JP2633021B2 - Method of manufacturing roll mold for optical recording medium - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は光記録媒体の製造方法に関し、詳しくは光記
録媒体の透明基板に凹凸パターンを形成するロール形状
の型またはスタンパーの製造方法に関する。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing an optical recording medium, and more particularly, to a method for manufacturing a roll-shaped mold or stamper for forming an uneven pattern on a transparent substrate of an optical recording medium.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

従来、各種情報の記録には、磁気テープ、磁気ディス
ク等の磁気材料、各種半導体メモリー等が主として用い
られてきた。この様な磁気メモリー、半導体メモリーは
情報の書き込みおよび読みだしが容易に行なえるという
利点はあるが、反面、情報の内容を容易に変更したり、
また高密度記録ができないという問題点があった。かか
る問題点を解決するために、多種多様の情報を効率良く
取り扱う手段として、光記録媒体による光学的情報記録
方法が提案され、そのための光学的情報記録担体、記録
再生方法、記録再生装置が提案されている。Conventionally, magnetic materials such as magnetic tapes and magnetic disks, various semiconductor memories, and the like have been mainly used for recording various information. Such magnetic and semiconductor memories have the advantage that information can be easily written and read, but on the other hand, the contents of information can be easily changed,
There is also a problem that high-density recording cannot be performed. In order to solve such a problem, an optical information recording method using an optical recording medium has been proposed as a means for efficiently handling a wide variety of information, and an optical information recording carrier, a recording / reproducing method, and a recording / reproducing apparatus have been proposed. Have been.

かかる情報記録担体としての光記録媒体は、一般にレ
ーザー光を用いて情報記録担体上の光記録層の一部を揮
散させるか、反射率の変化を生じさせるか、あるいは変
形を生じさせて、光学的な反射率や透過率の差によって
情報を記録し、あるいは再生を行なっている。この場
合、光記録層は情報を書き込み後、現像処理などの必要
がなく、「書いた後に直読する」ことのできる、いわゆ
るDRAW（ダイレクト リード アフター ライト）タイ
プの媒体であり、高密度記録が可能であり、また追加書
き込みも可能であることから、情報の記録・保存媒体と
して有効である。Such an optical recording medium as an information recording carrier is generally used to volatilize a part of the optical recording layer on the information recording carrier using a laser beam, to cause a change in reflectance, or to cause a deformation, Information is recorded or reproduced according to a typical difference in reflectance and transmittance. In this case, the optical recording layer is a so-called DRAW (Direct Read After Write) type medium that does not require any development processing after writing information, and can be read directly after writing, enabling high-density recording. In addition, since additional writing is possible, it is effective as a recording and storage medium for information.

第５図は、従来の光記録媒体の模式的断面図である。
同第５図において、41は透明基板、42はトラック溝部、
43は光記録層、44はスペーサー・接着層、45は保護基板
である。第５図において、情報の記録・再生は透明基板
41およびトラック溝部42を通して光学的に書き込みと読
みだしを行なう。この際、トラック溝部の微細な凹凸を
利用してレーザー光の位相差によりトラッキングを行な
える様にしてある。FIG. 5 is a schematic sectional view of a conventional optical recording medium.
In FIG. 5, 41 is a transparent substrate, 42 is a track groove,
43 is an optical recording layer, 44 is a spacer / adhesion layer, and 45 is a protective substrate. In FIG. 5, recording / reproduction of information is performed on a transparent substrate.
Writing and reading are performed optically through 41 and the track groove 42. At this time, the tracking can be performed by the phase difference of the laser beam by utilizing the minute unevenness of the track groove.

〔発明が解決しようとしている問題点〕[Problems to be solved by the invention]

上記した様に、従来のビデオディスク、オーディオデ
ィスクなどの光記録媒体では、一般にあらかじめ凹凸形
状を形成されたスタンパーを用いて、プレス法、射出成
型法または紫外線硬化樹脂法を用いて透明基板にスタン
パーの凹凸形状を転写している。上記の方法は一般に枚
葉工程であるが、例えば、特開昭56-87203,特開昭56-86
721などのように、第６図に示すようにロール形状のス
タンパーまたは金型52を用いて透明樹脂シート51に凹凸
パターンを連続で形成する方法も広く用いられている。
上記先行技術では第２図に示すように、ロール11にスタ
ンパー12を接着剤や両面テープで接合するか、あるいは
ネジ止めによって固定している。このスタンパー12はロ
ール11に固定する方法では、真円度を得るためにはロー
ルの表面が鏡面に研磨されていても接着剤や両面テープ
の厚さムラを厳しく管理しなければならず、また空気を
巻き込まないように接合技術を要するという問題点があ
る。またスタンパーとロールを接合することなく、ネジ
などで固定するときも、空気を追い出しながら密着させ
るのが困難である。この両方とも、スタンパーとロール
の間に空気が入ると、スタンパーの表面に凹凸を生じ、
その凹凸が樹脂に転写して光記録媒体の基板の品質を低
下させてしまう。As described above, in a conventional optical recording medium such as a video disk and an audio disk, a stamper generally having a concave and convex shape is formed in advance, and the stamper is formed on a transparent substrate using a pressing method, an injection molding method, or an ultraviolet curing resin method. Is transferred. The above method is generally a single wafer process, for example, JP-A-56-87203, JP-A-56-86
As shown in FIG. 6, a method of continuously forming a concavo-convex pattern on the transparent resin sheet 51 using a roll-shaped stamper or a mold 52 as shown in FIG. 6 is widely used.
In the prior art, as shown in FIG. 2, a stamper 12 is bonded to a roll 11 with an adhesive or a double-sided tape, or is fixed by a screw. In the method of fixing the stamper 12 to the roll 11, in order to obtain roundness, even if the roll surface is polished to a mirror surface, the thickness unevenness of the adhesive or the double-sided tape must be strictly controlled, and There is a problem that a joining technique is required so that air is not involved. Also, even when the stamper and the roll are fixed with screws without joining, it is difficult to keep the stamper and the roll in close contact with each other. In both cases, if air enters between the stamper and the roll, the surface of the stamper will be uneven,
The irregularities are transferred to the resin and deteriorate the quality of the substrate of the optical recording medium.

空気が入らなくても、スタンパーとロールの密着が悪
いと熱伝導度にムラが生じて微細なパターンが精度良く
転写されなかったり、成型する樹脂によっては複屈折を
生じたりするという問題点がある。その上、スタンパー
が薄いと強度が不足するため、耐久性が悪くなってしま
い、その反対にスタンパーが厚いと剛性が高くなって、
ロールに巻き付けるのが難しくなるだけでなく、熱伝導
度も低下してしまうという問題点もある。印刷機械入門
および感光性樹脂（印刷学会出版部）には、第３図,4図
に示すような一般的な製版の技術が記載されている。第
３図ではあらかじめパターンの形成されているマスク22
の上をロール21を転がしながら電子線または電磁波を照
射してマスクのパターンをロールに転写している。また
第４図の方法では感光樹脂などを塗ったロール31を軸を
中心に回転させながら光ビーム32を一方向スキャンさせ
てパターンを直接描画している。しかしながら光記録媒
体のパターンはサブミクロと微細であるために、第３図
の方法ではサブミクロンのパターンの線幅を転写するの
は、光学的な分解能から現在ではまだ不可能である。ま
た第４図の方法ではロールとビームを連動させながらス
パイラルパターンをサブミクロンの精度で位置を正確に
出して描画しなければならず、この両者の機械的な制御
が困難である。またロールの軸受けやロール表面の平面
度も精度が要求されるために、ロールの加工も困難にな
っている。このように一般的な製版技術の応用では光記
録媒体用のロール型を製作するのは困難であった。Even if air does not enter, there is a problem that if the adhesion between the stamper and the roll is poor, the thermal conductivity will be uneven, and a fine pattern will not be accurately transferred, or birefringence will occur depending on the resin to be molded. . In addition, if the stamper is thin, the strength will be insufficient, and the durability will be poor. Conversely, if the stamper is thick, the rigidity will be high,
Not only is it difficult to wind around a roll, but also the thermal conductivity is reduced. An introduction to a printing machine and a photosensitive resin (publishing department of the Printing Society) describe a general plate making technique as shown in FIGS. FIG. 3 shows a mask 22 on which a pattern is formed in advance.
The pattern of the mask is transferred to the roll by irradiating an electron beam or an electromagnetic wave while rolling the roll 21 on the roll. In the method shown in FIG. 4, the pattern is directly drawn by scanning the light beam 32 in one direction while rotating the roll 31 coated with a photosensitive resin or the like about the axis. However, since the pattern of the optical recording medium is sub-micro and fine, it is not possible at present at present to transfer the line width of the sub-micron pattern in the method of FIG. 3 due to the optical resolution. In addition, in the method shown in FIG. 4, the spiral pattern must be accurately drawn with submicron accuracy while drawing the spiral pattern in conjunction with the beam, and it is difficult to mechanically control both of them. In addition, since the accuracy of the flatness of the roll bearing and the roll surface is also required, it is difficult to process the roll. As described above, it is difficult to produce a roll mold for an optical recording medium by applying a general plate making technique.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving the problem]

すなわち、本発明は、表面に形成された凹凸パターン
を樹脂シートに転写することによって光記録媒体の基板
を製造するためのロール型の製造法において、あらかじ
め凹凸パターンが形成された原版またはスタンパーの上
を、少なくとも表面部が樹脂で形成されたロールを転が
すことによって、該原版またはスタンパーの凹凸パター
ンをロール表面に転写し、その後前記樹脂を硬化させる
ことによってロール型を製造することを特徴とする光記
録媒体用ロール型の製造法である。That is, the present invention relates to a method of manufacturing a roll type for manufacturing a substrate of an optical recording medium by transferring an uneven pattern formed on a surface to a resin sheet, the method comprising: Producing a roll mold by transferring a concave / convex pattern of the original plate or stamper to a roll surface by rolling a roll having at least a surface portion formed of a resin, and thereafter curing the resin. This is a method for producing a roll type for a recording medium.

以下、本発明を詳細に説明する。 Hereinafter, the present invention will be described in detail.

第１図は本発明に光記録媒体用のロール型の製造方法
の一実施態様を示す断面図である。同第１図において、
本発明の光記録媒体のロール型の製造方法は、ローラー
１の表面に樹脂２が均一な厚さで形成されている。この
ロール１を凹凸パターン３からあらかじめ形成されたス
タンパーまたは原版４の上を転がして、樹脂層２に凹凸
パターン４を転写する。FIG. 1 is a sectional view showing one embodiment of a method of manufacturing a roll mold for an optical recording medium according to the present invention. In FIG.
In the method of manufacturing a roll type optical recording medium of the present invention, the resin 2 is formed on the surface of the roller 1 with a uniform thickness. The roll 1 is rolled on a stamper or original plate 4 previously formed from the uneven pattern 3 to transfer the uneven pattern 4 to the resin layer 2.

本発明におけるローラー１は、硬度がある程度高く、
ある程度の剛性のある材料であれば、どのような材料で
も用いることができるが、例えば、鉄、クロム鋼などの
金属や金属化合物および硬質塩化ビニルなどの樹脂など
が好ましい。ローラー表面は鏡面に研磨し、面精度は成
型する光記録媒体の面精度と、ほぼ同じかまたはそれよ
りも良い面精度が必要である。また必要に応じて表面に
窒化チタンなどの硬化膜、シリコンなどの保護層を形成
することもできるし、ニッケルやクロムなどのメッキを
施すことも可能である。The roller 1 in the present invention has a somewhat high hardness,
Any material can be used as long as it has a certain degree of rigidity. For example, metals such as iron and chromium steel, metal compounds, and resins such as hard vinyl chloride are preferable. The roller surface is polished to a mirror surface, and the surface accuracy needs to be approximately the same as or better than the surface accuracy of the optical recording medium to be molded. If necessary, a cured film of titanium nitride or the like, a protective layer of silicon or the like can be formed on the surface, and plating of nickel or chromium can be performed.

ロール１の表面に形成する樹脂層２の材料は均一な厚
さに形成でき、微細なパターンを精度良く転写できて、
かつその微細なパターンを形成した後にそのパターンを
維持できるように加工できる材料であれば、いずれの材
料でも用いることができるが、例えばアクリル系樹脂な
どの紫外線硬化性樹脂やエポキシ系樹脂などの熱硬化性
樹脂などが好ましい。樹脂層の形成は一般に樹脂のコー
ティングに用いられている方法であればいずれの方法で
も用いることができるが、例えば、ディッピング、ロー
ルコーターなどによる溶剤塗布による方法が厚み精度良
く形成でき好ましい。The material of the resin layer 2 formed on the surface of the roll 1 can be formed to have a uniform thickness, and a fine pattern can be accurately transferred.
Any material that can be processed so that the pattern can be maintained after the formation of the fine pattern can be used, but, for example, a UV curable resin such as an acrylic resin or a thermosetting resin such as an epoxy resin can be used. Curable resins and the like are preferred. The resin layer can be formed by any method as long as it is generally used for coating a resin. For example, a method of dipping, coating with a solvent using a roll coater, or the like is preferable because it can be formed with high thickness accuracy.

スタンパーまたは原版４は、一般にCD（コンパクトデ
ィスク）などに用いられている製法で作製することがで
きる。具体的には、ガラス原盤にレジストを塗布し、パ
ターンを露光、現像してから、ニッケルをスパッターで
成膜して、電鋳して所定の厚さまでニッケルを析出させ
る。こうして得られた第二原盤をファーザーとして、第
三原盤（マザー）および孫スタンパーを作成しても良
い。その他には、原版を製作する方法を用いることもで
きる。具体的にはクロムなどの金属層を形成してあるガ
ラス板にレジストを塗布して、パターンを露光、現像し
てから金属層をエッチングなどによって一部除去して凹
凸パターンを形成する。この原版から露光によって上記
スタンパーを形成しても良い。原版、スタンパーの厚さ
は、本発明ではスタンパーまたは原版４の上をロール１
を転がすのである程度の剛性がある方が望ましい。用い
られる範囲としては100μｍ以上であれば良く、より好
ましい厚さは400〜5000μｍである。The stamper or the master 4 can be manufactured by a manufacturing method generally used for a CD (compact disk) or the like. Specifically, a resist is applied to the glass master, and the pattern is exposed and developed, and then nickel is deposited by sputtering, and electroformed to deposit nickel to a predetermined thickness. The second master thus obtained may be used as a father to create a third master (mother) and a grandchild stamper. Alternatively, a method for producing an original plate can be used. Specifically, a resist is applied to a glass plate having a metal layer such as chromium formed thereon, the pattern is exposed and developed, and then the metal layer is partially removed by etching or the like to form an uneven pattern. The stamper may be formed from this original plate by exposure. In the present invention, the thickness of the original and the stamper is determined by the roll 1 on the stamper or the original 4.
Therefore, it is desirable to have a certain degree of rigidity. The range to be used should just be 100 micrometers or more, and more preferable thickness is 400-5000 micrometers.

原版またはスタンパー４の上に樹脂層２を形成したロ
ール１は回転させて凹凸パターン３をロール上に転写す
る。ロール１上に形成する樹脂層２の厚さは用いる樹脂
によって、適宜選択するのが好ましく、概ね0.01〜500
μｍの範囲である。また必要に応じてレベリング、予備
硬化の工程を加えても良い。The roll 1 having the resin layer 2 formed on the original plate or stamper 4 is rotated to transfer the concavo-convex pattern 3 onto the roll. The thickness of the resin layer 2 formed on the roll 1 is preferably appropriately selected depending on the resin used, and is generally in the range of 0.01 to 500.
It is in the range of μm. If necessary, leveling and pre-curing steps may be added.

ロール１とスタンパーまたは原版４の接触圧力は凹凸
パターンが精度良く転写できる圧力であれば、いずれの
圧力でも用いることができるが、好ましくは0.01〜10.0
kg/cm²である。ロール１はスタンパーまたは原版４の上
を空気が入らない速度で回転させ、空気を押し出すのに
はできるだけ遅い速度で回転させるのが良い。樹脂層２
の粘度が高くて空気が入り易い場合には、粘度の高い樹
脂の上に粘度の低い樹脂層を重ねて形成することによっ
て空気の押し出しを容易にすることも出来る。第１図に
示すように凹凸パターンが樹脂層２に形成された後凹凸
パターンを維持できるように樹脂層２を硬化させる。樹
脂層２の樹脂が紫外線硬化樹脂であれば光源５は紫外線
ランプを用い、樹脂層２の樹脂が熱硬化性樹脂であれば
熱線発生機５を用いる。光源または熱線照射装置５の位
置は必要に応じてどの位置でも用いることができるが、
ロール１の内側から照射しても、（５）、スタンパーま
たは原版の側から照射しても（５′）、凹凸パターンが
形成されてからスタンパーまたは原版から離れた位置で
照射されても（５″）良い。また樹脂層２に用いる樹脂
が硬化時間が長い場合には後硬化の工程を加えても良
い。The contact pressure between the roll 1 and the stamper or the original plate 4 may be any pressure as long as the pressure can transfer the concave-convex pattern with high accuracy, but is preferably 0.01 to 10.0.
kg / cm ² . The roll 1 is preferably rotated at a speed at which air does not enter the stamper or the master 4, and is preferably rotated at a speed as low as possible to push out the air. Resin layer 2
When the viscosity is high and air can easily enter, the extrusion of air can be facilitated by forming a low-viscosity resin layer on a high-viscosity resin. After the uneven pattern is formed on the resin layer 2 as shown in FIG. 1, the resin layer 2 is cured so that the uneven pattern can be maintained. If the resin of the resin layer 2 is an ultraviolet curable resin, an ultraviolet lamp is used as the light source 5, and if the resin of the resin layer 2 is a thermosetting resin, the heat ray generator 5 is used. The position of the light source or the heat ray irradiation device 5 can be used at any position as needed,
Irradiation from the inside of the roll 1, (5), irradiation from the side of the stamper or the original (5 '), irradiation at a position away from the stamper or the original after the uneven pattern is formed (5) If the resin used for the resin layer 2 has a long curing time, a post-curing step may be added.

〔作用〕[Action]

本発明の光記録媒体の製造用ロール型の製法は、該原
版またはスタンパーの凹凸パターンをロール表面に精度
良く、簡単な機構で転写した光記録媒体の製造用ロール
型を提供するものである。The method for producing a roll mold for producing an optical recording medium of the present invention provides a roll mold for producing an optical recording medium in which the concave / convex pattern of the original plate or the stamper is accurately transferred onto the roll surface by a simple mechanism.

〔実施例〕〔Example〕

以下、実施例を示し、本発明をさらに具体的に説明す
る。Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to Examples.

〔実施例１〕 第１図に示す様に、ロール径200mmφの鉄製ロールを
表面を研磨して鏡面にした上に、紫外線硬化樹脂（三菱
レイヨン製、MRA500）をロールコーターで50μｍの厚さ
に均一に塗布した。そのロールを、1.6μｍピッチ、0.6
μｍ幅、深さ700Åの連続溝が形成されたニッケル製ス
タンパー（セイコーエプソン製）を2mm厚のガラス板に
貼り合せて裏打ちした上を、1.0kg/cm²の圧力を加えて
0.1m/分の速度で回転させることによりスタンパーの凹
凸パターンを転写した。第１図５″の位置に3kWの紫外
線ランプ（ウシオ電気製）を２本設置して転写した凹凸
パターンが形状変化を起こさないうちに紫外線硬化樹脂
を硬化させた。その後で凹凸パターンが形成されたロー
ラーを回転しながら、5kWの紫外線ランプを用いて紫外
線を照射して紫外線硬化樹脂を完全に硬化させた。表面
硬度を上げるために、ローラーの表面に100μｍの厚さ
のニッケル層を無電解メッキで形成した。スタンパーに
形成されていたプリフォーマットパターンの転写率は、
深さで97％以上、転写率のバラツキはローラー全面で±
５％以下であった。ローラーの表面の凹凸はｐ−ｐで50
μｍ以下で十分小さく、またローラー断面の真円度およ
び偏芯は十分小さかった。Example 1 As shown in FIG. 1, an iron roll having a roll diameter of 200 mmφ was polished to a mirror surface, and then an ultraviolet curable resin (MRA500, manufactured by Mitsubishi Rayon Co., Ltd.) was rolled to a thickness of 50 μm using a roll coater. It was applied uniformly. Roll the roll, 1.6μm pitch, 0.6
A nickel stamper (manufactured by Seiko Epson) with a continuous groove of μm width and depth of 700 mm was bonded to a glass plate of 2 mm thickness and backed, and a pressure of 1.0 kg / cm ² was applied.
By rotating at a speed of 0.1 m / min, the concavo-convex pattern of the stamper was transferred. Two 3 kW ultraviolet lamps (made by Ushio Electric Co., Ltd.) were installed at the position shown in FIG. 5 ″, and the ultraviolet-curable resin was cured before the transferred uneven pattern did not change its shape. Thereafter, the uneven pattern was formed. The UV curable resin was completely cured by irradiating UV rays using a 5kW UV lamp while rotating the roller, and a 100μm thick nickel layer was electrolessly applied on the roller surface to increase the surface hardness. The transfer rate of the preformat pattern formed on the stamper is
97% or more in depth, and variation in transfer rate is ±
It was less than 5%. Roller surface unevenness is 50 pp
It was sufficiently small below μm, and the roundness and eccentricity of the roller cross section were sufficiently small.

このロールを押し出し成型機（日立造船製、SHT90-32
DVG）に取り付けて、2.3m/分の速度で、ダイ温度250
℃、ローラー温度60℃の条件で、ポリカーボネート（帝
人化成製、K-1285）を1.2mm厚さに押し出した。このロ
ーラーで１万枚の光ディスクを成型してもローラー表面
の形状に変化がなかった。押し出した基板を測定してみ
たところ、面振れ量はｐ−ｐで50μｍで十分小さかっ
た。この基板を86mmφに切断して、下記構造式〔Ｉ〕で
示される、光記録層材料を溶剤塗布した。This roll is extruded by a molding machine (Hitachi Zosen, SHT90-32
DVG) at a speed of 2.3m / min and a die temperature of 250
Polycarbonate (manufactured by Teijin Chemicals, K-1285) was extruded to a thickness of 1.2 mm under the conditions of ° C and a roller temperature of 60 ° C. Even if 10,000 optical disks were molded with this roller, the shape of the roller surface did not change. When the extruded substrate was measured, the amount of surface deflection was 50 μm in pp, which was sufficiently small. This substrate was cut into 86 mmφ, and an optical recording layer material represented by the following structural formula [I] was applied with a solvent.

保護基板には0.3mm厚のポリカーボネート（帝人化成
製、パンライト251）を86mmφに切断して、0.3mmのエア
ーギャップを設けて接着した。得られた光記録媒体に記
録・再生してみたところ、ディスクの回転数1800rpm、
書き込み周波数3MHz、書き込みパワー6mW、読み出しパ
ワー0.5mWで、C/N比50dBであった。 A 0.3 mm thick polycarbonate (manufactured by Teijin Chemicals Ltd., Panlite 251) was cut into 86 mmφ on the protective substrate, and a 0.3 mm air gap was provided and bonded. When recording and reproducing on the obtained optical recording medium, the disk rotation speed was 1800 rpm,
The write frequency was 3 MHz, the write power was 6 mW, the read power was 0.5 mW, and the C / N ratio was 50 dB.

〔実施例２〕 実施例１と同じ方法で、鏡面研磨したロール径200mm
φの鉄製ロールに、実施例１と同じ紫外線硬化樹脂を、
50μｍの厚さに均一に塗布して、実施例１と同じような
凹凸パターンの形成されたガラス基板（旭ガラス製）の
上を回転させ、ローラー表面の紫外線硬化樹脂にガラス
基板の凹凸パターンを転写した。第１図５′の位置に実
施例１と同じ紫外線ランプを置いて照射した。その後第
１図５″の位置に実施例１と同じ紫外線ランプを置いて
後硬化させて、紫外線硬化樹脂を完全に硬化させた。深
さで、ガラス基板の凹凸パターンの98％が転写でき、ロ
ーラーの表面の凹凸はｐ−ｐで50μｍ以下と十分小さ
く、またローラーの真円度および偏芯は十分小さかっ
た。実施例１と同じ方法で一万枚の光ディスク基板を成
型しても表面形状の変化は認められず、成型した基板の
特性は面振れ量がｐ−ｐで50μｍ以下と十分小さかっ
た。この光ディスク基板を実施例１と同様に光記録層を
形成して記録・再生を行なったところC/N比52dBであっ
た。[Example 2] In the same manner as in Example 1, a mirror-polished roll diameter of 200 mm
On the iron roll of φ, the same ultraviolet curable resin as in Example 1 was used.
It is applied uniformly to a thickness of 50 μm, and is rotated on a glass substrate (made by Asahi Glass) on which a concavo-convex pattern similar to that of Example 1 is formed. Transcribed. The same ultraviolet lamp as in Example 1 was placed at the position shown in FIG. Thereafter, the same ultraviolet lamp as in Example 1 was placed at the position shown in FIG. 5 "and post-cured to completely cure the ultraviolet-curable resin. 98% of the concavo-convex pattern of the glass substrate could be transferred at a depth. The irregularities on the surface of the roller were sufficiently small as 50 μm or less in terms of pp, and the roundness and eccentricity of the roller were sufficiently small, even if 10,000 optical disk substrates were molded in the same manner as in Example 1. No change was observed, and the characteristics of the molded substrate were sufficiently small that the surface runout was 50 μm or less in pp. The optical recording layer was formed on this optical disk substrate in the same manner as in Example 1 to perform recording / reproduction. As a result, the C / N ratio was 52 dB.

〔実施例３〕 表面が鏡面に研磨されたロール径200mmφの鉄製ロー
ル（コーニング製）に、実施例１と同じ紫外線硬化樹脂
を、実施例１と同じ方法で50μｍの厚さに均一に塗布し
て、実施例１と同じスタンパーの上を回転させてローラ
ー表面の紫外線硬化樹脂にスタンパーの凹凸パターンを
転写した。第１図５の位置に実施例１と同じ紫外線ラン
プを置いて、ロール内部から紫外線を照射した。その後
実施例２と同様に第１図５″の位置に実施例１と同じ紫
外線ランプを置いて後硬化させて、紫外線硬化樹脂を完
全に硬化させた。得られたローラーを調べてみると、ス
タンパーの凹凸パターンの転写率は、深さで95％以上で
あった。また、ローラーの表面の凹凸はｐ−ｐで50μｍ
以下と十分小さかった。またローラーの真円度および偏
芯は十分小さかった。実施例１と同じ方法で一万枚の光
ディスク基板を成型しても表面形状の変化は認められな
かった。成型した基板の特性を測定したところ、面振れ
量がｐ−ｐで50μｍ以下と十分小さかった。この光ディ
スク基板を実施例１と同様に光記録層を形成して記録・
再生を行なったところC/N比53dBであった。[Example 3] The same ultraviolet curable resin as in Example 1 was uniformly applied to an iron roll (manufactured by Corning) having a roll diameter of 200 mmφ whose surface was mirror-polished to a thickness of 50 µm by the same method as in Example 1. Then, the same stamper as in Example 1 was rotated to transfer the concavo-convex pattern of the stamper to the ultraviolet curing resin on the roller surface. The same ultraviolet lamp as in Example 1 was placed at the position shown in FIG. 5, and ultraviolet light was irradiated from inside the roll. After that, the same ultraviolet lamp as in Example 1 was placed at the position shown in FIG. 5 ″ in the same manner as in Example 2 and post-cured to completely cure the ultraviolet-curable resin. The transfer ratio of the concave and convex pattern of the stamper was 95% or more in depth, and the concave and convex of the roller surface was 50 μm in pp.
The following was small enough. The roundness and eccentricity of the roller were sufficiently small. Even when 10,000 optical disk substrates were molded in the same manner as in Example 1, no change in surface shape was observed. When the characteristics of the molded substrate were measured, the surface runout was sufficiently small as 50 μm or less in pp. An optical recording layer was formed on this optical disk substrate in the same manner as in Example 1 for recording and
Upon reproduction, the C / N ratio was 53 dB.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

本発明によれば、精度良く、簡単な機構で成型用ロー
ル型を製造できるために、面精度が良く、パターンの転
写性の良い光記録媒体の製造用ロール型を安価に製造で
きる。According to the present invention, since a molding roll mold can be manufactured with high accuracy and a simple mechanism, a roll mold for manufacturing an optical recording medium having good surface accuracy and good pattern transferability can be manufactured at low cost.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第１図は本発明の光記録媒体製造用ロール型の概略断面
図である。 第２図は従来に光記録媒体の製造用スタンパーの貼り付
け方法である。 第３図は従来の製版方法によるロールのパターン転写方
法である。 第４図は従来の製版方法によるロールのパターン転写方
法である。 第５図は従来の光記録媒体の一般的な断面図である。 第６図は従来の光記録媒体の基板の連続製造法の概略図
である。 １……ローラー ２……樹脂層 ３……凹凸パターン ４……スタンパーまたは原版 ５……紫外線または熱線の線源 11……加圧ローラー 12……貼り付けたスタンパー 21……製版用ロール 22……パターンの形成されたマスク 23……パターン露光用光ビーム 31……製版用ロール 32……パターン露光用光ビーム 41……透明基板 42……トラック溝部 43……光記録媒体 44……スペーサー 45……保護基板 51……樹脂シート 52……成型用ロール 53……加圧またはテンション用ロール 54……巻き出し用ロール 55……巻き取り用ロールFIG. 1 is a schematic sectional view of a roll mold for producing an optical recording medium according to the present invention. FIG. 2 shows a conventional method of attaching a stamper for manufacturing an optical recording medium. FIG. 3 shows a pattern transfer method of a roll by a conventional plate making method. FIG. 4 shows a pattern transfer method of a roll by a conventional plate making method. FIG. 5 is a general sectional view of a conventional optical recording medium. FIG. 6 is a schematic view of a conventional method for continuously manufacturing a substrate of an optical recording medium. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Roller 2 ... Resin layer 3 ... Concavo-convex pattern 4 ... Stamper or original plate 5 ... Source of ultraviolet rays or heat rays 11 ... Pressure roller 12 ... Stamper 21 attached ... Roll 22 for plate making 22 ... … Pattern formed mask 23 …… Pattern exposure light beam 31 …… Plate making roll 32 …… Pattern exposure light beam 41 …… Transparent substrate 42 …… Track groove 43 …… Optical recording medium 44 …… Spacer 45 … Protective substrate 51… Resin sheet 52… Forming roll 53… Pressurizing or tensioning roll 54 …… Unwinding roll 55 …… Winding roll

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】表面に形成された凹凸パターンを樹脂シー
トに転写することによって光記録媒体の基板を製造する
ためのロール型の製造法において、あらかじめ凹凸パタ
ーンが形成された原版またはスタンパーの上を、少なく
とも表面部が樹脂で形成されたロールを転がすことによ
って、該原版またはスタンパーの凹凸パターンをロール
表面に転写し、その後前記樹脂を硬化させることによっ
てロール型を製造することを特徴とする光記録媒体用ロ
ール型の製造法。In a method of manufacturing a roll type for manufacturing a substrate of an optical recording medium by transferring an uneven pattern formed on a surface to a resin sheet, a roll or stamper on which an uneven pattern is formed in advance is placed. Optical recording characterized in that a roll mold is manufactured by transferring a concavo-convex pattern of the original plate or a stamper onto a roll surface by rolling a roll having at least a surface portion formed of a resin, and thereafter curing the resin. Manufacturing method of roll type for media.