JP2000289200A - インクジェット式記録ヘッド、及び圧電振動子ユニット - Google Patents
インクジェット式記録ヘッド、及び圧電振動子ユニットInfo
- Publication number
- JP2000289200A JP2000289200A JP11097175A JP9717599A JP2000289200A JP 2000289200 A JP2000289200 A JP 2000289200A JP 11097175 A JP11097175 A JP 11097175A JP 9717599 A JP9717599 A JP 9717599A JP 2000289200 A JP2000289200 A JP 2000289200A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric vibrator
- piezoelectric
- recording head
- flexible cable
- ink jet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 十分な信頼性を確保しつつ異方性導電膜また
は異方性導電ペーストにより圧電振動子とフレキシブル
ケーブルとを接合する。 【解決手段】 圧電振動子９、９とフレキシブルケーブ
ル１３の接続部３３との対向領域には高い密度で導電性
粒子が存在して導電性が生じ、また圧電振動子相互間の
間隙に流れ込んで固化したた高分子材料がフレキシブル
ケーブル１３と圧電振動子９とを強固に接合する。
は異方性導電ペーストにより圧電振動子とフレキシブル
ケーブルとを接合する。 【解決手段】 圧電振動子９、９とフレキシブルケーブ
ル１３の接続部３３との対向領域には高い密度で導電性
粒子が存在して導電性が生じ、また圧電振動子相互間の
間隙に流れ込んで固化したた高分子材料がフレキシブル
ケーブル１３と圧電振動子９とを強固に接合する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術の分野】本発明は、縦振動モードの
圧電振動子の伸縮によりノズル開口からインク滴を吐出
させて画像や文字を記録用紙に記録するインクジェット
式記録ヘッド、より詳細には複数の圧電振動子を固定基
板の一定のピッチで固定して構成された振動子ユニット
と、これに駆動信号を供給するフレキシブルケーブルと
の接続構造に関する。
圧電振動子の伸縮によりノズル開口からインク滴を吐出
させて画像や文字を記録用紙に記録するインクジェット
式記録ヘッド、より詳細には複数の圧電振動子を固定基
板の一定のピッチで固定して構成された振動子ユニット
と、これに駆動信号を供給するフレキシブルケーブルと
の接続構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】インクジェット式記録ヘッドの中でも、
高速駆動が可能である縦振動モードの圧電振動子を使用
した記録ヘッドは、ノズル開口、及びリザーバに連通す
る圧力発生室の一部を弾性板によりインク吐出部を形成
し、軸長方向に伸縮する圧電振動子を、その一端を一定
ピッチで固定基板に固定した振動子ユニットにより駆動
するように構成されている。
高速駆動が可能である縦振動モードの圧電振動子を使用
した記録ヘッドは、ノズル開口、及びリザーバに連通す
る圧力発生室の一部を弾性板によりインク吐出部を形成
し、軸長方向に伸縮する圧電振動子を、その一端を一定
ピッチで固定基板に固定した振動子ユニットにより駆動
するように構成されている。
【０００３】このような振動子ユニットは、圧電振動子
の後端を、フレキシブルケーブルの接続パターンと半田
付けにより接続されて、外部からの駆動信号の供給を受
けるように構成されている。
の後端を、フレキシブルケーブルの接続パターンと半田
付けにより接続されて、外部からの駆動信号の供給を受
けるように構成されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このような圧電振動子
は、長さがせいぜい数ミリ、幅が０．０４〜０．１ｍｍ
程度と極めて小さく、相互間の間隙が小さいため、半田
の溶け出しにより短絡が生じるという問題がある。ま
た、積層圧電振動子の場合、１層の厚みが１０〜３０μ
ｍであるため、同じく半田の溶け出しにより層間の個別
電極と共通電極が短絡するという問題がある。このよう
な問題を解消するため、半導体素子とプリント基板との
接合作業に広く使用されている、接着剤に導電性粒子を
混練した異方性導電ペースト、またはこれをフィルム状
に整形した異方性導電膜を使用することも考えられる。
しかながら、異方性導電ペーストや異方性導電膜は、半
田に比較してその接合力が低いため、機械的変位を伴う
圧電振動子との接合には十分な強度を確保することがで
きず、記録ヘッドとしての信頼性が低下するという問題
がある。本発明はこのような問題に鑑みてなされたもの
であって、その目的とするとことは十分な信頼性を確保
しつつ異方性導電膜または異方性導電ペーストにより圧
電振動子とフレキシブルケーブルとを接合したインクジ
ェット式記録ヘッド、及び圧電振動子ユニットを提供す
ることである。
は、長さがせいぜい数ミリ、幅が０．０４〜０．１ｍｍ
程度と極めて小さく、相互間の間隙が小さいため、半田
の溶け出しにより短絡が生じるという問題がある。ま
た、積層圧電振動子の場合、１層の厚みが１０〜３０μ
ｍであるため、同じく半田の溶け出しにより層間の個別
電極と共通電極が短絡するという問題がある。このよう
な問題を解消するため、半導体素子とプリント基板との
接合作業に広く使用されている、接着剤に導電性粒子を
混練した異方性導電ペースト、またはこれをフィルム状
に整形した異方性導電膜を使用することも考えられる。
しかながら、異方性導電ペーストや異方性導電膜は、半
田に比較してその接合力が低いため、機械的変位を伴う
圧電振動子との接合には十分な強度を確保することがで
きず、記録ヘッドとしての信頼性が低下するという問題
がある。本発明はこのような問題に鑑みてなされたもの
であって、その目的とするとことは十分な信頼性を確保
しつつ異方性導電膜または異方性導電ペーストにより圧
電振動子とフレキシブルケーブルとを接合したインクジ
ェット式記録ヘッド、及び圧電振動子ユニットを提供す
ることである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】このような問題を解消す
るために本発明においては、ノズル開口とインク供給口
を介してリザーバに連通し、駆動用の圧電振動子により
加圧される圧力発生室を複数備え、前記圧電振動子にフ
レキシブケーブルを介して駆動信号を供給するインクジ
ェット式記録ヘッドにおいて、前記圧電振動子が固定基
板に固定されて構成され、また前記フレキシブルケーブ
ルが、ベース材に導電層形成材を積層して導電パターン
を形成するとともに、前記導電パターンの先端に前記導
電層形成材を露出させて前記圧力発生室の配列ピッチに
一致した接続部が形成され、前記接続部と前記圧電振動
子の接続領域との間に異方性導電層を介して前記フレキ
シブケーブルが導電接続され、また前記異方性導電層を
構成する高分子接合剤が前記圧電振動子の間を埋めて前
記圧電振動子と接合されている。
るために本発明においては、ノズル開口とインク供給口
を介してリザーバに連通し、駆動用の圧電振動子により
加圧される圧力発生室を複数備え、前記圧電振動子にフ
レキシブケーブルを介して駆動信号を供給するインクジ
ェット式記録ヘッドにおいて、前記圧電振動子が固定基
板に固定されて構成され、また前記フレキシブルケーブ
ルが、ベース材に導電層形成材を積層して導電パターン
を形成するとともに、前記導電パターンの先端に前記導
電層形成材を露出させて前記圧力発生室の配列ピッチに
一致した接続部が形成され、前記接続部と前記圧電振動
子の接続領域との間に異方性導電層を介して前記フレキ
シブケーブルが導電接続され、また前記異方性導電層を
構成する高分子接合剤が前記圧電振動子の間を埋めて前
記圧電振動子と接合されている。
【０００６】
【作用】圧電振動子とフレキシブルケーブルの接続部と
の対向領域には高い密度で導電性粒子が存在して導電性
が生じ、また圧電振動子相互間の間隙に流れ込んで固化
した高分子材料がフレキシブルケーブルと圧電振動子と
を強固に接合する。
の対向領域には高い密度で導電性粒子が存在して導電性
が生じ、また圧電振動子相互間の間隙に流れ込んで固化
した高分子材料がフレキシブルケーブルと圧電振動子と
を強固に接合する。
【０００７】
【発明の実施の形態】そこで以下に本発明の詳細を図示
した実施例に基づいて説明する。図１、図２は本発明の
インクジェット式記録ヘッドの一実施例を示すものであ
って、流路ユニット１は、ノズル開口２を一定ピッチで
穿設したノズルプレート３と、ノズル開口２に連通する
圧力発生室４、これにインク供給口５を介してインクを
供給するリザーバ６を備えた流路形成基板７と、振動子
ユニット８の各圧電振動子９の先端に当接されて圧力発
生室４の容積を膨張、縮小させる弾性板１０とを一体に
積層して構成されている。
した実施例に基づいて説明する。図１、図２は本発明の
インクジェット式記録ヘッドの一実施例を示すものであ
って、流路ユニット１は、ノズル開口２を一定ピッチで
穿設したノズルプレート３と、ノズル開口２に連通する
圧力発生室４、これにインク供給口５を介してインクを
供給するリザーバ６を備えた流路形成基板７と、振動子
ユニット８の各圧電振動子９の先端に当接されて圧力発
生室４の容積を膨張、縮小させる弾性板１０とを一体に
積層して構成されている。
【０００８】流路ユニット１は、高分子材料の射出成形
等により構成されたホルダー１１の開口面１２に、また
振動子ユニット８は外部からの駆動信号を伝達するフレ
キシブルケーブル１３を後述する異方性導電膜４０を介
装して接続された上で収容室１４に収容され、それぞれ
のホルダー１１との当接面を接着剤により固定され、ノ
ズルプレート側に静電シールド材を兼ねる枠体１５を挿
入して記録ヘッドに纏められている。
等により構成されたホルダー１１の開口面１２に、また
振動子ユニット８は外部からの駆動信号を伝達するフレ
キシブルケーブル１３を後述する異方性導電膜４０を介
装して接続された上で収容室１４に収容され、それぞれ
のホルダー１１との当接面を接着剤により固定され、ノ
ズルプレート側に静電シールド材を兼ねる枠体１５を挿
入して記録ヘッドに纏められている。
【０００９】図３は、同上振動子ユニット８の一実施例
を示すものであって、一方の極となる電極と、他方の極
となる電極とを圧電材料を介してサンドイッチ状に積層
して構成された圧電材料板を、一端が自由端となるよう
に他端を固定基板２０に固定した上で、両端に若干幅広
となるダミーの振動子２１、２２を残すように等間隔に
ワイヤソウ等により一定の間隔で機械的に切分けて櫛歯
状の圧電振動子９、９、９を形成して構成されている。
を示すものであって、一方の極となる電極と、他方の極
となる電極とを圧電材料を介してサンドイッチ状に積層
して構成された圧電材料板を、一端が自由端となるよう
に他端を固定基板２０に固定した上で、両端に若干幅広
となるダミーの振動子２１、２２を残すように等間隔に
ワイヤソウ等により一定の間隔で機械的に切分けて櫛歯
状の圧電振動子９、９、９を形成して構成されている。
【００１０】圧電振動子９の自由端側に各圧電振動子９
の一方の内部電極と接続する外部電極である共通電極２
４が、また固定基板側には各圧電振動子９の他方の内部
電極と接続するとともに、フレキシブルケーブル１３と
接続する外部電極であるセグメント電極２５が形成され
ている。各共通電極２４は、導電性材料からなる接続部
材２６により共通に接続されてダミーの圧電振動子２
１、２２に形成された導電層２７、２８に接続されてい
る。
の一方の内部電極と接続する外部電極である共通電極２
４が、また固定基板側には各圧電振動子９の他方の内部
電極と接続するとともに、フレキシブルケーブル１３と
接続する外部電極であるセグメント電極２５が形成され
ている。各共通電極２４は、導電性材料からなる接続部
材２６により共通に接続されてダミーの圧電振動子２
１、２２に形成された導電層２７、２８に接続されてい
る。
【００１１】振動子ユニット８に駆動信号を供給するフ
レキシブルケーブル１３は、図４に示したようにポリイ
ミド等の耐熱性電気絶縁フィルムからなるベース材３０
と、これの表面に銅箔等を張り付け形成された導電層と
を有し、導電層を、圧電振動子９、９、９‥‥に信号を
供給するのに適した導電パターン３１、３１、３１、‥
‥にエッチングして構成されている。またこの導電層
は、他端側においてホスト等の印刷信号出力手段に接続
する導電パターン３２、３２、３２、‥‥が同様の手法
で形成されている。
レキシブルケーブル１３は、図４に示したようにポリイ
ミド等の耐熱性電気絶縁フィルムからなるベース材３０
と、これの表面に銅箔等を張り付け形成された導電層と
を有し、導電層を、圧電振動子９、９、９‥‥に信号を
供給するのに適した導電パターン３１、３１、３１、‥
‥にエッチングして構成されている。またこの導電層
は、他端側においてホスト等の印刷信号出力手段に接続
する導電パターン３２、３２、３２、‥‥が同様の手法
で形成されている。
【００１２】そして導電パターン３１、３１、３１、‥
‥の先端側には、圧電振動子９、９、９‥‥のセグメン
ト電極２５、２５、２５‥‥に一致するピッチでベース
材３０により裏打ちされた接続部３３、３３、３３‥‥
が形成されている。
‥の先端側には、圧電振動子９、９、９‥‥のセグメン
ト電極２５、２５、２５‥‥に一致するピッチでベース
材３０により裏打ちされた接続部３３、３３、３３‥‥
が形成されている。
【００１３】これらの導電パターン３１の全体、及び導
電パターン３２の接続部３４以外の領域は、必要に応じ
て電気絶縁性を備えた柔軟なカバーコート３５で被覆さ
れている。
電パターン３２の接続部３４以外の領域は、必要に応じ
て電気絶縁性を備えた柔軟なカバーコート３５で被覆さ
れている。
【００１４】なお、図中符号３７は、外部から供給され
た印刷信号に基づいて圧電振動子９、９、９、‥‥を駆
動するための信号を発生する半導体集積回路を示す。
た印刷信号に基づいて圧電振動子９、９、９、‥‥を駆
動するための信号を発生する半導体集積回路を示す。
【００１５】つぎに、フレキシブケーブル１３と圧電振
動子ユニットとの接続について説明する。図５（イ）に
示したようにセグメント電極２５、２５、２５‥‥を上
面とするようにして治具に固定された振動子ユニット８
のセグメント電極２５、２５、２５‥‥に異方性導電膜
４０を載置してフレキシブルケーブル１３の接続部３
３、３３、３３‥‥を位置決めする。
動子ユニットとの接続について説明する。図５（イ）に
示したようにセグメント電極２５、２５、２５‥‥を上
面とするようにして治具に固定された振動子ユニット８
のセグメント電極２５、２５、２５‥‥に異方性導電膜
４０を載置してフレキシブルケーブル１３の接続部３
３、３３、３３‥‥を位置決めする。
【００１６】ついで、図５（ロ）に示したように、フレ
キシブルケーブル１３の表面からヒータツール４１によ
り加温しながら一定の圧力を加えると、異方性導電膜
は、セグメント電極２５、２５、２５‥‥の領域に高い
圧力を受け、異方性導電膜４０を構成している高分子材
料が軟化してセグメント電極の領域から排除され、導電
性粒子（図中、黒点）が残留して厚み方向にのみ導電性
を発現する。
キシブルケーブル１３の表面からヒータツール４１によ
り加温しながら一定の圧力を加えると、異方性導電膜
は、セグメント電極２５、２５、２５‥‥の領域に高い
圧力を受け、異方性導電膜４０を構成している高分子材
料が軟化してセグメント電極の領域から排除され、導電
性粒子（図中、黒点）が残留して厚み方向にのみ導電性
を発現する。
【００１７】一方、セグメント電極２５、２５、２５と
フレキシブルケーブル１３の接続部３３、３３、３３‥
‥との対向領域から排除された高分子材料は、圧電振動
子相互間の間隙に流れ込む。所定時間の経過後にヒータ
ツールを除去すると、図５（ハ）に示したようにセグメ
ント電極２５、２５、２５とフレキシブルケーブル１３
の接続部３３、３３、３３‥‥との対向領域には高い密
度で導電性粒子（図中、黒点）が存在して導電性が生じ
る。またセグメント電極２５、２５、２５と接続部３
３、３３、３３‥‥との対向領域に排除され圧電振動子
相互間の間隙に流れ込んで固化したた高分子材料（図
中、クロスハッチング）は、フレキシブルケーブル１３
と圧電振動子とを圧電振動子９の変位では剥がれない程
度に強固に接合するとともに、圧電振動子相互を非振動
領域で接合して機械的強度を増加させる。また、接続部
３３、３３、３３‥‥の幅は、セグメント電極２５や圧
電振動子９の幅よりも広いことが望ましい。その結果セ
グメント電極２５と接続部３３のアライメントが容易に
なるばかりでなく、圧電振動子相互間に多量の高分子材
料を流し込むことができる。
フレキシブルケーブル１３の接続部３３、３３、３３‥
‥との対向領域から排除された高分子材料は、圧電振動
子相互間の間隙に流れ込む。所定時間の経過後にヒータ
ツールを除去すると、図５（ハ）に示したようにセグメ
ント電極２５、２５、２５とフレキシブルケーブル１３
の接続部３３、３３、３３‥‥との対向領域には高い密
度で導電性粒子（図中、黒点）が存在して導電性が生じ
る。またセグメント電極２５、２５、２５と接続部３
３、３３、３３‥‥との対向領域に排除され圧電振動子
相互間の間隙に流れ込んで固化したた高分子材料（図
中、クロスハッチング）は、フレキシブルケーブル１３
と圧電振動子とを圧電振動子９の変位では剥がれない程
度に強固に接合するとともに、圧電振動子相互を非振動
領域で接合して機械的強度を増加させる。また、接続部
３３、３３、３３‥‥の幅は、セグメント電極２５や圧
電振動子９の幅よりも広いことが望ましい。その結果セ
グメント電極２５と接続部３３のアライメントが容易に
なるばかりでなく、圧電振動子相互間に多量の高分子材
料を流し込むことができる。
【００１８】このようにしてフレキシブルケーブル１３
に接続された圧電振動子ユニット８の各圧電振動子９に
駆動信号を印加すると、圧電振動子９が収縮、伸長し
て、弾性板１０を変位させる。これにより、圧力発生室
４の容積が膨張、縮小してインク供給口５を介してリザ
ーバ６のインクが圧力発生室４に流れ込み、また圧力発
生室４のインクが加圧されてノズル開口２からインク滴
が吐出する。
に接続された圧電振動子ユニット８の各圧電振動子９に
駆動信号を印加すると、圧電振動子９が収縮、伸長し
て、弾性板１０を変位させる。これにより、圧力発生室
４の容積が膨張、縮小してインク供給口５を介してリザ
ーバ６のインクが圧力発生室４に流れ込み、また圧力発
生室４のインクが加圧されてノズル開口２からインク滴
が吐出する。
【００１９】ところで、このような圧電振動子９に収
縮、伸長に伴って、圧電振動子９の固定基板側に振動波
が伝搬して来るが、圧電振動子相互間に流れ込んだ異方
性導電膜の高分子材料が備えている高い粘弾性により吸
収され、隣接する他の圧電振動子９への伝搬が抑制され
てクロストークの発生が防止される。
縮、伸長に伴って、圧電振動子９の固定基板側に振動波
が伝搬して来るが、圧電振動子相互間に流れ込んだ異方
性導電膜の高分子材料が備えている高い粘弾性により吸
収され、隣接する他の圧電振動子９への伝搬が抑制され
てクロストークの発生が防止される。
【００２０】なお、上述の実施例においては、接着剤に
導電性粒子を混練してフィルム状に整形した異方性導電
膜を使用した場合について説明したが、接着剤に導電性
粒子を混練した異方性導電ペーストを膜状に塗布し、上
述の工程を踏襲することにより同様の作用効果を奏する
ことは明らかである。また、接着剤を構成する高分子材
料は圧電振動子相互間を完全に充填されている必要はな
く、一部が圧電振動子相互間に流れ込むだけで同様の効
果を奏する。
導電性粒子を混練してフィルム状に整形した異方性導電
膜を使用した場合について説明したが、接着剤に導電性
粒子を混練した異方性導電ペーストを膜状に塗布し、上
述の工程を踏襲することにより同様の作用効果を奏する
ことは明らかである。また、接着剤を構成する高分子材
料は圧電振動子相互間を完全に充填されている必要はな
く、一部が圧電振動子相互間に流れ込むだけで同様の効
果を奏する。
【００２１】
【発明の効果】以上、説明したように本発明において
は、フレキシブルケーブルが、ベース材に導電層形成材
を積層して導電パターンを形成するとともに、導電パタ
ーンの先端に導電層形成材を露出させて圧力発生室の配
列ピッチに一致した接続部が形成され、接続部と圧電振
動子の接続領域との間に異方性導電層を介してフレキシ
ブケーブルが導電接続され、また異方性導電層を構成す
る高分子接合剤が圧電振動子の間を埋めて圧電振動子と
接合されているので、圧電振動子とフレキシブルケーブ
ルの接続部との対向領域には高い密度で導電性粒子を存
在させて導電接続することができ、また圧電振動子相互
間の間隙に流れ込んで固化したた高分子材料によりフレ
キシブルケーブルと圧電振動子とを機械的に強固に接合
することができるばかりでなく、異方性導電層の高分子
材料が備えている高い粘弾性により圧電振動子の余分な
振動を吸収して、クロストークの発生を防止することが
できる。
は、フレキシブルケーブルが、ベース材に導電層形成材
を積層して導電パターンを形成するとともに、導電パタ
ーンの先端に導電層形成材を露出させて圧力発生室の配
列ピッチに一致した接続部が形成され、接続部と圧電振
動子の接続領域との間に異方性導電層を介してフレキシ
ブケーブルが導電接続され、また異方性導電層を構成す
る高分子接合剤が圧電振動子の間を埋めて圧電振動子と
接合されているので、圧電振動子とフレキシブルケーブ
ルの接続部との対向領域には高い密度で導電性粒子を存
在させて導電接続することができ、また圧電振動子相互
間の間隙に流れ込んで固化したた高分子材料によりフレ
キシブルケーブルと圧電振動子とを機械的に強固に接合
することができるばかりでなく、異方性導電層の高分子
材料が備えている高い粘弾性により圧電振動子の余分な
振動を吸収して、クロストークの発生を防止することが
できる。
【図１】本発明のインクジェット式記録ヘッドの一実施
例を示す組み立て斜視図である。
例を示す組み立て斜視図である。
【図２】同上記録ヘッドの断面構造を示す図である。
【図３】同上記録ヘッドに使用するユニットの一実施例
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図４】同上記録ヘッドのフレキシブルケーブルの一実
施例を示す平面図である。
施例を示す平面図である。
【図５】図（イ）、（ロ）は、それぞれ同上フレキシブ
ケーブルと圧電振動子ユニットとの接合工程を示す図で
あり、図（ハ）は、接合後の状態を拡大して示す図であ
る。
ケーブルと圧電振動子ユニットとの接合工程を示す図で
あり、図（ハ）は、接合後の状態を拡大して示す図であ
る。
１ 流路ユニット ８ 振動子ユニット ９ 圧電振動子 １３ フレキシブルケーブル ３０ ベース材 ３１ 導電パターン ３３ 接続部 ４０ 異方性導電膜
Claims (20)
- 【請求項１】 ノズル開口とインク供給口を介してリザ
ーバに連通し、駆動用の圧電振動子により加圧される圧
力発生室を複数備え、前記圧電振動子にフレキシブケー
ブルを介して駆動信号を供給するインクジェット式記録
ヘッドにおいて、 前記圧電振動子が固定基板に固定されて構成され、また
前記フレキシブルケーブルが、ベース材に導電層形成材
を積層して導電パターンを形成するとともに、前記導電
パターンの先端に前記導電層形成材を露出させて前記圧
力発生室の配列ピッチに一致した接続部が形成され、前
記接続部と前記圧電振動子の接続領域との間に異方性導
電層を介して前記フレキシブケーブルが導電接続され、
また前記異方性導電層を構成する高分子接合剤が前記圧
電振動子の間を埋めて前記圧電振動子と接合されている
インクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項２】 前記異方性導電層が、膜またはペースト
により構成されている請求項１に記載のインクジェット
式記録ヘッド。 - 【請求項３】 前記異方性導電層の導電性粒子を介して
前記圧電振動子の接続領域と前記フレキシブルケーブル
とが導電接続されている請求項１に記載のインクジェッ
ト式記録ヘッド。 - 【請求項４】 前記圧電振動子の接続領域が、前記固定
基板に対応した圧電振動子の背面部である請求項１に記
載のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項５】 前記圧電振動子が一定ピッチで非振動領
域を固定基板に固定されている請求項１に記載のインク
ジェット式記録ヘッド。 - 【請求項６】 前記圧電振動子が、圧電材料板を一定の
間隔で機械的に切り分けて櫛歯状に固定されている請求
項１に記載のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項７】 前記圧電振動子の接続部が、前記圧電振
動子の内部電極と接続しかつ前記圧電振動子の表面に形
成された外部電極により形成されている請求項１に記載
のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項８】 前記フレキシブルケーブルは前記圧電振
動子相互を非振動領域で一体に接続している請求項１に
記載のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項９】 前記接続部の幅が前記圧電振動子の接続
領域の幅よりも広くなるように形成されている請求項１
に記載のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項１０】 前記高分子接合剤が前記ベース材と前
記固定基板の間で封止されている請求項１に記載のイン
クジェット式記録ヘッド。 - 【請求項１１】 圧電振動子が固定基板に固定されて構
成され、またフレキシブルケーブルが、ベース材に導電
層形成材を積層して導電パターンを形成するとともに、
前記導電パターンの先端に前記導電層形成材を露出させ
た接続部が形成され、前記接続部と前記圧電振動子の接
続領域との間に異方性導電膜を構成する高分子接合剤が
前記圧電振動子の間を埋めて前記圧電振動子と接合され
ている圧電振動子ユニット。 - 【請求項１２】 異方性導電ペーストにより前記圧電振
動子の接続領域と前記フレキシブルケーブルが導電接続
されている請求項１１に記載の圧電振動子ユニット。 - 【請求項１３】 前記異方性導電膜または前記異方性導
電ペースト中の導電性粒子を介して前記圧電振動子の接
続領域と前記フレキシブルケーブルが導電接続されてい
る請求項１１に記載の圧電振動子ユニット。 - 【請求項１４】 前記圧電振動子の接続領域が前記固定
基板に対応した圧電振動子の背面部である請求項１１に
記載の圧電振動子ユニット。 - 【請求項１５】 前記圧電振動子が一定ピッチで非振動
領域を固定基板に固定されて構成されている請求項１１
に記載の圧電振動子ユニット。 - 【請求項１６】 前記圧電振動子は圧電材料板を一定の
間隔で機械的に切り分けて櫛歯状となっている請求項１
１に記載の圧電振動子ユニット。 - 【請求項１７】 前記圧電振動子の接続部は、前記圧電
振動子の内部電極と接続して前記圧電振動子の表面に露
出して形成された外部電極である請求項１１に記載の圧
電振動子ユニット。 - 【請求項１８】 前記フレキシブルケーブルは前記圧電
振動子相互を非振動領域で一体に接続している請求項１
１に記載の圧電振動子ユニット。 - 【請求項１９】 前記接続部の幅が前記圧電振動子の接
続領域の幅よりも広くなるように形成されている請求項
１１に記載の圧電振動子ユニット。 - 【請求項２０】 前記高分子接合剤が前記ベース材と前
記固定基板の間で封止されている請求項１１に記載の圧
電振動子ユニット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11097175A JP2000289200A (ja) | 1999-04-05 | 1999-04-05 | インクジェット式記録ヘッド、及び圧電振動子ユニット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11097175A JP2000289200A (ja) | 1999-04-05 | 1999-04-05 | インクジェット式記録ヘッド、及び圧電振動子ユニット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000289200A true JP2000289200A (ja) | 2000-10-17 |
Family
ID=14185257
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11097175A Pending JP2000289200A (ja) | 1999-04-05 | 1999-04-05 | インクジェット式記録ヘッド、及び圧電振動子ユニット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000289200A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002361861A (ja) * | 2001-06-01 | 2002-12-18 | Sii Printek Inc | ヘッドチップ及びその製造方法 |
| US6688732B2 (en) | 2001-05-28 | 2004-02-10 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Inkjet recording head and method for manufacturing the same |
| JP2005212238A (ja) * | 2004-01-29 | 2005-08-11 | Brother Ind Ltd | インクジェット記録装置および記録ヘッドユニットの製造方法 |
| JP2007175882A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Seiko Epson Corp | フレキシブル基板の実装方法、フレキシブル基板の実装構造、液滴吐出ヘッドの製造方法、液滴吐出ヘッド、及び液滴吐出装置 |
| JP2007320170A (ja) * | 2006-06-01 | 2007-12-13 | Seiko Epson Corp | 圧電素子ユニットの製造方法、圧電素子ユニット、及びこれを用いた液体噴射ヘッド |
| US7427126B2 (en) | 2004-08-31 | 2008-09-23 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Liquid transport device and method for manufacturing liquid transport device |
| JP2009040006A (ja) * | 2007-08-10 | 2009-02-26 | Seiko Epson Corp | 流体噴射ヘッド及びその製造方法、流体噴射装置 |
| JP2009255516A (ja) * | 2008-03-18 | 2009-11-05 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置 |
| JP2010164108A (ja) * | 2009-01-14 | 2010-07-29 | Takenaka Komuten Co Ltd | 膜型アクチュエータ、複層膜型アクチュエータ、及び空気バネ構造 |
| JP2012218438A (ja) * | 2011-04-07 | 2012-11-12 | Xerox Corp | パターン化導電アレイ及びセルフレベリングエポキシ |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0743746U (ja) * | 1994-11-29 | 1995-09-05 | セイコーエプソン株式会社 | 回路の接続構造 |
| JPH09300632A (ja) * | 1996-05-09 | 1997-11-25 | Ricoh Co Ltd | インクジェット記録装置 |
| JPH10202876A (ja) * | 1997-01-23 | 1998-08-04 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド |
| JPH1170646A (ja) * | 1997-06-27 | 1999-03-16 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド |
-
1999
- 1999-04-05 JP JP11097175A patent/JP2000289200A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0743746U (ja) * | 1994-11-29 | 1995-09-05 | セイコーエプソン株式会社 | 回路の接続構造 |
| JPH09300632A (ja) * | 1996-05-09 | 1997-11-25 | Ricoh Co Ltd | インクジェット記録装置 |
| JPH10202876A (ja) * | 1997-01-23 | 1998-08-04 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド |
| JPH1170646A (ja) * | 1997-06-27 | 1999-03-16 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド |
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6688732B2 (en) | 2001-05-28 | 2004-02-10 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Inkjet recording head and method for manufacturing the same |
| US6931702B2 (en) | 2001-05-28 | 2005-08-23 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Inkjet recording head and method for manufacturing the same |
| JP2002361861A (ja) * | 2001-06-01 | 2002-12-18 | Sii Printek Inc | ヘッドチップ及びその製造方法 |
| JP4662519B2 (ja) * | 2001-06-01 | 2011-03-30 | エスアイアイ・プリンテック株式会社 | ヘッドチップ、ヘッドチップユニット、インクジェット式記録装置、及びヘッドチップの製造方法。 |
| JP2005212238A (ja) * | 2004-01-29 | 2005-08-11 | Brother Ind Ltd | インクジェット記録装置および記録ヘッドユニットの製造方法 |
| JP4552445B2 (ja) * | 2004-01-29 | 2010-09-29 | ブラザー工業株式会社 | インクジェット記録装置および記録ヘッドユニットの製造方法 |
| US7427126B2 (en) | 2004-08-31 | 2008-09-23 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Liquid transport device and method for manufacturing liquid transport device |
| JP2007175882A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Seiko Epson Corp | フレキシブル基板の実装方法、フレキシブル基板の実装構造、液滴吐出ヘッドの製造方法、液滴吐出ヘッド、及び液滴吐出装置 |
| JP4687450B2 (ja) * | 2005-12-27 | 2011-05-25 | セイコーエプソン株式会社 | フレキシブル基板の実装方法、液滴吐出ヘッドの製造方法、液滴吐出ヘッド、及び液滴吐出装置 |
| JP2007320170A (ja) * | 2006-06-01 | 2007-12-13 | Seiko Epson Corp | 圧電素子ユニットの製造方法、圧電素子ユニット、及びこれを用いた液体噴射ヘッド |
| JP2009040006A (ja) * | 2007-08-10 | 2009-02-26 | Seiko Epson Corp | 流体噴射ヘッド及びその製造方法、流体噴射装置 |
| JP2009255516A (ja) * | 2008-03-18 | 2009-11-05 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置 |
| JP2010164108A (ja) * | 2009-01-14 | 2010-07-29 | Takenaka Komuten Co Ltd | 膜型アクチュエータ、複層膜型アクチュエータ、及び空気バネ構造 |
| JP2012218438A (ja) * | 2011-04-07 | 2012-11-12 | Xerox Corp | パターン化導電アレイ及びセルフレベリングエポキシ |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH08197728A (ja) | インク噴射装置 | |
| JP2000289200A (ja) | インクジェット式記録ヘッド、及び圧電振動子ユニット | |
| JP4553348B2 (ja) | インクジェット記録ヘッド | |
| JP3415789B2 (ja) | インクジェットヘッド及びインクジェットプリンタ | |
| JP3512065B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド、及び前記記録ヘッドに適した圧電振動子ユニット | |
| JPH07304168A (ja) | インク噴射装置 | |
| JPH10264392A (ja) | インクジェット式記録ヘッド | |
| JPH10100401A (ja) | インクジェットヘッド | |
| JP2001071490A (ja) | インクジェット記録装置 | |
| JP3528908B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド、及び前記記録ヘッドに適した圧電振動子ユニット | |
| US6350020B1 (en) | Ink jet recording head | |
| JP2959056B2 (ja) | インクジェット式印字ヘッド | |
| JP3456519B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド | |
| JP3038806B2 (ja) | インクジェット式印字ヘッド及びその製造方法 | |
| JP3456515B2 (ja) | インクジェット記録ヘッド用圧電振動子ユニットの製造方法 | |
| JPH10250053A (ja) | インク噴射装置およびその製造方法 | |
| JP3171219B2 (ja) | インクジェット記録ヘッド | |
| JP3467579B2 (ja) | 圧電振動子ユニットの製造方法 | |
| JPH05238009A (ja) | インクジェット式印字ヘッドおよびその製造方法 | |
| JP3567989B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド | |
| JP3528623B2 (ja) | 圧電振動子ユニット及びそれを用いたインクジェット式記録ヘッド | |
| JP4420585B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 | |
| JP2002086741A (ja) | インクジェットヘッド | |
| JP2001347674A (ja) | インクジェット式記録ヘッド | |
| JP3149532B2 (ja) | インクジェットヘッド |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20031001 |