JP2000316206A - 軌道走行検査台車 - Google Patents
軌道走行検査台車Info
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Landscapes
- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
- Control Of Position, Course, Altitude, Or Attitude Of Moving Bodies (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 天井から懸架されている箱形ダクト軌道10
0の継ぎ目100Cに段差があったり,その内底面や内
側面に異物がある場合などには,搬送台車が搭載してい
る荷物に悪影響を与えるような異常振動が生じる恐れが
あり,この異常振動の発生を防止する必要があった。 【解決手段】 本発明は,駆動手段にリニア直流モータ
LDMを用いて一次側と永久磁石との間に作用する力を
走行速度に対して一定としながら,上記異常振動に係る
加速度信号を正確に検出して,上記搬送台車が上記箱形
ダクト軌道100を走行する際に上記異常振動が発生す
るのを防止することができる軌道走行検査台車を提供す
ることを図ったものである。
0の継ぎ目100Cに段差があったり,その内底面や内
側面に異物がある場合などには,搬送台車が搭載してい
る荷物に悪影響を与えるような異常振動が生じる恐れが
あり,この異常振動の発生を防止する必要があった。 【解決手段】 本発明は,駆動手段にリニア直流モータ
LDMを用いて一次側と永久磁石との間に作用する力を
走行速度に対して一定としながら,上記異常振動に係る
加速度信号を正確に検出して,上記搬送台車が上記箱形
ダクト軌道100を走行する際に上記異常振動が発生す
るのを防止することができる軌道走行検査台車を提供す
ることを図ったものである。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は,軌道走行検査台車
に係り,詳しくは,例えば半導体や液晶を製造する製造
工場などのクリーンルームで用いられる,搬送台車の走
行路を検査するための軌道走行検査台車に関するもので
ある。
に係り,詳しくは,例えば半導体や液晶を製造する製造
工場などのクリーンルームで用いられる,搬送台車の走
行路を検査するための軌道走行検査台車に関するもので
ある。
【0002】
【従来の技術】例えば半導体や液晶を製造する製造工場
などのクリーンルームでは,高い清浄度が要求されるた
め,発塵源となる人間の介在は極力避けた方が好まし
く,ウェハ等の搬送も含め自動化・無人化が進められて
いる。また,近年では,ウェハの大口径化や最終製品の
集積度の向上などに伴って,搬送量や搬送物の大きさ,
重量が増大する傾向にあり,生産効率の観点からも無人
搬送システムが強く望まれている。このようなクリーン
ルームで用いられる無人搬送システムに関する技術は,
特開平10−111719号公報などに記載されてい
る。上記公報に記載の無人搬送システムでは,ウェハカ
セット等の荷物を搭載した搬送台車が走行する軌道が分
岐している場合に,軌道側で切り替え動作を行わずに,
分岐軌道のいずれかに上記搬送台車を走行させるよう,
その構成に配慮がなされている。軌道側で切り替え動作
を行わないようにすれば,軌道側の構成が簡素化される
などの多くの利点があり,軌道側の構成が簡素化される
と,上記軌道を天井付近から懸架した状態で設置するこ
とも容易となり,地上設備の制約を受けることもない
し,クリーンルームの省スペース化を図ることもでき
る。
などのクリーンルームでは,高い清浄度が要求されるた
め,発塵源となる人間の介在は極力避けた方が好まし
く,ウェハ等の搬送も含め自動化・無人化が進められて
いる。また,近年では,ウェハの大口径化や最終製品の
集積度の向上などに伴って,搬送量や搬送物の大きさ,
重量が増大する傾向にあり,生産効率の観点からも無人
搬送システムが強く望まれている。このようなクリーン
ルームで用いられる無人搬送システムに関する技術は,
特開平10−111719号公報などに記載されてい
る。上記公報に記載の無人搬送システムでは,ウェハカ
セット等の荷物を搭載した搬送台車が走行する軌道が分
岐している場合に,軌道側で切り替え動作を行わずに,
分岐軌道のいずれかに上記搬送台車を走行させるよう,
その構成に配慮がなされている。軌道側で切り替え動作
を行わないようにすれば,軌道側の構成が簡素化される
などの多くの利点があり,軌道側の構成が簡素化される
と,上記軌道を天井付近から懸架した状態で設置するこ
とも容易となり,地上設備の制約を受けることもない
し,クリーンルームの省スペース化を図ることもでき
る。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ただし,上記のように
搬送台車を走行させる軌道を天井付近に設ける場合,上
記軌道は複数の短尺軌道が継ぎ合わされて形成されるこ
とになる。上記搬送台車は,上記天井から懸架される軌
道の底面や側面に走行ローラやガイドローラを転動させ
たり,上記軌道の分岐部において分岐用ローラを分岐用
ガイドに挿填・転動させたりしながら,上記軌道に沿っ
て走行するので,上記短尺軌道の継ぎ目に段差があった
り,上記軌道の底面や側面に異物があったり,分岐用ロ
ーラを分岐用ガイドに挿填する場合などに,上記搬送台
車に振動が生じて,搬送している荷物やその載置位置に
悪影響を与える恐れがある。本発明は,このような従来
の技術における課題を解決するために,搬送台車が走行
する軌道が,天井から懸架された箱形ダクト軌道である
場合でも,搬送台車に載置されている荷物やその載置位
置に悪影響を及ぼすような振動が発生するか否かを容易
に検出して,外部の管理者等へ知らせ,さらにはその発
生位置を特定することができる軌道走行検査台車を提供
することを目的とするものである。また,上記箱形ダク
ト軌道が天井から懸架されている場合には,上記箱形ダ
クト軌道の内部について保守管理をしようとすると,大
変な労力を要することになる。さらに,上記振動の原因
は,上記箱形ダクト軌道の継目段差による走行ローラ,
ガイドローラのガタであったり,分岐部における分岐ロ
ーラの分岐ガイドへの挿填不具合であったり,走行面・
側壁ガイド面上の異物であったり,様々であるから,好
ましくない振動発生を検出しても,直ぐさまその原因を
特定することができない場合がある。そこで,本発明の
他の目的は,分岐部における上記分岐用ローラの上記分
岐用ガイドへの挿填状態,上記箱形ダクト軌道の内底面
及び内側面,並びに上記給電線の状態のいずれか又はこ
れらの組合せを監視するための監視モニタを具備するこ
とにより,上記監視モニタにより撮像された映像から,
上記箱形ダクト軌道の内部の様子を容易に管理者等に把
握させることができる軌道走行検査台車を提供すること
である。
搬送台車を走行させる軌道を天井付近に設ける場合,上
記軌道は複数の短尺軌道が継ぎ合わされて形成されるこ
とになる。上記搬送台車は,上記天井から懸架される軌
道の底面や側面に走行ローラやガイドローラを転動させ
たり,上記軌道の分岐部において分岐用ローラを分岐用
ガイドに挿填・転動させたりしながら,上記軌道に沿っ
て走行するので,上記短尺軌道の継ぎ目に段差があった
り,上記軌道の底面や側面に異物があったり,分岐用ロ
ーラを分岐用ガイドに挿填する場合などに,上記搬送台
車に振動が生じて,搬送している荷物やその載置位置に
悪影響を与える恐れがある。本発明は,このような従来
の技術における課題を解決するために,搬送台車が走行
する軌道が,天井から懸架された箱形ダクト軌道である
場合でも,搬送台車に載置されている荷物やその載置位
置に悪影響を及ぼすような振動が発生するか否かを容易
に検出して,外部の管理者等へ知らせ,さらにはその発
生位置を特定することができる軌道走行検査台車を提供
することを目的とするものである。また,上記箱形ダク
ト軌道が天井から懸架されている場合には,上記箱形ダ
クト軌道の内部について保守管理をしようとすると,大
変な労力を要することになる。さらに,上記振動の原因
は,上記箱形ダクト軌道の継目段差による走行ローラ,
ガイドローラのガタであったり,分岐部における分岐ロ
ーラの分岐ガイドへの挿填不具合であったり,走行面・
側壁ガイド面上の異物であったり,様々であるから,好
ましくない振動発生を検出しても,直ぐさまその原因を
特定することができない場合がある。そこで,本発明の
他の目的は,分岐部における上記分岐用ローラの上記分
岐用ガイドへの挿填状態,上記箱形ダクト軌道の内底面
及び内側面,並びに上記給電線の状態のいずれか又はこ
れらの組合せを監視するための監視モニタを具備するこ
とにより,上記監視モニタにより撮像された映像から,
上記箱形ダクト軌道の内部の様子を容易に管理者等に把
握させることができる軌道走行検査台車を提供すること
である。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に,請求項1に係る発明は,天井から懸架された箱形ダ
クト軌道内を走行し検査を行う軌道走行検査台車であっ
て,上記箱形ダクト軌道に沿って配置された永久磁石列
とともにリニア直流モータを構成する一次側と,上記箱
形ダクト軌道に沿って設けられた給電線と電磁的に結合
し,上記給電線とともに非接触給電機構を構成するピッ
クアップコイルと,上記給電線から上記ピックアップコ
イルを介して供給された交流電力を直流電力に変換し上
記一次側に供給するための電力変換器と,上記箱形ダク
ト軌道の内底面,及び内側面をそれぞれ転動する走行ロ
ーラ,及びガイドローラと,加速度信号を検知するため
のセンサと,上記センサによって検知された加速度信号
を外部へ出力するための通信器とを具備してなる軌道走
行検査台車として構成されている。また,請求項2に係
る発明は,上記請求項1に記載の軌道走行検査台車にお
いて,走行位置を特定するための走行位置特定手段を具
備してなることをその要旨とする。また,請求項3に係
る発明は,上記請求項2に記載の軌道走行検査台車にお
いて,上記走行位置特定手段が,エンコーダから走行に
伴って出力される位置情報に基づいて,又は,エンコー
ダから走行に伴って出力される位置情報と上記箱形ダク
ト軌道の異なる複数の位置を表すバーコード情報をそれ
ぞれ読み取ることによって得られた位置情報とに基づい
て,上記走行位置を特定するものであることをその要旨
とする。また,請求項4に係る発明は,上記請求項1〜
3のいずれか1項に記載の軌道走行検査台車において,
上記箱形ダクト軌道が分岐している場合に,各分岐方向
に対応して設けられた分岐用ガイドに挿填され,上記分
岐用ガイドを転動する分岐用ローラを具備してなること
をその要旨とする。また,請求項5に係る発明は,上記
請求項1〜4のいずれか1項に記載の軌道走行検査台車
において,上記箱形ダクト軌道の分岐部における上記分
岐用ローラの上記分岐用ガイドへの挿填状態,上記箱形
ダクト軌道の内底面及び内側面,並びに上記給電線の状
態のいずれか又はこれらの組合せを監視するための監視
モニタを具備してなることをその要旨とする。
に,請求項1に係る発明は,天井から懸架された箱形ダ
クト軌道内を走行し検査を行う軌道走行検査台車であっ
て,上記箱形ダクト軌道に沿って配置された永久磁石列
とともにリニア直流モータを構成する一次側と,上記箱
形ダクト軌道に沿って設けられた給電線と電磁的に結合
し,上記給電線とともに非接触給電機構を構成するピッ
クアップコイルと,上記給電線から上記ピックアップコ
イルを介して供給された交流電力を直流電力に変換し上
記一次側に供給するための電力変換器と,上記箱形ダク
ト軌道の内底面,及び内側面をそれぞれ転動する走行ロ
ーラ,及びガイドローラと,加速度信号を検知するため
のセンサと,上記センサによって検知された加速度信号
を外部へ出力するための通信器とを具備してなる軌道走
行検査台車として構成されている。また,請求項2に係
る発明は,上記請求項1に記載の軌道走行検査台車にお
いて,走行位置を特定するための走行位置特定手段を具
備してなることをその要旨とする。また,請求項3に係
る発明は,上記請求項2に記載の軌道走行検査台車にお
いて,上記走行位置特定手段が,エンコーダから走行に
伴って出力される位置情報に基づいて,又は,エンコー
ダから走行に伴って出力される位置情報と上記箱形ダク
ト軌道の異なる複数の位置を表すバーコード情報をそれ
ぞれ読み取ることによって得られた位置情報とに基づい
て,上記走行位置を特定するものであることをその要旨
とする。また,請求項4に係る発明は,上記請求項1〜
3のいずれか1項に記載の軌道走行検査台車において,
上記箱形ダクト軌道が分岐している場合に,各分岐方向
に対応して設けられた分岐用ガイドに挿填され,上記分
岐用ガイドを転動する分岐用ローラを具備してなること
をその要旨とする。また,請求項5に係る発明は,上記
請求項1〜4のいずれか1項に記載の軌道走行検査台車
において,上記箱形ダクト軌道の分岐部における上記分
岐用ローラの上記分岐用ガイドへの挿填状態,上記箱形
ダクト軌道の内底面及び内側面,並びに上記給電線の状
態のいずれか又はこれらの組合せを監視するための監視
モニタを具備してなることをその要旨とする。
【0005】上記請求項1〜5のいずれか1項に記載の
軌道走行検査台車は,駆動手段に永久磁石列及び一次側
から構成されるリニア直流モータを用い,前記リニア直
流モータへの給電に給電線及びピックアップコイルから
構成される非接触給電機構を用いて,発塵を極力抑えた
クリーンルームでの使用に適したものであり,搬送台車
が走行する軌道が,天井から懸架された箱形ダクト軌道
である場合でも,搬送台車に載置されている荷物やその
載置位置に悪影響を及ぼすような振動が発生するか否か
を容易に検出して,外部の管理者等へ知らせ,さらには
その発生位置を特定することができる。しかも,リニア
直流モータによる駆動では,永久磁石と一次側との間に
作用する力が走行速度に対して一定であるので,上記振
動の検出を正確に行うことができる。さらに,上記請求
項5に記載の軌道走行検査台車によれば,監視モニタに
よって,分岐部における上記分岐用ローラの上記分岐用
ガイドへの挿填状態,上記箱形ダクト軌道の内底面及び
内側面,並びに上記給電線の状態のいずれか又はこれら
の組合せが監視されるため,上記監視モニタにより撮像
された映像から,上記振動の原因を管理者等が容易に特
定することができる。その結果,天井に懸架されている
箱形ダクト軌道の保守管理に要する労力を大幅に軽減す
ることができる。
軌道走行検査台車は,駆動手段に永久磁石列及び一次側
から構成されるリニア直流モータを用い,前記リニア直
流モータへの給電に給電線及びピックアップコイルから
構成される非接触給電機構を用いて,発塵を極力抑えた
クリーンルームでの使用に適したものであり,搬送台車
が走行する軌道が,天井から懸架された箱形ダクト軌道
である場合でも,搬送台車に載置されている荷物やその
載置位置に悪影響を及ぼすような振動が発生するか否か
を容易に検出して,外部の管理者等へ知らせ,さらには
その発生位置を特定することができる。しかも,リニア
直流モータによる駆動では,永久磁石と一次側との間に
作用する力が走行速度に対して一定であるので,上記振
動の検出を正確に行うことができる。さらに,上記請求
項5に記載の軌道走行検査台車によれば,監視モニタに
よって,分岐部における上記分岐用ローラの上記分岐用
ガイドへの挿填状態,上記箱形ダクト軌道の内底面及び
内側面,並びに上記給電線の状態のいずれか又はこれら
の組合せが監視されるため,上記監視モニタにより撮像
された映像から,上記振動の原因を管理者等が容易に特
定することができる。その結果,天井に懸架されている
箱形ダクト軌道の保守管理に要する労力を大幅に軽減す
ることができる。
【0006】
【発明の実施の形態】以下,添付図面を参照して,本発
明の実施の形態につき説明し,本発明の理解に供する。
尚,以下の実施の形態は,本発明の具体的な一例であっ
て,本発明の技術的範囲を限定する性格のものではな
い。本発明の一実施の形態に係る軌道走行検査台車は,
例えば半導体や液晶を製造する製造工場などのクリーン
ルームの天井から懸架された箱形ダクト軌道を検査する
軌道走行検査台車として具体化されるものである。ここ
に,図1は本発明の一実施の形態に係る軌道走行検査台
車の概略構成を示す機能ブロック図,図2は上記軌道走
行検査台車の機械的な概略構成を示す図,図3は箱形ダ
クト軌道を走行する軌道走行検査台車の様子を説明する
ための図である。本発明の一実施の形態に係る軌道走行
検査台車は,図1乃至図3に示す如く,天井から懸架さ
れた箱形ダクト軌道100内を走行し検査を行う軌道走
行検査台車6であって,上記箱形ダクト軌道100に沿
って配置された永久磁石列101とともにリニア直流モ
ータLDMを構成する一次側102と,上記箱形ダクト
軌道100に沿って設けられた給電線2と電磁的に結合
し,上記給電線2とともに非接触給電機構を構成するピ
ックアップコイル7と,上記給電線2から上記ピックア
ップコイル7を介して供給された交流電力を直流電力に
変換し上記一次側102に供給するための非接触給電ユ
ニット(本発明における電力変換器に相当)8と,上記
箱形ダクト軌道100が分岐している場合に,各分岐方
向に対応して設けられた分岐用ガイド103に挿填さ
れ,上記分岐用ガイド103を転動する分岐用ローラ1
04と,上記箱形ダクト軌道100の内底面,及び内側
面をそれぞれ転動する走行ローラ105,及びガイドロ
ーラ106と,上記分岐用ローラ104,加速度信号を
検知するためのGセンサ(本発明におけるセンサに相
当)15と,上記Gセンサ15によって検知された加速
度信号を外部へ出力するためのテレメータ送信機(本発
明における通信器に相当)18とを具備して構成されて
いる。
明の実施の形態につき説明し,本発明の理解に供する。
尚,以下の実施の形態は,本発明の具体的な一例であっ
て,本発明の技術的範囲を限定する性格のものではな
い。本発明の一実施の形態に係る軌道走行検査台車は,
例えば半導体や液晶を製造する製造工場などのクリーン
ルームの天井から懸架された箱形ダクト軌道を検査する
軌道走行検査台車として具体化されるものである。ここ
に,図1は本発明の一実施の形態に係る軌道走行検査台
車の概略構成を示す機能ブロック図,図2は上記軌道走
行検査台車の機械的な概略構成を示す図,図3は箱形ダ
クト軌道を走行する軌道走行検査台車の様子を説明する
ための図である。本発明の一実施の形態に係る軌道走行
検査台車は,図1乃至図3に示す如く,天井から懸架さ
れた箱形ダクト軌道100内を走行し検査を行う軌道走
行検査台車6であって,上記箱形ダクト軌道100に沿
って配置された永久磁石列101とともにリニア直流モ
ータLDMを構成する一次側102と,上記箱形ダクト
軌道100に沿って設けられた給電線2と電磁的に結合
し,上記給電線2とともに非接触給電機構を構成するピ
ックアップコイル7と,上記給電線2から上記ピックア
ップコイル7を介して供給された交流電力を直流電力に
変換し上記一次側102に供給するための非接触給電ユ
ニット(本発明における電力変換器に相当)8と,上記
箱形ダクト軌道100が分岐している場合に,各分岐方
向に対応して設けられた分岐用ガイド103に挿填さ
れ,上記分岐用ガイド103を転動する分岐用ローラ1
04と,上記箱形ダクト軌道100の内底面,及び内側
面をそれぞれ転動する走行ローラ105,及びガイドロ
ーラ106と,上記分岐用ローラ104,加速度信号を
検知するためのGセンサ(本発明におけるセンサに相
当)15と,上記Gセンサ15によって検知された加速
度信号を外部へ出力するためのテレメータ送信機(本発
明における通信器に相当)18とを具備して構成されて
いる。
【0007】以下,上記軌道走行検査台車の詳細につい
て説明する。まず,ウェハカセット等の荷物を搬送する
搬送台車6’が走行する箱形ダクト軌道100のレイア
ウト例を図4に示す。上記軌道走行検査台車6は,上記
搬送台車6’の非稼働時に上記箱形ダクト軌道100を
走行して上記箱形ダクト軌道100の検査を行う。図4
に示す如く,上記箱形ダクト軌道100は,ループ状に
形成された主軌道100Mと,主軌道100Mから分岐
した分岐軌道100Sとからなる。上記分岐軌道100
Sは,カセットストッカなどが設けられているステーシ
ョンSTに上記搬送台車6’や上記軌道走行検査台車6
を誘導するためのものである。上記搬送台車6’が搬送
しているウェハカセットを上記カセットストッカに収納
したり,上記カセットストッカからウェハカセットを取
り出したりする必要がある場合には,上記搬送台車6’
は上記主軌道100Mから外れ,上記分岐軌道100S
に沿って走行する。上記主軌道100M及び上記分岐軌
道100Sそれぞれに沿って給電線2M,2Sが設けら
れる。上記箱形ダクト軌道100の構成は,上記図2及
び図3に示した通りである。上記箱形ダクト軌道100
はクリーンルームの天井付近から懸架されて設けられ
る。上記箱形ダクト軌道100を天井付近に懸架して設
けるのは,既述の通り,地上設備による配置上の制約を
避けたり,ひいてはクリーンルームの省スペース化を図
るためである。上記箱形ダクト軌道100の断面形状は
箱形であり,上記軌道走行検査台車6や搬送台車6’の
回りを囲むような大きさがある。上記箱形ダクト軌道1
00には,必要に応じて排気孔が設けられ,上記箱形ダ
クト軌道100内の空気は随時排気ファンによって外部
へ排気される。上記箱形ダクト軌道100は,天井に懸
架される都合上,所定の長さの短尺軌道カバー100P
が複数継ぎ合わされて形成される。
て説明する。まず,ウェハカセット等の荷物を搬送する
搬送台車6’が走行する箱形ダクト軌道100のレイア
ウト例を図4に示す。上記軌道走行検査台車6は,上記
搬送台車6’の非稼働時に上記箱形ダクト軌道100を
走行して上記箱形ダクト軌道100の検査を行う。図4
に示す如く,上記箱形ダクト軌道100は,ループ状に
形成された主軌道100Mと,主軌道100Mから分岐
した分岐軌道100Sとからなる。上記分岐軌道100
Sは,カセットストッカなどが設けられているステーシ
ョンSTに上記搬送台車6’や上記軌道走行検査台車6
を誘導するためのものである。上記搬送台車6’が搬送
しているウェハカセットを上記カセットストッカに収納
したり,上記カセットストッカからウェハカセットを取
り出したりする必要がある場合には,上記搬送台車6’
は上記主軌道100Mから外れ,上記分岐軌道100S
に沿って走行する。上記主軌道100M及び上記分岐軌
道100Sそれぞれに沿って給電線2M,2Sが設けら
れる。上記箱形ダクト軌道100の構成は,上記図2及
び図3に示した通りである。上記箱形ダクト軌道100
はクリーンルームの天井付近から懸架されて設けられ
る。上記箱形ダクト軌道100を天井付近に懸架して設
けるのは,既述の通り,地上設備による配置上の制約を
避けたり,ひいてはクリーンルームの省スペース化を図
るためである。上記箱形ダクト軌道100の断面形状は
箱形であり,上記軌道走行検査台車6や搬送台車6’の
回りを囲むような大きさがある。上記箱形ダクト軌道1
00には,必要に応じて排気孔が設けられ,上記箱形ダ
クト軌道100内の空気は随時排気ファンによって外部
へ排気される。上記箱形ダクト軌道100は,天井に懸
架される都合上,所定の長さの短尺軌道カバー100P
が複数継ぎ合わされて形成される。
【0008】上記のようなレイアウトの箱形ダクト軌道
100を走行して検査する上記軌道走行検査台車6の構
成は,例えば各種電装品が組み込まれる荷台相当部6A
と,上記荷台相当部6Aを移動可能に支持する走行部6
Bとに分けられる。上記荷台相当部6Aは,上記搬送台
車6’の荷台として用いられる部分に相当するものであ
る。また,上記走行部6Bは,上記軌道走行検査台車6
のものと上記搬送台車6’のものとで,できるだけ同一
の構成を有していることが望ましい。上記走行部6Bの
下部には4つの走行ローラ(車輪)105が設けられて
おり,この走行ローラ105が上記箱形ダクト軌道10
0の内底面を転動することにより,上記走行部6B自体
及び荷台相当部6Aが,箱形ダクト軌道100に沿って
移動可能に支持される。ただし,上記走行ローラ105
は上記走行部6Bの駆動には寄与していない。上記走行
ローラ105は,単に上記走行部6B自体及び荷台相当
部6Aによる垂直方向の荷重を支持しているだけであ
り,上記走行部6Bの駆動は,永久磁石列101及び一
次側(コイル,鉄心)102から構成されるリニア直流
モータLDMにより,他の伝達機構を介さず非接触で行
われる。上記走行部6Bの駆動に上記リニア直流モータ
LDMを用いることによって,回転機からの駆動力を歯
車などの伝達機構を通じて上記走行ローラ105に伝え
駆動する場合とくらべて,可動部品点数が抑えられ,発
生する塵埃が著しく抑えられる。さらに,リニア直流モ
ータLDMによるダイレクトドライブは,高精度の位置
決めが可能であるという利点もある。
100を走行して検査する上記軌道走行検査台車6の構
成は,例えば各種電装品が組み込まれる荷台相当部6A
と,上記荷台相当部6Aを移動可能に支持する走行部6
Bとに分けられる。上記荷台相当部6Aは,上記搬送台
車6’の荷台として用いられる部分に相当するものであ
る。また,上記走行部6Bは,上記軌道走行検査台車6
のものと上記搬送台車6’のものとで,できるだけ同一
の構成を有していることが望ましい。上記走行部6Bの
下部には4つの走行ローラ(車輪)105が設けられて
おり,この走行ローラ105が上記箱形ダクト軌道10
0の内底面を転動することにより,上記走行部6B自体
及び荷台相当部6Aが,箱形ダクト軌道100に沿って
移動可能に支持される。ただし,上記走行ローラ105
は上記走行部6Bの駆動には寄与していない。上記走行
ローラ105は,単に上記走行部6B自体及び荷台相当
部6Aによる垂直方向の荷重を支持しているだけであ
り,上記走行部6Bの駆動は,永久磁石列101及び一
次側(コイル,鉄心)102から構成されるリニア直流
モータLDMにより,他の伝達機構を介さず非接触で行
われる。上記走行部6Bの駆動に上記リニア直流モータ
LDMを用いることによって,回転機からの駆動力を歯
車などの伝達機構を通じて上記走行ローラ105に伝え
駆動する場合とくらべて,可動部品点数が抑えられ,発
生する塵埃が著しく抑えられる。さらに,リニア直流モ
ータLDMによるダイレクトドライブは,高精度の位置
決めが可能であるという利点もある。
【0009】また,上記走行部6Bの上部には,箱形ダ
クト軌道100に沿って設けられた給電線2と電磁的に
結合するピックアップコイル7が設けられている。上記
給電線2とピックアップコイル7とで非接触給電機構が
構成される。地上側給電装置1によって上記給電線2に
交流電力が印加される。上記給電線2に印加されている
交流電力は,上記ピックアップコイル7により取り出さ
れ,上記軌道走行検査台車6側の非接触電源ユニット8
に供給される。尚,上記軌道走行検査台車6や搬送台車
6’が主軌道100Mを走行する場合には,上記給電線
2Mから電力が供給され,分岐軌道100Sを走行する
場合には,上記給電線2Sから電力が供給される。上記
非接触電源ユニット8では,軌道走行検査台車6内の各
ユニットに適した電力変換が行われ,各ユニットへそれ
ぞれ供給される。リニア直流モータLDMの一次側10
2には,この非接触電源ユニット8から直流電力が供給
され,上記リニア直流モータLDMが駆動される。これ
により,走行ローラ105付近だけでなく,給電部付近
からの塵埃の発生も抑制される。また,上記走行部6B
の中間部には,上記箱形ダクト軌道100の内側面を転
動するガイドローラ106と,上記主軌道100Mから
上記分岐軌道100Sが分岐する分岐部において,上記
主軌道100Mと上記分岐軌道100Sのいずれかを選
択するための分岐用ローラ104とが設けられている。
上記ガイドローラ106は,上記軌道走行検査台車6に
加わる水平方向の荷重を支持するためのものであり,上
記ガイドローラ106が上記箱形ダクト軌道100の内
側面を転動することにより,上記軌道走行検査台車6は
上記箱形ダクト軌道100に沿って案内される。
クト軌道100に沿って設けられた給電線2と電磁的に
結合するピックアップコイル7が設けられている。上記
給電線2とピックアップコイル7とで非接触給電機構が
構成される。地上側給電装置1によって上記給電線2に
交流電力が印加される。上記給電線2に印加されている
交流電力は,上記ピックアップコイル7により取り出さ
れ,上記軌道走行検査台車6側の非接触電源ユニット8
に供給される。尚,上記軌道走行検査台車6や搬送台車
6’が主軌道100Mを走行する場合には,上記給電線
2Mから電力が供給され,分岐軌道100Sを走行する
場合には,上記給電線2Sから電力が供給される。上記
非接触電源ユニット8では,軌道走行検査台車6内の各
ユニットに適した電力変換が行われ,各ユニットへそれ
ぞれ供給される。リニア直流モータLDMの一次側10
2には,この非接触電源ユニット8から直流電力が供給
され,上記リニア直流モータLDMが駆動される。これ
により,走行ローラ105付近だけでなく,給電部付近
からの塵埃の発生も抑制される。また,上記走行部6B
の中間部には,上記箱形ダクト軌道100の内側面を転
動するガイドローラ106と,上記主軌道100Mから
上記分岐軌道100Sが分岐する分岐部において,上記
主軌道100Mと上記分岐軌道100Sのいずれかを選
択するための分岐用ローラ104とが設けられている。
上記ガイドローラ106は,上記軌道走行検査台車6に
加わる水平方向の荷重を支持するためのものであり,上
記ガイドローラ106が上記箱形ダクト軌道100の内
側面を転動することにより,上記軌道走行検査台車6は
上記箱形ダクト軌道100に沿って案内される。
【0010】上記分岐用ローラ104は,上記軌道走行
検査台車6の左右両方に設けられており,いずれも上下
動が可能である。上記分岐部には,図5に示す如く,上
記主軌道100M,分岐軌道100Sにそれぞれ対応し
て,分岐用ガイド103M,103Sが設けられてお
り,上記分岐部に上記軌道走行検査台車6が達すると,
左右いずれかの分岐用ローラ104を上昇させ,他方の
分岐用ローラ104を下位位置に設定する。上昇させた
分岐用ローラ104が,片方の上記分岐用ガイド103
に挿填され,当該分岐用ガイド103を転動することに
より,上記軌道走行検査台車6が走行する軌道が選択さ
れる。上記分岐用ローラ104の上下動による軌道選択
等などの制御は,予め記憶された又は外部から与えられ
る運行制御信号に従って行われる。図1に示す如く,上
記給電線2には,電力信号を印加する地上側給電装置1
が接続されている他,通信コイルユニット3が電磁的に
結合されており,この通信コイルユニット3は,地上側
の運行制御装置4から出力される運行制御信号を上記給
電線2に重畳する。上記給電線2に重畳された運行制御
信号は,上記ピックアップコイル7を介して上記軌道走
行検査台車6に設けられた電力線通信ユニット9に供給
される。上記電力線通信ユニット9は,上記運行制御信
号を受信すると,上記走行部6Bの走行制御を行う走行
制御ボード10に出力する。この走行制御ボード10で
は,上記運行制御信号に基づいて,台車の走行を制御す
るための信号,例えば上記リニア直流モータLDMに直
流電力を与えるタイミングや,分岐用ローラ103を上
昇・下降させるタイミングなどの情報を含む走行制御信
号が生成され,駆動制御ユニット12に出力される。上
記駆動制御ユニット12では,エンコーダ13からの信
号や上記走行制御信号などに基づいて,実際に上記リニ
ア直流モータLDMなどを駆動させるための駆動制御信
号が生成され,上記リニア直流モータLDMを含む走行
部駆動メカ11に出力される。尚,上記エンコーダ13
は,例えば地上側の永久磁石列101の磁極の切替を検
知する磁極検知器であるタッチローラ(不図示)に取り
付けられる。
検査台車6の左右両方に設けられており,いずれも上下
動が可能である。上記分岐部には,図5に示す如く,上
記主軌道100M,分岐軌道100Sにそれぞれ対応し
て,分岐用ガイド103M,103Sが設けられてお
り,上記分岐部に上記軌道走行検査台車6が達すると,
左右いずれかの分岐用ローラ104を上昇させ,他方の
分岐用ローラ104を下位位置に設定する。上昇させた
分岐用ローラ104が,片方の上記分岐用ガイド103
に挿填され,当該分岐用ガイド103を転動することに
より,上記軌道走行検査台車6が走行する軌道が選択さ
れる。上記分岐用ローラ104の上下動による軌道選択
等などの制御は,予め記憶された又は外部から与えられ
る運行制御信号に従って行われる。図1に示す如く,上
記給電線2には,電力信号を印加する地上側給電装置1
が接続されている他,通信コイルユニット3が電磁的に
結合されており,この通信コイルユニット3は,地上側
の運行制御装置4から出力される運行制御信号を上記給
電線2に重畳する。上記給電線2に重畳された運行制御
信号は,上記ピックアップコイル7を介して上記軌道走
行検査台車6に設けられた電力線通信ユニット9に供給
される。上記電力線通信ユニット9は,上記運行制御信
号を受信すると,上記走行部6Bの走行制御を行う走行
制御ボード10に出力する。この走行制御ボード10で
は,上記運行制御信号に基づいて,台車の走行を制御す
るための信号,例えば上記リニア直流モータLDMに直
流電力を与えるタイミングや,分岐用ローラ103を上
昇・下降させるタイミングなどの情報を含む走行制御信
号が生成され,駆動制御ユニット12に出力される。上
記駆動制御ユニット12では,エンコーダ13からの信
号や上記走行制御信号などに基づいて,実際に上記リニ
ア直流モータLDMなどを駆動させるための駆動制御信
号が生成され,上記リニア直流モータLDMを含む走行
部駆動メカ11に出力される。尚,上記エンコーダ13
は,例えば地上側の永久磁石列101の磁極の切替を検
知する磁極検知器であるタッチローラ(不図示)に取り
付けられる。
【0011】上記軌道走行検査台車6は,このような構
成により,運行制御装置4から出力される運行制御信号
に従って,上記リニア直流モータLDMの駆動により箱
形ダクト軌道100に沿って走行を行うが,この際に生
じる振動成分は,上記Gセンサ15により検出される。
上記Gセンサ15は,例えば箱形ダクト軌道100方向
(即ち進行方向),上記箱形ダクト軌道100とは直角
な水平方向,上下方向の3方向の加速度を計測するもの
であり,上記箱形ダクト軌道100の継ぎ目100Cに
段差がある場合や,箱形ダクト軌道100の内底面や内
側面に異物があって走行ローラ105やガイドローラ1
06が転動時に上記異物と衝突したり,分岐用ローラ1
04を分岐用ガイド103に挿填した場合などに生じる
加速度信号を検知する。ところで,上記軌道走行検査台
車6の駆動には,リニア直流モータLDMが用いられて
いる。上記リニア直流モータLDMの場合,走行速度に
関係なく台車一次側102と軌道の永久磁石101間に
作用する力が一定となるため,上下方向の加速度信号に
ついても,正確な検知が行われ,上記加速度信号にはほ
ぼ上記のような原因によるもののみが含まれる。
成により,運行制御装置4から出力される運行制御信号
に従って,上記リニア直流モータLDMの駆動により箱
形ダクト軌道100に沿って走行を行うが,この際に生
じる振動成分は,上記Gセンサ15により検出される。
上記Gセンサ15は,例えば箱形ダクト軌道100方向
(即ち進行方向),上記箱形ダクト軌道100とは直角
な水平方向,上下方向の3方向の加速度を計測するもの
であり,上記箱形ダクト軌道100の継ぎ目100Cに
段差がある場合や,箱形ダクト軌道100の内底面や内
側面に異物があって走行ローラ105やガイドローラ1
06が転動時に上記異物と衝突したり,分岐用ローラ1
04を分岐用ガイド103に挿填した場合などに生じる
加速度信号を検知する。ところで,上記軌道走行検査台
車6の駆動には,リニア直流モータLDMが用いられて
いる。上記リニア直流モータLDMの場合,走行速度に
関係なく台車一次側102と軌道の永久磁石101間に
作用する力が一定となるため,上下方向の加速度信号に
ついても,正確な検知が行われ,上記加速度信号にはほ
ぼ上記のような原因によるもののみが含まれる。
【0012】そして,上記Gセンサ15により検出され
た加速度信号は,アンプ16により増幅された後,記録
計17及びテレメータ送信機18に供給される。上記記
録計17では,一定速度で上記加速度信号が時系列に記
録される。管理者等は,上記軌道走行検査台車6に上記
箱形ダクト軌道100を周回させた後,上記記録計17
に記録された加速度信号を確認することにより,上記軌
道走行検査台車6が箱形ダクト軌道100を走行する際
に,載置している荷物に悪影響を与えるような振動が発
生しているか否かを簡単に知ることができる。この際,
運行制御装置4から出力される運行制御信号は,予め定
められるものであり,どのタイミングで加減速を行うか
など走行に関する情報を基にすれば,上記記録計17に
記録された異常信号が,上記箱形ダクト軌道100のど
の箇所で記録されたかを概略特定することができる。ま
た,上記テレメータ送信機18は,FM電波を介して上
記加速度信号を,運行制御を行う地上側施設に設けられ
たテレメータ受信機5に送信する。管理者等は,上記テ
レメータ受信機5側で受信された加速度信号を,例えば
モニタ等に表示させることにより確認することができ
る。このように,本実施の形態に係る軌道走行検査台車
では,箱形ダクト軌道の継ぎ目に段差があったり,上記
箱形ダクト軌道の内底面や内側面に異物があって走行ロ
ーラやガイドローラが上記異物に衝突したり,分岐用ロ
ーラを分岐用ガイドに挿填した場合などに,搬送台車が
載置するウェハカセット等の荷物自体やその載置位置に
悪影響を与えるような振動が発生するか否かを,Gセン
サによって検知されテレメータ送受信機により通信され
た加速度信号に基づいて検査することができる。さら
に,管理者等が原因特定のために箱形ダクト軌道を直接
検査する必要がなくなり,箱形ダクト軌道の保守管理が
極めて容易なものとなる。しかも,上記軌道走行検査台
車では,その駆動手段にリニア直流モータが用いられる
ため,一次側と永久磁石との間に作用する力は走行速度
に対して一定であり,上下方向の加速度信号に対しても
正確な検知を行うことができる。
た加速度信号は,アンプ16により増幅された後,記録
計17及びテレメータ送信機18に供給される。上記記
録計17では,一定速度で上記加速度信号が時系列に記
録される。管理者等は,上記軌道走行検査台車6に上記
箱形ダクト軌道100を周回させた後,上記記録計17
に記録された加速度信号を確認することにより,上記軌
道走行検査台車6が箱形ダクト軌道100を走行する際
に,載置している荷物に悪影響を与えるような振動が発
生しているか否かを簡単に知ることができる。この際,
運行制御装置4から出力される運行制御信号は,予め定
められるものであり,どのタイミングで加減速を行うか
など走行に関する情報を基にすれば,上記記録計17に
記録された異常信号が,上記箱形ダクト軌道100のど
の箇所で記録されたかを概略特定することができる。ま
た,上記テレメータ送信機18は,FM電波を介して上
記加速度信号を,運行制御を行う地上側施設に設けられ
たテレメータ受信機5に送信する。管理者等は,上記テ
レメータ受信機5側で受信された加速度信号を,例えば
モニタ等に表示させることにより確認することができ
る。このように,本実施の形態に係る軌道走行検査台車
では,箱形ダクト軌道の継ぎ目に段差があったり,上記
箱形ダクト軌道の内底面や内側面に異物があって走行ロ
ーラやガイドローラが上記異物に衝突したり,分岐用ロ
ーラを分岐用ガイドに挿填した場合などに,搬送台車が
載置するウェハカセット等の荷物自体やその載置位置に
悪影響を与えるような振動が発生するか否かを,Gセン
サによって検知されテレメータ送受信機により通信され
た加速度信号に基づいて検査することができる。さら
に,管理者等が原因特定のために箱形ダクト軌道を直接
検査する必要がなくなり,箱形ダクト軌道の保守管理が
極めて容易なものとなる。しかも,上記軌道走行検査台
車では,その駆動手段にリニア直流モータが用いられる
ため,一次側と永久磁石との間に作用する力は走行速度
に対して一定であり,上下方向の加速度信号に対しても
正確な検知を行うことができる。
【0013】
【実施例】上記実施の形態では,上記加速度センサ15
により検出された加速度信号は,上記記録計17やテレ
メータ送信機18にそのまま供給されていたが,上記加
速度信号が所定の基準値を上回るような異常振動がある
と,例えばエンコーダ13により検出される位置情報に
基づいて異常振動が判別されたときの上記軌道走行検査
台車6の走行位置を特定するようにしてもよい。例えば
図6に示す如く,上記アンプ16に,上記加速度信号と
所定の基準値を比較し上記所定の基準値を上回る異常振
動を判別する比較器等を含む異常振動判別回路を設けて
おき,上記異常信号判別回路が上記異常振動を判別する
と,上記異常信号判別回路から外部に異常振動発生出力
信号を送出する。上記異常信号判別回路からの異常振動
発生出力信号は,例えば上記走行制御ボード10に供給
される。上記異常振動判別信号が供給されると,上記走
行制御ボード10が,エンコーダ13により検出される
上記タッチローラの回転角度(位置情報)に基づいて異
常振動が判別されたときの上記軌道走行検査台車6の上
記箱形ダクト軌道100に沿った位置情報を特定する。
これにより,上記軌道走行検査台車6の加減速スケジュ
ール等を参照することなく,異常振動が発生した上記箱
形ダクト軌道100に沿った位置を簡単且つ正確に特定
することができ,上記箱形ダクト軌道100の保守管理
を容易なものとし,システムの信頼性を向上させること
ができる。尚,上記エンコーダ13は,本発明における
走行位置特定手段の一例である。
により検出された加速度信号は,上記記録計17やテレ
メータ送信機18にそのまま供給されていたが,上記加
速度信号が所定の基準値を上回るような異常振動がある
と,例えばエンコーダ13により検出される位置情報に
基づいて異常振動が判別されたときの上記軌道走行検査
台車6の走行位置を特定するようにしてもよい。例えば
図6に示す如く,上記アンプ16に,上記加速度信号と
所定の基準値を比較し上記所定の基準値を上回る異常振
動を判別する比較器等を含む異常振動判別回路を設けて
おき,上記異常信号判別回路が上記異常振動を判別する
と,上記異常信号判別回路から外部に異常振動発生出力
信号を送出する。上記異常信号判別回路からの異常振動
発生出力信号は,例えば上記走行制御ボード10に供給
される。上記異常振動判別信号が供給されると,上記走
行制御ボード10が,エンコーダ13により検出される
上記タッチローラの回転角度(位置情報)に基づいて異
常振動が判別されたときの上記軌道走行検査台車6の上
記箱形ダクト軌道100に沿った位置情報を特定する。
これにより,上記軌道走行検査台車6の加減速スケジュ
ール等を参照することなく,異常振動が発生した上記箱
形ダクト軌道100に沿った位置を簡単且つ正確に特定
することができ,上記箱形ダクト軌道100の保守管理
を容易なものとし,システムの信頼性を向上させること
ができる。尚,上記エンコーダ13は,本発明における
走行位置特定手段の一例である。
【0014】また,上記実施例では,エンコーダ13に
より検出される回転角度に基づいて上記軌道走行検査台
車6の走行位置を特定していたが,これに限られるもの
ではなく,例えば箱形ダクト軌道100の異なる複数の
位置に当該位置の情報をバーコードで記録した記録板を
それぞれ設けると共に,上記軌道走行検査台車6に上記
バーコードを読み取るバーコードリーダを設けておき,
上記バーコード(バーコード情報)を読み取る毎に上記
エンコーダ13のカウンタ出力をリセットするように構
成すれば,上記エンコーダ13により検知される位置情
報の精度を向上させることができる。この場合には,上
記記録板は異常振動が発生する恐れの高い箇所,例えば
分岐部,カーブ開始点,加速点,減速点などに対応して
設けることが好ましく,加えて所定距離毎に設けておけ
ば,位置の特定上都合がよい。上記のようにエンコーダ
13のカウンタ出力と上記バーコード情報とから走行位
置を特定する構成も本発明における走行位置特定手段の
一例である。また,上記実施の形態では,上記加速度セ
ンサ15が箱形ダクト軌道100方向(即ち進行方
向),上記箱形ダクト軌道100とは直角な水平方向,
上下方向の3方向の加速度を計測したが,これに限られ
るものではなく,例えば進行方向以外の上記箱形ダクト
軌道100とは直角な水平方向,上下方向の2方向を計
測するようにしてもよい。このような軌道走行検査台車
も本発明における軌道走行検査台車の一例である。さら
に,上記実施の形態及び実施例では,加速度信号を検出
するために,Gセンサ(加速度センサ)を用いたが,こ
れに限られるものではなく,変位センサにより箱形ダク
ト軌道100と軌道走行検査台車6との位置関係を検出
しておき,この位置関係に基づいて異常振動の判別,走
行位置の特定を行うようにしてもよい。また,検出する
加速度信号の方向は,上記実施の形態のように3方向に
限られるものではなく,例えば上下方向だけを測定した
り,上記3方向に加えて上記軌道走行検査台車6の回転
を測定するようにしてもよい。このような軌道走行検査
台車も本発明における軌道走行検査台車の一例である。
より検出される回転角度に基づいて上記軌道走行検査台
車6の走行位置を特定していたが,これに限られるもの
ではなく,例えば箱形ダクト軌道100の異なる複数の
位置に当該位置の情報をバーコードで記録した記録板を
それぞれ設けると共に,上記軌道走行検査台車6に上記
バーコードを読み取るバーコードリーダを設けておき,
上記バーコード(バーコード情報)を読み取る毎に上記
エンコーダ13のカウンタ出力をリセットするように構
成すれば,上記エンコーダ13により検知される位置情
報の精度を向上させることができる。この場合には,上
記記録板は異常振動が発生する恐れの高い箇所,例えば
分岐部,カーブ開始点,加速点,減速点などに対応して
設けることが好ましく,加えて所定距離毎に設けておけ
ば,位置の特定上都合がよい。上記のようにエンコーダ
13のカウンタ出力と上記バーコード情報とから走行位
置を特定する構成も本発明における走行位置特定手段の
一例である。また,上記実施の形態では,上記加速度セ
ンサ15が箱形ダクト軌道100方向(即ち進行方
向),上記箱形ダクト軌道100とは直角な水平方向,
上下方向の3方向の加速度を計測したが,これに限られ
るものではなく,例えば進行方向以外の上記箱形ダクト
軌道100とは直角な水平方向,上下方向の2方向を計
測するようにしてもよい。このような軌道走行検査台車
も本発明における軌道走行検査台車の一例である。さら
に,上記実施の形態及び実施例では,加速度信号を検出
するために,Gセンサ(加速度センサ)を用いたが,こ
れに限られるものではなく,変位センサにより箱形ダク
ト軌道100と軌道走行検査台車6との位置関係を検出
しておき,この位置関係に基づいて異常振動の判別,走
行位置の特定を行うようにしてもよい。また,検出する
加速度信号の方向は,上記実施の形態のように3方向に
限られるものではなく,例えば上下方向だけを測定した
り,上記3方向に加えて上記軌道走行検査台車6の回転
を測定するようにしてもよい。このような軌道走行検査
台車も本発明における軌道走行検査台車の一例である。
【0015】また,上記箱形ダクト軌道100の保守管
理を容易なものとするため,例えば図7に示す如く上記
軌道走行検査台車6の前面下部などに,分岐用ローラ1
04の分岐用ガイド103への挿填状態,箱形ダクト軌
道100の内底面及び内側面の路面状態,上記給電線2
のたるみ,給電線2が地上のクランプに確実に保持され
ているか否かなどのを走行中に監視するためのビデオカ
メラなどの監視モニタ107を設けるようにしてもよ
い。上記箱形ダクト軌道100は,天井に懸架されてい
るので,管理者等が目視により保守点検をしようとする
と,大変な労力が必要となるが,上記監視モニタ107
からの映像を介して上記箱形ダクト軌道100内を管理
者等が観察することにより上記保守点検に必要な労力を
大幅に低減することができる。また,上記異常信号が生
じたときにも,上記監視モニタ107からの映像を通じ
て管理者等が原因を把握することが容易となり,原因除
去作業を円滑に行うことが可能となる。さらに,上記監
視モニタ107の指向方向を可変に設定できるように構
成し,FM電波等を用いて上記箱形ダクト軌道100外
部から上記監視モニタ107の指向方向を遠隔操作すれ
ば,少ない監視モニタにて様々な部位を監視することも
できるし,監視モニタ設置時に予期していない不具合も
監視することが可能となる。また,上記実施の形態に係
る軌道走行検査台車は,分岐用ローラを備えていたが,
もちろん上記箱形ダクト軌道100に分岐部がなけれ
ば,上記分岐用ローラは必ずしも備える必要はない。こ
のような軌道走行検査台車も本発明における軌道走行検
査台車の一例である。
理を容易なものとするため,例えば図7に示す如く上記
軌道走行検査台車6の前面下部などに,分岐用ローラ1
04の分岐用ガイド103への挿填状態,箱形ダクト軌
道100の内底面及び内側面の路面状態,上記給電線2
のたるみ,給電線2が地上のクランプに確実に保持され
ているか否かなどのを走行中に監視するためのビデオカ
メラなどの監視モニタ107を設けるようにしてもよ
い。上記箱形ダクト軌道100は,天井に懸架されてい
るので,管理者等が目視により保守点検をしようとする
と,大変な労力が必要となるが,上記監視モニタ107
からの映像を介して上記箱形ダクト軌道100内を管理
者等が観察することにより上記保守点検に必要な労力を
大幅に低減することができる。また,上記異常信号が生
じたときにも,上記監視モニタ107からの映像を通じ
て管理者等が原因を把握することが容易となり,原因除
去作業を円滑に行うことが可能となる。さらに,上記監
視モニタ107の指向方向を可変に設定できるように構
成し,FM電波等を用いて上記箱形ダクト軌道100外
部から上記監視モニタ107の指向方向を遠隔操作すれ
ば,少ない監視モニタにて様々な部位を監視することも
できるし,監視モニタ設置時に予期していない不具合も
監視することが可能となる。また,上記実施の形態に係
る軌道走行検査台車は,分岐用ローラを備えていたが,
もちろん上記箱形ダクト軌道100に分岐部がなけれ
ば,上記分岐用ローラは必ずしも備える必要はない。こ
のような軌道走行検査台車も本発明における軌道走行検
査台車の一例である。
【0016】
【発明の効果】以上説明した通り,上記請求項1〜5の
いずれか1項に記載の軌道走行検査台車は,駆動手段に
永久磁石列及び一次側から構成されるリニア直流モータ
を用い,前記リニア直流モータへの給電に給電線及びピ
ックアップコイルから構成される非接触給電機構を用い
て,発塵を極力抑えたクリーンルームでの使用に適した
ものであり,搬送台車が走行する軌道が,天井から懸架
された箱形ダクト軌道である場合でも,搬送台車に載置
されている荷物やその載置位置に悪影響を及ぼすような
振動が発生するか否かを容易に検出して,外部の管理者
等へ知らせ,さらにはその発生位置を特定することがで
きる。しかも,リニア直流モータによる駆動では,永久
磁石と一次側との間に作用する力が走行速度に対して一
定であるので,上記振動の検出を正確に行うことができ
る。さらに,上記請求項5に記載の軌道走行検査台車に
よれば,監視モニタによって,分岐部における上記分岐
用ローラの上記分岐用ガイドへの挿填状態,上記箱形ダ
クト軌道の内底面及び内側面,並びに上記給電線の状態
のいずれか又はこれらの組合せが監視されるため,上記
監視モニタにより撮像された映像から,上記振動の原因
を管理者等が容易に特定することができる。その結果,
天井に懸架されている箱形ダクト軌道の保守管理に要す
る労力を大幅に軽減することができる。
いずれか1項に記載の軌道走行検査台車は,駆動手段に
永久磁石列及び一次側から構成されるリニア直流モータ
を用い,前記リニア直流モータへの給電に給電線及びピ
ックアップコイルから構成される非接触給電機構を用い
て,発塵を極力抑えたクリーンルームでの使用に適した
ものであり,搬送台車が走行する軌道が,天井から懸架
された箱形ダクト軌道である場合でも,搬送台車に載置
されている荷物やその載置位置に悪影響を及ぼすような
振動が発生するか否かを容易に検出して,外部の管理者
等へ知らせ,さらにはその発生位置を特定することがで
きる。しかも,リニア直流モータによる駆動では,永久
磁石と一次側との間に作用する力が走行速度に対して一
定であるので,上記振動の検出を正確に行うことができ
る。さらに,上記請求項5に記載の軌道走行検査台車に
よれば,監視モニタによって,分岐部における上記分岐
用ローラの上記分岐用ガイドへの挿填状態,上記箱形ダ
クト軌道の内底面及び内側面,並びに上記給電線の状態
のいずれか又はこれらの組合せが監視されるため,上記
監視モニタにより撮像された映像から,上記振動の原因
を管理者等が容易に特定することができる。その結果,
天井に懸架されている箱形ダクト軌道の保守管理に要す
る労力を大幅に軽減することができる。
【図1】 本発明の一実施の形態に係る軌道走行検査台
車の概略構成を示す機能ブロック図。
車の概略構成を示す機能ブロック図。
【図2】 本発明の一実施の形態に係る軌道走行検査台
車の機械的な概略構成を示す図。
車の機械的な概略構成を示す図。
【図3】 箱形ダクト軌道が天井に懸架された状態を説
明するための図。
明するための図。
【図4】 箱形ダクト軌道のレイアウト例を示す図。
【図5】 箱形ダクト軌道の分岐部における上記軌道走
行検査台車の動作を説明するための図。
行検査台車の動作を説明するための図。
【図6】 本発明の一実施例に係る軌道走行検査台車の
概略構成を示す機能ブロック図。
概略構成を示す機能ブロック図。
【図7】 本発明の他の実施例に係り,監視モニタを備
えた軌道走行検査台車の外観の一例を示す図。
えた軌道走行検査台車の外観の一例を示す図。
2…給電線 5…テレメータ受信機 6…軌道走行検査台車 7…ピックアップコイル 8…非接触電源ユニット 15…Gセンサ 18…テレメータ送信機 100…箱形ダクト軌道 101…永久磁石列 102…一次側 104…分岐用ローラ 105…走行ローラ 106…ガイドローラ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 5H113 AA07 AA09 BB03 BB06 CC05 CC07 CD02 CD12 DD01 EE03 GG02 GG03 GG30 JJ08 JJ10 5H301 AA02 AA09 BB05 CC03 CC06 DD07 DD13 EE02 EE12 FF06 FF11 FF23 GG11 GG14 GG21 KK05 KK19 LL01 MM01
Claims (5)
- 【請求項1】 天井から懸架された箱形ダクト軌道内を
走行し検査を行う軌道走行検査台車であって,上記箱形
ダクト軌道に沿って配置された永久磁石列とともにリニ
ア直流モータを構成する一次側と,上記箱形ダクト軌道
に沿って設けられた給電線と電磁的に結合し,上記給電
線とともに非接触給電機構を構成するピックアップコイ
ルと,上記給電線から上記ピックアップコイルを介して
供給された交流電力を直流電力に変換し上記一次側に供
給するための電力変換器と,上記箱形ダクト軌道の内底
面,及び内側面をそれぞれ転動する走行ローラ,及びガ
イドローラと,加速度信号を検知するためのセンサと,
上記センサによって検知された加速度信号を外部へ出力
するための通信器とを具備してなる軌道走行検査台車。 - 【請求項2】 走行位置を特定するための走行位置特定
手段を具備してなる請求項1に記載の軌道走行検査台
車。 - 【請求項3】 上記走行位置特定手段が,エンコーダか
ら走行に伴って出力される位置情報に基づいて,又は,
エンコーダから走行に伴って出力される位置情報と上記
箱形ダクト軌道の異なる複数の位置を表すバーコード情
報をそれぞれ読み取ることによって得られた位置情報と
に基づいて,上記走行位置を特定するものである請求項
2に記載の軌道走行検査台車。 - 【請求項4】 上記箱形ダクト軌道が分岐している場合
に,各分岐方向に対応して設けられた分岐用ガイドに挿
填され,上記分岐用ガイドを転動する分岐用ローラを具
備してなる請求項1〜3のいずれか1項に記載の軌道走
行検査台車。 - 【請求項5】 上記箱形ダクト軌道の分岐部における上
記分岐用ローラの上記分岐用ガイドへの挿填状態,上記
箱形ダクト軌道の内底面及び内側面,並びに上記給電線
の状態のいずれか又はこれらの組合せを監視するための
監視モニタを具備してなる請求項1〜4のいずれか1項
に記載の軌道走行検査台車。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11122791A JP2000316206A (ja) | 1999-04-28 | 1999-04-28 | 軌道走行検査台車 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11122791A JP2000316206A (ja) | 1999-04-28 | 1999-04-28 | 軌道走行検査台車 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000316206A true JP2000316206A (ja) | 2000-11-14 |
Family
ID=14844721
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11122791A Pending JP2000316206A (ja) | 1999-04-28 | 1999-04-28 | 軌道走行検査台車 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2000316206A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007010534A (ja) * | 2005-07-01 | 2007-01-18 | Murata Mach Ltd | 移動体システム |
JP2007209064A (ja) * | 2006-01-31 | 2007-08-16 | Asyst Shinko Inc | 軌道検査台車 |
CN101863368A (zh) * | 2009-04-16 | 2010-10-20 | 村田机械株式会社 | 输送车*** |
CN102161434A (zh) * | 2010-02-24 | 2011-08-24 | 村田自动化机械有限公司 | 输送车*** |
WO2015136967A1 (ja) * | 2014-03-10 | 2015-09-17 | 村田機械株式会社 | 搬送車システムと搬送車システムの検査方法、及び検査台車 |
CN108725211A (zh) * | 2018-06-25 | 2018-11-02 | 西南交通大学 | 一种磁浮列车三相供集电装置 |
-
1999
- 1999-04-28 JP JP11122791A patent/JP2000316206A/ja active Pending
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007010534A (ja) * | 2005-07-01 | 2007-01-18 | Murata Mach Ltd | 移動体システム |
JP4591694B2 (ja) * | 2005-07-01 | 2010-12-01 | 村田機械株式会社 | 移動体システム |
JP2007209064A (ja) * | 2006-01-31 | 2007-08-16 | Asyst Shinko Inc | 軌道検査台車 |
JP4710628B2 (ja) * | 2006-01-31 | 2011-06-29 | ムラテックオートメーション株式会社 | 軌道検査台車 |
CN101863368A (zh) * | 2009-04-16 | 2010-10-20 | 村田机械株式会社 | 输送车*** |
CN102161434A (zh) * | 2010-02-24 | 2011-08-24 | 村田自动化机械有限公司 | 输送车*** |
WO2015136967A1 (ja) * | 2014-03-10 | 2015-09-17 | 村田機械株式会社 | 搬送車システムと搬送車システムの検査方法、及び検査台車 |
JP2015170299A (ja) * | 2014-03-10 | 2015-09-28 | 村田機械株式会社 | 搬送車システムと搬送車システムの検査方法、及び検査台車 |
CN106104399A (zh) * | 2014-03-10 | 2016-11-09 | 村田机械株式会社 | 输送车***、输送车***的检查方法以及检查台车 |
KR101841597B1 (ko) | 2014-03-10 | 2018-03-23 | 무라다기카이가부시끼가이샤 | 반송차 시스템과 반송차 시스템의 검사 방법, 및 검사 대차 |
CN108725211A (zh) * | 2018-06-25 | 2018-11-02 | 西南交通大学 | 一种磁浮列车三相供集电装置 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050922 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080411 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080422 |
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A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080826 |