JP2000315722A - ウエハー保護ケース - Google Patents
ウエハー保護ケースInfo
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- JP2000315722A JP2000315722A JP12395999A JP12395999A JP2000315722A JP 2000315722 A JP2000315722 A JP 2000315722A JP 12395999 A JP12395999 A JP 12395999A JP 12395999 A JP12395999 A JP 12395999A JP 2000315722 A JP2000315722 A JP 2000315722A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- container
- wafer
- grip
- wafers
- lid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Details Of Rigid Or Semi-Rigid Containers (AREA)
- Packaging Of Annular Or Rod-Shaped Articles, Wearing Apparel, Cassettes, Or The Like (AREA)
- Closures For Containers (AREA)
Abstract
全な保護容器を提供する。 【解決手段】上記目的を達成するため、ウエハー形状に
対応した形状のシャーレ状の容器と、その容器上に被せ
るグリップとより成り、グリップは容器上に載置させる
本体と、該本体より張出した掴子爪を有し、且つ本体よ
り下方に折立てた折立片とより構成する。
Description
スに関するものである。
至船底型等のケースを形成し、各ウエハーが一枚づつ収
まる溝を形成して、該溝にて保持させていたものであ
る。又、皿状容器に紙等のスペーサーシートを敷き、間
に順次それらを置いて積層して行き、必要に応じ、最上
部に押さえを置いてポリエチレン袋に収納し、更に場合
により袋内を吸引しておくことが行われている。
体、全厚1mm程度のものであり、硬性がなくペラペラ
しており、搬送に困難性のあるものである。従って、容
器等に平らに積層されるのが便であるが、この場合蓋を
しても押さえがなく、別途押さえるものを置かなくては
ならず、これは面倒である。又、従来の箱型等のケース
に切溝を設けて各溝にウエハー等を収納することはウエ
ハーにとって安全性は確保されるが、収納、取出しが不
便であり、搬送、収納コストの上昇につながる。
来の問題点に鑑みて成されたものであって、半導体ウエ
ハーの収納、搬送を容易且つ安全な保護容器を提供する
ことを目的とし、ウエハー形状に対応した形状のシャー
レ状の容器と、その容器上に被せるグリップとより成
り、グリップは容器上に載置される本体と、該本体より
張出した掴子爪を有し、且つ本体より下方に折立てた折
立片とより成ることを特徴とする。
明を詳細に説明する。1はシャーレ等の容器で、ガラ
ス、石英等帯電防止、耐熱性を有する材質にて形成する
のが好ましい。又、合成樹脂であっても帯電防止性、耐
熱性を有するものであれば使用することが可能であり、
静電気によるウエハー等への影響を防止できる。又、収
納するウエハーの形状に応じ、丸型、角型等適宜の形状
を選択しうる。容器1の側面には適宜箇処、例えば1〜
3箇処に切溝13を形成することは推奨される。切溝1
3は底部11に至る適宜の深さを選択できる。
作成中のものでもよく、通常は6吋〜8吋のものが使用
される。該ウエハー2は、基板は有機基板、金属、セラ
ミック等の薄板、例えば0.18〜3mmのものを使用
し、BGAの場合、その上にLSIチップ封入樹脂、ソ
ルダーボール等により全厚1〜1.2mm程度のチップ
に形成される。このためウエハー2は、面積に比し極め
て薄く、硬性に乏しく破損し易いものである。従って、
シャーレ等の容器1にウエハー2,2,…を積層収納さ
せることはウエハー2にとり安定性がある。
させる紙等の緩衝剤である。4はウエハー2,2,…を
シャーレ等の容器1に所望数積層した後、その上に載置
する蓋で、容器1内のウエハー2上に落し蓋の如く載置
される。その端部は、上下の一端面或いは両面に段部4
1を形成させることは推奨される。又、蓋4を用いず或
いは紙等を置くだけの場合も考えられる。
ャーレ等の容器1に押圧し、固定的に保持するものであ
る。その一例として、容器1の上部全体を被うか一部の
みを被う適宜形状に形成される本体51と、その外側端
に張出し垂下して形成させた所望数の掴子爪52,5
2,52と、本体51から下方に折立てた折立片53,
53,53とより構成される。該本体51は、容器1に
対応した形状とするが、円型、三方切欠型、四方切欠型
等各方向に足を張出した如くに形成するのが便である。
掴子爪52は、容器1の底部11への係合部521を設
けることが推奨される。折立片53は、本体51の中心
部より外方に折下げるか、外方より中心方向に折下げる
のかを適宜選択しうる。
ン、ABS等の合成樹脂で適度の弾性を必要とし、帯電
防止性を有する材料にて構成するのがよい。グリップ5
の各エッジは丸型、即ちR付面とするのが好ましい。
器1に適宜枚数のウエハー2,2,…を収納させる。そ
の際、各ウエハー2,2,間に紙その他の緩衝材3,
3,…を敷設することは推奨される。所望数のウエハー
2,2,…を収納した後、その上に蓋4を載置させる。
更に、その上にグリップ5を載置させて掴子爪52,5
2,52が容器1の外に拡開するように上から押圧す
る。場合により掴子爪52,52,52を手で拡開させ
てもよい。
て容器1の側面に沿って降下し、各係合部521,52
1,521は容器1の底部11に係合係止する。このと
き、折立片53,53,53は本体51と共に降下し、
その先端部は蓋4を押圧している。このため、ウエハー
2,2,…は蓋4を介して折立片53,53,53の弾
圧力により底部11に押しつけられて固定される。然
も、ウエハー2,2,…の枚数が多くても少なくても、
又ウエハー2の厚さの変動にも拘らず、ウエハー2,
2,…が蓋4を介して容器1底部11に押圧されている
ことは変わりなく、その固定は強固である。この状態に
ても搬送、収納に差し支えないが、更にそのまゝポリエ
チレン等の袋体に収納させ、袋体を真空にして包装する
こともできる。
ウエハー形状に対応した形状のシャーレ状の容器と、そ
の容器上に被せるグリップとより成り、グリップは容器
上に載置される本体と、該本体より張出した掴子爪を有
し、且つ本体より下方に折立てた折立片とり成るので、
折立片が容器に収納したウエハーを弾圧し、然もウエハ
ー等の厚みにより折触角は変わっても弾圧力は殆ど変わ
らず、ウエハーの厚み、スペーサーシートの有無などに
関係なく折立片は略一定の力でウエハー等を容器に固定
させることができる。従って、ウエハーを一枚でも収納
限度の枚数でも同様に安全に収納固定できる。更に、グ
リップを容器に嵌合するだけの動作で折立片がウエハー
等を容器に弾圧固定するので、他の動作を必要とするこ
となく、且つ他のスペーサーシートなど必要なく、その
操作が極めて簡単である。
を適宜の箇処に形成させたので、ウエハーが積層され、
又その上に蓋が載置されていてもピンセットが容易に容
器内に入り、蓋やウエハーを掴持する場所を形成し、蓋
やウエハーの取出しが容易である。
る形状の蓋を容器内に収納されるウエハー上に載置する
如くしたので、蓋が落し蓋のようにウエハー等に密接
し、ウエハー等を保護すると共に、蓋が均等にウエハー
全体を押圧し、極部的な力の加わりを防止でき、ウエハ
ー等の安全が確実に確保される。
の一端面或いは両面に段部を形成したので、蓋の一部、
更にウエハーが切溝に面して収納されており、ピンセッ
ト等により容器外部から容易に掴持でき、取出しが確
実、且つ容易に行い得る。
Claims (4)
- 【請求項1】ウエハー形状に対応した形状のシャーレ状
の容器と、その容器上に被せるグリップとより成り、グ
リップは容器上に載置される本体と、該本体より張出し
た掴子爪を有し、且つ本体より下方に折立てた折立片と
より成ることを特徴とするウエハー保護ケース。 - 【請求項2】容器の側面に切溝を適宜の箇処に形成させ
たことを特徴とする請求項1に記載のウエハー保護ケー
ス。 - 【請求項3】容器内に収納される形状の蓋を容器内に収
納されるウエハー上に載置する如くしたことを特徴とす
る請求項1に記載のウエハー保護ケース。 - 【請求項4】蓋の外周の上下の一端面或いは両面に段部
を形成したことを特徴とする請求項3に記載のウエハー
保護ケース。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12395999A JP2000315722A (ja) | 1999-04-30 | 1999-04-30 | ウエハー保護ケース |
TW88117612A TW434778B (en) | 1999-04-30 | 1999-10-12 | Protective case for wafer |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12395999A JP2000315722A (ja) | 1999-04-30 | 1999-04-30 | ウエハー保護ケース |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000315722A true JP2000315722A (ja) | 2000-11-14 |
Family
ID=14873582
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12395999A Pending JP2000315722A (ja) | 1999-04-30 | 1999-04-30 | ウエハー保護ケース |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2000315722A (ja) |
TW (1) | TW434778B (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011046424A (ja) * | 2009-08-28 | 2011-03-10 | Yoshino Kogyosho Co Ltd | 景品付き容器 |
EP3806138A1 (en) * | 2019-10-09 | 2021-04-14 | Infineon Technologies AG | Transport system |
EP4275793A1 (en) * | 2022-05-13 | 2023-11-15 | FEI Company | Container lid |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9349643B2 (en) * | 2013-04-01 | 2016-05-24 | Brewer Science Inc. | Apparatus and method for thin wafer transfer |
-
1999
- 1999-04-30 JP JP12395999A patent/JP2000315722A/ja active Pending
- 1999-10-12 TW TW88117612A patent/TW434778B/zh not_active IP Right Cessation
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011046424A (ja) * | 2009-08-28 | 2011-03-10 | Yoshino Kogyosho Co Ltd | 景品付き容器 |
EP3806138A1 (en) * | 2019-10-09 | 2021-04-14 | Infineon Technologies AG | Transport system |
US11217467B2 (en) | 2019-10-09 | 2022-01-04 | Infineon Technologies Ag | Transport system |
EP4275793A1 (en) * | 2022-05-13 | 2023-11-15 | FEI Company | Container lid |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW434778B (en) | 2001-05-16 |
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A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090421 |