JP2001009233A - Plasma arc decomposing and detoxifying device for fluorocarbon, or the like - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To facilitate maintenance and inspection and to enable cleaning/ removing and parts exchange in a short time and inexpensively. SOLUTION: In this device, when carbonized products stuck to a firing/ treating tank 40 is cleaned/removed by using a device in which the lower part of a cooling bracket 16 and the firing/treating tank 40 are connected freely rotatively by an opening/closing hinge 35, the carbonized products stuck to the firing/treating tank 40 is cleaned/removed in a state in which maintenance and inspection are facilitated by rotating the cooling bracket 16 by the opening/ closing hinge 35. Moreover, when a reaction nozzle supporting flange 34 mounted at the lower part of the cooling bracket 16 is etched by CO, or the like, only the reaction nozzle supporting flange 34 is exchanged in the state in which the maintenance and inspection are facilitated.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、オゾン層を破壊す
るフロン又は代替フロンを分解して無害化する装置に関
するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for decomposing and detoxifying chlorofluorocarbon or alternative chlorofluorocarbon which destroys the ozone layer.

【０００２】[0002]

【従来の技術】地球の成層圏オゾン層の破壊、南極オゾ
ンホール等を引き起こしているフロンの生産を中止し
て、成層圏オゾン破壊能力の小さいフロン（ＨＣＦ
Ｃ）、塩素を含まない代替フロン（ＨＦＣ）等の代替物
質の開発が近年の重要な課題となっている。2. Description of the Related Art The production of chlorofluorocarbon causing the destruction of the stratospheric ozone layer of the earth, the ozone hole of the Antarctic, and the like is stopped, and chlorofluorocarbon (HCF) having a low stratospheric ozone depletion capacity is stopped.
C), Development of alternative substances such as chlorine-free alternative chlorofluorocarbon (HFC) has been an important issue in recent years.

【０００３】このオゾン層を破壊するクロロフルオロカ
ーボンＣＦＣ、代替フロン（ＨＦＣ）等が、大気に流出
すると対流圏から高度３０Km付近の成層圏に徐々に達し
て、紫外線によって分解された塩素原子が発生し、この
塩素原子がオゾンＯ3を破壊する。オゾン層が破壊され
ると、オゾン層が生物に有害な短波長紫外線ＵＶ−Ａの
吸収能力が低下する。短波長紫外線は、地上に達するエ
ネルギー量が少ないが、白内症、皮膚の免疫能力の低
下、皮膚癌の増加等人間の健康を害することが知られて
いる。[0003] When chlorofluorocarbon CFC, alternative chlorofluorocarbon (HFC) and the like, which destroy the ozone layer, flow into the atmosphere, they gradually reach the stratosphere at an altitude of about 30 km from the troposphere, generating chlorine atoms decomposed by ultraviolet rays. Chlorine atoms destroy ozone O3. When the ozone layer is destroyed, the ability of the ozone layer to absorb short-wave UV-A, which is harmful to living organisms, decreases. Although short-wavelength ultraviolet rays have a small amount of energy reaching the ground, they are known to impair human health such as cataracts, decreased skin immunity, and increased skin cancer.

【０００４】大気に流出したフロン及び代替フロン（以
下、フロン等という）の総量に比べて、単位時間あたり
成層圏で光分解されるフロン等の総量はごくわずかであ
るので、フロン等の滞留帰還は、数十年から数百年の長
年月となり、光分解で生成された塩素原子がオゾン層を
破壊し続ける。したがって、使用済みのフロン等を回収
する回収技術の開発も続けられている。[0004] Compared to the total amount of Freon and alternative Freon (hereinafter referred to as Freon) discharged into the atmosphere, the total amount of Freon and the like that is photodecomposed in the stratosphere per unit time is negligible. For decades to hundreds of years, chlorine atoms generated by photolysis continue to destroy the ozone layer. Therefore, the development of a recovery technique for recovering used CFCs and the like has been continued.

【０００５】冷媒としてクーラに使用されたフロン等
は、機器から漏れて大気に流出し、また半導体エッチン
グに使用されたフロン等を含む廃液からも、密閉してい
ないと、フロン等が大気に流出し、さらに、回収したフ
ロン等も保管中に滴れて大気に流出しやすいので、回収
したフロン等を出来るだけ早く無害化しなければならな
い。Freon and the like used in a cooler as a refrigerant leak from the equipment and flow out to the atmosphere. Also, from a waste liquid containing Freon and the like used in semiconductor etching, Freon and the like flow into the atmosphere if not sealed. Further, the collected Freon and the like are also liable to drop into the atmosphere during storage, so that the collected Freon and the like must be rendered harmless as soon as possible.

【０００６】また、回収したフロン等を無害化する装置
に運搬する途中においても、回収したフロン等が、漏れ
て大気に流出する。したがって、回収したフロン等を無
害化する装置は、大形の装置を集中的に設備するより
も、小形の装置を多数分散して設備することが望まし
い。[0006] Also, during transportation of the collected Freon to a detoxifying device, the collected Freon leaks and flows out to the atmosphere. Therefore, it is desirable that a device for detoxifying the collected chlorofluorocarbons and the like is provided by dispersing a large number of small devices rather than intensively installing large devices.

【０００７】しかし、小形の装置を多数分散して設備す
るときは、設備台数の合計の設備費及びランニングコス
トが、集中的に設備する大形の装置の設備費及びランニ
ングコストよりも高価にならないようにしなければなら
ない。また、多数の人が取り扱えるように、操作の単純
化、保守の容易化等も課題となり、このような要望を満
たすフロン等の分解技術の開発も重要である。[0007] However, when a large number of small devices are distributed and installed, the total equipment cost and running cost of the number of equipment are not higher than the equipment cost and running cost of a large-sized device that is intensively installed. I have to do it. In addition, simplification of operation and easiness of maintenance are also issues so that a large number of people can handle them. It is also important to develop a decomposition technology such as chlorofluorocarbon which satisfies such demands.

【０００８】したがって、クロロフルオロカーボンＣＦ
Ｃの生産を中止し、オゾン層を破壊しない代替物質の開
発だけでなく、生産済みのフロン等を大気に流出させな
いように回収して無害化することも重要な課題である。Accordingly, the chlorofluorocarbon CF
It is an important task not only to stop the production of C and develop a substitute substance that does not destroy the ozone layer, but also to recover and detoxify the produced chlorofluorocarbons so as not to flow into the atmosphere.

【０００９】先行発明は、本出願人が平成９年３月１７
日に出願したフロンのプラズマアーク分解方法及び装置
の技術である。図２は、先行発明のフロンの「プラズマ
アーク分解装置１０」と「プラズマアーク電源装置２
０」とを動作させてフロンをプラズマ分解するプラズマ
分解方法の説明図である。図３（Ａ）は、図２の反応ノ
ズル１５の旋回投入孔１５ｈ部分の斜視図であり、同図
（Ｂ）は、図２の反応ノズル１５の旋回投入孔１５ｈ部
分の「イーイ」断面図である。図４は、フロンの「プラ
ズマアーク分解装置１０」のプラズマトーチ１０Ａと陽
極ノズル１４と反応ノズル１５との構造の一部断面図で
ある。以下、図２乃至図４を参照して先行発明を説明す
る。「プラズマアーク分解装置１０」の内の「プラズマ
トーチ１０Ａ」は、電極（マイナス電極）１２と電極支
持体１１とプラズマ拘束ノズル１３とから形成され、
「プラズマアーク電源装置２０」はそのプラズマトーチ
１０Ａに電力を供給する。The prior invention was filed by the present applicant on March 17, 1997.
It is a technique of a plasma arc decomposition method and an apparatus of flon applied for on the date. FIG. 2 shows the "plasma arc decomposition apparatus 10" and the "plasma arc power supply 2"
FIG. 4 is an explanatory view of a plasma decomposition method for operating a “0” to plasma-decompose CFCs. FIG. 3A is a perspective view of the swirl input hole 15h portion of the reaction nozzle 15 of FIG. 2, and FIG. 3B is a "E" cross-sectional view of the swirl input hole 15h portion of the reaction nozzle 15 of FIG. It is. FIG. 4 is a partial cross-sectional view of the structure of the plasma torch 10A, the anode nozzle 14, and the reaction nozzle 15 of the CFC “plasma arc decomposition apparatus 10”. Hereinafter, the prior invention will be described with reference to FIGS. The “plasma torch 10A” in the “plasma arc decomposition apparatus 10” is formed of an electrode (minus electrode) 12, an electrode support 11, and a plasma restraining nozzle 13,
The “plasma arc power supply device 20” supplies power to the plasma torch 10A.

【００１０】図２において、電極１２は電極支持体１１
に支持され、電極支持体１１はプラズマアーク電源装置
２０のアーク電流供給用マイナス端子２０ｔに接続され
る。このプラズマアーク電源装置２０は、プラズマアー
ク電流を出力するプラズマアーク電流出力回路２１、パ
イロットアーク電流を出力するためのスタート電流制限
素子２２、パイロットアーク電流を通電・停止するスタ
ート電流供給スイッチ素子２３及びプラズマアーク電流
を通電・停止するプラズマアーク電流供給スイッチ素子
２４から構成される。In FIG. 2, the electrode 12 is an electrode support 11
, And the electrode support 11 is connected to the arc current supply negative terminal 20 t of the plasma arc power supply 20. The plasma arc power supply device 20 includes a plasma arc current output circuit 21 for outputting a plasma arc current, a start current limiting element 22 for outputting a pilot arc current, a start current supply switch element 23 for energizing and stopping the pilot arc current, and It comprises a plasma arc current supply switch element 24 for supplying and stopping a plasma arc current.

【００１１】プラズマ拘束ノズル１３は、電極支持体１
１の外周に配置されて酸素を含むプラズマガス１を流出
させてプラズマアーク３ａを通過させる貫通孔１３ｈを
有し、プラズマアーク電源装置２０のスタート電流供給
用プラス端子２３ｔに接続される。このプラズマ拘束ノ
ズル１３はプラズマガス１を流出させて図示していない
パイロットアークを発生させ、続いてパイロットアーク
によって発生するプラズマアーク３ａは貫通孔１３ｈを
通過し、この通過したプラズマアーク３ａは、アルゴン
ガスよりもアーク電圧が高いプラズマジェット３ｊを形
成するプラズマジェット形成気体（プラズマジェット形
成用圧縮空気）４と共にプラズマジェット３ｊを形成す
る。The plasma confining nozzle 13 is provided on the electrode support 1.
The plasma arc power supply device 20 has a through-hole 13h disposed on an outer periphery of the plasma arc power supply device 20 to allow the plasma gas 3 containing oxygen to flow therethrough and to allow the plasma arc 3a to pass therethrough. The plasma confining nozzle 13 discharges the plasma gas 1 to generate a pilot arc (not shown). Subsequently, the plasma arc 3a generated by the pilot arc passes through the through-hole 13h. A plasma jet 3j is formed together with a plasma jet forming gas (compressed air for forming a plasma jet) 4 that forms a plasma jet 3j having a higher arc voltage than the gas.

【００１２】陽極ノズル（プラス電極）１４は、プラズ
マ拘束ノズル１３の外周から下方までプラズマジェット
形成気体４を通過させる直径及びプラズマアークの極点
Ｐを形成させる部分の長さの貫通孔１４ｈを有してい
る。この陽極ノズル１４は、プラズマアーク電源装置２
０のアーク電流供給用プラス端子２４ｔに接続される。The anode nozzle (plus electrode) 14 has a through hole 14h having a diameter that allows the plasma jet forming gas 4 to pass from the outer periphery of the plasma confining nozzle 13 to a lower portion and a length that forms a pole P of the plasma arc. ing. The anode nozzle 14 is connected to the plasma arc power supply 2
0 arc current supply plus terminal 24t.

【００１３】反応ノズル１５は、陽極ノズル１４の下部
に、反応させる流量のフロン５を旋回投入させる直径１
５ｄ（図４参照）の旋回投入孔１５ｈを有し、フロン５
を通過させる直径１５ｇ（図４参照）及びプラズマジェ
ット３ｊが接触してフロン５を分解反応する部分の長さ
１５ｋ（図４参照）の貫通孔１５ｊを有している。The reaction nozzle 15 has a diameter of 1 below the anode nozzle 14 for swirling the flow rate of Freon 5 to be reacted.
5d (see FIG. 4).
And a through hole 15j (see FIG. 4) having a length of 15k (see FIG. 4) and a portion where the plasma jet 3j comes into contact with the plasma jet 3j to decompose and react.

【００１４】図３において、１５ｈは反応ノズルのフロ
ン５及び水又は水蒸気６の反応ノズルの旋回投入孔であ
り、１５θは反応ノズルに旋回投入させるフロン５及び
水又は水蒸気６の旋回投入孔の旋回水平角度である。In FIG. 3, reference numeral 15h denotes a swirl inlet of the reaction nozzle for the Freon 5 of the reaction nozzle and water or steam 6, and 15θ denotes a swirl of the swirl inlet of the Freon 5 and water or steam 6 to be swirled into the reaction nozzle. The horizontal angle.

【００１５】先行発明のフロンのプラズマアーク分解方
法は、図２において、上記の分解装置の接続を終わっ
て、プラズマ拘束ノズル１３と陽極ノズル１４との間
に、圧縮空気４を供給した後、電極１２とプラズマ拘束
ノズル１３との間に、プラズマガス１を供給した後でス
タート電流Ｉｓを通電して、図示していないパイロット
アークを発生させ、プラズマ拘束ノズル１３から陽極ノ
ズル１４に、プラズマアーク電流Ｉｐを通電してプラズ
マアーク３ａを発生させ、プラズマアーク３ａが安定し
た後で、反応ノズル１５の旋回投入孔１５ｈにフロン５
を供給して、反応させる流量のフロン５をプラズマジェ
ット３ｊ中を通過させて、プラズマジェット３ｊとフロ
ン５とを分解反応させ、炭酸ガスＣＯ2 とフッ素Ｆ2 と
塩素Ｃl2とに分離する。In the plasma arc decomposition method for chlorofluorocarbons according to the prior invention, the compressed air 4 is supplied between the plasma restraining nozzle 13 and the anode nozzle 14 after the connection of the decomposition device is completed in FIG. After supplying the plasma gas 1 between the plasma restraining nozzle 13 and the plasma restraining nozzle 13, a start current Is is supplied to generate a pilot arc (not shown). The plasma arc 3a is generated by energizing Ip, and after the plasma arc 3a is stabilized, the fluorocarbon 5 is inserted into the swirl introduction hole 15h of the reaction nozzle 15.
Is supplied to pass through the plasma jet 3j at a flow rate to be reacted to cause a decomposition reaction between the plasma jet 3j and the fluorocarbon 5, thereby separating carbon dioxide CO2, fluorine F2 and chlorine Cl2.

【００１６】図５は、先行発明のフロンの「プラズマア
ーク分解装置１０」のプラズマトーチ１０Ａと陽極ノズ
ル１４と反応ノズル１５との構造の一部断面図である。FIG. 5 is a partial cross-sectional view of the structure of the plasma torch 10A, the anode nozzle 14 and the reaction nozzle 15 of the CFC "plasma arc decomposition apparatus 10" of the prior invention.

【００１７】図５において、１６ａは冷却ブラケット冷
却水入口金具であり、１６ｂは冷却ブラケット冷却水出
口金具である。１７はプラズマトーチ支持体であり、１
８ａは、プラズマジェット形成気体供給口であり、１８
ｂは、フロン５及び水又は水蒸気６の供給口である。２
５は、プラズマトーチ支持体１７に取り付けられ、陽極
ノズル１４と反応ノズル１５とを着脱するトーチ着脱ハ
ンドルである。In FIG. 5, reference numeral 16a denotes a cooling bracket cooling water inlet fitting, and 16b denotes a cooling bracket cooling water outlet fitting. Reference numeral 17 denotes a plasma torch support,
8a is a plasma jet forming gas supply port;
b is a supply port for Freon 5 and water or steam 6. 2
Reference numeral 5 denotes a torch attaching / detaching handle for attaching / detaching the anode nozzle 14 and the reaction nozzle 15 attached to the plasma torch support 17.

【００１８】図６は、図５に示す冷却ブラケット１６の
下面に取り付けた燃焼・処理槽４０の説明図である。同
図において、燃焼・処理槽４０は、反応ノズル１５に密
着されて分解ガスを冷却する分解ガス水冷槽４１、水酸
化カルシウムを供給して分解ガスと中和反応させる中和
処理容器４２、水酸化カルシウム溶液を冷却する溶液冷
却パイプ４３、水酸化カルシウム溶液を攪拌する溶液攪
拌器４４、溶液を維持管理する溶液上面・下面レベルセ
ンサー４５、溶液廃出面を検出する溶液廃面レベルセン
サー４６等によって形成されている。FIG. 6 is an explanatory view of the combustion / treatment tank 40 attached to the lower surface of the cooling bracket 16 shown in FIG. In the figure, a combustion / treatment tank 40 is provided with a decomposition gas water cooling tank 41 that is in close contact with the reaction nozzle 15 to cool the decomposition gas, a neutralization processing container 42 that supplies calcium hydroxide and performs a neutralization reaction with the decomposition gas, and water. A solution cooling pipe 43 for cooling the calcium oxide solution, a solution stirrer 44 for stirring the calcium hydroxide solution, a solution upper / lower level sensor 45 for maintaining and managing the solution, a solution waste surface level sensor 46 for detecting a solution waste surface, and the like. Is formed.

【００１９】前述した「プラズマアーク分解装置１０」
でフロン５、例えば「フロン１２」が反応して、炭酸ガ
スＣＯ2とフッ素Ｆ2と塩素Ｃl2との分解ガスが発生し、
この分解ガスに水又は水蒸気（Ｈ2Ｏ）６を供給する
と、フッ化水素ＨＦと塩化水素ＨＣlとが発生する。さ
らに、上記の図６に示す燃焼・処理槽４０に、水酸化カ
ルシウムＣa（ＯＨ）2を供給すると、中和無害化された
固体のホタル石であるフッ化カルシウムＣaＦ2と塩化カ
ルシウムＣaＣl2とが発生する。The above-mentioned "plasma arc decomposition apparatus 10"
Then, Freon 5, for example, "Freon 12" reacts to generate a decomposition gas of carbon dioxide gas CO2, fluorine F2 and chlorine Cl2,
When water or steam (H2O) 6 is supplied to the decomposition gas, hydrogen fluoride HF and hydrogen chloride HCl are generated. Further, when calcium hydroxide Ca (OH) 2 is supplied to the combustion / treatment tank 40 shown in FIG. 6, calcium fluoride CaF2 and calcium chloride CaCl2, which are neutralized and detoxified solid fluorite, are generated. I do.

【００２０】図６に示す燃焼・処理槽４０に炭化物が付
着したときは、図５に示すプラズマ分解装置１０の冷却
ブラケット１６と燃焼・処理槽４０とを結合する図示し
ていないボルトを取り外して、冷却ブラケット１６を燃
焼・処理槽４０から他の場所に移動させた後、燃焼・処
理槽４０の分解ガス水冷槽４１の中空内周面４１ａに付
着した炭化物を清掃除去し、また、図５に示すプラズマ
分解装置１０の冷却ブラケット１６の下部が一酸化炭素
ＣＯ等によって腐食した場合に、冷却ブラケット１６全
体を交換する。When the carbide adheres to the combustion / treatment tank 40 shown in FIG. 6, a bolt (not shown) connecting the cooling bracket 16 of the plasma decomposition apparatus 10 and the combustion / treatment tank 40 shown in FIG. After moving the cooling bracket 16 from the combustion / treatment tank 40 to another location, the carbides attached to the hollow inner peripheral surface 41a of the decomposition gas water cooling tank 41 of the combustion / treatment tank 40 are cleaned and removed. When the lower part of the cooling bracket 16 of the plasma decomposition apparatus 10 shown in FIG. 4 is corroded by carbon monoxide CO or the like, the entire cooling bracket 16 is replaced.

【００２１】[0021]

【発明が解決しようとする課題】本発明が解決しようと
する課題は、燃焼・処理槽４０に炭化物が付着したため
に清掃除去するときは、図５に示すプラズマ分解装置１
０の冷却ブラケット１６と燃焼・処理槽４０とを結合す
るボルトを取り外して、冷却ブラケット１６を燃焼・処
理槽４０から他の場所に移動させた後、燃焼・処理槽４
０に付着した炭化物を清掃除去しなければならなかった
ので、保守点検を容易にすることができなかった。更
に、冷却ブラケット１６の下部が一酸化炭素ＣＯ等によ
って腐食した場合に、冷却ブラケット１６全体を交換し
なければならなかったので、過大な交換時間と費用とを
要した。The problem to be solved by the present invention is that when the carbide is attached to the combustion / treatment tank 40 to remove it by cleaning, the plasma decomposition apparatus 1 shown in FIG.
After removing the bolts connecting the cooling bracket 16 and the combustion / treatment tank 40 to move the cooling bracket 16 from the combustion / treatment tank 40 to another place, the combustion / treatment tank 4
Since it was necessary to clean and remove the carbides attached to 0, maintenance and inspection could not be facilitated. Further, when the lower portion of the cooling bracket 16 is corroded by carbon monoxide CO or the like, the entire cooling bracket 16 has to be replaced, which requires excessive replacement time and cost.

【００２２】[0022]

【課題を解決するための手段】本発明は、プラズマ分解
装置の冷却ブラケット１６の下部と図６の燃焼・処理槽
４０とを、後述する図７又は図１２に示すように、開閉
用ヒンジ３５によって回動自在に連結した装置を使用し
て、燃焼・処理槽４０に付着した炭化物を清掃除去する
ときは、開閉用ヒンジ３５によって冷却ブラケット１６
を回動し保守点検を容易にした状態にして、燃焼・処理
槽４０に付着した炭化物を清掃除去することができ、更
に、冷却ブラケット１６の下部に取り付けた反応ノズル
支持フランジ（耐腐食性）３４が一酸化炭素ＣＯ等によ
って腐食した場合に、上記の保守点検を容易にした状態
で、反応ノズル支持フランジ３４だけを交換することが
できるフロン又は代替フロン等のプラズマアーク分解無
害化装置である。According to the present invention, the lower part of the cooling bracket 16 of the plasma decomposition apparatus and the combustion / treatment tank 40 of FIG. When cleaning and removing carbides attached to the combustion / treatment tank 40 by using a device rotatably connected by the cooling bracket 16 by the opening / closing hinge 35,
Is rotated to facilitate maintenance and inspection, so that the carbide adhered to the combustion / treatment tank 40 can be cleaned and removed. Further, the reaction nozzle support flange attached to the lower portion of the cooling bracket 16 (corrosion resistance) A plasma arc detoxifying device such as chlorofluorocarbon or alternative chlorofluorocarbon which can replace only the reaction nozzle support flange 34 in a state where the above-mentioned maintenance and inspection is facilitated when the nitrocarbon 34 is corroded by carbon monoxide CO or the like. .

【００２３】出願時の請求項１のフロン又は代替フロン
等のプラズマアーク分解無害化装置は、プラズマアーク
３ａを発生させてフロン又は代替フロンを分解して分解
ガスを発生させるプラズマアーク分解装置１０又は３０
と、プラズマアーク分解装置１０又は３０の下部に配置
されて上記分解ガスを無害化する燃焼・処理槽４０と、
プラズマアーク分解装置１０又は３０の下部支持体と燃
焼・処理槽４０とを保守点検時に回動離反させる開閉用
ヒンジ３５とを備えたフロン又は代替フロン等のプラズ
マアーク分解無害化装置である。The plasma arc decomposing and detoxifying apparatus of claim 1 at the time of filing of the application is a plasma arc decomposing apparatus 10 which generates a plasma arc 3a to decompose the fluorocarbon or the alternative fluorocarbon to generate a decomposition gas. 30
And a combustion / treatment tank 40 disposed below the plasma arc decomposition apparatus 10 or 30 to detoxify the decomposition gas,
This is a plasma arc decomposition detoxification device such as chlorofluorocarbon or alternative chlorofluorocarbon provided with an opening / closing hinge 35 for rotating and separating the lower support of the plasma arc decomposition apparatus 10 or 30 and the combustion / treatment tank 40 during maintenance and inspection.

【００２４】出願時の請求項２のフロン又は代替フロン
等のプラズマアーク分解無害化装置は、プラズマアーク
３ａを発生させるプラズマトーチ１０Ａと、プラズマト
ーチ１０Ａの下部に取り付けられてプラズマアーク３ａ
によってプラズマジェット３ｊを発生させる陽極ノズル
１４と、その陽極ノズル１４の下部に取り付けられてプ
ラズマジェット３ｊでフロン又は代替フロンを分解して
分解ガスを発生させる反応ノズル１５と、反応ノズル１
５の下部に配置されて上記分解ガスを無害化する燃焼・
処理槽４０と、反応ノズル１５の下部支持体と燃焼・処
理槽４０とを保守点検時に回動離反させる開閉用ヒンジ
３５とを備えたフロン又は代替フロン等のプラズマアー
ク分解無害化装置である。A plasma arc decomposition and detoxification apparatus such as chlorofluorocarbon or alternative chlorofluorocarbon is applied to a plasma torch 10A for generating a plasma arc 3a and a plasma arc 3a attached to a lower portion of the plasma torch 10A.
Nozzle 14 for generating a plasma jet 3j by the plasma nozzle 3; a reaction nozzle 15 attached to a lower portion of the anode nozzle 14 for decomposing chlorofluorocarbon or alternative fluorocarbon by the plasma jet 3j to generate a decomposition gas;
5 which is disposed at the lower part of the combustion chamber to render the decomposition gas harmless.
A plasma arc decomposition and detoxification device such as chlorofluorocarbon or alternative chlorofluorocarbon, comprising a processing tank 40, and an opening / closing hinge 35 for rotating and separating the lower support of the reaction nozzle 15 and the combustion / processing tank 40 during maintenance and inspection.

【００２５】出願時の請求項３のフロン又は代替フロン
等のプラズマアーク分解無害化装置は、プラズマアーク
３ａを発生させるプラズマトーチ１０Ａと、プラズマト
ーチ１０Ａの下部に取り付けられてプラズマアーク３ａ
によってプラズマジェット３ｊを発生させる陽極ノズル
１４と、その陽極ノズル１４の下部に取り付けられてプ
ラズマジェット３ｊでフロン又は代替フロンを分解して
分解ガスを発生させる反応ノズル１５と、反応ノズルを
支える反応ノズル支持フランジ３４と、反応ノズル支持
フランジ３４の下部に配置されて上記分解ガスを無害化
する燃焼・処理槽４０と、反応ノズル１５の下部支持体
と燃焼・処理槽４０とを保守点検時に回動離反させる開
閉用ヒンジ３５とを備えたフロン又は代替フロン等のプ
ラズマアーク分解無害化装置である。The plasma arc decomposing and detoxifying apparatus such as chlorofluorocarbon or alternative chlorofluorocarbon of the present invention is applied to a plasma torch 10A for generating a plasma arc 3a and a plasma arc 3a attached to a lower portion of the plasma torch 10A.
Nozzle 14 for generating a plasma jet 3j by the above, a reaction nozzle 15 attached to a lower portion of the anode nozzle 14 to decompose chlorofluorocarbon or alternative fluorocarbon by the plasma jet 3j to generate a decomposition gas, and a reaction nozzle for supporting the reaction nozzle The support flange 34, the combustion / treatment tank 40 disposed below the reaction nozzle support flange 34 for rendering the decomposition gas harmless, and the lower support of the reaction nozzle 15 and the combustion / treatment tank 40 rotated during maintenance and inspection. This is a plasma arc decomposition and detoxification device such as Freon or substitute Freon having an opening / closing hinge 35 for separating.

【００２６】出願時の請求項４のフロン又は代替フロン
等のプラズマアーク分解無害化装置は、プラズマアーク
３ａを発生させるプラズマトーチ１０Ａと、プラズマト
ーチ１０Ａを支持するプラズマトーチ支持体１７に取り
付けられてプラズマアーク３ａによってプラズマジェッ
ト３ｊを発生させる陽極ノズル１４と、その陽極ノズル
１４の下部に取り付けられてプラズマジェット３ｊでフ
ロン又は代替フロンを分解して分解ガスを発生させる反
応ノズル１５と、陽極ノズル１４及び反応ノズル１５の
外周に配置されて陽極ノズル１４及び反応ノズル１５を
冷却する冷却ブラケット１６と、冷却ブラケット１６の
下部に配置されて上記分解ガスを無害化する燃焼・処理
槽４０と、冷却ブラケット１６と燃焼・処理槽４０とを
保守点検時に回動離反させる開閉用ヒンジ３５とを備え
たフロン又は代替フロン等のプラズマアーク分解無害化
装置である。The plasma arc decomposing and detoxifying apparatus such as chlorofluorocarbon or chlorofluorocarbon as claimed in claim 4 is attached to a plasma torch 10A for generating a plasma arc 3a and a plasma torch support 17 for supporting the plasma torch 10A. An anode nozzle 14 for generating a plasma jet 3j by the plasma arc 3a; a reaction nozzle 15 attached to a lower portion of the anode nozzle 14 for decomposing fluorocarbon or alternative fluorocarbon by the plasma jet 3j to generate a decomposition gas; A cooling bracket 16 disposed on the outer periphery of the reaction nozzle 15 for cooling the anode nozzle 14 and the reaction nozzle 15; a combustion / treatment tank 40 disposed below the cooling bracket 16 for rendering the decomposition gas harmless; 16 and combustion / treatment tank 40 are rotated during maintenance and inspection A plasma arc decomposition detoxification devices such as CFC or HCFC and a closing hinge 35 to Hansa.

【００２７】出願時の請求項５のフロン又は代替フロン
等のプラズマアーク分解無害化装置は、プラズマアーク
３ａを発生させるプラズマトーチ１０Ａと、プラズマト
ーチ１０Ａを支持するプラズマトーチ支持体１７に取り
付けられてプラズマアーク３ａによってプラズマジェッ
ト３ｊを発生させる陽極ノズル１４と、その陽極ノズル
１４の下部に取り付けられてプラズマジェット３ｊでフ
ロン又は代替フロンを分解して分解ガスを発生させる反
応ノズル１５と、陽極ノズル１４及び反応ノズル１５の
外周に配置されて陽極ノズル１４及び反応ノズル１５を
冷却する冷却ブラケット１６と、反応ノズルを支える反
応ノズル支持フランジ３４と、反応ノズル支持フランジ
３４及び冷却ブラケット１６の下部に配置されて上記分
解ガスを無害化する燃焼・処理槽４０と、冷却ブラケッ
ト１６と燃焼・処理槽４０とを保守点検時に回動離反さ
せる開閉用ヒンジ３５とを備えたフロン又は代替フロン
等のプラズマアーク分解無害化装置である。The plasma arc decomposing and detoxifying apparatus, such as chlorofluorocarbon or chlorofluorocarbon, is attached to a plasma torch 10A for generating a plasma arc 3a and a plasma torch support 17 for supporting the plasma torch 10A. An anode nozzle 14 for generating a plasma jet 3j by the plasma arc 3a; a reaction nozzle 15 attached to a lower portion of the anode nozzle 14 for decomposing fluorocarbon or alternative fluorocarbon by the plasma jet 3j to generate a decomposition gas; A cooling bracket 16 disposed on the outer periphery of the reaction nozzle 15 to cool the anode nozzle 14 and the reaction nozzle 15; a reaction nozzle support flange 34 for supporting the reaction nozzle; and a reaction nozzle support flange 34 and disposed below the cooling bracket 16. To detoxify the decomposition gas A combustion-treatment tank 40, a plasma arc decomposition detoxification devices such as CFC or HCFC and a closing hinge 35 for rotating away the cooling bracket 16 and the combustion-process tank 40 at the time of maintenance and inspection.

【００２８】[0028]

【発明の実施の形懸】［１］図１は、フロン等を分解し
て無害化するフロン等の分解無害化装置の原理図であ
る。図１において、フロン等の内の「フロンのプラズマ
アーク分解方法」に適用するための前述した図２のプラ
ズマアーク電源装置２０から電気エネルギーを供給して
プラズマアーク３ａを発生させておき、フロン５を供給
してプラズマジェット３ｊの７００〜１０００度の高温
度でフロンを分解すると、後述する反応１によって、分
解ガスが発生する。この分解ガスに水又は水蒸気６を供
給すると、反応２によって、フッ化水素ＨＦと塩化水素
ＨＣlとが発生する。さらに、水酸化カルシウムＣa（Ｏ
Ｈ）2 を供給すると、反応３によって、中和無害化され
た固体のホタル石（フッ化カルシウムＣaＦ2）と塩化カ
ルシウムＣaＣl2とが発生する。このホタル石はサブマ
ージアーク溶接用のフラックスその他の溶剤として、ま
た塩化カルシウムは道路等の不凍結剤として、再利用す
ることができる。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS [1] FIG. 1 is a principle view of a decomposing and detoxifying apparatus for decomposing chlorofluorocarbons to detoxify the fluorocarbons. In FIG. 1, electric energy is supplied from the above-described plasma arc power supply device 20 of FIG. 2 to be applied to the "method of decomposing CFCs" of CFCs or the like to generate a plasma arc 3a. Is supplied to decompose fluorocarbon at a high temperature of 700 to 1000 degrees of the plasma jet 3j, a decomposed gas is generated by a reaction 1 described later. When water or steam 6 is supplied to the decomposition gas, reaction 2 generates hydrogen fluoride HF and hydrogen chloride HCl. Further, calcium hydroxide Ca (O
When H) 2 is supplied, the reaction 3 generates neutralized and detoxified solid fluorite (calcium fluoride CaF2) and calcium chloride CaCl2. This fluorite can be reused as a flux or other solvent for submerged arc welding, and calcium chloride can be reused as an antifreeze for roads and the like.

【００２９】上記の図１のフロン等の分解無害化方法の
原理を、前述した図２のフロン分解無害化方法に適用す
ると次のとおりである。 （１）プラズマ分解装置１０は、図２のプラズマアーク
電源装置２０から電気エネルギーを供給してプラズマア
ーク３ａを発生させる。 （２）プラズマ拘束ノズル１３の外周上方からアルゴン
ガスよりもアーク電圧が高いプラズマジェット３ｊを形
成するプラズマジェット形成気体（例えば、プラズマジ
ェット形成用圧縮空気）を供給し、プラズマジェット３
ｊを発生させる。 （３）陽極ノズル１４の下方からフロン５、例えば、
「フロン１２」（ＣＣl2Ｆ2）を供給すると、プラズマ
ジェット３ｊの高温度によって、プラズマ拘束ノズル１
３と陽極ノズル１４との間に供給した圧縮空気４の酸素
Ｏ2と「フロン１２」とが下記の反応１をして、炭酸ガ
スＣＯ2とフッ素Ｆ2と塩素Ｃl2との分解ガスが発生す
る。 （４）この分解ガスに水又は水蒸気（Ｈ2Ｏ）６を供給
すると、下記の反応２によって、フッ化水素ＨＦと塩化
水素ＨＣlとが発生する。 （５）さらに、水酸化カルシウムＣa（ＯＨ）2 を供給
すると下記の反応３によって、中和無害化された固体の
ホタル石であるフッ化カルシウムＣaＦ2と塩化カルシウ
ムＣaＣl2とが発生する。The principle of the method for decomposing and detoxifying chlorofluorocarbon shown in FIG. 1 is applied to the above-described method for detoxifying and detoxifying chlorofluorocarbon shown in FIG. 2 as follows. (1) The plasma decomposition device 10 supplies electric energy from the plasma arc power supply device 20 of FIG. 2 to generate a plasma arc 3a. (2) A plasma jet forming gas (for example, compressed air for forming a plasma jet) for forming a plasma jet 3j having a higher arc voltage than the argon gas is supplied from above the outer periphery of the plasma confining nozzle 13 and the plasma jet 3
j is generated. (3) From the lower part of the anode nozzle 14, Freon 5, for example,
When “Freon 12” (CCl2F2) is supplied, the high temperature of the plasma jet 3j causes the plasma confining nozzle 1
The oxygen O2 of the compressed air 4 supplied between the nozzle 3 and the anode nozzle 14 reacts with the "fluorocarbon 12" in the following reaction 1 to generate a decomposition gas of carbon dioxide CO2, fluorine F2 and chlorine Cl2. (4) When water or water vapor (H 2 O) 6 is supplied to this decomposition gas, hydrogen fluoride HF and hydrogen chloride HCl are generated by the following reaction 2. (5) When calcium hydroxide Ca (OH) 2 is further supplied, the following reaction 3 generates calcium fluoride CaF2 and calcium chloride CaCl2, which are neutralized and detoxified solid fluorite.

【００３０】 反応１ ＣＣl2Ｆ2 ＋Ｏ2 → ＣＯ2 ＋Ｆ2 ＋Ｃl2 反応２ ２Ｈ2Ｏ ＋Ｆ2 ＋Ｃl2 →Ｏ2 ＋２ＨＦ＋ＨＣl 反応３ Ｃa（ＯＨ）2 ＋２ＨＦ→ＣaＦ2 ＋２Ｈ2Ｏ Ｃa（ＯＨ）2 ＋２ＨＣl →ＣaＣl2 ＋２Ｈ2ＯReaction 1 CCl 2 F 2 + O 2 → CO 2 + F 2 + Cl 2 Reaction 2 2H 2 O + F 2 + Cl 2 → O 2 +2 HF + HCl Reaction 3 Ca (OH) 2 +2 HF → CaF 2 + 2H 2 O Ca (OH) 2 + 2HCl 2 + HCl 2 +

【００３１】（６）フロン等のプラズマアーク分解無害
化装置を使用して、燃焼・処理槽４０に付着した炭化物
が付着した場合に、後述する図７及び図８に示す開閉用
ヒンジ３５によって冷却ブラケット１６を回動させて保
守点検を容易にした状態にして、燃焼・処理槽４０に付
着した炭化物を清掃除去する。更に、冷却ブラケット１
６の下部に取り付けた反応ノズル支持フランジ（耐腐食
性）３４が一酸化炭素ＣＯ等によって腐食した場合に、
上記の保守点検を容易にした状態で、反応ノズル支持フ
ランジ３４だけを交換する。(6) When a carbon adhering to the combustion / treatment tank 40 adheres using a plasma arc decomposition and detoxification apparatus such as Freon, cooling is performed by an opening / closing hinge 35 shown in FIGS. 7 and 8 described later. The bracket 16 is rotated to make maintenance and inspection easy, and the carbides attached to the combustion / treatment tank 40 are cleaned and removed. Furthermore, cooling bracket 1
6 when the reaction nozzle support flange (corrosion resistance) 34 attached to the lower part of
With the above maintenance and inspection made easy, only the reaction nozzle support flange 34 is replaced.

【００３２】［２］次に、図１おいて、フロン等の内の
「代替フロンのプラズマアーク分解方法」に適用するた
めの後述する図９のプラズマアーク電源装置２０から電
気エネルギーを供給してプラズマアーク３ａを発生させ
ておき、代替フロン３１を供給してプラズマジェット３
ｊの７００〜１０００度の高温度で代替フロンを分解す
ると、後述する反応１によって、分解ガスが発生する。
この分解ガスに酸素Ｏ2と水又は水蒸気６とを供給する
と、反応２によって、フッ化水素ＨＦと炭素Ｃ、一酸化
炭素ＣＯ、炭酸ガスＣＯ2の混合体とが発生する。続い
て、酸素Ｏ2を供給すると、反応３によって、未だ炭酸
ガスＣＯ2になっていない炭素Ｃ又は一酸化炭素ＣＯ
を、プラズマジェット３ｊの高温で加熱された気体によ
って反応ノズル１５の途中から供給した炭酸ガス化気体
３３と酸化反応させて炭酸ガスＣＯ2にする。[2] Next, referring to FIG. 1, electric energy is supplied from a plasma arc power supply device 20 shown in FIG. A plasma arc 3a is generated, and an alternative chlorofluorocarbon 31 is supplied to supply a plasma jet 3a.
When the alternative chlorofluorocarbon is decomposed at a high temperature of 700 to 1000 degrees of j, a decomposition gas is generated by a reaction 1 described later.
When oxygen O2 and water or water vapor 6 are supplied to the decomposition gas, reaction 2 generates hydrogen fluoride HF and a mixture of carbon C, carbon monoxide CO, and carbon dioxide gas CO2. Subsequently, when oxygen O2 is supplied, the reaction 3 causes carbon C or carbon monoxide CO which has not yet been converted into carbon dioxide gas CO2.
Is oxidized with the carbon dioxide gas 33 supplied from the middle of the reaction nozzle 15 by the gas heated at a high temperature of the plasma jet 3j to carbon dioxide CO2.

【００３３】さらに、水酸化カルシウムＣa（ＯＨ）2
を供給すると、反応４によって、中和無害化された固体
のホタル石（フッ化カルシウムＣaＦ2）と水とが発生す
る。このホタル石はサブマージアーク溶接用のフラック
スその他の溶剤として再利用することができる。Further, calcium hydroxide Ca (OH) 2
Is supplied, reaction 4 generates neutralized and harmless solid fluorite (calcium fluoride CaF2) and water. This fluorite can be reused as a flux or other solvent for submerged arc welding.

【００３４】前述した図１のフロン等の分解無害化方法
の原理を、後述する図９の代替フロン分解無害化方法に
適用すると次のとおりである。 （１）代替フロンに使用するプラズマ分解装置３０は、
後述する図９のプラズマアーク電源装置２０から電気エ
ネルギーを供給してプラズマアーク３ａを発生させる。 （２）プラズマ拘束ノズル１３の外周上方からアルゴン
ガスよりもアーク電圧が高いプラズマジェット３ｊを形
成するプラズマジェット形成気体、例えば、プラズマジ
ェット形成用圧縮空気４を供給し、プラズマジェット３
ｊを発生させる。 （３）陽極ノズル１４の下方から代替フロン３１、例え
ば、「フロン１３４ａ」（Ｃ2Ｈ2Ｆ4）を供給すると、
プラズマジェット３ｊの高温度によって、炭素Ｃと水素
Ｈ2とフッ素Ｆ2とに分解し、続けて炭素Ｃとフッ化水素
ＨＦとフッ素Ｆ2との分解ガスが発生する。The principle of the method for decomposing and detoxifying chlorofluorocarbons shown in FIG. 1 described above is applied to the alternative chlorofluorocarbon decomposition and detoxification method shown in FIG. 9 which will be described later. (1) The plasma decomposition apparatus 30 used for the alternative chlorofluorocarbon is
Electric energy is supplied from a plasma arc power supply device 20 shown in FIG. 9 described later to generate a plasma arc 3a. (2) A plasma jet forming gas for forming a plasma jet 3j having a higher arc voltage than the argon gas, for example, compressed air 4 for forming a plasma jet, is supplied from above the outer periphery of the plasma confining nozzle 13 to the plasma jet 3
j is generated. (3) When an alternative Freon 31, for example, “Freon 134a” (C2H2F4) is supplied from below the anode nozzle 14,
Due to the high temperature of the plasma jet 3j, it is decomposed into carbon C, hydrogen H2 and fluorine F2, and subsequently a decomposition gas of carbon C, hydrogen fluoride HF and fluorine F2 is generated.

【００３５】（４）この分解ガスに、上記の代替フロン
３１の供給口とは別の供給口から炭素原子酸化気体（例
えば、炭素原子酸化用圧縮空気）７の酸素Ｏ2と水又は
水蒸気（Ｈ2Ｏ）６とを供給すると、下記の反応２によ
って、フッ化水素ＨＦと炭素Ｃ、一酸化炭素ＣＯ、炭酸
ガスＣＯ2の混合体とが発生する。 （５）上記反応２によって発生して未だ炭酸ガスＣＯ2
になっていない一酸化炭素ＣＯ又は炭素原子Ｃを、プラ
ズマジェット３ｊの高温で加熱された気体によって、下
記の反応３に示すように、反応ノズル１５の途中から供
給した酸素を含む炭酸ガス化気体３３と酸化反応させて
炭酸ガスＣＯ2にする。 （６）さらに、水酸化カルシウムＣa（ＯＨ）2を供給す
ると下記の反応４に示すように、中和無害化された固体
のホタル石であるフッ化カルシウムＣaＦ2と水とが発生
する。(4) The oxygen O2 of the carbon atom oxidizing gas (for example, compressed air for carbon atom oxidizing) 7 and water or water vapor (H2O) are supplied to the decomposition gas from a supply port different from the supply port of the alternative chlorofluorocarbon 31. 6), hydrogen fluoride HF and a mixture of carbon C, carbon monoxide CO, and carbon dioxide CO2 are generated by the following reaction 2. (5) CO2 generated by the above reaction 2 and still CO2
The carbon monoxide CO or carbon atom C that has not been converted to a gas containing oxygen supplied from the middle of the reaction nozzle 15 by a gas heated at a high temperature of the plasma jet 3j as shown in Reaction 3 below. Oxidation reaction with 33 to produce carbon dioxide gas CO2. (6) Further, when calcium hydroxide Ca (OH) 2 is supplied, as shown in the following reaction 4, neutralized and harmless solid fluorite, calcium fluoride CaF2, and water are generated.

【００３６】 反応１ Ｃ2Ｈ2Ｆ4 → ２Ｃ＋Ｈ2＋２Ｆ2 →２Ｃ＋２ＨＦ＋Ｆ2 反応２ ２Ｃ＋２ＨＦ＋Ｆ2 ＋１／２Ｏ2 ＋Ｈ2Ｏ→２ＣＯ＋４ＨＦ 反応３ ２ＣＯ＋４ＨＦ＋Ｏ2 →２ＣＯ2 ＋４ＨＦ 反応４ ２Ｃa（ＯＨ）2 ＋４ＨＦ→２ＣaＦ2 ＋４Ｈ2ＯReaction 1 C2H2F4 → 2C + H2 + 2F2 → 2C + 2HF + F2 Reaction 2 2C + 2HF + F2 + 1 / 2O2 + H2O → 2CO + 4HF Reaction 3 2CO + 4HF + O2 → 2CO2 + 4HF Reaction 42Ca (OH) 2 + 4F → 2C → 2C

【００３７】（７）代替フロン等のプラズマアーク分解
無害化装置を使用して、燃焼・処理槽４０に付着した炭
化物が付着した場合に、後述する図１２及び図１３に示
す開閉用ヒンジ３５によって冷却ブラケット１６を回動
して保守点検を容易にした状態にし、燃焼・処理槽４０
に付着した炭化物を清掃除去する。更に、冷却ブラケッ
ト１６の下部に取り付けた反応ノズル支持フランジ３４
が一酸化炭素ＣＯ等によって腐食した場合に、上記の保
守点検を容易にした状態で、反応ノズル支持フランジ３
４だけを交換する。(7) When the carbon adhering to the combustion / treatment tank 40 adheres using a plasma arc decomposition and detoxification device such as a substitute for chlorofluorocarbon, the opening / closing hinge 35 shown in FIGS. The cooling bracket 16 is rotated to make maintenance and inspection easy, and the combustion / treatment tank 40 is
Cleaning and removal of carbides adhering to. Further, a reaction nozzle support flange 34 attached to a lower portion of the cooling bracket 16 is provided.
When the above is corroded by carbon monoxide CO or the like, the above-mentioned maintenance and inspection is facilitated and the reaction nozzle support flange 3 is
Replace only 4

【００３８】[0038]

【実施例】［１］図２乃至図４及び図６乃至図８を参照
して、本発明の「フロン等のプラズマアーク分解無害化
装置」を、「フロンのプラズマアーク分解」に適用した
場合の実施例の構成について説明する。なお、本発明で
は、先行発明の図５の構成は、図７及び図８の構成に変
更されている。以下、変更された構成について説明す
る。[1] Referring to FIG. 2 to FIG. 4 and FIG. 6 to FIG. 8, the case where the “plasma arc decomposition detoxification device such as chlorofluorocarbon” of the present invention is applied to “fluorocarbon plasma arc decomposition” The configuration of this embodiment will be described. In the present invention, the configuration of FIG. 5 of the prior invention is changed to the configuration of FIGS. 7 and 8. Hereinafter, the changed configuration will be described.

【００３９】本発明でも、適用される図２、図３
（Ａ）、図３（Ｂ）、図４及び図６の構成又は動作は、
先行発明の構成又は動作と同じなので説明を省略する。2 and 3 to which the present invention is applied.
(A), FIG. 3 (B), FIG. 4 and FIG.
The description is omitted because it is the same as the configuration or operation of the prior invention.

【００４０】前述した図２を参照して、本発明の動作の
実施例について説明する。 （１）ハフニウム電極（マイナス電極）１２を支持した
電極支持体１１に、プラズマアーク電源装置２０のアー
ク電流供給用マイナス端子２０ｔを接続する。 （２）プラズマアーク３ａを通過させる直径１３ｄ（図
４参照）の貫通孔１３ｈを有し、電極支持体１１の外周
に配置されたプラズマ拘束ノズル１３に、プラズマアー
ク電源装置２０のスタート電流供給用プラス端子２３ｔ
を接続する。 （３）プラズマジェット３ｊを通過させる直径１４ｄ
（図４参照）及びプラズマアーク３ａの極点Ｐを形成さ
せる部分の長さ１４ｋ（図４参照）の貫通孔１４ｈを有
し、プラズマ拘束ノズル１３の外周に配置された陽極ノ
ズル（プラス電極）１４に、プラズマアーク電源装置２
０のアーク電流供給用プラス端子２４ｔを接続する。An embodiment of the operation of the present invention will be described with reference to FIG. (1) Connect the arc current supply minus terminal 20t of the plasma arc power supply 20 to the electrode support 11 supporting the hafnium electrode (minus electrode) 12. (2) For supplying a start current of the plasma arc power supply device 20 to the plasma restraining nozzle 13 having a through hole 13h having a diameter 13d (see FIG. 4) through which the plasma arc 3a passes and disposed on the outer periphery of the electrode support 11. Plus terminal 23t
Connect. (3) Diameter 14d through which plasma jet 3j passes
An anode nozzle (positive electrode) 14 having a through hole 14h (see FIG. 4) and a portion 14k (see FIG. 4) having a length of 14k (see FIG. 4) for forming the pole P of the plasma arc 3a, And plasma arc power supply 2
A positive terminal 24t for supplying an arc current of 0 is connected.

【００４１】（４）プラズマ拘束ノズル１３と陽極ノズ
ル１４との間に、プラズマジェット３ｊを形成するプラ
ズマジェット形成気体４（４［kg／cm2］で２３［l／mi
n］の圧縮空気）を供給し、電極１２とプラズマ拘束ノズ
ル１３との間に、プラズマガス１（４［kg／cm2］で３
５［l／min］の圧縮空気）を供給した後で、スタート電
流Ｉｓを通電して図示していないパイロットアークを発
生させる。 （５）ハフニウム電極１２と陽極ノズル１４（プラス電
極）との間に２４０［Ｖ］の電圧を印加して、プラズマ
拘束ノズル１３から陽極ノズル１４に、プラズマアーク
電流Ｉｐ＝６０［Ａ］を通電してプラズマアーク３ａを
発生させる。(4) Between the plasma confining nozzle 13 and the anode nozzle 14, a plasma jet forming gas 4 (4 [kg / cm 2] for forming a plasma jet 3j is 23 [l / mi].
n] of compressed gas, and a plasma gas 1 (3 [4 kg / cm 2]) is applied between the electrode 12 and the plasma restraining nozzle 13.
After supplying 5 [l / min] of compressed air, a start current Is is supplied to generate a pilot arc (not shown). (5) A voltage of 240 [V] is applied between the hafnium electrode 12 and the anode nozzle 14 (positive electrode), and a plasma arc current Ip = 60 [A] is supplied from the plasma confining nozzle 13 to the anode nozzle 14. Then, a plasma arc 3a is generated.

【００４２】（６）プラズマアーク３ａが安定した後
で、反応ノズル１５の旋回投入孔１５ｈに、「フロン１
２」（ＣＣl2Ｆ2）を供給して、分解反応させる流量３
５［l／min］のフロン５をプラズマジェット３ｊの中に
通過させると、プラズマジェット３ｊの高温度によっ
て、「フロン１２」ＣＣl2Ｆ2 と圧縮空気４に含まれた
酸素Ｏ2 とが、 ＣＣl2Ｆ2 ＋Ｏ2 →ＣＯ2 ＋Ｆ2 ＋Ｃl2 （反応1） に示す反応をして、炭酸ガスＣＯ2 とフッ素Ｆ2 と塩素
Ｃl2との分解ガスが発生する。(6) After the plasma arc 3a is stabilized, “Freon 1” is inserted into the swirl introduction hole 15h of the reaction nozzle 15.
2 "(CCl2F2) and flow rate for decomposition reaction 3
When 5 [l / min] of Freon 5 is passed through the plasma jet 3j, the high temperature of the plasma jet 3j causes "Freon 12" CCl2 F2 and oxygen O2 contained in the compressed air 4 to become CCl2 F2 + O2 → CO2. + F2 + Cl2 (Reaction 1) The decomposition reaction of carbon dioxide gas CO2, fluorine F2 and chlorine Cl2 is generated.

【００４３】（７）この分解ガスに水又は水蒸気６を供
給すると、 ２Ｈ2Ｏ＋Ｆ2 ＋Ｃl2→Ｏ2 ＋２ＨＦ＋２ＨＣl （反応２） に示す反応をして、フッ化水素ＨＦと塩化水素ＨＣl と
が発生する。(7) When water or water vapor 6 is supplied to the decomposition gas, the reaction shown in 2H2O + F2 + Cl2 → O2 + 2HF + 2HCl (reaction 2) is performed, and hydrogen fluoride HF and hydrogen chloride HCl are generated.

【００４４】（８）これらのガスを水酸化カムシウムＣ
a（ＯＨ）2 の旋回対流している溶液中にバブリングす
る形で供給すると、水酸化カルシウムＣa（ＯＨ）2 と
フッ化水素ＨＦとが、 Ｃa（ＯＨ）2 ＋２ＨＦ→ＣaＦ2＋２Ｈ2Ｏ （反応３） に示す反応をして、中和無害化された水と固体のホタル
石ＣaＦ2 とが発生すると共に、水酸化カルシウムＣa
（ＯＨ）2 と塩化水素ＨＣlとが、 Ｃa（ＯＨ）2 ＋２ＨＣl→ＣaＣl2＋２Ｈ2Ｏ に示す反応をして、中和無害化された水と塩化カルシウ
ムＣaＣl2とが発生する。(8) These gases are converted into camsium hydroxide C
When supplied in the form of bubbling into the solution of a (OH) 2 swirling, calcium hydroxide Ca (OH) 2 and hydrogen fluoride HF are converted into Ca (OH) 2 + 2HF → CaF2 + 2H2O (reaction 3). In the reaction shown, neutralized detoxified water and solid fluorite CaF2 are generated, and calcium hydroxide CaF2 is produced.
(OH) 2 and hydrogen chloride HCl react as shown by Ca (OH) 2 + 2HCl → CaCl2 + 2H2O to generate neutralized detoxified water and calcium chloride CaCl2.

【００４５】図４は、フロンの「プラズマアーク分解装
置１０」のプラズマトーチ１０Ａと陽極ノズル１４と反
応ノズル１５との構造の一部断面図である。図４の実施
例の構成部品の寸法及び分解条件は、次のとおり選定し
ている。プラズマ拘束ノズル１３の貫通孔１３ｈの直径
１３ｄを１.６［mm］とする。陽極ノズル１４の貫通孔
１４ｈのプラズマジェット３ｊが通過する部分の直径１
４ｄを６［mm］とし、陽極ノズル１４の極点Ｐを形成さ
せる部分の貫通孔長さ１４ｋを２５［mm］とする。反応
ノズル１５のフロン５をプラズマジェット３ｊに旋回し
投入させる旋回投入孔１５ｈの直径１５ｄを２［mm］と
し、反応ノズル１５のプラズマジェット３ｊ及びフロン
５が通過する部分の直径１５ｇを１０［mm］とし、反応
ノズル１５の貫通孔１５ｊのプラズマジェット３ｊとフ
ロン５とが接触し分解反応する部分の長さ１５ｋを１２
０［mm］とする。FIG. 4 is a partial sectional view of the structure of the plasma torch 10A, the anode nozzle 14, and the reaction nozzle 15 of the "plasma arc decomposition apparatus 10" for chlorofluorocarbon. The dimensions and disassembly conditions of the components in the embodiment of FIG. 4 are selected as follows. The diameter 13d of the through hole 13h of the plasma restraining nozzle 13 is set to 1.6 [mm]. Diameter 1 of the portion of the through hole 14h of the anode nozzle 14 through which the plasma jet 3j passes
4d is set to 6 [mm], and the through-hole length 14k of the portion where the pole P of the anode nozzle 14 is formed is set to 25 [mm]. The diameter 15d of the swirl injection hole 15h for swirling the fluorocarbon 5 of the reaction nozzle 15 into the plasma jet 3j is set to 2 [mm], and the diameter 15g of the portion of the reaction nozzle 15 through which the plasma jet 3j and the fluorocarbon 5 pass is 10 [mm]. ], The length 15k of the portion where the plasma jet 3j of the through-hole 15j of the reaction nozzle 15 comes into contact with the Freon 5 and undergoes a decomposition reaction is set to 12
0 [mm].

【００４６】上記の実施例で選定した各直径及び長さ
は、ハフニウム電極１１を使用し、２３［l／min］のプ
ラズマジェット形成用圧縮空気４を供給し、プラズマア
ーク電流Ｉｐ＝６０［Ａ］を通電し、「フロン１２」
（ＣＣl2Ｆ2）を供給して、分解反応させる流量３５［l
／min］のフロン５だけを供給したときに、プラズマア
ーク３ａが安定し、分解反応させる種類及び流量のフロ
ン５を略完全に反応させることができるように定められ
ている。The respective diameters and lengths selected in the above embodiment were measured using the hafnium electrode 11, supplying 23 [l / min] of compressed air 4 for forming a plasma jet, and generating a plasma arc current Ip = 60 [A]. ] And "Freon 12"
(CCl2F2) to supply a flow rate of 35 [l
/ Min], the plasma arc 3a is stabilized so that the type and flow rate of the decomposed reaction can be almost completely reacted.

【００４７】したがって、電極１２の種類、プラズマガ
ス１の種類及びその流量、プラズマアーク電流Ｉｐ 、
反応させるフロン５の種類及びその流量等の使用条件に
よって適正値が異なるので、これらの使用条件に対応さ
せて、（１）プラズマガス１及びプラズマアーク３ａを
通過させることができるプラズマ拘束ノズル１３の貫通
孔１３ｈの直径１３ｄを選定し、（２）プラズマジェッ
ト３ｊを通過させる陽極ノズル１４の貫通孔１４ｈの直
径１４ｄを選定し、プラズマアーク３ａの極点Ｐを形成
させる部分の陽極ノズル１４の長さ１４ｋを選定する。Therefore, the type of the electrode 12, the type and flow rate of the plasma gas 1, the plasma arc current Ip,
Since the appropriate value varies depending on the type of the fluorocarbon 5 to be reacted and the usage conditions such as the flow rate thereof, the followings are taken into account in accordance with these usage conditions. (1) The plasma confining nozzle 13 capable of passing the plasma gas 1 and the plasma arc 3a The diameter 13d of the through hole 13h is selected, and (2) the diameter 14d of the through hole 14h of the anode nozzle 14 through which the plasma jet 3j is passed is selected, and the length of the anode nozzle 14 at the portion where the pole P of the plasma arc 3a is formed. Select 14k.

【００４８】（３）さらに、反応させるフロン５を旋回
投入する旋回投入孔１５ｈの直径１５ｄ及び図３（Ｂ）
に示す旋回水平角度１５θと図４に示す旋回垂直角度１
５ψとを選定し、（４）反応させる流量のフロン５を通
過させると共に、プラズマジェット３ｊに接触させフロ
ンが分解反応することができる貫通孔１５ｊの直径１５
ｇを選定し、プラズマジェット３ｊが接触してフロン５
と略完全に反応させることができる反応ノズル１５の貫
通孔１５ｊの部分の長さ１５ｋを選定し、最柊的に、プ
ラズマアーク３ａが安定し、分解反応させる種類及び流
量のフロン５を略完全に反応させることができるように
選定すればよい。(3) Further, the diameter 15d of the swirl inlet 15h into which the CFC 5 to be reacted is swirled is shown in FIG. 3 (B).
And the turning vertical angle 1 shown in FIG.
5 [deg.], And (4) the flow rate of the Freon 5 to be reacted is allowed to pass, and the diameter 15 of the through hole 15j where the Freon 5 is allowed to come into contact with the plasma jet 3j and undergo a decomposition reaction.
g is selected, and the plasma jet 3j comes into contact with
The length 15k of the portion of the through hole 15j of the reaction nozzle 15 capable of causing the reaction almost completely is selected. May be selected so as to be able to react to the reaction.

【００４９】図７は、フロンの「プラズマアーク分解装
置１０」の冷却ブラケット１６と燃焼・処理槽４０の上
面とを開閉用ヒンジ３５によって結合した構造の断面図
であって、フロンの「プラズマアーク分解装置１０」の
冷却ブラケット１６と燃焼・処理槽４０の上面とを開閉
用ヒンジ３５によって結合した構造の断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view of a structure in which the cooling bracket 16 of the "plasma arc decomposition apparatus 10" of Freon and the upper surface of the combustion / treatment tank 40 are connected by an opening / closing hinge 35. It is sectional drawing of the structure which combined the cooling bracket 16 of the "decomposition apparatus 10", and the upper surface of the combustion / processing tank 40 with the opening / closing hinge 35.

【００５０】同図は、フロンの「プラズマアーク分解装
置１０」のプラズマトーチ１０Ａと陽極ノズル１４と反
応ノズル１５とを連結した冷却ブラケット１６と燃焼・
処理槽４０の上面とを開閉用ヒンジ３５によって結合し
た構造を示す。同図において、先行発明の図５と同じ構
成の説明は省略する。FIG. 5 shows a cooling bracket 16 connecting a plasma torch 10A, an anode nozzle 14 and a reaction nozzle 15 of a "plasma arc decomposition apparatus 10" of CFCs.
A structure in which the upper surface of the processing tank 40 is connected to the upper surface of the processing tank 40 by an opening / closing hinge 35 is shown. In this figure, description of the same configuration as that of FIG. 5 of the prior invention is omitted.

【００５１】図８は、図７のフロンの「プラズマアーク
分解装置１０」の冷却ブラケット１６と燃焼・処理槽４
０の上面とを開閉用ヒンジ３５によって結合した構造に
おいて保守点検を容易にした状態を示す一部断面図であ
る。前述した図７のプラズマ分解装置１０の冷却ブラケ
ット１６の下部と燃焼・処理槽４０とを、開閉用ヒンジ
３５によって回動自在に連結しておき、図８に示す保守
点検を容易にした状態にして、一酸化炭素ＣＯ等による
腐食のために頻繁に交換しなければならない反応ノズル
支持フランジ３４を交換すると共に、燃焼・処理槽４０
に付着した炭化物を清掃除去する。FIG. 8 shows the cooling bracket 16 and the combustion / treatment tank 4 of the “plasma arc decomposer 10” of CFCs shown in FIG.
FIG. 10 is a partial cross-sectional view showing a state in which maintenance and inspection are facilitated in a structure in which the upper surface of the “0” is connected to an opening / closing hinge 35; The lower part of the cooling bracket 16 of the above-described plasma decomposition apparatus 10 of FIG. 7 and the combustion / treatment tank 40 are rotatably connected to each other by an opening / closing hinge 35 so that maintenance and inspection shown in FIG. 8 are facilitated. In addition to replacing the reaction nozzle support flange 34 which must be frequently replaced due to corrosion by carbon monoxide CO or the like, the combustion / treatment tank 40
Cleaning and removal of carbides adhering to.

【００５２】［２］図９乃至図１３を参照して、本発明
の「フロン等のプラズマアーク分解無害化装置」を、
「代替フロンのプラズマアーク分解」に適用した場合の
実施例の構成について説明する。以下、変更された構成
について説明する。[2] Referring to FIG. 9 to FIG. 13, the “plasma arc decomposition and detoxification apparatus such as chlorofluorocarbon” of the present invention
The configuration of the embodiment when applied to “plasma arc decomposition of alternative CFCs” will be described. Hereinafter, the changed configuration will be described.

【００５３】「代替フロンのプラズマアーク分解」に適
用した場合の図９乃至図１３の構成又は動作において、
前述した「フロンのプラズマアーク分解」に適用した場
合の図２、図３（Ａ）、図３（Ｂ）、図４、図６、図７
及び図８と同じ構成又は動作は、説明を省略する。In the configuration or operation of FIGS. 9 to 13 when applied to “plasma arc decomposition of alternative Freon”,
2, 3 (A), 3 (B), 4, 6, and 7 when applied to the above-mentioned "plasma arc decomposition of chlorofluorocarbon".
The description of the same configuration or operation as in FIG. 8 will be omitted.

【００５４】図９は、代替フロン等のプラズマアーク分
解無害化装置を実施する「プラズマアーク分解装置３
０」の内の「プラズマトーチ１０Ａ」とそのプラズマト
ーチ１０Ａに電力を供給する「プラズマアーク電源装置
２０」とを示すプラズマ分解方法の説明図である。プラ
ズマアーク分解装置３０は、プラズマトーチ１０Ａ、後
述する図１２の陽極ノズル１４、反応ノズル１５、冷却
ブラケット１６、反応ノズルを支えるための反応ノズル
支持フランジ３４、プラズマトーチ支持体１７、トーチ
着脱ハンドル２５等によつて形成される。さらに、プラ
ズマトーチ１０Ａは、先行発明及び「フロンのプラズマ
アーク分解」と同様なので説明を省略する。FIG. 9 shows a “plasma arc decomposer 3” that implements a detoxifying apparatus for decomposing plasma arcs such as CFC substitutes.
FIG. 4 is an explanatory diagram of a plasma decomposition method showing “plasma torch 10A” of “0” and “plasma arc power supply device 20” for supplying power to plasma torch 10A. The plasma arc decomposition apparatus 30 includes a plasma torch 10A, an anode nozzle 14, a reaction nozzle 15, a cooling bracket 16, a reaction nozzle support flange 34 for supporting the reaction nozzle, a plasma torch support 17, and a torch attaching / detaching handle 25 in FIG. And the like. Further, the description of the plasma torch 10A is omitted because it is the same as that of the prior invention and “Plasma arc decomposition of Freon”.

【００５５】図１０は、代替フロンの「プラズマ分解装
置３０」のプラズマトーチ１０Ａと陽極ノズル１４と反
応ノズル１５との構造の一部断面図である。図１０につ
いて説明する。反応ノズル１５は、陽極ノズル１４の下
部に、反応させる流量の代替フロン３１を旋回投入させ
る直径１５ｄの反応ノズルの旋回投入孔１５ｈを有し、
代替フロン３１を通過させる直径１５ｇ及びプラズマジ
ェット３ｊが接触して代替フロン３１と分解反応する部
分の長さ１５ｋの貫通孔１５ｊを有している。FIG. 10 is a partial cross-sectional view of the structure of the plasma torch 10A, the anode nozzle 14, and the reaction nozzle 15 of the "plasma decomposition apparatus 30" of CFC substitute. Referring to FIG. The reaction nozzle 15 has, at the lower part of the anode nozzle 14, a swirl hole 15h of a reaction nozzle having a diameter of 15d to swirl the alternative CFC 31 having a flow rate to be reacted,
It has a through hole 15j having a diameter of 15 g through which the alternative Freon 31 passes and a length 15k of a portion where the plasma jet 3j contacts and decomposes with the alternative Freon 31.

【００５６】反応ノズル１５の下部に、「代替フロン中
の炭素原子を酸化させるための炭素原子酸化気体７」を
旋回投入させる「反応ノズルの圧縮空気の旋回投入孔の
直径３２ｄの「反応ノズルの圧縮空気の旋回投入孔３２
ｈ」を有し、炭酸ガス化気体３３を通過させる「反応ノ
ズルの貫通孔の代替フロン中の炭素原子が酸化する部分
の直径３２ｇ」及び「反応ノズルの代替フロン中の炭素
原子が酸化反応する部分の長さ３２ｋ」の貫通孔３２ｊ
を有している。At the lower part of the reaction nozzle 15, a “carbon atom oxidizing gas 7 for oxidizing carbon atoms in the alternative CFCs” is swirled and injected. Compressed air swirl injection hole 32
h ", which allows the carbon dioxide gas 33 to pass through," the diameter of the portion of the through-hole of the reaction nozzle where carbon atoms in the substitute Freon are oxidized 32 g "and" the carbon atoms in the substitute Freon of the reaction nozzle undergo an oxidation reaction. " Part length 32k "through hole 32j
have.

【００５７】前述した陽極ノズル１４の下方から代替フ
ロン３１を供給して、代替フロンをプラズマジェット３
ｊによって分解反応させ、この分解反応によって発生し
て未だ炭酸ガスＣＯ2になっていない一酸化炭素ＣＯ又
は炭素原子Ｃを、プラズマジェット３ｊの高温で加熱さ
れた気体によって反応ノズル１５の途中から供給した炭
酸ガス化気体３３と酸化反応させて炭酸ガスＣＯ2にす
る。The alternative CFC 31 is supplied from below the anode nozzle 14 and the alternative CFC is supplied to the plasma jet 3.
j, and carbon monoxide CO or carbon atom C which has not been converted into carbon dioxide gas CO2 by this decomposition reaction is supplied from the middle of the reaction nozzle 15 by the gas heated at a high temperature of the plasma jet 3j. An oxidation reaction is performed with the carbon dioxide gas 33 to form carbon dioxide CO2.

【００５８】代替フロンのプラズマアーク分解方法は、
下記のとおりである。図９において、プラズマ拘束ノズ
ル１３と陽極ノズル１４との間に、プラズマジェット形
成用圧縮空気４を供給した後、電極１２とプラズマ拘束
ノズル１３との間に、プラズマガス１を供給した後でス
タート電流Ｉｓを通電して、図示していないパイロット
アークを発生させ、プラズマ拘束ノズル１３から陽極ノ
ズル１４に、プラズマアーク電流Ｉｐを通電してプラズ
マアーク３ａを発生させ、プラズマアーク３ａが安定し
た後で、反応させる流量の代替フロン３１を反応ノズル
の旋回投入孔１５ｈに供給して、代替フロン３１をプラ
ズマジェット３ｊ中を通過させると、プラズマジェット
３ｊの高温度によって、炭素Ｃと水素Ｈ2とフッ素Ｆ2と
に分解し、続けて炭素Ｃとフッ化水素ＨＦとフッ素Ｆ2
との分解ガスが発生する。The plasma arc decomposition method of alternative Freon is as follows.
It is as follows. In FIG. 9, after supplying the compressed air 4 for forming the plasma jet between the plasma confining nozzle 13 and the anode nozzle 14, and starting after supplying the plasma gas 1 between the electrode 12 and the plasma confining nozzle 13. A current Is is supplied to generate a pilot arc (not shown), and a plasma arc current Ip is supplied from the plasma confining nozzle 13 to the anode nozzle 14 to generate a plasma arc 3a. After the plasma arc 3a is stabilized, When the alternative CFC 31 is supplied to the swirl inlet 15h of the reaction nozzle at a flow rate to be reacted and the alternative CFC 31 is passed through the plasma jet 3j, carbon C, hydrogen H2, fluorine F2 Followed by carbon C, hydrogen fluoride HF and fluorine F2
And a decomposition gas is generated.

【００５９】以下、上記の代替フロンのプラズマアーク
分解方法を詳述する。 （１）プラズマ拘束ノズル１３と陽極ノズル１４との間
に、プラズマジェット形成気体４（４［kg／cm2］で２
３［l／min］の圧縮空気）を供給し、電極１２とプラズ
マ拘束ノズル１３との間に、プラズマガス１（４［kg／
cm2］で３５［l／min］の圧縮空気）を供給した後で、
スタート電流Ｉｓを通電して図示していないパイロット
アークを発生させる。Hereinafter, the method for decomposing the above-mentioned alternative fluorocarbon plasma arc will be described in detail. (1) A plasma jet forming gas 4 (4 kg / cm 2)
3 [l / min] of compressed air), and a plasma gas 1 (4 [kg /
cm2] and 35 [l / min] of compressed air).
A start current Is is supplied to generate a pilot arc (not shown).

【００６０】（２）電極１２と陽極ノズル１４との間に
２４０［Ｖ］の電圧を印加して、プラズマ拘束ノズル１
３から陽極ノズル１４に、プラズマアーク電流Ｉｐ＝６
０［Ａ］を通電してプラズマアーク３ａを発生させる。(2) By applying a voltage of 240 [V] between the electrode 12 and the anode nozzle 14, the plasma confined nozzle 1
3 to the anode nozzle 14, the plasma arc current Ip = 6
A current of 0 [A] is applied to generate a plasma arc 3a.

【００６１】（３）プラズマアーク３ａが安定した後
で、反応ノズルの旋回投入孔１５ｈに、「フロン１３４
ａ」（Ｃ2Ｈ2Ｆ4）を供給して、分解反応させる流量３
５［l／min］の代替フロン３１をプラズマジェット３ｊ
の中に通過させると、プラズマジェット３ｊの高温度に
よって、 Ｃ2Ｈ2Ｆ4 → ２Ｃ＋Ｈ2＋２Ｆ2 →２Ｃ＋２ＨＦ＋Ｆ2 （反応1） に示す反応をして、炭素Ｃと水素Ｈ2とフッ素Ｆ2とに分
解し、続けて炭素Ｃとフッ化水素ＨＦとフッ素Ｆ2との
分解ガスが発生する。(3) After the plasma arc 3a is stabilized, “Freon 134” is inserted into the swirl introduction hole 15h of the reaction nozzle.
a "(C2H2F4) and flow rate for decomposition reaction 3
5 [l / min] alternative chlorofluorocarbon 31 and plasma jet 3j
When the gas is passed through the plasma jet 3j, a reaction shown by C2H2F4 → 2C + H2 + 2F2 → 2C + 2HF + F2 (reaction 1) is caused by the high temperature of the plasma jet 3j to decompose into carbon C, hydrogen H2 and fluorine F2, and subsequently carbon C and fluorine. A decomposition gas of hydrogen fluoride HF and fluorine F2 is generated.

【００６２】（４）この分解ガスと、反応ノズルの旋回
投入孔１５ｈから供給した炭素原子酸化気体７の酸素Ｏ
2と水又は水蒸気６とが、 ２Ｃ＋２ＨＦ＋Ｆ2 ＋１／２Ｏ2 ＋Ｈ2Ｏ→２ＣＯ＋４ＨＦ （反応２） に示す反応をして、フッ化水素ＨＦと炭素Ｃ、一酸化炭
素ＣＯ、炭酸ガスＣＯ2の混合体とが発生する。(4) The decomposition gas and the oxygen O of the carbon atom oxidizing gas 7 supplied from the swirl injection hole 15h of the reaction nozzle.
2 and water or steam 6 react as shown in 2C + 2HF + F2 + 1 / 2O2 + H2O → 2CO + 4HF (reaction 2) to generate a mixture of hydrogen fluoride HF, carbon C, carbon monoxide CO, and carbon dioxide CO2. .

【００６３】（５）上記反応２によって発生して未だ炭
酸ガスＣＯ2になっていない一酸化炭素ＣＯ又は炭素原
子Ｃと、反応ノズル１５の途中から供給した酸素を含む
炭酸ガス化気体３３とが、 ２ＣＯ＋４ＨＦ＋Ｏ2 →２ＣＯ2 ＋４ＨＦ に示す酸化反応をして炭酸ガスＣＯ2になる。(5) Carbon monoxide CO or carbon atom C which has not been converted into carbon dioxide gas CO 2 by the reaction 2 and carbon dioxide gas 33 containing oxygen supplied from the middle of the reaction nozzle 15 The oxidation reaction shown as 2CO + 4HF + O2 → 2CO2 + 4HF is performed to produce carbon dioxide gas CO2.

【００６４】（６）これらのガスを水酸化カムシウムＣ
a（ＯＨ）2 の旋回対流している溶液中にバブリングす
る形で供給すると、水酸化カルシウムＣa（ＯＨ）2 と
フッ化水素ＨＦとが、 ２Ｃa（ＯＨ）2 ＋４ＨＦ→２ＣaＦ2 ＋４Ｈ2Ｏ （反応４） に示す反応をして、中和無害化された水と固体のホタル
石ＣaＦ2 とが発生する。(6) These gases are converted into calcium hydroxide C
When supplied in the form of bubbling into the solution of a (OH) 2 swirling, calcium hydroxide Ca (OH) 2 and hydrogen fluoride HF are converted into 2Ca (OH) 2 + 4HF → 2CaF2 + 4H2O (reaction 4) The neutralized detoxified water and the solid fluorite CaF2 are generated by the reaction shown in (1).

【００６５】図１０に示す実施例の構成部品の寸法及び
分解条件は、次のとおり選定している。プラズマ拘束ノ
ズル１３の貫通孔１３ｈの直径１３ｄを１.６［mm］と
する。陽極ノズル１４の貫通孔１４ｈのプラズマジェッ
ト３ｊが通過する部分の直径１４ｄを６［mm］とし、陽
極ノズル１４の極点Ｐを形成させる部分の貫通孔長さ１
４ｋを２５［mm］とする。反応ノズル１５の代替フロン
３１をプラズマジェット３ｊに旋回し投入させる反応ノ
ズルの旋回投入孔１５ｈの直径１５ｄを２［mm］とし、
反応ノズル１５のプラズマジェット３ｊ及び代替フロン
３１及び炭素原子酸化気体７が通過する部分の直径１５
ｇを１３［mm］とし、反応ノズル１５の貫通孔１５ｊの
プラズマジェット３ｊと代替フロン３１とが接触し分解
反応する反応ノズル１５の貫通孔１５ｊの部分の長さ１
５ｋを７０［mm］とし、反応ノズル１５の貫通孔３２ｊ
の部分の長さ３２ｋを６０［mm］とする。The dimensions and disassembly conditions of the components of the embodiment shown in FIG. 10 are selected as follows. The diameter 13d of the through hole 13h of the plasma restraining nozzle 13 is set to 1.6 [mm]. The diameter 14d of the portion of the through hole 14h of the anode nozzle 14 through which the plasma jet 3j passes is 6 [mm], and the through hole length 1 of the portion where the pole P of the anode nozzle 14 is formed is 1 mm.
4k is set to 25 [mm]. The diameter 15d of the swirl injection hole 15h of the reaction nozzle for swirling and feeding the alternative Freon 31 of the reaction nozzle 15 into the plasma jet 3j is 2 [mm],
The diameter 15 of the portion of the reaction nozzle 15 through which the plasma jet 3j, the alternative chlorofluorocarbon 31 and the carbon atom oxidizing gas 7 pass
g is set to 13 [mm], and the plasma jet 3j of the through-hole 15j of the reaction nozzle 15 and the alternative Freon 31 come into contact with each other.
5k is set to 70 [mm], and the through hole 32j of the reaction nozzle 15 is set.
The length 32k of the portion is 60 [mm].

【００６６】上記の実施例で選定した各直径及び長さ
は、ハフニウム電極１１を使用し、２３［l／min］のプ
ラズマジェット形成用圧縮空気４を供給し、プラズマア
ーク電流Ｉｐ＝６０［Ａ］を通電し、「フロン１３４
ａ」（Ｃ2Ｈ2Ｆ4）を供給して、分解反応させる流量３
５［l／min］の代替フロン３１だけを供給したときにプ
ラズマアーク３ａが安定し、分解反応させる種類及び流
量の代替フロン３１を略完全に反応させることができる
ように定められている。The respective diameters and lengths selected in the above embodiment were measured using the hafnium electrode 11 and supplying 23 [l / min] of compressed air 4 for forming a plasma jet, and the plasma arc current Ip = 60 [A ], And “Freon 134
a "(C2H2F4) and flow rate for decomposition reaction 3
When only 5 [l / min] of the alternative CFC 31 is supplied, the plasma arc 3a is stabilized, and the type and flow rate of the decomposition CFC can be substantially completely reacted.

【００６７】したがって、電極１２の種類、プラズマガ
ス１の種類及びその流量、プラズマアーク電流Ｉｐ 、
反応させる代替フロン３１の種類及びその流量等の使用
条件によって適正値が異なるので、これらの使用条件に
対応させて、（１）プラズマガス１及びプラズマアーク
３ａを通過させることができるプラズマ拘束ノズル１３
の貫通孔１３ｈの直径１３ｄを選定し、（２）プラズマ
ジェット３ｊを通過させる陽極ノズル１４の貫通孔１４
ｈの直径１４ｄを選定し、プラズマアーク３ａの極点Ｐ
を形成させる部分の陽極ノズル１４の長さ１４ｋを選定
する。プラズマジェット形成気体４として圧縮空気を使
用するときは、２０〜２５［l／min］のプラズマジェッ
ト形成用圧縮空気を供給する。Therefore, the type of the electrode 12, the type and flow rate of the plasma gas 1, the plasma arc current Ip,
Since the appropriate value varies depending on the type of the alternative chlorofluorocarbon 31 to be reacted and the usage conditions such as the flow rate thereof, (1) the plasma confining nozzle 13 capable of passing the plasma gas 1 and the plasma arc 3a in accordance with these usage conditions.
The diameter 13d of the through hole 13h is selected, and (2) the through hole 14 of the anode nozzle 14 through which the plasma jet 3j passes
h is selected, and the pole P of the plasma arc 3a is selected.
Is selected as the length 14k of the anode nozzle 14 at the portion where the nozzle is formed. When compressed air is used as the plasma jet forming gas 4, 20 to 25 [l / min] of compressed air for forming a plasma jet is supplied.

【００６８】（３）さらに、反応させる代替フロン３１
を旋回投入する反応ノズルの旋回投入孔１５ｈの直径１
５ｄ及び図１１に示す旋回水平角度１５θと図１０に示
す旋回垂直角度１５ψとを選定し、（４）反応させる流
量の代替フロン３１及び炭素原子酸化気体７を通過させ
ると共に、プラズマジェット３ｊに接触させ代替フロン
３１が分解反応することができる貫通孔１５ｊの直径１
５ｇを選定し、プラズマジェット３ｊが接触して代替フ
ロン３１と略完全に反応させることができる反応ノズル
１５の貫通孔１５ｊの部分の長さ１５ｋを選定し、最柊
的に、プラズマアーク３ａが安定し、分解反応させる種
類及び流量の代替フロン３１を略完全に分解反応させる
ことができるように選定すればよい。炭素原子酸化気体
７として圧縮空気を使用するときは、４０〜５０［l／m
in］の炭素原子酸化用圧縮空気を供給する。(3) Further, alternative CFC 31 to be reacted
Diameter of the swirl injection hole 15h of the reaction nozzle
5d and the swirl horizontal angle 15θ shown in FIG. 11 and the swivel vertical angle 15 ° shown in FIG. 10 are selected, and (4) the alternative CFC 31 and the carbon atom oxidizing gas 7 at the flow rates to be reacted are passed and the plasma jet 3j is contacted. The diameter 1 of the through hole 15j where the alternative Freon 31 can undergo a decomposition reaction
5g, and the length 15k of the through-hole 15j of the reaction nozzle 15 where the plasma jet 3j comes into contact and can react almost completely with the alternative Freon 31 is selected. What is necessary is just to select the kind and flow rate of the alternative fluorocarbon 31 to be stable and to cause the decomposition reaction substantially completely. When using compressed air as the carbon atom oxidizing gas 7, 40 to 50 [l / m
in] compressed air for carbon atom oxidation.

【００６９】（５）プラズマジェット形成気体４、代替
フロン３１、炭素原子酸化気体７及び炭酸ガス化気体３
３を通過させることができる貫通孔３２ｊの直径３２ｇ
を選定し、分解反応によって発生して未だ炭酸ガスＣＯ
2になっていない一酸化炭素ＣＯ又は炭素原子Ｃを、プ
ラズマジェット３ｊで加熱させた気体によって反応ノズ
ル１５の途中から供給した炭酸ガス化気体３３と酸化反
応させて炭酸ガスＣＯ2にすることができる反応ノズル
１５の貫通孔３２ｊの部分の長さ３２ｋを選定して、最
柊的に、分解反応させる種類及び流量の代替フロン３１
に含まれた炭素原子Ｃを炭酸ガスＣＯ2にすることがで
きるように選定すればよい。上記のように選定して炭酸
ガス化気体３３として圧縮空気を使用すると、約２００
［l／min］の炭酸ガス化圧縮空気を供給する。(5) Plasma jet forming gas 4, alternative Freon 31, carbon atom oxidizing gas 7 and carbon dioxide gasifying gas 3
32g of the through-hole 32j through which 3 can pass
And carbon dioxide gas generated by the decomposition reaction
The carbon monoxide CO or carbon atom C which has not become 2 can be oxidized by the gas heated by the plasma jet 3j with the carbon dioxide gas 33 supplied from the middle of the reaction nozzle 15 to carbon dioxide CO2. By selecting the length 32k of the portion of the through-hole 32j of the reaction nozzle 15, the type of the decomposing reaction and the flow rate of the alternative CFC 31 are determined in the holly.
Should be selected so that the carbon atoms C contained in the carbon dioxide can be converted into carbon dioxide gas CO2. When compressed air is used as the carbon dioxide gas 33 selected as described above, about 200
[L / min] of carbon dioxide gasified compressed air is supplied.

【００７０】図１１（Ａ）は、図９の反応ノズル１５の
旋回投入孔１５ｈ部分の斜視図であり、同図（Ｂ）は、
図９の反応ノズル１５の旋回投入孔１５ｈ部分の「イー
イ」断面図である。同図において、１５ｈは反応ノズル
の代替フロン３１及び水又は水蒸気６及び炭素原子酸化
気体７の反応ノズルの旋回投入孔であり、１５θは反応
ノズルに旋回投入させる代替フロン３１及び水又は水蒸
気６及び炭素原子酸化気体７の旋回投入孔の旋回水平角
度である。FIG. 11 (A) is a perspective view of the swirl input hole 15h of the reaction nozzle 15 of FIG. 9, and FIG.
FIG. 10 is an “E” cross-sectional view of a portion of the swirl input hole 15h of the reaction nozzle 15 in FIG. 9. In the same figure, 15h is a swirl injection hole of the reaction nozzle of the alternative CFC 31 of the reaction nozzle and water or steam 6 and carbon atom oxidizing gas 7, and 15θ is an alternative CFC 31 and the water or steam 6 swirled and injected into the reaction nozzle. This is the horizontal angle of the swirl of the swirl input hole for the carbon atom oxidizing gas 7.

【００７１】図１２は、代替フロンの「プラズマアーク
分解装置３０」の冷却ブラケット１６と燃焼・処理槽４
０の上面とを開閉用ヒンジ３５によって結合した構造の
一部断面図であって、代替フロンの「プラズマアーク分
解装置３０」の冷却ブラケット１６と燃焼・処理槽４０
の上面とを開閉用ヒンジ３５によって結合した構造の断
面図である。同図において、先行発明の図５と同じ構成
の説明は省略する。FIG. 12 shows the cooling bracket 16 and the combustion / treatment tank 4 of the “plasma arc decomposer 30” as an alternative CFC.
FIG. 2 is a partial cross-sectional view of a structure in which the upper surface of the cooling arc 16 is connected to the upper surface of the cooling arc 16 by a hinge 35 for opening and closing;
FIG. 4 is a cross-sectional view of a structure in which the upper surface is connected to an opening hinge 35. In this figure, description of the same configuration as that of FIG. 5 of the prior invention is omitted.

【００７２】プラズマジェット形成気体供給口１８ａか
らプラズマジェット形成気体（プラズマジェット形成用
圧縮空気）４を供給する。代替フロン及び水又は水蒸気
供給口１８ｂから代替フロン３１及び水又は水蒸気６を
供給する。炭素原子酸化気体（炭素原子酸化用圧縮空
気）供給口１８ｃから炭素原子酸化気体（炭素原子酸化
用圧縮空気）７を供給する。炭酸ガス化気体（炭酸ガス
化用圧縮空気）供給口３８ｄから炭酸ガス化気体（炭酸
ガス化用圧縮空気）３３を供給する。The plasma jet forming gas (compressed air for forming a plasma jet) 4 is supplied from the plasma jet forming gas supply port 18a. The alternative Freon 31 and water or steam 6 are supplied from the alternative Freon and water or steam supply port 18b. A carbon atom oxidizing gas (compressed air for carbon atom oxidation) 7 is supplied from a carbon atom oxidizing gas (compressed air for carbon atom oxidation) supply port 18c. A carbon dioxide gas (compressed air for carbon dioxide) 33 is supplied from a carbon dioxide gas (compressed air for carbon dioxide) supply port 38d.

【００７３】図１３は、図１２の代替フロンの「プラズ
マアーク分解装置３０」の冷却ブラケット１６と燃焼・
処理槽４０の上面とを開閉用ヒンジ３５によって結合し
た構造において保守点検を容易にした状態を示す一部断
面図である。前述した図１２のプラズマ分解装置３０の
冷却ブラケット１６の下部と燃焼・処理槽４０とを、開
閉用ヒンジ３５によって回動自在に連結しておき、図１
３に示す保守点検を容易にした状態にして、一酸化炭素
ＣＯ等による腐食のために頻繁に交換しなければならな
い反応ノズル支持フランジ３４を交換すると共に、燃焼
・処理槽４０に付着した炭化物を清掃除去する。FIG. 13 shows the cooling bracket 16 of the "plasma arc decomposer 30" of the alternative CFC of FIG.
FIG. 4 is a partial cross-sectional view showing a state in which maintenance and inspection are facilitated in a structure in which an upper surface of a processing tank is connected to an upper surface by a hinge for opening and closing; The lower part of the cooling bracket 16 of the above-described plasma decomposition apparatus 30 of FIG. 12 and the combustion / treatment tank 40 are rotatably connected to each other by an opening / closing hinge 35, and FIG.
In a state where the maintenance and inspection shown in FIG. 3 are facilitated, the reaction nozzle support flange 34 which must be frequently replaced due to corrosion by carbon monoxide CO or the like is replaced, and the carbide adhered to the combustion / treatment tank 40 is removed. Clean and remove.

【００７４】[0074]

【発明の効果】本発明は、冷却ブラケット１６の下部と
燃焼・処理槽４０とを、開閉用ヒンジ３５によって回動
自在に連結した装置を使用して、燃焼・処理槽４０に付
着した炭化物を清掃除去するときは、開閉用ヒンジ３５
によって冷却ブラケット１６を回動し保守点検を容易に
した状態にして、燃焼・処理槽４０に付着した炭化物を
清掃除去することができ、更に、冷却ブラケット１６の
下部に取り付けた反応ノズル支持フランジ３４が一酸化
炭素ＣＯ等によって腐食した場合に、上記の保守点検を
容易にした状態で、反応ノズル支持フランジ３４だけを
交換することができる効果を有する。The present invention uses a device in which the lower portion of the cooling bracket 16 and the combustion / treatment tank 40 are rotatably connected by an opening / closing hinge 35 to remove the carbide adhered to the combustion / treatment tank 40. When cleaning and removing, the opening / closing hinge 35
By rotating the cooling bracket 16 to facilitate maintenance and inspection, the carbides attached to the combustion / treatment tank 40 can be cleaned and removed, and the reaction nozzle support flange 34 attached to the lower portion of the cooling bracket 16 can be removed. In the case where is corroded by carbon monoxide CO or the like, there is an effect that only the reaction nozzle support flange 34 can be replaced in a state where the above maintenance and inspection are facilitated.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】図１は、フロン等を分解して無害化するフロン
等の分解無害化装置の原理図である。FIG. 1 is a principle diagram of an apparatus for decomposing and detoxifying fluorocarbons and the like, which decomposes fluorocarbons and the like to make them harmless.

【図２】図２は、先行発明のフロンの「プラズマアーク
分解装置１０」と「プラズマアーク電源装置２０」とを
動作させてフロンをプラズマ分解するプラズマ分解方法
の説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram of a plasma decomposition method for decomposing CFCs by operating a “plasma arc decomposition apparatus 10” and a “plasma arc power supply apparatus 20” for CFCs of the prior invention.

【図３】図３は、図２の反応ノズル１５の旋回投入孔１
５ｈ部分の斜視図及び「イーイ」断面図である。FIG. 3 is a swirl introduction hole 1 of the reaction nozzle 15 of FIG. 2;
It is the perspective view of 5h part, and "E" sectional drawing.

【図４】図４は、フロンの「プラズマアーク分解装置１
０」のプラズマトーチ１０Ａと陽極ノズル１４と反応ノ
ズル１５との構造の一部断面図である。FIG. 4 is a diagram showing a CFC “plasma arc decomposition apparatus 1”.
FIG. 2 is a partial cross-sectional view of the structure of the plasma torch 10A, the anode nozzle 14, and the reaction nozzle 15 of “0”.

【図５】図５は、先行発明のフロンの「プラズマアーク
分解装置１０」のプラズマトーチ１０Ａと陽極ノズル１
４と反応ノズル１５との構造の一部断面図である。FIG. 5 is a diagram showing a plasma torch 10A and an anode nozzle 1 of a CFC “plasma arc decomposition apparatus 10” of the prior invention.
FIG. 4 is a partial cross-sectional view of a structure including a reaction nozzle 4 and a reaction nozzle 15.

【図６】図６は、図５に示す冷却ブラケット１６の下面
に取り付けた燃焼・処理槽４０の説明図である。6 is an explanatory view of a combustion / treatment tank 40 attached to the lower surface of the cooling bracket 16 shown in FIG.

【図７】図７は、フロンの「プラズマアーク分解装置１
０」の冷却ブラケット１６と燃焼・処理槽４０の上面と
を開閉用ヒンジ３５によって結合した構造の断面図であ
って、フロンの「プラズマアーク分解装置１０」の冷却
ブラケット１６と燃焼・処理槽４０の上面とを開閉用ヒ
ンジ３５によって結合した構造の断面図である。FIG. 7 is a diagram showing a “plasma arc decomposition apparatus 1” for freon.
FIG. 4 is a cross-sectional view of a structure in which the cooling bracket 16 of “0” and the upper surface of the combustion / treatment tank 40 are connected by an opening / closing hinge 35; FIG. 4 is a cross-sectional view of a structure in which the upper surface is connected to an opening hinge 35.

【図８】図８は、図７のフロンの「プラズマアーク分解
装置１０」の冷却ブラケット１６と燃焼・処理槽４０の
上面とを開閉用ヒンジ３５によって結合した構造におい
て保守点検を容易にした状態を示す一部断面図である。8 shows a state in which maintenance and inspection are facilitated in a structure in which the cooling bracket 16 and the upper surface of the combustion / treatment tank 40 of the CFC “plasma arc decomposition apparatus 10” of FIG. FIG.

【図９】図９は、代替フロンの「プラズマアーク分解装
置３０」と「プラズマアーク電源装置２０」とを動作さ
せてフロンをプラズマ分解するプラズマ分解方法の説明
図である。FIG. 9 is an explanatory diagram of a plasma decomposition method for decomposing CFCs by operating the “plasma arc decomposition device 30” and the “plasma arc power supply device 20” as alternative CFCs.

【図１０】図１０は、代替フロンの「プラズマアーク分
解装置３０」のプラズマトーチ１０Ａと陽極ノズル１４
と反応ノズル１５との構造の一部断面図である。FIG. 10 shows a plasma torch 10A and an anode nozzle 14 of a “plasma arc decomposition apparatus 30” as a substitute for chlorofluorocarbon.
FIG. 3 is a partial cross-sectional view of the structure of a reaction nozzle and a reaction nozzle.

【図１１】図１１は、図９の反応ノズルの旋回投入孔１
５ｈ部分の斜視図及び「イーイ」断面図である。FIG. 11 is a swirl input hole 1 of the reaction nozzle of FIG. 9;
It is the perspective view of 5h part, and "E" sectional drawing.

【図１２】図１２は、代替フロンの「プラズマアーク分
解装置３０」の冷却ブラケット１６と燃焼・処理槽４０
の上面とを開閉用ヒンジ３５によって結合した構造の一
部断面図であって、代替フロンの「プラズマアーク分解
装置３０」の冷却ブラケット１６と燃焼・処理槽４０の
上面とを開閉用ヒンジ３５によって結合した構造の断面
図である。FIG. 12 shows the cooling bracket 16 and the combustion / treatment tank 40 of the “plasma arc decomposer 30” as an alternative CFC.
FIG. 10 is a partial cross-sectional view of a structure in which the cooling bracket 16 of the alternative CFC “plasma arc decomposer 30” and the upper surface of the combustion / treatment tank 40 are connected by the opening / closing hinge 35. It is sectional drawing of the structure combined.

【図１３】図１３は、図１２の代替フロンの「プラズマ
アーク分解装置３０」の冷却ブラケット１６と燃焼・処
理槽４０の上面とを開閉用ヒンジ３５によって結合した
構造において保守点検を容易にした状態を示す断面図で
ある。FIG. 13 facilitates maintenance and inspection in a structure in which the cooling bracket 16 and the upper surface of the combustion / treatment tank 40 of the “plasma arc decomposer 30” of the alternative CFC of FIG. It is sectional drawing which shows a state.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１…………プラズマガス ３ａ………プラズマアーク ３ｊ………プラズマジェット ４…………プラズマジェット形成気体（プラズマジェッ
ト形成用圧縮空気） ５…………（先行発明に使用した）フロン ６…………水又は水蒸気 ７…………炭素原子酸化気体（例えば、炭素原子酸化用
圧縮空気） １０………（先行発明のフロン用）プラズマアーク分解
装置 １０Ａ……プラズマトーチ １１………電極支持体 １２………電極（マイナス電極） １３………プラズマ拘束ノズル １３ｈ……プラズマ拘束ノズルの貫通孔 １３ｄ……プラズマ拘束ノズルの貫通孔の直径 １４………陽極ノズル（プラス電極） １４ｈ……陽極ノズルの貫通孔 １４ｄ……陽極ノズルの貫通孔のプラズマジェットを通
過させる部分の直径 １４ｋ……陽極ノズルの貫通孔のプラズマアークの極点
を形成させる部分の長さ １５………反応ノズル １５ｄ……反応ノズルの（代替）フロン及び水又は水蒸
気の旋回投入孔の直径 １５ｅ……反応ノズルの（代替）フロン旋回投入部分上
部の貫通孔の直径 １５ｆ……反応ノズルの（代替）フロン旋回投入部分上
部の貫通孔の長さ １５ｇ……反応ノズルの貫通孔のプラズマジェットが接
触して（代替）フロンを分解反応する部分の直径 １５ｈ……反応ノズルの旋回投入孔 １５ｊ……反応ノズルのプラズマジェットが接触して
（代替）フロンを分解反応する部分の貫通孔 １５ｋ……反応ノズルの貫通孔のプラズマジェットが接
触して（代替）フロンを分解反応する部分の長さ １５θ……（図３）反応ノズルのフロン及び水又は水蒸
気の旋回投入孔の旋回水平角度 １５θ……（図１１）反応ノズルの代替フロン及び水又
は水蒸気及び炭素原子酸 化気体７の旋回投入孔の旋回水平角度 １５ψ……反応ノズルの（代替）フロン及び水又は水蒸
気の旋回投入孔の旋回垂直角度 １６………冷却ブラケット １６ａ……冷却ブラケット冷却水入口金具 １６ｂ……冷却ブラケット冷却水出口金具 １７………プラズマトーチ支持体 １８ａ……プラズマジェット形成気体（プラズマジェッ
ト形成用圧縮空気）供給口 １８ｂ……（図７及び図８）フロン及び水又は水蒸気供
給口 １８ｂ……（図１２及び図１３）代替フロン及び水又は
水蒸気供給口 １８ｃ……炭素原子酸化気体（炭素原子酸化用圧縮空
気）供給口 ２０………プラズマアーク電源装置 ２０ｔ……アーク電流供給用マイナス端子 ２１………プラズマアーク電流出力回路 ２２………スタート電流制限素子 ２３………スタート電流供給スイッチ素子 ２３ｔ……スタート電流供給用プラス端子 ２４ｔ……アーク電流供給用プラス端子 ２４………プラズマアーク電流供給スイッチ素子 ２５………トーチ着脱ハンドル ３０………（本発明の代替フロン用）プラズマアーク分
解装置 ３１………（本発明に使用する）代替フロン ３２ｄ……反応ノズルの圧縮空気の旋回投入孔の直径 ３２ｇ……反応ノズルの貫通孔の代替フロン中の炭素原
子が酸化する部分の直径 ３２ｈ……反応ノズルの圧縮空気の旋回投入孔 ３２ｊ……反応ノズルの代替フロン中の炭素原子が酸化
する部分の貫通孔 ３２ｋ……反応ノズルの貫通孔３２ｊの部分の長さ ３３………炭酸ガス化気体（例えば、炭酸ガス化用圧縮
空気） ３４………反応ノズル支持フランジ ３５………開閉用ヒンジ ３８ｄ……炭酸ガス化気体（炭酸ガス化用圧縮空気）供
給口 ４０………燃焼・処理槽 ４１………分解ガス水冷槽 ４１ａ……分解ガス水冷槽の中空内周面 ４２………中和処理容器 ４３………溶液冷却パイプ ４４………溶液攪拌器 ４５………溶液上面・下面レベルセンサー ４６………溶液廃面レベルセンサー1 Plasma gas 3a Plasma arc 3j Plasma jet 4 Plasma jet forming gas (compressed air for forming plasma jet) 5 Freon 6 (used in the prior invention) ... Water or steam 7... Carbon atom oxidizing gas (for example, compressed air for carbon atom oxidation) 10... (For chlorofluorocarbon of the prior invention) plasma arc decomposition apparatus 10 A... Plasma torch 11. Electrode support 12 ... Electrode (minus electrode) 13 ... Plasma constrained nozzle 13h ... Through hole of plasma constrained nozzle 13d ... Diameter of through hole of plasma constrained nozzle 14 ... Anode nozzle (positive electrode) 14h ... Anode nozzle through-hole 14d Diameter of part of anode nozzle through-hole through which plasma jet passes 14k… Anode nozzle through-hole Length of the part that forms the extreme point of the plasma arc 15 Reaction nozzle 15d Diameter of the (replacement) Freon of the reaction nozzle and the swirl input hole of water or water vapor 15e ... Upper part of the (alternate) Freon swirl input part of the reaction nozzle Diameter of through-hole of 15f ... Length of through-hole above the (replacement) Freon swirl input part of reaction nozzle 15g ... of part where plasma jet of through-hole of reaction nozzle comes into contact (replacement) to decompose and react Freon Diameter 15h ... Swirl input hole of reaction nozzle 15j ... Through hole at part where plasma jet of reaction nozzle comes into contact (substitute) to decompose and react CFCs 15k ... Plasma jet of through hole of reaction nozzle comes into contact ( (Alternative) Length of the part that decomposes and reacts CFCs 15θ ... (Fig. 3) Circular horizontal angle of CFC and water or steam swirl input hole 15θ ... (Fig. 3) 11) Revolving horizontal angle of swirl input hole of alternative CFC and water or steam and carbon atom oxidizing gas 7 of the reaction nozzle 15 ° ... Vertical angle of swirl of swirl input hole of (alternative) Freon and water or steam of reaction nozzle 16 ... Cooling bracket 16a Cooling bracket cooling water inlet fitting 16b Cooling bracket cooling water outlet fitting 17 Plasma torch support 18a Plasma jet forming gas (compressed air for forming plasma jet) supply port 18b (FIGS. 7 and 8) Freon and water or steam supply port 18b (FIGS. 12 and 13) Alternative Freon and water or steam supply port 18c ... Carbon atom oxidizing gas (compressed air for carbon atom oxidation) supply 20 ...... Plasma arc power supply device 20t ... Negative terminal for arc current supply 21 Plasma arc current output circuit 2 Start current limiting element 23 Start current supply switch element 23t Start current supply plus terminal 24t Arc current supply plus terminal 24 Plasma arc current supply switch element 25 Torch attachment / detachment Handle 30 Plasma arc decomposition apparatus 31 (for alternative CFC of the present invention) 31 Alternative CFC 32d (for use in the present invention) Diameter of swirl injection hole of compressed air of reaction nozzle 32 g of reaction nozzle Diameter of the portion where the carbon atoms in the substitute Freon of the through-hole are oxidized 32h ...... Swirl input hole of compressed air of the reaction nozzle 32j ... Through-hole 32k where the carbon atom in the substitute Freon of the reaction nozzle is oxidized 32k ... Reaction Length of nozzle through-hole 32j 33 Carbon dioxide gas (for example, compressed air for carbon dioxide gas) 34 Reaction nozzle Support flange 35 Opening / closing hinge 38d Carbon dioxide gas (compressed air for carbon dioxide gas) supply port 40 Combustion / treatment tank 41 Decomposed gas water cooling tank 41a Decomposed gas water cooling tank Hollow inner peripheral surface 42 Neutralization treatment container 43 Solution cooling pipe 44 Solution stirrer 45 Solution upper and lower surface level sensor 46 Solution waste surface level sensor

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3K078 AA05 BA17 BA20 BA26 CA03 CA09 CA12 CA13 CA18 4G075 AA02 AA37 BA05 CA47 DA02 DA03 EB41  ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page F term (reference) 3K078 AA05 BA17 BA20 BA26 CA03 CA09 CA12 CA13 CA18 4G075 AA02 AA37 BA05 CA47 DA02 DA03 EB41

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 プラズマアークによってフロン又は代替
フロンを分解反応させ無害化するフロン等のプラズマア
ーク分解無害化装置において、プラズマアークを発生さ
せてフロン又は代替フロンを分解して分解ガスを発生さ
せるプラズマアーク分解装置と、プラズマアーク分解装
置の下部に配置されて分解ガスを無害化する燃焼・処理
槽と、プラズマアーク分解装置の下部支持体と燃焼・処
理槽とを保守点検時に回動離反させる開閉用ヒンジとを
備えたフロン又は代替フロン等のプラズマアーク分解無
害化装置。1. A plasma arc decomposition and detoxification apparatus, such as chlorofluorocarbon, for decomposing chlorofluorocarbon or alternative fluorocarbon by a plasma arc to generate a plasma arc and decompose the fluorocarbon or alternative fluorocarbon to generate a decomposition gas. An arc cracking device, a combustion / treatment tank disposed below the plasma arc cracking device to make the decomposition gas harmless, and an open / close mechanism for rotating / separating the lower support of the plasma arc cracking device and the combustion / treatment tank during maintenance and inspection Arc decomposition and detoxification device such as chlorofluorocarbon or alternative chlorofluorocarbon provided with a hinge. 【請求項２】 プラズマアークによってフロン又は代替
フロンを分解反応させ無害化するフロン等のプラズマア
ーク分解無害化装置において、プラズマアークを発生さ
せるプラズマトーチと、プラズマトーチの下部に取り付
けられてプラズマアークによってプラズマジェットを発
生させる陽極ノズルと、前記陽極ノズルの下部に取り付
けられてプラズマジェットでフロン又は代替フロンを分
解して分解ガスを発生させる反応ノズルと、前記反応ノ
ズルの下部に配置されて分解ガスを無害化する燃焼・処
理槽と、反応ノズルの下部支持体と燃焼・処理槽とを保
守点検時に回動離反させる開閉用ヒンジとを備えたフロ
ン又は代替フロン等のプラズマアーク分解無害化装置。2. A detoxifying apparatus for decomposing and detoxifying chlorofluorocarbon or alternative fluorocarbons by a plasma arc using a plasma torch for generating a plasma arc and a plasma torch attached to a lower portion of the plasma torch. An anode nozzle for generating a plasma jet, a reaction nozzle attached to a lower portion of the anode nozzle to decompose chlorofluorocarbon or alternative chlorofluorocarbons by a plasma jet to generate a decomposition gas, and a decomposition nozzle disposed at a lower portion of the reaction nozzle to generate a decomposition gas. A plasma arc detoxification device, such as Freon or alternative Freon, comprising a combustion / treatment tank to be rendered harmless, and an opening / closing hinge for rotating and separating the lower support of the reaction nozzle and the combustion / treatment tank during maintenance and inspection. 【請求項３】 プラズマアークによってフロン又は代替
フロンを分解反応させ無害化するフロン等のプラズマア
ーク分解無害化装置において、プラズマアークを発生さ
せるプラズマトーチと、プラズマトーチの下部に取り付
けられてプラズマアークによってプラズマジェットを発
生させる陽極ノズルと、前記陽極ノズルの下部に取り付
けられてプラズマジェットでフロン又は代替フロンを分
解して分解ガスを発生させる反応ノズルと、前記反応ノ
ズルを支える反応ノズル支持フランジと、前記反応ノズ
ル支持フランジの下部に配置されて分解ガスを無害化す
る燃焼・処理槽と、反応ノズルの下部支持体と燃焼・処
理槽とを保守点検時に回動離反させる開閉用ヒンジとを
備えたフロン又は代替フロン等のプラズマアーク分解無
害化装置。3. A plasma arc decomposition and detoxification apparatus such as chlorofluorocarbon which decomposes and degrades chlorofluorocarbon or alternative fluorocarbon by a plasma arc, comprising: a plasma torch for generating a plasma arc; a plasma torch attached to a lower portion of the plasma torch; An anode nozzle for generating a plasma jet, a reaction nozzle attached to a lower portion of the anode nozzle to generate a decomposition gas by decomposing chlorofluorocarbon or alternative fluorocarbon by the plasma jet, a reaction nozzle support flange for supporting the reaction nozzle, A CFC provided with a combustion / treatment tank disposed below the reaction nozzle support flange to render the decomposition gas harmless, and an opening / closing hinge for rotating and separating the lower support of the reaction nozzle and the combustion / treatment tank during maintenance and inspection. Or a plasma arc decomposition and detoxification device such as alternative chlorofluorocarbon. 【請求項４】 プラズマアークによってフロン又は代替
フロンを分解反応させ無害化するフロン等のプラズマア
ーク分解無害化装置において、プラズマアークを発生さ
せるプラズマトーチと、プラズマトーチを支持するプラ
ズマトーチ支持体に取り付けられてプラズマアークによ
ってプラズマジェットを発生させる陽極ノズルと、前記
陽極ノズルの下部に取り付けられてプラズマジェットで
フロン又は代替フロンを分解して分解ガスを発生させる
反応ノズルと、陽極ノズル及び反応ノズルの外周に配置
されて陽極ノズル及び反応ノズルを冷却する冷却ブラケ
ットと、前記冷却ブラケットの下部に配置されて分解ガ
スを無害化する燃焼・処理槽と、冷却ブラケットと燃焼
・処理槽とを保守点検時に回動離反させる開閉用ヒンジ
とを備えたフロン又は代替フロン等のプラズマアーク分
解無害化装置。4. A detoxifying apparatus for decomposing and detoxifying chlorofluorocarbon or alternative fluorocarbons by a plasma arc, wherein the plasma torch is attached to a plasma torch for generating a plasma arc and a plasma torch support for supporting the plasma torch. An anode nozzle for generating a plasma jet by a plasma arc; a reaction nozzle attached to a lower portion of the anode nozzle to decompose chlorofluorocarbon or alternative chlorofluorocarbon to generate a decomposition gas; and an outer periphery of the anode nozzle and the reaction nozzle. A cooling bracket disposed in the cooling bracket for cooling the anode nozzle and the reaction nozzle, a combustion / treatment tank disposed below the cooling bracket for detoxifying the decomposed gas, and a cooling bracket and the combustion / treatment tank rotated during maintenance and inspection. Freon with opening / closing hinges Is a plasma arc decomposition and detoxification device such as alternative chlorofluorocarbon. 【請求項５】 プラズマアークによってフロン又は代替
フロンを分解反応させ無害化するフロン等のプラズマア
ーク分解無害化装置において、プラズマアークを発生さ
せるプラズマトーチと、プラズマトーチを支持するプラ
ズマトーチ支持体に取り付けられてプラズマアークによ
ってプラズマジェットを発生させる陽極ノズルと、前記
陽極ノズルの下部に取り付けられてプラズマジェットで
フロン又は代替フロンを分解して分解ガスを発生させる
反応ノズルと、陽極ノズル及び反応ノズルの外周に配置
されて陽極ノズル及び反応ノズルを冷却する冷却ブラケ
ットと、反応ノズルを支える反応ノズル支持フランジ
と、反応ノズル支持フランジ及び冷却ブラケットの下部
に配置されて分解ガスを無害化する燃焼・処理槽と、冷
却ブラケットと燃焼・処理槽とを保守点検時に回動離反
させる開閉用ヒンジとを備えたフロン又は代替フロン等
のプラズマアーク分解無害化装置。5. A detoxification apparatus for decomposing and detoxifying chlorofluorocarbons or alternative fluorocarbons by a plasma arc, wherein the plasma torch is attached to a plasma torch for generating a plasma arc and a plasma torch support for supporting the plasma torch. An anode nozzle for generating a plasma jet by a plasma arc; a reaction nozzle attached to a lower portion of the anode nozzle to decompose chlorofluorocarbon or alternative chlorofluorocarbon to generate a decomposition gas; and an outer periphery of the anode nozzle and the reaction nozzle. A cooling bracket for cooling the anode nozzle and the reaction nozzle, which is disposed in the reaction nozzle, a reaction nozzle support flange for supporting the reaction nozzle, and a combustion / treatment tank disposed below the reaction nozzle support flange and the cooling bracket for rendering the decomposition gas harmless. , Cooling bracket and combustion A plasma arc decomposition and detoxification device such as chlorofluorocarbon or alternative chlorofluorocarbon provided with an opening / closing hinge for rotating and separating a processing tank during maintenance and inspection.