JP2001081211A - ポリイミドフィルムとその製造方法およびポリイミドフィルムロール - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】巻き姿が良好で加工特性、生産性に優れたポリ
イミドフィルムを提供することにある。 【解決手段】フィルム幅方向（ＴＤ）の厚みムラが３．
０％以下で、かつフィルム長手方向（ＭＤ）におよそ１
０ｍおきに測定したＴＤ方向の厚みを積層し、平均化す
ることによって得られるフィルム幅方向の厚みプロファ
イルの最大厚みと最小厚みの差が、フィルム平均厚みの
２．０％以下であり、かつＴＤ方向のヤング率が３４０
kg/mm²以上、ＴＤ方向の５％延伸強度（Ｆ−５）が１０
kg/mm²以上であって、ＭＤ方向フィルム長さ６．５ｍで
の片伸びが９mm以下であることを特徴とするポリイミド
フィルム。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、厚みが均一で、か
つロール状に巻き取った際の巻き姿が良好なポリイミド
フィルムとその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】ポリイミドフィルムは耐熱性、耐薬品
性、寸法安定性、電気絶縁性に優れておりフィルムプリ
ント基板やＴＡＢなどのベースフィルムとして利用され
ている。フィルムプリント基板として用いられる際に
は、ポリイミドフィルムは接着剤を介して銅板と張り合
わせて利用されるが、このときフィルムに厚みムラが存
在すると接着剤塗工時に塗工むらが発生し、製品の歩留
まりを著しく低下させてしまう。フィルムの厚みムラに
関しては、ポリイミドフィルムに限らず、あらゆる種類
のフイルムを製品として２次加工する際に問題となって
いるため厚みムラ低減のためにこれまで様々な工夫がな
されてきた。フィルムの厚みムラは、フィルムを製膜す
る際に発生するものと、フィルムを巻き取った後に生じ
る応力によって塑性変形を起こすことによって発生する
ものの２種類に分けられる。前者に対しては、製品フィ
ルムの厚み測定結果を口金の間隙調整装置にフィードバ
ックし、製品フィルムの厚みを一定にする方法が一般的
である。それ以外にはたとえば、溶融押し出ししたフィ
ルムをテンター法によって２軸延伸する際に延伸部また
は予熱部に通常の加熱以外にフィルムの幅方向に任意の
速度で走行する加熱装置または冷却装置を取り付けてこ
の装置から温度の異なった空気を吹き出させてフィルム
幅方向の任意の位置に不規則な厚みムラを発生させたの
ち延伸することによりフィルム厚みムラを低減させ巻き
姿を改善する方法（特開昭５５−６５５２２）、ポリマ
ーが口金を出た際にスリット状吹き出し口から気体を左
右変動状かつ不均一に吹き付けることにより厚みムラを
低減させ巻き姿を改善する方法（特開昭６３−２４２５
１６）、シート状ポリマーがキャスティングドラム面か
ら離脱する位置でフィルムの特定面の温度が所定の温度
範囲になるように制御することにより厚みムラを低減さ
せ巻き姿を改善する方法（特開昭５３−１０１０５９）
等が知られている。また後者に対しては、厚みムラを分
散させて巻き取るために、巻き取り機各部において揺動
（トラバース）を実施してフィルム耳部をずらして巻き
取る方法、タッチロールワインディング方式を用いて低
張力で高タッチ圧巻き取りを達成し、巻き姿のよいフィ
ルムロールを得る方法、等が広く一般的に知られてい
る。それ以外には、フィルムの巻き終わりロールの特定
部分に張力を加えて、巻き姿の良好な状態を保持する方
法（特開昭５０−２０１７４）、タッチロールの上流側
でかつフィルム端部の位置にフィルム上昇装置をとりつ
けてロールセンターからのエアー抜けをよくしてシワの
発生を防ぎ、巻き姿を改善する方法（特開平０８−２２
５１９９）等が知られていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これら
の方法を用いてフィルム自体のもつ厚みムラを低減させ
ても、ロール状に巻き取った場合には、わずかな厚みム
ラが積層されてゆくことによって巻き姿が悪化してしま
い、巻き姿のよいポリイミドフィルムロールを得ること
は困難であった。また、巻き取り時の応力を抑え、低い
張力で高い巻き硬度を達成することで巻き姿の改善を図
るために、ポリイミドフィルムをタッチロールワインデ
ィング方式を採用して巻き取ることについても、ポリイ
ミドフィルムの場合ポリエチレンテレフタレートフィル
ム等の溶融押し出し製膜によって得られるフィルムに比
べて製膜速度が極端に遅いこと、ポリイミドフィルムに
特有の溶液製膜という複雑なプロセスのため微妙な厚み
コントロールが困難なこと等のために巻き取り時に巻き
ジワが入ってしまいうまく巻き取ることが出来ないとい
う問題があった。

【０００４】そこで、本発明はかかる課題を解決し、巻
き姿が良好で加工特性、生産性に優れたポリイミドフィ
ルムを安定して提供することを課題とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記課題
を解決するために種々の角度から検討を行った結果、ま
ずポリイミドフィルムのもつ特定の物性値と巻き取られ
るフィルムの幅方向厚みプロファイルを長手方向に約１
０ｍおきに測定し積層して平均化することにより得られ
るフィルム厚みプロファイルのＲ％をある特定の値に限
定することによって製品ロールの巻き姿を飛躍的に向上
させることに成功した。次に、このフィルムをロール状
に巻き取る際の技術についても鋭意研究を重ね、特別の
巻き取り硬度範囲にて巻き取ってロールにすることで巻
き姿のよいポリイミドフィルムが安定して得られること
を発見し本発明に到った。

【０００６】すなわち、本発明はフィルム幅方向（ＴＤ
方向）の厚みムラが３．０％以下で、かつフィルム長手
方向（ＭＤ方向）におよそ１０ｍおきに測定したＴＤ方
向の厚みを積層し、平均化することによって得られるフ
ィルム幅方向の厚みプロファイルの最大厚みと最小厚み
の差が、フィルム平均厚みの２．０％以下であり、かつ
ＴＤ方向のヤング率が３４０kg/mm²以上、ＴＤ方向の５
％延伸強度（Ｆ−５）が１０kg/mm²以上であって、ＭＤ
方向フィルム長さ６．５ｍでの片伸びが９mm以下である
ことを特徴とするポリイミドフィルムと、上記の特徴を
有するポリイミドフィルムを、巻き硬度８０〜９８にな
るように巻き取ることを特徴とするポリイミドフィルム
ロールの製造方法である。

【０００７】上記においてフィルム幅方向の厚みムラと
は常温でのフィルム厚みの最大値と最小値の差を平均厚
みで割って１００を乗じたものである。この値は当然の
ことながら０で有ることが望ましいが、本発明にて巻き
姿を改善し、加工性のよいポリイミドフィルムを得よう
とする際には３．０％以下で有ればよい。

【０００８】上記においてフィルム長手方向におよそ１
０ｍおきに測定したＴＤ方向の厚みを積層し、平均化す
ることによって得られるフィルム幅方向の厚みプロファ
イルはその性質上フィルム巻き姿に直接反映される重要
なパラメータである。この値を小さくできれば巻き姿の
良化が図れるため、当然のことながら値は０で有ること
が望ましいが、本発明を実施する際には２．０％以下で
有ればよい。この値を低下させるための手段としては、
口金の間隙自動調整によるフィルム厚みコントロールを
用いることができる。この方法は当業者に広く利用され
ているものである。

【０００９】本発明のポリイミドフィルムは巻き取った
際の塑性変形による２次的厚みムラの発生を防止するた
め、ＴＤ方向のヤング率及びＴＤ方向の５％延伸強度が
それぞれ３４０kg/mm2以上、１０kg/mm2以上である必要
がある。ここでいう２次的厚みムラとはフィルムをロー
ルに巻きとる際にロール表面の局所的な凹凸によって、
巻き取られるフィルムに部分的に応力が生じて塑性変形
を起こすことにより生じる厚みムラのことである。ヤン
グ率及び５％延伸強度を高める方法としては、剛直なモ
ノマーを添加重合して製膜する方法や製膜時の重合度を
高くしポリマー鎖を長くする方法、ＴＤ方向の延伸倍率
を上げる方法等を用いることが出来る。いずれにして
も、塑性変形を防止するためにはヤング率、５％延伸強
度の値はいずれも高いほどよいが、それぞれ先に示した
値以下になると巻き取った際の張力や巻き取り後に発生
するロール表面の凹凸によって塑性変形を起こしやすく
なり好ましくない。

【００１０】本発明のポリイミドフィルムはＭＤ方向フ
ィルム長さ６．５ｍでの片伸びが９mm以下である必要が
ある。この値が９mm以上であると巻き取った際にロール
内部に応力が生じ塑性変形をおこして厚みムラが発生す
ることが懸念されるうえ、接着剤塗工等の加工時にフィ
ルムが搬送ロール間で揺れ動く蛇行現象が発生しやすい
ため望ましくない。

【００１１】本発明のポリイミドフィルムは巻き硬度８
０〜９８でロール状に巻き取られる必要がある。好まし
くは巻き硬度８５〜９５、さらに好ましくは８８〜９３
で巻き取るのがよい。巻き硬度が８０以下になると巻き
ズレを起こし加工性が低下してしまうし、９８以上にな
ると巻き締まりが生じロール表面に凹凸がはっきりと出
て巻き姿が悪化するのみならず、フィルムが塑性変形を
おこして２次的な厚みムラを発生させる可能性があるた
め好ましくない。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下に本発明の好ましい実施の形
態を説明するが、本発明は以下の説明に限定されるもの
ではない。

【００１３】本発明にかかるポリイミドフィルムは１種
類以上の芳香族ジアミン化合物と１種類以上の芳香族テ
トラカルボン酸類化合物を重合することにより得られる
ポリアミド酸化合物を口金からシート状に押しだし、化
学閉環または熱閉環させることによりゲル状のフィルム
としたものを乾燥させることによって得る。この際、出
来上がったポリイミドフィルムの幅方向の厚み斑をリア
ルタイムで測定し、口金の間隙調整機構にフィードバッ
クしてフィルム幅方向（ＴＤ方向）の厚みムラが３．０
％以下で、かつフィルム長手方向（ＭＤ方向）におよそ
１０ｍおきに測定したＴＤ方向の厚みを積層し、平均化
することによって得られるフィルム幅方向の厚みプロフ
ァイルの最大厚みと最小厚みの差が、フィルム平均厚み
の２．０％以下となるように随時調整する。厚みはＴＤ
方向に１０mm以下の間隔でポイント測定することが厚み
プロファイルを正確に把握するために望ましく、さらに
は連続的に測定することが最も望ましい。

【００１４】フィルムを巻き取った際に生じる応力変形
を起こりにくくするために、ＴＤ方向のヤング率を３４
０kg/mm2以上かつＴＤ方向の５％延伸強度（Ｆ−５値）
を１０kg/mm2以上に調整する。ＴＤ方向のヤング率及び
Ｆ−５値はポリマーの剛直性が上がると上昇するが、フ
ィルムをＴＤ方向に延伸してポリマー鎖の配向を高める
ことによって上昇させてもよい。使用するモノマーが限
定されている場合には後者の方法が特に有効な手段とな
る。

【００１５】ヤング率及びＦ−５の測定は、定速伸張型
強伸度測定装置により、フィルム資料を１００ｍｍ×１
０mmの長方形に切り取り、最初のつかみ長さ３０mm、引
っ張り速度１００mm／minで荷重−伸張曲線を５回描
き、これより算出した。

【００１６】ポリマー鎖の配向はシート状に成形したゲ
ルフィルムの端部を固定し、ＴＤ方向に１．０５〜２．
０、フィルム進行方向（ＭＤ方向）に１．０５〜１．５
の倍率で延伸することによって達成する。このような２
軸延伸を行うと、得られるポリイミドフィルムの機械特
性向上、さらには等方性が改良されるので好ましい。

【００１７】フィルムの片伸びは乾燥工程にてフィルム
幅方向に並べられたヒーターの出力をコントロールする
ことによって調整する。片伸びの値は、ＭＤ方向フィル
ム長さ６．５ｍで９mm以下が好ましく、フィルム走行安
定性を向上させる理由から７mm以下であることがさらに
好ましい。

【００１８】出来上がったポリイミドフィルムは耳部分
をカットして製品フィルムとなり、ワインダーで巻き取
ることにより製品ロールになるが、本発明の好ましい製
品フィルム及び製品ロール幅は４００mm以上３０００mm
以下である。また、巻き取り時のロール硬度は８０〜９
８に設定するのが好ましい。巻きズレの発生確率を下げ
るためには８５以上さらには８８以上の巻き硬度が好ま
しく、巻き締まりによって発生するロール表面の凸凹を
発現させにくくするためには９５以下さらには９３以下
の巻き硬度が好ましい。

【００１９】巻き硬度は高分子計器（株）ハードネステ
スタータイプＣをもちい、製品ロールの端部から１０mm
内側に入った位置を起点にしてフィルム幅方向におよそ
１００mmおきに測定した値を平均することで算出した。

【００２０】

【実施例】以下実施例により本発明を具体例に説明す
る。実施例中ＯＤＡは４、４’−ジアミノジフェニルエ
ーテル、ＰＭＤＡはピロメリット酸二無水物、ＤＭＡｃ
はＮ、Ｎ−ジメチルアセトアミドを表す。 実施例１ ＯＤＡに対し、ＰＭＤＡ９９．３〜１００mol％をＤＭ
Ａｃ溶液中にて反応させポリアミド酸溶液を得た。この
ポリアミド酸溶液にβ−ピコリン、無水酢酸を添加した
のちドラム上に流延して自己支持性のあるポリイミドゲ
ルフィルムを得た。このゲルフィルムをドラム上からは
がし、端部をピン止めした状態でフィルム流れ方向（Ｍ
Ｄ方向）に１．３１倍、横方向に１．３４０倍にそれぞ
れ延伸しながらテンター内で乾燥させ、フィルム幅２３
００mm、平均厚さ２５μｍのポリイミドフィルムを得
た。フィルム幅方向の厚みムラはテンター出口のβ線厚
み計（横河電機製 ８６７１ＧＡ００２）にて測定し、
測定データをもとに口金間隙調整を実施してＴＤ方向の
厚みムラが平均厚みの３％以下、かつＭＤ方向におよそ
１０ｍおきに測定したＴＤ方向の厚みを積層し、平均化
することによって得られた厚みプロファイルの厚みムラ
が平均厚みの２．０％以下となるように調整した。ま
た、テンター内のヒータ出力を調整することによりＭＤ
フィルム長さ６．５ｍでの片伸びを９mm以下に調整し
た。フィルムは直径２２０mmの鉄コアに巻き取り硬度８
８でロール直径Φ９００mmになるまで巻き取った。この
フィルムのヤング率およびＦ−５値を定速伸張型強伸度
測定装置により測定したところそれぞれ３４５kg/mm²、
１０．０kg/mm²であった。このフィルムを６時間静置
し、表１に示す基準にて外観評価したところ、もっとも
巻き姿のよいレベル１であった。 比較例１ 実施例１と同様にしてポリイミドゲルフィルムを得、端
部をピン止めした状態でフィルム流れ方向（ＭＤ方向）
に１．２９倍、横方向に１．３１０倍にそれぞれ延伸し
ながらテンター内で乾燥させ、フィルム幅２３００mm、
平均厚さ２５μｍのポリイミドフィルムを得た。

【００２１】フィルム幅方向の厚みムラはテンター出口
のβ線厚み計（横河電機製 ８６７１ＧＡ００２）にて
測定し、測定データをもとに口金間隙調整を実施してＴ
Ｄ方向の厚みムラが平均厚みの３．０％以下、かつＭＤ
方向におよそ１０ｍおきに測定したＴＤ方向の厚みを積
層し、平均化することによって得られた厚みプロファイ
ルの厚みムラが平均厚みの２．０％以下となるように調
整した。

【００２２】また、テンター内のヒータ出力を調整する
ことによりＭＤフィルム長さ６．５ｍでの片伸びを９mm
以下に調整した。フィルムは直径２２０mmの鉄コアに巻
き取り硬度８８でロール直径Φ９００mmになるまで巻き
取った。

【００２３】このフィルムのヤング率およびＦ−５値を
定速伸張型強伸度測定装置により測定したところ、それ
ぞれ３１３kg/mm²、９．２kg/mm²であった。

【００２４】このフィルムを６時間静置し、表１に示す
基準にて外観評価したところ、巻き姿はレベル５となっ
てしまった。 比較例２ 実施例１と同様にしてポリイミドゲるフィルムを得、端
部をピン止めした状態でフィルム流れ方向（ＭＤ方向）
に１．３１倍、横方向に１．３４０倍にそれぞれ延伸し
ながらテンター内で乾燥させ、フィルム幅２３００mm、
平均厚さ２５μｍのポリイミドフィルムを得た。

【００２５】フィルム幅方向の厚みムラはテンター出口
のβ線厚み計（横河電機製 ８６７１ＧＡ００２）にて
測定し、測定データをもとに口金間隙調整を実施してわ
ざとＴＤ方向の厚みムラが平均厚みの３．０％より大の
３．２５％、かつＭＤ方向におよそ１０ｍおきに測定し
たＴＤ方向の厚みを積層し、平均化することによって得
られた厚みプロファイルの厚みムラが平均厚みの２．０
％より大きい２．４％のフィルムを得た。片伸びについ
ては、９mm以下に調整した。フィルムは直径２２０mmの
鉄コアに巻き取り硬度８８でロール直径Φ９００mmにな
るまで巻き取った。このフィルムのヤング率およびＦ−
５値を定速伸張型強伸度測定装置により測定したとこ
ろ、それぞれ３４２kg/mm²、１０．０kg/mm²であった。

【００２６】このフィルムを６時間静置し、表１に示す
基準にて外観評価したところ、巻き姿はレベル４となっ
てしまった。 比較例３ 実施例１と同様にしてポリイミドゲルフィルムを得、端
部をピン止めした状態でフィルム流れ方向（ＭＤ方向）
に１．３０倍、横方向に１．３２０倍にそれぞれ延伸し
ながらテンター内で乾燥させ、フィルム幅２３００mm、
平均厚さ２５μｍのポリイミドフィルムを得た。

【００２７】フィルム幅方向の厚みムラはテンター出口
のβ線厚み計（横河電機製 ８６７１ＧＡ００２）にて
測定し、測定データをもとに口金間隙調整を実施してＴ
Ｄ方向の厚みムラが平均厚みの３．０％以下、かつＭＤ
方向におよそ１０ｍおきに測定したＴＤ方向の厚みを積
層し、平均化することによって得られた厚みプロファイ
るの厚みムラが平均厚みの２．０％以下となるように調
整した。

【００２８】また、テンター内のヒータ出力を調整する
ことによりＭＤフィルム長さ６．５ｍでの片伸びをわざ
と９mmより大の11mmに調整した。フィルムは直径２２０
mmの鉄コアに巻き取り硬度８８でローる直径Φ９００mm
になるまで巻き取った。

【００２９】このフィルムのヤング率およびＦ−５値を
定速伸張型強伸度測定装置により測定したところ、それ
ぞれ３４２kg/mm²、９．６kg/mm²であった。

【００３０】このフィルムを６時間静置し、表１に示す
基準にて外観評価したところ、巻き姿はレベル２となっ
た。 比較例４ 実施例１と同様にしてポリイミドゲるフィルムを得、端
部をピン止めした状態でフィルム流れ方向（ＭＤ方向）
に１．３１倍、横方向に１．３４０倍にそれぞれ延伸し
ながらテンター内で乾燥させ、フィルム幅２３００mm、
平均厚さ２５μｍのポリイミドフィルムを得た。

【００３１】フィルム幅方向の厚みムラはテンター出口
のβ線厚み計（横河電機製 ８６７１ＧＡ００２）にて
測定し、測定データをもとに口金間隙調整を実施してＴ
Ｄ方向の厚みムラが平均厚みの３．０％以下、かつＭＤ
方向におよそ１０ｍおきに測定したＴＤ方向の厚みを積
層し、平均化することによって得られた厚みプロファイ
ルの厚みムラが平均厚みの２．０％以下となるように調
整した。

【００３２】また、テンター内のヒータ出力を調整する
ことによりＭＤフィルム長さ６．５ｍでの片伸びを９mm
以下に調整した。

【００３３】フィルムは直径２２０mmの鉄コアに巻き取
り硬度１００でローる直径Φ９００mmになるまで巻き取
った。

【００３４】このフィルムのヤング率およびＦ−５値を
定速伸張型強伸度測定装置により測定したところ、それ
ぞれ３５５kg/mm²、１０kg/mm²であった。このフィルム
を６時間静置し、表１に示す基準にて外観評価したとこ
ろ、巻き姿はレベル２となった。 比較例５ 実施例１と同様にしてポリイミドゲルフィルムを得、端
部をピン止めした状態でフィルム流れ方向（ＭＤ方向）
に１．３１倍、横方向に１．３４０倍にそれぞれ延伸し
ながらテンター内で乾燥させ、フィルム幅２３００mm、
平均厚さ２５μｍのポリイミドフィルムを得た。

【００３５】フィルム幅方向の厚みムラはテンター出口
のβ線厚み計（横河電機製 ８６７１ＧＡ００２）にて
測定し、測定データをもとに口金間隙調整を実施してＴ
Ｄ方向の厚みムラが平均厚みの３．０％以下、かつＭＤ
方向におよそ１０ｍおきに測定したＴＤ方向の厚みを積
層し、平均化することによって得られた厚みプロファイ
ルの厚みムラが平均厚みの２．０％以下となるように調
整した。

【００３６】また、テンター内のヒータ出力を調整する
ことによりＭＤフィルム長さ６．５ｍでの片伸びを１２
mmに調整した。フィルムは直径２２０mmの鉄コアに巻き
取り硬度８８でロール直径Φ９００mmになるまで巻き取
った。

【００３７】このフィルムのヤング率およびＦ−５値を
定速伸張型強伸度測定装置により測定したところ、それ
ぞれ３４２kg/mm²、１０．１kg/mm²であった。

【００３８】このフィルムを６時間静置し、表１に示す
基準にて外観評価したところ、巻き姿はレベル４となっ
てしまった。

【００３９】

【表１】

【００４０】

【表２】

【００４１】

【発明の効果】 本発明で得られるポリイミドフィルム
は厚みが均一で、かつロール状に巻き取った際の巻き姿
が良好で加工特性、生産性に優れる。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 岡橋 正和 愛知県東海市新宝町31番地の６ 東レ・デ ュポン株式会社東海事業場内 Ｆターム(参考） 3E037 AA04 4F071 AA60 AF20Y AF25Y AH13 BB06 BC01 4J002 CM041 GQ01

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 フィルム幅方向（ＴＤ）の厚みムラが
   ３．０％以下で、かつフィルム長手方向（ＭＤ）におよ
   そ１０ｍおきに測定したＴＤ方向の厚みを積層し、平均
   化することによって得られるフィルム幅方向の厚みプロ
   ファイルの最大厚みと最小厚みの差が、フィルム平均厚
   みの２．０％以下であり、かつＴＤ方向のヤング率が３
   ４０kg/mm²以上、ＴＤ方向の５％延伸強度（Ｆ−５）が
   １０kg/mm²以上であって、ＭＤ方向フィルム長さ６．５
   ｍでの片伸びが９mm以下であることを特徴とするポリイ
   ミドフィルム。
2. 【請求項２】 ポリアミド酸化合物を口金からシート状
   に押出し、化学閉環または熱閉環させることによりゲル
   状のフィルムを得、これを乾燥して得たポリイミドフィ
   ルムの幅方向の厚みムラを製造工程上で連続測定し、こ
   のデータをフィードバックすることにより、フィルム幅
   方向（ＴＤ）の厚みムラが３．０％以下で、かつフィル
   ム長手方向（ＭＤ）におよそ１０ｍおきに測定したＴＤ
   厚みを積層し、平均化することによって得られるＴＤ厚
   みプロファイルの最大厚みと最小厚みの差が、フィルム
   平均厚みの２．０％以下となるように口金の間隙を調整
   し、さらにフィルムのＴＤ延伸倍率を調整することによ
   り、ＴＤのヤング率が３４０kg/mm²以上、ＴＤの５％延
   伸強度（Ｆ−５０）が１０kg/mm2以上、さらにテンター
   内のＴＤ温度プロファイルを調整することにより長手方
   向のフィルム長さ６．５ｍでの片伸びが９mm以下となる
   ように制御を行うことを特徴とするポリイミドフィルム
   の製造方法。
3. 【請求項３】 請求項１記載のポリイミドフィルムを巻
   き取って得られるロールであって、巻き硬度が８０〜９
   ８になるように巻き取られたポリイミドフィルムロー
   ル。