JP2000337830A - コイル形状の測定方法及び装置 - Google Patents
コイル形状の測定方法及び装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】安価なレーザ距離計を用いて、薄い帯状鋼板が
突出しているコイル端面の形状を測定可能な技術を提供
する。 【解決手段】帯状鋼板コイル１の軸直角端面２に斜めに
レーザビーム１１を照射するレーザ距離計１０と、レー
ザ距離計１０をコイル端面全面を照射するように揺動さ
せる揺動装置１５と、レーザ距離計１０の揺動運動及び
レーザ距離計の測定データを処理してコイル端面の凹凸
形状を演算する演算装置１６とを備える。
突出しているコイル端面の形状を測定可能な技術を提供
する。 【解決手段】帯状鋼板コイル１の軸直角端面２に斜めに
レーザビーム１１を照射するレーザ距離計１０と、レー
ザ距離計１０をコイル端面全面を照射するように揺動さ
せる揺動装置１５と、レーザ距離計１０の揺動運動及び
レーザ距離計の測定データを処理してコイル端面の凹凸
形状を演算する演算装置１６とを備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、帯状鋼板コイルの
軸直角端面の凹凸形状を検出するコイル形状の測定方法
に関する。
軸直角端面の凹凸形状を検出するコイル形状の測定方法
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、帯状鋼板コイルの軸直角端面（コ
イル端面）の凹凸を検出する技術として、図４に示すよ
うに、帯状鋼板コイル１のコイル端面２に直角にレーザ
ビーム１１を照射するレーザ距離計１０を配置し、この
レーザ距離計１０又はコイル１をコイル端面２に平行に
矢印１２で示すように相対移動させ、レーザ距離計１０
が測定したコイル端面までの距離のデータからコイル端
面２の凹凸を測定し、コイル形状を測定する技術があ
る。同様な技術は例えば実開昭６１−１４３０１０号広
報にも開示されている。
イル端面）の凹凸を検出する技術として、図４に示すよ
うに、帯状鋼板コイル１のコイル端面２に直角にレーザ
ビーム１１を照射するレーザ距離計１０を配置し、この
レーザ距離計１０又はコイル１をコイル端面２に平行に
矢印１２で示すように相対移動させ、レーザ距離計１０
が測定したコイル端面までの距離のデータからコイル端
面２の凹凸を測定し、コイル形状を測定する技術があ
る。同様な技術は例えば実開昭６１−１４３０１０号広
報にも開示されている。
【０００３】このようなコイル形状の測定技術では、テ
レスコになっているような全体形状を把握することは容
易であるが、測定対象コイルの板厚がレーザビームの径
より小さい場合、Ｓ／Ｎ比が小さくなり、凹凸の測定が
不可能になる。例えば厚さが１ｍｍ前後の帯状鋼板コイ
ルでコイルの帯状鋼板１枚が突出しているものを検出す
る場合、使用する距離計に用いるレーザはビーム径が板
厚以下でなければ突出しているものを検出することが困
難であり、また、反射光の確実な把握ができるように、
例えばクラス３以上の高出力密度のレーザが必要とな
る。このようなレーザビーム径が小さく高出力密度を出
力するレーザ距離計は非常に高価であるとともに、安全
上の対策が必要であるため、取り扱いが困難である。
レスコになっているような全体形状を把握することは容
易であるが、測定対象コイルの板厚がレーザビームの径
より小さい場合、Ｓ／Ｎ比が小さくなり、凹凸の測定が
不可能になる。例えば厚さが１ｍｍ前後の帯状鋼板コイ
ルでコイルの帯状鋼板１枚が突出しているものを検出す
る場合、使用する距離計に用いるレーザはビーム径が板
厚以下でなければ突出しているものを検出することが困
難であり、また、反射光の確実な把握ができるように、
例えばクラス３以上の高出力密度のレーザが必要とな
る。このようなレーザビーム径が小さく高出力密度を出
力するレーザ距離計は非常に高価であるとともに、安全
上の対策が必要であるため、取り扱いが困難である。
【０００４】なお、レーザ装置のクラス分けはＪＩＳ
Ｃ６８０２にも規定があり、概ね次の通りである。
Ｃ６８０２にも規定があり、概ね次の通りである。
【０００５】（１）クラス１：人体に障害を与えない低
出力であって、おおむね０．３９μＷ以下のもの。
出力であって、おおむね０．３９μＷ以下のもの。
【０００６】（２）クラス２：可視光線（波長：４００
ｎｍ〜７００ｎｍ）で、人体の防御反応により障害を回
避し得る程度の出力以下であって、おおむね０．３９μ
Ｗを超え１ｍＷ以下のもの。
ｎｍ〜７００ｎｍ）で、人体の防御反応により障害を回
避し得る程度の出力以下であって、おおむね０．３９μ
Ｗを超え１ｍＷ以下のもの。
【０００７】（３）クラス３Ａ：光学的手段でのビーム
内観察は危険で、放出レベルがクラス２の出力の５倍以
下であって、おおむね１ｍＷを超え５ｍＷ以下のもの。
内観察は危険で、放出レベルがクラス２の出力の５倍以
下であって、おおむね１ｍＷを超え５ｍＷ以下のもの。
【０００８】（４）クラス３Ｂ：直接または鏡面反射に
よるレーザ光線のばく露により眼の障害を生じる可能性
があるが、拡散反射によるレーザ光線にばく露しても眼
の障害を生じる可能性のない出力であって、おおむね５
ｍＷを超え０．５Ｗ以下のもの。
よるレーザ光線のばく露により眼の障害を生じる可能性
があるが、拡散反射によるレーザ光線にばく露しても眼
の障害を生じる可能性のない出力であって、おおむね５
ｍＷを超え０．５Ｗ以下のもの。
【０００９】（５）クラス４：拡散反射によるレーザ光
線のばく露でも、眼に障害を与える可能性のある出力で
あって、おおむね０．５Ｗを超えるもの。
線のばく露でも、眼に障害を与える可能性のある出力で
あって、おおむね０．５Ｗを超えるもの。
【００１０】クラス１、２では格別の安全措置を要しな
いが、クラス３以上ではクラスの高いほどきびしい安全
措置が必要である。
いが、クラス３以上ではクラスの高いほどきびしい安全
措置が必要である。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】従来のコイル端面に対
して垂直にレーザビームを照射してコイル端面を計測す
る技術では、厚さの薄い鋼板コイルの側面をレーザ距離
計で計測するには、高出力、高価で安全上の対策が必要
となると言う問題があった。
して垂直にレーザビームを照射してコイル端面を計測す
る技術では、厚さの薄い鋼板コイルの側面をレーザ距離
計で計測するには、高出力、高価で安全上の対策が必要
となると言う問題があった。
【００１２】本発明は上記問題点を解決したコイル形状
の測定方法を開発したもので、安価なレーザ距離計を用
いて、薄い１枚の帯状鋼板が側面に突出している場合で
も確実にコイル端面の形状を測定可能なコイル形状の測
定方法及びその装置を提供するものである。
の測定方法を開発したもので、安価なレーザ距離計を用
いて、薄い１枚の帯状鋼板が側面に突出している場合で
も確実にコイル端面の形状を測定可能なコイル形状の測
定方法及びその装置を提供するものである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記問題点を
解決するためになされたもので、その技術手段は、帯状
鋼板コイルの軸直角端面に対して鋭角をなす方向からレ
ーザ距離計のレーザビームを照射し、距離計と前記端面
との距離を測定し端面の凹凸形状を計測することを特徴
とするコイル形状の測定方法である。コイルの側面に対
して鋭角をなす方向から斜めにレーザビームを照射する
ので、板厚の薄い鋼板でも、突出している状態を安価な
レーザ距離計で検出することができる。この場合に、従
来と同様にレーザ距離計をコイル端面に沿って相対移動
させ、コイルの１もしくは複数の直径について、又はコ
イル端面全面について形状を測定することはもちろん可
能である。
解決するためになされたもので、その技術手段は、帯状
鋼板コイルの軸直角端面に対して鋭角をなす方向からレ
ーザ距離計のレーザビームを照射し、距離計と前記端面
との距離を測定し端面の凹凸形状を計測することを特徴
とするコイル形状の測定方法である。コイルの側面に対
して鋭角をなす方向から斜めにレーザビームを照射する
ので、板厚の薄い鋼板でも、突出している状態を安価な
レーザ距離計で検出することができる。この場合に、従
来と同様にレーザ距離計をコイル端面に沿って相対移動
させ、コイルの１もしくは複数の直径について、又はコ
イル端面全面について形状を測定することはもちろん可
能である。
【００１４】上記の帯状鋼板コイルの軸直角端面に対し
て鋭角をなす方向からレーザ距離計のレーザビームを照
射し、距離計と前記端面との距離を測定し端面の凹凸形
状を計測する方法において、前記レーザ距離計を揺動さ
せてコイル軸直角端面（コイル端面）全面を測定し、測
定データを立体角でデータ処理を行い、コイル端面全面
の凹凸を計測することとすれば、コイル端面全面の凹凸
形状を容易に測定することができ好適である。
て鋭角をなす方向からレーザ距離計のレーザビームを照
射し、距離計と前記端面との距離を測定し端面の凹凸形
状を計測する方法において、前記レーザ距離計を揺動さ
せてコイル軸直角端面（コイル端面）全面を測定し、測
定データを立体角でデータ処理を行い、コイル端面全面
の凹凸を計測することとすれば、コイル端面全面の凹凸
形状を容易に測定することができ好適である。
【００１５】上記本発明方法を好適に実施することがで
きる本発明の装置は、帯状鋼板コイルの軸直角端面に斜
めにレーザビームを照射するレーザ距離計と、レーザ距
離計を前記端面全面を照射するように立体的に揺動させ
る揺動装置と、レーザ距離計の揺動運動及びレーザ距離
計の測定データを処理してコイル端面の凹凸形状を演算
する演算装置とを備えたことを特徴とするコイル形状の
測定装置である。
きる本発明の装置は、帯状鋼板コイルの軸直角端面に斜
めにレーザビームを照射するレーザ距離計と、レーザ距
離計を前記端面全面を照射するように立体的に揺動させ
る揺動装置と、レーザ距離計の揺動運動及びレーザ距離
計の測定データを処理してコイル端面の凹凸形状を演算
する演算装置とを備えたことを特徴とするコイル形状の
測定装置である。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下図面を参照して本発明の実施
の形態を説明する。
の形態を説明する。
【００１７】図２に示すように、測定対象であるコイル
端面２に対して斜め方向からレーザビーム１１を照射す
るようにレーザ距離計１０を設置することによって、コ
イル端面２の凹凸を投影面としてとらえることができ
る。そのため、使用するレーザ距離計１０のレーザビー
ム１１の径を、測定コイルの板厚によらず測定したい突
出量に応じて選定することが可能であり、また面でとら
えるため反射光の確保も容易になる。これにより、低出
力（クラス２以下）のレーザ距離計１０の使用が可能と
なる。このレーザ距離計１０を矢印１８で示すように移
動させてコイル端面２の凹凸形状を測定することができ
る。
端面２に対して斜め方向からレーザビーム１１を照射す
るようにレーザ距離計１０を設置することによって、コ
イル端面２の凹凸を投影面としてとらえることができ
る。そのため、使用するレーザ距離計１０のレーザビー
ム１１の径を、測定コイルの板厚によらず測定したい突
出量に応じて選定することが可能であり、また面でとら
えるため反射光の確保も容易になる。これにより、低出
力（クラス２以下）のレーザ距離計１０の使用が可能と
なる。このレーザ距離計１０を矢印１８で示すように移
動させてコイル端面２の凹凸形状を測定することができ
る。
【００１８】図１は本発明の別の実施例のコイル形状の
測定方法を示す図である。図１に示すコイル形状の測定
方法は、コイル１の軸直角端面２に対して鋭角をなす方
向からレーザビーム１１を照射するようにレーザ距離計
１０を設置し、このレーザ距離計１０の測定範囲をコイ
ル端面２全面に亘るようにレーザ距離計１１を揺動装置
１５で矢印１４で示すように立体的に揺動させて、レー
ザビーム１２、１３で示すように、コイル端面２の全範
囲の測定を行う。測定されたデータを測定方式に合致さ
せて演算装置１６に入力し、立体角でデータ処理し、コ
イル端面の凹凸形状を測定する。測定結果は記録装置１
７に記憶させる。
測定方法を示す図である。図１に示すコイル形状の測定
方法は、コイル１の軸直角端面２に対して鋭角をなす方
向からレーザビーム１１を照射するようにレーザ距離計
１０を設置し、このレーザ距離計１０の測定範囲をコイ
ル端面２全面に亘るようにレーザ距離計１１を揺動装置
１５で矢印１４で示すように立体的に揺動させて、レー
ザビーム１２、１３で示すように、コイル端面２の全範
囲の測定を行う。測定されたデータを測定方式に合致さ
せて演算装置１６に入力し、立体角でデータ処理し、コ
イル端面の凹凸形状を測定する。測定結果は記録装置１
７に記憶させる。
【００１９】上記のように、測定対象であるコイル端面
２に対し斜め方向からレーザビーム１１を照射しなが
ら、このレーザ距離計１０を揺動させることにより、コ
イル全範囲の形状測定が可能となる。図１のように、レ
ーザ距離計を揺動させる場合には、計測データが極座標
によるものとなる。そのため立体角でのデータ処理を行
い平面形状のデータに変換する。
２に対し斜め方向からレーザビーム１１を照射しなが
ら、このレーザ距離計１０を揺動させることにより、コ
イル全範囲の形状測定が可能となる。図１のように、レ
ーザ距離計を揺動させる場合には、計測データが極座標
によるものとなる。そのため立体角でのデータ処理を行
い平面形状のデータに変換する。
【００２０】極座標（ｒ1，θ1）から直交座標（ｘ1，
ｙ1）への変換例を図５を参照して説明する。コイル１
の端面２に対して斜め方向からレーザ距離計１０により
測定点Ａの距離ｒ1，角度θ1を測定する。コイルの幅を
Ｄとしコイル幅方向中心とレーザ距離計１０との水平距
離をＬ1、コイル１の端面２とレーザ距離計１０との水
平距離（基準端面距離）をＬ2とすると、 Ｌ2＝Ｌ1−Ｄ／２ である。測定点Ａの直交座標（ｘ1，ｙ1）は ｘ1＝ｒ1×ｃｏｓθ1 ｙ1＝ｒ1×ｓｉｎθ1 テレスコ量ｅ＝Ｌ2−ｘ1＝Ｌ1−Ｄ／２−ｘ1 この場合ｅの値に設定値（しきい値）を設け、設定値以
上はエラーとする処理を行う。
ｙ1）への変換例を図５を参照して説明する。コイル１
の端面２に対して斜め方向からレーザ距離計１０により
測定点Ａの距離ｒ1，角度θ1を測定する。コイルの幅を
Ｄとしコイル幅方向中心とレーザ距離計１０との水平距
離をＬ1、コイル１の端面２とレーザ距離計１０との水
平距離（基準端面距離）をＬ2とすると、 Ｌ2＝Ｌ1−Ｄ／２ である。測定点Ａの直交座標（ｘ1，ｙ1）は ｘ1＝ｒ1×ｃｏｓθ1 ｙ1＝ｒ1×ｓｉｎθ1 テレスコ量ｅ＝Ｌ2−ｘ1＝Ｌ1−Ｄ／２−ｘ1 この場合ｅの値に設定値（しきい値）を設け、設定値以
上はエラーとする処理を行う。
【００２１】なお、図２に示すように、レーザビーム１
１をコイル端面２に斜めに照射させ、レーザ距離計１０
をコイル端面２に平行な平面内を移動させて距離を測定
し、この測定データを処理してコイル端面の形状を測定
することももちろん可能である。
１をコイル端面２に斜めに照射させ、レーザ距離計１０
をコイル端面２に平行な平面内を移動させて距離を測定
し、この測定データを処理してコイル端面の形状を測定
することももちろん可能である。
【００２２】以上のような方法により、従来の小径大出
力レーザにかわって大径低出力レーザを使用することが
可能となる。本発明のコイル形状の測定方法によれば、
安価なレーザ距離計を用いて、対象とするコイルの板厚
によらず、軸直角端面から突出している板の突出量を確
実に検出することができる。
力レーザにかわって大径低出力レーザを使用することが
可能となる。本発明のコイル形状の測定方法によれば、
安価なレーザ距離計を用いて、対象とするコイルの板厚
によらず、軸直角端面から突出している板の突出量を確
実に検出することができる。
【００２３】図３は、レーザ距離計を揺動させてコイル
端面を測定し、立体角で処理したデータの１つの半径に
沿うデータの例を示すグラフである。これよりコイルの
突出部の検出が可能であることがわかる。
端面を測定し、立体角で処理したデータの１つの半径に
沿うデータの例を示すグラフである。これよりコイルの
突出部の検出が可能であることがわかる。
【００２４】なお、以上の説明ではコイルの片側の突出
部の測定の例を示したが、凹部についてはコイル逆側の
面では突出部となるため、逆側のコイル端面からの測定
により判別可能である。
部の測定の例を示したが、凹部についてはコイル逆側の
面では突出部となるため、逆側のコイル端面からの測定
により判別可能である。
【００２５】
【発明の効果】本発明のコイル形状の測定方法は以上の
ように構成されているので、安価なレーザ距離計を用い
て、対象とするコイルの板厚によらず、軸直角端面から
突出している板の突出量を確実に検出することができ、
寄与するところが非常に大である。
ように構成されているので、安価なレーザ距離計を用い
て、対象とするコイルの板厚によらず、軸直角端面から
突出している板の突出量を確実に検出することができ、
寄与するところが非常に大である。
【図１】実施例のコイル形状の測定方法を示す説明図で
ある。
ある。
【図２】別のコイル形状の測定方法を示す説明図であ
る。
る。
【図３】実施例の検出を示すグラフである。
【図４】従来技術の説明図である。
【図５】極座標と直交座標の変換説明図である。
１ コイル ２ 側面（軸直角端面） １０ レーザ距離計 １１、１２、１３ レーザビーム １４ 矢印 １５ 揺動装置 １６ 演算装置 １７ 記録装置 １８ 矢印
フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F065 AA06 AA52 AA53 BB08 CC06 FF11 GG04 HH04 HH12 JJ08 MM15 PP05 PP22 QQ25
Claims (3)
- 【請求項１】 帯状鋼板コイルの軸直角端面に対して鋭
角をなす方向からレーザ距離計のレーザビームを照射
し、距離計と前記端面との距離を測定しコイル端面の凹
凸形状を計測することを特徴とするコイル形状の測定方
法。 - 【請求項２】 前記レーザ距離計を揺動させてコイル端
面全面を測定し、測定データを立体角でデータ処理を行
い、コイル端面全面の凹凸形状を計測することを特徴と
する請求項１記載のコイル形状の測定方法。 - 【請求項３】 帯状鋼板コイルの軸直角端面に斜めにレ
ーザビームを照射するレーザ距離計と、該レーザ距離計
を前記端面全面を照射するように揺動させる揺動装置
と、レーザ距離計の揺動運動及びレーザ距離計の測定デ
ータを処理してコイル端面の凹凸形状を演算する演算装
置とを備えたことを特徴とするコイル形状の測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11147976A JP2000337830A (ja) | 1999-05-27 | 1999-05-27 | コイル形状の測定方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11147976A JP2000337830A (ja) | 1999-05-27 | 1999-05-27 | コイル形状の測定方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000337830A true JP2000337830A (ja) | 2000-12-08 |
Family
ID=15442365
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11147976A Pending JP2000337830A (ja) | 1999-05-27 | 1999-05-27 | コイル形状の測定方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000337830A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010286158A (ja) * | 2009-06-11 | 2010-12-24 | Jfe Steel Corp | 焼結原料の装入状態測定装置および焼結鉱の製造方法 |
| CN102135423A (zh) * | 2010-01-25 | 2011-07-27 | 中国科学院遥感应用研究所 | 地表粗糙度测量装置及地表粗糙度测量方法 |
| JP2013540984A (ja) * | 2010-07-15 | 2013-11-07 | ジ ヨーロピアン アトミック エネジー コミュニティ（ユーラトム），リプレゼンテッド バイ ジ ヨーロピアン コミッション | 移動物体を安全に識別する方法 |
| US8728236B2 (en) | 2003-11-13 | 2014-05-20 | Cree, Inc. | Low dislocation density III-V nitride substrate including filled pits and process for making the same |
| CN103868477A (zh) * | 2014-03-28 | 2014-06-18 | 山东颐荣集团有限公司 | 墙体平面度测量仪及其测量方法 |
| US10890438B2 (en) | 2016-04-26 | 2021-01-12 | Mitsui High-Tec, Inc. | Method for measuring laminated iron core |
| CN113063376A (zh) * | 2021-03-19 | 2021-07-02 | 长沙长泰智能装备有限公司 | 纸卷端面平整度检测装置与检测方法 |
-
1999
- 1999-05-27 JP JP11147976A patent/JP2000337830A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8728236B2 (en) | 2003-11-13 | 2014-05-20 | Cree, Inc. | Low dislocation density III-V nitride substrate including filled pits and process for making the same |
| JP2010286158A (ja) * | 2009-06-11 | 2010-12-24 | Jfe Steel Corp | 焼結原料の装入状態測定装置および焼結鉱の製造方法 |
| CN102135423A (zh) * | 2010-01-25 | 2011-07-27 | 中国科学院遥感应用研究所 | 地表粗糙度测量装置及地表粗糙度测量方法 |
| JP2013540984A (ja) * | 2010-07-15 | 2013-11-07 | ジ ヨーロピアン アトミック エネジー コミュニティ（ユーラトム），リプレゼンテッド バイ ジ ヨーロピアン コミッション | 移動物体を安全に識別する方法 |
| CN103868477A (zh) * | 2014-03-28 | 2014-06-18 | 山东颐荣集团有限公司 | 墙体平面度测量仪及其测量方法 |
| US10890438B2 (en) | 2016-04-26 | 2021-01-12 | Mitsui High-Tec, Inc. | Method for measuring laminated iron core |
| CN113063376A (zh) * | 2021-03-19 | 2021-07-02 | 长沙长泰智能装备有限公司 | 纸卷端面平整度检测装置与检测方法 |
| CN113063376B (zh) * | 2021-03-19 | 2023-03-10 | 中轻长泰(长沙)智能科技股份有限公司 | 纸卷端面平整度检测装置与检测方法 |
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Legal Events
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