JP2001059928A - 光学機器の光学素子角度調整装置 - Google Patents
光学機器の光学素子角度調整装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 皿ばね３点支持方式において、煽りプレート
の位置安定性及び角度再現性を高め、光学素子の角度調
整を正確に行うことができるようにする。 【解決手段】 光学素子を取り付けた煽りプレート１５
をベースプレート１６に対峙させる。光学素子を取り囲
む三角形の各頂点位置に、第１支点部Ｏ1 、第２支点部
Ｏ2 、第３支点部Ｏ3 を定める。第１支点部Ｏ1 に、皿
ばね２８と球面軸受２４とリングナット２６と締め付け
ボルト２５などからなる定圧支持機構１９を組み付け
る。第２支点部Ｏ2 と第３支点部Ｏ3 に、皿ばね４１と
球面軸受３１とブッシュ３２と雌ねじブロック３３と止
めナット３９とこれらに挿通させて締め付ける調整ねじ
３６とを有する煽り調整機構２０，２１を組み付ける。
の位置安定性及び角度再現性を高め、光学素子の角度調
整を正確に行うことができるようにする。 【解決手段】 光学素子を取り付けた煽りプレート１５
をベースプレート１６に対峙させる。光学素子を取り囲
む三角形の各頂点位置に、第１支点部Ｏ1 、第２支点部
Ｏ2 、第３支点部Ｏ3 を定める。第１支点部Ｏ1 に、皿
ばね２８と球面軸受２４とリングナット２６と締め付け
ボルト２５などからなる定圧支持機構１９を組み付け
る。第２支点部Ｏ2 と第３支点部Ｏ3 に、皿ばね４１と
球面軸受３１とブッシュ３２と雌ねじブロック３３と止
めナット３９とこれらに挿通させて締め付ける調整ねじ
３６とを有する煽り調整機構２０，２１を組み付ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はレーザ発振器等の光
学機器に具備されている光学素子の角度位置を調整する
ために用いる角度調整装置に関するものである。
学機器に具備されている光学素子の角度位置を調整する
ために用いる角度調整装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】光学機器の一つであるレーザ発振器は、
図５にその一例の概略を示す如く、レーザ媒質ガスを封
入した容器１内に一対の放電電極２を配置し、該放電電
極２の放電によりレーザ媒質ガスを励起させて発生させ
たレーザ光３を、容器の長手方向に対峙させて配置した
共振器ミラーとしての半反射ミラー４、全反射ミラー
５，６，７の間でＺ字状に繰り返し反射させて共振さ
せ、該レーザ光３の一部をレーザ発振器の前面側にある
レーザ光取出口部の半反射ミラー４から誘導放出させる
ようにしてある。
図５にその一例の概略を示す如く、レーザ媒質ガスを封
入した容器１内に一対の放電電極２を配置し、該放電電
極２の放電によりレーザ媒質ガスを励起させて発生させ
たレーザ光３を、容器の長手方向に対峙させて配置した
共振器ミラーとしての半反射ミラー４、全反射ミラー
５，６，７の間でＺ字状に繰り返し反射させて共振さ
せ、該レーザ光３の一部をレーザ発振器の前面側にある
レーザ光取出口部の半反射ミラー４から誘導放出させる
ようにしてある。
【０００３】上記レーザ発振器において、レーザ光３の
位置精度（ポインテイング）を安定させることは重要で
あり、そのため、従来より、ミラーの角度を角度調整装
置により調整できるようにしてある。
位置精度（ポインテイング）を安定させることは重要で
あり、そのため、従来より、ミラーの角度を角度調整装
置により調整できるようにしてある。
【０００４】従来の角度調整装置としては、レーザ発振
器の後方へ向いている上記全反射ミラー６の部分につい
て図６（イ）（ロ）に一例を示す如く、ベースプレート
８の後面側に、表面に全反射ミラー６を取り付けた煽り
プレート９を、後方へ向けて引張りばね１０を介しほぼ
平行に配置して、該引張りばね１０により煽りプレート
９を常時ベースプレート８側へ引き付けているような力
が付与されているようにし、且つ上記ベースプレート８
と煽りプレート９との重合部において、上記全反射ミラ
ー６を取り囲む三角形の各頂点位置に、第１支点部Ｏ1
と第２支点部Ｏ 2 と第３支点部Ｏ3 とを定め、第１支点
部Ｏ1 には、先端を球面状に形成した支点軸１１をベー
スプレート８の後面部に突設して、該支点軸１１の先端
を、煽りプレート９の前面に取り付けた受け部１２ａに
当接させ、更に、第２支点部Ｏ2と第３支点部Ｏ3 に
は、先端を球面状に形成した調整ねじ１３を、ベースプ
レート８の前面側より後面側へ突出するようにそれぞれ
貫通螺合させて、該各調整ねじ１３の先端を、煽りプレ
ート９の前面に取り付けた受け部１２ｂに当接させ、第
２支点部Ｏ2 と第３支点部Ｏ3 のいずれか一方又は両方
の調整ねじ１３の煽りプレート側への突出量を変化させ
ることで、煽りプレート９の煽り角度を支点軸１１の先
端を支点として変化させることにより、全反射ミラー６
の角度を調整できるようにした、所謂キネマティックマ
ウント方式としたものがある（特開平５−８２８６７号
公報）。
器の後方へ向いている上記全反射ミラー６の部分につい
て図６（イ）（ロ）に一例を示す如く、ベースプレート
８の後面側に、表面に全反射ミラー６を取り付けた煽り
プレート９を、後方へ向けて引張りばね１０を介しほぼ
平行に配置して、該引張りばね１０により煽りプレート
９を常時ベースプレート８側へ引き付けているような力
が付与されているようにし、且つ上記ベースプレート８
と煽りプレート９との重合部において、上記全反射ミラ
ー６を取り囲む三角形の各頂点位置に、第１支点部Ｏ1
と第２支点部Ｏ 2 と第３支点部Ｏ3 とを定め、第１支点
部Ｏ1 には、先端を球面状に形成した支点軸１１をベー
スプレート８の後面部に突設して、該支点軸１１の先端
を、煽りプレート９の前面に取り付けた受け部１２ａに
当接させ、更に、第２支点部Ｏ2と第３支点部Ｏ3 に
は、先端を球面状に形成した調整ねじ１３を、ベースプ
レート８の前面側より後面側へ突出するようにそれぞれ
貫通螺合させて、該各調整ねじ１３の先端を、煽りプレ
ート９の前面に取り付けた受け部１２ｂに当接させ、第
２支点部Ｏ2 と第３支点部Ｏ3 のいずれか一方又は両方
の調整ねじ１３の煽りプレート側への突出量を変化させ
ることで、煽りプレート９の煽り角度を支点軸１１の先
端を支点として変化させることにより、全反射ミラー６
の角度を調整できるようにした、所謂キネマティックマ
ウント方式としたものがある（特開平５−８２８６７号
公報）。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記キネマ
ティックマウント方式を採用した角度調整装置の場合、
その構造上、実装できる引張りばね１０が小さいため、
支点軸１１と受け部１２ａあるいは調整ねじ１３と受け
部１２ｂの接点が少しでも浮いてしまうと、見かけの接
触状態は同じでも（調整ねじ１３を回していなくて
も）、微小な角度精度の差が発生するため、レーザ発振
器の機能、性能に支障を来す問題がある。特に、煽りプ
レート９に冷却水流路を通し、該冷却水流路に配管を接
続するようにしてある冷却構造付きのものでは、煽りプ
レート９を動かすときに配管も動かすことになって外力
が加わるので、煽りプレート８の角度精度に影響を与え
る場合がある。
ティックマウント方式を採用した角度調整装置の場合、
その構造上、実装できる引張りばね１０が小さいため、
支点軸１１と受け部１２ａあるいは調整ねじ１３と受け
部１２ｂの接点が少しでも浮いてしまうと、見かけの接
触状態は同じでも（調整ねじ１３を回していなくて
も）、微小な角度精度の差が発生するため、レーザ発振
器の機能、性能に支障を来す問題がある。特に、煽りプ
レート９に冷却水流路を通し、該冷却水流路に配管を接
続するようにしてある冷却構造付きのものでは、煽りプ
レート９を動かすときに配管も動かすことになって外力
が加わるので、煽りプレート８の角度精度に影響を与え
る場合がある。
【０００６】又、従来、上記３つの支点部に皿ばねを配
置し、各皿ばねにねじを挿入することにより、ベースプ
レートに対して煽りプレートを引張り勝手又は離し勝手
にねじを保持させるようにした皿ばね３点支持方式もあ
るが、この方式の場合、荷重については大きなものが掛
かっていることから、よほど大きな外力が加わらない限
り動くことはないが、構造上、煽りプレートには、各支
点部に煽り角度分以上の逃げ孔を大きく設けることにな
って、プレート面方向に若干のがたを許容できるように
しなければならないので、微小な角度調節をする際に、
調整ターゲット位置近傍で、煽り角度の往復動作を行う
と、同じ調整ねじ位相に対して、煽りプレートの角度の
再現精度が得にくいという問題がある。
置し、各皿ばねにねじを挿入することにより、ベースプ
レートに対して煽りプレートを引張り勝手又は離し勝手
にねじを保持させるようにした皿ばね３点支持方式もあ
るが、この方式の場合、荷重については大きなものが掛
かっていることから、よほど大きな外力が加わらない限
り動くことはないが、構造上、煽りプレートには、各支
点部に煽り角度分以上の逃げ孔を大きく設けることにな
って、プレート面方向に若干のがたを許容できるように
しなければならないので、微小な角度調節をする際に、
調整ターゲット位置近傍で、煽り角度の往復動作を行う
と、同じ調整ねじ位相に対して、煽りプレートの角度の
再現精度が得にくいという問題がある。
【０００７】そこで、本発明は、ベースプレートに対し
煽りプレートを押し付けるような拘束力を作用させた状
態で通常の外力が加わっても煽りプレートの位置安定性
を高く保つことができるような皿ばね３点支持方式にお
いて、調整ねじの操作により煽りプレートの角度を調整
ターゲット位置付近で往復動作による微調整を行って
も、煽りプレートの角度再現性を得ることができるよう
にしようとするものである。
煽りプレートを押し付けるような拘束力を作用させた状
態で通常の外力が加わっても煽りプレートの位置安定性
を高く保つことができるような皿ばね３点支持方式にお
いて、調整ねじの操作により煽りプレートの角度を調整
ターゲット位置付近で往復動作による微調整を行って
も、煽りプレートの角度再現性を得ることができるよう
にしようとするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するために、片面側に光学素子を取り付けた煽りプレ
ートの反対側の面をベースプレートに向け対峙させて配
置し、該両プレートの重なり部における上記光学素子を
取り囲む三角形の各頂点位置に、第１支点部と第２支点
部と第３支点部とを設定し、上記第１支点部には、煽り
プレートとベースプレートに貫通孔を設けて、該ベース
プレートの貫通孔を、該煽りプレートの貫通孔よりも大
径とし、且つ該ベースプレートの貫通孔内に、後端部を
煽りプレートに当接させるようにしたセンター孔付きの
球面軸受と、該球面軸受に当接させる球面軸受支持用の
リングナットとを配置して、該リングナットをベースプ
レートに固定し、更に、皿ばねを煽りプレートの上記片
面側に配してその外側から締め付けボルトを、該皿ば
ね、煽りプレートの貫通孔、上記球面軸受のセンター孔
に挿通させてからリングナットに螺合させて煽りプレー
トをベースプレート側に押し付ける方向に締め付けて固
定するようにしてなる定圧支持機構を組み付け、又、上
記第２支点部及び第３支点部には、煽りプレートとベー
スプレートに貫通孔を設けて、該ベースプレートの貫通
孔を該煽りプレートの貫通孔よりも大径とし、且つ該ベ
ースプレートの貫通孔内に、後端部を煽りプレートに当
接させるようにしたセンター孔付き球面軸受と、該球面
軸受の前端側に後端側を当接させるようにしたブッシュ
と、該ブッシュの前端側に当接させる雌ねじブロックと
を順に配置して、該雌ねじブロックをベースプレートに
対して回転を規制して軸方向にのみ動けるようにすると
共に、且つ上記煽りプレートの片面側に皿ばねとその外
側に止めナットを配置して、該止めナットをベースプレ
ート側に固定し、更に、煽りプレートをベースプレート
側に押し付けるように先端部側と基端部側に差動ねじ部
を有する調整ねじを、上記ブッシュ及び球面軸受のセン
ター孔、皿ばねに通して、一方の差動ねじ部を上記雌ね
じブロックに、又、他方の差動ねじ部を止めナットにそ
れぞれ螺合させ、該調整ねじを回転させて雌ねじブロッ
クを軸方向に変位させることにより上記第１支点部の球
面軸受部を支点に煽りプレートの煽り角度を調整できる
ようにしてなる煽り調整機構を組み付けた構成とする。
決するために、片面側に光学素子を取り付けた煽りプレ
ートの反対側の面をベースプレートに向け対峙させて配
置し、該両プレートの重なり部における上記光学素子を
取り囲む三角形の各頂点位置に、第１支点部と第２支点
部と第３支点部とを設定し、上記第１支点部には、煽り
プレートとベースプレートに貫通孔を設けて、該ベース
プレートの貫通孔を、該煽りプレートの貫通孔よりも大
径とし、且つ該ベースプレートの貫通孔内に、後端部を
煽りプレートに当接させるようにしたセンター孔付きの
球面軸受と、該球面軸受に当接させる球面軸受支持用の
リングナットとを配置して、該リングナットをベースプ
レートに固定し、更に、皿ばねを煽りプレートの上記片
面側に配してその外側から締め付けボルトを、該皿ば
ね、煽りプレートの貫通孔、上記球面軸受のセンター孔
に挿通させてからリングナットに螺合させて煽りプレー
トをベースプレート側に押し付ける方向に締め付けて固
定するようにしてなる定圧支持機構を組み付け、又、上
記第２支点部及び第３支点部には、煽りプレートとベー
スプレートに貫通孔を設けて、該ベースプレートの貫通
孔を該煽りプレートの貫通孔よりも大径とし、且つ該ベ
ースプレートの貫通孔内に、後端部を煽りプレートに当
接させるようにしたセンター孔付き球面軸受と、該球面
軸受の前端側に後端側を当接させるようにしたブッシュ
と、該ブッシュの前端側に当接させる雌ねじブロックと
を順に配置して、該雌ねじブロックをベースプレートに
対して回転を規制して軸方向にのみ動けるようにすると
共に、且つ上記煽りプレートの片面側に皿ばねとその外
側に止めナットを配置して、該止めナットをベースプレ
ート側に固定し、更に、煽りプレートをベースプレート
側に押し付けるように先端部側と基端部側に差動ねじ部
を有する調整ねじを、上記ブッシュ及び球面軸受のセン
ター孔、皿ばねに通して、一方の差動ねじ部を上記雌ね
じブロックに、又、他方の差動ねじ部を止めナットにそ
れぞれ螺合させ、該調整ねじを回転させて雌ねじブロッ
クを軸方向に変位させることにより上記第１支点部の球
面軸受部を支点に煽りプレートの煽り角度を調整できる
ようにしてなる煽り調整機構を組み付けた構成とする。
【０００９】光学素子の角度調整を行う場合には、第２
支点部と第３支点部の少なくとも一方の煽り調整機構の
差動ねじ部付き調整ねじを操作して煽りプレートの煽り
角度を調整するようにする。この際、ベースプレートと
煽りプレートは球面軸受部で強く押し付けられた状態と
なっているため、位置保持能力が高く、調整時の繰り返
し動作再現性を高いものとすることができ、しかも調整
ねじが差動ねじであることから、微調整を容易に行うこ
とができる。
支点部と第３支点部の少なくとも一方の煽り調整機構の
差動ねじ部付き調整ねじを操作して煽りプレートの煽り
角度を調整するようにする。この際、ベースプレートと
煽りプレートは球面軸受部で強く押し付けられた状態と
なっているため、位置保持能力が高く、調整時の繰り返
し動作再現性を高いものとすることができ、しかも調整
ねじが差動ねじであることから、微調整を容易に行うこ
とができる。
【００１０】又、第２支点部のベースプレートの貫通孔
を、第１支点部方向へ延びる長孔とし、第３支点部のベ
ースプレートの貫通孔を、ブッシュ部分が３６０°の方
向に動ける大きさに設定した構成とすることにより、第
１支点部の球面軸受部分に対し、第２支点部の球面軸受
部分は一方向の自由度を持ち、第３支点部の球面軸受部
分は３６０°方向の自由度を持つため、調整ねじの移動
量に追従して煽りプレートの角度が決められる。
を、第１支点部方向へ延びる長孔とし、第３支点部のベ
ースプレートの貫通孔を、ブッシュ部分が３６０°の方
向に動ける大きさに設定した構成とすることにより、第
１支点部の球面軸受部分に対し、第２支点部の球面軸受
部分は一方向の自由度を持ち、第３支点部の球面軸受部
分は３６０°方向の自由度を持つため、調整ねじの移動
量に追従して煽りプレートの角度が決められる。
【００１１】一方、第１支点部に定圧支持機構を組み付
けることに代えて、第１支点部に、煽りプレートをベー
スプレート側に押し付けるように先端部側と基端部側に
差動ねじ部を有する調整ねじを用いた煽り調整機構を組
み付けて、各支点部を、センター孔付きの球面軸受にブ
ッシュを当接させる構成とすると、煽りプレートをベー
スプレートに対して並進移動させることが可能となる。
けることに代えて、第１支点部に、煽りプレートをベー
スプレート側に押し付けるように先端部側と基端部側に
差動ねじ部を有する調整ねじを用いた煽り調整機構を組
み付けて、各支点部を、センター孔付きの球面軸受にブ
ッシュを当接させる構成とすると、煽りプレートをベー
スプレートに対して並進移動させることが可能となる。
【００１２】更に、第１支点部に定圧支持機構を組み付
け、第２支点部と第３支点部に煽り調整機構を組み付け
ることに代えて、いずれか１つの支点部のみに、煽りプ
レートをベースプレート側に押し付けるように先端部側
と基端部側に差動ねじ部を有する調整ねじを用いた煽り
調整機構を組み付け、且つ残りの支点部に定圧支持機構
を組み付けた構成とした場合は、煽りプレートを一方向
にのみ角度調整することができる。
け、第２支点部と第３支点部に煽り調整機構を組み付け
ることに代えて、いずれか１つの支点部のみに、煽りプ
レートをベースプレート側に押し付けるように先端部側
と基端部側に差動ねじ部を有する調整ねじを用いた煽り
調整機構を組み付け、且つ残りの支点部に定圧支持機構
を組み付けた構成とした場合は、煽りプレートを一方向
にのみ角度調整することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。
を参照して説明する。
【００１４】図１乃至図３は本発明の実施の一形態を示
すもので、図５に示したレーザ発振器の前面側にあるレ
ーザ光取出口部に位置する半反射ミラー４の角度を調整
する角度調整装置について示す。
すもので、図５に示したレーザ発振器の前面側にあるレ
ーザ光取出口部に位置する半反射ミラー４の角度を調整
する角度調整装置について示す。
【００１５】すなわち、半反射ミラー４を保持するミラ
ープレート１４を後面側となる片面側に取り付けた煽り
プレート１５の反対面側をベースプレート１６の後面側
に所要間隔を隔てて平行に対峙させて配置して、該両プ
レート１５，１６の光路孔１７と１８が一致するように
すると共に、両プレート１５，１６の重なり部における
上記半反射ミラー４を取り囲む三角形の各頂点位置に、
第１支点部Ｏ1 と第２支点部Ｏ2 と第３支点部Ｏ3 とを
定め、第１支点部Ｏ1 に定圧支持機構１９を組み付け、
又、第２支点部Ｏ2 と第３支点部Ｏ3 に煽り調整機構２
０と２１を組み付ける。
ープレート１４を後面側となる片面側に取り付けた煽り
プレート１５の反対面側をベースプレート１６の後面側
に所要間隔を隔てて平行に対峙させて配置して、該両プ
レート１５，１６の光路孔１７と１８が一致するように
すると共に、両プレート１５，１６の重なり部における
上記半反射ミラー４を取り囲む三角形の各頂点位置に、
第１支点部Ｏ1 と第２支点部Ｏ2 と第３支点部Ｏ3 とを
定め、第１支点部Ｏ1 に定圧支持機構１９を組み付け、
又、第２支点部Ｏ2 と第３支点部Ｏ3 に煽り調整機構２
０と２１を組み付ける。
【００１６】上記第１支点部Ｏ1 の定圧支持機構１９
は、煽りプレート１５に貫通孔２２を設けると共に、該
貫通孔２２よりも大径の貫通孔２３をベースプレート１
６に設け、該ベースプレート１６の貫通孔２３内に、煽
りプレート１５の貫通孔２２よりも大径としたセンター
孔付きの球面軸受２４を、後端側中心部が煽りプレート
１５の貫通孔２２に圧入されるように配置すると共に、
該球面軸受２４と対応する円錐状凹部を後端に有する所
要長さの軸受支持用リングナット２６を挿入してベース
プレート１６にフランジ部２６ａを固定し、一方、上記
煽りプレート１５の貫通孔２２の後面側には皿ばね２８
を配置して、該皿ばね２８の外側に座金２７を配置し、
煽りプレート１５の後面側より締め付けボルト２５を座
金１７、皿ばね２８、球面軸受２４のセンター孔に挿通
させてからその先端部をリングナット２６に螺合させ、
該締め付けボルト２５で締め付けることにより、該締め
付けボルト２５の頭部２５ａで押される座金２７を介し
て圧縮される皿ばね２８により煽りプレート１５がベー
スプレート１６側に押し付けられるようにして固定され
るような構成としてある。
は、煽りプレート１５に貫通孔２２を設けると共に、該
貫通孔２２よりも大径の貫通孔２３をベースプレート１
６に設け、該ベースプレート１６の貫通孔２３内に、煽
りプレート１５の貫通孔２２よりも大径としたセンター
孔付きの球面軸受２４を、後端側中心部が煽りプレート
１５の貫通孔２２に圧入されるように配置すると共に、
該球面軸受２４と対応する円錐状凹部を後端に有する所
要長さの軸受支持用リングナット２６を挿入してベース
プレート１６にフランジ部２６ａを固定し、一方、上記
煽りプレート１５の貫通孔２２の後面側には皿ばね２８
を配置して、該皿ばね２８の外側に座金２７を配置し、
煽りプレート１５の後面側より締め付けボルト２５を座
金１７、皿ばね２８、球面軸受２４のセンター孔に挿通
させてからその先端部をリングナット２６に螺合させ、
該締め付けボルト２５で締め付けることにより、該締め
付けボルト２５の頭部２５ａで押される座金２７を介し
て圧縮される皿ばね２８により煽りプレート１５がベー
スプレート１６側に押し付けられるようにして固定され
るような構成としてある。
【００１７】一方、上記第２支点部Ｏ2 の煽り調整機構
２０は、次の如き構成としてある。すなわち、煽りプレ
ート１５に貫通孔２９を設けると共に、該貫通孔２９よ
りも大径として第１支点部Ｏ1 方向へ向けて延びる長孔
状の貫通孔３０をベースプレート１６に設け、該ベース
プレート１６の貫通孔３０内に、上記貫通孔２９よりも
大径として後端側中心部を貫通孔２９に圧入させるよう
にしたセンター孔付きの球面軸受３１と、該球面軸受３
１と対応する円錐状凹部を後端面に有するセンター孔付
きの軸受支持用ブッシュ３２と、該ブッシュ３２の前端
面に当接させるようにした雌ねじブロック３３とを順に
挿入して配置し、該雌ねじブロック３３をベースプレー
ト１６に対して前後方向（軸方向）へのみ移動できるよ
うにして、回転は規制されるようにする。なお、雌ねじ
ブロック３３の回転の規制の仕方は、たとえば、該雌ね
じブロック３３の前端面部に形成したフランジ部３３ａ
の一部に切り欠き３４を設け、該切り欠き３４に係合さ
せるピン３５をベースプレート１６の前面部に固定し
て、フランジ部３３ａがピン３５の軸方向には摺動でき
るが回転方向にはピン３５で制限されて雌ねじブロック
３３の回転を拘束させるようにしてある。更に、煽りプ
レート１５の貫通孔２９の後面側に、皿ばね４１と座金
４０と止めナット３９を順に配置して、該止めナット３
９に形成したフランジ部３９ａを、ベースプレート１６
の後面に突設したリング状のスペーサケーシング３８に
ボルト４６で固定し、先端部側と基端部側に互いにピッ
チを異ならせた差動ねじ部３６ａと３６ｂを有し且つ基
端につまみ３７を有する差動ねじ部付き調整ねじ３６
を、上記ベースプレート１６の前面側から雌ねじブロッ
ク３３に基端部側の差動ねじ部３６ｂを螺合させてか
ら、ブッシュ３２、球面軸受３１の各センター孔、皿ば
ね４１、座金４０に通して先端部側の差動ねじ部３６ａ
を止めナット３９に螺合させて、煽りプレート１５をベ
ースプレート１６側へ押し付けるようにして球面軸受３
１とブッシュ３２を当接させるようにした構成とし、か
かる状態で差動ねじ部３６ａ，３６ｂを有する調整ねじ
３６を回転させることにより雌ねじブロック３３を前後
方向に移動させ、該雌ねじブロック３３の移動で煽りプ
レート１５を第１支点部Ｏ1 の球面軸受２４部を支点に
煽って、煽り角度を調整できるようにしてある。なお、
上記スペーサケーシング３８の壁部所要位置には切り欠
き３８ａが設けてあって、煽りプレート１５とは干渉し
ないようにしてある。又、スペーサケーシング３８に止
めナット３９を固定するためのボルト４６及びそのボル
ト穴には、調整ねじ３６の差動ねじ部３６ａよりもピッ
チの小さいねじが切ってある。
２０は、次の如き構成としてある。すなわち、煽りプレ
ート１５に貫通孔２９を設けると共に、該貫通孔２９よ
りも大径として第１支点部Ｏ1 方向へ向けて延びる長孔
状の貫通孔３０をベースプレート１６に設け、該ベース
プレート１６の貫通孔３０内に、上記貫通孔２９よりも
大径として後端側中心部を貫通孔２９に圧入させるよう
にしたセンター孔付きの球面軸受３１と、該球面軸受３
１と対応する円錐状凹部を後端面に有するセンター孔付
きの軸受支持用ブッシュ３２と、該ブッシュ３２の前端
面に当接させるようにした雌ねじブロック３３とを順に
挿入して配置し、該雌ねじブロック３３をベースプレー
ト１６に対して前後方向（軸方向）へのみ移動できるよ
うにして、回転は規制されるようにする。なお、雌ねじ
ブロック３３の回転の規制の仕方は、たとえば、該雌ね
じブロック３３の前端面部に形成したフランジ部３３ａ
の一部に切り欠き３４を設け、該切り欠き３４に係合さ
せるピン３５をベースプレート１６の前面部に固定し
て、フランジ部３３ａがピン３５の軸方向には摺動でき
るが回転方向にはピン３５で制限されて雌ねじブロック
３３の回転を拘束させるようにしてある。更に、煽りプ
レート１５の貫通孔２９の後面側に、皿ばね４１と座金
４０と止めナット３９を順に配置して、該止めナット３
９に形成したフランジ部３９ａを、ベースプレート１６
の後面に突設したリング状のスペーサケーシング３８に
ボルト４６で固定し、先端部側と基端部側に互いにピッ
チを異ならせた差動ねじ部３６ａと３６ｂを有し且つ基
端につまみ３７を有する差動ねじ部付き調整ねじ３６
を、上記ベースプレート１６の前面側から雌ねじブロッ
ク３３に基端部側の差動ねじ部３６ｂを螺合させてか
ら、ブッシュ３２、球面軸受３１の各センター孔、皿ば
ね４１、座金４０に通して先端部側の差動ねじ部３６ａ
を止めナット３９に螺合させて、煽りプレート１５をベ
ースプレート１６側へ押し付けるようにして球面軸受３
１とブッシュ３２を当接させるようにした構成とし、か
かる状態で差動ねじ部３６ａ，３６ｂを有する調整ねじ
３６を回転させることにより雌ねじブロック３３を前後
方向に移動させ、該雌ねじブロック３３の移動で煽りプ
レート１５を第１支点部Ｏ1 の球面軸受２４部を支点に
煽って、煽り角度を調整できるようにしてある。なお、
上記スペーサケーシング３８の壁部所要位置には切り欠
き３８ａが設けてあって、煽りプレート１５とは干渉し
ないようにしてある。又、スペーサケーシング３８に止
めナット３９を固定するためのボルト４６及びそのボル
ト穴には、調整ねじ３６の差動ねじ部３６ａよりもピッ
チの小さいねじが切ってある。
【００１８】又、上記第３支点部Ｏ3 の煽り調整機構２
１は、図１に破線で示す如く、ベースプレート１６に設
けた貫通孔４２の直径を、ブッシュ３２及び雌ねじブロ
ック３３の部分が３６０°の方向に動ける大きさに設定
している点を除いて、上記第２支点部Ｏ2 の煽り調整機
構２０と同様な構成としてあり、詳細説明は省略してあ
る。
１は、図１に破線で示す如く、ベースプレート１６に設
けた貫通孔４２の直径を、ブッシュ３２及び雌ねじブロ
ック３３の部分が３６０°の方向に動ける大きさに設定
している点を除いて、上記第２支点部Ｏ2 の煽り調整機
構２０と同様な構成としてあり、詳細説明は省略してあ
る。
【００１９】なお、上記調整ねじ３６のつまみ３７や締
め付けボルト２５の頭部２５ａには、六角レンチを挿入
するための六角穴が形成されている。図中、４３はベー
スプレート１６の固定台、４４はミラープレート１４内
に形成した冷却水流路を示す。
め付けボルト２５の頭部２５ａには、六角レンチを挿入
するための六角穴が形成されている。図中、４３はベー
スプレート１６の固定台、４４はミラープレート１４内
に形成した冷却水流路を示す。
【００２０】煽りプレート１５は、皿ばねの圧力によっ
てベースプレート１６側に押し付けられるが、その初期
設定は、第２、第３支点部Ｏ2 ，Ｏ3 における調整ねじ
３６のつまみ３７に六角レンチを差し込んで調整ねじ３
６の回転を規制しつつ、差動ねじ部３６ａに螺合させて
ある止めナット３９をスパナで回転させることにより、
規定荷重及び支点突出状態（＝並進および煽り状態）を
決めるようにするが、更にこの際、調整ねじ３６の差動
ねじ部３６ａよりもピッチの小さいボルト４６の締め込
み調整を段階的に行うようにすると、初期設定を細かく
行うことができる。
てベースプレート１６側に押し付けられるが、その初期
設定は、第２、第３支点部Ｏ2 ，Ｏ3 における調整ねじ
３６のつまみ３７に六角レンチを差し込んで調整ねじ３
６の回転を規制しつつ、差動ねじ部３６ａに螺合させて
ある止めナット３９をスパナで回転させることにより、
規定荷重及び支点突出状態（＝並進および煽り状態）を
決めるようにするが、更にこの際、調整ねじ３６の差動
ねじ部３６ａよりもピッチの小さいボルト４６の締め込
み調整を段階的に行うようにすると、初期設定を細かく
行うことができる。
【００２１】半反射ミラー４の角度を調整する場合に
は、第２支点部Ｏ2 の煽り調整機構２０と第３支点部Ｏ
3 の煽り調整機構２１の一方もしくは双方の調整ねじ３
６を回して雌ねじブロック３３を軸方向に移動させるこ
とにより煽りプレート１５の煽り角度を調整するように
する。
は、第２支点部Ｏ2 の煽り調整機構２０と第３支点部Ｏ
3 の煽り調整機構２１の一方もしくは双方の調整ねじ３
６を回して雌ねじブロック３３を軸方向に移動させるこ
とにより煽りプレート１５の煽り角度を調整するように
する。
【００２２】この場合、たとえば、第２支点部Ｏ2 の煽
り調整機構２０の調整ねじ３６を回転させると、回転が
規制されている雌ねじブロック３３が、異なるピッチの
差動ねじ部３６ａ，３６ｂによる差動ねじの原理により
軸方向へ移動させられるため、この移動力で、当接した
状態のブッシュ３２、球面軸受３１を介して煽りプレー
ト１５が変位させられ、煽りプレート１５は、第１支点
部Ｏ1 の球面軸受２４部と第３支点部Ｏ3 の球面軸受３
１部を支点として傾動させられることになる。又、同様
に、第３支点部Ｏ3 の煽り調整機構２１を操作すると、
煽りプレート１５は、第１支点部Ｏ1 の球面軸受２４部
と第２支点部Ｏ2 の球面軸受３１部を支点として傾動さ
せられることになる。
り調整機構２０の調整ねじ３６を回転させると、回転が
規制されている雌ねじブロック３３が、異なるピッチの
差動ねじ部３６ａ，３６ｂによる差動ねじの原理により
軸方向へ移動させられるため、この移動力で、当接した
状態のブッシュ３２、球面軸受３１を介して煽りプレー
ト１５が変位させられ、煽りプレート１５は、第１支点
部Ｏ1 の球面軸受２４部と第３支点部Ｏ3 の球面軸受３
１部を支点として傾動させられることになる。又、同様
に、第３支点部Ｏ3 の煽り調整機構２１を操作すると、
煽りプレート１５は、第１支点部Ｏ1 の球面軸受２４部
と第２支点部Ｏ2 の球面軸受３１部を支点として傾動さ
せられることになる。
【００２３】上記において、第２支点部Ｏ2 の煽り調整
機構２０にけるベースプレート１６の貫通孔３０は第１
支点部Ｏ1 の方向へ向け延びる長孔としてあるため、煽
りプレート１５の煽り角度の調整時には、一方向の自由
度をもち、又、第３支点部Ｏ 3 の煽り調整機構２１にお
けるベースプレート１６の貫通孔４２は、ブッシュ３２
の部分が３６０°動けるようにしてあるため、煽りプレ
ート１５の煽り角度の調整時には、プレート面方向の自
由度をもつため、煽りプレート１５は、各調整ねじ３６
の移動に追従することができる。
機構２０にけるベースプレート１６の貫通孔３０は第１
支点部Ｏ1 の方向へ向け延びる長孔としてあるため、煽
りプレート１５の煽り角度の調整時には、一方向の自由
度をもち、又、第３支点部Ｏ 3 の煽り調整機構２１にお
けるベースプレート１６の貫通孔４２は、ブッシュ３２
の部分が３６０°動けるようにしてあるため、煽りプレ
ート１５の煽り角度の調整時には、プレート面方向の自
由度をもつため、煽りプレート１５は、各調整ねじ３６
の移動に追従することができる。
【００２４】又、各煽り支点は球面軸受によって構成さ
れていて、第１支点部Ｏ1 、第２支点部Ｏ2 、第３支点
部Ｏ3 の順で位置エネルギーが安定する系となっている
こと、更に、煽りプレート１５には、皿ばね２８や４１
によりベースプレート１６側へ向けて大きな押付荷重を
掛けることができることから、ベースプレート１６に対
する煽りプレート１５の位置関係を一意に決めることが
できて、高い位置安定性を得ることができると共に、調
整ねじ３６の操作により煽りプレート１５の角度を調整
ターゲット位置近傍で往復動作させても位置再現性の高
い系を実現することができる。
れていて、第１支点部Ｏ1 、第２支点部Ｏ2 、第３支点
部Ｏ3 の順で位置エネルギーが安定する系となっている
こと、更に、煽りプレート１５には、皿ばね２８や４１
によりベースプレート１６側へ向けて大きな押付荷重を
掛けることができることから、ベースプレート１６に対
する煽りプレート１５の位置関係を一意に決めることが
できて、高い位置安定性を得ることができると共に、調
整ねじ３６の操作により煽りプレート１５の角度を調整
ターゲット位置近傍で往復動作させても位置再現性の高
い系を実現することができる。
【００２５】次に、図４は本発明の実施の他の形態を示
すもので、図１乃至図３に示したものと同様な構成にお
いて、第１支点部Ｏ1 に定圧支持機構を組み付けること
に代えて、第１支点部Ｏ1 に、第２支点部Ｏ2 や第３支
点部Ｏ3 と同様な構成の煽り調整機構４５を組み付けた
ものである。なお、図２と同一部分には同一符号が付し
てある。
すもので、図１乃至図３に示したものと同様な構成にお
いて、第１支点部Ｏ1 に定圧支持機構を組み付けること
に代えて、第１支点部Ｏ1 に、第２支点部Ｏ2 や第３支
点部Ｏ3 と同様な構成の煽り調整機構４５を組み付けた
ものである。なお、図２と同一部分には同一符号が付し
てある。
【００２６】図４に示すような構成とすると、煽りプレ
ート１５の煽り角度調整は勿論のこと、煽りプレート１
５をベースプレート１６に対して並進移動調整すること
もできるようになり、半反射ミラー４の位置調整範囲を
拡大することができる。
ート１５の煽り角度調整は勿論のこと、煽りプレート１
５をベースプレート１６に対して並進移動調整すること
もできるようになり、半反射ミラー４の位置調整範囲を
拡大することができる。
【００２７】又、いずれか一つの支点部Ｏ1 、Ｏ2 又は
Ｏ3 のみに、煽り調整機構４５、２０又は２１を組み付
けた構成としても、煽りプレート１５の一方向のみの煽
り角度調整を、高い位置安定性と再現性をもって実現す
ることができる。
Ｏ3 のみに、煽り調整機構４５、２０又は２１を組み付
けた構成としても、煽りプレート１５の一方向のみの煽
り角度調整を、高い位置安定性と再現性をもって実現す
ることができる。
【００２８】なお、上記実施の形態では、煽りプレート
１５の煽り角度を調整する際にベースプレート１６の前
側でつまみ３７を回すようにした場合を示したが、図２
や図４において、調整ねじ３６を左右勝手反対に配置構
成して、煽りプレート１５の後側でつまみ３７を回すよ
うにしてもよいこと、又、実施の形態では、煽りプレー
ト１５に、ミラープレート１４を介して半反射ミラー４
を取り付けた場合を示したが、煽りプレート１５にミラ
ーを直接取り付けるようにしてもよいこと、更に、実施
の形態では、図５のレーザ発振器の半反射ミラー４の部
分への適用例について示したが、他の全反射ミラーの部
分についても同様に適用できること、更に又、レーザ発
振器以外の光学機器による光ビームの指向角度を調整す
る部分についても同様に適用できること、すなわち、ミ
ラーに限らず、レンズやプリズム等の光学素子を用いた
部分であれば適宜採用できること、その他本発明の要旨
を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは
勿論である。
１５の煽り角度を調整する際にベースプレート１６の前
側でつまみ３７を回すようにした場合を示したが、図２
や図４において、調整ねじ３６を左右勝手反対に配置構
成して、煽りプレート１５の後側でつまみ３７を回すよ
うにしてもよいこと、又、実施の形態では、煽りプレー
ト１５に、ミラープレート１４を介して半反射ミラー４
を取り付けた場合を示したが、煽りプレート１５にミラ
ーを直接取り付けるようにしてもよいこと、更に、実施
の形態では、図５のレーザ発振器の半反射ミラー４の部
分への適用例について示したが、他の全反射ミラーの部
分についても同様に適用できること、更に又、レーザ発
振器以外の光学機器による光ビームの指向角度を調整す
る部分についても同様に適用できること、すなわち、ミ
ラーに限らず、レンズやプリズム等の光学素子を用いた
部分であれば適宜採用できること、その他本発明の要旨
を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは
勿論である。
【００２９】
【発明の効果】以上述べた如く、本発明の光学機器の光
学素子角度調整装置によれば、片面側に光学素子を取り
付けた煽りプレートの反対側の面をベースプレートに向
け対峙させて配置し、該両プレートの重なり部における
上記光学素子を取り囲む三角形の各頂点位置に、第１支
点部と第２支点部と第３支点部とを設定し、上記第１支
点部には、煽りプレートとベースプレートに貫通孔を設
けて、該ベースプレートの貫通孔を、該煽りプレートの
貫通孔よりも大径とし、且つ該ベースプレートの貫通孔
内に、後端部を煽りプレートに当接させるようにしたセ
ンター孔付きの球面軸受と、該球面軸受に当接させる球
面軸受支持用のリングナットとを配置して、該リングナ
ットをベースプレートに固定し、更に、皿ばねを煽りプ
レートの上記片面側に配してその外側から締め付けボル
トを、該皿ばね、煽りプレートの貫通孔、上記球面軸受
のセンター孔に挿通させてからリングナットに螺合させ
て煽りプレートをベースプレート側に押し付ける方向に
締め付けて固定するようにしてなる定圧支持機構を組み
付け、又、上記第２支点部及び第３支点部には、煽りプ
レートとベースプレートに貫通孔を設けて、該ベースプ
レートの貫通孔を該煽りプレートの貫通孔よりも大径と
し、且つ該ベースプレートの貫通孔内に、後端部を煽り
プレートに当接させるようにしたセンター孔付き球面軸
受と、該球面軸受の前端側に後端側を当接させるように
したブッシュと、該ブッシュの前端側に当接させる雌ね
じブロックとを順に配置して、該雌ねじブロックをベー
スプレートに対して回転を規制して軸方向にのみ動ける
ようにすると共に、且つ上記煽りプレートの片面側に皿
ばねとその外側に止めナットを配置して、該止めナット
をベースプレート側に固定し、更に、煽りプレートをベ
ースプレート側に押し付けるように先端部側と基端部側
に差動ねじ部を有する調整ねじを、上記ブッシュ及び球
面軸受のセンター孔、皿ばねに通して、一方の差動ねじ
部を上記雌ねじブロックに、又、他方の差動ねじ部を止
めナットにそれぞれ螺合させ、該調整ねじを回転させて
雌ねじブロックを軸方向に変位させることにより上記第
１支点部の球面軸受部を支点に煽りプレートの煽り角度
を調整できるようにしてなる煽り調整機構を組み付けた
構成としてあるので、煽りプレートの角度調整時の支点
を皿ばねによる大きな押し付け荷重で保持することがで
きて、高い位置安定性と位置再現性及び高剛性を得るこ
とができると共に、球面軸受と差動ねじ部を有する調整
ねじの組み合わせにより、微調整を簡単に行うことがで
き、したがって、産業用大出力レーザ発振器等の精度の
要求される光学機器の光学素子の位置、角度を正確に調
整することができ、たとえば、振動や冷却水ホース（配
管）の引き回しにより外力の加わる可能性が高い系にお
いても、安定した位置保持力、位置再現性を実現するこ
とができる。又、第２支点部のベースプレートの貫通孔
を、第１支点部方向へ延びる長孔とし、第３支点部のベ
ースプレートの貫通孔を、ブッシュ部分が３６０°の方
向に動ける大きさに設定した構成とすることにより、調
整ねじに煽りプレートを正確に追従させることができ
る。更に、第１支点部に定圧支持機構を組み付けること
に代えて、第１支点部に、煽りプレートをベースプレー
ト側に押し付けるように先端部側と基端部側に差動ねじ
部を有する調整ねじを用いた煽り調整機構を組み付け
て、各支点部を、センター孔付きの球面軸受にブッシュ
を当接させる構成とすることにより、煽りプレートをベ
ースプレートに対し並進移動調整することができて、位
置調整範囲を拡大することができ、更に又、第１支点部
に定圧支持機構を組み付け、第２支点部と第３支点部に
煽り調整機構を組み付けることに代えて、いずれか１つ
の支点部のみに、煽りプレートをベースプレート側に押
し付けるように先端部側と基端部側に差動ねじ部を有す
る調整ねじを用いた煽り調整機構を組み付け、且つ残り
の支点部に定圧支持機構を組み付けた構成とすることに
よって、煽りプレートの一方向のみの煽り角度調整を安
定して行うことができる、等の優れた効果を発揮する。
学素子角度調整装置によれば、片面側に光学素子を取り
付けた煽りプレートの反対側の面をベースプレートに向
け対峙させて配置し、該両プレートの重なり部における
上記光学素子を取り囲む三角形の各頂点位置に、第１支
点部と第２支点部と第３支点部とを設定し、上記第１支
点部には、煽りプレートとベースプレートに貫通孔を設
けて、該ベースプレートの貫通孔を、該煽りプレートの
貫通孔よりも大径とし、且つ該ベースプレートの貫通孔
内に、後端部を煽りプレートに当接させるようにしたセ
ンター孔付きの球面軸受と、該球面軸受に当接させる球
面軸受支持用のリングナットとを配置して、該リングナ
ットをベースプレートに固定し、更に、皿ばねを煽りプ
レートの上記片面側に配してその外側から締め付けボル
トを、該皿ばね、煽りプレートの貫通孔、上記球面軸受
のセンター孔に挿通させてからリングナットに螺合させ
て煽りプレートをベースプレート側に押し付ける方向に
締め付けて固定するようにしてなる定圧支持機構を組み
付け、又、上記第２支点部及び第３支点部には、煽りプ
レートとベースプレートに貫通孔を設けて、該ベースプ
レートの貫通孔を該煽りプレートの貫通孔よりも大径と
し、且つ該ベースプレートの貫通孔内に、後端部を煽り
プレートに当接させるようにしたセンター孔付き球面軸
受と、該球面軸受の前端側に後端側を当接させるように
したブッシュと、該ブッシュの前端側に当接させる雌ね
じブロックとを順に配置して、該雌ねじブロックをベー
スプレートに対して回転を規制して軸方向にのみ動ける
ようにすると共に、且つ上記煽りプレートの片面側に皿
ばねとその外側に止めナットを配置して、該止めナット
をベースプレート側に固定し、更に、煽りプレートをベ
ースプレート側に押し付けるように先端部側と基端部側
に差動ねじ部を有する調整ねじを、上記ブッシュ及び球
面軸受のセンター孔、皿ばねに通して、一方の差動ねじ
部を上記雌ねじブロックに、又、他方の差動ねじ部を止
めナットにそれぞれ螺合させ、該調整ねじを回転させて
雌ねじブロックを軸方向に変位させることにより上記第
１支点部の球面軸受部を支点に煽りプレートの煽り角度
を調整できるようにしてなる煽り調整機構を組み付けた
構成としてあるので、煽りプレートの角度調整時の支点
を皿ばねによる大きな押し付け荷重で保持することがで
きて、高い位置安定性と位置再現性及び高剛性を得るこ
とができると共に、球面軸受と差動ねじ部を有する調整
ねじの組み合わせにより、微調整を簡単に行うことがで
き、したがって、産業用大出力レーザ発振器等の精度の
要求される光学機器の光学素子の位置、角度を正確に調
整することができ、たとえば、振動や冷却水ホース（配
管）の引き回しにより外力の加わる可能性が高い系にお
いても、安定した位置保持力、位置再現性を実現するこ
とができる。又、第２支点部のベースプレートの貫通孔
を、第１支点部方向へ延びる長孔とし、第３支点部のベ
ースプレートの貫通孔を、ブッシュ部分が３６０°の方
向に動ける大きさに設定した構成とすることにより、調
整ねじに煽りプレートを正確に追従させることができ
る。更に、第１支点部に定圧支持機構を組み付けること
に代えて、第１支点部に、煽りプレートをベースプレー
ト側に押し付けるように先端部側と基端部側に差動ねじ
部を有する調整ねじを用いた煽り調整機構を組み付け
て、各支点部を、センター孔付きの球面軸受にブッシュ
を当接させる構成とすることにより、煽りプレートをベ
ースプレートに対し並進移動調整することができて、位
置調整範囲を拡大することができ、更に又、第１支点部
に定圧支持機構を組み付け、第２支点部と第３支点部に
煽り調整機構を組み付けることに代えて、いずれか１つ
の支点部のみに、煽りプレートをベースプレート側に押
し付けるように先端部側と基端部側に差動ねじ部を有す
る調整ねじを用いた煽り調整機構を組み付け、且つ残り
の支点部に定圧支持機構を組み付けた構成とすることに
よって、煽りプレートの一方向のみの煽り角度調整を安
定して行うことができる、等の優れた効果を発揮する。
【図１】本発明の光学機器の光学素子角度調整装置の実
施の一形態を示す正面図である。
施の一形態を示す正面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ方向矢視図である。
【図３】図１の背面図である。
【図４】本発明の実施の他の形態を示す断面図である。
【図５】レーザ発振器の一例を示す概略図である。
【図６】従来の角度調整装置の一例を示すもので、
（イ）は正面図、（ロ）は（イ）の切断側面図である。
（イ）は正面図、（ロ）は（イ）の切断側面図である。
４ 半反射ミラー（光学素子） １５ 煽りプレート １６ ベースプレート １９ 定圧支持機構 ２０，２１ 煽り調整機構 ２２，２３ 貫通孔 ２４ 球面軸受 ２５ 締め付けボルト ２６ リングナット ２８ 皿ばね ２９，３０ 貫通孔 ３１ 球面軸受 ３２ ブッシュ ３３ 雌ねじブロック ３６ 調整ねじ ３６ａ，３６ｂ 差動ねじ部 ３９ 止めナット ４１ 皿ばね ４２ 貫通孔 ４５ 煽り調整機構
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大野 俊孝 東京都江東区豊洲三丁目１番15号 石川島 播磨重工業株式会社東京エンジニアリング センター内 (72)発明者 中島 審也 東京都江東区豊洲三丁目１番15号 石川島 播磨重工業株式会社東京エンジニアリング センター内 (72)発明者 森 浩一 東京都江東区東陽７−２−14 石川島シス テムテクノロジー株式会社内 (72)発明者 菊地 一也 東京都江東区東陽７−２−14 石川島シス テムテクノロジー株式会社内 Ｆターム(参考） 2H043 AB02 AB09 AB23 AB30 BC04 5F072 AA00 KK02 KK06 MM11 MM16
Claims (4)
- 【請求項１】 片面側に光学素子を取り付けた煽りプレ
ートの反対側の面をベースプレートに向け対峙させて配
置し、該両プレートの重なり部における上記光学素子を
取り囲む三角形の各頂点位置に、第１支点部と第２支点
部と第３支点部とを設定し、上記第１支点部には、煽り
プレートとベースプレートに貫通孔を設けて、該ベース
プレートの貫通孔を、該煽りプレートの貫通孔よりも大
径とし、且つ該ベースプレートの貫通孔内に、後端部を
煽りプレートに当接させるようにしたセンター孔付きの
球面軸受と、該球面軸受に当接させる球面軸受支持用の
リングナットとを配置して、該リングナットをベースプ
レートに固定し、更に、皿ばねを煽りプレートの上記片
面側に配してその外側から締め付けボルトを、該皿ば
ね、煽りプレートの貫通孔、上記球面軸受のセンター孔
に挿通させてからリングナットに螺合させて煽りプレー
トをベースプレート側に押し付ける方向に締め付けて固
定するようにしてなる定圧支持機構を組み付け、又、上
記第２支点部及び第３支点部には、煽りプレートとベー
スプレートに貫通孔を設けて、該ベースプレートの貫通
孔を該煽りプレートの貫通孔よりも大径とし、且つ該ベ
ースプレートの貫通孔内に、後端部を煽りプレートに当
接させるようにしたセンター孔付き球面軸受と、該球面
軸受の前端側に後端側を当接させるようにしたブッシュ
と、該ブッシュの前端側に当接させる雌ねじブロックと
を順に配置して、該雌ねじブロックをベースプレートに
対して回転を規制して軸方向にのみ動けるようにすると
共に、且つ上記煽りプレートの片面側に皿ばねとその外
側に止めナットを配置して、該止めナットをベースプレ
ート側に固定し、更に、煽りプレートをベースプレート
側に押し付けるように先端部側と基端部側に差動ねじ部
を有する調整ねじを、上記ブッシュ及び球面軸受のセン
ター孔、皿ばねに通して、一方の差動ねじ部を上記雌ね
じブロックに、又、他方の差動ねじ部を止めナットにそ
れぞれ螺合させ、該調整ねじを回転させて雌ねじブロッ
クを軸方向に変位させることにより上記第１支点部の球
面軸受部を支点に煽りプレートの煽り角度を調整できる
ようにしてなる煽り調整機構を組み付けた構成を有する
ことを特徴とする光学機器の光学素子角度調整装置。 - 【請求項２】 第２支点部のベースプレートの貫通孔
を、第１支点部方向へ延びる長孔とし、第３支点部のベ
ースプレートの貫通孔を、ブッシュ部分が３６０°の方
向に動ける大きさに設定した請求項１記載の光学機器の
光学素子角度調整装置。 - 【請求項３】 第１支点部に定圧支持機構を組み付ける
ことに代えて、第１支点部に、煽りプレートをベースプ
レート側に押し付けるように先端部側と基端部側に差動
ねじ部を有する調整ねじを用いた煽り調整機構を組み付
けて、各支点部を、センター孔付きの球面軸受にブッシ
ュを当接させる構成とする請求項１記載の光学機器の光
学素子角度調整装置。 - 【請求項４】 第１支点部に定圧支持機構を組み付け、
第２支点部と第３支点部に煽り調整機構を組み付けるこ
とに代えて、いずれか１つの支点部のみに、煽りプレー
トをベースプレート側に押し付けるように先端部側と基
端部側に差動ねじ部を有する調整ねじを用いた煽り調整
機構を組み付け、且つ残りの支点部に定圧支持機構を組
み付けた請求項１記載の光学機器の光学素子角度調整装
置。
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