JP2000274407A - 流体圧アクチュエータ - Google Patents

流体圧アクチュエータ

Info

Publication number
JP2000274407A
JP2000274407A JP11080880A JP8088099A JP2000274407A JP 2000274407 A JP2000274407 A JP 2000274407A JP 11080880 A JP11080880 A JP 11080880A JP 8088099 A JP8088099 A JP 8088099A JP 2000274407 A JP2000274407 A JP 2000274407A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
guide rail
fluid pressure
pressure actuator
end plate
view
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP11080880A
Other languages
English (en)
Inventor
Hideyuki Kubota
秀幸 久保田
Tatsuhiro Arikawa
達浩 有川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nok Corp
Original Assignee
Nok Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nok Corp filed Critical Nok Corp
Priority to JP11080880A priority Critical patent/JP2000274407A/ja
Publication of JP2000274407A publication Critical patent/JP2000274407A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Actuator (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 一対のエンドプレート1の間にガイドレール
2を設け、ガイドレール2に組み付けられたガイドテー
ブル4を流体圧の供給によりガイドレール2に沿って走
行させる流体圧アクチュエータについて、取付台45に
設けられる基準面46に対して精度良く容易に取り付け
ることが可能な流体圧アクチュエータを提供する。 【解決手段】 エンドプレート1に開放部1dを設けて
ガイトレール2の側面2cの基準面2dを全長に亙って
露出させ、前記基準面2dを当該アクチュエータを設置
する取付台45の基準面46に当接可能とした。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、生産設備等におい
てワークまたはツール等を移動させるために用いられる
流体圧アクチュエータに関するものである。
【0002】
【従来の技術】一般に、流体圧アクチュエータを生産設
備等に取り付けるには締結手段としてボルトが用いられ
るが、このボルトと取付穴との間には隙間があるため
に、特に注意を払って取付を行なわないと流体圧アクチ
ュエータが傾いて取り付けられることになり、特に小型
で精密な部品を取り扱う生産設備では、この傾きによる
組立精度不良により組立を行なうことができないことも
ある。そこで、一般に極めて注意深く取付が行なわれる
が、ボルトを締め込むときに流体圧アクチュエータにト
ルクがかかるため、どうしても流体圧アクチュエータが
傾いてしまい、取付精度を出しにくい。以上の点に鑑み
て、従来は、生産設備側の取付台にフライス加工等によ
り取付の基準となる基準段差を設け、この基準段差に流
体圧アクチュエータを押し当てて取り付ける方法が用い
られている。
【0003】図35は、従来の流体圧アクチュエータの
一例を示しており、この流体圧アクチュエータにおいて
は、一対のエンドプレート51の間にガイドレール52
が設けられており、このガイドレール52に組み付けら
れたテーブル53が流体圧の供給によりガイドレール5
2に沿って走行するようになっている。
【0004】そして、この流体圧アクチュエータを生産
設備側の取付台に取り付けるに際しては、図36に示す
ように、エンドプレート51の側面51aを取付台54
に設けた基準段差54aに当接させ、この状態で、ガイ
ドレール52に設けた取付穴52aに取付ボルト(図示
せず)を差し込んで、これをねじ込んでいる。
【0005】しかしながら、このような従来の取付構造
によると、以下の理由により流体圧アクチュエータを精
度良く取り付けることができないことがある。
【0006】すなわち、エンドプレート51は一般に押
出成形による軟質のアルミ合金であり、この軟質アルミ
合金製のエンドプレート51にフライス加工によって、
ガイドレール52を取り付けるコの字形の溝51bを加
工しているに過ぎない。したがって、このときの加工寸
法の誤差、組立時の誤差、両側のエンドプレート51の
相互差等が加算され、どうしても取付精度が悪くなって
しまう。また、軟質アルミ合金は傷が付き易く、塑性変
形も生じ易いので、取付の基準部材とするには適さない
ものである。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】本発明は以上の点に鑑
みて、上記従来技術に見られる問題を解消することを目
的とし、取付台に設けられる基準段差に対して精度良く
容易に取り付けることが可能な流体圧アクチュエータを
提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の請求項1による流体圧アクチュエータは、
一対のエンドプレートの間にガイドレールを設け、前記
ガイドレールに組み付けられたガイドテーブルを流体圧
の供給により前記ガイドレールに沿って走行させる流体
圧アクチュエータにおいて、前記エンドプレートに開放
部を設けて前記ガイトレールの側面の基準面を全長に亙
って露出させ、前記基準面を当該アクチュエータを設置
する取付台の基準面に当接可能としたことを特徴とする
ものである。
【0009】また、本発明の請求項2による流体圧アク
チュエータは、上記した請求項1の流体圧アクチュエー
タにおいて、エンドプレートの開放部の上部側面に付属
機能部品の結合面を設けたことを特徴とするものであ
る。
【0010】上記構成を備えた本発明の請求項1による
流体圧アクチュエータにおいては、エンドプレートに開
放部が設けられてガイトレールの側面の基準面が全長に
亙って露出しているために、取付台の基準面に対してガ
イドレールが直接当接した状態で位置決めおよび取付が
なされることになる。
【0011】またこれに加えて、上記構成を備えた本発
明の請求項2による流体圧アクチュエータにおいては、
エンドプレートの開放部の上部側面に付属機能部品の結
合面が設けられているために、この結合面に付属機能部
品が精度良く取り付けられるとともに、この結合面に取
り付けられる付属機能部品がガイトレールの側面の基準
面を覆い隠すことがない。
【0012】
【発明の実施の形態】つぎに本発明の実施形態を図面に
したがって説明する。
【0013】第一および第二実施形態・・・図1は、当
該実施形態に係る流体圧アクチュエータの正面を示して
おり、また図2は同流体圧アクチュエータの平面図、図
3は底面図、図4は背面図、図5(A)は左側面図、図
5(B)は右側面図、図6は一部切欠した平面図、図7
は斜視図である。
【0014】当該実施形態に係る流体圧アクチュエータ
は、先ず、ブロック状を呈する一対のエンドプレート1
を有しており、この一対のエンドプレート1が互いに平
行に離間配置されている。このエンドプレート1にそれ
ぞれ、ガイドレール2を取り付けるためのコ字形の溝1
aが底面1bに開口するように対称的に設けられてお
り、この溝1aにガイドレール2の端部がそれぞれ嵌合
されて組立ボルト3により締付固定されている。
【0015】ガイドレール2に、無限軌道型のボールベ
アリング構造のガイドテーブル4が予圧をかけた状態で
移動可能に組み付けられており、図では、二つのガイド
テーブル4が直列に並べられている。このガイドレール
2とガイドテーブル4の組合せは、ボールベアリング構
造であるために転がり摩擦が非常に小さく、また予圧が
かけられているためにガタがなく、外力による変位量が
極めて少ないものである。
【0016】ガイドレール2は、ベアリング鋼(SUJ
2)またはステンレス鋼(SUS440C)をロックウ
ェル硬度58以上に焼入処理し、その後、底面2aに上
下方向位置決め用の基準面2b、側面2cに水平方向位
置決め用の基準面2dおよびボールの転動溝2eをそれ
ぞれ精密に研磨加工したものである。ガイドテーブル4
も同様の材質により同様の工程を経て製作され、上面4
aおよび側面4cにそれぞれワークまたはツール等の搭
載物を位置決めするための基準面4b,4dが設けられ
るとともに搭載物取付用のネジ穴4eが所要数設けられ
ている。
【0017】上記エンドプレート1は、コの字形の溝1
aの内面において、ガイドレール2の側面2cに設けら
れた基準面2dに当接しているが、エンドプレート1の
一方の側面1cの下部が所定の高さtに亙って切り取ら
れていて、ここに所定の高さtを備えた開放部1dが設
けられているために、ガイドレール2の側面2cの基準
面2dがこのガイドレール2の全長に亙って露出してい
る。すなわち、エンドプレート1に開口部1dが設けら
れていなければ、ガイドレール2の端部がエンドプレー
ト1のコの字形の溝1aに嵌合しているために、このガ
イドレール2の端部において、ガイドレール2の側面2
cの基準面2dがエンドプレート1に覆われて隠れてい
ることになるが、上記したようにエンドプレート1に開
放部1dが設けられているために、ガイドレール2の端
部においてもガイドレール2の側面2cの基準面2dが
エンドプレート1に覆われることなく露出している。し
たがってガイドレール2の側面2cの基準面2dがガイ
ドレール2の全長に亙って露出していることになり、こ
れにより例えば、後記する取付台45の基準段差46が
ガイドレール2の全長より長い場合であってもガイドレ
ール2の側面2cの基準面2dを基準段差46に当接さ
せることが可能となる。
【0018】エンドプレート1の側面1cの開放部1d
の上部には、スイッチレール等の付属機能部品を取り付
けるための結合面1eが設けられており、この結合面1
eに付属機能部品取付用のネジ穴1fが所要数設けられ
ている。
【0019】上記二つのガイドテーブル4の側面に対し
てボディ5がそれぞれ二本の組立ボルト6により結合さ
れており、この二本のボルト6の間において、連結ピン
7がガイドテーブル4とボディ5の双方に嵌合されて、
使用中に結合部にズレが発生したりボルト6に緩みが発
生したりするのを防止している。ボディ5にはガイドレ
ール2と平行に貫通穴5aが設けられており、この貫通
穴5aに薄肉のステンレス製のシリンダチューブ8が挿
入され、このシリンダチューブ8内に、ピストンシール
10およびウェアリング11を装着したピストン9が摺
動自在に挿入されている。ボディ5の貫通穴5aの両端
開口部にはロッドカバー12が止め輪13により固定さ
れており、このロッドカバー12により開口部が閉塞さ
れている。ロッドカバー12には、ロッドシール14、
巻きブッシュ15およびOリング16が装着されてい
る。
【0020】空気の連通路17aを貫通形成した二本の
中空のロッド17が、ガイドレール2と平行にロッドカ
バー12を貫通しており、シリンダチューブ8内部のピ
ストン9に当接している。またロッド17の反対側の端
部はエンドプレート1に設けられた連通孔1gに挿入さ
れて、シール部材18によりシールされている。エンド
プレート1には、この連通孔1gに連通し、ロッド17
内部の連通路17aを介してシリンダチューブ8内のピ
ストン室19に圧縮空気を導入するための配管ポート2
0が設けられている。
【0021】この配管ポート20とガイドレール2の間
に油圧式のショックアブソーバ21がガイドレール2と
平行にエンドプレート1にナット22により取り付けら
れており、このショックアブソーバ21と対向するよう
にボディ5の端面部にストッパ受け23が設けられてい
る。ガイドテーブル4、ガイドレール2、シリンダチュ
ーブ8、ロッド17、ロッドシール14、ピストンシー
ル10、ウェアリング11および巻きブッシュ15には
それぞれ、潤滑のためのグリースが封入または塗布され
ており、これにより長時間の使用に耐えるようになって
いる。
【0022】上記構成を備えた流体圧アクチュエータ
は、生産設備等の取付台に精度良く取り付けられる必要
があるものであって、図5(B)に示すように、生産設
備側の取付台45には流体圧アクチュエータを精度良く
位置決めするための基準段差(段差状の基準面)46が
設けられている。
【0023】そして、この取付台45に対して流体圧ア
クチュエータを取り付けるに際しては、取付台45の基
準段差46にエンドプレート1の側面1cではなくガイ
ドレール2の側面2cの基準面2dを当接させて位置決
めし、この状態で、ガイドレール2に設けた取付穴2f
に取付ボルト(図示せず)を差し込んで、これをねじ込
む。したがって、このような構成を備えた流体圧アクチ
ュエータの取付構造によれば、取付台45の基準段差4
6にガイドレール2が直接当接した状態で位置決めおよ
び取付がなされるために、上記従来技術のようにエンド
プレート1の介在による取付誤差が発生する余地がな
く、よって流体圧アクチュエータの取付精度を向上させ
ることができる。
【0024】また、ガイドテーブル4の上面4aおよび
側面4cにそれぞれ基準面4b,4dが設けられるとと
もに、この上面4aおよび側面4cに搭載物取付用のネ
ジ穴4eが設けられているために、この上面4aまたは
側面4cの任意の一方に搭載物を精度良く搭載すること
ができる。
【0025】したがって以上のように、取付台41に流
体圧アクチュエータが精度良く取り付けられるとともに
流体圧アクチュエータに搭載物が精度良く搭載され、し
かも流体圧アクチュエータが精度良く作動する構造であ
るために、これらが相俟って搭載物を極めて精度良く移
動させることができる。
【0026】取付完了後、一方の配管ポート20から圧
縮空気を導入すると、この圧縮空気がロッド17の中空
部を通ってピストン室19に導入され、その圧力により
ボディ5およびガイドテーブル4がガイドレール2に沿
って走行し、ストッパ受け23がショックアブソーバ2
1に当接すると、このショックアブソーバ21の作動に
より衝撃を吸収しつつ走行が停止する。停止位置は、エ
ンドプレート1に対するショックアブソーバ21の固定
位置を変更することにより自在に調整することが可能で
ある。
【0027】また、エンドプレート1の側面1cの開放
部1dの上部に、付属機能部品を取り付けるための結合
面1eが設けられるとともにこの結合面1eに付属機能
部品取付用のネジ穴1fが設けられているために、この
結合面1eに例えば、図8ないし図14に示すように、
スイッチレール24を精度良く取り付けることができる
(第二実施形態)。このスイッチレール24は、これに
磁気検出型のスイッチ25を取り付けるとともにガイド
テーブル4に位置検出用の永久磁石26を取り付け、ス
イッチ25により永久磁石26の磁力を検知してガイド
テーブル4の位置を検出する際に用いられる。そして、
このように結合面1eにスイッチレール24を取り付け
たときに、スイッチレール24がガイドレール2の側面
2cの基準面2dを塞ぐことがないので、この基準面2
dによる取付精度の向上を損なうことがない。
【0028】第三実施形態・・・上記構成を備えた流体
圧アクチュエータの取付構造は、図15ないし図21に
示すような、エンドプレート1にエンドロック機構27
を取り付けるとともにガイドテーブル4にロックプレー
ト28を取り付けた誤作動防止機構付きの流体圧アクチ
ュエータに対しても適用することが可能である。
【0029】すなわち、この誤作動防止機構は、流体圧
アクチュエータに供給する圧縮空気の圧力が万一低下し
ても、重力等の力によって流体圧アクチュエータが意図
しない動作をしないようにこれを防止するものであっ
て、特に、図21に示すように流体圧アクチュエータを
垂直姿勢で作動させる場合であってボディ5およびガイ
ドテーブル4がストロークの上端で停止しているとき
に、何らかのトラブルで圧縮空気の圧力が低下してもボ
ディ5およびガイドテーブル4が落下しないようにする
ために用いられる。そして、このような誤作動防止機構
付きの流体圧アクチュエータにおいては、エンドプレー
ト1に取り付けられるエンドロック機構27の底面27
aの高さ位置が上記開放部におけるエンドプレートの下
面と同じとされていて、このエンドロック機構27がガ
イドレール2の側面2cの基準面2dを塞ぐことがない
ために、上記基準面2dの露出による取付精度の向上が
損なわれずに確保されている。
【0030】第四実施形態・・・また、上記構成を備え
た流体圧アクチュエータの取付構造は、図22ないし図
28に示すような、ガイドレール複数構造の流体圧アク
チュエータに対しても適用することが可能である。
【0031】すなわち、このガイドレール複数構造は、
一対のエンドプレート1の間にガイドレール2を二本互
いに平行に配置し、各ガイドレール2にガイドテーブル
4を一つずつ組み付け、一方のガイドテーブル4をボデ
ィ5に連結するとともに他方のガイドテーブル4をボデ
ィ5に連結せずにボディ5に対してフリーとして、この
二つのガイドテーブル4の上に搭載物を一つ搭載するも
ので、ローリング方向の許容モーメントを大きくするこ
とを図ったものである。
【0032】そして、このようなガイドレール複数構造
の流体圧アクチュエータにおいては、エンドプレート1
の双方の側面1cの下部がそれぞれ所定の高さtに亙っ
て切り取られていて、ここに所定の高さtを備えた開放
部1dがそれぞれ設けられているために、これにより各
ガイドレール2の側面2cの基準面2dがガイドレール
2の全長に亙って露出している。したがって、第一実施
形態に係る流体圧アクチュエータと同様、上記基準面2
dの露出による取付精度の向上が確保されている。
【0033】第五実施形態・・・また、上記構成を備え
た流体圧アクチュエータの取付構造は、図29ないし図
34に示すような、マグネット式ロッドレスシリンダ構
造の流体圧アクチュエータに対しても適用することが可
能である。
【0034】すなわち、このマグネット式ロッドレスシ
リンダ構造の流体圧アクチュエータにおいては、先ず、
一対のエンドプレート1の間にガイドレール2とともに
非磁性体製の薄肉のステンレスチューブ29が配置され
ており、ドーナツ型の強力なネオジウム磁石31および
強磁性体の磁極32を交互に積み重ねるとともにその両
側に低摩擦のウェアリング34およびピストンシール3
5を装着したピストン33を重ねてタイロッド36によ
り結合した磁石列30が、ステンレスチューブ29内に
摺動自在に内挿されている。ウェアリング34は、磁極
32がステンレスチューブ29に当たらないように、ま
たピストンシール35が異常摩耗しないようにするため
のものである。ボディ5は強磁性体によって成形され、
軸方向に貫通穴5aが形成され、内部に環状の磁極5b
が櫛状に磁石列30の磁極32と対向するように設けら
れている。ボディ5の両端にはウェアリング37が設け
られており、このウェアリング37が磁極5bがチュー
ブ29に擦らないようにしている。更にその外側には、
ダストシール39を装着したカバー38がボルトにより
締結されている。またステンレスチューブ29とエンド
プレート1の間にはシール部材41を装着されたエンド
カバー40が設けられ、エンドプレート1の配管ポート
20に導入される圧縮空気をピストン室19に導入する
ための連通路42がエンドカバー40に設けられてい
る。
【0035】そして、このようなマグネット式ロッドレ
スシリンダ構造の流体圧アクチュエータにおいては、エ
ンドプレート1の双方の側面1cの下部がそれぞれ所定
の高さtに亙って切り取られていて、ここに所定の高さ
tを備えた開放部1dがそれぞれ設けられているため
に、これにより各ガイドレール2の側面2cの基準面2
dがガイドレール2の全長に亙って露出している。した
がって、第一実施形態に係る流体圧アクチュエータと同
様、上記基準面2dの露出による取付精度の向上が確保
されている。
【0036】
【発明の効果】本発明は、以下の効果を奏する。
【0037】すなわち先ず、上記構成を備えた本発明の
請求項1による流体圧アクチュエータにおいては、エン
ドプレートに開放部が設けられてガイトレールの側面の
基準面が全長に亙って露出しているために、取付台の基
準面に対してガイドレールが直接当接した状態で位置決
めおよび取付がなされることになる。したがって上記従
来技術のようにエンドプレートの介在による取付誤差が
発生する余地がないために、流体圧アクチュエータの取
付精度を向上させることができる。
【0038】またこれに加えて、上記構成を備えた本発
明の請求項2による流体圧アクチュエータにおいては、
エンドプレートの開放部の上部側面に付属機能部品の結
合面が設けられているために、この結合面に付属機能部
品が精度良く取り付けられるとともに、この結合面に取
り付けられる付属機能部品がガイトレールの側面の基準
面を覆い隠すことがない。したがって結合面に付属機能
部品が取り付けられても、上記請求項1による作用効果
を維持することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第一実施形態に係る流体圧アクチュエ
ータの正面図
【図2】同流体圧アクチュエータの平面図
【図3】同流体圧アクチュエータの底面図
【図4】同流体圧アクチュエータの背面図
【図5】(A)は同流体圧アクチュエータの左側面図、
(B)は右側面図
【図6】同流体圧アクチュエータの一部切欠した平面図
【図7】同流体圧アクチュエータの斜視図
【図8】本発明の第二実施形態に係る流体圧アクチュエ
ータの正面図
【図9】同流体圧アクチュエータの平面図
【図10】同流体圧アクチュエータの底面図
【図11】同流体圧アクチュエータの背面図
【図12】(A)は同流体圧アクチュエータの左側面
図、(B)は右側面図
【図13】同流体圧アクチュエータの一部切欠した平面
【図14】同流体圧アクチュエータの斜視図
【図15】本発明の第三実施形態に係る流体圧アクチュ
エータの正面図
【図16】同流体圧アクチュエータの平面図
【図17】同流体圧アクチュエータの底面図
【図18】同流体圧アクチュエータの背面図
【図19】(A)は同流体圧アクチュエータの左側面
図、(B)は右側面図
【図20】同流体圧アクチュエータの一部切欠した平面
【図21】同流体圧アクチュエータの斜視図
【図22】本発明の第四実施形態に係る流体圧アクチュ
エータの正面図
【図23】同流体圧アクチュエータの平面図
【図24】同流体圧アクチュエータの底面図
【図25】同流体圧アクチュエータの背面図
【図26】(A)は同流体圧アクチュエータの左側面
図、(B)は右側面図
【図27】同流体圧アクチュエータの一部切欠した平面
【図28】同流体圧アクチュエータの斜視図
【図29】本発明の第五実施形態に係る流体圧アクチュ
エータの正面図
【図30】同流体圧アクチュエータの平面図
【図31】同流体圧アクチュエータの底面図
【図32】同流体圧アクチュエータの背面図
【図33】(A)は同流体圧アクチュエータの左側面
図、(B)は右側面図
【図34】同流体圧アクチュエータの一部切欠した正面
【図35】従来例に係る流体圧アクチュエータの一部切
欠した平面図
【図36】同流体圧アクチュエータの左側面図
【符号の説明】
1 エンドプレート 1a 溝 1b,2a 底面 1c,2c,4c 側面 1d 開放部 1e 結合面 1f ネジ穴 1g 連通孔 2 ガイドレール 2b,2d,4b,4d 基準面 2e 転動溝 2f 取付穴 3,6 ボルト 4 ガイドテーブル 4a 上面 5 ボディ 7 連結ピン 8 シリンダチューブ 9,33 ピストン 17 ロッド 20 配管ポート 21 ショックアブソーバ 23 ストッパ受け 24 スイッチレール 27 エンドロック機構 28 エンドプレート 29 ステンレスチューブ 30 磁石列 45 取付台 46 基準段差(基準面)

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 一対のエンドプレート(1)の間にガイ
    ドレール(2)を設け、前記ガイドレール(2)に組み
    付けられたガイドテーブル(4)を流体圧の供給により
    前記ガイドレール(2)に沿って走行させる流体圧アク
    チュエータにおいて、 前記エンドプレート(1)に開放部(1d)を設けて前
    記ガイトレール(2)の側面(2c)の基準面(2d)
    を全長に亙って露出させ、前記基準面(2d)を当該ア
    クチュエータを設置する取付台(45)の基準面(4
    6)に当接可能としたことを特徴とする流体圧アクチュ
    エータ。
  2. 【請求項2】 請求項1の流体圧アクチュエータにおい
    て、 エンドプレート(1)の開放部(1d)の上部側面に付
    属機能部品の結合面(1e)を設けたことを特徴とする
    流体圧アクチュエータ。
JP11080880A 1999-03-25 1999-03-25 流体圧アクチュエータ Pending JP2000274407A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11080880A JP2000274407A (ja) 1999-03-25 1999-03-25 流体圧アクチュエータ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11080880A JP2000274407A (ja) 1999-03-25 1999-03-25 流体圧アクチュエータ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2000274407A true JP2000274407A (ja) 2000-10-03

Family

ID=13730669

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11080880A Pending JP2000274407A (ja) 1999-03-25 1999-03-25 流体圧アクチュエータ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2000274407A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007218296A (ja) * 2006-02-15 2007-08-30 New-Era Co Ltd アクチュエータ

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007218296A (ja) * 2006-02-15 2007-08-30 New-Era Co Ltd アクチュエータ

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0419214Y2 (ja)
EP1708206B1 (en) Rotary table device
EP1721086B1 (en) Motion control apparatus
US20010015580A1 (en) Linear Actuator
EP1179121B1 (de) Elektromagnetischer mehrfachstellantrieb
JPS6217424A (ja) 移動テ−ブル
TWI558920B (zh) Magnetic rodless cylinder
JP2000274407A (ja) 流体圧アクチュエータ
JP2007218296A (ja) アクチュエータ
US20060290042A1 (en) Power clamp
US6910409B2 (en) Oscillating actuator
US6481334B1 (en) Rodless cylinder
JP4618578B2 (ja) リニアアクチュエータ
JP3767648B2 (ja) ロッドレスシリンダ
JPH02186107A (ja) リニアアクチュエータ
JP2000074008A (ja) スライドシリンダ
JPH07248006A (ja) ロッドレスシリンダ
JP2873539B2 (ja) ロッドレスシリンダ
JP2005282744A (ja) アクチュエータ
JPH09229016A (ja) 流体圧アクチュエータ
TW201604429A (zh) 導引機構及其製造方法
JPH0625684Y2 (ja) マグネット式ロッドレスシリンダ
CN112440619A (zh) 移动设备
JPH11280707A (ja) スライドシリンダ
JP2586457Y2 (ja) 流体圧アクチュエータ

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20050119

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20050126

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20050622