JP2000292146A - 一次元測定機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 精度低下を招くことなく軽量化が可能で、操
作性の向上、さらに、作業者への負担を軽減できる一次
元測定機を提供する。 【解決手段】 スライダが支柱に沿って上昇するときの
補正データを予め記憶した第１の補正データテーブル４
３Ｂと、スライダが支柱に沿って下降するときの補正デ
ータを予め記憶した第２の補正データテーブル４３Ｃと
を別々に設ける。スライダが上昇するときには、変位検
出器４５の検出値を第１の補正データテーブル４３Ｂの
補正データで、また、スライダが下降するときには、変
位検出器４５の検出値を第２の補正データテーブル４３
Ｃの補正データで、それぞれ補正する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、上下方向へ昇降可
能に設けられた測定子を備え、この測定子を被測定物の
測定部位に当接させて、被測定物の寸法、たとえば、高
さ、段差、穴、軸などの寸法を測定する一次元測定機に
関する。

【０００２】

【背景技術】定盤上において、被測定物の寸法、たとえ
ば、高さ、段差、穴、軸などの寸法を測定する場合、上
下方向へ昇降可能な測定子を備えた一次元測定機、いわ
ゆる、ハイトゲージが用いられている。通常、ハイトゲ
ージは、定盤上に移動可能に載置されるベースと、この
ベースに立設された支柱と、この支柱に沿って昇降可能
に設けられ測定子を有するスライダと、このスライダの
高さ方向の変位量を検出する変位検出器と、この変位検
出器の変位量を表示する表示手段とを備える構成であ
る。

【０００３】従来、このようなハイトゲージは、ベース
に立設された支柱に沿ってスライダが昇降する構造であ
るから、測定精度を確保するためには支柱の剛性を高く
する必要があり、そのため、支柱を鉄製、具体的には鋳
物によって構成してある。しかし、支柱を鋳物によって
構成すると、重量が重く、定盤上を移動させるにはかな
りの力が必要となる。そこで、ベースから定盤上へエア
ーを噴出してベースを定盤に対して浮上させるエアー浮
上手段を付加し、比較的軽い力で移動させることができ
るようにしたハイドゲージも知られている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、エアー浮上手
段を備えたハイトゲージの場合、エアーコンプレッサや
エアーパッドなどが搭載されるため、さらに重量が重く
なり、慣性力が非常に大きくなってしまい、そのため、
勢いあまって被測定物に衝突させてしまう事故も考えら
れる。従って、衝突させないように慎重に移動させなけ
ればならないので、作業者への負担が大きいうえ、作業
効率も悪いという課題がある。そこで、軽量化するため
に、支柱を細くしたり、支柱の材質をアルミニウムに変
えることが考えられる。しかし、そうすると、精度が低
下するという課題が残る。

【０００５】本発明の目的は、精度低下を招くことなく
軽量化が可能で、操作性の向上、さらに、作業者への負
担を軽減できる一次元測定機を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】まず、軽量化した際の課
題を解決するために、スライダの高さ位置に対応した補
正データを用意しておき、この補正データでスライダの
高さ位置を補正することが試みられたが、このような補
正では、スライダが支柱に沿って上昇するときと、スラ
イダが支柱に沿って下降するときとで、誤差が発生する
という不具合が見られた。これは、スライダが支柱に沿
って上昇するときには、測定子が被測定物に対して下か
ら当接し、また、スライダが支柱に沿って下降するとき
には、測定子が被測定物に対して上から当接するため、
測定子が被測定物に当接する際に支柱に作用する力が、
逆向きに作用することに起因するものと考えられる。そ
こで、本発明では、スライダが支柱に沿って上昇すると
きの補正データと、スライダが支柱に沿って下降すると
きの補正データとを予め別々に記憶しておき、スライダ
の昇降に応じて補正データを使い分けるようにしたもの
である。

【０００７】また、補正データでスライダの高さ位置を
補正しようとした際、変位検出器としてインクリメンタ
ル型変位検出器を用いた場合、従来は、測定子の先端を
定盤に接触させた状態を変位検出器の原点として設定し
ているが、測定子の長さが異なるものがあるため、測定
子によってスライダの原点位置が異なることになるた
め、常に正確な補正ができないという問題がある。そこ
で、本発明では、変位検出器としてインクリメンタル型
変位検出器を用いた場合、支柱に原点設定用検出器を設
けておき、電源投入時にスライダを支柱に沿って移動さ
せ、原点設定用検出器がスライダの到達を検知したとき
を基準として、つまり、測定子の長さに関係なく、スラ
イダが常に定位置において変位検出器の原点を設定する
ようにしたものである。

【０００８】具体的には、本発明の一次元測定機は、上
記目的を達成するために、次の構成を備える。請求項１
に記載の発明は、定盤上に移動可能に載置されるベース
と、このベースに立設された支柱と、この支柱に沿って
昇降可能に設けられ測定子を有するスライダと、このス
ライダの高さ方向の変位量を検出する変位検出器と、こ
の変位検出器の変位量を表示する表示手段とを備えた一
次元測定機において、前記変位検出器がインクリメンタ
ル型変位検出器によって構成されているとともに、前記
支柱にスライダの到達を検知する原点設定用検出器が設
けられ、前記スライダが支柱に沿って上昇するときの補
正データを予め記憶した第１の補正データテーブルと、
前記スライダが支柱に沿って下降するときの補正データ
を予め記憶した第２の補正データテーブルと、制御手段
とを備え、前記制御手段は、電源投入時に前記スライダ
を支柱に沿って移動させ、前記原点設定用検出器がスラ
イダの到達を検知したときを基準として前記変位検出器
の原点を設定する原点設定処理手段、前記スライダが支
柱に沿って上昇するときに検出された前記変位検出器の
検出値を、前記第１の補正データテーブルに記憶された
補正データによって補正する第１の補正処理手段、およ
び、前記スライダが支柱に沿って下降するときに検出さ
れた前記変位検出器の検出値を、前記第２の補正データ
テーブルに記憶された補正データによって補正する第２
の補正処理手段を含む、ことを特徴とする。

【０００９】この発明によれば、スライダが支柱に沿っ
て上昇するときに検出される変位検出器の検出値は、第
１の補正データテーブルに記憶された補正データによっ
て補正され、スライダが支柱に沿って下降するときに検
出される変位検出器の検出値は、第２の補正データテー
ブルに記憶された補正データによって補正される。つま
り、変位検出器の検出値は、スライダが支柱に沿って上
昇するときと、スライダが支柱に沿って下降するときと
で異なる補正データで補正されることになるから、スラ
イダが支柱に沿って上昇するときと、スライダが支柱に
沿って下降するときとで、誤差が発生するという不具合
を解消できる。従って、支柱などの本体部分を軽量化し
ても、スライダの昇降時で正確な補正を行えるから、つ
まり、精度低下を招くことなく軽量化が可能であるか
ら、操作性の向上、さらに、作業者への負担を軽減でき
る。また、変位検出器がインクリメンタル型変位検出器
によって構成されているから、アブソリュート型検出器
によって構成するより安価にできる。しかも、電源投入
時に、スライダを支柱に沿って移動させ、原点設定用検
出器がスライダの到達を検知したときを基準として変位
検出器の原点を設定するようにしたから、つまり、スラ
イダが常に一定高さ位置において変位検出器の原点が設
定されるから、インクリメンタル型変位検出器によって
構成した場合の不具合を解消でき、測定子の長さが異な
るものであっても、常に正確な補正ができる。

【００１０】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の一次元測定機において、前記原点設定用検出器は、支
柱の上部に設けられ、前記原点設定処理手段は、電源投
入時に前記スライダを支柱に沿って上昇させることを特
徴とする。この発明によれば、原点設定に際して、スラ
イダが上昇するので、測定子が被測定物や定盤に衝突す
るのを回避できる。つまり、スライダが下降すると、被
測定物への衝突が危惧されるが、上昇であればその問題
の回避できる。

【００１１】請求項３に記載の発明は、定盤上に移動可
能に載置されるベースと、このベースに立設された支柱
と、この支柱に沿って昇降可能に設けられ測定子を有す
るスライダと、このスライダの高さ方向の変位量を検出
する変位検出器と、この変位検出器の変位量を表示する
表示手段とを備えた一次元測定機において、前記変位検
出器がアブソリュート型変位検出器によって構成され、
前記スライダが支柱に沿って上昇するときの補正データ
を予め記憶した第１の補正データテーブルと、前記スラ
イダが支柱に沿って下降するときの補正データを予め記
憶した第２の補正データテーブルと、制御手段とを備
え、前記制御手段は、前記スライダが支柱に沿って上昇
するときに検出された前記変位検出器の検出値を、前記
第１の補正データテーブルに記憶された補正データによ
って補正する第１の補正処理手段、および、前記スライ
ダが支柱に沿って下降するときに検出された前記変位検
出器の検出値を、前記第２の補正データテーブルに記憶
された補正データによって補正する第２の補正処理手段
を含む、ことを特徴とする。

【００１２】この発明によれば、請求項１に記載の発明
と同様に、スライダが支柱に沿って上昇するときに検出
される変位検出器の検出値は、第１の補正データテーブ
ルに記憶された補正データによって補正され、スライダ
が支柱に沿って下降するときに検出される変位検出器の
検出値は、第２の補正データテーブルに記憶された補正
データによって補正される。従って、精度低下を招くこ
となく軽量化が可能でるから、操作性の向上、さらに、
作業者への負担を軽減できる。また、変位検出器がアブ
ソリュート型変位検出器によって構成されているから、
請求項１に記載の発明における、電源投入時の変位検出
器の原点設定を行わないで済む利点がある。

【００１３】請求項４に記載の発明は、請求項１ないし
請求項３のいずれかに記載の一次元測定機において、前
記制御手段は、入力された温度データと基準温度との温
度差に基づいて、前記変位検出器の検出値またはその補
正後の値を補正することを特徴とする。ここにおいて、
温度データは、作業者がキーボードなどから入力しても
よく、あるいは、温度センサを設けて、これから自動入
力するようにしてもよい。この発明によれば、入力され
た温度データと基準温度との温度差に基づいて、検出値
またはその補正後の値を補正するようにしたので、使用
環境下の温度変動に対しても精度補償できる。換言する
と、使用可能温度範囲を拡大できる。

【００１４】請求項５に記載の発明は、請求項１ないし
請求項４のいずれかに記載の一次元測定機において、前
記支柱は、アルミニウムまたはアルミニウム合金によっ
て形成されていることを特徴とする。この発明によれ
ば、特に支柱の形態を変更することなく、材質をアルミ
ニウムまたはアルミニウム合金に変更するだけで、支柱
の重量を軽量化できる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図面
に基づいて説明する。図１は一次元測定機としてのハイ
トゲージを示す斜視図である。同図に示すように、本実
施形態のハイトゲージは、定盤１０上に移動可能に載置
されるベース１１と、このベース１１に立設された支柱
１２と、この支柱１２に沿って上下方向へ昇降可能に設
けられ測定子１３を有するスライダ１４と、このスライ
ダ１４の高さ方向の変位量を検出する変位検出器４５
（図２参照）とを備える。ここで、前記ベース１１およ
び支柱１２のうち、少なくとも支柱１２については、ア
ルミニウムまたはアルミニウム合金によって形成されて
いる。つまり、鋳物などからなるハイドゲージに比べ、
重量が軽量化されている。

【００１６】前記ベース１１には、前記支柱１２の裏面
側にグリップ部１５が設けら、このグリップ部１５の上
面には、表面に表示手段を構成するＬＣＤなどの表示装
置１６およびキー入力部１７を有する表示操作部１８が
旋回可能に設けられている。また、ベース１１の下面に
は、定盤１０上にエアーを噴出してベース１１を定盤１
０に対して浮上させるエアー浮上手段１９が設けられて
いる。エアー浮上手段１９は、ベース１１の下面に設け
られ無数のエアー噴出孔を有する複数のエアーパッド１
９Ａと、このエアーパッド１９Ａにエアーを供給するコ
ンプレッサ（図示していないが、グリップ部１５の下部
に設置）などを備える。

【００１７】前記支柱１２の上部位置には、スライダ１
４の到達を検知する原点設定用検出器としてのリミット
スイッチ４７が設けられている。また、支柱１２の右側
面（測定子１３を有する面に対して隣接する側面）でか
つベース１１近傍（つまり、下部位置）には、ハンドル
２１が支柱１２に対して直角に突設されている。ハンド
ル２１には、エアー浮上制御スイッチ３１、リピートス
イッチ３２およびキャンセルスイッチ３３が順次が設け
られている。エアー浮上制御スイッチ３１は、前記エア
ー浮上手段１９へのエアーの供給、遮断を制御するもの
である。リピートスイッチ３２は、前回の測定項目の測
定手順を繰り返し指令するものである。キャンセルスイ
ッチ３３は、現在実行中の測定手順のキャンセルを指令
するものである。

【００１８】図２は本実施形態の全体構成を示すブロッ
ク図である。同図において、制御装置４１は、制御手段
としてのＣＰＵ４２と、メモリ４３とを備える。前記メ
モリ４３には、各種の測定手順プログラムを記憶したプ
ログラム記憶部４３Ａと、前記スライダ１４が支柱１２
に沿って上昇するときの補正データを予め記憶した第１
の補正データテーブル４３Ｂと、前記スライダ１４が支
柱１２に沿って下降するときの補正データを予め記憶し
た第２の補正データテーブル４３Ｃとがそれぞれ設けら
れている。

【００１９】前記第１の補正データテーブル４３Ｂに
は、図３に示すように、スライダ１４が上昇時におい
て、支柱１２の高さ（Ｚ）に対応して、具体的には、支
柱１２の一定高さ毎にそれに対応する補正量（補正デー
タ）が記憶されている。前記第２の補正データテーブル
４３Ｃには、図４に示すように、スライダ１４の下降時
において、支柱１２の高さ位置に対応して、具体的に
は、支柱１２の一定高さ毎にそれに対応する補正量（補
正データ）が記憶されている。これら補正データテーブ
ル４３Ｂ、４３Ｃは、予め、一定高さ寸法毎にゲージブ
ロックを測定し、そのゲージブロックの真値と測定値と
の差を補正量（補正データ）として記憶したものであ
る。

【００２０】前記ＣＰＵ４２には、前記キー入力部１
７、前記ハンドル２１に設けられた３つのスイッチ３
１，３２，３３、前記表示装置１６、前記エアー浮上手
段１９、前記リミットスイッチ４７のほかに、前記スラ
イダ１４を上下方向へ昇降させる昇降駆動手段４４と、
この昇降駆動手段４４によって昇降されるスライダ１４
の高さ方向の変位量を検出する変位検出器４５と、スピ
ーカ４６とがそれぞれ接続されている。また、ＣＰＵ４
２は、前記プログラム記憶部４３Ａに記憶された測定手
順プログラムに従って各ステップを実行する測定処理手
段、電源投入時にスライダ１４を支柱１２に沿って移動
させ、リミットスイッチ４７がスライダ１４の到達を検
知したときを基準として変位検出器４５の原点を設定す
る原点設定処理手段、スライダ１４が支柱１２に沿って
上昇するときに検出された変位検出器４５の検出値を、
第１の補正データテーブル４３Ｂに記憶された補正デー
タによって補正する第１の補正処理手段、および、スラ
イダ１４が支柱１２に沿って下降するときに検出された
変位検出器４５の検出値を、第２の補正データテーブル
４３Ｃに記憶された補正データによって補正する第２の
補正処理手段などを有する。

【００２１】前記昇降駆動手段４４は、上下動モータ４
４Ａと、この上下動モータ４４Ａの出力軸に設けられた
定圧機構４４Ｂとを含んで構成されている。定圧機構４
４Ｂは、上下動モータ４４Ａの回転をベルトなどの伝達
手段を介してスライダ１４に伝達してスライダ１４を昇
降させるとともに、スライダ１４に一定以上の負荷がか
かったときに空転する機能を備える。変位検出器４５
は、インクリメタル型変位検出器によって構成されてい
る。具体的には、前記支柱１２に沿って設けられた上下
方向に光学格子を一定ピッチで有するスケール（図６に
示す４５Ａ）と、このスケールに対向して前記スライダ
１４に配置された検出器（図６に示す４５Ｂ）とを含
み、この両者の協働によって支柱１２上におけるスライ
ダ１４の高さ方向の変位量を電気的信号として検出す
る。

【００２２】次に、本実施形態の作用を説明する。電源
が投入されると、ＣＰＵ４２は、昇降駆動手段４４を駆
動してスライダ１４を上昇させ、リミットスイッチ４７
がスライダ１４の到達を検知したときを基準として変位
検出器４５の原点を設定する。たとえば、図５に示すよ
うに、電源投入時におけるスライダ１４の位置が０とし
て表示されている状態から、その後、スライダ１４が上
昇してリミットスイッチ４７に当接したときの変位検出
器４５の値、つまり、Ｚ２を取り込み、このＺ２とリミ
ットスイッチ４７の高さ位置、たとえば、６１０ｍｍと
から、オフセット値ＯＦ２を、 オフセット値ＯＦ２＝Ｚ２−６１０ から求める。ここでは、定盤１０の表面が０になるよう
に、変位検出器４５の原点を設定している。

【００２３】このようにして原点設定を行ったのち、測
定を行う。測定にあたっては、まず、片手でハンドル２
１を握り、その親指でエアー浮上制御スイッチ３１を押
す。すると、エアー浮上手段１９によってベース１１が
定盤１０に対して浮上した状態になるから、この状態で
ハンドル２１を握りながらベース１１を移動させ、測定
子１３を被測定物の測定部位近傍に位置させたのち、エ
アー浮上制御スイッチ３１から手を離す。すると、エア
ーが遮断されるから、ベース１１は定盤１０上に接した
状態で静止される。

【００２４】ここで、昇降駆動手段４４を駆動してスラ
イダ１４を上昇または下降させ、測定子１３を被測定物
の測定部位に当接させる。このとき、ＣＰＵ４２は、測
定子１３が被測定物の測定部位に当接したときの変位検
出器４５の値を取り込み、この変位検出器４５内のカウ
ンタ値Ｚ１を図６に示す処理を経て測定値として出力す
る。以下、この処理を順に説明する。

【００２５】（１）単位変換 ここでは、測定子１３が測定部位に当接したときの変位
検出器４５内のカウンタ値Ｚ１（パルス数として与えら
れている）を、ｍｍ単位の値Ｚ２に変換する。 （２）機械原点補正 ここでは、値Ｚ２をオフセット値ＯＦ２で補正して、機
械原点補正を行う。つまり、 Ｚ３＝Ｚ２−ＯＦ２ を求める。

【００２６】（３）機械（スケール）の温度補正 ここでは、変位検出器４５を構成するスケール４５Ａの
温度補正を行って、Ｚ４を求める。つまり、 Ｚ４＝Ｚ３＋（スケールの線膨張係数）×（Ｚ３−ＯＦ
３）×（環境温度−２０）／１０００００ を求める。ただし、ＯＦ３：スケールの膨張原点、たと
えば、図５の下端で既知である。また、環境温度につい
ては、キー入力部１７から予め入力しておく。なお、こ
の温度補正については、次の（４）機械の指示精度補正
の後に行ってもよい。

【００２７】（４）機械の指示精度補正 ここでは、Ｚ４に対して第１の補正データテーブル４３
Ｂまたは第２の補正データテーブル４３Ｃの補正量（補
正データ）を用いて補正する。具体的には、スライダ１
４の上昇によって測定子１３が被測定物に対して下から
当接したときには、第１の補正データテーブル４３Ｂの
補正量（補正データ）を用いて、また、スライダ１４の
下降によって測定子１３が被測定物に対して上から当接
したときには、第２の補正データテーブル４３Ｃの補正
量（補正データ）を用いて、補正する。つまり、 Ｚ５＝Ｚ４−（上昇または下降時の補正量） なお、第１および第２の補正データテーブル４３Ｂ、４
３Ｃ（図３および図４）において、Ｚ４に対応するデー
タが無いときには、その前後の値から直線補間によって
補正量を用いる。

【００２８】（５）その他の補正 その他の補正として、既に公知の基準点補正、プローブ
径補正／プローブ・オフセット補正、ワークの温度補
正、スケールファクタ補正、ユーザ原点補正などを順次
行ったのち、測定値として表示装置１６に表示する。

【００２９】従って、本実施形態によれば、ベース１１
および支柱１２のうち、少なくとも支柱１２をアルミニ
ウムまたはアルミニウム合金によって形成し、支柱１２
の重量を軽量化したので、慣性力も小さくでき、そのた
め、従来ほど、作業者が衝突に対して注意を払わなくて
もよいので、作業者への負担を軽減でき、操作性も向上
させることができる。

【００３０】また、スライダ１４が支柱１２に沿って上
昇するときの補正データを予め記憶した第１の補正デー
タテーブル４３Ｂと、スライダ１４が支柱１２に沿って
下降するときの補正データを予め記憶した第２の補正デ
ータテーブル４３Ｃとを予め用意しておき、スライダ１
４が支柱１２に沿って上昇するときに検出される変位検
出器４５の検出値を、第１の補正データテーブル４３Ｂ
に記憶された補正データによって補正し、スライダ１４
が支柱１２に沿って下降するときに検出される変位検出
器４５の検出値を、第２の補正データテーブル４３Ｃに
記憶された補正データによって補正するようにしたの
で、スライダ１４が支柱１２に沿って上昇するときと、
スライダ１４が支柱１２に沿って下降するときとで、誤
差が発生するという不具合を解消できる。従って、支柱
１２を軽量化することに伴う剛性の低下に対しても、精
度補償できる。

【００３１】また、変位検出器４５をインクリメンタル
型変位検出器によって構成したので、アブソリュート型
検出器によって構成するより安価にできる。しかも、電
源投入時に、スライダ１４を支柱１２に沿って移動さ
せ、リミットスイッチ４７がスライダ１４の到達を検知
したときを基準として変位検出器４５の原点を設定する
ようにしたから、つまり、スライダ１４が常に一定高さ
位置において変位検出器４５の原点を設定しているか
ら、インクリメンタル型変位検出器によって構成した場
合の不具合を解消でき、測定子１３の長さが異なるもの
であっても、常に正確な補正ができる。

【００３２】しかも、原点設定に際して、リミットスイ
ッチ４７を支柱１２の上部に設けるとともに、電源投入
時には、スライダ１４を支柱１２に沿って上昇させてリ
ミットスイッチ４７に当接させるようにしたので、電源
投入時にスライダ１４を支柱１２に沿って下降させる場
合に比べ、測定子１３が被測定物に衝突する事故を少な
くできる。

【００３３】また、入力された温度データと基準温度と
の温度差に基づいて、変位検出器４５の検出値Ｚ３を補
正するようにしたので、使用環境下の温度変動に対して
も精度補償できる。つまり、使用可能温度範囲を拡大で
きる。

【００３４】なお、前記実施形態では、変位検出器をイ
ンクリメンタル型検出器によって構成したが、これに限
らず、アブソリュート型検出器によって構成してもよ
い。このようにすれば、前記実施形態で述べた、電源投
入時の変位検出器の原点設定を行わないで済む利点があ
る。

【００３５】また、前記実施形態では、光電式の変位検
出器を用いたが、これに限らず、静電容量式や磁気式な
どでもよい。また、前記実施形態では、環境温度をキー
入力部１７から入力したが、温度センサなどを設けてお
き、この温度センサから自動的に入力するようにしても
よい。

【００３６】また、前記実施形態では、ベース１１およ
び支柱１２のうち、少なくとも支柱１２をアルミニウム
またはその合金で形成したが、これに限らず、ある程度
の剛性を備え、かつ、軽量化できる材料なら他の材料で
もよい。さらに、材料については、従来と同じ材料（た
とえば、鋳物）を用いて、ベース１１および支柱１２の
形状を変えるようにしてもよい。たとえば、ベース１１
および支柱１２を中空状に形成してもよく、支柱１２を
細く形成してもよい。

【００３７】

【発明の効果】本発明の一次元測定機によれば、精度低
下を招くことなく軽量化が可能で、操作性の向上、さら
に、作業者への負担を軽減できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態を示す斜視図である。

【図２】同上実施形態のブロック図である。

【図３】同上実施形態の第１の補正データテーブルを示
す図である。

【図４】同上実施形態の第２の補正データテーブルを示
す図である。

【図５】同上実施形態における原点設定を示す図であ
る。

【図６】同上実施形態における測定データ処理シーケン
スを示す図である。

【符号の説明】 １０ 定盤 １１ ベース １２ 支柱 １３ 測定子 １４ スライダ １６ 表示装置（表示手段） ４２ ＣＰＵ（制御手段） ４３Ｂ 第１の補正データテーブル ４３Ｃ 第２の補正データテーブル ４５ 変位検出器 ４７ リミットスイッチ（原点設定用検出器）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 時任 博幸 神奈川県川崎市高津区坂戸１−20−１ 株 式会社ミツトヨ内 (72)発明者 野村 陽一 神奈川県川崎市高津区坂戸１−20−１ 株 式会社ミツトヨ内 (72)発明者 青山 文次 広島県呉市広古新開６−８−20 株式会社 ミツトヨ内 Ｆターム(参考） 2F069 AA02 AA06 AA42 AA43 DD25 DD27 EE02 EE23 GG01 GG06 GG07 GG16 GG62 HH01 HH04 HH12 HH13 HH14 JJ06 LL01 MM07 MM13 MM32 QQ08 QQ12 QQ17 RR01 RR03 2F103 BA01 BA02 BA32 CA01 DA02 DA04 DA12 EA23 EB01 EB11 GA15

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 定盤上に移動可能に載置されるベース
   と、このベースに立設された支柱と、この支柱に沿って
   昇降可能に設けられ測定子を有するスライダと、このス
   ライダの高さ方向の変位量を検出する変位検出器と、こ
   の変位検出器の変位量を表示する表示手段とを備えた一
   次元測定機において、 前記変位検出器がインクリメンタル型変位検出器によっ
   て構成されているとともに、前記支柱にスライダの到達
   を検知する原点設定用検出器が設けられ、 前記スライダが支柱に沿って上昇するときの補正データ
   を予め記憶した第１の補正データテーブルと、 前記スライダが支柱に沿って下降するときの補正データ
   を予め記憶した第２の補正データテーブルと、 制御手段とを備え、 前記制御手段は、電源投入時に前記スライダを支柱に沿
   って移動させ、前記原点設定用検出器がスライダの到達
   を検知したときを基準として前記変位検出器の原点を設
   定する原点設定処理手段、前記スライダが支柱に沿って
   上昇するときに検出された前記変位検出器の検出値を、
   前記第１の補正データテーブルに記憶された補正データ
   によって補正する第１の補正処理手段、および、前記ス
   ライダが支柱に沿って下降するときに検出された前記変
   位検出器の検出値を、前記第２の補正データテーブルに
   記憶された補正データによって補正する第２の補正処理
   手段を含む、 ことを特徴とする一次元測定機。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の一次元測定機におい
   て、 前記原点設定用検出器は、支柱の上部に設けられ、 前記原点設定処理手段は、電源投入時に前記スライダを
   支柱に沿って上昇させることを特徴とする一次元測定
   機。
3. 【請求項３】 定盤上に移動可能に載置されるベース
   と、このベースに立設された支柱と、この支柱に沿って
   昇降可能に設けられ測定子を有するスライダと、このス
   ライダの高さ方向の変位量を検出する変位検出器と、こ
   の変位検出器の変位量を表示する表示手段とを備えた一
   次元測定機において、 前記変位検出器がアブソリュート型変位検出器によって
   構成され、 前記スライダが支柱に沿って上昇するときの補正データ
   を予め記憶した第１の補正データテーブルと、 前記スライダが支柱に沿って下降するときの補正データ
   を予め記憶した第２の補正データテーブルと、 制御手段とを備え、 前記制御手段は、前記スライダが支柱に沿って上昇する
   ときに検出された前記変位検出器の検出値を、前記第１
   の補正データテーブルに記憶された補正データによって
   補正する第１の補正処理手段、および、前記スライダが
   支柱に沿って下降するときに検出された前記変位検出器
   の検出値を、前記第２の補正データテーブルに記憶され
   た補正データによって補正する第２の補正処理手段を含
   む、 ことを特徴とする一次元測定機。
4. 【請求項４】 請求項１ないし請求項３のいずれかに記
   載の一次元測定機において、 前記制御手段は、入力された温度データと基準温度との
   温度差に基づいて、前記変位検出器の検出値または補正
   後の値を補正することを特徴とする一次元測定機。
5. 【請求項５】 請求項１ないし請求項４のいずれかに記
   載の一次元測定機において、 前記支柱は、アルミニウムまたはアルミニウム合金によ
   って形成されていることを特徴とする一次元測定機。