JPH09229016A - 流体圧アクチュエータ - Google Patents
流体圧アクチュエータInfo
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- JPH09229016A JPH09229016A JP3952396A JP3952396A JPH09229016A JP H09229016 A JPH09229016 A JP H09229016A JP 3952396 A JP3952396 A JP 3952396A JP 3952396 A JP3952396 A JP 3952396A JP H09229016 A JPH09229016 A JP H09229016A
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Abstract
体圧アクチュエータを提供する。 【解決手段】 空気圧シリンダ部3とガイドロッド収容
部4とを備え、ガイドロッド1とピストンロッド7とを
連結プレート8により連結した流体圧アクチュエータで
あって、ガイドロッド孔17内に配設されガイドロッド
1を軸方向に移動自在に保持する軸受2とガイドロッド
孔17との間に間隙20を形成する。そして、この間隙
20に結合剤40を注入することにより、各部品の寸法
誤差や組み付け誤差を吸収しつつ軸受2をガイドロッド
孔17内に固定した。
Description
ータに関し、特に、ガイドロッドを有する流体圧アクチ
ュエータや複数のシリンダを協働させる流体圧アクチュ
エータに適用して有効な技術に関するものである。
トンロッドの回転や横負荷によるピストンロッドの撓み
を抑えるため、実開平4−58602号公報の流体圧シ
リンダ装置のように、流体圧アクチュエータにガイドロ
ッドを付加することが行われている。
体圧シリンダ装置は、まず、空気圧シリンダのピストン
ロッドと平行に延在するガイド穴を有するリニアボール
ベアリングを内蔵したガイド体と、ガイド穴を摺動する
ガイドロッドと、このガイドロッドとピストンロッドと
を連結する連結プレートとを備えたガイド機構を有する
流体圧シリンダ装置を開示する。この場合、リニアボー
ルベアリングは、カシメや圧入によってガイド体に固定
され、ガイドロッドの軸受として機能する。なお、この
流体圧シリンダ装置では、ガイドロッドは、ピストンロ
ッドを挟んで2本設けられており、これらによりピスト
ンロッドは回転することなく、かつ横荷重による影響が
抑えられた状態で作動する。
4−66406号公報のシリンダ装置のように、装置の
短縮化、薄形化を図りつつシリンダ出力を増加すべく、
シリンダを複数個並列に配したものも提案されている。
この場合、各ピストンロッドは、シリンダチューブ端部
にスナップリングによって抜け止めされたハウジング内
に摺動自在に保持されている。そして、これらのピスト
ンロッドを連結プレートにて連結し、シリンダを協動さ
せて出力を増加させている。
うな流体圧アクチュエータにおいては、ピストンロッド
とガイドロッドやピストンロッド同士が連結プレートに
より固定されているため、各部品の加工精度や取り付け
精度が低いと、シリンダの動きが悪くなったり、部品の
摩耗が激しくなる等の弊害がある。すなわち、実開平4
−58602号公報の流体圧シリンダ装置では、ピスト
ンロッドやガイドロッドの加工精度や、リニアボールベ
アリングの取り付け精度、連結プレートの加工精度およ
び連結プレートと各ロッドとの取り付け精度等が低い
と、ピストンロッドやガイドロッドに倒れが生じ、作動
不良や寿命低下の原因となる。そのため、各部品の寸法
やその取り付けには高い精度が要求され、部品製造コス
トや製品組み付け工数が増大するという問題があった。
若干のクリアランスを設け、寸法誤差を吸収する方法も
採られているが、この場合、各部品間に生ずるガタは避
けられず、このため、製品の精度が低く横荷重に対して
弱いという問題がある。
ンダ装置においても、各部品の寸法やその取り付けに高
い精度が要求されるという点は上述の場合と同様であ
る。一方、これに加えて当該シリンダ装置では、軸受を
スナップリングやカシメにより固定するため、製造ライ
ンに大型プレスや専用の組み立て機が必要となる場合が
ある。この場合、それに応じて製造工数も増大すること
になり、製造ラインの設備投資はもとより製造コスト自
体も増大するという問題があった。特にシリンダ孔径の
小さいアクチュエータでは組立性が悪いという問題があ
った。また、セラミックや肉厚の薄い軸受は圧入するこ
とで破損、変形という問題が生ずることもあった。
精度を緩和できると共に、製造工数を削減し得る流体圧
アクチュエータを提供することにある。
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
は、流体圧シリンダ部と、該流体圧シリンダ部のピスト
ンロッドと平行に配設されたガイドロッドを収容するガ
イドロッド孔を有するガイドロッド収容部とを備え、ガ
イドロッドとピストンロッドとを連結部材により連結し
てなる流体圧アクチュエータであって、ガイドロッド孔
内に配設されガイドロッドを軸方向に移動自在に保持す
る軸受とガイドロッド孔との間に空隙を形成する。そし
て、この空隙に結合剤を注入することにより、各部品の
寸法誤差や組み付け誤差を吸収しつつ軸受をガイドロッ
ド孔内に固定したことを特徴とする。
容部とを備え、ガイドロッドとピストンロッドとを連結
部材により連結した流体圧アクチュエータにおいて、連
結部材のガイドロッド取付孔とガイドロッドとの間に空
隙を形成し、この空隙に結合剤を注入することによりガ
イドロッドをガイドロッド取付孔内に固定することもで
きる。
互いに平行に配設された複数の流体圧シリンダ部を有
し、該流体圧シリンダ部のピストンロッド同士を連結部
材により連結してなる流体圧アクチュエータであって、
流体圧シリンダのシリンダ室内に配設されピストンロッ
ドを軸方向に移動自在に保持する軸受とシリンダ室の内
壁との間に空隙を形成し、この空隙に結合剤を注入する
ことにより軸受をシリンダ室内に固定したことをも特徴
とする。
圧シリンダ部を有し、それらのピストンロッド同士を連
結部材により連結した流体圧アクチュエータにおいて、
連結部材のピストンロッド取付孔とピストンロッドとの
間に空隙を形成し、この空隙に結合剤を注入することに
よりピストンロッドをピストンロッド取付孔内に固定す
ることもできる。
に基づいて詳細に説明する。
態1である流体圧アクチュエータの構成を示す断面図で
ある。この流体圧アクチュエータは、2本のガイドロッ
ド1を有してなるガイド付きの空気圧アクチュエータで
ある。実施の形態1では、ガイドロッド1を保持する軸
受2を、部品組み付け完了後に接着剤や合成樹脂等の結
合剤40にて固定することにより、部品の加工精度や組
み付け精度の緩和を図っている。
その中心に空気圧シリンダ部3(流体圧シリンダ部)を
有すると共に、その両側に2個のガイドロッド収容部4
を形成したシリンダチューブ5を備える。そして、この
ガイドロッド収容部4に軸受2によって保持されたガイ
ドロッド1と空気圧シリンダ部3のピストンロッド7と
を、連結プレート8(連結部材)にて連結した構成とな
っている。なお、シリンダチューブ5はアルミ合金、連
結プレート8は鋼により形成されている。
ンダ部3は、通常のエアシリンダと同様、シリンダ室9
内にピストン6とサポート10をピストンロッド7とカ
シメ結合した状態で収容し、シリンダ室9の両端をロッ
ドカバー11およびエンドプレート12により閉鎖した
構成となっている。この場合、ピストン6のピストンロ
ッド7側には、ピストン6とロッドカバー11との衝突
の衝撃を減衰するためのバンパ13が設けられている。
また、ピストン6とサポート10との間にはマグネット
14が嵌挿されており、図示しないセンサによりピスト
ン6の位置が検知できるようになっている。なお、ロッ
ドカバー11とエンドプレート12はそれぞれ、ガスケ
ット15によりシリンダ室9内を気密状態に保持しつつ
スナップリング16によって抜け止め固定されている。
ダ部3の両側には、ガイドロッド1を収容し保持するた
めのガイドロッド収容部4が設けられている。なお、図
1において上下に配された2つのガイドロッド収容部4
は何れも同様の構造であるので、一方のみを例にとって
説明する。
ガイドロッド孔17が形成されており、その大径部17
aには、軸受2が若干のクリアランスを有する状態で嵌
め込まれている。そして、その中にピストンロッド7が
摺動自在に保持される。この場合、ガイドロッド孔17
の大径部17aの中程には、大径部17aより大径に形
成された環状の注入溝18が形成されている。一方、軸
受2の外側にも、注入溝18に対向する位置に環状の注
入溝19が形成されており、これらにより、軸受2と大
径部17aとの間には環状の間隙20(空隙)が形成さ
れる。
20と連通した注入孔21が設けられている。そして、
この注入孔21より間隙20内に結合剤40を注入し硬
化させることにより、軸受2が大径部17a内において
位置決め固定される。なお、当該実施の形態1において
は、この注入孔21は下側のガイドロッド収容部4の間
隙20とも連通しており、注入孔21に結合剤40を流
し込むことにより、両方の間隙20に結合剤40を注入
することができる。また、軸受2の両端側にはシール2
2が配設されており、間隙20に注入した結合剤40が
外部に流出しないようになっている。
は、図1に示したように、連結プレート8によって連結
されており、ピストンロッド7は、ガイドロッド1に案
内されて空気圧シリンダ部3から出没する。すなわち、
ピストンロッド7は、空気圧シリンダ部3の作動に伴っ
て、連結プレート8およびガイドロッド1によって回転
方向への動きが拘束された状態で動作する。この場合、
各ロッドは連結プレート8と直角となるようにねじ止め
されており、この直角度については精度が必要とされる
が、後述する組み付け後の軸受固定により、各ロッド間
のピッチ精度は従来のガイドロッド付きシリンダよりも
緩くすることが可能となる。
の組み立て手順について説明する。
は、従来のものと同様に、空気圧シリンダ部3を組み付
けると共に、ガイドロッド孔17の大径部17aに軸受
2を嵌め込む。この場合、軸受2は大径部17aに対し
て若干のクリアランスを有しており、プレス等の大型機
械による圧入作業は必要ない。
後、軸受2にガイドロッド1を挿入し、連結プレート8
と各ロッドとを固定する。このとき、軸受2とガイドロ
ッド孔17の大径部17aとの間には若干のクリアラン
スが存在する。従って、連結プレート8のロッド取付孔
間に多少のピッチ誤差があっても、軸受2が大径部17
aの中で適宜移動してこれを吸収する。このため、連結
プレート8を組み付ける際に、ガイドロッド1やピスト
ンロッド7に無理な力が加わったり、傾いた状態のまま
固定されてしまうことはない。
ン等により注入孔21から結合剤40を間隙20に対し
注入、硬化させ軸受2を固定する。この場合、軸受2
は、各部品の寸法誤差や組み付け誤差を吸収した状態で
組み付けられており、結合剤40の注入、硬化により、
その状態にて軸受2が固定される。従って、たとえ連結
プレート8やガイドロッド1等に寸法誤差があった場合
であっても、この軸受固定工程を経ることにより、これ
らの誤差を容易に吸収することができる。すなわち、連
結プレート8とガイドロッド1との間の直角度が確保で
きてさえいれば、他の部品の精度はそれほど厳密である
必要はなく、各部品の精度を従来より緩く設定すること
が可能となる。また、誤差を勘案して部品間にクリアラ
ンスを設定する必要もないため、クリアランスの少ない
高精度の軸受をこじれ等の問題なく容易に組み付けるこ
とが可能となる。
ダ部3を作動させてピストンロッド7やガイドロッド1
を出没させつつ行うことも可能である。これにより、軸
受2を、ピストンロッド7の動きを阻害しない状態にて
確実に固定することができる。また、クリアランスの程
度によってはシール22を省くことも可能である。さら
に、注入孔21を上下のガイドロッド収容部4に1個ず
つ別々に設けても良い。
態2の流体圧アクチュエータについて説明する。図2は
その構成を示す断面図である。この流体圧アクチュエー
タは、2個の空気圧シリンダ部3を有してなる、いわゆ
るツインロッドタイプの空気圧アクチュエータである。
本発明では、各ピストンロッド7を保持するハウジング
30(軸受)を、部品組み付け完了後に樹脂等にて固定
することにより、部品の加工精度や組み付け精度の緩和
を図っている。なお、当該流体圧アクチュエータの構成
のうち実施の形態1と同様のものについては同一の符号
を付すと共にその詳細は省略する。
したように、空気圧シリンダ部3が並列に2個設けられ
ており、それぞれのピストンロッド7が連結プレート8
によって連結されている。また、シリンダ室9のピスト
ンロッド7の先端側には、ハウジング30がシリンダ室
9と若干のクリアランスを有する状態で嵌め込まれてい
る。そして、このハウジング30内に、ピストンロッド
7がロッドブッシュ31を介して摺動自在に保持されて
いる。
は、上下のピストン6は同期して作動するため、ピスト
ン位置検出用のマグネット14は、上側のピストン6の
端部のみにEリング34を用いて取り付けられている。
また、ハウジング30の外側端近傍には、ロッドパッキ
ン35が設けられており、シリンダ室9内の気密性が保
持されている。
ダ室9の内壁の一部に注入溝32が形成されている。ま
た、ハウジング30にも注入溝32と対向する位置に注
入溝33が形成されている。そして、これらの注入溝3
2、33により、シリンダ室9の内壁とハウジング30
との間に間隙20が形成される。なお、この間隙20に
も、それぞれ注入孔21が設けられており、ここからハ
ウジング30固定用の結合剤40が注入される。
施の形態1と同様に、各部品を組み付けた後に注入孔2
1から結合剤40を注入してハウジング30を固定す
る。すなわち、まず、空気圧シリンダ部3を組み付け、
その後連結プレート8にてピストンロッド7を連結す
る。この場合、ハウジング30はシリンダ室9とは遊嵌
状態にて組み付けられているため、連結プレート8を組
み付ける際に、ピストンロッド7に無理な力が加わった
り、傾いた状態のまま固定されてしまうことはない。
1から結合剤40を間隙20に対し注入し、硬化させハ
ウジング30を固定する。この場合、ハウジング30
は、各部品の寸法誤差や組み付け誤差を吸収した状態で
組み付けられており、結合剤40の注入、硬化により、
その状態にてハウジング30がシリンダ室9内に固定さ
れる。従って、このハウジング固定工程を経ることによ
り、実施の形態1と同様に、これらの誤差を容易に吸収
することができる。
グ30をスナップリング止めする必要がなくなるため、
スナップリング止め工程を省けるのみならず、その分ハ
ウジング30の長さを長くできる。従って、空気圧シリ
ンダ部3の強度をより大きくすることができると共に、
ピストンロッド7の動きをより安定させることができ
る。
形態3の流体圧アクチュエータについて説明する。図3
はその構成を示す断面図である。この流体圧アクチュエ
ータは実施の形態1とほぼ同様の構成からなるガイド付
きシリンダであるが、実施の形態3においては、連結プ
レート8とガイドロッド1とを、部品組み付け完了後に
樹脂等にて固定している。そして、これにより実施の形
態1と同様、部品の加工精度や組み付け精度の緩和を図
っている。なお、当該流体圧アクチュエータの構成のう
ち実施の形態1と同様のものについては同一の符号を付
すと共にその詳細は省略する。
ガイドロッド収容部4のガイドロッド孔17に圧入固定
されている。この点、これを部品組み付け後に結合剤4
0により固定する実施の形態1の流体圧アクチュエータ
と異なった構成となっている。また、当該流体圧アクチ
ュエータにおいては、連結プレート8のガイドロッド取
付孔23とガイドロッド1との間に間隙20が形成され
ている。
には、その内径より大径の注入溝24が形成される一
方、ガイドロッド1の先端側にも、注入溝24に対向す
る形で注入溝25が形成されており、これらにより、ガ
イドロッド取付孔23とガイドロッド1との間に環状の
間隙20が形成される。なお、ガイドロッド1の先端部
外径は、ガイドロッド取付孔23よりも若干小さく形成
されており、両者の間には若干のクリアランスが存在す
る。
と連通した注入孔21が設けられており、この注入孔2
1より合成樹脂や接着剤等の結合剤40を注入すること
により、間隙20内に結合剤40が注入される。この場
合、ガイドロッド1はガイドロッド取付孔23内におい
て、部品間の寸法誤差を吸収した状態で組み付けられて
おり、結合剤40の注入、硬化により、その状態にてガ
イドロッド1が固定される。従って、連結プレート8や
ガイドロッド1、軸受2の取付位置等に寸法誤差があっ
た場合であっても、このガイドロッド固定工程を経るこ
とにより、これらの誤差を容易に吸収することができ
る。
形例であり、図3のものが連結プレート8側から結合剤
40を注入しているのに対し、これはガイドロッド1の
端面から結合剤40を注入している。すなわち、図4の
流体圧アクチュエータにおいては、ガイドロッド1の端
面からガイドロッド1の内部を通って間隙20に至る注
入孔26を設け、ここから結合剤40を注入している。
また、間隙20も、連結プレート8とガイドロッド1に
それぞれ断面三角形状の注入溝27、28を設けて形成
した断面菱形状のものとなっている。
することが可能である。図5にその例を示す。すなわ
ち、間隙20の断面形状は、図5(a)のように円形と
しても良く、また、図5(b)のように4個設けたり、
図5(c)のように断面を四角形として3個設けるよう
にしても良い。さらに、図5(d)のように螺旋状に形
成することも可能である。
らなる変形例であり、間隙20に空気抜き孔29を設け
たものである。この場合、間隙20に結合剤40を注入
する際に押し出される空気や、注入した結合剤40が固
化する際に生じる空気をこの孔から逃がすことができ
る。
うなツインロッドタイプの流体圧アクチュエータに適用
して、実施の形態2の連結プレート8とピストンロッド
7を樹脂等により固定する構成とすることも勿論可能で
ある。
施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実
施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱し
ない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
連結プレートか軸受の一方を結合剤によって固定してい
たが、連結プレートと軸受の両方を結合剤によって固定
する構造とすることもできる。また、間隙の形状も前述
の実施の形態1〜3、特に図5に挙げたものには限られ
ない。この場合、間隙は必ずしも環状に設ける必要はな
く、円周上の一部を切り欠いた形としても良い。さら
に、実施の形態1〜3においては、たとえば、軸受とガ
イドロッド孔の双方に注入溝を設けて間隙を形成してい
たが、必ずしも対向する部材の両方に注入溝を形成する
必要はなく、何れか一方に注入溝を設けて間隙を形成し
ても良い。加えて、実施の形態1〜3では、軸受として
すべり軸受を用いた例を示したが、本発明で言う軸受と
は軸を保持する機能を有する広義の軸受を意味し、ボー
ルベアリングやローラベアリング等のころがり軸受は勿
論のこと、ボールねじやリニアガイド等にも本発明は適
用可能である。
ドが2本のものやシリンダが2個のものを挙げたが、ガ
イドロッドが1本のものや3本以上のもの、また、シリ
ンダが3個以上ある多軸構造の流体圧アクチュエータに
も本発明が適用できることは勿論である。さらに、両ロ
ッド形の流体圧アクチュエータにも適用可能である。
態のようなガイド付きシリンダやツインロッドタイプの
空気圧アクチュエータのみならず、単体シリンダの軸受
にも適用することができる。すなわち、単体シリンダに
おいてピストンロッドを軸方向に移動自在に保持する軸
受に関し、該軸受とシリンダ室内壁との間に空隙を形成
し、該空隙に結合材を注入することにより当該軸受をシ
リンダ室内に固定するようにすることもできる。そし
て、これにより、部品間に寸法誤差があった場合であっ
ても、それを容易に吸収することができ、各部品の精度
を従来より緩く設定することができる。このため、単体
シリンダにおいても、クリアランスの少ない高精度の軸
受をこじれ等の問題なく容易に組み付けることができ
る。また、この場合も、圧入工程やスナップリング止め
工程等を省くことができ、製造設備が簡単で済むと共に
工数を減らすことができる。さらに、スナップリングを
省くことができるため、同じ全長でありながら軸受の長
さを長くすることができると共に、変形や破損しやすい
軸受についても精度を保ったまま組み付けを行うことが
できる。
駆動部材との接続に本発明を適用することも可能であ
る。すなわち、被駆動部材のピストンロッド取付孔とピ
ストンロッドとの間に空隙を形成し、該空隙に結合材を
注入することによりピストンロッドをピストンロッド取
付孔に固定するようにすることもできる。そして、これ
により、相手部品との間に寸法誤差があった場合であっ
ても、それを容易に吸収することができ、各部品の精度
を従来より緩く設定することができる。
なされた発明をその利用分野である空気圧シリンダを用
いた流体圧アクチュエータに適用した場合について説明
したが、これに限定されるものではなく、たとえば、油
圧や電動のアクチュエータにも適用できる。
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
ドロッドと連結プレートとの間に、結合剤注入用の間隙
を設け、部品組み付け後にこの間隙に結合剤を注入して
両者を固定する構成としたことにより、相手部品との間
に寸法誤差があった場合であっても、それらの誤差を容
易に吸収することができ、各部品の精度を従来より緩く
設定することができる。また、誤差を勘案して部品間に
クリアランスを設定する必要もないため、クリアランス
の少ない高精度の軸受をこじれ等の問題なく容易に組み
付けることができる。
るだけで軸受等を固定することができ、圧入工程やスナ
ップリング止め工程等が省くことができる。従って、製
造設備が簡単で済むと共に工数を減らすことができ、設
備投資や製造コストを削減することができる。特に、シ
リンダ孔径の小さいアクチュエータにおける組立性が飛
躍的に向上する。
ため、同じ全長でありながら軸受の長さを長くすること
ができる。従って、シリンダ強度をより大きくすること
ができると共に、ピストンロッドの動きをより安定させ
ることができる。
精度を保ったまま組み付けを行うことができる。
ータの構成を示す断面図である。
ータの構成を示す断面図である。
ータの構成を示す断面図である。
面図である。
例を示す一部拡大断面図である。
孔を設けた変形例を示す一部拡大断面図である。
Claims (4)
- 【請求項1】 流体圧シリンダ部と、該流体圧シリンダ
部のピストンロッドと平行に配設されたガイドロッドを
収容するガイドロッド孔を有するガイドロッド収容部と
を備え、前記ガイドロッドとピストンロッドとを連結部
材により連結してなる流体圧アクチュエータであって、 前記ガイドロッド孔内に配設され前記ガイドロッドを軸
方向に移動自在に保持する軸受と前記ガイドロッド孔と
の間に空隙を形成し、該空隙に結合剤を注入することに
より前記軸受を前記ガイドロッド孔内に固定したことを
特徴とする流体圧アクチュエータ。 - 【請求項2】 流体圧シリンダ部と、該流体圧シリンダ
部のピストンロッドと平行に配設されたガイドロッドを
収容するガイドロッド孔を有するガイドロッド収容部と
を備え、前記ガイドロッドとピストンロッドとを連結部
材により連結してなる流体圧アクチュエータであって、 前記連結部材のガイドロッド取付孔と前記ガイドロッド
との間に空隙を形成し、該空隙に結合剤を注入すること
により前記ガイドロッドを前記ガイドロッド取付孔内に
固定したことを特徴とする流体圧アクチュエータ。 - 【請求項3】 互いに平行に配設された複数の流体圧シ
リンダ部を有し、該流体圧シリンダ部のピストンロッド
同士を連結部材により連結してなる流体圧アクチュエー
タであって、 前記流体圧シリンダ部のシリンダ室内に配設され前記ピ
ストンロッドを軸方向に移動自在に保持する軸受と前記
シリンダ室内壁との間に空隙を形成し、該空隙に結合剤
を注入することにより前記軸受を前記シリンダ室内に固
定したことを特徴とする流体圧アクチュエータ。 - 【請求項4】 互いに平行に配設された複数の流体圧シ
リンダ部を有し、該流体圧シリンダ部のピストンロッド
同士を連結部材により連結してなる流体圧アクチュエー
タであって、 前記連結部材のピストンロッド取付孔と前記ピストンロ
ッドとの間に空隙を形成し、該空隙に結合剤を注入する
ことにより前記ピストンロッドを前記ピストンロッド取
付孔内に固定したことを特徴とする流体圧アクチュエー
タ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP03952396A JP3677111B2 (ja) | 1996-02-27 | 1996-02-27 | 流体圧アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP03952396A JP3677111B2 (ja) | 1996-02-27 | 1996-02-27 | 流体圧アクチュエータ |
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JPH09229016A true JPH09229016A (ja) | 1997-09-02 |
JP3677111B2 JP3677111B2 (ja) | 2005-07-27 |
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JP03952396A Expired - Fee Related JP3677111B2 (ja) | 1996-02-27 | 1996-02-27 | 流体圧アクチュエータ |
Country Status (1)
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---|---|
JP (1) | JP3677111B2 (ja) |
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