JP2000292146A - One-dimensional measuring instrument - Google Patents
One-dimensional measuring instrumentInfo
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- JP2000292146A JP2000292146A JP11101150A JP10115099A JP2000292146A JP 2000292146 A JP2000292146 A JP 2000292146A JP 11101150 A JP11101150 A JP 11101150A JP 10115099 A JP10115099 A JP 10115099A JP 2000292146 A JP2000292146 A JP 2000292146A
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- correction
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- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、上下方向へ昇降可
能に設けられた測定子を備え、この測定子を被測定物の
測定部位に当接させて、被測定物の寸法、たとえば、高
さ、段差、穴、軸などの寸法を測定する一次元測定機に
関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention includes a measuring element provided so as to be able to move up and down in the vertical direction. The present invention relates to a one-dimensional measuring machine for measuring dimensions such as steps, holes, and axes.
【０００２】[0002]
【背景技術】定盤上において、被測定物の寸法、たとえ
ば、高さ、段差、穴、軸などの寸法を測定する場合、上
下方向へ昇降可能な測定子を備えた一次元測定機、いわ
ゆる、ハイトゲージが用いられている。通常、ハイトゲ
ージは、定盤上に移動可能に載置されるベースと、この
ベースに立設された支柱と、この支柱に沿って昇降可能
に設けられ測定子を有するスライダと、このスライダの
高さ方向の変位量を検出する変位検出器と、この変位検
出器の変位量を表示する表示手段とを備える構成であ
る。2. Description of the Related Art When measuring dimensions of an object to be measured, for example, dimensions such as a height, a step, a hole, and a shaft, on a surface plate, a so-called one-dimensional measuring machine having a measuring element capable of moving up and down in a vertical direction, a so-called so-called measuring machine. , And a height gauge is used. Normally, the height gauge includes a base movably mounted on a surface plate, a support erected on the base, a slider having a measuring element provided up and down along the support, and a height of the slider. The displacement detector detects the amount of displacement in the vertical direction, and display means for displaying the amount of displacement of the displacement detector.
【０００３】従来、このようなハイトゲージは、ベース
に立設された支柱に沿ってスライダが昇降する構造であ
るから、測定精度を確保するためには支柱の剛性を高く
する必要があり、そのため、支柱を鉄製、具体的には鋳
物によって構成してある。しかし、支柱を鋳物によって
構成すると、重量が重く、定盤上を移動させるにはかな
りの力が必要となる。そこで、ベースから定盤上へエア
ーを噴出してベースを定盤に対して浮上させるエアー浮
上手段を付加し、比較的軽い力で移動させることができ
るようにしたハイドゲージも知られている。Conventionally, such a height gauge has a structure in which a slider rises and descends along a column erected on a base. Therefore, it is necessary to increase the rigidity of the column in order to secure measurement accuracy. The strut is made of iron, specifically, a casting. However, when the support is made of a casting, the weight is heavy, and a considerable force is required to move the support on the surface plate. In view of this, there has been known a hide gauge in which air levitation means for ejecting air from the base onto the surface plate to float the base relative to the surface plate is added so that the base can be moved with a relatively light force.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかし、エアー浮上手
段を備えたハイトゲージの場合、エアーコンプレッサや
エアーパッドなどが搭載されるため、さらに重量が重く
なり、慣性力が非常に大きくなってしまい、そのため、
勢いあまって被測定物に衝突させてしまう事故も考えら
れる。従って、衝突させないように慎重に移動させなけ
ればならないので、作業者への負担が大きいうえ、作業
効率も悪いという課題がある。そこで、軽量化するため
に、支柱を細くしたり、支柱の材質をアルミニウムに変
えることが考えられる。しかし、そうすると、精度が低
下するという課題が残る。However, in the case of a height gauge having an air levitation means, since an air compressor and an air pad are mounted, the weight is further increased, and the inertia force becomes extremely large. ,
It is also conceivable that an accident may occur in which the target is collided with the measured object. Therefore, since it is necessary to move carefully so as not to cause collision, there is a problem that the burden on the operator is large and the working efficiency is poor. Therefore, in order to reduce the weight, it is conceivable to make the column thinner or to change the material of the column to aluminum. However, this leaves a problem that the accuracy is reduced.
【０００５】本発明の目的は、精度低下を招くことなく
軽量化が可能で、操作性の向上、さらに、作業者への負
担を軽減できる一次元測定機を提供することにある。An object of the present invention is to provide a one-dimensional measuring machine which can be reduced in weight without lowering the accuracy, can improve operability, and can reduce the burden on an operator.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】まず、軽量化した際の課
題を解決するために、スライダの高さ位置に対応した補
正データを用意しておき、この補正データでスライダの
高さ位置を補正することが試みられたが、このような補
正では、スライダが支柱に沿って上昇するときと、スラ
イダが支柱に沿って下降するときとで、誤差が発生する
という不具合が見られた。これは、スライダが支柱に沿
って上昇するときには、測定子が被測定物に対して下か
ら当接し、また、スライダが支柱に沿って下降するとき
には、測定子が被測定物に対して上から当接するため、
測定子が被測定物に当接する際に支柱に作用する力が、
逆向きに作用することに起因するものと考えられる。そ
こで、本発明では、スライダが支柱に沿って上昇すると
きの補正データと、スライダが支柱に沿って下降すると
きの補正データとを予め別々に記憶しておき、スライダ
の昇降に応じて補正データを使い分けるようにしたもの
である。First, in order to solve the problem at the time of weight reduction, correction data corresponding to the height position of the slider is prepared, and the height position of the slider is corrected using this correction data. However, in such a correction, there was a problem that an error occurred between when the slider was moved up along the support and when the slider was moved down along the support. This is because when the slider rises along the column, the probe contacts the DUT from below, and when the slider descends along the column, the probe comes from above the DUT. To abut,
The force acting on the support when the probe comes into contact with the DUT is
This is considered to be caused by acting in the opposite direction. Therefore, in the present invention, the correction data when the slider rises along the support and the correction data when the slider descends along the support are separately stored in advance, and the correction data is stored in accordance with the elevation of the slider. Is used properly.
【０００７】また、補正データでスライダの高さ位置を
補正しようとした際、変位検出器としてインクリメンタ
ル型変位検出器を用いた場合、従来は、測定子の先端を
定盤に接触させた状態を変位検出器の原点として設定し
ているが、測定子の長さが異なるものがあるため、測定
子によってスライダの原点位置が異なることになるた
め、常に正確な補正ができないという問題がある。そこ
で、本発明では、変位検出器としてインクリメンタル型
変位検出器を用いた場合、支柱に原点設定用検出器を設
けておき、電源投入時にスライダを支柱に沿って移動さ
せ、原点設定用検出器がスライダの到達を検知したとき
を基準として、つまり、測定子の長さに関係なく、スラ
イダが常に定位置において変位検出器の原点を設定する
ようにしたものである。When an attempt is made to correct the height position of the slider with the correction data, an incremental displacement detector is used as the displacement detector. Although it is set as the origin of the displacement detector, there is a problem that the length of the tracing stylus is different and the origin position of the slider differs depending on the tracing stylus, so that accurate correction cannot always be performed. Therefore, in the present invention, when an incremental displacement detector is used as the displacement detector, a detector for setting the origin is provided on the support, and the slider is moved along the support when the power is turned on. The slider always sets the origin of the displacement detector at a fixed position on the basis of when the arrival of the slider is detected, that is, regardless of the length of the tracing stylus.
【０００８】具体的には、本発明の一次元測定機は、上
記目的を達成するために、次の構成を備える。請求項１
に記載の発明は、定盤上に移動可能に載置されるベース
と、このベースに立設された支柱と、この支柱に沿って
昇降可能に設けられ測定子を有するスライダと、このス
ライダの高さ方向の変位量を検出する変位検出器と、こ
の変位検出器の変位量を表示する表示手段とを備えた一
次元測定機において、前記変位検出器がインクリメンタ
ル型変位検出器によって構成されているとともに、前記
支柱にスライダの到達を検知する原点設定用検出器が設
けられ、前記スライダが支柱に沿って上昇するときの補
正データを予め記憶した第１の補正データテーブルと、
前記スライダが支柱に沿って下降するときの補正データ
を予め記憶した第２の補正データテーブルと、制御手段
とを備え、前記制御手段は、電源投入時に前記スライダ
を支柱に沿って移動させ、前記原点設定用検出器がスラ
イダの到達を検知したときを基準として前記変位検出器
の原点を設定する原点設定処理手段、前記スライダが支
柱に沿って上昇するときに検出された前記変位検出器の
検出値を、前記第１の補正データテーブルに記憶された
補正データによって補正する第１の補正処理手段、およ
び、前記スライダが支柱に沿って下降するときに検出さ
れた前記変位検出器の検出値を、前記第２の補正データ
テーブルに記憶された補正データによって補正する第２
の補正処理手段を含む、ことを特徴とする。Specifically, the one-dimensional measuring device of the present invention has the following configuration to achieve the above object. Claim 1
The invention described in (1) is based on a base movably mounted on a surface plate, a support erected on the base, a slider having a measuring element provided movably up and down along the support, and a slider In a one-dimensional measuring device including a displacement detector that detects a displacement amount in a height direction and a display unit that displays a displacement amount of the displacement detector, the displacement detector is configured by an incremental displacement detector. A first correction data table in which a reference point setting detector for detecting arrival of a slider on the support is provided, and correction data when the slider ascends along the support is stored in advance;
A second correction data table in which correction data when the slider descends along the support is stored in advance, and control means, wherein the control means moves the slider along the support when power is turned on, Origin setting processing means for setting the origin of the displacement detector based on when the origin setting detector detects the arrival of the slider, detection of the displacement detector detected when the slider rises along the column First correction processing means for correcting the value by the correction data stored in the first correction data table; and a detection value of the displacement detector detected when the slider descends along the support. A second correction performed by the correction data stored in the second correction data table.
And a correction processing means.
【０００９】この発明によれば、スライダが支柱に沿っ
て上昇するときに検出される変位検出器の検出値は、第
１の補正データテーブルに記憶された補正データによっ
て補正され、スライダが支柱に沿って下降するときに検
出される変位検出器の検出値は、第２の補正データテー
ブルに記憶された補正データによって補正される。つま
り、変位検出器の検出値は、スライダが支柱に沿って上
昇するときと、スライダが支柱に沿って下降するときと
で異なる補正データで補正されることになるから、スラ
イダが支柱に沿って上昇するときと、スライダが支柱に
沿って下降するときとで、誤差が発生するという不具合
を解消できる。従って、支柱などの本体部分を軽量化し
ても、スライダの昇降時で正確な補正を行えるから、つ
まり、精度低下を招くことなく軽量化が可能であるか
ら、操作性の向上、さらに、作業者への負担を軽減でき
る。また、変位検出器がインクリメンタル型変位検出器
によって構成されているから、アブソリュート型検出器
によって構成するより安価にできる。しかも、電源投入
時に、スライダを支柱に沿って移動させ、原点設定用検
出器がスライダの到達を検知したときを基準として変位
検出器の原点を設定するようにしたから、つまり、スラ
イダが常に一定高さ位置において変位検出器の原点が設
定されるから、インクリメンタル型変位検出器によって
構成した場合の不具合を解消でき、測定子の長さが異な
るものであっても、常に正確な補正ができる。According to the present invention, the detection value of the displacement detector detected when the slider rises along the column is corrected by the correction data stored in the first correction data table, and the slider is moved to the column. The detected value of the displacement detector detected when descending along is corrected by the correction data stored in the second correction data table. In other words, the detection value of the displacement detector is corrected with different correction data when the slider rises along the column and when the slider descends along the column, so that the slider moves along the column. It is possible to solve the problem that an error occurs between when the slider rises and when the slider descends along the column. Therefore, even if the weight of the main body such as the strut is reduced, accurate correction can be performed when the slider is moved up and down, that is, the weight can be reduced without lowering the accuracy. The burden on the user can be reduced. In addition, since the displacement detector is constituted by the incremental displacement detector, it can be cheaper than that constituted by the absolute type detector. Moreover, when the power is turned on, the slider is moved along the column, and the origin of the displacement detector is set based on when the origin setting detector detects the arrival of the slider, that is, the slider is always fixed. Since the origin of the displacement detector is set at the height position, it is possible to solve the problem in the case where the displacement detector is constituted by the incremental displacement detector, and to always perform accurate correction even if the length of the tracing stylus is different.
【００１０】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の一次元測定機において、前記原点設定用検出器は、支
柱の上部に設けられ、前記原点設定処理手段は、電源投
入時に前記スライダを支柱に沿って上昇させることを特
徴とする。この発明によれば、原点設定に際して、スラ
イダが上昇するので、測定子が被測定物や定盤に衝突す
るのを回避できる。つまり、スライダが下降すると、被
測定物への衝突が危惧されるが、上昇であればその問題
の回避できる。According to a second aspect of the present invention, in the one-dimensional measuring device according to the first aspect, the origin setting detector is provided on an upper portion of a column, and the origin setting processing means is configured to perform the operation when the power is turned on. The slider is raised along the column. According to the present invention, when setting the origin, the slider moves up, so that it is possible to prevent the tracing stylus from colliding with the workpiece or the surface plate. In other words, when the slider descends, there is a fear that it will collide with the object to be measured. However, when the slider rises, the problem can be avoided.
【００１１】請求項３に記載の発明は、定盤上に移動可
能に載置されるベースと、このベースに立設された支柱
と、この支柱に沿って昇降可能に設けられ測定子を有す
るスライダと、このスライダの高さ方向の変位量を検出
する変位検出器と、この変位検出器の変位量を表示する
表示手段とを備えた一次元測定機において、前記変位検
出器がアブソリュート型変位検出器によって構成され、
前記スライダが支柱に沿って上昇するときの補正データ
を予め記憶した第１の補正データテーブルと、前記スラ
イダが支柱に沿って下降するときの補正データを予め記
憶した第２の補正データテーブルと、制御手段とを備
え、前記制御手段は、前記スライダが支柱に沿って上昇
するときに検出された前記変位検出器の検出値を、前記
第１の補正データテーブルに記憶された補正データによ
って補正する第１の補正処理手段、および、前記スライ
ダが支柱に沿って下降するときに検出された前記変位検
出器の検出値を、前記第２の補正データテーブルに記憶
された補正データによって補正する第２の補正処理手段
を含む、ことを特徴とする。According to a third aspect of the present invention, there is provided a base movably mounted on a surface plate, a column erected on the base, and a tracing stylus provided to be able to move up and down along the column. A one-dimensional measuring machine comprising a slider, a displacement detector for detecting a displacement amount of the slider in a height direction, and a display means for displaying a displacement amount of the displacement detector, wherein the displacement detector has an absolute displacement Constituted by a detector,
A first correction data table in which correction data when the slider ascends along the column is stored in advance, and a second correction data table in which correction data when the slider is lowered along the column is stored in advance. Control means, wherein the control means corrects the detection value of the displacement detector detected when the slider rises along the column by the correction data stored in the first correction data table. A first correction processing unit, and a second correction unit that corrects a detection value of the displacement detector detected when the slider descends along the column using correction data stored in the second correction data table. And a correction processing means.
【００１２】この発明によれば、請求項１に記載の発明
と同様に、スライダが支柱に沿って上昇するときに検出
される変位検出器の検出値は、第１の補正データテーブ
ルに記憶された補正データによって補正され、スライダ
が支柱に沿って下降するときに検出される変位検出器の
検出値は、第２の補正データテーブルに記憶された補正
データによって補正される。従って、精度低下を招くこ
となく軽量化が可能でるから、操作性の向上、さらに、
作業者への負担を軽減できる。また、変位検出器がアブ
ソリュート型変位検出器によって構成されているから、
請求項１に記載の発明における、電源投入時の変位検出
器の原点設定を行わないで済む利点がある。According to the present invention, similarly to the first aspect of the invention, the detected value of the displacement detector detected when the slider rises along the column is stored in the first correction data table. The value detected by the displacement detector, which is corrected by the corrected data and detected when the slider descends along the column, is corrected by the correction data stored in the second correction data table. Therefore, it is possible to reduce the weight without lowering the accuracy, and to improve the operability,
The burden on the operator can be reduced. Also, since the displacement detector is composed of an absolute type displacement detector,
According to the first aspect of the present invention, there is an advantage that it is not necessary to set the origin of the displacement detector when the power is turned on.
【００１３】請求項４に記載の発明は、請求項１ないし
請求項３のいずれかに記載の一次元測定機において、前
記制御手段は、入力された温度データと基準温度との温
度差に基づいて、前記変位検出器の検出値またはその補
正後の値を補正することを特徴とする。ここにおいて、
温度データは、作業者がキーボードなどから入力しても
よく、あるいは、温度センサを設けて、これから自動入
力するようにしてもよい。この発明によれば、入力され
た温度データと基準温度との温度差に基づいて、検出値
またはその補正後の値を補正するようにしたので、使用
環境下の温度変動に対しても精度補償できる。換言する
と、使用可能温度範囲を拡大できる。According to a fourth aspect of the present invention, in the one-dimensional measuring device according to any one of the first to third aspects, the control means is configured to determine a temperature difference between the input temperature data and a reference temperature. And correcting the detected value of the displacement detector or the value after the correction. put it here,
The temperature data may be input by an operator from a keyboard or the like, or a temperature sensor may be provided and automatically input from now on. According to the present invention, the detected value or the value after the correction is corrected based on the temperature difference between the input temperature data and the reference temperature, so that the accuracy is compensated for the temperature fluctuation under the use environment. it can. In other words, the usable temperature range can be expanded.
【００１４】請求項５に記載の発明は、請求項１ないし
請求項４のいずれかに記載の一次元測定機において、前
記支柱は、アルミニウムまたはアルミニウム合金によっ
て形成されていることを特徴とする。この発明によれ
ば、特に支柱の形態を変更することなく、材質をアルミ
ニウムまたはアルミニウム合金に変更するだけで、支柱
の重量を軽量化できる。According to a fifth aspect of the present invention, in the one-dimensional measuring device according to any one of the first to fourth aspects, the support is formed of aluminum or an aluminum alloy. According to the present invention, the weight of the support can be reduced only by changing the material to aluminum or an aluminum alloy without changing the form of the support.
【００１５】[0015]
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図面
に基づいて説明する。図１は一次元測定機としてのハイ
トゲージを示す斜視図である。同図に示すように、本実
施形態のハイトゲージは、定盤１０上に移動可能に載置
されるベース１１と、このベース１１に立設された支柱
１２と、この支柱１２に沿って上下方向へ昇降可能に設
けられ測定子１３を有するスライダ１４と、このスライ
ダ１４の高さ方向の変位量を検出する変位検出器４５
（図２参照）とを備える。ここで、前記ベース１１およ
び支柱１２のうち、少なくとも支柱１２については、ア
ルミニウムまたはアルミニウム合金によって形成されて
いる。つまり、鋳物などからなるハイドゲージに比べ、
重量が軽量化されている。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view showing a height gauge as a one-dimensional measuring machine. As shown in FIG. 1, a height gauge according to the present embodiment includes a base 11 movably mounted on a surface plate 10, a column 12 erected on the base 11, and a vertical direction along the column 12. And a displacement detector 45 for detecting the amount of displacement of the slider 14 in the height direction.
(See FIG. 2). Here, of the base 11 and the support 12, at least the support 12 is formed of aluminum or an aluminum alloy. In other words, compared to a hide gauge made of casting, etc.
The weight has been reduced.
【００１６】前記ベース１１には、前記支柱１２の裏面
側にグリップ部１５が設けら、このグリップ部１５の上
面には、表面に表示手段を構成するＬＣＤなどの表示装
置１６およびキー入力部１７を有する表示操作部１８が
旋回可能に設けられている。また、ベース１１の下面に
は、定盤１０上にエアーを噴出してベース１１を定盤１
０に対して浮上させるエアー浮上手段１９が設けられて
いる。エアー浮上手段１９は、ベース１１の下面に設け
られ無数のエアー噴出孔を有する複数のエアーパッド１
９Ａと、このエアーパッド１９Ａにエアーを供給するコ
ンプレッサ（図示していないが、グリップ部１５の下部
に設置）などを備える。The base 11 is provided with a grip portion 15 on the back side of the support column 12. On the upper surface of the grip portion 15, a display device 16 such as an LCD constituting a display means on the front surface and a key input portion 17 are provided. The display operation unit 18 having the following is provided so as to be pivotable. On the lower surface of the base 11, air is blown onto the surface plate 10 to attach the base 11 to the surface plate 1.
Air levitation means 19 for levitation with respect to zero is provided. The air levitation means 19 includes a plurality of air pads 1 provided on the lower surface of the base 11 and having an infinite number of air ejection holes.
9A and a compressor (not shown, but installed below the grip portion 15) for supplying air to the air pad 19A.
【００１７】前記支柱１２の上部位置には、スライダ１
４の到達を検知する原点設定用検出器としてのリミット
スイッチ４７が設けられている。また、支柱１２の右側
面（測定子１３を有する面に対して隣接する側面）でか
つベース１１近傍（つまり、下部位置）には、ハンドル
２１が支柱１２に対して直角に突設されている。ハンド
ル２１には、エアー浮上制御スイッチ３１、リピートス
イッチ３２およびキャンセルスイッチ３３が順次が設け
られている。エアー浮上制御スイッチ３１は、前記エア
ー浮上手段１９へのエアーの供給、遮断を制御するもの
である。リピートスイッチ３２は、前回の測定項目の測
定手順を繰り返し指令するものである。キャンセルスイ
ッチ３３は、現在実行中の測定手順のキャンセルを指令
するものである。At the upper position of the column 12, the slider 1
A limit switch 47 is provided as an origin setting detector for detecting the arrival of the reference numeral 4. On the right side surface of the support column 12 (side surface adjacent to the surface having the tracing stylus 13) and near the base 11 (that is, at a lower position), a handle 21 is provided to project at right angles to the support column 12. . The handle 21 is provided with an air levitation control switch 31, a repeat switch 32, and a cancel switch 33 sequentially. The air levitation control switch 31 controls supply and cutoff of air to the air levitation means 19. The repeat switch 32 is for repeatedly instructing the measurement procedure of the previous measurement item. The cancel switch 33 instructs cancellation of the measurement procedure currently being executed.
【００１８】図２は本実施形態の全体構成を示すブロッ
ク図である。同図において、制御装置４１は、制御手段
としてのＣＰＵ４２と、メモリ４３とを備える。前記メ
モリ４３には、各種の測定手順プログラムを記憶したプ
ログラム記憶部４３Ａと、前記スライダ１４が支柱１２
に沿って上昇するときの補正データを予め記憶した第１
の補正データテーブル４３Ｂと、前記スライダ１４が支
柱１２に沿って下降するときの補正データを予め記憶し
た第２の補正データテーブル４３Ｃとがそれぞれ設けら
れている。FIG. 2 is a block diagram showing the overall configuration of the present embodiment. In the figure, a control device 41 includes a CPU 42 as control means and a memory 43. The memory 43 includes a program storage unit 43A storing various measurement procedure programs, and the slider 14
The first correction data stored beforehand when rising along
And a second correction data table 43C in which correction data when the slider 14 descends along the support 12 are stored in advance.
【００１９】前記第１の補正データテーブル４３Ｂに
は、図３に示すように、スライダ１４が上昇時におい
て、支柱１２の高さ（Ｚ）に対応して、具体的には、支
柱１２の一定高さ毎にそれに対応する補正量（補正デー
タ）が記憶されている。前記第２の補正データテーブル
４３Ｃには、図４に示すように、スライダ１４の下降時
において、支柱１２の高さ位置に対応して、具体的に
は、支柱１２の一定高さ毎にそれに対応する補正量（補
正データ）が記憶されている。これら補正データテーブ
ル４３Ｂ、４３Ｃは、予め、一定高さ寸法毎にゲージブ
ロックを測定し、そのゲージブロックの真値と測定値と
の差を補正量（補正データ）として記憶したものであ
る。As shown in FIG. 3, the first correction data table 43B indicates that when the slider 14 is lifted, the height of the support 12 is specifically determined according to the height (Z) of the support 12. A correction amount (correction data) corresponding to each height is stored. As shown in FIG. 4, the second correction data table 43 </ b> C corresponds to the height position of the column 12 when the slider 14 descends, and more specifically, every second height of the column 12. A corresponding correction amount (correction data) is stored. In these correction data tables 43B and 43C, a gauge block is measured in advance for each fixed height dimension, and the difference between the true value and the measured value of the gauge block is stored as a correction amount (correction data).
【００２０】前記ＣＰＵ４２には、前記キー入力部１
７、前記ハンドル２１に設けられた３つのスイッチ３
１，３２，３３、前記表示装置１６、前記エアー浮上手
段１９、前記リミットスイッチ４７のほかに、前記スラ
イダ１４を上下方向へ昇降させる昇降駆動手段４４と、
この昇降駆動手段４４によって昇降されるスライダ１４
の高さ方向の変位量を検出する変位検出器４５と、スピ
ーカ４６とがそれぞれ接続されている。また、ＣＰＵ４
２は、前記プログラム記憶部４３Ａに記憶された測定手
順プログラムに従って各ステップを実行する測定処理手
段、電源投入時にスライダ１４を支柱１２に沿って移動
させ、リミットスイッチ４７がスライダ１４の到達を検
知したときを基準として変位検出器４５の原点を設定す
る原点設定処理手段、スライダ１４が支柱１２に沿って
上昇するときに検出された変位検出器４５の検出値を、
第１の補正データテーブル４３Ｂに記憶された補正デー
タによって補正する第１の補正処理手段、および、スラ
イダ１４が支柱１２に沿って下降するときに検出された
変位検出器４５の検出値を、第２の補正データテーブル
４３Ｃに記憶された補正データによって補正する第２の
補正処理手段などを有する。The CPU 42 includes the key input unit 1
7, three switches 3 provided on the handle 21
1, 32, 33, the display device 16, the air levitation means 19, the limit switch 47, and a lifting drive means 44 for vertically moving the slider 14;
The slider 14 which is raised and lowered by the lifting drive means 44
A displacement detector 45 for detecting the amount of displacement in the height direction of the camera and a speaker 46 are connected to each other. CPU4
2 is a measurement processing means for executing each step according to the measurement procedure program stored in the program storage section 43A. The slider 14 is moved along the column 12 when the power is turned on, and the limit switch 47 detects the arrival of the slider 14 Origin setting processing means for setting the origin of the displacement detector 45 on the basis of the time, a detection value of the displacement detector 45 detected when the slider 14 moves up along the support 12;
The first correction processing means for correcting with the correction data stored in the first correction data table 43B, and the detection value of the displacement detector 45 detected when the slider 14 descends along the support 12 And a second correction processing unit that performs correction using the correction data stored in the second correction data table 43C.
【００２１】前記昇降駆動手段４４は、上下動モータ４
４Ａと、この上下動モータ４４Ａの出力軸に設けられた
定圧機構４４Ｂとを含んで構成されている。定圧機構４
４Ｂは、上下動モータ４４Ａの回転をベルトなどの伝達
手段を介してスライダ１４に伝達してスライダ１４を昇
降させるとともに、スライダ１４に一定以上の負荷がか
かったときに空転する機能を備える。変位検出器４５
は、インクリメタル型変位検出器によって構成されてい
る。具体的には、前記支柱１２に沿って設けられた上下
方向に光学格子を一定ピッチで有するスケール（図６に
示す４５Ａ）と、このスケールに対向して前記スライダ
１４に配置された検出器（図６に示す４５Ｂ）とを含
み、この両者の協働によって支柱１２上におけるスライ
ダ１４の高さ方向の変位量を電気的信号として検出す
る。The lifting / lowering drive means 44 includes a vertically moving motor 4.
4A, and a constant pressure mechanism 44B provided on the output shaft of the vertical movement motor 44A. Constant pressure mechanism 4
4B has a function of transmitting the rotation of the up / down motor 44A to the slider 14 via a transmission means such as a belt to move the slider 14 up and down, and having a function of idling when a certain load or more is applied to the slider 14. Displacement detector 45
Are constituted by incremental metal displacement detectors. Specifically, a scale (45A shown in FIG. 6) having an optical grating at a constant pitch in the vertical direction provided along the column 12 and a detector (45A) arranged on the slider 14 so as to face the scale 45B) shown in FIG. 6, the displacement of the slider 14 on the support 12 in the height direction is detected as an electric signal by the cooperation of the two.
【００２２】次に、本実施形態の作用を説明する。電源
が投入されると、ＣＰＵ４２は、昇降駆動手段４４を駆
動してスライダ１４を上昇させ、リミットスイッチ４７
がスライダ１４の到達を検知したときを基準として変位
検出器４５の原点を設定する。たとえば、図５に示すよ
うに、電源投入時におけるスライダ１４の位置が０とし
て表示されている状態から、その後、スライダ１４が上
昇してリミットスイッチ４７に当接したときの変位検出
器４５の値、つまり、Ｚ２を取り込み、このＺ２とリミ
ットスイッチ４７の高さ位置、たとえば、６１０ｍｍと
から、オフセット値ＯＦ２を、 オフセット値ＯＦ２＝Ｚ２−６１０ から求める。ここでは、定盤１０の表面が０になるよう
に、変位検出器４５の原点を設定している。Next, the operation of the present embodiment will be described. When the power is turned on, the CPU 42 drives the lifting / lowering driving means 44 to raise the slider 14 and
Sets the origin of the displacement detector 45 with reference to the time when the slider 14 arrives. For example, as shown in FIG. 5, from the state where the position of the slider 14 at the time of turning on the power is displayed as 0, the value of the displacement detector 45 when the slider 14 moves up and comes into contact with the limit switch 47 That is, Z2 is fetched, and the offset value OF2 is obtained from Z2 and the height position of the limit switch 47, for example, 610 mm, from the offset value OF2 = Z2-610. Here, the origin of the displacement detector 45 is set so that the surface of the surface plate 10 becomes zero.
【００２３】このようにして原点設定を行ったのち、測
定を行う。測定にあたっては、まず、片手でハンドル２
１を握り、その親指でエアー浮上制御スイッチ３１を押
す。すると、エアー浮上手段１９によってベース１１が
定盤１０に対して浮上した状態になるから、この状態で
ハンドル２１を握りながらベース１１を移動させ、測定
子１３を被測定物の測定部位近傍に位置させたのち、エ
アー浮上制御スイッチ３１から手を離す。すると、エア
ーが遮断されるから、ベース１１は定盤１０上に接した
状態で静止される。After setting the origin in this way, measurement is performed. When measuring, first, handle 2 with one hand
1 and press the air levitation control switch 31 with its thumb. Then, the base 11 is floated with respect to the surface plate 10 by the air floating means 19. In this state, the base 11 is moved while holding the handle 21, and the tracing stylus 13 is moved to a position near the measurement site of the measured object. After that, release the air levitation control switch 31. Then, since the air is shut off, the base 11 is stopped while being in contact with the surface plate 10.
【００２４】ここで、昇降駆動手段４４を駆動してスラ
イダ１４を上昇または下降させ、測定子１３を被測定物
の測定部位に当接させる。このとき、ＣＰＵ４２は、測
定子１３が被測定物の測定部位に当接したときの変位検
出器４５の値を取り込み、この変位検出器４５内のカウ
ンタ値Ｚ１を図６に示す処理を経て測定値として出力す
る。以下、この処理を順に説明する。Here, the elevation drive means 44 is driven to raise or lower the slider 14, and the tracing stylus 13 is brought into contact with the measurement site of the workpiece. At this time, the CPU 42 captures the value of the displacement detector 45 when the tracing stylus 13 comes into contact with the measurement site of the measured object, and measures the counter value Z1 in the displacement detector 45 through the processing shown in FIG. Output as a value. Hereinafter, this processing will be described in order.
【００２５】（１）単位変換 ここでは、測定子１３が測定部位に当接したときの変位
検出器４５内のカウンタ値Ｚ１（パルス数として与えら
れている）を、ｍｍ単位の値Ｚ２に変換する。 （２）機械原点補正 ここでは、値Ｚ２をオフセット値ＯＦ２で補正して、機
械原点補正を行う。つまり、 Ｚ３＝Ｚ２−ＯＦ２ を求める。(1) Unit Conversion Here, the counter value Z1 (given as the number of pulses) in the displacement detector 45 when the tracing stylus 13 contacts the measurement site is converted into a value Z2 in mm units. I do. (2) Mechanical origin correction Here, the value Z2 is corrected with the offset value OF2 to perform mechanical origin correction. That is, Z3 = Z2-OF2 is obtained.
【００２６】（３）機械（スケール）の温度補正 ここでは、変位検出器４５を構成するスケール４５Ａの
温度補正を行って、Ｚ４を求める。つまり、 Ｚ４＝Ｚ３＋（スケールの線膨張係数）×（Ｚ３−ＯＦ
３）×（環境温度−２０）／１０００００ を求める。ただし、ＯＦ３：スケールの膨張原点、たと
えば、図５の下端で既知である。また、環境温度につい
ては、キー入力部１７から予め入力しておく。なお、こ
の温度補正については、次の（４）機械の指示精度補正
の後に行ってもよい。(3) Temperature Correction of Machine (Scale) Here, Z4 is obtained by performing temperature correction of the scale 45A constituting the displacement detector 45. That is, Z4 = Z3 + (scale linear expansion coefficient) × (Z3-OF
3) Obtain x (environmental temperature-20) / 100,000. However, OF3: known at the expansion origin of the scale, for example, at the lower end of FIG. The environmental temperature is input in advance from the key input unit 17. This temperature correction may be performed after the following (4) correction of the pointing accuracy of the machine.
【００２７】（４）機械の指示精度補正 ここでは、Ｚ４に対して第１の補正データテーブル４３
Ｂまたは第２の補正データテーブル４３Ｃの補正量（補
正データ）を用いて補正する。具体的には、スライダ１
４の上昇によって測定子１３が被測定物に対して下から
当接したときには、第１の補正データテーブル４３Ｂの
補正量（補正データ）を用いて、また、スライダ１４の
下降によって測定子１３が被測定物に対して上から当接
したときには、第２の補正データテーブル４３Ｃの補正
量（補正データ）を用いて、補正する。つまり、 Ｚ５＝Ｚ４−（上昇または下降時の補正量） なお、第１および第２の補正データテーブル４３Ｂ、４
３Ｃ（図３および図４）において、Ｚ４に対応するデー
タが無いときには、その前後の値から直線補間によって
補正量を用いる。(4) Correction of Machine Instruction Accuracy Here, the first correction data table 43 is added to Z4.
The correction is performed using B or the correction amount (correction data) in the second correction data table 43C. Specifically, the slider 1
When the tracing stylus 13 comes into contact with the object to be measured from below due to the rise of the slider 4, the tracing stylus 13 is moved by using the correction amount (correction data) of the first correction data table 43 B, and When the measurement object comes into contact with the object from above, the correction is performed using the correction amount (correction data) in the second correction data table 43C. That is, Z5 = Z4- (correction amount at the time of ascending or descending) Note that the first and second correction data tables 43B, 43B,
In 3C (FIGS. 3 and 4), when there is no data corresponding to Z4, a correction amount is used by linear interpolation from values before and after Z4.
【００２８】（５）その他の補正 その他の補正として、既に公知の基準点補正、プローブ
径補正／プローブ・オフセット補正、ワークの温度補
正、スケールファクタ補正、ユーザ原点補正などを順次
行ったのち、測定値として表示装置１６に表示する。(5) Other Corrections As other corrections, known reference point correction, probe diameter correction / probe offset correction, work temperature correction, scale factor correction, user origin correction, and the like are sequentially performed, and then measurement is performed. It is displayed on the display device 16 as a value.
【００２９】従って、本実施形態によれば、ベース１１
および支柱１２のうち、少なくとも支柱１２をアルミニ
ウムまたはアルミニウム合金によって形成し、支柱１２
の重量を軽量化したので、慣性力も小さくでき、そのた
め、従来ほど、作業者が衝突に対して注意を払わなくて
もよいので、作業者への負担を軽減でき、操作性も向上
させることができる。Therefore, according to the present embodiment, the base 11
And at least one of the supports 12 is formed of aluminum or an aluminum alloy.
In addition, the weight of the body has been reduced, so that the inertia force can be reduced, so that the worker does not need to pay attention to collisions as before, so that the burden on the worker can be reduced and the operability can be improved. it can.
【００３０】また、スライダ１４が支柱１２に沿って上
昇するときの補正データを予め記憶した第１の補正デー
タテーブル４３Ｂと、スライダ１４が支柱１２に沿って
下降するときの補正データを予め記憶した第２の補正デ
ータテーブル４３Ｃとを予め用意しておき、スライダ１
４が支柱１２に沿って上昇するときに検出される変位検
出器４５の検出値を、第１の補正データテーブル４３Ｂ
に記憶された補正データによって補正し、スライダ１４
が支柱１２に沿って下降するときに検出される変位検出
器４５の検出値を、第２の補正データテーブル４３Ｃに
記憶された補正データによって補正するようにしたの
で、スライダ１４が支柱１２に沿って上昇するときと、
スライダ１４が支柱１２に沿って下降するときとで、誤
差が発生するという不具合を解消できる。従って、支柱
１２を軽量化することに伴う剛性の低下に対しても、精
度補償できる。A first correction data table 43B in which correction data when the slider 14 moves up along the support 12 is stored in advance, and correction data when the slider 14 moves down along the support 12 is stored in advance. The second correction data table 43C is prepared in advance, and the slider 1
The value detected by the displacement detector 45, which is detected when the object 4 rises along the column 12, is stored in the first correction data table 43B.
Is corrected by the correction data stored in the
Is corrected by the correction data stored in the second correction data table 43 </ b> C, so that the slider 14 moves along the support 12. When it rises,
The problem that an error occurs when the slider 14 descends along the column 12 can be solved. Accordingly, accuracy can be compensated for a decrease in rigidity caused by reducing the weight of the column 12.
【００３１】また、変位検出器４５をインクリメンタル
型変位検出器によって構成したので、アブソリュート型
検出器によって構成するより安価にできる。しかも、電
源投入時に、スライダ１４を支柱１２に沿って移動さ
せ、リミットスイッチ４７がスライダ１４の到達を検知
したときを基準として変位検出器４５の原点を設定する
ようにしたから、つまり、スライダ１４が常に一定高さ
位置において変位検出器４５の原点を設定しているか
ら、インクリメンタル型変位検出器によって構成した場
合の不具合を解消でき、測定子１３の長さが異なるもの
であっても、常に正確な補正ができる。Further, since the displacement detector 45 is constituted by an incremental type displacement detector, it can be manufactured at a lower cost than that constituted by an absolute type detector. Moreover, when the power is turned on, the slider 14 is moved along the column 12, and the origin of the displacement detector 45 is set on the basis of when the limit switch 47 detects the arrival of the slider 14, that is, the slider 14 Always sets the origin of the displacement detector 45 at a constant height position, it is possible to solve the problem in the case of being constituted by the incremental displacement detector, and even if the length of the tracing stylus 13 is different, Accurate correction can be made.
【００３２】しかも、原点設定に際して、リミットスイ
ッチ４７を支柱１２の上部に設けるとともに、電源投入
時には、スライダ１４を支柱１２に沿って上昇させてリ
ミットスイッチ４７に当接させるようにしたので、電源
投入時にスライダ１４を支柱１２に沿って下降させる場
合に比べ、測定子１３が被測定物に衝突する事故を少な
くできる。In addition, when setting the origin, the limit switch 47 is provided on the upper part of the column 12, and when the power is turned on, the slider 14 is moved up along the column 12 to contact the limit switch 47. Occasionally, the number of accidents in which the tracing stylus 13 collides with the object to be measured can be reduced as compared with the case where the slider 14 is moved down along the column 12.
【００３３】また、入力された温度データと基準温度と
の温度差に基づいて、変位検出器４５の検出値Ｚ３を補
正するようにしたので、使用環境下の温度変動に対して
も精度補償できる。つまり、使用可能温度範囲を拡大で
きる。Further, since the detection value Z3 of the displacement detector 45 is corrected based on the temperature difference between the input temperature data and the reference temperature, it is possible to accurately compensate for the temperature fluctuation under the use environment. . That is, the usable temperature range can be expanded.
【００３４】なお、前記実施形態では、変位検出器をイ
ンクリメンタル型検出器によって構成したが、これに限
らず、アブソリュート型検出器によって構成してもよ
い。このようにすれば、前記実施形態で述べた、電源投
入時の変位検出器の原点設定を行わないで済む利点があ
る。In the above embodiment, the displacement detector is constituted by an incremental type detector, but is not limited to this, and may be constituted by an absolute type detector. In this case, there is an advantage that it is not necessary to set the origin of the displacement detector when the power is turned on as described in the above embodiment.
【００３５】また、前記実施形態では、光電式の変位検
出器を用いたが、これに限らず、静電容量式や磁気式な
どでもよい。また、前記実施形態では、環境温度をキー
入力部１７から入力したが、温度センサなどを設けてお
き、この温度センサから自動的に入力するようにしても
よい。In the above embodiment, the photoelectric displacement detector is used. However, the present invention is not limited to this, and a capacitance type or a magnetic type may be used. Further, in the above-described embodiment, the environmental temperature is input from the key input unit 17, but a temperature sensor or the like may be provided and the temperature may be automatically input from this temperature sensor.
【００３６】また、前記実施形態では、ベース１１およ
び支柱１２のうち、少なくとも支柱１２をアルミニウム
またはその合金で形成したが、これに限らず、ある程度
の剛性を備え、かつ、軽量化できる材料なら他の材料で
もよい。さらに、材料については、従来と同じ材料（た
とえば、鋳物）を用いて、ベース１１および支柱１２の
形状を変えるようにしてもよい。たとえば、ベース１１
および支柱１２を中空状に形成してもよく、支柱１２を
細く形成してもよい。In the above-described embodiment, at least the pillars 12 of the base 11 and the pillars 12 are formed of aluminum or an alloy thereof. However, the present invention is not limited to this, and any other material having a certain degree of rigidity and capable of reducing the weight can be used. Material may be used. Further, as for the material, the shape of the base 11 and the column 12 may be changed by using the same material (for example, casting) as in the related art. For example, base 11
The support 12 may be formed in a hollow shape, or the support 12 may be formed thin.
【００３７】[0037]
【発明の効果】本発明の一次元測定機によれば、精度低
下を招くことなく軽量化が可能で、操作性の向上、さら
に、作業者への負担を軽減できる。According to the one-dimensional measuring machine of the present invention, the weight can be reduced without lowering the accuracy, the operability can be improved, and the burden on the operator can be reduced.
【図１】本発明の一実施形態を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of the present invention.
【図２】同上実施形態のブロック図である。FIG. 2 is a block diagram of the embodiment.
【図３】同上実施形態の第１の補正データテーブルを示
す図である。FIG. 3 is a diagram showing a first correction data table of the embodiment.
【図４】同上実施形態の第２の補正データテーブルを示
す図である。FIG. 4 is a diagram showing a second correction data table of the embodiment.
【図５】同上実施形態における原点設定を示す図であ
る。FIG. 5 is a diagram showing an origin setting in the embodiment.
【図６】同上実施形態における測定データ処理シーケン
スを示す図である。FIG. 6 is a diagram showing a measurement data processing sequence in the embodiment.
【符号の説明】 １０ 定盤 １１ ベース １２ 支柱 １３ 測定子 １４ スライダ １６ 表示装置（表示手段） ４２ ＣＰＵ（制御手段） ４３Ｂ 第１の補正データテーブル ４３Ｃ 第２の補正データテーブル ４５ 変位検出器 ４７ リミットスイッチ（原点設定用検出器）[Description of Signs] 10 surface plate 11 base 12 support 13 measuring element 14 slider 16 display device (display means) 42 CPU (control means) 43B first correction data table 43C second correction data table 45 displacement detector 47 limit Switch (origin setting detector)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 時任 博幸 神奈川県川崎市高津区坂戸１−20−１ 株 式会社ミツトヨ内 (72)発明者 野村 陽一 神奈川県川崎市高津区坂戸１−20−１ 株 式会社ミツトヨ内 (72)発明者 青山 文次 広島県呉市広古新開６−８−20 株式会社 ミツトヨ内 Ｆターム(参考） 2F069 AA02 AA06 AA42 AA43 DD25 DD27 EE02 EE23 GG01 GG06 GG07 GG16 GG62 HH01 HH04 HH12 HH13 HH14 JJ06 LL01 MM07 MM13 MM32 QQ08 QQ12 QQ17 RR01 RR03 2F103 BA01 BA02 BA32 CA01 DA02 DA04 DA12 EA23 EB01 EB11 GA15 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Hiroyuki Tokito 1-20-1 Sakado, Takatsu-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa Prefecture Mitutoyo Corporation (72) Inventor Yoichi Nomura 1-20-1 Sakado, Takatsu-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa Mitutoyo Co., Ltd. (72) Inventor Bunji Aoyama 6-8-20 Hiroko Shinkai, Kure-shi, Hiroshima F-term (reference) 2F069 AA02 AA06 AA42 AA43 DD25 DD27 EE02 EE23 GG01 GG06 GG07 GG16 GG62 HH01 HH04 HH12 HH13 HH14 JJ06 LL01 MM07 MM13 MM32 QQ08 QQ12 QQ17 RR01 RR03 2F103 BA01 BA02 BA32 CA01 DA02 DA04 DA12 EA23 EB01 EB11 GA15
Claims (5)
と、このベースに立設された支柱と、この支柱に沿って
昇降可能に設けられ測定子を有するスライダと、このス
ライダの高さ方向の変位量を検出する変位検出器と、こ
の変位検出器の変位量を表示する表示手段とを備えた一
次元測定機において、 前記変位検出器がインクリメンタル型変位検出器によっ
て構成されているとともに、前記支柱にスライダの到達
を検知する原点設定用検出器が設けられ、 前記スライダが支柱に沿って上昇するときの補正データ
を予め記憶した第１の補正データテーブルと、 前記スライダが支柱に沿って下降するときの補正データ
を予め記憶した第２の補正データテーブルと、 制御手段とを備え、 前記制御手段は、電源投入時に前記スライダを支柱に沿
って移動させ、前記原点設定用検出器がスライダの到達
を検知したときを基準として前記変位検出器の原点を設
定する原点設定処理手段、前記スライダが支柱に沿って
上昇するときに検出された前記変位検出器の検出値を、
前記第１の補正データテーブルに記憶された補正データ
によって補正する第１の補正処理手段、および、前記ス
ライダが支柱に沿って下降するときに検出された前記変
位検出器の検出値を、前記第２の補正データテーブルに
記憶された補正データによって補正する第２の補正処理
手段を含む、 ことを特徴とする一次元測定機。1. A base movably mounted on a surface plate, a column erected on the base, a slider having a measuring element provided up and down along the column, and a height of the slider. In a one-dimensional measuring machine comprising a displacement detector for detecting a displacement amount in a vertical direction and a display means for displaying a displacement amount of the displacement detector, the displacement detector is constituted by an incremental displacement detector. A first correction data table in which correction data for when the slider ascends along the support is stored in advance; and a first correction data table in which the slider is mounted on the support is provided. A second correction data table preliminarily storing correction data for descending along the axis, and control means, wherein the control means moves the slider along the column when the power is turned on. Origin setting processing means for setting the origin of the displacement detector with reference to when the origin setting detector detects the arrival of the slider; and detecting the displacement detected when the slider rises along the column. Detector value,
First correction processing means for correcting with the correction data stored in the first correction data table, and a detection value of the displacement detector detected when the slider descends along the support, 2. A one-dimensional measuring machine, comprising: second correction processing means for performing correction using correction data stored in a second correction data table.
て、 前記原点設定用検出器は、支柱の上部に設けられ、 前記原点設定処理手段は、電源投入時に前記スライダを
支柱に沿って上昇させることを特徴とする一次元測定
機。2. The one-dimensional measuring device according to claim 1, wherein the origin setting detector is provided on an upper portion of the column, and the origin setting processing means raises the slider along the column when power is turned on. A one-dimensional measuring machine characterized by
と、このベースに立設された支柱と、この支柱に沿って
昇降可能に設けられ測定子を有するスライダと、このス
ライダの高さ方向の変位量を検出する変位検出器と、こ
の変位検出器の変位量を表示する表示手段とを備えた一
次元測定機において、 前記変位検出器がアブソリュート型変位検出器によって
構成され、 前記スライダが支柱に沿って上昇するときの補正データ
を予め記憶した第１の補正データテーブルと、 前記スライダが支柱に沿って下降するときの補正データ
を予め記憶した第２の補正データテーブルと、 制御手段とを備え、 前記制御手段は、前記スライダが支柱に沿って上昇する
ときに検出された前記変位検出器の検出値を、前記第１
の補正データテーブルに記憶された補正データによって
補正する第１の補正処理手段、および、前記スライダが
支柱に沿って下降するときに検出された前記変位検出器
の検出値を、前記第２の補正データテーブルに記憶され
た補正データによって補正する第２の補正処理手段を含
む、 ことを特徴とする一次元測定機。3. A base movably mounted on a surface plate, a column erected on the base, a slider having a measuring element provided up and down along the column, and a height of the slider. A displacement detector for detecting a displacement amount in a vertical direction, and a display means for displaying a displacement amount of the displacement detector, wherein the displacement detector is configured by an absolute type displacement detector, A first correction data table preliminarily storing correction data when the slider moves up along the support, a second correction data table storing correction data when the slider moves down along the support, Means for detecting the displacement value of the displacement detector, which is detected when the slider rises along the support, by the first control means.
First correction processing means for performing correction using the correction data stored in the correction data table, and the second correction processing for detecting the detection value of the displacement detector detected when the slider descends along the column. A one-dimensional measuring machine comprising: a second correction processing unit that performs correction using correction data stored in a data table.
載の一次元測定機において、 前記制御手段は、入力された温度データと基準温度との
温度差に基づいて、前記変位検出器の検出値または補正
後の値を補正することを特徴とする一次元測定機。4. The one-dimensional measuring device according to claim 1, wherein the control unit detects the displacement of the displacement detector based on a temperature difference between the input temperature data and a reference temperature. A one-dimensional measuring machine for correcting a detected value or a value after correction.
載の一次元測定機において、 前記支柱は、アルミニウムまたはアルミニウム合金によ
って形成されていることを特徴とする一次元測定機。5. The one-dimensional measuring device according to claim 1, wherein the support is made of aluminum or an aluminum alloy.
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