | 2004-01-08 | Nippon Electric Glass Co Ltd | フラットパネルディスプレイ装置用ガラス基板 |
| EP1785402A1 (en) * | 2005-11-11 | 2007-05-16 | Asahi Fiber Glass Company, Limited | Glass filler for polycarbonate resin, and polycarbonate resin composition |
| FR2982257A1 (fr) * | 2011-11-09 | 2013-05-10 | Saint Gobain | Feuille de verre |
| US8841377B2 (en) * | 2004-05-13 | 2014-09-23 | Asahi Fiber Glass Company, Limited | Glass fiber for reinforcing polycarbonate resin and polycarbonate resin formed article |
| WO2016159345A1 (ja) * | 2015-04-03 | 2016-10-06 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス |
| JP2017200874A (ja) * | 2016-05-04 | 2017-11-09 | ショット アクチエンゲゼルシャフトＳｃｈｏｔｔ ＡＧ | 耐化学薬品性を有する医薬品包装材 |
| CN110395904A (zh) * | 2018-04-25 | 2019-11-01 | 成都光明光电股份有限公司 | 玻璃组合物 |
| CN110818251A (zh) * | 2019-11-19 | 2020-02-21 | 蚌埠中光电科技有限公司 | 一种玻璃组合物及玻璃的制备方法 |
| CN112851113A (zh) * | 2019-11-27 | 2021-05-28 | 成都光明光电股份有限公司 | 玻璃组合物 |
| CN114222722A (zh) * | 2019-07-29 | 2022-03-22 | Ａｇｃ株式会社 | 支承玻璃基板 |
| WO2022168964A1 (ja) * | 2021-02-05 | 2022-08-11 | 日本板硝子株式会社 | ガラス組成物ならびにガラスフィラーおよびその製造方法 |
-
1999
- 1999-10-26 JP JP30418399A patent/JP2001122637A/ja active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| FR2982257A1 (fr) * | 2011-11-09 | 2013-05-10 | Saint Gobain | Feuille de verre |
| WO2013068698A1 (fr) * | 2011-11-09 | 2013-05-16 | Saint-Gobain Glass France | Feuille de verre |
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| JPWO2016159345A1 (ja) * | 2015-04-03 | 2018-02-01 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス |
| WO2016159345A1 (ja) * | 2015-04-03 | 2016-10-06 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス |
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| CN114222722A (zh) * | 2019-07-29 | 2022-03-22 | Ａｇｃ株式会社 | 支承玻璃基板 |
| CN114222722B (zh) * | 2019-07-29 | 2024-02-23 | Ａｇｃ株式会社 | 支承玻璃基板 |
| CN110818251A (zh) * | 2019-11-19 | 2020-02-21 | 蚌埠中光电科技有限公司 | 一种玻璃组合物及玻璃的制备方法 |
| CN112851113A (zh) * | 2019-11-27 | 2021-05-28 | 成都光明光电股份有限公司 | 玻璃组合物 |
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| WO2022168964A1 (ja) * | 2021-02-05 | 2022-08-11 | 日本板硝子株式会社 | ガラス組成物ならびにガラスフィラーおよびその製造方法 |
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