JP2000268513A - ヘッドスライダ支持体、ヘッド装置およびそれらの製造方法、ならびに情報記録再生装置 - Google Patents
ヘッドスライダ支持体、ヘッド装置およびそれらの製造方法、ならびに情報記録再生装置Info
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- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/4806—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed specially adapted for disk drive assemblies, e.g. assembly prior to operation, hard or flexible disk drives
- G11B5/4853—Constructional details of the electrical connection between head and arm
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- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
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- G11B5/4826—Mounting, aligning or attachment of the transducer head relative to the arm assembly, e.g. slider holding members, gimbals, adhesive
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- Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
- Moving Of Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 部品点数を減らして製造コストを低減し得る
と共に、多品種少量生産に柔軟に対応することを可能と
するヘッドスライダ支持体、ヘッド装置およびこれらの
製造方法、ならびに情報記録再生装置を提供する。 【解決手段】 磁気ヘッド装置2は、ヘッドスライダ8
と、ヘッドスライダ8を支持するヘッドスライダ支持体
10と、このヘッドスライダ支持体10に取り付けられ
た配線ユニット20およびコイル30とを備える。ヘッ
ドスライダ支持体10は、ジンバルとして機能するスラ
イダ支持部11と、このスライダ支持部11を保持する
サスペンション部12と、このサスペンション部12を
保持するアーム部13と、コイル30を担持するコイル
担持部14とを含む。これらの各部は、接合部を含まな
い連続構造体の一部をなす。個々のヘッド装置が、ヘッ
ドスライダと、このヘッドスライダを支持する部分と、
ヘッドスライダを移動させる部分とを備える。
と共に、多品種少量生産に柔軟に対応することを可能と
するヘッドスライダ支持体、ヘッド装置およびこれらの
製造方法、ならびに情報記録再生装置を提供する。 【解決手段】 磁気ヘッド装置2は、ヘッドスライダ8
と、ヘッドスライダ8を支持するヘッドスライダ支持体
10と、このヘッドスライダ支持体10に取り付けられ
た配線ユニット20およびコイル30とを備える。ヘッ
ドスライダ支持体10は、ジンバルとして機能するスラ
イダ支持部11と、このスライダ支持部11を保持する
サスペンション部12と、このサスペンション部12を
保持するアーム部13と、コイル30を担持するコイル
担持部14とを含む。これらの各部は、接合部を含まな
い連続構造体の一部をなす。個々のヘッド装置が、ヘッ
ドスライダと、このヘッドスライダを支持する部分と、
ヘッドスライダを移動させる部分とを備える。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、記録用素子または
再生用素子の少なくとも一方を有するヘッドスライダを
搭載するために用いられるヘッドスライダ支持体、その
ようなヘッドスライダ支持体にヘッドスライダを搭載し
てなるヘッド装置、およびそれらの製造方法、ならびに
そのようなヘッド装置を備えた情報記録再生装置に係わ
り、例えば、記録用素子または再生用素子として磁気ヘ
ッド素子を用いたヘッドスライダ支持体、ヘッド装置、
およびそれらの製造方法、ならびに情報記録再生装置に
関する。
再生用素子の少なくとも一方を有するヘッドスライダを
搭載するために用いられるヘッドスライダ支持体、その
ようなヘッドスライダ支持体にヘッドスライダを搭載し
てなるヘッド装置、およびそれらの製造方法、ならびに
そのようなヘッド装置を備えた情報記録再生装置に係わ
り、例えば、記録用素子または再生用素子として磁気ヘ
ッド素子を用いたヘッドスライダ支持体、ヘッド装置、
およびそれらの製造方法、ならびに情報記録再生装置に
関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、磁気ディスク装置等の情報記録
再生装置に用いられるヘッド装置は、ヘッド素子が形成
されたヘッドスライダを遊動自在に支持可能なスライダ
支持部と、このスライダ支持部を保持する懸架部(サス
ペンション部)と、この懸架部を保持すると共にVCM
(ボイス・コイル・モータ)等の駆動機構によって駆動
されるアーム部とを備えている。そして、このような機
構によってヘッドスライダをディスク状の磁気記録媒体
の表面から一定の量だけ浮上させた状態で、ヘッド素子
により磁気ディスク等の記録媒体からの情報の再生ある
いは情報の記録を行うと共に、磁気記録媒体の表面に沿
ってヘッドスライダを移動させることができるようにな
っている。
再生装置に用いられるヘッド装置は、ヘッド素子が形成
されたヘッドスライダを遊動自在に支持可能なスライダ
支持部と、このスライダ支持部を保持する懸架部(サス
ペンション部)と、この懸架部を保持すると共にVCM
(ボイス・コイル・モータ)等の駆動機構によって駆動
されるアーム部とを備えている。そして、このような機
構によってヘッドスライダをディスク状の磁気記録媒体
の表面から一定の量だけ浮上させた状態で、ヘッド素子
により磁気ディスク等の記録媒体からの情報の再生ある
いは情報の記録を行うと共に、磁気記録媒体の表面に沿
ってヘッドスライダを移動させることができるようにな
っている。
【0003】ところで、この種の装置では、近年の記憶
容量の大容量化の要請から、複数枚の磁気記録媒体と複
数のヘッドスライダを有するものが一般的になってい
る。このような装置では、磁気記録媒体の各面にそれぞ
れ1つのヘッドスライダを対向させて配し、これらのヘ
ッドスライダの各々を個々のサスペンション部により支
える構造となっている。従来は、コストの低減等の目的
から、例えば特開平4−76882号(特公平7−12
2984号)あるいは特開平10−92124号の各公
報に開示されているように、複数のアーム部を鋳型成形
等によって一体に形成することが行われている。また、
これらの各公報、あるいは特開平1−130318号公
報に開示されているように、ヘッドスライダを支持する
サスペンション部は、アーム部とは別体に形成され、個
々のアーム部にあとから連結されるようになっている。
すなわち、従来は、複数のアーム部、複数のサスペンシ
ョン部および複数のヘッドスライダが全体として1つの
ヘッド・アクチュエータ・アセンブリ(以下、HAAと
いう。)を構成していた。
容量の大容量化の要請から、複数枚の磁気記録媒体と複
数のヘッドスライダを有するものが一般的になってい
る。このような装置では、磁気記録媒体の各面にそれぞ
れ1つのヘッドスライダを対向させて配し、これらのヘ
ッドスライダの各々を個々のサスペンション部により支
える構造となっている。従来は、コストの低減等の目的
から、例えば特開平4−76882号(特公平7−12
2984号)あるいは特開平10−92124号の各公
報に開示されているように、複数のアーム部を鋳型成形
等によって一体に形成することが行われている。また、
これらの各公報、あるいは特開平1−130318号公
報に開示されているように、ヘッドスライダを支持する
サスペンション部は、アーム部とは別体に形成され、個
々のアーム部にあとから連結されるようになっている。
すなわち、従来は、複数のアーム部、複数のサスペンシ
ョン部および複数のヘッドスライダが全体として1つの
ヘッド・アクチュエータ・アセンブリ(以下、HAAと
いう。)を構成していた。
【0004】なお、この種の技術に関するものとして
は、例えば実開昭64─056078号公報や特開平0
1─285061号公報に開示されているように、アー
ムとスライダ支持部の一部をなすジンバルとを一体に形
成したものがある。また、例えば特公平06─0708
48号公報には、サスペンションおよびアームからなる
スライダ支持機構にICチップを搭載した例が記載され
ている。
は、例えば実開昭64─056078号公報や特開平0
1─285061号公報に開示されているように、アー
ムとスライダ支持部の一部をなすジンバルとを一体に形
成したものがある。また、例えば特公平06─0708
48号公報には、サスペンションおよびアームからなる
スライダ支持機構にICチップを搭載した例が記載され
ている。
【0005】しかしながら、上記したように、複数のア
ーム部、複数のサスペンション部および複数のヘッドス
ライダによって1つのHAAを構成するようにした場合
には、多品種少量生産に対応しつつコスト低減を図るの
が困難である。なぜなら、様々な仕様(例えば記憶容量
等)のディスク装置を生産するためには、それぞれの仕
様に応じた専用のHAAを多種類用意なければならず、
設計、製造、及び在庫管理の面において、効率的でない
からである。
ーム部、複数のサスペンション部および複数のヘッドス
ライダによって1つのHAAを構成するようにした場合
には、多品種少量生産に対応しつつコスト低減を図るの
が困難である。なぜなら、様々な仕様(例えば記憶容量
等)のディスク装置を生産するためには、それぞれの仕
様に応じた専用のHAAを多種類用意なければならず、
設計、製造、及び在庫管理の面において、効率的でない
からである。
【0006】また、上記したように、サスペンション部
とアーム部とを別体に形成し、あとからアーム部とサス
ペンション部とを連結するようにした場合には、部品点
数が増え、製造や部品管理上、煩雑化するという問題が
あった。
とアーム部とを別体に形成し、あとからアーム部とサス
ペンション部とを連結するようにした場合には、部品点
数が増え、製造や部品管理上、煩雑化するという問題が
あった。
【0007】これに対して、例えば特開平4−1233
76号(特許2811942号)公報には、ヘッドを保
持するフレクシャ部、フレクシャ部を保持するアーム部
およびアーム部を保持するキャリッジ本体部を一体構造
物として形成したヘッド支持装置が開示されている。こ
の装置によれば、部品間結合部での強度不足に起因する
問題を解消し、装置全体としての部品点数の低減等を図
ることができる。
76号(特許2811942号)公報には、ヘッドを保
持するフレクシャ部、フレクシャ部を保持するアーム部
およびアーム部を保持するキャリッジ本体部を一体構造
物として形成したヘッド支持装置が開示されている。こ
の装置によれば、部品間結合部での強度不足に起因する
問題を解消し、装置全体としての部品点数の低減等を図
ることができる。
【0008】しかしながら、このヘッド支持装置では、
それが実際に磁気ディスク装置に組み込まれる場合にお
いては、一体構造物として形成されたヘッド支持装置を
2つ組み合わせてリングによって連結し、この連結され
た1対のヘッド支持装置をシャフトに装着するようにな
っている。しかも、ヘッド支持装置を回転駆動させるた
めの駆動機構の一部をなすボイスコイルモータ駆動用巻
線コイルは、2つのヘッド支持装置によって挟まれる形
で担持されるようになっている。つまり、1対のヘッド
支持装置が実質上1つのアッセンブリとして取り扱われ
るようになっており、個々のヘッド支持装置単位で独立
して取り扱われ得る構成とはなっていない。このため、
多品種少量生産に十分柔軟に対応することは困難である
と考えられる。
それが実際に磁気ディスク装置に組み込まれる場合にお
いては、一体構造物として形成されたヘッド支持装置を
2つ組み合わせてリングによって連結し、この連結され
た1対のヘッド支持装置をシャフトに装着するようにな
っている。しかも、ヘッド支持装置を回転駆動させるた
めの駆動機構の一部をなすボイスコイルモータ駆動用巻
線コイルは、2つのヘッド支持装置によって挟まれる形
で担持されるようになっている。つまり、1対のヘッド
支持装置が実質上1つのアッセンブリとして取り扱われ
るようになっており、個々のヘッド支持装置単位で独立
して取り扱われ得る構成とはなっていない。このため、
多品種少量生産に十分柔軟に対応することは困難である
と考えられる。
【0009】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
ので、その目的は、部品点数を減らして製造コストを低
減し得ると共に、多品種少量生産に柔軟に対応すること
ができるヘッドスライダ支持体、ヘッド装置およびこれ
らの製造方法、ならびに情報記録再生装置を提供するこ
とにある。
ので、その目的は、部品点数を減らして製造コストを低
減し得ると共に、多品種少量生産に柔軟に対応すること
ができるヘッドスライダ支持体、ヘッド装置およびこれ
らの製造方法、ならびに情報記録再生装置を提供するこ
とにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明のヘッドスライダ
支持体は、記録媒体に対する情報書込みまたは記録媒体
からの情報読出しの少なくとも一方を行うことが可能な
ヘッド素子を含むヘッドスライダと、このヘッドスライ
ダを記録媒体に対して相対的に移動させる駆動機構の一
部をなす駆動用コイルとを搭載可能なヘッドスライダ支
持体であって、ヘッドスライダを遊動自在に支持可能な
唯一つのスライダ支持部と、このスライダ支持部に対応
して唯一つ設けられると共にそれ単独で駆動用コイルを
担持することが可能なコイル担持部とを備え、スライダ
支持部およびコイル支持部が、接合領域を含まない連続
構造体の一部をなすように構成したものである。
支持体は、記録媒体に対する情報書込みまたは記録媒体
からの情報読出しの少なくとも一方を行うことが可能な
ヘッド素子を含むヘッドスライダと、このヘッドスライ
ダを記録媒体に対して相対的に移動させる駆動機構の一
部をなす駆動用コイルとを搭載可能なヘッドスライダ支
持体であって、ヘッドスライダを遊動自在に支持可能な
唯一つのスライダ支持部と、このスライダ支持部に対応
して唯一つ設けられると共にそれ単独で駆動用コイルを
担持することが可能なコイル担持部とを備え、スライダ
支持部およびコイル支持部が、接合領域を含まない連続
構造体の一部をなすように構成したものである。
【0011】本発明のヘッドスライダ支持体では、1つ
のスライダ支持部に対して1つのコイル支持部が対応し
て設けられ、しかも、スライダ支持部およびコイル支持
部は、接合領域を含まない連続構造体の一部をなしてい
る。したがって、各ヘッドスライダ支持体が個別に駆動
用コイルを担持することが可能であり、ヘッドスライダ
支持体単位での取り扱いや駆動が可能となる。
のスライダ支持部に対して1つのコイル支持部が対応し
て設けられ、しかも、スライダ支持部およびコイル支持
部は、接合領域を含まない連続構造体の一部をなしてい
る。したがって、各ヘッドスライダ支持体が個別に駆動
用コイルを担持することが可能であり、ヘッドスライダ
支持体単位での取り扱いや駆動が可能となる。
【0012】本発明のヘッドスライダ支持体では、さら
に、スライダ支持部を保持する唯一つの懸架部と、この
懸架部を保持する唯一つのアーム部とを備えるように構
成し、懸架部およびアーム部が連続構造体の一部をなす
ようにしてもよい。この場合において、懸架部は弾性を
有するものであり、アーム部は剛性を有するものである
ようにするのが好ましい。駆動機構は、外部に設けられ
た所定の固定軸を中心としてヘッドスライダを回転移動
可能なものであることが好ましい。ヘッドスライダ支持
体は、さらに、上記の固定軸が挿通されるための穴部を
含む接続部を備えるようにしてもよい。この場合には、
接続部が連続構造体の一部をなすように構成するのが好
ましい。
に、スライダ支持部を保持する唯一つの懸架部と、この
懸架部を保持する唯一つのアーム部とを備えるように構
成し、懸架部およびアーム部が連続構造体の一部をなす
ようにしてもよい。この場合において、懸架部は弾性を
有するものであり、アーム部は剛性を有するものである
ようにするのが好ましい。駆動機構は、外部に設けられ
た所定の固定軸を中心としてヘッドスライダを回転移動
可能なものであることが好ましい。ヘッドスライダ支持
体は、さらに、上記の固定軸が挿通されるための穴部を
含む接続部を備えるようにしてもよい。この場合には、
接続部が連続構造体の一部をなすように構成するのが好
ましい。
【0013】また、本発明のヘッドスライダ支持体で
は、さらに、ヘッドスライダとの電気的な接続を可能と
する配線パターンを備えるように構成してもよい。この
配線パターンは、連続構造体の第1の表面から第2の表
面にかけて配設されるように構成するのが好ましい。こ
の場合において、配線パターンは、連続構造体の第1の
表面からその一端部を迂回して第2の表面へと延びてス
ライダ支持部に達し、このスライダ支持部の、ヘッドス
ライダが載置されることとなる面を覆うようにすること
が可能である。また、配線パターンは、連続構造体の第
1の表面からその一部に設けられた連絡穴を経由して第
2の表面へと延びてスライダ支持部に達し、このスライ
ダ支持部の、ヘッドスライダが載置されることとなる面
を覆うようにすることも可能である。
は、さらに、ヘッドスライダとの電気的な接続を可能と
する配線パターンを備えるように構成してもよい。この
配線パターンは、連続構造体の第1の表面から第2の表
面にかけて配設されるように構成するのが好ましい。こ
の場合において、配線パターンは、連続構造体の第1の
表面からその一端部を迂回して第2の表面へと延びてス
ライダ支持部に達し、このスライダ支持部の、ヘッドス
ライダが載置されることとなる面を覆うようにすること
が可能である。また、配線パターンは、連続構造体の第
1の表面からその一部に設けられた連絡穴を経由して第
2の表面へと延びてスライダ支持部に達し、このスライ
ダ支持部の、ヘッドスライダが載置されることとなる面
を覆うようにすることも可能である。
【0014】また、本発明のヘッドスライダ支持体で
は、さらに、ヘッドスライダの動作に関わる回路が集積
された集積回路チップを備えるようにしてもよい。この
集積回路チップは、連続構造体の、記録媒体と対向する
こととなる面側に配設するようにしてもよい。
は、さらに、ヘッドスライダの動作に関わる回路が集積
された集積回路チップを備えるようにしてもよい。この
集積回路チップは、連続構造体の、記録媒体と対向する
こととなる面側に配設するようにしてもよい。
【0015】本発明のヘッド装置は、上記したいずれか
の構成を有するヘッドスライダ支持体と、このヘッドス
ライダ支持体のスライダ支持部によって遊動自在に支持
されたヘッドスライダとを備えたものである。この場合
において、ヘッドスライダは、スライダ支持部を覆って
いる配線パターン上に配設するのが好ましい。
の構成を有するヘッドスライダ支持体と、このヘッドス
ライダ支持体のスライダ支持部によって遊動自在に支持
されたヘッドスライダとを備えたものである。この場合
において、ヘッドスライダは、スライダ支持部を覆って
いる配線パターン上に配設するのが好ましい。
【0016】本発明に係るヘッドスライダ支持体の製造
方法は、記録媒体に対する情報書込みまたは記録媒体か
らの情報読出しの少なくとも一方を行うことが可能なヘ
ッド素子を含むヘッドスライダと、このヘッドスライダ
を記録媒体に対して相対的に移動させるための駆動機構
の一部をなす駆動用コイルとを搭載可能なヘッドスライ
ダ支持体の製造方法であって、ヘッドスライダを遊動自
在に支持可能な唯一つのスライダ支持部を形成する工程
と、スライダ支持部に対応して唯一つ設けられると共に
それ単独で駆動用コイルを担持することが可能なコイル
担持部を形成する工程とを含むと共に、これらの2つの
工程をほぼ並行して行うことにより、スライダ支持部お
よびコイル担持部が、接合領域を含まない所定形状の連
続構造体の一部をなすようにしたものである。
方法は、記録媒体に対する情報書込みまたは記録媒体か
らの情報読出しの少なくとも一方を行うことが可能なヘ
ッド素子を含むヘッドスライダと、このヘッドスライダ
を記録媒体に対して相対的に移動させるための駆動機構
の一部をなす駆動用コイルとを搭載可能なヘッドスライ
ダ支持体の製造方法であって、ヘッドスライダを遊動自
在に支持可能な唯一つのスライダ支持部を形成する工程
と、スライダ支持部に対応して唯一つ設けられると共に
それ単独で駆動用コイルを担持することが可能なコイル
担持部を形成する工程とを含むと共に、これらの2つの
工程をほぼ並行して行うことにより、スライダ支持部お
よびコイル担持部が、接合領域を含まない所定形状の連
続構造体の一部をなすようにしたものである。
【0017】本発明に係るヘッドスライダ支持体の製造
方法では、スライダ支持部を形成する工程とコイル担持
部を形成する工程とがほぼ並行して行われ、これによ
り、スライダ支持部およびコイル担持部が、接合領域を
含まない所定形状の連続構造体の一部をなすように形成
される。
方法では、スライダ支持部を形成する工程とコイル担持
部を形成する工程とがほぼ並行して行われ、これによ
り、スライダ支持部およびコイル担持部が、接合領域を
含まない所定形状の連続構造体の一部をなすように形成
される。
【0018】本発明に係るヘッドスライダ支持体の製造
方法では、さらに、スライダ支持部を保持する唯一つの
懸架部を形成する工程と、懸架部を保持する唯一つのア
ーム部を形成する工程とを含むようにすると共に、これ
らの工程を、スライダ支持部およびコイル担持部の形成
工程とほぼ並行して行うことにより、懸架部およびアー
ム部もまた連続構造体の一部をなすようにするのが好ま
しい。この場合において、連続構造体を形成する工程
は、1枚の板状素材を部分的に圧延して、異なる厚さの
部分を有する素材を形成する圧延工程と、圧延された素
材に対して型抜き加工を行う型抜工程とを含むものであ
るようにすることが可能である。あるいは、連続構造体
を形成する工程は、連続構造体の外形に対応した形状の
内部空間を有する成形型を形成する型形成工程と、成形
型の内部空間に所定の材料を充填して固化させる工程と
を含むものであるようにしてもよい。
方法では、さらに、スライダ支持部を保持する唯一つの
懸架部を形成する工程と、懸架部を保持する唯一つのア
ーム部を形成する工程とを含むようにすると共に、これ
らの工程を、スライダ支持部およびコイル担持部の形成
工程とほぼ並行して行うことにより、懸架部およびアー
ム部もまた連続構造体の一部をなすようにするのが好ま
しい。この場合において、連続構造体を形成する工程
は、1枚の板状素材を部分的に圧延して、異なる厚さの
部分を有する素材を形成する圧延工程と、圧延された素
材に対して型抜き加工を行う型抜工程とを含むものであ
るようにすることが可能である。あるいは、連続構造体
を形成する工程は、連続構造体の外形に対応した形状の
内部空間を有する成形型を形成する型形成工程と、成形
型の内部空間に所定の材料を充填して固化させる工程と
を含むものであるようにしてもよい。
【0019】本発明に係るヘッド装置の製造方法は、上
記したヘッドスライダ支持体の製造方法のいずれかによ
りヘッドスライダ支持体を形成する工程と、形成された
ヘッドスライダ支持体にヘッドスライダを搭載する工程
とを含むようにしたものである。
記したヘッドスライダ支持体の製造方法のいずれかによ
りヘッドスライダ支持体を形成する工程と、形成された
ヘッドスライダ支持体にヘッドスライダを搭載する工程
とを含むようにしたものである。
【0020】本発明の情報記録再生装置は、情報を記録
可能な記録媒体と、ヘッド装置と、このヘッド装置に搭
載されたヘッドスライダが記録媒体に対して相対的に移
動することとなるようにヘッド装置を駆動する駆動機構
とを備えている。この情報記録再生装置では、ヘッド装
置を複数配設し、これらのヘッド装置をそれぞれ独立に
駆動させることにより、これらのヘッド装置にそれぞれ
搭載されているヘッドスライダが互いに独立して移動す
るようになすことが可能である。
可能な記録媒体と、ヘッド装置と、このヘッド装置に搭
載されたヘッドスライダが記録媒体に対して相対的に移
動することとなるようにヘッド装置を駆動する駆動機構
とを備えている。この情報記録再生装置では、ヘッド装
置を複数配設し、これらのヘッド装置をそれぞれ独立に
駆動させることにより、これらのヘッド装置にそれぞれ
搭載されているヘッドスライダが互いに独立して移動す
るようになすことが可能である。
【0021】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を詳細に説明する。
施の形態を詳細に説明する。
【0022】[第1の実施の形態]図5は、本発明の第
1の実施の形態に係るヘッドスライダ支持体およびヘッ
ド装置が適用される磁気ディスク装置の外観構成を表す
ものである。なお、本実施の形態では、CSS(Contac
t-Start-Stop)方式と呼ばれる方式の磁気ディスク装置
を例示して説明するものとする。この磁気ディスク装置
は、記録媒体としての複数の磁気ディスク1(以下、単
にディスク1という。)と、これらのディスクの各面に
対応して配設された複数の磁気ヘッド装置2とを備えて
いる。ディスク1は、筐体3に固設されたスピンドルモ
ータ4により回転するようになっている。磁気ヘッド装
置2は、筐体3に固設された固定軸5に、ベアリング6
を介して回動自在に取り付けられている。本実施の形態
では、複数の磁気ヘッド装置2が共通のベアリング6を
介して固定軸5に取り付けられており、これにより、複
数の磁気ヘッド装置2が一体となって回動するようにな
っているものとする。磁気ヘッド装置2の先端側には、
基体上にヘッド素子を含む磁気ヘッドスライダ8(以
下、単にヘッドスライダ8という。)が取り付けられて
いる。各磁気ヘッド装置2は、ヘッドスライダ8のエア
ベアリング面がディスク1の表面に対向することとなる
ように配置されている。なお、エアベアリング面とは、
ヘッドスライダ8における、ディスク1に対向する側の
面をいう。
1の実施の形態に係るヘッドスライダ支持体およびヘッ
ド装置が適用される磁気ディスク装置の外観構成を表す
ものである。なお、本実施の形態では、CSS(Contac
t-Start-Stop)方式と呼ばれる方式の磁気ディスク装置
を例示して説明するものとする。この磁気ディスク装置
は、記録媒体としての複数の磁気ディスク1(以下、単
にディスク1という。)と、これらのディスクの各面に
対応して配設された複数の磁気ヘッド装置2とを備えて
いる。ディスク1は、筐体3に固設されたスピンドルモ
ータ4により回転するようになっている。磁気ヘッド装
置2は、筐体3に固設された固定軸5に、ベアリング6
を介して回動自在に取り付けられている。本実施の形態
では、複数の磁気ヘッド装置2が共通のベアリング6を
介して固定軸5に取り付けられており、これにより、複
数の磁気ヘッド装置2が一体となって回動するようにな
っているものとする。磁気ヘッド装置2の先端側には、
基体上にヘッド素子を含む磁気ヘッドスライダ8(以
下、単にヘッドスライダ8という。)が取り付けられて
いる。各磁気ヘッド装置2は、ヘッドスライダ8のエア
ベアリング面がディスク1の表面に対向することとなる
ように配置されている。なお、エアベアリング面とは、
ヘッドスライダ8における、ディスク1に対向する側の
面をいう。
【0023】この磁気ディスク装置はまた、磁気ヘッド
装置2の他方の後端側に、ディスク1のトラック上にお
けるヘッドスライダ8の位置決めを行うための駆動部7
を備えている。この駆動部7は、磁気ヘッド装置2の後
端側に設けられた後述するコイルにより生ずる磁界との
相互作用を利用したボイスコイルモータ等を含み、固定
軸5を中心として磁気ヘッド装置2を回動させることが
できるようになっている。これにより、ヘッドスライダ
8は、ディスク1の半径方向に移動可能になっている。
ここで、ディスク1が本発明における「記録媒体」の一
具体例に対応し、ヘッドスライダ8が本発明における
「ヘッドスライダ」の一具体例に対応し、磁気ヘッド装
置2が本発明における「ヘッド装置」の一具体例に対応
する。
装置2の他方の後端側に、ディスク1のトラック上にお
けるヘッドスライダ8の位置決めを行うための駆動部7
を備えている。この駆動部7は、磁気ヘッド装置2の後
端側に設けられた後述するコイルにより生ずる磁界との
相互作用を利用したボイスコイルモータ等を含み、固定
軸5を中心として磁気ヘッド装置2を回動させることが
できるようになっている。これにより、ヘッドスライダ
8は、ディスク1の半径方向に移動可能になっている。
ここで、ディスク1が本発明における「記録媒体」の一
具体例に対応し、ヘッドスライダ8が本発明における
「ヘッドスライダ」の一具体例に対応し、磁気ヘッド装
置2が本発明における「ヘッド装置」の一具体例に対応
する。
【0024】図1ないし図4は、本発明の第1の実施の
形態に係るヘッド装置の構成を表すものである。具体的
には、この図は、図5に示した磁気ディスク装置におけ
る磁気ヘッド装置2の構成を表す。なお、本発明の一実
施の形態に係るヘッドスライダ支持体は、本実施の形態
に係るヘッド装置によって具現化されるので、以下併せ
て説明する。ここで、図1は、磁気ヘッド装置2をエア
ベアリング面と反対側から俯瞰した状態を表し、図2は
図1におけるII−II線矢視方向の断面構成を表し、図3
は図1におけるIII −III 線矢視方向の断面構成を表
す。また、図4は、図1に示した磁気ヘッド装置2のヘ
ッドスライダ8およびその周辺部分をエアベアリング面
の側から見た状態を表すものである。
形態に係るヘッド装置の構成を表すものである。具体的
には、この図は、図5に示した磁気ディスク装置におけ
る磁気ヘッド装置2の構成を表す。なお、本発明の一実
施の形態に係るヘッドスライダ支持体は、本実施の形態
に係るヘッド装置によって具現化されるので、以下併せ
て説明する。ここで、図1は、磁気ヘッド装置2をエア
ベアリング面と反対側から俯瞰した状態を表し、図2は
図1におけるII−II線矢視方向の断面構成を表し、図3
は図1におけるIII −III 線矢視方向の断面構成を表
す。また、図4は、図1に示した磁気ヘッド装置2のヘ
ッドスライダ8およびその周辺部分をエアベアリング面
の側から見た状態を表すものである。
【0025】図1および図2に示したように、この磁気
ヘッド装置2は、ヘッドスライダ8と、ヘッドスライダ
8を支持するヘッドスライダ支持体10と、このヘッド
スライダ支持体10に取り付けられた配線ユニット20
およびコイル30とを備えている。ヘッドスライダ支持
体10は、ヘッドスライダ8を遊動可能に支持するジン
バル構造を有するスライダ支持部11と、このスライダ
支持部11を保持するサスペンション部12と、このサ
スペンション部12を保持するアーム部13と、コイル
30を担持するコイル担持部14とを含んで構成されて
いる。スライダ支持部11、サスペンション部12、ア
ーム部13およびコイル担持部14は、それぞれ、接合
領域を含まない連続構造体の一部をなしている。すなわ
ち、これらの各部は、その相互間に境目を持たない状態
で一体に形成されている。このような連続構造体は、後
述するように、例えばアルミニウムやステンレス鋼等の
金属材料、あるいは有機樹脂材料を用いて形成される。
ここで、スライダ支持部11が本発明における「スライ
ダ支持部」の一具体例に対応し、サスペンション部12
が本発明における「懸架部」の一具体例に対応する。ま
た、アーム部13が本発明における「アーム部」の一具
体例に対応する。
ヘッド装置2は、ヘッドスライダ8と、ヘッドスライダ
8を支持するヘッドスライダ支持体10と、このヘッド
スライダ支持体10に取り付けられた配線ユニット20
およびコイル30とを備えている。ヘッドスライダ支持
体10は、ヘッドスライダ8を遊動可能に支持するジン
バル構造を有するスライダ支持部11と、このスライダ
支持部11を保持するサスペンション部12と、このサ
スペンション部12を保持するアーム部13と、コイル
30を担持するコイル担持部14とを含んで構成されて
いる。スライダ支持部11、サスペンション部12、ア
ーム部13およびコイル担持部14は、それぞれ、接合
領域を含まない連続構造体の一部をなしている。すなわ
ち、これらの各部は、その相互間に境目を持たない状態
で一体に形成されている。このような連続構造体は、後
述するように、例えばアルミニウムやステンレス鋼等の
金属材料、あるいは有機樹脂材料を用いて形成される。
ここで、スライダ支持部11が本発明における「スライ
ダ支持部」の一具体例に対応し、サスペンション部12
が本発明における「懸架部」の一具体例に対応する。ま
た、アーム部13が本発明における「アーム部」の一具
体例に対応する。
【0026】サスペンション部12は、一定の弾性を有
し、スライダ支持部11を柔軟性を持って保持し得るよ
うに形成されている。アーム部13は、剛性支持体とし
て機能するもので、その一部に、ベアリング6を介して
固定軸5(図5)が挿通されることとなる接続部50を
有している。接続部50は、アーム部13と固定軸5と
がベアリング6を介して確実に(緩みも傾きもなく)連
結されるようにするために必要なスラスト厚さ(軸方向
の厚さ)を有している。ここで、接続部50が本発明に
おける「接続部」の一具体例に対応する。
し、スライダ支持部11を柔軟性を持って保持し得るよ
うに形成されている。アーム部13は、剛性支持体とし
て機能するもので、その一部に、ベアリング6を介して
固定軸5(図5)が挿通されることとなる接続部50を
有している。接続部50は、アーム部13と固定軸5と
がベアリング6を介して確実に(緩みも傾きもなく)連
結されるようにするために必要なスラスト厚さ(軸方向
の厚さ)を有している。ここで、接続部50が本発明に
おける「接続部」の一具体例に対応する。
【0027】配線ユニット20は、FOS(FLEX ON SUS
PENTION)と呼ばれるものであり、フレキシブルな配線パ
ターンフィルム21と、この配線パターンフィルム21
の上に配設されたICチップ22と、配線パターンフィ
ルム21の一端部に設けられた端子部23とを有してい
る。配線パターンフィルム21は、導電材料からなる配
線パターン(図1では図示せず)を絶縁性材料(例えば
ポリイミド等の有機樹脂材料)からなるフィルムによっ
て両面から挟み込むように被覆したもので、ヘッドスラ
イダ支持体10の表面に接着剤等により貼り付けられて
いる。図示しない配線パターンとしては、例えば銅(C
u)もしくは金(Au)、または、銅および金を積層し
て形成した金属薄膜パターン等が好ましく用いられる。
ICチップ22は、ヘッドスライダ8の磁気ヘッド素子
(図1では図示せず)に対する記録電流の発生、再生信
号の増幅、および記録と再生の切り換え等を行うための
ものであり、できるだけヘッドスライダ8に近い位置に
配設されるようにするのが好適である。ICチップ22
は、配線パターンフィルム21上のパッドを介して配線
パターンに接続された多数の外部端子を備えている。端
子部23は、図示しない制御回路に接続されるようにな
っている。ここで、配線パターンフィルム21が、本発
明における「配線パターン」の一具体例に対応し、IC
チップ22が本発明における「集積回路チップ」に対応
する。
PENTION)と呼ばれるものであり、フレキシブルな配線パ
ターンフィルム21と、この配線パターンフィルム21
の上に配設されたICチップ22と、配線パターンフィ
ルム21の一端部に設けられた端子部23とを有してい
る。配線パターンフィルム21は、導電材料からなる配
線パターン(図1では図示せず)を絶縁性材料(例えば
ポリイミド等の有機樹脂材料)からなるフィルムによっ
て両面から挟み込むように被覆したもので、ヘッドスラ
イダ支持体10の表面に接着剤等により貼り付けられて
いる。図示しない配線パターンとしては、例えば銅(C
u)もしくは金(Au)、または、銅および金を積層し
て形成した金属薄膜パターン等が好ましく用いられる。
ICチップ22は、ヘッドスライダ8の磁気ヘッド素子
(図1では図示せず)に対する記録電流の発生、再生信
号の増幅、および記録と再生の切り換え等を行うための
ものであり、できるだけヘッドスライダ8に近い位置に
配設されるようにするのが好適である。ICチップ22
は、配線パターンフィルム21上のパッドを介して配線
パターンに接続された多数の外部端子を備えている。端
子部23は、図示しない制御回路に接続されるようにな
っている。ここで、配線パターンフィルム21が、本発
明における「配線パターン」の一具体例に対応し、IC
チップ22が本発明における「集積回路チップ」に対応
する。
【0028】コイル担持部14は、アーム部13の後端
部からほぼ後方(ヘッドスライダ8と反対側の方向)に
延びると共に、アーム部13と一体に形成された2つの
担持片14a,14bを含んでいる。コイル30は、こ
れらの2つの担持片14a,14bによって挟み込まれ
るようにして、接着剤40によって各担持片14a,1
4bに固着されている。コイル30は、そこを電流が流
れることで磁界を発生させる機能を有し、例えば銅線等
から形成されている。
部からほぼ後方(ヘッドスライダ8と反対側の方向)に
延びると共に、アーム部13と一体に形成された2つの
担持片14a,14bを含んでいる。コイル30は、こ
れらの2つの担持片14a,14bによって挟み込まれ
るようにして、接着剤40によって各担持片14a,1
4bに固着されている。コイル30は、そこを電流が流
れることで磁界を発生させる機能を有し、例えば銅線等
から形成されている。
【0029】図3および図4に示したように、スライダ
支持部11は、サスペンション部12と一体に形成され
たジンバル支持部11aと、このジンバル支持部11a
と一体をなすと共にジンバル支持部11aに対して遊動
自在に形成されたジンバル部11bとを有している。サ
スペンション部12の上面(ディスク1と対向する面と
反対側の面)には、配線パターンフィルム21が延在し
ている。この配線パターンフィルム21の一端は、サス
ペンション部12からジンバル支持部11aの上面へと
延び、さらに、ジンバル支持部11aの先端部を迂回し
て、その裏面側(ディスク1と対向する面の側)へと延
びている。配線パターンフィルム21は、さらに、ジン
バル部11bの上にまで延び、その表面を覆っている。
そして、ジンバル部11bの裏面側に、配線パターンフ
ィルム21を介して、ヘッドスライダ8が配設されてい
る。
支持部11は、サスペンション部12と一体に形成され
たジンバル支持部11aと、このジンバル支持部11a
と一体をなすと共にジンバル支持部11aに対して遊動
自在に形成されたジンバル部11bとを有している。サ
スペンション部12の上面(ディスク1と対向する面と
反対側の面)には、配線パターンフィルム21が延在し
ている。この配線パターンフィルム21の一端は、サス
ペンション部12からジンバル支持部11aの上面へと
延び、さらに、ジンバル支持部11aの先端部を迂回し
て、その裏面側(ディスク1と対向する面の側)へと延
びている。配線パターンフィルム21は、さらに、ジン
バル部11bの上にまで延び、その表面を覆っている。
そして、ジンバル部11bの裏面側に、配線パターンフ
ィルム21を介して、ヘッドスライダ8が配設されてい
る。
【0030】ヘッドスライダ8は、ほぼ直方体の形状を
有し、配線パターンフィルム21の上に接着剤等によっ
て固着されている。ヘッドスライダ8の一側端面である
素子形成面8aには、磁気ヘッド素子8bおよび信号入
出力用のボンディングパッド8c〜8fがそれぞれ形成
されている。これらのボンディングパッド8c〜8f
は、それぞれ、例えば金ボール21等によって、配線パ
ターンフィルム21の配線パターン23a〜23dと電
気的に接続されている。磁気ヘッド素子8bは、例え
ば、書き込み用の誘導型磁気変換素子もしくは読み出し
用の磁気抵抗素子(MR(Magneto Resistive)素子)、
またはその双方を含む。ヘッドスライダ8のエアベアリ
ング面8gは、ディスク1(図5)の表面と対向する面
である。
有し、配線パターンフィルム21の上に接着剤等によっ
て固着されている。ヘッドスライダ8の一側端面である
素子形成面8aには、磁気ヘッド素子8bおよび信号入
出力用のボンディングパッド8c〜8fがそれぞれ形成
されている。これらのボンディングパッド8c〜8f
は、それぞれ、例えば金ボール21等によって、配線パ
ターンフィルム21の配線パターン23a〜23dと電
気的に接続されている。磁気ヘッド素子8bは、例え
ば、書き込み用の誘導型磁気変換素子もしくは読み出し
用の磁気抵抗素子(MR(Magneto Resistive)素子)、
またはその双方を含む。ヘッドスライダ8のエアベアリ
ング面8gは、ディスク1(図5)の表面と対向する面
である。
【0031】次に、以上のような構成の磁気ヘッド装置
およびこれを備えた磁気ディスク装置の作用を説明す
る。
およびこれを備えた磁気ディスク装置の作用を説明す
る。
【0032】図5に示した磁気ディスク装置では、CS
S(Contact-Start-Stop)方式と呼ばれている方式でデ
ィスク1に対する情報の記録およびディスク1からの情
報の再生が行われる。すなわち、ディスク1が回転して
いない時には、磁気ヘッド装置2のサスペンション部1
2の押圧力により、ヘッドスライダ8とディスク1とが
接触している。ディスク1を回転させると、ヘッドスラ
イダ8とディスク1との間に空気流が生じ、それに伴い
揚力が生じる。これにより、ヘッドスライダ8はディス
ク1の表面から離れて浮上し、揚力とサスペンション部
12の押圧力との釣り合いによって微少間隔を保持す
る。ここで、磁気ヘッド装置2のコイル担持部14によ
り担持されたコイル30に電流を流すことにより、この
磁気ヘッド装置2の全体が固定軸5を中心として回動す
る。これにより、磁気ヘッド装置2の先端部のヘッドス
ライダ8は、ディスク1の面上を浮上しながら、ディス
ク1のほぼ半径方向に移動する。ディスク110上を相
対的に移動し、磁気ディスク110に対する情報の記録
・再生を行う。
S(Contact-Start-Stop)方式と呼ばれている方式でデ
ィスク1に対する情報の記録およびディスク1からの情
報の再生が行われる。すなわち、ディスク1が回転して
いない時には、磁気ヘッド装置2のサスペンション部1
2の押圧力により、ヘッドスライダ8とディスク1とが
接触している。ディスク1を回転させると、ヘッドスラ
イダ8とディスク1との間に空気流が生じ、それに伴い
揚力が生じる。これにより、ヘッドスライダ8はディス
ク1の表面から離れて浮上し、揚力とサスペンション部
12の押圧力との釣り合いによって微少間隔を保持す
る。ここで、磁気ヘッド装置2のコイル担持部14によ
り担持されたコイル30に電流を流すことにより、この
磁気ヘッド装置2の全体が固定軸5を中心として回動す
る。これにより、磁気ヘッド装置2の先端部のヘッドス
ライダ8は、ディスク1の面上を浮上しながら、ディス
ク1のほぼ半径方向に移動する。ディスク110上を相
対的に移動し、磁気ディスク110に対する情報の記録
・再生を行う。
【0033】以上のように、本実施の形態によれば、ヘ
ッドスライダ支持体の構成要素であるスライダ支持部1
1、サスペンション部12、アーム部13およびコイル
担持部14が、接合領域を含まない連続構造体の各一部
をなすようにしたので、部品点数が減少し、設計、製造
および部品管理の各々における効率向上が可能となる。
ッドスライダ支持体の構成要素であるスライダ支持部1
1、サスペンション部12、アーム部13およびコイル
担持部14が、接合領域を含まない連続構造体の各一部
をなすようにしたので、部品点数が減少し、設計、製造
および部品管理の各々における効率向上が可能となる。
【0034】また、本実施の形態によれば、1つ1つの
ヘッド装置が、ヘッドスライダ8と、このヘッドスライ
ダ8を支持するための部分と、ヘッドスライダ8を移動
させるための部分とを備えるようにしたので、以下に述
べるように、磁気ディスク装置を製作する場合の自由度
が増大し、多品種少量生産が低コストで実現可能とな
る。
ヘッド装置が、ヘッドスライダ8と、このヘッドスライ
ダ8を支持するための部分と、ヘッドスライダ8を移動
させるための部分とを備えるようにしたので、以下に述
べるように、磁気ディスク装置を製作する場合の自由度
が増大し、多品種少量生産が低コストで実現可能とな
る。
【0035】また、本実施の形態によれば、個々の磁気
ヘッド装置2ごとにICチップ22を搭載して、ヘッド
スライダ8とICチップ22との距離ができるだけ短く
なるようにしたので、データ転送速度の高速化や、書き
込み電流の立ち上がり時間の短縮化が可能である。ま
た、書き込みの周波数がより高周波帯域となった場合で
も、NLTS(Non-Linear Transition Shift) の劣化が
少なく、信頼性の高い磁気記録が可能となる。なお、N
LTSとは、ディスク上の理想的な磁気記録位置と実際
の磁気記録位置とのずれ量を百分率により表したもので
ある。
ヘッド装置2ごとにICチップ22を搭載して、ヘッド
スライダ8とICチップ22との距離ができるだけ短く
なるようにしたので、データ転送速度の高速化や、書き
込み電流の立ち上がり時間の短縮化が可能である。ま
た、書き込みの周波数がより高周波帯域となった場合で
も、NLTS(Non-Linear Transition Shift) の劣化が
少なく、信頼性の高い磁気記録が可能となる。なお、N
LTSとは、ディスク上の理想的な磁気記録位置と実際
の磁気記録位置とのずれ量を百分率により表したもので
ある。
【0036】(本実施の形態に係るヘッド装置の磁気デ
ィスク装置への適用例)次に、図6〜図10を参照し
て、本実施の形態のヘッド装置を用いて磁気ディスク装
置を製作する場合のいくつかの構成例について説明す
る。ここで、図6〜図10はいずれも、ベアリング6を
介して固定軸5に磁気ヘッド装置2を取り付けた状態を
表す断面図である。なお、これらの図では、便宜上、磁
気ヘッド装置2の全長を図1等に比べて短縮して描き、
細部は省略している。
ィスク装置への適用例)次に、図6〜図10を参照し
て、本実施の形態のヘッド装置を用いて磁気ディスク装
置を製作する場合のいくつかの構成例について説明す
る。ここで、図6〜図10はいずれも、ベアリング6を
介して固定軸5に磁気ヘッド装置2を取り付けた状態を
表す断面図である。なお、これらの図では、便宜上、磁
気ヘッド装置2の全長を図1等に比べて短縮して描き、
細部は省略している。
【0037】図6は、1対の磁気ヘッド装置2A,2B
を、両面が記録可能面であるディスク1を両面から挟み
込むようにして配置すると共に、これらの磁気ヘッド装
置2A,2Bの各々を、スラスト長の短いベアリング6
aを介して、それぞれ独立して固定軸5に取り付けるよ
うにしたものである。他の1対の磁気ヘッド装置2C,
2Dについても同様である。ここで、磁気ヘッド装置2
A〜2Dは、いずれも、図1〜図4に示した磁気ヘッド
装置2と同一の構造を有するものである。
を、両面が記録可能面であるディスク1を両面から挟み
込むようにして配置すると共に、これらの磁気ヘッド装
置2A,2Bの各々を、スラスト長の短いベアリング6
aを介して、それぞれ独立して固定軸5に取り付けるよ
うにしたものである。他の1対の磁気ヘッド装置2C,
2Dについても同様である。ここで、磁気ヘッド装置2
A〜2Dは、いずれも、図1〜図4に示した磁気ヘッド
装置2と同一の構造を有するものである。
【0038】この例では、磁気ヘッド装置2A〜2D
は、各々、他の磁気ヘッド装置とは独立して(ばらばら
に)、固定軸5を中心として回動可能である。このた
め、これらの磁気ヘッド装置のコイル30への電流供給
制御を個々に行うことで、各ヘッドスライダ8をそれぞ
れ独自に移動させることができる。したがって、すべて
の磁気ヘッド装置2が一体に回動することによってすべ
てのヘッドスライダ8が同じ動きをせざるを得ない上記
実施の形態(図5)の場合と比べると、各ヘッドスライ
ダ8の無駄な動きがなくなり、ディスク1に対するデー
タの記録および再生動作を効率的に行うことも可能とな
る。また、複数のディスク面のうちの、実際にアクセス
の対象となった面についての磁気ヘッド装置のみを回動
させればよいので、無駄な電力消費を抑制することがで
きる。
は、各々、他の磁気ヘッド装置とは独立して(ばらばら
に)、固定軸5を中心として回動可能である。このた
め、これらの磁気ヘッド装置のコイル30への電流供給
制御を個々に行うことで、各ヘッドスライダ8をそれぞ
れ独自に移動させることができる。したがって、すべて
の磁気ヘッド装置2が一体に回動することによってすべ
てのヘッドスライダ8が同じ動きをせざるを得ない上記
実施の形態(図5)の場合と比べると、各ヘッドスライ
ダ8の無駄な動きがなくなり、ディスク1に対するデー
タの記録および再生動作を効率的に行うことも可能とな
る。また、複数のディスク面のうちの、実際にアクセス
の対象となった面についての磁気ヘッド装置のみを回動
させればよいので、無駄な電力消費を抑制することがで
きる。
【0039】図7は、磁気ヘッド装置2A,2B′から
なる1対の磁気ヘッド装置P1を、両面が記録可能面で
あるディスク1を両面から挟み込むように配置すると共
に、磁気ヘッド装置2A,2B′を、それぞれ、スラス
ト長のやや長い共通のベアリング6bを介して固定軸5
に取り付けるようにしたものである。なお、磁気ヘッド
装置2C,2D′からなる1対の磁気ヘッド装置P2に
ついても同様である。ここで、磁気ヘッド装置2A,2
Cは、図1〜図4に示した磁気ヘッド装置2と同一の構
造を有するものであり、磁気ヘッド装置2B′,2D′
は、磁気ヘッド装置2A,2Cからそれぞれコイル30
を除いたものである。
なる1対の磁気ヘッド装置P1を、両面が記録可能面で
あるディスク1を両面から挟み込むように配置すると共
に、磁気ヘッド装置2A,2B′を、それぞれ、スラス
ト長のやや長い共通のベアリング6bを介して固定軸5
に取り付けるようにしたものである。なお、磁気ヘッド
装置2C,2D′からなる1対の磁気ヘッド装置P2に
ついても同様である。ここで、磁気ヘッド装置2A,2
Cは、図1〜図4に示した磁気ヘッド装置2と同一の構
造を有するものであり、磁気ヘッド装置2B′,2D′
は、磁気ヘッド装置2A,2Cからそれぞれコイル30
を除いたものである。
【0040】この例では、1対の磁気ヘッド装置P1が
一体となって、かつ、他の1対の磁気ヘッド装置P2と
独立して、固定軸5を中心として回動可能である。すな
わち、各ディスク1に対応した磁気ヘッド装置の対を単
位として、互いに独立した動きが可能となる。また、図
示のように、コイル30は、各磁気ヘッド装置対のうち
のいずれか一方の磁気ヘッド装置にのみ取り付ければ足
り、使用する部品点数を減らすことができる。
一体となって、かつ、他の1対の磁気ヘッド装置P2と
独立して、固定軸5を中心として回動可能である。すな
わち、各ディスク1に対応した磁気ヘッド装置の対を単
位として、互いに独立した動きが可能となる。また、図
示のように、コイル30は、各磁気ヘッド装置対のうち
のいずれか一方の磁気ヘッド装置にのみ取り付ければ足
り、使用する部品点数を減らすことができる。
【0041】図8は、1対の磁気ヘッド装置2A′,2
B′および1対の磁気ヘッド装置2C′,2D′を、両
面が記録可能面であるディスク1をそれぞれ両面から挟
み込むように配置すると共に、すべての1対の磁気ヘッ
ド装置2A′〜2D′を、スラスト長の長い共通のベア
リング6cを介して固定軸5に取り付けるようにしたも
のである。ここで、磁気ヘッド装置2A′〜2D′は、
いずれも、図1〜図4に示した磁気ヘッド装置2からそ
れぞれコイル30を除いたものである。
B′および1対の磁気ヘッド装置2C′,2D′を、両
面が記録可能面であるディスク1をそれぞれ両面から挟
み込むように配置すると共に、すべての1対の磁気ヘッ
ド装置2A′〜2D′を、スラスト長の長い共通のベア
リング6cを介して固定軸5に取り付けるようにしたも
のである。ここで、磁気ヘッド装置2A′〜2D′は、
いずれも、図1〜図4に示した磁気ヘッド装置2からそ
れぞれコイル30を除いたものである。
【0042】この例では、すべての磁気ヘッド装置2
A′〜2D′が一体となって、固定軸5を中心として回
動する。したがって、従来の、複数のヘッドスライダ8
を備えた一体型の磁気ヘッド装置の場合と同様の動きを
させることができる。この例では、基本的に、いずれか
1つの磁気ヘッド装置2にのみコイル30を取り付けれ
ば足りる。但し、十分な駆動能力を担保するために、例
えば図8に示したように、2つの磁気ヘッド装置2のコ
イル担持部14に差し渡すようにして1つの幅広のコイ
ル30を取り付けるようにしてもよい。
A′〜2D′が一体となって、固定軸5を中心として回
動する。したがって、従来の、複数のヘッドスライダ8
を備えた一体型の磁気ヘッド装置の場合と同様の動きを
させることができる。この例では、基本的に、いずれか
1つの磁気ヘッド装置2にのみコイル30を取り付けれ
ば足りる。但し、十分な駆動能力を担保するために、例
えば図8に示したように、2つの磁気ヘッド装置2のコ
イル担持部14に差し渡すようにして1つの幅広のコイ
ル30を取り付けるようにしてもよい。
【0043】以上の図6〜図8は、いずれも両面ディス
クを前提としたものであるが、本実施の形態の磁気ヘッ
ド装置2は、例えば図9に示したように、両面ディスク
と片面ディスクとが混在した磁気ディスク装置にも柔軟
に適用可能である。この図に示した例では、両面記録可
能なディスク1には1対の磁気ヘッド装置2A,2Bを
対応させて配置し、片面のみ記録可能なディスク1′に
ついては、1つの磁気ヘッド装置2Cのみを配置してい
る。なお、この図の例では、磁気ヘッド装置2A〜2C
を短いスラスト長のベアリング6によって各々個別に固
定軸5に取り付けて、各磁気ヘッド装置が各々独立して
回動するようになっている。但し、上記の図7または図
8に示したように、2またはそれ以上の磁気ヘッド装置
2をスラスト長の長いベアリングによって一体化して、
固定軸5に取り付けるようにしてもよい。
クを前提としたものであるが、本実施の形態の磁気ヘッ
ド装置2は、例えば図9に示したように、両面ディスク
と片面ディスクとが混在した磁気ディスク装置にも柔軟
に適用可能である。この図に示した例では、両面記録可
能なディスク1には1対の磁気ヘッド装置2A,2Bを
対応させて配置し、片面のみ記録可能なディスク1′に
ついては、1つの磁気ヘッド装置2Cのみを配置してい
る。なお、この図の例では、磁気ヘッド装置2A〜2C
を短いスラスト長のベアリング6によって各々個別に固
定軸5に取り付けて、各磁気ヘッド装置が各々独立して
回動するようになっている。但し、上記の図7または図
8に示したように、2またはそれ以上の磁気ヘッド装置
2をスラスト長の長いベアリングによって一体化して、
固定軸5に取り付けるようにしてもよい。
【0044】また、図10に示したように、片面のみ記
録可能なディスク1′のみを用いた磁気ディスク装置に
あっては、ディスク1′の1つの記録面に対応させて1
つの磁気ヘッド装置2A(または2B)を配置すればよ
い。この場合も、図示のように各磁気ヘッド装置が互い
に独立して回動できるようにしてもよいし、あるいは、
スラスト長の長いベアリングを用いることで、すべての
磁気ヘッド装置が一体となって回動するようにしてもよ
い。
録可能なディスク1′のみを用いた磁気ディスク装置に
あっては、ディスク1′の1つの記録面に対応させて1
つの磁気ヘッド装置2A(または2B)を配置すればよ
い。この場合も、図示のように各磁気ヘッド装置が互い
に独立して回動できるようにしてもよいし、あるいは、
スラスト長の長いベアリングを用いることで、すべての
磁気ヘッド装置が一体となって回動するようにしてもよ
い。
【0045】なお、上記した図6〜図10の例では、い
ずれも、ディスク枚数が2枚である場合について説明し
たが、それ以上のディスクを内蔵する場合にも適用可能
であるのはもちろんであり、ディスク枚数(正確には記
録可能な面の数)に応じて磁気ヘッド装置2を増加させ
ればよい。
ずれも、ディスク枚数が2枚である場合について説明し
たが、それ以上のディスクを内蔵する場合にも適用可能
であるのはもちろんであり、ディスク枚数(正確には記
録可能な面の数)に応じて磁気ヘッド装置2を増加させ
ればよい。
【0046】あるいは逆に、本実施の形態の磁気ヘッド
装置2は、例えば図11に示したように、唯一つのディ
スク1′と唯一つの磁気ヘッド装置2とを有する最も単
純な構成の磁気ディスク装置にも適用可能である。この
ような構成の磁気ディスク装置は、特に小容量の記憶容
量で足りるような用途に好適であり、低コストの磁気デ
ィスク装置が実現可能である。
装置2は、例えば図11に示したように、唯一つのディ
スク1′と唯一つの磁気ヘッド装置2とを有する最も単
純な構成の磁気ディスク装置にも適用可能である。この
ような構成の磁気ディスク装置は、特に小容量の記憶容
量で足りるような用途に好適であり、低コストの磁気デ
ィスク装置が実現可能である。
【0047】以上のように、本実施の形態に係るヘッド
装置によれば、磁気ヘッド装置2に内蔵するディスクの
種類や枚数がどのように変化しても、単一種類の磁気ヘ
ッド装置2のみで対応することができる。このため、コ
ストアップを伴わずに、多品種少量生産に十分対応する
ことが可能である。
装置によれば、磁気ヘッド装置2に内蔵するディスクの
種類や枚数がどのように変化しても、単一種類の磁気ヘ
ッド装置2のみで対応することができる。このため、コ
ストアップを伴わずに、多品種少量生産に十分対応する
ことが可能である。
【0048】(本実施の形態のヘッド装置の製造方法)
次に、図11〜図14を参照して、本実施の形態に係る
ヘッド装置(図1)の製造方法について説明する。な
お、本実施の形態に係るヘッドスライダ支持体の製造方
法は、本実施の形態に係るヘッド装置の製造方法によっ
て具現化されるので、以下併せて説明する。
次に、図11〜図14を参照して、本実施の形態に係る
ヘッド装置(図1)の製造方法について説明する。な
お、本実施の形態に係るヘッドスライダ支持体の製造方
法は、本実施の形態に係るヘッド装置の製造方法によっ
て具現化されるので、以下併せて説明する。
【0049】本実施の形態の磁気ヘッド装置の製造方法
では、まず、フォトリソグラフィ技術を用いた薄膜工程
により、アルティック(Al2 O3 ・TiC)からなる
基体上に、書き込み用(記録用)の誘導型磁気変換素子
および読み出し用(再生用)の磁気抵抗素子を含む磁気
ヘッド素子14を形成したのち、エアベアリング面8g
の研磨工程や機械加工による素子分割工程等を経て、図
3および図4に示したようなヘッドスライダ8を形成す
る。なお、エアベアリング面8gには、DLC(ダイヤ
モンド・ライク・カーボン)等の保護膜を形成してもよ
い。
では、まず、フォトリソグラフィ技術を用いた薄膜工程
により、アルティック(Al2 O3 ・TiC)からなる
基体上に、書き込み用(記録用)の誘導型磁気変換素子
および読み出し用(再生用)の磁気抵抗素子を含む磁気
ヘッド素子14を形成したのち、エアベアリング面8g
の研磨工程や機械加工による素子分割工程等を経て、図
3および図4に示したようなヘッドスライダ8を形成す
る。なお、エアベアリング面8gには、DLC(ダイヤ
モンド・ライク・カーボン)等の保護膜を形成してもよ
い。
【0050】図12および図13に示したように、スラ
イダ支持部11、サスペンション部12、アーム部13
およびコイル担持部14を含む連続構造体としてのヘッ
ドスライダ支持体10を形成する。ここで、図12は、
ヘッドスライダ支持体10をディスク対向面と反対側か
ら俯瞰した状態を表し、図13は図12におけるXIII−
XIII線矢視方向の断面構成を表す。
イダ支持部11、サスペンション部12、アーム部13
およびコイル担持部14を含む連続構造体としてのヘッ
ドスライダ支持体10を形成する。ここで、図12は、
ヘッドスライダ支持体10をディスク対向面と反対側か
ら俯瞰した状態を表し、図13は図12におけるXIII−
XIII線矢視方向の断面構成を表す。
【0051】このヘッドスライダ支持体10の形成は、
次のようにして行う。まず、一様な厚さの板状材料に対
して所定のプレス型を用いた型押し加工を行い、スライ
ダ支持部11、サスペンション部12、アーム部13お
よびコイル担持部14の各部分となる領域がそれぞれ所
定の厚さとなるようにする。板状材料としては、例えば
アルミニウムやステンレス鋼等を用いる。この場合、ア
ーム部13およびコイル担持部14の厚さは、それらが
十分な剛性を発揮し得る程度の厚さとし、また、サスペ
ンション部12およびスライダ支持部11の厚さは、そ
れらが必要な弾性を発揮し得る程度とする。次に、ヘッ
ドスライダ支持体10の外形(輪郭)に対応した形状を
有する抜き型を用いて抜き加工を行い、ヘッドスライダ
支持体10を得る。この抜き加工工程において同時に、
アーム部13の開口部13a,13bとサスペンション
部12の開口部12aとを形成すると共に、ジンバル支
持部11aにおけるジンバル支持部11aとジンバル部
11bとの間に分離用開口部を形成して、ジンバル部1
1bがジンバル支持部11aにより遊動自在に保持され
るようにする。次に、このヘッドスライダ支持体10に
対して、サスペンション部12がアーム部13に対して
所定の角度をなし、かつ、ジンバル部11bがジンバル
支持部11aに対して所定の角度をなすように、プレス
による型押し加工を行う。
次のようにして行う。まず、一様な厚さの板状材料に対
して所定のプレス型を用いた型押し加工を行い、スライ
ダ支持部11、サスペンション部12、アーム部13お
よびコイル担持部14の各部分となる領域がそれぞれ所
定の厚さとなるようにする。板状材料としては、例えば
アルミニウムやステンレス鋼等を用いる。この場合、ア
ーム部13およびコイル担持部14の厚さは、それらが
十分な剛性を発揮し得る程度の厚さとし、また、サスペ
ンション部12およびスライダ支持部11の厚さは、そ
れらが必要な弾性を発揮し得る程度とする。次に、ヘッ
ドスライダ支持体10の外形(輪郭)に対応した形状を
有する抜き型を用いて抜き加工を行い、ヘッドスライダ
支持体10を得る。この抜き加工工程において同時に、
アーム部13の開口部13a,13bとサスペンション
部12の開口部12aとを形成すると共に、ジンバル支
持部11aにおけるジンバル支持部11aとジンバル部
11bとの間に分離用開口部を形成して、ジンバル部1
1bがジンバル支持部11aにより遊動自在に保持され
るようにする。次に、このヘッドスライダ支持体10に
対して、サスペンション部12がアーム部13に対して
所定の角度をなし、かつ、ジンバル部11bがジンバル
支持部11aに対して所定の角度をなすように、プレス
による型押し加工を行う。
【0052】次に、図14に示したように、ヘッドスラ
イダ支持体10のアーム部13に形成された開口部13
aに、別途形成されたリング状の接続部50を嵌入した
のち、例えば、180度に近い頂角を有する円錐体治工
具51を用いて接続部50の先端50aを外側に潰し、
アーム部13に接続部50をかしめて固着する。これに
より、図15に示したように、接続部50を有するヘッ
ドスライダ支持体10が完成する。
イダ支持体10のアーム部13に形成された開口部13
aに、別途形成されたリング状の接続部50を嵌入した
のち、例えば、180度に近い頂角を有する円錐体治工
具51を用いて接続部50の先端50aを外側に潰し、
アーム部13に接続部50をかしめて固着する。これに
より、図15に示したように、接続部50を有するヘッ
ドスライダ支持体10が完成する。
【0053】次に、ヘッドスライダ支持体10のアーム
部13、サスペンション部12およびスライダ支持部1
1の表面から、スライダ支持部11のジンバル部11b
の裏面にかけての領域に、あらかじめ製作しておいた配
線ユニット20を接着剤によって貼り付ける。接着剤と
しては、例えば紫外線硬化型樹脂や熱硬化型樹脂を用い
る。このとき、配線ユニット20の配線パターンフィル
ム21が、スライダ支持部11のジンバル支持部11a
の表面からジンバル部11bの裏面にかけて迂回する部
分で折れ曲がることなく小さな曲面を描くこととなるよ
うにする。
部13、サスペンション部12およびスライダ支持部1
1の表面から、スライダ支持部11のジンバル部11b
の裏面にかけての領域に、あらかじめ製作しておいた配
線ユニット20を接着剤によって貼り付ける。接着剤と
しては、例えば紫外線硬化型樹脂や熱硬化型樹脂を用い
る。このとき、配線ユニット20の配線パターンフィル
ム21が、スライダ支持部11のジンバル支持部11a
の表面からジンバル部11bの裏面にかけて迂回する部
分で折れ曲がることなく小さな曲面を描くこととなるよ
うにする。
【0054】次に、ジンバル部11bの裏面を覆う配線
パターンフィルム21の上に、ヘッドスライダ8を位置
決めして載置し、接着剤等によって固着する。接着剤と
しては、上記と同様に、紫外線硬化型あるいは熱硬化型
の樹脂系接着剤を用いるのが好ましい。なお、接着剤は
ヘッドスライダ8側またはジンバル部11b側のいずれ
に塗布してもよいし、双方に塗布してもよい。
パターンフィルム21の上に、ヘッドスライダ8を位置
決めして載置し、接着剤等によって固着する。接着剤と
しては、上記と同様に、紫外線硬化型あるいは熱硬化型
の樹脂系接着剤を用いるのが好ましい。なお、接着剤は
ヘッドスライダ8側またはジンバル部11b側のいずれ
に塗布してもよいし、双方に塗布してもよい。
【0055】次に、ヘッドスライダ8側のボンディング
パッド8c〜8fの各々と配線パターンフィルム21の
配線パターン23a〜23dの各々との間を、それぞ
れ、金ボールを用いたボンディングにより接続する。な
お、こののち、必要に応じて、ボールボンディング部を
保護するために紫外線硬化樹脂(UV樹脂)を塗布し、
紫外線照射および加熱処理により硬化させるようにして
もよい。
パッド8c〜8fの各々と配線パターンフィルム21の
配線パターン23a〜23dの各々との間を、それぞ
れ、金ボールを用いたボンディングにより接続する。な
お、こののち、必要に応じて、ボールボンディング部を
保護するために紫外線硬化樹脂(UV樹脂)を塗布し、
紫外線照射および加熱処理により硬化させるようにして
もよい。
【0056】次に、図1に示したように、ヘッドスライ
ダ支持体10のコイル担持部14に、接着剤40を用い
てコイル30を接着する。接着剤40としては、上記と
同様に、紫外線硬化型あるいは熱硬化型の樹脂系接着剤
を用いる。こうして、図1に示したような磁気ヘッド装
置2が完成する。
ダ支持体10のコイル担持部14に、接着剤40を用い
てコイル30を接着する。接着剤40としては、上記と
同様に、紫外線硬化型あるいは熱硬化型の樹脂系接着剤
を用いる。こうして、図1に示したような磁気ヘッド装
置2が完成する。
【0057】このように、本実施の形態のヘッド装置の
製造方法によれば、板状材料を基にして、型押し加工、
抜き加工および型押し加工という一連のプレス加工工程
を行うのみで、スライダ支持部11、サスペンション部
12、アーム部13およびコイル担持部14のすべてを
一体に含む連続構造体としてのヘッドスライダ支持体1
0を形成するようにしたので、アーム部とサスペンショ
ン部とを別個に形成し、しかるのち両者を連結するよう
にした場合に比べて、製造工程を格段に簡略化できる。
製造方法によれば、板状材料を基にして、型押し加工、
抜き加工および型押し加工という一連のプレス加工工程
を行うのみで、スライダ支持部11、サスペンション部
12、アーム部13およびコイル担持部14のすべてを
一体に含む連続構造体としてのヘッドスライダ支持体1
0を形成するようにしたので、アーム部とサスペンショ
ン部とを別個に形成し、しかるのち両者を連結するよう
にした場合に比べて、製造工程を格段に簡略化できる。
【0058】なお、本実施の形態では、板状材料として
アルミニウムまたはステンレス鋼等を用いるようにした
が、その他の金属材料を用いることも可能である。さら
に、金属材料ではなく、例えばポリ・テトラ・フルオロ
・エチレン(商標名テフロン)のような耐熱性、耐衝撃
性および絶縁性に優れた有機系の合成樹脂材料を用いる
ようにしてもよい。
アルミニウムまたはステンレス鋼等を用いるようにした
が、その他の金属材料を用いることも可能である。さら
に、金属材料ではなく、例えばポリ・テトラ・フルオロ
・エチレン(商標名テフロン)のような耐熱性、耐衝撃
性および絶縁性に優れた有機系の合成樹脂材料を用いる
ようにしてもよい。
【0059】また、本実施の形態では、ヘッドスライダ
支持体10とは別個に接続部50を製作し、これをあと
からヘッドスライダ支持体10に固着させるようにした
が、、この工程は必ずしも必要なものではない。例え
ば、プレスによる型押し加工工程において同時に、ある
いはこれとは別の絞り加工工程において、開口部13a
に対して絞り加工を行って、そこでのスラスト厚さを増
加させ、ベアリング6を確実に(緩みも傾きもなく)受
け入れ得るだけの厚さを確保するようにしてもよい。
支持体10とは別個に接続部50を製作し、これをあと
からヘッドスライダ支持体10に固着させるようにした
が、、この工程は必ずしも必要なものではない。例え
ば、プレスによる型押し加工工程において同時に、ある
いはこれとは別の絞り加工工程において、開口部13a
に対して絞り加工を行って、そこでのスラスト厚さを増
加させ、ベアリング6を確実に(緩みも傾きもなく)受
け入れ得るだけの厚さを確保するようにしてもよい。
【0060】また、本実施の形態の製造方法では、一枚
の一様な厚さの板状素材からプレス加工によって連続構
造体をなすヘッドスライダ支持体10を得るようにした
が、このほか、例えば鋳型を用いた鋳造や、金型を用い
た樹脂成形によってヘッドスライダ支持体を形成するこ
とも可能である。この方法は、例えば、連続構造体とし
てのヘッドスライダ支持体10の外形に対応した形状の
内部空間を有する成形型を形成し、この成形型の内部空
間に所定の材料(溶融金属や溶融樹脂等)を充填して固
化させるようにすることで実現可能である。この方法を
とる場合には、接続部30までも一体に同時成形するこ
とが可能である。
の一様な厚さの板状素材からプレス加工によって連続構
造体をなすヘッドスライダ支持体10を得るようにした
が、このほか、例えば鋳型を用いた鋳造や、金型を用い
た樹脂成形によってヘッドスライダ支持体を形成するこ
とも可能である。この方法は、例えば、連続構造体とし
てのヘッドスライダ支持体10の外形に対応した形状の
内部空間を有する成形型を形成し、この成形型の内部空
間に所定の材料(溶融金属や溶融樹脂等)を充填して固
化させるようにすることで実現可能である。この方法を
とる場合には、接続部30までも一体に同時成形するこ
とが可能である。
【0061】[第2の実施の形態]次に、本発明の第2
の実施の形態について説明する。
の実施の形態について説明する。
【0062】図16ないし図19は、本発明の第2の実
施の形態に係るヘッド装置の構成を表すものである。な
お、本発明の第2の実施の形態に係るヘッドスライダ支
持体は、本実施の形態に係るヘッド装置によって具現化
されるので、以下併せて説明する。ここで、図16は、
磁気ヘッド装置2′をエアベアリング面と反対側から俯
瞰した状態を表し、図17は図16におけるXVI −XVI
線矢視方向の断面構成を表し、図18は図16における
XVII−XVII線矢視方向の断面構成を表す。また、図19
は、図16に示した磁気ヘッド装置2′のヘッドスライ
ダ8およびその周辺部分をエアベアリング面の側から見
た状態を表すものである。なお、これらの図で、上記の
図1〜図4で示した構成要素と同一の構成要素には同一
の符号を付し、適宜説明を省略する。
施の形態に係るヘッド装置の構成を表すものである。な
お、本発明の第2の実施の形態に係るヘッドスライダ支
持体は、本実施の形態に係るヘッド装置によって具現化
されるので、以下併せて説明する。ここで、図16は、
磁気ヘッド装置2′をエアベアリング面と反対側から俯
瞰した状態を表し、図17は図16におけるXVI −XVI
線矢視方向の断面構成を表し、図18は図16における
XVII−XVII線矢視方向の断面構成を表す。また、図19
は、図16に示した磁気ヘッド装置2′のヘッドスライ
ダ8およびその周辺部分をエアベアリング面の側から見
た状態を表すものである。なお、これらの図で、上記の
図1〜図4で示した構成要素と同一の構成要素には同一
の符号を付し、適宜説明を省略する。
【0063】本実施の形態のヘッド装置では、配線パタ
ーンフィルム21の延設経路が上記第1の実施の形態の
場合と異なっている。すなわち、本実施の形態では、図
16および図17に示したように、配線ユニット20の
うち、ICチップ22が配設された部分は、アーム部1
3の表面側に延設されているが、それよりも前方(ヘッ
ドスライダ8に近い方向)の部分は、開口部13bを通
ってアーム部13の表側から裏側へと延びている。そし
て、配線パターンフィルム21は、アーム部13の裏面
上をサスペンション部12の裏面上へと延び、さらに、
図18および図19に示したように、スライダ支持部1
1のジンバル支持部11aおよびジンバル部11b上へ
と延び、これを覆っている。ヘッドスライダ8は、この
ジンバル部11bを覆っている配線パターンフィルム2
1の上に配置されている。その他の構成は、上記第1の
実施の形態の場合と同様である。ここで、開口部13b
が本発明における「連絡穴」の一具体例に対応する。
ーンフィルム21の延設経路が上記第1の実施の形態の
場合と異なっている。すなわち、本実施の形態では、図
16および図17に示したように、配線ユニット20の
うち、ICチップ22が配設された部分は、アーム部1
3の表面側に延設されているが、それよりも前方(ヘッ
ドスライダ8に近い方向)の部分は、開口部13bを通
ってアーム部13の表側から裏側へと延びている。そし
て、配線パターンフィルム21は、アーム部13の裏面
上をサスペンション部12の裏面上へと延び、さらに、
図18および図19に示したように、スライダ支持部1
1のジンバル支持部11aおよびジンバル部11b上へ
と延び、これを覆っている。ヘッドスライダ8は、この
ジンバル部11bを覆っている配線パターンフィルム2
1の上に配置されている。その他の構成は、上記第1の
実施の形態の場合と同様である。ここで、開口部13b
が本発明における「連絡穴」の一具体例に対応する。
【0064】本実施の形態のヘッド装置によれば、配線
パターンフィルム21が無理のない状態でヘッドスライ
ダ支持体10上に延設されているので、配線パターン切
れが起こりにくく、信頼性が高い。また、製作時におけ
る配線パターンフィルム21の配設が比較的容易であ
る。
パターンフィルム21が無理のない状態でヘッドスライ
ダ支持体10上に延設されているので、配線パターン切
れが起こりにくく、信頼性が高い。また、製作時におけ
る配線パターンフィルム21の配設が比較的容易であ
る。
【0065】以上、いくつかの実施の形態を挙げて本発
明を説明したが、本発明はこれらの実施の形態に限定さ
れるものではなく種々の変形実施が可能である。例え
ば、上記各実施の形態においては、ICチップ22がヘ
ッドスライダ支持体10の表側(ディスク対向面と反対
側)にくるように配線ユニット20を配設したが、逆
に、ICチップ22がヘッドスライダ支持体10の裏面
側(ディスク対向面側)にくるように配設してもよい。
この場合には、ディスク1の回転により生ずる空気流が
ICチップ22に直接当たるので、ICチップ22の冷
却効果において優れる。
明を説明したが、本発明はこれらの実施の形態に限定さ
れるものではなく種々の変形実施が可能である。例え
ば、上記各実施の形態においては、ICチップ22がヘ
ッドスライダ支持体10の表側(ディスク対向面と反対
側)にくるように配線ユニット20を配設したが、逆
に、ICチップ22がヘッドスライダ支持体10の裏面
側(ディスク対向面側)にくるように配設してもよい。
この場合には、ディスク1の回転により生ずる空気流が
ICチップ22に直接当たるので、ICチップ22の冷
却効果において優れる。
【0066】また、本実施の形態では、ヘッド装置が磁
気ヘッド装置である場合について説明したが、このほか
の記録再生装置、例えば光磁気ヘッド装置や光ヘッド装
置にも適用可能である。
気ヘッド装置である場合について説明したが、このほか
の記録再生装置、例えば光磁気ヘッド装置や光ヘッド装
置にも適用可能である。
【0067】また、本実施の形態では、コンタクト・ス
タート・ストップ方式の磁気ディスク装置を例示して説
明したが、本発明は、その他の方式の磁気ディスク装
置、例えばロードアンロード方式の磁気ディスク装置に
も適用可能である。なお、このロードアンロード方式と
は、ディスクが回転しているときは、ヘッドスライダが
ディスク上を浮上して滑空する一方、ディスクの回転が
停止しているときは、ディスク領域外のランプ部にヘッ
ドスライダを待避させておくようにしたものである。
タート・ストップ方式の磁気ディスク装置を例示して説
明したが、本発明は、その他の方式の磁気ディスク装
置、例えばロードアンロード方式の磁気ディスク装置に
も適用可能である。なお、このロードアンロード方式と
は、ディスクが回転しているときは、ヘッドスライダが
ディスク上を浮上して滑空する一方、ディスクの回転が
停止しているときは、ディスク領域外のランプ部にヘッ
ドスライダを待避させておくようにしたものである。
【0068】
【発明の効果】以上説明したように、請求項1ないし請
求項12のいずれか1項に記載のヘッドスライダ支持
体、請求項13もしくは請求項14に記載のヘッド装
置、請求項15ないし請求項24のいずれか1項に記載
のヘッドスライダ支持体の製造方法、請求項25もしく
は請求項26に記載のヘッド装置の製造方法、または請
求項27もしくは請求項28の情報記録再生装置によれ
ば、唯一つのスライダ支持部に対して唯一つのコイル支
持部を対応させて設け、しかも、スライダ支持部および
コイル支持部が、接合領域を含まない連続構造体の一部
をなすようにしたので、各ヘッドスライダ支持体が個別
に駆動用コイルを担持することが可能であり、ヘッドス
ライダ支持体単位での取り扱いや駆動が可能となる。し
たがって、部品点数を減らして製造コストを低減し得る
と共に、多品種少量生産に柔軟に対応することができる
という効果を奏する。
求項12のいずれか1項に記載のヘッドスライダ支持
体、請求項13もしくは請求項14に記載のヘッド装
置、請求項15ないし請求項24のいずれか1項に記載
のヘッドスライダ支持体の製造方法、請求項25もしく
は請求項26に記載のヘッド装置の製造方法、または請
求項27もしくは請求項28の情報記録再生装置によれ
ば、唯一つのスライダ支持部に対して唯一つのコイル支
持部を対応させて設け、しかも、スライダ支持部および
コイル支持部が、接合領域を含まない連続構造体の一部
をなすようにしたので、各ヘッドスライダ支持体が個別
に駆動用コイルを担持することが可能であり、ヘッドス
ライダ支持体単位での取り扱いや駆動が可能となる。し
たがって、部品点数を減らして製造コストを低減し得る
と共に、多品種少量生産に柔軟に対応することができる
という効果を奏する。
【0069】特に、請求項2ないし請求項6のいずれか
1項に記載のヘッドスライダ支持体によれば、スライダ
支持部を保持する唯一つの懸架部と、この懸架部を保持
する唯一つのアーム部とを備えるようにすると共に、こ
れらの懸架部およびアーム部もまた連続構造体の一部を
なすようにしたので、部品点数をさらに減らすことが可
能になるという効果を奏する。
1項に記載のヘッドスライダ支持体によれば、スライダ
支持部を保持する唯一つの懸架部と、この懸架部を保持
する唯一つのアーム部とを備えるようにすると共に、こ
れらの懸架部およびアーム部もまた連続構造体の一部を
なすようにしたので、部品点数をさらに減らすことが可
能になるという効果を奏する。
【0070】中でも、請求項6に記載のヘッドスライダ
支持体によれば、固定軸と接続するための接続部もまた
連続構造体の一部をなすようにしたので、さらなる部品
点数の低減が可能になるという効果を奏する。
支持体によれば、固定軸と接続するための接続部もまた
連続構造体の一部をなすようにしたので、さらなる部品
点数の低減が可能になるという効果を奏する。
【0071】請求項15ないし請求項24のいずれか1
項に記載のヘッドスライダ支持体の製造方法、またはこ
れらを引用する請求項に記載のヘッド装置の製造方法に
よれば、スライダ支持部を形成する工程とコイル担持部
を形成する工程とをほぼ並行して行って、スライダ支持
部およびコイル担持部が、接合領域を含まない所定形状
の連続構造体の一部をなすようにしたので、製造工程が
簡略化されるという効果を奏する。
項に記載のヘッドスライダ支持体の製造方法、またはこ
れらを引用する請求項に記載のヘッド装置の製造方法に
よれば、スライダ支持部を形成する工程とコイル担持部
を形成する工程とをほぼ並行して行って、スライダ支持
部およびコイル担持部が、接合領域を含まない所定形状
の連続構造体の一部をなすようにしたので、製造工程が
簡略化されるという効果を奏する。
【0072】特に、請求項16に記載のヘッドスライダ
支持体の製造方法、またはこれを引用する請求項に記載
のヘッド装置の製造方法によれば、さらに、懸架部およ
びアーム部の形成を、スライダ支持部およびコイル担持
部の形成とほぼ並行して行うようにして、懸架部および
アーム部もまた連続構造体の一部をなすようにしたの
で、アーム部と懸架部とを別個に形成してから両者を連
結する場合に比べて、製造工程を格段に簡略化できると
いう効果を奏する。
支持体の製造方法、またはこれを引用する請求項に記載
のヘッド装置の製造方法によれば、さらに、懸架部およ
びアーム部の形成を、スライダ支持部およびコイル担持
部の形成とほぼ並行して行うようにして、懸架部および
アーム部もまた連続構造体の一部をなすようにしたの
で、アーム部と懸架部とを別個に形成してから両者を連
結する場合に比べて、製造工程を格段に簡略化できると
いう効果を奏する。
【0073】また、請求項27または請求項28に記載
の情報記載再生装置によれば、情報を記録可能な記録媒
体と、請求項13または請求項14に記載のヘッド装置
と、このヘッド装置に搭載されたヘッドスライダが記録
媒体に対して相対的に移動することとなるようにヘッド
装置を駆動する駆動機構とを備えるようにしたので、装
置仕様の細かな変更や、カスタムメイド的な装置生産が
容易になるという効果を奏する。
の情報記載再生装置によれば、情報を記録可能な記録媒
体と、請求項13または請求項14に記載のヘッド装置
と、このヘッド装置に搭載されたヘッドスライダが記録
媒体に対して相対的に移動することとなるようにヘッド
装置を駆動する駆動機構とを備えるようにしたので、装
置仕様の細かな変更や、カスタムメイド的な装置生産が
容易になるという効果を奏する。
【0074】特に、請求項28に記載の情報記載再生装
置によれば、請求項13または請求項14に記載のヘッ
ド装置を複数備えると共に、これらのヘッド装置をそれ
ぞれ独立に駆動することにより、各ヘッド装置に搭載さ
れているヘッドスライダが互いに独立して移動できるよ
うにしたので、情報の記録再生動作時における各ヘッド
スライダの無駄な動きがなくなり、記録媒体に対するヘ
ッド装置のアクセス動作効率を最適化することも可能と
なる。しかも、この場合、複数のヘッド装置ののうち、
アクセス対象となった記録媒体領域を担当するヘッド装
置のみを駆動させればよいので、無駄な電力消費を抑制
することができるという効果を奏する。
置によれば、請求項13または請求項14に記載のヘッ
ド装置を複数備えると共に、これらのヘッド装置をそれ
ぞれ独立に駆動することにより、各ヘッド装置に搭載さ
れているヘッドスライダが互いに独立して移動できるよ
うにしたので、情報の記録再生動作時における各ヘッド
スライダの無駄な動きがなくなり、記録媒体に対するヘ
ッド装置のアクセス動作効率を最適化することも可能と
なる。しかも、この場合、複数のヘッド装置ののうち、
アクセス対象となった記録媒体領域を担当するヘッド装
置のみを駆動させればよいので、無駄な電力消費を抑制
することができるという効果を奏する。
【図1】本発明の一実施の形態に係る磁気ヘッド装置の
外観構成を表す斜視図である。
外観構成を表す斜視図である。
【図2】図1のII−II線矢視方向における断面構成を表
す図である。
す図である。
【図3】図1のIII −III 線矢視方向における断面構成
を表す図である。
を表す図である。
【図4】図1に示した磁気ヘッド装置のヘッドスライダ
およびその周辺部分の外観構成を表す斜視図である。
およびその周辺部分の外観構成を表す斜視図である。
【図5】本発明の一実施の形態に係るヘッド装置が適用
される磁気ディスク装置の外観構成を表す斜視図であ
る。
される磁気ディスク装置の外観構成を表す斜視図であ
る。
【図6】本実施の形態のヘッド装置を用いて磁気ディス
ク装置を製作する場合の一構成例を表す断面図である。
ク装置を製作する場合の一構成例を表す断面図である。
【図7】本実施の形態のヘッド装置を用いて磁気ディス
ク装置を製作する場合の他の構成例を表す断面図であ
る。
ク装置を製作する場合の他の構成例を表す断面図であ
る。
【図8】本実施の形態のヘッド装置を用いて磁気ディス
ク装置を製作する場合のさらに他の構成例を表す断面図
である。
ク装置を製作する場合のさらに他の構成例を表す断面図
である。
【図9】本実施の形態のヘッド装置を用いて磁気ディス
ク装置を製作する場合のさらに他の構成例を表す断面図
である。
ク装置を製作する場合のさらに他の構成例を表す断面図
である。
【図10】本実施の形態のヘッド装置を用いて磁気ディ
スク装置を製作する場合のさらに他の構成例を表す断面
図である。
スク装置を製作する場合のさらに他の構成例を表す断面
図である。
【図11】本実施の形態のヘッド装置を用いて磁気ディ
スク装置を製作する場合のさらに他の構成例を表す断面
図である。
スク装置を製作する場合のさらに他の構成例を表す断面
図である。
【図12】本実施の形態のヘッド装置の製造方法によっ
て製作されたヘッドスライダ支持体の外観構成を表す斜
視図である。
て製作されたヘッドスライダ支持体の外観構成を表す斜
視図である。
【図13】図12の XIII −XIII線矢視方向における断
面構成を表す断面図である。
面構成を表す断面図である。
【図14】本実施の形態のヘッド装置の製造方法の一工
程を表す断面図である。
程を表す断面図である。
【図15】本実施の形態のヘッド装置の製造方法の一工
程を表す斜視図である。
程を表す斜視図である。
【図16】本発明の他の実施の形態に係る磁気ヘッド装
置の外観構成を表す斜視図である。
置の外観構成を表す斜視図である。
【図17】図16のXVII−XVII線矢視方向における断面
構成を表す図である。
構成を表す図である。
【図18】図16の XVIII−XVIII 線矢視方向における
断面構成を表す図である。
断面構成を表す図である。
【図19】図16に示した磁気ヘッド装置のヘッドスラ
イダおよびその周辺部分の外観構成を表す斜視図であ
る。
イダおよびその周辺部分の外観構成を表す斜視図であ
る。
1,1′…磁気ディスク、2,2′…磁気ヘッド装置、
5…固定軸、6,6a,6b,6c…ベアリング、7…
駆動部、8…ヘッドスライダ、8b…磁気ヘッド素子、
8g…エアベアリング面、10…ヘッドスライダ支持
体、11…スライダ支持部、11a…ジンバル支持部、
11b…ジンバル部、12…サスペンション部、13…
アーム部、14…コイル担持部、20…配線ユニット、
21…配線パターンフィルム、22…ICチップ、23
a〜23d…配線パターン、30…コイル、40…接着
剤、50…接続部。
5…固定軸、6,6a,6b,6c…ベアリング、7…
駆動部、8…ヘッドスライダ、8b…磁気ヘッド素子、
8g…エアベアリング面、10…ヘッドスライダ支持
体、11…スライダ支持部、11a…ジンバル支持部、
11b…ジンバル部、12…サスペンション部、13…
アーム部、14…コイル担持部、20…配線ユニット、
21…配線パターンフィルム、22…ICチップ、23
a〜23d…配線パターン、30…コイル、40…接着
剤、50…接続部。
Claims (28)
- 【請求項1】 記録媒体に対する情報書込みまたは記
録媒体からの情報読出しの少なくとも一方を行うことが
可能なヘッド素子を含むヘッドスライダと、このヘッド
スライダを前記記録媒体に対して相対的に移動させる駆
動機構の一部をなす駆動用コイルとを搭載可能なヘッド
スライダ支持体であって、 前記ヘッドスライダを遊動自在に支持可能な唯一つのス
ライダ支持部と、 このスライダ支持部に対応して唯一つ設けられると共
に、それ単独で前記駆動用コイルを担持することが可能
なコイル担持部とを備え、 前記スライダ支持部およびコイル支持部が、接合領域を
含まない連続構造体の一部をなしていることを特徴とす
るヘッドスライダ支持体。 - 【請求項2】 さらに、前記スライダ支持部を保持す
る唯一つの懸架部と、この懸架部を保持する唯一つのア
ーム部とを備え、 前記懸架部およびアーム部が前記連続構造体の一部をな
していることを特徴とする請求項1項に記載のヘッドス
ライダ支持体。 - 【請求項3】 前記懸架部は弾性を有するものであ
り、前記アーム部は剛性を有するものであることを特徴
とする請求項2記載のヘッドスライダ支持体。 - 【請求項4】 前記駆動機構は、外部に設けられた所
定の固定軸を中心として前記ヘッドスライダを回転移動
可能なものであることを特徴とする請求項1ないし請求
項3のいずれか1項に記載のヘッドスライダ支持体。 - 【請求項5】 さらに、 前記固定軸が挿通されるための穴部を含む接続部を備え
ていることを特徴とする請求項4に記載のヘッドスライ
ダ支持体。 - 【請求項6】 前記接続部が前記連続構造体の一部を
なしていることを特徴とする請求項5に記載のヘッドス
ライダ支持体。 - 【請求項7】 さらに、 前記ヘッドスライダとの電気的な接続を可能とする配線
パターンを備えていることを特徴とする請求項1ないし
請求項6のいずれか1項に記載のヘッドスライダ支持
体。 - 【請求項8】 前記連続構造体は、第1の表面と第2
の表面とを有し、 前記配線パターンは、前記連続構造体の前記第1の表面
から第2の表面にかけて配設されていることを特徴とす
る請求項7に記載のヘッドスライダ支持体。 - 【請求項9】 前記配線パターンは、前記連続構造体
の前記第1の表面からその一端部を迂回して前記第2の
表面へと延びて前記スライダ支持部に達し、このスライ
ダ支持部の、前記ヘッドスライダが載置されることとな
る面を覆っていることを特徴とする請求項8に記載のヘ
ッドスライダ支持体。 - 【請求項10】 前記配線パターンは、前記連続構造体
の第1の表面からその一部に設けられた連絡穴を経由し
て第2の表面へと延びて前記スライダ支持部に達し、こ
のスライダ支持部の、前記ヘッドスライダが載置される
こととなる面を覆っていることを特徴とする請求項8に
記載のヘッドスライダ支持体。 - 【請求項11】 さらに、前記ヘッドスライダの動作に
関わる回路が集積された集積回路チップを備えているこ
とを特徴とする請求項1ないし請求項10のいずれか1
項に記載のヘッドスライダ支持体。 - 【請求項12】 前記集積回路チップは、前記連続構造
体の、前記記録媒体と対向することとなる面側に配設さ
れていることを特徴とする請求項11項に記載のヘッド
スライダ支持体。 - 【請求項13】 請求項1ないし請求項12のいずれ
か1項に記載のヘッドスライダ支持体と、 このヘッドスライダ支持体の前記スライダ支持部によっ
て遊動自在に支持されたヘッドスライダとを備えたこと
を特徴とするヘッド装置。 - 【請求項14】 請求項9または請求項10に記載の
ヘッドスライダ支持体と、 このヘッドスライダ支持体の前記スライダ支持部によっ
て遊動自在に支持されたヘッドスライダとを備えたヘッ
ド装置であって、 前記ヘッドスライダが、前記スライダ支持部を覆ってい
る前記配線パターンの上に配設されていることを特徴と
するヘッド装置。 - 【請求項15】 記録媒体に対する情報書込みまたは
記録媒体からの情報読出しの少なくとも一方を行うこと
が可能なヘッド素子を含むヘッドスライダと、このヘッ
ドスライダを前記記録媒体に対して相対的に移動させる
ための駆動機構の一部をなす駆動用コイルとを搭載可能
なヘッドスライダ支持体の製造方法であって、 前記ヘッドスライダを遊動自在に支持可能な唯一つのス
ライダ支持部を形成する工程と、 前記スライダ支持部に対応して唯一つ設けられると共に
それ単独で前記駆動用コイルを担持することが可能なコ
イル担持部を形成する工程とを含むと共に、 前記2つの工程をほぼ並行して行うことにより、前記ス
ライダ支持部およびコイル担持部が、接合領域を含まな
い所定形状の連続構造体の一部をなすようにしたことを
特徴とするヘッドスライダ支持体の製造方法。 - 【請求項16】 さらに、 前記スライダ支持部を保持する唯一つの懸架部を形成す
る工程と、 前記懸架部を保持する唯一つのアーム部を形成する工程
とを含むと共に、 これらの工程を、前記スライダ支持部およびコイル担持
部の形成工程とほぼ並行して行うことにより、前記懸架
部およびアーム部を、それらが前記連続構造体の一部を
なすように形成することを特徴とする請求項15記載の
ヘッドスライダ支持体の製造方法。 - 【請求項17】 前記連続構造体を形成する工程は、 1枚の板状素材を部分的に圧延して、異なる厚さの部分
を有する素材を形成する圧延工程と、 圧延された素材に対して型抜き加工を行う型抜工程とを
含むことを特徴とする請求項15または請求項16に記
載のヘッドスライダ支持体の製造方法。 - 【請求項18】 前記連続構造体を形成する工程は、 前記連続構造体の外形に対応した形状の内部空間を有す
る成形型を形成する型形成工程と、 前記成形型の前記内部空間に所定の材料を充填して固化
させる工程とを含むことを特徴とする請求項15または
請求項16に記載のヘッドスライダ支持体の製造方法。 - 【請求項19】 さらに、 前記ヘッドスライダとの電気的な接続を可能とする配線
パターンを前記連続構造体に付加する工程を含むことを
特徴とする請求項15ないし請求項18のいずれか1項
に記載のヘッドスライダ支持体の製造方法。 - 【請求項20】 前記連続構造体を、第1の表面と第2
の表面とを有するように形成すると共に、 前記配線パターンを、前記連続構造体の前記第1の表面
から第2の表面にかけて配設するようにしたことを特徴
とする請求項19に記載のヘッドスライダ支持体の製造
方法。 - 【請求項21】 前記配線パターンを、それが、前記連
続構造体の第1の表面からその一端部を迂回して第2の
表面へと延びて前記スライダ支持部に達し、このスライ
ダ支持部の、前記ヘッドスライダが載置されることとな
る面を覆うこととなるように形成することを特徴とする
請求項20に記載のヘッドスライダ支持体の製造方法。 - 【請求項22】 前記配線パターンを、それが、前記連
続構造体の第1の表面からその一部に設けられた連絡穴
を経由して第2の表面へと延びて前記スライダ支持部に
達し、このスライダ支持部の、前記ヘッドスライダが載
置されることとなる面を覆うこととなるように形成する
ことを特徴とする請求項20に記載のヘッドスライダ支
持体の製造方法。 - 【請求項23】 さらに、 前記ヘッドスライダの動作に関わる回路が集積された集
積回路チップを前記連続構造体に付加する工程を含むこ
とを特徴とする請求項15ないし請求項22のいずれか
1項に記載のヘッドスライダ支持体の製造方法。 - 【請求項24】 前記集積回路チップを、前記連続構造
体の、前記記録媒体と対向することとなる面側に配設す
るようにしたことを特徴とする請求項23に記載のヘッ
ドスライダ支持体の製造方法。 - 【請求項25】 請求項15ないし請求項24のいずれ
か1項に記載のヘッドスライダ支持体の製造方法によ
り、ヘッドスライダ支持体を形成する工程と、 形成されたヘッドスライダ支持体に、前記ヘッドスライ
ダを搭載する工程とを含むことを特徴とするヘッド装置
の製造方法。 - 【請求項26】 請求項21または請求項22に記載の
ヘッドスライダ支持体の製造方法により、ヘッドスライ
ダ支持体を形成する工程と、 形成されたヘッドスライダ支持体に、前記ヘッドスライ
ダを搭載する工程とを含み、 前記ヘッドスライダを、前記スライダ支持部を覆ってい
る前記配線パターンの上に配設するようにしたことを特
徴とするヘッド装置の製造方法。 - 【請求項27】 情報を記録可能な記録媒体と、 請求項13または請求項14に記載のヘッド装置と、 このヘッド装置に搭載された前記ヘッドスライダが前記
記録媒体に対して相対的に移動することとなるように、
前記ヘッド装置を駆動する駆動機構とを備えたことを特
徴とする情報記録再生装置。 - 【請求項28】 請求項13または請求項14に記載
のヘッド装置を複数備えると共に、 これらのヘッド装置がそれぞれ独立に駆動されることに
より、これらのヘッド装置にそれぞれ搭載されているヘ
ッドスライダが、互いに独立して移動可能であることを
特徴とする請求項27に記載の情報記録再生装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11071280A JP2000268513A (ja) | 1999-03-17 | 1999-03-17 | ヘッドスライダ支持体、ヘッド装置およびそれらの製造方法、ならびに情報記録再生装置 |
US09/524,277 US6507459B1 (en) | 1999-03-17 | 2000-03-13 | Head slider suspension, head assembly, and information recording and reproducing apparatus with improved wiring pattern |
SG200001421A SG93231A1 (en) | 1999-03-17 | 2000-03-14 | Head slider suspension, head assembly, method of manufacturing the same and information recording and reproducing apparatus |
CNB001043358A CN1246831C (zh) | 1999-03-17 | 2000-03-17 | 磁头滑块悬架、磁头组件及制造方法和信息记录重放装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11071280A JP2000268513A (ja) | 1999-03-17 | 1999-03-17 | ヘッドスライダ支持体、ヘッド装置およびそれらの製造方法、ならびに情報記録再生装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000268513A true JP2000268513A (ja) | 2000-09-29 |
Family
ID=13456154
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11071280A Pending JP2000268513A (ja) | 1999-03-17 | 1999-03-17 | ヘッドスライダ支持体、ヘッド装置およびそれらの製造方法、ならびに情報記録再生装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6507459B1 (ja) |
JP (1) | JP2000268513A (ja) |
CN (1) | CN1246831C (ja) |
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-
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