JP2001118512A - プラズマディスプレイパネルおよび隔壁形成方法 - Google Patents
プラズマディスプレイパネルおよび隔壁形成方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】蛍光面を発光させた場合の輝度を高めることが
可能な隔壁形状を有し、しかも、その隔壁を形成する上
での制約が小さく、ＰＤＰの放電空間を排気する場合の
排気効率が良くなるプラズマディスプレイパネルおよび
隔壁形成方法の提供。 【解決手段】基板の表面に形成された隔壁の下層部分
と、その下層部分の上に形成された隔壁の上層部分とか
ら成る上下２層構造の隔壁を有し、前記下層部分はアド
レス電極と平行方向の縦隔壁の下層部分とバス電極と平
行方向の横隔壁の全体とから成り、前記上層部分はアド
レス電極と平行方向の縦隔壁の上層部分から成る、よう
にしたプラズマディスプレイパネル。およびその隔壁製
造方法。
可能な隔壁形状を有し、しかも、その隔壁を形成する上
での制約が小さく、ＰＤＰの放電空間を排気する場合の
排気効率が良くなるプラズマディスプレイパネルおよび
隔壁形成方法の提供。 【解決手段】基板の表面に形成された隔壁の下層部分
と、その下層部分の上に形成された隔壁の上層部分とか
ら成る上下２層構造の隔壁を有し、前記下層部分はアド
レス電極と平行方向の縦隔壁の下層部分とバス電極と平
行方向の横隔壁の全体とから成り、前記上層部分はアド
レス電極と平行方向の縦隔壁の上層部分から成る、よう
にしたプラズマディスプレイパネル。およびその隔壁製
造方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はプラズマディスプレ
イパネルの技術分野に属する。特に、プラズマディスプ
レイパネルの背面板に形成される隔壁の形成方法に関す
る。
イパネルの技術分野に属する。特に、プラズマディスプ
レイパネルの背面板に形成される隔壁の形成方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】カラー表示を行うプラズマディスプレイ
パネル（以降、略称として「ＰＤＰ」を併用する）では
背面板に平行線状に複数配列で形成される隔壁が形成さ
れる。隔壁と隔壁の間のアドレス電極上には蛍光面が設
けられる。各隔壁と隔壁の間の蛍光面にはＲＧＢ各色で
発光する蛍光体材料の１つが充填され、背面板はそのＲ
ＧＢ各色のストライプ状の蛍光面が３つから成る組を多
数配列した構造となる。
パネル（以降、略称として「ＰＤＰ」を併用する）では
背面板に平行線状に複数配列で形成される隔壁が形成さ
れる。隔壁と隔壁の間のアドレス電極上には蛍光面が設
けられる。各隔壁と隔壁の間の蛍光面にはＲＧＢ各色で
発光する蛍光体材料の１つが充填され、背面板はそのＲ
ＧＢ各色のストライプ状の蛍光面が３つから成る組を多
数配列した構造となる。
【０００３】図７はＡＣ型ＰＤＰの一構成例を示すもの
で、前面板と背面板を離した状態で示したもので、２枚
のガラス基板８０１、８０２が互いに平行に且つ対向し
て配設されており、両者は背面板となるガラス基板８０
２上に互いに平行に設けられた隔壁８０３により一定の
間隔に保持されている。前面板となるガラス基板８０１
の背面板側には、放電維持電極として、透明電極８０４
とバス電極としての金属電極８０５とで構成される複合
電極が互いに平行に形成され、これを覆って誘電体層８
０６が形成されており、さらにその上に保護層（ＭｇＯ
層）が形成されている。また、背面板となるガラス基板
８０２の前面板側には前記複合電極と直交するように隔
壁８０３の間に位置してアドレス電極８０８が互いに平
行に形成されており、さらに隔壁８０３の壁面とセル底
面を覆うようにして蛍光面８０９が設けられている。ま
た、図８に示すように、背面板となるガラス基板８０２
に誘電体からなる下地層８１０を形成した後、アドレス
電極８０８を設け、更にその上に誘電体層８０６’を積
層した後、隔壁８０３、蛍光面８０９を設けた構造とし
ている。この前面板と背面板の間にはネオンを主体とし
キセノンを含む希ガスが封入される。
で、前面板と背面板を離した状態で示したもので、２枚
のガラス基板８０１、８０２が互いに平行に且つ対向し
て配設されており、両者は背面板となるガラス基板８０
２上に互いに平行に設けられた隔壁８０３により一定の
間隔に保持されている。前面板となるガラス基板８０１
の背面板側には、放電維持電極として、透明電極８０４
とバス電極としての金属電極８０５とで構成される複合
電極が互いに平行に形成され、これを覆って誘電体層８
０６が形成されており、さらにその上に保護層（ＭｇＯ
層）が形成されている。また、背面板となるガラス基板
８０２の前面板側には前記複合電極と直交するように隔
壁８０３の間に位置してアドレス電極８０８が互いに平
行に形成されており、さらに隔壁８０３の壁面とセル底
面を覆うようにして蛍光面８０９が設けられている。ま
た、図８に示すように、背面板となるガラス基板８０２
に誘電体からなる下地層８１０を形成した後、アドレス
電極８０８を設け、更にその上に誘電体層８０６’を積
層した後、隔壁８０３、蛍光面８０９を設けた構造とし
ている。この前面板と背面板の間にはネオンを主体とし
キセノンを含む希ガスが封入される。
【０００４】このＡＣ型ＰＤＰは面放電型であって、ア
ドレス電極により書き込みを行った後、前面板上の複合
電極に交流電圧を印加し空間に生成した電界により放電
させる構造である。この場合、交流をかけているために
電界の向きは周波数に対応して変化する。なお、ＤＣ型
ＰＤＰにあっては、電極は誘電体層で被覆されていない
構造を有する点で相違するが、その放電現象は同一であ
る。そして、この放電により生じる紫外線により蛍光面
８０９を発光させ、前面板を透過する光を観察者が視認
できるものである。
ドレス電極により書き込みを行った後、前面板上の複合
電極に交流電圧を印加し空間に生成した電界により放電
させる構造である。この場合、交流をかけているために
電界の向きは周波数に対応して変化する。なお、ＤＣ型
ＰＤＰにあっては、電極は誘電体層で被覆されていない
構造を有する点で相違するが、その放電現象は同一であ
る。そして、この放電により生じる紫外線により蛍光面
８０９を発光させ、前面板を透過する光を観察者が視認
できるものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】このようなＰＤＰにお
いては蛍光面を発光させた場合の輝度を高めることが重
要な課題の一つとなっている。輝度を高めるために各種
の方法が提案されているが決定的な解決策はなく、それ
らの方法の積み重ねにより少しづつ輝度が高められてい
る。蛍光面の発光面積を広くすることは、一般にその蛍
光面に紫外線が効率よく作用する等により発光効率が改
善されることとなり、輝度が高くなることにつながる。
ところが図７，図８に示すように、蛍光面８０９は隔壁
８０３の壁面とセル底面を覆うようにして設けられてお
り、蛍光面８０９は隔壁８０３の壁面とセル底面の形状
に制約される。すなわち蛍光面８０９の表面は隔壁８０
３の壁面とセル底面の形状によって決まる単純な形状と
なり、それによって発光面積が制約されている。
いては蛍光面を発光させた場合の輝度を高めることが重
要な課題の一つとなっている。輝度を高めるために各種
の方法が提案されているが決定的な解決策はなく、それ
らの方法の積み重ねにより少しづつ輝度が高められてい
る。蛍光面の発光面積を広くすることは、一般にその蛍
光面に紫外線が効率よく作用する等により発光効率が改
善されることとなり、輝度が高くなることにつながる。
ところが図７，図８に示すように、蛍光面８０９は隔壁
８０３の壁面とセル底面を覆うようにして設けられてお
り、蛍光面８０９は隔壁８０３の壁面とセル底面の形状
に制約される。すなわち蛍光面８０９の表面は隔壁８０
３の壁面とセル底面の形状によって決まる単純な形状と
なり、それによって発光面積が制約されている。
【０００６】そこで、蛍光面を発光させた場合の輝度を
高めることが可能なプラズマディスプレイパネルの隔壁
形状に関する発明がなされている。たとえば、特開平１
０−３２１１４８には、隔壁とともに補助隔壁を設けた
プラズマディスプレイパネルが記載されている。しか
し、隔壁形成方法については限定的な記載にとどまり、
必ずしも良い選択肢が与えられていない。
高めることが可能なプラズマディスプレイパネルの隔壁
形状に関する発明がなされている。たとえば、特開平１
０−３２１１４８には、隔壁とともに補助隔壁を設けた
プラズマディスプレイパネルが記載されている。しか
し、隔壁形成方法については限定的な記載にとどまり、
必ずしも良い選択肢が与えられていない。
【０００７】本発明は上記の課題を解決するためになさ
れたものであり、その目的は、蛍光面を発光させた場合
の輝度を高めることが可能な隔壁形状を有し、しかも、
その隔壁を形成する上での制約が小さく、ＰＤＰの放電
空間を排気する場合の排気効率が良くなるプラズマディ
スプレイパネルおよび隔壁形成方法を提供することにあ
る。
れたものであり、その目的は、蛍光面を発光させた場合
の輝度を高めることが可能な隔壁形状を有し、しかも、
その隔壁を形成する上での制約が小さく、ＰＤＰの放電
空間を排気する場合の排気効率が良くなるプラズマディ
スプレイパネルおよび隔壁形成方法を提供することにあ
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記の目的は下記の本発
明によって達成される。すなわち、本発明の請求項１に
係るプラズマディスプレイパネルは、基板の表面に形成
された隔壁の下層部分と、その下層部分の上に形成され
た隔壁の上層部分とから成る上下２層構造の隔壁を有
し、前記下層部分はアドレス電極と平行方向の縦隔壁の
下層部分とバス電極と平行方向の横隔壁の全体とから成
り、前記上層部分はアドレス電極と平行方向の縦隔壁の
上層部分から成る、ようにしたものである。本発明によ
れば、縦隔壁と横隔壁とから成る隔壁形状を有するから
蛍光面を発光させた場合の輝度を高めることが可能であ
る。しかも、下層部分と上層部分に分けて隔壁を形成す
るからその隔壁を形成する上での制約が小さい。また、
縦隔壁に比べ横隔壁の高さを低くしたからＰＤＰの放電
空間を排気する場合の排気効率が良くなる。
明によって達成される。すなわち、本発明の請求項１に
係るプラズマディスプレイパネルは、基板の表面に形成
された隔壁の下層部分と、その下層部分の上に形成され
た隔壁の上層部分とから成る上下２層構造の隔壁を有
し、前記下層部分はアドレス電極と平行方向の縦隔壁の
下層部分とバス電極と平行方向の横隔壁の全体とから成
り、前記上層部分はアドレス電極と平行方向の縦隔壁の
上層部分から成る、ようにしたものである。本発明によ
れば、縦隔壁と横隔壁とから成る隔壁形状を有するから
蛍光面を発光させた場合の輝度を高めることが可能であ
る。しかも、下層部分と上層部分に分けて隔壁を形成す
るからその隔壁を形成する上での制約が小さい。また、
縦隔壁に比べ横隔壁の高さを低くしたからＰＤＰの放電
空間を排気する場合の排気効率が良くなる。
【０００９】また本発明の請求項２に係るプラズマディ
スプレイパネルは、請求項１に係るプラズマディスプレ
イパネルにおいて、前記縦隔壁の下層部分の幅は、前記
縦隔壁の上層部分の幅より広幅であるようにしたもので
ある。本発明によれば、隔壁の下層部分の上に隔壁の上
層部分を形成する場合の位置合わせにおいて許容範囲が
広くなるから、隔壁形成を容易に行うことができ歩留ま
りが向上する。
スプレイパネルは、請求項１に係るプラズマディスプレ
イパネルにおいて、前記縦隔壁の下層部分の幅は、前記
縦隔壁の上層部分の幅より広幅であるようにしたもので
ある。本発明によれば、隔壁の下層部分の上に隔壁の上
層部分を形成する場合の位置合わせにおいて許容範囲が
広くなるから、隔壁形成を容易に行うことができ歩留ま
りが向上する。
【００１０】また本発明の請求項３に係る隔壁形成方法
は、基板に隔壁材料を全面塗工し第１隔壁材料層を形成
する第１塗工過程と、横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分
とを形成するためのマトリックスパターンを有する第１
レジストマスクを前記第１隔壁材料層の表面に形成する
第１レジストマスク形成過程と、前記第１レジストマス
クを介して前記基板に形成した前記第１隔壁材料層に対
してサンドブラスト処理を行う第１サンドブラスト処理
過程と、前記第１隔壁材料層の表面に形成した第１レジ
ストマスクを剥離する第１剥離過程と、前記サンドブラ
スト処理を行った第１隔壁材料層を焼成し横隔壁の全体
と縦隔壁の下層部分とを前記基板に形成する第１焼成過
程と、前記基板に隔壁材料を全面塗工し第２隔壁材料層
を形成する第２塗工過程と、縦隔壁の上層部分を形成す
るためのストライプパターンを有する第２レジストマス
クを前記第１隔壁材料層の表面に形成する第２レジスト
マスク形成過程と、前記第２レジストマスクを介して前
記基板に形成した前記第２壁材料層に対してサンドブラ
スト処理を行う第２サンドブラスト処理過程と、前記第
２壁材料層の表面に形成した第２レジストマスクを剥離
する第２離過程と、前記サンドブラスト処理を行った第
２壁材料層を焼成し縦隔壁の上層部分を前記縦隔壁の下
層部分の上に形成する第２焼成過程と、を有するように
したものである。本発明によれば、蛍光面を発光させた
場合の輝度を高めることが可能な隔壁形状を有し、しか
も、その隔壁を形成する上での制約が小さく、ＰＤＰの
放電空間を排気する場合の排気効率が良くなるプラズマ
ディスプレイパネルの隔壁形成方法が提供される。
は、基板に隔壁材料を全面塗工し第１隔壁材料層を形成
する第１塗工過程と、横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分
とを形成するためのマトリックスパターンを有する第１
レジストマスクを前記第１隔壁材料層の表面に形成する
第１レジストマスク形成過程と、前記第１レジストマス
クを介して前記基板に形成した前記第１隔壁材料層に対
してサンドブラスト処理を行う第１サンドブラスト処理
過程と、前記第１隔壁材料層の表面に形成した第１レジ
ストマスクを剥離する第１剥離過程と、前記サンドブラ
スト処理を行った第１隔壁材料層を焼成し横隔壁の全体
と縦隔壁の下層部分とを前記基板に形成する第１焼成過
程と、前記基板に隔壁材料を全面塗工し第２隔壁材料層
を形成する第２塗工過程と、縦隔壁の上層部分を形成す
るためのストライプパターンを有する第２レジストマス
クを前記第１隔壁材料層の表面に形成する第２レジスト
マスク形成過程と、前記第２レジストマスクを介して前
記基板に形成した前記第２壁材料層に対してサンドブラ
スト処理を行う第２サンドブラスト処理過程と、前記第
２壁材料層の表面に形成した第２レジストマスクを剥離
する第２離過程と、前記サンドブラスト処理を行った第
２壁材料層を焼成し縦隔壁の上層部分を前記縦隔壁の下
層部分の上に形成する第２焼成過程と、を有するように
したものである。本発明によれば、蛍光面を発光させた
場合の輝度を高めることが可能な隔壁形状を有し、しか
も、その隔壁を形成する上での制約が小さく、ＰＤＰの
放電空間を排気する場合の排気効率が良くなるプラズマ
ディスプレイパネルの隔壁形成方法が提供される。
【００１１】また本発明の請求項４に係る隔壁形成方法
は、基板に隔壁材料を全面塗工し第１隔壁材料層を形成
する第１塗工過程と、横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分
とを形成するためのマトリックスパターンを有する第１
レジストマスクを前記第１隔壁材料層の表面に形成する
第１レジストマスク形成過程と、前記第１レジストマス
クを介して前記基板に形成した前記第１隔壁材料層に対
してサンドブラスト処理を行いサンドブラスト処理済み
の横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分とを形成する第１サ
ンドブラスト処理過程と、前記第１隔壁材料層の表面に
形成した第１レジストマスクを剥離する第１剥離過程
と、縦隔壁の上層部分を形成するためのストライプパタ
ーンを有するスクリーン印刷版を用いて前記縦隔壁の下
層部分の上に隔壁材料を刷り重ね縦隔壁の上層部分を形
成するスクリーン印刷過程と、前記基板に形成した横隔
壁の全体と縦隔壁の下層部分と縦隔壁の上層部分とを焼
成し焼成済みの横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分と縦隔
壁の上層部分とを形成する焼成過程と、を有するように
したものである。本発明によれば、蛍光面を発光させた
場合の輝度を高めることが可能な隔壁形状を有し、しか
も、その隔壁を形成する上での制約が小さく、ＰＤＰの
放電空間を排気する場合の排気効率が良くなるプラズマ
ディスプレイパネルの隔壁形成方法が提供される。
は、基板に隔壁材料を全面塗工し第１隔壁材料層を形成
する第１塗工過程と、横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分
とを形成するためのマトリックスパターンを有する第１
レジストマスクを前記第１隔壁材料層の表面に形成する
第１レジストマスク形成過程と、前記第１レジストマス
クを介して前記基板に形成した前記第１隔壁材料層に対
してサンドブラスト処理を行いサンドブラスト処理済み
の横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分とを形成する第１サ
ンドブラスト処理過程と、前記第１隔壁材料層の表面に
形成した第１レジストマスクを剥離する第１剥離過程
と、縦隔壁の上層部分を形成するためのストライプパタ
ーンを有するスクリーン印刷版を用いて前記縦隔壁の下
層部分の上に隔壁材料を刷り重ね縦隔壁の上層部分を形
成するスクリーン印刷過程と、前記基板に形成した横隔
壁の全体と縦隔壁の下層部分と縦隔壁の上層部分とを焼
成し焼成済みの横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分と縦隔
壁の上層部分とを形成する焼成過程と、を有するように
したものである。本発明によれば、蛍光面を発光させた
場合の輝度を高めることが可能な隔壁形状を有し、しか
も、その隔壁を形成する上での制約が小さく、ＰＤＰの
放電空間を排気する場合の排気効率が良くなるプラズマ
ディスプレイパネルの隔壁形成方法が提供される。
【００１２】また本発明の請求項５に係る隔壁形成方法
は、請求項４に係る隔壁形成方法において、前記第１剥
離過程の後、かつ前記スクリーン印刷工程の前におい
て、前記サンドブラスト処理を行った第１隔壁材料層を
焼成し、焼成済みの横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分と
を前記基板に形成する焼成過程を有するようにしたもの
である。本発明によれば、横隔壁の全体と縦隔壁の下層
部分の形状が確定するから寸法精度が得られるととも
に、後工程における加工を容易にする。
は、請求項４に係る隔壁形成方法において、前記第１剥
離過程の後、かつ前記スクリーン印刷工程の前におい
て、前記サンドブラスト処理を行った第１隔壁材料層を
焼成し、焼成済みの横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分と
を前記基板に形成する焼成過程を有するようにしたもの
である。本発明によれば、横隔壁の全体と縦隔壁の下層
部分の形状が確定するから寸法精度が得られるととも
に、後工程における加工を容易にする。
【００１３】また本発明の請求項６に係る隔壁形成方法
は、横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分とを形成するため
のマトリックスパターンを有するスクリーン印刷版を用
いて隔壁材料を刷り重ね、基板に横隔壁の全体と縦隔壁
の下層部分とを形成する第１スクリーン印刷過程と、縦
隔壁の上層部分を形成するためのストライプパターンを
有するスクリーン印刷版を用いて前記縦隔壁の下層部分
の上に隔壁材料を刷り重ね縦隔壁の上層部分を形成する
第２スクリーン印刷過程と、前記基板に形成した横隔壁
の全体と縦隔壁の下層部分と縦隔壁の上層部分とを焼成
し、焼成済みの横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分と縦隔
壁の上層部分とを形成する焼成過程と、を有するように
したものである。本発明によれば、蛍光面を発光させた
場合の輝度を高めることが可能な隔壁形状を有し、しか
も、その隔壁を形成する上での制約が小さく、ＰＤＰの
放電空間を排気する場合の排気効率が良くなるプラズマ
ディスプレイパネルの隔壁形成方法が提供される。
は、横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分とを形成するため
のマトリックスパターンを有するスクリーン印刷版を用
いて隔壁材料を刷り重ね、基板に横隔壁の全体と縦隔壁
の下層部分とを形成する第１スクリーン印刷過程と、縦
隔壁の上層部分を形成するためのストライプパターンを
有するスクリーン印刷版を用いて前記縦隔壁の下層部分
の上に隔壁材料を刷り重ね縦隔壁の上層部分を形成する
第２スクリーン印刷過程と、前記基板に形成した横隔壁
の全体と縦隔壁の下層部分と縦隔壁の上層部分とを焼成
し、焼成済みの横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分と縦隔
壁の上層部分とを形成する焼成過程と、を有するように
したものである。本発明によれば、蛍光面を発光させた
場合の輝度を高めることが可能な隔壁形状を有し、しか
も、その隔壁を形成する上での制約が小さく、ＰＤＰの
放電空間を排気する場合の排気効率が良くなるプラズマ
ディスプレイパネルの隔壁形成方法が提供される。
【００１４】また本発明の請求項７に係る隔壁形成方法
は、請求項６記載の隔壁形成方法において、前記第１ス
クリーン印刷過程の後、かつ前記第２スクリーン印刷過
程の前において、前記基板に形成した横隔壁の全体と縦
隔壁の下層部分とを焼成し、焼成済みの横隔壁の全体と
縦隔壁の下層部分とを前記基板に形成する焼成過程を有
するようにしたものである。本発明によれば、横隔壁の
全体と縦隔壁の下層部分の形状が確定するから寸法精度
が得られるとともに、後工程における加工を容易にす
る。
は、請求項６記載の隔壁形成方法において、前記第１ス
クリーン印刷過程の後、かつ前記第２スクリーン印刷過
程の前において、前記基板に形成した横隔壁の全体と縦
隔壁の下層部分とを焼成し、焼成済みの横隔壁の全体と
縦隔壁の下層部分とを前記基板に形成する焼成過程を有
するようにしたものである。本発明によれば、横隔壁の
全体と縦隔壁の下層部分の形状が確定するから寸法精度
が得られるとともに、後工程における加工を容易にす
る。
【００１５】
【発明の実施の形態】次に、本発明について実施の形態
により説明する。まず、本発明のプラズマディスプレイ
パネルの隔壁形状について説明する。その隔壁形成方法
については後述することとする。本発明のプラズマディ
スプレイパネルの隔壁形状を図１に示す。図１におい
て、図１（Ａ）は斜視図、図１（Ｂ）は上面図、図１
（Ｃ）は側面図である。図１において、１１ａ，１１
ｂ，１１ｃは縦隔壁の下層部分、１２ａ，１２ｂ，１２
ｃは縦隔壁の上層部分、２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２
ｂは横隔壁である。背面板に形成する縦隔壁と横隔壁と
は、実際は多数が存在するのであるが一部だけが図１に
示されている。たとえば図１（Ａ）の斜視図においては
その内から３つの縦隔壁の下層部分１１ａ，１１ｂ，１
１ｃと３つの縦隔壁の上層部分１２ａ，１２ｂ，１２ｃ
と４つの横隔壁２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂだけを
代表して示してある。
により説明する。まず、本発明のプラズマディスプレイ
パネルの隔壁形状について説明する。その隔壁形成方法
については後述することとする。本発明のプラズマディ
スプレイパネルの隔壁形状を図１に示す。図１におい
て、図１（Ａ）は斜視図、図１（Ｂ）は上面図、図１
（Ｃ）は側面図である。図１において、１１ａ，１１
ｂ，１１ｃは縦隔壁の下層部分、１２ａ，１２ｂ，１２
ｃは縦隔壁の上層部分、２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２
ｂは横隔壁である。背面板に形成する縦隔壁と横隔壁と
は、実際は多数が存在するのであるが一部だけが図１に
示されている。たとえば図１（Ａ）の斜視図においては
その内から３つの縦隔壁の下層部分１１ａ，１１ｂ，１
１ｃと３つの縦隔壁の上層部分１２ａ，１２ｂ，１２ｃ
と４つの横隔壁２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂだけを
代表して示してある。
【００１６】図１に示すように、本発明のプラズマディ
スプレイパネルにおいて縦隔壁は下層部分１１ａ，１１
ｂ，１１ｃと上層部分１２ａ，１２ｂ，１２ｃの２層構
造となっている。また縦隔壁の下層部分１１ａ，１１
ｂ，１１ｃの幅は、縦隔壁の上層部分１２ａ，１２ｂ，
１２ｃの幅より広幅である。したがって、隔壁の下層部
分の上に隔壁の上層部分を形成する場合の位置合わせに
おいて許容範囲が広くなり、隔壁形成を容易に行うこと
ができ歩留まりが向上する。
スプレイパネルにおいて縦隔壁は下層部分１１ａ，１１
ｂ，１１ｃと上層部分１２ａ，１２ｂ，１２ｃの２層構
造となっている。また縦隔壁の下層部分１１ａ，１１
ｂ，１１ｃの幅は、縦隔壁の上層部分１２ａ，１２ｂ，
１２ｃの幅より広幅である。したがって、隔壁の下層部
分の上に隔壁の上層部分を形成する場合の位置合わせに
おいて許容範囲が広くなり、隔壁形成を容易に行うこと
ができ歩留まりが向上する。
【００１７】縦隔壁の下層部分１１ａ，１１ｂ，１１ｃ
と縦隔壁の上層部分１２ａ，１２ｂ，１２ｃはアドレス
電極と平行方向に背面板に形成される隔壁である。ま
た、横隔壁２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂはバス電極
と平行方向に背面板に形成される電極である。図１
（Ｃ）の断面図に示すように、縦隔壁の下層部分１１
ａ，１１ｂ，１１ｃと縦隔壁の上層部分１２ａ，１２
ｂ，１２ｃの断面形状は底辺が大きい矩形または台形と
なっている。図１には示されていないが、横隔壁２１
ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂも縦隔壁の下層部分１１
ａ，１１ｂ，１１ｃと縦隔壁の上層部分１２ａ，１２
ｂ，１２ｃと同様に断面形状は底辺が大きい矩形または
台形となっている。
と縦隔壁の上層部分１２ａ，１２ｂ，１２ｃはアドレス
電極と平行方向に背面板に形成される隔壁である。ま
た、横隔壁２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂはバス電極
と平行方向に背面板に形成される電極である。図１
（Ｃ）の断面図に示すように、縦隔壁の下層部分１１
ａ，１１ｂ，１１ｃと縦隔壁の上層部分１２ａ，１２
ｂ，１２ｃの断面形状は底辺が大きい矩形または台形と
なっている。図１には示されていないが、横隔壁２１
ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂも縦隔壁の下層部分１１
ａ，１１ｂ，１１ｃと縦隔壁の上層部分１２ａ，１２
ｂ，１２ｃと同様に断面形状は底辺が大きい矩形または
台形となっている。
【００１８】その形状により、横隔壁２１ａ，２１ｂ，
２２ａ，２２ｂの蛍光面が発光して放出される光線の
内、前面板に向かう光線の割合が増加し見掛けの輝度が
向上する。また、横隔壁２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２
ｂと背面板との広い結合面積を得ることができ、横隔壁
２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂだけでなく縦隔壁の下
層部分１１ａ，１１ｂ，１１ｃと縦隔壁の上層部分１２
ａ，１２ｂ，１２ｃを含めて全体の強度が得られる。そ
の結果、縦隔壁の下層部分１１ａ，１１ｂ，１１ｃと縦
隔壁の上層部分１２ａ，１２ｂ，１２ｃや横隔壁２１
ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂの幅を小さくすることがで
き、表示セル部における放電容積を大きくすることがで
き、放電効率を更によくすることができる。また、画素
ピッチを小さくすることができるから、高精細化が可能
である。
２２ａ，２２ｂの蛍光面が発光して放出される光線の
内、前面板に向かう光線の割合が増加し見掛けの輝度が
向上する。また、横隔壁２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２
ｂと背面板との広い結合面積を得ることができ、横隔壁
２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂだけでなく縦隔壁の下
層部分１１ａ，１１ｂ，１１ｃと縦隔壁の上層部分１２
ａ，１２ｂ，１２ｃを含めて全体の強度が得られる。そ
の結果、縦隔壁の下層部分１１ａ，１１ｂ，１１ｃと縦
隔壁の上層部分１２ａ，１２ｂ，１２ｃや横隔壁２１
ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂの幅を小さくすることがで
き、表示セル部における放電容積を大きくすることがで
き、放電効率を更によくすることができる。また、画素
ピッチを小さくすることができるから、高精細化が可能
である。
【００１９】また、図１（Ａ）の斜視図および図１
（Ｃ）の断面図に示すように、横隔壁２１ａ，２１ｂ，
２２ａ，２２ｂの高さは縦隔壁の下層部分１１ａ，１１
ｂ，１１ｃと同一の高さとなっている。たとえば、横隔
壁２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂの高さは縦隔壁の下
層部分１１ａ，１１ｂ，１１ｃと縦隔壁の上層部分１２
ａ，１２ｂ，１２ｃとを合わせた全体の高さの１／２〜
５／６の高さであるようにする。この横隔壁２１ａ，２
１ｂ，２２ａ，２２ｂの高さで前述と同様の作用を得る
ことができる。すなわち、蛍光面の発行面積が大きくな
り紫外線が効率よく蛍光面に作用するため輝度が高ま
る。また、横隔壁の２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂ高
さを縦隔壁の下層部分１１ａ，１１ｂ，１１ｃと同一の
高さとしたことにより、製造工程において蛍光面の形成
が容易となる。
（Ｃ）の断面図に示すように、横隔壁２１ａ，２１ｂ，
２２ａ，２２ｂの高さは縦隔壁の下層部分１１ａ，１１
ｂ，１１ｃと同一の高さとなっている。たとえば、横隔
壁２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂの高さは縦隔壁の下
層部分１１ａ，１１ｂ，１１ｃと縦隔壁の上層部分１２
ａ，１２ｂ，１２ｃとを合わせた全体の高さの１／２〜
５／６の高さであるようにする。この横隔壁２１ａ，２
１ｂ，２２ａ，２２ｂの高さで前述と同様の作用を得る
ことができる。すなわち、蛍光面の発行面積が大きくな
り紫外線が効率よく蛍光面に作用するため輝度が高ま
る。また、横隔壁の２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂ高
さを縦隔壁の下層部分１１ａ，１１ｂ，１１ｃと同一の
高さとしたことにより、製造工程において蛍光面の形成
が容易となる。
【００２０】また、横隔壁２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２
２ｂによりアドレス電極方向に隣接する表示セル部に対
して放電や、放電により発生した紫外線が漏洩すること
を防止することができる。すなわち、縦隔壁１ａ，１
ｂ，１ｃと横隔壁２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂと
は、アドレス電極とバス電極によって特定される放電空
間を他の放電空間から分離する。したがって、プラズマ
ディスプレイパネルの画質が向上する。
２ｂによりアドレス電極方向に隣接する表示セル部に対
して放電や、放電により発生した紫外線が漏洩すること
を防止することができる。すなわち、縦隔壁１ａ，１
ｂ，１ｃと横隔壁２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂと
は、アドレス電極とバス電極によって特定される放電空
間を他の放電空間から分離する。したがって、プラズマ
ディスプレイパネルの画質が向上する。
【００２１】次に、本発明におけるプラズマディスプレ
イパネルの隔壁形成方法（その１）について説明する。
本発明におけるプラズマディスプレイパネルの隔壁形成
方法（第１の隔壁形成方法：請求項３）を説明図として
図２に示す。図２において、左側の図はアドレス電極と
平行方向の断面図であり、右側の図はバス電極と平行方
向の断面図である。図２に示すように、まず基板１０１
に隔壁材料を全面塗工し第１隔壁材料層１０２を形成す
る（第１塗工過程Ｓ１１）。次に、横隔壁の全体と縦隔
壁の下層部分とを形成するためのマトリックスパターン
を有する第１レジストマスク１０３を第１隔壁材料層の
表面に形成する（第１レジストマスク形成過程Ｓ１
２）。
イパネルの隔壁形成方法（その１）について説明する。
本発明におけるプラズマディスプレイパネルの隔壁形成
方法（第１の隔壁形成方法：請求項３）を説明図として
図２に示す。図２において、左側の図はアドレス電極と
平行方向の断面図であり、右側の図はバス電極と平行方
向の断面図である。図２に示すように、まず基板１０１
に隔壁材料を全面塗工し第１隔壁材料層１０２を形成す
る（第１塗工過程Ｓ１１）。次に、横隔壁の全体と縦隔
壁の下層部分とを形成するためのマトリックスパターン
を有する第１レジストマスク１０３を第１隔壁材料層の
表面に形成する（第１レジストマスク形成過程Ｓ１
２）。
【００２２】次に、第１レジストマスク１０３を介して
基板１０１に形成した第１隔壁材料層１０２に対してサ
ンドブラスト処理を行う（第１サンドブラスト処理過程
Ｓ１３）。次に、第１隔壁材料層１０２の表面に形成し
た第１レジストマスク１０３を剥離する（第１剥離過程
Ｓ１４）。次に、サンドブラスト処理を行った第１隔壁
材料層１０２を焼成し横隔壁の全体１２２と縦隔壁の下
層部分１１１とを基板に形成する（第１焼成過程Ｓ１
５）。
基板１０１に形成した第１隔壁材料層１０２に対してサ
ンドブラスト処理を行う（第１サンドブラスト処理過程
Ｓ１３）。次に、第１隔壁材料層１０２の表面に形成し
た第１レジストマスク１０３を剥離する（第１剥離過程
Ｓ１４）。次に、サンドブラスト処理を行った第１隔壁
材料層１０２を焼成し横隔壁の全体１２２と縦隔壁の下
層部分１１１とを基板に形成する（第１焼成過程Ｓ１
５）。
【００２３】次に、横隔壁の全体１２２と縦隔壁の下層
部分１１１とを形成した基板１０１に隔壁材料を全面塗
工し第２隔壁材料層１０４を形成する（第２塗工過程Ｓ
１６）。次に、縦隔壁の上層部分を形成するためのスト
ライプパターンを有する第２レジストマスク１０５を第
２隔壁材料層１０４の表面に形成する（第２レジストマ
スク形成過程Ｓ１７）。次に、第２レジストマスク１０
５を介して第２壁材料層１０５に対してサンドブラスト
処理を行う（第２サンドブラスト処理過程Ｓ１８）。次
に、第２壁材料層１０４の表面に形成した第２レジスト
マスク１０５を剥離する（第２離過程Ｓ１９）。次に、
サンドブラスト処理を行った第２壁材料層１０４を焼成
し縦隔壁の上層部分１１２を縦隔壁の下層部分１１１の
上に形成する（第２焼成過程Ｓ２０）。
部分１１１とを形成した基板１０１に隔壁材料を全面塗
工し第２隔壁材料層１０４を形成する（第２塗工過程Ｓ
１６）。次に、縦隔壁の上層部分を形成するためのスト
ライプパターンを有する第２レジストマスク１０５を第
２隔壁材料層１０４の表面に形成する（第２レジストマ
スク形成過程Ｓ１７）。次に、第２レジストマスク１０
５を介して第２壁材料層１０５に対してサンドブラスト
処理を行う（第２サンドブラスト処理過程Ｓ１８）。次
に、第２壁材料層１０４の表面に形成した第２レジスト
マスク１０５を剥離する（第２離過程Ｓ１９）。次に、
サンドブラスト処理を行った第２壁材料層１０４を焼成
し縦隔壁の上層部分１１２を縦隔壁の下層部分１１１の
上に形成する（第２焼成過程Ｓ２０）。
【００２４】なお、第１レジストマスク形成過程Ｓ１２
と第１レジストマスク形成過程Ｓ１７は、隔壁材料層
（第１隔壁材料層１０２と第２隔壁材料層１０４）に対
して被膜形成性を有する印刷ペーストを用いて印刷によ
り隔壁材料層の表面に形成する過程とすることができ
る。また、第１レジストマスク形成過程Ｓ１２と第１レ
ジストマスク形成過程Ｓ１７は、隔壁材料層の表面にド
ライフィルムレジスト（ＤＦＲ；dry film resist）を
貼り付けるＤＦＲ貼付工程と、フォトマスクを介してド
ライフィルムレジストを露光する露光過程と、現像を行
いドライフィルムレジストにおいて隔壁となる部分を残
す現像過程とから成る過程とすることができる。
と第１レジストマスク形成過程Ｓ１７は、隔壁材料層
（第１隔壁材料層１０２と第２隔壁材料層１０４）に対
して被膜形成性を有する印刷ペーストを用いて印刷によ
り隔壁材料層の表面に形成する過程とすることができ
る。また、第１レジストマスク形成過程Ｓ１２と第１レ
ジストマスク形成過程Ｓ１７は、隔壁材料層の表面にド
ライフィルムレジスト（ＤＦＲ；dry film resist）を
貼り付けるＤＦＲ貼付工程と、フォトマスクを介してド
ライフィルムレジストを露光する露光過程と、現像を行
いドライフィルムレジストにおいて隔壁となる部分を残
す現像過程とから成る過程とすることができる。
【００２５】次に、本発明におけるプラズマディスプレ
イパネルの隔壁形成方法（その２）について説明する。
本発明におけるプラズマディスプレイパネルの隔壁形成
方法（第２の隔壁形成方法：請求項４、請求項５）を説
明図として図３に示す。図３において、左側の図はアド
レス電極と平行方向の断面図であり、右側の図はバス電
極と平行方向の断面図である。図３に示すように、ま
ず、基板２０１に隔壁材料を全面塗工し第１隔壁材料層
２０２を形成する（第１塗工過程Ｓ２１）。次に、横隔
壁の全体と縦隔壁の下層部分とを形成するためのマトリ
ックスパターンを有する第１レジストマスク２０３を第
１隔壁材料層２０２の表面に形成する（第１レジストマ
スク形成過程Ｓ２２）。
イパネルの隔壁形成方法（その２）について説明する。
本発明におけるプラズマディスプレイパネルの隔壁形成
方法（第２の隔壁形成方法：請求項４、請求項５）を説
明図として図３に示す。図３において、左側の図はアド
レス電極と平行方向の断面図であり、右側の図はバス電
極と平行方向の断面図である。図３に示すように、ま
ず、基板２０１に隔壁材料を全面塗工し第１隔壁材料層
２０２を形成する（第１塗工過程Ｓ２１）。次に、横隔
壁の全体と縦隔壁の下層部分とを形成するためのマトリ
ックスパターンを有する第１レジストマスク２０３を第
１隔壁材料層２０２の表面に形成する（第１レジストマ
スク形成過程Ｓ２２）。
【００２６】次に、第１レジストマスク２０３を介して
基板２０１に形成した第１隔壁材料層２０２に対してサ
ンドブラスト処理を行いサンドブラスト処理済みの横隔
壁の全体２２２と縦隔壁の下層部分２１１とを形成する
（第１サンドブラスト処理過程Ｓ２３）。次に、第１隔
壁材料層２０２の表面に形成した第１レジストマスク２
０３を剥離する（第１剥離過程Ｓ２４）。
基板２０１に形成した第１隔壁材料層２０２に対してサ
ンドブラスト処理を行いサンドブラスト処理済みの横隔
壁の全体２２２と縦隔壁の下層部分２１１とを形成する
（第１サンドブラスト処理過程Ｓ２３）。次に、第１隔
壁材料層２０２の表面に形成した第１レジストマスク２
０３を剥離する（第１剥離過程Ｓ２４）。
【００２７】次に、縦隔壁の上層部分を形成するための
ストライプパターンを有するスクリーン印刷版２０４を
用いて縦隔壁の下層部分２１１の上に隔壁材料を刷り重
ね縦隔壁の上層部分２１２を形成する（スクリーン印刷
過程Ｓ２５）。次に、基板２０１に形成した横隔壁の全
体２２２と縦隔壁の下層部分２１１と縦隔壁の上層部分
２１２とを焼成し焼成済みの横隔壁の全体２２２と縦隔
壁の下層部分２１１と縦隔壁の上層部分２１２を形成す
る（焼成過程Ｓ２５）。
ストライプパターンを有するスクリーン印刷版２０４を
用いて縦隔壁の下層部分２１１の上に隔壁材料を刷り重
ね縦隔壁の上層部分２１２を形成する（スクリーン印刷
過程Ｓ２５）。次に、基板２０１に形成した横隔壁の全
体２２２と縦隔壁の下層部分２１１と縦隔壁の上層部分
２１２とを焼成し焼成済みの横隔壁の全体２２２と縦隔
壁の下層部分２１１と縦隔壁の上層部分２１２を形成す
る（焼成過程Ｓ２５）。
【００２８】なお、上述において、第１剥離過程Ｓ２４
の後、かつスクリーン印刷工程Ｓ２５の前において、サ
ンドブラスト処理を行った第１隔壁材料層を焼成し、焼
成済みの横隔壁の全体２２２と縦隔壁の下層部分２１１
とを基板２０１に形成する焼成過程を設けることができ
る。そうすることにより、横隔壁の全体と縦隔壁の下層
部分の形状が確定するから寸法精度が得られるととも
に、後工程における加工が容易になる。
の後、かつスクリーン印刷工程Ｓ２５の前において、サ
ンドブラスト処理を行った第１隔壁材料層を焼成し、焼
成済みの横隔壁の全体２２２と縦隔壁の下層部分２１１
とを基板２０１に形成する焼成過程を設けることができ
る。そうすることにより、横隔壁の全体と縦隔壁の下層
部分の形状が確定するから寸法精度が得られるととも
に、後工程における加工が容易になる。
【００２９】また、第１レジストマスク形成過程Ｓ２２
は、第１隔壁材料層２０２に対して被膜形成性を有する
印刷ペーストを用いて印刷により第１隔壁材料層２０２
の表面に形成する過程とすることができる。また、第１
レジストマスク形成過程Ｓ２２は、第１隔壁材料層２０
２の表面にドライフィルムレジスト（ＤＦＲ；dry film
resist）を貼り付けるＤＦＲ貼付工程と、フォトマス
クを介してドライフィルムレジストを露光する露光過程
と、現像を行いドライフィルムレジストにおいて隔壁と
なる部分を残す現像過程とから成る過程とすることがで
きる。
は、第１隔壁材料層２０２に対して被膜形成性を有する
印刷ペーストを用いて印刷により第１隔壁材料層２０２
の表面に形成する過程とすることができる。また、第１
レジストマスク形成過程Ｓ２２は、第１隔壁材料層２０
２の表面にドライフィルムレジスト（ＤＦＲ；dry film
resist）を貼り付けるＤＦＲ貼付工程と、フォトマス
クを介してドライフィルムレジストを露光する露光過程
と、現像を行いドライフィルムレジストにおいて隔壁と
なる部分を残す現像過程とから成る過程とすることがで
きる。
【００３０】次に、本発明におけるプラズマディスプレ
イパネルの隔壁形成方法（その３）について説明する。
本発明におけるプラズマディスプレイパネルの隔壁形成
方法（第３の隔壁形成方法：請求項６、請求項７）を説
明図として図４に示す。図４において、左側の図はアド
レス電極と平行方向の断面図であり、右側の図はバス電
極と平行方向の断面図である。図４に示すように、ま
ず、横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分とを形成するため
のマトリックスパターンを有するスクリーン印刷版３０
２を用いて隔壁材料を刷り重ね、基板３０１に横隔壁の
全体３２２と縦隔壁の下層部分３１１とを形成する（第
１スクリーン印刷過程Ｓ３１）。
イパネルの隔壁形成方法（その３）について説明する。
本発明におけるプラズマディスプレイパネルの隔壁形成
方法（第３の隔壁形成方法：請求項６、請求項７）を説
明図として図４に示す。図４において、左側の図はアド
レス電極と平行方向の断面図であり、右側の図はバス電
極と平行方向の断面図である。図４に示すように、ま
ず、横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分とを形成するため
のマトリックスパターンを有するスクリーン印刷版３０
２を用いて隔壁材料を刷り重ね、基板３０１に横隔壁の
全体３２２と縦隔壁の下層部分３１１とを形成する（第
１スクリーン印刷過程Ｓ３１）。
【００３１】次に、縦隔壁の上層部分を形成するための
ストライプパターンを有するスクリーン印刷版３０３を
用いて縦隔壁の下層部分３１１の上に隔壁材料を刷り重
ね縦隔壁の上層部分３１２を形成する（第２スクリーン
印刷過程Ｓ３３）。次に、基板に形成した横隔壁の全体
３２２と縦隔壁の下層部分３１１と縦隔壁の上層部分３
１２とを焼成し、焼成済みの横隔壁の全体と縦隔壁の下
層部分と縦隔壁の上層部分を形成する（焼成過程Ｓ３
４）。
ストライプパターンを有するスクリーン印刷版３０３を
用いて縦隔壁の下層部分３１１の上に隔壁材料を刷り重
ね縦隔壁の上層部分３１２を形成する（第２スクリーン
印刷過程Ｓ３３）。次に、基板に形成した横隔壁の全体
３２２と縦隔壁の下層部分３１１と縦隔壁の上層部分３
１２とを焼成し、焼成済みの横隔壁の全体と縦隔壁の下
層部分と縦隔壁の上層部分を形成する（焼成過程Ｓ３
４）。
【００３２】なお、上述において、第１スクリーン印刷
過程Ｓ３１の後、かつ第２スクリーン印刷過程Ｓ３３の
前において、基板３０１に形成した横隔壁の全体３２２
と縦隔壁の下層部分３１１とを焼成し、焼成済みの横隔
壁の全体３２２と縦隔壁の下層部分３１１とを基板３０
１に形成する焼成過程Ｓ３２を設けることができる。そ
うすることにより、横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分の
形状が確定するから寸法精度が得られるとともに、後工
程における加工が容易になる。
過程Ｓ３１の後、かつ第２スクリーン印刷過程Ｓ３３の
前において、基板３０１に形成した横隔壁の全体３２２
と縦隔壁の下層部分３１１とを焼成し、焼成済みの横隔
壁の全体３２２と縦隔壁の下層部分３１１とを基板３０
１に形成する焼成過程Ｓ３２を設けることができる。そ
うすることにより、横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分の
形状が確定するから寸法精度が得られるとともに、後工
程における加工が容易になる。
【００３３】次に、本発明におけるプラズマディスプレ
イパネルの隔壁形成方法（その４）について説明する。
本発明におけるプラズマディスプレイパネルの隔壁形成
方法（第４の隔壁形成方法）を説明図として図５に示
す。図５において、左側の図はアドレス電極と平行方向
の断面図であり、右側の図はバス電極と平行方向の断面
図である。図５に示すように、まず、基板４０１の表面
にドライフィルムレジスト（ＤＦＲ；dry film resis
t）４０２を貼り付ける（第１ＤＦＲ貼付工程Ｓ４
１）。
イパネルの隔壁形成方法（その４）について説明する。
本発明におけるプラズマディスプレイパネルの隔壁形成
方法（第４の隔壁形成方法）を説明図として図５に示
す。図５において、左側の図はアドレス電極と平行方向
の断面図であり、右側の図はバス電極と平行方向の断面
図である。図５に示すように、まず、基板４０１の表面
にドライフィルムレジスト（ＤＦＲ；dry film resis
t）４０２を貼り付ける（第１ＤＦＲ貼付工程Ｓ４
１）。
【００３４】次に、フォトマスクを介して横隔壁の全体
と縦隔壁の下層部分とを形成するためのマトリックスパ
ターンを有するフォトマスクを介してドライフィルムレ
ジスト４０２を露光する（第１露光過程Ｓ４２）。次
に、現像を行いドライフィルムレジスト４０２において
隔壁となる部分４０３を除去する（第１現像過程Ｓ４
３）。次に、その現像済みのドライフィルムレジスト４
０２の現像によって除去した隔壁となる部分（空間）４
０３に隔壁材料（ペースト）４０４を充填する（第１充
填過程Ｓ４４）。
と縦隔壁の下層部分とを形成するためのマトリックスパ
ターンを有するフォトマスクを介してドライフィルムレ
ジスト４０２を露光する（第１露光過程Ｓ４２）。次
に、現像を行いドライフィルムレジスト４０２において
隔壁となる部分４０３を除去する（第１現像過程Ｓ４
３）。次に、その現像済みのドライフィルムレジスト４
０２の現像によって除去した隔壁となる部分（空間）４
０３に隔壁材料（ペースト）４０４を充填する（第１充
填過程Ｓ４４）。
【００３５】次に、隔壁材料４０４を充填したドライフ
ィルムレジスト４０２の表面にドライフィルムレジスト
４０５を貼り付ける（第２ＤＦＲ貼付工程Ｓ４５）。次
に、フォトマスクを介して縦隔壁の上層部分を形成する
ためのストライプパターンを有するフォトマスクを介し
てドライフィルムレジスト４０５を露光する（第２露光
過程Ｓ４６）。次に、現像を行いドライフィルムレジス
ト４０５において隔壁となる部分（縦隔壁の上層部分）
を除去する（第２現像過程Ｓ４７）。
ィルムレジスト４０２の表面にドライフィルムレジスト
４０５を貼り付ける（第２ＤＦＲ貼付工程Ｓ４５）。次
に、フォトマスクを介して縦隔壁の上層部分を形成する
ためのストライプパターンを有するフォトマスクを介し
てドライフィルムレジスト４０５を露光する（第２露光
過程Ｓ４６）。次に、現像を行いドライフィルムレジス
ト４０５において隔壁となる部分（縦隔壁の上層部分）
を除去する（第２現像過程Ｓ４７）。
【００３６】次に、その現像済みのドライフィルムレジ
スト４０５の現像によって除去した隔壁となる部分（空
間）に隔壁材料（ペースト）４０６を充填する（第２充
填過程Ｓ４８）。次に、ドライフィルムレジスト４０２
とドライフィルムレジスト４０５を剥離し、さらに焼成
を行って、焼成済みの横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分
と縦隔壁の上層部分とを基板４０１に形成する（焼成過
程Ｓ４９）。
スト４０５の現像によって除去した隔壁となる部分（空
間）に隔壁材料（ペースト）４０６を充填する（第２充
填過程Ｓ４８）。次に、ドライフィルムレジスト４０２
とドライフィルムレジスト４０５を剥離し、さらに焼成
を行って、焼成済みの横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分
と縦隔壁の上層部分とを基板４０１に形成する（焼成過
程Ｓ４９）。
【００３７】次に、本発明におけるプラズマディスプレ
イパネルの隔壁形成方法（その５）について説明する。
本発明におけるプラズマディスプレイパネルの隔壁形成
方法（第５の隔壁形成方法）を説明図として図６に示
す。図６において左側の図はアドレス電極と平行方向の
断面図であり、右側の図はバス電極と平行方向の断面図
である。図６に示すように、まず、基板５０１に隔壁材
料を全面塗工し第１隔壁材料層５０２を形成する（第１
塗工過程Ｓ５１）。次に、横隔壁の全体と縦隔壁の下層
部分とを形成するためのマトリックスパターンを有する
第１レジストマスク５０３を第１隔壁材料層５０２の表
面に形成する（第１レジストマスク形成過程Ｓ５２）。
イパネルの隔壁形成方法（その５）について説明する。
本発明におけるプラズマディスプレイパネルの隔壁形成
方法（第５の隔壁形成方法）を説明図として図６に示
す。図６において左側の図はアドレス電極と平行方向の
断面図であり、右側の図はバス電極と平行方向の断面図
である。図６に示すように、まず、基板５０１に隔壁材
料を全面塗工し第１隔壁材料層５０２を形成する（第１
塗工過程Ｓ５１）。次に、横隔壁の全体と縦隔壁の下層
部分とを形成するためのマトリックスパターンを有する
第１レジストマスク５０３を第１隔壁材料層５０２の表
面に形成する（第１レジストマスク形成過程Ｓ５２）。
【００３８】次に、第１レジストマスク５０３を介して
基板５０１に形成した第１隔壁材料層５０２に対してサ
ンドブラスト処理を行いサンドブラスト処理済みの横隔
壁の全体５２２と縦隔壁の下層部分５１１とを形成する
（第１サンドブラスト処理過程Ｓ５３）。次に、第１隔
壁材料層５０２の表面に形成した第１レジストマスク５
０３を剥離する（第１剥離過程Ｓ５４）。次に、これを
焼成し、焼成済みの横隔壁の全体５２２と縦隔壁の下層
部分５１１とを基板５０１に形成する（第１焼成過程Ｓ
５５）。
基板５０１に形成した第１隔壁材料層５０２に対してサ
ンドブラスト処理を行いサンドブラスト処理済みの横隔
壁の全体５２２と縦隔壁の下層部分５１１とを形成する
（第１サンドブラスト処理過程Ｓ５３）。次に、第１隔
壁材料層５０２の表面に形成した第１レジストマスク５
０３を剥離する（第１剥離過程Ｓ５４）。次に、これを
焼成し、焼成済みの横隔壁の全体５２２と縦隔壁の下層
部分５１１とを基板５０１に形成する（第１焼成過程Ｓ
５５）。
【００３９】次に、基板５０１に形成した焼成済みの横
隔壁の全体５２２と縦隔壁の下層部分５１１の表面にド
ライフィルムレジスト５０５を貼り付ける（ＤＦＲ貼付
工程Ｓ５６）。次に、フォトマスクを介して縦隔壁の上
層部分を形成するためのストライプパターンを有するフ
ォトマスクを介してドライフィルムレジスト４０５を露
光し、現像を行いドライフィルムレジスト５０５におい
て隔壁となる部分（縦隔壁の上層部分）を除去する（露
光現像過程Ｓ５７）。
隔壁の全体５２２と縦隔壁の下層部分５１１の表面にド
ライフィルムレジスト５０５を貼り付ける（ＤＦＲ貼付
工程Ｓ５６）。次に、フォトマスクを介して縦隔壁の上
層部分を形成するためのストライプパターンを有するフ
ォトマスクを介してドライフィルムレジスト４０５を露
光し、現像を行いドライフィルムレジスト５０５におい
て隔壁となる部分（縦隔壁の上層部分）を除去する（露
光現像過程Ｓ５７）。
【００４０】次に、その現像済みのドライフィルムレジ
スト５０５の現像によって除去した隔壁となる部分（空
間）に隔壁材料（ペースト）５０６を充填する（充填過
程Ｓ５８）。次に、ドライフィルムレジスト５０５を剥
離し、焼成を行って焼成済みの横隔壁の全体５２２と縦
隔壁の下層部分５１１と縦隔壁の上層部分５１２とを基
板５０１に形成する（剥離焼成過程Ｓ５９）。
スト５０５の現像によって除去した隔壁となる部分（空
間）に隔壁材料（ペースト）５０６を充填する（充填過
程Ｓ５８）。次に、ドライフィルムレジスト５０５を剥
離し、焼成を行って焼成済みの横隔壁の全体５２２と縦
隔壁の下層部分５１１と縦隔壁の上層部分５１２とを基
板５０１に形成する（剥離焼成過程Ｓ５９）。
【００４１】
【発明の効果】以上のように、本発明の請求項１に係る
プラズマディスプレイパネルによれば、蛍光面を発光さ
せた場合の輝度を高めることが可能で、しかもその隔壁
を形成する上での制約が小さく、ＰＤＰの放電空間を排
気する場合の排気効率が良くなる。また本発明の請求項
２に係るプラズマディスプレイパネルによれば、隔壁形
成が容易で歩留まりが向上する。
プラズマディスプレイパネルによれば、蛍光面を発光さ
せた場合の輝度を高めることが可能で、しかもその隔壁
を形成する上での制約が小さく、ＰＤＰの放電空間を排
気する場合の排気効率が良くなる。また本発明の請求項
２に係るプラズマディスプレイパネルによれば、隔壁形
成が容易で歩留まりが向上する。
【００４２】また本発明の請求項３に係る隔壁形成方法
によれば、蛍光面を発光させた場合の輝度を高めること
が可能な隔壁形状を有し、しかも、その隔壁を形成する
上での制約が小さく、ＰＤＰの放電空間を排気する場合
の排気効率が良くなるプラズマディスプレイパネルの隔
壁形成方法が提供される。
によれば、蛍光面を発光させた場合の輝度を高めること
が可能な隔壁形状を有し、しかも、その隔壁を形成する
上での制約が小さく、ＰＤＰの放電空間を排気する場合
の排気効率が良くなるプラズマディスプレイパネルの隔
壁形成方法が提供される。
【００４３】また本発明の請求項４に係る隔壁形成方法
によれば、蛍光面を発光させた場合の輝度を高めること
が可能な隔壁形状を有し、しかも、その隔壁を形成する
上での制約が小さく、ＰＤＰの放電空間を排気する場合
の排気効率が良くなるプラズマディスプレイパネルの隔
壁形成方法が提供される。また本発明の請求項５に係る
隔壁形成方法によれば、横隔壁の全体と縦隔壁の下層部
分の形状が確定し寸法精度が得られるとともに、後工程
における加工が容易である。
によれば、蛍光面を発光させた場合の輝度を高めること
が可能な隔壁形状を有し、しかも、その隔壁を形成する
上での制約が小さく、ＰＤＰの放電空間を排気する場合
の排気効率が良くなるプラズマディスプレイパネルの隔
壁形成方法が提供される。また本発明の請求項５に係る
隔壁形成方法によれば、横隔壁の全体と縦隔壁の下層部
分の形状が確定し寸法精度が得られるとともに、後工程
における加工が容易である。
【００４４】また本発明の請求項６に係る隔壁形成方法
によれば、蛍光面を発光させた場合の輝度を高めること
が可能な隔壁形状を有し、しかも、その隔壁を形成する
上での制約が小さく、ＰＤＰの放電空間を排気する場合
の排気効率が良くなるプラズマディスプレイパネルの隔
壁形成方法が提供される。また本発明の請求項７に係る
隔壁形成方法によれば、横隔壁の全体と縦隔壁の下層部
分の形状が確定し寸法精度が得られるとともに、後工程
における加工が容易である。
によれば、蛍光面を発光させた場合の輝度を高めること
が可能な隔壁形状を有し、しかも、その隔壁を形成する
上での制約が小さく、ＰＤＰの放電空間を排気する場合
の排気効率が良くなるプラズマディスプレイパネルの隔
壁形成方法が提供される。また本発明の請求項７に係る
隔壁形成方法によれば、横隔壁の全体と縦隔壁の下層部
分の形状が確定し寸法精度が得られるとともに、後工程
における加工が容易である。
【図１】本発明のプラズマディスプレイパネルの隔壁形
状を示す図である。
状を示す図である。
【図２】本発明におけるプラズマディスプレイパネルの
隔壁形成方法（第１の隔壁形成方法：請求項３）を説明
図として示す図である。
隔壁形成方法（第１の隔壁形成方法：請求項３）を説明
図として示す図である。
【図３】本発明におけるプラズマディスプレイパネルの
隔壁形成方法（第２の隔壁形成方法：請求項４、請求項
５）を説明図として示す図である。
隔壁形成方法（第２の隔壁形成方法：請求項４、請求項
５）を説明図として示す図である。
【図４】本発明におけるプラズマディスプレイパネルの
隔壁形成方法（第３の隔壁形成方法：請求項６、請求項
７）を説明図として示す図である。
隔壁形成方法（第３の隔壁形成方法：請求項６、請求項
７）を説明図として示す図である。
【図５】本発明におけるプラズマディスプレイパネルの
隔壁形成方法（第４の隔壁形成方法）を説明図として示
す図である。
隔壁形成方法（第４の隔壁形成方法）を説明図として示
す図である。
【図６】本発明におけるプラズマディスプレイパネルの
隔壁形成方法（第５の隔壁形成方法）を説明図として示
す図である。
隔壁形成方法（第５の隔壁形成方法）を説明図として示
す図である。
【図７】ＡＣ型プラズマディスプレイパネルの説明図
（その１）である。
（その１）である。
【図８】ＡＣ型プラズマディスプレイパネルの説明図
（その２）である。
（その２）である。
１１ａ，１１ｂ，１１ｃ 縦隔壁の下層部分 １２ａ，１２ｂ，１１ｃ 縦隔壁の上層部分 ２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂ 横隔壁 １０１，２０１，３０１，４０１、５０１ 基板 １０２，２０２、５０２ 第１隔壁材料層 １０３，２０３、５０３ 第１レジストマスク １２２，２２２，３２２，５２２ 横隔壁の全体 １１１，２１１，３１１，５１１ 縦隔壁の下層部分 １０４ 第２隔壁材料層 １０５ 第２レジストマスク １１２，２１２，３１２，５１２ 縦隔壁の上層部分 ２０４，３０３ スクリーン印刷版（ストライプパター
ン） ３０２ スクリーン印刷版（マトリックスパターン） ４０２、４０５，５０５ ドライフィルムレジスト ４０３ 隔壁となる部分 ４０４、４０６ 隔壁材料 ８０１ 前面板 ８０２ 背面板 ８０３ セル障壁 ８０４ 維持電極 ８０５ バス電極 ８０６，８０６’ 誘電体層 ８０７ ＭｇＯ層 ８０８ アドレス電極 ８０９ 蛍光面 ８１０ 下地層
ン） ３０２ スクリーン印刷版（マトリックスパターン） ４０２、４０５，５０５ ドライフィルムレジスト ４０３ 隔壁となる部分 ４０４、４０６ 隔壁材料 ８０１ 前面板 ８０２ 背面板 ８０３ セル障壁 ８０４ 維持電極 ８０５ バス電極 ８０６，８０６’ 誘電体層 ８０７ ＭｇＯ層 ８０８ アドレス電極 ８０９ 蛍光面 ８１０ 下地層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 太田 範雄 東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内 Ｆターム(参考） 5C027 AA09 5C040 GF03 GF04 GF13 GF14 GF19 JA12 JA15 JA17 JA21 LA12 MA03 MA22 MA26
Claims (7)
- 【請求項１】基板の表面に形成された隔壁の下層部分
と、その下層部分の上に形成された隔壁の上層部分とか
ら成る上下２層構造の隔壁を有し、 前記下層部分はアドレス電極と平行方向の縦隔壁の下層
部分とバス電極と平行方向の横隔壁の全体とから成り、 前記上層部分はアドレス電極と平行方向の縦隔壁の上層
部分から成る、 ことを特徴とするプラズマディスプレイパネル。 - 【請求項２】請求項１記載のプラズマディスプレイパネ
ルにおいて、前記縦隔壁の下層部分の幅は、前記縦隔壁
の上層部分の幅より広幅であることを特長とするプラズ
マディスプレイパネル。 - 【請求項３】基板に隔壁材料を全面塗工し第１隔壁材料
層を形成する第１塗工過程と、 横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分とを形成するためのマ
トリックスパターンを有する第１レジストマスクを前記
第１隔壁材料層の表面に形成する第１レジストマスク形
成過程と、 前記第１レジストマスクを介して前記基板に形成した前
記第１隔壁材料層に対してサンドブラスト処理を行う第
１サンドブラスト処理過程と、 前記第１隔壁材料層の表面に形成した第１レジストマス
クを剥離する第１剥離過程と、 前記サンドブラスト処理を行った第１隔壁材料層を焼成
し横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分とを前記基板に形成
する第１焼成過程と、 前記基板に隔壁材料を全面塗工し第２隔壁材料層を形成
する第２塗工過程と、 縦隔壁の上層部分を形成するためのストライプパターン
を有する第２レジストマスクを前記第１隔壁材料層の表
面に形成する第２レジストマスク形成過程と、 前記第２レジストマスクを介して前記基板に形成した前
記第２壁材料層に対してサンドブラスト処理を行う第２
サンドブラスト処理過程と、 前記第２壁材料層の表面に形成した第２レジストマスク
を剥離する第２離過程と、 前記サンドブラスト処理を行った第２壁材料層を焼成し
縦隔壁の上層部分を前記縦隔壁の下層部分の上に形成す
る第２焼成過程と、 を有することを特徴とするプラズマディスプレイパネル
の隔壁形成方法。 - 【請求項４】基板に隔壁材料を全面塗工し第１隔壁材料
層を形成する第１塗工過程と、 横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分とを形成するためのマ
トリックスパターンを有する第１レジストマスクを前記
第１隔壁材料層の表面に形成する第１レジストマスク形
成過程と、 前記第１レジストマスクを介して前記基板に形成した前
記第１隔壁材料層に対してサンドブラスト処理を行いサ
ンドブラスト処理済みの横隔壁の全体と縦隔壁の下層部
分とを形成する第１サンドブラスト処理過程と、 前記第１隔壁材料層の表面に形成した第１レジストマス
クを剥離する第１剥離過程と、 縦隔壁の上層部分を形成するためのストライプパターン
を有するスクリーン印刷版を用いて前記縦隔壁の下層部
分の上に隔壁材料を刷り重ね縦隔壁の上層部分を形成す
るスクリーン印刷過程と、 前記基板に形成した横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分と
縦隔壁の上層部分とを焼成し焼成済みの横隔壁の全体と
縦隔壁の下層部分と縦隔壁の上層部分とを形成する焼成
過程と、 を有することを特徴とするプラズマディスプレイパネル
の隔壁形成方法。 - 【請求項５】請求項４記載の隔壁形成方法において、前
記第１剥離過程の後、かつ前記スクリーン印刷工程の前
において、前記サンドブラスト処理を行った第１隔壁材
料層を焼成し、焼成済みの横隔壁の全体と縦隔壁の下層
部分とを前記基板に形成する焼成過程を有することを特
徴とするプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法。 - 【請求項６】横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分とを形成
するためのマトリックスパターンを有するスクリーン印
刷版を用いて隔壁材料を刷り重ね、基板に横隔壁の全体
と縦隔壁の下層部分とを形成する第１スクリーン印刷過
程と、 縦隔壁の上層部分を形成するためのストライプパターン
を有するスクリーン印刷版を用いて前記縦隔壁の下層部
分の上に隔壁材料を刷り重ね縦隔壁の上層部分を形成す
る第２スクリーン印刷過程と、 前記基板に形成した横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分と
縦隔壁の上層部分とを焼成し、焼成済みの横隔壁の全体
と縦隔壁の下層部分と縦隔壁の上層部分とを形成する焼
成過程と、 を有することを特徴とするプラズマディスプレイパネル
の隔壁形成方法。 - 【請求項７】請求項６記載の隔壁形成方法において、前
記第１スクリーン印刷過程の後、かつ前記第２スクリー
ン印刷過程の前において、前記基板に形成した横隔壁の
全体と縦隔壁の下層部分とを焼成し、焼成済みの横隔壁
の全体と縦隔壁の下層部分とを前記基板に形成する焼成
過程を有することを特徴とするプラズマディスプレイパ
ネルの隔壁形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29298899A JP2001118512A (ja) | 1999-10-14 | 1999-10-14 | プラズマディスプレイパネルおよび隔壁形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29298899A JP2001118512A (ja) | 1999-10-14 | 1999-10-14 | プラズマディスプレイパネルおよび隔壁形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001118512A true JP2001118512A (ja) | 2001-04-27 |
Family
ID=17789028
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29298899A Pending JP2001118512A (ja) | 1999-10-14 | 1999-10-14 | プラズマディスプレイパネルおよび隔壁形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001118512A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100471980B1 (ko) * | 2002-06-28 | 2005-03-10 | 삼성에스디아이 주식회사 | 격벽이 내장된 플라즈마 디스플레이 패널 및 이 격벽의제조 방법 |
| KR100499760B1 (ko) * | 2001-10-22 | 2005-07-07 | 파이오니아 플라즈마 디스플레이 가부시키가이샤 | 멀티갭마스크, 그 제조방법 및 이를 이용하여 구성부품을제조하는 방법 |
| US7037159B2 (en) * | 2000-07-14 | 2006-05-02 | Au Optronics Corp. | Plasma display panel and the manufacturing method thereof |
| KR100603283B1 (ko) * | 2002-07-31 | 2006-07-20 | 삼성에스디아이 주식회사 | 플라즈마 디스플레이 패널 |
| JP2007115569A (ja) * | 2005-10-21 | 2007-05-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマディスプレイパネル |
| KR100863903B1 (ko) | 2006-10-27 | 2008-10-16 | 삼성에스디아이 주식회사 | 플라즈마 디스플레이 패널 |
| JP2009231280A (ja) * | 2008-02-28 | 2009-10-08 | Toray Ind Inc | プラズマディスプレイパネル用部材およびその製造方法 |
| JP2010049962A (ja) * | 2008-08-22 | 2010-03-04 | Panasonic Corp | プラズマディスプレイパネル |
| EP2362409A2 (en) | 2010-02-25 | 2011-08-31 | Canon Kabushiki Kaisha | Light emitting substrate, manufacturing method thereof, and image display apparatus having the light emitting substrate |
-
1999
- 1999-10-14 JP JP29298899A patent/JP2001118512A/ja active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7037159B2 (en) * | 2000-07-14 | 2006-05-02 | Au Optronics Corp. | Plasma display panel and the manufacturing method thereof |
| US7361072B2 (en) | 2000-07-14 | 2008-04-22 | Au Optronics Corporation | Plasma display panel and the manufacturing method thereof |
| US8025543B2 (en) | 2000-07-14 | 2011-09-27 | Au Optronics Corporation | Method of manufacturing a partition wall structure on a plasma display panel |
| KR100499760B1 (ko) * | 2001-10-22 | 2005-07-07 | 파이오니아 플라즈마 디스플레이 가부시키가이샤 | 멀티갭마스크, 그 제조방법 및 이를 이용하여 구성부품을제조하는 방법 |
| KR100471980B1 (ko) * | 2002-06-28 | 2005-03-10 | 삼성에스디아이 주식회사 | 격벽이 내장된 플라즈마 디스플레이 패널 및 이 격벽의제조 방법 |
| KR100603283B1 (ko) * | 2002-07-31 | 2006-07-20 | 삼성에스디아이 주식회사 | 플라즈마 디스플레이 패널 |
| JP2007115569A (ja) * | 2005-10-21 | 2007-05-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマディスプレイパネル |
| KR100863903B1 (ko) | 2006-10-27 | 2008-10-16 | 삼성에스디아이 주식회사 | 플라즈마 디스플레이 패널 |
| JP2009231280A (ja) * | 2008-02-28 | 2009-10-08 | Toray Ind Inc | プラズマディスプレイパネル用部材およびその製造方法 |
| JP2010049962A (ja) * | 2008-08-22 | 2010-03-04 | Panasonic Corp | プラズマディスプレイパネル |
| EP2362409A2 (en) | 2010-02-25 | 2011-08-31 | Canon Kabushiki Kaisha | Light emitting substrate, manufacturing method thereof, and image display apparatus having the light emitting substrate |
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