JP2000293842A - Magnetic recording medium, disk substrate and master disk for disk substrate production - Google Patents
Magnetic recording medium, disk substrate and master disk for disk substrate productionInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、ディスク基板製造
用原盤を用いて作製されたディスク基板上に少なくとも
記録層が形成され、ヘッドが記録面上を浮上しながら情
報信号の記録及び／又は再生がなされる磁気記録媒体に
関する。また、本発明は、この磁気記録媒体となるディ
スク基板、並びにこのディスク基板を製造する際に用い
られるディスク基板製造用原盤に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for recording and / or reproducing information signals while at least a recording layer is formed on a disk substrate manufactured by using a master for manufacturing a disk substrate, and a head floats on a recording surface. The present invention relates to a magnetic recording medium to which the following is applied. The present invention also relates to a disk substrate serving as the magnetic recording medium, and a disk substrate manufacturing master used when manufacturing the disk substrate.
【０００２】[0002]
【従来技術】磁気記録によって情報信号の記録再生がな
される磁気記録媒体として、ハードディスクを挙げるこ
とができる。一般に、ハードディスクは、ディスク基板
としてアルミニウム又はガラス等からなる非磁性基板を
用いている。通常、アルミニウム基板の表面には、ニッ
ケル・リン（ＮｉＰ）層を形成して表面硬度を向上させ
る処理が施されている。また、ガラス基板の表面には、
化学強化処理等の割れにくくする処理が施されている。
そして、ハードディスクは、これら表面処理が施された
ディスク基板上に、コバルトニッケル合金系やコバルト
クロム合金系等からなる磁性層を形成し、この磁性層上
に保護層や潤滑層を形成することによって作製される。2. Description of the Related Art A hard disk can be used as a magnetic recording medium on which information signals are recorded and reproduced by magnetic recording. Generally, a hard disk uses a nonmagnetic substrate made of aluminum, glass, or the like as a disk substrate. Usually, the surface of an aluminum substrate is subjected to a treatment for forming a nickel-phosphorus (NiP) layer to improve the surface hardness. Also, on the surface of the glass substrate,
A treatment such as a chemical strengthening treatment is applied to prevent cracking.
The hard disk is formed by forming a magnetic layer made of a cobalt nickel alloy system or a cobalt chromium alloy system on the surface treated disk substrate, and forming a protective layer and a lubrication layer on the magnetic layer. It is made.
【０００３】以上のように作製されたハードディスクで
は、所定の速度に回転された状態で、ディスクドライブ
装置の磁気ヘッドにより情報信号の記録再生が行われ
る。このとき、ハードディスクでは、磁気ヘッドが記録
面から僅かに浮上した状態で記録及び／又は再生が行わ
れる。In the hard disk manufactured as described above, information signals are recorded and reproduced by the magnetic head of the disk drive while being rotated at a predetermined speed. At this time, in the hard disk, recording and / or reproduction is performed in a state where the magnetic head slightly floats from the recording surface.
【０００４】ところで、このような磁気記録媒体では、
ディスク基板上に磁性層を形成する場合、ディスク基板
を搬送しながらコバルトニッケル合金系やコバルトクロ
ム合金系等の金属薄膜をスパッタ法により形成する方法
が主に用いられている。By the way, in such a magnetic recording medium,
When a magnetic layer is formed on a disk substrate, a method of forming a metal thin film of a cobalt nickel alloy system, a cobalt chromium alloy system, or the like by a sputtering method while transporting the disk substrate is mainly used.
【０００５】しかしながら、ディスク基板を搬送しなが
ら磁性層を形成した場合には、スパッタ粒子のディスク
基板上への斜め入射効果により、搬送方向に磁気異方性
が生じ、作製される磁気記録媒体の保磁力に搬送方向に
対応した分布が生じ、結果的に再生出力にモジュレーシ
ョンが生じてしまうことが、アイ・イー・イー・イー・
トランザクションズ オン マグネチックス、エム エ
ー ジー２２，１９８６年 第５７９頁から５８１頁
（IEEE Trans.Mag.,MAG-22,pp579〜581(1986)）におい
て論じられている。この文献によれば、このような搬送
成膜により生じる磁性層のモジュレーションを、ディス
ク基板表面に円周方向に沿った微細な凹凸パターン、い
わゆるテキスチャを形成し、磁性層の磁気異方性を円周
方向に揃えることにより、解決できるとしている。However, when the magnetic layer is formed while transporting the disk substrate, magnetic anisotropy occurs in the transport direction due to the effect of oblique incidence of sputtered particles on the disk substrate, and the magnetic recording medium to be manufactured is manufactured. The distribution of the coercive force corresponding to the transport direction and consequently the modulation of the reproduction output is the cause of the problem.
Transactions on Magnetics, M.G. 22, 1986, pp. 579-581 (IEEE Trans. Mag., MAG-22, pp 579-581 (1986)). According to this document, the modulation of the magnetic layer generated by such transfer film formation is performed by forming a fine uneven pattern, a so-called texture, along the circumferential direction on the surface of the disk substrate to reduce the magnetic anisotropy of the magnetic layer. It is said that it can be solved by aligning in the circumferential direction.
【０００６】ここで、テキスチャは、磁気記録媒体とな
るディスク基板の表面に、ラッピングテープや砥粒等を
摺動させる、いわゆるテキスチャ加工を施すことによっ
て形成することができる。この場合、ディスク基板の表
面には、中心線平均粗さＲａが１〜１０ｎｍとなるよう
な円周方向に沿った微細な凹凸パターン（テキスチャ）
が形成されることとなる。Here, the texture can be formed by subjecting a surface of a disk substrate as a magnetic recording medium to a so-called texturing process in which a lapping tape, abrasive grains or the like are slid. In this case, on the surface of the disk substrate, a fine uneven pattern (texture) along the circumferential direction such that the center line average roughness Ra is 1 to 10 nm.
Is formed.
【０００７】また、現在では、このテキスチャ加工によ
り円周方向に磁気異方性を生じさせる現象を積極的に利
用して、磁気記録媒体の保磁力を向上させることが一般
的に行われるようになってきている。このため、このテ
キスチャ加工は、磁気記録媒体の磁気特性を向上させる
上で不可欠な工程となっている。At present, it is generally practiced to improve the coercive force of a magnetic recording medium by positively utilizing the phenomenon of causing magnetic anisotropy in the circumferential direction by this texture processing. It has become to. Therefore, this texture processing is an indispensable step for improving the magnetic characteristics of the magnetic recording medium.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】このように、従来の磁
気記録媒体では、ディスク基板の表面にテキスチャ加工
を施すことにより磁気特性を向上させることができる。
しかしながら、このテキスチャ加工は、上述したよう
に、作製されるディスク基板毎にラッピングテープや遊
離砥粒等をこのディスク基板表面に摺動させる必要があ
る。As described above, in the conventional magnetic recording medium, the magnetic characteristics can be improved by performing texture processing on the surface of the disk substrate.
However, in this texture processing, as described above, it is necessary to slide a wrapping tape, free abrasive grains, or the like on the surface of the disk substrate for each disk substrate to be manufactured.
【０００９】このため、従来の磁気記録媒体において
は、ディスク基板表面にこのようなテキスチャ加工を施
すことによって、生産性が大幅に低下してしまうといっ
た問題があった。For this reason, in the conventional magnetic recording medium, there is a problem that the productivity is greatly reduced by performing such a texture processing on the disk substrate surface.
【００１０】また、従来の磁気記録媒体においては、デ
ィスク基板表面にこのようなテキスチャ加工を施した場
合、それ伴って発生する加工砥粒やディスク基板の加工
片等が、ディスク基板表面に付着してしまうのを防止し
なければならない。In the conventional magnetic recording medium, when such a texturing process is performed on the surface of the disk substrate, the processing abrasive grains generated along with the texture processing and the workpieces of the disk substrate adhere to the surface of the disk substrate. Must be prevented.
【００１１】例えば、上述したハードディスクにおいて
は、ディスクドライブ装置の磁気ヘッドを搭載して浮上
する浮上ヘッドスライダがスペーシング損失を抑圧する
ため、記録面上を極限まで小さな浮上量で浮上しなけれ
ばならない。現在製造されているハードディスクでは、
浮上ヘッドスライダの最小浮上量が約５０ｎｍ程度とさ
れている。このため、ハードディスクでは、作製された
ディスク基板の表面に、上述した付着物等があった場
合、信号エラーや浮上ヘッドスライダとの衝突によるヘ
ッドクラッシュ等を引き起こしてしまうこととなる。For example, in the above-mentioned hard disk, a flying head slider mounted with a magnetic head of a disk drive device and flying to suppress spacing loss must fly over a recording surface with an extremely small flying height. . With currently manufactured hard disks,
The minimum flying height of the flying head slider is about 50 nm. For this reason, in the case of a hard disk, if the above-mentioned deposits or the like are present on the surface of the manufactured disk substrate, a signal error or a head crash due to a collision with the flying head slider will be caused.
【００１２】したがって、従来の磁気記録媒体において
は、ディスク基板表面にこのようなテキスチャ加工を施
す場合、ディスク基板の洗浄及び乾燥といった後処理を
行わなければならず、製造工程が複雑になってしまい、
生産性が大幅に低下してしまうといった問題があった。Therefore, in the conventional magnetic recording medium, when such a texture processing is performed on the surface of the disk substrate, post-processing such as cleaning and drying of the disk substrate must be performed, which complicates the manufacturing process. ,
There has been a problem that productivity has been significantly reduced.
【００１３】そこで、本発明はこのような従来の事情に
鑑みて提案されたものであり、磁気特性を向上させると
ともに、生産性を向上させた磁気記録媒体を提供するこ
とを目的とする。また、本発明は、そのような磁気記録
媒体となるディスク基板、並びにそのようなディスク基
板を製造することが可能なディスク基板製造用原盤を提
供することを目的とする。Accordingly, the present invention has been proposed in view of such conventional circumstances, and has as its object to provide a magnetic recording medium having improved magnetic characteristics and improved productivity. Another object of the present invention is to provide a disk substrate serving as such a magnetic recording medium, and a master for manufacturing a disk substrate capable of manufacturing such a disk substrate.
【００１４】[0014]
【課題を解決するための手段】本発明に係る磁気記録媒
体は、ディスク基板製造用原盤を用いて作製されたディ
スク基板上に少なくとも記録層が形成され、ヘッドが記
録面上を浮上しながら情報信号の記録及び／又は再生が
なされる磁気記録媒体であって、ディスク基板には、デ
ィスク基板製造用原盤に形成された凹凸パターンが転写
されることにより、情報記録トラックのトラックピッチ
よりも短い周期で繰り返し現れる円周方向に沿った凹凸
パターンが形成されていることを特徴とする。In the magnetic recording medium according to the present invention, at least a recording layer is formed on a disk substrate manufactured using a disk substrate manufacturing master, and information is recorded while a head flies above a recording surface. A magnetic recording medium on which signals are recorded and / or reproduced, wherein a concave and convex pattern formed on a disk substrate manufacturing master is transferred to a disk substrate, so that the period is shorter than the track pitch of the information recording tracks. And a concavo-convex pattern along the circumferential direction that appears repeatedly in the pattern is formed.
【００１５】以上のように、本発明に係る磁気記録媒体
では、ディスク基板にディスク基板製造用原盤に形成さ
れた凹凸パターンが転写されているので、ディスク基板
に凹凸パターンを形成するのに、ディスク基板表面にラ
ッピングテープや砥粒等を摺動させる、いわゆるテキス
チャ加工を施す必要がなく、このテキスチャ加工に伴う
ディスク基板表面の付着物等の発生といった問題も生じ
ない。また、この磁気記録媒体では、ディスク基板を作
製すると同時に凹凸パターンが形成され、ディスク基板
製造用原盤に形成された凹凸パターンがディスク基板に
正確に転写されることから、ばらつきの少ない高精度の
凹凸パターンが形成される。また、この磁気記録媒体で
は、情報記録トラックのトラックピッチよりも短い周期
で繰り返し現れる円周方向に沿った凹凸パターンがディ
スク基板に形成されていることから、このディスク基板
上に形成される磁性層の磁気異方性を円周方向に揃える
ことができる。As described above, in the magnetic recording medium according to the present invention, the concavo-convex pattern formed on the disc substrate manufacturing master is transferred to the disc substrate. There is no need to apply so-called texturing, in which a lapping tape or abrasive grains are slid on the substrate surface, and there is no problem such as the generation of deposits on the disk substrate surface due to this texturing. In addition, in this magnetic recording medium, a concavo-convex pattern is formed at the same time as the disk substrate is manufactured, and the concavo-convex pattern formed on the disk substrate manufacturing master is accurately transferred to the disk substrate. A pattern is formed. Further, in this magnetic recording medium, since a concavo-convex pattern along the circumferential direction which repeatedly appears at a period shorter than the track pitch of the information recording track is formed on the disk substrate, the magnetic layer formed on the disk substrate is formed. Can be made uniform in the circumferential direction.
【００１６】また、凹凸パターンの深さは、ヘッドの浮
上量の半分以下であることが好ましい。これにより、凹
凸パターンがヘッドの浮上を妨げるといったことがなく
なり、情報信号の記録及び／又は再生時におけるヘッド
の浮上が安定なものとなる。Further, it is preferable that the depth of the concave / convex pattern is not more than half of the flying height of the head. Thereby, the uneven pattern does not hinder the flying of the head, and the flying of the head at the time of recording and / or reproducing the information signal becomes stable.
【００１７】また、本発明に係るディスク基板は、ヘッ
ドが記録面上を浮上しながら情報信号の記録及び／又は
再生がなされる磁気記録媒体用のディスク基板であっ
て、ディスク基板製造用原盤を用いて作製されてなり、
ディスク基板製造用原盤に形成された凹凸パターンが転
写されることにより、情報記録トラックのトラックピッ
チよりも短い周期で繰り返し現れる円周方向に沿った凹
凸パターンが形成されていることを特徴とする。A disk substrate according to the present invention is a disk substrate for a magnetic recording medium on which information signals are recorded and / or reproduced while a head flies above a recording surface. It is made using
The concave and convex pattern formed on the master for manufacturing a disk substrate is transferred to form a concave and convex pattern along the circumferential direction which repeatedly appears at a cycle shorter than the track pitch of the information recording tracks.
【００１８】以上のように、本発明に係るディスク基板
では、ディスク基板製造用原盤に形成された凹凸パター
ンが転写されているので、この凹凸パターンを形成する
のに、ラッピングテープや砥粒等を摺動させる、いわゆ
るテキスチャ加工を施す必要がなく、このテキスチャ加
工に伴う付着物等の発生といった問題も生じない。ま
た、このディスク基板では、ディスク基板製造用原盤に
より作製されると同時に凹凸パターンが形成され、ディ
スク基板製造用原盤に形成された凹凸パターンが正確に
転写されることから、ばらつきの少ない高精度の凹凸パ
ターンが形成される。また、このディスク基板では、情
報記録トラックのトラックピッチよりも短い周期で繰り
返し現れる円周方向に沿った凹凸パターンが形成されて
いることから、当該ディスク基板上に形成される磁性層
の磁気異方性を円周方向に揃えることができる。As described above, in the disk substrate according to the present invention, the concavo-convex pattern formed on the master for producing a disc substrate is transferred, so that a lapping tape, abrasive grains, or the like is used to form this concavo-convex pattern. There is no need to perform sliding, that is, so-called texture processing, and there is no problem such as generation of deposits and the like accompanying the texture processing. In addition, in this disk substrate, a concavo-convex pattern is formed at the same time as the disk substrate manufacturing master, and the concavo-convex pattern formed on the disk substrate manufacturing master is accurately transferred, so that there is little variation and high precision. An uneven pattern is formed. Further, in this disk substrate, since an uneven pattern is formed along the circumferential direction which repeatedly appears at a cycle shorter than the track pitch of the information recording tracks, the magnetic anisotropy of the magnetic layer formed on the disk substrate is increased. Properties can be aligned in the circumferential direction.
【００１９】また、凹凸パターンの深さは、ヘッドの浮
上量の半分以下であることが好ましい。これにより、当
該ディスク基板を用いて作製された磁気記録媒体におい
て、上記凹凸パターンがヘッドの浮上を妨げるといった
ことがなくなり、情報信号の記録及び／又は再生時にお
けるヘッドの浮上が安定なものとなる。It is preferable that the depth of the concavo-convex pattern is not more than half of the flying height of the head. Accordingly, in the magnetic recording medium manufactured using the disk substrate, the uneven pattern does not hinder the flying of the head, and the flying of the head during recording and / or reproduction of the information signal becomes stable. .
【００２０】また、本発明に係るディスク基板製造用原
盤は、ヘッドが記録面上を浮上しながら情報信号の記録
及び／又は再生がなされる磁気記録媒体用のディスク基
板を作製する際に用いられるディスク基板製造用原盤で
あって、ディスク基板に形成される情報記録トラックの
トラックピッチよりも短い周期で繰り返し現れる円周方
向に沿った凹凸に対応した凹凸パターンが形成されてい
ることを特徴とする。Further, the master for manufacturing a disk substrate according to the present invention is used for manufacturing a disk substrate for a magnetic recording medium on which information signals are recorded and / or reproduced while a head floats on a recording surface. An original master for manufacturing a disk substrate, wherein an irregular pattern corresponding to irregularities along a circumferential direction repeatedly appearing at a shorter cycle than a track pitch of an information recording track formed on the disk substrate is formed. .
【００２１】以上のように、本発明に係るディスク基板
製造用原盤では、ディスク基板に形成される凹凸に対応
した凹凸パターンが形成されているので、ディスク基板
に凹凸パターンを形成するのに、ディスク基板表面にラ
ッピングテープや砥粒等を摺動させる、いわゆるテキス
チャ加工を施す必要がなく、このテキスチャ加工に伴う
ディスク基板表面の付着物等の発生といった問題も生じ
ない。また、このディスク基板製造用原盤では、ディス
ク基板を作製すると同時に凹凸パターンを形成すること
ができ、このディスク基板製造用原盤に形成された凹凸
パターンをディスク基板に正確に転写することができる
ことから、このディスク基板にばらつきの少ない高精度
の凹凸パターンを形成することができる。また、このデ
ィスク基板製造用原盤では、情報記録トラックのトラッ
クピッチよりも短い周期で繰り返し現れる円周方向に沿
った凹凸パターンが形成されていることから、当該ディ
スク基板製造用原盤により作製されたディスク基板にお
いて、このディスク基板上に形成される磁性層の磁気異
方性を円周方向に揃えることができる。As described above, in the master for manufacturing a disk substrate according to the present invention, the concave / convex pattern corresponding to the concave / convex formed on the disk substrate is formed. There is no need to apply so-called texturing, in which a lapping tape or abrasive grains are slid on the substrate surface, and there is no problem such as the generation of deposits on the disk substrate surface due to this texturing. In addition, in the master for manufacturing a disk substrate, a concavo-convex pattern can be formed at the same time when the disc substrate is manufactured, and the concavo-convex pattern formed on the master for disc substrate manufacturing can be accurately transferred to the disk substrate. It is possible to form a highly accurate uneven pattern with little variation on this disk substrate. Further, in the master for manufacturing a disk substrate, since a concave / convex pattern along the circumferential direction which repeatedly appears at a shorter cycle than the track pitch of the information recording tracks is formed, the disk manufactured by the master for manufacturing the disk substrate is used. In the substrate, the magnetic anisotropy of the magnetic layer formed on the disk substrate can be made uniform in the circumferential direction.
【００２２】また、凹凸パターンの深さは、ヘッドの浮
上量の半分以下であることが好ましい。これにより、当
該ディスク基板製造用原盤により作製されたディスク基
板を用いて作製された磁気記録媒体において、ディスク
基板に転写された凹凸パターンがヘッドの浮上を妨げる
といったことがなくなり、情報信号の記録及び／又は再
生時におけるヘッドの浮上が安定なものとなる。Further, it is preferable that the depth of the concave / convex pattern is not more than half of the flying height of the head. Thereby, in the magnetic recording medium manufactured using the disk substrate manufactured by using the disk substrate manufacturing master, the concave and convex pattern transferred to the disk substrate does not hinder the floating of the head. And / or the flying of the head during reproduction becomes stable.
【００２３】また、本発明に係るディスク基板製造用原
盤は、上記凹凸パターンがレジストを露光及び現像する
ことによりレジストに形成した凹凸パターンを転写した
ものであってもよい。The master for manufacturing a disk substrate according to the present invention may be one in which the above-mentioned concavo-convex pattern is obtained by transferring the concavo-convex pattern formed on the resist by exposing and developing the resist.
【００２４】この場合、ディスク基板に形成される凹凸
に対応した凹凸パターンを高精度に形成することができ
ることから、この凹凸パターンが正確に転写されたディ
スク基板を作製することができる。In this case, since a concavo-convex pattern corresponding to the concavo-convex formed on the disc substrate can be formed with high precision, a disc substrate on which the concavo-convex pattern is accurately transferred can be manufactured.
【００２５】また、本発明に係るディスク基板製造用原
盤は、上記凹凸パターンがディスク基板製造用原盤とな
る部材をエッチングすることにより形成されたものであ
ってもよい。Further, the master for manufacturing a disk substrate according to the present invention may be one in which the above-mentioned concavo-convex pattern is formed by etching a member to be a master for manufacturing a disk substrate.
【００２６】この場合、ディスク基板に形成される凹凸
に対応した凹凸パターンを高精度に形成することができ
ることから、この凹凸パターンが正確に転写されたディ
スク基板を作製することができる。また、上記凹凸パタ
ーンの深さを浅く形成することができる。In this case, since a concavo-convex pattern corresponding to the concavo-convex formed on the disc substrate can be formed with high precision, a disc substrate on which the concavo-convex pattern is accurately transferred can be manufactured. Further, the depth of the uneven pattern can be formed shallow.
【００２７】[0027]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照しながら詳細に説明する。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.
【００２８】先ず、本発明を適用したディスク基板につ
いて図１に示す。また、図１中に示すディスク基板のＡ
−Ａ断面の要部を拡大した断面図を図２に示す。First, FIG. 1 shows a disk substrate to which the present invention is applied. Also, A of the disk substrate shown in FIG.
FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view of a main part of the -A cross section.
【００２９】このディスク基板１は、ディスク基板製造
用原盤を型として、熱可塑性樹脂やガラス等の成形可能
な材料を用いて射出成形された磁気記録媒体用のディス
ク基板である。The disk substrate 1 is a disk substrate for a magnetic recording medium which is injection-molded using a moldable material such as a thermoplastic resin or glass using a master for disk substrate production as a mold.
【００３０】このディスク基板１は、略円盤状に形成さ
れるとともに、中心部に中心孔２が形成されてなる。ま
た、ディスク基板１の表面には、情報記録トラックのト
ラックピッチよりも短い周期で繰り返し現れる円周方向
に沿った微細な凹凸パターン３が形成されている。この
ディスク基板１に形成された凹凸パターン３は、ディス
ク基板製造用原盤に形成された凹凸パターンが転写され
ることにより形成される。The disk substrate 1 is formed in a substantially disk shape and has a center hole 2 formed in the center. Further, on the surface of the disk substrate 1, a fine uneven pattern 3 is formed along the circumferential direction which appears repeatedly at a cycle shorter than the track pitch of the information recording tracks. The concavo-convex pattern 3 formed on the disk substrate 1 is formed by transferring the concavo-convex pattern formed on the master for manufacturing a disk substrate.
【００３１】なお、ディスク基板製造用原盤に形成され
ている凹凸パターンが転写されてなるディスク基板１を
作製する方法は、射出成形以外の方法でもよく、例え
ば、加熱して軟化させた樹脂材料等にディスク基板製造
用原盤を押し付けることにより凹凸パターンを転写す
る、いわゆる熱転写方法を用いてもよい。また、ディス
ク基板製造用原盤上にフォトポリマー等を塗布した後、
紫外線を照射してフォトポリマーを硬化させ、その後、
このフォトポリマーを剥離することで、凹凸パターンが
転写されたディスク基板を作製する、いわゆる２Ｐ法を
用いてもよい。The method of manufacturing the disk substrate 1 on which the concave / convex pattern formed on the disk substrate manufacturing master is transferred may be a method other than injection molding. For example, a resin material heated and softened may be used. A so-called thermal transfer method may be used in which a concave / convex pattern is transferred by pressing a master for manufacturing a disk substrate onto the substrate. Also, after applying a photopolymer etc. on the master for disk substrate manufacture,
Irradiate ultraviolet light to cure the photopolymer, and then
A so-called 2P method may be used in which a disc substrate on which a concavo-convex pattern is transferred by peeling off the photopolymer.
【００３２】そして、磁気記録媒体は、以上のように作
製されたディスク基板１上に、情報信号の記録再生に必
要な記録層を形成することにより作製される。The magnetic recording medium is manufactured by forming a recording layer necessary for recording and reproducing information signals on the disk substrate 1 manufactured as described above.
【００３３】次に、本発明を適用した磁気記録媒体につ
いて、要部を拡大した断面の斜視図を図３に示す。ま
た、図３中矢印Ｂで示す部分の拡大図を図４に示す。Next, FIG. 3 shows a perspective view of an enlarged cross section of a main part of a magnetic recording medium to which the present invention is applied. FIG. 4 is an enlarged view of a portion indicated by an arrow B in FIG.
【００３４】この磁気記録媒体２０は、ディスクドライ
ブ装置の磁気ヘッドが記録面上を浮上しながら情報信号
の記録及び／再生がなされるハードディスクである。こ
の磁気記録媒体２０は、ディスク基板２１上に形成され
た下地層２２と、この下地層２２上に形成された磁性層
２３と、この磁性層２３上に形成された保護層２４と、
保護層２４上に形成された潤滑層２５とから構成され
る。The magnetic recording medium 20 is a hard disk on which information signals are recorded and / or reproduced while a magnetic head of a disk drive device floats above a recording surface. The magnetic recording medium 20 includes a base layer 22 formed on a disk substrate 21, a magnetic layer 23 formed on the base layer 22, a protective layer 24 formed on the magnetic layer 23,
And a lubricating layer 25 formed on the protective layer 24.
【００３５】ディスク基板２１は、上述した本発明を適
用したディスク基板１と同様にして作製されたものであ
る。すなわち、ディスク基板２１は、ディスク基板製造
用原盤を型として、熱可塑性樹脂やガラス等の成形可能
な材料を用いて射出成形された磁気記録媒体用のディス
ク基板である。The disk substrate 21 is manufactured in the same manner as the disk substrate 1 to which the present invention is applied. That is, the disk substrate 21 is a disk substrate for a magnetic recording medium which is injection-molded using a moldable material such as a thermoplastic resin or glass using a master for disk substrate manufacture as a mold.
【００３６】また、ディスク基板２１の表面には、情報
記録トラックのトラックピッチよりも短い周期で繰り返
し現れる円周方向に沿った微細な凹凸パターン２６が形
成されている。このディスク基板２１に形成された凹凸
パターン２６は、上述したように、ディスク基板製造用
原盤に形成された凹凸パターンが転写されることにより
形成される。On the surface of the disk substrate 21, there is formed a fine concavo-convex pattern 26 along the circumferential direction which appears repeatedly at a period shorter than the track pitch of the information recording tracks. The concavo-convex pattern 26 formed on the disk substrate 21 is formed by transferring the concavo-convex pattern formed on the master for manufacturing a disk substrate, as described above.
【００３７】磁気記録媒体２０においては、この凹凸パ
ターン２６が形成されたディスク基板２１上に、磁性層
２３が形成されることとなる。In the magnetic recording medium 20, the magnetic layer 23 is formed on the disk substrate 21 on which the uneven pattern 26 is formed.
【００３８】このため、磁気記録媒体２０では、この磁
性層２３の磁気異方性を円周方向に揃えることができ、
磁気層２３の保磁力を向上させることができる。したが
って、磁気記録媒体２０では、情報信号の再生出力にモ
ジュレーションが発生するのを防ぐことができ、磁気特
性を向上させることができる。For this reason, in the magnetic recording medium 20, the magnetic anisotropy of the magnetic layer 23 can be made uniform in the circumferential direction.
The coercive force of the magnetic layer 23 can be improved. Therefore, in the magnetic recording medium 20, modulation can be prevented from occurring in the reproduction output of the information signal, and the magnetic characteristics can be improved.
【００３９】ここで、例えばハードディスクでは、磁気
ヘッドと記録面とのスペーシング、すなわち磁気ヘッド
の浮上量が小さくなってきており、現在製造されている
ハードディスクでは、磁気ヘッドの浮上量が約５０ｎｍ
以下とされている。Here, for example, in the case of a hard disk, the spacing between the magnetic head and the recording surface, that is, the flying height of the magnetic head is becoming smaller. In the currently manufactured hard disk, the flying height of the magnetic head is about 50 nm.
It is as follows.
【００４０】このため、磁気記録媒体２０においては、
ディスク基板２１に転写された凹凸パターン２６の深さ
が、磁気ヘッドの浮上量よりも小さいことが好ましく、
より好ましくは、磁気ヘッドの浮上量の半分以下である
ことが好ましい。さらに好ましくは、凹凸パターンの深
さが２０ｎｍ以下であることが好ましい。Therefore, in the magnetic recording medium 20,
The depth of the concave / convex pattern 26 transferred to the disk substrate 21 is preferably smaller than the flying height of the magnetic head,
More preferably, the flying height of the magnetic head is half or less. More preferably, the depth of the concavo-convex pattern is preferably 20 nm or less.
【００４１】これにより、磁気記録媒体２０では、凹凸
パターン２６が磁気ヘッドの浮上を妨げるといったこと
がなくなり、記録及び／又は再生時における磁気ヘッド
の浮上を安定させることができる。Thus, in the magnetic recording medium 20, the uneven pattern 26 does not hinder the floating of the magnetic head, and the floating of the magnetic head during recording and / or reproduction can be stabilized.
【００４２】また、磁気記録媒体２０では、ディスク基
板製造用原盤に形成された凹凸パターンがディスク基板
２１に転写されているので、ディスク基板２１に凹凸パ
ターン２６を形成するのに、ディスク基板２１の表面に
ラッピングテープや砥粒等を摺動させる、いわゆるテキ
スチャ加工を施す必要がなく、このテキスチャ加工に伴
うディスク基板表面に付着物等が発生するといった問題
も生じない。In the magnetic recording medium 20, since the concavo-convex pattern formed on the disc substrate manufacturing master is transferred to the disc substrate 21, the concavo-convex pattern 26 is formed on the disc substrate 21. It is not necessary to apply a so-called texturing process in which a lapping tape or abrasive grains are slid on the surface, and there is no problem such as the generation of deposits on the disk substrate surface due to the texturing process.
【００４３】また、この磁気記録媒体２０では、ディス
ク基板２１を作製すると同時に凹凸パターン２６が形成
され、ディスク基板製造用原盤に形成された凹凸パター
ンがディスク基板２１表面に正確に転写されることか
ら、ばらつきの少ない高精度の凹凸パターン２７が形成
される。Further, in the magnetic recording medium 20, the concavo-convex pattern 26 is formed at the same time when the disk substrate 21 is manufactured, and the concavo-convex pattern formed on the master for manufacturing the disk substrate is accurately transferred to the surface of the disk substrate 21. Thus, a highly accurate uneven pattern 27 with little variation is formed.
【００４４】したがって、磁気記録媒体２０では、ディ
スク基板２１の洗浄及び乾燥といった処理工程を行う必
要がなく、製造工程を簡略化することができ、生産性を
大幅に向上させることができる。また、ばらつきの発生
が少ない極めて高品質な磁気記録媒体とすることができ
る。Therefore, in the magnetic recording medium 20, there is no need to perform processing steps such as cleaning and drying of the disk substrate 21, so that the manufacturing steps can be simplified and the productivity can be greatly improved. In addition, an extremely high quality magnetic recording medium with little variation can be obtained.
【００４５】次に、上述したディスク基板２０を作製す
る際に使用されるディスク基板製造用原盤について説明
する。Next, a master for manufacturing a disk substrate used when manufacturing the above-described disk substrate 20 will be described.
【００４６】このディスク基板製造用原盤は、本発明が
適用したディスク基板製造用原盤である。すなわち、こ
のディスク基板製造用原盤は、情報記録トラックのトラ
ックピッチよりも短い周期で繰り返し現れる円周方向に
沿った凹凸パターンが形成されたディスク基板を製造す
る際に使用されるディスク基板製造用原盤である。そし
て、このディスク基板製造用原盤には、ディスク基板に
形成された凹凸に対応した凹凸パターンが形成されてな
る。This master for manufacturing a disk substrate is a master for manufacturing a disk substrate to which the present invention is applied. That is, this master for manufacturing a disk substrate is a master for manufacturing a disk substrate used when manufacturing a disk substrate on which a concave / convex pattern along the circumferential direction that repeatedly appears at a shorter cycle than the track pitch of the information recording tracks is formed. It is. The master for manufacturing a disk substrate has an uneven pattern corresponding to the unevenness formed on the disk substrate.
【００４７】次に、本発明を適用した磁気記録媒体の製
造方法について詳細に説明する。また、磁気記録媒体の
製造工程を図５に示す。Next, a method for manufacturing a magnetic recording medium to which the present invention is applied will be described in detail. FIG. 5 shows a manufacturing process of the magnetic recording medium.
【００４８】先ず、ステップＳ１に示すように、ディス
ク基板を製造する際に使用されるディスク基板製造用原
盤を作製する。First, as shown in step S1, a master for manufacturing a disk substrate used for manufacturing a disk substrate is manufactured.
【００４９】このディスク基板製造用原盤は、例えばコ
ンパクトディスク（ＣＤ）等の光ディスクを製造するの
に用いられる原盤と同様な工程を用いて作製される。す
なわち、表面を平滑に研磨した支持体であるガラス原盤
にポジ型フォトレジストを、例えば１０ｎｍの厚さに塗
布する。The master for manufacturing a disk substrate is manufactured by using the same process as the master used for manufacturing an optical disk such as a compact disk (CD). That is, a positive photoresist is applied to a glass master, which is a support whose surface is polished smoothly, to a thickness of, for example, 10 nm.
【００５０】次に、例えば、半径１６〜４６ｍｍまでの
範囲において、直径０．４μｍに集光した一定強度のレ
ーザー光により０．８μｍピッチの螺旋状パターンを照
射していくことによりフォトレジストを露光して、凹凸
パターンを潜像としてフォトレジストに形成する。Next, the photoresist is exposed by irradiating a spiral pattern having a pitch of 0.8 μm with a laser beam of a constant intensity focused to a diameter of 0.4 μm in a range of a radius of 16 to 46 mm, for example. Then, an uneven pattern is formed on the photoresist as a latent image.
【００５１】次に、このフォトレジストに形成された潜
像を現像することによって、照射した部分のフォトレジ
ストを溶解し、フォトレジストに上述した凹凸パターン
を形成する。このとき、凹凸パターンの深さは１０ｎｍ
であり、凹凸パターンの凹部と凸部の線幅は、ともに
０．４μｍである。Next, by developing the latent image formed on the photoresist, the irradiated portion of the photoresist is dissolved, and the above-mentioned uneven pattern is formed on the photoresist. At this time, the depth of the uneven pattern is 10 nm.
And the line widths of the concave and convex portions of the concave and convex pattern are both 0.4 μm.
【００５２】次に、この凹凸パターンが形成されたフォ
トレジストの表面に、例えば厚さが数百μｍとなるニッ
ケルめっきを施した後、このニッケルめっきをガラス原
盤から剥離する。そして、ニッケルめっきに付着したフ
ォトレジストを除去する。これにより、フォトレジスト
に形成されていた凹凸パターンが転写されたニッケルめ
っきからなるディスク基板製造用原盤が作製される。Next, after nickel plating having a thickness of, for example, several hundred μm is applied to the surface of the photoresist on which the uneven pattern is formed, the nickel plating is peeled off from the glass master. Then, the photoresist attached to the nickel plating is removed. As a result, a master for manufacturing a disk substrate made of nickel plating to which the concavo-convex pattern formed on the photoresist is transferred is manufactured.
【００５３】次に、ステップＳ２に示すように、作製さ
れたディスク基板製造用原盤を型として、熱可塑性樹脂
等を成形することによりディスク基板を作製する。Next, as shown in step S2, a disk substrate is manufactured by molding a thermoplastic resin or the like using the manufactured disk substrate manufacturing master as a mold.
【００５４】これにより、ディスク基板には、ディスク
基板製造用原盤に形成された凹凸パターンが転写され
て、その表面に情報記録トラックのトラックピッチより
も短い周期で繰り返し現れる円周方向に沿った微細な凹
凸パターンが形成される。As a result, the concavo-convex pattern formed on the disc substrate manufacturing master is transferred to the disc substrate, and the fine pattern along the circumferential direction which appears repeatedly on the surface at a period shorter than the track pitch of the information recording tracks. The uneven pattern is formed.
【００５５】次に、ステップ３に示すように、下地層を
形成したディスク基板に対して、スパッタ法によりコバ
ルトニッケル合金系やコバルトクロム合金系の金属薄膜
等を成膜して磁性層形成する。また、その磁性層上に炭
素薄膜等からなる保護層を形成する。Next, as shown in step 3, a metal thin film of a cobalt nickel alloy or a cobalt chromium alloy is formed on the disk substrate on which the underlayer is formed by sputtering to form a magnetic layer. Further, a protective layer made of a carbon thin film or the like is formed on the magnetic layer.
【００５６】また、ステップＳ４に示すように、保護層
上に潤滑剤を塗布して潤滑層を形成する。この場合、潤
滑剤の塗布は、例えばディッピング法により行う。具体
的には、パーフルオロポリエステル等の潤滑剤をフッ素
系溶媒に溶解させた溶液中に浸した後、ゆっくりと一定
の速度で溶液中から引き上げることにより潤滑層を形成
する。また、溶液の濃度、温度、引き上げ速度等を制御
することにより潤滑層の厚さを制御することができる。Further, as shown in step S4, a lubricant is applied on the protective layer to form a lubricant layer. In this case, the lubricant is applied by, for example, a dipping method. Specifically, a lubricating layer is formed by immersing a lubricant such as perfluoropolyester or the like in a solution in which the lubricant is dissolved in a fluorine-based solvent, and then slowly pulling the lubricant out of the solution at a constant speed. Further, the thickness of the lubricating layer can be controlled by controlling the concentration of the solution, the temperature, the pulling speed, and the like.
【００５７】以上のようにして作製された磁気記録媒体
には、情報記録トラックのトラックピッチよりも短い周
期で繰り返し現れる円周方向に沿った微細な凹凸パター
ンが形成されている。このとき、凹凸パターンの深さは
１０ｎｍであり、凹部と凸部との線幅はともに０．４μ
ｍである。On the magnetic recording medium manufactured as described above, a fine concavo-convex pattern is formed along the circumferential direction which appears repeatedly at a period shorter than the track pitch of the information recording tracks. At this time, the depth of the concavo-convex pattern is 10 nm, and the line widths of the concave portion and the convex portion are both 0.4 μm.
m.
【００５８】ここで、長さＬの直線上の中心線平均粗さ
Ｒａは、表面の形状を表す関数をｆ（ｘ）とした場合、
下記に示すような関係が成り立つ。Here, the center line average roughness Ra on a straight line having a length L is represented by a function f (x) representing a surface shape.
The following relationship is established.
【００５９】[0059]
【数１】 (Equation 1)
【００６０】この磁気記録媒体では、凹凸パターンの深
さが１０ｎｍであり、凹部と凸部の線幅比が１：１であ
ることから、中心線平均粗さＲａは、５ｎｍである。In this magnetic recording medium, since the depth of the concavo-convex pattern is 10 nm and the line width ratio between the concave portion and the convex portion is 1: 1, the center line average roughness Ra is 5 nm.
【００６１】従来、ラッピングテープ等によるテキスチ
ャ加工では、ラッピングテープや加工塗粒等により、ア
ルミニウム基板のＮｉＰ層又はガラス基板表面に、中心
線平均粗さＲａが１〜１０ｎｍとなるような円周方向に
沿ったテキスチャを形成していた。Conventionally, in texturing with a wrapping tape or the like, the center line average roughness Ra is 1 to 10 nm on the NiP layer of the aluminum substrate or the surface of the glass substrate by the wrapping tape or processed coating particles. To form a texture.
【００６２】したがって、この磁気記録媒体では、中心
線平均粗さＲａが５ｎｍであることから、ラッピングテ
ープや加工砥粒等を摺動させるテキスチャ加工を施した
ディスク基板と同様な効果を有する凹凸パターンを形成
することができる。Therefore, in this magnetic recording medium, since the center line average roughness Ra is 5 nm, a concavo-convex pattern having the same effect as a textured disk substrate which slides a lapping tape or processing abrasive grains is used. Can be formed.
【００６３】また、この磁気ヘッドでは、ディスク基板
に形成された凹凸パターンの深さを、上述したガラス原
盤に塗布するフォトレジストの厚さを変化させることに
よって、自由に調節することができる。したがって、こ
の磁気記録媒体では、ガラス原盤に塗布するフォトレジ
ストの厚さを薄くすることによって、中心線平均粗さＲ
ａをさらに小さくした凹凸パターンを形成することがで
きる。In this magnetic head, the depth of the concavo-convex pattern formed on the disk substrate can be freely adjusted by changing the thickness of the photoresist applied to the above-mentioned glass master. Therefore, in this magnetic recording medium, the center line average roughness R is reduced by reducing the thickness of the photoresist applied to the glass master.
It is possible to form a concavo-convex pattern in which a is further reduced.
【００６４】ここで、さらに中心線平均粗さＲａの小さ
な凹凸パターンを有する磁気記録媒体を作製する場合に
ついて説明する。Here, a case of manufacturing a magnetic recording medium having a concavo-convex pattern with a small center line average roughness Ra will be described.
【００６５】この場合、上述したディスク基板製造用原
盤の作製方法では、表面を平滑に研磨した支持体である
ガラス原盤にフォトレジストを数ｎｍオーダでさらに薄
く均一に塗布する必要がある。In this case, in the above-described method for manufacturing a master for manufacturing a disk substrate, it is necessary to apply a photoresist on the glass master as a support whose surface has been polished smoothly, even thinner in the order of several nm.
【００６６】そこで、このような精密な加工を必要とせ
ず、ディスク基板製造用原盤に形成された凹凸パターン
の深さを浅くすることが可能なディスク基板製造用原盤
の製造方法について説明する。A method of manufacturing a master for manufacturing a disk substrate, which does not require such precise processing and can reduce the depth of the concavo-convex pattern formed on the master for manufacturing a disk substrate, will be described.
【００６７】先ず、ディスク基板製造用原盤となる厚さ
数ｍｍの金属円盤の表面を平滑となるように研磨し、そ
の表面にポジ型フォトレジストを、例えば５０ｎｍの厚
さに塗布する。First, the surface of a metal disk having a thickness of several mm as a master for manufacturing a disk substrate is polished so as to be smooth, and a positive photoresist is applied to the surface to a thickness of, for example, 50 nm.
【００６８】次に、例えば、半径１６〜４６ｍｍまでの
範囲において、直径０．４μｍに集光した一定強度のレ
ーザー光により０．８μｍピッチの螺旋状パターンを照
射していくことによりフォトレジストを露光して、凹凸
パターンを潜像としてフォトレジストに形成する。Next, the photoresist is exposed by irradiating a spiral pattern having a pitch of 0.8 μm with a laser beam of a constant intensity focused to a diameter of 0.4 μm in a range of a radius of 16 to 46 mm, for example. Then, an uneven pattern is formed on the photoresist as a latent image.
【００６９】次に、このフォトレジストに形成された潜
像を現像することによって、照射した部分のフォトレジ
ストを溶解し、フォトレジストに上述した凹凸パターン
を形成する。このとき、凹凸パターンの深さは５０ｎｍ
であり、凹凸パターンの凹部と凸部の線幅は、ともに
０．４μｍである。Next, by developing the latent image formed on the photoresist, the irradiated portion of the photoresist is dissolved, and the above-mentioned uneven pattern is formed on the photoresist. At this time, the depth of the uneven pattern is 50 nm.
And the line widths of the concave and convex portions of the concave and convex pattern are both 0.4 μm.
【００７０】次に、この凹凸パターンが形成されたフォ
トレジストをマスクとして、イオンビームエッチング等
のエッチング処理を行う。このとき、エッチング深さが
例えば１０ｎｍとなるように処理時間を調節する。これ
により、金属円盤のフォトレジストから露出していた部
分がエッチングが施されて、金属円盤の表面に情報記録
トラックのトラックピッチよりも短い周期で繰り返し現
れる深さ１０ｎｍの円周方向に沿った微細な凹凸パター
ンが形成される。Next, an etching process such as ion beam etching is performed using the photoresist on which the uneven pattern is formed as a mask. At this time, the processing time is adjusted so that the etching depth becomes, for example, 10 nm. As a result, the portion of the metal disk exposed from the photoresist is etched, and the fine portion along the circumferential direction with a depth of 10 nm that repeatedly appears on the surface of the metal disk at a period shorter than the track pitch of the information recording track. The uneven pattern is formed.
【００７１】次に、金属円盤からフォトレジストを除去
することにより、ディスク基板製造用原盤が作製され
る。Next, by removing the photoresist from the metal disk, a master for manufacturing a disk substrate is manufactured.
【００７２】この手法によれば、エッチングを施す際の
処理時間を変化させることによって、塗布したフォトレ
ジストの厚さに関係なく、ディスク基板製造用原盤に形
成される凹凸パターンの深さを自由に調節することがで
きる。さらに、エッチングの深さを１ｎｍオーダで調節
することができる。According to this method, the depth of the concavo-convex pattern formed on the disc substrate manufacturing master can be freely changed by changing the processing time when performing the etching, regardless of the thickness of the applied photoresist. Can be adjusted. Further, the etching depth can be adjusted on the order of 1 nm.
【００７３】したがって、ディスク基板製造用原盤に形
成される凹凸パターンの深さを浅くすることができ、こ
れを用いてディスク基板を作製することにより、極めて
中心線平均粗さＲａの小さな凹凸パターンを有する磁気
記録媒体を作製することができる。Therefore, the depth of the concavo-convex pattern formed on the disc substrate manufacturing master can be reduced, and by using this to produce a disc substrate, the concavo-convex pattern with extremely small center line average roughness Ra can be formed. Magnetic recording medium having the same can be manufactured.
【００７４】なお、金属円盤としては、セラミック、ガ
ラス、シリコン等、適度な硬さと平面性を保つことがで
きる材料を使用することができ、必ずしも金属材料に限
定されるものではない。As the metal disk, a material such as ceramic, glass, silicon or the like which can maintain appropriate hardness and flatness can be used, and is not necessarily limited to a metal material.
【００７５】また、ディスク基板製造用原盤を作製する
に際しては、上述したように一定強度のレーザー光によ
り一定深さの凹凸パターンを形成したが、レーザー光の
強度をホワイトノイズ等の任意の信号で変調して描画す
ることにより、円周方向に深さを変化させた凹凸パター
ンを形成することができる。この場合、変調信号のデュ
ーティを変化させることにより、よりきめ細かく中心線
平均粗さＲａを制御することができる。When a master for manufacturing a disc substrate is manufactured, a concavo-convex pattern having a constant depth is formed by a laser beam having a constant intensity as described above. However, the intensity of the laser beam is controlled by an arbitrary signal such as white noise. By performing modulation and drawing, a concavo-convex pattern whose depth is changed in the circumferential direction can be formed. In this case, the center line average roughness Ra can be controlled more finely by changing the duty of the modulation signal.
【００７６】さらに、ディスク基板製造用原盤を作製す
る方法としては、めっき法によってガラス原盤の平面性
を転写させた薄いニッケルめっき、又は研磨によって平
滑にした金属円盤を回転させながら、所望の中心線平均
粗さＲａとなるようなラッピングテープや砥粒等を摺動
させて、凹凸パターンを形成する方法が挙げられる。Further, as a method of manufacturing a master for manufacturing a disk substrate, a thin nickel plating in which the flatness of a glass master is transferred by a plating method, or a metal disk smoothed by polishing is rotated while a desired center line is rotated. A method of forming a concavo-convex pattern by sliding a lapping tape, abrasive grains, or the like having an average roughness Ra is exemplified.
【００７７】なお、本発明においては、上述した平坦と
されたディスク基板２１の表面に情報記録トラックのト
ラックピッチよりも短い周期で繰り返し現れる円周方向
に沿った凹凸パターン２６が形成された磁気記録媒体２
０に、必ずしも限定されるものではない。In the present invention, the magnetic recording is performed by forming a concavo-convex pattern 26 along the circumferential direction which appears repeatedly on the surface of the flat disk substrate 21 at a period shorter than the track pitch of the information recording tracks. Medium 2
It is not necessarily limited to zero.
【００７８】例えば、図６に示すように、情報記録トラ
ック間にガードバンドとなる溝が設けられた、いわゆる
ディスクリートトラック構造をもった磁気記録媒体３０
についても適用可能である。なお、図６中矢印Ｃで示す
部分の拡大図を図７に示す。For example, as shown in FIG. 6, a magnetic recording medium 30 having a so-called discrete track structure in which grooves serving as guard bands are provided between information recording tracks.
Is also applicable. FIG. 7 is an enlarged view of a portion indicated by an arrow C in FIG.
【００７９】この磁気記録媒体３０には、上述した磁気
記録媒体２０と同様に、ディスク基板３１上に、下地層
３２、磁性層３３、保護層３４及び潤滑層３５がこの順
で形成されている。そして、ディスク基板３１には、そ
の主面上に情報記録トラックとなる凸部３６と、ガード
バンドとなる凹部３７とが設けられている。また、磁気
記録媒体３０の表面には、情報記録トラックのトラック
ピッチよりも短い周期で繰り返し現れる円周方向に沿っ
た微細な凹凸パターン３８が形成されている。In the magnetic recording medium 30, a base layer 32, a magnetic layer 33, a protective layer 34, and a lubricating layer 35 are formed in this order on a disk substrate 31, similarly to the magnetic recording medium 20 described above. . On the main surface of the disk substrate 31, a convex portion 36 serving as an information recording track and a concave portion 37 serving as a guard band are provided. Further, on the surface of the magnetic recording medium 30, a fine concavo-convex pattern 38 is formed along the circumferential direction which appears repeatedly at a cycle shorter than the track pitch of the information recording tracks.
【００８０】このディスク基板３１に形成された凹凸パ
ターン３７は、ディスク基板製造用原盤に形成された凹
凸パターンが転写されることにより形成される。また、
ディスク基板製造用原盤には、情報記録トラック３６と
ガードバンドとなる溝３７に対応した凹凸パターンが形
成されている。The concave / convex pattern 37 formed on the disk substrate 31 is formed by transferring the concave / convex pattern formed on the master for producing a disk substrate. Also,
On the master for manufacturing a disc substrate, an uneven pattern corresponding to the information recording track 36 and the groove 37 serving as a guard band is formed.
【００８１】これにより、磁気記録媒体３０では、情報
記録トラックとなる凸部３６とガードバンドとなる凹部
３７に、この情報記録トラックのトラックピッチよりも
短い周期で繰り返し現れる円周方向に沿った凹凸パター
ン３８が形成されることとなる。As a result, in the magnetic recording medium 30, the protrusions 36 serving as information recording tracks and the recesses 37 serving as guard bands have irregularities along the circumferential direction which repeatedly appear at a shorter cycle than the track pitch of the information recording tracks. The pattern 38 is formed.
【００８２】[0082]
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば、ディスク基板製造用原盤に形成された凹凸パター
ンがディスク基板に転写されているので、ディスク基板
に凹凸パターンを形成するのに、ディスク基板表面にラ
ッピングテープや砥粒等を摺動させる、いわゆるテキス
チャ加工を施す必要がなく、このテキスチャ加工に伴う
ディスク基板表面に付着物等が発生するといった問題も
生じない。As described in detail above, according to the present invention, since the concave / convex pattern formed on the master for producing a disk substrate is transferred to the disk substrate, it is possible to form the concave / convex pattern on the disk substrate. In addition, there is no need to perform so-called texturing, in which a lapping tape or abrasive grains are slid on the surface of the disk substrate, and there is no problem that deposits or the like are generated on the disk substrate surface due to the texturing.
【００８３】また、本発明によれば、ディスク基板を作
製すると同時に凹凸パターンが形成され、ディスク基板
製造用原盤に形成された凹凸パターンがディスク基板表
面に正確に転写されることから、ばらつきの少ない高精
度の凹凸パターンを形成することができる。Further, according to the present invention, a concave / convex pattern is formed at the same time when the disk substrate is manufactured, and the concave / convex pattern formed on the disk substrate manufacturing master is accurately transferred to the disk substrate surface. A highly accurate concavo-convex pattern can be formed.
【００８４】したがって、本発明によれば、ディスク基
板の洗浄及び乾燥といった後処理を行う必要がなく、製
造工程を簡略化することができ、生産性を大幅に向上さ
せることができる。また、ばらつきの発生が少ない極め
て高品質な磁気記録媒体、そのような磁気記録媒体とな
るディスク基板、並びにそのようなディスク基板を製造
することが可能なディスク基板製造用原盤を提供するこ
とができる。Therefore, according to the present invention, it is not necessary to perform post-processing such as cleaning and drying of the disk substrate, and the manufacturing process can be simplified, and the productivity can be greatly improved. Further, it is possible to provide an extremely high-quality magnetic recording medium with little variation, a disk substrate serving as such a magnetic recording medium, and a disk substrate manufacturing master capable of manufacturing such a disk substrate. .
【００８５】また、本発明によれば、情報記録トラック
のトラックピッチよりも短い周期で繰り返し現れる円周
方向に沿った凹凸パターンがディスク基板に形成されて
いることから、このディスク基板上に形成される磁性層
の磁気異方性を円周方向に揃えることができる。したが
って、本発明によれば、磁気層の保磁力を向上させるこ
とができ、磁気記録媒体の磁気特性を向上させることが
できる。Further, according to the present invention, since a concave / convex pattern along the circumferential direction which repeatedly appears at a cycle shorter than the track pitch of the information recording track is formed on the disk substrate, the pattern is formed on the disk substrate. The magnetic anisotropy of the magnetic layer can be made uniform in the circumferential direction. Therefore, according to the present invention, the coercive force of the magnetic layer can be improved, and the magnetic characteristics of the magnetic recording medium can be improved.
【図１】本発明を適用したディスク基板の一構成例を示
す図である。FIG. 1 is a diagram showing a configuration example of a disk substrate to which the present invention is applied.
【図２】図１に示すディスク基板のＡ−Ａ断面の要部を
拡大して示す図である。FIG. 2 is an enlarged view showing a main part of an AA cross section of the disk substrate shown in FIG. 1;
【図３】本発明を適用した磁気記録媒体の一構成例を示
す図である。FIG. 3 is a diagram showing a configuration example of a magnetic recording medium to which the present invention is applied.
【図４】図３中、円Ｂで示す部分の拡大図である。FIG. 4 is an enlarged view of a portion indicated by a circle B in FIG.
【図５】磁気記録媒体の製造工程を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing a manufacturing process of the magnetic recording medium.
【図６】本発明を適用した磁気記録媒体の他の構成例を
示す図である。FIG. 6 is a diagram showing another configuration example of a magnetic recording medium to which the present invention is applied.
【図７】図６中、円Ｃで示す部分の拡大図である。FIG. 7 is an enlarged view of a portion indicated by a circle C in FIG.
１ ディスク基板、３ 凹凸パターン、２０ 磁気記録
媒体、２１ ディスク基板、２３ 磁性層、２６ 凹凸
パターン３０ 他の磁気記録媒体、３３ 保護層、３６
情報記録トラックとなる凸部、３７ ガードバンドと
なる凹部、３８凹凸パターンReference Signs List 1 disk substrate, 3 concave / convex pattern, 20 magnetic recording medium, 21 disk substrate, 23 magnetic layer, 26 concave / convex pattern 30 other magnetic recording medium, 33 protective layer, 36
Convex part to be information recording track, concave part to be 37 guard band, 38 concave and convex pattern
Claims (8)
れたディスク基板上に少なくとも記録層が形成され、ヘ
ッドが記録面上を浮上しながら情報信号の記録及び／又
は再生がなされる磁気記録媒体であって、 上記ディスク基板には、上記ディスク基板製造用原盤に
形成された凹凸パターンが転写されることにより、情報
記録トラックのトラックピッチよりも短い周期で繰り返
し現れる円周方向に沿った凹凸パターンが形成されてい
ることを特徴とする磁気記録媒体。1. A magnetic recording medium in which at least a recording layer is formed on a disk substrate manufactured using a disk substrate manufacturing master, and a recording and / or reproduction of an information signal is performed while a head floats on a recording surface. The uneven pattern formed along the circumferential direction, which is repeated at a shorter cycle than the track pitch of the information recording track by transferring the uneven pattern formed on the master for manufacturing the disk substrate onto the disk substrate. A magnetic recording medium characterized by having a surface formed thereon.
の浮上量の半分以下であることを特徴とする請求項１記
載の磁気記録媒体。2. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the depth of the concave / convex pattern is equal to or less than half the flying height of the head.
号の記録及び／又は再生がなされる磁気記録媒体用のデ
ィスク基板であって、 ディスク基板製造用原盤を用いて作製されてなり、 上記ディスク基板製造用原盤に形成された凹凸パターン
が転写されることにより、情報記録トラックのトラック
ピッチよりも短い周期で繰り返し現れる円周方向に沿っ
た凹凸パターンが形成されていることを特徴とするディ
スク基板。3. A disk substrate for a magnetic recording medium in which recording and / or reproduction of an information signal is performed while a head flies above a recording surface, wherein the disk substrate is manufactured using a disk substrate manufacturing master. A disc characterized by forming a concavo-convex pattern along a circumferential direction that repeatedly appears at a cycle shorter than the track pitch of an information recording track by transferring a concavo-convex pattern formed on a disc substrate manufacturing master. substrate.
の浮上量の半分以下であることを特徴とする請求項３記
載のディスク基板。4. The disk substrate according to claim 3, wherein the depth of the concave / convex pattern is equal to or less than half the flying height of the head.
号の記録及び／又は再生がなされる磁気記録媒体用のデ
ィスク基板を作製する際に用いられるディスク基板製造
用原盤であって、 上記ディスク基板に形成される情報記録トラックのトラ
ックピッチよりも短い周期で繰り返し現れる円周方向に
沿った凹凸に対応した凹凸パターンが形成されているこ
とを特徴とするディスク基板製造用原盤。5. A master for manufacturing a disk substrate used for manufacturing a disk substrate for a magnetic recording medium on which information signals are recorded and / or reproduced while a head flies above a recording surface. An original master for manufacturing a disk substrate, wherein an uneven pattern corresponding to unevenness along a circumferential direction repeatedly appearing at a cycle shorter than a track pitch of an information recording track formed on a substrate is formed.
の浮上量の半分以下であることを特徴とする請求項５記
載のディスク基板製造用原盤。6. The master for manufacturing a disk substrate according to claim 5, wherein the depth of the concave-convex pattern is not more than half of the flying height of the head.
び現像することにより当該レジストに形成した凹凸パタ
ーンを転写したものであることを特徴とする請求項５記
載のディスク基板製造用原盤。7. The master for manufacturing a disk substrate according to claim 5, wherein the concave / convex pattern is obtained by transferring a concave / convex pattern formed on the resist by exposing and developing the resist.
用原盤となる部材をエッチングすることにより形成され
たものであることを特徴とする請求項５記載のディスク
基板製造用原盤。8. The master for manufacturing a disk substrate according to claim 5, wherein the concave / convex pattern is formed by etching a member serving as a master for manufacturing a disk substrate.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11096520A JP2000293842A (en) | 1999-04-02 | 1999-04-02 | Magnetic recording medium, disk substrate and master disk for disk substrate production |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11096520A JP2000293842A (en) | 1999-04-02 | 1999-04-02 | Magnetic recording medium, disk substrate and master disk for disk substrate production |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000293842A true JP2000293842A (en) | 2000-10-20 |
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ID=14167427
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP11096520A Withdrawn JP2000293842A (en) | 1999-04-02 | 1999-04-02 | Magnetic recording medium, disk substrate and master disk for disk substrate production |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000293842A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7138193B2 (en) * | 2001-07-04 | 2006-11-21 | Commissariat A L'energie Atomique | Data storage medium with laterally magnetized pad and method for making same |
| JP2007012117A (en) * | 2005-06-28 | 2007-01-18 | Toshiba Corp | Magnetic recording medium, substrate for magnetic recording medium and magnetic recording apparatus |
| JP2007035164A (en) * | 2005-07-27 | 2007-02-08 | Toshiba Corp | Uneven pattern substrate, its manufacturing method, magnetic recording medium, and magnetic recording device |
| US7682713B2 (en) | 2005-02-01 | 2010-03-23 | Tdk Corporation | Magnetic recording medium with recording layer having a predetermined concavo-convex pattern and magnetic recording and reproducing apparatus |
-
1999
- 1999-04-02 JP JP11096520A patent/JP2000293842A/en not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7138193B2 (en) * | 2001-07-04 | 2006-11-21 | Commissariat A L'energie Atomique | Data storage medium with laterally magnetized pad and method for making same |
| US7767255B2 (en) | 2001-07-04 | 2010-08-03 | Commissariat A L'energie Atomique | Information storage medium with laterally magnetised dot array, and process for producing said medium |
| US7682713B2 (en) | 2005-02-01 | 2010-03-23 | Tdk Corporation | Magnetic recording medium with recording layer having a predetermined concavo-convex pattern and magnetic recording and reproducing apparatus |
| JP2007012117A (en) * | 2005-06-28 | 2007-01-18 | Toshiba Corp | Magnetic recording medium, substrate for magnetic recording medium and magnetic recording apparatus |
| JP2007035164A (en) * | 2005-07-27 | 2007-02-08 | Toshiba Corp | Uneven pattern substrate, its manufacturing method, magnetic recording medium, and magnetic recording device |
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