JP2001010037A - インク噴射装置 - Google Patents
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
噴射するものにおいて、側壁に形成した電極と制御回路
との電気的な接続が容易でかつ部品点数が少なく低コス
トのインク噴射装置を提供する。 【解決手段】 噴射チャンネル113と非噴射チャンネ
ル115との間は圧電材料製の側壁117で隔てられ、
噴射チャンネル113の一端を閉塞する閉塞部120、
および非噴射チャンネル115の他端を閉塞する閉塞部
111がそれぞれ形成されている。両チャンネルの上面
を覆うカバー兼ノズルプレート140には、噴射チャン
ネルと対応するノズル118が形成されている。インク
はマニホールド部材132から噴射チャンネル113に
その他端側から供給される。噴射しようとする噴射チャ
ンネル113内の電極119は、閉塞部111に形成さ
れた連結共通電極123を介してアースに接続され、該
噴射チャンネル113を挟んで隣接する2つの非噴射チ
ャンネル内の駆動電極には、閉塞部120に形成された
連結駆動電極122から電圧が印加される。
Description
関するものである。
装置にとってかわり、その市場を大きく拡大しつつある
ノンインパクト方式の印字装置のなかで、原理が最も単
純で、かつ多階調化やカラー化が容易であるものとし
て、インクジェット方式の印字装置が挙げられる。なか
でも印字に使用するインク液滴のみを噴射するドロップ
・オン・デマンド型が、噴射効率の良さ、ランニングコ
ストの安さなどから急速に普及している。
53−12138号公報に開示されているカイザー型、
あるいは特公昭61−59914号公報に開示されてい
るサーマルジェット型がその代表的な方式としてある。
このうち、前者は小型化が難しく、後者は高熱をインク
に加えるためにインクの耐熱性に対する要求が必要とさ
れ、それぞれに非常に困難な問題を抱えている。
方式として提案されたのが、特開昭63−247051
号公報に開示されている圧電セラミックスを利用したせ
ん断モード型である。せん断モード型のインク噴射装置
は、インク噴射チャンネルの左右両側を画定する側壁
を、その高さ方向に分極し、該側壁の両側面に形成した
電極によって分極方向と直交する方向の電界を生成する
と、側壁はせん断モード変形、すなわち菱形に変形し
て、インク噴射チャンネルの容積を増減し、インクに噴
射のための圧力を与える。
ルにおける側壁の変形が隣のチャンネルに影響を与えな
いように、各噴射チャンネルの間に非噴射チャンネルを
設けることが望ましい。
噴射装置では、多数の噴射チャンネルが微細ピッチで配
列されるため、各側壁の電極と制御回路を電気的に接続
することが困難であり、ワイヤボンディング法によって
接続をすることが提案されていた。また、例えば特開平
7−132589号公報に開示されているように、噴射
チャンネルを形成する部材の一端に、該噴射チャンネル
の前端に直交する溝を形成し、該溝の側面に沿って噴射
チャンネル内の電極を延長して、前記部材の外面に引き
出し、制御回路と接続しやすくしたものがある。いずれ
の場合も加工工数が多くなり、コストが高いという問題
がある。
を設けた場合、インクが非噴射チャンネルに流れ込まな
いように非噴射チャンネルの端部を閉塞しておいて、噴
射チャンネルの一端にインクを供給するマニホールド部
材を接合し、また、噴射チャンネルの他端にノズル孔を
有するノズルプレートを接合し、噴射チャンネルおよび
非噴射チャンネルの長手方向側面をカバープレートによ
って覆う必要があり、部品点数が多く、加工工数も多か
った。本発明は、上述した問題点を解決するためになさ
れたものであり、制御回路との電気的な接続が容易で、
また部品点数が少なく低コストのインク噴射装置を提供
することを目的とする。
に請求項1の発明では、インクを噴射する複数の噴射チ
ャンネルと、その噴射チャンネルの両側に設けられイン
クを噴射しない複数の非噴射チャンネルとが、分極され
た圧電材料で少なくとも一部が構成された側壁によって
相互に隔てて形成されたアクチュエータ基板と、前記側
壁の両側面に形成された電極とを備え、その両電極をと
おして前記側壁に電圧を印加することにより、前記側壁
を変形させ前記噴射チャンネル内のインクに圧力を与え
てそのインクを噴射するインク噴射装置において、前記
アクチュエータ基板は、前記側壁と連続して形成され、
かつ前記複数の噴射チャンネルの各一端を閉塞する噴射
チャンネル閉塞部、および前記複数の非噴射チャンネル
の各他端を閉塞する非噴射チャンネル閉塞部を有し、前
記噴射チャンネルを挟んで隣接する2つの非噴射チャン
ネル内の駆動電極は、前記噴射チャンネル閉塞部の一部
の表面に形成された連結駆動電極により電気的に接続さ
れ、かつ前記複数の噴射チャンネル内の共通電極どおし
は、前記非噴射チャンネル閉塞部の一部の表面に形成さ
れた連結共通電極により電気的に接続されている。
チャンネル閉塞部が非噴射チャンネルへのインクの浸入
を防ぐと同時に、その閉塞部の一部に形成された連結共
通電極が、全ての噴射チャンネル内の電極を電気的に相
互に接続する役割をしている。また、噴射チャンネル閉
塞部が該噴射チャンネルからのインクの漏出を防ぐと同
時に、その噴射チャンネル閉塞部の一部に形成された連
結駆動電極が、該噴射チャンネルを挟んで隣接する2つ
の駆動電極を電気的に相互に接続する役割をしている。
これにより、制御回路からのびるFPCなどの配線部材
との電気接続を容易にしている。なお、連結共通電極
は、該配線部材と接続してもよいが、導電性のフレーム
等に接続してアースすることもできる。
圧電材料は、該側壁の高さ方向と平行方向に分極されて
いる。これにより、側壁の側面に印加される駆動電圧
と、分極方向が直交するため、側壁はせん断モードの変
形をする。
と対応するノズルを有するノズルプレートを噴射および
非噴射チャンネルを覆って設けている。これにより、ノ
ズルプレートが各チャンネルの長手方向側面を覆う部材
を兼ねることができ、部品点数を減らし、部品コスト、
工程コストを低減することができる。
は、前記連結駆動電極および前記連結共通電極と電気的
に接続する導電性のパターンを有している。これによ
り、ノズルプレートが制御回路との電気接続部品とを兼
ね、さらに部品点数を減らし、製造コストを低減するこ
とができる。
の噴射チャンネルと、その噴射チャンネルの両側に設け
られインクを噴射しない複数の非噴射チャンネルとが、
分極された圧電材料で少なくとも一部が構成された側壁
によって相互に隔てて形成されたアクチュエータ基板
と、前記側壁の両側面に形成された電極とを備え、その
両電極をとおして前記側壁に電圧を印加することによ
り、前記側壁を変形させ前記噴射チャンネル内のインク
に圧力を与えてそのインクを噴射するインク噴射装置に
おいて、前記アクチュエータ基板は、前記側壁の一端に
連続して前記複数の噴射チャンネルの各一端を閉塞する
ように形成された噴射チャンネル閉塞部、および前記側
壁の他端に連続して前記複数の非噴射チャンネルの各他
端を閉塞するように形成された非噴射チャンネル閉塞部
を有し、前記噴射および非噴射チャンネルの長手方向側
面を覆うノズルプレートに、前記噴射チャンネルと対応
するノズルを設け、前記アクチュエータ基板の前記他端
に、前記複数の噴射チャンネルにインクを供給するマニ
ホールド部材を接続している。
ールド部材からインクを複数の噴射チャンネルに供給す
るとともに、噴射チャンネル閉塞部が噴射チャンネル一
端からのインクの漏出を防ぎ、非噴射チャンネル閉塞部
がマニホールド部材から非噴射チャンネルへのインクの
浸入を防ぐ。また、ノズルプレートが各チャンネルの長
手方向側面を覆う部材を兼ねることができ、部品点数を
減らし、部品コスト、工程コストを低減することができ
る。
て前記噴射チャンネルを挟んで隣接する2つの非噴射チ
ャンネル内の駆動電極は、前記噴射チャンネル閉塞部の
一部の表面に形成された連結駆動電極により電気的に接
続され、かつ前記複数の噴射チャンネル内の共通電極ど
おしは、前記非噴射チャンネル閉塞部の一部の表面に形
成された連結共通電極により電気的に接続されている。
部の一部に形成された連結共通電極が、全ての噴射チャ
ンネル内の電極を電気的に相互に接続する役割をし、噴
射チャンネル閉塞部の一部に形成された連結駆動電極
が、該噴射チャンネルを挟んで隣接する2つの駆動電極
を電気的に相互に接続する役割をし、制御回路からのび
るFPCなどの配線部材との電気接続を容易にしてい
る。
の形態について図面を参照して説明する。
は、アクチュエータ基板100と、カバー兼ノズルプレ
ート140と、マニホールド部材132と、配線部材例
えばFPC(フレキシブルプリント基板)130とで構
成されている。
2枚のチタン酸ジルコン酸鉛系(PZT)の圧電セラミ
ックス材料101,102からなる。各材料101,1
02は相互に反対方向にそれぞれ厚さ方向109A,1
09Bに分極されている。なお、2枚とも圧電材料であ
る必要はなく、一方のみ圧電材料で構成すればよい。該
2枚の材料101,102には、厚さ方向にわたって、
インク噴射チャンネル113と非噴射チャンネル115
とが、ダイヤモンドブレード、レーザー等により切削加
工されている。噴射チャンネル113と非噴射チャンネ
ル115は、側壁117を挟んで交互に配置され、ま
た、同じ深さであり、かつ平行であり、アクチュエータ
基板100の上面100cに開口して加工されている。
ルド流路133からインクを導入するために、後部端面
100bに開口しているが、非噴射チャンネル115に
はマニホールド流路133からのインクの浸入を防ぐた
めに、後部端面100bにおいて、前記側壁117と連
続して形成された非噴射チャンネル閉塞部111が設け
られている。一方、アクチュエータ基板100の前部端
面100aでは、噴射チャンネル113からインクが漏
れることを防ぐために、噴射チャンネルの前端に閉塞部
120が設けられ、逆に非噴射チャンネル115は開口
している。各閉塞部111,120は側壁117と連続
して形成されている。
ンネル113,115の長手方向側面が開口するアクチ
ュエータ基板100の上面100cに接着剤にて接合さ
れる。該プレート140には、噴射チャンネル113に
対応してノズル118が貫通形成されている。マニホー
ルド部材132は、アクチュエータ基板100とカバー
兼ノズルプレート140の後部端面に接着剤にて接合さ
れる。マニホールド部材132はその供給口132aが
図示しないインクタンク等のインク供給源に接続され、
マニホールド流路133をへて複数のチャンネル113
にインクを供給する。
導電性の金属化層として共通電極119、非噴射チャン
ネル115の内面には導電性の金属化層として駆動電極
121がそれぞれ形成されている。同一の非噴射チャン
ネル115内で対向して隣接する駆動電極121間は、
相互に隔てられ、電気的に絶縁されており、噴射チャン
ネル113を挟んで隣接する2つの駆動電極121間
は、前記閉塞部120の前部端面100a表面に形成さ
れた導電性の金属化層としてなる連結駆動電極122を
介して電気的に導通している。また、全ての噴射チャン
ネル113内の電極119は、非噴射チャンネル閉塞部
111の後部端面100b表面に形成された導電性の金
属化層としてなる連結共通電極123を介して電気的に
相互に導通している。連結共通電極123は、アクチュ
エータ基板100の右または左側部端面100eの金属
化層、または底面100dの金属化層を介して前部端面
100aに設けられた電極126に連続している。電極
126と連結駆動電極122との間は、相互に隔てら
れ、電気的に絶縁されている。
C130に形成された電極パターン131を介して図示
しない制御回路に接続される。電極126は廃止して連
結共通電極123を図示しない導電性のフレーム等を介
してアースに接続してもよい。
共通電位例えばアースに接続し、インクを噴射しようと
する噴射チャンネルの両外側の駆動電極121,121
に、図示しない制御回路が電極パターン131、連結駆
動電極122を介して電圧を印加することによって、該
噴射チャンネルの側壁117が、図2に示すように噴射
チャンネル113の容積を増加する方向にせん断モード
で変形する。詳細に説明すると、噴射チャンネルを挟む
両側壁117にそれぞれ分極方向と直交する方向13
5、137の電界が発生し、側壁117を構成する材料
101,102がそれぞれ側壁の高さ方向に反対方向1
09A,109Bに分極されているから、側壁117の
上下各材料がそれぞれ反対方向に菱形に変形する。この
ときノズル118付近を含む噴射チャンネル113内の
圧力が減少する。この状態を、インクに発生した圧力波
の噴射チャンネル113内での片道伝播時間Tだけ維持
する。また、その間にマニホールド流路133からイン
クが供給される。
ル113内の圧力波が、噴射チャンネル113の長手方
向に伝播するのに必要な時間であり、噴射チャンネル1
13の長さLとこの噴射チャンネル113内部のインク
中での音速aによりT=L/aと決まる。
印加からほぼT時間がたつと噴射チャンネル113内の
圧力が逆転し、正の圧力に転じるが、このタイミングに
合わせて駆動電極121に印加されている電圧を0
(V)に戻す。すると、側壁117が変形前の状態に戻
り、インクに圧力が加えられる。そのとき、前記正に転
じた圧力と、側壁117が変形前の状態に戻ることによ
り発生した圧力とが加え合わされ、比較的高い圧力が噴
射チャンネル113のノズル118付近の部分に生じ
て、インク液滴がノズル118から噴射される。
10の製造方法について図面を参照して説明する。
1,102を積層したアクチュエータ基板100に対し
て、ダイヤモンドブレードやレーザー等による切削加工
を行い、噴射チャンネル113と非噴射チャンネル11
5となる複数の溝を千鳥状に形成し、最終的に切断部
Y、Zにて分割することで複数個のアクチュエータ基板
100を得る。ここで、噴射チャンネル113と非噴射
チャンネル115の両溝とも、突っ切りの形状でなく、
インク噴射装置になったときに必要な長さの約2倍の長
さで、溝長さ方向(図中左右方向)の両端にそれぞれ閉
塞部120、111を有している。閉塞部120と閉塞
部111とは、溝の長さ方向において、インク噴射装置
になったときのアクチュエータ基板100の幅(Y−Z
間長さ)だけずらして配置し、それぞれの中心Y、Zを
切断している。
板100は、メッキ等の手法により図3(b)に示すよ
うに、全表面に導電性の金属化層が形成される。
除去する。平面研削装置等により上部端面100cの金
属化層を除去し、各チャンネル内の金属化層を電極11
9、駆動電極121として独立させる。非噴射チャンネ
ル115内で対向して隣接する駆動電極121間を電気
的に絶縁状態にするために、ダイヤモンドブレード、レ
ーザー等の切削加工により、非噴射チャンネル内底部1
25の金属化層を非噴射チャンネルの長手方向に除去す
る。さらに該非噴射チャンネル内底部125と連続する
ように前部端面100a上の金属化層を除去する分割溝
124を形成する。その結果、該前部端面100a上に
残る金属化層が、噴射チャンネル113両外側の2つの
駆動電極121と接続した連結駆動電極122となる。
bの金属化層は、連結共通電極123として残される。
連結共通電極123は、前部端面100aに形成されて
いる電極126に、側部端面100eまたは底面100
dの金属化層を介して接続している。底面100dの金
属化層は平面研削加工等により完全に除去してもよい
が、残す場合、該金属化層と連結共通電極123との間
は、金属化層が除去され、電気的に絶縁状態にされる。
113内の電極119は、非噴射チャンネル閉塞部11
1の後部端面100bに形成された連結共通電極123
を介して、相互に電気的に導通している。同一の非噴射
チャンネル115内で対向して隣接する2つの駆動電極
121間は、電気的に絶縁されており、噴射チャンネル
113を挟んで隣接する2つの駆動電極121は、閉塞
部120の前部端面100aに形成された連結駆動電極
122にそれぞれ電気的に導通している。
板100に対して、図1に示すように上部端面100c
に、ノズル118を有するカバー兼ノズルプレート14
0を、該ノズル118と噴射チャンネル113とが連通
するように接合する。次に、マニホールド流路133を
有するマニホール132を前記アクチュエータ基板10
0の後部端面100bに、該マニホールド流路133
と、噴射チャンネル113とが連通するように接合す
る。
PC130を、前記アクチュエータ基板100の前部端
面100aに、連結駆動電極122および電極126と
電極パターン131とが電気的に導通するように接合す
ることで、インク噴射装置10となる。この電極パター
ン131は、他端で図示しない制御回路と電気的に接続
される。
ク噴射装置10では、非噴射チャンネル閉塞部111が
マニホールド流路133から非噴射チャンネル115へ
のインクの浸入を防ぐと同時に、その非噴射チャンネル
閉塞部111の後部端面100bに形成された連結共通
電極123が、全ての噴射チャンネル内電極119間を
電気的に接続する役割をしている。また、閉塞部120
が噴射チャンネル113からのインクの漏出を防ぐと同
時に、その閉塞部120の前部端面100aに形成され
た連結駆動電極123が、噴射チャンネル113を挟ん
で隣接する駆動電極121と電気的に接続し、かつFP
C130の電極パターン131との接続部としての役割
をしている。このため、従来のような余分な溝加工など
を必要とせずに電極を引き回すことができ、簡単に制御
部との電気接続ができるようになった。また、ノズルプ
レートとカバープレートが別部品でなく1つの部品とし
て構成されているので、部品点数が減り、部品コスト、
工程コストがさらに低減されている。
をアクチュエータ基板100の前部端面100aに接合
したが、アクチュエータ基板100の底面100dにて
接合してもよい。この場合には、連結駆動電極122に
電気的に接続する電極をそのままアクチュエータ基板1
00の底面100dに形成しておけばよいので、予めメ
ッキ法等により形成しておいた金属化層を、ダイヤモン
ドブレード、レーザー等の切削加工により、分割して必
要な電極パターン配置にすればよい。また、本実施の形
態では、側壁117の高さ方向全体に電極119,12
1を形成したが、材料101,102の一方のみを圧電
材料にした場合にはその圧電材料の部分のみに電極を形
成するようにしてもよい。さらに、アクチュエータ基板
100を1つの圧電材料で形成して、側壁117の上ま
たは下半分のみに電極を形成するようにしてもよい。連
結駆動電極122は、アクチュエータ基板100に不要
な部分のみマスク処理して導電性金属を蒸着等により形
成するようにしてもよい。
を示すもので、カバー兼ノズルプレート140Aが2個
分の大きさに形成されて、2個のアクチュエータ基板1
00がその前部端面を向かい合わせるように、カバー兼
ノズルプレート140Aにそえぞれ接合されている。マ
ニホールド部材132は2個のアクチュエータ基板10
0の後部端面にそれぞれ接合されている。アクチュエー
タ基板100、FPC130およびマニホールド部材1
32の構造は、前記実施の形態と同様である。この場
合、2列のノズル118の位置関係を高精度に設定する
ことができる。また、記録密度を高めるためにノズル1
18は2列の千鳥状に配置されることが好ましい。
で、FPC130が廃止され、カバー兼ノズルプレート
140Bに電極パターン131が設けられる。
は噴射チャンネル113の閉塞部120の上面に形成さ
れ、連結共通電極123Bは非噴射チャンネル115の
閉塞部111の上面に形成されている。アクチュエータ
基板100の前部および後部端面100a,100bに
は導電性の金属化層は存在しない。カバー兼ノズルプレ
ート140Bには、連結駆動電極122Bに対応して個
々の電極パターン131B−1、複数の連結共通電極1
23Bに対応して1つの連続した電極パターン131B
−2がそれぞれ形成され、カバー兼ノズルプレート14
0Bをアクチュエータ基板100上に接合したとき、そ
れらが相互に電気的に接続される。電極パターン131
Bの端部は、図示しない制御回路に接続される。
は、図3(a)に示すように噴射チャンネル119およ
び非噴射チャンネル115となる溝を形成した後、Y,
Zで切断する前に、アクチュエータ基板にメッキ等によ
り導電性の金属化層を形成する。その後、Y,Zで切断
することで、前部および後部端面100a,100bに
金属化層のないアクチュエータ基板100を得ることが
できる。そして、アクチュエータ基板100の上面10
0cにおいて、連結駆動電極122B、連結共通電極1
23Bを残しながら該上面100cの金属化層を除去す
ることで、アクチュエータ基板が完成する。
ート140B上に制御回路を一体に配置するようにして
もよい。また、カバー兼ノズルプレート140Bは、前
記FPCと同様なフレキシブルな材料を用いることもで
きる。
のである。アクチュエータ基板100Cには、チャンネ
ル113,115のなす列が2列一体に設けられる。詳
細に説明すると、図7にアクチュエータ基板の一部平面
を示すように、一方の列の噴射チャンネル113と他方
の列の非噴射チャンネル115とが対応するように配置
されている。このため、噴射チャンネル閉塞部120C
は、他方の列の非噴射チャンネル115の一方の端部も
閉塞していることになり、該非噴射チャンネル115の
他方の端部は、前述の実施の形態と同様にアクチュエー
タ基板の端部において閉塞部111Cによって閉塞され
ている。
ャンネル115内には前述の実施の形態と同様に電極1
19、駆動電極121,121が形成されている。噴射
チャンネル閉塞部120Cの上面には、噴射チャンネル
113を挟む両非噴射チャンネル115,115の該噴
射チャンネル側駆動電極121,121に接続した連結
駆動電極122Cが形成され、また、非噴射チャンネル
閉塞部111Cの上面には、隣接する噴射チャンネル1
13内の電極119に接続した連結共通電極123Cが
形成されている。
列の噴射チャンネル113に対応してノズル118が2
列形成され、また、連結共通電極123Cおよび連結駆
動電極122Cに対応して、図示しないが図5と同様の
電極パターン131Bが2組形成されている。
ータ基板100Cの底面から両端部に沿ってアクチュエ
ータ基板100Cを囲むようにコ字状をなし、2つの列
の噴射チャンネル113に同時にインクを供給するよう
にしている。マニホールド流路133の上端は、カバー
兼ノズルプレート140Cによって閉塞されている。
ータ基板、カバー兼ノズルプレートおよびマニホールド
部材がそれぞれ一体に構成され、いっそう部品点数を減
らすことができる。
またはノズルプレート140上の電極パターン131,
131Bの、アクチュエータ基板に接合される端部が、
連結駆動電極122,122B,122Cと同じかわず
か大きい幅を有していれば、アクチュエータ基板側の連
結駆動電極122を廃止し、電極パターン131,13
1Bの端部を2つの駆動電極121に直接接続すること
ができる。同様に、連結共通電極123B、123Cも
廃止し、電極119を電極パターンに直接接続すること
もできる。
置によれば、非噴射チャンネル閉塞部が非噴射チャンネ
ルへのマニホールド部材からのインクの浸入を防ぐと同
時に、その非噴射チャンネル閉塞部の一部に形成された
連結共通電極が、全ての噴射チャンネル内電極間を電気
的に接続する役割をしている。また、噴射チャンネル閉
塞部が噴射チャンネルからのインクの漏出を防ぐと同時
に、その閉塞部の一部に形成された連結駆動電極が、噴
射チャンネルを挟んで隣接する駆動電極と電気的に接続
し、かつFPCなど配線部材との接続部としての役割を
している。このため、簡単に制御回路との電気接続がで
きるようになった。
噴射チャンネルの一端および他端を閉塞し、噴射チャン
ネルと対応するノズルを有するノズルプレートを噴射お
よび非噴射チャンネルを覆って設け、噴射チャンネルに
インクを供給するマニホールド部材をアクチュエータ基
板に接続した構成であるから、部品点数が減り、製造コ
ストを低減することができる。
斜視図である。
である。
る。
す断面図である。
置の分解斜視図である。
置の断面図である。
一部平面図である。
Claims (6)
- 【請求項1】 インクを噴射する複数の噴射チャンネル
と、その噴射チャンネルの両側に設けられインクを噴射
しない複数の非噴射チャンネルとが、分極された圧電材
料で少なくとも一部が構成された側壁によって相互に隔
てて形成されたアクチュエータ基板と、前記側壁の両側
面に形成された電極とを備え、その両電極をとおして前
記側壁に電圧を印加することにより、前記側壁を変形さ
せ前記噴射チャンネル内のインクに圧力を与えてそのイ
ンクを噴射するインク噴射装置において、 前記アクチュエータ基板は、前記側壁と連続して形成さ
れ、かつ前記複数の噴射チャンネルの各一端を閉塞する
噴射チャンネル閉塞部、および前記複数の非噴射チャン
ネルの各他端を閉塞する非噴射チャンネル閉塞部を有
し、 前記噴射チャンネルを挟んで隣接する2つの非噴射チャ
ンネル内の駆動電極は、前記噴射チャンネル閉塞部の一
部の表面に形成された連結駆動電極により電気的に接続
され、かつ前記複数の噴射チャンネル内の共通電極どお
しは、前記非噴射チャンネル閉塞部の一部の表面に形成
された連結共通電極により電気的に接続されていること
を特徴とするインク噴射装置。 - 【請求項2】 前記側壁を構成する圧電材料は、該側壁
の高さ方向と平行方向に分極されていることを特徴とす
る請求項1記載のインク噴射装置。 - 【請求項3】 前記噴射チャンネルと対応するノズルを
有するノズルプレートを噴射および非噴射チャンネルを
覆って設けたことを特徴とする請求項1記載のインク噴
射装置。 - 【請求項4】 前記ノズルプレートは、前記連結駆動電
極および前記連結共通電極と電気的に接続する導電性の
パターンを有することを特徴とする請求項3記載のイン
ク噴射装置。 - 【請求項5】 インクを噴射する複数の噴射チャンネル
と、その噴射チャンネルの両側に設けられインクを噴射
しない複数の非噴射チャンネルとが、分極された圧電材
料で少なくとも一部が構成された側壁によって相互に隔
てて形成されたアクチュエータ基板と、前記側壁の両側
面に形成された電極とを備え、その両電極をとおして前
記側壁に電圧を印加することにより、前記側壁を変形さ
せ前記噴射チャンネル内のインクに圧力を与えてそのイ
ンクを噴射するインク噴射装置において、 前記アクチュエータ基板は、前記側壁の一端に連続して
前記複数の噴射チャンネルの各一端を閉塞するように形
成された噴射チャンネル閉塞部、および前記側壁の他端
に連続して前記複数の非噴射チャンネルの各他端を閉塞
するように形成された非噴射チャンネル閉塞部を有し、 前記噴射および非噴射チャンネルの長手方向側面を覆う
ノズルプレートに、前記噴射チャンネルと対応するノズ
ルを設け、 前記アクチュエータ基板の前記他端に、前記複数の噴射
チャンネルにインクを供給するマニホールド部材を接続
したことを特徴とするインク噴射装置。 - 【請求項6】 前記噴射チャンネルを挟んで隣接する2
つの非噴射チャンネル内の駆動電極は、前記噴射チャン
ネル閉塞部の一部の表面に形成された連結駆動電極によ
り電気的に接続され、かつ前記複数の噴射チャンネル内
の共通電極どおしは、前記非噴射チャンネル閉塞部の一
部の表面に形成された連結共通電極により電気的に接続
されていることを特徴とする請求項5記載のインク噴射
装置。
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ID=16164254
Family Applications (1)
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JP18506899A Expired - Lifetime JP3899731B2 (ja) | 1999-06-30 | 1999-06-30 | インク噴射装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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- 1999-06-30 JP JP18506899A patent/JP3899731B2/ja not_active Expired - Lifetime
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