JP2001118512A - プラズマディスプレイパネルおよび隔壁形成方法 - Google Patents
プラズマディスプレイパネルおよび隔壁形成方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】蛍光面を発光させた場合の輝度を高めることが
可能な隔壁形状を有し、しかも、その隔壁を形成する上
での制約が小さく、PDPの放電空間を排気する場合の
排気効率が良くなるプラズマディスプレイパネルおよび
隔壁形成方法の提供。 【解決手段】基板の表面に形成された隔壁の下層部分
と、その下層部分の上に形成された隔壁の上層部分とか
ら成る上下2層構造の隔壁を有し、前記下層部分はアド
レス電極と平行方向の縦隔壁の下層部分とバス電極と平
行方向の横隔壁の全体とから成り、前記上層部分はアド
レス電極と平行方向の縦隔壁の上層部分から成る、よう
にしたプラズマディスプレイパネル。およびその隔壁製
造方法。
可能な隔壁形状を有し、しかも、その隔壁を形成する上
での制約が小さく、PDPの放電空間を排気する場合の
排気効率が良くなるプラズマディスプレイパネルおよび
隔壁形成方法の提供。 【解決手段】基板の表面に形成された隔壁の下層部分
と、その下層部分の上に形成された隔壁の上層部分とか
ら成る上下2層構造の隔壁を有し、前記下層部分はアド
レス電極と平行方向の縦隔壁の下層部分とバス電極と平
行方向の横隔壁の全体とから成り、前記上層部分はアド
レス電極と平行方向の縦隔壁の上層部分から成る、よう
にしたプラズマディスプレイパネル。およびその隔壁製
造方法。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はプラズマディスプレ
イパネルの技術分野に属する。特に、プラズマディスプ
レイパネルの背面板に形成される隔壁の形成方法に関す
る。
イパネルの技術分野に属する。特に、プラズマディスプ
レイパネルの背面板に形成される隔壁の形成方法に関す
る。
【0002】
【従来の技術】カラー表示を行うプラズマディスプレイ
パネル(以降、略称として「PDP」を併用する)では
背面板に平行線状に複数配列で形成される隔壁が形成さ
れる。隔壁と隔壁の間のアドレス電極上には蛍光面が設
けられる。各隔壁と隔壁の間の蛍光面にはRGB各色で
発光する蛍光体材料の1つが充填され、背面板はそのR
GB各色のストライプ状の蛍光面が3つから成る組を多
数配列した構造となる。
パネル(以降、略称として「PDP」を併用する)では
背面板に平行線状に複数配列で形成される隔壁が形成さ
れる。隔壁と隔壁の間のアドレス電極上には蛍光面が設
けられる。各隔壁と隔壁の間の蛍光面にはRGB各色で
発光する蛍光体材料の1つが充填され、背面板はそのR
GB各色のストライプ状の蛍光面が3つから成る組を多
数配列した構造となる。
【0003】図7はAC型PDPの一構成例を示すもの
で、前面板と背面板を離した状態で示したもので、2枚
のガラス基板801、802が互いに平行に且つ対向し
て配設されており、両者は背面板となるガラス基板80
2上に互いに平行に設けられた隔壁803により一定の
間隔に保持されている。前面板となるガラス基板801
の背面板側には、放電維持電極として、透明電極804
とバス電極としての金属電極805とで構成される複合
電極が互いに平行に形成され、これを覆って誘電体層8
06が形成されており、さらにその上に保護層(MgO
層)が形成されている。また、背面板となるガラス基板
802の前面板側には前記複合電極と直交するように隔
壁803の間に位置してアドレス電極808が互いに平
行に形成されており、さらに隔壁803の壁面とセル底
面を覆うようにして蛍光面809が設けられている。ま
た、図8に示すように、背面板となるガラス基板802
に誘電体からなる下地層810を形成した後、アドレス
電極808を設け、更にその上に誘電体層806’を積
層した後、隔壁803、蛍光面809を設けた構造とし
ている。この前面板と背面板の間にはネオンを主体とし
キセノンを含む希ガスが封入される。
で、前面板と背面板を離した状態で示したもので、2枚
のガラス基板801、802が互いに平行に且つ対向し
て配設されており、両者は背面板となるガラス基板80
2上に互いに平行に設けられた隔壁803により一定の
間隔に保持されている。前面板となるガラス基板801
の背面板側には、放電維持電極として、透明電極804
とバス電極としての金属電極805とで構成される複合
電極が互いに平行に形成され、これを覆って誘電体層8
06が形成されており、さらにその上に保護層(MgO
層)が形成されている。また、背面板となるガラス基板
802の前面板側には前記複合電極と直交するように隔
壁803の間に位置してアドレス電極808が互いに平
行に形成されており、さらに隔壁803の壁面とセル底
面を覆うようにして蛍光面809が設けられている。ま
た、図8に示すように、背面板となるガラス基板802
に誘電体からなる下地層810を形成した後、アドレス
電極808を設け、更にその上に誘電体層806’を積
層した後、隔壁803、蛍光面809を設けた構造とし
ている。この前面板と背面板の間にはネオンを主体とし
キセノンを含む希ガスが封入される。
【0004】このAC型PDPは面放電型であって、ア
ドレス電極により書き込みを行った後、前面板上の複合
電極に交流電圧を印加し空間に生成した電界により放電
させる構造である。この場合、交流をかけているために
電界の向きは周波数に対応して変化する。なお、DC型
PDPにあっては、電極は誘電体層で被覆されていない
構造を有する点で相違するが、その放電現象は同一であ
る。そして、この放電により生じる紫外線により蛍光面
809を発光させ、前面板を透過する光を観察者が視認
できるものである。
ドレス電極により書き込みを行った後、前面板上の複合
電極に交流電圧を印加し空間に生成した電界により放電
させる構造である。この場合、交流をかけているために
電界の向きは周波数に対応して変化する。なお、DC型
PDPにあっては、電極は誘電体層で被覆されていない
構造を有する点で相違するが、その放電現象は同一であ
る。そして、この放電により生じる紫外線により蛍光面
809を発光させ、前面板を透過する光を観察者が視認
できるものである。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】このようなPDPにお
いては蛍光面を発光させた場合の輝度を高めることが重
要な課題の一つとなっている。輝度を高めるために各種
の方法が提案されているが決定的な解決策はなく、それ
らの方法の積み重ねにより少しづつ輝度が高められてい
る。蛍光面の発光面積を広くすることは、一般にその蛍
光面に紫外線が効率よく作用する等により発光効率が改
善されることとなり、輝度が高くなることにつながる。
ところが図7,図8に示すように、蛍光面809は隔壁
803の壁面とセル底面を覆うようにして設けられてお
り、蛍光面809は隔壁803の壁面とセル底面の形状
に制約される。すなわち蛍光面809の表面は隔壁80
3の壁面とセル底面の形状によって決まる単純な形状と
なり、それによって発光面積が制約されている。
いては蛍光面を発光させた場合の輝度を高めることが重
要な課題の一つとなっている。輝度を高めるために各種
の方法が提案されているが決定的な解決策はなく、それ
らの方法の積み重ねにより少しづつ輝度が高められてい
る。蛍光面の発光面積を広くすることは、一般にその蛍
光面に紫外線が効率よく作用する等により発光効率が改
善されることとなり、輝度が高くなることにつながる。
ところが図7,図8に示すように、蛍光面809は隔壁
803の壁面とセル底面を覆うようにして設けられてお
り、蛍光面809は隔壁803の壁面とセル底面の形状
に制約される。すなわち蛍光面809の表面は隔壁80
3の壁面とセル底面の形状によって決まる単純な形状と
なり、それによって発光面積が制約されている。
【0006】そこで、蛍光面を発光させた場合の輝度を
高めることが可能なプラズマディスプレイパネルの隔壁
形状に関する発明がなされている。たとえば、特開平1
0−321148には、隔壁とともに補助隔壁を設けた
プラズマディスプレイパネルが記載されている。しか
し、隔壁形成方法については限定的な記載にとどまり、
必ずしも良い選択肢が与えられていない。
高めることが可能なプラズマディスプレイパネルの隔壁
形状に関する発明がなされている。たとえば、特開平1
0−321148には、隔壁とともに補助隔壁を設けた
プラズマディスプレイパネルが記載されている。しか
し、隔壁形成方法については限定的な記載にとどまり、
必ずしも良い選択肢が与えられていない。
【0007】本発明は上記の課題を解決するためになさ
れたものであり、その目的は、蛍光面を発光させた場合
の輝度を高めることが可能な隔壁形状を有し、しかも、
その隔壁を形成する上での制約が小さく、PDPの放電
空間を排気する場合の排気効率が良くなるプラズマディ
スプレイパネルおよび隔壁形成方法を提供することにあ
る。
れたものであり、その目的は、蛍光面を発光させた場合
の輝度を高めることが可能な隔壁形状を有し、しかも、
その隔壁を形成する上での制約が小さく、PDPの放電
空間を排気する場合の排気効率が良くなるプラズマディ
スプレイパネルおよび隔壁形成方法を提供することにあ
る。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記の目的は下記の本発
明によって達成される。すなわち、本発明の請求項1に
係るプラズマディスプレイパネルは、基板の表面に形成
された隔壁の下層部分と、その下層部分の上に形成され
た隔壁の上層部分とから成る上下2層構造の隔壁を有
し、前記下層部分はアドレス電極と平行方向の縦隔壁の
下層部分とバス電極と平行方向の横隔壁の全体とから成
り、前記上層部分はアドレス電極と平行方向の縦隔壁の
上層部分から成る、ようにしたものである。本発明によ
れば、縦隔壁と横隔壁とから成る隔壁形状を有するから
蛍光面を発光させた場合の輝度を高めることが可能であ
る。しかも、下層部分と上層部分に分けて隔壁を形成す
るからその隔壁を形成する上での制約が小さい。また、
縦隔壁に比べ横隔壁の高さを低くしたからPDPの放電
空間を排気する場合の排気効率が良くなる。
明によって達成される。すなわち、本発明の請求項1に
係るプラズマディスプレイパネルは、基板の表面に形成
された隔壁の下層部分と、その下層部分の上に形成され
た隔壁の上層部分とから成る上下2層構造の隔壁を有
し、前記下層部分はアドレス電極と平行方向の縦隔壁の
下層部分とバス電極と平行方向の横隔壁の全体とから成
り、前記上層部分はアドレス電極と平行方向の縦隔壁の
上層部分から成る、ようにしたものである。本発明によ
れば、縦隔壁と横隔壁とから成る隔壁形状を有するから
蛍光面を発光させた場合の輝度を高めることが可能であ
る。しかも、下層部分と上層部分に分けて隔壁を形成す
るからその隔壁を形成する上での制約が小さい。また、
縦隔壁に比べ横隔壁の高さを低くしたからPDPの放電
空間を排気する場合の排気効率が良くなる。
【0009】また本発明の請求項2に係るプラズマディ
スプレイパネルは、請求項1に係るプラズマディスプレ
イパネルにおいて、前記縦隔壁の下層部分の幅は、前記
縦隔壁の上層部分の幅より広幅であるようにしたもので
ある。本発明によれば、隔壁の下層部分の上に隔壁の上
層部分を形成する場合の位置合わせにおいて許容範囲が
広くなるから、隔壁形成を容易に行うことができ歩留ま
りが向上する。
スプレイパネルは、請求項1に係るプラズマディスプレ
イパネルにおいて、前記縦隔壁の下層部分の幅は、前記
縦隔壁の上層部分の幅より広幅であるようにしたもので
ある。本発明によれば、隔壁の下層部分の上に隔壁の上
層部分を形成する場合の位置合わせにおいて許容範囲が
広くなるから、隔壁形成を容易に行うことができ歩留ま
りが向上する。
【0010】また本発明の請求項3に係る隔壁形成方法
は、基板に隔壁材料を全面塗工し第1隔壁材料層を形成
する第1塗工過程と、横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分
とを形成するためのマトリックスパターンを有する第1
レジストマスクを前記第1隔壁材料層の表面に形成する
第1レジストマスク形成過程と、前記第1レジストマス
クを介して前記基板に形成した前記第1隔壁材料層に対
してサンドブラスト処理を行う第1サンドブラスト処理
過程と、前記第1隔壁材料層の表面に形成した第1レジ
ストマスクを剥離する第1剥離過程と、前記サンドブラ
スト処理を行った第1隔壁材料層を焼成し横隔壁の全体
と縦隔壁の下層部分とを前記基板に形成する第1焼成過
程と、前記基板に隔壁材料を全面塗工し第2隔壁材料層
を形成する第2塗工過程と、縦隔壁の上層部分を形成す
るためのストライプパターンを有する第2レジストマス
クを前記第1隔壁材料層の表面に形成する第2レジスト
マスク形成過程と、前記第2レジストマスクを介して前
記基板に形成した前記第2壁材料層に対してサンドブラ
スト処理を行う第2サンドブラスト処理過程と、前記第
2壁材料層の表面に形成した第2レジストマスクを剥離
する第2離過程と、前記サンドブラスト処理を行った第
2壁材料層を焼成し縦隔壁の上層部分を前記縦隔壁の下
層部分の上に形成する第2焼成過程と、を有するように
したものである。本発明によれば、蛍光面を発光させた
場合の輝度を高めることが可能な隔壁形状を有し、しか
も、その隔壁を形成する上での制約が小さく、PDPの
放電空間を排気する場合の排気効率が良くなるプラズマ
ディスプレイパネルの隔壁形成方法が提供される。
は、基板に隔壁材料を全面塗工し第1隔壁材料層を形成
する第1塗工過程と、横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分
とを形成するためのマトリックスパターンを有する第1
レジストマスクを前記第1隔壁材料層の表面に形成する
第1レジストマスク形成過程と、前記第1レジストマス
クを介して前記基板に形成した前記第1隔壁材料層に対
してサンドブラスト処理を行う第1サンドブラスト処理
過程と、前記第1隔壁材料層の表面に形成した第1レジ
ストマスクを剥離する第1剥離過程と、前記サンドブラ
スト処理を行った第1隔壁材料層を焼成し横隔壁の全体
と縦隔壁の下層部分とを前記基板に形成する第1焼成過
程と、前記基板に隔壁材料を全面塗工し第2隔壁材料層
を形成する第2塗工過程と、縦隔壁の上層部分を形成す
るためのストライプパターンを有する第2レジストマス
クを前記第1隔壁材料層の表面に形成する第2レジスト
マスク形成過程と、前記第2レジストマスクを介して前
記基板に形成した前記第2壁材料層に対してサンドブラ
スト処理を行う第2サンドブラスト処理過程と、前記第
2壁材料層の表面に形成した第2レジストマスクを剥離
する第2離過程と、前記サンドブラスト処理を行った第
2壁材料層を焼成し縦隔壁の上層部分を前記縦隔壁の下
層部分の上に形成する第2焼成過程と、を有するように
したものである。本発明によれば、蛍光面を発光させた
場合の輝度を高めることが可能な隔壁形状を有し、しか
も、その隔壁を形成する上での制約が小さく、PDPの
放電空間を排気する場合の排気効率が良くなるプラズマ
ディスプレイパネルの隔壁形成方法が提供される。
【0011】また本発明の請求項4に係る隔壁形成方法
は、基板に隔壁材料を全面塗工し第1隔壁材料層を形成
する第1塗工過程と、横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分
とを形成するためのマトリックスパターンを有する第1
レジストマスクを前記第1隔壁材料層の表面に形成する
第1レジストマスク形成過程と、前記第1レジストマス
クを介して前記基板に形成した前記第1隔壁材料層に対
してサンドブラスト処理を行いサンドブラスト処理済み
の横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分とを形成する第1サ
ンドブラスト処理過程と、前記第1隔壁材料層の表面に
形成した第1レジストマスクを剥離する第1剥離過程
と、縦隔壁の上層部分を形成するためのストライプパタ
ーンを有するスクリーン印刷版を用いて前記縦隔壁の下
層部分の上に隔壁材料を刷り重ね縦隔壁の上層部分を形
成するスクリーン印刷過程と、前記基板に形成した横隔
壁の全体と縦隔壁の下層部分と縦隔壁の上層部分とを焼
成し焼成済みの横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分と縦隔
壁の上層部分とを形成する焼成過程と、を有するように
したものである。本発明によれば、蛍光面を発光させた
場合の輝度を高めることが可能な隔壁形状を有し、しか
も、その隔壁を形成する上での制約が小さく、PDPの
放電空間を排気する場合の排気効率が良くなるプラズマ
ディスプレイパネルの隔壁形成方法が提供される。
は、基板に隔壁材料を全面塗工し第1隔壁材料層を形成
する第1塗工過程と、横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分
とを形成するためのマトリックスパターンを有する第1
レジストマスクを前記第1隔壁材料層の表面に形成する
第1レジストマスク形成過程と、前記第1レジストマス
クを介して前記基板に形成した前記第1隔壁材料層に対
してサンドブラスト処理を行いサンドブラスト処理済み
の横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分とを形成する第1サ
ンドブラスト処理過程と、前記第1隔壁材料層の表面に
形成した第1レジストマスクを剥離する第1剥離過程
と、縦隔壁の上層部分を形成するためのストライプパタ
ーンを有するスクリーン印刷版を用いて前記縦隔壁の下
層部分の上に隔壁材料を刷り重ね縦隔壁の上層部分を形
成するスクリーン印刷過程と、前記基板に形成した横隔
壁の全体と縦隔壁の下層部分と縦隔壁の上層部分とを焼
成し焼成済みの横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分と縦隔
壁の上層部分とを形成する焼成過程と、を有するように
したものである。本発明によれば、蛍光面を発光させた
場合の輝度を高めることが可能な隔壁形状を有し、しか
も、その隔壁を形成する上での制約が小さく、PDPの
放電空間を排気する場合の排気効率が良くなるプラズマ
ディスプレイパネルの隔壁形成方法が提供される。
【0012】また本発明の請求項5に係る隔壁形成方法
は、請求項4に係る隔壁形成方法において、前記第1剥
離過程の後、かつ前記スクリーン印刷工程の前におい
て、前記サンドブラスト処理を行った第1隔壁材料層を
焼成し、焼成済みの横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分と
を前記基板に形成する焼成過程を有するようにしたもの
である。本発明によれば、横隔壁の全体と縦隔壁の下層
部分の形状が確定するから寸法精度が得られるととも
に、後工程における加工を容易にする。
は、請求項4に係る隔壁形成方法において、前記第1剥
離過程の後、かつ前記スクリーン印刷工程の前におい
て、前記サンドブラスト処理を行った第1隔壁材料層を
焼成し、焼成済みの横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分と
を前記基板に形成する焼成過程を有するようにしたもの
である。本発明によれば、横隔壁の全体と縦隔壁の下層
部分の形状が確定するから寸法精度が得られるととも
に、後工程における加工を容易にする。
【0013】また本発明の請求項6に係る隔壁形成方法
は、横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分とを形成するため
のマトリックスパターンを有するスクリーン印刷版を用
いて隔壁材料を刷り重ね、基板に横隔壁の全体と縦隔壁
の下層部分とを形成する第1スクリーン印刷過程と、縦
隔壁の上層部分を形成するためのストライプパターンを
有するスクリーン印刷版を用いて前記縦隔壁の下層部分
の上に隔壁材料を刷り重ね縦隔壁の上層部分を形成する
第2スクリーン印刷過程と、前記基板に形成した横隔壁
の全体と縦隔壁の下層部分と縦隔壁の上層部分とを焼成
し、焼成済みの横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分と縦隔
壁の上層部分とを形成する焼成過程と、を有するように
したものである。本発明によれば、蛍光面を発光させた
場合の輝度を高めることが可能な隔壁形状を有し、しか
も、その隔壁を形成する上での制約が小さく、PDPの
放電空間を排気する場合の排気効率が良くなるプラズマ
ディスプレイパネルの隔壁形成方法が提供される。
は、横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分とを形成するため
のマトリックスパターンを有するスクリーン印刷版を用
いて隔壁材料を刷り重ね、基板に横隔壁の全体と縦隔壁
の下層部分とを形成する第1スクリーン印刷過程と、縦
隔壁の上層部分を形成するためのストライプパターンを
有するスクリーン印刷版を用いて前記縦隔壁の下層部分
の上に隔壁材料を刷り重ね縦隔壁の上層部分を形成する
第2スクリーン印刷過程と、前記基板に形成した横隔壁
の全体と縦隔壁の下層部分と縦隔壁の上層部分とを焼成
し、焼成済みの横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分と縦隔
壁の上層部分とを形成する焼成過程と、を有するように
したものである。本発明によれば、蛍光面を発光させた
場合の輝度を高めることが可能な隔壁形状を有し、しか
も、その隔壁を形成する上での制約が小さく、PDPの
放電空間を排気する場合の排気効率が良くなるプラズマ
ディスプレイパネルの隔壁形成方法が提供される。
【0014】また本発明の請求項7に係る隔壁形成方法
は、請求項6記載の隔壁形成方法において、前記第1ス
クリーン印刷過程の後、かつ前記第2スクリーン印刷過
程の前において、前記基板に形成した横隔壁の全体と縦
隔壁の下層部分とを焼成し、焼成済みの横隔壁の全体と
縦隔壁の下層部分とを前記基板に形成する焼成過程を有
するようにしたものである。本発明によれば、横隔壁の
全体と縦隔壁の下層部分の形状が確定するから寸法精度
が得られるとともに、後工程における加工を容易にす
る。
は、請求項6記載の隔壁形成方法において、前記第1ス
クリーン印刷過程の後、かつ前記第2スクリーン印刷過
程の前において、前記基板に形成した横隔壁の全体と縦
隔壁の下層部分とを焼成し、焼成済みの横隔壁の全体と
縦隔壁の下層部分とを前記基板に形成する焼成過程を有
するようにしたものである。本発明によれば、横隔壁の
全体と縦隔壁の下層部分の形状が確定するから寸法精度
が得られるとともに、後工程における加工を容易にす
る。
【0015】
【発明の実施の形態】次に、本発明について実施の形態
により説明する。まず、本発明のプラズマディスプレイ
パネルの隔壁形状について説明する。その隔壁形成方法
については後述することとする。本発明のプラズマディ
スプレイパネルの隔壁形状を図1に示す。図1におい
て、図1(A)は斜視図、図1(B)は上面図、図1
(C)は側面図である。図1において、11a,11
b,11cは縦隔壁の下層部分、12a,12b,12
cは縦隔壁の上層部分、21a,21b,22a,22
bは横隔壁である。背面板に形成する縦隔壁と横隔壁と
は、実際は多数が存在するのであるが一部だけが図1に
示されている。たとえば図1(A)の斜視図においては
その内から3つの縦隔壁の下層部分11a,11b,1
1cと3つの縦隔壁の上層部分12a,12b,12c
と4つの横隔壁21a,21b,22a,22bだけを
代表して示してある。
により説明する。まず、本発明のプラズマディスプレイ
パネルの隔壁形状について説明する。その隔壁形成方法
については後述することとする。本発明のプラズマディ
スプレイパネルの隔壁形状を図1に示す。図1におい
て、図1(A)は斜視図、図1(B)は上面図、図1
(C)は側面図である。図1において、11a,11
b,11cは縦隔壁の下層部分、12a,12b,12
cは縦隔壁の上層部分、21a,21b,22a,22
bは横隔壁である。背面板に形成する縦隔壁と横隔壁と
は、実際は多数が存在するのであるが一部だけが図1に
示されている。たとえば図1(A)の斜視図においては
その内から3つの縦隔壁の下層部分11a,11b,1
1cと3つの縦隔壁の上層部分12a,12b,12c
と4つの横隔壁21a,21b,22a,22bだけを
代表して示してある。
【0016】図1に示すように、本発明のプラズマディ
スプレイパネルにおいて縦隔壁は下層部分11a,11
b,11cと上層部分12a,12b,12cの2層構
造となっている。また縦隔壁の下層部分11a,11
b,11cの幅は、縦隔壁の上層部分12a,12b,
12cの幅より広幅である。したがって、隔壁の下層部
分の上に隔壁の上層部分を形成する場合の位置合わせに
おいて許容範囲が広くなり、隔壁形成を容易に行うこと
ができ歩留まりが向上する。
スプレイパネルにおいて縦隔壁は下層部分11a,11
b,11cと上層部分12a,12b,12cの2層構
造となっている。また縦隔壁の下層部分11a,11
b,11cの幅は、縦隔壁の上層部分12a,12b,
12cの幅より広幅である。したがって、隔壁の下層部
分の上に隔壁の上層部分を形成する場合の位置合わせに
おいて許容範囲が広くなり、隔壁形成を容易に行うこと
ができ歩留まりが向上する。
【0017】縦隔壁の下層部分11a,11b,11c
と縦隔壁の上層部分12a,12b,12cはアドレス
電極と平行方向に背面板に形成される隔壁である。ま
た、横隔壁21a,21b,22a,22bはバス電極
と平行方向に背面板に形成される電極である。図1
(C)の断面図に示すように、縦隔壁の下層部分11
a,11b,11cと縦隔壁の上層部分12a,12
b,12cの断面形状は底辺が大きい矩形または台形と
なっている。図1には示されていないが、横隔壁21
a,21b,22a,22bも縦隔壁の下層部分11
a,11b,11cと縦隔壁の上層部分12a,12
b,12cと同様に断面形状は底辺が大きい矩形または
台形となっている。
と縦隔壁の上層部分12a,12b,12cはアドレス
電極と平行方向に背面板に形成される隔壁である。ま
た、横隔壁21a,21b,22a,22bはバス電極
と平行方向に背面板に形成される電極である。図1
(C)の断面図に示すように、縦隔壁の下層部分11
a,11b,11cと縦隔壁の上層部分12a,12
b,12cの断面形状は底辺が大きい矩形または台形と
なっている。図1には示されていないが、横隔壁21
a,21b,22a,22bも縦隔壁の下層部分11
a,11b,11cと縦隔壁の上層部分12a,12
b,12cと同様に断面形状は底辺が大きい矩形または
台形となっている。
【0018】その形状により、横隔壁21a,21b,
22a,22bの蛍光面が発光して放出される光線の
内、前面板に向かう光線の割合が増加し見掛けの輝度が
向上する。また、横隔壁21a,21b,22a,22
bと背面板との広い結合面積を得ることができ、横隔壁
21a,21b,22a,22bだけでなく縦隔壁の下
層部分11a,11b,11cと縦隔壁の上層部分12
a,12b,12cを含めて全体の強度が得られる。そ
の結果、縦隔壁の下層部分11a,11b,11cと縦
隔壁の上層部分12a,12b,12cや横隔壁21
a,21b,22a,22bの幅を小さくすることがで
き、表示セル部における放電容積を大きくすることがで
き、放電効率を更によくすることができる。また、画素
ピッチを小さくすることができるから、高精細化が可能
である。
22a,22bの蛍光面が発光して放出される光線の
内、前面板に向かう光線の割合が増加し見掛けの輝度が
向上する。また、横隔壁21a,21b,22a,22
bと背面板との広い結合面積を得ることができ、横隔壁
21a,21b,22a,22bだけでなく縦隔壁の下
層部分11a,11b,11cと縦隔壁の上層部分12
a,12b,12cを含めて全体の強度が得られる。そ
の結果、縦隔壁の下層部分11a,11b,11cと縦
隔壁の上層部分12a,12b,12cや横隔壁21
a,21b,22a,22bの幅を小さくすることがで
き、表示セル部における放電容積を大きくすることがで
き、放電効率を更によくすることができる。また、画素
ピッチを小さくすることができるから、高精細化が可能
である。
【0019】また、図1(A)の斜視図および図1
(C)の断面図に示すように、横隔壁21a,21b,
22a,22bの高さは縦隔壁の下層部分11a,11
b,11cと同一の高さとなっている。たとえば、横隔
壁21a,21b,22a,22bの高さは縦隔壁の下
層部分11a,11b,11cと縦隔壁の上層部分12
a,12b,12cとを合わせた全体の高さの1/2〜
5/6の高さであるようにする。この横隔壁21a,2
1b,22a,22bの高さで前述と同様の作用を得る
ことができる。すなわち、蛍光面の発行面積が大きくな
り紫外線が効率よく蛍光面に作用するため輝度が高ま
る。また、横隔壁の21a,21b,22a,22b高
さを縦隔壁の下層部分11a,11b,11cと同一の
高さとしたことにより、製造工程において蛍光面の形成
が容易となる。
(C)の断面図に示すように、横隔壁21a,21b,
22a,22bの高さは縦隔壁の下層部分11a,11
b,11cと同一の高さとなっている。たとえば、横隔
壁21a,21b,22a,22bの高さは縦隔壁の下
層部分11a,11b,11cと縦隔壁の上層部分12
a,12b,12cとを合わせた全体の高さの1/2〜
5/6の高さであるようにする。この横隔壁21a,2
1b,22a,22bの高さで前述と同様の作用を得る
ことができる。すなわち、蛍光面の発行面積が大きくな
り紫外線が効率よく蛍光面に作用するため輝度が高ま
る。また、横隔壁の21a,21b,22a,22b高
さを縦隔壁の下層部分11a,11b,11cと同一の
高さとしたことにより、製造工程において蛍光面の形成
が容易となる。
【0020】また、横隔壁21a,21b,22a,2
2bによりアドレス電極方向に隣接する表示セル部に対
して放電や、放電により発生した紫外線が漏洩すること
を防止することができる。すなわち、縦隔壁1a,1
b,1cと横隔壁21a,21b,22a,22bと
は、アドレス電極とバス電極によって特定される放電空
間を他の放電空間から分離する。したがって、プラズマ
ディスプレイパネルの画質が向上する。
2bによりアドレス電極方向に隣接する表示セル部に対
して放電や、放電により発生した紫外線が漏洩すること
を防止することができる。すなわち、縦隔壁1a,1
b,1cと横隔壁21a,21b,22a,22bと
は、アドレス電極とバス電極によって特定される放電空
間を他の放電空間から分離する。したがって、プラズマ
ディスプレイパネルの画質が向上する。
【0021】次に、本発明におけるプラズマディスプレ
イパネルの隔壁形成方法(その1)について説明する。
本発明におけるプラズマディスプレイパネルの隔壁形成
方法(第1の隔壁形成方法:請求項3)を説明図として
図2に示す。図2において、左側の図はアドレス電極と
平行方向の断面図であり、右側の図はバス電極と平行方
向の断面図である。図2に示すように、まず基板101
に隔壁材料を全面塗工し第1隔壁材料層102を形成す
る(第1塗工過程S11)。次に、横隔壁の全体と縦隔
壁の下層部分とを形成するためのマトリックスパターン
を有する第1レジストマスク103を第1隔壁材料層の
表面に形成する(第1レジストマスク形成過程S1
2)。
イパネルの隔壁形成方法(その1)について説明する。
本発明におけるプラズマディスプレイパネルの隔壁形成
方法(第1の隔壁形成方法:請求項3)を説明図として
図2に示す。図2において、左側の図はアドレス電極と
平行方向の断面図であり、右側の図はバス電極と平行方
向の断面図である。図2に示すように、まず基板101
に隔壁材料を全面塗工し第1隔壁材料層102を形成す
る(第1塗工過程S11)。次に、横隔壁の全体と縦隔
壁の下層部分とを形成するためのマトリックスパターン
を有する第1レジストマスク103を第1隔壁材料層の
表面に形成する(第1レジストマスク形成過程S1
2)。
【0022】次に、第1レジストマスク103を介して
基板101に形成した第1隔壁材料層102に対してサ
ンドブラスト処理を行う(第1サンドブラスト処理過程
S13)。次に、第1隔壁材料層102の表面に形成し
た第1レジストマスク103を剥離する(第1剥離過程
S14)。次に、サンドブラスト処理を行った第1隔壁
材料層102を焼成し横隔壁の全体122と縦隔壁の下
層部分111とを基板に形成する(第1焼成過程S1
5)。
基板101に形成した第1隔壁材料層102に対してサ
ンドブラスト処理を行う(第1サンドブラスト処理過程
S13)。次に、第1隔壁材料層102の表面に形成し
た第1レジストマスク103を剥離する(第1剥離過程
S14)。次に、サンドブラスト処理を行った第1隔壁
材料層102を焼成し横隔壁の全体122と縦隔壁の下
層部分111とを基板に形成する(第1焼成過程S1
5)。
【0023】次に、横隔壁の全体122と縦隔壁の下層
部分111とを形成した基板101に隔壁材料を全面塗
工し第2隔壁材料層104を形成する(第2塗工過程S
16)。次に、縦隔壁の上層部分を形成するためのスト
ライプパターンを有する第2レジストマスク105を第
2隔壁材料層104の表面に形成する(第2レジストマ
スク形成過程S17)。次に、第2レジストマスク10
5を介して第2壁材料層105に対してサンドブラスト
処理を行う(第2サンドブラスト処理過程S18)。次
に、第2壁材料層104の表面に形成した第2レジスト
マスク105を剥離する(第2離過程S19)。次に、
サンドブラスト処理を行った第2壁材料層104を焼成
し縦隔壁の上層部分112を縦隔壁の下層部分111の
上に形成する(第2焼成過程S20)。
部分111とを形成した基板101に隔壁材料を全面塗
工し第2隔壁材料層104を形成する(第2塗工過程S
16)。次に、縦隔壁の上層部分を形成するためのスト
ライプパターンを有する第2レジストマスク105を第
2隔壁材料層104の表面に形成する(第2レジストマ
スク形成過程S17)。次に、第2レジストマスク10
5を介して第2壁材料層105に対してサンドブラスト
処理を行う(第2サンドブラスト処理過程S18)。次
に、第2壁材料層104の表面に形成した第2レジスト
マスク105を剥離する(第2離過程S19)。次に、
サンドブラスト処理を行った第2壁材料層104を焼成
し縦隔壁の上層部分112を縦隔壁の下層部分111の
上に形成する(第2焼成過程S20)。
【0024】なお、第1レジストマスク形成過程S12
と第1レジストマスク形成過程S17は、隔壁材料層
(第1隔壁材料層102と第2隔壁材料層104)に対
して被膜形成性を有する印刷ペーストを用いて印刷によ
り隔壁材料層の表面に形成する過程とすることができ
る。また、第1レジストマスク形成過程S12と第1レ
ジストマスク形成過程S17は、隔壁材料層の表面にド
ライフィルムレジスト(DFR;dry film resist)を
貼り付けるDFR貼付工程と、フォトマスクを介してド
ライフィルムレジストを露光する露光過程と、現像を行
いドライフィルムレジストにおいて隔壁となる部分を残
す現像過程とから成る過程とすることができる。
と第1レジストマスク形成過程S17は、隔壁材料層
(第1隔壁材料層102と第2隔壁材料層104)に対
して被膜形成性を有する印刷ペーストを用いて印刷によ
り隔壁材料層の表面に形成する過程とすることができ
る。また、第1レジストマスク形成過程S12と第1レ
ジストマスク形成過程S17は、隔壁材料層の表面にド
ライフィルムレジスト(DFR;dry film resist)を
貼り付けるDFR貼付工程と、フォトマスクを介してド
ライフィルムレジストを露光する露光過程と、現像を行
いドライフィルムレジストにおいて隔壁となる部分を残
す現像過程とから成る過程とすることができる。
【0025】次に、本発明におけるプラズマディスプレ
イパネルの隔壁形成方法(その2)について説明する。
本発明におけるプラズマディスプレイパネルの隔壁形成
方法(第2の隔壁形成方法:請求項4、請求項5)を説
明図として図3に示す。図3において、左側の図はアド
レス電極と平行方向の断面図であり、右側の図はバス電
極と平行方向の断面図である。図3に示すように、ま
ず、基板201に隔壁材料を全面塗工し第1隔壁材料層
202を形成する(第1塗工過程S21)。次に、横隔
壁の全体と縦隔壁の下層部分とを形成するためのマトリ
ックスパターンを有する第1レジストマスク203を第
1隔壁材料層202の表面に形成する(第1レジストマ
スク形成過程S22)。
イパネルの隔壁形成方法(その2)について説明する。
本発明におけるプラズマディスプレイパネルの隔壁形成
方法(第2の隔壁形成方法:請求項4、請求項5)を説
明図として図3に示す。図3において、左側の図はアド
レス電極と平行方向の断面図であり、右側の図はバス電
極と平行方向の断面図である。図3に示すように、ま
ず、基板201に隔壁材料を全面塗工し第1隔壁材料層
202を形成する(第1塗工過程S21)。次に、横隔
壁の全体と縦隔壁の下層部分とを形成するためのマトリ
ックスパターンを有する第1レジストマスク203を第
1隔壁材料層202の表面に形成する(第1レジストマ
スク形成過程S22)。
【0026】次に、第1レジストマスク203を介して
基板201に形成した第1隔壁材料層202に対してサ
ンドブラスト処理を行いサンドブラスト処理済みの横隔
壁の全体222と縦隔壁の下層部分211とを形成する
(第1サンドブラスト処理過程S23)。次に、第1隔
壁材料層202の表面に形成した第1レジストマスク2
03を剥離する(第1剥離過程S24)。
基板201に形成した第1隔壁材料層202に対してサ
ンドブラスト処理を行いサンドブラスト処理済みの横隔
壁の全体222と縦隔壁の下層部分211とを形成する
(第1サンドブラスト処理過程S23)。次に、第1隔
壁材料層202の表面に形成した第1レジストマスク2
03を剥離する(第1剥離過程S24)。
【0027】次に、縦隔壁の上層部分を形成するための
ストライプパターンを有するスクリーン印刷版204を
用いて縦隔壁の下層部分211の上に隔壁材料を刷り重
ね縦隔壁の上層部分212を形成する(スクリーン印刷
過程S25)。次に、基板201に形成した横隔壁の全
体222と縦隔壁の下層部分211と縦隔壁の上層部分
212とを焼成し焼成済みの横隔壁の全体222と縦隔
壁の下層部分211と縦隔壁の上層部分212を形成す
る(焼成過程S25)。
ストライプパターンを有するスクリーン印刷版204を
用いて縦隔壁の下層部分211の上に隔壁材料を刷り重
ね縦隔壁の上層部分212を形成する(スクリーン印刷
過程S25)。次に、基板201に形成した横隔壁の全
体222と縦隔壁の下層部分211と縦隔壁の上層部分
212とを焼成し焼成済みの横隔壁の全体222と縦隔
壁の下層部分211と縦隔壁の上層部分212を形成す
る(焼成過程S25)。
【0028】なお、上述において、第1剥離過程S24
の後、かつスクリーン印刷工程S25の前において、サ
ンドブラスト処理を行った第1隔壁材料層を焼成し、焼
成済みの横隔壁の全体222と縦隔壁の下層部分211
とを基板201に形成する焼成過程を設けることができ
る。そうすることにより、横隔壁の全体と縦隔壁の下層
部分の形状が確定するから寸法精度が得られるととも
に、後工程における加工が容易になる。
の後、かつスクリーン印刷工程S25の前において、サ
ンドブラスト処理を行った第1隔壁材料層を焼成し、焼
成済みの横隔壁の全体222と縦隔壁の下層部分211
とを基板201に形成する焼成過程を設けることができ
る。そうすることにより、横隔壁の全体と縦隔壁の下層
部分の形状が確定するから寸法精度が得られるととも
に、後工程における加工が容易になる。
【0029】また、第1レジストマスク形成過程S22
は、第1隔壁材料層202に対して被膜形成性を有する
印刷ペーストを用いて印刷により第1隔壁材料層202
の表面に形成する過程とすることができる。また、第1
レジストマスク形成過程S22は、第1隔壁材料層20
2の表面にドライフィルムレジスト(DFR;dry film
resist)を貼り付けるDFR貼付工程と、フォトマス
クを介してドライフィルムレジストを露光する露光過程
と、現像を行いドライフィルムレジストにおいて隔壁と
なる部分を残す現像過程とから成る過程とすることがで
きる。
は、第1隔壁材料層202に対して被膜形成性を有する
印刷ペーストを用いて印刷により第1隔壁材料層202
の表面に形成する過程とすることができる。また、第1
レジストマスク形成過程S22は、第1隔壁材料層20
2の表面にドライフィルムレジスト(DFR;dry film
resist)を貼り付けるDFR貼付工程と、フォトマス
クを介してドライフィルムレジストを露光する露光過程
と、現像を行いドライフィルムレジストにおいて隔壁と
なる部分を残す現像過程とから成る過程とすることがで
きる。
【0030】次に、本発明におけるプラズマディスプレ
イパネルの隔壁形成方法(その3)について説明する。
本発明におけるプラズマディスプレイパネルの隔壁形成
方法(第3の隔壁形成方法:請求項6、請求項7)を説
明図として図4に示す。図4において、左側の図はアド
レス電極と平行方向の断面図であり、右側の図はバス電
極と平行方向の断面図である。図4に示すように、ま
ず、横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分とを形成するため
のマトリックスパターンを有するスクリーン印刷版30
2を用いて隔壁材料を刷り重ね、基板301に横隔壁の
全体322と縦隔壁の下層部分311とを形成する(第
1スクリーン印刷過程S31)。
イパネルの隔壁形成方法(その3)について説明する。
本発明におけるプラズマディスプレイパネルの隔壁形成
方法(第3の隔壁形成方法:請求項6、請求項7)を説
明図として図4に示す。図4において、左側の図はアド
レス電極と平行方向の断面図であり、右側の図はバス電
極と平行方向の断面図である。図4に示すように、ま
ず、横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分とを形成するため
のマトリックスパターンを有するスクリーン印刷版30
2を用いて隔壁材料を刷り重ね、基板301に横隔壁の
全体322と縦隔壁の下層部分311とを形成する(第
1スクリーン印刷過程S31)。
【0031】次に、縦隔壁の上層部分を形成するための
ストライプパターンを有するスクリーン印刷版303を
用いて縦隔壁の下層部分311の上に隔壁材料を刷り重
ね縦隔壁の上層部分312を形成する(第2スクリーン
印刷過程S33)。次に、基板に形成した横隔壁の全体
322と縦隔壁の下層部分311と縦隔壁の上層部分3
12とを焼成し、焼成済みの横隔壁の全体と縦隔壁の下
層部分と縦隔壁の上層部分を形成する(焼成過程S3
4)。
ストライプパターンを有するスクリーン印刷版303を
用いて縦隔壁の下層部分311の上に隔壁材料を刷り重
ね縦隔壁の上層部分312を形成する(第2スクリーン
印刷過程S33)。次に、基板に形成した横隔壁の全体
322と縦隔壁の下層部分311と縦隔壁の上層部分3
12とを焼成し、焼成済みの横隔壁の全体と縦隔壁の下
層部分と縦隔壁の上層部分を形成する(焼成過程S3
4)。
【0032】なお、上述において、第1スクリーン印刷
過程S31の後、かつ第2スクリーン印刷過程S33の
前において、基板301に形成した横隔壁の全体322
と縦隔壁の下層部分311とを焼成し、焼成済みの横隔
壁の全体322と縦隔壁の下層部分311とを基板30
1に形成する焼成過程S32を設けることができる。そ
うすることにより、横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分の
形状が確定するから寸法精度が得られるとともに、後工
程における加工が容易になる。
過程S31の後、かつ第2スクリーン印刷過程S33の
前において、基板301に形成した横隔壁の全体322
と縦隔壁の下層部分311とを焼成し、焼成済みの横隔
壁の全体322と縦隔壁の下層部分311とを基板30
1に形成する焼成過程S32を設けることができる。そ
うすることにより、横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分の
形状が確定するから寸法精度が得られるとともに、後工
程における加工が容易になる。
【0033】次に、本発明におけるプラズマディスプレ
イパネルの隔壁形成方法(その4)について説明する。
本発明におけるプラズマディスプレイパネルの隔壁形成
方法(第4の隔壁形成方法)を説明図として図5に示
す。図5において、左側の図はアドレス電極と平行方向
の断面図であり、右側の図はバス電極と平行方向の断面
図である。図5に示すように、まず、基板401の表面
にドライフィルムレジスト(DFR;dry film resis
t)402を貼り付ける(第1DFR貼付工程S4
1)。
イパネルの隔壁形成方法(その4)について説明する。
本発明におけるプラズマディスプレイパネルの隔壁形成
方法(第4の隔壁形成方法)を説明図として図5に示
す。図5において、左側の図はアドレス電極と平行方向
の断面図であり、右側の図はバス電極と平行方向の断面
図である。図5に示すように、まず、基板401の表面
にドライフィルムレジスト(DFR;dry film resis
t)402を貼り付ける(第1DFR貼付工程S4
1)。
【0034】次に、フォトマスクを介して横隔壁の全体
と縦隔壁の下層部分とを形成するためのマトリックスパ
ターンを有するフォトマスクを介してドライフィルムレ
ジスト402を露光する(第1露光過程S42)。次
に、現像を行いドライフィルムレジスト402において
隔壁となる部分403を除去する(第1現像過程S4
3)。次に、その現像済みのドライフィルムレジスト4
02の現像によって除去した隔壁となる部分(空間)4
03に隔壁材料(ペースト)404を充填する(第1充
填過程S44)。
と縦隔壁の下層部分とを形成するためのマトリックスパ
ターンを有するフォトマスクを介してドライフィルムレ
ジスト402を露光する(第1露光過程S42)。次
に、現像を行いドライフィルムレジスト402において
隔壁となる部分403を除去する(第1現像過程S4
3)。次に、その現像済みのドライフィルムレジスト4
02の現像によって除去した隔壁となる部分(空間)4
03に隔壁材料(ペースト)404を充填する(第1充
填過程S44)。
【0035】次に、隔壁材料404を充填したドライフ
ィルムレジスト402の表面にドライフィルムレジスト
405を貼り付ける(第2DFR貼付工程S45)。次
に、フォトマスクを介して縦隔壁の上層部分を形成する
ためのストライプパターンを有するフォトマスクを介し
てドライフィルムレジスト405を露光する(第2露光
過程S46)。次に、現像を行いドライフィルムレジス
ト405において隔壁となる部分(縦隔壁の上層部分)
を除去する(第2現像過程S47)。
ィルムレジスト402の表面にドライフィルムレジスト
405を貼り付ける(第2DFR貼付工程S45)。次
に、フォトマスクを介して縦隔壁の上層部分を形成する
ためのストライプパターンを有するフォトマスクを介し
てドライフィルムレジスト405を露光する(第2露光
過程S46)。次に、現像を行いドライフィルムレジス
ト405において隔壁となる部分(縦隔壁の上層部分)
を除去する(第2現像過程S47)。
【0036】次に、その現像済みのドライフィルムレジ
スト405の現像によって除去した隔壁となる部分(空
間)に隔壁材料(ペースト)406を充填する(第2充
填過程S48)。次に、ドライフィルムレジスト402
とドライフィルムレジスト405を剥離し、さらに焼成
を行って、焼成済みの横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分
と縦隔壁の上層部分とを基板401に形成する(焼成過
程S49)。
スト405の現像によって除去した隔壁となる部分(空
間)に隔壁材料(ペースト)406を充填する(第2充
填過程S48)。次に、ドライフィルムレジスト402
とドライフィルムレジスト405を剥離し、さらに焼成
を行って、焼成済みの横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分
と縦隔壁の上層部分とを基板401に形成する(焼成過
程S49)。
【0037】次に、本発明におけるプラズマディスプレ
イパネルの隔壁形成方法(その5)について説明する。
本発明におけるプラズマディスプレイパネルの隔壁形成
方法(第5の隔壁形成方法)を説明図として図6に示
す。図6において左側の図はアドレス電極と平行方向の
断面図であり、右側の図はバス電極と平行方向の断面図
である。図6に示すように、まず、基板501に隔壁材
料を全面塗工し第1隔壁材料層502を形成する(第1
塗工過程S51)。次に、横隔壁の全体と縦隔壁の下層
部分とを形成するためのマトリックスパターンを有する
第1レジストマスク503を第1隔壁材料層502の表
面に形成する(第1レジストマスク形成過程S52)。
イパネルの隔壁形成方法(その5)について説明する。
本発明におけるプラズマディスプレイパネルの隔壁形成
方法(第5の隔壁形成方法)を説明図として図6に示
す。図6において左側の図はアドレス電極と平行方向の
断面図であり、右側の図はバス電極と平行方向の断面図
である。図6に示すように、まず、基板501に隔壁材
料を全面塗工し第1隔壁材料層502を形成する(第1
塗工過程S51)。次に、横隔壁の全体と縦隔壁の下層
部分とを形成するためのマトリックスパターンを有する
第1レジストマスク503を第1隔壁材料層502の表
面に形成する(第1レジストマスク形成過程S52)。
【0038】次に、第1レジストマスク503を介して
基板501に形成した第1隔壁材料層502に対してサ
ンドブラスト処理を行いサンドブラスト処理済みの横隔
壁の全体522と縦隔壁の下層部分511とを形成する
(第1サンドブラスト処理過程S53)。次に、第1隔
壁材料層502の表面に形成した第1レジストマスク5
03を剥離する(第1剥離過程S54)。次に、これを
焼成し、焼成済みの横隔壁の全体522と縦隔壁の下層
部分511とを基板501に形成する(第1焼成過程S
55)。
基板501に形成した第1隔壁材料層502に対してサ
ンドブラスト処理を行いサンドブラスト処理済みの横隔
壁の全体522と縦隔壁の下層部分511とを形成する
(第1サンドブラスト処理過程S53)。次に、第1隔
壁材料層502の表面に形成した第1レジストマスク5
03を剥離する(第1剥離過程S54)。次に、これを
焼成し、焼成済みの横隔壁の全体522と縦隔壁の下層
部分511とを基板501に形成する(第1焼成過程S
55)。
【0039】次に、基板501に形成した焼成済みの横
隔壁の全体522と縦隔壁の下層部分511の表面にド
ライフィルムレジスト505を貼り付ける(DFR貼付
工程S56)。次に、フォトマスクを介して縦隔壁の上
層部分を形成するためのストライプパターンを有するフ
ォトマスクを介してドライフィルムレジスト405を露
光し、現像を行いドライフィルムレジスト505におい
て隔壁となる部分(縦隔壁の上層部分)を除去する(露
光現像過程S57)。
隔壁の全体522と縦隔壁の下層部分511の表面にド
ライフィルムレジスト505を貼り付ける(DFR貼付
工程S56)。次に、フォトマスクを介して縦隔壁の上
層部分を形成するためのストライプパターンを有するフ
ォトマスクを介してドライフィルムレジスト405を露
光し、現像を行いドライフィルムレジスト505におい
て隔壁となる部分(縦隔壁の上層部分)を除去する(露
光現像過程S57)。
【0040】次に、その現像済みのドライフィルムレジ
スト505の現像によって除去した隔壁となる部分(空
間)に隔壁材料(ペースト)506を充填する(充填過
程S58)。次に、ドライフィルムレジスト505を剥
離し、焼成を行って焼成済みの横隔壁の全体522と縦
隔壁の下層部分511と縦隔壁の上層部分512とを基
板501に形成する(剥離焼成過程S59)。
スト505の現像によって除去した隔壁となる部分(空
間)に隔壁材料(ペースト)506を充填する(充填過
程S58)。次に、ドライフィルムレジスト505を剥
離し、焼成を行って焼成済みの横隔壁の全体522と縦
隔壁の下層部分511と縦隔壁の上層部分512とを基
板501に形成する(剥離焼成過程S59)。
【0041】
【発明の効果】以上のように、本発明の請求項1に係る
プラズマディスプレイパネルによれば、蛍光面を発光さ
せた場合の輝度を高めることが可能で、しかもその隔壁
を形成する上での制約が小さく、PDPの放電空間を排
気する場合の排気効率が良くなる。また本発明の請求項
2に係るプラズマディスプレイパネルによれば、隔壁形
成が容易で歩留まりが向上する。
プラズマディスプレイパネルによれば、蛍光面を発光さ
せた場合の輝度を高めることが可能で、しかもその隔壁
を形成する上での制約が小さく、PDPの放電空間を排
気する場合の排気効率が良くなる。また本発明の請求項
2に係るプラズマディスプレイパネルによれば、隔壁形
成が容易で歩留まりが向上する。
【0042】また本発明の請求項3に係る隔壁形成方法
によれば、蛍光面を発光させた場合の輝度を高めること
が可能な隔壁形状を有し、しかも、その隔壁を形成する
上での制約が小さく、PDPの放電空間を排気する場合
の排気効率が良くなるプラズマディスプレイパネルの隔
壁形成方法が提供される。
によれば、蛍光面を発光させた場合の輝度を高めること
が可能な隔壁形状を有し、しかも、その隔壁を形成する
上での制約が小さく、PDPの放電空間を排気する場合
の排気効率が良くなるプラズマディスプレイパネルの隔
壁形成方法が提供される。
【0043】また本発明の請求項4に係る隔壁形成方法
によれば、蛍光面を発光させた場合の輝度を高めること
が可能な隔壁形状を有し、しかも、その隔壁を形成する
上での制約が小さく、PDPの放電空間を排気する場合
の排気効率が良くなるプラズマディスプレイパネルの隔
壁形成方法が提供される。また本発明の請求項5に係る
隔壁形成方法によれば、横隔壁の全体と縦隔壁の下層部
分の形状が確定し寸法精度が得られるとともに、後工程
における加工が容易である。
によれば、蛍光面を発光させた場合の輝度を高めること
が可能な隔壁形状を有し、しかも、その隔壁を形成する
上での制約が小さく、PDPの放電空間を排気する場合
の排気効率が良くなるプラズマディスプレイパネルの隔
壁形成方法が提供される。また本発明の請求項5に係る
隔壁形成方法によれば、横隔壁の全体と縦隔壁の下層部
分の形状が確定し寸法精度が得られるとともに、後工程
における加工が容易である。
【0044】また本発明の請求項6に係る隔壁形成方法
によれば、蛍光面を発光させた場合の輝度を高めること
が可能な隔壁形状を有し、しかも、その隔壁を形成する
上での制約が小さく、PDPの放電空間を排気する場合
の排気効率が良くなるプラズマディスプレイパネルの隔
壁形成方法が提供される。また本発明の請求項7に係る
隔壁形成方法によれば、横隔壁の全体と縦隔壁の下層部
分の形状が確定し寸法精度が得られるとともに、後工程
における加工が容易である。
によれば、蛍光面を発光させた場合の輝度を高めること
が可能な隔壁形状を有し、しかも、その隔壁を形成する
上での制約が小さく、PDPの放電空間を排気する場合
の排気効率が良くなるプラズマディスプレイパネルの隔
壁形成方法が提供される。また本発明の請求項7に係る
隔壁形成方法によれば、横隔壁の全体と縦隔壁の下層部
分の形状が確定し寸法精度が得られるとともに、後工程
における加工が容易である。
【図1】本発明のプラズマディスプレイパネルの隔壁形
状を示す図である。
状を示す図である。
【図2】本発明におけるプラズマディスプレイパネルの
隔壁形成方法(第1の隔壁形成方法:請求項3)を説明
図として示す図である。
隔壁形成方法(第1の隔壁形成方法:請求項3)を説明
図として示す図である。
【図3】本発明におけるプラズマディスプレイパネルの
隔壁形成方法(第2の隔壁形成方法:請求項4、請求項
5)を説明図として示す図である。
隔壁形成方法(第2の隔壁形成方法:請求項4、請求項
5)を説明図として示す図である。
【図4】本発明におけるプラズマディスプレイパネルの
隔壁形成方法(第3の隔壁形成方法:請求項6、請求項
7)を説明図として示す図である。
隔壁形成方法(第3の隔壁形成方法:請求項6、請求項
7)を説明図として示す図である。
【図5】本発明におけるプラズマディスプレイパネルの
隔壁形成方法(第4の隔壁形成方法)を説明図として示
す図である。
隔壁形成方法(第4の隔壁形成方法)を説明図として示
す図である。
【図6】本発明におけるプラズマディスプレイパネルの
隔壁形成方法(第5の隔壁形成方法)を説明図として示
す図である。
隔壁形成方法(第5の隔壁形成方法)を説明図として示
す図である。
【図7】AC型プラズマディスプレイパネルの説明図
(その1)である。
(その1)である。
【図8】AC型プラズマディスプレイパネルの説明図
(その2)である。
(その2)である。
11a,11b,11c 縦隔壁の下層部分 12a,12b,11c 縦隔壁の上層部分 21a,21b,22a,22b 横隔壁 101,201,301,401、501 基板 102,202、502 第1隔壁材料層 103,203、503 第1レジストマスク 122,222,322,522 横隔壁の全体 111,211,311,511 縦隔壁の下層部分 104 第2隔壁材料層 105 第2レジストマスク 112,212,312,512 縦隔壁の上層部分 204,303 スクリーン印刷版(ストライプパター
ン) 302 スクリーン印刷版(マトリックスパターン) 402、405,505 ドライフィルムレジスト 403 隔壁となる部分 404、406 隔壁材料 801 前面板 802 背面板 803 セル障壁 804 維持電極 805 バス電極 806,806’ 誘電体層 807 MgO層 808 アドレス電極 809 蛍光面 810 下地層
ン) 302 スクリーン印刷版(マトリックスパターン) 402、405,505 ドライフィルムレジスト 403 隔壁となる部分 404、406 隔壁材料 801 前面板 802 背面板 803 セル障壁 804 維持電極 805 バス電極 806,806’ 誘電体層 807 MgO層 808 アドレス電極 809 蛍光面 810 下地層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 太田 範雄 東京都新宿区市谷加賀町一丁目1番1号 大日本印刷株式会社内 Fターム(参考) 5C027 AA09 5C040 GF03 GF04 GF13 GF14 GF19 JA12 JA15 JA17 JA21 LA12 MA03 MA22 MA26
Claims (7)
- 【請求項1】基板の表面に形成された隔壁の下層部分
と、その下層部分の上に形成された隔壁の上層部分とか
ら成る上下2層構造の隔壁を有し、 前記下層部分はアドレス電極と平行方向の縦隔壁の下層
部分とバス電極と平行方向の横隔壁の全体とから成り、 前記上層部分はアドレス電極と平行方向の縦隔壁の上層
部分から成る、 ことを特徴とするプラズマディスプレイパネル。 - 【請求項2】請求項1記載のプラズマディスプレイパネ
ルにおいて、前記縦隔壁の下層部分の幅は、前記縦隔壁
の上層部分の幅より広幅であることを特長とするプラズ
マディスプレイパネル。 - 【請求項3】基板に隔壁材料を全面塗工し第1隔壁材料
層を形成する第1塗工過程と、 横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分とを形成するためのマ
トリックスパターンを有する第1レジストマスクを前記
第1隔壁材料層の表面に形成する第1レジストマスク形
成過程と、 前記第1レジストマスクを介して前記基板に形成した前
記第1隔壁材料層に対してサンドブラスト処理を行う第
1サンドブラスト処理過程と、 前記第1隔壁材料層の表面に形成した第1レジストマス
クを剥離する第1剥離過程と、 前記サンドブラスト処理を行った第1隔壁材料層を焼成
し横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分とを前記基板に形成
する第1焼成過程と、 前記基板に隔壁材料を全面塗工し第2隔壁材料層を形成
する第2塗工過程と、 縦隔壁の上層部分を形成するためのストライプパターン
を有する第2レジストマスクを前記第1隔壁材料層の表
面に形成する第2レジストマスク形成過程と、 前記第2レジストマスクを介して前記基板に形成した前
記第2壁材料層に対してサンドブラスト処理を行う第2
サンドブラスト処理過程と、 前記第2壁材料層の表面に形成した第2レジストマスク
を剥離する第2離過程と、 前記サンドブラスト処理を行った第2壁材料層を焼成し
縦隔壁の上層部分を前記縦隔壁の下層部分の上に形成す
る第2焼成過程と、 を有することを特徴とするプラズマディスプレイパネル
の隔壁形成方法。 - 【請求項4】基板に隔壁材料を全面塗工し第1隔壁材料
層を形成する第1塗工過程と、 横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分とを形成するためのマ
トリックスパターンを有する第1レジストマスクを前記
第1隔壁材料層の表面に形成する第1レジストマスク形
成過程と、 前記第1レジストマスクを介して前記基板に形成した前
記第1隔壁材料層に対してサンドブラスト処理を行いサ
ンドブラスト処理済みの横隔壁の全体と縦隔壁の下層部
分とを形成する第1サンドブラスト処理過程と、 前記第1隔壁材料層の表面に形成した第1レジストマス
クを剥離する第1剥離過程と、 縦隔壁の上層部分を形成するためのストライプパターン
を有するスクリーン印刷版を用いて前記縦隔壁の下層部
分の上に隔壁材料を刷り重ね縦隔壁の上層部分を形成す
るスクリーン印刷過程と、 前記基板に形成した横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分と
縦隔壁の上層部分とを焼成し焼成済みの横隔壁の全体と
縦隔壁の下層部分と縦隔壁の上層部分とを形成する焼成
過程と、 を有することを特徴とするプラズマディスプレイパネル
の隔壁形成方法。 - 【請求項5】請求項4記載の隔壁形成方法において、前
記第1剥離過程の後、かつ前記スクリーン印刷工程の前
において、前記サンドブラスト処理を行った第1隔壁材
料層を焼成し、焼成済みの横隔壁の全体と縦隔壁の下層
部分とを前記基板に形成する焼成過程を有することを特
徴とするプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法。 - 【請求項6】横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分とを形成
するためのマトリックスパターンを有するスクリーン印
刷版を用いて隔壁材料を刷り重ね、基板に横隔壁の全体
と縦隔壁の下層部分とを形成する第1スクリーン印刷過
程と、 縦隔壁の上層部分を形成するためのストライプパターン
を有するスクリーン印刷版を用いて前記縦隔壁の下層部
分の上に隔壁材料を刷り重ね縦隔壁の上層部分を形成す
る第2スクリーン印刷過程と、 前記基板に形成した横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分と
縦隔壁の上層部分とを焼成し、焼成済みの横隔壁の全体
と縦隔壁の下層部分と縦隔壁の上層部分とを形成する焼
成過程と、 を有することを特徴とするプラズマディスプレイパネル
の隔壁形成方法。 - 【請求項7】請求項6記載の隔壁形成方法において、前
記第1スクリーン印刷過程の後、かつ前記第2スクリー
ン印刷過程の前において、前記基板に形成した横隔壁の
全体と縦隔壁の下層部分とを焼成し、焼成済みの横隔壁
の全体と縦隔壁の下層部分とを前記基板に形成する焼成
過程を有することを特徴とするプラズマディスプレイパ
ネルの隔壁形成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29298899A JP2001118512A (ja) | 1999-10-14 | 1999-10-14 | プラズマディスプレイパネルおよび隔壁形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29298899A JP2001118512A (ja) | 1999-10-14 | 1999-10-14 | プラズマディスプレイパネルおよび隔壁形成方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001118512A true JP2001118512A (ja) | 2001-04-27 |
Family
ID=17789028
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP29298899A Pending JP2001118512A (ja) | 1999-10-14 | 1999-10-14 | プラズマディスプレイパネルおよび隔壁形成方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2001118512A (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100471980B1 (ko) * | 2002-06-28 | 2005-03-10 | 삼성에스디아이 주식회사 | 격벽이 내장된 플라즈마 디스플레이 패널 및 이 격벽의제조 방법 |
KR100499760B1 (ko) * | 2001-10-22 | 2005-07-07 | 파이오니아 플라즈마 디스플레이 가부시키가이샤 | 멀티갭마스크, 그 제조방법 및 이를 이용하여 구성부품을제조하는 방법 |
US7037159B2 (en) * | 2000-07-14 | 2006-05-02 | Au Optronics Corp. | Plasma display panel and the manufacturing method thereof |
KR100603283B1 (ko) * | 2002-07-31 | 2006-07-20 | 삼성에스디아이 주식회사 | 플라즈마 디스플레이 패널 |
JP2007115569A (ja) * | 2005-10-21 | 2007-05-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマディスプレイパネル |
KR100863903B1 (ko) | 2006-10-27 | 2008-10-16 | 삼성에스디아이 주식회사 | 플라즈마 디스플레이 패널 |
JP2009231280A (ja) * | 2008-02-28 | 2009-10-08 | Toray Ind Inc | プラズマディスプレイパネル用部材およびその製造方法 |
JP2010049962A (ja) * | 2008-08-22 | 2010-03-04 | Panasonic Corp | プラズマディスプレイパネル |
EP2362409A2 (en) | 2010-02-25 | 2011-08-31 | Canon Kabushiki Kaisha | Light emitting substrate, manufacturing method thereof, and image display apparatus having the light emitting substrate |
-
1999
- 1999-10-14 JP JP29298899A patent/JP2001118512A/ja active Pending
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7037159B2 (en) * | 2000-07-14 | 2006-05-02 | Au Optronics Corp. | Plasma display panel and the manufacturing method thereof |
US7361072B2 (en) | 2000-07-14 | 2008-04-22 | Au Optronics Corporation | Plasma display panel and the manufacturing method thereof |
US8025543B2 (en) | 2000-07-14 | 2011-09-27 | Au Optronics Corporation | Method of manufacturing a partition wall structure on a plasma display panel |
KR100499760B1 (ko) * | 2001-10-22 | 2005-07-07 | 파이오니아 플라즈마 디스플레이 가부시키가이샤 | 멀티갭마스크, 그 제조방법 및 이를 이용하여 구성부품을제조하는 방법 |
KR100471980B1 (ko) * | 2002-06-28 | 2005-03-10 | 삼성에스디아이 주식회사 | 격벽이 내장된 플라즈마 디스플레이 패널 및 이 격벽의제조 방법 |
KR100603283B1 (ko) * | 2002-07-31 | 2006-07-20 | 삼성에스디아이 주식회사 | 플라즈마 디스플레이 패널 |
JP2007115569A (ja) * | 2005-10-21 | 2007-05-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマディスプレイパネル |
KR100863903B1 (ko) | 2006-10-27 | 2008-10-16 | 삼성에스디아이 주식회사 | 플라즈마 디스플레이 패널 |
JP2009231280A (ja) * | 2008-02-28 | 2009-10-08 | Toray Ind Inc | プラズマディスプレイパネル用部材およびその製造方法 |
JP2010049962A (ja) * | 2008-08-22 | 2010-03-04 | Panasonic Corp | プラズマディスプレイパネル |
EP2362409A2 (en) | 2010-02-25 | 2011-08-31 | Canon Kabushiki Kaisha | Light emitting substrate, manufacturing method thereof, and image display apparatus having the light emitting substrate |
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