JP2000315722A - ウエハー保護ケース - Google Patents
ウエハー保護ケースInfo
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- JP2000315722A JP2000315722A JP12395999A JP12395999A JP2000315722A JP 2000315722 A JP2000315722 A JP 2000315722A JP 12395999 A JP12395999 A JP 12395999A JP 12395999 A JP12395999 A JP 12395999A JP 2000315722 A JP2000315722 A JP 2000315722A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- container
- wafer
- grip
- wafers
- lid
- Prior art date
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- Pending
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- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Details Of Rigid Or Semi-Rigid Containers (AREA)
- Packaging Of Annular Or Rod-Shaped Articles, Wearing Apparel, Cassettes, Or The Like (AREA)
- Closures For Containers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】半導体ウエハーの収納、搬送が容易で、且つ安
全な保護容器を提供する。 【解決手段】上記目的を達成するため、ウエハー形状に
対応した形状のシャーレ状の容器と、その容器上に被せ
るグリップとより成り、グリップは容器上に載置させる
本体と、該本体より張出した掴子爪を有し、且つ本体よ
り下方に折立てた折立片とより構成する。
全な保護容器を提供する。 【解決手段】上記目的を達成するため、ウエハー形状に
対応した形状のシャーレ状の容器と、その容器上に被せ
るグリップとより成り、グリップは容器上に載置させる
本体と、該本体より張出した掴子爪を有し、且つ本体よ
り下方に折立てた折立片とより構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ウエハー保護ケー
スに関するものである。
スに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、ウエハーの搬送、収納には箱型乃
至船底型等のケースを形成し、各ウエハーが一枚づつ収
まる溝を形成して、該溝にて保持させていたものであ
る。又、皿状容器に紙等のスペーサーシートを敷き、間
に順次それらを置いて積層して行き、必要に応じ、最上
部に押さえを置いてポリエチレン袋に収納し、更に場合
により袋内を吸引しておくことが行われている。
至船底型等のケースを形成し、各ウエハーが一枚づつ収
まる溝を形成して、該溝にて保持させていたものであ
る。又、皿状容器に紙等のスペーサーシートを敷き、間
に順次それらを置いて積層して行き、必要に応じ、最上
部に押さえを置いてポリエチレン袋に収納し、更に場合
により袋内を吸引しておくことが行われている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】然して、ウエハー自
体、全厚１ｍｍ程度のものであり、硬性がなくペラペラ
しており、搬送に困難性のあるものである。従って、容
器等に平らに積層されるのが便であるが、この場合蓋を
しても押さえがなく、別途押さえるものを置かなくては
ならず、これは面倒である。又、従来の箱型等のケース
に切溝を設けて各溝にウエハー等を収納することはウエ
ハーにとって安全性は確保されるが、収納、取出しが不
便であり、搬送、収納コストの上昇につながる。
体、全厚１ｍｍ程度のものであり、硬性がなくペラペラ
しており、搬送に困難性のあるものである。従って、容
器等に平らに積層されるのが便であるが、この場合蓋を
しても押さえがなく、別途押さえるものを置かなくては
ならず、これは面倒である。又、従来の箱型等のケース
に切溝を設けて各溝にウエハー等を収納することはウエ
ハーにとって安全性は確保されるが、収納、取出しが不
便であり、搬送、収納コストの上昇につながる。
【０００４】
【課題を解決するための手段】そこで本発明は、前記従
来の問題点に鑑みて成されたものであって、半導体ウエ
ハーの収納、搬送を容易且つ安全な保護容器を提供する
ことを目的とし、ウエハー形状に対応した形状のシャー
レ状の容器と、その容器上に被せるグリップとより成
り、グリップは容器上に載置される本体と、該本体より
張出した掴子爪を有し、且つ本体より下方に折立てた折
立片とより成ることを特徴とする。
来の問題点に鑑みて成されたものであって、半導体ウエ
ハーの収納、搬送を容易且つ安全な保護容器を提供する
ことを目的とし、ウエハー形状に対応した形状のシャー
レ状の容器と、その容器上に被せるグリップとより成
り、グリップは容器上に載置される本体と、該本体より
張出した掴子爪を有し、且つ本体より下方に折立てた折
立片とより成ることを特徴とする。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、図に示す実施例により本発
明を詳細に説明する。１はシャーレ等の容器で、ガラ
ス、石英等帯電防止、耐熱性を有する材質にて形成する
のが好ましい。又、合成樹脂であっても帯電防止性、耐
熱性を有するものであれば使用することが可能であり、
静電気によるウエハー等への影響を防止できる。又、収
納するウエハーの形状に応じ、丸型、角型等適宜の形状
を選択しうる。容器１の側面には適宜箇処、例えば１〜
３箇処に切溝１３を形成することは推奨される。切溝１
３は底部１１に至る適宜の深さを選択できる。
明を詳細に説明する。１はシャーレ等の容器で、ガラ
ス、石英等帯電防止、耐熱性を有する材質にて形成する
のが好ましい。又、合成樹脂であっても帯電防止性、耐
熱性を有するものであれば使用することが可能であり、
静電気によるウエハー等への影響を防止できる。又、収
納するウエハーの形状に応じ、丸型、角型等適宜の形状
を選択しうる。容器１の側面には適宜箇処、例えば１〜
３箇処に切溝１３を形成することは推奨される。切溝１
３は底部１１に至る適宜の深さを選択できる。
【０００６】２は半導体ウエハーで、作る前の基板でも
作成中のものでもよく、通常は６吋〜８吋のものが使用
される。該ウエハー２は、基板は有機基板、金属、セラ
ミック等の薄板、例えば０．１８〜３ｍｍのものを使用
し、ＢＧＡの場合、その上にＬＳＩチップ封入樹脂、ソ
ルダーボール等により全厚１〜１．２ｍｍ程度のチップ
に形成される。このためウエハー２は、面積に比し極め
て薄く、硬性に乏しく破損し易いものである。従って、
シャーレ等の容器１にウエハー２，２，…を積層収納さ
せることはウエハー２にとり安定性がある。
作成中のものでもよく、通常は６吋〜８吋のものが使用
される。該ウエハー２は、基板は有機基板、金属、セラ
ミック等の薄板、例えば０．１８〜３ｍｍのものを使用
し、ＢＧＡの場合、その上にＬＳＩチップ封入樹脂、ソ
ルダーボール等により全厚１〜１．２ｍｍ程度のチップ
に形成される。このためウエハー２は、面積に比し極め
て薄く、硬性に乏しく破損し易いものである。従って、
シャーレ等の容器１にウエハー２，２，…を積層収納さ
せることはウエハー２にとり安定性がある。
【０００７】３は必要に応じてウエハー２，２間に載置
させる紙等の緩衝剤である。４はウエハー２，２，…を
シャーレ等の容器１に所望数積層した後、その上に載置
する蓋で、容器１内のウエハー２上に落し蓋の如く載置
される。その端部は、上下の一端面或いは両面に段部４
１を形成させることは推奨される。又、蓋４を用いず或
いは紙等を置くだけの場合も考えられる。
させる紙等の緩衝剤である。４はウエハー２，２，…を
シャーレ等の容器１に所望数積層した後、その上に載置
する蓋で、容器１内のウエハー２上に落し蓋の如く載置
される。その端部は、上下の一端面或いは両面に段部４
１を形成させることは推奨される。又、蓋４を用いず或
いは紙等を置くだけの場合も考えられる。
【０００８】５はグリップで、ウエハー２，２，…をシ
ャーレ等の容器１に押圧し、固定的に保持するものであ
る。その一例として、容器１の上部全体を被うか一部の
みを被う適宜形状に形成される本体５１と、その外側端
に張出し垂下して形成させた所望数の掴子爪５２，５
２，５２と、本体５１から下方に折立てた折立片５３，
５３，５３とより構成される。該本体５１は、容器１に
対応した形状とするが、円型、三方切欠型、四方切欠型
等各方向に足を張出した如くに形成するのが便である。
掴子爪５２は、容器１の底部１１への係合部５２１を設
けることが推奨される。折立片５３は、本体５１の中心
部より外方に折下げるか、外方より中心方向に折下げる
のかを適宜選択しうる。
ャーレ等の容器１に押圧し、固定的に保持するものであ
る。その一例として、容器１の上部全体を被うか一部の
みを被う適宜形状に形成される本体５１と、その外側端
に張出し垂下して形成させた所望数の掴子爪５２，５
２，５２と、本体５１から下方に折立てた折立片５３，
５３，５３とより構成される。該本体５１は、容器１に
対応した形状とするが、円型、三方切欠型、四方切欠型
等各方向に足を張出した如くに形成するのが便である。
掴子爪５２は、容器１の底部１１への係合部５２１を設
けることが推奨される。折立片５３は、本体５１の中心
部より外方に折下げるか、外方より中心方向に折下げる
のかを適宜選択しうる。
【０００９】グリップ５はポリスチレン、ポリエチレ
ン、ＡＢＳ等の合成樹脂で適度の弾性を必要とし、帯電
防止性を有する材料にて構成するのがよい。グリップ５
の各エッジは丸型、即ちＲ付面とするのが好ましい。
ン、ＡＢＳ等の合成樹脂で適度の弾性を必要とし、帯電
防止性を有する材料にて構成するのがよい。グリップ５
の各エッジは丸型、即ちＲ付面とするのが好ましい。
【００１０】
【実施例】次いで、その使用法について説明すれば、容
器１に適宜枚数のウエハー２，２，…を収納させる。そ
の際、各ウエハー２，２，間に紙その他の緩衝材３，
３，…を敷設することは推奨される。所望数のウエハー
２，２，…を収納した後、その上に蓋４を載置させる。
更に、その上にグリップ５を載置させて掴子爪５２，５
２，５２が容器１の外に拡開するように上から押圧す
る。場合により掴子爪５２，５２，５２を手で拡開させ
てもよい。
器１に適宜枚数のウエハー２，２，…を収納させる。そ
の際、各ウエハー２，２，間に紙その他の緩衝材３，
３，…を敷設することは推奨される。所望数のウエハー
２，２，…を収納した後、その上に蓋４を載置させる。
更に、その上にグリップ５を載置させて掴子爪５２，５
２，５２が容器１の外に拡開するように上から押圧す
る。場合により掴子爪５２，５２，５２を手で拡開させ
てもよい。
【００１１】然るとき掴子爪５２，５２，５２は拡開し
て容器１の側面に沿って降下し、各係合部５２１，５２
１，５２１は容器１の底部１１に係合係止する。このと
き、折立片５３，５３，５３は本体５１と共に降下し、
その先端部は蓋４を押圧している。このため、ウエハー
２，２，…は蓋４を介して折立片５３，５３，５３の弾
圧力により底部１１に押しつけられて固定される。然
も、ウエハー２，２，…の枚数が多くても少なくても、
又ウエハー２の厚さの変動にも拘らず、ウエハー２，
２，…が蓋４を介して容器１底部１１に押圧されている
ことは変わりなく、その固定は強固である。この状態に
ても搬送、収納に差し支えないが、更にそのまゝポリエ
チレン等の袋体に収納させ、袋体を真空にして包装する
こともできる。
て容器１の側面に沿って降下し、各係合部５２１，５２
１，５２１は容器１の底部１１に係合係止する。このと
き、折立片５３，５３，５３は本体５１と共に降下し、
その先端部は蓋４を押圧している。このため、ウエハー
２，２，…は蓋４を介して折立片５３，５３，５３の弾
圧力により底部１１に押しつけられて固定される。然
も、ウエハー２，２，…の枚数が多くても少なくても、
又ウエハー２の厚さの変動にも拘らず、ウエハー２，
２，…が蓋４を介して容器１底部１１に押圧されている
ことは変わりなく、その固定は強固である。この状態に
ても搬送、収納に差し支えないが、更にそのまゝポリエ
チレン等の袋体に収納させ、袋体を真空にして包装する
こともできる。
【００１２】
【発明の効果】上記の如き本発明の請求項１によれば、
ウエハー形状に対応した形状のシャーレ状の容器と、そ
の容器上に被せるグリップとより成り、グリップは容器
上に載置される本体と、該本体より張出した掴子爪を有
し、且つ本体より下方に折立てた折立片とり成るので、
折立片が容器に収納したウエハーを弾圧し、然もウエハ
ー等の厚みにより折触角は変わっても弾圧力は殆ど変わ
らず、ウエハーの厚み、スペーサーシートの有無などに
関係なく折立片は略一定の力でウエハー等を容器に固定
させることができる。従って、ウエハーを一枚でも収納
限度の枚数でも同様に安全に収納固定できる。更に、グ
リップを容器に嵌合するだけの動作で折立片がウエハー
等を容器に弾圧固定するので、他の動作を必要とするこ
となく、且つ他のスペーサーシートなど必要なく、その
操作が極めて簡単である。
ウエハー形状に対応した形状のシャーレ状の容器と、そ
の容器上に被せるグリップとより成り、グリップは容器
上に載置される本体と、該本体より張出した掴子爪を有
し、且つ本体より下方に折立てた折立片とり成るので、
折立片が容器に収納したウエハーを弾圧し、然もウエハ
ー等の厚みにより折触角は変わっても弾圧力は殆ど変わ
らず、ウエハーの厚み、スペーサーシートの有無などに
関係なく折立片は略一定の力でウエハー等を容器に固定
させることができる。従って、ウエハーを一枚でも収納
限度の枚数でも同様に安全に収納固定できる。更に、グ
リップを容器に嵌合するだけの動作で折立片がウエハー
等を容器に弾圧固定するので、他の動作を必要とするこ
となく、且つ他のスペーサーシートなど必要なく、その
操作が極めて簡単である。
【００１３】又、請求項２によれば、容器の側面に切溝
を適宜の箇処に形成させたので、ウエハーが積層され、
又その上に蓋が載置されていてもピンセットが容易に容
器内に入り、蓋やウエハーを掴持する場所を形成し、蓋
やウエハーの取出しが容易である。
を適宜の箇処に形成させたので、ウエハーが積層され、
又その上に蓋が載置されていてもピンセットが容易に容
器内に入り、蓋やウエハーを掴持する場所を形成し、蓋
やウエハーの取出しが容易である。
【００１４】又、請求項３によれば、容器内に収納され
る形状の蓋を容器内に収納されるウエハー上に載置する
如くしたので、蓋が落し蓋のようにウエハー等に密接
し、ウエハー等を保護すると共に、蓋が均等にウエハー
全体を押圧し、極部的な力の加わりを防止でき、ウエハ
ー等の安全が確実に確保される。
る形状の蓋を容器内に収納されるウエハー上に載置する
如くしたので、蓋が落し蓋のようにウエハー等に密接
し、ウエハー等を保護すると共に、蓋が均等にウエハー
全体を押圧し、極部的な力の加わりを防止でき、ウエハ
ー等の安全が確実に確保される。
【００１５】更に、請求項４によれば、蓋の外周の上下
の一端面或いは両面に段部を形成したので、蓋の一部、
更にウエハーが切溝に面して収納されており、ピンセッ
ト等により容器外部から容易に掴持でき、取出しが確
実、且つ容易に行い得る。
の一端面或いは両面に段部を形成したので、蓋の一部、
更にウエハーが切溝に面して収納されており、ピンセッ
ト等により容器外部から容易に掴持でき、取出しが確
実、且つ容易に行い得る。
【図１】本発明一実施例分解斜視図
【図２】本発明他実施例一要部斜面図
【図３】同上使用状態縦断説明図
【図４】本発明他実施例一部拡大断面図
１ 容器 １１ 底部 １２ 側面 １３ 切溝 ２ ウエハー ３ 緩衝材 ４ 蓋 ５ グリップ ５１ 本体 ５２ 掴子爪 ５３ 折立片
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3E062 AA20 AB10 AC02 AC06 BA20 BB02 BB09 FA01 FB03 FC10 3E068 AA33 AB04 AC06 BB06 BB11 BB16 CC03 CD02 CE03 CE20 DD21 DE10 EE01 EE16 EE31 3E084 AA06 AA12 AA24 AA32 AA39 AB10 BA01 CA01 FD01 3E096 AA06 BA16 BB04 CA02 CB01 DA03 DA17 DC02 EA02X EA02Y EA10X FA26 FA30 GA20 5F031 CA02 DA12 EA01 EA02 EA10 EA11
Claims (4)
- 【請求項１】ウエハー形状に対応した形状のシャーレ状
の容器と、その容器上に被せるグリップとより成り、グ
リップは容器上に載置される本体と、該本体より張出し
た掴子爪を有し、且つ本体より下方に折立てた折立片と
より成ることを特徴とするウエハー保護ケース。 - 【請求項２】容器の側面に切溝を適宜の箇処に形成させ
たことを特徴とする請求項１に記載のウエハー保護ケー
ス。 - 【請求項３】容器内に収納される形状の蓋を容器内に収
納されるウエハー上に載置する如くしたことを特徴とす
る請求項１に記載のウエハー保護ケース。 - 【請求項４】蓋の外周の上下の一端面或いは両面に段部
を形成したことを特徴とする請求項３に記載のウエハー
保護ケース。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12395999A JP2000315722A (ja) | 1999-04-30 | 1999-04-30 | ウエハー保護ケース |
| TW88117612A TW434778B (en) | 1999-04-30 | 1999-10-12 | Protective case for wafer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12395999A JP2000315722A (ja) | 1999-04-30 | 1999-04-30 | ウエハー保護ケース |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000315722A true JP2000315722A (ja) | 2000-11-14 |
Family
ID=14873582
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12395999A Pending JP2000315722A (ja) | 1999-04-30 | 1999-04-30 | ウエハー保護ケース |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000315722A (ja) |
| TW (1) | TW434778B (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011046424A (ja) * | 2009-08-28 | 2011-03-10 | Yoshino Kogyosho Co Ltd | 景品付き容器 |
| EP3806138A1 (en) * | 2019-10-09 | 2021-04-14 | Infineon Technologies AG | Transport system |
| EP4275793A1 (en) * | 2022-05-13 | 2023-11-15 | FEI Company | Container lid |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9349643B2 (en) * | 2013-04-01 | 2016-05-24 | Brewer Science Inc. | Apparatus and method for thin wafer transfer |
-
1999
- 1999-04-30 JP JP12395999A patent/JP2000315722A/ja active Pending
- 1999-10-12 TW TW88117612A patent/TW434778B/zh not_active IP Right Cessation
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011046424A (ja) * | 2009-08-28 | 2011-03-10 | Yoshino Kogyosho Co Ltd | 景品付き容器 |
| EP3806138A1 (en) * | 2019-10-09 | 2021-04-14 | Infineon Technologies AG | Transport system |
| US11217467B2 (en) | 2019-10-09 | 2022-01-04 | Infineon Technologies Ag | Transport system |
| EP4275793A1 (en) * | 2022-05-13 | 2023-11-15 | FEI Company | Container lid |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TW434778B (en) | 2001-05-16 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060417 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080905 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080916 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081117 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090421 |