JPS62130290A - Production of aluminum matrix for optical disk - Google Patents
Production of aluminum matrix for optical diskInfo
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- JPS62130290A JPS62130290A JP27051785A JP27051785A JPS62130290A JP S62130290 A JPS62130290 A JP S62130290A JP 27051785 A JP27051785 A JP 27051785A JP 27051785 A JP27051785 A JP 27051785A JP S62130290 A JPS62130290 A JP S62130290A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
この発明はビデオ情報やデータ情報などの記録媒体とし
て用いられ、光学的な方法によって情報の読取り、ある
いは書込みを行うことのできる光ディスクの製作に用い
られる光ディスク用原盤の製造方法、特に原盤材料とし
てアルミニウムを用いたアルミニウム原盤の製造方法に
関する。[Detailed Description of the Invention] Industrial Field of Use This invention is used as a recording medium for video information, data information, etc., and is used for manufacturing optical discs on which information can be read or written by optical methods. The present invention relates to a method of manufacturing an optical disk master, and particularly to a method of manufacturing an aluminum master using aluminum as the master material.
なおこの明細書において、アルミニウムの語はアルミニ
ウム合金を含む意味において用いる。In this specification, the term aluminum is used to include aluminum alloys.
従来の技術及びその問題点
光ディスクとしては、基板表面に信号情報用の微細凹凸
を形成し、この凹凸を光学的方法により読み取って信号
を再生するものや、例えば光磁気ディスクと称されるも
ののように、基板表面にトラッキングガイド用の微細凹
凸を渦巻状に形成するとともに該凹凸部の表面に磁性膜
などの記録媒体薄膜を付着形成し、この記録媒体薄膜の
光に対する特性変化を利用して情報の読取りやあるいは
さらに書換えなども行えるようにしたものなどが知られ
ている。Conventional technology and its problems Optical disks include those in which fine irregularities for signal information are formed on the surface of a substrate, and these irregularities are read by an optical method to reproduce signals, and those called magneto-optical discs, for example. First, fine irregularities for tracking guides are formed in a spiral shape on the surface of the substrate, and a recording medium thin film such as a magnetic film is attached to the surface of the irregularities, and the change in the characteristics of this recording medium thin film with respect to light is used to record information. There are known devices that can read or even rewrite.
このような光ディスクの製作は一般に、」二記信号情報
ないしはトラッキングガイド用の微細凹凸を基板に形成
するために、これとは凹凸状態が反転したｉｕ製用の微
細凹凸を表面に釘する、マスクあるいはスタンバと称さ
れるような光ディスク用の原盤を用い、この原盤を金型
として基板材料である合成樹脂をインジェクションやキ
ャスティングなどの方法でディスクに成形することによ
り行われている。In general, the production of such optical discs involves the use of a mask, in which microscopic asperities for IU products, whose concavities and convexities are reversed, are nailed onto the surface of the substrate in order to form fine concavities and convexities for signal information or tracking guides on the substrate. Alternatively, it is carried out by using a master disc for an optical disc called a standber, using this master disc as a mold, and molding a synthetic resin, which is a substrate material, into a disc by a method such as injection or casting.
而して従来の上記のような原盤は、表面を研磨したガラ
ス盤に、基板に形成すべき信号清報ないしはトラッキン
グガイド用の微細凹凸と凹凸状態か同じ微細凹凸を形成
し、その後ガラス盤表面を導体化してニッケル電鋳を施
したのち該電鋳層を剥離することにより製作されたもの
であったために、製造工程が複雑でコスト高であるとい
うような欠点があった。In the conventional master disc as described above, fine irregularities are formed on a glass disc whose surface has been polished, and the same fine irregularities as the fine irregularities for signal transmission or tracking guide to be formed on the substrate are formed, and then the surface of the glass disc is polished. Since it was manufactured by making it a conductor, applying nickel electroforming, and then peeling off the electroformed layer, the manufacturing process was complicated and the cost was high.
この発明はかかる欠点を解消するためになされたもので
あって、製造工程か簡１１１でコストも安価な光ディス
ク用原盤の製作提供を目的とするものである。The present invention has been made in order to eliminate such drawbacks, and aims to provide a master disc for an optical disc that has a simple manufacturing process and is inexpensive.
問題点を解決するための手段
この目的においてこの発明は、原盤の材料としてアルミ
ニウムを用い、このアルミニウム材料に信号情報ないし
はトラッキングガイド複製用の微細凹凸を形成しようと
するものである。Means for Solving the Problems For this purpose, the present invention uses aluminum as the material of the master disk, and attempts to form fine irregularities on the aluminum material for duplicating signal information or tracking guides.
すなわちこの発明は、アルミニウム基材の表面に鏡面加
工を施こしたのち、レンストの塗（＋ｉ、エツチングパ
ターンの形成、トライエ、チンク゛の各工程の順次的実
施により、前記アルミニウム基材の表面に、信号情報な
いしはトラッキングガイド１製用の微細凹凸を形成する
ことを特徴とする光ディスク用アルミニウム原盤の製造
方法を要旨とするものである。That is, the present invention mirror-finishes the surface of the aluminum base material, and then sequentially performs the steps of coating (+i), forming an etching pattern, trie, and tinting, so that the surface of the aluminum base material is coated with a mirror finish. The gist of the present invention is a method of manufacturing an aluminum master disc for an optical disc, which is characterized by forming minute irregularities for signal information or tracking guide 1 production.
アルミニウム基材の材質としては、特に限定されるもの
ではなく、高純度アルミニウム、磁気ディスクとして使
用実績のあるｋＱ−Ｍｇ系合金、半導体用配線材料とし
て実績のあるＡＱ−５ｉ系合金、さらには耐熱用合金で
あるＡＱ−Ｎｉ系、ＡＱ−Ｚｒ系合金あるいはＡＱ−Ｃ
Ｕ系合金等が使用可能である。この場合合金元素の添加
量は固溶範囲とするのか望ましく、また第２相粒子をな
くしあるいは小さくするため、高純度アルミニウム（９
９，９ｗｔ％以上）をベースにすることが望ましい。The material of the aluminum base material is not particularly limited, and may include high-purity aluminum, kQ-Mg alloy that has been used as a magnetic disk, AQ-5i alloy that has a proven track record as a wiring material for semiconductors, and heat-resistant AQ-Ni series alloy, AQ-Zr series alloy or AQ-C alloy for
U-based alloys etc. can be used. In this case, it is desirable that the amount of the alloying element added be within the solid solution range, and in order to eliminate or reduce the size of the second phase particles, high purity aluminum (9
9.9 wt% or more) is preferable.
アルミニウム基材の表面に施す鏡面加工は、後のドライ
エツチング工程を経て基材表面に形成される複製用微細
凹凸の凹部底面、凸部頂面を、ディスク用原盤として要
求される上滑性を有するものにするために行われるもの
である。The mirror finishing applied to the surface of the aluminum base material gives the bottom surface of the concave part and the top surface of the convex part of the fine irregularities for duplication, which are formed on the surface of the base material through the subsequent dry etching process, to the smoothness required for a disc master. It is something that is done in order to make it something that we have.
鏡面加工方法としては切削、研磨いずしによるものであ
っても良く、望ましくは切削加工後研磨するのが良い。The mirror finishing method may be by cutting or polishing, and it is preferable to polish after cutting.
鏡面加工を施したのちは、該加工面に信号情報ないしは
トラッキングガイド１ｕ製用の微細凹凸を形成する。と
ころでディスク基板に形成される（５号情報ないしはト
ラッキングガイド用の微細凹凸には極めて厳格な精度か
要求される。After mirror finishing, fine irregularities for signal information or tracking guide 1u are formed on the processed surface. By the way, extremely strict accuracy is required for the fine irregularities formed on the disk substrate (No. 5 information or tracking guide).
例えばトラッキングガイド用の凹凸をディスク基板に形
成する場合、ガイド溝の寸法は幅が約０．８〜１μｍ、
深さ０．０７μｍ程度となることが要求され、かつ溝の
コーナー半径が小さいことなどが要求される。従って原
盤に形成すべき複製用の微細凹凸にも当然に上記のよう
な精度が要求されることとなる。このよ５な微細加工を
実現するものとしてこの発明では、試料表面へのフォト
レジストの塗布、エツチングパターンの形成、ドライエ
ツチングの各工程の順次的実施による方法を採用してい
る。For example, when forming unevenness for a tracking guide on a disk substrate, the dimensions of the guide groove are approximately 0.8 to 1 μm in width;
The depth is required to be approximately 0.07 μm, and the corner radius of the groove is required to be small. Therefore, the above-mentioned precision is naturally required for the fine irregularities for reproduction to be formed on the master. In order to realize such fine processing, the present invention employs a method in which the steps of applying photoresist to the sample surface, forming an etching pattern, and dry etching are sequentially performed.
前記フォトレジストは、ドライエツチングを施す際にエ
ツチングパターンの形成工程により露呈した部分を除い
て、アルミニウム基＋４表面の侵食を防Ｉトするために
塗布するものである。The photoresist is applied during dry etching to prevent corrosion of the aluminum group +4 surface, except for the exposed portions during the etching pattern formation process.
フォトレジストはポジ、ネガいずれのタイプであっても
良いが、ポジタイプの方が望ましい。The photoresist may be of either positive or negative type, but positive type is preferable.
このようなフォトレジストの一例として、市販の半導体
）第１・マスク用レジストインキ等をあげうる。また塗
布方法としてはデイツピンク法、ローラフウォータ法な
ど既知の方法を任意に採用しつる。As an example of such a photoresist, there may be mentioned a commercially available semiconductor first mask resist ink and the like. Further, as a coating method, any known method such as the date pink method or the roller flow water method may be employed.
またエツチングパターンの形成工程は、１夏製用四部形
成予定部位に応じて基材表面を露呈させるものである。In addition, the etching pattern forming step exposes the surface of the base material in accordance with the portions where four parts are to be formed for summer production.
このエツチングノくターン形成の具体的工程の１つとし
てまず、フォトマスクの装着、露光、現像の各工程の順
次的実施による場合をあげつる。すなわち例えば１夏製
用四部形成予定部位を透光部、複製用凸部形成予定部位
を遮光部となされたフォトマスクを試料表面に装着した
のちこれを露光し、次いて露光工程によりフォトマスク
の透光部を介して光照射された部位の不要レジストを現
像処理により除去し、基材表面に所定のエツチングパタ
ーンを形成する。なおフォトマスクを用いることなく、
直接的にレーザをレジストに照射して露光しても良い。As one of the specific steps for forming the etching pattern, we will first cite a case in which the steps of mounting a photomask, exposing to light, and developing are carried out in sequence. In other words, for example, a photomask is attached to the surface of the sample in which the area where the four parts for production are scheduled to be formed is the light-transmitting part and the area where the convex part for duplication is to be formed is the light-shielding part, and then this is exposed to light. Unnecessary resist in the area irradiated with light through the light-transmitting part is removed by a development process, and a predetermined etching pattern is formed on the surface of the base material. In addition, without using a photomask,
The resist may be exposed by directly irradiating the resist with a laser.
またエツチングパターンの他の形成方法として、加工用
レーザを用いてレジストをエツチングパターンに対応し
て部分的に除去する方法も作業性等の点から推奨される
。Further, as another method of forming an etching pattern, a method of partially removing the resist corresponding to the etching pattern using a processing laser is also recommended from the viewpoint of workability.
前記ドライエツチングは、エツチングパターンに応じて
露呈したアルミニウム基材表面を侵食するために行うも
のである。ドライエツチングの種類は特に限定されるも
のではなく、イオンビームエツチング、リアクティブイ
オンエツチング等をはじめ各種方式の採用が可能である
。The dry etching is performed to erode the exposed surface of the aluminum base material according to the etching pattern. The type of dry etching is not particularly limited, and various methods including ion beam etching, reactive ion etching, etc. can be employed.
このドライエツチングにより、アルミニウム基材表面か
微細凹凸状に加工される。By this dry etching, the surface of the aluminum base material is processed into fine irregularities.
ドライエツチング後においては、必要に応じてアルカリ
液７ｔ、″を用いてアルミニウム基＋」表面に付着して
いるレジストの除去処理を施す。After dry etching, the resist adhering to the surface of the aluminum group is removed using an alkaline solution of 7 tons, if necessary.
ところでドライエツチング後、陽極酸化処理による保１
□ψ皮膜や使用時に離脱可能な樹脂系の皮膜を原盤表面
に波頂形成することも、きず防止等の観点から釘効であ
る。By the way, after dry etching, the preservation by anodizing treatment 1
Forming wave crests on the surface of the master using a □ψ film or a resin film that can be removed during use is also effective from the standpoint of preventing scratches.
なお、」１記のような方法により製作された原盤を用い
て光ディスクを製作するには、まず原盤を金型として合
成樹脂をインジェクションあるいはキャスティング等の
方法によりディスク基板に成形する。該基板には原盤表
面に形成された微細凹凸により、信号情報ないしはトラ
ッキングガイド用の微細凹凸が復製されることとなる。In order to manufacture an optical disc using a master disc manufactured by the method described in 1., first, the master disc is used as a mold and a synthetic resin is molded into a disc substrate by a method such as injection or casting. The fine irregularities for signal information or tracking guide are reproduced on the substrate by the fine irregularities formed on the surface of the master.
その後ディスクの種類によっては基板表面に記録媒体薄
膜を付着形成したり、あるいは透明保護膜を形成するこ
とにより光ディスクか完成する。Thereafter, depending on the type of disc, a recording medium thin film is deposited on the substrate surface, or a transparent protective film is formed, thereby completing the optical disc.
発明の詳細
な説明したようにこの発明によれば、光ディスク用原盤
の材料としてアルミニウムを用い、このアルミニウム材
料に、記録情報ないしはトラッキングガイド複製用の微
細凹凸を形成するものであるから、従来の原盤のように
ニッケル電鋳を行う必要がなくなり、原盤の製造工程を
簡素化し得、ひいてはコストの安価な原盤の提供か可能
となる。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION According to the present invention, aluminum is used as the material for the optical disk master, and fine irregularities for recording information or tracking guide duplication are formed on this aluminum material, so that it is different from the conventional master. There is no need to perform nickel electroforming as described above, which simplifies the manufacturing process of the master disc, and makes it possible to provide a master disc at a low cost.
さらにこの発明では、アルミニウム基材への複製用微細
凹凸の形成を、鏡面加工を施したのち、フォトレジスト
の塗布、エツチングパターンの形成、ドライエツチング
の各工程の順次的実施により行うものであるから、極め
て高精度に微細加工を行うことができるとともに四部底
面や凸部頂面の充分な平滑性を実現でき、品質の点でも
優れた光ディスク用原盤を提供しうる。Furthermore, in this invention, the formation of fine irregularities for reproduction on an aluminum base material is carried out by mirror-finishing, applying photoresist, forming an etching pattern, and performing dry etching in sequence. , it is possible to perform microfabrication with extremely high precision, and to achieve sufficient smoothness of the bottom surfaces of the four parts and the top surfaces of the convex parts, and it is possible to provide a master disc for an optical disc that is excellent in terms of quality.
実施例 次にこの発明の実施例を示す。Example Next, examples of this invention will be shown.
厚さ２．ＯｒｎｍのＡＱ−１，０ｗｔ％Ｓｉ合金（Ａｆ
ｌ純度９９．９９％）からなる圧延板を外径１３０ ｎ
ｒｍ、内径１５ｍｍのドーナツ状に打抜いて基）７１と
し、該基材の表面を切削加工により鏡面加工した。その
後、前記基材の鏡面加工面にレジストとしてのアクリル
樹脂（Ｐ Ｍ Ｍ Ａ ）を塗布し、次いでディスク基
板にトラッキングガイド用を形成するための複製用凸部
形成予定部位を遮光部、それ以外を透光部となされたフ
ォトマスクを装着し、該マスクを介して露光を行ったの
ち、現像を行うことにより、アルミニウム基材の表面に
所定のエツチングパターンを形成した。Thickness 2. Ornm's AQ-1,0 wt% Si alloy (Af
130 nm in outer diameter.
rm, a donut shape with an inner diameter of 15 mm was punched out to form a base) 71, and the surface of the base material was mirror-finished by cutting. After that, an acrylic resin (PMMA) as a resist is applied to the mirror-finished surface of the base material, and then the area where the duplication convex part to form the tracking guide on the disk substrate is planned to be formed is a light shielding part, and the other parts are A photomask having a light-transmitting portion was attached, exposure was performed through the mask, and development was performed to form a predetermined etching pattern on the surface of the aluminum base material.
その後、１０−５Ｔｏ ｒ ｒ雰囲気中でＢＣＱ３とＣ
ＣＱ４との混合ガスを使用してリアクティブイオンエツ
チングによるドライエツチングを施すことにより、アル
ミニウム露呈部分を浸食してアルミニウム基材表面にト
ラッキングガイド複製用の微細凹凸を形成し、もって原
盤とした。Afterwards, BCQ3 and C
By performing dry etching by reactive ion etching using a mixed gas with CQ4, the exposed aluminum portion was eroded and fine irregularities for tracking guide duplication were formed on the surface of the aluminum base material, which was used as a master disc.
上記により？１７られた原盤において、凹部の寸法を測
定したところ、その幅が０． ８″０゛０６μｍ１深さ
０． ０７−ｏ、ｏｏｒ μｍの粘度で加」ニされて
おり、また四部のコーナー半径は０．０１μｍ、底面の
表面粗さはＲ［１ｌａｘ ０． ０１ μｍであった。Due to the above? When the dimensions of the recesses were measured on the master disc that had been removed from the market, the width was found to be 0. It has a viscosity of 8"006μm1 depth 0.07-o, oor μm, the corner radius of the four parts is 0.01μm, and the surface roughness of the bottom is R[1lax0. It was 01 μm.
以」二の結果より、本発明によれば先ディスク用として
の精度を充分満足しうるアルミニウム原盤の製作力呵能
であることを確認しえた。From the above two results, it was confirmed that the present invention has the ability to produce an aluminum master disc that satisfies the precision required for the first disc.
以上that's all
Claims (1)
ストの塗布、エッチングパターンの形成、ドライエッチ
ングの各工程の順次的実施により、前記アルミニウム基
材の表面に、信号情報ないしはトラッキングガイド複製
用の微細凹凸を形成することを特徴とする光ディスク用
アルミニウム原盤の製造方法。After mirror-finishing the surface of the aluminum base material, the steps of applying a resist, forming an etching pattern, and dry etching are sequentially performed to create fine patterns for signal information or tracking guide reproduction on the surface of the aluminum base material. A method for producing an aluminum master disk for optical discs, which is characterized by forming unevenness.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27051785A JPS62130290A (en) | 1985-11-29 | 1985-11-29 | Production of aluminum matrix for optical disk |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27051785A JPS62130290A (en) | 1985-11-29 | 1985-11-29 | Production of aluminum matrix for optical disk |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62130290A true JPS62130290A (en) | 1987-06-12 |
Family
ID=17487331
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27051785A Pending JPS62130290A (en) | 1985-11-29 | 1985-11-29 | Production of aluminum matrix for optical disk |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62130290A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62130288A (en) * | 1985-11-29 | 1987-06-12 | Showa Alum Corp | Production of aluminum substrate for optical disk |
| JP2007289890A (en) * | 2006-04-26 | 2007-11-08 | Toshiba Corp | Strainer |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60173736A (en) * | 1984-02-06 | 1985-09-07 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Manufacture of stamper for optical disk |
| JPS62130288A (en) * | 1985-11-29 | 1987-06-12 | Showa Alum Corp | Production of aluminum substrate for optical disk |
-
1985
- 1985-11-29 JP JP27051785A patent/JPS62130290A/en active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60173736A (en) * | 1984-02-06 | 1985-09-07 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Manufacture of stamper for optical disk |
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| JPS62130288A (en) * | 1985-11-29 | 1987-06-12 | Showa Alum Corp | Production of aluminum substrate for optical disk |
| JP2007289890A (en) * | 2006-04-26 | 2007-11-08 | Toshiba Corp | Strainer |
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