JP2000316206A - 軌道走行検査台車 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 天井から懸架されている箱形ダクト軌道１０
０の継ぎ目１００Ｃに段差があったり，その内底面や内
側面に異物がある場合などには，搬送台車が搭載してい
る荷物に悪影響を与えるような異常振動が生じる恐れが
あり，この異常振動の発生を防止する必要があった。 【解決手段】 本発明は，駆動手段にリニア直流モータ
ＬＤＭを用いて一次側と永久磁石との間に作用する力を
走行速度に対して一定としながら，上記異常振動に係る
加速度信号を正確に検出して，上記搬送台車が上記箱形
ダクト軌道１００を走行する際に上記異常振動が発生す
るのを防止することができる軌道走行検査台車を提供す
ることを図ったものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は，軌道走行検査台車
に係り，詳しくは，例えば半導体や液晶を製造する製造
工場などのクリーンルームで用いられる，搬送台車の走
行路を検査するための軌道走行検査台車に関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】例えば半導体や液晶を製造する製造工場
などのクリーンルームでは，高い清浄度が要求されるた
め，発塵源となる人間の介在は極力避けた方が好まし
く，ウェハ等の搬送も含め自動化・無人化が進められて
いる。また，近年では，ウェハの大口径化や最終製品の
集積度の向上などに伴って，搬送量や搬送物の大きさ，
重量が増大する傾向にあり，生産効率の観点からも無人
搬送システムが強く望まれている。このようなクリーン
ルームで用いられる無人搬送システムに関する技術は，
特開平１０−１１１７１９号公報などに記載されてい
る。上記公報に記載の無人搬送システムでは，ウェハカ
セット等の荷物を搭載した搬送台車が走行する軌道が分
岐している場合に，軌道側で切り替え動作を行わずに，
分岐軌道のいずれかに上記搬送台車を走行させるよう，
その構成に配慮がなされている。軌道側で切り替え動作
を行わないようにすれば，軌道側の構成が簡素化される
などの多くの利点があり，軌道側の構成が簡素化される
と，上記軌道を天井付近から懸架した状態で設置するこ
とも容易となり，地上設備の制約を受けることもない
し，クリーンルームの省スペース化を図ることもでき
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ただし，上記のように
搬送台車を走行させる軌道を天井付近に設ける場合，上
記軌道は複数の短尺軌道が継ぎ合わされて形成されるこ
とになる。上記搬送台車は，上記天井から懸架される軌
道の底面や側面に走行ローラやガイドローラを転動させ
たり，上記軌道の分岐部において分岐用ローラを分岐用
ガイドに挿填・転動させたりしながら，上記軌道に沿っ
て走行するので，上記短尺軌道の継ぎ目に段差があった
り，上記軌道の底面や側面に異物があったり，分岐用ロ
ーラを分岐用ガイドに挿填する場合などに，上記搬送台
車に振動が生じて，搬送している荷物やその載置位置に
悪影響を与える恐れがある。本発明は，このような従来
の技術における課題を解決するために，搬送台車が走行
する軌道が，天井から懸架された箱形ダクト軌道である
場合でも，搬送台車に載置されている荷物やその載置位
置に悪影響を及ぼすような振動が発生するか否かを容易
に検出して，外部の管理者等へ知らせ，さらにはその発
生位置を特定することができる軌道走行検査台車を提供
することを目的とするものである。また，上記箱形ダク
ト軌道が天井から懸架されている場合には，上記箱形ダ
クト軌道の内部について保守管理をしようとすると，大
変な労力を要することになる。さらに，上記振動の原因
は，上記箱形ダクト軌道の継目段差による走行ローラ，
ガイドローラのガタであったり，分岐部における分岐ロ
ーラの分岐ガイドへの挿填不具合であったり，走行面・
側壁ガイド面上の異物であったり，様々であるから，好
ましくない振動発生を検出しても，直ぐさまその原因を
特定することができない場合がある。そこで，本発明の
他の目的は，分岐部における上記分岐用ローラの上記分
岐用ガイドへの挿填状態，上記箱形ダクト軌道の内底面
及び内側面，並びに上記給電線の状態のいずれか又はこ
れらの組合せを監視するための監視モニタを具備するこ
とにより，上記監視モニタにより撮像された映像から，
上記箱形ダクト軌道の内部の様子を容易に管理者等に把
握させることができる軌道走行検査台車を提供すること
である。

【０００４】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に，請求項１に係る発明は，天井から懸架された箱形ダ
クト軌道内を走行し検査を行う軌道走行検査台車であっ
て，上記箱形ダクト軌道に沿って配置された永久磁石列
とともにリニア直流モータを構成する一次側と，上記箱
形ダクト軌道に沿って設けられた給電線と電磁的に結合
し，上記給電線とともに非接触給電機構を構成するピッ
クアップコイルと，上記給電線から上記ピックアップコ
イルを介して供給された交流電力を直流電力に変換し上
記一次側に供給するための電力変換器と，上記箱形ダク
ト軌道の内底面，及び内側面をそれぞれ転動する走行ロ
ーラ，及びガイドローラと，加速度信号を検知するため
のセンサと，上記センサによって検知された加速度信号
を外部へ出力するための通信器とを具備してなる軌道走
行検査台車として構成されている。また，請求項２に係
る発明は，上記請求項１に記載の軌道走行検査台車にお
いて，走行位置を特定するための走行位置特定手段を具
備してなることをその要旨とする。また，請求項３に係
る発明は，上記請求項２に記載の軌道走行検査台車にお
いて，上記走行位置特定手段が，エンコーダから走行に
伴って出力される位置情報に基づいて，又は，エンコー
ダから走行に伴って出力される位置情報と上記箱形ダク
ト軌道の異なる複数の位置を表すバーコード情報をそれ
ぞれ読み取ることによって得られた位置情報とに基づい
て，上記走行位置を特定するものであることをその要旨
とする。また，請求項４に係る発明は，上記請求項１〜
３のいずれか１項に記載の軌道走行検査台車において，
上記箱形ダクト軌道が分岐している場合に，各分岐方向
に対応して設けられた分岐用ガイドに挿填され，上記分
岐用ガイドを転動する分岐用ローラを具備してなること
をその要旨とする。また，請求項５に係る発明は，上記
請求項１〜４のいずれか１項に記載の軌道走行検査台車
において，上記箱形ダクト軌道の分岐部における上記分
岐用ローラの上記分岐用ガイドへの挿填状態，上記箱形
ダクト軌道の内底面及び内側面，並びに上記給電線の状
態のいずれか又はこれらの組合せを監視するための監視
モニタを具備してなることをその要旨とする。

【０００５】上記請求項１〜５のいずれか１項に記載の
軌道走行検査台車は，駆動手段に永久磁石列及び一次側
から構成されるリニア直流モータを用い，前記リニア直
流モータへの給電に給電線及びピックアップコイルから
構成される非接触給電機構を用いて，発塵を極力抑えた
クリーンルームでの使用に適したものであり，搬送台車
が走行する軌道が，天井から懸架された箱形ダクト軌道
である場合でも，搬送台車に載置されている荷物やその
載置位置に悪影響を及ぼすような振動が発生するか否か
を容易に検出して，外部の管理者等へ知らせ，さらには
その発生位置を特定することができる。しかも，リニア
直流モータによる駆動では，永久磁石と一次側との間に
作用する力が走行速度に対して一定であるので，上記振
動の検出を正確に行うことができる。さらに，上記請求
項５に記載の軌道走行検査台車によれば，監視モニタに
よって，分岐部における上記分岐用ローラの上記分岐用
ガイドへの挿填状態，上記箱形ダクト軌道の内底面及び
内側面，並びに上記給電線の状態のいずれか又はこれら
の組合せが監視されるため，上記監視モニタにより撮像
された映像から，上記振動の原因を管理者等が容易に特
定することができる。その結果，天井に懸架されている
箱形ダクト軌道の保守管理に要する労力を大幅に軽減す
ることができる。

【０００６】

【発明の実施の形態】以下，添付図面を参照して，本発
明の実施の形態につき説明し，本発明の理解に供する。
尚，以下の実施の形態は，本発明の具体的な一例であっ
て，本発明の技術的範囲を限定する性格のものではな
い。本発明の一実施の形態に係る軌道走行検査台車は，
例えば半導体や液晶を製造する製造工場などのクリーン
ルームの天井から懸架された箱形ダクト軌道を検査する
軌道走行検査台車として具体化されるものである。ここ
に，図１は本発明の一実施の形態に係る軌道走行検査台
車の概略構成を示す機能ブロック図，図２は上記軌道走
行検査台車の機械的な概略構成を示す図，図３は箱形ダ
クト軌道を走行する軌道走行検査台車の様子を説明する
ための図である。本発明の一実施の形態に係る軌道走行
検査台車は，図１乃至図３に示す如く，天井から懸架さ
れた箱形ダクト軌道１００内を走行し検査を行う軌道走
行検査台車６であって，上記箱形ダクト軌道１００に沿
って配置された永久磁石列１０１とともにリニア直流モ
ータＬＤＭを構成する一次側１０２と，上記箱形ダクト
軌道１００に沿って設けられた給電線２と電磁的に結合
し，上記給電線２とともに非接触給電機構を構成するピ
ックアップコイル７と，上記給電線２から上記ピックア
ップコイル７を介して供給された交流電力を直流電力に
変換し上記一次側１０２に供給するための非接触給電ユ
ニット（本発明における電力変換器に相当）８と，上記
箱形ダクト軌道１００が分岐している場合に，各分岐方
向に対応して設けられた分岐用ガイド１０３に挿填さ
れ，上記分岐用ガイド１０３を転動する分岐用ローラ１
０４と，上記箱形ダクト軌道１００の内底面，及び内側
面をそれぞれ転動する走行ローラ１０５，及びガイドロ
ーラ１０６と，上記分岐用ローラ１０４，加速度信号を
検知するためのＧセンサ（本発明におけるセンサに相
当）１５と，上記Ｇセンサ１５によって検知された加速
度信号を外部へ出力するためのテレメータ送信機（本発
明における通信器に相当）１８とを具備して構成されて
いる。

【０００７】以下，上記軌道走行検査台車の詳細につい
て説明する。まず，ウェハカセット等の荷物を搬送する
搬送台車６’が走行する箱形ダクト軌道１００のレイア
ウト例を図４に示す。上記軌道走行検査台車６は，上記
搬送台車６’の非稼働時に上記箱形ダクト軌道１００を
走行して上記箱形ダクト軌道１００の検査を行う。図４
に示す如く，上記箱形ダクト軌道１００は，ループ状に
形成された主軌道１００Ｍと，主軌道１００Ｍから分岐
した分岐軌道１００Ｓとからなる。上記分岐軌道１００
Ｓは，カセットストッカなどが設けられているステーシ
ョンＳＴに上記搬送台車６’や上記軌道走行検査台車６
を誘導するためのものである。上記搬送台車６’が搬送
しているウェハカセットを上記カセットストッカに収納
したり，上記カセットストッカからウェハカセットを取
り出したりする必要がある場合には，上記搬送台車６’
は上記主軌道１００Ｍから外れ，上記分岐軌道１００Ｓ
に沿って走行する。上記主軌道１００Ｍ及び上記分岐軌
道１００Ｓそれぞれに沿って給電線２Ｍ，２Ｓが設けら
れる。上記箱形ダクト軌道１００の構成は，上記図２及
び図３に示した通りである。上記箱形ダクト軌道１００
はクリーンルームの天井付近から懸架されて設けられ
る。上記箱形ダクト軌道１００を天井付近に懸架して設
けるのは，既述の通り，地上設備による配置上の制約を
避けたり，ひいてはクリーンルームの省スペース化を図
るためである。上記箱形ダクト軌道１００の断面形状は
箱形であり，上記軌道走行検査台車６や搬送台車６’の
回りを囲むような大きさがある。上記箱形ダクト軌道１
００には，必要に応じて排気孔が設けられ，上記箱形ダ
クト軌道１００内の空気は随時排気ファンによって外部
へ排気される。上記箱形ダクト軌道１００は，天井に懸
架される都合上，所定の長さの短尺軌道カバー１００Ｐ
が複数継ぎ合わされて形成される。

【０００８】上記のようなレイアウトの箱形ダクト軌道
１００を走行して検査する上記軌道走行検査台車６の構
成は，例えば各種電装品が組み込まれる荷台相当部６Ａ
と，上記荷台相当部６Ａを移動可能に支持する走行部６
Ｂとに分けられる。上記荷台相当部６Ａは，上記搬送台
車６’の荷台として用いられる部分に相当するものであ
る。また，上記走行部６Ｂは，上記軌道走行検査台車６
のものと上記搬送台車６’のものとで，できるだけ同一
の構成を有していることが望ましい。上記走行部６Ｂの
下部には４つの走行ローラ（車輪）１０５が設けられて
おり，この走行ローラ１０５が上記箱形ダクト軌道１０
０の内底面を転動することにより，上記走行部６Ｂ自体
及び荷台相当部６Ａが，箱形ダクト軌道１００に沿って
移動可能に支持される。ただし，上記走行ローラ１０５
は上記走行部６Ｂの駆動には寄与していない。上記走行
ローラ１０５は，単に上記走行部６Ｂ自体及び荷台相当
部６Ａによる垂直方向の荷重を支持しているだけであ
り，上記走行部６Ｂの駆動は，永久磁石列１０１及び一
次側（コイル，鉄心）１０２から構成されるリニア直流
モータＬＤＭにより，他の伝達機構を介さず非接触で行
われる。上記走行部６Ｂの駆動に上記リニア直流モータ
ＬＤＭを用いることによって，回転機からの駆動力を歯
車などの伝達機構を通じて上記走行ローラ１０５に伝え
駆動する場合とくらべて，可動部品点数が抑えられ，発
生する塵埃が著しく抑えられる。さらに，リニア直流モ
ータＬＤＭによるダイレクトドライブは，高精度の位置
決めが可能であるという利点もある。

【０００９】また，上記走行部６Ｂの上部には，箱形ダ
クト軌道１００に沿って設けられた給電線２と電磁的に
結合するピックアップコイル７が設けられている。上記
給電線２とピックアップコイル７とで非接触給電機構が
構成される。地上側給電装置１によって上記給電線２に
交流電力が印加される。上記給電線２に印加されている
交流電力は，上記ピックアップコイル７により取り出さ
れ，上記軌道走行検査台車６側の非接触電源ユニット８
に供給される。尚，上記軌道走行検査台車６や搬送台車
６’が主軌道１００Ｍを走行する場合には，上記給電線
２Ｍから電力が供給され，分岐軌道１００Ｓを走行する
場合には，上記給電線２Ｓから電力が供給される。上記
非接触電源ユニット８では，軌道走行検査台車６内の各
ユニットに適した電力変換が行われ，各ユニットへそれ
ぞれ供給される。リニア直流モータＬＤＭの一次側１０
２には，この非接触電源ユニット８から直流電力が供給
され，上記リニア直流モータＬＤＭが駆動される。これ
により，走行ローラ１０５付近だけでなく，給電部付近
からの塵埃の発生も抑制される。また，上記走行部６Ｂ
の中間部には，上記箱形ダクト軌道１００の内側面を転
動するガイドローラ１０６と，上記主軌道１００Ｍから
上記分岐軌道１００Ｓが分岐する分岐部において，上記
主軌道１００Ｍと上記分岐軌道１００Ｓのいずれかを選
択するための分岐用ローラ１０４とが設けられている。
上記ガイドローラ１０６は，上記軌道走行検査台車６に
加わる水平方向の荷重を支持するためのものであり，上
記ガイドローラ１０６が上記箱形ダクト軌道１００の内
側面を転動することにより，上記軌道走行検査台車６は
上記箱形ダクト軌道１００に沿って案内される。

【００１０】上記分岐用ローラ１０４は，上記軌道走行
検査台車６の左右両方に設けられており，いずれも上下
動が可能である。上記分岐部には，図５に示す如く，上
記主軌道１００Ｍ，分岐軌道１００Ｓにそれぞれ対応し
て，分岐用ガイド１０３Ｍ，１０３Ｓが設けられてお
り，上記分岐部に上記軌道走行検査台車６が達すると，
左右いずれかの分岐用ローラ１０４を上昇させ，他方の
分岐用ローラ１０４を下位位置に設定する。上昇させた
分岐用ローラ１０４が，片方の上記分岐用ガイド１０３
に挿填され，当該分岐用ガイド１０３を転動することに
より，上記軌道走行検査台車６が走行する軌道が選択さ
れる。上記分岐用ローラ１０４の上下動による軌道選択
等などの制御は，予め記憶された又は外部から与えられ
る運行制御信号に従って行われる。図１に示す如く，上
記給電線２には，電力信号を印加する地上側給電装置１
が接続されている他，通信コイルユニット３が電磁的に
結合されており，この通信コイルユニット３は，地上側
の運行制御装置４から出力される運行制御信号を上記給
電線２に重畳する。上記給電線２に重畳された運行制御
信号は，上記ピックアップコイル７を介して上記軌道走
行検査台車６に設けられた電力線通信ユニット９に供給
される。上記電力線通信ユニット９は，上記運行制御信
号を受信すると，上記走行部６Ｂの走行制御を行う走行
制御ボード１０に出力する。この走行制御ボード１０で
は，上記運行制御信号に基づいて，台車の走行を制御す
るための信号，例えば上記リニア直流モータＬＤＭに直
流電力を与えるタイミングや，分岐用ローラ１０３を上
昇・下降させるタイミングなどの情報を含む走行制御信
号が生成され，駆動制御ユニット１２に出力される。上
記駆動制御ユニット１２では，エンコーダ１３からの信
号や上記走行制御信号などに基づいて，実際に上記リニ
ア直流モータＬＤＭなどを駆動させるための駆動制御信
号が生成され，上記リニア直流モータＬＤＭを含む走行
部駆動メカ１１に出力される。尚，上記エンコーダ１３
は，例えば地上側の永久磁石列１０１の磁極の切替を検
知する磁極検知器であるタッチローラ（不図示）に取り
付けられる。

【００１１】上記軌道走行検査台車６は，このような構
成により，運行制御装置４から出力される運行制御信号
に従って，上記リニア直流モータＬＤＭの駆動により箱
形ダクト軌道１００に沿って走行を行うが，この際に生
じる振動成分は，上記Ｇセンサ１５により検出される。
上記Ｇセンサ１５は，例えば箱形ダクト軌道１００方向
（即ち進行方向），上記箱形ダクト軌道１００とは直角
な水平方向，上下方向の３方向の加速度を計測するもの
であり，上記箱形ダクト軌道１００の継ぎ目１００Ｃに
段差がある場合や，箱形ダクト軌道１００の内底面や内
側面に異物があって走行ローラ１０５やガイドローラ１
０６が転動時に上記異物と衝突したり，分岐用ローラ１
０４を分岐用ガイド１０３に挿填した場合などに生じる
加速度信号を検知する。ところで，上記軌道走行検査台
車６の駆動には，リニア直流モータＬＤＭが用いられて
いる。上記リニア直流モータＬＤＭの場合，走行速度に
関係なく台車一次側１０２と軌道の永久磁石１０１間に
作用する力が一定となるため，上下方向の加速度信号に
ついても，正確な検知が行われ，上記加速度信号にはほ
ぼ上記のような原因によるもののみが含まれる。

【００１２】そして，上記Ｇセンサ１５により検出され
た加速度信号は，アンプ１６により増幅された後，記録
計１７及びテレメータ送信機１８に供給される。上記記
録計１７では，一定速度で上記加速度信号が時系列に記
録される。管理者等は，上記軌道走行検査台車６に上記
箱形ダクト軌道１００を周回させた後，上記記録計１７
に記録された加速度信号を確認することにより，上記軌
道走行検査台車６が箱形ダクト軌道１００を走行する際
に，載置している荷物に悪影響を与えるような振動が発
生しているか否かを簡単に知ることができる。この際，
運行制御装置４から出力される運行制御信号は，予め定
められるものであり，どのタイミングで加減速を行うか
など走行に関する情報を基にすれば，上記記録計１７に
記録された異常信号が，上記箱形ダクト軌道１００のど
の箇所で記録されたかを概略特定することができる。ま
た，上記テレメータ送信機１８は，ＦＭ電波を介して上
記加速度信号を，運行制御を行う地上側施設に設けられ
たテレメータ受信機５に送信する。管理者等は，上記テ
レメータ受信機５側で受信された加速度信号を，例えば
モニタ等に表示させることにより確認することができ
る。このように，本実施の形態に係る軌道走行検査台車
では，箱形ダクト軌道の継ぎ目に段差があったり，上記
箱形ダクト軌道の内底面や内側面に異物があって走行ロ
ーラやガイドローラが上記異物に衝突したり，分岐用ロ
ーラを分岐用ガイドに挿填した場合などに，搬送台車が
載置するウェハカセット等の荷物自体やその載置位置に
悪影響を与えるような振動が発生するか否かを，Ｇセン
サによって検知されテレメータ送受信機により通信され
た加速度信号に基づいて検査することができる。さら
に，管理者等が原因特定のために箱形ダクト軌道を直接
検査する必要がなくなり，箱形ダクト軌道の保守管理が
極めて容易なものとなる。しかも，上記軌道走行検査台
車では，その駆動手段にリニア直流モータが用いられる
ため，一次側と永久磁石との間に作用する力は走行速度
に対して一定であり，上下方向の加速度信号に対しても
正確な検知を行うことができる。

【００１３】

【実施例】上記実施の形態では，上記加速度センサ１５
により検出された加速度信号は，上記記録計１７やテレ
メータ送信機１８にそのまま供給されていたが，上記加
速度信号が所定の基準値を上回るような異常振動がある
と，例えばエンコーダ１３により検出される位置情報に
基づいて異常振動が判別されたときの上記軌道走行検査
台車６の走行位置を特定するようにしてもよい。例えば
図６に示す如く，上記アンプ１６に，上記加速度信号と
所定の基準値を比較し上記所定の基準値を上回る異常振
動を判別する比較器等を含む異常振動判別回路を設けて
おき，上記異常信号判別回路が上記異常振動を判別する
と，上記異常信号判別回路から外部に異常振動発生出力
信号を送出する。上記異常信号判別回路からの異常振動
発生出力信号は，例えば上記走行制御ボード１０に供給
される。上記異常振動判別信号が供給されると，上記走
行制御ボード１０が，エンコーダ１３により検出される
上記タッチローラの回転角度（位置情報）に基づいて異
常振動が判別されたときの上記軌道走行検査台車６の上
記箱形ダクト軌道１００に沿った位置情報を特定する。
これにより，上記軌道走行検査台車６の加減速スケジュ
ール等を参照することなく，異常振動が発生した上記箱
形ダクト軌道１００に沿った位置を簡単且つ正確に特定
することができ，上記箱形ダクト軌道１００の保守管理
を容易なものとし，システムの信頼性を向上させること
ができる。尚，上記エンコーダ１３は，本発明における
走行位置特定手段の一例である。

【００１４】また，上記実施例では，エンコーダ１３に
より検出される回転角度に基づいて上記軌道走行検査台
車６の走行位置を特定していたが，これに限られるもの
ではなく，例えば箱形ダクト軌道１００の異なる複数の
位置に当該位置の情報をバーコードで記録した記録板を
それぞれ設けると共に，上記軌道走行検査台車６に上記
バーコードを読み取るバーコードリーダを設けておき，
上記バーコード（バーコード情報）を読み取る毎に上記
エンコーダ１３のカウンタ出力をリセットするように構
成すれば，上記エンコーダ１３により検知される位置情
報の精度を向上させることができる。この場合には，上
記記録板は異常振動が発生する恐れの高い箇所，例えば
分岐部，カーブ開始点，加速点，減速点などに対応して
設けることが好ましく，加えて所定距離毎に設けておけ
ば，位置の特定上都合がよい。上記のようにエンコーダ
１３のカウンタ出力と上記バーコード情報とから走行位
置を特定する構成も本発明における走行位置特定手段の
一例である。また，上記実施の形態では，上記加速度セ
ンサ１５が箱形ダクト軌道１００方向（即ち進行方
向），上記箱形ダクト軌道１００とは直角な水平方向，
上下方向の３方向の加速度を計測したが，これに限られ
るものではなく，例えば進行方向以外の上記箱形ダクト
軌道１００とは直角な水平方向，上下方向の２方向を計
測するようにしてもよい。このような軌道走行検査台車
も本発明における軌道走行検査台車の一例である。さら
に，上記実施の形態及び実施例では，加速度信号を検出
するために，Ｇセンサ（加速度センサ）を用いたが，こ
れに限られるものではなく，変位センサにより箱形ダク
ト軌道１００と軌道走行検査台車６との位置関係を検出
しておき，この位置関係に基づいて異常振動の判別，走
行位置の特定を行うようにしてもよい。また，検出する
加速度信号の方向は，上記実施の形態のように３方向に
限られるものではなく，例えば上下方向だけを測定した
り，上記３方向に加えて上記軌道走行検査台車６の回転
を測定するようにしてもよい。このような軌道走行検査
台車も本発明における軌道走行検査台車の一例である。

【００１５】また，上記箱形ダクト軌道１００の保守管
理を容易なものとするため，例えば図７に示す如く上記
軌道走行検査台車６の前面下部などに，分岐用ローラ１
０４の分岐用ガイド１０３への挿填状態，箱形ダクト軌
道１００の内底面及び内側面の路面状態，上記給電線２
のたるみ，給電線２が地上のクランプに確実に保持され
ているか否かなどのを走行中に監視するためのビデオカ
メラなどの監視モニタ１０７を設けるようにしてもよ
い。上記箱形ダクト軌道１００は，天井に懸架されてい
るので，管理者等が目視により保守点検をしようとする
と，大変な労力が必要となるが，上記監視モニタ１０７
からの映像を介して上記箱形ダクト軌道１００内を管理
者等が観察することにより上記保守点検に必要な労力を
大幅に低減することができる。また，上記異常信号が生
じたときにも，上記監視モニタ１０７からの映像を通じ
て管理者等が原因を把握することが容易となり，原因除
去作業を円滑に行うことが可能となる。さらに，上記監
視モニタ１０７の指向方向を可変に設定できるように構
成し，ＦＭ電波等を用いて上記箱形ダクト軌道１００外
部から上記監視モニタ１０７の指向方向を遠隔操作すれ
ば，少ない監視モニタにて様々な部位を監視することも
できるし，監視モニタ設置時に予期していない不具合も
監視することが可能となる。また，上記実施の形態に係
る軌道走行検査台車は，分岐用ローラを備えていたが，
もちろん上記箱形ダクト軌道１００に分岐部がなけれ
ば，上記分岐用ローラは必ずしも備える必要はない。こ
のような軌道走行検査台車も本発明における軌道走行検
査台車の一例である。

【００１６】

【発明の効果】以上説明した通り，上記請求項１〜５の
いずれか１項に記載の軌道走行検査台車は，駆動手段に
永久磁石列及び一次側から構成されるリニア直流モータ
を用い，前記リニア直流モータへの給電に給電線及びピ
ックアップコイルから構成される非接触給電機構を用い
て，発塵を極力抑えたクリーンルームでの使用に適した
ものであり，搬送台車が走行する軌道が，天井から懸架
された箱形ダクト軌道である場合でも，搬送台車に載置
されている荷物やその載置位置に悪影響を及ぼすような
振動が発生するか否かを容易に検出して，外部の管理者
等へ知らせ，さらにはその発生位置を特定することがで
きる。しかも，リニア直流モータによる駆動では，永久
磁石と一次側との間に作用する力が走行速度に対して一
定であるので，上記振動の検出を正確に行うことができ
る。さらに，上記請求項５に記載の軌道走行検査台車に
よれば，監視モニタによって，分岐部における上記分岐
用ローラの上記分岐用ガイドへの挿填状態，上記箱形ダ
クト軌道の内底面及び内側面，並びに上記給電線の状態
のいずれか又はこれらの組合せが監視されるため，上記
監視モニタにより撮像された映像から，上記振動の原因
を管理者等が容易に特定することができる。その結果，
天井に懸架されている箱形ダクト軌道の保守管理に要す
る労力を大幅に軽減することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施の形態に係る軌道走行検査台
車の概略構成を示す機能ブロック図。

【図２】 本発明の一実施の形態に係る軌道走行検査台
車の機械的な概略構成を示す図。

【図３】 箱形ダクト軌道が天井に懸架された状態を説
明するための図。

【図４】 箱形ダクト軌道のレイアウト例を示す図。

【図５】 箱形ダクト軌道の分岐部における上記軌道走
行検査台車の動作を説明するための図。

【図６】 本発明の一実施例に係る軌道走行検査台車の
概略構成を示す機能ブロック図。

【図７】 本発明の他の実施例に係り，監視モニタを備
えた軌道走行検査台車の外観の一例を示す図。

【符号の説明】

２…給電線 ５…テレメータ受信機 ６…軌道走行検査台車 ７…ピックアップコイル ８…非接触電源ユニット １５…Ｇセンサ １８…テレメータ送信機 １００…箱形ダクト軌道 １０１…永久磁石列 １０２…一次側 １０４…分岐用ローラ １０５…走行ローラ １０６…ガイドローラ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 5H113 AA07 AA09 BB03 BB06 CC05 CC07 CD02 CD12 DD01 EE03 GG02 GG03 GG30 JJ08 JJ10 5H301 AA02 AA09 BB05 CC03 CC06 DD07 DD13 EE02 EE12 FF06 FF11 FF23 GG11 GG14 GG21 KK05 KK19 LL01 MM01

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 天井から懸架された箱形ダクト軌道内を
   走行し検査を行う軌道走行検査台車であって，上記箱形
   ダクト軌道に沿って配置された永久磁石列とともにリニ
   ア直流モータを構成する一次側と，上記箱形ダクト軌道
   に沿って設けられた給電線と電磁的に結合し，上記給電
   線とともに非接触給電機構を構成するピックアップコイ
   ルと，上記給電線から上記ピックアップコイルを介して
   供給された交流電力を直流電力に変換し上記一次側に供
   給するための電力変換器と，上記箱形ダクト軌道の内底
   面，及び内側面をそれぞれ転動する走行ローラ，及びガ
   イドローラと，加速度信号を検知するためのセンサと，
   上記センサによって検知された加速度信号を外部へ出力
   するための通信器とを具備してなる軌道走行検査台車。
2. 【請求項２】 走行位置を特定するための走行位置特定
   手段を具備してなる請求項１に記載の軌道走行検査台
   車。
3. 【請求項３】 上記走行位置特定手段が，エンコーダか
   ら走行に伴って出力される位置情報に基づいて，又は，
   エンコーダから走行に伴って出力される位置情報と上記
   箱形ダクト軌道の異なる複数の位置を表すバーコード情
   報をそれぞれ読み取ることによって得られた位置情報と
   に基づいて，上記走行位置を特定するものである請求項
   ２に記載の軌道走行検査台車。
4. 【請求項４】 上記箱形ダクト軌道が分岐している場合
   に，各分岐方向に対応して設けられた分岐用ガイドに挿
   填され，上記分岐用ガイドを転動する分岐用ローラを具
   備してなる請求項１〜３のいずれか１項に記載の軌道走
   行検査台車。
5. 【請求項５】 上記箱形ダクト軌道の分岐部における上
   記分岐用ローラの上記分岐用ガイドへの挿填状態，上記
   箱形ダクト軌道の内底面及び内側面，並びに上記給電線
   の状態のいずれか又はこれらの組合せを監視するための
   監視モニタを具備してなる請求項１〜４のいずれか１項
   に記載の軌道走行検査台車。